CN101209443A - 涂布液供给装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种注射泵对涂布液的吸引时间短、空气不会流入的涂布液供给装置。该涂布液供给装置包括：收容涂布液的涂布液箱体(1)、以及从涂布液箱体(1)吸引涂布液而将该涂布液向相对于工作台(14)沿规定方向相对移动的涂布装置(12)的模具(13)供给的注射泵(9)，在涂布液箱体(1)与注射泵(9)之间还具有吸引涂布液箱体(1)中的涂布液而将该涂布液向注射泵(9)送出的增压泵(5)，注射泵(9)安装在涂布装置(12)的与模具(13)的移动方向成直角方向的侧面上。

Description

涂布液供给装置
技术领域
本发明涉及一种向台式涂布机(table coater)等涂布装置的模具供给涂布液的涂布液供给装置。
背景技术
以往，作为向模具涂布机(die coater)的模具供给涂布液的供给装置，如专利文献1所示，包括：收容涂布液的涂布液箱体、以及从涂布液箱体吸引涂布液而将该涂布液向相对于工作台沿规定方向相对移动的涂布装置的模具供给的注射泵。作为注射泵的设置方法，可分为将注射泵固定在从涂布装置离开的位置上的固定式、以及将其装设在涂布装置上而与模具一起移动的安装式(mount type)。
在固定式中，为了确保涂布装置的移动距离，注射泵与模具之间的涂布液的输出管路变长，从而存在从注射泵到模具的输出管路的压力损失大、涂布的调整需要时间的问题。
与此相反，在安装式中，由于注射泵与涂布装置一起移动，因此注射泵与模具之间的涂布液的输出管路变短，但涂布液箱体与注射泵之间的吸引管路变长，从而导致注射泵的吸引时间变长。此外，由于使模具与注射泵同时移动，因此重量大，需要大的驱动力，导致装置变大。虽然也有为了缩短涂布液箱体与注射泵之间的距离而将涂布液箱体设置在涂布装置内的方法，但会失去装置内部的维护空间。再者，由于注射泵被装设在涂布装置上而位于高于模具的位置，因此存在空气容易流入注射泵中的问题。
专利文献1：日本专利特开平09-253563号公报
发明内容
鉴于上述问题，本发明的目的在于提供一种注射泵对涂布液的吸引及输出的时间短、空气不会流入的涂布液供给装置。
为了解决上述技术问题，本发明的涂布液供给装置包括：收容涂布液的涂布液箱体、以及从所述涂布液箱体吸引涂布液而将该涂布液向相对于工作台沿规定方向相对移动的涂布装置的模具供给的注射泵，在所述涂布液箱体与所述注射泵之间还具有吸引所述涂布液箱体中的涂布液而将该涂布液向所述注射泵送出的增压泵，所述注射泵安装在所述涂布装置的与模具的移动方向成直角方向的侧面上。
所述增压泵最好是用气缸来驱动的注射泵。
所述注射泵最好是设置在所述模具的下方。
采用本发明，由于在涂布液箱体与注射泵之间还具有吸引涂布液箱体中的涂布液而将该涂布液向注射泵送出的增压泵，因此即使涂布液箱体与注射泵之间的距离较长，也可利用增压泵迅速地吸引涂布液箱体中的涂布液，并经由注射泵向模具供给。
此外，由于由此可将涂布液箱体设置在装置的外部，因此可在装置内确保足够的维护空间。
再者，由于利用增压泵加压后送出，因此可使注射泵小型化，并可使装置小型化。
此外，由于将注射泵安装在涂布装置的与移动方向成直角方向的侧面上，因此可将注射泵设置得比模具低，从而空气不会进入注射泵内。
附图说明
图1是本发明的涂布液供给装置的流程图。
图2(a)是表示涂布液供给装置与涂布装置间的位置关系的侧视图，图2(b)是表示涂布液供给装置与涂布装置间的位置关系的主视图。
图3是表示涂布液供给装置与涂布装置间的另一位置关系的侧视图。
图4是表示涂布液供给装置的动作的流程图。
(符号说明)
1涂布液箱体
5增压泵
9注射泵
12涂布装置
13缝模
14工作台
具体实施方式
下面参照附图对本发明的实施形态进行说明。
图1是本发明的涂布液供给装置的流程图。涂布液箱体1收容涂布所必要量的涂布液，该涂布液箱体1可通过供给高压空气而利用该高压空气的压力将涂布液从下方压出，但也可不使用高压空气，而利用重力将涂布液压出。涂布液箱体1通过双通阀2与第一吸引管路3相连，该第一吸引管路3通过三通阀4与增压泵5相连。增压泵5由注射泵构成，由气缸6来驱动。增压泵5通过三通阀4与第二吸引管路7相连，该第二吸引管路7通过三通阀8与注射泵9相连。注射泵9由步进电机10来驱动。注射泵9通过三通阀8与输出管路11相连，该输出管路11与涂布装置12的缝模13的供给口相连。如图所示，涂布装置12具有以往公知的构造，其相对于工作台14相对移动，从缝模13的输出口输出涂布液，并在工作台14上的基板15上形成涂层。
图2(a)是表示涂布液供给装置与涂布装置12间的位置关系的侧视图，图2(b)是其主视图。在此省略了图1所示的双通阀2、三通阀4和三通阀8。支撑缝模13两端的移动块16可在与缝模13的槽呈直角的方向上沿箭头方向相对于工作台14相对移动。在移动块16的与移动方向成直角方向的侧面上装设有注射泵9，该注射泵9设置在缝模13的下方。另一方面，增压泵5与涂布液箱体1一起设置在箱体单元17内，该箱体单元17设置在从涂布装置12离开的位置上。
将涂布液箱体1与增压泵5相连的第一吸引管路3配设在箱体单元17内。将增压泵5与注射泵9相连的第二吸引管路7具有可使移动块16在工作台14上移动其行程的长度，并被合适的装置支撑以跟随移动块16的移动。将注射泵9与缝模13相连的输出管路11配设在移动块16上。
图3是表示涂布液供给装置与涂布装置12间的位置关系的变形例的侧视图。在此，增压泵5与注射泵9一起装设在移动块16的与移动方向成直角方向的侧面上。因此，将涂布液箱体1与增压泵5相连的第一吸引管路3具有可使移动块16在工作台14上移动其移动行程的长度，并被合适的装置支撑以跟随移动块16的移动。此时，虽然无法使设备小型化，但注射泵9的吸引时间变短。
下面对由以上结构构成的涂布液供给装置的动作进行说明。
如图4的流程图所示，首先，对涂布液箱体1供给高压空气而加压，打开双通阀2(步骤S1)。接着，使增压泵5的三通阀4设定在吸引侧(步骤S2)。接着，当使气缸6处于收缩侧(步骤S3)而使增压泵5后退时，涂布液箱体1的涂布液从双通阀2流过第一吸引管路3，经由三通阀4而对增压泵5充液。若对增压泵5的充液完成，则将三通阀4切换至输出侧(步骤S4)。使注射泵9的三通阀8处于吸引侧，并使增压泵5的气缸6位于推压侧(步骤S5)。接着，当使步进电机10向吸引侧旋转时(步骤S6)，增压泵5中的涂布液从三通阀4流过第二吸引管路7，并经由三通阀8而对注射泵9充液。若对注射泵9的充液完成，则将三通阀8切换至输出侧(步骤S7)。接着，使步进电机10向输出侧旋转(步骤S8)。由此，注射泵9内的涂布液会从三通阀8经由输出管路11向缝模13供给，并从缝模13的输出口向工作台14上的基板15输出，从而形成涂层。在所述步骤S7中将三通阀8切换至输出侧的同时回到步骤S2，以同样的顺序反复进行涂布液的吸引动作。
由于所述增压泵5由气缸6来驱动，因此通过调整气缸6的压力，可以控制推压增压泵5的力。因此，可加长增压泵5与注射泵9之间的第二吸引管路7。但是，若使第二吸引管路7的长度变得过长，则压力损失会增加，导致气缸6的推力不足，因此需要加大第二吸引管路7的直径，或是加大气缸6的内径。
由于在吸引管路3、7中设有增压泵5，因此即使加大涂布液箱体1与注射泵9间的设置距离，也可利用增压泵5将涂布液从涂布液箱体1中快速地对注射泵9充液。同时，涂布液箱体1和注射泵9的设置位置的自由度变大，通过设置在容易进入的位置，还可提高维护性。
此外，由于可利用增压泵5的吸引力从涂布液箱体1吸引涂布液，并利用增压泵5的输出力将涂布液输出至注射泵9，因此可减小对涂布液1的加压。以往，涂布液箱体1的加压力例如需要0.5Mpa，但通过追加增压泵5，可以是0.2Mpa。
由于将注射泵9设置在涂布装置12的移动块16的侧面上，因此可缩短从注射泵9到缝模13为止的输出管路11的长度。由此，压力损失减少，对涂布膜压力的调整变得容易。
此外，由于将注射泵9设置在涂布装置12的移动块16的侧面上，因此可将注射泵9设置在缝模13的输出口的下方，从而即使是在长期停止涂布装置12的场合，也可防止空气流入注射泵9中。

Claims (3)

1.一种涂布液供给装置，包括：收容涂布液的涂布液箱体、以及从所述涂布液箱体吸引涂布液而将该涂布液向相对于工作台沿规定方向相对移动的涂布装置的模具供给的注射泵，其特征在于，
在所述涂布液箱体与所述注射泵之间还具有吸引所述涂布液箱体中的涂布液而将该涂布液向所述注射泵送出的增压泵，
所述注射泵安装在所述涂布装置的与模具的移动方向成直角方向的侧面上。
2.如权利要求1所述的涂布液供给装置，其特征在于，所述增压泵是用气缸来驱动的注射泵。
3.如权利要求1或2所述的涂布液供给装置，其特征在于，所述注射泵设置在所述模具的下方。
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