CN101202239A - 升降销驱动装置以及具有该装置的制造设备 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种升降销驱动装置以及具有该装置的制造设备。所述装置包括驱动单元、多条同步带和多个带轮，其中驱动单元包括驱动销板的单台驱动电动机。多个升降销支撑在其上的销板由通过同步带与电动机联合运行的带轮移动。张紧器控制同步带的张力。张紧器可以控制以提供没有倾斜的精确直线移动，并防止同步带下垂。所述装置有效地控制同步带张力，并允许升降销精确地向上或向下移动，使位于其上的基板可以在向上或向下移动的同时保持水平位置。

Description

升降销驱动装置以及具有该装置的制造设备

技术领域

本发明涉及升降销模块，尤其涉及同时向上或向下移动多个升降销的升降销模块、以及具有这种模块的制造设备。

背景技术

将半导体晶片或玻璃基板输送到平台进行加工或使其离开平台的类似结构可以应用在半导体制造设备和平板显示器(FPD)制造设备中。作为例子，FPD(平板显示器)可以包括LCD(液晶显示器)、PDP(等离子显示板)、OLED(有机发光二极管)、以及其它这种装置。用于制造这些种类的装置的制造设备可以包括多个真空处理装置，例如负载锁定室、输送室和加工室，用于处理基板表面。

负载锁定室从外部接收原始基板，并将加工后的基板输送到外部，同时在大气压状态和真空状态之间交替改变。输送室可以包括在各个室之间输送基板的输送机器人，从而将原始基板从负载锁定室输送到加工室，并将加工后的基板从加工室返回到负载锁定室。加工室可以在基板上施加各个层，或者在真空下利用等离子或热能蚀刻基板。多个升降销可以用于定位基板，使其输入和输出加工室。

附图说明

下面参考如下附图详细描述本发明实施例，其中相同的参考数字代表相同的零件。在附图中：

图1是示例性加工室和升降销驱动装置的剖视图；

图2是图1所示的升降销驱动装置的立体图；

图3是另一示例性加工室和升降销驱动装置的剖视图；

图4是这里具体实施和广义描述的加工室和升降销驱动装置的剖视图；

图5是图4所示升降销驱动装置的立体图；

图6是根据这里广义描述的实施例的升降销驱动装置中使用的张紧器的前侧立体图；

图7是图6所示张紧器的后侧立体图；

图8是图6所示张紧器的正视图；

图9是图6所示张紧器的剖视图；

图10和图11是根据图6所示实施例的变体的升降销驱动装置的张紧器的前侧立体图；

图12是根据这里广义描述的另一实施例的、具有张紧器的升降销驱动装置的立体图；

图13是图12所示升降销驱动装置的张紧器的前侧立体图；

图14是图13所示的张紧器的后侧立体图；

图15是图13所示的张紧器的正视图；

图16是根据图12所示实施例的变体的张紧器的正视图；

图17和图18是根据图12所示实施例的其它变体的、升降销驱动装置张紧器的前侧立体图；以及

图19是根据这里广义描述的另一实施例的升降销驱动装置张紧器的前侧立体图。

具体实施方式

下面将参考附图所示的实施例的例子。无论何处，在所有附图和描述中使用的相同参考数字是指类似的零件。

图1所示的加工室可以包括具有门11的室主体10，加工室中能形成真空状态，从而使加工在真空中执行。加工室也可以包括设置在室主体10上部的上电极组件12、以及设置在上电极组件12下方以在其上支撑基板S的下电极组件14。上电极组件12可以包括将加工气体喷射到基板S上的喷射头(未图示)。

下电极组件14可以包括多个升降销20，用于沿垂直方向移动基板S，以便定位基板S以输送到组件14或从组件14移走。组件14可以包括多个销孔16，升降销20可以可动地穿过销孔16。因此，升降销20可以在各个销孔16内向上或向下移动，从而也使定位在其上面的基板S移动。升降销20和销孔16可以由波纹管22环绕，以便密封进入室主体10的开口。

换句话说，当基板S已经通过输送单元从外部输送到室主体10中时，升降销20可以升高到预定高度以接收基板S。在输送单元已经放置基板S并移出室主体10之后，升降销20可以下降，使基板S下降到下电极组件14的上表面上。为了将加工后的基板S移出室主体10，升降销20升起基板S，从而将基板S定位成便于输送到外部。

升降销20可以通过升降销驱动装置30移动，升降销驱动装置设计成同时移动多个升降销20。升降销驱动装置30可以包括位于室主体10下方的销板35，多个升降销20的下端固定在销板上。升降销驱动装置30也可以包括驱动电动机32和滚珠丝杠33，以使销板35通过滚珠丝杠型驱动方法向上或向下移动。为了使销板35和多个升降销20稳定地均匀移动，在某些实施例中升降销驱动装置30可以包括两台或更多驱动电动机32，如图1和2所示。当FPD基板S尺寸增大时，升降销驱动装置30的尺寸也增大。因此，在销板35相反端可以设置两台驱动电动机32和两个滚珠丝杠33，如图所示，以便均匀地和稳定地移动销板35并适应较大尺寸的基板S。

当使用两台驱动电动机32时，非常难以同步地控制两台电动机32以使电动机32同时将升降销20移动到相同高度。当两台电动机32未精确控制时，销板35可能处于倾斜位置，并在升降销20之间产生相位差。当基板S由具有这种相位差的升降销20装载或卸载时，基板S可能被升降销20损坏。因此，使用具有这种相位差的升降销20难以执行高质量的基板处理。

补偿控制系统可以用于补偿电动机32的控制和/或补偿升降销20的相位差。但是，使用这种补偿控制系统使控制结构变复杂并增大设备成本。

根据所用的等离子产生方法，加工室可以基本分成PE(等离子增强)型室和RIE(反应离子蚀刻)型室。在RIE型加工室中，施加RF功率的电子模块装在室主体10下方的空间中。因此，难以在这种RIE型加工室的室主体10下方的空间中安装两台驱动电动机32。为了将两台驱动电动机32装在RIE型加工室的室主体10下方的空间中，升降销驱动装置30可以装在室主体10下方的空间中，如图3所示，从而可以将诸如匹配箱R的电子模块装在室主体10下方。但是，在这种状态下，升降销20和波纹管22具有延长的长度，这可能使升降销驱动装置30有些不稳定。

图4和5表示根据这里广义描述的第一实施例的加工室和升降销驱动装置的结构。加工室可以包括室主体50，基板S的表面可以在其中的真空中处理，上电极组件52和下电极组件54分别设置在室主体50的上和下部分。室主体50也可以包括门51，用于接收和排出基板S。上电极组件52可以包括将加工气体喷射到基板S上表面的喷射头(未图示)。

下电极组件54可以起到支撑单元的功能，将在室主体50中进行表面处理的基板S支撑在其上。多个升降销60可以垂直穿过下电极组件54，使基板S向上或向下移动，以将基板S定位成便于装载或卸载。下电极组件54可以包括使升降销60从其中穿过的销孔56。

使升降销60向上或向下移动的升降销驱动装置100可以设置在室主体50下方的空间中。室主体50可以包括多个销孔65，销孔65与销孔56一起形成销穿过单元，使升降销60向下延伸穿过室主体50的下端，从而可以通过升降销驱动装置100操纵升降销60。升降销60可以由波纹管62环绕，从而密封室主体50中的这些开口。

升降销驱动装置100可以包括多条同步带150、152、154和156，它们形成利用单一的驱动电动机102的旋转力转动多个带轮110、120、130和140的动力传动单元。带轮110、120、130和140的旋转驱动垂直地连接到带轮110、120、130和140上的多个滚珠丝杠106旋转，以向上或向下移动销板64和装在其上的升降销60。

在图4和5所示的实施例中，动力传动单元是由多条同步带150、152、154和156驱动的带传动单元。但是，应该理解的是，动力传动单元可以设计成另一种类型的动力传动单元，例如链条传动单元。

多个内螺纹孔66可以在与滚珠丝杠106对应的位置穿过销板64，例如在销板64的角部上。其它的位置也是可以的。具有预定长度的多个滚珠丝杠106穿过相应的内螺纹孔66。因此，如图4和5所示，带轮110、120、130和140可旋转地位于销板64的角部下方，并可以通过同步带150、152、154和156连接到相邻的带轮110、120、130、140，形成动力传动单元。

单一的驱动电动机102可以位于第一带轮110附近，或者另一个带轮120、130和140附近也是可以的。如图5所示，驱动电动机102的轴可以装有驱动带轮104。驱动带轮104可以经过第一同步带150连接到第一带轮110。

第一带轮110可以具有三级结构，包括通过第一同步带150连接到驱动带轮104的第一级带轮112、以及顺序地位于第一级带轮112上方的第二级带轮114和第三级带轮116。

第二带轮120可以具有两级结构，包括通过第二同步带152连接到第一带轮110的第二级带轮114上的第一级带轮122、以及位于第一级带轮122上方的第二级带轮124。第三带轮130可以具有单级结构，仅仅包括通过第三同步带154连接到第二带轮120的第二级带轮124上的第一级带轮132。第四带轮140可以具有单级结构，仅仅包括通过第四同步带156连接到第一带轮110的第三级带轮116上的第一级带轮142。

在图5所示的实施例中，第三带轮130未通过动力传动单元连接到第四带轮140上。但是，应该理解的是，第三带轮130和第四带轮140可以设计成具有多级结构，并可以根据需要使用同步带彼此连接。

第一带轮110的第三级带轮116的上表面、第二带轮120的第二级带轮124的上表面、以及第三带轮130和第四带轮140的第一级带轮132和142的上表面可以处于同一平面，使垂直连接到带轮110、120、130和140上表面的滚珠丝杠106上端位于同一平面。

当单一的驱动电动机102沿一个方向例如顺时针旋转时，通过第一同步带150连接到驱动带轮104的第一带轮110的第一级带轮112沿相同方向即顺时针旋转。

因此，围绕与第一带轮110的第一级带轮112相同轴线旋转的第二级带轮114和第三级带轮116也沿同一方向即顺时针旋转。因此，通过第二同步带152连接到第一带轮110的第二级带轮114的第二带轮120的第一级带轮122沿同一方向即顺时针旋转。此外，围绕与第二带轮120的第一级带轮122相同轴线旋转的第二级带轮124沿同一方向即顺时针旋转。因此，第一带轮110和第二带轮120彼此联合沿同一方向即顺时针旋转。通过第三同步带154连接到第二带轮120第二级带轮124的第三带轮130的第一级带轮132也沿同一方向即顺时针旋转。并且，通过第四同步带156连接到第一带轮110的第三级带轮116的第四带轮140的第一级带轮142沿同一方向即顺时针旋转。

总之，单一驱动电动机102的旋转通过同步带150、152、154和156使第一带轮110、第二带轮120、第三带轮130和第四带轮140沿同一方向并以相同速度旋转，同步带150、152、154和156形成动力传动单元并将带轮110、120、130和140彼此连接。因此，连接到相应带轮110、120、130和140上的滚珠丝杠106以相同速度旋转。

滚珠丝杠106的上端沿销板64的角部上形成的内螺纹孔66旋转，并将销板64向上或向下移动。以规则间隔装在销板64上表面的多个升降销60可以同时经过下电极组件54和室主体50中形成的销孔56和65准确地向上或向下移动。

随着时间过去，同步带150、152、154和156可能由于长时间工作以及其材料特性将失去其张力并变松。因此，升降销驱动装置100可以包括张紧器200，用于保持同步带150、152、154和156中的所需张力。

如图4和5所示，可以将多个张紧器200可以接近各个同步带150、152、154和156设置。张紧器200可以在同步带150、152、154和156的第一侧施加偏压力，将同步带150、152、154和156的这一侧向内推，并保持所需张力。

更具体地，当同步带150、152、154和156彼此具有不同张力时(由于长时间工作、磨损等原因)，通过同步带150、152、154和156彼此连接的带轮110、120、130和140的旋转速度将变得彼此不同。在这种情况下，滚珠丝杠106以不同速度旋转，导致销板64在不能精确保持水平的情况下向上或向下移动，从而导致基板S在不水平的情况下向上或向下移动。这可以引起基板损坏以及难以执行高质量基板处理。

如图6到9所示，张紧器200可以包括固定支架210；可装在固定支架210内并可向前和向后移动的可动支架230；用于使可动支架230向前和向后移动的张力控制单元；用于引导可动支架230的移动使可动支架230不产生前、后、左或右倾斜地直线移动的引导单元；以及可旋转地装在可动支架230中的张紧辊240。

固定支架210可以包括水平部分212和垂直部分214，它们可以集成为倒L形形状。固定支架210可以牢固地装在支撑件(未图示)上，使引导单元装在固定支架210的水平部分212上。

引导单元可以包括刻度尺222，刻度尺222具有预定高度并处于固定支架210的水平部分212的每个侧面上。引导单元也可以包括沿水平部分212下表面的相反侧平行地形成的引导部224。刻度尺222可以包括在其外表面上的刻度。每个引导部224可以包括水平部分224a和垂直部分224b，它们可以集成为倒L形形状。

可动支架230可以包括上水平部分232、下水平部分234和垂直部分236。上和下水平部分232和234以及垂直部分236可以集成为“[”形状。上水平部分232可以沿引导单元的引导部224直线移动，同时保持与引导部224的水平部分224a的下表面和垂直部分224b的内表面的紧密接触。因此，可动支架230可以直线移动，而不向前、后、左或右倾斜。

换句话说，可动支架230的上水平部分232保持与引导单元的两个引导部224的水平部分224a的下表面紧密接触，而且还保持与两个引导部224的垂直部分224b的内表面紧密接触。此紧密接触限制/约束可动支架230相对引导单元的移动，仅仅允许它们之间的直线移动。因此，可动支架230可以直线移动，而不会向前、后、左或右倾斜。

张紧辊240可旋转地装在可动支架230的上水平部分232和下水平部分234之间。并且，张力控制单元可连接到可动支架230的垂直部分236的外表面，并在固定支架210的垂直部分214的外表面后面延伸。

更具体地，固定支架210的垂直部分214可包括内螺纹孔216，具有预定长度的长度调节螺钉250可以插入内螺纹孔216中。

长度调节螺钉250的末端可以利用诸如锁紧销等的锁紧机构可旋转地连接到可动支架230的垂直部分236的外表面。当长度调节螺钉250旋转时，长度调节螺钉250沿固定支架210的内螺纹孔216向前或后移动，并向前或向后直线移动可动支架230。

并且，在固定支架210中在离开内螺纹孔216位置可以按预定间隔形成多个引导孔218。具有预定长度的引导杆252可动地穿过每个引导孔218。引导杆252的末端可以固定地装在可动支架230的垂直部分236的外表面上。当可动支架230向前或向后移动时，引导杆252沿固定支架210的相应引导孔218线性移动。因此，引导杆252可以起到引导可动支架230直线移动的辅助装置的作用，从而可动支架230可以更加稳定地执行直线移动而不倾斜。

当同步带150、152、154和156之一丧失张力并且变松、需要调节时，可以旋转相关张紧器200的长度调节螺钉250，使其向前移动，以驱动张紧辊240向前移动而对相应的同步带施加额外张力。同样，当长度调节螺钉250如上所述向前移动时，可动支架230沿引导单元向前移动。因此，可旋转地装在可动支架230中的张紧辊240向前移动并推动松的同步带，从而张紧松的同步带并对同步带提供额外张力。

在这种情况下，通过利用目标张紧器200的引导单元的刻度尺222的外表面上形成的刻度，比较目标张紧器200的张紧辊240与其它张紧器200的张紧辊240，工人可以控制张紧辊240的移动距离。因此，工人可以容易地执行同步带张力调节操作。总之，具有可旋转张紧辊240的可动支架230可以沿引导单元的引导部224直线移动，而不向前、后、左或右倾斜，从而张紧辊240可以执行精确直线移动，并可以根据需要精确地控制同步带150、152、154和156的张力。

图10和图11表示图6-9所示的张紧器200的修改。如图10所示，张紧器200的每个引导部224-1可以包括水平部分224a-1和垂直部分224b-1，它们集成为与图6所示引导部224的倒L形形状不同的L形形状。如图11所示，张紧器200的每个引导部224-2也可以包括两个水平部分224a-2和垂直部分224b-2，它们集成为“[”形状。

更具体地，图10所示的张紧器200的引导单元的每个引导部224-1可以具有L形形状，从而可动支架230的上水平部分232可以沿两个引导部224-1的水平部分224a-1的上表面向前或向后直线移动。因此，可动支架230的上水平部分232可以稳定地直线移动，同时保持与两个引导部224-1的水平部分224a-1的上表面紧密接触。因此，图10所示的可动支架230可以稳定直线移动，而不会由于支架230的重量而下垂。

并且，图11所示张紧器200的引导单元的每个引导部224-2可以具有“[”形形状，从而可动支架230的上水平部分232可以同时沿两个引导部224-2的上水平部分224a-2的下表面以及沿下水平部分224a-2的上表面向前或向后移动。因此，可动支架230的上水平部分232可以稳定地和直线地移动，同时保持与两个引导部224-2的上水平部分224a-2的下表面和下水平部分224a-2的上表面的紧密接触。因此，图11所示的可动支架230可以稳定地直线移动，而不会由于可动支架230的重量而下垂。

图12是根据这里广义描述的第二实施例的、具有张紧器的升降销驱动装置的立体图。图13到15是图12所示张紧器的立体图。

如上所述，如果同步带150、152、154和156工作较长一段时间，则它们可能由于磨损和其它材料特性而丧失张力并变松。这样，图12所示的升降销驱动装置可以包括张紧器300，用于保持同步带150、152、154和156中的所需张力。

如图12所示，多个张紧器300可以接近相应的同步带150、152、154和156设置。每个张紧器300可以包括固定支架310、装在固定支架310内可前后移动的可动支架330、可前后移动可动支架330的张力控制单元、以及可旋转地装在可动支架330内的张紧辊340。

固定支架310可以包括水平部分312和垂直部分314，它们可以集成为倒L形形状。固定支架310可以牢固地装在支撑件(未图示)上。可动支架330可以包括上水平部分332、下水平部分334和垂直部分336，它们可以集成为“[”形状。

张紧辊340可旋转地装在可动支架330的上水平部分332和下水平部分334之间。使可动支架330直线移动的张力控制单元可以连接到可动支架330的垂直部分336的外表面，并可以延伸到固定支架310的垂直部分314的外表面后面。

更具体地，固定支架310的垂直部分314可以包括内螺纹孔316，具有预定长度的长度调节螺钉350可以插入内螺旋孔316。长度调节螺钉350的末端可以利用诸如锁紧销等锁紧机构可旋转地连接到可动支架330的垂直部分336的外表面。这样，当转动长度调节螺钉350时，长度调节螺钉350沿固定支架310的内螺纹孔316向前或向后移动，并驱动可动支架330向前或向后直线移动。

在固定支架310中，在离开内螺纹孔316的位置可以按预定间隔形成多个引导孔318。具有预定长度的引导杆352可动地穿过每个引导孔318。引导杆352的末端可以牢固地装在可动支架330的垂直部分336的外表面上。当可动支架330向前或向后移动时，引导杆352可以沿固定支架310的相应引导孔318直线移动。因此，引导杆352引导可动支架330直线移动，使可动支架330可以更稳定地执行直线移动，而不会倾斜。

当同步带150、152、154和156之一失去张力和变松，并且需要张紧松的同步带时，可以转动相关张紧器300的长度调节螺钉350，使其向前移动。当长度调节螺钉350向前移动时，可动支架330也向前移动。因此，可旋转地装在可动支架330上的张紧辊340向前移动并推动松的同步带，从而张紧松的同步带并提供额外的张力，实现所需的张紧。

同步带150、152、154和156可能较长，并且当同步带150、152、154和156失去张力并变松时它们可以下垂。当同步带150、152、154和156下垂时，它们不能可靠地在带轮110、120、130和140之间传递动力。这可导致带轮110、120、130和140按不同速度旋转。

当带轮110、120、130和140的旋转速度彼此不同时，滚珠丝杠106可以按不同速度旋转，导致销板64向上或向下移动不能精确地保持水平，并导致升降销60和位于其上面的基板S也不能水平地向上或向下移动。因此，基板S可能损坏，并且难以执行高质量的基板处理。为了防止同步带下垂，可以在每个张紧器300的张紧辊340的下端附近设置防止下垂部分344。

如图13到15所示，张紧辊340可以包括与部分同步带150、152、154和156紧密接触的辊部分342、以及防止下垂部分344，防止下垂部分344设置在辊部分342的下端周围并且其外径大于辊部分342的外径。辊部分342的长度可以略微大于或等于同步带150、152、154和156的宽度，同步带150、152、154和156的下边缘可以由防止下垂部分344支撑。由于同步带150、152、154和156旋转的同时也保持与相应张紧辊340的辊部分342紧密接触，因此同步带150、152、154和156的下边缘可以由相应张紧辊340的防止下垂部分344支撑，从而防止同步带150、152、154和156下垂。

如图16所示，张紧辊340的防止下垂部分344可以包括两个防止下垂部分344，它们设置在辊部分342的上端和下端周围，从而同步带可以在两个防止下垂部分344之间越过辊部分342。两个防止下垂部分344可以引导同步带150、152、154和156的移动，并防止同步带150、152、154和156下垂。

图17是张紧器的正视图，其中张紧辊340的辊部分342设计成包括两个辊部分342的两级结构，使防止下垂部分344设置在两个辊部分342的每一个的下端周围。

更具体地，第一带轮110的第一级带轮112可以通过第一同步带150连接到驱动电动机102的驱动带轮104。并且，第一带轮110的第二级带轮114可以通过第二同步带152连接到第二带轮120的第一级带轮122。第一同步带150和第二同步带152可以沿同一轴线延伸。当由张紧器300张紧的同步带具有此两级结构时，张紧器300的张紧辊340也可以具有包括两个辊部分342的两级结构，使防止下垂部分344设置在两个辊部分342的每一个的下端周围，如图17所示。两个辊部分342具有各自防止下垂部分344的张紧器300可以防止具有两级结构的同步带下垂。

在具有带两个辊部分342的两级结构的张紧辊340中，防止下垂部分344可以设置在两个辊部分342的每一个的上端和下端周围，使两条同步带在防止下垂部分344之间越过两个辊部分342，如图18所示。防止下垂部分344引导同步带移动并防止同步带下垂。

因此，当由张紧器300张紧的同步带具有两级或多级结构时，张紧辊的辊部分的数量可以设置成等于同步带的级数，防止下垂部分的数量可以比辊部分的数量多1个。按照这种方式，虽然多级同步带的多条带绕同一轴线延伸，但这可以防止多条同步带下垂。

图19是根据这里广义描述的第三实施例的、用于升降销驱动装置的张紧器的正面立体图。

在图19所示的张紧器200中，将第二实施例的防止下垂部分244与第一实施例的结构组合，其中包括张紧辊240、张紧辊240可旋转地装在其上面的可动支架230、引导可动支架230使可动支架230可以直线移动而不倾斜的引导单元224、包括引导单元的固定支架210、以及使可动支架230相对固定支架210直线移动的张力控制单元。

根据第一实施例的张紧器或者根据第二实施例的张紧器可以分开提供。另外，还可以一起提供根据第三实施例的张紧器，它是根据第一实施例的张紧器结构与根据第二实施例的张紧器结构的组合。并且，根据第三实施例的张紧器可以按照与上面第一和第二实施例所述相同的方式修改。

这里具体实施和广义描述的升降销驱动装置以及具有该装置的FPD制造设备可以利用单台电动机同时向上或向下精确地驱动所有升降销，从而容易控制电动机以及精确地驱动升降销向上或向下移动。

这里具体实施和广义描述的升降销驱动装置以及具有该装置的FPD制造设备，其中的单台电动机设置在销板周边区域，而不是室主体下方空间的中心区，升降销驱动装置以及具有该装置的FPD制造设备使室主体下方的空间布局可以按不同方式设计，并减小设置成本，从而减小产品制造成本。

这里具体实施和广义描述的升降销驱动装置以及具有该装置的FPD制造设备，其中的张紧器用于控制同步带的张力，同步带是连接到单台电动机的动力传动单元并由电动机驱动，升降销驱动装置以及具有该装置的FPD制造设备设计成执行精确的直线移动而不扭转并防止同步带下垂，从而精确地控制同步带的张力并使所有升降销精确地同时向上或向下移动。

这里具体实施和广义描述的升降销驱动装置可以包括：将基板支撑在其上的支撑单元；多个升降销，它们布置成使它们穿过支撑单元，并且升降销向上或向下移动基板；销板，升降销装在其上、并驱动升降销向上或向下移动；驱动单元，用于驱动销板向上或向下移动，并且驱动单元包括驱动电动机和多个带轮，带轮通过动力传动单元连接到驱动电动机并与驱动电动机联合工作；以及控制动力传动单元张力的张紧器。

在某些实施例中，张紧器可以包括：张紧辊，其设置成紧密接触动力传动单元，张紧辊可以向前和向后移动；可动支架，张紧辊可旋转地支撑在其中；引导单元，用于引导可动支架的移动，使可动支架直线移动而不前、后、左或右倾斜；固定支架，引导单元装在其中；以及张力控制单元，用于使可动支架相对固定支架向前或向后直线移动。

张紧器的固定支架可以包括水平部分和垂直部分，它们集成为倒L形状，张紧器的引导单元可以包括处于固定支架水平部分的每一侧面上的刻度尺，以及沿固定支架水平部分下表面相反侧平行形成的引导部。

在某些实施例中，引导单元的每个引导部可以包括水平部分和垂直部分，它们集成为倒L形状。在另外的实施例中，引导单元的每个引导部可以包括水平部分和垂直部分，它们集成为L形状，或者引导单元的每个引导部可以包括上水平部分、垂直部分以及下水平部分，它们集成为“[”形状。

刻度尺可以包括在其外表面的刻度。

动力传动单元可以包括同步带。

在另外的实施例中，张紧器可以包括张紧辊，其设置成紧密接触动力传动单元，张紧辊可以向前和向后移动并支撑一部分动力传动单元，从而防止动力传动单元下垂；可动支架，张紧辊可旋转地支撑在其中；固定支架，可动支架在其中可以向前或向后移动；以及张力控制单元，用于使可动支架相对固定支架向前或向后直线移动。

在某些实施例中，张紧辊可以包括辊部分，其设置成紧密接触部分动力传动单元；以及防止下垂部分，其设置在辊部分下部并且其外径大于辊部分的外径。

张紧辊的辊部分可以设计成具有n级结构，防止下垂部分可以设计成具有n级结构，具有n级结构的动力传动单元各个级沿同一垂直轴设置的部分可以与具有n级结构的辊部分紧密接触。

在替代实施例中，张紧辊可以包括辊部分，其设置成紧密接触部分动力传动单元；以及防止下垂部分，其设置在辊部分的上部和下部并且其外径大于辊部分的外径。

张紧辊的辊部分可以设计成具有n级结构，防止下垂部分可以设计成具有(n+1)级结构，具有n级结构的动力传动单元各个级沿同一垂直轴设置的部分可以与具有n级结构的辊部分紧密接触。

根据这里广义描述的另一个实施例的升降销驱动装置可以包括将基板支撑在其上面的支撑单元；多个升降销，其设计使它们穿过支撑单元，并且升降销向上或向下移动基板；销板，升降销装在其上面，并驱动升降销向上或向下移动；驱动单元，用于驱动销板向上或向下移动，并且驱动单元包括驱动电动机和多个带轮，带轮通过动力传动单元连接到驱动电动机并与驱动电动机联合工作；以及控制动力传动单元张力的张紧器。张紧器包括张紧辊，其设置成紧密接触动力传动单元，张紧辊可以向前和向后移动并具有防止下垂部分，用于支撑部分动力传动单元以防止动力传动单元下垂；可动支架，张紧辊可旋转地支撑在其中；引导单元，用于引导可动支架的移动，使可动支架直线移动而不前、后、左或右倾斜；固定支架，引导单元装在其中；以及张力控制单元，用于使可动支架相对固定支架向前或向后直线移动。

这里具体实施和广义描述的、具有升降销驱动装置的FPD制造设备，可以包括室主体，在其下部具有销穿过单元；下电极组件，所述下电极组件设置在室主体中以将基板支撑在其上，多个销穿过单元形成在下电极组件中；以及升降销驱动装置，所述升降销驱动装置设置在室主体下方的空间中，并驱动设置在室主体内部下电极组件的销穿过单元中的多个升降销，从而向上或向下移动基板。

室主体可以在其内部具有上电极组件，用于喷射加工气体、产生等离子体并处理基板表面。

这里具体实施和广义描述的升降销驱动装置以及具有该装置的FPD制造设备可以利用一台驱动电动机同时向上或向下精确地驱动所有升降销，从而容易控制电动机，以便精确地驱动升降销向上或向下移动。

并且，单台驱动电动机装在销板的周边区，动力传动单元的同步带沿销板下表面的边缘设置并且彼此连接，从而利用单台驱动电动机精确地向上或向下移动销板。这样，室主体下方空间的布局可以按不同方式设计，而不会引起升降销驱动装置与周围零件之间的干扰。因此，设备成本下降，从而减小产品制造成本。

并且，张紧器用于控制构成动力传动单元的同步带的张力，其中动力传动单元利用单台驱动电动机驱动多个滚珠丝杠旋转，从而张紧器可以精确地和直线地移动，而不会前、后、左或右倾斜，并防止同步带下垂，从而使滚珠丝杠以相同速度向上或向下移动。这样，升降销可以精确地向上或向下移动并防止基板损坏，并且这里具体实施和广义描述的FPD制造设备可以用于制造高质量FPD。

本说明书中对“一个实施例”、“实施例”、“示例性实施例”等的任何引用，是指结合此实施例描述的特定特征、结构或特性包括在本发明的至少一个实施例中。在本说明书中不同位置出现这些词语，并不是必须都指向相同实施例。并且，当结合任一实施例描述一个特定特征、结构或特性时，在本领域一般技术人员的范围内这意味着这些特征、结构或特性能有效应用于其它的实施例。

虽然已经参考多个图示的实施例描述了实施例，但应该理解的是，本领域一般技术人员可以设计出落在这里所述本发明原理的精神和范围内的很多其它修改和实施例。更具体地，在说明书、附图和权利要求范围内可以对目标组合设置的组成部分和/或设置做出不同变化和修改。除了组成部分和/或设置的变化和修改以外，其它的用途对于本领域一般技术人员也是显而易见的。

Claims (20)

1.一种升降销驱动装置，包括：

构造成将基板接收在其上的支撑单元；

位于基板下方的销板；

从销板向上延伸从而穿过支撑单元上的对应多个孔的多个升降销；

驱动单元，所述驱动单元构造成向上或向下移动销板以及固定在销板上的多个升降销，从而移动位于其上的基板，所述驱动单元包括驱动电动机、和通过动力传动单元可操作地连接到驱动电动机的多个带轮；以及

构造成控制动力传动单元的张力的张紧器。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述张紧器包括：

固定支架；

可滑动地连接到固定支架上的可动支架；

引导单元，所述引导单元设置在所述固定支架上，以引导所述可动支架相对所述固定支架的直线移动；

张紧辊，所述张紧辊可旋转地连接到所述可动支架上、并且定位成保持与动力传动单元的滚动接触；以及

张力控制单元，所述张力控制单元构造成控制所述可动支架相对所述固定支架的直线移动，从而调节动力传动单元的张力。

3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述引导单元约束所述可动支架的移动，使得所述可动支架的移动被限制为沿所述可动支架的纵向相对所述固定支架的滑动直线移动。

4.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述固定支架包括从垂直部分延伸的水平部分，并且所述引导单元包括设置在所述固定支架的水平部分相反侧表面上的刻度尺。

5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述引导单元包括设置在所述固定支架的水平部分的下表面上的引导凹部，并且引导凹部构造成将所述可动支架可滑动地连接到所述固定支架上。

6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述引导凹部包括：

第一引导部分，所述第一引导部分具有从固定支架水平部分向下延伸的相对垂直侧面；以及

第二引导部分，所述第二引导部分具有从第一引导部分的相对垂直侧面的相应最下端向外延伸的相对水平侧面、以及从其相应水平侧面的末端向下延伸的相对垂直侧面，使得第二引导部分的宽度大于第一引导部分的宽度，其中第二引导部分构造成可滑动地接收所述可动支架的上端。

7.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，引导凹部包括：

第一引导部分，所述第一引导部分具有从所述固定支架的水平部分向下延伸的相对垂直侧面、以及从其相对垂直侧面的相应最下端向内延伸的相对水平侧面；以及

第二引导部分，所述第二引导部分具有从第一引导部分相对水平侧面的相应末端向下延伸的相对垂直侧面，使第二引导部分的宽度小于第一引导部分的宽度，其中第一引导部分构造成可滑动地接收所述可动支架的上端。

8.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述引导凹部包括第一和第二引导部分，第一和第二引导部分设置在所述固定支架水平部分的相对侧，使第一和第二引导部分之间具有间隙，并且第一和第二引导部分分别包括沿其垂直侧面水平延伸的纵向槽，使得第一和第二引导部分的纵向槽彼此面对，并且所述纵向槽构造成可滑动地接收所述可动支架的相应边缘，以便可滑动地将所述可动支架连接到所述固定支架上。

9.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述可动支架包括：

上水平部分；

下水平部分；以及

从上水平部分的后边缘延伸到下水平部分的对应后边缘的垂直部分，所述垂直部分，其中张紧辊的第一端可旋转地连接到所述上水平部分，张紧辊的第二端可旋转地连接到所述下水平部分。

10.根据权利要求9所述的装置，其特征在于，张力控制单元包括：

调节螺钉，其构造成螺纹啮合地穿过所述固定支架的垂直部分中的对应孔，并且调节螺钉的远端构造成接触所述可动支架的垂直部分并对所述可动支架的垂直部分施加作用力，以使所述可动支架在所述固定支架的引导单元内滑动；以及

至少一个引导杆，其构造成穿过所述固定支架的垂直部分中对应的至少一个引导孔，并且所述至少一个引导杆的远端构造成接触所述可动支架的垂直部分、并且支撑和引导所述可动支架相对所述固定支架的移动。

11.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，刻度尺包括在其外表面上的刻度，并且所述刻度定位成显示所述可动支架相对所述固定支架的位置。

12.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，张紧辊包括从张紧辊的至少一个外周边缘径向向外延伸的至少一个突起部分，并且所述至少一个突起部分构造成支撑所述动力传动单元的同步带的边缘、以及保持同步带在张紧辊上的对准。

13.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，张紧辊在其中部通过从张紧辊的外周表面径向向外延伸的第一突起部分分开，并且张紧辊构造成保持与在所述突起部分上方的张紧辊上部上的动力传动单元的第一同步带的滚动接触、以及保持与在所述突起部分下方的张紧辊下部上的动力传动单元的第二同步带的滚动接触。

14.根据权利要求13所述的装置，其特征在于，张紧辊包括从张紧辊的第一外周边缘径向向外延伸的第二突起部分，并且第一和第二突起部分分别构造成支撑第一和第二同步带的相应边缘、并保持第一和第二同步带在张紧辊的上部和下部上的对准。

15.根据权利要求14所述的装置，其特征在于，还包括从张紧辊的第二外周边缘径向向外延伸的第三突起部分，其中，第一和第三突起部分构造成支撑第一和第二同步带的相应上边缘，第一和第二突起部分构造成支撑第一和第二同步带的相应下边缘，并且第一和第三突起部分构造成保持第一同步带在张紧辊上部上的对准，第一和第二突起部分构造成保持第二同步带在张紧辊下部上的对准。

16.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，动力传动单元包括围绕多个带轮延伸的至少一条同步带。

17.根据权利要求16所述的装置，其特征在于，张紧器连接到至少一条同步带上，使得张紧辊保持与同步带表面的滚动接触，以保持同步带中的预定大小的张力。

18.一种平板显示器制造设备，其特征在于，包括如权利要求1所述的装置。

19.一种平板显示器(FPD)制造设备，其特征在于，包括：

室主体；

设置在室主体中并且构造成在其上支撑基板的下电极组件；以及

设置在室主体下方的升降销驱动装置，其中升降销驱动装置构造成经室主体底部上的多个第一孔和下电极组件上的对应多个第二孔垂直地移动多个升降销，以升高和降低位于下电极组件上的基板。

20.根据权利要求19所述的设备，其特征在于，升降销驱动装置包括：

销板，多个升降销的下端固定到销板的上表面上；

驱动单元，所述驱动单元构造成垂直地移动销板，以穿过所述多个第一和第二孔升高和降低固定到销板上的多个升降销，从而升高和降低位于下电极组件上的基板，所述驱动单元包括：

构造成产生驱动力的驱动电动机；

多个带轮；

动力传动单元，所述动力传动单元构造成将驱动电动机产生的驱

动力传递到多个带轮，以使多个带轮旋转；以及

多个滚珠丝杠，所述滚珠丝杠与销板螺纹地配合并分别固定到多个带轮上，使得带轮和滚珠丝杠一起旋转，以便根据带轮和滚珠丝杠的旋转方向垂直地移动销板；以及

张紧器，所述张紧器连接到动力传动单元并用于控制动力传动单元的张力大小，所述张紧器包括：

固定支架；

可滑动地连接到所述固定支架的引导单元上的可动支架；

辊，所述辊可旋转地连接到所述可动支架上、并且定位成保持与动力传动单元的表面的滚动接触；以及

张力控制单元，所述张力控制单元构造成使所述可动支架在所述固定支架的引导单元内滑动，从而调节紧靠动力传动单元的表面的辊的位置、并调节动力传动单元中的张力大小。

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