CN104238158B - 一种升降装置以及升降系统 - Google Patents

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Abstract

本发明实施例公开了一种升降装置以及升降系统，其中该升降装置包括一承接机构，设置有导向孔；一升降针，贯穿于导向孔内；一承接底座，与升降针的下端连接固定，使得当承接底座在外力作用下向上移动时，升降针在导向孔内向上移动；一电磁控制装置，通过电磁控制线与承接底座连接，电磁控制装置用于通过电磁控制线向承接底座发送电磁控制信号，使得升降针在电磁控制信号控制下在导向孔内向下移动。本发明通过电磁控制装置在升降针下降时进行电磁吸附，以保证升降针能下降到原点位置，减少制程不良的问题以及破片风险。

Description

一种升降装置以及升降系统
【技术领域】
本发明涉及液晶显示面板制造技术领域，特别涉及一种升降装置以及升降系统。
【背景技术】
在TFT-LCD(薄膜晶体管液晶显示器，Thin Film Transistor-Liquid CrystalDisplay)制造行业当中，随着玻璃基板的面积越来越大，在进行面板制作过程中对玻璃的成膜效果要求也不断提高。
同时，在自动化集成设备流水线生产当中，由于市场对面板要求量变大，原材料玻璃基板越来越薄，随之在面板生产当中玻璃基板在制造设备内的Bending量也就越来越大，其中Bending量是指玻璃基板放在制造设备内时玻璃基板的下垂量。在Photo工艺过程当中包括光刻胶涂布单元(Coater)，软烘烤单元(Soft bake)，硬烘烤单元(Hard bake)使用升降针(Lift pin)支撑玻璃基板，升降针在玻璃基板承接机构的导向孔内进行上升和下降，以对玻璃基板涂布均匀光刻胶，且对光刻胶进行干燥、烘烤。
可是在实践中，发明人发现由于长时间生产，升降针在支撑玻璃基板时承受一定重量而发生轻微弯曲，而升降针弯曲容易与玻璃基板承接机构的导向孔内侧发生摩擦，在生产过程中因为与导向孔内侧摩擦而无法下降至原点位置，而造成产品制程不良或发生破片风险。
【发明内容】
本发明的目的在于提供一种升降装置以及升降系统，通过电磁控制装置在升降针下降时进行电磁吸附，以保证升降针能下降到原点位置，减少制程不良的问题以及破片风险。
为解决上述问题，本发明实施例的技术方案如下：
一种升降装置，其中包括：
一承接机构，设置有导向孔；
一升降针，贯穿于所述导向孔内；
一承接底座，与所述升降针的下端连接固定，使得当所述承接底座在外力作用下向上移动时，所述升降针在所述导向孔内向上移动；
一电磁控制装置，通过电磁控制线与所述承接底座连接，所述电磁控制装置用于通过所述电磁控制线向所述承接底座发送电磁控制信号，使得所述升降针在所述电磁控制信号控制下在所述导向孔内向下移动。
在上述升降装置中，所述承接机构还包括有设置于所述导向孔外围的支撑件，所述支撑件用于通过固定件将所述承接机构固定于基板承载平台的下方，所述基板承载平台用于承载玻璃基板。
在上述升降装置中，所述承接底座设置有固定螺母，所述升降针的下端呈螺栓型设置。
在上述升降装置中，所述固定螺母上具有设置于所述固定螺母外围的限位部件，用于对所述升降针向上移动的最大距离进行限制。
在上述升降装置中，所述承接底座和所述固定螺母均为金属材质。
为解决上述问题，本发明实施例还提供技术方案如下：
一种升降系统，其中包括基板承载平台和至少一个升降装置，所述基板承载平台，用于承载玻璃基板；所述升降装置，固定于所述基板承载平台的下方；
其中，所述升降装置包括：
一承接机构，设置有导向孔；
一升降针，贯穿于所述导向孔内；
一承接底座，与所述升降针的下端连接固定，使得当所述承接底座在外力作用下沿第一方向移动时，所述升降针在所述导向孔内向上移动；
一电磁控制装置，通过电磁控制线与所述承接底座连接，所述电磁控制装置用于通过所述电磁控制线向所述承接底座发送电磁控制信号，使得所述升降针在所述电磁控制信号控制下在所述导向孔内向下移动。
在上述升降系统中，所述承接机构还包括有设置于所述导向孔外围的支撑件，所述支撑件用于通过固定件将所述承接机构固定于基板承载平台的下方。
在上述升降系统中，所述承接底座设置有固定螺母，所述升降针的下端呈螺栓型设置。
在上述升降系统中，所述固定螺母上具有设置于所述固定螺母外围的限位部件，用于对所述升降针沿第一方向运动的最大距离进行限制。
在上述升降系统中，所述承接底座和所述固定螺母均为金属材质。
相对现有技术，本发明提供的升降装置以及升降系统，通过电磁控制装置在升降针下降时发送电磁控制信号，即对升降针以及承接底座进行电磁吸附，升降针以及承接底座的下降方式为重力和磁力牵引下降，从而保证升降针以及承接底座可下降至原点位置，减少显示器亮度不均匀等制程不良的问题以及破片的发生。
【附图说明】
下面结合附图，通过对本发明的具体实施方式详细描述，将使本发明的技术方案及其它有益效果显而易见。
图1为本发明实施例提供的一种升降装置的结构示意图；
图2为本发明实施例提供的一种升降系统的结构示意图。
【具体实施方式】
请参照图式，其中相同的组件符号代表相同的组件，本发明的原理是以实施在一适当的运算环境中来举例说明。以下的说明是基于所例示的本发明具体实施例，其不应被视为限制本发明未在此详述的其它具体实施例。
请参考图1，图1为本发明实施例提供的一种升降装置的结构的示意图；其中所述升降装置包括：
一承接机构10，设置有导向孔101；
一升降针11，贯穿于所述导向孔101内；
一承接底座12，与所述升降针11的下端连接固定，使得当所述承接底座12在外力作用下向上移动时，所述升降针11在所述导向孔101内向上移动；
一电磁控制装置13，通过电磁控制线与所述承接底座12连接，所述电磁控制装置13用于通过所述电磁控制线向所述承接底座12发送电磁控制信号，使得所述升降针11在所述电磁控制信号控制下在所述导向孔101内向下移动。
可如图1所示，所述升降针11的上半部分比下半部分要细，由于在所述升降针11支撑玻璃基板时承受一定重量而发生轻微弯曲，在所述导向孔101内进行升降移动时，所述升降针11的下半部分会与导向孔101内侧产生摩擦。
本发明通过在所述承接底座12连接一电磁控制装置13，所述电磁控制装置13向所述承接底座12发送电磁控制信号，所述升降针11在所述电磁控制信号的控制下在所述导向孔101内向下移动，也就是说，所述升降针11以及所述承接底座12的下降方式由物理上的重力下降转换为重力和磁力牵引下降，当所述升降针11上升时，电磁控制信号不发送，利用施加于所述承接底座12的外力进行上升，当所述升降针11下降时，通过电磁控制信号进行驱动，利用磁力吸附承接底座12，并带动所述升降针下降，其中，电磁控制装置13可以通过软件来控制电磁控制信号的产生和发送，此处不作赘述。
由上述可知，本发明实施例提供的升降装置，通过电磁控制装置在升降针11下降时发送电磁控制信号，即对升降针11以及承接底座12进行电磁吸附，升降针11以及承接底座12的下降方式为重力和磁力牵引下降，从而保证升降针以及承接底座可下降至原点位置(如图1所示所述升降针11处于原点位置)，减少显示器亮度不均匀等制程不良的问题以及破片的发生。
进一步的，所述承接机构10还包括有设置于所述导向孔101外围的支撑件102，所述支撑件102用于通过固定件将所述承接机构10固定于基板承载平台100的下方，所述基板承载平台100用于承载玻璃基板(图中未标示)。
可以理解的是，所述基板承载平台100上设置了多个通孔，其中，该通孔与设置于所述基板承载平台100下方的承接机构10的导向孔101相对应，其中，所述基板承载平台100的上方承载玻璃基板，当多个所述升降针11同时上升或下降时，会穿过所述通孔，带动上方的玻璃基板进行上升和下降。
如图1所示，更进一步的，所述承接底座12设置有固定螺母121，所述升降针11的下端呈螺栓型设置。也就是说，所述承接底座12与所述升降针11通过螺母和螺栓的相配合的方式进行固定。
优选的，所述固定螺母121上还可以具有设置于所述固定螺母121外围的限位部件122，用于对所述升降针11向上移动的最大距离进行限制。优选的，本实施例中，所述承接底座12、所述固定螺母121以及所述限位部件122均为金属材质。
由上述可知，本发明实施例提供的升降装置，通过电磁控制装置13在升降针11下降时进行电磁吸附，也就是说，所述升降针11以及所述承接底座12的下降方式为重力和磁力牵引下降，即使所述升降针11在支撑到玻璃时承受一定重量而发生轻微弯曲，也保证升降针11以及所述承接底座12下降至原点位置(如图1所示所述升降针11处于原点位置)，减少出现制程不良的问题(如显示器亮度不均匀,造成各种痕迹的现象)和破片的发生。
为便于更好的实施本发明实施例提供的升降装置，本发明实施例还提供一种包含所述升降装置的系统。其中名词的含义与上述升降装置中相同，具体实现细节可以参考升降装置实施例中的说明。
请参考图2，图2为本发明提供的升降系统200的结构示意图，所述升降系统200包括基板承载平台201和至少一个升降装置202，所述基板承载平台201用于承载玻璃基板，所述升降装置202，固定于所述基板承载平台201的下方；其中，所述升降装置202采用上述实施例提供的升降装置，可一并参考图1，所述升降装置202包括：
一承接机构10，设置有导向孔101；
一升降针11，贯穿于所述导向孔101内；
一承接底座12，与所述升降针11的下端连接固定，使得当所述承接底座12在外力作用下向上移动时，所述升降针11在所述导向孔101内向上移动；
一电磁控制装置13，通过电磁控制线与所述承接底座12连接，所述电磁控制装置13用于通过所述电磁控制线向所述承接底座12发送电磁控制信号，使得所述升降针11在所述电磁控制信号控制下在所述导向孔101内向下移动。
可如图1所示，所述升降针11的上半部分比下半部分要细，由于在所述升降针11支撑玻璃基板时承受一定重量而发生轻微弯曲，在所述导向孔101内进行升降移动时，所述升降针11的下半部分会与导向孔101内侧产生摩擦。
本发明通过在所述承接底座12连接一电磁控制装置13，所述电磁控制装置13向所述承接底座12发送电磁控制信号，所述升降针11在所述电磁控制信号的控制下在所述导向孔101内向下移动，也就是说，所述升降针11以及所述承接底座12的下降方式由物理上的重力下降转换为重力和磁力牵引下降，当所述升降针11上升时，电磁控制信号不发送，利用施加于所述承接底座12的外力进行上升，当所述升降针11下降时，通过电磁控制信号进行驱动，利用磁力吸附承接底座12，并带动所述升降针下降，其中，电磁控制装置13可以通过软件来控制电磁控制信号的产生和发送，此处不作赘述。
进一步的，所述承接机构10还包括有设置于所述导向孔101外围的支撑件102，所述支撑件102用于通过固定件将所述承接机构10固定于基板承载平台100的下方，所述基板承载平台100用于承载玻璃基板(图中未标示)。
可以理解的是，所述基板承载平台100上设置了多个通孔，其中，该通孔与设置于所述基板承载平台100下方的承接机构10的导向孔101相对应，其中，所述基板承载平台100的上方承载玻璃基板，当多个所述升降针11同时上升或下降时，会穿过所述通孔，带动上方的玻璃基板进行上升和下降。
如图1所示，更进一步的，所述承接底座12设置有固定螺母121，所述升降针11的下端呈螺栓型设置。也就是说，所述承接底座12与所述升降针11通过螺母和螺栓的相配合的方式进行固定。
优选的，所述固定螺母121上还可以具有设置于所述固定螺母121外围的限位部件122，用于对所述升降针11向上移动的最大距离进行限制。优选的，本实施例中，所述承接底座12、所述固定螺母121以及所述限位部件122均为金属材质。
由上述可知，本发明实施例提供的升降系统200，包括多个升降装置，通过电磁控制装置13在升降针11下降时进行电磁吸附，也就是说，所述升降针11以及所述承接底座12的下降方式为重力和磁力牵引下降，即使所述升降针11在支撑到玻璃时承受一定重量而发生轻微弯曲，也保证升降针11以及所述承接底座12下降至原点位置(如图1所示所述升降针11处于原点位置)，减少出现制程不良的问题(如显示器亮度不均匀,造成各种痕迹的现象)和破片的发生。
在上述实施例中，对各个实施例的描述都各有侧重，某个实施例中没有详述的部分，可以参见上文相关的详细描述，此处不再赘述。
本领域技术人员将认识到，本文所使用的词语“优选的”意指用作实例、示例或例证。奉文描述为“优选的”任意方面或设计不必被解释为比其他方面或设计更有利。相反，词语“优选的”的使用旨在以具体方式提出概念。如本申请中所使用的术语“或”旨在意指包含的“或”而非排除的“或”。即，除非另外指定或从上下文中清楚，“X使用101或102”意指自然包括排列的任意一个。即，如果X使用101；X使用102；或X使用101和102二者，则“X使用101或102”在前述任一示例中得到满足。
而且，尽管已经相对于一个或多个实现方式示出并描述了本公开，但是本领域技术人员基于对本说明书和附图的阅读和理解将会想到等价变型和修改。本公开包括所有这样的修改和变型，并且仅由所附权利要求的范围限制。特别地关于由上述组件(例如元件、资源等)执行的各种功能，用于描述这样的组件的术语旨在对应于执行所述组件的指定功能(例如其在功能上是等价的)的任意组件(除非另外指示)，即使在结构上与执行本文所示的本公开的示范性实现方式中的功能的公开结构不等同。此外，尽管本公开的特定特征已经相对于若干实现方式中的仅一个被公开，但是这种特征可以与如可以对给定或特定应用而言是期望和有利的其他实现方式的一个或多个其他特征组合。而且，就术语“包括”、“具有”、“含有”或其变形被用在具体实施方式或权利要求中而言，这样的术语旨在以与术语“包含”相似的方式包括。
综上所述，虽然本发明已以优选实施例揭露如上，但上述优选实施例并非用以限制本发明，本领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与润饰，因此本发明的保护范围以权利要求界定的范围为准。

Claims (10)

1.一种升降装置，其特征在于，包括：
一承接机构，设置有导向孔；
一升降针，贯穿于所述导向孔内；
一承接底座，与所述升降针的下端连接固定，使得当所述承接底座在外力作用下向上移动时，所述升降针在所述导向孔内向上移动；
一电磁控制装置，通过电磁控制线与所述承接底座连接，所述电磁控制装置用于通过所述电磁控制线向所述承接底座发送电磁控制信号，使得所述升降针在所述电磁控制信号控制下在所述导向孔内向下移动，通过所述电磁控制装置在所述升降针下降时进行电磁吸附，以保证升降针下降到原点位置。
2.根据权利要求1所述的升降装置，其特征在于，所述承接机构还包括有设置于所述导向孔外围的支撑件，所述支撑件用于通过固定件将所述承接机构固定于基板承载平台的下方，所述基板承载平台用于承载玻璃基板。
3.根据权利要求1所述的升降装置，其特征在于，所述承接底座设置有固定螺母，所述升降针的下端呈螺栓型设置。
4.根据权利要求3所述的升降装置，其特征在于，所述固定螺母上具有设置于所述固定螺母外围的限位部件，用于对所述升降针向上移动的最大距离进行限制。
5.根据权利要求4所述的升降装置，其特征在于，所述承接底座、所述固定螺母以及所述限位部件均为金属材质。
6.一种升降系统，其特征在于，包括基板承载平台和至少一个升降装置；
所述基板承载平台，用于承载玻璃基板；
所述升降装置，固定于所述基板承载平台的下方；
其中，所述升降装置包括：
一承接机构，设置有导向孔；
一升降针，贯穿于所述导向孔内；
一承接底座，与所述升降针的下端连接固定，使得当所述承接底座在外力作用下沿第一方向移动时，所述升降针在所述导向孔内向上移动；
一电磁控制装置，通过电磁控制线与所述承接底座连接，所述电磁控制装置用于通过所述电磁控制线向所述承接底座发送电磁控制信号，使得所述升降针在所述电磁控制信号控制下在所述导向孔内向下移动，通过所述电磁控制装置在所述升降针下降时进行电磁吸附，以保证升降针下降到原点位置。
7.根据权利要求6所述的升降系统，其特征在于，所述承接机构还包括有设置于所述导向孔外围的支撑件，所述支撑件用于通过固定件将所述承接机构固定于基板承载平台的下方。
8.根据权利要求6所述的升降系统，其特征在于，所述承接底座设置有固定螺母，所述升降针的下端呈螺栓型设置。
9.根据权利要求8所述的升降系统，其特征在于，所述固定螺母上具有设置于所述固定螺母外围的限位部件，用于对所述升降针沿第一方向运动的最大距离进行限制。
10.根据权利要求9所述的升降系统，其特征在于，所述承接底座、所述固定螺母以及所述限位部件均为金属材质。
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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105242414B (zh) * 2015-09-09 2018-04-27 京东方科技集团股份有限公司 一种平面基台和基板不良修复机
TWI749231B (zh) * 2017-05-25 2021-12-11 日商日本碍子股份有限公司 晶圓基座
KR102640172B1 (ko) 2019-07-03 2024-02-23 삼성전자주식회사 기판 처리 장치 및 이의 구동 방법

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101047143A (zh) * 2006-03-31 2007-10-03 东京毅力科创株式会社 基板载置台和基板处理装置
CN101202239A (zh) * 2006-12-11 2008-06-18 爱德牌工程有限公司 升降销驱动装置以及具有该装置的制造设备
JP2010016342A (ja) * 2008-06-30 2010-01-21 Advanced Display Process Engineering Co Ltd 平板表示素子製造装置のリフトピンモジュール
JP2010251769A (ja) * 2010-05-24 2010-11-04 Olympus Corp 基板保持装置及び基板の保持方法
CN102460650A (zh) * 2009-06-24 2012-05-16 佳能安内华股份有限公司 真空加热/冷却装置及磁阻元件的制造方法

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001332609A (ja) 2000-03-13 2001-11-30 Nikon Corp 基板保持装置及び露光装置
JP2002212729A (ja) * 2001-01-17 2002-07-31 Hitachi Kokusai Electric Inc 基板処理装置および半導体装置の製造方法
JP2003045944A (ja) 2001-07-27 2003-02-14 Canon Inc 基板保持装置、基板受渡し方法とこれを用いた露光装置、及びデバイスの製造方法
US7531039B2 (en) * 2002-09-25 2009-05-12 Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. Substrate processing apparatus and substrate processing system
JP4545681B2 (ja) 2005-12-01 2010-09-15 日本メクトロン株式会社 板状ワークの吸着搬送装置および搬送方法
US20080108154A1 (en) * 2006-11-03 2008-05-08 Hyoung Kyu Son Apparatus and method for measuring chuck attachment force
KR101125430B1 (ko) * 2009-09-04 2012-03-28 주식회사 디엠에스 피처리물의 디척킹과 함께 반응 챔버 내부 및 정전 척의 드라이 클리닝을 실행하는 플라즈마 반응기의 피처리물 디척킹 장치 및 방법
CN201924076U (zh) 2010-12-29 2011-08-10 四川虹欧显示器件有限公司 一种玻璃基板支撑系统
JP2013142186A (ja) 2012-01-12 2013-07-22 Toppan Printing Co Ltd 緩衝材付きマグネットボード
JP6001896B2 (ja) * 2012-03-27 2016-10-05 株式会社Ｓｃｒｅｅｎセミコンダクターソリューションズ 基板洗浄装置およびそれを備えた基板処理装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101047143A (zh) * 2006-03-31 2007-10-03 东京毅力科创株式会社 基板载置台和基板处理装置
CN101202239A (zh) * 2006-12-11 2008-06-18 爱德牌工程有限公司 升降销驱动装置以及具有该装置的制造设备
JP2010016342A (ja) * 2008-06-30 2010-01-21 Advanced Display Process Engineering Co Ltd 平板表示素子製造装置のリフトピンモジュール
CN102460650A (zh) * 2009-06-24 2012-05-16 佳能安内华股份有限公司 真空加热/冷却装置及磁阻元件的制造方法
JP2010251769A (ja) * 2010-05-24 2010-11-04 Olympus Corp 基板保持装置及び基板の保持方法

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