CN115446744A - 升降驱动组件 - Google Patents

Abstract

本发明的一实施例公开一种升降驱动组件，包括：一个以上的升降销，其配置为与被处理件重叠以便能够支撑被处理件；一个以上的夹持部，其配置为与所述升降销间隔开；运动部，其形成为共同地连接所述升降销及所述夹持部，并且进行上升及下降运动；以及驱动部，其配置为以向所述运动部提供驱动力。

Description

升降驱动组件

技术领域

本发明涉及一种升降驱动组件。

背景技术

随着技术的发展，多种电气、电子器件被制造和使用，并且这样的电子器件可以通过多样的工艺形成电气或电子特性。

此外，在形成这样的电气或电子特性的多样的工艺中，利用采用气体或等离子体处理的半导体工艺。

在这样的半导体工艺中，使用用于被处理件的配置、支撑或其他多种操作的被处理件的升降用部件。

另一方面，随着对这样的被处理件的工艺的复杂化和多样化，在精密地进行用于被处理件的升降的部件的控制、设计及配置方面存在局限性。

发明内容

技术问题

本发明可以提供一种能够精密地控制驱动，并且提高了空间利用特性及设计特性的升降驱动组件。

技术方案

本发明的实施例的升降驱动组件包括：一个以上的升降销，其配置为与被处理件重叠以便支撑被处理件；一个以上的夹持部，其配置为与所述升降销间隔开；运动部，其形成为共同地连接升降销及夹持部，并且进行上升及下降运动；多个驱动部，其以向运动部提供驱动力的方式连接于运动部，并且配置为彼此间隔开；驱动连接部件，其形成为连接配置为多个的驱动部；以及多个导向支撑部件，其形成为控制驱动连接部件的路径及配置。

根据实施例，驱动连接部件具有与所有的多个驱动部共同地连接并一起运动的单一形态，多个导向支撑部件至少配置于多个驱动部中彼此相邻的两个驱动部之间，并且被配置为使连接于彼此相邻的两个驱动部的驱动连接部件形成弯曲的形态的路径。

根据实施例，其特征在于，运动部形成为至少具有隔着内侧的隔开空间配置于两侧的区域。

根据实施例，夹持部和升降销分别配置于设置在运动部的两侧的区域。

根据实施例，设置于运动部的两侧的区域形成为彼此连接。

根据实施例，驱动部配置为与隔开空间未重叠。

根据实施例，驱动部包括进行旋转运动的旋转部件的形态。

根据实施例，将旋转运动的驱动力传递至运动部。

根据实施例，包括驱动供给源，其与驱动连接部件单独设置，并且与驱动连接部件连接以向单一形态的驱动连接部件提供旋转力。

根据实施例，驱动供给源与多个驱动部及运动部区分开，并且配置为与多个驱动部及运动部间隔开。

根据实施例，驱动供给源包括旋转部件。

根据实施例，旋转部件形成为与单一形态的驱动连接部件直接接触而连接，以使旋转部件的旋转力被传递至单一形态的驱动连接部件。

根据实施例，驱动连接部件配置于运动部与被处理件之间，并且配置为以升降销或夹持部的长度方向为基准与一区域重叠。

根据实施例，导向支撑部件配置于运动部与被处理件之间，并且配置为以升降销或夹持部的长度方向为基准与一区域重叠。

根据实施例，还包括分别配置于运动部的上侧和下侧的盖单元和底座单元。

根据实施例，运动部在盖单元与底座单元之间运动。

根据实施例，驱动部以与盖单元和底座单元连接的方式配置于盖单元与底座单元之间。

根据实施例，驱动连接部件配置于盖单元与底座单元之间。

根据实施例，导向支撑部件连接于盖单元或底座单元的一面。

除前已述及之外的其他方面、特征和优点将从以下附图、权利要求书及发明的详细描述中变得清楚。

发明的效果

本发明的升降驱动组件能够容易地提高排气特性。

附图说明

图1是示出本发明的一实施例的升降驱动组件的示意性的剖视图。

图2是示例性地扩大而示出图1的升降驱动组件的一区域的图。

图3至图5是示出本发明的一实施例的升降驱动组件的运动部的多样的示例的图。

图6是用于说明本发明的一实施例的升降驱动组件的驱动部的一示例而示出的图。

图7和图8是示出图1的升降驱动组件的驱动的示例的图。

图9是图1的升降驱动组件的示例性的立体图。

图10是示出为了说明图9而去除一区域的状态的图。

图11是从图10的一个方向观察的平面图。

附图标记

100：升降驱动组件，110A：第一升降销，110B：第二升降销，110C：第三升降销，111：下侧部件，112：上侧部件，112H：扩张部，120A：第一夹持部，120B：第二夹持部，120C：第三夹持部，121：延伸部，122：固定部，130：运动部，130B：连接区域，131：第一区域，132：第二区域，133：第三区域，150：驱动部，SPC：配置单元，TS：被处理件，SA：隔开空间，BTU：底座单元，TPU：盖单元，DBT：驱动连接部件，DMT：驱动供给源，DAS：旋转部件，AST：导向支撑部件，SPH：贯通部，SPT：卡止部。

具体实施方式

下面参照附图中所示的本发明的实施例对本发明的构思和作用进行详细描述。

本发明可以被施加多样的变形并且可以具有多种实施例，特定实施例在附图中示出并在详细的说明中进行详细描述。本发明的效果、特征以及达成其的方法将通过参照结合附图详细后述的实施例而变得清楚。但是，本发明不限于以下公开的实施例，而是可以被实现为多样的形态。

下面参照附图对本发明的实施例进行详细描述，当参照附图进行描述时，相同或对应的构成要素被赋予相同的附图标记，并且省略对其的重复描述。

在以下实施例中，第一、第二等术语并非用于限制性的含义，而是出于将一个构成要素与另一个构成要素区分开来的目的使用的。

在以下实施例中，除非上下文明确不同地定义，单数的表达包括复数的表达。

在以下实施例中，包括或具有等术语意指存在说明书上记载的特征或构成要素，而非预先排除附加一个以上的其他特征或构成要素的可能性。

图中，为便于描述，构成要素的尺寸可能被夸大或缩小。例如，为了便于说明，图中所示的各构件的尺寸和厚度是任意示出的，因而本发明不必限定于图示的情况。

在以下实施例中，x轴、y轴和z轴不限于正交坐标系上的三个轴，而是可以被解释为包括其的宽泛的含义。例如，x轴、y轴和z轴可以彼此正交，但也可以指代彼此不同的方向。

当某种实施例不同地实现时，特定的工艺顺序也可以与所描述的顺序不同地执行。例如，连续描述的两个工艺既可以在实质上同时执行，也可以以与所描述的顺序相反的顺序进行。

图1是示出本发明的一实施例的升降驱动组件的示意性的剖视图，图2是示例性地扩大而示出图1的升降驱动组件的一区域的图。

本实施例的升降驱动组件100可以包括一个以上的升降销110A、110B、一个以上的夹持部120A、120B、运动部130以及驱动部150。

作为一示例当，当配置一个以上的升降销110A、110B以及一个以上的夹持部120A、120B时，一个以上的夹持部120A、120B可以相较于一个以上的升降销110A、110B配置于外侧。作为具体示例，一个以上的夹持部120A、120B可以被配置为比一个以上的升降销110A、110B更远离被处理件TS的中心。

本申请发明中记载的升降驱动组件100可以用于多种用途。可以用于通过引入一种以上的气体对诸如包括晶圆的基板的被处理件TS进行半导体工艺的用途，并且可以应用于蚀刻工艺、清洗工艺、灰化工艺、蒸镀工艺或离子注入工艺等多种领域。

此外，作为一示例，被处理件TS可以包括搭载基板的托盘。

被处理件TS可以配置于配置单元SPC。例如，配置单元SPC的上面可以具有支撑被处理件TS的形态。作为具体示例，配置单元SPC可以是支撑被处理件TS的卡盘。

一个以上的升降销110A、110B可以形成为支撑被处理件TS。例如，一个以上的升降销110A、110B可以配置在与被处理件TS重叠的位置，并且形成为至少在规定时间点，作为具体示例，在为了搬入或搬出被处理件TS而使被处理件TS与配置单元SPC间隔开的上升运动时，支撑被处理件TS的下面。

一个以上的升降销110A、110B可以具有多个销，例如，可以包括配置为彼此间隔开的第一升降销110A和第二升降销110B。作为具体示例，第一升降销110A和第二升降销110B可以配置为隔着位于运动部130的内侧的隔开空间SA彼此对置。

作为可选实施例，第一升降销110A和第二升降销110B可以配置为隔着包括被处理件TS的中心的区域彼此对置，作为一示例，也可以配置于以被处理件TS的中心为基准对称的位置。

一个以上的升降销110A、110B可以具有能够支撑被处理件TS的多样的形态，例如，可以具有一端连接于运动部130并且在从运动部130朝向被处理件TS的方向上较长地延伸的结构。

此外，一个以上的升降销110A、110B可以配置为在支撑被处理件TS时可以对应和重叠于配置单元SPC，例如贯通配置单元SPC。

作为可选实施例，一个以上的升降销110A、110B可以分别形成为具有配置为彼此区分开且间隔开的两个部件。例如，第一升降销110A或第二升降销110B可以包括下侧部件111和上侧部件112，下侧部件111可以连接于运动部130，上侧部件112可以配置于下侧部件111的上侧中与下侧部件111区分开且重叠的位置。从而，在运动部130运动时，例如下降时，下侧部件111与上侧部件112之间可以间隔开，并且在运动部130上升时，下侧部件111可以与上侧部件112接触而一体地运动。

为了这样的配置中的运动，一个以上的升降销110A、110B以及配置单元SPC可以具有多种示例性配置的变化，作为具体示例，如图2所示，配置单元SPC可以包括从下端向上延伸而形成的贯通部SPH和连接于贯通部SPH的卡止部SPT。例如，卡止部SPT可以形成为具有宽度大于贯通部SPH的区域，并且呈具有台阶的形态。

可以在一个以上的升降销110A、110B的上侧部件112的上端形成扩张部112H，扩张部112H可以具有宽度大于上侧部件112的其他区域，例如与扩张部112H的下侧相邻的区域的形态。由此，上侧部件112的扩张部112H可以被卡止部SPT支撑，并且可以在下侧部件111不支撑上侧部件112而是下侧部件111与上侧部件112间隔开的状态下使上侧部件112维持位置。

一个以上的夹持部120A、120B可以形成为能够固定被处理件TS。例如，一个以上的夹持部120A、120B可以形成为一区域能够支撑被处理件TS的上面，作为具体示例，被处理件TS的面中朝向配置单元SPC的面的相反面。

为此，一个以上的夹持部120A、120B可以具有多样的形态结构，例如，可以分别形成为包括延伸部121和固定部122。

一个以上的夹持部120A、120B各自的延伸部121形成为一端连接于运动部130。

一个以上的夹持部120A、120B各自的固定部122可以形成为连接于延伸部121，并且使固定部122的至少一区域朝向被处理件TS的上面的一区域，例如，可以形成为使固定部122的一区域与被处理件TS的上面接触或向上面施加压力。

作为可选实施例，一个以上的夹持部120A、120B各自的固定部122可以为了有效地支撑被处理件TS而具有相互连接的形态，例如，可以具有共同地对应于一个以上的夹持部120A、120B的方式延伸的形态，作为具体示例，也可以形成为包括与环相似的形态(例如，如图9所示)。

可以通过一个以上的夹持部120A、120B对被处理件TS的上面接触施加或压力，并且可以容易地执行对被处理件TS的适当的固定的过程。

一个以上的夹持部120A、120B可以具有多个夹持部，例如，包括配置为彼此间隔开的第一夹持部120A和第二夹持部120B。作为具体示例，第一夹持部120A和第二夹持部120B可以配置为隔着位于运动部130的内侧的隔开空间SA彼此对置。

作为可选实施例，第一夹持部120A和第二夹持部120B可以配置为隔着包括被处理件TS的中心的区域彼此对置，作为一示例，也可以配置于以被处理件TS的中心为基准对称的位置。

此外，作为一示例，一个以上的夹持部120A、120B可以配置为与一个以上的升降销110A、110B间隔开，作为具体示例，一个以上的夹持部120A、120B可以配置为与配置单元SPC间隔开，并且形成为使至少延伸部121配置于配置单元SPC的周边。

运动部130可以形成为使一个以上的升降销110A、110B以及一个以上的夹持部120A、120B共同的地连接，例如，可以配置为使一个以上的升降销110A、110B以及一个以上的夹持部120A、120B与运动部130重叠。

由此，在运动部130运动时，例如在朝向配置单元SPC的方向上的上升以及在远离其的方向上的下降运动时，可以使一个以上的升降销110A、110B以及一个以上的夹持部120A、120B同时运动，例如，可以控制为使其进行上升和下降运动。

运动部130可以具有多样的形态，例如，可以以具有与一个以上的升降销110A、110B以及一个以上的夹持部120A、120B重叠的区域的方式具有与板相似的形态，由此可以提高上升及下降运动时的精密的控制特性。

此外，作为可选实施例，运动部130可以形成为在与之相邻的区域，例如内侧的区域定义隔开空间SA，这样的隔开空间SA可以对应于运动部130的区域不存在而空着的空间。作为具体示例，隔开空间SA可以具有与包括配置单元SPC的中心点的区域未重叠的形态。

图3至图5是示出本发明的一实施例的升降驱动组件的运动部的多样的示例的图。

例如，图3是从图1的K方向观察的平面图，为便于说明，除运动部130外的其他部件可以未示出。

参照图3，运动部130可以包括配置为隔着隔开空间SA彼此对置的第一区域131和第二区域132，第一升降销110A和第一夹持部120A可以连接于第一区域131，第二升降销110B和第二夹持部120B可以连接于第二区域132。

此外，作为可选实施例，如图4所示，可以包括连接区域130B，该连接区域130B连接配置为隔着运动部130的隔开空间SA彼此对置的第一区域131和第二区域132。通过这种结构，可以有效地控制运动部130的运动，例如，可以精密地控制为使其在维持水平状态的情况下进行上升和下降运动。

此外，作为另一可选实施例，参照图5，运动部130可以包括被配置为隔着隔开空间SA彼此对置的第一区域131和第二区域132，并且包括在第一区域131与第二区域132之间连接第一区域131和第二区域132的第三区域133。例如，可以具有在隔开空间SA的周边配置有第一区域131、第二区域132以及第三区域133的形态。作为具体示例，隔开空间SA可以被运动部130包围，并且可以具有在第一区域131的一侧和第二区域132的一侧彼此对置的区域开放的形态。

一个以上的升降销110A、110B、110C以及一个以上的夹持部120A、120B、120C可以以彼此间隔开的方式配置于第一区域131、第二区域132及第三区域133。作为具体示例，配置为使第一升降销110A和第一夹持部120A连接于第一区域131，且配置为使第二升降销110B和第二夹持部120B连接于第二区域132，并且配置为使第三升降销110C和第三夹持部120C连接于第三区域133。

通过这种配置，可以增大提高运动部130的运动的平衡感的效果。

作为可选实施例，可以在以运动部130上升及下降运动时的重心点为基准对称的位置配置第一升降销110A、第二升降销110B及第三升降销110C，并且在以重心点为基准对称的位置配置第一夹持部120A、第二夹持部120B及第三夹持部120C。

此外，作为可选实施例，可以在以运动部130上升及下降运动时的配置单元SPC的重心点为基准对称的位置配置第一升降销110A、第二升降销110B及第三升降销110C，并且在以配置单元SPC的重心点为基准对称的位置配置第一夹持部120A、第二夹持部120B及第三夹持部120C。

作为可选实施例，隔开空间SA可以是形成流路以使一种以上的气体通过的区域，例如，可以对应于排气流路。作为具体示例，可以是对应于在对被处理件TS的一种以上的处理时使用的一种以上的气体通过的流动的区域。

由此，可以在利用升降驱动组件100的被处理件TS的处理过程中容易地形成排气流路，例如，向下排气，作为具体示例，可以容易地形成在与被处理件TS重叠且远离被处理件TS的下面的方向上的排气流路，并且与这样的排气流路的形成一同促进运动部130的驱动控制。

由此，可以将一个以上的升降销(示例性地，图5的110A、110B、110C)及一个以上的夹持部(示例性地，图5的120A、120B、120C)容易地配置于运动部130，并在减少或防止对朝下方的排气流路的干涉的情况下，控制用于被处理件TS的处理的运动，具体地，一个以上的升降销110A、110B、110C以及一个以上的夹持部120A、120B、120C的安全且精密的上升运动及下降运动。

驱动部150可以形成为向运动部130提供驱动力。驱动部150可以提供驱动力以使运动部130的上升运动及下降运动，例如，向靠近配置单元SPC的方向及其相反方向的运动顺畅，并且可以以多种方法提供驱动力。

作为一示例，驱动部150可以形成为与一个以上的电机部件连接或者包括电机部件以向运动部130传递驱动力。

作为可选实施例，驱动部150可以通过利用旋转驱动力使运动部130进行上升及下降运动，例如，驱动部150可以以进行旋转运动的形式将驱动力传递至运动部130，作为一示例，也可以具有包括螺丝部件的形态。

此外，作为具体示例，驱动部150可以具有配置于多个彼此间隔开的位置并且形成为分别旋转运动的形态，并且可以将通过这样的多个旋转运动的驱动力传递至运动部130以使运动部130运动。

此外，作为一示例，驱动部150可以通过利用诸如带或链的连续驱动连接式部件向运动部130传递驱动力来控制运动部130的精密的运动。

图6是为了说明本发明的一实施例的升降驱动组件的驱动部的一示例而示出的图。

参照图6，驱动部150可以包括形成为沿旋转方向R1旋转运动的形态，作为一示例，可以至少在驱动部150的外面的一区域中对应于运动部130的面上形成螺丝部件的形态。

将通过驱动部150的旋转方向R1及其反方向上的运动的驱动力传递至运动部130，可以使运动部130进行上升运动或下降运动。驱动部150可以配置为与运动部130重叠或配置为贯通运动部130，以将通过驱动部150的旋转的驱动力有效地传递至运动部130。

此外，作为具体示例，驱动部150可以在连接于底座单元BTU的状态下进行运动，并且，在驱动部150旋转运动时，驱动部150和底座单元BTU可以在不进行上升及下降运动的状态下使连接于驱动部150的运动部130进行上升及下降运动，由此可以减少或防止运动部130运动时不必要的振动或晃动，以提高精密的运动控制特性。

此时，驱动部150可以与运动部130重叠。此外，驱动部150和底座单元BTU可以配置为至少与隔开空间(例如，图2至图5的SA)未重叠。

由此，在本实施例的升降驱动组件100中，一个以上的升降销110A、110B、110C以及一个以上的夹持部120A、120B、120C可以增大减少或防止通过运动部130的运动而上升和下降时对朝下方的排气流路的干涉的效果。

图7和图8是示出图1的升降驱动组件的驱动示例的图。为便于说明，在图7和图8中省略了被处理件TS和驱动部150。

参考图7，运动部130上升运动D1的量，随之一个以上的夹持部120A、120B可以上升，从而与配置单元SPC具有间距H1，并且一个以上的升降销110A、110B的下侧部件111及上侧部件112可以连接。

参考图8，运动部130上升D2的量，其中D2可以具有大于图7的D1的值。相应地，一个以上的夹持部120A、120B上升而与配置单元SPC具有间距H2，间距H2可以是大于图7的间距H1的值。此时，一个以上的升降销110A、110B的上侧的一区域，例如包括上侧部件112的端部的区域可以向配置单元SPC的上部凸出，从而可以容易地执行对被处理件TS的支撑及升降。

图9是图1的升降驱动组件的示例性的立体图。

图10是示出为了说明图9而去除一区域的状态的图，图11是从图10的一个方向观察的平面图。

参照图9，升降驱动组件100可以包括盖单元TPU、底座单元BTU、运动部130以及驱动部150。为便于说明，图10是去除盖单元TPU、底座单元BTU及固定部122而进行图示的，图11是去除盖单元TPU而进行图示的。

此外，为了便于说明，被处理件或配置单元未被示出，并省略对其的具体说明。

运动部130可以进行上升及下降运动，例如可以在图9和图10的Z轴方向上运动。作为具体示例，运动部130可以在盖单元TPU与底座单元BTU之间运动，并且可以在沿多个驱动部150连接于驱动部150的状态下运动。

运动部130可以是隔着隔开空间SA围绕至少两侧的形态，作为具体示例，可以具有包围隔开空间SA且一侧区域开放的形态，并且形成为使一侧的开放的区域与隔开空间SA连接。由此可以容易地形成对应于隔开空间SA的朝下方的排气流路，并且可以提高向隔开空间SA的接近性及管理的便利性。

作为可选实施例，运动部130可以形成为定义与四边形相似的隔开空间SA，例如，可以具有在两侧有彼此平行的内边缘的区域以及连接两者的区域，作为具体示例，也可以形成为具有与

字相似的形态的一区域。

可以配置为使一个以上的升降销110A、110B、110C以及一个以上的夹持部120A、120B、120C连接于运动部130的彼此不同的多个区域，例如，可以配置为与运动部130重叠。通过运动部130的上升及下降运动，一个以上的升降销110A、110B、110C以及一个以上的夹持部120A、120B、120C可以同时容易地执行上升及下降运动。

当在运动部130配置导一个以上的升降销110A、110B、110C以及一个以上的夹持部120A、120B、120C时，可以配置在包围隔开空间SA的位置，例如，可以在一侧中彼此相邻的位置配置第一升降销110A和第一夹持部120A，并在隔着隔开空间SA彼此面对的另一侧中彼此相邻的位置配置第二升降销110B和第二夹持部120B。

另外，在运动部130的区域中在配置有第一升降销110A和第一夹持部120A的区域与配置有第二升降销110B和第二夹持部120B的区域之间连接两个区域且弯曲的区域配置第三升降销110C和第三夹持部120C。

作为可选实施例，一个以上的升降销110A、110B、110C可以分别配置为以一区域，例如配置单元SPC的中心点为基准位于相同的距离处。此外，作为可选实施例，一个以上的升降销110A、110B、110C可以分别配置在三角形，作为具体示例，相似于正三角形的平面上。

此外，作为另一示例，一个以上的夹持部120A、120B、120C可以分别配置为以一区域，例如配置单元SPC的中心点为基准位于相同的距离处。此外，作为可选实施例，一个以上的夹持部120A、120B、120C可以配置在三角形，作为具体示例，相似于正三角形的平面上。

运动部130可以通过驱动部150可以上升及下降运动。驱动部150可以以多样的方式向运动部130传递驱动力，例如，驱动部150可以具有进行旋转运动的形态，作为具体示例，可以是配置为彼此间隔开且至少在侧面具有螺纹的螺丝部件类型。

作为一示例，可以配置有多个驱动部150，作为具体示例，彼此间隔开的三个驱动部150，并且可以具有分别进行旋转运动的形态，并且每个驱动部150可以是在至少与运动部130对应的侧面的一区域形成有螺纹面的螺丝部件类型。

三个驱动部150可以配置为连接于运动部130且与运动部130重叠。驱动部150可以配置为与至少一个以上的升降销110A、110B、110C以及一个以上的夹持部120A、120B、120C分别间隔开，以顺畅地维持一个以上的升降销110A、110B、110C以及一个以上的夹持部120A、120B、120C各自的运动。

多个驱动部150可以配置于多样的位置，两个驱动部150可以分别配置于隔着隔开空间SA彼此面对地设置的运动部130的两侧区域，作为具体示例，可以配置于对称的位置。另外，另一个驱动部150可以以对应于其之间的区域的方式配置于运动部130，作为具体示例，可以配置为与其余两侧的两个驱动部150位于相同的距离处。由此，可以在通过驱动部150向运动部130传递驱动力时提高均匀度，以提高运动部130的运动的控制精密性，可以提高运动部130的上升及下降运动时的水平维持能力。

作为可选实施例，多个驱动部150可以通过驱动连接部件DBT连接。驱动连接部件DBT可以形成为向一个方向及反方向连续运动，例如，可以具有链或带式结构。

当驱动连接部件DBT沿一个方向运动时，与其连接的多个驱动部150，例如配置为彼此间隔开的三个驱动部150可以沿驱动连接部件DBT的方向旋转运动。通过这样的旋转运动，驱动力可以被传递至运动部130，使得运动部130可以进行上升及下降运动。

为了这样的精密地控制运动，驱动部150可以连接于作为运动的基准点的底座单元BTU，由此，当驱动部150旋转运动时，即使驱动部150不进行上升及下降运动，也可以通过控制为使与其连接的运动部130进行上升及下降运动来减少或防止运动部130运动时振动的发生和噪音的发生。

运动部130可以具有多样的形态，以便能够通过接收驱动部150的旋转运动作为驱动力进行上升及下降运动，例如，运动部130可以具有对应于驱动部150的侧面的螺纹表面的形态。

作为可选实施例，驱动连接部件DBT可以连接于驱动供给源DMT，例如，驱动供给源DMT可以是提供旋转力的电机。通过驱动供给源DMT，驱动连接部件DBT可连续容易地运动，相应地可以使多个驱动部150容易地旋转。

作为可选实施例，驱动供给源DMT可以包括与驱动连接部件DBT直接接触并连接的旋转部件DAS。旋转部件DAS可以形成为与驱动供给源DMT连接以从驱动供给源DMT接收驱动力，并将接收到的驱动力传递至驱动连接部件DBT。

驱动供给源DMT可以配置为与运动部130间隔开，以提高运动部130的运动的精密的控制特性，并提高运动时的水平维持能力和低振动特性。例如，驱动供给源DMT可以配置为与运动部130间隔开且连接于底座单元BTU。由此，可以使驱动供给源DMT在固定于底座单元BTU的状态下动作，以提高驱动供给源DMT的驱动力传递的安静性和精密控制能力。

作为可选实施例，可以以能够支撑并引导驱动连接部件DBT的方式配置一个以上的导向支撑部件AST。例如，可以配置多个导向支撑部件AST。多个导向支撑部件AST可以在不限制驱动连接部件DBT的运动的状态下支撑的同时进行引导，并且可以控制驱动连接部件DBT的位置，例如，可以配置为使驱动连接部件DBT的路径能够以预定的角度弯曲。

由此，多个导向支撑部件AST可以容易地控制驱动连接部件DBT的路径或配置其的区域，例如，可以控制为使驱动连接部件DBT排列于运动部130或底座单元BTU上与运动部130或底座单元BTU重叠且与隔开空间SA未重叠的位置。

多个导向支撑部件AST可以配置于多样的位置，作为一示例，可以配置为与运动部130间隔开且连接于盖单元TPU的一面，例如，下面。由此，可以防止运动部130运动时发生不必要的接触或噪音。

作为可选实施例，与驱动供给源DMT连接的旋转部件DAS可以具有导向支撑部件AST的功能并且引导驱动连接部件DBT的路径。

此外，多个导向支撑部件AST的位置和数量可以被多样地决定，在与多个驱动部150分别间隔开的位置彼此相邻地配置，以控制驱动连接部件DBT的路径和其配置位置，例如，可以以使驱动连接部件DBT避开隔开空间SA且未重叠的方式控制多样的配置。

由此，本实施例的升降驱动组件100可以容易地形成对应于隔开空间SA的排气流路，并且可以在使一个以上的升降销110A、110B、110C以及一个以上的夹持部120A、120B、120C位于这样的对应于排气流路的区域的周边的情况下通过运动部130的上升及下降运动减少对排气流路的干涉或限制的同时，使一个以上的升降销110A、110B、110C以及一个以上的夹持部120A、120B、120C一体地且容易进行上升及下降运动。

可以在以对应于与被处理件TS重叠的区域的方式容易地形成排气流路的同时，配置和移动一个以上的升降销110A、110B、110C以及一个以上的夹持部120A、120B、120C，从而可以提高应用升降驱动组件100的装置的空间利用的效率性，并提高紧凑的装置设计的便利性。

此外，由于共同地连接于一个以上的升降销110A、110B、110C以及一个以上的夹持部120A、120B、120C的运动部130在运动时通过多个驱动部150接收驱动力，因而可以提高运动部130的上升及下降运动的稳定性和水平维持能力。

另一方面，可以配置连接这样的多个驱动部150的诸如带的驱动连接部件DBT，例如，可以配置为使一体地连接的一个驱动连接部件DBT与三个驱动部150均连接。由此，可以提高驱动部150的运动的均匀性，相应地可以减少运动部130运动时偏向一侧，以加大运动均匀性和水平维持能力。

作为可选实施例，当配置驱动连接部件DBT时，可以利用多个导向支撑部件AST容易地控制驱动连接部件DBT的路径。例如，可以在至少一区域使驱动连接部件DBT的路径弯曲而连接于多个驱动部150。由此，可以将驱动连接部件DBT配置为与隔开空间SA不重叠，并且可以有效地减小驱动连接部件DBT的路径及配置面积。

从结果而言，可以以对应于隔开空间SA的方式容易地形成朝向下方的排气流路，并且可以容易地提高升降驱动组件100及利用其的装置的紧凑设计的自由度和便利性。

虽然如上参考图中所示的实施例描述了本发明，但这仅仅是示例性的，本领域的技术人员将理解可以由此进行多样的变形和等效的其他实施例。因此，本发明真正的技术保护范围应由所附权利要求书的技术思想界定。

实施例中描述的特定实现仅是一实施例，并不以任何方法限定实施例的范围。此外，除非有“必备的”或“重要地”等具体的提及，可能不是应用本发明所必须的构成要素。

在实施例的说明书中(尤其在权利要求书中)，术语“所述”及与之相似的指示术语的使用可以对应于单数和复数两者。此外，当实施例中记载了范围(range)时，包括应用属于所述范围的个别值的发明(除非有与之相反的记载)，从而等同于在详细说明中记载了构成所述范围的每个个别值。最后，对于构成实施例的方法的步骤，若明确记载有顺序或无相反的记载，所述步骤可以以适当的顺序进行。并非一定根据所述述步骤的记载顺序限定实施例。实施例中所有示例或示例性术语(例如，等)的使用仅仅是用于详细描述实施例，除非由权利要求书限定，实施例的范围不为以上所述示例或示例性术语所限定。此外，本领域技术人员可以理解，可以在附加多样的修改、组合及变更的权利要求书或其等同物的范畴内根据设计条件和因素来配置。

Claims (15)

1.一种升降驱动组件，其特征在于，包括：

一个以上的升降销，其配置为与被处理件重叠以便能够支撑被处理件；

一个以上的夹持部，其配置为与所述升降销间隔开；

运动部，其形成为共同地连接所述升降销及所述夹持部，并且进行上升及下降运动；

多个驱动部，其以向所述运动部提供驱动力的方式连接于所述运动部，并且配置为彼此间隔开；

驱动连接部件，其形成为连接配置为多个的所述驱动部；以及

多个导向支撑部件，其形成为控制所述驱动连接部件的路径及配置，

所述驱动连接部件具有与所有的所述多个驱动部共同地连接并一起运动的单一形态，

所述多个导向支撑部件至少配置于所述多个驱动部中彼此相邻的两个驱动部之间，并且被配置为使连接于所述彼此相邻的两个驱动部的驱动连接部件形成弯曲的形态的路径。

2.根据权利要求1所述的升降驱动组件，其特征在于，

所述运动部形成为至少具有隔着内侧的隔开空间配置于两侧的区域。

3.根据权利要求2所述的升降驱动组件，其特征在于，

所述夹持部和所述升降销分别配置于设置在所述运动部的两侧的区域。

4.根据权利要求2所述的升降驱动组件，其特征在于，

设置于所述运动部的两侧的区域形成为彼此连接。

5.根据权利要求2所述的升降驱动组件，其特征在于，

所述驱动部配置为与所述隔开空间未重叠。

6.根据权利要求1所述的升降驱动组件，其特征在于，

所述驱动部包括进行旋转运动的旋转部件的形态，并且

将所述旋转运动的驱动力传递至所述运动部。

7.根据权利要求1所述的升降驱动组件，其特征在于，

包括驱动供给源，其与所述驱动连接部件单独设置，并且与所述驱动连接部件连接以向所述单一形态的驱动连接部件提供旋转力。

8.根据权利要求7所述的升降驱动组件，其特征在于，

所述驱动供给源与所述多个驱动部及所述运动部区分开，并且配置为与所述多个驱动部及所述运动部间隔开。

9.根据权利要求7所述的升降驱动组件，其特征在于，

所述驱动供给源包括旋转部件，并且

所述旋转部件形成为与所述单一形态的驱动连接部件直接接触而连接，以使所述旋转部件的旋转力被传递至所述单一形态的驱动连接部件。

10.根据权利要求1所述的升降驱动组件，其特征在于，

所述驱动连接部件配置于所述运动部与所述被处理件之间，并且配置为以所述升降销或夹持部的长度方向为基准与一区域重叠。

11.根据权利要求1所述的升降驱动组件，其特征在于，

所述导向支撑部件配置于所述运动部与所述被处理件之间，并且配置为以所述升降销或夹持部的长度方向为基准与一区域重叠。

12.根据权利要求1所述的升降驱动组件，其特征在于，

还包括分别配置于所述运动部的上侧和下侧的盖单元和底座单元，并且

所述运动部在所述盖单元与所述底座单元之间运动。

13.根据权利要求12所述的升降驱动组件，其特征在于，

所述驱动部以与所述盖单元和所述底座单元连接的方式配置于所述盖单元与所述底座单元之间。

14.根据权利要求12所述的升降驱动组件，其特征在于，

所述驱动连接部件配置于所述盖单元与所述底座单元之间。

15.根据权利要求12所述的升降驱动组件，其特征在于，

所述导向支撑部件连接于所述盖单元或所述底座单元的一面。

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