TW202249147A - 升降驅動組件 - Google Patents

Abstract

本發明的實施例揭露一種升降驅動組件，包含：至少一個升降銷，其配置為與待處理件重疊以支撐待處理件；至少一個夾持部，其配置為與升降銷間隔開；運動部，其形成為共同地連接升降銷及夾持部，並且進行上升及下降運動；以及驅動部，其配置為用以向運動部提供驅動力。

Description

升降驅動組件

本發明涉及一種升降驅動組件。

隨著技術的發展，多種電氣、電子器件被製造和使用，並且可以透過多樣的製程形成具有電氣或電子特性的電子器件。

此外，在形成具有電氣或電子特性的電子器件的多樣的製程中，包含利用氣體或電漿對待處理件進行處理的半導體製程。

在這樣的半導體製程中，使用用於對待處理件執行配置、支撐或其他多種操作的升降用部件。

另一方面，隨著對這樣的待處理件的製程的複雜化和多樣化，在精密地進行用於待處理件的升降的部件的控制、設計及配置方面存在局限性。

技術問題

本發明可以提供一種能夠精密地控制驅動，並且提高了空間利用特性及設計特性的升降驅動組件。

技術方案

本發明的實施例的升降驅動組件包含：至少一個升降銷，其配置為與待處理件重疊以支撐待處理件；至少一個夾持部，其配置為與升降銷間隔開；運動部，其形成為共同地連接升降銷及夾持部，並且進行上升及下降運動；複數個驅動部，其連接於運動部以向運動部提供驅動力，並且配置為彼此間隔開；驅動連接部件，其形成為連接配置為複數個的驅動部；以及複數個導向支撐部件，其形成為控制驅動連接部件的路徑及配置。

根據實施例，驅動連接部件具有與複數個驅動部中的每一個共同地連接並共同運動的單一形態，複數個導向支撐部件至少配置於複數個驅動部中彼此相鄰的兩個驅動部之間，並且配置為使連接於彼此相鄰的兩個驅動部的驅動連接部件形成彎曲的形態的路徑。

根據實施例，運動部形成為至少具有隔著內側的隔開空間配置於兩側的區域。

根據實施例，夾持部和升降銷分別配置於設置在運動部的兩側的區域。

根據實施例，設置於運動部的兩側的區域形成為彼此連接。

根據實施例，驅動部配置為與隔開空間未重疊。

根據實施例，驅動部包含進行旋轉運動的旋轉部件的形態，並且將旋轉運動的驅動力傳遞至運動部。

根據實施例，升降驅動組件進一步包含驅動供給源，其與驅動連接部件分別地設置，並且與驅動連接部件連接以向單一形態的驅動連接部件提供旋轉力。

根據實施例，驅動供給源與複數個驅動部及運動部區分開，並且配置為與複數個驅動部及運動部間隔開。

根據實施例，驅動供給源包含旋轉部件。

根據實施例，旋轉部件形成為與單一形態的驅動連接部件直接接觸而連接，以使旋轉部件的旋轉力被傳遞至單一形態的驅動連接部件。

根據實施例，驅動連接部件配置於運動部與待處理件之間，並且配置為以升降銷或夾持部的長度方向為基準與一個區域重疊。

根據實施例，導向支撐部件配置於運動部與待處理件之間，並且配置為以升降銷或夾持部的長度方向為基準與一個區域重疊。

根據實施例，升降驅動組件進一步包含分別配置於運動部的上側和下側的蓋單元和底座單元。

根據實施例，運動部在蓋單元與底座單元之間運動。

根據實施例，驅動部以與蓋單元和底座單元連接的方式配置於蓋單元與底座單元之間。

根據實施例，驅動連接部件配置於蓋單元與底座單元之間。

根據實施例，導向支撐部件連接於蓋單元或底座單元的一個面。

除了上述技術內容之外的其他態樣、特徵和優點將透過以下附圖、申請專利範圍及發明的詳細說明而變得清楚。

有益效果

本發明的升降驅動組件可以容易地提高排氣特性。

下文中將參照附圖中所繪示的本發明的實施例以對本發明的構思和作用進行詳細說明。

本發明可以施加有各種的變形並且可以具有多種實施例，特定實施例在附圖中繪示出並在詳細的說明中進行詳細描述。本發明的效果、特徵以及其達成方法將透過參照結合附圖地詳細說明的實施例而變得更加清楚。但是，本發明不限於以下揭露的實施例，而是可以實現為多樣的形態。

下文中將參照附圖對本發明的實施例進行詳細說明，當參照附圖進行說明時，相同或對應的構成要素被賦予相同的元件符號，並且省略對其的重複說明。

在以下實施例中，「第一」、「第二」等術語並非用於限制性的含義，而是出於將一個構成要素與另一個構成要素區分開來的目的使用的。

在以下實施例中，除非上下文明確且不同地定義，單數的表達形式包含複數的表達形式。

在以下實施例中，「包含」或「具有」等術語意指存在說明書上記載的特徵或構成要素，而非預先排除附加一個或複數個其他特徵或構成要素的可能性。

圖中，為便於說明，構成要素的尺寸可能被誇大或縮小。例如，為了便於說明，圖中所繪示的各構件的尺寸和厚度是任意繪示出的，因此本發明不必限定於圖中所繪示的情況。

在以下實施例中，X軸、Y軸和Z軸不限於正交坐標系上的三個軸，而是可以被解釋為包含其的寬泛的含義。例如，X軸、Y軸和Z軸可以彼此正交，但也可以指稱彼此不同的方向。

當某種實施例不同地實現時，特定的製程順序也可以與所說明的順序不同地執行。例如，連續說明的兩個製程既可以在實質上同時執行，也可以以與所說明的順序相反的順序進行。

圖1是繪示出本發明的一實施例的升降驅動組件的示意性剖視圖，圖2是例示性地擴大而繪示出圖1的升降驅動組件的一個區域的示意圖。

本實施例的升降驅動組件100可以包含至少一個升降銷110A、110B、至少一個夾持部120A、120B、運動部130以及驅動部150。

作為一示例，當配置至少一個升降銷110A、110B以及至少一個夾持部120A、120B時，至少一個夾持部120A、120B可以相較於至少一個升降銷110A、110B配置於外側。作為具體示例，至少一個夾持部120A、120B可以配置為相較於至少一個升降銷110A、110B更遠離待處理件TS的中心。

本發明中記載的升降驅動組件100可以用於多種用途。可以用於透過引入一種以上的氣體以對諸如包含晶圓的基板的待處理件TS進行半導體製程的用途，並且可以應用於蝕刻製程、清洗製程、灰化製程、蒸鍍製程或離子注入製程等多種領域。

此外，作為一示例，待處理件TS可以包含搭載基板的托盤。

待處理件TS可以配置於配置單元SPC。例如，配置單元SPC的上側面可以具有支撐待處理件TS的形態。作為具體示例，配置單元SPC可以是支撐待處理件TS的卡盤。

至少一個升降銷110A、110B可以形成為支撐待處理件TS。例如，至少一個升降銷110A、110B可以配置在與待處理件TS重疊的位置，並且形成為至少在規定時間點，作為具體示例，在為了移入或移出待處理件TS而使待處理件TS與配置單元SPC間隔開的上升運動時，支撐待處理件TS的下側面。

至少一個升降銷110A、110B可以具有複數個銷，例如，可以包含配置為彼此間隔開的第一升降銷110A和第二升降銷110B。作為具體示例，第一升降銷110A和第二升降銷110B可以配置為隔著位於運動部130的內側的隔開空間SA彼此對稱設置。

作為較佳實施例，第一升降銷110A和第二升降銷110B可以配置為隔著包含待處理件TS的中心的區域彼此對稱設置，作為一示例，也可以配置於以待處理件TS的中心為基準對稱的位置。

至少一個升降銷110A、110B可以具有能夠支撐待處理件TS的多樣的形態，例如，可以具有一端連接於運動部130並且在從運動部130朝向待處理件TS的方向上較長地延伸的結構。

此外，至少一個升降銷110A、110B可以配置為在支撐待處理件TS時可以對應和重疊於配置單元SPC，例如貫通配置單元SPC。

作為較佳實施例，至少一個升降銷110A、110B可以分別形成為具有配置為彼此區分開且間隔開的兩個部件。例如，第一升降銷110A或第二升降銷110B可以包含下側部件111和上側部件112，下側部件111可以連接於運動部130，上側部件112可以配置於下側部件111的上側中與下側部件111區分開且重疊的位置。從而，在運動部130運動時，例如下降時，下側部件111與上側部件112之間可以間隔開，並且在運動部130上升時，下側部件111可以與上側部件112接觸而一體地運動。

為了這樣的配置中的運動，至少一個升降銷110A、110B以及配置單元SPC可以具有多種例示性配置的變化，作為具體示例，如圖2所繪示，配置單元SPC可以包含從下端向上延伸而形成的貫通部SPH和連接於貫通部SPH的卡止部SPT。例如，卡止部SPT可以形成為具有寬度大於貫通部SPH的區域，並且呈具有臺階的形態。

可以在至少一個升降銷110A、110B的上側部件112的上端形成擴張部112H，擴張部112H可以具有寬度大於上側部件112的其他區域，例如與擴張部112H的下側相鄰的區域的形態。由此，上側部件112的擴張部112H可以被卡止部SPT支撐，並且可以在下側部件111不支撐上側部件112而是下側部件111與上側部件112間隔開的狀態下使上側部件112維持位置。

至少一個夾持部120A、120B可以形成為能夠固定待處理件TS。例如，至少一個夾持部120A、120B可以形成為一個區域以支撐待處理件TS的上側面，作為具體示例，待處理件TS的多個面中朝向配置單元SPC的面的相反面。

為此，至少一個夾持部120A、120B可以具有多樣的形態結構，例如，可以分別形成為包含延伸部121和固定部122。

至少一個夾持部120A、120B各自的延伸部121形成為一端連接於運動部130。

至少一個夾持部120A、120B各自的固定部122可以形成為連接於延伸部121，並且使固定部122的至少一個區域朝向待處理件TS的上側面的一個區域，例如，可以形成為使固定部122的一個區域與待處理件TS的上側面接觸或向上側面施加壓力。

作為較佳實施例，至少一個夾持部120A、120B各自的固定部122可以為了有效地支撐待處理件TS而具有相互連接的形態，例如，可以具有共同地對應於至少一個夾持部120A、120B的方式延伸的形態，作為具體示例，也可以形成為包含與環相似的形態(例如，如圖9所繪示)。

可以透過至少一個夾持部120A、120B對待處理件TS的上側面接觸施加或壓力，並且可以容易地執行對待處理件TS的適當的固定的過程。

至少一個夾持部120A、120B可以具有複數個夾持部，例如，包含配置為彼此間隔開的第一夾持部120A和第二夾持部120B。作為具體示例，第一夾持部120A和第二夾持部120B可以配置為隔著位於運動部130的內側的隔開空間SA彼此對稱設置。

作為較佳實施例，第一夾持部120A和第二夾持部120B可以配置為隔著包含待處理件TS的中心的區域彼此對稱設置，作為一示例，也可以配置於以待處理件TS的中心為基準對稱的位置。

此外，作為一示例，至少一個夾持部120A、120B可以配置為與至少一個升降銷110A、110B間隔開，作為具體示例，至少一個夾持部120A、120B可以配置為與配置單元SPC間隔開，並且形成為使得至少延伸部121配置於配置單元SPC的周邊。

運動部130可以形成為使至少一個升降銷110A、110B以及至少一個夾持部120A、120B共同地連接，例如，可以配置為使至少一個升降銷110A、110B以及至少一個夾持部120A、120B與運動部130重疊。

由此，在運動部130運動時，例如在朝向配置單元SPC的方向上的上升以及在遠離其的方向上的下降運動時，可以使得至少一個升降銷110A、110B以及至少一個夾持部120A、120B同時運動，例如，可以控制為使其進行上升和下降運動。

運動部130可以具有多樣的形態，例如，可以以具有與至少一個升降銷110A、110B以及至少一個夾持部120A、120B重疊的區域的方式具有與板相似的形態，由此可以提高上升及下降運動時的精密的控制特性。

此外，作為較佳實施例，運動部130可以形成為在與之相鄰的區域，例如內側的區域定義隔開空間SA，這樣的隔開空間SA可以對應於運動部130的區域不存在而空出的空間。作為具體示例，隔開空間SA可以具有與包含配置單元SPC的中心點的區域未重疊的形態。

圖3至圖5是繪示出本發明的一實施例的升降驅動組件的運動部的多種示例的示意圖。

例如，圖3是從圖1的K方向觀察的平面圖，為便於說明，除了運動部130之外的其他部件可以未繪示出。

參照圖3，運動部130可以包含配置為隔著隔開空間SA彼此對稱設置的第一區域131和第二區域132，第一升降銷110A和第一夾持部120A可以連接於第一區域131，第二升降銷110B和第二夾持部120B可以連接於第二區域132。

此外，作為較佳實施例，如圖4所繪示，可以包含連接區域130B，連接區域130B連接配置為隔著運動部130的隔開空間SA彼此對稱設置的第一區域131和第二區域132。透過這種結構，可以有效地控制運動部130的運動，例如，可以精密地控制為使其在維持水平狀態的情況下進行上升和下降運動。

此外，作為另一較佳實施例，參照圖5，運動部130可以包含被配置為隔著隔開空間SA彼此對稱設置的第一區域131和第二區域132，並且包含在第一區域131與第二區域132之間連接第一區域131和第二區域132的第三區域133。例如，可以具有在隔開空間SA的周邊配置有第一區域131、第二區域132以及第三區域133的形態。作為具體示例，隔開空間SA可以被運動部130包圍，並且可以具有在第一區域131的一側和第二區域132的一側彼此對稱設置的區域開放的形態。

至少一個升降銷110A、110B、110C以及至少一個夾持部120A、120B、120C可以以彼此間隔開的方式配置於第一區域131、第二區域132及第三區域133。作為具體示例，配置為使第一升降銷110A和第一夾持部120A連接於第一區域131，且配置為使第二升降銷110B和第二夾持部120B連接於第二區域132，並且配置為使第三升降銷110C和第三夾持部120C連接於第三區域133。

透過這種配置，可以增大提高運動部130的運動的平衡感的效果。

作為較佳實施例，可以在以運動部130上升及下降運動時的重心點為基準對稱的位置配置第一升降銷110A、第二升降銷110B及第三升降銷110C，並且在以重心點為基準對稱的位置配置第一夾持部120A、第二夾持部120B及第三夾持部120C。

此外，作為較佳實施例，可以在以運動部130上升及下降運動時的配置單元SPC的重心點為基準對稱的位置配置第一升降銷110A、第二升降銷110B及第三升降銷110C，並且在以配置單元SPC的重心點為基準對稱的位置配置第一夾持部120A、第二夾持部120B及第三夾持部120C。

作為較佳實施例，隔開空間SA可以是形成流路以使一種以上的氣體通過的區域，例如，可以對應於排氣流路。作為具體示例，可以是對應於在對待處理件TS執行一種以上的處理時所使用的一種以上的氣體所通過且流動的區域。

由此，可以在利用升降驅動組件100的待處理件TS的處理過程中容易地形成排氣流路，例如向下排氣，作為具體示例，可以容易地形成在與待處理件TS重疊且遠離待處理件TS的下側面的方向上的排氣流路，並且與這樣的排氣流路的形成共同促進運動部130的驅動控制。

由此，可以將至少一個升降銷(例示性地，圖5的110A、110B、110C)及至少一個夾持部(例示性地，圖5的120A、120B、120C)容易地配置於運動部130，並在減少或防止對朝下方的排氣流路的干涉的情況下，控制用於待處理件TS的處理的運動，具體地，至少一個升降銷110A、110B、110C以及至少一個夾持部120A、120B、120C的安全且精密的上升運動及下降運動。

驅動部150可以形成為向運動部130提供驅動力。驅動部150可以提供驅動力以使運動部130的上升運動及下降運動更加順暢，例如向靠近配置單元SPC的方向及其相反方向的運動，並且可以以多種方法提供驅動力。

作為一示例，驅動部150可以形成為與至少一個馬達部件連接或者包含馬達部件以向運動部130傳遞驅動力。

作為較佳實施例，驅動部150可以透過利用旋轉驅動力使運動部130進行上升及下降運動，例如，驅動部150可以以進行旋轉運動的形式將驅動力傳遞至運動部130，作為一示例，也可以具有包含螺絲部件的形態。

此外，作為具體示例，驅動部150可以具有配置於彼此間隔開的多個位置並且形成為分別旋轉運動的形態，並且可以將透過這樣的多個旋轉運動的驅動力傳遞至運動部130以使運動部130運動。

此外，作為一示例，驅動部150可以透過利用諸如帶或鏈的連續驅動連接式部件以向運動部130傳遞驅動力，進而控制運動部130的精密的運動。

圖6是用於說明本發明的一實施例的升降驅動組件的驅動部的一示例的示意圖。

參照圖6，驅動部150可以包含形成為沿旋轉方向R1旋轉運動的形態，作為一示例，可以至少在驅動部150的外面的一個區域中對應於運動部130的面上形成為螺絲部件的形態。

將透過驅動部150的旋轉方向R1及其反方向上的運動的驅動力傳遞至運動部130，可以使運動部130進行上升運動或下降運動。驅動部150可以配置為與運動部130重疊或配置為貫通運動部130，以將透過驅動部150的旋轉的驅動力有效地傳遞至運動部130。

此外，作為具體示例，驅動部150可以在連接於底座單元BTU的狀態下進行運動，並且，在驅動部150旋轉運動時，驅動部150和底座單元BTU可以在不進行上升及下降運動的狀態下使連接於驅動部150的運動部130進行上升及下降運動，由此可以減少或防止運動部130運動時不必要的振動或晃動，以提高精密的運動控制特性。

此時，驅動部150可以與運動部130重疊。此外，驅動部150和底座單元BTU可以配置為至少與隔開空間(例如，圖2至圖5的SA)未重疊。

由此，在本實施例的升降驅動組件100中，至少一個升降銷110A、110B、110C以及至少一個夾持部120A、120B、120C可以增大以減少或防止透過運動部130的運動而上升和下降時對朝下方的排氣流路的干涉的效果。

圖7和圖8是繪示出圖1的升降驅動組件的驅動示例的示意圖。為了便於說明，在圖7和圖8中省略了待處理件TS和驅動部150。

參考圖7，運動部130進行上升運動而上升了移動距離D1的量，隨之至少一個夾持部120A、120B可以上升，從而與配置單元SPC具有間距H1，並且至少一個升降銷110A、110B的下側部件111及上側部件112可以連接。

參考圖8，運動部130上升了移動距離D2的量，其中移動距離D2可以具有大於圖7的移動距離D1的值。相應地，至少一個夾持部120A、120B上升而與配置單元SPC具有間距H2，間距H2可以是大於圖7的間距H1的值。此時，至少一個升降銷110A、110B的上側的一個區域，例如包含上側部件112的端部的區域可以向配置單元SPC的上部凸出，從而可以容易地執行對待處理件TS的支撐及升降。

圖9是圖1的升降驅動組件的例示性立體圖。

圖10是繪示出為了說明圖9而移除一個區域的狀態的示意圖，圖11是從圖10的一個方向觀察的平面圖。

參照圖9，升降驅動組件100可以包含蓋單元TPU、底座單元BTU、運動部130以及驅動部150。為了便於說明，圖10是移除蓋單元TPU、底座單元BTU及固定部122而進行繪示的，圖11是移除蓋單元TPU而進行繪示的。

此外，為了便於說明，待處理件或配置單元未繪示出，並省略對其的具體說明。

運動部130可以進行上升及下降運動，例如可以在圖9和圖10的Z軸方向上運動。作為具體示例，運動部130可以在蓋單元TPU與底座單元BTU之間運動，並且可以在沿複數個驅動部150連接於驅動部150的狀態下運動。

運動部130可以是隔著隔開空間SA圍繞至少兩側的形態，作為具體示例，可以具有包圍隔開空間SA且一側區域開放的形態，並且形成為使一側的開放的區域與隔開空間SA連接。由此可以容易地形成對應於隔開空間SA的朝下方的排氣流路，並且可以提高向隔開空間SA的接近性及管理的便利性。

作為較佳實施例，運動部130可以形成為定義與四邊形相似的隔開空間SA，例如，可以具有在兩側有彼此平行的內邊緣的區域以及連接兩者的區域，作為具體示例，也可以形成為具有與「ㄷ」字相似的形態的一個區域。

可以配置為使至少一個升降銷110A、110B、110C以及至少一個夾持部120A、120B、120C連接於運動部130的彼此不同的複數個區域，例如，可以配置為與運動部130重疊。透過運動部130的上升及下降運動，至少一個升降銷110A、110B、110C以及至少一個夾持部120A、120B、120C可以同時且容易地執行上升及下降運動。

當在運動部130配置有至少一個升降銷110A、110B、110C以及至少一個夾持部120A、120B、120C時，可以配置在包圍隔開空間SA的位置，例如，可以在一側中彼此相鄰的位置配置第一升降銷110A和第一夾持部120A，並在隔著隔開空間SA彼此面對的另一側中彼此相鄰的位置配置第二升降銷110B和第二夾持部120B。

另外，在運動部130的區域中在配置有第一升降銷110A和第一夾持部120A的區域與配置有第二升降銷110B和第二夾持部120B的區域之間連接兩個區域且彎曲的區域配置第三升降銷110C和第三夾持部120C。

作為較佳實施例，至少一個升降銷110A、110B、110C可以分別配置為以一個區域，例如配置單元SPC的中心點，為基準位於相同的距離處。此外，作為較佳實施例，至少一個升降銷110A、110B、110C可以分別配置在呈三角形的平面上，作為具體示例，可以分別配置在相似於正三角形的平面上。

此外，作為另一示例，至少一個夾持部120A、120B、120C可以分別配置為以一個區域，例如配置單元SPC的中心點，為基準位於相同的距離處。此外，作為較佳實施例，至少一個夾持部120A、120B、120C可以配置在呈三角形的平面上，作為具體示例，可以分別配置在相似於正三角形的平面上。

運動部130可以透過驅動部150而可以進行上升及下降運動。驅動部150可以以多樣的方式向運動部130傳遞驅動力，例如，驅動部150可以具有進行旋轉運動的形態，作為具體示例，可以是配置為彼此間隔開且至少在側面具有螺紋的螺絲部件的形態。

作為一示例，可以配置有複數個驅動部150，作為具體示例，可以配置有彼此間隔開的三個驅動部150，並且可以具有分別進行旋轉運動的形態，並且各驅動部150可以是在至少與運動部130對應的側面的一個區域形成有螺紋面的螺絲部件的形態。

三個驅動部150可以配置為連接於運動部130且與運動部130重疊。驅動部150可以配置為與升降銷110A、110B、110C中的至少一個以及夾持部120A、120B、120C中的至少一個分別間隔開，以順暢地維持至少一個升降銷110A、110B、110C以及至少一個夾持部120A、120B、120C各自的運動。

複數個驅動部150可以配置於多樣的位置，兩個驅動部150可以分別配置於隔著隔開空間SA彼此面對地設置的運動部130的兩側區域，作為具體示例，兩個驅動部150可以配置於對稱的位置。此外，另一個驅動部150可以以對應於其之間的區域的方式配置於運動部130，作為具體示例，，另一個驅動部150可以配置為與其餘兩側的兩個驅動部150位於相同的距離處。由此，可以在透過驅動部150向運動部130傳遞驅動力時提高均勻度，以提高運動部130的運動的控制精密性，且可以提高運動部130的上升及下降運動時的水平維持能力。

作為較佳實施例，複數個驅動部150可以透過驅動連接部件DBT連接。驅動連接部件DBT可以形成為向一個方向及其反方向連續運動，例如其可以具有鏈或帶式結構。

當驅動連接部件DBT沿一個方向運動時，與其連接的複數個驅動部150，例如配置為彼此間隔開的三個驅動部150，可以沿驅動連接部件DBT的方向旋轉運動。透過這樣的旋轉運動，驅動力可以被傳遞至運動部130，使得運動部130可以進行上升及下降運動。

為了這樣的精密地控制運動，驅動部150可以連接於作為運動的基準點的底座單元BTU，由此，當驅動部150旋轉運動時，即使驅動部150不進行上升及下降運動，也可以透過控制為使與其連接的運動部130進行上升及下降運動來減少或防止運動部130運動時振動的發生和噪音的發生。

運動部130可以具有多樣的形態，以便能夠透過接收驅動部150的旋轉運動作為驅動力進行上升及下降運動，例如，運動部130可以具有對應於驅動部150的側面的螺紋表面的形態。

作為較佳實施例，驅動連接部件DBT可以連接於驅動供給源DMT，例如，驅動供給源DMT可以是提供旋轉力的馬達。透過驅動供給源DMT，驅動連接部件DBT可以連續且容易地運動，相應地可以使複數個驅動部150容易地旋轉。

作為較佳實施例，驅動供給源DMT可以包含與驅動連接部件DBT直接接觸並連接的旋轉部件DAS。旋轉部件DAS可以形成為與驅動供給源DMT連接以從驅動供給源DMT接收驅動力，並將接收到的驅動力傳遞至驅動連接部件DBT。

驅動供給源DMT可以配置為與運動部130間隔開，以提高運動部130的運動的精密的控制特性，並提高運動時的水平維持能力和低振動特性。例如，驅動供給源DMT可以配置為與運動部130間隔開且連接於底座單元BTU。由此，可以使驅動供給源DMT在固定於底座單元BTU的狀態下動作，以提高驅動供給源DMT的驅動力傳遞的安靜性和精密控制能力。

作為較佳實施例，可以以能夠支撐並引導驅動連接部件DBT的方式配置至少一個導向支撐部件AST。例如，可以配置複數個導向支撐部件AST。複數個導向支撐部件AST可以在不限制驅動連接部件DBT的運動的狀態下支撐的同時進行引導，並且可以控制驅動連接部件DBT的位置，例如，可以配置為使驅動連接部件DBT的路徑能夠以預定的角度彎曲。

由此，複數個導向支撐部件AST可以容易地控制驅動連接部件DBT的路徑或配置其的區域，例如，可以控制為使驅動連接部件DBT排列於運動部130或底座單元BTU上與運動部130或底座單元BTU重疊且與隔開空間SA未重疊的位置。

複數個導向支撐部件AST可以配置於多樣的位置，作為一示例，可以配置為與運動部130間隔開且連接於蓋單元TPU的一個面，例如蓋單元TPU的下側面。由此，可以防止運動部130運動時發生不必要的接觸或噪音。

作為較佳實施例，與驅動供給源DMT連接的旋轉部件DAS可以具有導向支撐部件AST的功能並且引導驅動連接部件DBT的路徑。

此外，複數個導向支撐部件AST的位置和數量可以被多樣地決定，在與複數個驅動部150分別間隔開的位置彼此相鄰地配置，以控制驅動連接部件DBT的路徑和其配置位置，例如，可以以使驅動連接部件DBT避開隔開空間SA且未重疊的方式控制多樣的配置。

由此，本實施例的升降驅動組件100可以容易地形成對應於隔開空間SA的排氣流路，並且可以在使至少一個升降銷110A、110B、110C以及至少一個夾持部120A、120B、120C位於這樣的對應於排氣流路的區域的周邊的情況下，且透過運動部130的上升及下降運動減少對排氣流路的干涉或限制的同時，使至少一個升降銷110A、110B、110C以及至少一個夾持部120A、120B、120C一體地且容易地進行上升及下降運動。

可以在以對應於與待處理件TS重疊的區域的方式容易地形成排氣流路的同時，配置且移動至少一個升降銷110A、110B、110C以及至少一個夾持部120A、120B、120C，從而可以提高應用升降驅動組件100的裝置的空間利用的效率性，並提高緊湊的裝置設計的便利性。

此外，由於共同地連接於至少一個升降銷110A、110B、110C以及至少一個夾持部120A、120B、120C的運動部130在運動時透過複數個驅動部150接收驅動力，因而可以提高運動部130的上升及下降運動的穩定性和水平維持能力。

另一方面，可以配置連接這樣的複數個驅動部150的諸如帶的驅動連接部件DBT，例如，可以配置為使一體地連接的一個驅動連接部件DBT與三個驅動部150均連接。由此，可以提高驅動部150的運動的均勻性，相應地可以減少運動部130運動時偏向一側，以加大運動均勻性和水平維持能力。

作為較佳實施例，當配置驅動連接部件DBT時，可以利用複數個導向支撐部件AST容易地控制驅動連接部件DBT的路徑。例如，可以在至少一個區域使驅動連接部件DBT的路徑彎曲而連接於複數個驅動部150。由此，可以將驅動連接部件DBT配置為與隔開空間SA不重疊，並且可以有效地減小驅動連接部件DBT的路徑及配置面積。

就結果而言，可以以對應於隔開空間SA的方式容易地形成朝向下方的排氣流路，並且可以容易地提高升降驅動組件100及利用其的裝置的緊湊設計的自由度和便利性。

雖然如上圖中所繪示的實施例說明了本發明，但這僅僅是例示性的，本領域具有通常知識者將理解的是，可以由此進行多樣的變形並且獲得等效的其他實施例。因此，本發明真正的技術保護範圍應由所附申請專利範圍的技術思想界定。

實施例中說明的特定實現僅是一部分的實施例，並不以任何方法限定本發明實施例的範圍。此外，除非有「必備的」或「重要地」等具體的提及，所述的構成要素可以不是應用本發明所必須的構成要素。

在實施例的說明書中(尤其在申請專利範圍中)，術語「所述」、「該」及與之相似的指示術語的使用可以對應於單數和複數兩者。此外，當實施例中記載了範圍(range)時，其包含應用屬於所述範圍的個別值的發明(除非有與之相反的記載)，從而等同於在詳細說明中記載了構成所述範圍的每個個別值。最後，對於構成實施例的方法的步驟，若明確記載有順序或無相反的記載，所述步驟可以以適當的順序進行。並非一定根據所述步驟的記載順序而限定實施例。實施例中所有示例或例示性術語(例如，等)的使用僅僅是用於詳細說明實施例，除非由申請專利範圍限定，實施例的範圍不為以上所述示例或例示性術語所限定。此外，本領域具有通常知識者可以理解的是，可以在附加多樣的修改、組合及變更的申請專利範圍或其等同物的範疇內根據設計條件和因素來配置。

100:升降驅動組件 110A,110B,110C:升降銷 111:下側部件 112:上側部件 112H:擴張部 120A,120B,120C:夾持部 121:延伸部 122:固定部 130:運動部 130B:連接區域 131:第一區域 132:第二區域 133:第三區域 150:驅動部 SPC:配置單元 TS:待處理件 SA:隔開空間 BTU:底座單元 TPU:蓋單元 DBT:驅動連接部件 DMT:驅動供給源 DAS:旋轉部件 AST:導向支撐部件 SPH:貫通部 SPT:卡止部 H1,H2:間距 D1,D2:移動距離 R1:旋轉方向 K:方向

圖1是繪示出本發明的一實施例的升降驅動組件的示意性剖視圖。 圖2是例示性地擴大而繪示出圖1的升降驅動組件的一個區域的示意圖。 圖3至圖5是繪示出本發明的一實施例的升降驅動組件的運動部的多種示例的示意圖。 圖6是用於說明本發明的一實施例的升降驅動組件的驅動部的一示例的示意圖。 圖7和圖8是繪示出圖1的升降驅動組件的驅動的示例的示意圖。 圖9是圖1的升降驅動組件的例示性立體圖。 圖10是繪示出為了說明圖9而移除一個區域的狀態的示意圖。 圖11是從圖10的一個方向觀察的平面圖。

100:升降驅動組件

110A,110B:升降銷

111:下側部件

112:上側部件

120A,120B:夾持部

121:延伸部

122:固定部

130:運動部

150:驅動部

SPC:配置單元

TS:待處理件

SA:隔開空間

K:方向

Claims (15)

1. 一種升降驅動組件，其包含： 至少一升降銷，其配置為與一待處理件重疊以支撐該待處理件； 至少一夾持部，其配置為與該升降銷間隔開； 一運動部，其形成為共同地連接該升降銷及該夾持部，並且進行上升及下降運動； 複數個驅動部，其連接於該運動部以向該運動部提供驅動力，並且配置為彼此間隔開； 一驅動連接部件，其形成為連接配置為複數個的該驅動部；以及 複數個導向支撐部件，其形成為控制該驅動連接部件的路徑及配置， 該驅動連接部件具有與該複數個驅動部中的每一個共同地連接並共同運動的單一形態， 該複數個導向支撐部件至少配置於該複數個驅動部中彼此相鄰的兩個該驅動部之間，並且配置為使連接於彼此相鄰的兩個該驅動部的該驅動連接部件形成彎曲的形態的路徑。
2. 如請求項1所述之升降驅動組件，其中， 該運動部形成為至少具有隔著內側的一隔開空間配置於兩側的區域。
3. 如請求項2所述之升降驅動組件，其中， 該夾持部和該升降銷分別配置於設置在該運動部的兩側的區域。
4. 如請求項2所述之升降驅動組件，其中， 設置於該運動部的兩側的區域形成為彼此連接。
5. 如請求項2所述之升降驅動組件，其中， 該驅動部配置為與該隔開空間未重疊。
6. 如請求項1所述之升降驅動組件，其中， 該驅動部包含進行一旋轉運動的一旋轉部件的形態，並且 將該旋轉運動的驅動力傳遞至該運動部。
7. 如請求項1所述之升降驅動組件，其包含一驅動供給源，其與該驅動連接部件分別地設置，並且與該驅動連接部件連接以向單一形態的該驅動連接部件提供旋轉力。
8. 如請求項7所述之升降驅動組件，其中， 該驅動供給源與該複數個驅動部及該運動部區分開，並且配置為與該複數個驅動部及該運動部間隔開。
9. 如請求項7所述之升降驅動組件，其中， 該驅動供給源包含一旋轉部件，並且 該旋轉部件形成為與單一形態的該驅動連接部件直接接觸而連接，以使該旋轉部件的旋轉力傳遞至單一形態的該驅動連接部件。
10. 如請求項1所述之升降驅動組件，其中， 該驅動連接部件配置於該運動部與該待處理件之間，並且配置為以該升降銷或該夾持部的長度方向為基準與一個區域重疊。
11. 如請求項1所述之升降驅動組件，其中， 該導向支撐部件配置於該運動部與該待處理件之間，並且配置為以該升降銷或該夾持部的長度方向為基準與一個區域重疊。
12. 如請求項1所述之升降驅動組件，其中， 進一步包含分別配置於該運動部的上側和下側的一蓋單元和一底座單元，並且 該運動部在該蓋單元與該底座單元之間運動。
13. 如請求項12所述之升降驅動組件，其中， 該驅動部以與該蓋單元和該底座單元連接的方式配置於該蓋單元與該底座單元之間。
14. 如請求項12所述之升降驅動組件，其中， 該驅動連接部件配置於該蓋單元與該底座單元之間。
15. 如請求項12所述之升降驅動組件，其中， 該導向支撐部件連接於該蓋單元或該底座單元的一個面。

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