CN101195467A - 一种剪式提升装置 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种剪式提升装置，其包括承载板、底板、两组呈X状交叉相连的连杆、连杆驱动部件；所述的两组连杆，其中一对同向连杆的下端通过驱动滑块与底板滑动连接，上端与承载板固定连接，另一对同向连杆的上端通过滑块与承载板滑动连接，下端与底板固定连接，所述驱动滑块具有螺孔，一螺杆穿过该螺孔并与驱动滑块螺纹副啮合；所述连杆驱动部件包括大齿轮、小齿轮、粗调旋钮、精调旋钮，螺杆的一端固定在底板上，另一端和大齿轮同轴连接，所述小齿轮与大齿轮齿轮副啮合，所述粗调旋钮和大齿轮同轴连接，所述精调旋钮和小齿轮同轴连接。本发明的剪式提升装置，各关节摩擦力小，负载大，在整个装置升降时承载台平稳不会摇晃，具有慢升快降功能。
Description
技术领域
本发明涉及升降装置，具体的说，是一种剪式提升装置。
背景技术
现代化生产需要精密提升的剪式提升装置，比如在光刻机整机研发或者集成过程中，大多数光刻机结构都需要精密提升，以实现机械接口的连接或者实验时的高度调整，调焦调平就是一个精密光机电设备，在安装过程中，不能有大的震动，并且要实现机械接口的准确对接。现有技术的剪式提升装置，其本身的最小高度一般较小，提升高度大，外形尺寸也较大，在提升过程中，提升速度和下降速度一样，没有慢升快降功能，在有载荷时提升，需要的驱动力较大。此外，现有技术的剪式提升装置，通过直接驱动梯形螺纹或者滚珠丝杠使承载台上下运动，其提升分辨率较低，各关节处直接采用销轴连接，由于轴与孔存在间隙，承载台面会摇晃，不能保证承载工件的平稳提升，所以无法满足现代化生产对精密提升的要求。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是，改变现有技术剪式提升装置的不足，提供一种适用于精密光机设备的升降速度可调且平稳提升的剪式提升装置。
为了解决上述技术问题，本发明采用了如下技术手段：一种剪式提升装置，包括承载板、底板、两组呈X状交叉相连的连杆、连杆驱动部件；所述的两组连杆，其中一对同向连杆的下端通过驱动滑块与所述底板滑动连接，上端与所述承载板固定连接，另一对同向连杆的上端通过滑块与所述承载板滑动连接，下端与所述底板固定连接，所述驱动滑块具有螺孔，一螺杆穿过所述螺孔并与驱动滑块螺纹副啮合；所述连杆驱动部件包括大齿轮、小齿轮、粗调旋钮、精调旋钮，所述螺杆的一端固定在底板上，另一端和大齿轮同轴连接，所述小齿轮与所述大齿轮齿轮副啮合，所述粗调旋钮和大齿轮同轴连接，所述精调旋钮和小齿轮同轴连接。
在上述的剪式提升装置中，所述承载板和底板的两侧沿纵向分别设有两根导向滑轨，所述驱动滑块可沿底板上的两根导向滑轨滑动，所述滑块可沿承载板上的两根导向滑轨滑动，所述两组连杆的一端分别通过固定转轴座固定在底板或承载板上。
在上述的剪式提升装置中，所述连杆与驱动滑块之间、连杆与滑块之间、连杆与固定转轴座之间、以及两根交叉连杆之间采用轴承连接。
在上述的剪式提升装置中，所述两组连杆的交叉点之间通过一销轴连接。
在上述的剪式提升装置中，所述底板上设有一螺杆座，所述螺杆的一端通过该螺杆座固定在底板上。
在上述的剪式提升装置中，所述底板上还设有一齿轮支架板，所述大齿轮、小齿轮、粗调旋钮和精调旋钮均安装在齿轮支架板上。
在上述的剪式提升装置中，所述大齿轮的齿数是小齿轮齿数的2倍或大于2倍。
在上述的剪式提升装置中，所述粗调旋钮和精调旋钮的端部具有方孔，通过将一驱动曲柄插在方孔内可对粗调旋钮或精调旋钮进行旋转调节。
本发明剪式提升装置由于采用了上述技术方案，使之与现有技术相比，具有以下优点和积极效果：
1、提升装置各关节处直接采用轴承连接，既保证了连杆转动的灵活性，减小了摩擦力，降低螺杆的驱动力，又使得连杆相对驱动滑块、滑块、固定转轴座及销轴在转动过程中没有间隙，提高了承载板的稳定性；
2、由于大小齿轮齿数比不一样，当驱动精调旋钮时，可实现承载板的慢速升降运动，当驱动粗调旋钮时，可实现承载板的快速升降运动。
附图说明
本发明剪式提升装置由以下的实施例及附图给出：
图1为本发明剪式提升装置俯视结构示意图；
图2为本发明剪式提升装置仰视结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本发明的剪式提升装置作详细说明。
结合图1、图2，本发明包括：承载板1、底板2、导向滑轨3、驱动滑块4、固定转轴座5、连杆6、轴承7、螺杆座8、大齿轮9、螺杆10、粗调旋钮11、驱动曲柄12、精调旋钮13、齿轮支架板14、小齿轮15、销轴16、滑块17。
承载板1和底板2通过两组相交叉呈X状的连杆6相连，四根导向滑轨3分别沿纵向平行安装在承载板1和底板2的两边。驱动滑块4通过轴承7连接至两根同向连杆6的两端，并可以沿底板2上的导向滑轨3滑动，滑块17通过轴承7连接至另两根同向连杆6的两端，并可以沿承载板1上的导向滑轨3滑动。该四根连杆6的另一端分别通过固定转轴座5固定在底板2或承载板1上。每组连杆6的中心通过轴承7与销轴16连接且平行随动。
螺杆座8固定在底板2上。螺杆10连接带有螺纹的驱动滑块4，螺杆10与驱动滑块4之间是螺纹副啮合，螺杆10一端固定在螺杆座8上，另一端和安装在齿轮支架板14上的大齿轮9同轴连接。齿轮支架板14上另有一小齿轮15，小齿轮15与大齿轮9齿轮副啮合，粗调旋钮11和大齿轮9同轴连接，精调旋钮13和小齿轮15同轴连接，粗调旋钮11和精调旋钮13分别安装在齿轮支架板14上，驱动曲柄12可以自由插在粗调旋钮11或精调旋钮13端部的方孔内用于旋转粗调旋钮11或精调旋钮13，以驱动螺杆10或小齿轮15。
由于剪式提升装置各关节处直接采用轴承7连接，这样既保证了连杆6转动的灵活性，减小了摩擦力，降低螺杆10的驱动力；又使得连杆6相对驱动滑块4、滑块17、固定转轴座5及销轴16在转动过程中没有间隙，提高了承载板1的稳定性。
大齿轮9齿数是小齿轮15齿数的2倍或者更多，由于大小齿轮齿数比不一样，当驱动精调旋钮13时，将实现承载板1的慢速升降运动，当驱动粗调旋钮11时，将实现承载板1的快速升降运动。
本发明剪式提升装置工作时，将被提升工件放在承载板1上，将驱动曲柄12插在精调旋钮13端部的方孔内，转动驱动曲柄12，精调旋钮13驱动小齿轮15转动，通过齿轮副啮合，驱动大齿轮9转动，从而驱动螺杆10转动，螺杆10转动后通过螺杆10与驱动滑块4之间的螺纹副带动驱动滑块4在导向导轨3的引导下滑动，通过销轴16和连杆6，安装在承载板1上的滑块17也会同步和驱动滑块4沿导向滑轨3移动，由于大小齿轮齿数比不一样，承载板1将做一个缓升缓降的慢速精密升降运动。当驱动曲柄12插在粗调旋钮11端部方孔内直接驱动螺杆10时，承载板1可以做快速升降运动。
Claims (8)
1.一种剪式提升装置，其特征在于，包括承载板、底板、两组呈X状交叉相连的连杆、连杆驱动部件；所述的两组连杆，其中一对同向连杆的下端通过驱动滑块与所述底板滑动连接，上端与所述承载板固定连接，另一对同向连杆的上端通过滑块与所述承载板滑动连接，下端与所述底板固定连接，所述驱动滑块具有螺孔，一螺杆穿过所述螺孔并与驱动滑块螺纹副啮合；所述连杆驱动部件包括大齿轮、小齿轮、粗调旋钮、精调旋钮，所述螺杆的一端固定在底板上，另一端和大齿轮同轴连接，所述小齿轮与所述大齿轮齿轮副啮合，所述粗调旋钮和大齿轮同轴连接，所述精调旋钮和小齿轮同轴连接。
2.如权利要求1所述的剪式提升装置，其特征在于，所述承载板和底板的两侧沿纵向分别设有两根导向滑轨，所述驱动滑块可沿底板上的两根导向滑轨滑动，所述滑块可沿承载板上的两根导向滑轨滑动，所述两组连杆的一端分别通过固定转轴座固定在底板或承载板上。
3.如权利要求2所述的剪式提升装置，其特征在于，所述连杆与驱动滑块之间、连杆与滑块之间、连杆与固定转轴座之间、以及两根交叉连杆之间采用轴承连接。
4.如权利要求1所述的剪式提升装置，其特征在于，所述两组连杆的交叉点之间通过一销轴连接。
5.如权利要求1所述的剪式提升装置，其特征在于，所述底板上设有一螺杆座，所述螺杆的一端通过该螺杆座固定在底板上。
6.如权利要求1所述的剪式提升装置，其特征在于，所述底板上还设有一齿轮支架板，所述大齿轮、小齿轮、粗调旋钮和精调旋钮均安装在齿轮支架板上。
7.如权利要求1所述的剪式提升装置，其特征在于，所述大齿轮的齿数是小齿轮齿数的2倍或大于2倍。
8.如权利要求1所述的剪式提升装置，其特征在于，所述粗调旋钮和精调旋钮的端部具有方孔，通过将一驱动曲柄插在方孔内可对粗调旋钮或精调旋钮进行旋转调节。
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C02 | Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001) | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Open date: 20080611 |