CN101153668B - 带关闭力增强机构的隔膜式电磁阀 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种带关闭力增强机构的隔膜式电磁阀。在隔膜阀部，除了通过先导流体压的作用而动作进而与主阀座接触或离开的主隔膜之外，还设置有作为用于增强该主隔膜的阀关闭力的机构，该机构包括：辅助阀体；使先导流体压作用在该辅助阀体上的辅助先导压力室；以及将所述辅助阀体的作用力传递给所述主隔膜的传递杆。即使来自负载的流体压作为逆压对所述主隔膜发生作用，该主隔膜也不会从所述阀座离开。
Description
技术领域
本发明涉及一种通过使隔膜接触或离开阀座来开启或关闭流路的隔膜式电磁阀，更详细而言，涉及这样一种隔膜式电磁阀，其具有用于增强所述隔膜产生的阀关闭力的机构。
背景技术
一般而言，隔膜式电磁阀，象例如日本特开2001-304436号公报所公开的那样，具有二通阀的阀结构，并以如下方式构成，即，使隔膜接触或离开设在连结供给接口和输出接口的流路中的阀座而开启或关闭该流路，且以内部先导式的电磁操作式先导阀对该隔膜进行开闭操作。
这种隔膜式电磁阀的用途之一在于氧气浓缩。例如图7中符号所示，在具有总供给用流路3、总排出用流路4以及两个输出用流路5a、5b的歧管底座2上，搭载第1～第4隔膜式电磁阀1a、1b、1c、1d而形成电磁阀总成，所述两个输出用流路5a、5b上分别连接有作为氮气吸收用容器的第1及第2容器6a、6b，通过选择性并关联性地使所述四个电磁阀1a、1b、1c、1d动作将压缩空气供入或排出所述容器6a、6b而进行氧气浓缩。
然而，在例如第1电磁阀1a从图示的阀门关闭位置切换到阀门开启位置而将压缩空气供给填充到第1容器6a后，再将第1电磁阀1a切换到图示的阀门关闭位置而保持填充状态，该状态下，将第2电磁阀1b从图示的阀门关闭位置切换到阀门开启位置而将压缩空气供给到第2容器6b时，所述总供给用流路3中的气压暂时下降，所以在来自第1容器6a的逆压的作用下第1电磁阀1a的隔膜被暂时推开。在以第2电磁阀1b将压缩空气填充到第2容器6b并保持填充状态的状态下，以第1电磁阀1a将压缩空气供给到第1容器6a的情况也是相同的。
像这样，隔膜式电磁阀存在其某些用法中因来自负载的逆压的作用而进行不稳定动作的情况，这会导致作为流体控制机器的可靠性或精度下降，所以要求立即改善。
因此，本发明的目的在于提供这样一种隔膜式电磁阀：即使来自负载的流体压作为逆压对隔膜发生作用，该隔膜也不会开启阀座，且阀关闭力较大，动作稳定性优越。
为达到所述目的，本发明提供一种带关闭力增强机构的隔膜式电磁阀，所述电磁阀包括隔膜阀部和电磁操作式先导阀部。所述隔膜阀部在具有用于将电磁阀安装到歧管底座上的安装面的阀门壳体内设置有：在所述安装面上开口的主流体用的供给接口和输出接口；位于连结该两接口的主流路中的主阀座；接触或离开该主阀座而开启或关闭所述主流路的主隔膜；使在该主隔膜上产生使其与所述主阀座相抵接方向的作用力的主先导压力室。所述先导阀部将先导流体供给到或排出所述主先导压力室。其中，所述隔膜阀部还具有辅助阀体、辅助先导压力室、以及传递杆。所述辅助阀体用于增强所述主隔膜在与所述主阀座相抵接而关闭所述主流路时的阀关闭力；所述辅助先导压力室使来自所述先导阀部的先导流体作用到该辅助阀体上；所述传递杆通过与所述辅助阀体联动位移而将该辅助阀体的作用力传递到所述主隔膜上，所述辅助阀体由活塞形成，所述传递杆与该活塞一体形成，在与所述主隔膜同心的位置上，所述辅助阀体和传递杆相对于该主隔膜串联配设，所述主先导压力室和辅助先导压力室通过贯穿所述活塞和传递杆的内部的通孔相互连通。
本发明中，优选通过使所述辅助阀体的行程可能范围比主隔膜的动作行程大，在先导流体被供给到所述两个先导压力室而主隔膜与主阀座相抵接时，通过所述传递杆位于该辅助阀体和所述主隔膜之间并与二者相抵接，该辅助阀体位于接近行程终端的位置。
此外，本发明中优选如下技术方案：所述阀门壳体包括具有所述安装面的第1区段(block)、结合在该第1区段上的第2区段、以及结合在该第2区段上的第3区段，在所述第1区段和第2区段之间配设有所述主隔膜，同时在该第2区段和第3区段之间配设有所述辅助阀体，且该第2区段上设置有所述传递杆，通过卸下所述第2区段、辅助阀体以及传递杆，使主隔膜介于所述第1区段和第3区段之间而将该两区段相互结合，可形成不带关闭力增强机构的隔膜式电磁阀。
采用本发明，通过辅助阀体主隔膜的阀关闭力得到增强，即使来自负载的流体压作为逆压对隔膜发生作用，该主隔膜也不会开启主阀座，且动作稳定性优越。
附图说明
图1是本发明带关闭力增强机构的隔膜式电磁阀的第1实施方式的剖面图。
图2是图1的局部放大图。
图3是本发明电磁阀的第2实施方式的剖面图。
图4是本发明电磁阀的第3实施方式的剖面图。
图5是本发明电磁阀的第4实施方式的剖面图。
图6是以符号表示用第1实施方式的电磁阀构成的电磁阀总成的气压回路图。
图7是以符号表示现有技术的电磁阀总成的气压回路图。
具体实施方式
图1和图2是表示本发明的带关闭力增强机构的隔膜式电磁阀(下面有时仅称为“电磁阀”)第1实施方式的图。该第1实施方式的电磁阀10A包括隔膜阀部11和电磁操作式先导阀部12，所述隔膜阀部11以让主隔膜14接触或离开主阀座16而开启或关闭主流路15的方式构成，所述主阀座16位于连结供给接口P和输出接口A的主流路15中，所述先导阀部12通过先导流体的供给、排出而对所述主隔膜14进行开闭操作，所述隔膜阀部11还具有由隔膜17a构成的辅助阀体17作为用于增强所述主隔膜14的阀关闭力的机构。
下面的说明中，将形成所述辅助阀体17的隔膜17a称为“辅助隔膜”。
所述隔膜阀部11具有俯视形状大致为矩形的阀门壳体13。该阀门壳体13的下表面为大致平坦的安装面18，用于将电磁阀安装到歧管底座的阀承载面上，该安装面18上设置有所述供给接口P、输出接口A、先导供给接口PP和先导排出接口PE，并安装有围绕在如上各接口周围的密封部件19。
所述各接口P、A、PP、PE的位置关系如下：所述安装面18的中央配设有圆形的输出接口A，以围绕在该输出接口A周围的方式同心状地配设有圆环状的供给接口P，该供给接口P的外侧，在隔着所述输出接口A的中心轴线L相向的位置上配设有先导供给接口PP和先导排出接口PE。
在所述阀门壳体13的内部，与所述供给接口P相通的供给侧主流路15P、与所述输出接口A相通的输出侧主流路15A、与所述先导供给接口PP相通的先导供给流路22、以及与所述先导排出接口PE相通的先导排出流路23，以与所述中心轴线L平行的方式向上延伸。其中，供给侧主流路15P与输出侧主流路15A构成所述主流路15的一部分，分别与收容所述主隔膜14的主阀室24相连通并经由该主阀室24相互连通，该主阀室24内，所述主阀座16以围绕在向该主阀室24开口的所述输出侧主流路15A的周围的方式形成。
关于环状的所述供给侧主流路15P，其外周壁和区划出输出侧主流路15A的内周侧壁通过径向上的多个结合壁相互结合，这样，其被区划为多个圆弧状的孔部分。
此外，所述先导供给流路22和先导排出流路23经过在所述两个隔膜14、17a端部形成的通孔25并进一步延伸，分别与所述先导阀部12的先导供给口PI和先导排出口PR相连通。
所述主隔膜14采用具有橡胶弹性的材料形成为圆盘形，并通过将其外周部气密保持在阀门壳体13上，将其以其中央部分可在与所述主阀座16接触离开的方向(上下方向)上位移的方式配置在与所述输出接口A同心状的位置。通过该主隔膜14，所述主阀室24被区划为所述主阀座16所在侧的主流路侧部分24a和相反侧的主先导压力室24b，该主先导压力室24b通过通孔26a、26b与所述先导阀部12的先导输出口PA相连通。
所述主隔膜14的下表面形成有圆环状的阀密封部14a，该阀密封部14a通过与所述主阀座16抵接而关闭该主阀座16，在该下表面相反侧的上表面的中央部安装有由金属或合成树脂等硬质材料构成的突起形的罩27。
此外，在阀门壳体13内部，在所述主隔膜14的与安装面18相反一侧的位置上形成有辅助阀室30，在该辅助阀室30内，所述辅助隔膜17a以相对于所述主隔膜14同心状且与之串联的方式配设。该辅助隔膜17a采用与所述主隔膜14相同的材料形成为与该主隔膜14相同的形状、相同的大小，通过该辅助隔膜17a，所述辅助阀室30被区划为一侧的传递室30a和与该侧相反一侧的辅助先导压力室30b。其中，传递室30a通过传递孔31与上述主先导压力室24b相连通，所述辅助先导压力室30b通过所述通孔26b与先导输出口PA相连通。
因此，所述主先导压力室24b与辅助先导压力室30b相互连通，先导流体从所述先导输出口PA通过所述通孔26b、26a同时供给到所述辅助先导压力室30b和主先导压力室24b，当先导流体供给到这些先导压力室24b、30b时，所述主隔膜14和辅助隔膜17a同时动作。
所述传递室30a通过通气通孔32与所述先导排出流路23相连通，所述传递孔31沿所述中心轴线L延伸，并在所述传递室30a和 主先导压力室24b的中央部位置将其相互连通。
所述辅助隔膜17a和主隔膜14之间设置有圆柱状的传递杆33，用于进行该两隔膜间的作用力传递。该传递杆33以可在所述传递孔31内沿轴线L滑动的方式配置，其平坦的基端部33a与辅助隔膜17a的下表面相抵接，同时，其顶端部的凹处33b内嵌合抵接有所述主隔膜14上表面的罩27。因此，该传递杆33也相对于所述两个隔膜14和17a同心状配置，并与这些隔膜的位移联动而沿相同方向一起位移。
此外，也可使所述传递杆33的顶端部形成为无凹处33b的平坦表面，并使该平坦的顶端部与主隔膜14上表面的罩27抵接。
在所述传递杆33外周形成的环状凹槽内安装有密封部件34，用于密封该传递杆33外周和所述传递孔31内周之间。图示的例中，为减小滑动阻力，唇型的单向密封部件34按照阻止空气从主先导压力室24b向传递室30a流动的朝向配置，但该密封部件34也可为O型环或具有其他适宜的剖面形状的部件。
因此，由于所述传递杆33介于两个隔膜14、17a之间，在先导流体供给到主先导压力室24b而主隔膜14被向主阀座16推压时，通过同时也供给到辅助先导压力室30b的先导流体，辅助隔膜17a向主隔膜14侧位移，经由所述传递杆33将该主隔膜14向主阀座16推压，所以该主隔膜14的阀关闭力会增加一个由该辅助隔膜17a产生的作用力的量。
此外，当所述两个先导压力室24b、30b的先导流体被排出时，向阀座关闭方向推压所述两隔膜14、17a的力消失，所以主隔膜14被来自供给接口P的主流体的作用力推上去，从而开启主阀座16。该主隔膜14的开启动作经由所述传递杆33传递到辅助隔膜17a，该辅助隔膜17a也朝图中的上方一起位移。
这里，由图1和图2可知，所述辅助隔膜17a的行程可能范围被设定为比主隔膜14的动作行程大，该辅助隔膜17a以如下方式构成，即，在先导流体供给到所述两先导压力室24b、30b而主隔膜14被 推压到主阀座16上时，该辅助隔膜17a停止在接近行程终端的位置，与座30c之间相距些许间隔。通过像这样来构成该辅助隔膜17a，使得在所述主隔膜14与主阀座16相抵接时，辅助隔膜17a所产生的作用力经由所述传递杆33充分传递到该主隔膜14上。
所述阀门壳体13包括：具有所述安装面18的第1区段13a，与该第1区段13a结合的第2区段13b，以及与该第2区段13b结合的第3区段13c。所述第1区段13a和第2区段13b之间区划形成有所述主阀室24并配设有所述主隔膜14，该主隔膜14的外周部分被夹在该两个区段13a、13b之间而得以固定。所述第2区段13b和第3区段13c之间区划形成有所述辅助阀室30并配设有所述辅助隔膜17a，该辅助隔膜17a的外周部分被夹在该两个区段13b、13c之间而得以固定。此外，所述第2区段13b内设置有所述传递杆33。所述先导供给流路22和先导排出流路23以跨越该各区段的方式延伸。
采用这种阀门壳体13的结构，通过卸下所述第2区段13b和辅助隔膜17a以及传递杆33，将所述第1区段13a和第3区段13c经由主隔膜14相互连结，可形成不带关闭力增强机构的普通型隔膜式电磁阀。
此外，所述各区段13a、13b、13c中相互接合的面上形成有突起和孔，在使这些突起和孔相互卡合而定位的状态下，各区段13a、13b、13c被相互结合，其图示被省略。
所述先导阀部12安装于所述第3区段13c上表面所形成的凹台阶部36内并相对其可拆装。该先导阀部12具有常开形三通电磁阀的结构并包括流路切换部41和电磁操作部42，所述流路切换部41以先导阀部件43切换先导流路的连通状态，所述电磁操作部42操作所述先导阀部件43。
所述流路切换部41中，阀主体45的侧面具有：与所述先导供给流路22相连通的所述先导供给口PI；通过所述通孔26a、26b与所述两个先导压力室24b、30b连通的先导输出口PA；以及与所述先导排出流路23相连通的所述先导排出口PR。此外，所述阀主体45 的内部具有所述各口与之连通的先导阀室，该先导阀室内收容有所述先导阀部件43，该先导阀部件43交替开启、关闭先导供给阀座50和先导排出阀座51，其中，所述先导供给阀座50围绕在所述先导供给口PI的周围，所述先导排出阀座51围绕在所述先导排出口PR的周围。
另一方面，所述电磁操作部42具有绕在绕线管52上的励磁线圈53、收容在该绕线管52的中心孔内的固定铁芯54和活动铁芯55、以及使该活动铁芯55返回起始位置的铁芯复位弹簧56，所述活动铁芯55通过连接杆58与所述先导阀部件43相连接。
在所述励磁线圈53未通电的状态下，如图1中活动铁芯55的下半部所示，所述活动铁芯55通过铁芯复位弹簧56的弹力前进到起始位置，经由连接杆58将先导阀部件43推压到先导排出阀座51上，这样，该先导排出阀座51关闭而先导供给阀座50开启，先导排出口PR被隔断而先导供给口PI和先导输出口PA连通。该状态下，来自所述先导供给接口PP的先导流体经过所述先导供给口PI和先导输出口PA供给到所述主隔膜14背后的先导压力室24b，同时也供给到辅助隔膜17a背后的辅助先导压力室30b。
另一方面，当所述励磁线圈53通电时，如图1中活动铁芯55的上半部所示，所述活动铁芯55被固定铁芯54吸附而后退到动作位置，所以先导阀部件43由阀复位弹簧57推动而从所述先导排出阀座51离开并被推压在先导供给阀座50上。因此，所述先导排出阀座51开启而先导输出口PA和先导排出口PR连通，同时先导供给阀座50关闭而先导供给口PI被隔断。该状态下，所述两个先导压力室24b、30b向外部开放，先导流体被排出。
图中的符号59为接电用连接器，用于连接来自控制装置的供电用连接器。
具有所述结构的隔膜式电磁阀10A在如图1所示的状态下使用。在该状态下，供给接口P和先导供给接口PP通过歧管底座连接到共用的压力流体源(压缩空气源)60，同时先导排出接口PE向外部开放，此外，输出接口A连接到负载(例如容器)61上。
在所述先导阀部12的励磁线圈53为非通电状态下，如上所述，先导供给阀座50开启而先导供给口PI和先导输出口PA连通，所以来自先导供给接口PP的先导流体供给到所述主先导压力室24b和辅助先导压力室30b。因此，主隔膜14通过该先导流体的作用力被推压到主阀座16上，从供给接口P到输出接口A的主流路15被隔断。同时，通过供给到辅助先导压力室30b的先导流体，所述辅助隔膜17a向主隔膜14侧位移，经由所述传递杆33将主隔膜14向主阀座16推压，所以该主隔膜14的阀关闭力会增加一个由该辅助隔膜17a产生的作用力的量。
当所述励磁线圈53通电时，先导供给口PI被隔断，先导输出口PA和先导排出口PR相连通，所以所述两个先导压力室24b、30b内的先导流体从先导排出接口PE向外排出。因此，由于来自供给接口P的主流体的作用力，主隔膜14被向上推压而从主阀座16离开，主流路15中的供给侧主流路15P和输出侧主流路15A相连通，因此，主流体向输出接口A流动而供给所述负载61。
此时，所述主隔膜14的位移经由所述传递杆33传递给辅助隔膜17a，该辅助隔膜17a也与之一起向图中的上方位移。
所述负载61上供给填充需要量的主流体后，使所述励磁线圈53处于非通电状态，则先导流体供给所述两先导压力室24b、30b，所以如上所述，在主隔膜14被推压到主阀座16上而关闭主流路15的同时，辅助隔膜17a经由传递杆33向关闭方向推压该主隔膜14，从而主流体的对负载61的填充状态被保持。
在所述填充保持状态中，当例如与所述电磁阀10A并列连接于所述压力流体源60的未图示的其他电磁阀动作，主流体供给到其他负载时，所述先导供给接口PP的流体压暂时下降，与此对应，两个先导压力室24b、30b内的先导流体压也下降。
此时，在不具备所述辅助阀体17的普通型隔膜电磁阀中存在如下情况：由于经过输出接口A作用的负载61侧的压力即逆压，主隔膜14暂时从主阀座16离开，填充保持状态不稳定。
然而，所述实施方式的电磁阀中，主隔膜14的阀关闭力通过辅助阀体17得到增强，所以即使负载61侧的流体压作为逆压通过输出接口A对该主隔膜14向开启方向发生作用，该主隔膜14也不会从主阀座16离开，所述填充保持状态被稳定保持。
图3表示本发明的第2实施方式，该第2实施方式的电磁阀10B与所述第1实施方式的电磁阀10A的不同之处在于如下方面：辅助隔膜17a总是以加压弹簧63对其向主隔膜14侧加载。即，所述辅助隔膜17a背面(上表面)的罩27与辅助先导压力室30b中央部上形成的凹部30d的底壁之间夹设有所述加压弹簧63，以该加压弹簧63将辅助隔膜17a向主隔膜14侧推压。因此，与所述第1实施方式的电磁阀10A相比，该第2实施方式的电磁阀10B中主隔膜14的阀关闭力会增加一个所述加压弹簧63的加载力的量。
关于该第2实施方式的电磁阀10B的除上述说明之外的结构和作用，由于其基本上与所述第1实施方式的电磁阀10A相同，所以这些主要的相同结构部分采用与第1实施方式中所用的符号相同的符号并省略其说明。
图4表示本发明的第3实施方式，该第3实施方式的电磁阀10C与所述第2实施方式的电磁阀10B的不同点在于如下方面：辅助阀体17不是隔膜，而是以活塞17b形成。即，阀门壳体13中所形成的辅助阀室30内以可滑动的方式收容有圆盘形的所述活塞17b，通过该活塞17b，该辅助阀室30被区划为辅助先导压力室30b和传递室30a。所述活塞17b的外周上形成有环状的凹槽64，该凹槽64内，唇型的单向密封部件65按照阻止空气从辅助先导压力室30b向传递室30a流动的朝向配置。但该密封部件65也可为O型环或具有其他适宜的剖面形状的部件。
此外，所述活塞17b的上表面中央部形成有轴部66，该轴部66与所述辅助先导压力室30b的中央部的凹部30d嵌合，该轴部66外周的台阶部和凹部30d的底壁之间夹设有将所述活塞17b向主隔膜14侧加载的加压弹簧63。
此外，所述活塞17b和传递杆33一体形成，在该传递杆33的下端(顶端)形成的凹处33b内嵌合有所述主隔膜14上表面的罩27，在罩27与凹处33b之间存在间隙，传递杆33顶端的围绕着所述凹处33b的环状部分与罩27的肩部相抵接。通过贯穿该活塞17b和传递杆33内部的通孔68，所述辅助先导压力室30b和主先导压力室24b相互连通。该通孔68中位于传递杆33侧的端部在所述凹处33b内开口，并通过该凹处33b与所述主先导压力室24b相连通，在所述传递杆33顶端的环状部分上沿径向上形成有流体流通用的槽33c。
关于该第3实施方式的电磁阀10C的除上述说明之外的结构和作用，由于其基本上与所述第2实施方式的电磁阀10B相同，所以这些主要的相同结构部分采用与第2实施方式相同的符号并省略其说明。
图5表示本发明的第4实施方式，该第4实施方式的电磁阀10D与所述第3实施方式的电磁阀10C的不同点在于如下方面：传递杆33的顶端部被形成为无与罩27嵌合的凹处的大致平坦的面，使该顶端部与主隔膜14上表面的罩27的上表面抵接。该顶端部上沿径向上形成有槽33c，用于将来自通孔68的压力流体顺畅地导向主先导压力室24b。
关于该第4实施方式的电磁阀10D的除上述说明之外的的结构和作用，由于其基本上与所述第3实施方式的电磁阀10C相同，所以这些主要的相同结构部分采用与第3实施方式相同的符号并省略其说明。
所述第3和第4实施方式的电磁阀10C以及10D中，活塞17b和传递杆33一体形成，但其也可分体形成。此外，主先导压力室24b和辅助先导压力室30b通过贯穿所述活塞17b和传递杆33的内部的通孔68相互连通，但也可象所述第1实施方式的电磁阀10A那样，通过阀门壳体13内部形成的通孔26a相互连通。
此外，图示的各实施方式的电磁阀10A～10D中仅设置了1组辅助阀体17和传递杆33，但也可设置两组以上。该情况下，多个辅助阀体17和传递杆33被配设为顺次串联连接的状态。
图6中，用符号表示了使用所述第1实施方式的电磁阀10A而构成的用于氧气浓缩的电磁阀总成的结构。该电磁阀总成通过将4个电磁阀10A1～10A4搭载在歧管底座70上而形成，第1电磁阀10A1和第2电磁阀10A2的供给接口P与第1～第4电磁阀10A1～10A4的先导供给接口PP分别与歧管底座70的总供给用流路71连接，并通过该总供给用流路71与压缩空气源60相连接。第3电磁阀10A3和第4电磁阀10A4的供给接口P与第1～第4电磁阀10A1～10A4的先导排出接口(未图示)分别与歧管底座70的总排出用流路72相连接，并通过该总排出用流路72向外部开放。
此外，所述第1电磁阀10A1和第3电磁阀10A3的输出接口A分别与歧管底座70的第1输出用流路73连接，且通过该第1输出用流路73与作为用于氧气浓缩的容器的第1负载61a相连接。第2电磁阀10A2和第4电磁阀10A4的输出接口A分别与歧管底座70的第2输出用流路74连接，且通过该第2输出用流路74与作为用于氧气浓缩的容器的第2负载61b相连接。
所述电磁阀总成中，对第1负载61a和第2负载61b的压缩空气的供给通过第1电磁阀10A1和第2电磁阀10A2进行，来自所述负载61a、61b的压缩空气的排出通过第3电磁阀10A3和第4电磁阀10A4进行。即，对第1负载61a的压缩空气的供给是通过对第1电磁阀10A1通电而将该第1电磁阀10A1切换到与图6相反的阀门开启位置而进行的，供给后的填充状态的保持是通过不给该第1电磁阀10A1通电而将其切换到图6的阀门关闭位置而进行的。此时，第3电磁阀10A3由于未通电而处于图6的阀门关闭位置。
来自该第1负载61a的压缩空气的排出通过对所述第3电磁阀10A3通电而将该第3电磁阀10A3切换到与图6相反的阀门开启位置来进行。此时，上述第1电磁阀10A1由于未通电而处于图6的阀门关闭位置。
对第2负载61b的压缩空气的供给和排出也通过对第2电磁阀10A2和第4电磁阀10A4进行与上述相同的切换操作而进行。
这里，对所述第1负载61a供给压缩空气后，第1电磁阀10A1 关闭而保持填充状态，该状态下，即使由于第2电磁阀10A2动作而将压缩空气供给到第2负载61b，总供给用流路71中的气压暂时下降，如上所述，所述第1电磁阀10A1中主隔膜14的阀关闭力也会通过辅助阀体17得到增强，所以即使第1负载61a侧的流体压作为逆压通过输出接口A对该主隔膜14向开启方向发生作用，该主隔膜14也不会暂时开启主阀座16。在以第2电磁阀10A2将压缩空气填充到第2负载61b并保持的状态下，以第1电磁阀10A1将压缩空气供给第1负载61a时，情况是相同的。
本发明还可采用所述第2～第4实施方式的电磁阀10B～10D形成同样的电磁阀总成，但此时排出用第3电磁阀和第4电磁阀中，优选使用不带有将辅助阀体17向主隔膜14侧推压的所述加压弹簧63的电磁阀。其原因在于，如果带有加压弹簧63，则在排出负载61的压缩空气时，负载61内会留下该加压弹簧63的加载力程度的残留压力。
此外，作为排出用的所述第3电磁阀和第4电磁阀，也可使用不带所述辅助阀体17的普通型的隔膜式电磁阀。
Claims (3)
1.一种带关闭力增强机构的隔膜式电磁阀，包括隔膜阀部和电磁操作式先导阀部，其中，所述隔膜阀部在具有用于将电磁阀安装到歧管底座上的安装面的阀门壳体内设置有：在所述安装面上开口的主流体用的供给接口和输出接口、位于连接该两接口的主流路中的主阀座、接触或离开该主阀座而开启或关闭所述主流路的主隔膜、以及使在该主隔膜上产生与所述主阀座相抵接的方向的作用力的主先导压力室，所述先导阀部将先导流体供给到或排出所述主先导压力室，其特征在于，
所述隔膜阀部还具有辅助阀体、辅助先导压力室、以及传递杆，其中，所述辅助阀体用于增强所述主隔膜在与所述主阀座相抵接而关闭所述主流路时的阀关闭力；所述辅助先导压力室使来自所述先导阀部的先导流体作用到该辅助阀体上；所述传递杆通过与所述辅助阀体联动位移而将该辅助阀体的作用力传递到所述主隔膜上，
所述辅助阀体由活塞形成，所述传递杆与该活塞一体形成，在与所述主隔膜同心的位置上，所述辅助阀体和传递杆相对于该主隔膜串联配设，所述主先导压力室和辅助先导压力室通过贯穿所述活塞和传递杆的内部的通孔相互连通。
2.如权利要求1中所述的电磁阀，其特征在于，通过使所述辅助阀体的行程可能范围比主隔膜的动作行程大，在先导流体被供给到所述两个先导压力室而主隔膜与主阀座相抵接时，通过所述传递杆位于该辅助阀体和所述主隔膜之间并与二者相抵接，该辅助阀体位于接近行程终端的位置。
3.如权利要求1或2中所述的电磁阀，其特征在于，所述阀门壳体包括具有所述安装面的第1区段、结合在该第1区段上的第2区段以及结合在该第2区段上的第3区段，在所述第1区段和第2区段之间配设有所述主隔膜，同时在该第2区段和第3区段之间配设有所述辅助阀体，且该第2区段上设置有所述传递杆，通过卸下所述第2区段、辅助阀体以及传递杆，使主隔膜介于所述第1区段和第3区段之间而将该两区段相互结合，可形成不带有关闭力增强机构的隔膜式电磁阀。
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