CN101121825B - 可聚合树脂组合物 - Google Patents
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Abstract
一种可聚合树脂组合物,所述可聚合树脂组合物包含(A)树脂、(B)可聚合化合物、(C)引发剂、(C-1)引发助剂、(T)多官能硫醇化合物和(D)溶剂,其中所述引发助剂(C-1)包含式(V)的化合物,在式(V)中,X所示的点线表示芳族环,Y表示氧原子或硫原子,R1表示含1至6个碳原子的烷基,R2表示任选被卤原子取代的含1至12个碳原子的烷基或任选被卤原子取代的含6至12个碳原子的芳基。
Description
技术领域
本发明涉及一种可聚合树脂组合物。
背景技术
已提出通过使用光敏树脂的光刻在组成显示器的滤色器和阵列衬底之间形成隔体(光隔体),所述显示器如液晶显示器、接触屏等。根据这种方法,可以在任何位置形成隔体。
目前,从用作光刻的光源的汞灯发射的光通常在约436nm、约408nm、约365nm、约313nm、约315nm、约313nm等具有高强度光谱。
作为用于实际光隔体形成方法的曝光装置,通常使用近程(proximity)曝光装置和步进器(stepper),并且在许多情况下,在短波长的截除光小于350nm时,使用新近的近程曝光装置。在步进器中,使用约408nm和约365nm的光。
提出了一种即使在使用这种不发射小于350nm的短波长的光的曝光装置的情况下,也能够显示出足够的硬化性能的组合物(例如,专利文件1(JP-A 10-177108,第2页,左栏第2行至右栏第9行),专利文件2(JP-A2005-208360,第2页,第2至9行)和专利文件3(JP-A 2006-133378,第2页,第2至17行))。
在这种组合物中,使用具有在350至450nm的范围内的最大吸收波长的化合物以即使在截除小于350nm的短波长的光的曝光装置的情况下,也赋予对约436nm、约408nm和约365nm的光的足够的灵敏度。
然而,当使用这种组合物时,存在的问题是尽管获得足够的灵敏度,但是因为在350至450nm的范围内的最大吸收波长,得到的涂膜或图案的透射率降低。
作为广泛使用的具有在350至450nm的范围内的最大吸收波长的化合 物,4,4’-二(N,N-二乙氨基)二苯甲酮是已知的,然而,还已知4,4’-二(N,N-二乙氨基)二苯甲酮具有高的升华性。如果升华性高,则在后烘焙中污染烘焙炉的内部,从而导致产品的收率降低。
发明内容
本发明的目的是提供一种可聚合树脂组合物,所述可聚合树脂组合物对约436nm、约408nm和约365nm的光具有足够的灵敏度,并且能够形成高透射率的涂膜或图案。
本发明的发明人进行了研究,结果发现包含某种引发助剂的可聚合树脂组合物能够解决上述问题。
即,本发明提供下列[1]至[6]。
[1].一种可聚合树脂组合物,所述可聚合树脂组合物包含(A)树脂、(B)可聚合化合物、(C)引发剂、(C-1)引发助剂、(T)多官能硫醇化合物和(D)溶剂,其中所述引发助剂(C-1)包含式(V)的化合物:
(在式(V)中,X所示的点线表示芳族环,Y表示氧原子或硫原子,R1表示含1至6个碳原子的烷基,R2表示任选被卤原子取代的含1至12个碳原子的烷基或任选被卤原子取代的含6至12个碳原子的芳基。)。
[2].根据[1]所述的可聚合树脂组合物,其中所述引发剂(C)包含选自联咪唑化合物、苯乙酮化合物、三嗪化合物、酰基氧膦(acylphosphine oxide)化合物和肟化合物中的至少一种化合物。
[3].根据[1]或[2]所述的可聚合树脂组合物,其中所述树脂(A)是具有碱溶性基团的树脂。
[4].一种通过使用根据[1]至[3]中任一项所述的可聚合树脂组合物形成的涂膜。
[5].一种通过使用根据[4]所述的涂膜形成的图案。
[6].一种包含根据[5]所述的图案的显示器。
具体实施方式
将在下面说明本发明。
本发明的可聚合树脂组合物优选用于形成显示器的构件。
本发明的可聚合树脂组合物包含溶于或分散于(D)溶剂中的(A)树脂、(B)可聚合化合物、(C)引发剂、(C-1)引发助剂、(T)多官能硫醇化合物。
作为用于本发明的可聚合树脂组合物的树脂(A),(i)具有碱溶性的树脂、(ii)具有碱溶性并且通过光和热中的至少一种的作用具有反应性的树脂等是示例的。
作为(i)具有碱溶性的树脂示例的是由选自不饱和羧酸和不饱和羧酸酐中的至少一种(a)和选自可与(a)共聚合的单体(c)(不包括(a))中的至少一种组成的共聚物等。
上述选自不饱和羧酸和不饱和羧酸酐中的至少一种(a)的具体实例包括不饱和单羧酸,如丙烯酸、甲基丙烯酸、巴豆酸等;不饱和二羧酸,如马来酸、富马酸、柠康酸、中康酸、衣康酸等;上述不饱和二羧酸的酐;二元或更多元羧酸的不饱和单[(甲基)丙烯酰氧基烷基]酯,如琥珀酸单[2-(甲基)丙烯酰氧基乙]酯、邻苯二甲酸单[2-(甲基)丙烯酰氧基乙]酯等;在同一分子中包含羟基和羧基的不饱和丙烯酸酯,如丙烯酸α-(羟基甲)酯;等。
在它们之中,出于共聚合反应性和碱溶性的观点,优选使用丙烯酸、甲基丙烯酸、马来酸酐等。这些可以单独或以两种或更多种组合使用。
上述可与(a)共聚合的单体(c)(不包括(a))的实例包括(甲基)丙烯酸烷基酯,如(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸仲丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯等;
(甲基)丙烯酸环烷基酯,如(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸2-甲基环己酯、三环[5.2.1.02.6]癸-8-基(甲基)丙烯酸酯(在本领域中俗称(甲基)丙烯酸二环戊酯)、(甲基)丙烯酸二环戊氧基乙酯、(甲基)丙烯酸异冰片酯等;
丙烯酸环烷基酯,如丙烯酸环己酯、丙烯酸2-甲基环己酯、三环[5.2.1.02.6]癸-8-基丙烯酸酯(在本领域中俗称丙烯酸二环戊酯)、丙烯酸二环 戊氧基乙酯、丙烯酸异冰片酯等;
(甲基)丙烯酸芳基酯,如(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸苄酯等;
丙烯酸芳基酯,如丙烯酸苯酯、丙烯酸苄酯等;
二羧酸二酯,如马来酸二乙酯、富马酸二乙酯、衣康酸二乙酯等;
羟基烷基酯,如(甲基)丙烯酸2-羟乙酯、(甲基)丙烯酸2-羟丙酯等;
双环不饱和化合物,如双环[2.2.1]庚-2-烯、5-甲基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-乙基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-羟基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-羟甲基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-(2′-羟乙基)双环[2.2.1]庚-2-烯、5-甲氧基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-乙氧基双环[2.2.1]庚-2-烯、5,6-二羟基双环[2.2.1]庚-2-烯、5,6-二羧基双环[2.2.1]庚-2-烯、5,6-二(羟甲基)双环[2.2.1]庚-2-烯、5,6-二(2′-羟乙基)双环[2.2.1]庚-2-烯、5,6-二甲氧基双环[2.2.1]庚-2-烯、5,6-二乙氧基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-羟基-5-甲基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-羟基-5-乙基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-5-甲基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-5-乙基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-羟甲基-5-甲基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-6-甲基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-6-乙基双环[2.2.1]庚-2-烯、5,6-二羧基双环[2.2.1]庚-2-烯酐(himic anhydride)、5-叔丁氧基羰基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-环己氧基羰基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-苯氧基羰基双环[2.2.1]庚-2-烯、5,6-二(叔丁氧基羰基)双环[2.2.1]庚-2-烯、5,6-二(环己氧基羰基)双环[2.2.1]庚-2-烯等;
二羰基酰亚胺(dicarbonylimide)衍生物,如N-苯基马来酰亚胺、N-环己基马来酰亚胺、N-苄基马来酰亚胺、N-琥珀酰亚胺基-3-马来酰亚胺苯甲酸盐、N-琥珀酰亚胺基-4-马来酰亚胺丁酸盐、N-琥珀酰亚胺基-6-马来酰亚胺己酸盐、N-琥珀酰亚胺基-3-马来酰亚胺丙酸盐、N-(9-吖啶基)马来酰亚胺等;
苯乙烯、α-甲基苯乙烯、间甲基苯乙烯、对甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、对甲氧基苯乙烯、丙烯腈、甲基丙烯腈、氯乙烯、偏二氯乙烯、丙烯酰胺、甲基丙烯酰胺、乙酸乙烯酯、1,3-丁二烯、异戊二烯、2,3-二甲基-1,3-丁二烯等。
在它们之中,出于共聚合反应性和碱溶性的观点,优选苯乙烯、N-苯基马来酰亚胺、N-环己基马来酰亚胺、N-苄基马来酰亚胺、双环[2.2.1]庚-2-烯等。
这些可以单独或以两种或更多种组合使用。
在通过使(a)和(c)共聚合得到的共聚物中,在组成上述共聚物的组成组分的总摩尔数为100摩尔%时,根据摩尔分数,由相应材料衍生的组成组分的比例优选在下列范围内。
由(a)衍生的组成单元:2至40摩尔%
由(c)衍生的组成单元:60至98摩尔%
上述组成组分的比例更优选在下列范围内。
由(a)衍生的组成单元:5至35摩尔%
由(c)衍生的组成单元:65至95摩尔%
当上述组成比例在上述范围内时,保存稳定性、显影性能和耐溶剂性趋向于是优异的。
可以参考例如下列文献以及在该文献中描述的引证文献中描述的方法制备上述具有碱溶性的树脂(i):″Kobunshi Gosei no Jikkenho(experimentmethod of polymer synthesis)″(Takayuki Ootsu,由Kagaku Dojin K.K.出版,第一版,第一次印刷,1972年3月1日)。
具体而言,将给定量的组成共聚物的单元(a)和(c)、聚合引发剂和溶剂装填到反应容器中,并且在通过用氮气吹扫氧气而没有氧气的情况下搅拌,加热并且热绝缘以得到聚合物。得到的共聚物可以以反应后自身的溶液形式使用,可以以浓缩或稀释的溶液的形式使用,或者可以在使用之前通过例如再沉淀等方法将其以固体(粉末)的形式取出。
上述具有碱溶性的树脂(i)基于聚苯乙烯校准标准的重均分子量优选为3,000至100,000,更优选为5,000至50,000。优选具有碱溶性的树脂(i)在上述范围内的重均分子量,因为涂布性能趋向于是优异的,在显影中不容易发生膜损失,此外,非图像部分的渗透性在显影中趋向于是优异的。
具有碱溶性的树脂(i)的分子量分布[重均分子量(Mw)/数均分子量(Mn)]优选为1.1至6.0,更优选为1.2至4.0。优选在上述范围内的分子量分布,因为显影性能趋向于是优异的。
根据基于在可聚合树脂组合物中的固体组分的重量分数,可以用于本发明的可聚合树脂组合物的具有碱溶性的树脂(i)的含量优选为5至90重量%,更优选为10至70重量%。优选具有碱溶性的树脂(i)在上述范围内的含 量,因为在显影剂中的溶解度是足够的,不容易在非图像部分的衬底上产生显影残留物,在显影中不容易在曝光部分的像素部分发生膜损失,并且未曝光部分的渗透性趋向于是优异的。
作为具有碱溶性并且通过光和热中的至少一种的作用具有反应性的树脂(ii),提到(ii-1)下列化合物的共聚物:上述(a)选自不饱和羧酸和不饱和羧酸酐中的至少一种、可与(a)共聚合的(c)单体(不包括(a))、和(b)具有选自脂族环氧基和脂环族环氧基中的至少一个基团并且具有不饱和键的化合物或具有氧杂环丁烷基并且具有不饱和键的化合物;和(ii-2)上述(a)选自不饱和羧酸和不饱和羧酸酐中的至少一种和可与(a)共聚合的(c)单体(不包括(a))的共聚物,其通过使选自不饱和羧酸和不饱和羧酸酐中的至少一种(a)衍生的羧基部分与环氧基或氧杂环丁烷基反应而得到,所述环氧基或氧杂环丁烷基衍生自上述(b)具有脂族环氧基或脂环族环氧基并且具有不饱和键的化合物或具有氧杂环丁烷基并且具有不饱和键的化合物。
在(b)之中,作为具有脂族环氧基并且具有不饱和键的化合物特别提到的是(甲基)丙烯酸缩水甘油酯、(甲基)丙烯酸β-甲基缩水甘油酯、(甲基)丙烯酸β-乙基缩水甘油酯、邻乙烯基苄基缩水甘油基醚、间乙烯基苄基缩水甘油基醚、对乙烯基苄基缩水甘油基醚、缩水甘油基乙烯基醚等。
在(b)之中,作为具有脂环族环氧基并且具有不饱和键的化合物特别提到的是乙烯基环己烯一氧化物1,2-环氧-4-乙烯基环己烷(例如,CELLOXIDE 2000:由Daicel Chemical Industries,Ltd.生产),3,4-环氧环己基甲基丙烯酸酯(例如,CYCLOMER A400:由Daicel Chemical Industries,Ltd.生产)、3,4-环氧环己基甲基甲基丙烯酸酯(例如,CYCLOMER M100;由Daicel Chemical Industries,Ltd.生产),或者选自式(I)的化合物和式(II)的化合物中的至少一种化合物。
在式(I)和式(II)中,R各自独立地表示氢原子或任选被羟基取代的含1 至4碳原子的烷基。
X各自独立地表示单键或任选含有杂原子的含1至6个碳原子的亚烷基。
作为R特别提到的是氢原子;烷基如甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、仲丁基、叔丁基等;含羟基的烷基,如羟甲基、1-羟乙基、2-羟乙基、1-羟基-正丙基、2-羟基-正丙基、3-羟基-正丙基、1-羟基-异丙基、2-羟基-异丙基、1-羟基-正丁基、2-羟基-正丁基、3-羟基-正丁基、4-羟基-正丁基等。在它们之中,优选提到的是氢原子、甲基、羟甲基、1-羟乙基和2-羟乙基,并且更优选提到的是氢原子和甲基。
X包括单键;亚烷基,如亚甲基、亚乙基、亚丙基等;含杂原子的亚烷基,如氧化亚甲基、氧化亚乙基、氧化亚丙基、硫代亚甲基、硫代亚乙基、硫代亚丙基、氨基亚甲基、氨基亚乙基、氨基亚丙基等。在它们之中,优选提到的是单键、亚甲基、亚乙基、氧化亚甲基和氧化亚乙基,并且更优选提到的是单键和氧化亚乙基。
作为式(I)的化合物,提到的是式(I-1)至(I-15)的化合物,优选提到的是式(I-1)、(I-3)、(I-5)、(I-7)、(I-9)、(I-11)至(I-15)的化合物,并且特别优选的是式(I-1)、(I-7)、(I-9)和(I-15)的化合物。
作为式(II)的化合物,提到的是式(II-1)至(II-15)的化合物,优选提到的是式(II-1)、(II-3)、(II-5)、(II-7)、(II-9)、(II-11)至(II-15)的化合物,并且特别优选的是式(II-1)、(II-7)、(II-9)和(II-15)的化合物。
选自式(I)的化合物和式(II)的化合物中的至少一种化合物可以单独使用。可以将这些化合物以任意比例混合。在混合的情况下,根据式(I)∶式(II)的摩尔比,混合比优选为5∶95至95∶5,更优选为10∶90至90∶10,特别优选为20∶80至80∶20。
在(b)之中,含有氧杂环丁烷基并且含有不饱和键的化合物的实例包括3-甲基-3-甲基丙烯酰氧基甲基氧杂环丁烷、3-甲基-3-丙烯酰氧基甲基氧杂环丁烷、3-乙基-3-甲基丙烯酰氧基甲基氧杂环丁烷、3-乙基-3-丙烯酰氧基甲基氧杂环丁烷、3-甲基-3-甲基丙烯酰氧基乙基氧杂环丁烷、3-甲基-3-丙烯酰氧基乙基氧杂环丁烷、3-乙基-3-甲基丙烯酰氧基乙基氧杂环丁烷、3-乙基-3-丙烯酰氧基乙基氧杂环丁烷等。
在共聚物(i-1)中,优选根据基于组成共聚物(i-1)的组成组分的总摩尔数的摩尔分数,由其衍生的组成组分的比例在下列范围内。
由(a)衍生的组成单元:2至40摩尔%
由(c)衍生的组成单元:1至65摩尔%
由(b)衍生的组成单元:2至95摩尔%
上述组成组分的比例更优选在下列范围内。
由(a)衍生的组成单元:5至35摩尔%
由(c)衍生的组成单元:1至60摩尔%
由(b)衍生的组成单元:5至80摩尔%
当上述组成比例在上述范围内时,保存稳定性、显影性能、耐溶剂性、 耐热性和机械强度趋向于是优异的。
可以参考例如下列文献以及在该文献中描述的引证文献中描述的方法制备上述具有碱溶性的树脂(i-1):″Kobunshi Gosei no Jikkenho(experiment method of polymer synthesis)″(Takayuki Ootsu,由Kagaku DojinK.K.出版,第一版,第一次印刷,1972年3月1日)。
具体而言,将给定量的组成共聚物的化合物衍生单元(a)、(c)和(b)、聚合引发剂和溶剂装填到反应容器中,并且在通过用氮气吹扫氧气而没有氧气的情况下搅拌,加热并且热绝缘以得到聚合物。得到的共聚物可以以反应后自身的溶液形式使用,可以以浓缩或稀释的溶液的形式使用或者可以在使用之前通过例如再沉淀等方法将其以固体(粉末)的形式取出。
作为可以用于本发明的具有碱溶性并且通过光和热中的至少一种的作用具有反应性的树脂,提到共聚物(ii-2),所述共聚物(ii-2)通过使选自共聚物的不饱和羧酸和不饱和羧酸酐中的至少一种衍生的部分与环氧基或杂环丁烷基反应而得到,所述共聚物由上述选自不饱和羧酸和不饱和羧酸酐中的至少一种(a)和可与(a)共聚合的(c)单体(不包括(a))组成,所述环氧基或杂环丁烷基由上述(b)具有脂族环氧基或脂环族环氧基并且具有不饱和键的化合物或具有氧杂环丁烷基并且具有不饱和键的化合物衍生。
首先,使(a)和(c)共聚合以制备共聚物。根据基于组成上述共聚物的组成组分的总摩尔数的摩尔分数,由其衍生的组成组分的比例优选在下列范围内。
由(a)衍生的组成单元:5至50摩尔%
由(c)衍生的组成单元:50至95摩尔%
上述组成组分的比例更优选在下列范围内。
由(a)衍生的组成单元:10至45摩尔%
由(c)衍生的组成单元:55至90摩尔%
为了通过光或热的作用赋予反应性,使由通过使(a)和(c)共聚合得到的共聚物衍生的(a)的羧酸和羧酸酐的部分与由上述(b)衍生的环氧基或氧杂环丁烷基反应。
基于(a)的摩尔数,(b)的摩尔数通常为5至80摩尔%,优选为10至75摩尔%,更优选为15至70摩尔%。
在保存稳定性、显影性能、耐溶剂性、耐热性、机械强度和灵敏度之间的平衡趋向于是优异的。
可以通过两级工艺制备树脂(ii-2)。它可以是参考例如在下列文献中描述的方法和在JP-A2001-89533中描述的方法制备的:″Kobunshi Gosei noJikkenho(experiment method of polymer synthesis)″(Takayuki Ootsu,由Kagaku Dojin K.K.出版,第一版,第一次印刷,1972年3月1日)。
具体而言,将首先描述第一级的工艺。将给定量的组成通过使(a)和(c)共聚合得到的共聚物(即,具有碱溶性的树脂)的化合物衍生单元(a)和(c)、聚合引发剂和溶剂装填到反应容器中,并且在通过用氮气吹扫氧气而没有氧气的情况下搅拌,加热并且热绝缘以得到具有碱溶性的树脂。得到的共聚物可以以反应后自身的溶液形式使用,可以以浓缩或稀释的溶液的形式使用,或者可以在使用之前通过例如再沉淀等方法将其以固体(粉末)的形式取出。上述树脂基于聚苯乙烯校准标准的重均分子量优选为3,000至100,000,更优选为5,000至50,000。优选上述树脂在上述范围内的重均分子量,因为涂布性能趋向于是优异的,在显影中不容易发生膜损失,此外,非图像部分的渗透性在显影中趋向于是优异的。
上述树脂的分子量分布[重均分子量(Mw)/数均分子量(Mn)]优选为1.1至6.0,更优选为1.2至4.0。优选在上述范围内的分子量分布,因为涂布性能和显影性能趋向于是优异的。
接着,将描述第二级的方法。随后,将烧瓶中的气氛从氮气改变为空气,并且通常,将基于组成组分(a)的摩尔数的量为5至80摩尔%的组成组分(b)、基于单体(a)至(c)的总量的量为0.001重量%至5重量%的作为羧基和环氧基或氧杂环丁烷基的反应催化剂的三(二甲基)氨基甲基苯酚、和基于单体(a)至(c)的总量的量为0.001重量%至5重量%的作为阻聚剂的对苯二酚装填到烧瓶中,并且通常在60至130℃连续反应1至10小时,从而使上述树脂和组成组分(b)反应。与聚合条件类似,考虑到制备装置、由聚合引起的热值等,可以适当地调节装填方法和反应温度。
本发明的可聚合树脂组合物中包含的可聚合化合物(B)包含单官能单体、双官能单体、三官能或更多官能的单体。
单官能单体的具体实例包括壬基苯基卡必醇(甲基)丙烯酸酯、2-羟基 -3-苯氧基丙基(甲基)丙烯酸酯、2-乙基己基卡必醇(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯、(甲基)丙烯酸月桂酯、(甲基)丙烯酸硬脂酯、2-(2-乙氧基乙氧基)乙基(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸四氢糠酯、己内酯(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化壬基苯酚(甲基)丙烯酸酯、丙氧基化壬基苯酚(甲基)丙烯酸酯、N-乙烯基吡咯烷酮等。
双官能的具体实例包括1,3-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸1,3-丁二醇酯、1,6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二甘醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、三甘醇二(甲基)丙烯酸酯、四甘醇二(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇二丙烯酸酯、双酚A的双(丙烯酰氧基乙基)醚、乙氧基化双酚A二(甲基)丙烯酸酯、丙氧基化新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、3-甲基戊二醇二(甲基)丙烯酸酯等。
三官能或更多官能的单体的具体实例包括三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、三(2-羟基乙基)异氰脲酸酯三(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、丙氧基化三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、一缩二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、一缩二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、二缩三季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二缩三季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二缩三季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、二缩三季戊四醇七(甲基)丙烯酸酯、二缩三季戊四醇八(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯和酸酐的反应产物、一缩二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯和酸酐的反应产物、二缩三季戊四醇七(甲基)丙烯酸酯和酸酐的反应产物、己内酯改性的三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、己内酯改性的季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、己内酯改性的三(2-羟乙基)异氰脲酸酯三(甲基)丙烯酸酯、己内酯改性的季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、己内酯改性的一缩二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、己内酯改性的一缩二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、己内酯改性的二缩三季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、己内酯改性的二缩三季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、己内酯改性的二缩三季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、己内酯改性的二缩三季戊四醇七(甲基)丙烯酸酯、己内酯改性的二缩三季戊四醇八(甲基)丙烯酸酯、己内酯改性的季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯和酸酐的反应产物、己内酯改性的一缩二季戊四醇五(甲基)丙 烯酸酯和酸酐的反应产物、己内酯改性的二缩三季戊四醇七(甲基)丙烯酸酯和酸酐的反应产物等。在它们之中,优选使用双官能或更多官能的单体。这些可聚合化合物(B)可以单独或以两种或更多种组合使用。
根据基于树脂(A)和可聚合化合物(B)的总量的重量分数,可聚合化合物(B)的含量优选为1至70重量%,更优选为5至60重量%。优选可聚合化合物(B)在上述范围内的含量,因为涂膜和图案的灵敏度和强度、平滑度、可靠性和机械强度趋向于是优异的。
在本发明的可聚合树脂组合物中包含的引发剂(C)是通过光或热的作用引发聚合的化合物,并且因为优异的灵敏度,更优选的是联咪唑化合物、苯乙酮化合物、三嗪化合物、酰基氧膦化合物和肟化合物,并且特别优选的是联咪唑化合物。
上述联咪唑化合物的实例包括2,2′-双(2-氯苯基)-4,4′,5,5′-四苯基联咪唑、2,2′-双(2,3-二氯苯基)-4,4′,5,5′-四苯基联咪唑(参见例如JP-A 6-75372和6-75373等)、2,2′-双(2-氯苯基)-4,4′,5,5′-四苯基联咪唑、2,2′-双(2-氯苯基)-4,4′,5,5′-四(烷氧基苯基)联咪唑、2,2′-双(2-氯苯基)-4,4′,5,5′-四(二烷氧基苯基)联咪唑、2,2′-双(2-氯苯基)-4,4′,5,5′-四(三烷氧基苯基)联咪唑(参见例如JP-B 48-38403、JP-A 62-174204等)、其中在4,4′,5,5′-位的苯基被羰基烷氧基取代的咪唑化合物(参见例如JP-A 7-10913等),并且优选提到的是2,2′-双(2-氯苯基)-4,4′,5,5′-四苯基联咪唑、2,2′-双(2,3-二氯苯基)-4,4′,5,5′-四苯基联咪唑和2,2′-双(2,4-二氯苯基)-4,4′,5,5′-四苯基联咪唑。
上述苯乙酮化合物的实例包括二乙氧基苯乙酮、2-羟基-2-甲基-1-苯基丙-1-酮、苄基二甲基缩酮、2-羟基-1-[4-(2-羟基乙氧基)苯基]-2-甲基丙-1-酮、2-羟基-1-{4-[4-(2-羟基-2-甲基-丙酰基)-苄基]-2-甲基-丙-1-酮、1-羟基环己基苯基酮、2-甲基-1-(4-甲基硫代苯基)-2-吗啉基丙-1-酮、2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)丁-1-酮、2-(2-甲基苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(3-甲基苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(4-甲基苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(2-乙基苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(2-丙基苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(2-丁基苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(2,3-二甲基苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(2,4-二甲基苄 基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(2-氯苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(2-溴苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(3-氯苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(4-氯苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(3-溴苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(4-溴苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(2-甲氧基苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(3-甲氧基苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(4-甲氧基苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(2-甲基-4-甲氧基苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(2-甲基-4-溴苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-(2-溴-4-甲氧基苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、2-羟基-2-甲基-1-[4-(1-甲基乙烯基)苯基]丙-1-酮的低聚物等。
上述三嗪化合物的实例包括2,4-双(三氯甲基)-6-(4-甲氧基苯基)-1,3,5-三嗪、2,4-双(三氯甲基)-6-(4-甲氧基萘基)-1,3,5-三嗪、2,4-双(三氯甲基)-6-胡椒基-1,3,5-三嗪、2,4-双(三氯甲基)-6-(4-甲氧基苯乙烯基)-1,3,5-三嗪、2,4-双(三氯甲基)-6-[2-(5-甲基呋喃-2-基)乙烯基]-1,3,5-三嗪、2,4-双(三氯甲基)-6-[2-(呋喃-2-基)乙烯基]-1,3,5-三嗪、2,4-双(三氯甲基)-6-[2-(4-二乙基氨基-2-甲基苯基)乙烯基]-1,3,5-三嗪、2,4-双(三氯甲基)-6-[2-(3,4-二甲氧基苯基)乙烯基]-1,3,5-三嗪等。
上述氧化酰基膦引发剂的实例包括氧化2,4,6-三甲基苯甲酰基二苯基膦等。
上述肟化合物的实例包括O-乙氧基羰基-α-羟基亚氨基-1-苯基丙-1-酮、式(III)的化合物、式(IV)的化合物等。
在本发明的可聚合树脂组合物中包含的引发助剂(C-1)包含式(V)的化合物。优选引发助剂(C-1)具有低的升华性。
在式(V)中,由X所示的点线表示任选被卤原子取代的含1至6个碳原子的芳族环。
Y表示氧原子或硫原子。
R1表示含1至6个碳原子的烷基。
R2表示任选被卤原子取代的含1至12个碳原子的烷基,或任选被卤原子取代的含6至12个碳原子的芳基。
作为卤原子,提到氟原子、氯原子、溴原子等。作为含6至12个碳原子的芳族环,提到苯环、萘环等。
任选被卤原子取代的含6至12个碳原子的芳族环的实例包括苯环、甲基苯环、二甲基苯环、乙基苯环、丙基苯环、丁基苯环、戊基苯环、己基苯环、环己基苯环、氯苯环、二氯苯环、溴苯环、二溴苯环、苯基苯环、氯苯基苯环、溴苯基苯环、萘环、氯萘环、溴萘环等。
含1至6个碳原子的烷基的实例包括甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、1-甲基正丙基、2-甲基正丙基、叔丁基、正戊基、1-甲基正丁基、2-甲基正丁基、3-甲基正丁基、1,1-二甲基正丙基、1,2-二甲基正丙基、2,2-二甲基-正丙基、正己基、环己基等。
任选被卤原子取代的含1至12个碳原子的烷基的实例包括甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、1-甲基正丙基、2-甲基正丙基、叔丁基、正戊基、1-甲基正丁基、2-甲基正丁基、3-甲基正丁基、1,1-二甲基正丙基、1,2-二甲基正丙基、2,2-二甲基-正丙基、正己基、环己基、1-氯-正丁基、2-氯-正丁基、3-氯-正丁基等。
任选被卤原子取代的含6至12个碳原子的芳基的实例包括苯基、氯苯基、二氯苯基、溴苯基、二溴苯基、氯溴苯基、联苯基、氯联苯基、二氯 联苯基、溴联苯基、二溴联苯基、萘基、氯萘基、二氯萘基、溴萘基、二溴萘基等。
式(V)的化合物的具体实例是
2-苯甲酰基亚甲基-3-甲基-萘并[2,1-d]噻唑啉、
2-苯甲酰基亚甲基-3-甲基-萘并[1,2-d]噻唑啉(V-2)、
2-苯甲酰基亚甲基-3-甲基-萘并[2,3-d]噻唑啉、
2-(2-萘甲酰基亚甲基)-3-甲基苯并噻唑啉(V-1)、
2-(1-萘甲酰基亚甲基)-3-甲基苯并噻唑啉、
2-(2-萘甲酰基亚甲基)-3-甲基-5-苯基苯并噻唑啉、
2-(1-萘甲酰基亚甲基)-3-甲基-5-苯基苯并噻唑啉、
2-(2-萘甲酰基亚甲基)-3-甲基-5-氟苯并噻唑啉、
2-(1-萘甲酰基亚甲基)-3-甲基-5-氟苯并噻唑啉、
2-(2-萘甲酰基亚甲基)-3-甲基-5-氯苯并噻唑啉、
2-(1-萘甲酰基亚甲基)-3-甲基-5-氯苯并噻唑啉、
2-(2-萘甲酰基亚甲基)-3-甲基-5-溴苯并噻唑啉、
2-(1-萘甲酰基亚甲基)-3-甲基-5-溴苯并噻唑啉、
2-(4-双酚基(biphenoyl)亚甲基)-3-甲基-苯并噻唑啉、
2-(4-双酚基(biphenoyl)亚甲基)-3-甲基-5-苯基苯并噻唑啉、
2-(2-萘甲酰基亚甲基)-3-甲基-萘并[2,1-d]噻唑啉、
2-(4-萘甲酰基亚甲基)-3-甲基-萘并[1,2-d]噻唑啉(V-3)、
2-(4-双酚基(biphenoyl)亚甲基)-3-甲基-萘并[2,1-d]噻唑啉、
2-(4-双酚基(biphenoyl)亚甲基)-3-甲基-萘并[1,2-d]噻唑啉(V-3)、
2-(对氟苯甲酰基亚甲基)-3-甲基-萘并[2,1-d]噻唑啉、
2-(对氟苯甲酰基亚甲基)-3-甲基-萘并[1,2-d]噻唑啉、
2-苯甲酰基亚甲基-3-甲基-萘并[2,1-d]噁唑啉、
2-苯甲酰基亚甲基-3-甲基-萘并[1,2-d]噁唑啉、
2-苯甲酰基亚甲基-3-甲基-萘并[2,3-d]噁唑啉、
2-(2-萘甲酰基亚甲基)-3-甲基苯并噁唑啉、
2-(1-萘甲酰基亚甲基)-3-甲基苯并噁唑啉、
2-(2-萘甲酰基亚甲基)-3-甲基-5-苯基苯并噁唑啉、
2-(1-萘甲酰基亚甲基)-3-甲基-5-苯基苯并噁唑啉、
2-(2-萘甲酰基亚甲基)-3-甲基-5-氟苯并噁唑啉、
2-(1-萘甲酰基亚甲基)-3-甲基-5-氟苯并噁唑啉、
2-(2-萘甲酰基亚甲基)-3-甲基-5-氯苯并噁唑啉、
2-(1-萘甲酰基亚甲基)-3-甲基-5-氯苯并噁唑啉、
2-(2-萘甲酰基亚甲基)-3-甲基-5-溴苯并噁唑啉、
2-(1-萘甲酰基亚甲基)-3-甲基-5-溴苯并噁唑啉、
2-(4-双酚基(biphenoyl)亚甲基)-3-甲基苯并噁唑啉、
2-(4-双酚基(biphenoyl)亚甲基)-3-甲基-5-苯基苯并噁唑啉、
2-(2-萘甲酰基亚甲基)-3-甲基-萘并[2,1-d]噁唑啉、
2-(2-萘甲酰基亚甲基)-3-甲基-萘并[1,2-d]噁唑啉、
2-(4-双酚基(biphenoyl)亚甲基)-3-甲基-萘并[2,1-d]噁唑啉、
2-(4-双酚基(biphenoyl)亚甲基)-3-甲基-萘并[1,2-d]噁唑啉(V-3)、
2-(对氟苯甲酰基亚甲基)-3-甲基-萘并[2,1-d]噁唑啉、
2-(对氟苯甲酰基亚甲基)-3-甲基-萘并[1,2-d]噁唑啉等。
在它们之中,优选提到的是式(V-1)的2-(2-萘甲酰基亚甲基)-3-甲基苯并噻唑啉、式(V-2)的2-苯甲酰基亚甲基-3-甲基-萘并[1,2-d]噻唑啉和式(V-3)的2-(4-双酚基(biphenoyl)亚甲基)-3-甲基-萘并[1,2-d]噻唑啉。
当使用这些化合物时,得到的可聚合树脂组合物具有高灵敏度,因为涂膜或图案的生产率得到提高,因此优选使用这种组合物形成涂膜或图案。例如,在4,4′-双(N,N-二乙基氨基)二苯甲酮(EAB-F)的情况下,在提高涂膜的透明度的涂膜的后烘焙中因加热发生升华,同时烘焙炉的内部被升华物质污染,并且优选式(V)的化合物,因为它在涂膜的后烘焙中不因加热而升华,并且不因提高透明度的光和热的任何一种的作用显示出变色。
还可以在不降低本发明的效果的范围内将光聚合引发剂一起使用。光聚合引发剂的实例包括苯偶姻化合物、二苯甲酮化合物、噻吨酮化合物、蒽化合物等。
更具体而言,提到如下所述的化合物,并且这些化合物可以单独或以两种或更多种组合使用。
上述苯偶姻化合物的实例包括苯偶姻、苯偶姻甲醚、苯偶姻乙醚、苯偶姻异丙醚、苯偶姻异丁醚等。
上述二苯甲酮化合物的实例包括二苯甲酮、对苯甲酰基苯甲酸甲酯、4-苯基二苯甲酮、4-苯甲酰基-4′-甲基二苯硫、3,3′,4,4′-四(叔丁基过氧基羰基)二苯甲酮、2,4,6-三甲基二苯甲酮等。
上述噻吨酮化合物的实例包括2-异丙基噻吨酮、4-异丙基噻吨酮、2,4-二乙基噻吨酮、2,4-二氯噻吨酮、1-氯-4-丙氧基噻吨酮等。
上述蒽化合物的实例包括9,10-二甲氧基蒽、2-乙基-9,10-二甲氧基蒽、9,10-二乙氧基蒽、2-乙基-9,10-二乙氧基蒽等。
另外,可以使用10-丁基-2-氯吖啶酮、2-乙基蒽醌、苯偶酰、9,10-菲醌、樟脑醌、苯基乙醛酸甲酯、二茂钛化合物等作为光聚合引发剂。
此外,可以使用在日本专利申请国际公布(公开)2002-544205中描述的光聚合引发剂作为具有能够导致链转移的基团的光聚合引发剂。
作为上述具有能够导致链转移的基团的光聚合引发剂,例如,提到下式(5)至(10)的光聚合引发剂。
还可以使用上述具有能够导致链转移的基团的光聚合引发剂作为上述共聚物的组成组分(A3)。得到的共聚物可以用作粘合剂树脂以作为本发明的可聚合树脂组合物的粘合剂树脂使用,并且还可以一起使用。
还可以在不降低本发明的效果的范围内使用胺化合物和下列的羧酸化合物作为引发助剂。
胺化合物的具体实例包括脂族胺化合物,如三乙醇胺、甲基二乙醇胺、三异丙醇胺等,和芳族胺化合物,如4-二甲基氨基苯甲酸甲酯、4-二甲基氨基苯甲酸乙酯、4-二甲基氨基苯甲酸异戊酯、4-二甲基氨基苯甲酸2-乙 基己酯、苯甲酸2-二甲基氨基乙酯、N,N-二甲基-对甲苯胺、4,4′-双(二甲基氨基)二苯甲酮(常用名:米蚩酮)、4,4′-双(二乙基氨基)二苯甲酮等。
羧酸化合物的具体实例包括芳族杂乙酸,如苯基硫代乙酸、甲基苯基硫代乙酸、乙基苯基硫代乙酸、甲基乙基苯基硫代乙酸、二甲基苯基硫代乙酸、甲氧基苯基硫代乙酸、二甲氧基苯基硫代乙酸、氯苯基硫代乙酸、二氯苯基硫代乙酸、N-苯基甘氨酸、苯氧基乙酸、萘基硫代乙酸、N-萘基甘氨酸、萘氧基乙酸等。
根据基于树脂(A)和可聚合化合物(B)的总量的重量分数,引发剂(C)的含量优选为0.1至40重量%,更优选为1至30重量%。
基于如上所述的相同标准,引发助剂(C-1)的含量优选为0.01至50重量%,更优选为0.1至40重量%。
基于引发助剂(C-1)的含量,式(V)的化合物的含量优选为50至100%,更优选为60至100%,还优选为65至100%。优选式(V)的化合物在上述范围内的含量,因为如果使用包含这种化合物的可聚合树脂组合物形成涂膜,则涂膜的透明度变好。
优选引发剂(C)的上述范围内的总量,因为可聚合树脂组合物具有高的灵敏度,并且使用上述可聚合树脂组合物形成的涂膜或图案的强度和在上述涂膜或图案的表面上的平滑度趋向于是优异的。另外,优选引发助剂(C-1)在上述范围内的量,因为得到的可聚合树脂组合物具有进一步更高的灵敏度,并且使用上述可聚合树脂组合物形成的图案衬底的生产率趋向于得到提高。
用于本发明的可聚合组合物的多官能硫醇化合物(T)是在分子中具有两个或更多个硫醇基的化合物,并且其中,优选具有两个或更多个脂族硫醇基的化合物,因为本发明的可聚合组合物具有更高的灵敏度。
作为多官能硫醇化合物(T)具体提到的是己烷二硫酚、癸烷二硫酚、1,4-二甲基巯基苯、丁二醇双硫代丙酸酯、丁二醇双巯基乙酸酯、乙二醇双巯基乙酸酯、三羟甲基丙烷三巯基乙酸酯、丁二醇双硫代丙酸酯、三羟甲基丙烷三硫代丙酸酯、三羟甲基丙烷三巯基乙酸酯、季戊四醇四硫代丙酸酯、季戊四醇四巯基乙酸酯、三羟基乙基三硫代丙酸酯、季戊四醇四(3-巯基丁酸酯)、1,4-双(3-巯基丁氧基)丁烷等。
根据基于引发剂(C)的重量分数,多官能硫醇化合物(T)的含量优选为0.5至20重量%,更优选为1至15重量%。优选多官能硫醇化合物(T)在上述范围内的含量,因为灵敏度增加,并且显影性趋向于是优异的。
作为用于本发明的可聚合树脂组合物的溶剂(D)具体提到的是乙二醇单烷基醚,如乙二醇单甲醚、乙二醇单乙醚、乙二醇单丙醚、乙二醇单丁醚等;
二甘醇二烷基醚,如二甘醇二甲醚、二甘醇二乙醚、二甘醇二丙醚、二甘醇二丁醚、二甘醇乙基甲基醚等;
乙二醇烷基醚乙酸酯,如甲基溶纤剂乙酸酯、乙基溶纤剂乙酸酯等;
烷撑二醇烷基醚乙酸酯,如丙二醇单甲醚乙酸酯、丙二醇单乙醚乙酸酯、丙二醇单丙醚乙酸酯、乙酸甲氧基丁酯、乙酸甲氧基戊酯等;
芳族烃,如苯、甲苯、二甲苯、均三甲苯等;
酮,如甲基乙基酮、丙酮、甲基戊基酮、甲基异丁基酮、环己酮、环戊酮等;
醇,如乙醇、丙醇、丁醇、己醇、环己醇、乙二醇、甲氧基丁醇、乙氧基丁醇、丙三醇等;
酯,如3-乙氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯等;
环酯,如γ-丁内酯等。
在上述溶剂之中,出于涂布性能和干燥性能的观点,优选沸点为100至200℃的有机溶剂。作为沸点为100至200℃的有机溶剂具体提到的是烷撑二醇烷基醚乙酸酯,醇如甲氧基丁醇、乙氧基丁醇等,酮如环己酮等和酯如3-乙氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯等,并且优选的是丙二醇单甲醚乙酸酯、丙二醇单乙醚乙酸酯、环己酮、甲氧基丁醇、乙酸甲氧基丁酯、3-乙氧基丙酸乙酯和3-甲氧基丙酸甲酯。
这些溶剂(D)可以单独或以两种或更多种的混合物的形式使用。
根据基于可聚合树脂组合物的重量分数,在本发明的可聚合树脂组合物中的溶剂(D)的含量优选为60至90重量%,更优选为65至85重量%。优选溶剂(D)在上述范围内的含量,因为在通过涂布装置如旋涂机、狭缝和旋转涂布机、狭缝式涂布机(也称为模头涂布机、幕流涂布机)、喷墨、辊涂机、浸渍涂布机等涂布时,存在优异的涂布性能的可能性。
在本发明的可聚合树脂组合物中,在必要时,还可以一起使用添加剂(F),如填充剂、其它聚合物化合物、着色剂、颜料分散剂、紧密粘合促进剂、抗氧化剂、紫外吸收剂、光稳定剂、链转移剂等。
填充剂的具体实例包括玻璃、二氧化硅、氧化铝等。
作为其它聚合物化合物具体提到的是可固化(热固性)树脂,如环氧树脂、马来酰亚胺树脂等;热塑性树脂,如聚乙烯醇、聚丙烯酸、聚乙二醇单烷基醚、聚丙烯酸氟烷基酯、聚酯、聚氨酯等。
作为着色剂,提到根据Color Index(由The Society of Dyes andColourists出版)归类为颜料的化合物。
具体提到的是黄色颜料,如C.I.颜料黄1、3、12、13、14、15、16、17、20、24、31、53、83、86、93、94、109、110、117、125、128、137、138、139、147、148、150、153、154、166、173、194、214等;
橙色颜料,如C.I.颜料橙13、31、36、38、40、42、43、51、55、59、61、64、65、71、73等;
红色颜料,如C.I.颜料红9、97、105、122、123、144、149、166、168、176、177、180、192、209、215、216、224、242、254、255、264、265等;
蓝色颜料,如C.I.颜料蓝15、15:3、15:4、15:6、60等;
紫色颜料,如C.I.颜料紫1、19、23、29、32、36、38等;
绿色颜料,如C.I.颜料绿7、36等;
棕色颜料,如C.I.颜料棕23、25等;
黑色颜料,如C.I.颜料黑1、7等。
作为颜料分散剂,可以使用可商购的表面活性剂。所述表面活性剂的实例包括有机硅、氟、酯、阳离子、阴离子、非离子和两性表面活性剂等,这些可以各自独立地或以两种或更多种组合使用。上述表面活性剂的具体实例包括聚氧化乙烯烷基醚、聚氧化乙烯烷基苯基醚、聚乙二醇二酯、脱水山梨糖醇脂肪酸酯、脂肪酸改性的聚酯、叔胺改性的聚氨酯、聚乙烯亚胺等,并且另外包括商品名:KP(由Shin-Etsu Chemical Co.,Ltd.生产)、POLYFLOW(由Kyoei Kagaku K.K.生产)、EFTOP(Tochem Products)、MEGAFAC(由Dainippon Inc and Chemicals,Incorporated生产)、FLORAD (由Sumitomo 3M生产)、ASAHI GUARD、SURFRON(这些由Asahi GlassCo.,Ltd.生产)、SOLSPERSE(由Zeneca生产)、EFKA(由EFKACHEMICALS生产)、PB821(由Ajinomoto Co.,Inc.生产)等。
作为紧密粘合促进剂具体提到的包括乙烯基三甲氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、乙烯基三(2-甲氧基乙氧基)硅烷、N-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基甲基二甲氧基硅烷、N-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基三甲氧基硅烷、3-氨基丙基三乙氧基硅烷、3-环氧丙氧丙基三甲氧基硅烷、3-环氧丙氧丙基甲基二甲氧基硅烷、2-(3,4-环氧基环己基)乙基三甲氧基硅烷、3-氯丙基甲基二甲氧基硅烷、3-氯丙基三甲氧基硅烷、3-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、3-巯基丙基三甲氧基硅烷等。
作为抗氧化剂具体提到的是2-叔丁基-6-(3-叔丁基-2-羟基-5-甲基苄基)-4-甲基苯基丙烯酸酯、2-[1-(2-羟基-3,5-二叔戊基苯基)乙基]-4,6-二叔戊基苯基丙烯酸酯、6-[3-(3-叔丁基-4-羟基-5-甲基苯基)丙氧基]-2,4,8,10-四叔丁基二苯并[d,f][1,3,2]二氧杂磷杂环庚烯、3,9-双[2-{3-(3-叔丁基-4-羟基-5-甲基苯基)丙酰氧基}-1,1-二甲基乙基]-2,4,8,10-四氧杂螺[5.5]十一烷、2,2′-亚甲基双(6-叔丁基-4-甲基苯酚)、4,4′-亚丁基双(6-叔丁基-3-甲基苯酚)、4,4′-硫代双(2-叔丁基-5-甲基苯酚)、2,2′-硫代双(6-叔丁基-4-甲基苯酚)、二月桂基3,3′-硫代二丙酸酯、二肉豆蔻基3,3′-硫代二丙酸酯、二硬脂基3,3′-硫代二丙酸酯、季戊四醇四(3-月桂基硫代丙酸酯)、1,3,5-三(3,5-二叔丁基-4-羟基苄基)-1,3,5-三嗪-2,4,6(1H,3H,5H)-三酮、3,3′,3″,5,5′,5″-六叔丁基-a,a′,a″-(亚肉豆蔻基-2,4,6-三基)三对甲酚、季戊四醇四[3-(3,5-二叔丁基-4-羟基苯基)丙酸酯]、2,6-二叔丁基-4-甲基苯酚等。
作为紫外线吸收剂具体提到的是2-(2-羟基-5-叔丁基苯基)-2H-苯并三唑、辛基-3-[3-叔丁基-4-羟基-5-(5-氯-2H-苯并三唑-2-基)苯基]丙酸酯、2-[4-[(2-羟基-3-十二烷氧基丙基)氧基-2-羟基苯基]-4,6-双(2,4-二甲基苯基)-1,3,5-三嗪、2-[4-[(2-羟基-3-(2′-乙基)己基)氧基]-2-羟基苯基]-4,6-双(2,4-二甲基苯基)-1,3,5-三嗪、2,4-双(2-羟基-4-丁氧基苯基)-6-(2,4-双丁氧基苯基)-1,3,5-三嗪、2-(2-羟基-4-[1-辛氧基羰基乙氧基]苯基)-4,6-双(4-苯基苯基)-1,3,5-三嗪、2-(2H-苯并三唑-2-基)-4,6-双(1-甲基-1-苯基乙基)苯酚、2-(2H-苯并三唑-2-基)-6-(1-甲基-1-苯基乙基)-4-(1,1,3,3-四甲基丁基)苯酚、2-(3- 叔丁基-2-羟基-5-甲基-苯基)-5-氯苯并三唑、烷氧基二苯甲酮等。
作为光稳定剂具体提到的是由琥珀酸和(4-羟基-2,2,6,6-四甲基哌啶-1-基)乙醇组成的聚合物;N,N′,N″,N′″-四(4,6-双(丁基-(N-甲基-2,2,6,6-四甲基哌啶-4-基)氨基)三嗪-2-基)-4,7-二氮杂癸烷-1,10-二胺;癸二酸、双(2,2,6,6-四甲基-1-(辛氧基)-4-哌啶基)酯和1,1-二甲基乙基氢过氧化物的反应产物;双(1,2,2,6,6-五甲基-4-哌啶基)-[[3,5-双(1,1-二甲基乙基)-4-羟基苯基]甲基]丁基丙二酸酯、2,4-双[N-丁基-N-(1-环己氧基-2,2,6,6-四甲基哌啶-4-基)氨基]-6-(2-羟基乙胺)-1,3,5-三嗪、双(1,2,2,6,6-五甲基-4-哌啶基)癸二酸酯、甲基(1,2,2,6,6-五甲基-4-哌啶基)癸二酸酯等。
作为链转移剂提到的是十二烷基硫醇、2,4-二苯基-4-甲基-戊烯等。
例如,如下所述,将所述可聚合树脂组合物涂布到其上带有形成的驱动电路的玻璃衬底、膜衬底、滤色器或基底材料上,光硬化并且显影,从而可以形成图案。首先,将这种可聚合树脂组合物涂布到衬底(通常为玻璃)或由预先形成的可聚合树脂组合物的固体组分组成的层上,并且将涂布的可聚合树脂组合物层预烘焙以除去挥发性组分如溶剂等以得到平滑的未硬化涂膜。此时未硬化涂膜的厚度约为1至6μm。使用从汞灯或发光二极管发射的紫外线,通过用于形成预期图案的掩模辐照如此得到的未硬化涂膜。
在图案形成中,可以根据掩模尺寸适当地控制线宽。
在新近的曝光装置中,使用截除这种波长范围的滤波器截除小于350nm的光,或者使用去除这些波长范围的带通滤波器选择性地去除约436nm、约408nm和约365nm的光,并且在整个曝光部分上均匀地进行使用平行光束的辐照。在这种方法中,优选使用如掩模对准器、步进器等的装置以恰当地调节掩模和衬底的位置。此外,之后,将完成使用光的辐照之后的涂膜与碱性水溶液接触以溶解未曝光部分,并且进行显影以得到预期的涂膜或图案形状。显影方法可以是液体堆筑法(liquid moundingmethod)(称为搅拌桨法)、浸渍法、喷射法等中的任何一种。此外,在显影中,衬底可以是以任何角度倾斜的。
在图案曝光之后,用于显影的显影剂通常为包含碱性化合物和表面活性剂的水溶液。
碱性化合物可以是无机和有机碱性化合物中的任何一种。
无机碱性化合物的具体实例包括氢氧化钠、氢氧化钾、磷酸氢二钠、磷酸二氢钠、磷酸氢二铵、磷酸二氢铵、磷酸二氢钾、硅酸钠、硅酸钾、碳酸钠、碳酸钾、碳酸氢钠、碳酸氢钾、硼酸钠、硼酸钾、氨等。
有机碱性化合物的具体实例包括氢氧化四甲基铵、氢氧化2-羟基乙基三甲基铵、一甲胺、二甲胺、三甲胺、一乙胺、二乙胺、三乙胺、一异丙胺、二异丙胺、乙醇胺等。这些无机和有机碱性化合物可以各自单独或以两种或更多种组合使用。在碱显影剂中的碱性化合物的浓度优选为0.01至10重量%,更优选为0.03至5重量%。
在碱显影剂中的表面活性剂可以是非离子表面活性剂、阴离子表面活性剂和阳离子表面活性剂中的任何一种。
非离子表面活性剂的具体实例包括聚氧化乙烯烷基醚、聚氧化乙烯芳基醚、聚氧化乙烯烷基芳基醚、其它聚氧化乙烯衍生物、氧化乙烯/氧化丙烯嵌段共聚物、脱水山梨糖醇脂肪酸酯、聚氧化乙烯脱水山梨糖醇脂肪酸酯、聚氧化乙烯山梨糖醇脂肪酸酯、甘油脂肪酸酯、聚氧乙烯脂肪酸酯、聚氧化乙烯烷基胺等。
阴离子表面活性剂的具体实例包括高级醇硫酸酯盐,如月桂醇硫酸钠、油醇硫酸钠等,烷基硫酸盐如月桂基硫酸钠、月桂基硫酸铵等,烷基芳基磺酸盐,如十二烷基苯磺酸钠、十二烷基萘磺酸钠等。
阳离子表面活性剂的具体实例包括胺盐或季铵盐,如硬脂胺盐酸盐、氯化月桂基三甲基铵等。
这些表面活性剂可以各自单独或以两种或更多种的组合使用。
在碱显影剂中的表面活性剂的浓度优选为0.01至10重量%,更优选为0.05至8重量%,更优选为0.1至5重量%。
在显影之后,进行使用水的洗涤,此外在必要时,还可以在150至230℃进行10至180分钟的后烘焙。
使用本发明的可聚合树脂组合物,通过如上所述的方法,可以在滤色器衬底的衬底上形成图案。这种图案可用作用于液晶显示器的光隔体或可形成图案的外涂层。此外,如果将孔形成用光掩模用于在未硬化涂膜上的图案式曝光,那么可以形成孔,因此它可用作层间绝缘膜。此外可以在未 硬化涂膜上的曝光中不使用光掩模的情况下,通过整个表面曝光和使用加热的硬化或者只通过使用加热的硬化,形成透明膜,并且这种膜可用作外涂层,并且还可以用于接触屏。
可以将如此得到的涂膜或图案结合到显示器如液晶显示器等中,以高产量制造具有优异质量的显示器。
根据本发明,可以提供一种可聚合树脂组合物,所述可聚合树脂组合物在曝光中对约436nm、约408nm和约365nm的光具有足够的灵敏度,并且能够形成更高透射率的涂膜。
实施例
将基于下列实施例更详细地说明本发明,但是无须赘言,本发明不限于这些实施例。除非另外声明,在实施例中,表示含量和用量的%和份以重量计。
合成实施例1
在配备有回流冷凝器、滴液漏斗和搅拌器的1L烧瓶中,使氮气以0.02L/分钟流入以提供氮气气氛,将200重量份3-甲氧基-1-丁醇和105重量份乙酸3-甲氧基丁酯装入,并且在搅拌的同时加热直至70℃。然后,将55重量份甲基丙烯酸、175重量份3,4-环氧三环[5.2.1.02.6]癸基丙烯酸酯(摩尔比为50∶50的式(I-1)的化合物和式(II-1)的化合物的混合物)和70重量份N-环己基马来酰亚胺溶于140重量份乙酸3-甲氧基丁酯中以制备溶液,并且使用滴泵,将这种溶液滴到在70℃热绝缘的烧瓶中,历时4小时。
另一方面,使用另一个滴泵,将通过将30重量份聚合引发剂2,2′-偶氮双(2,4-二甲基戊腈)溶于225重量份乙酸3-甲氧基丁酯中制备的溶液滴到烧瓶中,历时5小时。在完成聚合引发剂溶液的滴加之后,将混合物在 70℃保持4小时,之后冷却至室温以得到固含量为32.6重量%并且酸值为34.3mg-KOH/g的共聚物(树脂(i))的溶液。得到的树脂Aa具有13600的重均分子量(Mw),5400的数均分子量(Mn)和2.5的分散度。
所述共聚物的上述重均分子量(Mw)和数均分子量(Mn)是使用GPC法,在下列条件下测量的。
装置:K2479(由Shimadzu Corp.生产)
柱子:SHIMADZU Shim-pack GPC-80M
柱温:40℃
溶剂:THF(四氢呋喃)
流速:1.0mL/分钟
检测器:RI
上面得到的基于聚苯乙烯校准标准的重均分子量与数均分子量的比率称为分散度(Mw/Mn)。
实施例1
将下列组分混合:169份(以固体含量计为55份)包含在合成实施例1中得到的树脂(i)的树脂溶液(A)、45份一缩二季戊四醇六丙烯酸酯(B)、4份2,2′-双(2-氯苯基)-4,4′,5,5′-四苯基联咪唑(C)、0.5份2-(2-萘甲酰基亚甲基)-3-甲基苯并噻唑啉(C-1)、4份季戊四醇四硫代丙酸酯(T)、56份丙二醇单甲醚乙酸酯(D)和40份3-乙氧基乙基丙酸酯,获得可聚合树脂组合物1。
使用中性洗涤剂、水和醇依次洗涤2平方英寸的玻璃衬底(#1737;由Corning生产),然后干燥。在这种玻璃衬底上,将可聚合树脂组合物1旋涂并且以200mJ/cm2(405nm)的曝光量曝光、显影并且用水洗涤,使得在后烘焙之后的膜厚度为3.0μm,然后在清洁的烘箱中于100℃预烘焙3分钟。在冷却之后,将其上涂布这种可聚合树脂组合物的衬底和石英玻璃光掩模之间的间隔设定为10μm,并且使用曝光装置(TME-150RSK;由TopconCorporation生产,光源;超高压汞灯),在空气气氛下以200mJ/cm2(基于405nm)的曝光量进行使用光的辐照。对于在可聚合树脂组合物上的辐照,使从超高压汞灯发射的光通过滤光器(MC405;由Asahi Bunko K.K.生产;中心波长405nm;半带宽10nm,透射率60%),并且使用选择性去除约405nm的光。作为光掩模,使用其上图案(具有10μm正方形形状的半透明部分,正方形之间的距离为100μm)已经形成于相同平面上的光掩模。
在使用光的辐照之后,将上述涂膜在26℃包含0.12%非离子表面活性剂和0.05%氢氧化钾的水性显影剂中浸渍80秒以产生显影,用水洗涤,然后在230℃的烘箱中后烘焙40分钟。
<图案形成>
使用扫描显微镜(S-4100;由Hitachi,Ltd生产)观测图案的形状,所述图案是通过在曝光量为100mJ/cm2并且温度为230℃的条件下进行40分钟的后烘焙得到的。○:在(下部基底的尺寸≥上部基底的尺寸)的情况下;×:在(下部基底的尺寸<上部基底的尺寸)的情况下。在表2中描述了结果。
<残留膜灵敏度>
进行与在图案形成的评价中相同的操作,形成曝光量为100mJ/cm2和200mJ/cm2的图案。通过三维非接触表面形状测量系统(MicromapMM527N-PS-M100;由Ryoka Systems Inc.生产)测量在预烘焙之后各自的图案高度。根据下式计算残留膜灵敏度。在表2中描述了结果。
膜残留灵敏度(%)=100×(在100mJ/cm2的曝光量下的高度)/(在200mJ/cm2的曝光量下的高度)
膜残留灵敏度(%)的数值越高,图案高度对曝光量的依赖性越小,并且加工余地越宽。即,更高的膜残留灵敏度是优异的。
<线宽>
通过三维非接触表面形状测量系统(Micromap MM527N-PS-M100;由Ryoka Systems Inc.生产)测量在通过光掩模在光辐照过程中以100mJ/cm2的曝光量制备的图案的底部线宽。在表2中描述了结果。
<透射率>
使用可聚合树脂组合物1制备硬化膜使得在后烘焙之后的膜厚度为3.0μm。在制备硬化膜的过程中,使用显微光谱测量装置(OSP-SP200;由OLYMPUS生产)在预烘焙之后、在曝光之后和在后烘焙之后的过程中测量在400nm的透射率(%)。在表2中描述了结果。透射率的增加意味着吸收的降低。
实施例2
按照与可聚合树脂组合物1相同的方法获得可聚合树脂组合物2,以提供表1中所示的配方,并且进行评价。在表2中描述了结果。
实施例3
按照与实施例1中相同的方法获得可聚合树脂组合物3,以提供表1中所示的配方,并且进行评价。在表2中描述了结果。
比较例1
除使用EAB-F代替式(V)的化合物以外,按照与实施例1中相同的方法获得可聚合树脂组合物4,以提供表1中所示的配方,并且进行评价。在表2中描述了结果。
比较例2
除不包含式(V)的化合物以外,按照与实施例1中相同的方法获得可 聚合树脂组合物5,以提供表1中所示的配方,并且进行评价。在表2中描述了结果。
表2
实施例1 | 实施例2 | 实施例3 | 比较例1 | 比较例2 | |
可聚合树脂组合物 | 1 | 2 | 3 | 4 | 5 |
图案形成 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
残留膜灵敏度(%) | 99.0 | 97.3 | 95.0 | 97.0 | 91.0 |
线宽(μm) | 23.3 | 22.1 | 20.3 | 22.0 | 18.6 |
透射率(在预烘焙 后)(%) | 41.7 | 42.2 | 42.6 | 69.8 | - |
透射率(在曝光后) | 67.6 | 68.3 | 69.1 | 78.8 | - |
透射率(在后烘焙 后)(%) | 92.0 | 93.0 | 94.0 | 87.0 | 95.0 |
从表2所示的实施例1至3的结果看出,应该理解当使用本发明的包含具有特定结构的引发助剂的可聚合树脂组合物时,获得具有优异的图案形状并且在灵敏度和透射率之间具有优异的平衡的图案和涂膜。相反,在比较例1和2中没有获得既具有较高的保留膜灵敏度又具有较高的透射率的可聚合树脂组合物。
参考实施例1
<加热失重>
将2-(β-萘甲酰基亚甲基)-3-甲基苯并噻唑啉和4,4′-二(N,N-二乙基氨基)二苯甲酮(EAB-F)在下列条件下的加热中进行重量变化的测量,并且结果示于表3中。因为数值越大意味着重量变化越小(在测量之前的重量:100%),所以判断升华性小,从而表明是优异的。
装置:差热热重同步测量仪TG/DTA220(由Seiko Instruments K.K.生产)
基准:氧化铝
气氛:空气(流速:200mL/分钟)
测量条件:230℃/保持1小时
表3
% | |
2-(β-萘甲酰基亚甲基)-3-甲基苯并噻唑啉 | 98.6 |
4,4′-二(N,N-二乙基氨基)二苯甲酮 | 86.4 |
本发明的可聚合树脂组合物能够形成具有优异的图案形状并且在灵敏度和透射率之间具有优异的平衡的图案和涂膜,并且适于形成用于形成透明膜或图案的材料,所述透明膜或图案组成滤色器的一部分,例如透明膜或图案如光隔体、外涂层、绝缘膜、液晶取向控制突部、微透镜、用于调节着色图案的膜厚度的涂层等。此外,所述组合物适用于配备有上述透明膜的滤色器或阵列衬底,以及配备有所述滤色器或所述阵列衬底的液晶显示器。
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JP2006219487 | 2006-08-11 | ||
JP2006219487 | 2006-08-11 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN101121825A CN101121825A (zh) | 2008-02-13 |
CN101121825B true CN101121825B (zh) | 2012-07-18 |
Family
ID=39084335
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN200710141142XA Active CN101121825B (zh) | 2006-08-11 | 2007-08-08 | 可聚合树脂组合物 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101465253B1 (zh) |
CN (1) | CN101121825B (zh) |
TW (1) | TW200832065A (zh) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5121912B2 (ja) * | 2010-11-24 | 2013-01-16 | 富士フイルム株式会社 | 着色感光性樹脂組成物、パターン形成方法、カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタ及びそれを備えた表示装置 |
CN104081281A (zh) * | 2012-02-02 | 2014-10-01 | 日立化成株式会社 | 感光性树脂组合物和使用了该组合物的感光性元件、间隔物的形成方法以及间隔物 |
WO2014090369A1 (en) * | 2012-12-14 | 2014-06-19 | Merck Patent Gmbh | Birefringent rm lens |
CN116568762A (zh) * | 2021-01-28 | 2023-08-08 | 东丽株式会社 | 着色树脂组合物、着色膜、装饰基板 |
CN115057962A (zh) * | 2022-06-24 | 2022-09-16 | 深圳市邦得凌半导体材料有限公司 | 分散树脂及其制备方法和光阻剂组合物 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1115154A (ja) * | 1997-06-20 | 1999-01-22 | Chisso Corp | 感光性樹脂組成物及びこれを用いた表示素子 |
JP2000227656A (ja) * | 1999-02-08 | 2000-08-15 | Chisso Corp | 感光性樹脂組成物およびこれを用いた表示素子 |
WO2002093255A2 (en) * | 2001-05-15 | 2002-11-21 | Showa Denko K. K. | Photosensitive coloring compositon, color filter using the compositon and method of producing the same |
JP4208145B2 (ja) | 2004-11-12 | 2009-01-14 | 富士フイルム株式会社 | パターン形成用組成物、パターン形成材料、及びパターン形成装置並びにパターン形成方法 |
-
2007
- 2007-08-07 TW TW096129157A patent/TW200832065A/zh unknown
- 2007-08-08 KR KR1020070079733A patent/KR101465253B1/ko active IP Right Grant
- 2007-08-08 CN CN200710141142XA patent/CN101121825B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR101465253B1 (ko) | 2014-11-26 |
KR20080014641A (ko) | 2008-02-14 |
CN101121825A (zh) | 2008-02-13 |
TW200832065A (en) | 2008-08-01 |
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant |