CN101120205A - 光源装置 - Google Patents
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Abstract
一种光源装置，能够提高气体放电管的定位精度，并使气体放电管的维护作业变容易，具有容纳气体放电管的灯容器，在该灯容器内容纳有与气体放电管一起相对于灯容器在已定位的状态下进行固定的绝缘性插孔部件。绝缘性插孔部件包括：与气体放电管的芯柱部面接触的面接触部，在电连接的状态下插入有保持在芯柱部上的芯柱销的任何一个的销插孔部件。通过插入与销插孔部件相对应的芯柱销，将气体放电管相对于绝缘性插孔部件以装卸自如的状态固定，由此，能够大幅度地提升气体放电管相对于灯容器的定位精度。并且，关于绝缘性插孔部件，由于以装卸自如的状态固定气体放电管，所以气体放电管的拆卸变得容易，气体放电管的更换等的维护作业变得容易。
Description
技术领域
本发明涉及一种光源装置，具有射出规定波长的光的气体放电管，可以作为分析装置和半导体检测装置等的光源使用。
背景技术
以往，在分析装置和半导体检测装置的技术领域，已知有例如专利文献1所述的光源装置。该专利文献1所述的光源装置，具备设置有多个插入孔的基板，通过将气体放电管的芯柱销插入这些插入孔以决定该气体放电管的位置。于是，在该位置被决定后，通过锡焊使气体放电管的芯柱销固定于基板。
专利文献1：日本特开平4-98777号公报
发明内容
发明人，对以往的光源进行研究，结果发现以下的问题。即，在上述专利文献1中记载的以往的光源装置的构造中，由于在气体放电管和基板之间形成有间隙，因而难以进行气体放电管的定位作业，要求进一步提高定位决定精度。并且，气体放电管，由于通过锡焊使其芯柱销固定于基板，因而更换气体放电管等的维护作业就比较费事。
本发明为了解决上述课题而提出，目的在于提供一种光源装置，能够提高气体放电管的定位精度，并且，具有使气体放电管的维护作业变容易的构造。
本发明的光源装置，包括：具有在贯通的状态下保持多个芯柱销的芯柱部的气体放电管，容纳气体放电管的灯容器，以及配置在气体放电管和灯容器的内壁之间且相对于该灯容器在已定位的状态下被固定的绝缘性插孔部件，其中，绝缘性插孔部件，由电绝缘性材料构成，并且，作为用于在可装卸的状态下固定气体放电管的构造，包括：面接触部，与芯柱部面接触，且具有电绝缘性；销插孔部件，与芯柱销中的至少任何一个对应地设置，在被电连接的状态下插入有各对应的芯柱销。销插孔部件在电连接状态下插入有对应的芯柱销。通过将芯柱销插入销插孔部件，气体放电管在装卸自如的状态下固定在绝缘性插孔部件上。
根据具有如上述构造的光源装置，绝缘性插孔部件具有销插孔部件，该销插孔部件插入有从芯柱部向气体放电管的外部延伸的芯柱销。这种情况下，绝缘性插孔部件与芯柱部面接触，能够在装卸自如的状态下与气体放电管接合固定。所以，与芯柱部和基板间具有空隙的以往的光源装置相比，能够大幅度提高其他放电管的定位精度。并且，由于芯柱部被紧贴固定于绝缘性插孔部件，所以与通过芯柱销固定气体放电管的以往的光源装置相比，增加了固定气体放电管时的稳定度。而且，由于气体放电管在装卸自如的状态下与绝缘性插孔部件固定，所以气体放电管拆卸变得容易，其结果是，能够容易地进行气体放电管的更换的维护作业。
这里，作为发挥上述作用的优选的构成，本发明的光源装置还可以具备在表面上固定灯容器的基台。并且，优选灯容器具有箱型形状，并且具有与基台大致垂直的壁面。绝缘性插孔部件可固定在该壁面上。
另外，在本发明的光源装置中，在气体放电管具有从芯柱部向该气体放电管的外部延伸的排气管部的情况下，优选绝缘性插孔部件具有使排气管部进入的排气管进入部。
绝缘性插孔部件也可以具有使芯柱销进入的芯柱销进入部，这种情况下，在规定的芯柱销进入部中插入销插孔部件。
而且，灯容器可以具有使来自气体放电管的光通到灯容器外的光出射部，并在该光出射部保持透镜。
而且，通过以下的详细说明以及附图，可以进一步充分理解本发明的各实施例。这些实施例只是示例，并不能限定本发明。
并且，本发明的更大的应用范围，通过以下的详细说明将变得明朗。然而，详细的说明以及特定的事例虽然展示了适合本发明的实施例，但是仅作为示例而被展示，本行业的从业者能够从该详细的说明进行不脱离本发明的思想和范围的各种变形和改良。
本发明的光源装置，由于能够将气体放电管紧贴固定在绝缘性插孔部件，所以与以往的构成相比，能够在提高气体放电管的定位精度的同时稳定地固定放电管。并且，由于气体放电管的拆卸简单，所以气体放电管的维护作业容易。
附图说明
图1是本发明的光源装置的第1实施例的构成概况示意图。
图2是图1中所示的重氢灯的内部构造的剖面示意图。
图3是图2中所示的重氢灯的发光部装配体的立体分解图。
图4是图1中所示的灯箱的构造的示意图。
图5是图4的灯箱(容纳重氢灯的内部状态)的内部状态的分解立体示意图。
图6是详细显示图4的灯箱的内部状态的分解立体图。
图7是图6中所示的绝热插孔部件的构造的正面示意图。
图8是从背面侧观察图6中所示的绝热插孔部件的构造的立体示意图。
图9是有重氢灯固定的绝热插孔(图7)的沿着IX-IX线的剖面构造示意图。
图10是图9的重氢灯中的芯柱销贯通部的剖面放大示意图。
图11是本发明的光源装置的第2实施例的构成概况示意图。
图12是本发明的光源装置的第3实施例的灯箱的构造的立体示意图。
图13是图12的灯箱(容纳重氢灯的内部状态)的内部状态的分解立体示意图。
图14是本发明的光源装置的第4实施例的灯箱的构造的立体示意图。
图15是图14的灯箱(容纳重氢灯的内部状态)的内部状态的分解立体示意图。
图16是本发明的光源装置的第5实施例的灯箱的构造的立体示意图。
图17是图16的灯箱(容纳重氢灯的内部状态)的内部状态的分解立体示意图。
图18是本发明的光源装置的第6实施例的绝热插孔部件的构造的正面示意图。
图19是有重氢灯固定的绝热插孔(图18)的沿着XIX-XIX线的剖面构造示意图。
图20是本发明的光源装置的第7实施例的绝热插孔部件的正面示意图。
图21是有重氢灯固定的绝热插孔(图20)的沿着XXI-XXI线的剖面构造示意图。
图22是本发明的光源装置的第8实施例的绝热插孔部件的正面示意图。
图23是有重氢灯固定的绝热插孔(图22)的沿着XXIII-XXIII线的剖面构造示意图。
图24是本发明的光源装置的第9实施例的绝热插孔部件的正面示意图。
图25是有重氢灯固定的绝热插孔(图24)的沿着XXV-XXV线的剖面构造示意图。
图26是本发明的光源装置的第10实施例的绝热插孔部件的正面示意图。
图27是有重氢灯固定的绝热插孔(图26)的沿着XXVII-XXVII线的剖面构造示意图。
图28是本发明的光源装置的第11实施例的绝热插孔部件的正面示意图。
图29是有重氢灯固定的绝热插孔(图28)的沿着XXIX-XXIX线的剖面构造示意图。
图30是本发明的光源装置的第12实施例的绝热插孔部件的正面示意图。
图29是有重氢灯固定的绝热插孔(图30)的沿着XXXI-XXXI线的剖面构造示意图。
符号说明
1、41、56、66、76，光源装置；7、67，基台；10，重氢灯(气体放电管)；11b，芯柱部；11d，排气管部；19a～19i，芯柱销；20、40、50、60、70，灯箱(灯容器)；22，灯固定板(壁面)；23a，光出射部；26，透镜；30、80、90、100、110、120、130、140，绝热插孔部件(绝缘性插孔)；30a、101a、121a，面接触部31、91、131，排气管进入部；32a～32i、82d、82f、82h、82i，芯柱销进入部；33a～33e、113a～113e，销插孔部件。
具体实施方式
下面，使用图1～31，详细地说明本发明的光源装置的各实施例。而且，在附图的说明中，对同一或相同要素赋予同一个符号，省略重复的说明。图1是表示本发明的光源装置的第1实施例的概略构成的图。图2是表示图1中所示的重氢灯的内部构造的剖面图。图3是表示图2中所示的重氢灯的发光部装配体的构造的立体分解图。图4～6是表示图1中所示的灯箱的构造的图。图7以及图8是表示图6中所示的绝热插孔部件的构造的图。图9是表示固定有重氢灯的状态的绝热插孔(图7)的沿着IX-IX线的剖面构造的图。图10是表示图9的重氢灯中的芯柱销贯通部的放大剖面图。
图1中所示的光源装置1，被利用作为例如分析装置等的光源，具有发出规定波长的紫外光的重氢灯(气体放电管)10。将从该重氢灯10发出并由透镜26校准(collimate)的紫外光和来自卤素灯3的出射光，被光束分离器4合成，该合成光从该光源装置1出射。该构成，可防止分析装置的检测器的搜索限额，可有效利用检测器的动态范围。
光源装置1，还包括：容纳重氢灯10的灯箱(灯容器)20、以及具有灯驱动电路的灯驱动基板6。并且，为了谋求该光源装置1的小型化，这些灯箱20、光束分离器4、卤素灯3以及灯驱动基板6，被固定在基台7的规定位置上。
以下，详细说明重氢灯10。如图2所示，重氢灯10是所谓的端窗(head on)型的重氢灯，包括：玻璃制的密封容器11、以及容纳于该密封容器11内的发光部装配体12。
密封容器11具有圆筒状的侧管部11a、密封该侧管部11a的下端侧的芯柱部11b、以及密封上端侧的光出射窗11c。该密封容器11内封入有数百Pa左右的重氢元素。在芯柱部11b中，在沿着规定的圆周将多个(本实施例中为9个)导电性芯柱销19a～19i(参照图3)分别插通的状态密封固定。并且，在芯柱部11b的中央形成有向外方(图示的下侧)突出的排气管部11d。
容纳于密封容器11内的发光部装配体12，作为产生紫外线的光源的功能。如图2以及图3所示，从下开始依次配置有底座部13、阳极部14、放电路限制部固定板15、放电路限制部16以及阴极部17，同时还配置有覆盖它们的阴极部罩盖18。
如图3所示，底座部13，由电绝缘的陶瓷构成，且具有圆板形状。在该底座部13上沿着周边形成有多个开口，在这些开口中分别穿通上述芯柱19a～19i。在底座部13的上面，为了容纳阳极部14，而形成有与该阳极部14的形状相对应的浅的凹部13a。
阳极部14，是导电薄板，具有大致圆板状的本体部分14a、从该本体部分14a的周边的两个位置沿着半径方向水平延伸的一对延出部分14b、14c。如图2所示，阳极14，被容纳于底座部13的凹部13a，其上面与底座部13的上面一致。如图3所示，在阳极部14的延出部分14b、14c上设置有开口14d、14e，在这些开口14d、14e与芯柱销19c、19d的前端电连接。
放电路限制部固定板15，由陶瓷构成，具有大致扇形形状。该放电路限制部固定板15，被层叠地载置于底座部13以及阳极部14的大致中央部。为了导通在阳极部14和阴极部17之间形成的放电路，在放电路限制部固定板15的大致中央，设置有允许阳极部14的本体部分14a露出的开口15x。为了容纳放电路限制部16，在包括放电路限制部固定板15的开口15x的宽度狭窄侧(图示的右侧)的上面，形成有与该放电路限制部16的形状相对应的浅的凹部15a。另一方面，在放电路限制部固定板15的宽度宽大侧(图示的左侧)的上面，设置有用于竖立设置阴极部17的凹部15b。在放电路限制部固定板15的凹部15a的宽度狭窄侧的位置上，设置有开口15c。在该开口部15c中使芯柱销19e通过。并且，在放电路限制部固定板15的凹部15b上，设置有一对开口15d、15e，在这些开口15d、15e中分别使芯柱销19a、19b通过。
放电路限制部16为导电性薄板，具有大致圆板状的本体部分16a、和从该本体部分16a的周边沿着半径方向水平延伸的延出部分16b。如图2所示，放电路限制部16被容纳于放电路限制部固定板15的凹部15a，且其上面与放电路限制部固定板15的上面一致。如图3所示，在放电路限制部16的延出部分16b上设置有开口16c，在该开口16c中与芯柱销19e的前端部电连接。
并且，在放电路限制部16上，如图2以及图3所示，在与放电路限制部固定板15的开口15x同轴的位置上，设置有电弧球(arc ball)成形用的凹部16d。为了高效地取出光，使该凹部16d具有容纳由放电生成的电弧球的功能，并具有向光出射窗11c扩展的杯形状。在放电路限制部16的凹部16d的底面，设置有直径0.5mm左右的小径的放电路狭窄开口16e。由此，能够在凹部16d内生成扁平球状的电弧球。
阴极部17，具有线圈(灯丝线圈)作为加热器，在该加热器上涂有作为热电子放射物质的例如氧化钡等。如图3所示，在这种阴极部17中，该线圈的两端部，竖立设置有贯通放电路限制部固定板15的凸部15b的开口15d、15e，与贯通该开口15d、15e的芯柱销19a、19b。
如图2以及图3所示，阴极部罩盖18具有圆筒形状。并且，阴极部罩盖18，包括：阳极侧覆部18a、以及阴极侧覆部18b。阳极侧覆部18a，覆盖阳极部14、放电路限制部16等的装配体。阴极侧覆部18b，在覆盖阴极部17的状态下，与阳极侧覆部18a内的空间相连通而设置。并且，阴极侧覆部18b的剖面形状，在不包括轴线的位置上沿着轴线方向垂直地切开与阳极侧覆部18a同轴且同直径的圆筒时，均较小。这些阳极侧覆部18a以及阴极侧覆部18b，由一体成形的陶瓷构成。
在阴极部罩盖18中的阴极侧覆部18b上，在放电路狭窄开口16e的轴心侧(阴极部17的电子放出侧)的狭缝板部18c上，设置有用于放出电子的狭缝18d成为开口。另一方面，在阳极侧覆部18a上，在与放电路限制部固定板15的开口15x以及放电路限制部16的放电路狭窄开口16e的同轴的位置上，设置有用于连通上述放电路通过的开口18e。为了提高放电效率，该开口18e具有，不使放电路限制部16露出的比所需要更多的程度的大小。并且，如图3所示，在阳极侧覆部18a上，设置有开口部18f～18i。在这些开口部18f～18i上，分别固定有位于阳极部14以及放电路限制部固定板15的外侧且向上方延伸出的其余的芯柱销19f～19i的前端部。这种构成，在使阴极部罩盖18固定在芯柱销19a～19i的前端部，并且在该阴极部罩盖18和底座部13之间使阳极部14、放电路限制部固定板15以及放电路限制部16重叠的状态下进行配置。
接着，对容纳上述构成的重氢灯10的灯箱20进行详细说明。如图4～图6所示，该灯箱20具有箱型形状。并且，灯箱20，包括：固定在上述基台7上的底板21，与该底板21垂直的灯固定板22、光出射板23、一对侧面板24，构成灯箱上部20的上部壁面的顶板25。利用上述底板21、灯固定板22、光出射板23、一对侧面板24以及顶板25，规定了灯箱20的外部轮廓。
如图6所示，底板21在角部附近，设置有用于将底板21以螺纹固定在基台7上的开口21a。在底板21的长度方向的一方的端部上，竖立地设置有光出射板23，在另一端的附近，设置有用于对灯固定板22进行固定的阴螺纹部21b。然后，如图4所示，将底板21通过绝热材料27螺旋固定在基台7上。
如图5所示，灯固定板22是通过后述的绝热插孔部件(绝缘性插孔部件)30固定重氢灯10的芯柱部11b(参照图2以及图6)的部件。如图4～图6所示，在该灯固定板22上，在其中央部设置有用于使绝热插孔部件30的中央部露出的开口22a，同时，在该开口22a的水平方向两侧，设置有用于绝热插孔部件30的定位的小孔22b、22b。而且，还在灯固定板22的角部附近，设置有用于固定绝热插孔部件30的阴螺纹部22c。并且，在灯固定板22的下端部，设置有向外部(图中的左右方向)延伸的板状的延出部22d，在该延出部22d上设置有用于将灯固定板22螺旋固定在底板21上的开口22e。
如图5所示，光出射板23与底板21构成一体部件，是夹着重氢灯10与灯固定板22相对地从底板21的一方的端部向上方延伸的壁面。如图5以及图6所示，在该光出射板23上，在其中央部设置有向灯箱20外出射来自重氢灯10的出射光的光出射部23a，并且，在光出射部23a上支撑有透镜26。如图6所示，在光出射板23的上端面的中央，设置有用于螺旋固定顶板25的阴螺纹部23b，在该阴螺纹部23b的两端，竖立设置有顶板25定位用的定位销23c、23c。
如图5所示，顶板25与灯固定板22构成一体部件，是夹着重氢灯10与底板21相对地从灯固定板22的上端部水平延伸至光出射板23的上端部23的壁面。如图6所示，在该顶板25上，在与光出射板23的阴螺纹部23b以及定位销23c相对应的位置上分别设置有开口25a以及定位孔25b。于是，在将定位销23c插入到定位孔25b的状态下，螺钉通过开口25a与阴螺纹部23b螺合。而且，通过使螺钉通过开口22e与阴螺纹部21b螺合，对顶板25和灯固定板22进行定位并固定。即，灯固定板22以及顶板25，相对于底板21以及光出射板23被装卸自如地固定。并且，在顶板25上，在侧部附近，设置有用于对侧面板24的上端进行固定的多个阴螺纹部25c。
如图4～图6所示，一对侧面板24是构成灯箱20的侧壁的部件。如图5所示，上述侧面板24在夹着重氢灯10的状态下相向地配置。使侧面板24的上端部弯曲，该弯曲部分构成面向顶板25的上面的上端板24a。也使侧面板24上的光出射板23侧的端部弯曲，该弯曲部分构成面向光出射板23的前面的前端板24b。并且，在侧面板24的上端板24a上，设置有与光出射板23的定位销23c以及顶板25的阴螺纹25c、25c相对应的开口24c、24d、24d。于是，在顶板25上层叠上端板24a的状态下，在开口24c插入决定销23c，同时通过开口24d将螺钉与阴螺纹部25c螺合，由此，将侧面板24固定在顶板25上。上述侧面板24通过对薄板进行弯曲而形成，利用从底板21的下面侧沿着上述侧面板的外面延伸的弹簧板28夹在内部。即，相对底板21、灯固定板22、光出射板23以及顶板25装卸自如地安装一对侧面板24。
接着，对用于将重氢灯10固定在灯箱20上的绝热插孔部件30进行详细说明。如图5以及图6所示，绝热插孔部件30具有板状形状，是在如上所述支撑重氢灯10的芯柱部11b侧的状态下，将重氢灯10固定在灯固定板22上的部件。而且，以保持重氢灯10的一侧为正面侧，以固定在灯固定板22上的一侧为背面侧，对绝热插孔部件30的部位进行说明。
绝热插孔部件30由具有绝热性、电绝缘性、抗紫外线性以及耐腐蚀性的聚醚醚酮树脂材料(PEEK材料：Victrex公司注册商标)构成。并且，绝热插孔部件30，在正面侧以及背面侧分别具有规定的平坦面，并具有与灯固定板22相对应的大小。如图7以及图8所示，该绝热插孔部件30，包括：用于使重氢灯10的排气管部11d(参照图2)进入的排气管进入部31；使重氢灯10的芯柱销19a～19i(参照图3)进入的芯柱销进入部32a～32i；插装在规定的芯柱销进入部32a、32b、32g、32e、32c中，与芯柱销19a、19b、19g、19e、19c电连接的销插孔部件33a～33e；从背面侧突出并用于对该绝热插孔30相对于灯固定板22进行定位的定位销34；和用于螺纹固定该绝热插孔部件30的开口35。
排气管进入部31是设置在绝热插孔部件30的中央部的开口。该开口的直径从背面侧向正面侧增大。
芯柱销进入部32a～32i是沿着排气管进入部31的周围的规定圆周而形成的多个开口。上述开口位于与芯柱销19a～19i(参照图3)相对应的位置。使销插孔部件33a～33e进入的芯柱销进入部32a、32b、32g、32e、32c的直径为大致1.8mm，其余的芯柱销进入部32d、32i、32h、32f的直径为大致1.3mm。如图10所示，芯柱部11b在芯柱销19的贯通部的周围具有玻璃的堆砌部11e。但是，如图9所示，为了接合固定芯柱部11b和绝热插孔部件30，芯柱销进入部32d、32i、32h、32f具有使堆砌部11e的进入的直径。
插装在芯柱销进入部32a、32b、32g、32e、32c上的销插孔部件33a～33e具有圆筒形状。如图8所示，这些销插孔部件33a～33e，从绝热插孔部件30的背面侧突出，其封闭的后端与电缆连接。芯柱销19a、19b、19g、19e、19c可相对于销插孔部件33a～33e自如地装卸，这些芯柱销19a、19b、19g、19e、19c的后端侧(图中的右侧)被固定在销插孔部件33a～33e(电连接)。并且，如图9所示，销插孔部件33a～33e的前端侧的安装位置距绝热插孔部件30的正面侧的面离开规定距离。具体地说，销插孔部件33a～33e，不与芯柱部11b的堆砌部11e相接触。
然后，如图9所示，重氢灯10被装卸自如地安装在绝热插孔部件30。具体地说，重氢灯10的排气管11d以及芯柱销19a～19i，分别进入绝热插孔部件30的排气管进入部31以及芯柱销进入部32a～33i，芯柱部11b与绝热插孔部件30的正面相互面接触，而且，芯柱销19a、19b、19g、19e、19c嵌入销插孔部件33a～33e。这时，与芯柱部11b接触的绝热插孔部件30的正面部分成为面接触部30a。
如图8所示，定位销34，从排气管进入部31的两侧向外突出，嵌合在灯固定板22的小孔22b(参照图6)中。并且，如图7以及图8所示，开口35分别设置在与灯固定板22的阴螺纹部22c(参照图6)相对应的位置上。并且，定位销34嵌合在灯固定板22的小孔22b中，经由开口35将螺钉与阴螺纹部22c螺合，由此对绝热插孔部件30与固定板22进行定位并固定。即，能够保持使将重氢灯10通过绝热插孔部件30固定在灯固定板22上，而相对于光出射板23以及底面21对灯固定板22进行装卸。
接着，对上述构成的光源装置1的作用进行说明。在重氢灯10中，首先，在放电前的20秒左右期间内，从阴极用外部电源通过销插孔部件33a、33b以及芯柱销19a、19b向阴极部17供给10W左右的电力。利用该电力供给对构成阴极部17的线圈进行预热。接着，从主放电用外部电源通过芯柱销19c、19d在阴极部17和阳极部14之间施加160V左右的电压。电压施加后，电弧放电的准备就完成了。
然后，从触发用外部电源通过芯柱销19e、19c、19d向放电路限制部16和阳极部14之间施加规定电压，例如350V左右的电压。这样，在阴极部17和放电路限制部16之间以及阴极部17和阳极部14之间依次产生放电，在阴极部17和阳极部14之间产生启动放电。在发生启动放电时，在阴极部17和阳极部14之间维持有电弧放电(主放电)，在放电路限制部16的凹部16d内产生电弧球。从该电弧球放出的紫外线，作为亮度极高的光透过光出射窗11c而向外部放出。而且，在放电时，能够利用阴极侧覆部18b防止从阴极部17放出的溅射物或蒸发物附着在光出射窗11c上。
然后，自来重氢灯10的出射光，通过透镜26，出射到灯箱20的外。出射的紫外线，由光束分离器4与来自卤素灯3的出射光进行合成。
这里，在因长时间使用而必须进行重氢灯10的更换等的维护作业的情况下，松开临时固定灯固定板22和顶板25的螺钉。只要向上方移动灯固定板22以及顶板25，就能够从底板21以及光出射板23上取下灯固定板22以及顶板25。由此，可将重氢灯10与灯固定板22一同从光源装置1中取下。而且，在从灯固定板22上取下重氢灯10时，在周围不存在光出射板23等构成妨碍部件，另外其构造容易使重氢灯10相对于绝热插孔部件30装卸，因此，可以轻易地进行重氢灯10的更换。
另外，在安装重氢灯10时，仅通过将重氢灯10的芯柱销19a、19b、19g、19e、19c插入绝热插孔部件30的销插孔部件33a～33e，而使芯柱部11b和绝热插孔部件30接合固定。其后，通过将固定有重氢灯10的灯固定板22以及顶板25安装在底板21以及光出射板23上，而实现透镜26、光束分离器4等的光学系统与重氢灯10在距离和光轴上的高精度的安装。
在如上述构成的光源装置1中，设置有使从芯柱部11b向外面突出的芯柱销19a、19b、19g、19e、19c进入的销插孔部件33a～33e，以及具有上述销插孔部件33a～33e的绝缘性插孔部件30。并且，绝缘性插孔部件30具有使芯柱部11b面接触装卸自如地固定有重氢灯10的构造。如此，由于重氢灯10接合固定在绝热插孔部件30上，所以重氢灯10的定位精度大幅度地提升。并且，由于芯柱部11b与绝热插孔部件30接合固定，所以与通过芯柱销(在基板和芯柱销之间具有空隙)而固定在用于固定重氢灯的基板上的以往的光源装置相比，固定重氢灯10时的稳定度增加。
灯固定板22由于其构造为，能够在相对于与该灯固定板22相向的光出射板23固定着重氢灯10的状态下自由装卸，所以可以连同灯固定板22取下重氢灯10，与光出射板23分离。其结果是，在周围没有干扰的部分，从而能够轻易地进行重氢灯10相对于灯固定板22的装卸，并且，重氢灯10的维护作业变得容易。并且，由于重氢灯10具有相对于绝热插孔部件30自如装卸的构造，所以重氢灯10的拆卸也容易。由此，重氢灯10的更换等的维护作业变得容易。
在灯箱20中，一对侧面板24，具有相对于灯固定板22以及顶板25自如装卸的构造。因此，在固定在灯固定板22上的状态下取下重氢灯10时，更容易进行重氢灯10的更换作业等的维护作业。而且，各个侧面板24，通过将定位销23c以及螺钉插入形成在上端板24a上的开口24c、24d而与顶板25相固定。另一方面，顶板25以及灯固定板22，通过将螺钉和定位销23c分别插入形成在顶板25和延出部22d的上面的开口25a、定位孔25b、开口22e而与光出射板23以及底板21相固定。所以，仅利用在灯箱20上方的作业就能够装卸一对侧面板24、灯固定板22、顶板25，所以重氢灯10的更换作业等的维护作业变得更加容易。这种构造尤其在灯箱20的设置空间非常狭小时有效。
光出射板23具有支撑使自重氢灯10的光通过的透镜26的构造。因此，重氢灯10相对于透镜26的定位容易。
绝热插孔部件30具有板状形状。因此，容易将绝热插孔部件30与灯固定板22接合固定。
并且，将重氢灯10固定在灯箱20内，另一方面在重氢灯10和灯固定板22之间配置绝热插孔部件30。因此，与在灯箱外配置有绝热部件并且重氢灯和灯箱相接触的以往的光源装置相比，灯箱20和重氢灯10之间的热传导降低。其结果是，使由灯箱20外的温度变化对重氢灯10的影响显著降低，实现了重氢灯10的亮度稳定化。
在具有上述构造的重氢灯10中，阴极部17由具有优良保温性的陶瓷构成的阴极部罩盖18的阴极侧覆部18b所覆盖(在该阴极侧覆部18b上仅将电子放出用的狭缝18d设置为必要的最小限度的开口)。因此，利用该阴极侧覆部18b使阴极部17的保温效果显著提高。并且，容易使阴极部17维持温度，并且消耗的电力下降，其结果是，有可实现包括电源的气体放电管10的小型化。
阴极部罩盖18由陶瓷一体成形而成，以使在可放出电子的状态下由阴极侧覆部18b覆盖阴极部17，另一方面，在可放电的状态下由阳极侧覆部18a覆盖包括阳极部14以及放电路限制部16的装配体。利用上述构造，只需要将放电路限制部16露出到必要的程度，所以不需要用于提高放电效率的部件(相当于该实施例中的阳极侧覆部18a的上部的其他部件)。因此，部件数目减少，实现低成本化。
放电路限制部16，在被夹持与作为覆盖阴极部罩盖18的上述装配体的部分的阳极侧覆部18a的上部，和设置有导通放电路的开口15x的放电路限制部固板板15之间的状态下进行固定。因此，能够通过较少的部件数目容易地进行放电路限制部16的固定，进一步降低成本。
接着，参照图11对本发明的光源装置的第2实施例进行说明。图11是表示本发明的光源装置的第2实施例的构成概况的图。
在该第2实施例的光源装置41中，与第1实施例的光源装置1的不同之处在于，取代设置有包括透镜26的光出射板23的灯箱20，而设置具有光出射窗42的光出射板43的灯箱40，以及在基台7上固定透镜46，以使该透镜46配置在光出射板43和光束分离器4之间。第2实施例的光源装置41的其他构成，与第1实施例的光源装置1相同，这种构成也能够实现与第1实施例的光源装置1相同的作用和效果。
接着，参照图12以及图13，对本发明的光源装置的第3实施例进行说明。图12是表示本发明的光源装置的第3实施例的灯箱构造的立体图。图13是表示图12的灯箱(容纳重氢灯的内部状态)的内部状态的分解立体图。
在该第3实施例的光源装置56中，与第1实施例的光源装置1的不同之处在于，取代将侧面板24、底板21以及光出射板23构成为其他部件的灯箱20，而使用使侧面板54、底板51以及光出射板53构成为一体部件的灯箱50，不需要对侧面板施加压力的弹簧板28。具体地说，底板51以及光出射板53，具有和第1实施例中的底板21以及光出射板23相同的构造。然而，侧面板54，从底板51的宽度方向的端部向上方竖立设置。即，侧面板54，构成与底板51以及光出射板53垂直的壁面，延伸到和光出射板53相同的高度。第3实施例的光源装置56的其他构造，与第1实施例的光源装置1相同，这种构成也能够实现与第1实施例的光源装置1相同的作用和效果。而且，由于去掉了弹簧板28，所以零件数目比第1实施例减少。
接着，参照图14以及图15，对本发明的光源装置的第4实施例进行说明。图14是表示本发明的光源装置的第4实施例的灯箱构造的立体图。图15是表示图14的灯箱(容纳重氢灯的内部状态)的内部状态的分解立体图。
在该第4实施例的光源装置66中，与第3实施例的光源装置56的不同之处在于，取代使侧面板54、底板51以及光出射板53构成为一体部件的灯箱50，而使用使光出射部63和侧面板64构成为一体部件并且基台67兼作底板的灯箱60。光出射板63以及侧面板64，具有与第3实施例的光出射板53以及侧面板54相同的构造，另一方面，不具有设置在底板51上的绝热部件27。基台67具有和基台7相同的构造，在与灯固定板22上的延出部22d的开口22e相对应的位置上形成有用于固定灯固定板22的阴螺纹部67b。该第4实施例的光源装置66的其他构成，与第1实施例的光源装置1的构成相同，这种构成也能够实现与第1实施例的光源装置1相同的作用和效果。而且，由于基台67兼作灯箱60的底板，所以部件数目减少。
接着，参照图16以及图17，对本发明的光源装置的第5实施例进行说明。图16是表示本发明的光源装置的第5实施例的灯箱构造的立体图。图17是表示图16的灯箱(容纳重氢灯的内部状态)的内部状态的分解立体图。
在该第5实施例的光源装置76中，与第1实施例的光源装置1的不同之处在于，取代绝热部件27，而使用具有支撑侧面板74的槽77a的绝热材料77，且不需要板弹簧28。与第1实施例中的侧面板24相比，侧面板74在上下方向长出进入槽77a的量，下端部比底板21更向下方突出。于是，得到侧面板74的下端部在绝热材料77的槽77a上竖起设置的灯箱70。该第5实施例的光源装置76的其它结构与第1实施例的光源装置1的结构相同，用这样的结构也能达到与第1实施例的光源装置1同样的作用·效果。除此之外，因为不需要板弹簧28，所以可以进一步减少部件个数。
接着，参照图18和图19说明本发明的光源装置的第6实施例。另外，图18是表示本发明的光源装置的第6实施例中的绝热插孔部件的结构的主视图。图19是表示重氢灯被固定的状态的绝热插孔(图18)的沿XIX-XIX线的截面结构的图。
该第6实施例的光源装置与第1实施例的光源装置的不同点在于，替代作为设置有开口即芯柱销进入部32d、32i、32h、32f的绝热插孔部件30，应用设置有芯柱销进入部82d、82i、82h、82f的绝热插孔部件80，这些芯柱销进入部是背面侧被封闭的凹部。该第6实施例的光源装置的其它结构，与第1实施例的光源装置1的结构相同，用这样的结构也能达到与第1实施例的光源装置1同样的作用、效果。除此之外，由于芯柱销进入部82d、82i、82h、82f的背面侧被绝热部件80封闭，所以可以进一步减少灯箱20外的温度变化对于重氢灯10的影响。
接着，参照图20以及图21，对本发明的光源装置的第7实施例进行说明。图20是本发明的光源装置的第7实施例的绝热插孔部件的构造的正面示意图。图21是有重氢灯固定的绝热插孔(图20)的沿着XXI-XXI线的剖面构造示意图。
该第7实施例的光源装置与第6实施例的光源装置的不同点在于，作为设置有开口即排气管进入部31的绝热插孔部件30的替代，应用设置有排气管进入部91的绝热插孔部件90，该排气管进入部91是背面侧封闭的凹部。该第7实施例的光源装置的其它结构，与第1实施例的光源装置1的结构相同，用这样的结构也能达到与第1实施例的光源装置1和第6实施例的光源装置同样的作用、效果。除此之外，因为排气管进入部91的背面侧被绝热部件90封闭，所以可以进一步减少灯箱20外的温度变化对于重氢灯10的影响。
接着，参照图22以及图23，对本发明的光源装置的第8实施例进行说明。图22是本发明的光源装置的第8实施例的绝热插孔部件的构造的正面示意图。图23是有重氢灯固定的绝热插孔(图22)的沿着XXIII-XXIII线的剖面构造示意图。
该第8实施例的光源装置与第7实施例的光源装置的不同点在于，绝热插孔部件100具有容纳重氢灯10的芯柱部11b的第一凹部101。第一凹部101的形状从在正面看是圆形，其外径具有与芯柱部11b的外径相对应的大小。该第一凹部101的底面101a为平坦面。并且，如图23所示，重氢灯10在芯柱部11b容纳在第一凹部101中的状态下，排气管部11d和芯柱销19a～19i分别进入到排气管进入部91和芯柱销进入部32a、32b、32c、82d、32e、82f、32g、82h、82i中。由此，芯柱部11b在与第一凹部的底面(面接触部)101a面接触的状态下，以能够自由拆装的方式被固定。该第8实施例的光源装置的其它结构，与第1实施例的光源装置1的结构相同，用这样的结构也能达到与第1实施例的光源装置1和第7实施例的光源装置同样的作用·效果。除此之外，在该第8实施例中，增加了固定重氢灯10时的稳定度。
接着，参照图24以及图25，对本发明的光源装置的第9实施例进行说明。图24是本发明的光源装置的第9实施例的绝热插孔部件的构造的正面示意图。图25是有重氢灯固定的绝热插孔(图24)的沿着XXV-XXV线的剖面构造示意图。
该第9实施例的光源装置与第8实施例的光源装置的不同点在于：绝热插孔部件110在第一凹部101的底面101a上具有第二凹部112；以及，具有设置有停留在芯柱销进入部32a、32b、32g、32e、32c的正面侧的周边部的凸缘部113t的销插孔部件113a～113e。第二凹部112的形状从正面看为圆形，其外周位于芯柱销进入部32a、32b、32c、82d、32e、82f、32g、82h、82i的外侧。此外，销插孔部件113a～113e插入到芯柱销进入部32a、32b、32g、32e、32c中，且凸缘部113t停留在第二凹部112的底面112a。该第9实施例的光源装置的其它结构，与第1实施例的光源装置1的结构相同，用这样的结构也能达到与第1实施例的光源装置1和第8实施例的光源装置同样的作用·效果。
接着，参照图26以及图27，对本发明的光源装置的第10实施例进行说明。图26是本发明的光源装置的第10实施例的绝热插孔部件的构造的正面示意图。图27是有重氢灯固定的绝热插孔(图26)的沿着XXVII-XXVII线的剖面构造示意图。
该第10实施例的光源装置与第7实施例的光源装置的不同点在于：绝热插孔部件120具有成圆环状向正面侧突起的起立部121；以及具有设置有停留在芯柱销进入部32a、32b、32g、32e、32c的正面侧的周边部的凸缘部113t的销插孔部件113a～113e。另外，该销插孔部件113a～113e具有与第9实施例中的销插孔部件113a～113e相同的结构。
起立部121位于芯柱销进入部32a、32b、32c、82d、32e、82f、32g、82h、82i的外侧。此外，销插孔部件113a～113e插入到芯柱销进入部32a、32b、32g、32e、32c中，且凸缘部113t停留在绝热插孔部件120的正面。并且，重氢灯10以能够自由拆装的方式固定在绝热插孔部件120上。具体而言，如图27所示，芯柱部11b与起立部121的前端面(面接触部)121a面接触，排气管部11d和芯柱销19a～19i分别插入到排气管进入部91和芯柱销进入部32a、32b、32c、82d、32e、82f、32g、82h、82i中。该第10实施例的光源装置的其它结构，与第1实施例的光源装置1的结构相同，用这样的结构也能达到与第1实施例的光源装置1和第7实施例的光源装置同样的作用、效果。
接着，参照图28以及图29，对本发明的光源装置的第11实施例进行说明。图28是本发明的光源装置的第11实施例的绝热插孔部件的构造的正面示意图。图29是有重氢灯固定的绝热插孔(图28)的沿着XXIX-XXIX线的剖面构造示意图。
该第11实施例的光源装置与第1实施例的光源装置1的不同点在于，作为具有直径从背面侧向正面侧变大的排气管进入部31的绝热插孔部件30的代替，而应用具有直径从背面侧向正面侧为一定的排气管进入部131的绝热插孔部件130。该第11实施例的光源装置的其它结构，与第1实施例的光源装置1的结构相同，用这样的结构也能达到与第1实施例的光源装置1同样的作用·效果。
接着，参照图30以及图31，对本发明的光源装置的第12实施例进行说明。图30是本发明的光源装置的第12实施例的绝热插孔部件的构造的正面示意图。图31是有重氢灯固定的绝热插孔(图30)的沿着XXXI-XXXI线的剖面构造示意图。
该第12实施例的光源装置与第11实施例的光源装置的不同点在于：作为外围形状为矩形的绝热插孔部件130的替代而应用外围形状为圆形的绝热插孔部件140；以及，变更了用于将该绝热插孔部件140固定于灯固定板上的插入螺钉的开口145的位置。该绝热插孔部件140的外径具有与芯柱部11b的直径相对应的大小。该第12实施例的光源装置的其它结构，与第1实施例的光源装置1的结构相同，用这样的结构也能达到与第1实施例的光源装置1以及第11实施例的光源装置同样的作用·效果。
以上基于多个实施例具体说明了本发明，但本发明并不限定于上述实施例。例如，在上述实施例中，灯箱20、40、50、60、70都具有箱型形状，但也可以具有圆筒体或其它形状。
此外，在上述的实施例中，作为气体放电管表示了端窗型的重氢灯10，但也可以是侧窗型的重氢灯。此时，在侧面板24、54、64、74上设置光出射部。此外，也可以应用其它的气体放电管。
而且，在上述的实施例中，绝热插孔部件30、80、90、100、110、120、130、140的材料为聚醚醚酮树脂材料，但也可以应用由具有绝热性、电绝缘性的其它材料形成的绝热插孔部件。
由以上的本发明的说明可知可以对本发明进行各种变形。这种变形不能被认为脱离了本发明的思想和范围，所有对本领域技术人员而言显而易见的改进都包括在以下的权利要求中。
工业上的可利用性
本发明可适用于分析装置或半导体检测装置等各种检测装置的光源。
Claims (5)
1.一种光源装置，其特征在于，
包括：
具有在贯通的状态下保持多个芯柱销的芯柱部的气体放电管，容纳所述气体放电管的灯容器，以及配置在所述气体放电管和所述灯容器的内壁之间且相对于该灯容器在已定位的状态下被固定的绝缘性插孔部件，其中，
所述绝缘性插孔部件，由电绝缘性材料构成，并且，作为用于在可装卸的状态下固定所述气体放电管的构造，包括：
面接触部，与所述芯柱部面接触，且具有电绝缘性；
销插孔部件，与所述芯柱销中的至少任何一个对应地设置，在被电连接的状态下插入有各对应的芯柱销。
2.如权利要求1所述的光源装置，其特征在于：
还具有将所述灯容器固定在表面上的基台，
所述灯容器具有箱型形状，并且具有与所述基台大致垂直的壁面，
所述绝缘性插孔部件固定在所述灯容器的所述壁面上。
3.如权利要求1或2所述的光源装置，其特征在于：
所述气体放电管，具有从所述芯柱部向所述气体放电管的外部延伸的排气管部，
所述绝缘性插孔部件，具有用于使所述排气管部进入的排气管进入部。
4.如权利要求书1～3中的任何一项所述的光源装置，其特征在于：
所述绝缘性插孔部件具有用于使所述芯柱销中的至少任何一个进入的芯柱销进入部，
在所述芯柱销进入部的至少任何一个上插装有所述销插孔部件。
5.如权利要求书1～4中的任何一项所述的光源装置，其特征在于：
所述灯容器具有使来自所述气体放电管的光通过的光出射部，而且
该光源装置具有配置于所述光出射部的透镜。
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