CN101035724A - 基板搬运用容器及该搬运用容器的内壁构造、以及该搬运用容器中使用的底部提升部件 - Google Patents

基板搬运用容器及该搬运用容器的内壁构造、以及该搬运用容器中使用的底部提升部件 Download PDF

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CN101035724A CN 200580034002 CN200580034002A CN101035724A CN 101035724 A CN101035724 A CN 101035724A CN 200580034002 CN200580034002 CN 200580034002 CN 200580034002 A CN200580034002 A CN 200580034002A CN 101035724 A CN101035724 A CN 101035724A
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Abstract

本发明提供一种基板搬运用容器,是主要部分由发泡合成树脂形成的基板搬运用容器,玻璃基板相对容器主体的放入以及取出容易,且可防止搬运中基板意外向上下方向的移动,并且由此导致的崩碎或裂缝等的发生危险小。基板搬运用容器的容器主体,由预先分体形成的发泡合成树脂的内侧隔热件和片材部件构成,以便通过隔热件构成双层壁,上下方向上配置的内侧隔热件以从容器主体的开口部朝向下方、壁的厚度逐渐变薄的方式设置有梯度。进而,在配置在底面上的内侧隔热件上,在厚度方向上形成有凹处,在配置在其上的片材部件上形成有狭缝以便能插入干燥剂。

Description

基板搬运用容器及该搬运用容器的内壁构造、以及该搬运用容器中使用的底部提升部件
技术领域
本发明涉及适于收纳多张大致矩形的液晶用玻璃基板等并进行搬运的基板搬运用容器及该搬运用容器的内壁构造、以及该搬运用容器中适宜地使用的底部提升部件。
背景技术
通常,在制造工序等时向其他场所移动液晶用玻璃基板等基板时,使用在收纳多张的状态下紧密地盖嵌有盖的基板搬运用容器,以便令基板彼此不相互接触,并且防止污染且以不在基板上发生裂缝或崩碎的状态安全地搬运。
在这样的基板搬运用容器中,有下述基板搬运用容器:大致长方体的容器主体、和安装在容器主体的开口部的盖体都由发泡合成树脂形成(例如专利文献1)。
在专利文献1的基板搬运用容器中,玻璃基板在直接卡止在基板支承槽上的状态下被搬运,所述基板支承槽形成在发泡合成树脂制的容器主体内表面上。因此,若在搬运途中在玻璃基板上发生磨蹭等,则特别存在下述问题:与玻璃基板直接接触的容器主体内表面的支承槽部分易于劣化,其结果,发泡合成树脂制的基板支承槽被削去,发泡体作为污垢附着在玻璃基板上。
另一方面,提供有下述基板搬运用容器,在容器主体内部,另外附设由聚乙烯膜构成的保护膜(专利文献2,专利文献3)。
在专利文献2的情况下,如图18所示,为下述构造:在预先形成的平板状的聚乙烯膜212B上借助加热成形而形成与发泡体侧的内壁211的槽212a的形状配合的槽,并在槽212a的成形的同时对形成了该凹凸的槽的保护膜212b进行加热熔融,由此覆盖在槽212a的内表面上。若这样构成,则与专利文献1的情况不同,由于玻璃基板不直接与发泡体的内壁211接触,所以可防止因发泡体而形成污垢。
但是,在专利文献2的情况下,由于在发泡体的内壁211上紧密地贴合保护膜212b,所以内壁211和保护膜212b始终一体地运动。因此,在对容器主体的内壁211施加冲击时,保护膜212b没有起到缓冲件的功能,该冲击直接传递到基板上。其结果,存在在基板上产生崩碎或裂缝等的问题。
进而,在专利文献2中,相互对置的一对基板卡止槽212b的宽度S从盒主体的上部(基板插入的入口部)到下部(基板插入的最终部)设定为大致相同的长度。
若这样将基板卡止槽的宽度S形成为从基板的插入方向入口到插入部分的最后为相同的宽度,则在基板稍微倾斜而被插入时,存在基板的破损的问题。
进而,在专利文献2的情况下,如图19所示,两端部的基板卡止槽212b之间的距离E,从基板插入方向的入口附近到基板插入方向的最终部分为相同的距离E,所以若不笔直地放入基板G,则难以进行向箭头方向的插入。而且,即便玻璃基板G直到最后没有破损地被安装,在基板的周围也没有游隙用的空间,所以在对容器主体施加上下方向的振动等时,存在令玻璃基板G破损的问题。
此外,在专利文献3(特开平7-257681号公报)的权利要求1中,公开有下述发明:“一种基板搬运用盒体,在由发泡倍率3~30倍的发泡体形成的盒体(1)的内部,配置具有基板支承用槽(2a)的箱状的带槽内插部件(2)。”。而且,关于该内插部件(2),在例如段落[0050]中有下述记载:“作为带槽内插部件(2),使用将树脂片材(ABS树脂片材等)设置在金属模中并在加热状态下进行真空吸引而一举成形为箱状的压空成形体。”,该带槽内插部件(2)如专利文献3的图3的附图标记(2)所示,具有与发泡树脂制盒体(1)的内壁面以及底面对应的5个面,另外一面开口。即便想要将这样一面开口的6面体配置在发泡树脂制盒体(1)内,将具有与发泡树脂制盒体(1)大致相同形状的箱体的内插部件(2)插入发泡树脂制盒体(1)内的作业也非常复烦杂。此外,若这样将内插部件(2)形成为箱状,则基板支承用的槽(2a)被箱状内插部件(2)的各面抵接而形成的边固定,这样被固定的基板支承用的槽(2a)没有缓冲性。
在该专利文献3中,内插部件(2)被记载有:是由发泡体形成的板状或者箱状的发泡成形体、是对树脂片材压空成形而得到的板状或者箱状的压空成形体、是对树脂熔融成形而得到的板状或者箱状的成形体、是机械加工板体而得到的板状或者箱状的机械加工品。此外,在段落[0022]中,记载有下述情况:若在盒体(1)的主体部(11)的相对的一对面的内表面侧形成卡合用的凸条(11a),并在板状的带槽内插部件(2)、(2)的背面侧形成与上述凸条(11a)卡合的条型槽(2b),则可更顺利地进行板状的带槽内插部件(2)相对盒体(1)的安装以及取下。
但是,在上述专利文献3所述的内插部件(2)为盒状的情况下,将该盒状内插部件(2)插入发泡树脂制盒体(1)内的作业非常烦杂,此外,厚度为能具有卡合用的条型槽那样的厚度的内插部件没有显示出缓冲性。
因此,在专利文献1以及专利文献3中公开的基板搬运用盒体中,虽然来自外部的冲击被发泡树脂制的盒体吸收,但由收纳在盒体内的基板振动而产生的冲击,由于支承基板的带槽内插部件缺乏缓冲性,所以不能在该盒体内进行吸收。
此外,专利文献1以及专利文献3所述的基板搬运用盒体,为统一的大小,可通过这样的基板搬运用盒体稳定地搬运的基板的大小为一种,不能搬运大小不同的基板。
另外,在专利文献4(实开昭57-91272号公报)中,公开有下述板状部件的收纳装置,其特征在于,借助箱体和内张部件将板状部件的两端部安装在下述对置的槽中,所述箱体是六面体的一面具有开口且由发泡性合成树脂材料形成的箱体,所述内张部件,安装在该箱体的与上述开口相邻的四侧面中相互对置的一对侧面上,且具有从上述一面向与上述一面对置的底面方向延伸的以既定间隔排列的多个槽,且由比上述箱体硬的合成树脂材料形成。在上述收纳装置中,在箱体的对置的一对侧面上形成槽,该槽具有令合成树脂制的内张部件紧贴在形成在箱体上的槽的表面上的构造。但是,该槽自身没有缓冲性。因此,有发生裂缝或崩碎的危险。
另一方面,在借助这样的发泡合成树脂制的基板搬运用容器向远方搬运液晶用玻璃基板时,需要从湿气中保护基板。因此,有时在容器主体内或者盖体内收纳干燥剂,由于通常这样的干燥剂一般被胶带等粘结,所以若胶带的粘接力降低而干燥剂落下,则存在玻璃基板的表面被该干燥剂损伤的问题。
专利文献1:特开平7-132986号公报
专利文献2:特开2005-8194号公报
专利文献3:特开平7-257681号公报
专利文献4:实开昭57-91272号公报
发明内容
本发明是鉴于上述情况提出的,目的在于提供一种基板搬运用容器及其内壁构造,该基板搬运用容器是主要部分由发泡合成树脂形成的基板搬运用容器,玻璃基板相对容器主体的安装以及取出容易,且可防止搬运中基板意外向上下方向的移动,并且基板的崩碎或裂缝等的发生危险小。
此外,本发明的目的在于提供一种底部提升部件,即便是大小不同的基板也可进行搬运。
此外,本发明的目的在于提供一种基板搬运用容器,即便在收纳干燥剂时,也不会发生由于干燥剂的落下而引起的基板的损伤。
用于实现上述目的的本发明的基板搬运用容器,包括:合成树脂制的容器主体,通过底壁部、从该底壁部一体地竖起的一对长侧壁部和一对短侧壁部,以呈有底方筒状且一面开口的方式形成;以及发泡合成树脂制的盖体,以覆盖上述容器主体的上述一面的开口的方式装卸自如地安装;其特征在于,
上述容器主体,
将预先分体形成的发泡合成树脂制的内侧隔热板装卸自如地配置在由发泡合成树脂构成的外容器主体的内侧,以便底壁部以及从该底壁部一体地竖起的一对长侧壁部、以及一对短侧壁部分别通过隔热件而构成双层壁,并且在这些内侧隔热板上,进而装卸自如地安装有预先分体形成的树脂制的片材部件。
根据基于所述构成的本发明,由于可在树脂片材和发泡合成树脂制的板材之间形成微小的间隙,所以可借助该间隙的夹设而在树脂片材和板材之间发挥缓冲作用。此外,即便基板自身由于冲击而振动,也可借助树脂片材的允许范围内的变形而吸收该振动。因此,在通常的搬运时,即便基板意外地移动,也可防止裂缝或崩碎的发生。此外,由于内侧隔热板以及树脂片材不是由盒状的一体品形成而全部是矩形的板状物,所以形成容易,并且易于维持尺寸精度。
在此,优选在配置在上述容器主体的底面上的内侧隔热件的下表面上装卸自如且选择性地配置预先分体形成的发泡合成树脂制的底部提升部件。
根据这样的构成,若根据需要使用底部提升部件,则可使用于大小不同的玻璃基板的收纳。进而,由于还发挥缓冲作用,所以可提高耐冲击性。
此外,在本发明中,优选在上述容器主体的底面和配置在其上的内侧隔热件之间,以及在配置在该底面上的内侧隔热件和上述底部提升部件之间,构成唯一地确定相互的组装姿势的定位固定机构。
根据这样的构成,可容易地对容器主体的底面安装取下内侧隔热件以及底部提升部件等。
进而,上述定位固定机构可由凸部和凹部构成。
根据这样的构成,设计容易且对位也容易。
此外,在配置在上述容器主体的底面上的内侧隔热板上,可形成用于收纳干燥剂的凹处。
若在这样的凹处中收纳干燥剂,则可从搬运中的湿气等中保护玻璃基板。
进而,优选在内侧隔热板的上部配置的树脂片材上,形成有与上述凹处连通的狭缝,所述内侧隔热板配置在上述容器主体的底面上。
根据这样的构成,干燥剂的放入取出容易。
此外,为了实现上述目的的本发明的基板搬运用容器的内壁构造,包括:以呈有底方筒状且一面开口的方式形成的合成树脂制的容器主体、和以覆盖上述容器主体的上述一面的开口的方式装卸自如地安装的合成树脂制的盖体,
大致矩形平板状的玻璃基板在卡止于基板卡止槽内的状态下被搬运,该基板卡止槽以隔开既定间隔的方式形成在至少由上述容器主体内的底壁以及一对侧壁构成的3个面上,其特征在于,
上述容器主体内的基板收纳部包括大致矩形平板状的发泡合成树脂制的内侧隔热板、和覆盖该内侧隔热板的表面的薄片材部件,在形成在上述内侧隔热板和上述片材部件上的基板卡止槽的凹凸面之间确保有缓冲用间隙。
根据基于所述构成的本发明,可借助片材部件和发泡合成树脂制的内侧隔热板之间的缓冲用间隙,在片材部件和内侧隔热板之间发挥缓冲作用。此外,即便玻璃基板由于冲击而振动,也可借助片材部件的允许范围内的变形而吸收该振动。因此,在通常的搬运时,即便玻璃基板意外地振动,也可防止裂缝或崩碎的发生。此外,内侧隔热板以及片材部件不是通过盒状的一体品形成而是矩形的板状物,则形成容易,且易于维持尺寸精度。
此外,在本发明中,优选上述盖体包括发泡合成树脂制的盖体主体、和覆盖该盖体主体的内表面的盖体用片材部件,在上述盖体主体的顶面部,以既定的间距形成有基板收纳槽,并且在装卸自如地安装在该盖体主体的内表面上的上述盖体用片材部件上,形成与之对应的基板收纳槽,并且在上述盖体主体的基板收纳槽和上述盖体用片材部件的基板收纳槽之间确保有缓冲用间隙。
若根据该构成,由于在玻璃基板的上部所卡止的的盖体侧也确保有缓冲用间隙,所以可尽量吸收玻璃基板特别是上下方向振动时的冲击,并可防止裂缝或崩碎。
进而,用于实现上述目的的本发明的基板搬运用容器,包括:以呈有底方筒状且一面开口的方式形成的合成树脂制的容器主体、和以覆盖上述容器主体的上述一面的开口的方式装卸自如地安装的合成树脂制的盖体,
大致矩形平板状的玻璃基板在卡止于基板卡止槽内的状态下被搬运,该基板卡止槽以隔开既定间隔的方式形成在至少由上述容器主体内的底壁以及一对侧壁构成的3个面上,其特征在于,
上述容器主体,
将预先分体形成的发泡合成树脂制的内侧隔热板装卸自如地配置在由发泡合成树脂构成的外容器主体的内侧,以便底壁部以及从该底壁部一体地竖起的一对长侧壁部、以及一对短侧壁部分别通过隔热件而构成双层壁,并且在这些内侧隔热板的更内侧,装卸自如地安装有预先分体形成的树脂制的片材部件,
上述内侧隔热件,以随着从临近上述容器主体的上述开口部的位置朝向内侧而壁的厚度逐渐变薄的方式设置有梯度。
根据所述构成的本发明,由于设定为开口部侧的基板卡止槽的距离在入口附近变短,所以可防止玻璃基板在上下方向上的振动,可防止玻璃基板的裂缝或崩碎的发生。
此外,用于实现上述目的的本发明的基板搬运用容器,包括:以呈有底方筒状且一面开口的方式形成的合成树脂制的容器主体、和以覆盖上述容器主体的上述一面的开口的方式装卸自如地安装的合成树脂制的盖体,
大致矩形平板状的玻璃基板在卡止于基板卡止槽内的状态下被搬运,该基板卡止槽以隔开既定间隔的方式形成在至少由上述容器主体内的底壁以及一对侧壁构成的3个面上,其特征在于,
在上述容器主体内的底壁部上,配置由发泡合成树脂构成的内侧隔热板,进而在其上侧装卸自如地安装预先分体形成的树脂制的片材部件,
在配置在上述容器主体的底面上的上述内侧隔热板上,在厚度方向上形成凹处,并且在装卸自如地配置在上述内侧隔热板的上部的片材部件上,形成与上述凹处连通的狭缝。
此外,优选经由形成在上述片材部件上的狭缝而在上述内侧隔热件的凹处收纳干燥剂。
根据所述构成的本发明,可借助干燥剂从搬运中的湿气等中保护玻璃基板。此外,干燥剂的取出放入容易且干燥剂不会落下到玻璃基板的表面。
进而,用于实现上述目的的本发明的基板搬运用容器,其特征在于,具有:
容器主体部,是一方开口的发泡树脂制的有底方筒状体,在该有底方筒状体的对置的内周壁上形成有基板支承槽;
发泡树脂制的盖体部,以覆盖上述容器主体部的开口的方式装卸自如地安装;和
壁面基板支承用树脂片材,在上述容器主体部的至少形成有该基板支承槽的对置的内周壁面上,以与该内周壁面形成微小空隙的方式配置,且被赋形为与该内周壁面大致相同的表面形状;
该壁面基板支承用树脂片材,借助倒入防止机构保持在该内周壁面上。
此外,用于实现上述目的的本发明的基板搬运用容器,其特征在于,具有:
容器主体部,是一方开口的发泡树脂制的有底方筒状体,在该有底方筒状体的对置的内周壁上形成有基板支承槽;
发泡树脂制的盖体部,以覆盖上述容器主体部的开口的方式装卸自如地安装;
壁面基板支承用树脂片材,在上述容器主体部的至少形成有该基板支承槽的对置的内周壁面上,以与该内周壁面形成微小空隙的方式配置,且被赋形为与该内周壁面大致相同的表面形状;和
底部提升部件,是在表面形成有基板支承槽的发泡树脂制的板状体,在上述容器主体部中收纳在收纳主体部的底部上,而与形成在容器主体的配收壁上的基板支承槽共同保持基板,并且,防止上述壁面基板支承用树脂片材的倒入。
进而,本发明的基板搬运用容器的底部提升部件,优选是与上述基板搬运用容器一起使用的底部提升部件,其特征在于,是在表面形成有保持槽的发泡树脂制的板状体,收纳在发泡树脂制的容器主体部内,调整该容器主体部内的收纳深度,并且与壁面基板支承用树脂片材共同保持收纳在该容器主体部内的基板,所述壁面基板支承用树脂片材在该容器主体内的对置的壁面上以形成微小的空隙的方式配置。
在本发明的基板搬运用容器中,在由发泡树脂制形成的容器主体部的对置的一对侧壁面上,形成用于保持被收纳的基板的保持槽,进而,在该侧壁面的表面上,以与侧壁面形成微小的空隙的方式配置有壁面基板支承用树脂片材,所述壁面基板支承用树脂片材被赋形为与该侧壁面的表面形状大致相同的表面形状。通过这样将壁面基板支承用树脂片材配置为相对于侧壁面不固定而形成微小的空隙,在容器主体和壁面基板支承用树脂片材之间形成缓冲空间,所述缓冲空间将由被收纳的基板产生的振动吸收。
通常,通过使用具有由发泡树脂形成的框体的基板搬运用容器,可通过由发泡树脂形成的框体部吸收来自外部的冲击等,被收纳的基板被安全地保持,但在这样的基板搬运用容器中,由于收纳在内部的基板被形成在框体内壁面上的保持槽固定,所以对于由被收纳的基板自身产生的振动没有缓冲机构。
在本发明的基板搬运用容器中,在由发泡树脂形成的容器主体部的形成有保持基板的保持槽的内壁面上,配置被赋形为与该内周壁面的表面形状大致相同的形状的壁面基板支承用树脂片材,所以来自外部的冲击自不用说,由容器内所收纳的基板所产生的振动也被形成在该壁面基板支承用树脂片材和形成有保持槽的内壁面之间的缓冲空隙吸收,可在更稳定的状态下保管或者移动邻接地被收纳的基板。即,例如液晶用的玻璃基板是非常薄的基板,即便在非常小的应力作用下也会发生挠曲。通过使用由发泡树脂形成的基板搬运用的容器,从外部施加的应力的大部分被该发泡树脂制的框体部吸收,但仅通过形成在框体的内壁面的保持槽难以吸收由于收纳的基板挠曲等而产生的内部应力。在取出液晶基板等基板材料或者基板时,慎重地取出以便被收纳的基板材料或者基板不会破损,基板材料或者基板的破损,由于基板材料或者基板上产生的内部应力而导致的破损比由于取出处理的不注意导致的破损的发生频率还高。特别是随着液晶的大型化,这样的倾向变高。基于这样的内部应力导致的基板材料或者基板的破损,由于它们的自重作用在保持部分上而产生的情况很多。
在本发明的基板搬运用容器中,在保持被收纳的基板材料或者基板的部分、即容器主体部的对置的一对侧壁上所形成的保持槽的表面上,形成微小的空隙而配置壁面基板支承用树脂片材,壁面基板支承用树脂片材的保持槽相对于形成在容器主体部上的保持槽不固定,但是,由形成在容器主体部上的保持槽阻止壁面基板支承用树脂片材的保持槽过度变形。即,被收纳的基板材料或者基板具有一定程度的挠性,相对于基板材料或基板在该挠性范围内运动的量,该基板材料或者基板不会破损。在输送基板材料或者基板时,必须固定基板材料或者基板,但若固定基板,则在该固定的部分上(具体是被保持槽夹持的基板材料或者基板的两端部)应力集中。因此,搬运中的基板材料或者基板的破损,除了由落下等的处理不注意而导致的破损外,该基板材料或者基板的破损认为在被上述这样夹持的两端部上开始的破损较多。
在本发明的基板搬运用容器中,在形成在容器主体部上的保持槽和壁面基板支承用树脂片材的保持槽之间形成微小的空隙,壁面基板支承用树脂片材不固定在容器主体部的壁面上,该空隙作为可容忍被收纳的基板材料或者基板所具有的挠性的范围内的变形的缓冲空间而起作用。因此,通过使用本发明的基板搬运用容器,可防止从被收纳的基板材料或者基板的两端部开始的破损。但是,即便在容器主体部的侧壁上配置这样的壁面基板支承用树脂片材,由于该壁面基板支承用树脂片材没有固定在容器主体的侧壁上,所以在收纳基板材料或者基板之前,该壁面基板支承用树脂片材有时在容器内倾倒。该基板搬运用容器,是处理基板材料或者基板的基板厂家等使用的容器,在从该基板搬运用容器的制造者到达基板厂家等的过程中,壁面基板支承用树脂片材在容器内倾倒的话,不能稳定地供给具有上述那样的优异特性的基板搬运用容器。特别是,在基板厂家等中,多借助自动装置等将基板材料或者基板收纳在该基板搬运用容器中而进行搬运,在如本发明的基板搬运用容器那样,在形成有保持基板材料或者基板的保持槽的发泡树脂制的框体的侧壁形状、和配置在该表面上的壁面基板支承用树脂片材的表面形状大致相同时,难以机械地辨识壁面基板支承用树脂片材的有无。
因此,在本发明的基板搬运用容器中,形成该壁面基板支承用树脂片材的倒入防止机构,以便配置在容器主体部的形成有保持槽的侧面上的壁面基板支承用树脂片材不会倒入。
通过这样形成壁面基板支承用树脂片材的倒入防止机构,可有效地利用本发明的基板搬运用容器所具有的优异的破损防止功能。
此外,上述那样收纳的基板材料或者基板,在容器主体部的底部,必然地与容器主体部的底部接触,但在本发明的基板搬运用容器中,优选在容器主体部上配置底部提升部件。在该底部提升部件的表面上,形成有保持槽,该保持槽与形成在容器主体部的内侧面上的保持槽共同保持被收纳的基板材料或者基板。而且,优选配置具有与该底部提升部件的表面形状大致相同的形状的底部基板支承用树脂片材,该底部基板支承用树脂片材,优选发泡树脂性的底面基板支承用树脂片材形成微小的空隙地配置,这样形成的空隙与被收纳的基板材料或者基板的底部接触,而且底面基板支承用树脂片材没有固定在使用发泡树脂而形成的底部提升部件上,所以不会紧密地保持被收纳的基板材料以及基板,因此,保持在该底面基板支承用树脂片材上的基板材料以及基板可设置成,即便在该基板材料或者基板所具有的挠性的范围内变形,其应力也不会集中在基板等的底部。而且,这样的底部提升部件,也可以成为对于壁面基板支承用树脂片材非常良好的倒入防止机构。此外,该底部提升部件,通过预先形成各种厚度的底部提升部件,可在该基板搬运用容器中调整收纳深度,通过适宜地选定底部提升部件的厚度,或者通过适宜地组合使用多个不同的底部提升部件,可在一种容器中借助底部提升部件调整深度,所以可稳定地搬运不同尺寸的基板材料或者基板。这样保持基板材料以及基板的部分为对置的一对侧壁以及配置在底部的底部提升部件(或者,底部基板支承用树脂片材的保持槽)这三处,可更安全地保持、搬运基板材料或者基板。
在本发明的基板搬运用容器中,基板的安装以及基板的取出作业性良好。此外,由于可通过在树脂片材和内侧隔热板之间构成的间隙发挥缓冲作用,所以即便在基板由于搬运时的振动等而小幅地上下运动且该力传递到树脂片材时,树脂片材可凹陷或变形而吸收该力。由此,可尽可能防止基板的裂缝或崩碎等。此外,若解除由于振动而产生的力的传递,则变形后的树脂片材可恢复到原来的状态。进而,若使用底部提升部件,则当然可提高缓冲作用,也可通过一个基板收纳容器兼用地搬运大小不同的玻璃基板。
此外,在本发明的基板搬运用容器中,内侧隔热板以及树脂片材不是六面体那样的一体物,全部是分体形成的,所以形成以及尺寸精度的提高容易。
进而,在出来既定的尺寸精度时,即便不管理全部的尺寸精度,也可在内侧隔热板和树脂片材之间进行调整,可提高设计的自由度。此外,在收纳干燥剂时,无需胶带等,并且经由狭缝将干燥剂收纳在内部,则可防止该干燥剂落下而伤害基板。
此外,容器主体为发泡合成树脂制,可相对于来自外部的冲击而在冲击中保护收纳的基板,此外,可防止由于温度差等导致的结露的发生。
此外,若在盖体侧也确保缓冲用间隙,则可尽可能地吸收在上下方向振动时的冲击力而进一步防止裂缝或崩碎。
进而,将内侧隔热件的厚度以随着朝向内方而逐渐变薄的方式设置梯度,由此,可抑制搬运中的玻璃基板向上下方向的振动。由此,可防止由其引起的玻璃基板的裂缝或崩碎等的发生。
此外,在本发明的基板搬运用容器中,在收纳干燥剂时,若不需要胶带等并且经由狭缝将干燥剂收纳在内部,则可防止该干燥剂落下而伤害基板。
本发明的基板搬运用容器,在保持基板的容器主体部的壁面上,相对于该壁面形成微小的间隙地配置具有与该壁面的表面形状大致相同的形状的壁面基板支承用树脂片材,并且设置防止该壁面基板支承用树脂片材向容器内倒入的机构。通过这样将壁面基板支承用树脂片材经由微小的空隙配置在壁面上,可借助该空隙吸收由收纳在该容器内的基板自身产生的应力,可显著地降低从收纳基板的保持部开始的基板的损伤的发生。即,形成在容器的侧面和壁面基板支承用树脂片材之间的微小的空隙作为由于被收纳的基板自身的挠曲等而产生的内部应力的缓冲空间而发挥作用。
在这样的本发明的基板搬运用容器中,在形成基板的保持槽的容器的侧面上,尽管配置在该表面上的壁面基板支承用树脂片材没有紧贴,但由于设置了该壁面基板支承用树脂片材的倒入防止机构,所以可令壁面基板支承用树脂片材相对于壁面形成一定的空隙而稳定地被保持。
进而,在本发明的基板搬运用容器中,在与被收纳的基板始终接触的底部上,配置形成有基板的保持槽的底部提升部件,适宜地,具有与该底部提升部件的表面形状大致相同的形状的底部基板支承用树脂片材在底部提升部件的表面上形成微小空隙地配置,所以,可降低发生在被收纳的基板上的挠曲等的变形的发生,并且,形成在该底部提升部件和底部基板支承用树脂片材之间的微小的空隙可作为产生在基板自身上的内部应力的缓冲空间而作用,可显著降低被收纳基板的破损的发生。
进而,通过使用该底部提升部件,可根据收纳的基板调整容器内的收纳空间的深度,进而,通过在盖部的内部上也与上述相同地形成具有缓冲空隙的支承槽,可更安全地收纳基板。
根据本发明的基板搬运用容器,由于由发泡树脂形成,所以当然相对于来自外部的冲击保护收纳的基板,也可吸收由于被收纳的基板的自重或者它们的挠曲等而产生的基板内部的应力而防止基板的破损。
此外,在上述那样将壁面基板支承用树脂片材等以形成有开口部的六面体(盒状)的形状插入发泡树脂制的容器主体部时,支承槽的挠性被损害,即便在壁面和壁面基板支承用树脂片材之间形成空隙,该空隙对于被收纳的基板也没有缓冲空隙的功能。进而,若形成盒状而插入容器主体部内,则盒体的插入明显困难,作业效率非常差。因此,在本发明中,基本上,向例如各壁面将分别独立的多个壁面基板支承用树脂片材配置在壁面上,以便保持壁面基板支承用树脂片材的支承槽的挠性(即,令折皱状地形成的多个支承槽可伸缩),所述壁面基板支承用树脂片材的支承槽被赋形为与形成在容器主体部的壁面上的支承槽大致相同形状,由此,可在发泡树脂制的容器主体部内部的壁面上容易地配置壁面基板支承用树脂片材。而且,本发明的基板搬运用容器具有倒入防止机构,所以可令配置的壁面基板支承用树脂片材在稳定在各侧面上的状态下被配置。
进而,通过使用底部提升部件,不仅可通过侧面保持被收纳的基板,也可通过底面保持,而且由于该底部提升部件具有基板的内部应力的缓冲性,所以可更安全地搬运基板。此外,由于可调整容器的收纳深度,所以可令单一的基板搬运用容器适用于多种基板的搬运。进而,该底部提升部件,对于配置在容器主体部的侧壁上的侧壁基板保持用树脂片材成为非常好的倒入防止机构。进而,通过减少容器内的剩余空间,还可提高基板的搬运安全性。
另外,本发明的基板搬运用容器,是发泡树脂制,当然可对来自外部的冲击保护被收纳的基板,此外可防止由于与外部的温度差等而发生的结露等。
附图说明
图1是本发明的一实施例的基板搬运用容器的主视图。
图2是从图1的基板搬运用容器取下上部的盖体而观察内部时的容器主体的俯视图。
图3是图1所示的基板搬运用容器的分解立体图。
图4是沿长度方向的线切断图1时的剖视图。
图5是图4的B-B线方向的剖视图。
图6是图3所示的底部提升部件的放大立体图。
图7是表示在图3中配置在底壁部的内侧隔热板和片材部件的组装的分解立体图。
图8是表示在图3中配置在长侧壁部的内侧隔热板和片材部件的组装的分解立体图。
图9是表示在图3中配置在短侧壁部的内侧隔热板和片材部件的组装的分解立体图。
图10是长侧壁用的内侧隔热件的侧视图。
图11是短侧壁用的内侧隔热件的侧视图。
图12是组装图9所示的短侧壁用的内侧隔热件和树脂片材的状态下的放大剖视图,是在g的部分上配置玻璃基板的说明图。
图13是基于本发明的其他实施例的基板搬运用容器的分解立体图。
图14是基于本发明的另一实施例的基板搬运用容器的分解立体图。
图15是表示本发明的底部提升部件的一例的分解立体图。
图16是放大表示基板支承槽的状态的说明图。
图17是表示令另外的壁面123a、123b的表面突出而防止壁面基板支承用树脂片材122a、122b的倒入的形式的例子的图。
图18是表示以往的搬运容器的构造的图,图18(A)是被加热前的聚乙烯膜的剖视图,图18(B)是被加热的保护膜的剖视图,图18(C)是表示加热后的保护膜和发泡体的内壁的安装构造的剖视图。
图19是向以往的搬运用容器中插入玻璃基板时的概略图。
附图标记说明:
2    基板搬运用容器
4    容器主体
4a   底壁部
4b、4c  长侧壁部
4d、4e  短侧壁部
4f   开口
4g   口部
4h   水平突起
4i   突起
6    盖体
6a   凹处
8    底部提升部件
8a   突起
8b   凹部
10   长壁用的内侧隔热板
12   短壁用的内侧隔热板
14   片材部件
16   片材部件
18   片材部件
20   底面用的内侧隔热板
20a  基板卡止槽
21   突条
22   凹处
50   外容器
110  (第1)基板搬运用容器
111  (第2)基板搬运用容器
112  容器主体部
113a、113b  一对壁面
114  开口部
115  凸部
116  基板支承槽
116a 支承凸条
117  底部
118  片材夹入狭缝
119  微小的空隙
122a、122b  壁面基板支承用树脂片材
123a、123b  另一对壁面
具体实施方式
以下,参照附图对本发明的一实施例进行说明。
图1是基于本发明的一实施例的基板搬运用容器的主视图,图2是从图1所示的基板搬运用容器取下上部的盖体时的容器主体的俯视图。图3是图1所示的基板搬运用容器的分解组装剖视图,图4是基板搬运用容器的宽度方向的剖视图,图5是基板搬运用容器的长度方向的剖视图。
若概略地说明本实施例的基板搬运用容器,则在由发泡合成树脂形成的箱形的外容器的内部,以双层构造的方式配置板状的隔热件,进而在其内侧的整个内表面上配置树脂制的片材。
即,本实施例的基板搬运用容器2,如图1以及图2所示,具有一面开口地形成的发泡合成树脂制的容器主体4、和以覆盖该容器主体4的上部的开口4f的方式装卸自如地安装的发泡合成树脂制的盖体6。另外,在以下的说明中,容器主体4的外容器50表示从基板搬运用容器2取下盖体6后的容器主体4中,构成最外方的最外壳的上部开口的方筒状的发泡合成树脂的部分。
即,构成容器主体4的最外壳的发泡合成树脂制的外容器50,如图1以及图3所示,在外表面上形成带状的凹处22、22。该带状的凹处22,与形成在盖体6的外表面的凹处6a、6a连续地形成。而且,在将容器主体4和盖体6一体地组装时,使紧固带通过凹处22以及凹处6a而捆扎。
这样的外容器50,包括:底壁部4a;从底壁部4a一体地竖起的一对长侧壁部4b、4c;同样从底壁部4a一体地竖起的一对短侧壁部4d、4e。
在这样的外容器50的口部4g,如图3~图5所示,在横方向上形成水平突起4h。通过将形成在盖体6的内周面上的未图示的凹槽与该水平突起4h嵌合,可令盖体6与容器主体4紧密地嵌合而防止脱落。
外容器50的周围的四个内壁面,大致平坦地形成,但在外容器50的底壁部4a的上表面上,如图5所示,分离既定的间隔地形成两个突起4i、4i。
外容器50中,在底壁部4a、一对长侧壁部4b、4c、和一对短侧壁部4d、4e的内表面侧,分别配置板状的内侧隔热板20、10、10、12、12。另外,在底壁部4a上,选择地配置底部提升部件8。在这样配置底部提升部件8时,在其上配置内侧隔热板20。底部提升部件8,如图6放大地表示的那样,由具有既定的板厚的发泡合成树脂形成,这样,若准备板状的底部提升部件8,则通过有底部提升部件8和没有底部提升部件8,可将容器内部的空间高度调整为两阶段。因此,可收纳大小不同的基板。
另外,在底部提升部件8的上表面上,分离既定的间隔地形成一对突起部8a、8a。该突起部8a、8a的分离距离形成为与外容器50的突起4i、4i的分离间距相等。此外,在底部提升部件8的背面,在突起8a的正下方形成凹部8b、8b。
因此,若在外容器50的内部设置这样的底部提升部件8,则底部提升部件8的凹部8b被外容器50的突起4i定位,并相互嵌合。由此,底部提升部件8设置为相对外容器50不能移动。
另一方面,配置在外容器50的内侧的底面用内侧隔热板20、长侧壁用内侧隔热板10、10、和短侧壁用内侧隔热板12、12的各内侧表面分别被树脂制的片材部件18、14、16覆盖。另外,这些树脂制的片材部件18、14、16由于几乎没有厚度,所以在图2、图4、图5等中与内侧隔热板20、10、12一体地表示。
图7表示底壁部的内侧隔热件20和片材部件18的关系,图8表示长侧壁的内侧隔热件10和片材部件14的关系,图9表示短侧壁的内侧隔热件12和片材部件16的关系。
以下,对这些各构成要素进行具体地说明。
如图7所示,在底壁部上,以覆盖底面用的内侧隔热板20的上表面的方式装卸自如地设置树脂制的薄片材部件18。树脂制的片材部件18若从背面侧观察则内侧成为凹陷的凹处。相反,片材部件18的表面形状形成为与内侧隔热件20的外形状大致相同。
在底面用的内侧隔热件20上,在上表面上形成多根突条21,由此,在相邻的突条21之间以既定的间距形成基板卡止槽20a。
另一方面,在内侧隔热件20的一对短边上,在中央部和两端部上形成在水平方向延伸的凸部20b,由此在这些凸部20b的中间部上形成凹部。而且,手指等易于进入该凹部,由此可实现进行放入取出时的作业的便利。另一方面,在内侧隔热件20的长边侧,在中央部上形成凸部20c,由此在凸部20c的两侧形成凹处20d、20d。该凹处20d如后述那样,作为干燥剂的收纳空间而使用。
另一方面,在装卸自如地安装在底面用的内侧隔热件20的上表面上的薄树脂制的片材部件18的外侧面上,隔既定的间隔形成与内侧隔热件20的突条21对应的凹处(在图7的状态下看则是向外侧突出的突条19,其背面侧成为凹处)。进而,在片材部件18的一长边侧,在两侧形成构成Y字的狭缝23、23,构成为手指等经由这些狭缝23而进入到内方。而且,通过形成这样的狭缝23,在将片材部件18覆盖到内侧隔热板20上时,可经由狭缝23向内侧隔热板20的凹处20d中放入干燥剂。另外,狭缝23的形状不限定为该Y字状。
接着,参照图8、图10对长侧壁的构造进行说明。
在长侧壁中,片材部件14的内侧面形成为与内侧隔热板10的外形大致相同。即,在内侧隔热件10的表面上,形成多个(在实施例中为3×5=15个)薄圆形的突起体10a。此外,包围该突起体10a的形成区域T(A×B)的范围,与外周部R的部分相比形成为壁厚稍厚。
这样,在内侧隔热板10的中央表面上分散地设置突起体10a,并且将该形成区域T的厚度设定为比周围厚,由此,可防止内侧隔热板10上形成翘曲。另一方面,内侧隔热板10的外周部R的板厚如图10所示,形成为随着从上方朝向下方而稍微变薄(D>d)。这样,内侧隔热板10的形状,形成为接近底壁部的顶端部稍微楔状地变尖。
片材部件14,形成为外径尺寸稍微变大,以便能覆盖内侧隔热板10。此外,与内侧隔热板10的突起10a对应的部分不是圆形的凹处而是由纵横的栅格32(修边线)包围的凹处。另外,该栅格32的线若在图8中从内侧隔热板10侧观看则是向内侧隔热板10侧突出而可见的。进而,通过将设置在片材部件14的上缘部的舌片14a弯折到内侧隔热板10的背面部而相对于内侧隔热板10不能移动地被定位。
接着,参照图9、图11、图12对短侧壁的内侧隔热板材12和片材部件16的组装进行说明。
首先,如图9所示,在短侧壁用的内侧隔热板12上,在长度方向上连续形成多个基板卡止槽12a。该基板卡止槽12a的宽度f,上侧和下侧一致。但是,如图11所示,内侧隔热板12的厚度形成为上部和下部厚度不同,随着从上方朝向下方而稍微变薄(E>e)。这样,内侧隔热板12也与内侧隔热板10的情况相同,形成为顶端部稍微楔状地变尖。
薄树脂制的片材部件16,外径尺寸形成为比内侧隔热板12稍大,以便可覆盖内侧隔热件12的表面。此外,槽16a的宽度g,设定为上侧和下侧一致。
这样的片材部件16,如图12所示,相对内侧隔热件12的外表面确保游隙的部分。即,在内侧隔热件12和片材部件16的凹凸面上确保缓冲用间隙H。因此,在g的部分中夹持基板时,通过该缓冲用间隙H,即便在图12的状态下基板在左右方向上振动,在该左右方向上基板的移动也是可能的。进而,即便在图12的状态下基板在上下方向上振动,在该上下方向上基板的移动也是可能的。因此,通过在内侧隔热板12和片材部件16之间确保这些缓冲用间隙H,即便在基板搬运用容器上突然作用较大的力,基板也可移动。此外,若解除该突然的力,则片材部件16的变形也恢复到原来的状态。
如图9所示,在片材部件16安装在内侧隔热件12的外侧时,上缘部的舌片16b弯折到内侧隔热板12的背面部,由此,相对于内侧隔热板12不能移动地被定位,这与上述片材部件14相同。
在此,由发泡合成树脂构成的外容器50的内侧壁面,全部相对于底面垂直地形成。因此,如图3所示,在该外容器50的内侧壁面上,若插入并立设上述内侧隔热板10以及内侧隔热板12,则越接近容器主体4的上部的开口,相互对置的一对侧壁间的分离距离越小,越朝向容器主体4的内部(底部),该分离距离越大。
因此,若以跨过容器主体4内的一对短侧壁之间的方式插入玻璃基板,则玻璃基板的顶端部(最初进入侧的端部)侧插入较宽的空间内,玻璃基板的后端部(被手等把持而后进入的端部)侧,插入入口附近的较窄的空间内。
基于本实施例的基板搬运用容器2的各构成要素,如上所述地构成,以下,对组装顺序进行说明。另外,组装的顺序不限定于此。此外,在以下的说明中,对使用底部提升部件8的情况进行说明。
首先,预先组装配置在一对长侧壁上的发泡合成树脂制的内侧隔热板10、10和薄片材部件14、14、一对短侧壁的内侧隔热板12、12和薄片材部件16、16。同样,预先组装底面用的内侧隔热板20和薄片材部件18。这样形成配置在外容器50的内侧的各组件后,首先将底部提升部件8插入外容器50内。此时,将底部提升部件8的突起8a、8a以与外容器50的突起4i,4I配合的方式配置。
接着,将底面用组件即图7所示的内侧隔热板20和片材部件18的组件配置在底部提升部件8上。由此,构成底面。
接着,将短侧壁用的组件即图9所示的内侧隔热板12和片材部件16的组件组装在短侧壁上。
进而,将长侧壁用的组件即图8所示的内侧隔热板10和片材部件14的组件组装在长侧壁上。
由此,组装全部的构成要素,完成容器主体4的组装。另外,当在容器内设置硅胶等干燥剂时,若从配置在底壁部上的片材部件18的狭缝23向内部插入硅胶等干燥剂,则可在凹处20d内收纳干燥剂。而且,由于入口为Y字形的狭缝23,所以可防止该干燥剂意外地飞出到外方。因此,在向远方搬运时,可长期地从湿气中保护玻璃基板。
这样,构成基板搬运用容器2。
本实施例的基板搬运用容器,具有上述的构成,可在该容器内收纳基板而安全地进行搬运。即,本实施例的基板搬运用容器,由于以耐冲击性以及耐热性优异的发泡合成树脂构成容器主体部以及盖体,所以,当然可从来自外部的冲击以及外部的温度变化等中保护基板,即便对于由被收纳的基板产生的内部应力(主要是由于基板的自重产生的应力),也可借助片材部件的挠性而进行吸收,可更安全地搬运或者保管收纳基板,所述片材部件配置成,在容器内的该壁面等上形成微小的空隙。
此外,例如,在将玻璃基板插入容器主体4内时,与基板的角部抵接的片材部件16的容器外方上所配置的内侧隔热板10、12的板厚形成为越靠开口部的上部越厚,越接近下方越薄,所以可将玻璃基板在入口附近处定位而容易地插入。此外,若完成了基板的插入,则被上部侧(开口部侧)的宽度较窄部夹持,所以可防止基板从该槽部意外飞出。此外,在插入基板时,若稍微插入基板,则由于内部的宽度比入口宽,所以即便基板稍微弯曲地进入,也可吸收该弯曲。相反,即便在搬运中在容器主体中产生振动并且基板在该振动下要从容器主体飞出,由于开口部宽度较窄,所以可防止基板的飞出。进而,即便基板稍微弯曲地插入,由于在树脂制的片材部件和内部的内侧隔热板之间可确保图12所示的间隙H,所以基板可以以向内侧隔热板12推压片材部件16的方式变形,所以不会在基板上作用很强的反力。因此,可尽可能地防止基板的裂缝或崩碎等。
此外,通过使用底部提升部件8,可与要搬运的基板对应而调整容器的深度,可在容器内不形成多余的空间,所以可更安全地搬运基板。
另外,对于基于上述实施例的盖体6的构成没有详细说明,但关于该盖体6,也与容器主体4侧大致相同地形成。即,在盖体6中,与容器主体4不同,没有设置板状的内侧隔热板,但是,发泡合成树脂制的盖体主体(在容器主体中,相当于外容器的发泡体)的内部中,夹设有一面开口的箱状的薄片材部件。由此,盖体6,变为发泡体和树脂制的片材部件的双层构造。即,若以图12的截面作为盖体的图来看,则在由发泡合成树脂构成的盖体主体12上,嵌合薄片材部件16。在这样的情况下,在盖体主体12和片材部件16上,分别设置基板安装槽,在g的宽度中抵接玻璃基板的上端部。若准备这样的盖体6,则在安装玻璃基板时,可保持玻璃基板的上端侧。另外,该情况下,玻璃基板的上端可在上下左右方向移动的情况也与容器主体4的情况相同。
本发明的基板搬运用容器,不限定于上述实施例,可进行各种变更。
例如,可在基板搬运用容器上设置气体交换口,并将该基板搬运用容器内的空气置换为氮气、氩气等惰性气体。
本发明的基板搬运用容器,在通常的情况下,以被收纳的玻璃基板竖起的方式使用,可为了明确这样的基板搬运用容器的放入方向而在容器的外方做表示放入方向的标记。
本实施例的基板搬运用容器,适宜在例如玻璃基板的移动时使用,但不仅限定于移动时,当然也可在保管时等使用。
这样的基板搬运用容器,可安全地移送、保管液晶基板、液晶用玻璃基板、配线基板、电路基板等基板。
此外,狭缝23的设置位置当然可根据干燥剂的数量而增减。
此外,在上述实施例中,由于设置底部提升部件8,所以若从狭缝23插入干燥剂,则该干燥剂配置在底部提升部件8的上表面上,但在不使用该底部提升部件8时,干燥剂直接配置在外容器50的底面上。
进而,在不使用底部提升部件8时,可收纳大的基板。
接着,对基于本发明的其他实施例的基板搬运用容器以及底部提升部件进行说明。
图13是本发明的第1基板搬运用容器的分解立体图,图14是本发明的第2基板搬运用容器的分解立体图,图15是表示本发明的底部提升部件的一例的分解立体图。另外,以下所示的说明以及附图中,对相同的部件标注相同的附图标记。
本发明的第1基板搬运用容器110,具有发泡树脂制的容器主体部112、和开闭自如地安装在该容器主体部112的开口部114上的发泡合成树脂制的盖体145。
发泡树脂制的容器主体部112,具有一方向开口的有底筒状的形态,以便可收纳基板材料或者基板(在以下本发明中称为“基板”)。而且,该容器主体部112的内周壁面的对置的一对壁面113a、113b上,形成用于保持基板160的基板支承槽116。该基板支承槽116,是从容器主体部112的开口部114朝向底部117的方向而形成的槽。形成在该两壁面113a、113b上的基板支承槽116、116中插入基板160的两端部,由此,可将基板160竖起地进行收纳。该基板支承槽116,在一个的基板搬运用容器110内形成为可收纳1~45张,优选2~20张左右。因此,在容器主体部112的对置的一对壁面113a、113b上,分别形成1~45根,优选2~20根基板支承槽116。
如图16放大地表示的那样,该基板支承槽116的间距,即从某个基板支承槽116的中心线到相邻的基板支承槽116的中心线的距离可适宜地设定,但通常为3~20mm左右,优选为5~15mm左右,以便被收纳的多个基板160不接触。该间距可形成为比3mm还窄,但由于该容器主体部112是借助利用了金属模的发泡树脂成形而制造的部件,所以若间距宽度变窄,则形成基板支承槽116的支承凸条116a的形状的稳定性降低。
此外,该基板支承槽116的深度只要是能稳定地保持被收纳的基板160的深度即可,通常为5~45mm左右,优选为7~25mm左右。
这样的基板支承槽116以及支承凸条116a,可分别相对于壁面113a或者壁面113b形成为直角,此外,也可以以基板支承槽116的顶端部比基端部宽的方式形成为锥形。
上述这样的基板支承体槽116,可与容器主体部112一体地形成,此外,也可通过将具有该基板支承体槽116的发泡树脂板与容器主体部112分别形成,并将该带基板支承体槽的发泡树脂板嵌入容器主体部112的该壁面上而形成。此时,优选地,在带基板支承槽的发泡树脂板的两侧端部和容器主体部之间,嵌入树脂板以便形成后述片材夹入狭缝118。
通过这样将带基板支承槽的发泡树脂板与容器主体部分体地形成,令容器主体部的内周面的构造简单化,所以有在成形容器主体部112后脱模作业容易的优点。
优选地,在本发明第1基板搬运用容器110的形成有上述那样的基板支承槽116的一对壁面113a、113b的、与相邻的另一对壁面123a、123b抵接的部分上,形成用于夹入树脂片材的片材夹入狭缝118。
本发明的第1基板搬运用容器110中,在形成上述那样的基板支承槽116的一对壁面113a、113b的表面上,配置壁面基板支承用树脂片材122a、122b。该壁面基板支承用树脂片材122a、122b形成为与上述容器主体部112的一对壁面113a、113b的表面的形状大致相同的形状。即,在该壁面基板支承用树脂片材122a、122b上,形成与在一对壁面113a、113b上形成的基板支承槽116对应的片材面支承槽126以及片材面支承凸条126a,该片材面支承槽126以及片材面支承凸条126a具有与形成在一对壁面113a、113b上的基板支承槽116以及支承凸条116a大致相同的形状。若将这样的壁面基板支承用树脂片材122a、122b配置在壁面113a、113b的表面,则在壁面基板支承用树脂片材122a、122b和壁面113a、113b之间形成微小的空隙119。即,将该壁面基板支承用树脂片材122a、122b的端部夹持在片材夹入狭缝118中,由此,将壁面基板支承用树脂片材122a、122b配置在壁面113a、113b的表面上,所述片材夹入狭缝118形成在例如壁面113a、113b和邻接的另一对壁面123a、123b的抵接部分上。于是,在形成在壁面113a、113b上的基板支承槽116附近,该壁面基板支承用树脂片材122a、122b跟随基板支承槽116的形态而配置,但不固定在壁面113a、113b上,在两者之间形成微小的空隙119。
在本发明的基板搬运用容器110中,形成在该壁面113a、113b和壁面基板支承用树脂片材122a、122b之间的微小的空隙119作为缓冲空间而起作用,可有效地防止收纳基板160的破损,该缓冲空间吸收因基板160自身中产生的内部应力等而导致的基板160的变形等。该空隙119非常小即可,例如在收纳基板160时,壁面和片材配置为可在下述范围内分离,所述范围通常为0.01~1mm左右,优选为0.01~0.7mm左右,特别优选为0.01~0.5mm左右。即,在通过形成在壁面113a、113b上的基板支承槽116和片材面支承槽126保持基板160时,借助该空隙119吸收由于产生在该基板160上的歪斜或者挠曲等而引起的基板160的变动即可,由于基板160通常是由玻璃等形成的,所以微小的空隙119的宽度为与对应于这些基板160的挠曲量的变动宽度大致相同即可。
通过这样将壁面基板支承用树脂片材122a、122b以如上所述形成微小空隙的方式配置在形成有基板支承槽116的一对壁面113a、113b的表面上,可有效地防止由于产生在基板160自身上的挠曲或者歪斜等而引起的应力所导致的基板160的损伤,但这样的壁面基板支承用树脂片材122a、122b,在收纳基板160前,倒入容器内的情况较多。特别是,在本发明中,壁面基板支承用树脂片材122a、122b,作为与覆盖另外的壁面的树脂片材不连接的独立的片材而配置在容器主体部110内,由此,可非常高效地配置,但该壁面基板支承用树脂片材122a、122b的配置越容易,片材的倒入越容易发生。
在本发明的基板搬运用容器110中,为了防止上述的壁面基板支承用树脂片材122a、122b的倒入,形成倒入防止机构。在上述那样形成基板支承槽116的一对壁面113a、113b和邻接的另一对壁面123a、123b的抵接部分上形成的片材夹入狭缝118也作为倒入防止机构起作用,但在本发明中,希望进而在形成基板支承槽116的一对壁面113a、113b和邻接的另一对壁面123a、123b上形成倒入防止机构。
作为该倒入防止机构,如图17所示,可举出形成在容器主体部12的没有形成基板支承槽16的对置的另一对壁面123a、123b上的突起125a。这样形成的突起125a形成为,两端部被突起129钩挂住而停止壁面基板支承用树脂片材122a、122b的倒入。在图17中,作为突起125a,表示了在对置的另一对壁面123a、123b上,除了缘部外形成梯形状的凸部的方式。进而,在本发明中,也可将该突起125a设为上述的梯形状的凸部,并将该凸部内形成为栅格状而在与后述的表面保护用树脂片材之间形成空隙。此外,这样的倒入防止机构,也可形成在对置的另一对壁面123a、123b的表面上所配置的表面保护用树脂片材124a、124b的表面。图17中表示了下述方式:在表面保护用树脂片材124a、124b的表面的两侧缘部附近,向容器主体部112的内侧突出而在纵方向上形成凸条125b的倒入防止机构。
在这样的没有形成基板支承槽116的另一对壁面123a、123b或者配置在壁面上的表面保护用树脂片材124a、124b上,用于防止倒入的突起125a或者突条125b从表面通常突出2~10mm,优选3~8mm左右即可。
即,上述那样,本发明的容器主体部112的没有形成基板支承槽116的对置的另一对壁面123a、123b,不会与被收纳的基板160接触,但通过在该另外的壁面123a、123b上,例如如图17所示,使表面突出而可防止壁面基板支承用树脂片材122a、122b的倒入,此外,当在该另外的壁面123a、123b的表面配置表面保护用树脂片材124a、124b时,在该表面保护用树脂片材124a、124b的两侧端部附近,形成作为倒入防止机构的突条125a,由此,可有效地防止在收纳基板160前壁面基板支承用树脂片材122a、122b的倒入。进而,这样配置的表面保护用树脂片材124a、124b,通常被赋形为与配置该片材的另外的壁面123a、123b的表面形状大致相同的形状。进而,该表面保护用树脂片材124a、124b优选配置为在壁面123a、123b的表面形成微小的空隙。该表面保护用树脂片材124a、124b与基板160不直接接触,但通过配置该表面保护用树脂片材124a、124b,形成容器主体部112的易起毛的发泡树脂与被收纳的基板160不直接接触,此外,通过将表面保护用树脂片材124a、124b形成微小的空隙地配置在壁面123a、123b的表面,该微小的空隙成为对来自外部的冲击的冲击吸收带,此外,也会提高隔热性。
这样的表面保护用树脂片材124a、124b,可贴附在另外的壁面123a、123b上,但也可通过将例如表面保护用树脂片材124a、124b的各自的两端部插入片材夹入狭缝而配置在另外的壁面123a、123b的表面上。
本发明的基板搬运用容器110的用于收纳基板160的空间的底部117,可由发泡树脂形成,但优选配置底部基板支承用树脂片材128。
本发明的第1基板搬运用容器110,具有上述的构成,但本发明的第2基板搬运用容器111如图14所示,在具有上述构成的第1基板搬运用容器110的底部上配置底部提升部件130。该底部提升部件130由发泡树脂形成,在其表面上,形成用于与基板支承槽116共同保持收纳基板160的底部支承槽136,所述基板支承槽116形成在容器主体部112的对置的一对壁面113a、113b上。该底部支承槽136的深度,只要是能稳定地保持被收纳的基板160的深度即可,通常为5~45mm左右,优选为7~25mm左右。
配置在该底部提升部件130的表面的底部基板支承用树脂片材128,如图14以及图15所示,被赋形为与底部提升部件130的表面形状大致相同的形状。将被赋形为这样的形状的底部基板支承用树脂片材128配置在由发泡树脂构成的底部提升部件130的表面上。在该底部基板支承用树脂片材128和底部提升部件130之间,形成微小的空隙131,通过形成该微小的空隙131,可吸收由于收纳的基板160的振动等而产生的内部应力,可显著降低基板160的破损。
如图14所示,通过将具有上述方式的底部提升部件130配置在本发明的基板搬运用容器110的底部117上,形成在底部提升部件130上的底部支承槽136可与形成在壁面113a、113b上的基板支承槽116共同稳定地保管收纳的基板160,并且,该底部提升部件130成为对于壁面基板支承用树脂片材122a、122b非常良好的倒入防止机构。该底部提升部件130,此外,可将形成在本发明的基板搬运用容器110、111上的基板160的收纳深度改变为适当的深度。该底部提升部件130,也可在容器主体部112内配置多个。即,收纳在该容器中的基板的尺寸有多种,若为可收纳在该容器中的尺寸,则与容器的深度无关而能进行收纳。但是,若相对于被收纳的基板160,容器过深,则容器内的基板160的稳定性变差。因此,收纳基板160的容器的深度希望是与要收纳的基板对应的深度。在本发明的基板搬运用容器中,通过配置底部提升部件130而进行容器的底部提升,可减少容器内的剩余空间,而更稳定地保管、输送被收纳的基板160。
在本发明中,在使用多个底部提升部件时,至少在位于最上面的、位于底部提升部件130的表面上的底部提升部件的表面上形成底部支承槽136即可,进而,在至少位于最上面的底部提升部件130的表面上配置具有与底部支承槽136对应的表面形状的底部基板支承用树脂片材128即可。即,在这样配置多个底部提升部件时,在配置在下部的底部提升部件130上,也可形成底部支承槽136,也可在这样的底部提升部件130的表面上配置底部基板支承用树脂片材128,此外,树脂片材也可为没有配位的发泡树脂制的板状体。上述的底部提升部件是调整收纳基板160的深度的部件,可准备各种厚度的发泡树脂制的板而适宜地选定与收纳的基板160对应而使用的底部提升部件130的种类来进行使用。
特别优选地,调整为下述那样的深度,即,被收纳的基板160的上端部借助配置在盖体145的内侧的盖体基板支承用树脂片材147上所形成的盖体支承槽148保持。
以覆盖形成在本发明的第1以及第2基板搬运用容器110、111的容器主体部112上的开口部114的方式形成发泡树脂制的盖体145,通过将该盖体145嵌合在容器主体部112上而堵住开口部114,由此,可保持本发明的基板搬运用容器的密闭状态。
即,上述那样的本发明的第1以及第2基板搬运用容器110、111的容器主体部112的形成有开口部114的上端部和盖体145的下端部相互嵌合,可将收纳基板160的内部空间保持为气密状态。例如,以在容器主体部112的嵌合部上形成凸部115并在盖部145的嵌合部上形成凹部而令两者嵌合的方式形成嵌合部,由此,可形成更高的气密状态。
在上述的盖部145的内侧,配置盖体基板支承用树脂片材147,适宜地,借助该盖体基板支承用树脂片材147上所形成的盖体支承槽148保持被收纳的基板160的上端部。
另外,该盖体基板支承用树脂片材147,优选相对于盖体145形成微小的空隙而配置在盖体145的表面。
上述那样的本发明的容器主体部112以及盖体145,还有底部提升部件130由发泡树脂形成,这样的发泡树脂没有特别的限制,但可使用聚苯乙烯、聚烯烃、聚氨酯等作为通常树脂发泡体而使用的发泡性树脂而形成。此外,形成这些树脂发泡体的原料没有必要为单独的发泡性树脂原料,例如为了提高耐冲击性,可使用在发泡性的聚苯乙烯中掺合了橡胶成分的树脂组成物等含有多种树脂的组成物。在上述那样的在聚苯乙烯中掺合了橡胶成分的组成物,作为高冲击聚苯乙烯等而被供给。使用这样的树脂发泡体原料,借助例如模具内发泡,例如以成为10~60倍,优选20倍~50倍左右的发泡倍率的方式而得到发泡体,该发泡体具有良好的耐冲击性、隔热性等作为基板搬运用容器所需要的特性。即,通过形成由上述的发泡树脂构成的容器主体以及盖体,该基板保持用容器为0.26kcal/m·hr·℃左右或者其以下,即便外部的温度变化,也可防止基板搬运用容器内的温度快速地变化。进而,通过以这样的发泡倍率形成树脂发泡体,在形成的发泡体的表面上形成表皮层,这样的表皮层,形成比发泡树脂的厚度方向的中止部附近的发泡体还细密的层。通过形成这样的表皮层,从发泡树脂表面难以产生尘埃等,并且提高发泡体的强度,耐水性、耐透湿性也优异,进而,提高耐磨耗性。这样的表皮层从发泡体的表面以1mm左右的深度形成。这样的表皮层,可在形成发泡树脂时借助金属模和发泡树脂的接触而形成。
此外,在本发明中,壁面基板支承用树脂片材122a、122b、表面保护用树脂片材124a、124b、底部基板支承用树脂片材128、盖体基板支承用树脂片材147等可由合成树脂片材形成。在此作为使用的合成树脂片材的例子,可举出由聚乙烯、LLDPE、聚丙烯、聚丁烯等α-烯烃构成的片材;由聚苯乙烯、聚氯乙烯、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚碳酸酯、聚酯、聚酰胺这样的热塑性树脂构成的片材等。在本发明中,被赋予上述那样的既定形态的树脂片材优选通过真空成形、压缩成形、挤压成形等各种成形方法制造,在采用这样的成形方法制造在本发明中使用的被赋形为特定的形状的树脂片材时,优选使用热熔融制树脂。此外,在这样的树脂片材中,也可掺合放入各种添加剂。作为这样的添加剂的例子,可举出防静电干扰剂、导电性填充剂、着色剂、防氧化剂等。特别在本发明中优选掺合防静电干扰剂以及/或者导电性填充剂。即,该基板搬运用容器中,有时收纳组装入了半导体的基板,此时,需要迅速地将由摩擦等而产生的电位放电除去,因此,优选掺合防静电干扰剂以及/或者导电性填充剂。作为这样的防静电干扰剂以及导电性填充剂的例子,可举出导电性碳、导电性金属、导电性界面活性剂等。在掺合这样的防静电干扰剂以及/或者导电性填充剂时,这些成分使用不会从树脂片材表面脱离而污染被收纳的基板的量,通常相对于形成树脂片材的树脂成分100重量部使用在0.1~100重量部的范围内的量。通过这样掺合防静电干扰剂以及/或者导电性填充剂,该树脂片材通常具有103~1012Ω·cm左右的体积电阻率值,即便是安装有电子部件的基板,也不会由于静电等而损害其电特性。
由这样的树脂构成的树脂片材,可如上所述那样由例如真空成形等形成,通常的情况下,被赋形为与配置该树脂片材的容器主体部的壁面的表面形状大致相同的形状。通过这样在每个容器主体部的配置壁面上形成树脂片材,不会损害形成的树脂片材的挠性,可非常有效地吸收产生在被收纳的基板160内部的内部应力。因此,希望本发明中使用的树脂片材针对各配置壁面分别进行制造,但即使使用L字形片材,也不会损害形成片材面支承槽126的壁面基板支承用树脂片材122a、122b的折皱状的片材面支承槽126的挠性,所述L字形片材是将例如形成片材面支承槽126的片材、和与之相邻的没有形成支承槽的片材一体地形成而成的,所以也可使用形成为上述的L字状的树脂片材。此外,同样,在没有形成底部的筒状的树脂片材中也不会损害折皱状的片材面支承槽126的挠性,所以也可这样地将树脂片材形成为方筒状。即便这样方筒状地形成树脂片材,由于没有底部,所以向容器主体部的片材的插入不会特别困难。
但是,若方筒状的片材带有底部,则该有底方筒状的片材复合盒体明显难以插入容器主体部,并且吸收收纳基板的应力的折皱状的支承槽被底部的缘部固定,其挠性受损,所以无法像本发明的基板搬运用容器那样降低因基板自身上产生的内部应力导致的基板的损伤的产生。
本发明的基板搬运用容器,具有上述的构成,可在该容器内收纳基板并安全地搬运基板。即,本发明的基板搬运用容器,由耐冲击性以及隔热性优异的发泡树脂形成容器主体部以及盖体,所以当然可从来自外部的冲击以及外部的温度变化等中保护基板,即便对于由于收纳的基板所产生的内部应力(主要是由于基板的自重产生的应力)也可通过在容器内的该壁面等上形成微小的空隙而配置的树脂片材的挠性进行吸收,可更安全地搬运或者保管收纳的基板。进而,配置在本发明的基板搬运用容器内部的树脂片材,没有固定在该壁面上,形成微小空隙地配置,但形成有防止该树脂片材向容器内倒入的机构,可靠地将该树脂片材配置在既定的位置,所以在实际使用本发明的基板搬运用容器的基板厂商等中,没有必要确认树脂片材是否准确地配置在既定的位置上。进而,通过像本发明那样基本地将树脂片材相对壁面分别独立地配置,树脂片材的安装非常简单。
此外,通过使用底部提升部件,可根据要搬运的基板而调整容器的深度,可令容器内不形成多余的空间,所以可更安全地搬运基板。
本发明的基板搬运用容器,具有上述的构成,但可在不损害本发明的目的的范围内进行各种改变。
例如,可在本发明的基板搬运用容器上形成气体交换口,将该基板搬运用容器内的空气置换为氮气、氩气等惰性气体。
此外,可在本发明的基板搬运用容器的外周部上形成捆带的凹部,可容易地进行捆带,用于提高该基板搬运用容器的密闭性,进而防止由于不注意等引起的盖体的脱落。
本发明的基板搬运用容器,通常的情况下以收纳的基板竖起的方式被使用,可为了明确这样的基板搬运用容器的放入方向而在容器上做表示放入方向的标记。
本发明的基板搬运用容器,可在基板的移动时适当地使用,但不仅仅限定于移动时,当然也可在保管时等使用。

Claims (27)

1.一种基板搬运用容器,包括:合成树脂制的容器主体,通过底壁部、从该底壁部一体地竖起的一对长侧壁部和一对短侧壁部,以呈有底方筒状且一面开口的方式形成;以及发泡合成树脂制的盖体,以覆盖上述容器主体的上述一面的开口的方式装卸自如地安装;其特征在于,
上述容器主体,
将预先分体形成的发泡合成树脂制的内侧隔热板装卸自如地配置在由发泡合成树脂构成的外容器主体的内侧,以便底壁部以及从该底壁部一体地竖起的一对长侧壁部、以及一对短侧壁部分别通过隔热件而构成双层壁,并且在这些内侧隔热板上,进而装卸自如地安装有预先分体形成的树脂制的片材部件。
2.如权利要求1所述的基板搬运用容器,其特征在于,在配置在上述容器主体的底面上的内侧隔热件的下表面上装卸自如且选择性地配置预先分体形成的发泡合成树脂制的底部提升部件。
3.如权利要求1或2所述的基板搬运用容器,其特征在于,在上述容器主体的底面和配置在其上的内侧隔热件之间,以及在配置在该底面上的内侧隔热件和上述底部提升部件之间,构成唯一地确定相互的组装姿势的定位固定机构。
4.如权利要求3所述的基板搬运用容器,其特征在于,上述定位固定机构由凸部和凹部构成。
5.如权利要求3所述的基板搬运用容器,其特征在于,在配置在上述容器主体的底面上的内侧隔热板上,形成有用于收纳干燥剂的凹处。
6.如权利要求5所述的基板搬运用容器,其特征在于,在内侧隔热板的上部配置的树脂片材上,形成有与上述凹处连通的狭缝,所述内侧隔热板配置在上述容器主体的底面上。
7.一种基板搬运用容器的内壁构造,包括:以呈有底方筒状且一面开口的方式形成的合成树脂制的容器主体、和以覆盖上述容器主体的上述一面的开口的方式装卸自如地安装的合成树脂制的盖体,
大致矩形平板状的玻璃基板在卡止于基板卡止槽内的状态下被搬运,该基板卡止槽以隔开既定间隔的方式形成在至少由上述容器主体内的底壁以及一对侧壁构成的3个面上,其特征在于,
上述容器主体内的基板收纳部包括大致矩形平板状的发泡合成树脂制的内侧隔热板、和覆盖该内侧隔热板的表面的薄片材部件,在形成在上述内侧隔热板和上述片材部件上的基板卡止槽的凹凸面之间确保有缓冲用间隙。
8.如权利要求7所述的基板搬运用容器的内壁构造,其特征在于,上述盖体包括发泡合成树脂制的盖体主体、和覆盖该盖体主体的内表面的盖体用片材部件,在上述盖体主体的顶面部,以既定的间距形成有基板收纳槽,并且在装卸自如地安装在该盖体主体的内表面上的上述盖体用片材部件上,形成与之对应的基板收纳槽,并且在上述盖体主体的基板收纳槽和上述盖体用片材部件的基板收纳槽之间确保有缓冲用间隙。
9.一种基板搬运用容器,包括:以呈有底方筒状且一面开口的方式形成的合成树脂制的容器主体、和以覆盖上述容器主体的上述一面的开口的方式装卸自如地安装的合成树脂制的盖体,
大致矩形平板状的玻璃基板在卡止于基板卡止槽内的状态下被搬运,该基板卡止槽以隔开既定间隔的方式形成在至少由上述容器主体内的底壁以及一对侧壁构成的3个面上,其特征在于,
上述容器主体,
将预先分体形成的发泡合成树脂制的内侧隔热板装卸自如地配置在由发泡合成树脂构成的外容器主体的内侧,以便底壁部以及从该底壁部一体地竖起的一对长侧壁部、以及一对短侧壁部分别通过隔热件而构成双层壁,并且在这些内侧隔热板的更内侧,装卸自如地安装有预先分体形成的树脂制的片材部件,
上述内侧隔热件,以随着从临近上述容器主体的上述开口部的位置朝向内侧而壁的厚度逐渐变薄的方式设置有梯度。
10.一种基板搬运用容器,包括:以呈有底方筒状且一面开口的方式形成的合成树脂制的容器主体、和以覆盖上述容器主体的上述一面的开口的方式装卸自如地安装的合成树脂制的盖体,
大致矩形平板状的玻璃基板在卡止于基板卡止槽内的状态下被搬运,该基板卡止槽以隔开既定间隔的方式形成在至少由上述容器主体内的底壁以及一对侧壁构成的3个面上,其特征在于,
在上述容器主体内的底壁部上,配置由发泡合成树脂构成的内侧隔热板,进而在其上侧装卸自如地安装预先分体形成的树脂制的片材部件,
在配置在上述容器主体的底面上的上述内侧隔热板上,在厚度方向上形成凹处,并且在装卸自如地配置在上述内侧隔热板的上部的片材部件上,形成与上述凹处连通的狭缝。
11.如权利要求10所述的基板搬运用容器,其特征在于,经由形成在上述片材部件上的狭缝,而在上述内侧隔热件的凹处收纳有干燥剂。
12.一种基板搬运用容器,其特征在于,
具有:
容器主体部,是一方开口的发泡树脂制的有底方筒状体,在该有底方筒状体的对置的内周壁上形成有基板支承槽;
发泡树脂制的盖体部,以覆盖上述容器主体部的开口的方式装卸自如地安装;和
壁面基板支承用树脂片材,在上述容器主体部的至少形成有该基板支承槽的对置的内周壁面上,以与该内周壁面形成微小空隙的方式配置,且被赋形为与该内周壁面大致相同的表面形状;
该壁面基板支承用树脂片材,借助倒入防止机构保持在该内周壁面上。
13.如权利要求12所述的基板搬运用容器,其特征在于,上述倒入防止机构是下述凸部,所述凸部形成在容器主体部的没有形成基板支承槽的内周壁面上。
14.如权利要求12所述的基板搬运用容器,其特征在于,在上述容器主体部的没有形成基板支承槽的内周壁面上,配置有表面保护用树脂片材,在配置在该没有形成基板支承槽的内周壁面上的表面保护用树脂片材上,形成有壁面基板支承用树脂片材的倒入防止机构,所述壁面基板支承用树脂片材配置在形成有基板支承槽的对置的内周壁面上。
15.如权利要求12所述的基板搬运用容器,其特征在于,在上述容器主体部的底面以及/或者盖体部的内周壁面上,配置有表面保护用树脂片材。
16.如权利要求15所述的基板搬运用容器,其特征在于,在配置在上述容器主体部的底面以及/或者盖体部的内周壁面上的表面保护用树脂片材上,形成有基板支承槽。
17.如权利要求16所述的基板搬运用容器,其特征在于,在上述容器主体部的底面、形成有基板支承槽的内周壁面、没有形成基板支承槽的内周壁面、以及盖体部的内周壁面上所配置的树脂片材,被赋形为具有与各自所配置的面的表面形状大致相同的表面形状,各自的树脂片材配置为,相对于由发泡树脂构成的抵接面的表面形成微小的空隙。
18.一种基板搬运用容器,其特征在于,
具有:
容器主体部,是一方开口的发泡树脂制的有底方筒状体,在该有底方筒状体的对置的内周壁上形成有基板支承槽;
发泡树脂制的盖体部,以覆盖上述容器主体部的开口的方式装卸自如地安装;
壁面基板支承用树脂片材,在上述容器主体部的至少形成有该基板支承槽的对置的内周壁面上,以与该内周壁面形成微小空隙的方式配置,且被赋形为与该内周壁面大致相同的表面形状;和
底部提升部件,是在表面形成有基板支承槽的发泡树脂制的板状体,在上述容器主体部中收纳在收纳主体部的底部上,而与形成在容器主体的配收壁上的基板支承槽共同保持基板,并且,防止上述壁面基板支承用树脂片材的倒入。
19.如权利要求18所述的基板搬运用容器,其特征在于,被赋形为与上述底部提升部件的表面形状大致相同的表面形状的底部基板支承用树脂片材,以形成微小的空隙的方式配置在该底部提升部件的表面。
20.如权利要求18或19所述的基板搬运用容器,其特征在于,上述底部提升部件是壁面基板支承用树脂片材的倒入防止机构。
21.如权利要求18或20所述的基板搬运用容器,其特征在于,作为上述壁面基板支承用树脂片材的倒入防止机构,除了上述底部提升部件外,在容器主体部的没有形成基板支承槽的内周壁面上形成凸部。
22.如权利要求18或20所述的基板搬运用容器,其特征在于,在上述容器主体部的没有形成基板支承槽的内周壁面上,配置有表面保护用树脂片材,在配置在该没有形成基板支承槽的内周壁面上的表面保护用树脂片材上,形成壁面基板支承用树脂片材的倒入防止机构,所述壁面基板支承用树脂片材配置在形成有基板支承槽的对置的内周壁面上。
23.如权利要求18所述的基板搬运用容器,其特征在于,在上述盖体部的内周壁面上,配置有表面保护用树脂片材。
24.如权利要求15所述的基板搬运用容器,其特征在于,在上述盖体部的内周壁面上所配置的表面保护用树脂片材上,形成有基板支承槽。
25.如权利要求18所述的基板搬运用容器,其特征在于,上述基板搬运用容器,可收纳多个底部提升部件而调整该基板搬运用容器的收纳深度。
26.一种基板搬运用容器的底部提升部件,其特征在于,是在表面形成有保持槽的发泡树脂制的板状体,收纳在发泡树脂制的容器主体部内,调整该容器主体部内的收纳深度,并且与壁面基板支承用树脂片材共同保持收纳在该容器主体部内的基板,所述壁面基板支承用树脂片材在该容器主体内的对置的壁面上以形成微小的空隙的方式配置。
27.如权利要求26所述的底部提升部件,其特征在于,上述底部提升部件包括:发泡树脂制的板状体、和被赋形为与该发泡树脂制的板状体的表面的形状大致相同的形状的底部基板支承用树脂片材,是在板状体的表面上以形成微小的空隙的方式配置该底部基板支承用树脂片材而形成的。
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