CN100481909C - 投影机、屏幕、投影系统以及闪烁去除装置 - Google Patents

Abstract

本发明的目的在于提供包括：可有效地去除闪烁，并且在振动、噪音、耗电量等的方面实用性优良的闪烁去除装置的投影机。本发明的投影机包括：光漫射部(21)，该光漫射部以可振动的方式设置，通过振动，使射入的光漫射，射出漫射光；振动发生部(23)，该振动发生部具有通过自身的振动使光漫射部(21)振动的压电元件(30、31)；以及控制部，该控制部按照下述方式控制振动发生部(23)，该方式为：振动发生部(23)使光漫射部(21)以与光漫射部固有的谐振频率相对应的频率振动，采用从光漫射部(21)射出的光，显示图像。

Description

投影机、屏幕、投影系统以及闪烁去除装置

技术领域

本发明涉及投影机、屏幕、投影系统、以及闪烁去除装置，本发明特别是涉及具有去除在图像显示时产生的闪烁的机构的投影机。

背景技术

通过光源，对液晶光阀等的空间光调制装置进行照明，通过投影透镜等的投影光学系统，将通过该空间光调制装置调制的图像光放大投影于屏幕上的投影机为人们广泛熟知。在这种投影机中，在进行图像光的显示时，由于屏幕等的散射体，产生光的干涉，由此，有时产生亮点和暗点按照干涉条纹或斑图样分布的、称为所谓的“闪烁(或也称为“斑点(speckle)”)的现象。

闪烁是对观察者造成晃眼感，在欣赏图像时造成不适等的产生不利影响的原因。特别是由于激光为相干性高的光，故容易产生闪烁。此外，即使在灯光源的情况下，近年，伴随弧光的缩短，相干性增强，去除闪烁的技术变得重要。在过去的激光投影型显示装置中，人们已提出下述的技术，其中，在激光光源和空间光调制装置之间，装设全息漫射器这样的光漫射器，采用电动马达等的驱动机构，使该光漫射器进行直线运动、圆周运动、任意运动，由此，去除闪烁(比如，专利文献1)。该技术通过使光漫射器运动，动态地改变斑点图形(干涉图样)，不使人眼感受到。

专利文献1：JP特开2003—98476号文献

在上述专利文献1所述的技术中，作为光漫射器的驱动机构，列举有电动马达，振动马达，线性致动器。但是，这些机构具有缺乏可使光漫射器高速移动的响应性的问题。另外，人们认为，振动、噪音、耗电量等的问题也较多，投入实用极难。于是，具有即使采用该技术，闪烁仍无法有效地去除的可能性，在实用性的方面，无法满足用户。

发明内容

本发明是为了解决上述问题而提出的，本发明的目的在于提供可有效地去除闪烁，并且在振动、噪音、耗电量等的方面实用性优良的投影机、屏幕、投影系统、以及闪烁去除装置。

为了实现上述目的，本发明的投影机的特征在于：该投影机包括：光漫射部，该光漫射部以可振动的方式设置，通过振动，使射入的光漫射，射出漫射光；振动发生部，该振动发生部具有通过自身的振动使上述光漫射部振动的压电元件；以及控制部，该控制部按照下述方式控制上述振动发生部，该方式为，上述振动发生部使上述光漫射部以与上述光漫射部固有的谐振频率相对应的频率振动，采用从上述光漫射部射出的光，显示图像。另外，人们认为，在光漫射部的振动中，具有纵向振动、横向振动、弯曲振动等的各种振动模式，但是，本发明所说的“谐振频率”可为多个振动模式中的任意一个的谐振频率。

本发明的投影机具有下述的基本原理，其中，通过使光漫射部振动，改变光的相位，减少光的干涉，去除闪烁。在过去的方案中，为了使光漫射器运动，采用电动马达等，相对该情况，在本发明的方案中，用于使光漫射部振动的振动发生部采用压电元件。一般，由于压电元件与电动马达等相比较，高速响应性优良，故在本发明的投影机中，可通过压电元件的使用，有效地去除闪烁。另外，在采用压电元件的场合，由于可通过少的部件，构成振动发生部的机构，故振动发生部为小型、简单的结构，还可容易获得优良的安静性、节电性、耐久性。另外，还由于通过借助压电元件改变光漫射部的振动方式，使得使光漫射部振动的频率降低，故可谋求较高的安静性、较低的耗电量、可靠性的提高。

另外，在本发明的场合，其特征在于，具有控制振动发生部的控制部，振动发生部使光漫射部按照与光漫射部固有的谐振频率相对应的频率振动。通过该特征，即使在驱动振动发生部的场合提供相同大小的能量的情况下，与未考虑频率而驱动的场合相比较，可增大光漫射部的振幅。其结果是，按照本发明的方案，可更加可靠地去除闪烁。另外，如果反过来考虑，由于光漫射部获得预期的振幅所需要的能量少即可，故可谋求更低的消耗电量。

此外，在本发明中，上述振动发生部也可为1个，但是，也可为多个。

在设置多个振动发生部的场合，可容易增大光漫射部的振幅，可可靠去除闪烁。另外，如果适当地设定各个振动发生部的尺寸、配置、朝向(振动方向)、施加电压等，则可按照预期的方向、预期的振幅使光漫射部振动，容易进行最佳振动。由此，也可控制闪烁的减小程度，换言之，可控制显示图像的清晰度。

还有，在本发明中，最好，上述振动发生部设置至少2个，2个振动发生部的各自的振动方向在上述光漫射部的主面内相垂直。

在设置多个振动发生部的场合，如果按照特别是2个振动发生部的各自的振动方向在光漫射部的主面内相垂直的方式设置，则可沿光漫射部的主面内的全部的方向，产生振动。

作为产生上述这样的振动的具体的方案，可为下述的方案，其中，上述光漫射部包括：框部，该框部可沿第1方向振动；和光漫射部主体，该光漫射部主体可沿与上述第1方向相垂直的第2方向，相对上述框部，相对地振动，分别设置使上述框部和上述光漫射部主体各自振动的振动发生部。

按照该方案，由于各振动发生部担当对于各方向的振动的谐振频率下的振动即可，故容易实现光漫射部的主面内的谐振频率下的振动。

在设置多个振动发生部的场合，最好，为下述的方案，其中，相对上述多个振动发生部中的至少2个振动发生部的压电元件，分别输入具有相位相互偏移的波形的驱动信号。

按照该方案，由于光漫射部在其主面内，进行圆周运动(包括轨道为正圆的场合、椭圆的场合这两种情况)。在圆周运动的场合，比如，与往复直线运动的场合等不同，没有光漫射部的运动停止的期间，故非常难以辨认到闪烁。

还有，最好，在被输入上述具有相位偏移了的波形的驱动信号的2个压电元件的励振频率分别为f1、f2时，则满足f1＝n×f2(n：1以上的自然数)的关系。

如果2个压电元件中的1方的压电元件的励振频率f1设定为另一方的压电元件的励振频率f2的n倍，由于总是保持2个驱动信号的相位偏移的状态，故连续地进行圆周运动，运动不停止。于是，不会出现因光漫射部的运动停止而产生辨认出闪烁的期间的情况。

上述光漫射部也可具有与不同的振动模式相对应的多个谐振频率。在此场合，最好，上述多个谐振频率基本相同。

按照该方案，由于按照与基本相同的多个谐振频率相对应的频率，使光漫射部振动，同时地产生不同的振动模式的振动，故容易产生圆周运动。另外，“谐振频率基本相同”指谐振频率的差在10％以内。如果至少谐振频率的差在10％以内，则本发明人确认同时产生不同的振动模式的振动。

最好，上述光漫射部固有的谐振频率在20kHz以上。

一般，20kHz以上的振动被认为超过人的可听范围。由此，按照该方案，即使在为了去除闪烁，使光漫射部振动的情况下，仍不会产生伴随振动的噪音。

另外，最好，上述光漫射部按照能以支持部件为支点进行振动的方式设置，上述支持部件设置于成为上述光漫射部的振动的波节的位置。

为了按照可振动的方式构成光漫射部，必须通过支持部件，将光漫射部支持于比如，投影机、光学引擎的壳体等。于是，光漫射部以支持部件为支点而振动。此时，如果将支持部件设置于成为光漫射部的振动的波节的位置，则支持部件不妨碍振动，可增大振幅。

作为上述振动发生部的设置方式，也可这样进行，即，上述振动发生部在上述光漫射部的外部具有固定端，从上述光漫射部外部的上述振动发生部，对上述光漫射部施加振动。

本方案为从外部使光漫射部强制振动的方案，适合于在光漫射部自身没有设置振动发生部的空间的场合等。

或者，也可这样形成，即，上述振动发生部在上述光漫射部的外部不具有固定端，而分别设置于上述光漫射部的光入射面侧和光射出面侧，通过上述压电元件的振动，使上述光漫射部整体振动。

在本方案的场合，由于要求在光漫射部自身具有设置振动发生部的空间，另一方面不是来自光漫射部外部的强制励振，故具有光漫射部的支持部便可以，不需要振动发生部的支持部。

本发明的屏幕的特征在于，该屏幕包括：光漫射部，该光漫射部以可振动的方式设置，通过振动使射入的光漫射，射出漫射光；振动发生部，该振动发生部具有通过自身的振动，使上述光漫射部振动的压电元件；以及控制部，该控制部按照下述方式控制上述振动发生部，该方式为，上述振动发生部使上述光漫射部以与上述光漫射部固有的谐振频率相对应的频率振动。

本发明的用于去除闪烁的方案也可用于屏幕单体。同样在该场合，能够通过压电元件的使用有效地去除闪烁，可获得能容易实现优良的安静性、节电性、耐久性的，与上述相同的效果。

本发明的投影系统的特征在于，其包括上述本发明的屏幕；和将图像光投影于上述屏幕的投影机主体。

按照该方案，可实现能有效去除闪烁、并且同时具有优良的安静性、节电性、耐久性的投影系统。

本发明的闪烁去除装置的特征在于，其包括：光漫射部，该光漫射部以可振动的方式设置，通过振动使射入的光漫射，射出漫射光；振动发生部，该振动发生部具有通过自身的振动使上述光漫射部振动的压电元件；以及控制部，该控制部按照下述方式控制上述振动发生部，该方式为，上述振动发生部使上述光漫射部以与上述光漫射部固有的谐振频率相对应的频率振动。

按照该方案，可实现能有效去除闪烁，具有优良的安静性、节电性、耐久性的闪烁去除装置。

附图说明

图1为本发明的第1实施例的背投投影机的概略结构图；

图2为表示上述背投投影机的光学引擎部的概略结构图；

图3为表示上述光学引擎部内的闪烁去除装置的平面图；

图4为沿图3中的A—A’线的剖视图；

图5为表示上述闪烁去除装置的漫射板的一部分的平面图；

图6为用于说明上述装置的振动发生部的工作的图；

图7为用于说明上述振动发生部的纵向振动的图；

图8为用于说明上述纵向振动时的振动发生部的移位的图；

图9为表示上述光漫射部的振动频率和阻抗的关系的图；

图10为表示上述振动发生部的控制部的框图；

图11为表示本发明的第2实施例的闪烁去除装置的平面图；

图12为表示本发明的第3实施例的闪烁去除装置的平面图；

图13为表示供给上述装置的各振动发生部的交流信号的波形的图；

图14为表示本发明的第4实施例的闪烁去除装置的平面图；

图15为沿图14中的B—B’线的剖面图；

图16为表示本发明的第5实施例的光漫射部的振动频率和阻抗的关系的图；

图17为用于说明上述振动发生部的弯曲振动的图；

图18为用于说明上述弯曲振动时的振动发生部的移位的图；

图19为表示本发明的第6实施例的闪烁去除装置的平面图；

图20为表示上述装置的变形实例的平面图；

图21为表示上述装置的另一变形实例的平面图；

图22为表示本发明的第7实施例的闪烁去除装置的平面图；

图23为表示上述装置的变形实例的平面图；

图24为表示本发明的第8实施例的投影透镜的概略图；

图25为表示上述投影透镜的变形实例的概略图；

图26为本发明的第9实施例的背投投影机的概略结构图；

图27为本发明的第10实施例的投影机的概略结构图。

标号的说明：

标号1，1A，1B表示背投投影机(投影机)；

标号2表示投影透镜；

标号3表示光学引擎部；

标号6表示屏幕；

标号20，40，50，60，70，80，90，100，110表示闪烁去除装置；

标号21表示光漫射部；

标号22，22a，22b表示支持部；

标号23，23a、23b，61，61a、61b，61c，61d表示振动发生部；

标号24表示漫射板；

标号25表示漫射板框；

标号28表示(光学引擎部的)壳体；

标号30、31表示压电元件；

标号34，34a，34b，34c，34d表示驱动部；

标号36表示控制信号生成部(控制部)；

标号101表示支持框(框部)。

具体实施方式

(第1实施例)

以下参照图1～图10，说明本发明的第1实施例。

在本实施例中，表示本发明用于背投投影机的实例，其中，表示将闪烁去除装置设置于背投投影机的光学引擎部的内部的实例。

图1为本实施例的背投投影机的概略结构图，图2为表示上述背投投影机的光学引擎部的概略结构图，图3为表示上述光学引擎部内的闪烁去除装置的平面图，图4为沿图3中的A—A’线的剖视图，特别是表示振动发生部的结构的剖视图，图5为表示上述闪烁去除装置的漫射板的一部分的平面图，图6为用于说明上述振动发生部的工作的图，图7为用于说明上述振动发生部的纵向振动的图，图8为用于说明上述纵向振动时的振动发生部的移位的图，图9为表示上述光漫射部的振动频率和阻抗的关系的图，图10为表示上述振动发生部的控制部的框图。

另外，在全部的附图中，为了容易观看各构成部件，还针对每种构成部件，改变尺寸、比例尺而绘制。

本实施例的背投投影机(投影机)1像图1所示的那样，具有投影透镜2的光学引擎部3和反射镜4收置于壳体5的内部，在设置于壳体5的一部分的开口部5a中，嵌入屏幕6。在光学引擎部3的内部，设置后述的空间光调制装置，射出相应于图像信号而调制的光(图像光)。投影透镜2将从光学引擎部3射出的光朝向反射镜4放大投影。反射镜4设置于壳体5的内部的背面，反射从光学引擎部3射出的光，使其朝向屏幕6，使光路弯曲。反射镜4，比如，是在平行平板上形成反射膜而形成的。反射膜的材料可采用具有较高的光反射率的材料，比如，铝等的金属膜、电介质多层膜等。

屏幕6为使从光学引擎部3射出的光实现透射的公知的透射型屏幕，使从背面侧投影的光实现透射，从前面侧射出。另外，屏幕6具有角度变换部(图中未示出)，该角度变换部按背投投影机1的正面方向(观察者的方向)，对从反射镜4倾斜射入的光进行角度变换。作为角度变换部，可采用比如，使光漫射的柱状透镜阵列、微型透镜阵列、分散有漫射材料的漫射板等。使用者通过观察从屏幕6的前面射出的光，欣赏图像。

下面对光学引擎部3进行具体描述。

光学引擎部3为下述的结构，其中，像图2所示的那样，针对红色、绿色、蓝色的各色的组件，形成图像光，通过色合成棱镜(十字分色棱镜8)，将各色的光合成，然后，射入投影透镜2。由此，形成各色的图像光的3个组件为相同的结构。于是，在这里，采用形成红色的图像光的组件的实例而进行描述。

红色光的组件从光源部9侧，朝向十字分色棱镜8侧，按照红色光用光源部9R，发散透镜10，准直透镜11，光漫射部21，第1积分器透镜12，第2积分器透镜13，偏振光变换元件14，重叠透镜15，场透镜16，红色光用空间光调制装置17R的顺序设置。在本实施例的场合，红色光用光源部9R由使红色的激光振荡的半导体激光器构成。从红色光用光源部9R射出的红色光通过发散透镜10发散，然后，通过准直透镜11而平行。从准直透镜11射出的光在后述的闪烁去除装置的光漫射部21中实现透射，然后，在第1积分器透镜12、第2积分器透镜13中实现透射。

第1积分器透镜12和第2积分器透镜13是由呈阵列状排列的多个透镜元件形成的透镜阵列，为所谓的蝇眼透镜。第1积分器透镜12将来自红色光用光源部9R的光束分为多个，并且构成第1积分器透镜12的各透镜元件具有使来自红色光用光源部9R的光束聚光于第2积分器透镜13的透镜元件附近的功能。构成第2积分器透镜13的各透镜元件具有将由第1积分器透镜12的各透镜元件形成的像成像于红色光用空间光调制装置17R上的功能。

偏振光变换元件14具有偏振分光器和1/2波长板，具有将从红色光用光源部9R射出的任意的偏振状态的光变换为具有特定的振动方向的偏振光的功能。于是，经过2个积分器透镜12、13后的光通过偏振光变换元件14，变换为具有特定的振动方向的偏振光，比如，s偏振光。重叠透镜15用于将由第1积分器透镜12的各透镜元件形成的像重叠于红色光用空间光调制装置17R上。第1积分器透镜12、第2积分器透镜13和重叠透镜15构成使来自红色光用光源部9R的光的强度分布在红色光用空间光调制装置17R上均匀的强度均匀机构。场透镜16具有使来自重叠透镜15的红色光平行、使之射入红色光用空间光调制装置17R的功能。

红色光用空间光调制装置17R具有相应于图像信号、调制射入的红色光的透射型的液晶光阀。设置于红色光用空间光调制装置17R中的液晶光阀(图中未示出)按照将液晶层密封于2个透明基板之间的方式构成。在液晶光阀的入射侧、射出侧，分别设置偏振片(图中未示出)。液晶光阀的入射侧偏振片，按照使通过偏振变换元件14变换后的偏振光，比如，s偏振光实现透射的方式设置偏振轴(透射轴)。另一方面，液晶光阀的射出侧偏振片按照其偏振轴与入射侧偏振片的偏振轴相垂直的方式设置，比如，使p偏振光实现透射。于是，射入液晶光阀后的s偏振光变成为下述状态：通过与图像信号相应的调制而变换为p偏振光的红色光射出(亮显示)，或以s偏振光的原状态被射出侧偏振片吸收(暗显示)。通过红色光用空间光调制装置17R调制后的红色光射入作为色合成光学系统的十字分色棱镜8中。

下面简单对形成绿色、蓝色的图像光的组件进行描述。另外，对与红色光的组件相同的构成要件采用同一标号，说明省略。

绿色光用光源部9G由使绿色的激光振荡的半导体激光器构成。来自绿色光用光源部9G的绿色光与红色光的场合相同，在经过从发散透镜10到场透镜16的各光学元件之后，射入绿色光用空间光调制装置17G。绿色光用空间光调制装置17G为相应于图像信号、调制绿色光的透射型的液晶光阀。射入绿色光用空间光调制装置17G的s偏振光处于下述状态中的任一种状态，该状态为：通过液晶光阀的调制变换为p偏振光、实现射出，或被射出侧偏振片吸收而不射出。通过绿色光用空间光调制装置17G调制的绿色光射入十字分色棱镜8中。

蓝色光用光源部9B由使蓝色的激光振荡的半导体激光器构成。来自蓝色光用光源部9B的蓝色光与红色光的场合相同，在经过从发散透镜10到场透镜16的各光学元件之后，射入蓝色光用空间光调制装置17B。蓝色光用空间光调制装置17B为相应于图像信号调制蓝色光的透射型的液晶光阀。射入蓝色光用空间光调制装置17B中的s偏振光处于：通过液晶光阀的调制变换为p偏振光而射出，或被射出侧偏振片所吸收而不射出中的任意的状态。通过蓝色光用空间光调制装置17B调制后的蓝色光射入十字分色棱镜8中。

十字分色棱镜8具有按照相互基本垂直的方式设置的2个分色膜8a、8b。第1分色膜8a具有反射红色光、使绿色光和蓝色光实现透射的特性。另一方面，第2分色膜8b具有反射蓝色光、使红色光和绿色光实现透射的特性。通过2个分色膜8a、8b的这样的特性，十字分色棱镜8可将从各自不同的方向射入的红色光、绿色光、蓝色光合成，朝向投影透镜2射出。

另外，也可在各色光用的光源部9R、9G、9B，设置对来自半导体激光器的激光的波长进行变换的波长进行变换元件，比如，2次谐波发生(Second-Harmonic Generation，SHG)元件。在此场合，作为光源部，射出使来自半导体激光器的激光作为原振而进行波长变换的光。另外，在光源部中，也可代替半导体激光器，而采用半导体激光器激励固体(DiodePumped Solid State，DPSS)激光器，固体激光器，液体激光器，气体激光器等。

下面对作为本实施例的最大特征的闪烁去除装置20的结构进行描述。

闪烁去除装置20像图3所示的那样，包括光漫射部21、支持部22与振动发生部23。该光漫射部21包括矩形的漫射板24与保持漫射板24的周围的矩形环状的漫射板框25。上述漫射板24像图5所示的那样，按照在透明部件26中分散有其折射率与透明部件26不同的漫射材料颗粒27的方式构成。该漫射板24为透射型的漫射板，具有在使光实现透射时使之漫射的功能(前方散射性)。为了漫射板24以小振动获得大的漫射效果，分散于透明部件26中的漫射材料颗粒27的直径d最好尽可能地小，优选在比如，0.01～0.1mm左右的范围内。另外，最好，漫射材料颗粒27任意地分散于透明部件26中。此外，为了减小聚焦偏差，最好，漫射板24呈较薄形状。漫射板24也可为玻璃板这样的板状部件、膜状部件中的任意一种。或者，作为漫射板24，如果具有使光漫射的功能，则也可采用磨砂玻璃板、形成有具有漫射功能的漫射面的膜等。

像图3所示的那样，在将漫射板框25的较长方向的边(顶边和底边)2等分的中点，固定支持部22的一端，支持部的另一端固定于光学引擎部3的壳体28。漫射板框25由比如，SUS等的金属材料构成。漫射板框25像图4所示的那样，在形成于漫射板框25的内侧的槽25a中，嵌合漫射板24的周缘部，由此，从外侧支持漫射板24。光漫射部21的整体像图3所示的那样，通过上下2个支持部22，支持于光学引擎部3的壳体28的内部。支持部22由比如，橡胶、弹簧等的弹性部件构成。通过以上的方案，光漫射部21从光学引擎部3的壳体28隔开预定间距，不与壳体28接触，以可振动的状态被支持。由于光漫射部21按照以支持部22为支点可振动的方式设置，故连接有支持部22的位置为光漫射部21的振动的波节。即，支持部22设置于成为光漫射部21的振动的波节的位置。由此，支持部22不妨碍振动，可增大振幅。

振动发生部23在光漫射部21和壳体28的间隙，设置于漫射板框25的一个角部(在图3的实例中为右下的角部)的附近。振动发生部23像图4所示的那样，由以第1电极29为公共电极的第1压电元件30、第2压电元件31的2个压电元件构成。即，振动发生部23的压电元件30、31分别设置于光漫射部21的光入射面侧和光射出面侧。在本实施例的场合，漫射板框25的一部分在1个角部(右下的角部)的附近，向外侧延伸，该延伸部分构成与漫射板框25形成一体的第1电极29。由于漫射板框25由SUS等的金属材料构成，具有导电性，故该部分可充分地用作电极。在第1电极29的两个面分别贴合压电体32，按照完全覆盖各压电体32的外表面的方式分别设置第2电极33。2个压电元件30、31的总的厚度与漫射板框25的厚度基本相同。另外，各压电元件30、31的较长方向的尺寸与光漫射部21和壳体28的间隔基本一致，压电元件30、31的一端固定于漫射板框25，其另一端固定于壳体28。

第1、第2压电元件30、31像图3所示的那样，呈薄长方形状，第1、第2压电元件30、31的长边方向与光漫射部21的长边方向(图3的x方向)相对应，第1、第2压电元件30、31的短边方向与光漫射部21的短边方向(图3的y方向)相对应。作为压电体32的具体的材料，可列举比如，钛酸锆酸铅，水晶，铌酸锂，钛酸钡，钛酸铅，偏铌酸铅，聚偏二氟乙烯，锌铌酸铅，钪铌酸铅等。作为第2电极33的材料，可列举银，铝等的任意的金属膜。

在构成振动发生部23的第1、第2压电元件30、31的第2电极33，像图6所示的那样，连接用于驱动这些压电元件30、31的驱动部34。驱动部34具有电源(图中未示出)，向第1、第2压电元件30、31的第2电极33，供给驱动信号(驱动电压)。形成对第1压电元件30的第2电极33和第2压电元件31的第2电极33施加交流信号(交变电压)的方案。另一方面，第1、第2压电元件30、31的第1电极29是共用的，实现接地。像这样，按照使第1、第2压电元件30、31的第2电极33的电位分别为+V或-V的方式，从驱动部34供给交流信号，由此各压电元件30、31产生伸缩。

接收来自驱动部34的交流信号，各压电元件30、31伸缩，由此，像图7的侧面结构所示的那样，振动发生部23产生沿作为薄长方形状的较长方向的x方向伸缩的振动。振动发生部23通过压电元件30、31的振动，沿x方向而伸缩，由此，像图8的平面结构所示的那样，其端部的任意的点P沿x方向移位。在本实施例的场合，光漫射部21以顶边、底边的中间的2个部位支持，振动发生部23设置于光漫射部21的1个角部，由此，即使在振动发生部23的端部的点P仅仅沿x方向移位的情况下，光漫射部21沿x方向、y方向的两个方向振动。即，关于x方向使振动发生部23的一端按照一个方向往复运动，由此，振动发生部23对光漫射部21施加2个方向的强制振动。特别是在本实施例的场合，由于振动发生部23的压电元件30、31设置于光漫射部21的两面侧，故可抑制对于去除闪烁而言为无用的振动的z方向的振动，可仅仅沿x方向和y方向，有效地产生振动。

即，本实施例的闪烁去除装置20像图3所示的那样，采用振动发生部23所施加的强制振动以及支持部22的弹性，沿x方向和y方向使光漫射部21中的接近振动发生部23的部分往复运动。另外，由于对接近1个角部的部分，施加振动，故产生光漫射部21的整体以稍稍的移位，沿x方向、y方向的2个方向往复旋转这样的振动。闪烁去除装置20像这样，使光在光漫射部21中实现透射时使光漫射部21振动，由此发挥使光的相位随时间变化的功能。另外，通过高速地改变从光源部9射出的光的相位，本实施例的背投投影机1可减少闪烁的发生。

图9表示光漫射部21的整体的频率特性。在该图中，横轴表示振动频率(Hz)，纵轴表示机械阻抗(Ω)。该频率特性呈现振动频率为f0时，机械阻抗最小，在按照该频率使光漫射部21振动时，振幅最大的情况。换言之，该光漫射部21的固有的谐振频率为f0。在本实施例的场合，形成通过压电元件30、31，按照谐振频率f0，使光漫射部21振动的结构。于是，在压电元件为较小尺寸、可提供的振动的能量小的情况下，仍可使光漫射部21较大地振动，可节能而有效地去除闪烁。

另外，最好，通过最佳地设计光漫射部21、支持部22的尺寸等，调整光漫射部21的谐振频率f0使之为20kHz以上。一般，由于20kHz以上的振动超过人的可听范围，故像这样，即使在为了去除闪烁、使光漫射部21振动的情况下，仍不产生伴随振动的噪音。

为此，本实施例的闪烁去除装置20像图10所示的那样，包括控制信号生成部36(控制部)和驱动部34。控制信号生成部36按照振动发生部23使光漫射部21以与固有的谐振频率相对应的振动频率振动的方式控制振动发生部23。在控制信号生成部36中预先存储有光漫射部21固有的谐振频率，生成使振动发生部23按照其谐振频率振动的控制信号。驱动部34接收来自控制信号生成部36的控制信号，产生驱动电压，供给该驱动电压，由此，驱动振动发生部23。另外，控制信号生成部36还可以构成为：根据图像信号，判断闪烁容易发生的位置、发生的程度，相应于闪烁的发生的程度，改变光的相位。

此外，由于人的对动态物体的视力的界限为1/60秒，故如果使光漫射部21移位的方向切换的瞬间在1/60秒以上，则容易识别闪烁。于是，最好，闪烁去除装置20通过来自振动发生部23的振动，在1秒钟，使光漫射部21移位60次以上。由此，按照比人对动态物体进行识别的场合快的方式、光的相位变化，可充分地减小闪烁的发生。由于本实施例的振动发生部23采用压电元件30、31，故可容易实现在1秒钟使光漫射部21发生移位60次以上的程度的较高的响应性。

另一方面，在已有技术所采用的电动马达等中，要求采用相对在1秒钟使光漫射部21发生移位60次以上的程度的高速驱动的较大规模的机构。机构越大，不需要的振动、噪音、耗电量越大，耐久性越低，而且设置其它的光学系统也非常困难。相对该情况，在采用本实施例这样的压电元件30、31的场合，由于可通过较少的部件，构成振动发生部23的机构，故可减小振动发生部23的整体尺寸，形成简单的结构。另外，可实现振动、噪音小、耗电量低等的方面均优良的闪烁去除装置。进而，可使振动发生部23的整体尺寸较小，由此，可将振动发生部23收置于光漫射部21和壳体28之间的较窄空间内，光轴方向的尺寸也可与光漫射部21的厚度相同，这样，可有助于装置的整体尺寸的减小。

(第2实施例)

下面通过图11，对本发明的第2实施例进行描述。

本实施例也涉及在背投投影机的光学引擎部的内部，设置闪烁去除装置的实例，背投投影机的整体的基本结构也与第1实施例相同。由于本实施例与第1实施例的不同之处在于：仅仅闪烁去除装置的结构，故仅仅对该部分进行描述。

另外，图11为与第1实施例的图3相对应的图，其为表示光学引擎部内部的闪烁去除装置的平面图。在该图中，对与图3相同的构成部件采用同一标号，具体的描述省略。另外，在图11中，按照将压电元件30、31的各电极的布线省略的形式记载，但是，这一点符合图6的情况。

本实施例的闪烁去除装置40像图11所示的那样，与第1实施例的相同之处在于：具有光漫射部21和支持部22和振动发生部23；光漫射部21具有漫射板24和漫射板框25；以及支持部22设置于漫射板框25的顶边和底边的中点处，光漫射部21通过上下2个支持部22，支持于壳体28等。但是，在第1实施例中，在光漫射部21的一个角部附近，设置1个振动发生部23，相对该情况，本实施例的不同之处在于：在光漫射部21的1个角部附近，设置2个振动发生部23a、23b。另外，在本说明书中，由于在光漫射部21的入射侧、射出侧的两个面，具有压电元件，故在1个部位的振动发生部中，具有2个压电元件，但是，将其计为1个振动发生部。

2个振动发生部23a、23b设置于光漫射部21的1个角部(在图11的实例中为右下的角部)的附近。第1振动发生部23a设置于矩形状的光漫射部21的右边的底侧，压电元件30、31按照其较长方向朝向光漫射部的较长方向(x方向)的方式固定。第2振动发生部23b设置于光漫射部21的底边的右侧，压电元件30、31按照其较长方向朝向光漫射部21的较短方向(y方向)的方式固定。于是，第1振动发生部23a和第2振动发生部23b的振动方向相垂直。压电元件30、31分别设置于光漫射部21的表面背面的这一点与第1实施例相同。对各压电元件30、31中，对通过压电体32而对向的第1电极29、第2电极33，连接用于共同地驱动2个振动发生部23a、23b的共计4个压电元件30、31的驱动部34。

同样在本实施例中，可获得可实现能有效地去除闪烁，在振动、噪音、耗电量等的方面实用性优良的背投投影机的，与第1实施例相同的效果。特别是在本实施例的场合，通过设置2个振动发生部23a、23b，可对光漫射部21施加更大的振动。

在第1实施例中，设置压电元件30、31的较长方向朝向x方向的振动发生部23，仅仅通过振动发生部23的x方向的伸缩，便沿x方向、y方向的双方使光漫射部21振动。相对该情况，在本实施例中，在光漫射部21中的一个角部的附近，设置压电元件30、31的较长方向朝向x方向的振动发生部23a和压电元件30、31的较长方向朝向y方向的振动发生部23b，通过振动发生部23a的x方向的伸缩和振动发生部23b的y方向的伸缩，沿x方向、y方向的双方使光漫射部21振动。由此，可通过改变驱动电压、压电元件的尺寸(特别是较长方向的尺寸)、个数，自由地调整振动的方向、振幅。由此，可通过进行振动的方向、振幅的调整，控制比如，闪烁的降低的程度(换言之，图像的清晰度)。像这样，能够实现调整的自由度高、可有效地去除闪烁的闪烁去除装置。

(第3实施例)

下面通过图12、图13，对本发明的第3实施例进行描述。

本实施例也为闪烁去除装置设置于背投投影机的光学引擎部的内部的实例，背投投影机整体的基本结构与第1、第2实施例相同。由于与第1、第2实施例的不同之处仅仅在于闪烁去除装置的结构，故仅仅对该部分进行描述。

另外，图12为与第1实施例的图3、第2实施例的图11相对应的图，其为表示光学引擎部内部的闪烁去除装置的平面图。在该图中，对与图3、图11相同的构成部件采用同一标号，具体的描述省略。另外，在图12中，按照将压电元件30、31的各电极的布线省略的形式记载，但是，这一点符合图6。

本实施例的闪烁去除装置50像图12所示的那样，与第2实施例相同，在光漫射部21的一个角部(图12的实例中为右下角部)附近，设置2个振动发生部23a、23b。第1振动发生部23a设置于光漫射部21的右边的底侧，压电元件30、31按照其较长方向朝向光漫射部21的较长方向(x方向)的方式固定。第2振动发生部23b设置于光漫射部21的底边右侧，压电元件30、31按照其较长方向朝向光漫射部21的较短方向(y方向)的方式固定。于是，第1振动发生部23a和第2振动发生部23b的振动方向相垂直。另外，压电元件30、31分别设置于光漫射部21的表面背面。

在第2实施例中，对各压电元件30、31的第1电极29、第2电极33，连接有驱动部34，该驱动部34用于共同地驱动2个振动发生部23a、23b的4个压电元件30、31。相对该情况，在本实施例中，相对第1振动发生部23a、第2振动发生部23b中的每个，分别连接用于各自驱动压电元件30、31的第1驱动部34a、第2驱动部34b。于是，第1实施例的图6所示的那样的振动发生部和驱动它的驱动部的组，在本实施例中，具有2组。

图13为表示从各驱动部34a、34b供给各振动发生部23a、23b的压电元件30、31的交流信号的波形的图，横轴表示时间(单位任意)，纵轴表示振幅(单位任意)。通过实线表示供给到第1振动发生部23a的压电元件30、31的交流信号的波形，通过虚线表示供给到第2振动发生部23b的压电元件30、31的交流信号的波形。像该图所示的那样，形成相对2个振动发生部23a、23b的压电元件30、31，分别输入具有相互相位偏移了的波形的交流信号的结构。这样的交流信号的定时可通过图10所示的控制信号生成部36控制。

同样在本实施例中，可获得能够实现可有效地去除闪烁，在振动、噪音、耗电量等方面实用性优良的背投投影机的，与第1实施例相同的效果。另外，可获得可通过设置2个振动发生部23a、23b而对光漫射部21施加更大的振动，并且调整的自由度高，可有效地去除闪烁的，与第2实施例相同的效果。

此外，在本实施例的场合，像图13所示的那样，由于供给到振动方向相互垂直的2个振动发生部23a、23b的压电元件30、31的驱动信号的相位偏移，故光漫射部21在该xy面内，进行圆周运动(包括轨道为正圆的场合、为椭圆的场合的2种场合)。在圆周运动的场合，由于与比如往复直线运动的场合不同，没有光漫射部21的运动停止的期间，故非常难以辨认闪烁。

(第4实施例)

在下面通过图14、图15，对本发明的第4实施例进行描述。

同样在本实施例中，背投投影机整体的基本结构与第1实施例相同。由于与第1～第3实施例的不同之处仅仅在于闪烁去除装置的结构，故仅仅对该部分进行描述。

图14为与第1实施例的图3相对应的图，其为表示光学引擎部的内部的闪烁去除装置的平面图。图15为与第1实施例的图4相对应的图，是沿图14中的B—B’线的剖视图。在这些图14、图15中，对与图3、图4相同的构成部件采用同一标号，具体的描述省略。另外，在图14中，按照将压电元件63、64的各电极的布线省略的形式记载，但是，这一点符合图6。

本实施例的闪烁去除装置60像图14所示的那样，与第1实施例相同的方面在于：具有光漫射部21和支持部22和振动发生部；光漫射部21具有漫射板24和漫射板框25；以及支持部22设置于漫射板框25的顶边和底边的中点处，光漫射部21通过上下2个支持部22，支持于壳体28等。但是，在第1实施例中，振动发生部23设置于光漫射部21和光学引擎部3的壳体28之间的间隙，相对该情况，本实施例的不同之处在于，振动发生部61直接设置于光漫射部21上。

在本实施例中，振动发生部61设置于漫射板框25的一个角部(图14的实例中为右下角部)附近。振动发生部61像图15所示的那样，由以第1电极62为共同的电极的第1压电元件63、第2压电元件64的2个压电元件构成。即，振动发生部61的压电元件63、64分别设置于光漫射部21的光入射面侧和光射出面侧。在本实施例的场合，由SUS等的金属材料构成的漫射板框25的一部分直接用作第1电极62。在漫射板框25的两面的相对应的位置，分别贴合压电体32，按照覆盖各压电体32的外表面的方式分别设置第2电极33。于是，在本实施例的场合，在光漫射部21的外部，不具有振动发生部61的固定端，不必像上述实施例那样，将振动发生部61固定于光学引擎部3的壳体28。压电体32以及电极62、33的材料和各压电元件63、64的驱动方法等与上述实施例相同，压电元件63、64按照使光漫射部21以固有的谐振频率振动的方式构成。

同样在本实施例中，可获得能够实现可有效地去除闪烁，在振动、噪音、耗电量等方面实用性优良的背投投影机的，与第1实施例相同的效果。另外，在本实施例的场合，振动发生部61直接设置于光漫射部21的漫射板框25的两面，通过压电元件63、64的振动，光漫射部21自身振动。即，由于不形成从光漫射部21的外部对光漫射部21强制励振的结构，故只要相对光学引擎部3的壳体28具有光漫射部21的支持部22便可以，不必具有振动发生部61的支持部。由此，在光漫射部21的漫射板框25需要形成压电元件63、64的空间，另一方面，在设置光漫射部21和壳体28的间隙时，压电元件63、64的尺寸不造成限制。

(第5实施例)

下面通过图16～18，对本发明的第5实施例进行描述。

同样在本实施例中，背投投影机整体的基本结构与第1实施例相同。另外，闪烁去除装置的结构完全与第4实施例相同。唯一的不同之处仅仅在于光漫射部具有不同的振动模式的2个谐振频率。对此方面进行描述。

图16为与第1实施例的图9相对应的图，其为表示光漫射部的振动频率和阻抗的关系的图。图17为用于说明振动发生部的弯曲振动的图，图18为用于说明弯曲振动时的振动发生部的移位的图。在这些附图中，对与之前的附图相同的构成部件采用同一标号，具体的说明省略。

在第4实施例的图14所示的闪烁去除装置60中，通过进行光漫射部21的尺寸、材料等的最佳设计，使得光漫射部21的振动频率和阻抗的关系像图16所示的那样，可包括具有2个谐振频率的特性。另外，在图16中，f1为面内纵向振动模式的谐振频率(x方向或y方向的谐振频率)，f2为面内弯曲振动模式(2次)的谐振频率。另外，在图14所示的闪烁去除装置60中，由于振动发生部61直接设置于漫射板框25，故可通过以下的说明，将振动发生部61的振动认为是光漫射部21的振动。

像图7所示的那样，如果振动发生部23沿x方向伸缩，则通过光漫射部21的设计，利用光漫射部21的重量平衡的不均衡，在振动发生部23中，产生以振动发生部23的重心为中心的转矩。于是，在振动发生部61中，产生图7所示的那样的沿x方向的伸缩，并且通过转矩，像图17所示的那样，产生沿y方向摆动的弯曲运动。如果将图7所示的沿x方向的伸缩的振动称为纵向振动，将图17所示的弯曲运动的振动称为弯曲振动，则使纵向振动和弯曲振动结合，由此，像图18所示的那样，振动发生部61(光漫射部21)的任意点P按照描绘基本椭圆形状的轨道的方式移位。

在这里，使图16所示的纵向振动模式的谐振频率f1和弯曲振动模式(2次)的谐振频率f2极接近，比如，f1为40kHz，f2为41kHz，2个振动频率的差为10％以内。一般，振动发生部的纵向振动模式、弯曲振动模式的哪个占优势与供给压电元件的驱动信号的频率有关。但是，如果像这样，2个谐振频率的值接近，驱动信号的频率设定在f1～f2之间的值(比如，频率f2’)，则同时产生纵向振动和弯曲振动。由此，由于光漫射部21在xy面内，进行连续的椭圆运动，故闪烁非常难以辨认。于是，按照本实施例，以振动发生部61为1个(表面背面2个)、驱动部34(电源)为1个的极简单的结构，可有效地去除闪烁。另外，如果2个谐振频率的差超过10％，则即使在按照其间的频率驱动的情况下，仍难以同时产生纵向振动和弯曲振动，故最好，2个谐振频率的差在10％以内。

(第6实施例)

下面通过图19～图21，对本发明的第6实施例进行描述。

同样在本实施例中，背投投影机整体的基本结构与第1实施例相同。另外，闪烁去除装置的结构基本与第4实施例相同，直接在光漫射部，设置振动发生部。唯一的不同之处在于：相对于在第4实施例中，振动发生部仅仅设置于1个部位的情况，在本实施例中，设置于多个部位。

图19为与第1实施例的图3相对应的图，其为表示光学引擎部内的闪烁去除装置的平面图。另外，图20、图21分别为表示闪烁去除装置的变形实例的平面图。在这些图19～图21中，对与图3相同的构成部件采用同一标号，具体的描述省略。另外，在图19～图21中，按照将压电元件63、64中的各电极的布线省略的形式记载，但是，这一点符合图6的情况。

本实施例的闪烁去除装置70像图19所示的那样，与第4、第5实施例相同，振动发生部61a、61b直接设置于光漫射部21的漫射板框25上。但是，在本实施例的场合，振动发生部61a、61b设置于漫射板框25的一个角部(图19的实例中为右下的角部)的附近的2个部位。另外，各个振动发生部61a、61b由以漫射板框25为共同的电极、分别设置于光漫射部21的光入射面侧和光射出面侧的2个压电元件63、64构成。2个振动发生部61a、61b按照其振动方向在xy面内相垂直的方式设置。压电体、电极的材料、各压电元件63、64的驱动方法等与上述实施例相同，压电元件63、64按照使光漫射部21以固有的谐振频率振动的方式构成。另外，对2个振动发生部61a、61b，连接可分别供给驱动信号的驱动部34a、34b。

同样在本实施例中，可获得能够实现可有效地去除闪烁，振动、噪音、耗电量等的方面实用性优良的背投投影机的，与第1实施例相同的效果。特别是在本实施例的场合，在2个部位设置振动发生部61a、61b，可对光漫射部21施加更大的振动。另外，由于2个部位的振动发生部61a、61b通过各自的驱动部34a、34b，独立地驱动，故可获得通过使供给2个部位的振动发生部61a、61b的驱动信号的相位偏移，产生圆周运动，使闪烁非常难以辨认的效果。

另外，可以进一步增加振动发生部，像图20所示的那样，将振动发生部61a、61b、61c、61d设置于漫射板框25的对角线上的2个角部(图20的实例中为右下和左上的角部)的附近的2个部位，共计4个部位。在本实例中，对4个振动发生部61a、61b、61c、61d分别连接各自的驱动部34a、34b、34c、34d。于是，可适当使4个振动发生部61a、61b、61c、61d的振动的相位偏移。由此，可获得更大的振动，产生圆周运动。

或者，即使在光漫射部的4个部位设置振动发生部的情况下，也可以像图21所示的那样，在光漫射部21的漫射板框25的较长方向的各边(顶边、底边)的中点处以及较短方向的各边(左侧的边，右侧的边)的中点处，分别设置振动发生部61a、61b、61c、61d。在采用该方案的场合，特别是沿漫射板框25的长边而设置的振动发生部61b、61c位于光漫射部21的支持部22的附近。在本实例中，对4个部位的振动发生部61a、61b、61c、61d中的每个分别连接驱动部34a、34b、34c、34d。如果采用该方案，由于可向4个部位的振动发生部61a、61b、61c、61d中的每个，独立地供给驱动信号，故可进一步提高振动模式的调整的自由度。

(第7实施例)

下面通过图22、图23，对本发明的第7实施例进行描述。

同样在本实施例中，背投投影机整体的基本结构与第1实施例相同。另外，闪烁去除装置的方案与上述实施例的不同之处在于：光漫射部按照可沿2个方向独立地振动方式被支持的光漫射部的支持结构。

图22为与第1实施例的图3相对应的图，其为表示光学引擎部内的闪烁去除装置的平面图。另外，图23为表示闪烁去除装置的变形实例的平面图。在这些图22、图23中，对与图3相同的构成部件采用同一标号，具体的描述省略。另外，在图22、图23中，按照将压电元件30、31中的各电极的布线省略的形式记载，但是，这一点符合图6的情况。

本实施例的闪烁去除装置100为下述的结构，其中，像图22所示的那样，光漫射部21不是通过支持部直接支持于光学引擎部3的壳体28，而是支持框101(框部)介于光漫射部21(光漫射部主体)和壳体28之间。即，具有大于光漫射部21的外径，并且小于光学引擎部3的壳体28的内径的尺寸的长方形的框缘状的支持框101设置于壳体28的内侧，相对壳体28，通过设置于支持框101的较短方向的2条边(图22中的右侧的边和左侧的边)的中点处的支持部22a而连接。另外，光漫射部21设置于支持框101的内侧，相对支持框101，通过设置于光漫射部21的较长方向的2条边(图22中的顶边和底边)的中点处的支持部22b而连接。

另外，第1振动发生部23a设置于支持框101和壳体28的间隙的支持框101的1个角部(图22的实例中为右下的角部)的附近。第1振动发生部23a的压电元件30、31按照其长边方向朝向支持框101的短边方向(图22的y方向)的方式设置。另外，第2振动发生部23b设置于光漫射部21和支持框101的间隙的光漫射部21的一个角部(图22的实例中为右上的角部)的附近。第2振动发生部23b的压电元件30、31按照其长边方向朝向光漫射部21的长边方向(图22的x方向)的方式设置。通过以上的结构，通过从第1振动发生部23a施加的振动，光漫射部21和支持框101的整体以支持部22a为支点，相对壳体28，沿光漫射部21的短边方向(图22的y方向)振动，通过从第2振动发生部23b施加的振动，光漫射部21以支持部22b为支点，沿光漫射部21的长边方向(图22的x方向)振动。于是，在从第1振动发生部23a、第2振动发生部23b，同时施加振动的场合，将x方向的振动和y方向的振动合成，使光漫射部21相对壳体28，进行圆周运动。

在本实施例的场合，对第1振动发生部23a、第2振动发生部23b，分别连接各自的驱动部34a、34b。于是，可将独立的各自的驱动信号供给第1振动发生部23a、第2振动发生部23b。于是，同样在本实施例中，像第3实施例的图13所示的那样，向第1振动发生部23a、第2振动发生部23b的各压电元件30、31，供给相位偏移了的驱动信号。另外，在第1振动发生部23a的压电元件30、31的励振频率由f1表示，第2振动发生部23b的压电元件30、31的励振频率由f2表示时，按照满足f1＝n×f2(n：1以上的自然数)的关系的方式，设定各驱动信号的波形。在这里，第1振动发生部23a的压电元件30、31的励振频率f1为将光漫射部21和支持框101的整体组合的振动体的谐振频率，第2振动发生部23b的压电元件30、31的励振频率f2为光漫射部21的谐振频率。

同样在本实施例中，可获得能够实现可有效地去除闪烁，在振动、噪音、耗电量等方面实用性优良的背投投影机的，与第1实施例相同的效果。另外，按照本实施例的闪烁去除装置100，由于在光漫射部21的x方向、y方向的成为各自的振动的波节的各边的中点，支持光漫射部21，故支持部22a、22b不妨碍振动，可使分别沿x方向、y方向的振动的振幅最大，可获得较大振动。

另外，由于施加给2个部位的振动发生部23a、23b的驱动信号波形的相位偏移，故光漫射部21在该xy面内，进行连续的圆周运动。由于圆周运动的场合，比如，与往复直线运动的场合不同，没有光漫射部21的运动停止的期间，故闪烁非常难以辨认。在这里，由于2个部位的振动发生部23a、23b中的，第1振动发生部23a的压电元件30、31的励振频率f1设定为第2振动发生部23b的压电元件30、31的励振频率f2的n倍，故偏移了的相位不会逐渐一致，总是保持2个驱动信号的相位偏移了的状态。由此，连续地进行圆周运动，圆周运动不会停止，不产生辨认出闪烁的期间。

另外，也可采用下述的结构，其中，光漫射部21的支持结构为与图22相同的2重结构，并且不从光漫射部21、支持框101的外部，通过振动发生部强制励振，像图23所示的那样，将振动发生部61a、61b直接设置于光漫射部21上、支持框101上。在本实例中，第1振动发生部61a设置于支持框101的较短方向的各边(左侧的边，右侧的边)的中点，第2振动发生部61b设置于光漫射部21的较长方向的各边(顶边，底边)的中点。同样在采用该配置的场合，可实现能有效地去除闪烁的闪烁去除装置。

(第8实施例)

下面通过图24、图25，对本发明的第8实施例进行描述。

同样在本实施例中，背投投影机整体的基本结构与第1实施例相同。其中，在第1～第7实施例中，给出在光学引擎部的内部，设置闪烁去除装置的实例，但是，在本实施例中，对在投影透镜的内部设置闪烁去除装置的实例进行描述。

图24为表示本实施例的投影透镜的概略结构图。另外，图25为表示投影透镜的变形实例的概略结构图。在图24、图25中，为了表示光的成像状态，省略分色棱镜的图示，仅仅示出1个空间光调制装置。

本实施例的投影透镜200像图24所示的那样，按照在透镜镜筒201的内部，收置入射侧透镜202、透镜203、射出侧透镜204的方式构成。从空间光调制装置17射入投影透镜200的光通过入射侧透镜202和透镜203，成像于投影透镜200的内部，形成中间像。另外，闪烁去除装置的光漫射部21设置于投影透镜200内的形成中间像的像平面。由于闪烁去除装置的结构可采用与上述第1～第7实施例相同的结构，故在这里，省略对其的描述。由此，闪烁去除装置也收置于透镜镜筒201的内部。在光漫射部21中实现透射的光经过射出侧透镜204，成像于屏幕6上。

通过采用在光漫射部21上形成中间像的方案，像图24中的虚线所示的那样，可使通过光漫射部21漫射后的光成像于屏幕6上。于是，按照该方案，不降低画质，可有效地去除闪烁，可获得显示质量高的图像。另外，投影透镜200的结构不限于具有3个透镜的形式。只要是成为可成像于闪烁去除装置的光漫射部21上的方案，则设置于投影透镜的透镜也可为任意个。

下面通过图25，对本实施例的投影透镜的变形实例进行描述。

本实例的投影透镜210像图25所示的那样，在透镜镜筒201的内部，具有反射部205，在反射部205的附近，设置闪烁去除装置的光漫射部21。反射部205设置于通过入射侧透镜202和透镜203使空间光调制装置17的中间像成像的位置。在透镜203和反射部205之间，反射型偏振片206、λ/4相位差板207、闪烁去除装置的光漫射部21从光入射侧起按照顺序设置。

反射型偏振片206按照其表面相对来自透镜203的光的主光线基本按45°倾斜的方式设置。反射型偏振片206具有使第1振动方向的偏振光实现透射、反射与第1振动方向基本相垂直的第2振动方向的偏振光的功能。反射型偏振片206可采用比如，线栅(wire grid)型偏振片。线栅型偏振片是在光学透明的基板、比如玻璃等的基板上条带状地形成以铝等的金属所形成的金属线(wire)的构件。线栅型偏振片使振动方向与金属线基本相垂直的偏振光实现透射，反射振动方向与金属线基本相平行的偏振光。按照金属线基本与特定的偏振光的振动方向相垂直地朝向的方式设置线栅型偏振片，由此，可仅仅使具有特定的振动方向的偏振光实现透射。反射型偏振片206除可采用线栅型偏振片之外，还可采用具有偏振分离膜的偏振分光器。

闪烁去除装置可采用与上述第1～第7实施例相同的装置。在本实施例的场合，闪烁去除收置于透镜镜筒201的内部。从入射侧透镜202入射的光在反射型偏振片206中实现透射，通过反射部205反射，然后，通过反射型偏振片206反射，光路按照90°弯曲。在该光路弯曲了的光入射的位置，设置射出侧透镜204。

在这里，如果从空间光调制装置17射出的第1振动方向的直线偏振光为p偏振光，则p偏振光在反射型偏振片206中实现透射，然后，通过λ/4相位差片207，变换为圆偏振光。从λ/4相位差片207射出的圆偏振光在闪烁去除装置的光漫射部21中实现透射之后，射入反射部205。进而，通过反射部205反射后的圆偏振光在闪烁去除装置的光漫射部21中实现透射之后，通过λ/4相位差片207，变换为作为第2振动方向的直线偏振光的s偏振光。从λ/4相位差片207射出的s偏振光通过反射型偏振片206反射，然后，经过射出侧透镜204，成像于屏幕6上。

闪烁去除装置的光漫射部21设置于投影透镜210中的、作为形成中间像的像平面的反射部205的光入射面的附近。通过在尽可能地靠近反射部205的位置，设置闪烁去除装置的光漫射部21，像图25中的虚线所示的那样，可使通过光漫射部21漫射后的光成像于屏幕6上。另外，由于本实例采用光2次在光漫射部21中实现透射的结构，故可增加光的漫射的程度。由此，在本实例的闪烁去除装置中，即使在将光漫射部21的振动的振幅减小到最佳的振幅的1/2的情况下，仍可按照与使光1次地在光漫射部21中实现透射时相同的程度，使光漫射。由此，本实例还可形成安静性、省电性和可靠性优良的结构。另外，在本实例中，由于可使经过λ/4相位差片207而射入光漫射部21中的光中的、通过光漫射部21的表面反射了的光射入反射型偏振片206而再次利用，故可提高光的利用效率。

比如，在本变形实例中，也可代替光透射型的光漫射部21和反射部205，而采用光反射型的光漫射部。在此场合，可不需要反射部205。在上述实施例中，全部采用在光实现透射时使之漫射的光透射型的光漫射部，但是，可对光反射型的光漫射部施加来自振动发生部的振动，并且可在通过漫射板反射光时改变光的相位。这种漫射板可采用比如，对反射面进行形成细微凹凸等的漫射处理的铝等的高反射性部件。同样在此场合，与采用光透射型的光漫射部的场合相同，可有效地去除闪烁。

(第9实施例)

下面通过图26，对本发明的第9实施例进行描述。

同样在本实施例中，背投投影机整体的基本结构与第1实施例相同。但是，在第1～第7实施例中，给出在光学引擎部的内部，设置闪烁去除装置的实例，在第8实施例中，给出在投影透镜的内部，设置闪烁去除装置的实例，但是，在本实施例中，对在屏幕的入射侧、设置闪烁去除装置的实例进行描述。

图26为与第1实施例的图1相对应的图，其为背投投影机的概略结构图。在图26中，对与图1相同的构成部件采用同一标号，具体的描述省略。

在本实施例的背投投影机1A中，像图26所示的那样，闪烁去除装置的光漫射部21设置于空间光调制装置的像进行成像的屏幕6的入射侧。闪烁去除装置可采用与上述实施例相同的类型。在尽可能接近屏幕6的位置，设置光漫射部21，由此可减小光漫射部21中的光的漫射对屏幕6处的成像的影响。由此，可在不降低画质的情况下，有效地去除闪烁，可提供高品质的图像。另外，也可将闪烁去除装置的光漫射部21设置于屏幕6的射出侧，可设置于入射侧、射出侧中的至少一方。

(第10实施例)

下面通过图27，对本发明的第10实施例进行描述。

本实施例给出色序(色顺序)方式的投影机的实例。

图27为本实施例的投影机的概略结构图。

本实施例的投影机1B像图27所示的那样，包括作为空间光调制装置的微镜阵列器件17M。另外，闪烁去除装置的光漫射部21设置于作为强度均匀机构的棒状积分器52的入射侧。作为光源部的超高压水银灯53射出包括红色光、绿色光、蓝色光的白色光。从超高压水银灯53射出的光在聚光透镜54中实现透射，然后射入色轮55中。

在色轮55中，分色膜组合成的旋转体能以与光轴基本平行的旋转轴为中心而旋转。分色膜具有使特定的波长区域的光实现透射，将其它的波长区域的光反射的功能。通过采用具有有选择地使红色光实现透射的红色光透射分色膜、有选择地使绿色光实现透射的绿色光透射分色膜、有选择地使蓝色光实现透射的蓝色光透射分色膜的色轮55，可将从超高压水银灯53射出的白色光分离为红色光、绿色光、蓝色光。

从色轮55射出的光在闪烁去除装置的光漫射部21中实现透射，然后，射入棒状积分器52中。该棒状积分器52由长方体状的透明玻璃构成，射入棒状积分器52中的光在玻璃和空气的界面，一边反复进行全反射，一边在棒状积分器52的内部行进。通过这样的作用，棒状积分器52使所入射的光束的强度分布在与光轴相垂直的面内均匀化。棒状积分器52不限于由玻璃形成的实心的部件，也可由内面为反射面的中空的部件构成。

从棒状积分器52射出的光经过准直透镜56、非球面镜57，射入微镜阵列器件17M中。在微镜阵列器件17M中，相应于图像信号而被调制、朝向投影透镜2被反射的光通过投影透镜2，投影于屏幕6上。

在本实施例的投影机1B中，像上述那样，闪烁去除装置的光漫射部21设置于棒状积分器52的入射面附近。闪烁去除装置可采用与上述实施例相同的装置。通过设置聚光透镜54，在棒状积分器52的入射面处，形成光源像。于是，可通过将光漫射部21设置于尽可能地靠近棒状积分器52的入射面的位置，可减小光漫射部21中的光的漫射对屏幕6处的成像的不利影响。由此，可在不降低画质的情况下，有效地去除闪烁，可提供高品质的图像。另外，也可将闪烁去除装置的光漫射部21设置于棒状积分器52的射出侧，可设置于入射侧、射出侧中的至少一方。

另外，本发明的技术范围不限于上述实施例，可在不脱离本发明的实质的范围内，进行各种的改变。在比如，作为闪烁去除装置的方案，在上述实施例中，在光漫射部的入射侧、射出侧的两面设置压电元件的场合，2个压电元件的第1电极以漫射板框共用，但是，也可代替该方案，通过绝缘体形成漫射板框，在其两侧分别设置第1电极、压电体、第2电极成套(set)的压电元件。

还有，在上述实施例中，对第1、第2压电元件的第2电极33施加±V的电压，通过漫射板框25将第1电极29、62接地(即，对第1电极29、62，施加0V)，但是，施加于这些电极的电压并不限于此。也可比如，对第1电极29、62施加±V的电压，对第1、第2压电元件的第2电极33施加0V。此外，还可对第1、第2压电元件的第2电极33，施加其极性相互相同并且与第1电极29、62极性相反的电压。即，也可通过驱动部34、34a、34b、34c、34d，将相位反相的交流信号供给第1电极29、62和第2电极33，由此，第1电极29、62的电位，第2电极33的电位分别为-V、+V，或+V、-V。于是，本发明像以图3为首的多个附图所示的那样，并不限于漫射板框接地的结构。如果采用这样的电压施加方法，由于与将0V施加于任意一方的电极的场合(即，任意一方的电极接地的场合)相比较，可增大两个电极之间的电位差，故可增加各压电元件30、31的变形的程度。

另外，对于与振动发生部、支持部的位置、数量、形状、材料等有关的具体的方案，与漫射板、漫射板框的形状、材料等有关的具体的方案，除了通过上述实施例给出的实例以外，可适当改变。比如，漫射板也可采用伴随光的透射而使之实现漫射的类型(前方散射型)，伴随光的反射而使之实现漫射的类型(后方散射型)中的任意一种。

此外，也可像第9实施例中描述的那样，将在屏幕的入射侧、射出侧设置闪烁去除装置的光漫射部的装置视为1个屏幕装置，将本发明的闪烁去除装置用于单体的屏幕。或者，也可将闪烁去除装置的光漫射部自身用作屏幕。另外，本发明不但可用于在上述实施例中给出的背投投影机，还可应用于前投影型投影机。在此场合，像上述那样，如果在屏幕处具有闪烁去除装置，投影机主体侧也可采用一般的前投影型投影机，在前投影型投影机主体侧，组装闪烁去除装置。另外，在投影机的光源采用光相干性高的激光光源的场合，本发明的闪烁去除装置是特别有效的，但是，显然，也可在采用除激光光源以外的光源，比如，超高压水银灯、发光二极管光源的投影机中，组装本发明的闪烁去除装置。

还有，空间光调制装置也可采用反射型液晶显示装置(Liquid CrystalOn Silicon，LCOS，硅上液晶)，利用光的衍射效果而控制光的方向、颜色等的投影器件(比如，Grating Light Valve，GLV，光栅光阀)等。另外，也可将本发明用于对相应于图像信号而被调制的激光进行扫描、形成图像的投影机，所谓的激光投影机。在激光投影机的场合，代替上述实施例的光学引擎部，而设置将相应于图像信号而被调制的激光射出的激光光源和对来自激光光源的光进行扫描的扫描光学系统。

Claims (13)

1.一种投影机，其特征在于，包括：

光漫射部，该光漫射部以能振动的方式设置，通过振动使射入的光漫射，射出漫射光；

振动发生部，该振动发生部具有通过自身的振动、使上述光漫射部振动的压电元件，上述振动发生部设置至少2个，2个振动发生部的各自的振动方向在上述光漫射部的主面内相垂直；以及

控制部，该控制部按照下述方式控制上述振动发生部，该方式为，上述振动发生部使上述光漫射部以与上述光漫射部固有的谐振频率相对应的频率振动；

采用从上述光漫射部射出的光，显示图像。

2.根据权利要求1所述的投影机，其特征在于，上述光漫射部包括：框部，该框部能沿第1方向振动；和光漫射部主体，该光漫射部主体能沿与上述第1方向相垂直的第2方向，相对上述框部，相对地振动；

分别设置有使上述框部和上述光漫射部主体各自振动的振动发生部。

3.根据权利要求1或2所述的投影机，其特征在于：相对上述至少2个振动发生部的压电元件，分别输入具有相位相互偏移了的波形的驱动信号。

4.根据权利要求3所述的投影机，其特征在于：在输入了上述具有相位偏移了的波形的驱动信号的2个压电元件的励振频率分别为f1、f2时，满足f1＝n×f2的关系，其中n为1以上的自然数。

5.根据权利要求1或2所述的投影机，其特征在于：上述光漫射部具有与不同的振动模式相对应的多个谐振频率。

6.根据权利要求5所述的投影机，其特征在于：上述多个谐振频率基本相同。

7.根据权利要求1或2所述的投影机，其特征在于：上述光漫射部固有的谐振频率为20kHz以上。

8.根据权利要求1或2所述的投影机，其特征在于：上述光漫射部按照能以支持部件为支点进行振动的方式设置，上述支持部件设置于成为上述光漫射部的振动的波节的位置。

9.根据权利要求1或2所述的投影机，其特征在于：上述振动发生部在上述光漫射部的外部具有固定端，从上述光漫射部外部的上述振动发生部，对上述光漫射部，施加振动。

10.根据权利要求1或2所述的投影机，其特征在于：上述振动发生部在上述光漫射部的外部，不具有固定端，而分别设置于上述光漫射部的光入射面侧和光射出面侧，通过上述压电元件的振动，使上述光漫射部整体振动。

11.一种屏幕，其特征在于，包括：

光漫射部，该光漫射部以能振动的方式设置，通过振动使射入的光漫射，射出漫射光；

振动发生部，该振动发生部具有通过自身的振动、使上述光漫射部振动的压电元件，上述振动发生部至少设置有2个，2个振动发生部的各自的振动方向在上述光漫射部的主面内相垂直；以及

控制部，该控制部按照下述方式控制上述振动发生部，该方式为，上述振动发生部使上述光漫射部以与上述光漫射部固有的谐振频率相对应的频率振动。

12.一种投影系统，其特征在于，包括：权利要求11所述的屏幕；和将图像光投影于上述屏幕上的投影机主体。

13.一种闪烁去除装置，其特征在于，包括：

光漫射部，该光漫射部以能振动的方式设置，通过振动使射入的光漫射，射出漫射光；

振动发生部，该振动发生部具有通过自身的振动、使上述光漫射部振动的压电元件，上述振动发生部至少设置有2个，2个振动发生部的各自的振动方向在上述光漫射部的主面内相垂直；以及

控制部，该控制部按照下述方式控制上述振动发生部，该方式为，上述振动发生部使上述光漫射部以与上述光漫射部固有的谐振频率相对应的频率振动。

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