CN100476518C - 外观检查装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种外观检查装置，该外观检查装置(A)具有向基板(2)照射光的宏观照明部(1)和将基板(2)保持成可以将光照射在基板(2)的基板保持部(4)，在该外观检查装置(A)中，基板保持部(4)将基板(2)保持成基板(2)的表面(2a)大致垂直，宏观照明部(1)设置在检查者(7)可以观察来自基板(2)的反射光或者透过光的观察台(3)上，在将基板(2)大致垂直地保持在基板保持部(4)上的状态下，基板保持部(4)和观察台(3)可以沿着基板面在二维方向上相对移动。

Description

外观检查装置

技术领域

本发明涉及一种外观检查装置，该外观检查装置对用于制造例如液晶显示器等的FPD(Flat Panel Display：平板显示器)的薄型透明基板进行检查。

背景技术

以往，制造例如液晶显示器等的FPD的母玻璃基板(下面称为基板)，通过外观检查装置来检查涂布在基板表面上的保护层的膜不均和图案的缺陷、有无灰尘附着等(下面称为缺陷)。该检查是这样进行的：从水平状态起使基板倾斜为适于观察的角度(例如45度)，在该状态下对基板表面照射宏观照明光，由检查者目视观察来自基板的反射光，通过检测到异常的反射光来进行检查。

以往的外观检查装置的主要构成要素为：用于从倾斜成预定角度的基板的上方照射光的宏观照明部；和为了改变宏观照明光相对于基板的入射角而设置成可以转动的基板保持部。该外观检查装置的宏观照明部由如下部分构成：射出宏观照明光的光源；使从光源射出的宏观照明光收敛的菲涅尔透镜；和切换为使由该菲涅尔透镜所收敛的宏观照明光原样透过的透明状态或者使宏观照明光散射的不透明状态的液晶散射板。由此，当检查者观察来自基板的反射光而进行检查时，由于宏观照明光在缺陷部进行漫反射，所以通过目视能够容易观察基板表面的缺陷部。另外，检查者通过使基板倾斜为适于观察的角度，从而可以可靠地检测到基板表面的所有的缺陷(例如参照专利文献1)。

专利文献1：日本特开2000-28537号公报

但是，近年来，伴随例如液晶显示器等FPD的大型化，制造FPD的母玻璃基板也变得大型化，出现了超过2000mm的基板。在使用上述的外观检查装置对这种大型的母玻璃基板进行检查的情况下，产生了将外观检查装置的宏观照明部和基板保持部按照基板尺寸而增大的需要。另外，如果将基板保持部倾斜为45度而从上方照射宏观照明光进行目视观察，则由于基板的上方侧或者下方侧离开检查者而处于远方，所以难以检查该基板。

作为其对策，考虑了在将基板保持部倾斜为预定角度的状态下设置使其上下移动的机构，使基板的上方侧或者下方侧在成为检查者的眼睛高度的视野范围内移动。但是，即使这样在使基板保持部倾斜后的状态下使其向上下方向移动，由于基板保持部倾斜为45度，所以与基板保持部的大型化成比例地，从检查者所目视观察的基板中央到检查者为止的距离变远，依然难以进行基板的检查。另外，当使大型的基板保持部从水平状态倾斜预定角度而使其向上下方向移动时，基板保持部的转动机构和上下移动机构变得复杂，成为招致外观检查装置的高成本化的原因。另外，当使基板保持部向上下方向移动的同时从上方照射宏观照明光时，需要较大的使基板保持部向上下方向进行移动的空间，并且在其上部设置了较大的宏观照明装置，所以外观检查装置的高度尺寸变大，产生了例如由于洁净室的天花板的高度限制而无法搬入外观检查装置的问题。

另外，在外观检查装置中，当通过目视观察而检测出基板上的缺陷时，检查者希望能接近基板而详细观察缺陷部。但是，如果基板保持部倾斜为45度则基板远离检查者，所以具有检查者无法接近基板进行详细观察的问题。作为其对策，也曾考虑过垂直提起基板保持部来接近检查者侧的方案，但如果垂直提起基板，则产生无法在基板表面照射宏观照明光，在提起基板的时间内无法观察缺陷，也看不到该缺陷位置的问题。

进而，在从背面侧通过后照灯(back light)照明大型且薄型的基板来进行检查时，由于在形成为矩形框状的基板保持部的多处吸附保持着基板的周缘部，所以产生了当将基板倾斜为45度时由于基板的自重而产生弯曲，检查精度下降的问题。作为其对策，也考虑过在基板保持部的开口部内设置支撑基板的背面侧的多根棒状的支撑部件的方案，但由于这些支撑部件会遮蔽来自后照灯的照明光，所以具有支撑部件成影而导致无法观察基板整个表面的问题。

发明内容

本发明是鉴于上述情况而完成的，其目的在于提供一种外观检查装置，该外观检查装置即使在检查大型基板的情况下，也能抑制装置的大型化，并且检查者可以靠近基板来进行观察。

为了达成上述目的，本发明提供以下的装置。

本发明的外观检查装置向透明的基板照射宏观照明光，检查者通过目视上述宏观照明光所照射的所述基板表面进行检查，其特征在于，该外观检查装置具有：基板保持部，其相对于上述外观检查装置的设置面大致垂直地设置，并将上述基板保持成相对于上述设置面大致垂直；宏观照明部，其在上述基板保持部将上述基板保持为大致垂直的状态下，照射在上述基板表面的局部范围上，并以预定的入射角度对上述基板表面照射上述宏观照明光；观察台，其设置有上述宏观照明部，用于上述检查者检查上述基板；以及驱动单元，其使上述基板保持部和上述观察台进行相对的二维移动。

根据本发明的外观检查装置，通过相对于大致垂直地立起的基板保持部，使宏观照明部和观察台在二维方向上进行移动，从而在相对于基板的表面(基板面)改变宏观照射位置的同时，能够由检查者目视检查基板整个表面。

另外，由于将基板保持为大致垂直，所以检查者可以靠近基板表面进行观察。另外，通过把基板保持为大致垂直，从而从上方流向下方的下降流(down flow)的紊乱变少，并且下降流沿基板表面流动，所以能够防止垃圾等附着于基板表面上。

附图说明

图1是表示本发明的第1实施方式的外观检查装置的俯视图。

图2是图1所示的外观检查装置的主视图。

图3是表示使图1所示的外观检查装置的观察台相对于基板保持部进行相对移动的状态的俯视图。

图4是表示使图1所示的外观检查装置的观察台相对于基板保持部进行相对移动的状态的俯视图。

图5是表示使图1所示的外观检查装置的宏观照明部转动的状态的俯视图。

图6是表示本发明的第2实施方式的外观检查装置的俯视图。

标号说明

1：宏观照明部；

1a：光源；

2：基板；

2a：基板表面(基板面)；

3：观察台；

4：基板保持部；

6：支撑部；

7：检查者；

A、B：外观检查装置；

X：水平方向；

Z：垂直方向；

O1：轴线；

O2：光轴；

O3：轴线；

θ1：入射角；

θ2：反射角。

具体实施方式

下面，参照图1至图5对本发明的第1实施方式的外观检查装置进行说明。

本发明的第1实施方式的外观检查装置A，对用于制造较薄的透明基板、例如液晶显示器等的平面显示器(FPD)的矩形形状的母玻璃基板2(下面称为基板)进行检查。如图1至图2所示，该外观检查装置A的主要结构要素包括：对基板2局部照射宏观照明光的宏观照明部1；设置有宏观照明部1的观察台3；和将基板2保持为大致垂直的基板保持部4。此处，所谓大致垂直是指，沿着基板2的轴线O1或者基板2的表面(基板面)2a的面与设置有外观检查装置A的大致水平的设置面5的交角为从80度到90度的状态，并且是指优选为从85度到90度的状态。另外，在本实施方式中，将大致垂直作为上述交角为85度来进行说明。

宏观照明部1由以下部分构成：光源1a；例如菲涅尔透镜等的收敛透镜1b，其收敛从光源1a射出的照明光而照射在基板2的表面2a上；液晶散射板1c，其切换为使由收敛透镜1b收敛的宏观照明光透过的透明状态和使宏观照明光散射的不透明状态；以及箱状的灯罩1d，其将上述各部分收纳在一起。光源1a也可以用金属卤化物灯、LED或者钠灯来构成，收敛透镜1b也可以由凸透镜、1片菲涅尔透镜或者成形为平行光与收敛光的2片菲涅尔透镜构成。另外，宏观照明部1也可以为将荧光灯和LED配置在二维平面上并在射出侧设置散射板的面光源。在宏观照明部1中，灯罩1d的下表面1e自由转动地支撑在圆柱状的支撑台6上，该支撑台6的下端固定在观察台3上。该宏观照明部1在以大致垂直的85度保持于基板上的状态下，配置在从通过目视来观察该基板2的检查者的横向照射宏观照明光的位置上。在支撑台6上安装有例如电动机等的驱动单元，如图5所示，灯罩1d可以绕与基板2的垂直方向Z平行的轴线O3进行转动。该灯罩1d按如下进行设定：使灯罩1d左右旋转以便让基板2所反射的照明光的反射角度θ2成为适于检查者的目视观察的角度，并且照明光的光轴O2相对于基板2成为入射角度θ1。进而，灯罩1d在朝向基板2侧的侧面上形成有开口部1f，在该开口部1f上安装有收敛透镜1b和液晶散射板1c，在其后方配置有光源1a。

基板保持部4由如下部分构成：矩形框部4a，其可以进行透过照明，并形成有矩形框的开口部；和支撑台4b，该矩形框部4a垂直地支撑在该支撑台4b上。在矩形框部4a的开口部的周缘上，分散配置有吸附保持基板2的周缘部的背面的吸附垫4c，各吸附垫4c经由配管与未图示的真空泵连接。此时，与各吸附垫4c对置地设有从基板表面侧按压基板的夹紧装置(clamp)，以使基板不会从吸附垫上脱落。另外，在矩形框部4a的表面4e上安装有例如圆柱棒状的定位销4h，该定位销4h作为基板定位部件，在垂直方向Z的下方侧4f上至少设置2个，在一个侧方侧4g上至少设置1个。当将矩形薄板状的基板2保持在基板保持部4时，该定位销4h用于与基板2的下端2b和侧端2c抵接而将基板2设置在基准位置。基板2通过未图示的多关节搬运机械手在垂直立起的状态下被搬入基板保持部4，在使基板2与各定位销4h接触的状态下，用各吸附垫4c进行吸附而将基板2保持于基板保持部4。在该矩形框部4a的侧端2c或者2d上，形成有用于多关节搬运机械手的手指插拔的槽部。另外，支撑台4b的上表面4i与矩形框部4a的下端4f连接，并且矩形框部4a垂直地支承在该上表面4i上。

观察台3形成为矩形盘状，并设置成与外观检查装置A的设置面5平行。在观察台3的下方设置有形成为与观察台3平行的矩形盘状的移动部3b，在观察台3和移动部3b之间，设有使观察台3可以上下移动的例如油压起重器等的上下移动驱动单元3c。在设置有外观检查装置A的设置面5上，设有2根平行的轨道部3d，在移动部3b上设有在轨道部3d上行进而使移动部3b向左右的水平方向移动的水平驱动单元3e。水平驱动单元3e例如可以由直线电动机构成，可以用直线电动机行进的直线导轨来构成轨道部3d。由此，观察台3和宏观照明部1通过移动部3b可以在轨道部3d上沿着水平方向X移动，并且通过上下移动驱动单元3c可以沿着垂直方向Z上下移动，从而观察台3和宏观照明部1相对于基板保持部4，可以在沿着基板2的表面2a的水平方向X和垂直方向Z上进行相对移动。

接着，参照图1至图5，说明使用由上述结构所构成的外观检查装置A来进行基板2的检查的方法。

首先，例如使用未图示的多关节搬运机械手将基板2在垂直地进行保持的状态下搬运到基板保持部4。以沿着基板保持部4的表面4e的方式使基板2倾斜为85度地进行搬运，同时使基板2的下端2b和一个侧端2c抵接于设置在基板保持部4的定位销4h上，从而将基板2定位在基准位置上。在基板2的定位结束了的阶段，通过未图示的真空泵开始抽吸，用基板保持部4的多个吸附垫4c来吸附并保持被定位了的基板2的背面2e的周缘部。与该吸附动作同时地，由未图示的夹紧装置将基板2按压在各吸附垫4c上。由此，基板2以垂直状态被保持于基板保持部4的基准位置上。

此时，观察台3在图3所示的初始位置上待机，宏观照明光通过宏观照明部1照射基板2的另一个侧端2d侧。检查者7通过所收敛的宏观照明光进行宏观观察时，使由收敛透镜1b收敛的宏观照明光朝向基板2的表面2a照射，检查者7站立在这样的位置，即，使眼睛的位置来到从基板2的表面2a上反射的宏观照明光的光束直径错开的位置，以目视观察基板2的表面2a开始检查。由宏观照明部1所照射的宏观照明光照射在基板2的局部范围上。检查者7操作远程操作部而将宏观照明部1设定成适于进行目视观察的入射角度θ1，在该状态下一边目视观察照射有宏观照明光的基板2的表面2a，一边检测表面2的缺陷部。此时，通过使宏观照明部1以微小的角度向左右方向摆动，从而通过改变相对于缺陷部的反射条件，而使在固定了宏观照明光的入射角度的状态下难以观察到的缺陷部变得易于观察。

接着，如图3至图4所示，在轨道部3d上沿水平方向X移动观察台3的同时，检查者7与上述同样地依次观察基板2的表面2a。在该目视观察中在基板2的表面2a上确认到缺陷部的情况下，停止观察台3的移动，根据需要接近基板2的表面2a来进行详细观察。该详细观察可以通过视觉观看来直接观察，还可以使用未图示的实体显微镜进行放大观察。检查者7例如使用激光指示器或实体显微镜等获取被判断为缺陷的缺陷的位置坐标。这样，在检查之中确认到缺陷部的情况下依次进行如下内容：停止观察台3的移动，和详细观察，获取位置坐标。

如果宏观照明部1所照射的宏观照明光到达了基板2的一个侧端2c，则通过上下移动驱动单元3c使观察台3上升，向基板2的未被检查的部分移动光的照射位置，进行与上述同样的操作。通过依次将观察台3向垂直方向Z和水平方向X移动，从而实施基板2的表面2a的检查，而且，根据需要，将液晶散射板1c从透明状态切换为使光散射的不透明状态，将宏观照明部1所照射的宏观照明光转换为均匀的表面照明(面照明)，与上述同样地对基板2的表面2a进行二维照射，来目视观察基板2的表面2a。

因此，根据上述外观检查装置A，对于基板保持部4和被垂直保持的基板2，可以使宏观照明部1和观察台3向垂直方向Z和水平方向X的二维方向进行移动，即使是基板2的短边的尺寸超过2000mm，例如2160mm×2400mm、2400mm×2800mm的大型化的基板2，也能够对该大型基板2的整个表面扫描宏观照明光进行目视观察，通过相对于垂直立起的基板2使观察台3平行地在二维方向上进行移动，从而可以始终在接近基板2的状态下进行目视观察，从而可以提高目视检查的精度。

与此同时，当通过目视而确认到缺陷部时，检查者7容易接近基板2进行详细观察，可以进一步提高目视检查的精度。进而，在检查者7接近基板2进行详细观察的情况下，由于下降流沿着垂直立起的基板2的表面流过，所以即使检查者7接近基板2，也能够进行详细观察而不会有垃圾掉落在基板2的表面2a上等情况。

另外，根据上述的外观检查装置A，无需像以往的外观检查装置那样使基板保持部4倾斜为预定的角度，或者以微小的角度进行摆动。通过使承载了宏观照明部1和检查者7的观察台3相对于基板2的表面2a可以向垂直方向Z和水平方向X进行移动，从而能够用简单的结构来检查较大的基板2，所以能够实现外观检查装置A的成本的降低。另外，在以往的外观检查装置中，由于递交基板2而需要水平返回基板保持部，用于使该基板保持部成为水平的空间与基板尺寸成比例地变大。与此相对，根据上述的外观检查装置A，通过将基板保持部4设置成垂直于设置面5，从而相比以往的外观检查装置而设置面积可以减到非常小，而且无需将基板保持部4沿上下方向进行移动，所以能够降低装置的高度尺寸，从而实现了装置的小型化。

另外，在以往的外观检查装置中，在使基板大型化时，需要将基板保持部向上下方向移动，进而在基板保持部的上方安装宏观照明装置，并且搬入基板的通过线路也要提高到例如1500mm，所以在检查超过2000mm那样的大型基板时，外观检查装置的高度超过清洁室的天花板高度而无法搬入清洁室。与此相对，根据上述的外观检查装置A，将基板保持部4立设为垂直于设置面5，并且使宏观照明部1平行于该基板保持部4地进行移动，从而相比以往的外观检查装置而可以降低外观检查装置A的高度尺寸，即使不提高清洁室的天花板高度也能容易地搬入清洁室。

进而，根据上述的外观检查装置A，由于基板2被基板保持部4保持为垂直，所以难以受到下降流的影响，而且相比于将基板2保持为水平的情况，重力带来的基板2的弯曲较小，能够实现检查精度的提高。此时，使用吸附垫4c对基板2的上端进行吸附保持，并且用机械的夹头来把持基板2的上端侧，以便可以吊住基板2，从而可以通过重力而使基板2展平，而且可以把基板2可靠地保持在基板保持部4上。

而且，本发明不限于上述第1实施方式，可以在不脱离其主旨的范围内进行适当改变。例如，在上面叙述中观察台3构成为：可以通过水平驱动单元3e在水平方向X上进行移动，通过上下移动驱动单元3c在垂直方向Z上进行移动，但并不限于此。例如也可以使观察台3为形成箱状的无盖箱子，作为使该无盖箱子二维移动的驱动单元，用起重设备而使观察台3向水平方向X和垂直方向Z的二维方向进行移动。此处使用的起重设备只要是在可伸缩的臂的前端具有可以把无盖箱子始终控制成水平姿态的支撑臂的结构即可。

另外，作为使其二维移动的驱动单元，也可以在垂直立起的基板保持部4的上方和下方平行地设置一对水平导轨，将沿着这些水平导轨自己行进的垂直导轨以间隔开比宏观照明部1的宏观照明光所照射的区域宽度略宽的间隔的方式平行地设置，将作为观察台3的形成为箱状的无盖箱子设置为可以沿一对垂直导轨在垂直方向Z上自己行进，使该无盖箱子在平行于基板保持部4的面内在二维方向上进行移动。

另外，观察台3(无盖箱子)和宏观照明部1除了相对于基板保持部4可以在垂直方向Z和水平方向X上进行移动外，还可以在与基板2的表面2a正交的方向(Y方向)上进行移动。此时，无盖箱子形成为用壁包围周围的箱体，在其内部设置有具备安全带的座位。在该无盖箱子的一个侧壁上设有检查者进出的门，在另一个侧壁上可转动地设有宏观照明部1。另外，宏观照明部1可以设置在无盖箱子内，但此时，需要在与基板保持部4对置的前壁上设置开口部，并且该开口部具有宏观照明部1能够在预定角度范围内进行转动的大小。

另外，在上述实施方式中，构成为保持基板2的基板保持部4具有吸附单元和多个吸附垫4c，以吸附保持基板2，但不限于此。例如基板保持部4可以通过用夹紧装置把持基板2的端部来保持基板2，基板保持部4对基板2的保持方法不被限定。

另外，在上述实施方式中，将基板保持部4垂直地进行固定，但也可以构成为例如以水平状态搬入基板2并将其保持，在检查时移动为垂直状态的可立起倒下的结构。在设置成该基板保持部4可以从水平姿态旋转为垂直姿态时，装置的设置空间与基板尺寸成比例地增大，但无须像以往的外观检查装置那样使基板保持部4上下移动，而且不用在上方设置大型的宏观照明装置，所以相比以往的外观检查装置可以降低外观检查装置A的高度尺寸，即使不提高清洁室的天花板高度也能将外观检查装置A容易地搬入清洁室。

另外，在上述实施方式中，构成为使观察台3通过水平驱动单元3e可以在水平方向X上进行移动，通过上下移动驱动单元3c可以在垂直方向Z上进行移动，但也可以构成为通过上下移动驱动单元3c使观察台3能够在垂直方向Z上进行移动，通过水平驱动单元3e来使基板保持部4在水平方向X上进行移动。当使该基板保持部4在水平方向X上进行移动时，装置的宽度尺寸变长为基板尺寸的2倍左右，但纵深尺寸可比以往的外观检查装置薄，由于无须像以往的外观检查装置那样使基板保持部4上下移动，所以相比以往的外观检查装置可以降低外观检查装置A的高度尺寸，从而即使不提高清洁室的天花板高度也能将外观检查装置A容易地搬入清洁室。

进而，也可以构成为：在隔着基板保持部4而与观察台3对置的基板2的背面2e侧设置例如荧光灯等的透过照明用的面光源(后照灯)，由该光源照射基板2的背面2e，从而能够观察该透过光。

进而，虽然宏观照明部1构成为可以绕支撑部6的轴线O3转动，但也可以以正交于该轴线O3的轴线为中心进行转动，从而能够使宏观照明部1向左右方向和上下方向自由摆头。

接着，参照图6，说明本发明第2实施方式。在本实施方式的说明中，对与第1实施方式的外观检查装置A共通的结构赋予相同符号，省略其详细说明。

本发明第2实施方式的外观检查装置B与第1实施方式同样地具有向基板2局部照射宏观照明光的宏观照明部1、设置有宏观照明部1的观察台3和将基板2保持为大致垂直的基板保持部4。与第1实施方式不同之处在于观察台3，其一端部3g朝向基板保持部4的背面4d，并且以在相同水平高度下包围基板保持部4的方式延伸。而且，作为使其二维移动的驱动单元，可以用使观察台3向水平方向X移动的水平驱动单元和使基板保持部4向垂直方向Z移动的上下移动驱动单元构成。

接着，说明使用由上述结构构成的外观检查装置B进行基板2的检查的方法。

与第1实施方式同样地，检查者7向基板2的表面2a照射宏观照明光进行目视观察。在基板2的表面检查结束后的阶段，检查者7通过观察台3的延伸部3h移动到基板2的背面2e侧。在检查者7移动后的阶段，从基板2的表面2a照射宏观照明光，用透过基板2的透过光进行基板2的检查。此时，将宏观照明部1的液晶散射板1c从透明的状态切换为使光散射的不透明状态，可以将宏观照明部1所照射的宏观照明光转换为均匀的表面照明(面照明)，从而来作为后照灯使用。另外，也可以将液晶散射板1c切换为透明的状态，以收敛了来自宏观照明部1的照明光的状态进行照射。

因此，根据上述的外观检查装置B，由于通过基板保持部4将基板2进行垂直保持，所以能够向基板保持部4的背面4d侧延伸出观察台3。由此，检查者7可以方便地移动到基板2的背面2e侧，能够进行基于照射在基板2上的宏观照明光的反射光和透过光双方来检查基板2。因此，能够进行基板2的高精度的外观检查。

而且，本发明不限于上述第1或者第2实施方式。例如在各实施方式中，构成为将基板保持部垂直固定，或者使基板保持部垂直地在水平方向X上进行移动，但并不限于此，作为使观察台在二维方向上移动的驱动单元，也可以构成为使基板保持部垂直地在垂直方向Z上进行移动，同时使宏观照明部在水平方向X上进行移动。另外，在上述的各实施方式中，示出了在垂直立起的基板2的表面侧配置宏观照明部1的例示，但也可以在基板的背面侧配置宏观照明部和观察台。

Claims (11)

1.一种外观检查装置，该外观检查装置向透明的基板照射宏观照明光，检查者通过目视上述宏观照明光所照射的所述基板表面进行检查，其特征在于，该外观检查装置具有：

基板保持部，其相对于上述外观检查装置的设置面大致垂直地设置，并将上述基板保持成相对于上述设置面大致垂直；

宏观照明部，其在上述基板保持部将上述基板保持为大致垂直的状态下，照射在上述基板表面的局部范围上，并以预定的入射角度对上述基板表面照射上述宏观照明光；

观察台，其设置有上述宏观照明部，用于上述检查者检查上述基板；以及

驱动单元，其使上述基板保持部和上述观察台进行相对的二维移动。

2.根据权利要求1所述的外观检查装置，其特征在于，

上述驱动单元使上述观察台在沿着上述基板保持部所保持的上述基板表面的水平方向(X)和垂直方向(Z)上进行移动，使上述宏观照明部相对于上述基板表面进行二维移动。

3.根据权利要求2所述的外观检查装置，其特征在于，

上述驱动单元由在水平方向(X)上移动上述观察台的水平驱动单元和在垂直方向(Z)上移动上述观察台的上下移动驱动单元构成。

4.根据权利要求2所述的外观检查装置，其特征在于，

上述驱动单元由起重设备构成，该起重设备使上述观察台向水平方向(X)和垂直方向(Z)的二维方向移动，并可以将上述观察台控制成水平姿态。

5.根据权利要求2所述的外观检查装置，其特征在于，

上述驱动单元具有与垂直立设的上述基板保持部的上方和下方平行地设置的一对水平导轨和沿着这些水平导轨移动的垂直导轨，并且设置成使上述观察台可以沿着上述垂直导轨在垂直方向(Z)上进行移动。

6.根据权利要求1所述的外观检查装置，其特征在于，

上述驱动单元在水平方向(X)上移动上述基板保持部，并且在垂直方向(Z)上移动上述观察台。

7.根据权利要求1或2所述的外观检查装置，其特征在于，

上述观察台形成为在内部设置了具有安全带的座位的箱状，在其侧壁上可转动地设置了上述宏观照明部。

8.根据权利要求1或2所述的外观检查装置，其特征在于，

上述宏观照明部可以将上述宏观照明光相对于上述基板的面调整为任意的入射角度。

9.根据权利要求1所述的外观检查装置，其特征在于，

上述透明的基板由矩形状的玻璃基板构成，上述基板保持部具有：形成有可进行透过照明的矩形框的开口部的矩形框部；沿该开口部的周缘分散配置且吸附保持上述玻璃基板的背面的吸附垫；以及与这些吸附垫相对设置且从表面侧按压上述玻璃基板的夹紧装置。

10.根据权利要求1所述的外观检查装置，其特征在于，

上述透明的基板由矩形状的玻璃基板构成，上述基板保持部设置有：形成有可进行透过照明的矩形框的开口部的矩形框部；以及在保持于上述开口部的上述玻璃基板的背面侧的透过照明用的面光源。

11.根据权利要求1所述的外观检查装置，其特征在于，

上述观察台的形成为矩形盘状的一端部朝向上述基板保持部的背面，并且设置有在相同水平高度下包围上述基板保持部的方式延伸的延伸部，上述驱动单元由在水平方向(X)上移动上述观察台的水平驱动单元和在垂直方向(Z)上移动上述观察台的上下移动驱动单元构成。

Images