CN100351938C - 压电体驱动元件及其制造方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种即使进行接合线接合也难在电极金属膜间发生短路的压电体驱动元件，该压电体驱动元件在衬底的一方的面上接合了压电体薄板，在该一方的面上再设置了用于外加使所述压电体薄板伸缩的信号的端子电极；端子电极介于从压电体薄板分离而成的压电体台座在衬底的一方的面上形成。
Description
技术领域
本发明涉及压电体驱动元件及其制造方法，特别是涉及用于进行精密的位置控制的致动器等中使用的压电体驱动元件及其制造方法。
背景技术
近年，设置在磁盘装置中的磁盘的记录密度以年增长率10％的速度持续增长。对于磁盘的数据记录以及再现中使用的磁头通常搭载在滑块上，搭载了磁头的滑块由设置在磁盘装置内的磁头支撑机构支撑。
为了提高磁盘的记录密度，对于磁盘，有必要以非常高的精度对磁头定位，为了实现它，在磁头支撑机构中设置了使用压电体元件的压电体驱动元件。在该压电体驱动元件中，在压电体元件在薄膜压电体的两个主面上形成了电极金属膜，如果在两个电极金属膜间外加了电压，薄膜压电体就在面内方向上伸缩。使用基于这样的伸缩运动的变动，以高精度进行了磁头的位置控制(例如，参照特许文献1：特开2001-216748号公报)。
在所述的薄膜压电体元件中，电极金属膜通过接合在其表面上的接合线被外加了电压。接合线通过超声波接合，接合在电极金属膜的给定的位置上。
可是，如果把接合线超声波接合到电极金属膜上，就会在电极金属膜和薄膜压电体上产生龟裂，使水分和水蒸气侵入电极金属膜和薄膜压电体。由此，电极金属膜的金属离子化，在具有电位差的接近的导体(电极金属膜)间的薄膜压电体内扩散，在相对的导体表面，再作为金属析出。这样，由于导体间由树枝状的金属交联，发生短路模式的故障(离子移动)，结果，导致压电体元件的可靠性下降。这样的现象在高湿度环境下特别显著。
发明内容
本发明是为了解决这样的课题而提出的，其目的在于提供一种即使进行导线接合，在电极金属膜间也很难发生短路的压电体驱动元件及其制造方法。
本发明目的实现如下——
(1)一种压电体驱动元件，包括：衬底；在衬底的一个面上接合的压电体薄板；在所述压电体薄板上形成的电极；在上述基板的一个面上设置的压电体台座；为外加使所述压电体薄板伸缩的信号而在所述压电体台座上形成的的端子电极；所述端子电极是引线接合用的端子电极，所述压电体台座从所述压电体薄板分离，以便在所述压电体台座间接受的机械振动以及冲击不传递到所述压电体薄板。
采用了以上的结构的本发明的压电体驱动元件中，压电位移区域即所述压电体薄板和设置了所述端子电极的所述压电体台座是分离的，所以能抑制引线接合时的机械冲击或振动向压电位移区域的传播，能防止所述压电体薄板上发生龟裂等。
(2)在本发明的压电体驱动元件中，当所述压电体薄板和所述压电体台座分别由多层层叠而成时，最好彼此具有相同的层叠结构。
(3)在本发明的压电体驱动元件中，所述衬底可以是能与所述压电体薄板伸缩对应伸缩的伸缩性衬底，也可以是能挠曲变形的非伸缩性衬底。
(4)在本发明的压电体驱动元件中，所述非伸缩性衬底是由与所述压电体薄板相对的不锈钢薄板和连接在所述端子电极上的布线金属通过树脂固定而成的。
(5)在本发明的压电体驱动元件中，可以包含两个压电体驱动部，与各压电体驱动部对应，所述压电体薄板一分为二而设置。
(6)在本发明的包含两个压电体驱动部的压电体驱动元件中，所述端子电极可以包括连接在所述两个压电驱动部的一个上的信号端子电极、连接在另一个上的信号端子电极、所述两个压电驱动部公共的一个接地端子电极。
(7)在本发明的压电体驱动元件中，所述压电体薄板具有把分别在两面上形成了电极膜的第一薄膜压电体层和第二薄膜压电体层通过粘合剂接合在一起的层叠结构，将通过所述粘合剂而相对的电极膜分别作为接地电极膜。
(8)在本发明的压电体驱动元件中，所述端子电极能分别作为引线接合用的端子。
(9)一种压电体驱动元件的制造方法，其特征在于包括如下步骤：
第一步骤——在第一衬底上形成第一电极、第一压电体薄膜和第二电极，在第二衬底上形成第三电极、第二压电体薄膜、以及第四电极；
第二步骤——使所述第二电极与所述第四电极相对地通过粘合剂粘合，以使所述第一衬底和所述第二衬底粘贴在一起，在所述第一衬底和所述第二衬底之间形成由所述第一电极、所述第一压电体薄膜、所述第二电极、所述第四电极、所述第二压电体薄膜、以及所述第三电极层叠而成的压电层叠体层；
第三步骤——除去所述第二衬底；
第四步骤——在所述第一衬底上分离所述压电层叠体层之一部分，据此形成由该分离的部分构成的至少两个压电体台座部；
第五步骤——在所述两个压电体台座部一个上形成连接了所述第二电极和所述第四电极的第一接合电极，在另一个上形成连接了所述第一电极和所述第三电极的第二接合电极；
第六步骤——在所述压电层叠体层以及所述两个压电体台座部上接合了复制用衬底后，除去所述第一衬底和所述复制用衬底，代替该除去的第一衬底，接合能挠曲变形的非伸缩性衬底。
根据本发明压电体驱动元件的制造方法，能制造出起压电位移区域作用的压电体层叠体层和设置了所述端子电极的所述压电体台座分离的压电体驱动元件。
附图说明
图1是表示本发明的实施例1的磁头支撑机构的全体结构的立体图。
图2是实施例1的磁头支撑机构的分解立体图。
图3是实施例1的磁头支撑机构中使用的薄膜压电体元件的俯视图。
图4是关于图3的A-A’线的剖视图。
图5是实施例1的磁头支撑机构中使用的弯曲部分的俯视图。
图6是关于图5的X-X’线的剖视图。
图7是实施例1的磁头支撑机构的侧视图。
图8是表示用于说明实施例1的磁头支撑机构的压电驱动部的动作和外加电压波形的图。
图9是用于说明实施例1的磁头支撑机构的动作的俯视图。
图10是表示实施例1的磁头支撑机构中使用的薄膜压电体元件的电极结构的局部透视俯视图。
图11是表示实施例1的磁头支撑机构中使用的薄膜压电体元件的电极结构的剖视图。
图12是用于说明实施例1的压电驱动部制造方法中的电极以及薄膜压电体的成膜步骤的剖视图(其1)。
图13是用于说明实施例1的压电驱动部制造方法中的电极以及薄膜压电体的成膜步骤的剖视图(其2)。
图14是用于说明实施例1的压电驱动部制造方法中的接合步骤的剖视图。
图15是表示实施例1的压电驱动部制造方法中在接合后剥离了衬底的状态的剖视图。
图16是用于说明实施例1的压电驱动部制造方法中的第一蚀刻步骤的俯视图和剖视图。
图17是用于说明实施例1的压电驱动部制造方法中的第二、三蚀刻步骤的俯视图和剖视图。
图18是用于说明实施例1的压电驱动部制造方法中的第四蚀刻步骤的俯视图和剖视图。
图19是用于说明实施例1的压电驱动部制造方法中的第一涂层膜的形成步骤的俯视图和剖视图。
图20是用于说明实施例1的压电驱动部制造方法中的金属端子膜的形成步骤的俯视图和剖视图。
图21是用于说明实施例1的压电驱动部制造方法中的第二涂层膜的形成步骤的俯视图和剖视图。
图22是用于说明实施例1的压电驱动部制造方法中的复制步骤的剖视图。
图23是表示实施例1的压电驱动部制造方法中的复制后的状态的剖视图。
图24本发明的实施例2的磁头支撑机构的分解立体图。
图25是实施例2的磁头支撑机构中使用的弯曲部分的俯视图。
图26是关于图3的X-X’线的剖视图。
图27是实施例2的磁头支撑机构的侧视图。
图28是表示实施例2的磁头支撑机构中使用的薄膜压电体元件的电极结构的剖视图。
图29是表示本发明的变形例的薄膜压电体元件的电极结构的剖视图。
下面简要说明附图符号。
1-磁头；2-滑块；3-布线部保持板；3A-滑块保持板；3B-突起部；4-承重梁；4A-基端部；4G-微凹；5-基板；7、70-弯曲部分；7H-金属布线；7X-滑块安装部；8(8A、8B)、16(16A、16B)-薄膜压电体粘贴部；9-布线部；9A、9B、9C、9D-薄膜压电体用端子；10-薄膜压电体元件；10A、10B-薄膜压电体元件；11A-第一薄膜压电体层；11B-第二薄膜压电体层；12A、12B、12C、12D-电极金属膜；12C0-开口部；13-粘合剂；13A、13B-单晶衬底；15(15A、15B)-金属板；16-绝缘材料；18-粘合剂；20A、20B-凹部；21A、21B、21C-金属端子膜；25-接合线；30-地线端子部(接地端子部)；30A-接地端子用压电体台座；40-信号端子部；40A-信号端子用压电体台座；41、50-涂层树脂；51A、51B-压电位移区域；100-压电体驱动部。
具体实施方式
实施例1
下面说明本发明的实施例1的磁头支撑机构。
如图1所示，实施例1的磁头支撑机构由以下部分构成：承重梁4、设置在承重梁4的顶端部分的滑块2、该滑块2与顶端部分相连的弯曲部分7。在实施例1的磁头支撑机构中，使用薄膜压电体元件10，在弯曲部分7的一部分上形成了压电体驱动部100，通过用该压电体驱动部100使滑块2转动，能对安装在滑块2的一端面上的磁头1进行定位。
另外，承重梁4在其基端部4A通过焊接固定在基板5上。
在本实施例1的磁头支撑机构中，如图3所示，薄膜压电体元件10由通过把梯形形状的压电层叠体在中央部分左右一分为二形成的两个薄膜压电体元件10A、10B构成。另外，薄膜压电体元件10具有分别设置在一对的薄膜压电体元件10A、10B上的信号端子部40和作为薄膜压电体元件10A、10B的公共端子而设置的地线端子部(接地端子部)30，能与外加的电压对应而分别控制两个薄膜压电体元件10A、10B。
如图4(关于图3的A-A’线的剖视图)所示，构成薄膜压电体元件10的压电层叠体具有：在上表面形成了上部电极(电极金属膜)12B在下表面形成了下部电极(电极金属膜)12A的第一薄膜压电体层11A，在上表面形成了下部电极膜(电极金属膜)12C在下表面形成了上部电极(电极金属膜)12D的第二薄膜压电体层11B。使上部电极膜12B和上部电极膜12D相对，通过粘合剂18把第一薄膜压电体层11A和第二薄膜压电体层11B接合在一起。
该第一和第二薄膜压电体层11A、11B的结构分别为：上部电极膜12B和上部电极膜12D接地，当在第一薄膜压电体层11A的下部电极膜12A和第二薄膜压电体层11B的下部电极(电极金属膜)12C上外加同一电压时，在同一方向变化。
这里，在同一方向变化是指当第一薄膜压电体层11A伸长时，第二薄膜压电体层11B也伸长，当第一薄膜压电体层11A收缩时，第二薄膜压电体层11B也收缩。
另外，薄膜压电体元件10的全体由具有柔软性的涂层树脂41、50覆盖。
另外，薄膜压电体元件10A的下部电极膜12C和薄膜压电体元件10B的下部电极膜12C是电分离的，薄膜压电体元件10A的下部电极膜12A和薄膜压电体元件10B的下部电极膜12A是电分离的。
另外，在本实施例1的磁头支撑机构中，如图2、5所示，弯曲部分7是具有柔软性的薄膜状的衬底，其中，如图6(关于图5的X-X’线的剖视图)所示，金属板15是连接在磁头1上的金属布线7H、和通过粘贴薄膜压电体元件10而构成压电体驱动部100的金属板15(15A、15B)是由聚酰亚胺等绝缘材料16所保持的。弯曲部分7由滑块安装部7X、布线部9、位于滑块安装部7X和布线部9之间的薄膜压电体粘贴部8(8A、8B)构成。
这里，金属板15A、15B分别与薄膜压电体元件10A以及薄膜压电体元件10B形成了大约同一平面形状，在压电体粘贴部8中，分别与薄膜压电体元件10A以及薄膜压电体元件10B相对配置。
另外，在弯曲部分7中，薄膜压电体用端子9A、9D分别设置在布线9和薄膜压电体粘贴部8A、8B的边界附近，与薄膜压电体元件10A、10B的信号端子部40接近；薄膜压电体用端子9B、9C分别设置在布线9和薄膜压电体粘贴部8的边界附近，与两个薄膜压电体元件的公共地线端子部30接近。
另外，薄膜压电体用端子9B、9C中的任意一方可以连接在公共的地线端子部30上，可以由1个端子构成。
在滑块安装部7X上形成了各金属布线的连接端子电极即用于与磁头1的输入输出端子相连的磁头用端子6。
如图2和图7所示，具有以上结构的薄膜压电体元件10和弯曲部分7与其它零件在承重梁4上组合起来。
在弯曲部分7的薄膜压电体粘贴部8上分别粘贴了薄膜压电体元件10，使薄膜压电体元件10A、10B分别与金属板15A、15B相对。
而且，在弯曲部分7的滑块安装部7X上配置了滑块2(搭载了磁头1)，在该滑块2的相对一侧(滑块安装部7X的下表面一侧)配置了滑块保持板3A，在弯曲部分7的布线部9之下配置了布线部保持板3，安装在承重梁4上，使滑块2位于承重梁4的顶端部分。
另外，滑块保持板3A和布线部保持板3譬如由同一厚度的不锈钢板制成。
这里，如图2所示，在滑块保持板3A上形成了突起部3B，在承重梁4的顶端部分形成了微凹4G，通过由微凹4G按压突起部3B，能以微凹4G为中心，可旋转地保持滑块保持板3A。
具有以上结构的实施例1的磁头支撑机构能按如下方式工作。
如图8(a)所示，接地端子即薄膜压电体用端子9B、9C接地，如图8(b)、(c)所示，以偏压V0为中心，在薄膜压电体用端子9A、9D上外加了彼此反相的电压。
这样，在薄膜压电体元件10A、10B总向同一方向弯曲的状态下，弯曲的程度与外加在薄膜压电体用端子9A、9D上的电压对应变化。
由此，如图9(a)所示，例如当薄膜压电体元件10A的弯曲小，薄膜压电体元件10B的弯曲大时，通过以19A所示的部分松弛，以19B所示的部分拉伸，能使滑块保持板3A旋转。
具有以上结构的使用薄膜压电元件对磁头定位的磁头支撑机构部，与以往的使用音圈电机对磁头定位的磁头支撑机构部或使用了其他压电元件的磁头支撑机构相比，能以高精度进行磁头定位。
下面，说明本实施例1的磁头支撑机构的特征部分即薄膜压电体元件10的端子结构和与薄膜压电体用端子9A～9D的连接。
图10是表示薄膜压电体元件10的端子结构的透视图，图11是剖视图。
另外，图11的剖视图是薄膜压电体元件10和弯曲部分7接合的状态的剖视图(沿着图5的Y-Y’线切断)。
如上所述，本实施例1的薄膜压电体元件10由能独立驱动的两个薄膜压电体元件10A、10B构成。
在本实施例1中，通过梯形形状的压电层叠体在其中心部分一分为二形成了这两个薄膜压电体元件10A、10B，在沿着该梯形形状的压电层叠体的下底的部分上形成了两个薄膜压电体元件10A、10B的外部连接用的电极。
下面，通过参照图12～图23，说明本实施例1的压电体驱动部100的制造方法，使制造方法以及压电体驱动部100的详细结构明朗化。
另外，如图11所示，薄膜压电体元件10A和薄膜压电体元件10B具有同样的结构(左右对称)，所以在用于说明本制造方法的以下的图中，省略了薄膜压电体元件10B的部分。
(成膜步骤)
在本实施例1的制造方法中，首先，如图12所示，在单晶衬底13B的一方的面上，从单晶衬底13B一侧按顺序形成电极金属膜12C、薄膜压电体11B、电极金属膜12D。
同样，如图13所示，在单晶衬底13A的一方的面上，从单晶衬底13A一侧按顺序形成电极金属膜12A、薄膜压电体11A、电极金属膜12B。
(接合步骤)
接着，如图14所示，使电极金属膜12D与电极金属膜12B相对，使用粘合剂层18接合单晶衬底13A、单晶衬底13B。
由此，在单晶衬底13A的一方的主面上，构成了从单晶衬底13A-侧按顺序层叠了电极金属膜12A、薄膜压电体11A、电极金属膜12B、粘合剂层18、电极金属膜12D、薄膜压电体11B、电极金属膜12C的层叠体。
须指出的是，在本实施例1中，使用了粘合剂层18进行接合，但是在本发明中，也可以不使用粘合剂层18，而是通过利用了超声波振动的热熔敷，把电极金属膜12和电极金属膜12B接合起来。
然后，如图15所示，通过蚀刻除去一方的单晶衬底13B。
(第一蚀刻步骤)
接着，如图16(a)的俯视图和图16(b)的剖视图所示，通过干蚀刻，将层叠体分离成压电位移区域51A、压电位移区域51B(图中未显示)、信号端子用压电体台座40A、接地端子用压电体台座30A。
(第二蚀刻步骤)
接着，如图17(a)的俯视图和图17(b)的剖视图所示，通过干蚀刻(在17(b)中，通过除去用E1、E2表示的部分)，使压电位移区域51A的周围露出电极金属膜12A。
须指出的是，通过除去图17(b)中用符号E2表示的部分而露出的电极金属膜12A(连接部分)的宽度比压电位移区域51A的周围露出的电极金属膜的宽度大。
(第三蚀刻步骤)
接着，如图17(a)的俯视图以及图17(b)的剖视图所示，通过干蚀刻，在接近压电位移区域51A的接地端子区域30A的部分，通过除去电极金属膜12C和薄膜压电体11B形成凹部20A，在凹部20A的底面上使电极金属膜12D露出。
(第四蚀刻步骤)
接着，如图18(a)以及图18(b)所示，通过干蚀刻，在凹部20A的底面中，通过除去电极金属膜12D和粘合剂层18，形成凹部20B，在该凹部20B的底面上使电极金属膜12B露出。
另外，凹部20B形成在凹部20A的底面的中央部上，在凹部20B的周围，露出了电极金属膜12D，使电极金属膜12D至少能与后述的金属端子膜21C更可靠地连接。
(第一涂层膜形成步骤)
接着，如图19(a)、(b)所示，形成涂层膜41，使其覆盖薄膜压电体元件10的几乎全体，只以下各部分被露出。
不形成涂层膜41而露出的部分为：
(i)凹部20B底部的电极金属膜12B；
(ii)在凹部20B的周围露出的电极金属膜12D(在凹部20A的底部露出的凹部20B的周围的金属端子膜12D)；
(iii)与信号端子用压电体台座40A相邻露出的电极金属膜12A；
(iv)处在凹部20A和与信号端子用压电体台座40A相邻露出的电极金属膜12A之间的电极金属膜12C，其靠近电极金属膜12A，通过涂层膜41上形成的开口部12CO而被露出。
(金属端子膜的形成)
接着，如图20(a)、(b)所示，形成与(i)凹部20B底部的电极金属膜12B、(ii)在凹部20B的周围露出的电极金属膜12D相连的金属端子膜21C，使其在接地端子区域30A上延伸；
形成与(iii)与信号端子用压电体台座40A相邻露出的电极金属膜12A、(iv)通过开口部12CO露出的电极金属膜12C相连的金属端子膜21A，使其在信号端子用压电体台座40A上延伸。
(第二涂层膜形成步骤)
接着，如图21(a)、(b)所示，形成几乎覆盖薄膜压电体元件10的全体的涂层膜50，使接地端子用压电体台座30A上形成的金属端子膜21C和信号端子用压电体台座40A上形成的金属端子膜21A露出。
(复制步骤)
接着，如图22所示，在涂层膜50之上接合复制用衬底60，然后，例如通过蚀刻除去单晶衬底13A，再除去复制用衬底60。
然后，在除去的一侧，代替单晶衬底13A，接合能挠曲变形的非伸缩性衬底即弯曲部分7。
(引线接合步骤)
然后，分别通过导线25，连接由信号端子用压电体台座40A、40B上分别露出的金属端子膜21A、21B的表面构成的引线接合部40、信号端子9A、9D。
另外，通过导线25，连接由信号端子用压电体台座30A上露出的金属端子膜21C的表面构成的引线接合部30和接地端子9B或接地端子9C。
这里，在本发明的接合步骤中，能适用超声波接合等各种接合机。
如上所述，如图11所示，在弯曲部分7的薄膜压电体粘贴部8上接合了薄膜压电体元件10，制作了本实施例1的压电体驱动部。
具有以上结构的实施例1的磁头支撑机构的压电体驱动部中，因为压电位移区域51A、51B和形成了引线接合部30、40的端子用压电体台座30A、30B分离，所以通过分离的部分可抑制引线接合时的机械冲击或振动向压电位移区域51A、51B传播，能防止压电位移区域51A、51B的龟裂等。
由此，能以高成品率制造本实施例1的磁头支撑机构，并且能确保可靠性。
实施例2
下面，说明本发明的实施例2的磁头支撑机构。
实施例2的磁头支撑机构除了在弯曲部分的薄膜压电体粘贴部上不设置金属板15A、15B这一点上，与实施例1的磁头支撑机构的基本结构是同样的。
即在实施例1的磁头支撑机构部中，由薄膜压电体元件10A、10B和金属板15A、15B构成压电体驱动部100，通过伴随着薄膜压电体元件10A、10B的弯曲的动作，使滑块保持板3A转动。
而实施例2的磁头支撑机构部中，在比金属具有伸缩性的聚酰亚胺上不设置金属板15A、15B，而是粘贴薄膜压电体元件10A、10B，据此，直接利用薄膜压电体元件10A、10B的伸缩来使滑块保持板3A转动。
更具体而言，在由聚酰亚胺衬底和其上粘贴的薄膜压电体元件10A、10B构成的实施例2的压电体驱动部由于薄膜压电体元件10A、10B的伸缩而产生若干弯曲，但是因为聚酰亚胺衬底与薄膜压电体元件10A、10B一起伸缩，所以通过薄膜压电体元件10A、10B的伸缩，能直接得到使滑块保持板3A转动的驱动力。
下面，参照附图说明本发明的实施例2的磁头支撑机构的细节。
另外，在以下的附图中，对与实施例1相同的部分(也包含虽然形状不同但是功能相同的)采用了相同的符号。
图24是实施例2的磁头支撑机构的分解立体图，磁头1、滑块2、薄膜压电体元件10、承重梁4的结构与实施例1的磁头支撑机构同样，如图26(关于图25的X-X’线的剖视图)所示，弯曲部分70与实施例1的不同点在于：在薄膜压电体粘贴部16A、16B上不包含金属板15A、15B。
该薄膜压电体粘贴部16A、16B是由聚酰亚胺树脂等绝缘材料16制作的具有柔软性的薄膜状的衬底的一部分，与薄膜压电体元件10A、薄膜压电体元件10B形成了大致相同的平面形状。
另外，弯曲部分70中，连接在磁头1上的金属布线7H的布线模式与实施例1不同，另外，在实施例1中，两个薄膜压电体用端子9B、9C由1个端子9B构成，但是对基本的动作无影响。
在实施例2的磁头支撑机构中，具有上述结构的弯曲部分70、薄膜压电体元件10同其他的零件一道组装在承重梁4上，如图27所示，在承重梁4上构成了压电体驱动部。
另外，在实施例2的磁头支撑机构中，与对薄膜压电体10的伸缩动作无作用的部分即端子形成部分(形成了端子用压电体台座30A、40A的部分)相对，设置了布线部保持板3，使端子形成部分不妨碍压电位移区域的伸缩运动。
具有上述的结构的实施例2的磁头支撑机构能按如下方式工作。
与实施例1同样，接地端子即薄膜压电体用端子9B接地，如图8(b)、(c)所示，以偏压V0为中心，在薄膜压电体用端子9A、9D上外加了彼此反相的电压。
这样，薄膜压电体元件10A、10B的伸缩程度与外加在薄膜压电体用端子9A、9D上的电压对应变化。
由此，例如当薄膜压电体元件10A的拉伸大，薄膜压电体元件10B的拉伸小时，通过以19A所示的部分松弛，以19B所示的部分拉伸，能使滑块保持板3A旋转。
具有上述结构的实施例2的使用薄膜压电元件对磁头定位的磁头支撑机构部，与以往的使用音圈电机对磁头定位的磁头支撑机构部或使用了其他压电元件的磁头支撑机构相比，能以高精度进行磁头的定位。
另外，实施例2的磁头支撑机构中的特征部分即薄膜压电体元件10的端子结构和与薄膜压电体用端子9A～9D的连接如图28所示。
变形例
本发明的变形例的磁头支撑机构是在实施例2的磁头支撑机构中，使用了图29的剖视图所示的薄膜压电体元件，除此之外，其结构与实施例2的磁头支撑机构的结构相同。
即，变形例的薄膜压电体元件在蚀刻第一薄膜压电体层11A和第二薄膜压电体层11B时，分别在两个阶段蚀刻，据此在第一薄膜压电体层11A和第二薄膜压电体层11B的蚀刻剖面上形成台阶部S11A、S11B。
具有上述结构的薄膜压电体元件在制造过程的干蚀刻步骤中，与蚀刻方向平行的壁上附着的具有导电性的侧壁附着物被台阶部S11A、S11B电分离。
因此，变形例的薄膜压电体元件能减少漏电流，实现可靠性更高的磁头支撑机构。
如上所述，本发明的压电体驱动元件中，所述端子电极介于从所述压电位移区域分离而成的压电体台座在所述衬底的一方的面上形成，所以能抑制引线接合时的机械冲击或振动向压电位移区域传播，能防止所述压电体薄板上发生龟裂等。
由此，能提供即使进行引线接合也难欲在电极金属膜间发生短路的压电体驱动元件。
另外，根据本发明的压电体驱动元件的制造方法，能容易地制造可靠性高的压电体驱动元件。
Claims (11)
1.一种压电体驱动元件，其特征在于，包括：
衬底；
在衬底的一个面上接合的压电体薄板；
在所述压电体薄板上形成的电极；
在上述基板的一个面上设置的压电体台座；
为外加使所述压电体薄板伸缩的信号而在所述压电体台座上形成的的端子电极；
所述端子电极是引线接合用的端子电极，所述压电体台座从所述压电体薄板分离，以便在所述压电体台座间接受的机械振动以及冲击不传递到所述压电体薄板。
2.根据权利要求1所述的压电体驱动元件，其特征在于：所述压电体薄板和所述压电体台座分别由多层层叠而成，并且彼此具有相同的层叠结构。
3.根据权利要求1或2所述的压电体驱动元件，其特征在于：所述衬底是能与所述压电体薄板的伸缩对应伸缩的衬底。
4.根据权利要求3所述的压电体驱动元件，其特征在于：所述衬底由聚酰亚胺构成。
5.根据权利要求1或2所述的压电体驱动元件，其特征在于：所述衬底是能挠曲变形的非伸缩性衬底。
6.根据权利要求5所述的压电体驱动元件，其特征在于：所述非伸缩性衬底是由与所述压电体薄板相对的金属薄板和连接在所述端子电极上的布线金属通过树脂固定而成的。
7.根据权利要求1或2所述的压电体驱动元件，其特征在于：所述压电体驱动元件由两个压电体驱动部构成，与各压电体驱动部对应，所述压电体薄板一分为二而设置。
8.根据权利要求7所述的压电体驱动元件，其特征在于：所述端子电极包括连接在所述两个压电驱动部的一个上的信号端子电极、连接在另一个上的信号端子电极、所述两个压电驱动部公共的一个接地端子电极。
9.根据权利要求1或2所述的压电体驱动元件，其特征在于：所述压电体薄板具有把分别在两面上形成了电极膜的第一薄膜压电体层和第二薄膜压电体层通过粘合剂接合在一起的层叠结构，将通过所述粘合剂而相对的电极膜分别作为接地电极膜。
10.根据权利要求1或2所述的压电体驱动元件，其特征在于：所述端子电极分别是引线接合用的端子。
11.一种压电体驱动元件的制造方法，其特征在于包括如下步骤：
第一步骤——在第一衬底上形成第一电极、第一压电体薄膜和第二电极，在第二衬底上形成第三电极、第二压电体薄膜、以及第四电极；
第二步骤——使所述第二电极与所述第四电极相对地通过粘合剂粘合，以使所述第一衬底和所述第二衬底粘贴在一起，在所述第一衬底和所述第二衬底之间形成由所述第一电极、所述第一压电体薄膜、所述第二电极、所述第四电极、所述第二压电体薄膜、以及所述第三电极层叠而成的压电层叠体层；
第三步骤——除去所述第二衬底；
第四步骤——在所述第一衬底上分离所述压电层叠体层之一部分，据此形成由该分离的部分构成的至少两个压电体台座部；
第五步骤——在所述两个压电体台座部一个上形成连接了所述第二电极和所述第四电极的第一接合电极，在另一个上形成连接了所述第一电极和所述第三电极的第二接合电极；
第六步骤——在所述压电层叠体层以及所述两个压电体台座部上接合了复制用衬底后，除去所述第一衬底和所述复制用衬底，代替该除去的第一衬底，接合能挠曲变形的非伸缩性衬底。
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