CH641562A5 - Einrichtung zum kalibrieren eines vakuummeters. - Google Patents

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CH641562A5
CH641562A5 CH709379A CH709379A CH641562A5 CH 641562 A5 CH641562 A5 CH 641562A5 CH 709379 A CH709379 A CH 709379A CH 709379 A CH709379 A CH 709379A CH 641562 A5 CH641562 A5 CH 641562A5
Authority
CH
Switzerland
Prior art keywords
test chamber
gas
vacuum meter
pressure
calibration gas
Prior art date
Application number
CH709379A
Other languages
German (de)
English (en)
Inventor
Hermann Mennenga
Original Assignee
Balzers Hochvakuum
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Publication date
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L27/00—Testing or calibrating of apparatus for measuring fluid pressure
    • G01L27/002—Calibrating, i.e. establishing true relation between transducer output value and value to be measured, zeroing, linearising or span error determination
    • G01L27/005—Apparatus for calibrating pressure sensors

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  • General Physics & Mathematics (AREA)
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