DE3025929A1 - Einrichtung zum kalibrieren von vakuummetern - Google Patents

Einrichtung zum kalibrieren von vakuummetern

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DE3025929A1
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test chamber
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calibration gas
gas
throttle
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Hermann Mennenga
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OC Oerlikon Balzers AG
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Balzers AG
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L27/00—Testing or calibrating of apparatus for measuring fluid pressure
    • G01L27/002—Calibrating, i.e. establishing true relation between transducer output value and value to be measured, zeroing, linearising or span error determination
    • G01L27/005—Apparatus for calibrating pressure sensors

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