CH497048A - Verfahren zur Herstellung einer Halbleitervorrichtung und nach diesem Verfahren hergestellte Halbleitervorrichtung - Google Patents

Verfahren zur Herstellung einer Halbleitervorrichtung und nach diesem Verfahren hergestellte Halbleitervorrichtung

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CH497048A
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Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1244225A (en) * 1968-12-31 1971-08-25 Associated Semiconductor Mft Improvements in and relating to methods of manufacturing semiconductor devices
US3590471A (en) * 1969-02-04 1971-07-06 Bell Telephone Labor Inc Fabrication of insulated gate field-effect transistors involving ion implantation
US4005450A (en) * 1970-05-13 1977-01-25 Hitachi, Ltd. Insulated gate field effect transistor having drain region containing low impurity concentration layer
US3855007A (en) * 1970-11-13 1974-12-17 Signetics Corp Bipolar transistor structure having ion implanted region and method
GB1355806A (en) * 1970-12-09 1974-06-05 Mullard Ltd Methods of manufacturing a semiconductor device
US3700978A (en) * 1971-03-18 1972-10-24 Bell Telephone Labor Inc Field effect transistors and methods for making field effect transistors
US3775191A (en) * 1971-06-28 1973-11-27 Bell Canada Northern Electric Modification of channel regions in insulated gate field effect transistors
SE361232B (de) * 1972-11-09 1973-10-22 Ericsson Telefon Ab L M
US3895975A (en) * 1973-02-13 1975-07-22 Communications Satellite Corp Method for the post-alloy diffusion of impurities into a semiconductor
US3947866A (en) * 1973-06-25 1976-03-30 Signetics Corporation Ion implanted resistor having controlled temperature coefficient and method
US3873372A (en) * 1973-07-09 1975-03-25 Ibm Method for producing improved transistor devices
US3959025A (en) * 1974-05-01 1976-05-25 Rca Corporation Method of making an insulated gate field effect transistor
US4173818A (en) * 1978-05-30 1979-11-13 International Business Machines Corporation Method for fabricating transistor structures having very short effective channels
DE3003391C2 (de) * 1980-01-31 1984-08-30 Josef Dipl.-Phys. Dr. 8041 Fahrenzhausen Kemmer Strahlungsdetektor mit einem passivierten pn-Halbleiterübergang
JPS583264A (ja) * 1981-06-30 1983-01-10 Fujitsu Ltd 高耐圧半導体集積回路およびその製造方法
DE3138747A1 (de) * 1981-09-29 1983-04-14 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Selbstsperrender feldeffekt-transistor des verarmungstyps
GB2215515A (en) * 1988-03-14 1989-09-20 Philips Electronic Associated A lateral insulated gate field effect transistor and a method of manufacture
US5169796A (en) * 1991-09-19 1992-12-08 Teledyne Industries, Inc. Process for fabricating self-aligned metal gate field effect transistors
US9324830B2 (en) 2014-03-27 2016-04-26 International Business Machines Corporation Self-aligned contact process enabled by low temperature

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3328210A (en) * 1964-10-26 1967-06-27 North American Aviation Inc Method of treating semiconductor device by ionic bombardment
NL6604962A (de) * 1966-04-14 1967-10-16
US3445926A (en) * 1967-02-28 1969-05-27 Electro Optical Systems Inc Production of semiconductor devices by use of ion beam implantation

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DE1764847B2 (de) 1974-01-24

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