CH378546A - Einrichtung zum tiegelfreien Zonenschmelzen von Halbleiterstäben, insbesondere Siliziumstäben - Google Patents
Einrichtung zum tiegelfreien Zonenschmelzen von Halbleiterstäben, insbesondere SiliziumstäbenInfo
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- C30B13/00—Single-crystal growth by zone-melting; Refining by zone-melting
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