BR102018012502A2 - Sistema de vácuo e método para inspecionar uma peça de trabalho - Google Patents

Abstract

“sistema de vácuo e método para inspecionar uma peça de trabalho” um sistema de vácuo e um método para inspecionar uma peça de trabalho que pode incluir o uso do sistema de vácuo, em que o sistema de vácuo pode incluir um alojamento definindo pelo menos uma porção de uma câmara de vácuo, um pistão dentro do alojamento que oscila para variar um volume da câmara de vácuo, uma primeira válvula e uma segunda válvula em comunicação fluídica com a câmara de vácuo, e uma campânula em comunicação fluídica com a segunda válvula e a câmara de vácuo. o sistema de vácuo pode incluir válvulas de alta velocidade que permitem a ciclagem de sistema de vácuo e assim a ciclagem da pressão de vácuo a uma rápida frequência.

Description

[001] Os presentes ensinamentos se referem ao teste, inspeção, e metrologia, e mais particularmente a um sistema de vácuo e método que podem ser usados para o teste, inspeção, metrologia, bem como outros usos.

Fundamentos [002] Sistemas de vácuo são comumente usados na indústria para o teste, inspeção, e metrologia. Um sistema de vácuo pode ser usado, por exemplo, para determinar se um projeto de produto e/ou um processo de fabricação é suficiente para assegurar que o produto se conforme às normas de carga ou resistência à tensão. Em outro uso, uma superfície de produto pode ser exposta ao carregamento cíclico de um vácuo para testar uma resistência do produto à fadiga. Durante o teste destrutivo, a resistência a um esforço de vácuo pode ser medida usando um vácuo crescente aplicado a um produto até o produto falhar. Durante o teste não destrutivo ou inspeção, tensões podem ser aplicadas a alguns ou todos dos artigos de um lote de produção usando um sistema de vácuo para assegurar que os artigos foram apropriadamente fabricados.

[003] Um sistema de vácuo que permite modos e condições de teste não disponíveis com projetos de sistemas convencionais seria uma adição bem-vinda à técnica.

Sumário [004] O seguinte apresenta um sumário simplificado a fim de prover uma compreensão básica de alguns aspectos de uma ou mais implementações dos presentes ensinamentos. Este sumário não é uma visão geral extensiva, nem é destinado a elementos principais ou críticos dos presentes ensinamentos, nem para delinear o escopo da invenção. Em vez disso, sua finalidade principal é meramente a de apresentar um ou mais conceitos de

Petição 870180052554, de 19/06/2018, pág. 9/55 / 34 forma simplificada como um prelúdio à descrição detalhada apresentada posteriormente.

[005] Em uma implementação dos presentes ensinamentos, um sistema de vácuo para inspecionar uma peça de trabalho inclui um alojamento definindo pelo menos uma porção de uma câmara de vácuo, um pistão dentro do alojamento, em que o pistão é configurado para oscilar, variando assim um volume de câmara da câmara de vácuo, uma primeira válvula em comunicação fluídica com a câmara de vácuo, em que a primeira válvula inclui uma primeira posição ou posição aberta que permite uma admissão de um gás na câmara de vácuo e um escape do gás para fora da câmara de vácuo, e uma segunda posição fechada que previne a admissão do gás na câmara de vácuo e o escape do gás para fora da câmara de vácuo através da primeira válvula, uma segunda válvula em comunicação fluídica com a câmara de vácuo, em que a segunda válvula inclui uma posição aberta que permite a admissão do gás na câmara de vácuo e o escape do gás para fora da câmara de vácuo, e uma posição fechada que previne a admissão do gás na câmara de vácuo e o escape do gás para fora da câmara de vácuo através da segunda válvula, e uma campânula em comunicação fluídica com a segunda válvula e a câmara de vácuo, em que a segunda válvula, na posição aberta, permite um fluxo do gás entre a câmara de vácuo e a campânula e, na posição fechada, previne o fluxo do gás entre a câmara de vácuo e a campânula através da segunda válvula.

[006] Nesta implementação, a campânula pode ser configurada para ser posicionada sobre uma superfície da peça de trabalho durante uma aplicação de uma força de vácuo à superfície da peça de trabalho pelo sistema de vácuo durante a inspeção. O sistema de vácuo pode incluir adicionalmente um laser configurado para ser ativado e desativado durante a inspeção da peça de trabalho em que, durante a ativação, o laser emite um feixe de laser que ilumina a superfície da peça de trabalho. Ainda, o sistema de vácuo pode

Petição 870180052554, de 19/06/2018, pág. 10/55 / 34 incluir uma câmera configurada para formar imagens da superfície da peça de trabalho durante a inspeção da peça de trabalho.

[007] Em uma implementação, pelo menos uma da primeira válvula e da segunda válvula pode ser uma válvula pneumática de solenoide. Ainda, o pistão pode ser configurado para se mover de uma primeira posição na qual o volume de câmara é um volume de câmara máximo, para uma segunda posição na qual o volume de câmara é um volume de câmara mínimo, e de volta para a primeira posição em uma faixa de frequência de 0,1 Hertz a 1000 Hertz. O sistema de vácuo pode incluir adicionalmente uma câmara de acionador definida pelo menos em parte pelo alojamento e um acionador acoplado ao pistão, posicionado dentro da câmara de acionador, e configurado para oscilar o pistão, em que o pistão separa a câmara de acionador da câmara de vácuo.

[008] Em outra implementação dos presentes ensinamentos, o sistema de shearografia para inspecionar uma peça de trabalho inclui um sistema de vácuo. O sistema de vácuo inclui um alojamento definindo pelo menos uma porção de uma câmara de vácuo, um pistão dentro do alojamento, em que o pistão é configurado para oscilar, variando assim um volume de câmara da câmara de vácuo, uma primeira válvula pneumática de solenoide em comunicação fluídica com a câmara de vácuo, em que a primeira válvula pneumática de solenoide inclui uma primeira posição ou posição aberta que permite uma admissão de um gás na câmara de vácuo e um escape do gás para fora da câmara de vácuo, e uma segunda posição fechada que previne a admissão do gás na câmara de vácuo e o escape do gás para fora da câmara de vácuo através de a primeira válvula pneumática de solenoide, uma segunda válvula pneumática de solenoide em comunicação fluídica com a câmara de vácuo, em que a segunda válvula pneumática de solenoide inclui uma posição aberta que permite a admissão do gás na câmara de vácuo e o escape do gás para fora da câmara de vácuo, e uma posição fechada que previne a admissão

Petição 870180052554, de 19/06/2018, pág. 11/55 / 34 do gás na câmara de vácuo e o escape do gás para fora da câmara de vácuo através da segunda válvula pneumática de solenoide, e uma campânula em comunicação fluídica com a segunda válvula pneumática de solenoide e a câmara de vácuo, em que a segunda válvula pneumática de solenoide, na posição aberta, permite um fluxo do gás entre a câmara de vácuo e a campânula e, na posição fechada, previne o fluxo do gás entre a câmara de vácuo e a campânula através da segunda válvula pneumática de solenoide. O sistema de shearografia inclui adicionalmente um laser configurado para ser ativado e desativado durante a inspeção da peça de trabalho em que, durante a ativação, o laser emite um feixe de laser que ilumina a peça de trabalho, uma câmera configurada para formar imagens da peça de trabalho durante a inspeção da peça de trabalho, e um controlador configurado para coordenar a operação do sistema de vácuo, do laser, e da câmera durante a inspeção da peça de trabalho.

[009] Nesta implementação, o pistão pode ser configurado para se mover de uma primeira posição na qual o volume de câmara é um volume de câmara máximo, para uma segunda posição na qual o volume de câmara é um volume de câmara mínimo, e de volta para a primeira posição em uma faixa de frequência de 0,1 Hertz a 1000 Hertz. Ainda, o controlador pode ser configurado para coordenar a operação do pistão durante a inspeção da peça de trabalho. O sistema de shearografia pode também incluir uma câmara de acionador definida pelo menos em parte pelo alojamento e um acionador acoplado ao pistão, posicionado dentro da câmara de acionador, e configurado para oscilar o pistão, em que o pistão separa a câmara de acionador da câmara de vácuo.

[0010] Em outra implementação, um método para inspecionar uma peça de trabalho inclui obter uma primeira imagem de uma superfície da peça de trabalho na pressão atmosférica, aumentar uma pressão de vácuo aplicada à superfície da peça de trabalho da pressão atmosférica para uma primeira

Petição 870180052554, de 19/06/2018, pág. 12/55 / 34 pressão de vácuo usando um sistema de vácuo, obter uma segunda imagem da superfície da peça de trabalho na primeira pressão de vácuo, diminuir a pressão de vácuo aplicada à superfície da peça de trabalho da primeira pressão de vácuo para uma segunda pressão de vácuo que é mais baixa que a primeira pressão de vácuo e mais alta que a pressão atmosférica sem diminuir a pressão de vácuo para a pressão atmosférica, obter uma terceira imagem da superfície da peça de trabalho na segunda pressão de vácuo, e aumentar a pressão de vácuo aplicada à superfície da peça de trabalho da segunda pressão de vácuo para uma terceira pressão de vácuo que é mais alta que a primeira pressão de vácuo sem diminuir a pressão de vácuo para a pressão atmosférica. [0011] Nesta implementação dos presentes ensinamentos, a primeira imagem é uma primeira imagem de referência e o método inclui adicionalmente iluminar a superfície da peça de trabalho usando um feixe de laser saída por um laser enquanto a primeira pressão de vácuo é aplicada à superfície, realizar a obtenção da segunda imagem, enquanto a superfície é iluminada com o feixe de laser, em que a segunda imagem é uma primeira imagem de inspeção da superfície, iluminar a superfície usando o feixe de laser enquanto a segunda pressão de vácuo é aplicada à superfície, e realizar a obtenção da terceira imagem enquanto a superfície é iluminada com o feixe de laser, em que a terceira imagem é uma segunda imagem de referência.

[0012] O método pode incluir adicionalmente remover pode também incluir da superfície pelo feixe de laser durante a diminuição da pressão de vácuo aplicada à superfície da primeira pressão de vácuo para a segunda pressão de vácuo, e comparar a primeira imagem de inspeção com a primeira imagem de referência para detectar diferenças entre a primeira imagem de inspeção e a primeira imagem de referência que indicariam defeitos na peça de trabalho. Adicionalmente, o método pode incluir adicionalmente detectar diferenças entre a primeira imagem de inspeção e a primeira imagem de referência, em que as diferenças entre a primeira imagem de inspeção e a

Petição 870180052554, de 19/06/2018, pág. 13/55 / 34 primeira imagem de referência indicam descolamento de uma primeira camada de peça de trabalho a partir de uma segunda camada de peça de trabalho.

[0013] Em uma implementação, o aumento da pressão de vácuo da pressão atmosférica para a primeira pressão de vácuo inclui mover um pistão para aumentar um volume de uma câmara de vácuo e para aumentar uma pressão de vácuo de câmara dentro da câmara e abrir uma válvula em comunicação fluídica com a câmara de vácuo e a superfície da peça de trabalho. A diminuição da pressão de vácuo da primeira pressão de vácuo para a segunda pressão de vácuo pode incluir mover o pistão para diminuir o volume da câmara de vácuo e para diminuir a pressão de vácuo de câmara dentro da câmara e abrir a válvula em comunicação fluídica com a câmara de vácuo e a superfície da peça de trabalho.

[0014] Em uma implementação, a válvula pode ser uma primeira válvula pneumática de solenoide, e o método pode incluir adicionalmente mover uma segunda válvula pneumática de solenoide em comunicação fluídica com a câmara de vácuo de uma posição fechada para uma posição aberta e injetar um gás na câmara de vácuo através da segunda válvula pneumática de solenoide na posição aberta.

[0015] O aumento da pressão de vácuo aplicada à superfície da peça de trabalho da pressão atmosférica para a primeira pressão de vácuo pode incluir mover um pistão para aumentar um volume de câmara de uma câmara de vácuo do sistema de vácuo e para aumentar uma pressão de vácuo de câmara dentro da câmara de vácuo. A diminuição da pressão de vácuo aplicada à superfície da peça de trabalho da primeira pressão de vácuo para a segunda pressão de vácuo pode incluir mover o pistão para diminuir o volume de câmara da câmara de vácuo e para diminuir a pressão de vácuo de câmara dentro da câmara de vácuo. O aumento da pressão de vácuo aplicada à superfície da peça de trabalho da segunda pressão de vácuo para a terceira

Petição 870180052554, de 19/06/2018, pág. 14/55 / 34 pressão de vácuo pode incluir mover o pistão para aumentar o volume de câmara da câmara de vácuo e para aumentar a pressão de vácuo de câmara dentro da câmara de vácuo. O aumento da pressão de vácuo da pressão atmosférica para a primeira pressão de vácuo, a diminuição da pressão de vácuo da primeira pressão de vácuo para a segunda pressão de vácuo, e o aumento da pressão de vácuo da segunda pressão de vácuo para a terceira pressão de vácuo é realizado em uma frequência de pelo menos 60 Hertz. Em uma implementação, a segunda pressão de vácuo pode ser de ¼ a ¾ da primeira pressão de vácuo.

Breve Descrição dos Desenhos [0016] Os desenhos anexos, que são incorporados na, e constituem uma parte desta, descrição, ilustram implementações dos presentes ensinamentos e, juntamente com a descrição, servem para explicar os princípios da invenção. Nas figuras:

a figura 1 é uma vista lateral secional de um sistema de vácuo de acordo com uma implementação dos presentes ensinamentos.

[0017] A figura 2 é um fluxograma de um processo para inspecionar uma peça de trabalho, tal como um laminado decorativo, que pode ser realizado usando um sistema de vácuo de acordo com os presentes ensinamentos.

[0018] A figura 3 é um gráfico representando um perfil de pressão de vácuo exemplar, que pode ser aplicado a uma superfície de uma peça de trabalho usando um sistema de vácuo de acordo com uma implementação dos presentes ensinamentos.

[0019] A figura 4 é uma representação esquemática de um sistema de vácuo incluindo componentes eletrônicos de suporte de acordo com uma implementação dos presentes ensinamentos.

Petição 870180052554, de 19/06/2018, pág. 15/55 / 34 [0020] A figura 5 é um diagrama de temporização representando a funcionalidade cooperativa de vários componentes do sistema de vácuo em uma implementação exemplar dos presentes ensinamentos.

[0021] A figura 6 é um diagrama de blocos funcionais de um sistema de shearografia que usa um sistema de vácuo de acordo com os presentes ensinamentos.

[0022] Deve ser notado que alguns detalhes das figuras foram simplificados e são desenhados para facilitar a compreensão dos presentes ensinamentos, ao invés de para manter a estrita precisão estrutural, detalhe, e escala.

Descrição Detalhada [0023] Referência será agora feita em detalhe às implementações exemplar dos presentes ensinamentos, exemplos das quais são ilustrados nos desenhos anexos. Sempre quanto possível, os mesmos números de referência serão usados através dos desenhos para se referirem às mesmas partes ou partes similares.

[0024] Quando usada aqui, “pressão atmosférica” se refere à pressão natural exercida pelo peso do ar na atmosfera da Terra e, por simplicidade de explanação, é assumida ser a pressão padrão (11,325 kPa (760 Torr)). A frase “pressão de vácuo” se refere a uma pressão negativa artificialmente exercida sobre ou em uma superfície ou outra estrutura por um sistema de vácuo, em que a pressão de vácuo é menor que a pressão atmosférica (por exemplo, uma pressão mais baixa que 11,325 kPa (760 Torr)). Quando usado aqui, não existe pressão de vácuo na pressão atmosférica (~11,325 kPa (760 Torr)), e a pressão de vácuo aumenta para um máximo teórico de um vácuo perfeito a 0 kPa (0 Torr).

[0025] Como discutido acima, as indústrias empregam sistemas de vácuo para usos, tais como teste e inspeção. Por exemplo, shearografia é uma técnica de inspeção que pode ser empregada para detectar defeitos dentro de

Petição 870180052554, de 19/06/2018, pág. 16/55 / 34 uma estrutura laminada, tal como um laminado decorativo. Essas estruturas laminadas podem ser usadas, por exemplo, em interiores de aeronaves que sofrem alterações de pressão durante a pressurização do interior da aeronave antes da ascensão e/ou alterações de pressão que ocorrem enquanto a aeronave está subindo e descendo. Laminado decorativo pode incluir uma camada externa decorativa, afixada a um núcleo em favo de mel interno poroso com uma camada de adesivo. Durante alterações de pressão dentro da aeronave durante a pressurização ou alterações de altitude, defeitos estruturais, tais como delaminação e descolamento do laminado, podem resultar em defeitos superficiais. A propensão dos laminados a exibir esses defeitos superficiais pode ser identificada usando shearografia, que pode incluir um esforço de vácuo (isto é, uma pressão de vácuo) aplicado à superfície da estrutura. Durante a aplicação do esforço de vácuo, a superfície é iluminada com luz coerente para criar um padrão de interferência (isto é, padrão de mancha), como é conhecido na técnica da interferometria um laser. A luz coerente pode ser de um laser ou outra fonte de luz coerente, em que, como conhecido na técnica da tecnologia de laser, luz coerente inclui luz monocromática na qual ondas eletromagnéticas mantêm uma relação de fase fixa e previsível entre si sobre um período de tempo. A superfície iluminada é reproduzida em imagens, tipicamente usando um dispositivo de acoplamento de carga (CCD), para prover uma imagem de inspeção (isto é, imagem de teste ou imagem de subtração) que é comparada com uma imagem de referência da superfície tipicamente por subtração da imagem de inspeção a partir da imagem de referência, em que a imagem de referência é obtida na ausência do esforço de vácuo à pressão atmosférica. Como a imagem de referência é obtida por formação de imagens da superfície sob a inspeção propriamente dita, este método de inspeção é menos susceptível a erro de ruído de descorrelação (isto é, “ruído-D”) que algumas outras técnicas de inspeção.

Petição 870180052554, de 19/06/2018, pág. 17/55 / 34 [0026] Durante a shearografia convencional, a imagem de referência é obtida enquanto a superfície é exposta à pressão atmosférica, a pressão de vácuo é aplicada à superfície usando uma campânula de shearografia, uma imagem de inspeção é obtida, e a pressão de vácuo é removida, que novamente expõe a superfície à pressão atmosférica. Este ciclo pode ser repetido, em que a pressão de vácuo aplicada à superfície é a mesma, ou diferente, daquela dos ciclos prévios. Todavia, entre cada aplicação de pressão de vácuo, a superfície é retornada para a pressão atmosférica, o que é uma limitação dos projetos de sistema de vácuo convencionais.

[0027] Um sistema de vácuo de acordo com uma implementação dos presentes ensinamentos pode ser usado para aplicar uma série de pressões de vácuo à superfície de uma amostra de teste, em que a série pode incluir um perfil de vácuo não disponível com os sistemas de vácuo convencionais. Os diferentes perfis de vácuo podem melhorar a identificação de defeitos. Além disso, o sistema de vácuo de acordo com os presentes ensinamentos pode aplicar a série de pressões de vácuo a uma rápida taxa de ciclo, por exemplo, uma frequência de cerca de 0,1 Hertz (Hz) a cerca de 1000 Hz, por exemplo, cerca de 60 Hz ou superior, ou de cerca de 60 Hz a cerca de 1000 Hz. Os sistemas convencionais usados para a shearografia operam para manter uma pressão de vácuo constante sobre uma superfície por um minuto ou mais. Esses sistemas anteriores incluem válvulas de alívio digitalmente controladas que não operam a altas velocidades e não são requeridas que operem a altas velocidades. A operação das válvulas de alívio digitalmente controladas a altas velocidades de, por exemplo, 60 Hz a 1000 Hz, resultaria na falha operacional das válvulas de alívio digitalmente controladas. Em contraste, um sistema de vácuo de acordo com os presentes ensinamentos pode incluir o uso de válvulas pneumáticas de solenoide e pode, por conseguinte, operar através de uma faixa de 0,1 Hz a 1000 Hz, ou de 60 Hz ou superior, por um período de tempo estendido, sem falha, as quais não são usadas nos sistemas

Petição 870180052554, de 19/06/2018, pág. 18/55 / 34 convencionais, que não são requeridos que operem em altas freqüências operacionais. A operação a alta frequência do sistema de vácuo permite uma detecção melhorada de alguns defeitos encontrados, por exemplo, em estruturas laminadas. A operação a frequência mais alta pode melhorar, por exemplo, a consistência de formação de imagens, e ruído-D pode ser assim reduzido em comparação com os sistemas que operam em uma faixa mais baixa das frequências operacionais.

[0028] Em uma implementação dos presentes ensinamentos, o sistema de vácuo pode ser projetado de forma que as pressões de vácuo aplicadas à superfície da amostra de teste possam ser aumentadas e diminuídas sem retornar a superfície da amostra de teste para a pressão atmosférica. A obtenção de imagens de referência a uma elevada pressão de vácuo sem retornar para a pressão atmosférica resulta em uma diferente linha de base que as imagens de referência obtidas na pressão atmosférica, e ajuda na redução de ruído-D. Por exemplo, em uma implementação, uma primeira imagem de referência pode ser obtida da superfície da amostra de teste na pressão atmosférica. Subsequentemente, uma primeira pressão de vácuo pode ser aplicada à superfície da amostra de teste, uma primeira imagem de inspeção é obtida na primeira pressão de vácuo, a pressão de vácuo aplicada à superfície pode ser diminuída para uma segunda pressão de vácuo que é mais baixa que a primeira pressão de vácuo, mas mais alta que pressão atmosférica. Uma segunda imagem de referência é obtida da superfície da amostra de teste na segunda pressão de vácuo, e a pressão de vácuo aplicada à superfície da amostra de teste pode ser aumentada para uma terceira pressão de vácuo que é mais alta que a primeira pressão de vácuo, sem retornar a amostra para a pressão atmosférica. Assim, a pressão de vácuo média aplicada à superfície da amostra de teste pode continuamente aumentar sobre o tempo sem retornar a superfície da amostra de teste para a pressão atmosférica até a inspeção, ou uma porção da inspeção, ter sido completada.

Petição 870180052554, de 19/06/2018, pág. 19/55 / 34 [0029] A figura 1 é uma seção transversal esquemática representando um interior de um sistema de vácuo 100 de acordo com uma implementação dos presentes ensinamentos. O sistema de vácuo 100 pode ser operado para realizar o teste e/ou a inspeção sobre uma superfície 102 de uma peça de trabalho 104, tal como uma peça de trabalho laminada 104. A peça de trabalho 104 pode ser, por exemplo, um laminado decorativo, como descrito acima.

[0030] O sistema de vácuo 100 da figura 1 inclui um alojamento 106 que pelo menos parcialmente define uma câmara de vácuo 108 e uma câmara de acionador 110, e um pistão 112 que geralmente separa a câmara de vácuo 108 da câmara de acionador 110. Uma ou mais vedações 114 podem ser posicionadas entre o pistão 112 e o alojamento 106 para reduzir ou prevenir a passagem de ar em torno do pistão 112 de forma que uma pressão de vácuo possa ser gerada e mantida dentro da câmara de vácuo 108. Cada vedação 114 pode fisicamente contatar um revestimento de baixa fricção 115 que reduz o desgaste da vedação 114 durante o movimento do pistão 112. Um acionador 116, tal como um acionador eletromecânico 116 posicionado dentro da câmara de acionador 110, é mecanicamente acoplado ao pistão 112 e configurado para mover ou oscilar o pistão 112 para trás e para frente dentro do alojamento 106, aumentando e diminuindo assim um volume de câmara da câmara de vácuo 108.

[0031] A câmara de vácuo 108 inclui adicionalmente uma primeira válvula 118 e uma segunda válvula 120, ambas das quais estão em comunicação fluídica com a câmara de vácuo 108. Cada uma das duas válvulas 118, 120 pode ser seletivamente posicionada em uma primeira posição para permitir uma admissão ou um escape de ar na câmara de vácuo 108, ou uma segunda posição fechada para prevenir ou a admissão ou o escape de ar para dentro ou para fora da câmara de vácuo 108, dependendo de um modo operacional do sistema de vácuo 100, como descrito aqui.

Petição 870180052554, de 19/06/2018, pág. 20/55 / 34 [0032] A primeira válvula 118 pode ser posicionada para seletivamente permitir ou prevenir um fluxo de ar ambiental ou de outro gás de uma fonte de gás fornecido para dentro e para fora da câmara de vácuo 108. A segunda válvula 120 está em comunicação fluídica com uma câmara de teste 122 que, na implementação representada, é definida pelo menos em parte por uma campânula 124, tal como uma campânula de shearografia a vácuo 124 e uma área de teste 125 da peça de trabalho 104. A comunicação fluídica entre a câmara de vácuo 108 e a campânula 124 através da segunda válvula 120 pode ser provida por uma mangueira ou tubo flexível 126 conectado à campânula 124 e à segunda válvula 120. Em um aspecto desta implementação, a superfície 102 da peça de trabalho 104, especificamente a superfície 102 da área de teste 125, está em comunicação fluídica com a atmosfera através da câmara de teste 122, da mangueira flexível 126, da segunda válvula 120, da câmara de vácuo 108, e da primeira válvula 118.

[0033] O sistema de vácuo 100 pode incluir adicionalmente um laser

128 configurado para emitir um feixe de laser 130 e uma câmera 132. O laser 128 e a câmera 132 podem ser afixados à campânula 124. A campânula 124 pode incluir outras características que não foram representadas por simplicidade, tais como vários espelhos inclinados e/ou defletores ópticos que, por exemplo, defletem o feixe de laser 130 para permitir a formação de imagens do feixe de laser 130 pela câmera 132 para formar a imagem de inspeção (padrão de mancha, padrão de interferência) durante o teste ou inspeção.

[0034] A posição e/ou a operação da primeira válvula 118 e da segunda válvula 120, e a operação de cada um do acionador 116 que move e posiciona o pistão 112, do laser 128, da câmera 132, e outras estruturas elétricas e mecânicas do sistema de vácuo 100, podem ser controladas e/ou monitoradas por um controlador de codificador direto (isto é, controlador) 134. O controlador 134 pode ser estar em comunicação por fios, sem fios,

Petição 870180052554, de 19/06/2018, pág. 21/55 / 34 elétrica, mecânica, eletromecânica, eletromagnética, etc., com cada um do acionador 116, da primeira válvula 118, da segunda válvula 120, do laser 128, da câmera 132, e outras estruturas e subcomponentes do sistema de vácuo 100. O sistema de vácuo 100 pode incluir outras estruturas que são monitoradas e/ou controladas pelo controlador 134, por exemplo, um ou mais sensores de pressão 136 posicionados dentro da câmara de vácuo 108, um ou mais sensores de pressão 138 posicionados na campânula 124 e dentro da câmara de teste 122.

[0035] O movimento ou operação do acionador 116 posiciona o pistão

112 dentro do alojamento 106 que, por sua vez, controla o volume da câmara de vácuo 108. O volume da câmara de vácuo 108 aumenta quando o pistão 112 se move na direção para o acionador 116 e diminui quando o pistão 112 se move para longe do acionador 116. Se a primeira válvula 118 estiver na posição fechada e ou a segunda válvula 120 estiver na posição fechada ou a campânula 124 estiver vedada contra a superfície 102 da peça de trabalho 104, ou ambos, a pressão de vácuo dentro da câmara de vácuo 108 aumenta quando o pistão 112 se move na direção para o acionador 116 e diminui quando o pistão 112 se move para longe do acionador 116. Quando a primeira válvula 118 está na posição fechada, a segunda válvula 120 está na posição aberta, e a campânula 124 está vedada contra a superfície 102 da peça de trabalho 104, a pressão de vácuo dentro da câmara de teste 122 aumenta quando o pistão 112 se move na direção para o acionador 116 e diminui quando o pistão 112 se move para longe do acionador 116. A abertura da primeira válvula 118 equaliza a pressão dentro da câmara de vácuo 108 com a pressão atmosférica. A abertura da segunda válvula 120 equaliza a pressão dentro da câmara de teste 122 com relação à pressão dentro da câmara de vácuo 108.

[0036] A primeira válvula 118 e a segunda válvula 120 podem ser válvulas de alta velocidade. Em uma implementação, cada uma das duas

Petição 870180052554, de 19/06/2018, pág. 22/55 / 34 válvulas 118, 120 pode ser configurada independentemente para a comutação entre a posição aberta e a posição fechada a uma taxa de 30 vezes por segundo ou superior, por exemplo, a uma taxa de 60 vezes por segundo ou superior. As duas válvulas 118, 120 podem ser válvulas pneumáticas de solenoide, por exemplo, uma válvula de dispensa de alta velocidade, modelo PA07, disponível de TLX Technologies de Pewaukee, WI, ou outra válvula apropriada.

[0037] Como representado na implementação da figura 1, o acionador

116 inclui uma roda de acionamento rotativa 150 e uma manivela 152 que afixa a roda de acionamento 150 a uma primeira extremidade de uma barra de conexão 154. A barra de conexão 154 é afixada em uma segunda extremidade a uma haste de pistão 156 usando, por exemplo, uma conexão de extremidade 158. A haste de pistão 156 pode ser fixada a, formada como uma parte de, ou integral com, o pistão 112. Outros tipos de acionadores ou mecanismos de acionamento são contemplados, por exemplo, acionadores eletromecânicos, acionadores eletromagnéticos, acionadores mecânicos, etc.

[0038] O movimento do pistão 112 e, assim, o volume da câmara de vácuo 108, são controlados pelo movimento da roda de acionamento 150, com o movimento da roda de acionamento 150 controlado pelo controlador 134. A roda de acionamento 150 pode girar a uma velocidade contínua ou a uma velocidade variável em uma única direção, como representado em 160. Em outra implementação, a roda de acionamento 150 pode girar em qualquer direção, como representado em 162, que pode permitir o controle mais variado do movimento do pistão 112 e do volume da câmara de vácuo 108 em comparação com a implementação de 160 que pode operar a uma velocidade rotacional constante ou variável.

[0039] O controlador 134 controla e coordena assim a operação do acionador 116, da primeira válvula 118, da segunda válvula 120, do laser 128, e da câmera 132. A operação do controlador 134 pode ser direcionada através

Petição 870180052554, de 19/06/2018, pág. 23/55 / 34 de instruções de software e/ou firmware, armazenadas na memória (não representada por simplicidade). O controlador 134 pode incluir componentes eletrônicos, por exemplo, circuitos integrados incluindo um ou mais dispositivos lógicos, tais como um ou mais microprocessadores em uma ou mais placas de controlador (não representadas por simplicidade).

[0040] Um método exemplar 200 para inspecionar uma peça de trabalho usando um sistema de vácuo é representado na carta de fluxo ou fluxograma da figura 2. O método 200 pode prosseguir por operação ou uso de uma ou mais das estruturas representadas na figura 1 descrita acima, e assim é descrito com referência à figura 1; todavia, será apreciado que o método 200 não é limitado a qualquer estrutura ou uso particular, a menos que expressamente mencionado aqui.

[0041] Como indicado em 204, uma primeira imagem de referência da superfície de peça de trabalho 102, especificamente a superfície 102 da área de teste 125, na pressão atmosférica, é obtida. Para obter uma primeira imagem de referência, a campânula 124 pode ser colocada sobre a superfície 102 da peça de trabalho 104 para formar a câmara de teste 122. A primeira válvula 118 e a segunda válvula 120 podem, ambas, ser abertas, se já não estiverem abertas. A pressão dentro da câmara de teste 122 está na pressão atmosférica (por exemplo, 11,325 kPa (760 Torr), 0 pressão de vácuo) e o pistão 112 pode estar posicionado a uma distância máxima a partir do acionador 116 de forma que o volume da câmara de vácuo 108 esteja em um mínimo permitido pelo projeto do sistema de vácuo 100, que pode variar de acordo com o projeto e uso do sistema de vácuo. Um sistema de vácuo de acordo com uma implementação dos presentes ensinamentos pode ser relativamente compacto e portável, enquanto permite que uma ampla faixa de pressões de vácuo em uma alta faixa de frequências operacionais, por exemplo de cerca de 0,1 ciclos por segundo (isto é, Hz) a 1000 Hz, ou de cerca de 60 Hz a cerca de 1000 Hz, ou pelo menos 60 Hz ou superior, seja

Petição 870180052554, de 19/06/2018, pág. 24/55 / 34 aplicada à estrutura de teste. Como discutido acima, a operação a alta frequência do sistema de vácuo permite uma detecção melhorada de alguns defeitos encontrados em, por exemplo, estruturas laminadas. A operação na frequência mais alta pode melhorar, por exemplo, a consistência da formação de imagens, e ruído-D pode ser assim reduzido em comparação com os sistemas que operam em uma faixa mais baixa das frequências operacionais. O acionador 116, em cooperação com os outros elementos do sistema de vácuo, pode permitir a ciclagem do pistão 112 da primeira posição que configura o volume de câmara da câmara de vácuo 108 no máximo, para uma segunda posição que configura o volume de câmara da câmara de vácuo 108 no mínimo, e de volta para a primeira posição em uma frequência de pelo menos 60 Hertz.

[0042] Com a superfície 102 na pressão atmosférica, o controlador

134 pode ligar (isto é, permitir que) o laser 128 para iluminar a superfície 102 com o feixe de laser 130. Enquanto a superfície 102 é iluminada, o controlador dispara a câmera 132 para formar imagens do feixe de laser 130 refletido da superfície 102 da peça de trabalho 104, provendo assim a primeira imagem de referência como em 204, em que a primeira imagem de referência inclui um padrão de mancha que pode ser processado para prover um conjunto de dados que pode ser armazenado na memória.

[0043] A seguir, a primeira válvula 118 pode ser fechada e o pistão

112 pode ser movido na direção para o acionador 116 para aumentar o volume da câmara de vácuo 108, que aumenta a pressão de vácuo dentro da câmara de vácuo 108 para uma primeira pressão de vácuo. Quando a segunda válvula 120 é aberta, a primeira pressão de vácuo é também aplicada à superfície 102 da área de teste 125 da peça de trabalho 104, como em 206. Enquanto a primeira pressão de vácuo é aplicada à superfície 102, e durante a iluminação da superfície 102 com o feixe de laser 130, o controlador dispara a câmera 132 para formar imagens do feixe de laser 130 refletido da superfície

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102 da peça de trabalho 104, provendo assim uma primeira imagem de inspeção da superfície 102 da peça de trabalho 104, como em 208, incluindo um padrão de mancha, que é armazenado na memória. Depois da obtenção da primeira imagem de inspeção, o laser 128 pode ser desativado.

[0044] A primeira imagem de referência e a primeira imagem de inspeção são processadas e/ou analisadas pelo controlador 134 ou por outro processador e convertidas em dados, tais como dados digitais. A primeira imagem de inspeção (isto é, os dados digitais da primeira imagem de inspeção) é comprada com a primeira imagem de referência (isto é, os dados digitais da primeira imagem de referência), por exemplo, por subtração da primeira imagem de inspeção a partir da primeira imagem de referência, para detectar diferenças entre a primeira imagem de inspeção e a primeira imagem de referência, como em 210. Quando detectadas, as diferenças indicam defeitos na peça de trabalho, por exemplo, delaminação ou descolamento de uma primeira camada a partir de uma segunda camada. O defeito pode resultar de, por exemplo, falha de uma camada de adesivo entre a primeira e segunda camadas, bolsas de gás entre a primeira e segunda camadas, formadas durante a fabricação da peça de trabalho, fratura de uma camada, ou outros modos de falha.

[0045] A seguir, o pistão 112 é movido para longe do acionador 116 para diminuir o volume da câmara de vácuo 108, que também diminui a pressão de vácuo dentro da câmara de vácuo 108 e a pressão de vácuo aplicada à superfície da peça de trabalho 102 para uma segunda pressão de vácuo, como em 212. A segunda pressão de vácuo pode ser maior que pressão atmosférica mas menor que a primeira pressão de vácuo. Enquanto a segunda pressão de vácuo é aplicada à superfície 102, o controlador 134 pode permitir que o laser 128 ilumine a superfície 102 com o feixe de laser 130. Enquanto a superfície 102 é iluminada, o controlador dispara a câmera 132 para formar imagens do feixe de laser 130 refletido da superfície 102 da peça de trabalho

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104, provendo assim uma segunda imagem de referência incluindo um padrão de mancha como em 214, que é armazenado na memória. Depois da obtenção da segunda imagem de referência, o laser 128 pode ser desativado, por exemplo, para reduzir ou eliminar ruído-D. A segunda imagem de referência pode ser processada e/ou analisada para prover um conjunto de dados de segunda imagem de referência.

[0046] O processo pode continuar, por exemplo, por mover o pistão

112 na direção para o acionador 116, aumentando assim o volume da câmara de vácuo 108 e a pressão de vácuo dentro da câmara de vácuo 108 para uma terceira pressão de vácuo. Isto também aplica a terceira pressão de vácuo à superfície 102 da peça de trabalho 104, como em 218. A terceira pressão de vácuo pode ser maior que a primeira pressão de vácuo. Durante a aplicação da terceira pressão de vácuo à superfície 102, uma segunda imagem de inspeção da superfície 102 é obtida como em 218. A segunda imagem de inspeção pode ser, por exemplo, subtraída da primeira imagem de referência, da segunda imagem de referência, e/ou da primeira imagem de inspeção durante o processamento de imagem para detectar defeitos na peça de trabalho, tal como delaminação de duas ou mais camadas e fratura de uma camada, que resulta na separação das camadas laminadas da peça de trabalho. Esses defeitos resultam em a superfície de peça de trabalho ter diferentes contornos superficiais enquanto é submetida a diferentes cargas em diferentes pressões de vácuo aplicadas à superfície pelo sistema de vácuo.

[0047] Será entendido que, embora uma segunda imagem que inclui um segundo padrão de mancha possa ser subtraída de uma primeira imagem que inclui um primeiro padrão de mancha durante o processamento de imagem para detectar defeitos na peça de trabalho, ou outra técnica de comparação possa ser empregada para detectar defeitos na peça de trabalho, defeitos podem não estar presentes e assim defeitos podem não ser detectados ou identificados. Será ainda entendido aqui que o método descrito aqui é

Petição 870180052554, de 19/06/2018, pág. 27/55 / 34 meramente um exemplo de um processo que pode ser realizado usando um sistema de vácuo de acordo com os presentes ensinamentos.

[0048] A figura 3 representa um perfil de vácuo exemplar, que pode ser realizado usando o sistema de vácuo 100 como descrito aqui. Como representado nesta implementação, imagens de referência são identificadas pelas letras A-F, enquanto imagens de inspeção são identificadas pelos números 1-5. A pluralidade de imagens de referência B-F e de imagens de inspeção 1-5 é obtida durante a aplicação de pressões de vácuo aumentadas e diminuídas alternadamente, que são aplicadas à superfície 102 da área de teste 125 sem retornar a superfície 102 da área de teste 125 para a pressão atmosférica. Como representado, a linha de tendência de pressão de vácuo nesta implementação geralmente aumenta linearmente. Será apreciado que as pressões identificadas em A-F e 1-5 podem ser mantidas por um período de tempo durante, ou para permitir, a formação de imagens da superfície de teste, ou o processo pode ser realizado usando a temporização representada.

[0049] Em uma implementação, depois da aplicação de uma pressão de vácuo aumentada à superfície 102 da peça de trabalho 104 (por exemplo, a pressão de vácuo para as imagens de inspeção 1-5), a pressão de vácuo pode ser reduzida ou diminuída para a próxima subsequente imagem de referência B-F. Por exemplo, o valor de pressão de vácuo usado nas imagens de inspeção 1-5 pode ser reduzido por cerca de 1/4 a cerca de 3/4, ou por cerca de 1/3 a cerca de 2/3, ou por cerca de 30% a cerca de 70%, ou por cerca de 1/2, ou qualquer valor de pressão diminuído (sem primeiro diminuir a pressão de vácuo para a pressão atmosférica) para resultar na pressão de vácuo para a imagem de referência B-F imediatamente subsequente.

[0050] Como discutido acima, a primeira válvula 118 e a segunda válvula 120 podem ser válvulas de alta velocidade, tais como válvulas pneumáticas de solenoide. Essas válvulas de alta velocidade, quando usadas em conjunção com o pistão 112, como descrito acima, assistem na habilitação

Petição 870180052554, de 19/06/2018, pág. 28/55 / 34 de uma rápida, controlada, e precisa alteração de pressão de vácuo dentro da câmara de vácuo 108 e da câmara de teste 122 em comparação com os sistemas de vácuo convencionais. Ainda, o laser 128 pode ser desligado durante essas alterações de pressão, por exemplo para reduzir o ruído-D, e a câmera 132 obtém imagens de inspeção somente quando o laser 128 é ativado. Os dados de câmera podem ser transferidos e processados durante esses tempos de inatividade da câmera, que também assiste em permitir a rápida ciclagem do sistema de vácuo. Em uma implementação, um ciclo de inspeção completo inclui três imagens de inspeção sucessivas, e o sistema de vácuo descrito aqui pode operar em uma frequência de pelo menos 60 Hertz (isto é, > 60 ciclos de inspeção por segundo).

[0051 ] Será entendido que o perfil de vácuo da figura 3 é meramente um perfil de vácuo exemplar que pode ser realizado por, e obtido com, um sistema de vácuo de acordo com uma implementação dos presentes ensinamentos. Ainda, será apreciado que um sistema de vácuo de acordo com os presentes ensinamentos pode incluir estruturas que, por clareza e simplicidade, não foram representadas nas figuras, e que várias estruturas representadas podem ser removidas ou modificadas. Por exemplo, é contemplado que um sistema de vácuo pode ser usado como um sistema autônomo sem subsistemas de inspeção, ou pode incluir subsistemas de inspeção diferentes daqueles da, ou em adição à, shearografia um laser, tais como shearografia acústica ou subsistemas de inspeção diferentes daqueles que empregam ou usam shearografia. Com relação à figura 3 e um aspecto desta invenção, um ciclo pode ser definido como a operação do sistema de vácuo que inclui três imagens sucessivas, sendo que a figura 3 representa cinco ciclos de operação completos.

[0052] A figura 4 é uma representação esquemática de um sistema de shearografia 400 de acordo com uma implementação dos presentes ensinamentos. O sistema de shearografia 400 pode incluir um sistema de

Petição 870180052554, de 19/06/2018, pág. 29/55 / 34 vácuo 402, uma campânula 404, um laser 406, e uma mangueira 408, que podem ser os mesmos ou diferentes daqueles descritos acima com referência à figura 1. A mangueira 408, pelo menos em parte, estabelece a comunicação fluídica entre uma câmara de vácuo 410 do sistema de vácuo 402 e a campânula 404. O sistema de shearografia 400 inclui uma leitura de sincronização ou sincronizador 412 que pode ser, incluir, ou funcionar cooperativamente com o controlador 134 da figura 1, que monitora e/ou controla outros subsistemas do sistema de shearografia 400. O sincronizador 412 controla a operação de uma válvula de sincronização 414 que se abre para permitir que ar flua entre a câmara de vácuo 410 e a campânula 404 e que se fecha para prevenir que ar flua entre a câmara de vácuo 410 e a campânula 404. A válvula de sincronização 414 pode ser um atuador de estado sólido, por exemplo, uma válvula pneumática de solenoide controlada pelo sincronizador 412 usando uma conexão 416, tal como uma conexão elétrica 416. O sincronizador 412 ainda controla a operação do laser 406, por exemplo, através da conexão a um fornecimento de energia de laser 418.

[0053] Durante a operação, o sistema de shearografia 400 pode comparar uma pressão de vácuo desejada dentro da campânula 404 com uma pressão de vácuo atual, medida usando um sensor de pressão 420. O sincronizador 412 pode então controlar a operação de vários outros componentes do sistema de shearografia para regular a pressão de vácuo dentro da campânula 404 (isto é, dentro de uma câmara de teste 422 formada pela campânula 404 e uma peça de trabalho 424). Por exemplo, o sincronizador 412 pode emitir um primeiro sinal 426 identificando uma pressão de vácuo desejada para um primeiro comparador 428, que também recebe um segundo sinal 430 identificando a pressão de vácuo atual a partir do sensor de pressão 420. A saída 432 do primeiro comparador 428 é alimentada como um terceiro sinal 432 para um segundo comparador 434, que também recebe um quarto sinal 436 a partir do sincronizador 412

Petição 870180052554, de 19/06/2018, pág. 30/55 / 34 identificando a pressão total. O quarto sinal 436 pode prover um limitador de vácuo para assegurar que a pressão de vácuo aplicada à superfície de teste não exceda um valor máximo. A saída 438 do segundo comparador 434 é alimentada como um quinto sinal 438 ao sistema de vácuo 402, controlando assim a operação de um acionador de sistema de vácuo 440 (for exemplo, o acionador 116 da figura 1).

[0054] A figura 5 é um diagrama de temporização representando a temporização de vários componentes de um sistema de shearografia de acordo com uma implementação exemplar dos presentes ensinamentos. Será entendido que outra temporização de componentes e componentes adicionais são contemplados, e que os vários componentes incluídos na figura 5 podem ser removidos ou modificados. Enquanto a figura 5 é descrita com referência às figuras 1 e 4, será entendido que outros sistemas de vácuo de acordo com os presentes ensinamentos são contemplados.

[0055] Na figura 5, imagens são capturadas por uma câmera 132, por exemplo, quando o laser 128/406 é ativado (isto é, quando o feixe de laser 130 está ligado). As imagens incluem imagens de referência e imagens de inspeção. As imagens de inspeção podem ser compradas com (por exemplo, subtraídas de) a uma ou mais das imagens de referência e/ou a partir de outras imagens de inspeção.

[0056] Na figura 5, a pressão de vácuo dentro da câmara de vácuo

108/410 aumenta e diminui, na dependência da temporização do pistão 112, da válvula de admissão (isto é, primeira válvula) 118, e da válvula de sincronização (isto é, segunda válvula) 120/414. Ainda, o feixe de laser 130 é controlado para estar ligado durante a captura de imagem e desligado quando nenhuma imagem deve ser capturada. A temporização da câmera 132 é assim coordenada com a ativação e desativação do laser 128/406.

[0057] Na figura 5, a pressão de vácuo dentro da campânula 124/404 e/ou câmara de teste 122/422 começa na pressão atmosférica, em cujo ponto a

Petição 870180052554, de 19/06/2018, pág. 31/55 / 34 primeira imagem de referência pode ser capturada. A pressão de vácuo então aumenta e diminui sem retornar para a pressão atmosférica.

[0058] A operação da válvula de admissão (isto é, primeira válvula)

118 é coordenada com a operação da válvula de sincronização (isto é, segunda válvula) 120/414. No diagrama de temporização da figura 5, a válvula de sincronização 120/414 é aberta somente quando a válvula de admissão 118 está fechada. Isto assegura que a pressão de vácuo dentro da campânula 124/404 e/ou da câmara de teste 122/422 não diminua como um resultado direto do ar entrando na válvula de admissão 118. Como representado, a pressão de vácuo dentro da campânula 124/404 e/ou da câmara de teste 122/422 pode diminuir como um resultado direto do pistão 112 se mover para longe do acionador 116 e diminuir um volume da câmara de vácuo 108/410.

[0059] A figura 6 é um diagrama em blocos funcionais de um sistema de shearografia 600 que usa um sistema de vácuo 602 de acordo com uma implementação dos presentes ensinamentos. Como representado na figura 6, o sistema de shearografia 600 inclui uma fonte de gás 604 que pode ser ou incluir ar ambiente da atmosfera, uma fonte de gás de um fornecimento de gás ou botijão de gás, ou uma combinação de fontes de gás. O sistema de shearografia 600 inclui adicionalmente uma primeira válvula (por exemplo, a válvula de admissão) 606 em comunicação fluídica com a fonte de gás 604. A primeira válvula 606 está em comunicação fluídica com uma câmara de vácuo 608 do sistema de vácuo 604. Um volume da câmara de vácuo 608 aumenta e diminui em relação ao movimento de um pistão 610, sendo que o movimento do pistão 610 é controlado por um acionador 612. A câmara de vácuo 608 está ainda em comunicação fluídica com uma segunda válvula (por exemplo, a válvula de sincronização 614), de forma que a segunda válvula 614 esteja em comunicação fluídica com a fonte de gás 604 através da câmara de vácuo 608 e através da primeira válvula de admissão 606. A segunda válvula 614

Petição 870180052554, de 19/06/2018, pág. 32/55 / 34 está em comunicação fluídica com uma campânula de shearografia (por exemplo, a câmara de teste) 616, e o fluxo de gás através da segunda válvula 614 assim pelo menos paramente determina o fluxo de gás para dentro e para fora da campânula de shearografia 616, e a pressão de vácuo dentro da campânula de shearografia 616. Uma fonte de luz 618, tal como um laser, é configurada para iluminar uma peça de trabalho 620 (representada em tracejado como não fazendo parte do sistema de shearografia 600 propriamente dito) com luz, tal como um feixe de laser, enquanto uma pressão ou uma série de pressões, por exemplo, a pressão atmosférica e/ou uma ou mais pressões de vácuo, é aplicada à peça de trabalho 620 na ou dentro da campânula de shearografia 616. Um formador de imagem 622, tal como uma câmera, que pode incluir um dispositivo de CCD, é configurado para formar imagens da peça de trabalho 620 na pressão atmosférica e durante a aplicação da uma ou da série de pressões à peça de trabalho 620 e para obter uma ou mais imagens de referência e/ou uma ou mais imagens de inspeção da peça de trabalho 620. Em uma implementação, a imagem de inspeção pode ser subtraída a partir da imagem de referência para detectar defeitos, tais como delaminação ou outra separação de camadas de laminação da peça de trabalho. Cada um da primeira válvula de admissão 606, do acionador 612, da segunda válvula 614, da fonte de luz 618, e do formador de imagem 622 pode ser controlado e/ou monitorado por um ou mais controladores 624. O sistema de shearografia 600 pode incluir outras estruturas, não representadas por simplicidade, tais como sensores de pressão, para monitorar pressões em vários locais, com dados de pressão do sensor sendo recebidos pelos controladores 624, que monitoram e controlam assim as pressões dentro dos vários subcomponentes. O sistema de shearografia 600 pode assim aplicar uma pressão ou séries de diferentes pressões à peça de trabalho 620 e formar a imagem da peça de trabalho 620 durante a aplicação pressão/pressões.

Petição 870180052554, de 19/06/2018, pág. 33/55 / 34 [0060] Alguns ou todos dos métodos descritos podem assim ser vantajosamente automatizados. Por exemplo, o aumento e diminuição de pressão de vácuo podem ser realizados sem um operador por uso de um computador para controlar a alteração em pressões de vácuo. Isto permite que a inspeção continue a uma taxa acelerada de modo que uma maior área possa ser inspecionada em comparação com os métodos confiados a um operador. A automação pode incluir adicionalmente a determinação de se existe um defeito por uso do software de processamento de imagem e de reconhecimento de padrão. Isto pode evitar a necessidade de um técnico treinado para realizar a inspeção e aumentar a consistência do resultado.

[0061] Não obstante o fato de que as faixas numéricas e os parâmetros que estabelecem o amplo escopo dos presentes ensinamentos sejam aproximações, os valores numéricos estabelecidos nos exemplos específicos são reportados tão precisamente quanto possível. Qualquer valor numérico, todavia, contém inerentemente certos erros que resultam necessariamente do desvio padrão encontrado em suas respectivas medições de teste. Além disso, todas as faixas expostas aqui devem ser entendidas para compreender qualquer e todas das subfaixas subordinadas às mesmas. Por exemplo, uma faixa de “menor que 10” pode incluir qualquer e todas das subfaixas entre (e incluindo) o valor mínimo de zero e o valor máximo de 10, isto é, qualquer e todas das subfaixas tendo um valor mínimo de igual a, ou maior que, zero, e um valor máximo de igual a, ou menor que, 10, por exemplo, 1 a 5. Em certos casos, os valores numéricos, como mencionado para o parâmetro, pode assumir valores negativos. Neste caso, o valor exemplar da faixa mencionada como “menor que 10” pode assumir valores negativos, por exemplo, -1, -2, 3, -10, -20, -30, etc.

[0062] Ainda, a invenção compreende exemplos de acordo com as seguintes cláusulas:

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1. Sistema de vácuo para inspecionar uma peça de trabalho, o sistema de vácuo compreendendo: um alojamento definindo pelo menos uma porção de uma câmara de vácuo; um pistão dentro do alojamento, em que o pistão é configurado para oscilar, variando assim um volume de câmara da câmara de vácuo; uma primeira válvula em comunicação fluídica com a câmara de vácuo, em que a primeira válvula compreende uma primeira posição ou posição aberta que permite uma admissão de um gás na câmara de vácuo e um escape do gás para fora da câmara de vácuo, e uma segunda posição fechada que previne a admissão do gás na câmara de vácuo e o escape do gás para fora da câmara de vácuo através da primeira válvula; uma segunda válvula em comunicação fluídica com a câmara de vácuo, em que a segunda válvula compreende uma posição aberta que permite a admissão do gás na câmara de vácuo e o escape do gás para fora da câmara de vácuo, e uma posição fechada que previne a admissão do gás na câmara de vácuo e o escape do gás para fora da câmara de vácuo através da segunda válvula; e uma campânula em comunicação fluídica com a segunda válvula e a câmara de vácuo, em que a segunda válvula, na posição aberta, permite um fluxo do gás entre a câmara de vácuo e a campânula e, na posição fechada, previne o fluxo do gás entre a câmara de vácuo e a campânula através da segunda válvula.

[0063] 2. Sistema de vácuo de acordo com a cláusula 1, em que a campânula é configurada para ser posicionada sobre uma superfície da peça de trabalho durante uma aplicação de uma força de vácuo à superfície da peça de trabalho pelo sistema de vácuo durante a inspeção.

[0064] 3. Sistema de vácuo de acordo com a cláusula 2, em que compreende adicionalmente um laser configurado para ser ativado e desativado durante a inspeção da peça de trabalho em que, durante a ativação, o laser emite um feixe de laser que ilumina a superfície da peça de trabalho.

Petição 870180052554, de 19/06/2018, pág. 35/55 / 34 [0065] 4. Sistema de vácuo de acordo com a cláusula 3 compreendendo adicionalmente uma câmera configurada para formar imagens da superfície da peça de trabalho durante a inspeção da peça de trabalho.

[0066] 5. Sistema de vácuo de acordo com a cláusula 1, em que pelo menos uma da primeira válvula e da segunda válvula é uma válvula pneumática de solenoide.

[0067] 6. Sistema de vácuo de acordo com a cláusula 1, em que o pistão é configurado para se mover de uma primeira posição na qual o volume de câmara é um volume de câmara máximo, para uma segunda posição na qual o volume de câmara é um volume de câmara mínimo, e de volta para a primeira posição em uma faixa de frequência de 0,1 Hertz a 1000 Hertz.

[0068] 7. Sistema de vácuo de acordo com a cláusula 1, em que compreende adicionalmente: uma câmara de acionador definida pelo menos em parte pelo alojamento; e um acionador acoplado ao pistão, posicionado dentro da câmara de acionador, e configurado para oscilar o pistão, em que o pistão separa a câmara de acionador da câmara de vácuo.

[0069] 8. Sistema de shearografia para inspecionar uma peça de trabalho, compreendendo: um sistema de vácuo compreendendo: um alojamento definindo pelo menos uma porção de uma câmara de vácuo; um pistão dentro do alojamento, em que o pistão é configurado para oscilar, variando assim um volume de câmara da câmara de vácuo; uma primeira válvula pneumática de solenoide em comunicação fluídica com a câmara de vácuo, em que a primeira válvula pneumática de solenoide compreende uma primeira posição ou posição aberta que permite uma admissão de um gás na câmara de vácuo e um escape do gás para fora da câmara de vácuo, e uma segunda posição fechada que previne a admissão do gás na câmara de vácuo e o escape do gás para fora da câmara de vácuo através de a primeira válvula pneumática de solenoide; uma segunda válvula pneumática de solenoide em

Petição 870180052554, de 19/06/2018, pág. 36/55 / 34 comunicação fluídica com a câmara de vácuo, em que a segunda válvula pneumática de solenoide compreende uma posição aberta que permite a admissão do gás na câmara de vácuo e o escape do gás para fora da câmara de vácuo, e uma posição fechada que previne a admissão do gás na câmara de vácuo e o escape do gás para fora da câmara de vácuo através da segunda válvula pneumática de solenoide; e uma campânula em comunicação fluídica com a segunda válvula pneumática de solenoide e a câmara de vácuo, em que a segunda válvula pneumática de solenoide, na posição aberta, permite um fluxo do gás entre a câmara de vácuo e a campânula e, na posição fechada, previne o fluxo do gás entre a câmara de vácuo e a campânula através da segunda válvula pneumática de solenoide; um laser configurado para ser ativado e desativado durante a inspeção da peça de trabalho em que, durante a ativação, o laser emite um feixe de laser que ilumina a peça de trabalho; uma câmera configurada para formar imagens da peça de trabalho durante a inspeção da peça de trabalho; e um controlador configurado para coordenar a operação do sistema de vácuo, do laser, e da câmera durante a inspeção da peça de trabalho.

[0070] 9. Sistema de shearografia de acordo com a cláusula 8, em que: o pistão é configurado para se mover de uma primeira posição na qual o volume de câmara é um volume de câmara máximo, para uma segunda posição na qual o volume de câmara é um volume de câmara mínimo, e de volta para a primeira posição em uma faixa de frequência de 0,1 Hertz a 1000 Hertz; e o controlador é configurado para coordenar a operação do pistão durante a inspeção da peça de trabalho.

[0071] 10. Sistema de shearografia de acordo com a cláusula 8, compreendendo adicionalmente: uma câmara de acionador definida pelo menos em parte pelo alojamento; e um acionador acoplado ao pistão, posicionado dentro da câmara de acionador, e configurado para oscilar o pistão, em que o pistão separa a câmara de acionador da câmara de vácuo.

Petição 870180052554, de 19/06/2018, pág. 37/55 / 34 [0072] 11. Método para inspecionar uma peça de trabalho, compreendendo: obter uma primeira imagem de uma superfície da peça de trabalho na pressão atmosférica; aumentar uma pressão de vácuo aplicada à superfície da peça de trabalho da pressão atmosférica para uma primeira pressão de vácuo usando um sistema de vácuo; obter uma segunda imagem da superfície da peça de trabalho na primeira pressão de vácuo; diminuir a pressão de vácuo aplicada à superfície da peça de trabalho da primeira pressão de vácuo para uma segunda pressão de vácuo que é mais baixa que a primeira pressão de vácuo e mais alta que a pressão atmosférica sem diminuir a pressão de vácuo para a pressão atmosférica; obter uma terceira imagem da superfície da peça de trabalho na segunda pressão de vácuo; e aumentar a pressão de vácuo aplicada à superfície da peça de trabalho da segunda pressão de vácuo para uma terceira pressão de vácuo que é mais alta que a primeira pressão de vácuo sem diminuir a pressão de vácuo para a pressão atmosférica. [0073] 12. Método de acordo com a cláusula 11, em que a primeira imagem é uma primeira imagem de referência e o método compreende adicionalmente: iluminar a superfície da peça de trabalho usando um feixe de laser saída por um laser enquanto a primeira pressão de vácuo é aplicada à superfície; realizar a obtenção da segunda imagem enquanto a superfície é iluminada com o feixe de laser, em que a segunda imagem é uma primeira imagem de inspeção da superfície; iluminar a superfície usando o feixe de laser enquanto a segunda pressão de vácuo é aplicada à superfície; e realizar a obtenção da terceira imagem enquanto a superfície é iluminada com o feixe de laser, em que a terceira imagem é uma segunda imagem de referência.

[0074] 13. Método de acordo com a cláusula 12, compreendendo adicionalmente remover a iluminação da superfície pelo feixe de laser durante a diminuição da pressão de vácuo aplicada à superfície da primeira pressão de vácuo para a segunda pressão de vácuo.

Petição 870180052554, de 19/06/2018, pág. 38/55 / 34 [0075] 14. Método de acordo com a cláusula 12, compreendendo adicionalmente comparar a primeira imagem de inspeção com a primeira imagem de referência para detectar diferenças entre a primeira imagem de inspeção e a primeira imagem de referência que indicariam defeitos na peça de trabalho.

[0076] 15. Método de acordo com a cláusula 14, compreendendo adicionalmente detectar diferenças entre a primeira imagem de inspeção e a primeira imagem de referência, em que as diferenças entre a primeira imagem de inspeção e a primeira imagem de referência indicam descolamento de uma primeira camada de peça de trabalho a partir de uma segunda camada de peça de trabalho.

[0077] 16. Método de acordo com a cláusula 11, em que o aumento da pressão de vácuo da pressão atmosférica para a primeira pressão de vácuo compreende: mover um pistão para aumentar um volume de uma câmara de vácuo e para aumentar uma pressão de vácuo de câmara dentro da câmara; e abrir uma válvula em comunicação fluídica com a câmara de vácuo e a superfície da peça de trabalho.

[0078] 17. Método de acordo com a cláusula 16, em que a diminuição da pressão de vácuo da primeira pressão de vácuo para a segunda pressão de vácuo compreende: mover o pistão para diminuir o volume da câmara de vácuo e para diminuir a pressão de vácuo de câmara dentro da câmara; e abrir a válvula em comunicação fluídica com a câmara de vácuo e a superfície da peça de trabalho.

[0079] 18. Método de acordo com a cláusula 17, em que a válvula é uma primeira válvula pneumática de solenoide, e o método compreende adicionalmente: mover uma segunda válvula pneumática de solenoide em comunicação fluídica com a câmara de vácuo de uma posição fechada para uma posição aberta; e injetar um gás na câmara de vácuo através da segunda válvula pneumática de solenoide na posição aberta.

Petição 870180052554, de 19/06/2018, pág. 39/55 / 34 [0080] 19. Método de acordo com a cláusula 11, em que o aumento da pressão de vácuo aplicada à superfície da peça de trabalho da pressão atmosférica para a primeira pressão de vácuo compreende mover um pistão para aumentar um volume de câmara de uma câmara de vácuo do sistema de vácuo e para aumentar uma pressão de vácuo de câmara dentro da câmara de vácuo; a diminuição da pressão de vácuo aplicada à superfície da peça de trabalho da primeira pressão de vácuo para a segunda pressão de vácuo compreende mover o pistão para diminuir o volume de câmara da câmara de vácuo e para diminuir a pressão de vácuo de câmara dentro da câmara de vácuo; o aumento da pressão de vácuo aplicada à superfície da peça de trabalho da segunda pressão de vácuo para a terceira pressão de vácuo compreende mover o pistão para aumentar o volume de câmara da câmara de vácuo e para aumentar a pressão de vácuo de câmara dentro da câmara de vácuo; e o aumento da pressão de vácuo da pressão atmosférica para a primeira pressão de vácuo, a diminuição da pressão de vácuo da primeira pressão de vácuo para a segunda pressão de vácuo, e o aumento da pressão de vácuo da segunda pressão de vácuo para a terceira pressão de vácuo é realizado em uma frequência de pelo menos 60 Hertz.

[0081] 20. Método de acordo com a cláusula 11, em que a segunda pressão de vácuo é de ¼ a ¾ da primeira pressão de vácuo.

[0082] Embora os presentes ensinamentos tenham sido ilustrados com relação a uma ou mais implementações, alterações e/ou modificações podem ser feitas aos exemplos ilustrados sem abandonar o espírito e escopo das reivindicações anexas. Por exemplo, será apreciado que embora o processo seja descrito como uma série de atos ou eventos, os presentes ensinamentos não são limitados pela ordenação de tais atos ou eventos. Alguns atos podem ocorrer em diferentes ordens e/ou simultaneamente com outros atos ou eventos além daqueles descritos aqui. Também, nem todos os estágios de processo podem ser requeridos para implementar uma metodologia de acordo

Petição 870180052554, de 19/06/2018, pág. 40/55 / 34 com um ou mais aspectos ou implementações dos presentes ensinamentos. Será apreciado que componentes estruturais e/ou estágios de processamento podem ser adicionados ou componentes estruturais e/ou estágios de processamento existentes podem ser removidos ou modificados. Ainda, um ou mais dos atos representados aqui podem ser realizados em um ou mais atos e/ou fases separados(as). Além disso, na extensão em que os termos “incluindo”, “inclui”, “tendo”, “tem”, “com”, ou variantes dos mesmos são usados em qualquer da descrição detalhada e das reivindicações, tais termos são destinados a serem inclusivos de uma maneira similar ao termo “compreendendo”. O termo “pelo menos um de” é usado para significar que um ou mais dos itens listados podem ser selecionados. Quando usado aqui, o termo “um ou mais de” com relação a uma listagem de itens, tais como, por exemplo, A e B, significa A sozinho, B sozinho, ou A e B. Ainda, na discussão e reivindicações fornecidas aqui, o termo “no” usado com relação a dois materiais, um “no” outro, significa pelo menos algum contato entre os materiais, enquanto “sobre” significa que os materiais estão em proximidade, mas possivelmente com um ou mais materiais intervenientes adicionais de forma que contato é possível, mas não exigido. Nem “no” nem “sobre” implica qualquer direcionalidade, quando usados aqui. O termo “conformante” descreve um material de revestimento no qual os ângulos do material subjacente são preservados pelo material conformante. O termo “cerca de” indica que o valor listado pode ser um pouco alterado, desde que a alteração does não resulte em não conformidade do processo ou estrutura para a implementação ilustrada. Finalmente, “exemplar” indica a descrição que é usada como um exemplo, ao invés de implicar que é uma ideal. Outras implementações dos presentes ensinamentos serão aparentes para aqueles especializados na técnica a partir da consideração da descrição e prática da invenção indicada aqui. Pretende-se que a descrição e os exemplos sejam considerados somente como exemplificativos, com um verdadeiro escopo e

Petição 870180052554, de 19/06/2018, pág. 41/55 / 34 espírito dos presentes ensinamentos sendo indicados pelas reivindicações que seguem.

[0083] Termos de posição relativa, quando usados neste pedido, são definidos com base em um plano paralelo ao plano convencional ou superfície de trabalho de uma peça de trabalho, independentemente da orientação da peça de trabalho. O termo “horizontal” ou “lateral”, quando usado neste pedido, é definido como um plano paralelo ao plano convencional ou superfície de trabalho de uma peça de trabalho, independentemente da orientação da peça de trabalho. O termo “vertical” se refere a uma direção perpendicular à horizontal. Termos, tais como “em”, “lateral” (como em “parede lateral”), “mais alto”, “mais baixo”, “sobre”, “superior”, e “inferior”, são definidos com relação ao plano convencional ou a superfície de trabalho sendo na superfície superior da peça de trabalho, independentemente de a orientação da peça de trabalho.

Claims (15)

1. REIVINDICAÇÕES

   1. Sistema de vácuo (100) para inspecionar uma peça de trabalho, o sistema de vácuo caracterizado pelo fato de que compreende:

   um alojamento (106) definindo pelo menos uma porção de uma câmara de vácuo (108);

   um pistão (112) dentro do alojamento, em que o pistão é configurado para oscilar, variando assim um volume de câmara da câmara de vácuo, em que o pistão (112) é configurado para se mover de uma primeira posição na qual o volume de câmara é um volume de câmara máximo, para uma segunda posição na qual o volume de câmara é um volume de câmara mínimo, e de volta para a primeira posição em uma faixa de frequência de 0,1 Hertz a 1000 Hertz;

   uma primeira válvula (118) em comunicação fluídica com a câmara de vácuo, em que a primeira válvula compreende uma primeira posição ou posição aberta que permite uma admissão de um gás na câmara de vácuo e um escape do gás para fora da câmara de vácuo, e uma segunda posição fechada que previne a admissão do gás na câmara de vácuo e o escape do gás para fora da câmara de vácuo através da primeira válvula;

   uma segunda válvula (120) em comunicação fluídica com a câmara de vácuo, em que a segunda válvula compreende uma posição aberta que permite a admissão do gás na câmara de vácuo e o escape do gás para fora da câmara de vácuo, e uma posição fechada que previne a admissão do gás na câmara de vácuo e o escape do gás para fora da câmara de vácuo através da segunda válvula, em que pelo menos uma da primeira válvula (118) ou da segunda válvula (120) é uma válvula pneumática de solenoide; e uma campânula (124) em comunicação fluídica com a segunda válvula e a câmara de vácuo, em que a segunda válvula, na posição aberta, permite um fluxo do gás entre a câmara de vácuo e a campânula e, na posição fechada, previne o fluxo do gás entre a câmara de vácuo e a campânula

   Petição 870180052554, de 19/06/2018, pág. 43/55
2. 2 / 6 através da segunda válvula, em que a campânula é configurada para ser posicionada sobre uma superfície (102) da peça de trabalho (104) durante uma aplicação de uma força de vácuo à superfície da peça de trabalho pelo sistema de vácuo durante a inspeção.

   2. Sistema de vácuo de acordo com a reivindicação 1, caracterizado pelo fato de que compreende adicionalmente um laser (128) configurado para ser ativado e desativado durante inspeção da peça de trabalho (104) em que, durante a ativação, o laser emite um feixe de laser (130) que ilumina a superfície (102) da peça de trabalho.
3. 3. Sistema de vácuo de acordo com a reivindicação 1, caracterizado pelo fato de que compreende adicionalmente uma câmera (132) configurada para formar imagens da superfície (102) da peça de trabalho (104) durante a inspeção da peça de trabalho.
4. 4. Sistema de vácuo de acordo com a reivindicação 1, caracterizado pelo fato de que compreende adicionalmente: um controlador (134) configurado para coordenar a operação do sistema de vácuo (100), do laser (128), da câmera (132), e do pistão (112) durante a inspeção da peça de trabalho (104).
5. 5. Sistema de vácuo de acordo com a reivindicação 1, caracterizado pelo fato de que compreende adicionalmente:

   uma câmara de acionador (110) definida pelo menos em parte pelo alojamento (106); e um acionador (116) acoplado ao pistão (112), posicionado dentro da câmara de acionador, e configurado para oscilar o pistão, em que o pistão separa a câmara de acionador da câmara de vácuo (108).
6. 6. Método (200) para inspecionar uma peça de trabalho, caracterizado pelo fato de que compreende:

   obter uma primeira imagem de uma superfície (102) da peça de trabalho (104) na pressão atmosférica [processo (204)];

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   3 / 6 aumentar uma pressão de vácuo aplicada à superfície da peça de trabalho da pressão atmosférica para uma primeira pressão de vácuo usando um sistema de vácuo (100) [processo (206)];

   obter uma segunda imagem da superfície da peça de trabalho na primeira pressão de vácuo [processo (208)];

   diminuir a pressão de vácuo aplicada à superfície da peça de trabalho da primeira pressão de vácuo para uma segunda pressão de vácuo que é mais baixa que a primeira pressão de vácuo e mais alta que a pressão atmosférica sem diminuir a pressão de vácuo para a pressão atmosférica [processo (212)];

   obter uma terceira imagem da superfície da peça de trabalho na segunda pressão de vácuo [processo (214)]; e aumentar a pressão de vácuo aplicada à superfície da peça de trabalho da segunda pressão de vácuo para uma terceira pressão de vácuo que é mais alta que a primeira pressão de vácuo sem diminuir a pressão de vácuo para a pressão atmosférica [processo (216)].
7. 7. Método de acordo com a reivindicação 6, caracterizado pelo fato de que a primeira imagem é uma primeira imagem de referência e o método compreende adicionalmente:

   iluminar a superfície (102) da peça de trabalho (104) usando um feixe de laser (130) emitido por um laser (128) enquanto a primeira pressão de vácuo é aplicada à superfície;

   realizar a obtenção da segunda imagem enquanto a superfície é iluminada com o feixe de laser, em que a segunda imagem é uma primeira imagem de inspeção da superfície;

   iluminar a superfície usando o feixe de laser enquanto a segunda pressão de vácuo é aplicada à superfície; e

   Petição 870180052554, de 19/06/2018, pág. 45/55

   4 / 6 realizar a obtenção da terceira imagem enquanto a superfície é iluminada com o feixe de laser, em que a terceira imagem é uma segunda imagem de referência.
8. 8. Método de acordo com a reivindicação 7, caracterizado pelo fato de que compreende adicionalmente remover a iluminação da superfície pelo feixe de laser (130) durante a diminuição da pressão de vácuo aplicada à superfície (102) da primeira pressão de vácuo para a segunda pressão de vácuo.
9. 9. Método de acordo com a reivindicação 7, caracterizado pelo fato de que compreende adicionalmente comparar a primeira imagem de inspeção com a primeira imagem de referência para detectar diferenças entre a primeira imagem de inspeção e a primeira imagem de referência, que indicariam defeitos na peça de trabalho [processo (220)].
10. 10. Método de acordo com a reivindicação 9, caracterizado pelo fato de que compreende adicionalmente detectar diferenças entre a primeira imagem de inspeção e a primeira imagem de referência, em que as diferenças entre a primeira imagem de inspeção e a primeira imagem de referência indicam descolamento de uma primeira camada de peça de trabalho a partir de uma segunda camada de peça de trabalho.
11. 11. Método de acordo com a reivindicação 6, caracterizado pelo fato de que o aumento da pressão de vácuo da pressão atmosférica para a primeira pressão de vácuo compreende:

    mover um pistão para aumentar um volume de uma câmara de vácuo e para aumentar uma pressão de vácuo de câmara dentro da câmara; e abrir uma válvula em comunicação fluídica com a câmara de vácuo e a superfície da peça de trabalho.
12. 12. Método de acordo com a reivindicação 11, caracterizado pelo fato de que a diminuição da pressão de vácuo da primeira pressão de vácuo para a segunda pressão de vácuo compreende:

    Petição 870180052554, de 19/06/2018, pág. 46/55

    5 / 6 mover o pistão (112) para diminuir o volume da câmara de vácuo (108) e para diminuir a pressão de vácuo de câmara dentro da câmara; e abrir a válvula (118, 120) em comunicação fluídica com a câmara de vácuo e a superfície da peça de trabalho.
13. 13. Método de acordo com a reivindicação 12, caracterizado pelo fato de que a válvula é uma primeira válvula pneumática de solenoide (118), e o método compreende adicionalmente:

    mover uma segunda válvula pneumática de solenoide (120) em comunicação fluídica com a câmara de vácuo de uma posição fechada para uma posição aberta; e injetar um gás na câmara de vácuo (108) através da segunda válvula pneumática de solenoide na posição aberta.
14. 14. Método de acordo com a reivindicação 6, caracterizado pelo fato de que:

    o aumento da pressão de vácuo aplicada à superfície (102) da peça de trabalho (104) da pressão atmosférica para a primeira pressão de vácuo compreende mover um pistão (112) para aumentar um volume de câmara de uma câmara de vácuo do sistema de vácuo (100) e para aumentar uma pressão de vácuo de câmara dentro da câmara de vácuo (108);

    a diminuição da pressão de vácuo aplicada à superfície da peça de trabalho da primeira pressão de vácuo para a segunda pressão de vácuo compreende mover o pistão para diminuir o volume de câmara da câmara de vácuo e para diminuir a pressão de vácuo de câmara dentro da câmara de vácuo;

    o aumento da pressão de vácuo aplicada à superfície da peça de trabalho da segunda pressão de vácuo para a terceira pressão de vácuo compreende mover o pistão para aumentar o volume de câmara da câmara de vácuo e para aumentar a pressão de vácuo de câmara dentro da câmara de vácuo; e

    Petição 870180052554, de 19/06/2018, pág. 47/55

    6 / 6 o aumento da pressão de vácuo da pressão atmosférica para a primeira pressão de vácuo, a diminuição da pressão de vácuo da primeira pressão de vácuo para a segunda pressão de vácuo, e o aumento da pressão de vácuo da segunda pressão de vácuo para a terceira pressão de vácuo é realizado em uma frequência de pelo menos 60 Hertz.
15. 15. Método de acordo com a reivindicação 6, caracterizado pelo fato de que a segunda pressão de vácuo é de ¼ a ¾ da primeira pressão de vácuo.