ATE536528T1 - Dreidimensionale formmessvorrichtung, programm und dreidimensionales formmessverfahren - Google Patents

Dreidimensionale formmessvorrichtung, programm und dreidimensionales formmessverfahren

Info

Publication number
ATE536528T1
ATE536528T1 AT06122485T AT06122485T ATE536528T1 AT E536528 T1 ATE536528 T1 AT E536528T1 AT 06122485 T AT06122485 T AT 06122485T AT 06122485 T AT06122485 T AT 06122485T AT E536528 T1 ATE536528 T1 AT E536528T1
Authority
AT
Austria
Prior art keywords
dimensional form
form measuring
target object
dimensional shape
program
Prior art date
Application number
AT06122485T
Other languages
English (en)
Inventor
Masaki Suwa
Yoshiro Ito
Daisuke Mitsumoto
Masanao Yoshino
Hiroyoshi Koitabashi
Yoshinobu Asokawa
Original Assignee
Omron Tateisi Electronics Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Omron Tateisi Electronics Co filed Critical Omron Tateisi Electronics Co
Application granted granted Critical
Publication of ATE536528T1 publication Critical patent/ATE536528T1/de

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G01B11/25—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object
    • G01B11/2518—Projection by scanning of the object
    • G01B11/2522—Projection by scanning of the object the position of the object changing and being recorded
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
    • G06T7/00—Image analysis
    • G06T7/50—Depth or shape recovery
    • G06T7/521—Depth or shape recovery from laser ranging, e.g. using interferometry; from the projection of structured light

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
AT06122485T 2005-10-20 2006-10-18 Dreidimensionale formmessvorrichtung, programm und dreidimensionales formmessverfahren ATE536528T1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005306448A JP2007114071A (ja) 2005-10-20 2005-10-20 三次元形状計測装置、プログラム、コンピュータ読み取り可能な記録媒体、及び三次元形状計測方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
ATE536528T1 true ATE536528T1 (de) 2011-12-15

Family

ID=37517862

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
AT06122485T ATE536528T1 (de) 2005-10-20 2006-10-18 Dreidimensionale formmessvorrichtung, programm und dreidimensionales formmessverfahren

Country Status (6)

Country Link
US (1) US7684052B2 (de)
EP (1) EP1777487B1 (de)
JP (1) JP2007114071A (de)
CN (1) CN1952595A (de)
AT (1) ATE536528T1 (de)
TW (1) TW200732622A (de)

Families Citing this family (56)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8659698B2 (en) * 2007-05-17 2014-02-25 Ilya Blayvas Compact 3D scanner with fixed pattern projector and dual band image sensor
JP2009014571A (ja) * 2007-07-05 2009-01-22 Omron Corp 三次元形状計測装置、三次元形状計測方法
JP2009031150A (ja) * 2007-07-27 2009-02-12 Omron Corp 三次元形状計測装置、三次元形状計測方法、三次元形状計測プログラム、および記録媒体
EP2026249B1 (de) 2007-08-10 2010-02-10 Sick Ag Aufnahme entzerrter Bilder bewegter Objekte mit gleichmässiger Auflösung durch Zeilensensor
JP5689681B2 (ja) * 2007-08-17 2015-03-25 レニショウ パブリック リミテッド カンパニーＲｅｎｉｓｈａｗ Ｐｕｂｌｉｃ Ｌｉｍｉｔｅｄ Ｃｏｍｐａｎｙ 非接触プローブ
DE102007048679A1 (de) 2007-10-10 2009-04-16 Sick Ag Vorrichtung und Verfahren zum Aufnehmen von Bildern von auf einer Fördereinrichtung bewegten Objekten
DE102007056207B4 (de) * 2007-11-22 2015-10-01 Robert Bosch Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Gewinnung einer 3D-Topographie
US20100039682A1 (en) * 2008-08-18 2010-02-18 Waterloo Industries, Inc. Systems And Arrangements For Object Identification
JP4715944B2 (ja) 2009-04-03 2011-07-06 オムロン株式会社 三次元形状計測装置、三次元形状計測方法、および三次元形状計測プログラム
WO2010134343A1 (ja) * 2009-05-21 2010-11-25 株式会社ニコン 形状測定装置、観察装置および画像処理方法
DE102010030883B4 (de) * 2009-07-03 2018-11-08 Koh Young Technology Inc. Vorrichtung zur Prüfung einer Platte und Verfahren dazu
JP2013500462A (ja) * 2009-07-24 2013-01-07 ボブスト ソシエテ アノニム 基体の表面に対するトポグラフィ装置
GB0915904D0 (en) * 2009-09-11 2009-10-14 Renishaw Plc Non-contact object inspection
DE102009059855A1 (de) * 2009-12-21 2011-06-22 Weber Maschinenbau GmbH, 35236 Abtasteinrichtung
JP5457825B2 (ja) * 2009-12-24 2014-04-02 ローランドディー．ジー．株式会社 ３次元形状計測方法および３次元形状計測装置
JP5460341B2 (ja) * 2010-01-06 2014-04-02 キヤノン株式会社 ３次元計測装置及びその制御方法
KR101078781B1 (ko) * 2010-02-01 2011-11-01 주식회사 고영테크놀러지 3차원 형상 검사방법
EP2362180B1 (de) * 2010-02-05 2016-01-27 Poly-clip System GmbH & Co. KG Verfahren zur Messung eines Abstellrahmens
WO2012005226A1 (ja) * 2010-07-05 2012-01-12 株式会社メガトレード 厚み検査装置
US20120086803A1 (en) * 2010-10-11 2012-04-12 Malzbender Thomas G Method and system for distance estimation using projected symbol sequences
JP5839971B2 (ja) * 2010-12-14 2016-01-06 キヤノン株式会社 情報処理装置、情報処理方法及びプログラム
US9666157B2 (en) * 2011-01-07 2017-05-30 3M Innovative Properties Company Application to measure display size
JP6170281B2 (ja) * 2011-05-10 2017-07-26 キヤノン株式会社 三次元計測装置、三次元計測装置の制御方法、およびプログラム
US9234843B2 (en) * 2011-08-25 2016-01-12 Alliance For Sustainable Energy, Llc On-line, continuous monitoring in solar cell and fuel cell manufacturing using spectral reflectance imaging
JP5986364B2 (ja) * 2011-10-17 2016-09-06 キヤノン株式会社 三次元形状計測装置、三次元形状計測装置の制御方法、およびプログラム
US9402036B2 (en) * 2011-10-17 2016-07-26 Rudolph Technologies, Inc. Scanning operation with concurrent focus and inspection
JP5984409B2 (ja) * 2012-02-03 2016-09-06 キヤノン株式会社 三次元計測システム及び方法
CN104541127B (zh) * 2012-07-30 2017-07-04 独立行政法人产业技术综合研究所 图像处理系统以及图像处理方法
TWI640745B (zh) * 2013-03-27 2018-11-11 日商尼康股份有限公司 Shape measuring device, structure manufacturing system, shape measuring method, structure manufacturing method, and computer reading medium on which shape measuring program is recorded
CN105452802B (zh) * 2013-07-19 2019-02-01 株式会社尼康 形状测定装置、构造物制造系统、形状测定方法、构造物制造方法、形状测定程序、以及记录介质
JP6198312B2 (ja) * 2013-09-30 2017-09-20 Ｊｕｋｉオートメーションシステムズ株式会社 ３次元測定装置、３次元測定方法および基板の製造方法
GB201407270D0 (en) * 2014-04-24 2014-06-11 Cathx Res Ltd 3D data in underwater surveys
JP6256249B2 (ja) * 2014-08-08 2018-01-10 オムロン株式会社 計測装置、基板検査装置、及びその制御方法
JP6456084B2 (ja) * 2014-09-24 2019-01-23 キヤノン株式会社 画像処理装置、画像処理方法及びプログラム
CN107923735B (zh) * 2015-08-17 2020-06-16 Qso干涉系统股份公司 用于推导物体表面的形貌的方法和设备
CN105180837A (zh) * 2015-08-28 2015-12-23 河北工业大学 一种横向非均匀条纹分区生成方法
JP2017083234A (ja) * 2015-10-26 2017-05-18 オムロン株式会社 三次元形状計測装置、三次元形状計測システム、プログラム、コンピュータ読み取り可能な記録媒体、および三次元形状計測方法
CN105387819B (zh) * 2015-12-27 2017-10-13 河北工业大学 基于条纹反射法的反光物体三维形貌测量方法及装置
CN106017355A (zh) * 2016-03-22 2016-10-12 武汉武大卓越科技有限责任公司 一种基于线结构光的三维测量传感器
US10799998B2 (en) * 2016-10-17 2020-10-13 Virtek Vision International Ulc Laser projector with flash alignment
US10480935B2 (en) 2016-12-02 2019-11-19 Alliance For Sustainable Energy, Llc Thickness mapping using multispectral imaging
JP2018146449A (ja) * 2017-03-07 2018-09-20 オムロン株式会社 ３次元形状計測装置及び３次元形状計測方法
CN108521825B (zh) * 2017-04-26 2022-03-29 深圳市柔宇科技股份有限公司 控制方法、控制装置和光学检测设备
CN111133283A (zh) * 2017-09-20 2020-05-08 浜松光子学株式会社 位置检测传感器和位置测量装置
JP6655589B2 (ja) * 2017-11-29 2020-02-26 三菱重工業株式会社 計測システム、加工システム、計測方法及びプログラム
US11297300B2 (en) 2018-01-29 2022-04-05 Samsung Electronics Co., Ltd. Robust structured-light patterns for 3D camera system
US11262192B2 (en) 2017-12-12 2022-03-01 Samsung Electronics Co., Ltd. High contrast structured light patterns for QIS sensors
US10740913B2 (en) 2017-12-12 2020-08-11 Samsung Electronics Co., Ltd. Ultrafast, robust and efficient depth estimation for structured-light based 3D camera system
CN107894215B (zh) * 2017-12-26 2020-05-08 东南大学 基于全自动曝光的高动态范围光栅投影三维测量方法
JP7224112B2 (ja) * 2018-05-21 2023-02-17 Juki株式会社 縫製システム
JP7052564B2 (ja) 2018-05-29 2022-04-12 オムロン株式会社 視覚センサシステム、制御方法およびプログラム
WO2020136885A1 (ja) * 2018-12-28 2020-07-02 ヤマハ発動機株式会社 三次元計測装置、及び、ワーク作業装置
JP7233261B2 (ja) * 2019-03-13 2023-03-06 キヤノン株式会社 ３次元測量装置、撮像装置、制御方法及びプログラム
TWI735953B (zh) 2019-09-18 2021-08-11 財團法人工業技術研究院 三維量測裝置與其操作方法
JP2022049269A (ja) * 2020-09-16 2022-03-29 セイコーエプソン株式会社 三次元形状計測方法および三次元形状計測装置
US20230366823A1 (en) * 2022-04-19 2023-11-16 Velocity Image Processing LLC Auto focus system for inspection of high-density parts

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4349277A (en) 1980-06-11 1982-09-14 General Electric Company Non-contact measurement of surface profile
JP2765151B2 (ja) * 1989-07-03 1998-06-11 株式会社デンソー ３次元形状測定方法
JPH03289505A (ja) * 1990-04-06 1991-12-19 Nippondenso Co Ltd ３次元形状測定装置
US5646733A (en) 1996-01-29 1997-07-08 Medar, Inc. Scanning phase measuring method and system for an object at a vision station
JP2002257528A (ja) * 2001-03-02 2002-09-11 Ricoh Co Ltd 位相シフト法による三次元形状測定装置
JP3629532B2 (ja) 2001-03-27 2005-03-16 国立大学法人 和歌山大学 連続移動物体のリアルタイム形状計測方法及びシステム
JP2004117186A (ja) 2002-09-26 2004-04-15 Mitsutoyo Corp ３次元形状測定装置
JP2005030848A (ja) * 2003-07-10 2005-02-03 Sumitomo Chem Co Ltd 表面検査のためのシミュレーション方法及び表面検査装置
JP4088230B2 (ja) * 2003-10-03 2008-05-21 新日本製鐵株式会社 表面検査システムにおける画像処理装置、表面検査方法、及びコンピュータプログラム
US7522289B2 (en) * 2004-10-13 2009-04-21 Solvision, Inc. System and method for height profile measurement of reflecting objects

Also Published As

Publication number Publication date
JP2007114071A (ja) 2007-05-10
EP1777487A2 (de) 2007-04-25
EP1777487A3 (de) 2008-04-23
TWI296324B (de) 2008-05-01
EP1777487B1 (de) 2011-12-07
US20070090189A1 (en) 2007-04-26
TW200732622A (en) 2007-09-01
CN1952595A (zh) 2007-04-25
US7684052B2 (en) 2010-03-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
ATE536528T1 (de) Dreidimensionale formmessvorrichtung, programm und dreidimensionales formmessverfahren
ATE459858T1 (de) Vermessungsinstrument und verfahren zur bereitstellung von vermessungsdaten mithilfe des vermessungsinstruments
WO2009078617A3 (en) Surface shape measuring system and surface shape measuring method using the same
ATE493633T1 (de) Verfahren und vorrichtung zur bestimmung der räumlichen koordinaten eines gegenstandes
CY1107631T1 (el) Συσκευη και μεθοδος μετρησεως οπτικων επιφανειων ελευθερας μορφης
DE502004002547D1 (de) Vorrichtung zum optischen Vermessen eines Objektes
DE602005012163D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur optischen inspektion eines gegenstands
EP1788345A4 (de) Bildverarbeitungsvorrichtung und bildverarbeitungsverfahren zur durchführung von 3d-messungen
CA2520269A1 (en) Moire aberrometer
JP2004535580A5 (de)
RU2009105666A (ru) Устройство для управления здоровьем
ATE524109T1 (de) Monitor
TW200728682A (en) Digital-structured micro-optic three-dimensional confocal surface profile measuring system and technique
ATE496276T1 (de) Messkopfsystem für eine koordinatenmessmaschine und verfahren zum optischen messen von verschiebungen eines tastelements des messkopfsystems
EP1580523A4 (de) Verfahren zur dreidimensionalen formmessung und einrichtungdafür
DE502007004432D1 (de) Verfahren und vorrichtung zum bestimmen von raumkoordinaten an einer vielzahl von messpunkten
WO2008058281A3 (en) Method and apparatus for obtaining the distance from an optical measurement instrument to and object under test
ATE498355T1 (de) Vorrichtung und verfahren zur messung der kollagendicke
DE102004017172A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Vermessung eines Messobjekts
DE602006004625D1 (de) System und Verfahren zur Bewusstseinsbestimmung
ATE508342T1 (de) Verfahren zur räumlichen vermessung sich schnell bewegender objekte
ATE409846T1 (de) Verfahren und vorrichtung zur erfassung der oberflächenform einer teilspiegelnden oberfläche
ATE382874T1 (de) Einrichtung zum scannen dreidimensionaler objekte
FR2905455B1 (fr) Procede de detection de l'orientation et de la position d'un objet dans l'espace.
ATE481665T1 (de) Verfahren zum messen eines objektes mit einem koordinatenmessgerät mit bildverarbeitungssensor