ATE456022T1 - Verfahren zur interferenzmessung und vorrichtung zur interferenzmessung - Google Patents

Verfahren zur interferenzmessung und vorrichtung zur interferenzmessung

Info

Publication number
ATE456022T1
ATE456022T1 AT01932130T AT01932130T ATE456022T1 AT E456022 T1 ATE456022 T1 AT E456022T1 AT 01932130 T AT01932130 T AT 01932130T AT 01932130 T AT01932130 T AT 01932130T AT E456022 T1 ATE456022 T1 AT E456022T1
Authority
AT
Austria
Prior art keywords
light
detected
light path
specified
path
Prior art date
Application number
AT01932130T
Other languages
English (en)
Inventor
Jun Kawakami
Hisashi Shiozawa
Original Assignee
Nikon Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nikon Corp filed Critical Nikon Corp
Application granted granted Critical
Publication of ATE456022T1 publication Critical patent/ATE456022T1/de

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G01B11/2441—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures using interferometry

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
AT01932130T 2000-05-22 2001-05-18 Verfahren zur interferenzmessung und vorrichtung zur interferenzmessung ATE456022T1 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000149533A JP4765140B2 (ja) 2000-05-22 2000-05-22 干渉計測方法および干渉計測装置
PCT/JP2001/004147 WO2001090689A1 (fr) 2000-05-22 2001-05-18 Procede et appareil pour mesurer les interferences

Publications (1)

Publication Number Publication Date
ATE456022T1 true ATE456022T1 (de) 2010-02-15

Family

ID=18655376

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
AT01932130T ATE456022T1 (de) 2000-05-22 2001-05-18 Verfahren zur interferenzmessung und vorrichtung zur interferenzmessung

Country Status (6)

Country Link
US (1) US6940605B2 (de)
EP (1) EP1298410B1 (de)
JP (1) JP4765140B2 (de)
AT (1) ATE456022T1 (de)
DE (1) DE60141140D1 (de)
WO (1) WO2001090689A1 (de)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006054975A1 (en) * 2004-11-12 2006-05-26 Medeikon Corporation Single trace multi-channel low coherence interferometric sensor
US7417740B2 (en) * 2004-11-12 2008-08-26 Medeikon Corporation Single trace multi-channel low coherence interferometric sensor
JP5153120B2 (ja) * 2006-11-02 2013-02-27 オリンパス株式会社 フリンジスキャン干渉縞計測方法および干渉計
JP2010281741A (ja) * 2009-06-05 2010-12-16 Nikon Corp ノイズ除去装置、ノイズ除去方法、ノイズ位置検出装置、ノイズ位置検出方法、測定システムおよびプログラム
JP5994186B2 (ja) * 2011-06-17 2016-09-21 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 変調信号検出装置及び変調信号検出方法

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07198319A (ja) * 1993-12-28 1995-08-01 Agency Of Ind Science & Technol リアルタイム位相シフト干渉計
JP3738457B2 (ja) * 1994-12-05 2006-01-25 株式会社ニコン 干渉測定装置及び干渉測定方法
ATA107495A (de) * 1995-06-23 1996-06-15 Fercher Adolf Friedrich Dr Kohärenz-biometrie und -tomographie mit dynamischem kohärentem fokus
JP3693771B2 (ja) * 1996-11-13 2005-09-07 オリンパス株式会社 形状測定方法および装置
JPH10253892A (ja) * 1997-03-11 1998-09-25 Olympus Optical Co Ltd 位相干渉顕微鏡
US6137585A (en) 1998-05-15 2000-10-24 Laser Diagnostic Technologies, Inc. Method and apparatus for recording three-dimensional distribution of light backscattering potential in transparent and semi-transparent structures

Also Published As

Publication number Publication date
JP4765140B2 (ja) 2011-09-07
EP1298410A4 (de) 2009-01-14
EP1298410A1 (de) 2003-04-02
EP1298410B1 (de) 2010-01-20
DE60141140D1 (de) 2010-03-11
JP2001330409A (ja) 2001-11-30
US6940605B2 (en) 2005-09-06
WO2001090689A1 (fr) 2001-11-29
US20030174342A1 (en) 2003-09-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
ATE407430T1 (de) Optische vorrichtung zur messung von modulierten lichtsignalen
DE50205015D1 (de) Überwachungsverfahren und optoelektronischer Sensor
ATE520042T1 (de) Verfahren und vorrichtung zur entfernungsmessung
DE60011389D1 (de) Optisches kohärenzmikroskop und verfahren zur schnellen 3d-in-vivo -visualisierung biologischer funktionen
DE59908245D1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Objektuntersuchung
ATE384962T1 (de) Verfahren zur erfassung von windgeschwindigkeiten mit einem doppler-lidar-system, insbesondere an bord von flugzeugen, und doppler-lidar-system
ATE398858T1 (de) Verfahren und vorrichtung zur selbstüberwachung von näherungsschaltern
DE50214827D1 (de) Verfahren und Anordnung zur tiefenaufgelösten optischen Erfassung einer Probe
ATE193597T1 (de) Zeitaufgelöste optische sensorarrays und ccd- kameras zur frequenzbereich-fluorimetrie und/oder phosphorimetrie
ATE248366T1 (de) Vorrichtung und verfahren zur messung des bräunungsgrades eines gargutes
ATE400801T1 (de) Vorrichtung zur erfassung oder erzeugung optischer signale
DE69904122D1 (de) Verfahren und Vorrrichtung zur Messung des Blutzuckerspiegels
ATE456022T1 (de) Verfahren zur interferenzmessung und vorrichtung zur interferenzmessung
SE0400586D0 (sv) Method and apparatus for object alignment
WO2003060422A3 (de) Interferometrische optische anordnung
DE602005001259D1 (de) Optischer Sender und Verfahren zur Modulation eines optischen Signals
US6876497B2 (en) Color-simulating apparatus
WO2002010705A3 (en) Electromagnetic and optical analyzer
DE59912707D1 (de) Lichtkontrasttaster
ATE225546T1 (de) Verfahren zur echtheitsprüfung eines hologramms und lesegerät zur durchführung des verfahrens
ATE520211T1 (de) Vorrichtung zur verminderung des optischen signalrauschens und dazugehöriges verfahren
DE50201880D1 (de) Verfahren zum Betrieb eines optischen Codelesers
SU800705A1 (ru) Способ измерени температуры иуСТРОйСТВО дл ЕгО ОСущЕСТВлЕНи
ATE53907T1 (de) Oberflaechenmessung.
EP1256789A3 (de) Vorrichtung und Verfahren zum messen von optischen Signalen mittels optischer Bemusterung

Legal Events

Date Code Title Description
RER Ceased as to paragraph 5 lit. 3 law introducing patent treaties