ATE332990T1 - Vorrichtung und verfahren zur herstellung eines einkristallstabs - Google Patents

Vorrichtung und verfahren zur herstellung eines einkristallstabs

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ATE332990T1
ATE332990T1 AT04708718T AT04708718T ATE332990T1 AT E332990 T1 ATE332990 T1 AT E332990T1 AT 04708718 T AT04708718 T AT 04708718T AT 04708718 T AT04708718 T AT 04708718T AT E332990 T1 ATE332990 T1 AT E332990T1
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rod
feed
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chamber
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Leif Jensen
Jan Eyving Petersen
Per Vabengard
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Topsil Semiconductor Materials
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
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