AT398855B - Mikroskopobjektiv zur einstellung auf unterschiedliche deckglasdicken - Google Patents

Description

AT 398 855 B

Die Erfindung betrifft ein Mikroskopobjektiv mit einem Abbildungsmaßstab zwischen 32x und 60x, einer Apertur von mindestens 0,5 und einer Einrichtung zur Einstellung auf unterschiedliche Deckglasdicken.

Die Berechnung von Mikroskopobjektiven erfordert ab einer bestimmten Apertur die Einbeziehung des Deckglases, bzw. eines Deckglases mit vorgegebener Dicke in die Korrektur des Gesamtobjektivs. Denn 5 das Deckglas bzw. die Abweichung von der vorgegebenen Dicke beeinflußt den Öffnungsfehler (sphärische Aberration) des Objektivs.

Da sich bei höheraperturigen Objektiven auch kleine Deckglasdifferenzen bereits merkbar als Verschlechterung des mikroskopischen Bildes auswirken, sind schon seit längerer Zeit Korrektionsfassungen bekannt, die eine Einstellung auf unterschiedliche Deckglasdicken erlauben. Solche Korrektionsfassungen, 10 wie sie beispielsweise in der AT-PS 170 000 sowie der DE-OS 36 02 730 beschrieben sind, ändern den Luftabstand des in zwei Linsengruppen aufgeteilten Objektivs. In der Regel wird hiebei die hintere Linsengruppe verschoben, während die vordere Linsengruppe feststeht. Durch diesen Eingriff wird auf die sphärische Aberration des Objektivs eingewirkt und somit der Einfluß einer abweichenden Deckglasdicke kompensiert. 75 Es sind auch Objektive mit Korrektionsfassungen bekannt, die eine Einstellung über einen relativ großen Bereich der Deckglasdicke von 1 bis 2 mm erlauben. Solche Objektive werden beispielsweise in der. Zellforschung benötigt, wo die Objekte auf inversen Mikroskopen plaziert und durch den Boden des Kulturgefäßes hindurch beobachtet werden. Objektive für diesen Anwendungszweck sind beispielsweise in der DE-OS 31 13 802 und der US-PS 46 66 256 beschrieben. Diese Objektive sehen ebenso wie das in der 20 DE-PS 10 37 719 beschriebene Objektiv eine zwischen zwei feststehenden Linsengruppen verschiebbare Linse bzw. Linsengruppe vor. Hiebei ändern sich zwei Luftabstände gleichzeitig: Während die Änderung des einen Luftabstandes zur Korrektur des durch das Deckglas eingeführten sphärischen Fehlers dient, soll einer durch diese Verschiebung herbeigeführten Verschlechterung der Feldkorrektion (Astigmatismus) durch die gleichzeitig stattfindende zweite Abstandsänderung entgegengewirkt werden. 25 Aus der genannten DE-PS 10 37 719 ist es außerdem bekannt, gleichzeitig mit der Korrekturbewegung das gesamte Objektiv zum Zwecke der Fokusnachstellung zu bewegen.

Mit den bekannten Maßnahmen lassen sich in dem interessierenden Leistungsbereich, d.h. einem Abbildungsmaßstab zwischen 32-fach und 60-fach und einer Apertur zwischen 0,5 und 0,7, jedoch nur geringe Deckglasdickendifferenzen von ca. 1 mm korrigieren. Das für eine Deckglasdickendifferenz von 2 30 mm angegebene Objektiv 40/0,55 in der DE-OS 31 13 802 hingegen weist Bildfehler, insbesondere Astigmatismus auf, wie sie für ein Planobjektiv mit geebnetem Bildfeld eigentlich nicht tolerierbar sind.

Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Mikroskopobjektiv mit einer Einrichtung zur Einstellung auf unterschiedliche Deckglasdicken zu schaffen, das bei gieichbleibend guter Korrektion der Bildfehler eine Einstellung auf stark unterschiedliche Deckglasdicken erlaubt. 35 Bei einem Mikroskopobjektiv mit einem Abbildungsmaßstab zwischen 32x und 60x, einer Apertur von mindestens 0,5 und einer Einrichtung zur Einstellung auf unterschiedliche Deckglasdicken, wobei zwischen einer feststehenden ersten Linse bzw. Linsengruppe und einer dritten ebenfalls feststehenden Linse bzw. Linsengruppe eine zweite Linse bzw. Linsengruppe verschiebbar ist, wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß eine der dritten Linse bzw. Linsengruppe nachgereihte weitere Linse bzw. Linsengruppe zur Feldkorrek-40 tion gegenläufig zur zweiten Linse bzw. Linsengruppe des Objektivs verschiebbar angeordnet ist.

Diese weitere Linse bzw. Linsengruppe ist zweckmäßig als ein Kittglied mit negativer Brechkraft ausgeführt. Da sich eine Änderung des Luftabstandes zwischen der feststehenden dritten Linse bzw. Linsengruppe und diesem negativen Kittglied auf die Feldkorrektion des Objektivs, insbesondere den Astigmatismus, auswirkt und den sphärischen Fehler im wesentlichen ungeändert läßt, können die beiden 45 Fehleranteile durch Verschieben der beiden Linsen bzw. Linsengruppen unabhängig voneinander optimiert werden, so daß sich eine gute Korrektion über einen weiten Bereich von Deckglasdickenänderungen ergibt.

Es hat sich gezeigt, daß keine komplizierten Bewegungsabläufe zwischen den beiden Linsengliedern erforderlich sind. Bei einem vorteilhaften Ausführungsbeispiel sind die Bewegungen der beiden verschiebbaren Linsen bzw. Linsengruppen linear. Dies läßt sich beispielsweise durch Gewinde unterschiedlicher 50 Steigung bewerkstelligen, oder durch Nocken, die in entsprechende Nuten mit konstanter aber unterschiedlicher Steigung in einem drehbaren Zwischenring der Linsenfassung eingreifen.

Vorzugsweise ist desweiteren der Bewegungshub der weiteren Linse bzw. Linsengruppe größer als der Hub der zweiten Linse bzw. Linsengruppe. Dabei sind die Bewegungshübe mindestens um einen Faktor drei unterschiedlich. 55 Da zwischen den beiden verschiebbaren Linsen bzw. Linsengruppen eine feststehende Linse bzw. Linsengruppe angeordnet ist, kann diese als Zentrierlinse zum Ausgleich von Fertigungstoleranzen bei der Montage des Objektivs verwendet werden. Die Fassung, in der die dritte Linse bzw. Linsengruppe aufgenommen ist, ist deshalb eine Zentrierfassung. Außerdem kann diese Linse als Träger für einen 2

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Phasenring benutzt werden. Beim Phasenkontrastfahren ist es wichtig, die Stellung des Phasenringes im Objektiv konstant zu halten, damit die Abbildungsbedingung zwischen der Blende im Kondensor und dem Phasenring im Objektiv auch bei unterschiedlichen Deckglasdicken gut eingehalten bleibt.

Es ist weiterhin vorteilhaft, wenn ein einziger Betätigungsring vorgesehen ist, der gleichzeitig die gegenläufigen Bewegungen der beiden Linsen bzw. Linsengruppen zur Deckglasdickenkorrektur und eine Bewegung des Gesamtobjektivs zur Fokusnachstellung bewirkt. Dadurch läßt sich das Objektiv besonders leicht handhaben. Die Einrichtung zur Einstellung auf unterschiedliche Deckglasdicken kann dazu aus zwei mit den jeweiligen Linsenfassungen der beiden verschiebbaren Linsen bzw. Linsengruppen verbundenen Nocken bestehen, die in zwei in einem Zwischenring vorgesehene Nuten mit konstanter, aber unterschiedlicher Steigung eingreifen. Desweiteren kann der Zwischenring über einen Nocken in eine Ausnehmung des Betätigungsringes eingreifen und mit diesem gekoppelt sein und zur Fokusnachstellung ein Innengewinde an dem Zwischenring vorgesehen sein.

Die beiden feststehenden Linsen bzw. Linsengruppen können positive Einzellinsen sein. Die verschiebbare zweite Linse bzw. Linsengruppe kann eine Linsengruppe mit positiver Brechkraft sein.

Bei einem besonders vorteilhaften Ausführungsbeispiel ist das Objektiv ein Planachromat und in Lichteinfallsrichtung gesehen aus einer Frontlinse in Form einer konkav-konvexen Sammellinse, aus einer weiteren konkav-konvexen Einzellinse im Abstand zur Frontlinse, aus einem Kittglied aus drei Linsen, wobei die mittlere Linse eine bikonvexe Sammellinse ist, die von einer konvex-konkaven und einer konkavkonvexen Zerstreuungslinse eingeschlossen ist, aus einer bikonvexen Einzellinse im Abstand zum Kittglied und aus einem aus einer bikonvexen Sammellinse und einer bikonkaven Zerstreuungslinse bestehenden Kittglied im Abstand zur bikonvexen Sammellinse aufgebaut.

In konkreten Ausführungsbeispielen besitzt das Objektiv die in einer der Tabellen 1,11 oder III gegebenen Daten für die Linsenradien r, Linsendicken und Abstände d, Brechungsindices nd und Abbezahlen v d der verwendeten Gläser.

Da die Frontlinse des Objektivs an der Einstellbewegung auf unterschiedliche Deckglasdicken nicht teiinimmt sondern feststeht, kann das Objektiv außerdem gut abgedichtet werden.

Weitere Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der nachstehenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen anhand der Fig. 1-3c der beigefügten Zeichnungen. Fig. 1 zeigt ein Objektiv gemäß der Erfindung mit seiner Fassung im Schnitt im Maßstab 1:3; Fig. 2a, 2b und 2c zeigen Linsenschnitte des Objektivs aus Fig. 1 bei Einstellung auf Deckglasdicke D = 0 (Fig. 2a), Deckglasdicke D = 1 mm (Fig. 2b) und Deckglasdicke D = 2 mm (Fig. 2c); Fig. 3a, 3b und 3c stellen die Korrektionskurven für die Bildfehler des Objektivs bei Einstellung auf die drei genannten Deckglasdicken dar.

Das in Fig. 1 und 2 dargestellte Objektiv ist ein Planachromat mit einem Abbildungsmaßstab von 40x und einer Apertur von 0,6. Es besitzt eine feststehende Frontlinse L1. Diese ist, wie für Objektive im angegebenen Leistungsbereich üblich, als konkav-konvexe Sammellinse ausgebildet. Auf die Frontlinse L1 folgt eine konkav-konvexe Einzellinse L2 sowie ein aus drei Linsen bestehendes Kittglied L3. Das Kittglied L3 besteht aus einer bikonvexen Sammellinse zwischen je einer konvex-konkaven und einer konkavkonvexen Negativlinse. Die aus den beiden Linsengliedern L2 und L3 bestehende Linsengruppe ist, wie noch beschrieben wird, entlang der optischen Achse verschiebbar.

An das Linsenglied L3 schließt sich eine bikonvexe Einzellinse L4 an. Diese Linse L4 ist ebenso wie die Frontlinse L1 feststehend. Den bildseitigen Abschluß des Objektivs bildet ein weiteres, ebenfalls längs der optischen Achse verschiebbares Unsenglied L5. Das Linsenglied L5 ist ein Kittglied und besteht aus einer bikonvexen Positivlinse und einer bikonkaven Negativlinse. Es besitzt insgesamt eine negative Brennweite und dient zur Feldkorrektion des Objektivs, d.h. es beseitigt insbesondere den Astigmatismus, der auftritt, wenn die aus den beiden Linsengliedern L2 und L3 bestehende Linsengruppe axial verschoben wird.

Die Fassung des in Fig. 1 dargestellten Objektivs besitzt einen äußeren, gehäusefesten Ring 1, der mit dem Anschraubgewinde 2 des Objektivs versehen ist. In diesen Ring 1 ist ein weiterer feststehender Ring 3 eingeschraubt. Dieser Ring 3 trägt das Innengewinde 5 für einen dort drehbar angeschraubten Zwischenring 4. Der Zwischenring 4 ist mit einem Nocken 7 versehen, der in eine Ausnehmung eines um den Ring 3 gelegten Betätigungsringes 6 eingreift.

Der drehbare Zwischenring 4 trägt außerdem zwei spiralförmige Nuten mit gegenläufiger und unterschiedlich steiler Steigung. In diese Nuten greifen einmal der an der Fassung 16 für das Linsenglied L5 befestigte Nocken 17 sowie der an der Schiebefassung 12 für die Abschlagsfassungen 13 und 14 der beiden Linsenglieder L3 und L2 angeschraubte Nocken 15 ein. Die Nocken 17 und 15 greifen außerdem durch axiale Schlitze im Fassungsring 8 und die darum gelegte Trägerhüise 11 hindurch. Die Trägerhüise. 11 nimmt neben der Fassung 10 für die Frontlinsengruppe auch alle anderen Linsenfassungen 9,12,16 auf und ist mit Hilfe eines daran angebrachten Nockens 18, der in einen Schlitz im feststehenden Ring 5 eingreift, gegen Verdrehung gesichert. Somit ist sichergestellt, daß sich die Linsenglieder des Objektivs bei 3

Claims (13)

1. AT 398 855 B einer Drehung des Betätigungsringes 6 zwar axial verschieben, jedoch nicht mitdrehen. Wenn der Ring 6 zur Einstellung auf unterschiedliche Deckglasdicken gedreht wird, dann führen die beiden Linsenglieder L2/L3 und L5 eine gegenläufige Bewegung längs der optischen Achse aus, wobei der Hub des Linsengliedes L5 etwa dreimal so groß wie der Hub der Linsengruppe L2/L3 ist. Gleichzeitig 5 bewegt sich die Trägerhülse 11 mit dem gesamten Objektiv entlang der optischen Achse. Dies wird in der Darstellung nach Fig. 2a, 2b und 2c deutlich, in denen die Verhältnisse bei Einstellung auf Deckglasdicke 0 (Fig. 2a), auf eine mittlere Deckglasdicke von D = 1 mm (Fig. 2b) und Einstellung auf eine Deckglasdicke von D = 2 mm (Fig. 2c) dargestellt sind. Hiebei ändern sich neben dem Arbeitsabstand des Objektivs drei weitere Luftabstände, nämlich d2, d8 und d10. Mit Hilfe dieser Parameter läßt sich eine gleichbleibend gute io Bildfehlerkorrektur über den gesamten Bereich der Deckglasdickenschwankung von 2 mm erzielen. In der Tabelle I des Anspruchs 13 sind die Parameter des Objektivs mit einem Abbildungsmaßstab von 40x und einer Apertur von 0,6 aufgeführt, wie es in Fig. 1 bzw. Fig. 2 dargestellt ist. In der Tabelle sind mit d die Dicken der Linsen und die Luftabstände und mit r die Krümmungsradien der Linsenflächen bezeichnet und wie in Fig. 2a bzw. 2b fortlaufend numeriert, nd bezeichnet die Brechungsindices und v d 15 die Abbezahlen der Gläser. In den Fig. 3a bis 3c sind die Bildfehler dieses Objektivs, nämlich sphärische Aberration, Astigmatismus und Verzeichnung für die drei genannten Deckglasdicken D = 0, D = 1 mm und D = 2 mm dargestellt. Die sphärische Aberration und der Astigmatismus sind in mm angegeben, während die Verzeichnung in Prozent angegeben ist. Astigmatismus und Verzeichnung sind über den gesamten Bildfelddurchmesser von 20 25 mm dargestellt. Wie man erkennt besitzt das Objektiv für alle drei Deckglasdicken sehr gut korrigierte Werte, die über das gesamte Bildfeld unter der Sichtbarkeitsgrenze liegen. Das Objektiv kann deshalb mit Recht als Planachromat bezeichnet werden. Es soll an dieser Stelle noch hervorgehoben werden, daß die Beibehaltung der guten Korrektionseigen-25 schäften über den gesamten Bereich der Deckglasdicke keinen übermäßigen fertigungstechnischen Aufwand erfordert, denn alle Bewegungsabläufe in der Fassung erfolgen linear, so daß keine komplizierten Kurvenkörper gefertigt und justiert werden müssen. In der Tabelle II des Anspruchs 13 sind die Parameter eines Objektivs mit einem Abbildungsmaßstab von 32x und einer Apertur von 0,55 und in der Tabelle III die Parameter für ein drittes Objektiv mit einem 30 Abbildungsmaßstab von 50x und einer Apertur von 0,65 angegeben. Diese beiden Objektive sind ebenfalls Planachromaten und zeichnen sich durch eine ähnlich gute Bildfehlerkorrektion aus wie das mit Linsenschnitt und Korrektionskurven dargestellte Objektiv 40/0,60. Auch den beiden Objektiven nach Tabelle II und Tabelle III liegt der in Anspruch 12 angegebene prinzipielle Aufbau zugrunde, d.h. sie bestehen ebenfalls aus acht Linsen in vier Gruppen, wobei die aus der Einzellinse L2 und dem Kittglied L3 bestehende zweite 35 Linsengruppe und die aus dem Kittglied L5 bestehende vierte Linsengruppe gegenläufig zueinander verschiebbar sind. Der Linsenschnitt dieser beiden. Objektive entspricht deshalb im wesentlichen dem nach Fig. 2 a-c, so daß auf eine nochmalige Darstellung an dieser Stelle verzichtet werden kann. Patentansprüche 40 1. Mikroskopobjektiv mit einem Abbildungsmaßstab zwischen 32x und 60x, einer Apertur von mindestens 0,5 und einer Einrichtung zur Einstellung auf unterschiedliche Deckglasdicken, wobei zwischen einer feststehenden ersten Linse bzw. Linsengruppe (L1) und einer dritten ebenfalls feststehenden Linse bzw. Linsengruppe (L4) eine zweite Linse bzw. Linsengruppe (L2/L3) verschiebbar angeordnet ist, dadurch 45 gekennzeichnet, daß eine der dritten Linse bzw. Linsengruppe (L4) nachgereihte weitere Linse bzw. Linsengruppe (L5) zur Feldkorrektion gegenläufig zur zweiten Linse bzw. Linsengruppe (L2/L3) verschiebbar angeordnet ist.
2. 2. Mikroskopobjektiv nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Bewegungen der beiden so verschiebbaren Linsen bzw. Linsengruppen (L2/L3;L5) linear sind.
3. 3. Mikroskopobjektiv nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Bewegungshub der weiteren Linse bzw. Linsengruppe (L5) größer als der Hub der zweiten Linse bzw. Linsengruppe (L2/L3) ist.
4. 4. Mikroskopobjektiv nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Bewegungshübe mindestens um einen Faktor drei unterschiedlich sind. 4 AT 398 855 B
5. 5. Mikroskopobjektiv nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein einziger Betätigungsring (6) vorgesehen ist, der gleichzeitig die gegenläufigen Bewegungen der beiden Linsen bzw. Linsengruppen (L2/L3;L5) zur Deckglasdickenkorrektur und eine Bewegung des Gesamtobjektivs zur Fokusnachstellung bewirkt.
6. 6. Mikroskopobjektiv nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung zur Einstellung auf unterschiedliche Deckglasdicken (D) aus zwei mit den jeweiligen Linsenfassungen (13,14;16) der beiden verschiebbaren Linsen bzw. Linsengruppen (L2,L3;L5) verbundenen Nocken (15,17) besteht, die in zwei in einem Zwischenring (4) vorgesehene Nuten mit konstanter, aber unterschiedlicher Steigung eingreifen.
7. 7. Mikroskopobjektiv nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Zwischenring (4) über einen Nocken (7) in eine Ausnehmung des Betätigungsringes (6) eingreift und mit diesem gekoppelt ist und daß zur Fokusnachstellung ein Innengewinde (5) an dem Zwischenring (4) vorgesehen ist.
8. 8. Mikroskopobjektiv nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Fassung, in der die dritte Linse bzw. Linsengruppe (L4) aufgenommen ist, eine Zentrierfassung (9) ist.
9. 9. Mikroskopobjektiv nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden feststehenden Linsen bzw. Linsengruppen (L1 ,L4) positive Einzellinsen sind.
10. 10. Mikroskopobjektiv nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die verschiebbare zweite Linse bzw. Linsengruppe (L2/L3) eine Linsengruppe mit positiver Brechkraft ist.
11. 11. Mikroskopobjektiv nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die gleichzeitig verschiebbare weitere Linse bzw. Linsengruppe (L5) ein Kittglied mit negativer Brechkraft ist.
12. 12. Mikroskopobjektiv nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Objektiv ein Planachromat ist und in Lichteinfallsrichtung gesehen aus einer Frontlinse (L1) in Form einer konkav-konvexen Sammellinse, aus einer weiteren konkav-konvexen Einzellinse (L2) im Abstand (d2) zur Frontlinse, aus einem Kittglied (L3) aus drei Linsen, wobei die mittlere Linse eine bikonvexe Sammellinse ist, die von einer konvex-konkaven und einer konkav-konvexen Zerstreuungslinse eingeschlossen ist, aus einer bikonvexen Einzellinse (L4) im Abstand (d8) zum Kittglied (L3), und aus einem aus einer bikonvexen Sammellinse und einer bikonkaven Zerstreuungslinse bestehenden Kittglied (L5) im Abstand (d10) zur bikonvexen Sammellinse (L4) aufgebaut ist.
13. 13. Mikroskopobjektiv nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß das Objektiv die in einer der drei nachstehenden Tabellen l,ll oder III angegebenen Daten für die Linsenradien r, Linsendicken und Abstände d, Brechungsindices nd und Abbezahlen v d der verwendeten Gläser besitzt: 5 AT 398 855 B Tabelle I Linse Radius Dicke Abstand Brechungs- Abbe2ahl 5 γ/ob d/am d/aa index nd ^ d r1 = -3.566 L1 d1 = 3.24 1.5205 69.7 10 r2 = -3.839 d2=1.43 bis 0.48 r3 = -659.4 L2 d3 = 2.50 1.5891 61.3 15 r4 = -10.96 d4 = 0.62 r5 = 48.448 c'5 = 1.0 1.6134 44.3 r6 = 7.515 20 L3 r7 = -8.485 d6 = 4.7 1.4866 84.5 d7 = 1.0 1.8807 41.0 r8 = -24.36 25 14 r9 = 17.013 69 = 3/0 d8=0.20 bis 1/13 1.5283 77.0 30 r10 = -25.925 d10=15.75 bis 19.06 r11 = 8.593 d11 = 4.0 1.4585 67.7 L5 r12 = -29.03 d12 = 1.5 1.6967 56.4 35 r13 = 5.975 Deckglas 0 bis 2 na Abbildungsmaßstab 8 = 40x Arbeitsabstand W =2.7an bis 1.5 an Numerische Apertur A = 0.6 40 50 6 55 AT 398 855 B Tabelle II Linse Radius r/no Dicke d/aa Abstand d/an Breehungs-index nd Abbezahl Vd r1 = -2.751 LI r2 = -3.110 d1 = 2.05 1.5205 69.7 r3 = -132.1 d2=1.44 bis 0.21 L2 r4 = -7.032 d3 = 2.15 1.4866 84.5 r5 = 34.383 d4 = 3.38 r6 = 9.040 dS = 2.0 1.5986 46.9 13 r7 = -7.766 d6 = 5.0 1.4866 34.5 r8 = -17.974 c7 = 1.0 1.8807 41.0 r9 = 15.281 d8=3.73 bis 4.96 L4 r10 = -163.8 d9 = 3.0 1.4866 84.5 r11 = 5.862 b10=10.48 bis 15.07 L5 Π2 = -21.964 d11 = 3.9 1.4875 70.4 Π3 = 4.273 d12 = 1.0 1.6228 56.9 Deckglas 0 bis 2 ikm Arbeitsabstand V = 2.4aa bis 1.55oa Abbildungsaaßstab 8 = 32x Nunerisehe Apertur A * 0.55 Tabelle III Linse Radius r/orn Dicke d/nm Abstand d/an Breehungs-index nd Abbezahl y d L1 r1 = -3.563 r2 = -3.091 r3 = -354.6 d1 = 2.21 d2=1.40 bis 0.11 1.5205 69.7 7 10 12 15 20 25 30 35 40 45 50 L3 L4 U5 r4 = -5.262 r5 * 39.776 r6 = 8.778 r7 = -6.945 r3 = -17.314 r9 = 13.398 r10 = -54.136 r11 = 5.143 r12 = -10.086 r13 = 3.927 AT 398 855 B 63 = 2.22 <55 = 0.9 <56 * 4.63 <57 = 1.02 <59 = 3.4 dl1 = 3.87 <512 = 1.24 <54 = 0.9 48=0.19 bis 1.48 <510=13.85 bis 20.3C 1.4866 1.6134 1.4866 1.8807 1.4866 1.4585 1.6511 34.5 44.3 84.5 41.0 84.5 67.7 55.6 Deckglas 0 bis 2 υλ*λ Arbeitsabstand V = 2.35mn bis 1.3aa Abbildungsaaßstab 8 = 50* Nuaerische Apertur A = 0.65 Hiezu 5 Blatt Zeichnungen 8 55