JP2005537502A - マイクロエレクトロニクスの用途のための現像液に可溶なアルコキシド金属塗布膜 - Google Patents
マイクロエレクトロニクスの用途のための現像液に可溶なアルコキシド金属塗布膜 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005537502A JP2005537502A JP2004516000A JP2004516000A JP2005537502A JP 2005537502 A JP2005537502 A JP 2005537502A JP 2004516000 A JP2004516000 A JP 2004516000A JP 2004516000 A JP2004516000 A JP 2004516000A JP 2005537502 A JP2005537502 A JP 2005537502A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- group
- composition
- polymer
- metal
- solvent
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/26—Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08G—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
- C08G79/00—Macromolecular compounds obtained by reactions forming a linkage containing atoms other than silicon, sulfur, nitrogen, oxygen, and carbon with or without the latter elements in the main chain of the macromolecule
- C08G79/10—Macromolecular compounds obtained by reactions forming a linkage containing atoms other than silicon, sulfur, nitrogen, oxygen, and carbon with or without the latter elements in the main chain of the macromolecule a linkage containing aluminium
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08G—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
- C08G79/00—Macromolecular compounds obtained by reactions forming a linkage containing atoms other than silicon, sulfur, nitrogen, oxygen, and carbon with or without the latter elements in the main chain of the macromolecule
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08L—COMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
- C08L85/00—Compositions of macromolecular compounds obtained by reactions forming a linkage in the main chain of the macromolecule containing atoms other than silicon, sulfur, nitrogen, oxygen and carbon; Compositions of derivatives of such polymers
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/09—Photosensitive materials characterised by structural details, e.g. supports, auxiliary layers
- G03F7/091—Photosensitive materials characterised by structural details, e.g. supports, auxiliary layers characterised by antireflection means or light filtering or absorbing means, e.g. anti-halation, contrast enhancement
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S430/00—Radiation imagery chemistry: process, composition, or product thereof
- Y10S430/1053—Imaging affecting physical property or radiation sensitive material, or producing nonplanar or printing surface - process, composition, or product: radiation sensitive composition or product or process of making binder containing
- Y10S430/1055—Radiation sensitive composition or product or process of making
- Y10S430/106—Binder containing
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S430/00—Radiation imagery chemistry: process, composition, or product thereof
- Y10S430/1053—Imaging affecting physical property or radiation sensitive material, or producing nonplanar or printing surface - process, composition, or product: radiation sensitive composition or product or process of making binder containing
- Y10S430/1055—Radiation sensitive composition or product or process of making
- Y10S430/106—Binder containing
- Y10S430/11—Vinyl alcohol polymer or derivative
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S430/00—Radiation imagery chemistry: process, composition, or product thereof
- Y10S430/1053—Imaging affecting physical property or radiation sensitive material, or producing nonplanar or printing surface - process, composition, or product: radiation sensitive composition or product or process of making binder containing
- Y10S430/1055—Radiation sensitive composition or product or process of making
- Y10S430/106—Binder containing
- Y10S430/111—Polymer of unsaturated acid or ester
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S430/00—Radiation imagery chemistry: process, composition, or product thereof
- Y10S430/151—Matting or other surface reflectivity altering material
Abstract
【化1】
Description
発明の分野
本発明は、マイクロエレクトロニクス・デバイスの製造に用いる新規な反射防止組成物に関する。本発明の組成物は、高分子アルコキシド金属を含み、且つ、ウェットのフォトレジスト現像機において現像可能である。
集積回路の製造業者は、歩留りの向上、ユニットケースの小型化、およびオンチップの計算能力の増加のために、基板ウェハサイズを大口径化し、かつデバイスの構造寸法(feature dimension)を最小化することを絶えず求めている。シリコンまたは他のチップ上のデバイス構造寸法(feature size)は、現在、高性能な遠紫外光(DUV)のマイクロリソグラフィック・プロセスの出現によりサブミクロンのサイズである。
本発明は、マイクロエレクトロニクス・デバイスの製造において有用な新規なマイクロリソグラフィ組成物を広く含む。
本発明の組成物は、上述のプロセスが、コンタクトまたはビア・ホールおよびトレンチのサイドウォールやボトムウォールの劣化や侵食が起こるのを防止するため、特に有効である。つまり、従来技術の組成物を用いるとサイドウォールは、反射防止膜の除去中に一般的に侵食されるので、サイドウォールは、直線でも垂直でもなくなる。これは、しばしば、回路の欠陥を招く。
以下の例により、本発明に従う好適な方法を説明する。ただし、これらの例は、説明のために用意されたもので、本発明のすべての範囲を限定すべきものではないことを理解するべきである。
本実施例においては、15.0gのプロピレン・グリコール・モノメチル・エーテル(PGME)に15.0gのポリ(ジブチルチタネート)を溶解させて、調合剤を準備した。次に、15.0gのPGMEに19.52gのエチル・アセトアセテートが溶解された溶液を反応混合物に加えて4時間攪拌した。トリメチロールエトキシレート溶液を混合物に加え、混合物を1時間攪拌した。その後、得られた調合剤を、使用する前に0.1μmのPTFEフィルターを通して濾過した。組成物を、シリコンウェハ上に3000rpmでスピン‐コートし、130℃で30秒間、次いで、168℃または205℃で60秒間の二段階で加熱処理した。両方の例とも、一般的な現像機において、溶解性を示した。
本実施例においては、20.0gのPnPに5.0gのポリ(ジブチルチタネート)を溶解させて、調合剤を準備した。次に、18.5gのPGMEに6.5gのエチル・アセトアセテートが溶解された溶液を反応混合物に加えて、4時間攪拌した。Cymel(登録商標)(Cytec社製のアミノ樹脂の架橋剤試薬)および2‐シアノ‐3‐(4‐ヒドロキシフェニル)‐アクリル酸エチルエーテル(CHAE)を混合物に加え、混合物を1時間攪拌した。調合剤を47.5gのPnPで希釈し、使う前に0.1μmのPTFEフィルターを通して濾過した。組成物を、シリコンウェハ上に3000rpmでスピン‐コートし、130℃で30秒間、次いで、168℃〜205℃にわたって60秒間の二段階で加熱処理した。全ての例は、一般的な現像機において、溶解性を示した。
99.59gのPnPに16.67gのジルコニウム・ジ‐n‐ブトキシド(ビス‐2,4‐ペンタンジオネート)(ブタノール中に60%濃度)を溶解させ、マザーリカーを準備した。次に、溶液に0.41gの水を加え、次いで、マザーリカーを生成するために24時間攪拌した。
112.30gのPnPに、10.00gのチタニウム・ジイソプロプロキシド・ビス(エチルアセトセテート)と1.23gのテトラオルソシリケートとを溶解させて、マザーリカーを準備した。次に、溶液に、0.64gの水を加えて、マザーリカーを生成するために24時間攪拌した。
特性の判断
1.光学特性
実施例2〜4の調合剤の各々の屈折率を表Aに示す。
実施例2の組成物からなる膜を、上記に示す手順に従ってスピンボウル安定性についてテストした。組成物が少なくとも約90%の溶解度を有する場合には、スピンボウル安定性を有すると見なした。これらのテストの結果を表Bに示す。
Claims (56)
- 各連鎖ユニット中のMは、各々、チタン、ジルコニウム、シリコン、およびアルミニウムからなる群から選択される金属である請求項1に記載の組成物。
- 前記組成物は、更に、ポリマーの結合剤を含む請求項1に記載の組成物。
- 前記ポリマーの結合剤は、エポキシノボラック樹脂、アクリル樹脂、重合アミノ樹脂、グリコーラル、ビニルエーテルおよびこれらの混合物からなる群から選択される請求項4に記載の組成物。
- 前記ポリマーの結合剤は、約1,000から約50,000までの分子量を有する請求項4に記載の組成物。
- Xは、Mを配位する官能基を有する請求項1に記載の組成物。
- 前記官能基は、カルボニル基、アルコールおよびフェノールからなる群から選択される請求項7に記載の組成物。
- Xは、トリメチロールエトキシレート、4‐ヒドロキシベンズアルデヒドおよび2‐シアノ‐3‐(4‐ヒドロキシフェニル)‐アクリル酸エチルエステルの機能部分からなる群から選択される請求項1に記載の組成物。
- 各XおよびRは、不飽和エチレン基を含まない請求項1に記載の組成物。
- 一方のRは、‐CH3であり、もう一方のRは、‐OC2H5である請求項1に記載の組成物。
- 各連鎖ユニット中のMは、各々、チタン、ジルコニウム、シリコン、およびアルミニウムからなる群から選択される金属である請求項12に記載の組成物。
- 前記組成物は、更に、ポリマーの結合剤を含む請求項12に記載の組成物。
- 前記ポリマーの結合剤は、エポキシノボラック樹脂、アクリル樹脂、重合アミノ樹脂、グリコーラル、ビニルエーテルおよびこれらの混合物からなる群から選択される請求項14に記載の組成物。
- 前記ポリマーの結合剤は、約1,000から約50,000までの分子量を有する請求項14に記載の組成物。
- 少なくとも1つのLは、エチルアセトアセテートの一部分である請求項17に記載の組成物。
- 一方のRは、‐CH3であり、もう一方のRは、‐OC2H5である請求項17に記載の組成物。
- 前記官能基は、アルコール、フェノール、およびカルボニル基からなる群から選択される請求項12に記載の組成物。
- 前記有機組成物は、トリメチロールエトキシレート、4‐ヒドロキシベンズアルデヒドおよび2‐シアノ‐3‐(4‐ヒドロキシフェニル)‐アクリル酸エチルエステルからなる群から選択される請求項12に記載の組成物。
- 表面を有する基板と、
フォトリソグラフィック・プロセスにおいて、バリヤ膜または反射防止膜として用いる硬化膜とを含み、該硬化膜は、前記表面に隣接し、交互に結合する金属原子と酸素原子とを含み、少なくとも約1.4の屈折率を有し、ウェット現像が可能であることを特徴とする組合物。 - 前記硬化膜は、プロピレングリコールメチルエーテルアセテートが溶媒である場合、少なくとも約75%の溶解度を有する請求項22に記載の組合物。
- 前記基板は、シリコンウェハおよびイオン注入膜からなる群から選択される請求項22に記載の組合物。
- 該組合物は、さらに、前記硬化膜に隣接するフォトレジスト膜を有する請求項22に記載の組合物。
- 前記金属原子は、チタン、ジルコニウム、シリコン、およびアルミニウムからなる群から選択される請求項22に記載の組合物。
- 前記硬化膜は、一般的な現像機において、少なくとも約95%が溶解するものである請求項22に記載の組合物。
- 基板上に組成物の塗布膜を形成する工程と、
前記塗布膜にフォトレジストを塗布して該塗布膜上にフォトレジスト膜を形成する工程と、
前記フォトレジストおよび前記塗布膜の一部分を選択的に除去して前記基板上に約83〜90度の角度“a”を有するライン構造を形成する工程とを有する集積回路の前駆体構造の形成方法。 - 前記基板は、シリコンウェハおよびイオン注入膜からなる群から選択される請求項30に記載の方法。
- 前記除去工程は、ウェット現像機を用いて前記一部分を除去する請求項30に記載の方法。
- 前記ウェット現像機は、テトラメチル水酸化アルミニウム現像機およびKOH現像機からなる群から選択される請求項32に記載の方法。
- 基板上に組成物の塗布膜を形成する工程と、
前記塗布膜にフォトレジストを塗布して該塗布膜上にフォトレジスト膜を形成する工程と、
前記フォトレジストおよび前記塗布膜の一部分を選択的に除去して前記基板上に約15%未満の浸食度のライン構造を形成する工程とを有する集積回路の前駆体構造の形成方法。 - 前記基板は、シリコンウェハおよびイオン注入膜からなる群から選択される請求項36に記載の方法。
- 前記除去工程は、ウェット現像機を用いて前記一部分を除去することを含む請求項36に記載の方法。
- 前記ウェット現像機は、テトラメチル水酸化アルミニウム現像機およびKOH現像機からなる群から選択される請求項38に記載の方法。
- 前記ライン構造は、約83〜90度の角度“a”を有する請求項36に記載の方法。
- 前記塗布工程は、前記基板表面上に前記組成物をスピン‐コートすることを含む請求項43に記載の方法。
- 前記基板は、その内部に形成された、ボトムウォールおよびサイドウォールにより規定される穴を有し、
前記塗布工程は、前記ボトムウォールおよびサイドウォールの少なくとも一部分に前記組成物を塗布することを含む請求項43に記載の方法。 - 前記塗布工程の後に、更に、約100〜250℃の温度で前記膜を加熱して硬化膜を形成する工程を有する請求項43に記載の方法。
- 更に、前記加熱された膜上にフォトレジストを塗布する工程を有する請求項46に記載の方法。
- 更に、前記フォトレジストの少なくとも一部分を活性化放射線で露光する工程と、前記露光されたフォトレジストを現像する工程とを有する請求項47に記載の方法。
- 前記現像工程の結果、前記露光されたフォトレジストの隣接部分から前記組成物が除去される請求項48に記載の方法。
- 前記塗布工程は、前記基板表面上に前記組成物をスピン‐コートすることを含む請求項50に記載の方法。
- 前記基板は、その内部に形成された、ボトムウォールおよびサイドウォールにより規定される穴を有し、
前記塗布工程は、前記ボトムウォールおよびサイドウォールの少なくとも一部分に前記組成物を塗布することを含む請求項50に記載の方法。 - 前記塗布工程の後に、更に、約100〜250℃の温度で前記膜を加熱して硬化膜を形成する工程を有する請求項50に記載の方法。
- 更に、前記加熱された膜上にフォトレジストを塗布する工程を有する請求項53に記載の方法。
- 更に、前記フォトレジストの少なくとも一部分を活性化放射線で露光する工程と、前記露光されたフォトレジストを現像する工程とを有する請求項54に記載の方法。
- 前記現像工程の結果、前記露光されたフォトレジストの隣接部分から前記組成物が除去される請求項55に記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US10/180,625 US6740469B2 (en) | 2002-06-25 | 2002-06-25 | Developer-soluble metal alkoxide coatings for microelectronic applications |
PCT/US2003/019457 WO2004001502A1 (en) | 2002-06-25 | 2003-06-18 | Developer-soluble metal alkoxide coatings for microelectronic applications |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010106668A Division JP5023183B2 (ja) | 2002-06-25 | 2010-05-06 | マイクロエレクトロニクスの用途のための現像液に可溶なアルコキシド金属塗布膜 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005537502A true JP2005537502A (ja) | 2005-12-08 |
JP4550573B2 JP4550573B2 (ja) | 2010-09-22 |
Family
ID=29735075
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004516000A Expired - Lifetime JP4550573B2 (ja) | 2002-06-25 | 2003-06-18 | マイクロエレクトロニクスの用途のための現像液に可溶なアルコキシド金属塗布膜 |
JP2010106668A Expired - Lifetime JP5023183B2 (ja) | 2002-06-25 | 2010-05-06 | マイクロエレクトロニクスの用途のための現像液に可溶なアルコキシド金属塗布膜 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010106668A Expired - Lifetime JP5023183B2 (ja) | 2002-06-25 | 2010-05-06 | マイクロエレクトロニクスの用途のための現像液に可溶なアルコキシド金属塗布膜 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6740469B2 (ja) |
EP (2) | EP2375288B1 (ja) |
JP (2) | JP4550573B2 (ja) |
KR (1) | KR101051617B1 (ja) |
CN (1) | CN100435026C (ja) |
AU (1) | AU2003245596A1 (ja) |
TW (1) | TWI303014B (ja) |
WO (1) | WO2004001502A1 (ja) |
Cited By (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006508377A (ja) * | 2002-06-25 | 2006-03-09 | ブルーワー サイエンス アイ エヌ シー. | 湿式現像可能な反射防止組成物 |
JP2007521355A (ja) * | 2003-01-21 | 2007-08-02 | ブルーワー サイエンス アイ エヌ シー. | 高屈折率を持つ有機・無機ハイブリッドポリマー塗膜 |
JPWO2006040956A1 (ja) * | 2004-10-14 | 2008-05-15 | 日産化学工業株式会社 | 金属酸化物を含むリソグラフィー用下層膜形成組成物 |
JP2011514662A (ja) * | 2008-01-29 | 2011-05-06 | ブルーワー サイエンス アイ エヌ シー. | 多重暗視野露光によるハードマスクのパターン形成のためのオントラックプロセス |
JP2012215878A (ja) * | 2011-03-30 | 2012-11-08 | Jsr Corp | 多層レジストプロセス用無機膜形成組成物及びパターン形成方法 |
JP2012238026A (ja) * | 2006-09-25 | 2012-12-06 | Brewer Science Inc | 現像剤でトリムされたハードマスクを有するフォトリソグラフィック構造体の製造方法 |
US8759220B1 (en) | 2013-02-28 | 2014-06-24 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Patterning process |
KR20140113380A (ko) | 2013-03-15 | 2014-09-24 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 티탄 함유 레지스트 하층막 형성용 조성물 및 패턴 형성 방법 |
JP2014526060A (ja) * | 2011-06-21 | 2014-10-02 | エイゼット・エレクトロニック・マテリアルズ・ユーエスエイ・コーポレイション | 下層組成物及びそれの方法 |
WO2014156374A1 (ja) * | 2013-03-25 | 2014-10-02 | Jsr株式会社 | 多層レジストプロセス用無機膜形成組成物及びパターン形成方法 |
JP2014197668A (ja) * | 2013-01-19 | 2014-10-16 | ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ,エル.エル.シー. | ハードマスク表面処理 |
JP2014532289A (ja) * | 2011-07-07 | 2014-12-04 | ブルーワー サイエンス アイ エヌシー. | リソグラフィー用途用の小分子由来の金属酸化物フィルム |
US8951917B2 (en) | 2011-06-28 | 2015-02-10 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Composition for forming resist underlayer film and patterning process using the same |
WO2015037398A1 (ja) * | 2013-09-11 | 2015-03-19 | Jsr株式会社 | 多層レジストプロセス用無機膜形成組成物及びパターン形成方法 |
US9069247B2 (en) | 2012-02-14 | 2015-06-30 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Silicon-containing surface modifier, resist lower layer film-forming composition containing the same, and patterning process |
US9075309B2 (en) | 2012-02-14 | 2015-07-07 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Silicon-containing surface modifier, resist underlayer film composition containing this, and patterning process |
US9176382B2 (en) | 2013-03-15 | 2015-11-03 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Composition for forming titanium-containing resist underlayer film and patterning process |
US9315670B2 (en) | 2013-02-15 | 2016-04-19 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Composition for forming resist underlayer film and patterning process |
US9377690B2 (en) | 2013-01-08 | 2016-06-28 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Compositon for forming metal oxide-containing film and patterning process |
JP2016173406A (ja) * | 2015-03-16 | 2016-09-29 | Jsr株式会社 | 半導体デバイス製造用組成物及び加工基板の製造方法 |
US10209619B2 (en) | 2014-03-12 | 2019-02-19 | Jsr Corporation | Composition and method of forming pattern using composition |
JP2022096615A (ja) * | 2020-12-17 | 2022-06-29 | ローム アンド ハース エレクトロニック マテリアルズ エルエルシー | フォトレジスト下層組成物及びパターン形成方法 |
WO2022138541A1 (ja) * | 2020-12-25 | 2022-06-30 | 東レ株式会社 | ポリメタロキサン、その組成物、硬化膜およびその製造方法、それを具備する部材および電子部品、繊維およびその製造方法 |
Families Citing this family (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7108958B2 (en) * | 2002-07-31 | 2006-09-19 | Brewer Science Inc. | Photosensitive bottom anti-reflective coatings |
US7364832B2 (en) * | 2003-06-11 | 2008-04-29 | Brewer Science Inc. | Wet developable hard mask in conjunction with thin photoresist for micro photolithography |
KR101189397B1 (ko) * | 2003-10-15 | 2012-10-11 | 브레우어 사이언스 인코포레이션 | 비아-퍼스트 듀얼 다마신 적용예에서 사용되는 현상제에 용해성인 물질 및 상기 물질 사용 방법 |
US20070207406A1 (en) * | 2004-04-29 | 2007-09-06 | Guerrero Douglas J | Anti-reflective coatings using vinyl ether crosslinkers |
US20050255410A1 (en) * | 2004-04-29 | 2005-11-17 | Guerrero Douglas J | Anti-reflective coatings using vinyl ether crosslinkers |
US7914974B2 (en) | 2006-08-18 | 2011-03-29 | Brewer Science Inc. | Anti-reflective imaging layer for multiple patterning process |
US20090325106A1 (en) * | 2008-06-27 | 2009-12-31 | Conley Willard E | Method for Implant Imaging with Spin-on Hard Masks |
US9640396B2 (en) | 2009-01-07 | 2017-05-02 | Brewer Science Inc. | Spin-on spacer materials for double- and triple-patterning lithography |
KR101276985B1 (ko) * | 2009-03-19 | 2013-06-24 | 쇼와 덴코 가부시키가이샤 | 방전 갭 충전용 조성물 및 정전 방전 보호체 |
WO2011007700A1 (ja) * | 2009-07-15 | 2011-01-20 | 日本発條株式会社 | 太陽電池用裏面保護シート及びその製造方法 |
WO2012133597A1 (ja) * | 2011-03-30 | 2012-10-04 | Jsr株式会社 | 多層レジストプロセスパターン形成方法及び多層レジストプロセス用無機膜形成組成物 |
JP5889568B2 (ja) | 2011-08-11 | 2016-03-22 | メルク、パテント、ゲゼルシャフト、ミット、ベシュレンクテル、ハフツングMerck Patent GmbH | 酸化タングステン膜形成用組成物およびそれを用いた酸化タングステン膜の製造法 |
EP2783389B1 (en) | 2011-11-21 | 2021-03-10 | Brewer Science, Inc. | Structure comprising assist layers for euv lithography and method for forming it |
US9070548B2 (en) | 2012-03-06 | 2015-06-30 | Rohm And Haas Electronic Materials Llc | Metal hardmask compositions |
US8795774B2 (en) | 2012-09-23 | 2014-08-05 | Rohm And Haas Electronic Materials Llc | Hardmask |
US9315636B2 (en) | 2012-12-07 | 2016-04-19 | Az Electronic Materials (Luxembourg) S.A.R.L. | Stable metal compounds, their compositions and methods |
US9136123B2 (en) | 2013-01-19 | 2015-09-15 | Rohm And Haas Electronic Materials Llc | Hardmask surface treatment |
US9201305B2 (en) | 2013-06-28 | 2015-12-01 | Az Electronic Materials (Luxembourg) S.A.R.L. | Spin-on compositions of soluble metal oxide carboxylates and methods of their use |
US9296922B2 (en) | 2013-08-30 | 2016-03-29 | Az Electronic Materials (Luxembourg) S.A.R.L. | Stable metal compounds as hardmasks and filling materials, their compositions and methods of use |
US9296879B2 (en) | 2013-09-03 | 2016-03-29 | Rohm And Haas Electronic Materials Llc | Hardmask |
US9409793B2 (en) | 2014-01-14 | 2016-08-09 | Az Electronic Materials (Luxembourg) S.A.R.L. | Spin coatable metallic hard mask compositions and processes thereof |
JP6165805B2 (ja) * | 2014-07-04 | 2017-07-19 | 富士フイルム株式会社 | 硬化性組成物、硬化膜の製造方法、硬化膜、並びに、タッチパネル及び表示装置 |
JP6141902B2 (ja) * | 2014-07-04 | 2017-06-07 | 富士フイルム株式会社 | 硬化性組成物、硬化膜の製造方法、硬化膜、タッチパネル及び表示装置 |
US9515272B2 (en) | 2014-11-12 | 2016-12-06 | Rohm And Haas Electronic Materials Llc | Display device manufacture using a sacrificial layer interposed between a carrier and a display device substrate |
US9499698B2 (en) | 2015-02-11 | 2016-11-22 | Az Electronic Materials (Luxembourg)S.A.R.L. | Metal hardmask composition and processes for forming fine patterns on semiconductor substrates |
US9442377B1 (en) | 2015-06-15 | 2016-09-13 | Rohm And Haas Electronic Materials Llc | Wet-strippable silicon-containing antireflectant |
WO2019048393A1 (en) | 2017-09-06 | 2019-03-14 | AZ Electronic Materials (Luxembourg) S.à.r.l. | AN INORGANIC OXIDE-CONTAINING VINYL DEPOSITION COMPOSITION USEFUL AS HARD MASKS AND FILLING MATERIALS HAVING ENHANCED THERMAL STABILITY |
JP7024744B2 (ja) * | 2018-02-22 | 2022-02-24 | 信越化学工業株式会社 | レジスト材料及びこれを用いたパターン形成方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5443241A (en) * | 1977-09-12 | 1979-04-05 | Sumitomo Chem Co Ltd | Formation of titanum oxide film |
JPS5993448A (ja) * | 1982-09-30 | 1984-05-29 | ブリューワー・サイエンス・インコーポレイテッド | 反射防止コ−テイング |
JPH10204182A (ja) * | 1997-01-24 | 1998-08-04 | Jsr Corp | 硬化性組成物 |
JPH11258813A (ja) * | 1998-03-13 | 1999-09-24 | Jsr Corp | 反射防止膜形成用組成物および反射防止膜 |
JP2000010293A (ja) * | 1998-06-17 | 2000-01-14 | Jsr Corp | 反射防止膜形成用組成物および反射防止膜 |
JP2002069641A (ja) * | 2000-06-12 | 2002-03-08 | Asahi Denka Kogyo Kk | 化学気相成長用原料及びこれを用いた薄膜の製造方法 |
JP2003238573A (ja) * | 2002-02-18 | 2003-08-27 | Toray Ind Inc | 有機金属化合物を含む組成物ならびにディスプレイ部材およびディスプレイ |
Family Cites Families (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3949463A (en) * | 1973-02-13 | 1976-04-13 | Communications Satellite Corporation (Comsat) | Method of applying an anti-reflective coating to a solar cell |
US4244799A (en) | 1978-09-11 | 1981-01-13 | Bell Telephone Laboratories, Incorporated | Fabrication of integrated circuits utilizing thick high-resolution patterns |
US4369090A (en) * | 1980-11-06 | 1983-01-18 | Texas Instruments Incorporated | Process for etching sloped vias in polyimide insulators |
US4910122A (en) * | 1982-09-30 | 1990-03-20 | Brewer Science, Inc. | Anti-reflective coating |
JPS60262150A (ja) | 1984-06-11 | 1985-12-25 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 三層レジスト用中間層材料及びそれを用いた三層レジストパタン形成方法 |
US4683024A (en) | 1985-02-04 | 1987-07-28 | American Telephone And Telegraph Company, At&T Bell Laboratories | Device fabrication method using spin-on glass resins |
US4732841A (en) | 1986-03-24 | 1988-03-22 | Fairchild Semiconductor Corporation | Tri-level resist process for fine resolution photolithography |
JPS63165435A (ja) * | 1986-12-27 | 1988-07-08 | Nippon Steel Corp | 有機金属重合組成物の製造方法 |
US4891303A (en) | 1988-05-26 | 1990-01-02 | Texas Instruments Incorporated | Trilayer microlithographic process using a silicon-based resist as the middle layer |
US5126231A (en) | 1990-02-26 | 1992-06-30 | Applied Materials, Inc. | Process for multi-layer photoresist etching with minimal feature undercut and unchanging photoresist load during etch |
JP3041972B2 (ja) | 1991-01-10 | 2000-05-15 | 富士通株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
US5370969A (en) | 1992-07-28 | 1994-12-06 | Sharp Kabushiki Kaisha | Trilayer lithographic process |
JPH07183194A (ja) | 1993-12-24 | 1995-07-21 | Sony Corp | 多層レジストパターン形成方法 |
KR100206597B1 (ko) | 1995-12-29 | 1999-07-01 | 김영환 | 반도체 장치의 미세패턴 제조방법 |
KR100223329B1 (ko) | 1995-12-29 | 1999-10-15 | 김영환 | 반도체 소자의 미세 패턴 제조방법 |
US5652317A (en) * | 1996-08-16 | 1997-07-29 | Hoechst Celanese Corporation | Antireflective coatings for photoresist compositions |
JPH10149531A (ja) * | 1996-11-15 | 1998-06-02 | Sony Corp | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
US6156665A (en) | 1998-04-13 | 2000-12-05 | Lucent Technologies Inc. | Trilayer lift-off process for semiconductor device metallization |
JP3673399B2 (ja) * | 1998-06-03 | 2005-07-20 | クラリアント インターナショナル リミテッド | 反射防止コーティング用組成物 |
US6380611B1 (en) * | 1998-09-03 | 2002-04-30 | Micron Technology, Inc. | Treatment for film surface to reduce photo footing |
US6136511A (en) | 1999-01-20 | 2000-10-24 | Micron Technology, Inc. | Method of patterning substrates using multilayer resist processing |
US6303270B1 (en) * | 1999-03-01 | 2001-10-16 | The Curators Of The University Of Missouri | Highly plasma etch-resistant photoresist composition containing a photosensitive polymeric titania precursor |
EP1190277B1 (en) * | 1999-06-10 | 2009-10-07 | AlliedSignal Inc. | Semiconductor having spin-on-glass anti-reflective coatings for photolithography |
US6632535B1 (en) * | 2000-06-08 | 2003-10-14 | Q2100, Inc. | Method of forming antireflective coatings |
-
2002
- 2002-06-25 US US10/180,625 patent/US6740469B2/en not_active Expired - Lifetime
-
2003
- 2003-06-06 TW TW092115340A patent/TWI303014B/zh not_active IP Right Cessation
- 2003-06-18 EP EP11004386.6A patent/EP2375288B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2003-06-18 EP EP03739224.8A patent/EP1516226B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2003-06-18 JP JP2004516000A patent/JP4550573B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 2003-06-18 AU AU2003245596A patent/AU2003245596A1/en not_active Abandoned
- 2003-06-18 KR KR1020047021093A patent/KR101051617B1/ko active IP Right Grant
- 2003-06-18 CN CNB038151987A patent/CN100435026C/zh not_active Expired - Lifetime
- 2003-06-18 WO PCT/US2003/019457 patent/WO2004001502A1/en active Application Filing
-
2010
- 2010-05-06 JP JP2010106668A patent/JP5023183B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5443241A (en) * | 1977-09-12 | 1979-04-05 | Sumitomo Chem Co Ltd | Formation of titanum oxide film |
JPS5993448A (ja) * | 1982-09-30 | 1984-05-29 | ブリューワー・サイエンス・インコーポレイテッド | 反射防止コ−テイング |
JPH10204182A (ja) * | 1997-01-24 | 1998-08-04 | Jsr Corp | 硬化性組成物 |
JPH11258813A (ja) * | 1998-03-13 | 1999-09-24 | Jsr Corp | 反射防止膜形成用組成物および反射防止膜 |
JP2000010293A (ja) * | 1998-06-17 | 2000-01-14 | Jsr Corp | 反射防止膜形成用組成物および反射防止膜 |
JP2002069641A (ja) * | 2000-06-12 | 2002-03-08 | Asahi Denka Kogyo Kk | 化学気相成長用原料及びこれを用いた薄膜の製造方法 |
JP2003238573A (ja) * | 2002-02-18 | 2003-08-27 | Toray Ind Inc | 有機金属化合物を含む組成物ならびにディスプレイ部材およびディスプレイ |
Cited By (31)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006508377A (ja) * | 2002-06-25 | 2006-03-09 | ブルーワー サイエンス アイ エヌ シー. | 湿式現像可能な反射防止組成物 |
JP2007521355A (ja) * | 2003-01-21 | 2007-08-02 | ブルーワー サイエンス アイ エヌ シー. | 高屈折率を持つ有機・無機ハイブリッドポリマー塗膜 |
JP4768596B2 (ja) * | 2003-01-21 | 2011-09-07 | ブルーワー サイエンス アイ エヌ シー. | 高屈折率を持つ有機・無機ハイブリッドポリマー塗膜 |
JPWO2006040956A1 (ja) * | 2004-10-14 | 2008-05-15 | 日産化学工業株式会社 | 金属酸化物を含むリソグラフィー用下層膜形成組成物 |
JP2012238026A (ja) * | 2006-09-25 | 2012-12-06 | Brewer Science Inc | 現像剤でトリムされたハードマスクを有するフォトリソグラフィック構造体の製造方法 |
JP2011514662A (ja) * | 2008-01-29 | 2011-05-06 | ブルーワー サイエンス アイ エヌ シー. | 多重暗視野露光によるハードマスクのパターン形成のためのオントラックプロセス |
JP2012215878A (ja) * | 2011-03-30 | 2012-11-08 | Jsr Corp | 多層レジストプロセス用無機膜形成組成物及びパターン形成方法 |
JP2014526060A (ja) * | 2011-06-21 | 2014-10-02 | エイゼット・エレクトロニック・マテリアルズ・ユーエスエイ・コーポレイション | 下層組成物及びそれの方法 |
US8951917B2 (en) | 2011-06-28 | 2015-02-10 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Composition for forming resist underlayer film and patterning process using the same |
JP2014532289A (ja) * | 2011-07-07 | 2014-12-04 | ブルーワー サイエンス アイ エヌシー. | リソグラフィー用途用の小分子由来の金属酸化物フィルム |
US9075309B2 (en) | 2012-02-14 | 2015-07-07 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Silicon-containing surface modifier, resist underlayer film composition containing this, and patterning process |
US9069247B2 (en) | 2012-02-14 | 2015-06-30 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Silicon-containing surface modifier, resist lower layer film-forming composition containing the same, and patterning process |
US9377690B2 (en) | 2013-01-08 | 2016-06-28 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Compositon for forming metal oxide-containing film and patterning process |
JP2014197668A (ja) * | 2013-01-19 | 2014-10-16 | ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ,エル.エル.シー. | ハードマスク表面処理 |
US9315670B2 (en) | 2013-02-15 | 2016-04-19 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Composition for forming resist underlayer film and patterning process |
US8759220B1 (en) | 2013-02-28 | 2014-06-24 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Patterning process |
US9188866B2 (en) | 2013-03-15 | 2015-11-17 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Composition for forming titanium-containing resist underlayer film and patterning process |
US9176382B2 (en) | 2013-03-15 | 2015-11-03 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Composition for forming titanium-containing resist underlayer film and patterning process |
KR20140113380A (ko) | 2013-03-15 | 2014-09-24 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 티탄 함유 레지스트 하층막 형성용 조성물 및 패턴 형성 방법 |
JP2014178602A (ja) * | 2013-03-15 | 2014-09-25 | Shin Etsu Chem Co Ltd | チタン含有レジスト下層膜形成用組成物及びパターン形成方法 |
JPWO2014156374A1 (ja) * | 2013-03-25 | 2017-02-16 | Jsr株式会社 | 多層レジストプロセス用無機膜形成組成物及びパターン形成方法 |
US10090163B2 (en) | 2013-03-25 | 2018-10-02 | Jsr Corporation | Inorganic film-forming composition for multilayer resist processes, and pattern-forming method |
KR20150135238A (ko) | 2013-03-25 | 2015-12-02 | 제이에스알 가부시끼가이샤 | 다층 레지스트 프로세스용 무기 막 형성 조성물 및 패턴 형성 방법 |
WO2014156374A1 (ja) * | 2013-03-25 | 2014-10-02 | Jsr株式会社 | 多層レジストプロセス用無機膜形成組成物及びパターン形成方法 |
JPWO2015037398A1 (ja) * | 2013-09-11 | 2017-03-02 | Jsr株式会社 | 多層レジストプロセス用無機膜形成組成物及びパターン形成方法 |
KR20160055145A (ko) | 2013-09-11 | 2016-05-17 | 제이에스알 가부시끼가이샤 | 다층 레지스트 프로세스용 무기 막 형성 조성물 및 패턴 형성 방법 |
WO2015037398A1 (ja) * | 2013-09-11 | 2015-03-19 | Jsr株式会社 | 多層レジストプロセス用無機膜形成組成物及びパターン形成方法 |
US10209619B2 (en) | 2014-03-12 | 2019-02-19 | Jsr Corporation | Composition and method of forming pattern using composition |
JP2016173406A (ja) * | 2015-03-16 | 2016-09-29 | Jsr株式会社 | 半導体デバイス製造用組成物及び加工基板の製造方法 |
JP2022096615A (ja) * | 2020-12-17 | 2022-06-29 | ローム アンド ハース エレクトロニック マテリアルズ エルエルシー | フォトレジスト下層組成物及びパターン形成方法 |
WO2022138541A1 (ja) * | 2020-12-25 | 2022-06-30 | 東レ株式会社 | ポリメタロキサン、その組成物、硬化膜およびその製造方法、それを具備する部材および電子部品、繊維およびその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN1666146A (zh) | 2005-09-07 |
EP2375288A2 (en) | 2011-10-12 |
TWI303014B (en) | 2008-11-11 |
US6740469B2 (en) | 2004-05-25 |
JP4550573B2 (ja) | 2010-09-22 |
TW200401166A (en) | 2004-01-16 |
EP2375288B1 (en) | 2014-10-22 |
KR101051617B1 (ko) | 2011-07-26 |
EP1516226A1 (en) | 2005-03-23 |
EP1516226B1 (en) | 2016-03-16 |
CN100435026C (zh) | 2008-11-19 |
EP2375288A3 (en) | 2012-09-05 |
JP2010224554A (ja) | 2010-10-07 |
KR20050024385A (ko) | 2005-03-10 |
AU2003245596A1 (en) | 2004-01-06 |
WO2004001502A1 (en) | 2003-12-31 |
EP1516226A4 (en) | 2010-02-17 |
US20030235786A1 (en) | 2003-12-25 |
JP5023183B2 (ja) | 2012-09-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4550573B2 (ja) | マイクロエレクトロニクスの用途のための現像液に可溶なアルコキシド金属塗布膜 | |
KR101051619B1 (ko) | 습식 현상가능한 반사방지 조성물 | |
JP4648967B2 (ja) | 改善されたスピンボウル適合性を有する反射防止コーティング組成物 | |
JP5511887B2 (ja) | ビニルエーテル架橋剤を用いた反射防止膜 | |
US7507783B2 (en) | Thermally curable middle layer comprising polyhedral oligomeric silsesouioxanes for 193-nm trilayer resist process | |
JP4444662B2 (ja) | 高度マイクロリソグラフィー用有機反射防止膜用組成物 | |
JP4533744B2 (ja) | 反射防止膜用湿式現像性ポリマーバインダーとしてのスピン・ボウル適合性ポリアミック酸/イミド | |
CN1902550A (zh) | 形成硬掩模用涂布型氮化膜的组合物 | |
KR20060004673A (ko) | 다공질 하층막 및 다공질 하층막을 형성하기 위한 하층막형성 조성물 | |
CN1367884A (zh) | 用于光致抗蚀剂组合物的抗反射涂料 | |
CN1310971C (zh) | 包含苯乙烯-烯丙醇共聚物的抗反射涂层和双镶嵌填充组合物 | |
CN1751271A (zh) | 含有丙烯酸类聚合物的光刻用形成填隙材料的组合物 | |
WO2002071155A1 (en) | Thermosetting anti-reflective coatings comprising aryl urethanes of hydroxypropyl cellulose | |
TWI436165B (zh) | 可光成像分枝聚合物 | |
KR100598166B1 (ko) | 유기 반사방지막용 가교제 중합체, 이를 포함하는 유기반사 방지막 조성물 및 이를 이용한 포토레지스트의 패턴형성 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060609 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081209 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20090304 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20090312 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090407 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100105 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20100329 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100506 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20100524 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100615 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100708 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4550573 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130716 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |