WO2026009367A1 - 基板搬送装置 - Google Patents

基板搬送装置

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WO2026009367A1
WO2026009367A1 PCT/JP2024/024212 JP2024024212W WO2026009367A1 WO 2026009367 A1 WO2026009367 A1 WO 2026009367A1 JP 2024024212 W JP2024024212 W JP 2024024212W WO 2026009367 A1 WO2026009367 A1 WO 2026009367A1
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WO
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substrate
detection unit
upstream
motor
downstream
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Application number
PCT/JP2024/024212
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English (en)
French (fr)
Inventor
太郎 伊藤
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Fuji Corp
Original Assignee
Fuji Corp
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Publication date
Application filed by Fuji Corp filed Critical Fuji Corp
Priority to PCT/JP2024/024212 priority Critical patent/WO2026009367A1/ja
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    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
    • H05K13/02—Feeding of components

Definitions

  • the technology disclosed in this specification relates to a substrate transport device that transports a substrate to a predetermined stopping position.
  • WO 2013/124970 discloses a substrate transport device that stops a substrate transported in the transport direction by a conveyor at a predetermined stopping position.
  • this substrate transport device operates the conveyor by a predetermined set operation amount to stop the substrate.
  • the substrate transport device calculates an error in the stopping position based on the difference between the theoretical operation amount required for the conveyor to operate to move the substrate from the position where the detector detected the downstream end of the substrate to the stopping position, and the actual operation amount actually operated from the position where the downstream end of the substrate was detected until the conveyor stopped.
  • the substrate transport device corrects the error by operating the conveyor again based on the calculated error.
  • the substrate transport device disclosed in this specification comprises a conveyor that transports a substrate in a transport direction, a motor that operates the conveyor, a control unit that is capable of executing a transport process in which the conveyor transports the substrate to a predetermined stop position by driving the motor, and at least one detection unit that detects the upstream and downstream ends of the substrate in the transport direction.
  • the control unit corrects the set output amount of the motor for moving the substrate to the stop position while the substrate is being transported, based on the difference between the drive amount of the motor and the movement amount of the substrate calculated based on the detection result of the detection unit.
  • the amount of movement of the board can deviate from the amount of drive of the motor (amount of movement of the conveyor).
  • the set output amount of the motor is corrected while the board is being transported based on the difference between the amount of drive of the motor and the amount of movement of the board calculated based on the detection results of the detection unit. In this way, the above-mentioned board transport device can correct errors in the set output amount by feeding back this difference while the conveyor is operating, allowing the board to be positioned accurately in a shorter time than with conventional configurations.
  • FIG. 1 is a plan view of a component mounter according to an embodiment. Rear view of the main conveyor.
  • FIG. 2 is a block diagram showing a control system of the component mounter.
  • 10 is a flowchart showing an example of an operation control selection process.
  • 10 is a flowchart showing an example of a substrate loading process.
  • 10 is a flowchart illustrating an example of a first conveying process.
  • 10 is a flowchart illustrating an example of a first conveying process.
  • 10A and 10B are timing charts showing outputs from each substrate sensor and graphs showing motor outputs in the first transport process.
  • 10A and 10B are diagrams for explaining the transport and stopping of a substrate when the main conveyor is controlled by the first transport process.
  • 10 is a flowchart illustrating an example of a second conveying process.
  • 10 is a flowchart illustrating an example of a second conveying process.
  • 10A and 10B are timing charts showing outputs from each substrate sensor and graphs showing motor outputs in the second transport process.
  • 10A and 10B are diagrams for explaining the transport and stopping of a substrate when the main conveyor is controlled by the second transport process.
  • 10 is a flowchart illustrating an example of a third conveying process.
  • 10 is a flowchart illustrating an example of a third conveying process.
  • 10A and 10B are timing charts showing outputs from the substrate sensor and graphs showing motor outputs in the third transport process.
  • 10A and 10B are diagrams for explaining the transport and stopping of a substrate when the main conveyor is controlled by the third transport process.
  • the control unit when performing the transport process, may calculate, based on the length of the substrate, a theoretical output amount of the motor for the substrate to move a distance between a first position where the detection unit detects the upstream end or the downstream end, and a second position where the detection unit detects the upstream end or the downstream end, the second position being different from the first position; calculate the set output amount based on the theoretical output amount when the detection unit detects the upstream end or the downstream end of the substrate; detect the actual output amount of the motor when the substrate actually moves a distance between the first position and the second position; and correct the set output amount based on the difference between the theoretical output amount and the actual output amount while the substrate is being transported.
  • the theoretical output amount required for the board to travel a predetermined distance to the stopping position (the distance between the first and second positions) is calculated, and by comparing this predetermined distance with the actual output amount when the board actually moves, it is possible to predict and calculate the deviation in the theoretical output amount due to the relative movement between the board and the conveyor.As a result, the set output amount can be appropriately corrected based on the difference between the theoretical output amount and the actual output amount.
  • the detection unit may include an upstream detection unit provided upstream in the transport direction, and a downstream detection unit provided downstream of the upstream detection unit.
  • the first position may be a position where the upstream detection unit detects the upstream end of the substrate
  • the second position may be a position where the downstream detection unit detects the downstream end of the substrate.
  • the control unit may calculate the set output amount of the motor for moving the substrate from the first position to the stop position based on the theoretical output amount when the upstream detection unit detects the upstream end of the substrate.
  • control unit may calculate the length of the substrate based on the amount of output from the motor between when the upstream detection unit detects the downstream end of the substrate and when it detects the upstream end.
  • the length of the substrate can be calculated while it is being transported, eliminating the need to know information about the length of the substrate in advance.
  • the detection unit may include an upstream detection unit provided upstream in the transport direction, and a downstream detection unit provided downstream of the upstream detection unit.
  • the first position may be a position where the upstream detection unit detects the downstream end of the substrate
  • the second position may be a position where the downstream detection unit detects the downstream end of the substrate.
  • the control unit may calculate the set output amount of the motor for moving the substrate from the first position to the stop position based on the theoretical output amount when the upstream detection unit detects the downstream end of the substrate.
  • the substrate transport device may include a single detection unit that detects the upstream end and the downstream end of the substrate in the transport direction.
  • the first position may be a position where the detection unit detects the downstream end of the substrate
  • the second position may be a position where the detection unit detects the upstream end of the substrate.
  • the control unit may calculate the set output amount of the motor for moving the substrate from the first position to the stop position based on the theoretical output amount when the detection unit detects the downstream end of the substrate.
  • the motor may not be equipped with an encoder that detects the rotation angle of the motor.
  • the upstream and downstream ends of the substrate i.e., the position of the substrate
  • the motor does not have an encoder, the set output amount can be appropriately corrected and the substrate can be accurately positioned.
  • Example 1 A component mounter 10 according to a first embodiment will be described with reference to the drawings.
  • the component mounter 10 is a device that mounts components onto a board 2.
  • the component mounter 10 is also called an electronic component placement device or a chip mounter.
  • the component mounter 10 is installed alongside other board work machines such as a solder printer and a board inspection machine, forming a continuous mounting line.
  • the component mounter 10 includes a board conveyor group 12, a board holding device 14, component supply devices 16 and 18, a mounting device 20, a reference mark imaging device 22, a component imaging device 24, and a control device 26.
  • the board conveyor group 12 includes a conveyor 30 for transporting the board 2 into the component mounter 10, a main conveyor 32 for positioning the board 2 within the component mounter 10, and a conveyor 34 for transporting the board 2 out of the component mounter 10.
  • the conveyors 30, 32, and 34 are all belt conveyors.
  • the main conveyor 32 includes a pair of endless conveyor belts 36 and a belt circulation device 38.
  • the belt circulation device 38 includes drive pulleys 44 rotatably attached to the inner surfaces of the side frames 40 and 42, a plurality of guide pulleys 46, and a motor 50 for driving each of the drive pulleys 44 of the side frames 40 and 42.
  • the conveyors 30 and 34 have the same configuration as the main conveyor 32 (conveyor belt 36, belt circulation device 38).
  • Pulleys 44 and 46 are timing pulleys.
  • Conveyor belt 36 is a timing belt.
  • the substrate 2 is guided on both sides in the width direction (y-axis direction in Figure 1) by guide rails 56 and transported along the transport direction (positive x-axis direction in Figure 1).
  • Motor 50 is a pulse motor that does not have an encoder that detects the rotation angle of the motor.
  • the main conveyor 32 is provided with board sensors 60, 62, and 64 in the transport direction of the board 2.
  • Board sensor 60 is provided at the upstream end of the main conveyor 32 in the transport direction.
  • Board sensor 62 is provided at the downstream end of the main conveyor 32 in the transport direction.
  • Board sensor 64 is provided between board sensors 60 and 62 in the transport direction. In this embodiment, board sensor 64 is provided upstream of the center of the main conveyor 32 in the transport direction.
  • each of the board sensors 60, 62, 64 is configured as a transmission-type photoelectric sensor, and as shown in Figure 1, includes a light-emitting unit 68 and a light-receiving unit 70 that are spaced apart in the width direction and face each other.
  • Each of the board sensors 60, 62, 64 outputs OFF when the light-receiving unit 70 receives light from the light-emitting unit 68, and outputs ON when the light is not received.
  • the substrate holding device 14 is provided in the center of the main conveyor 32 in the transport direction.
  • the substrate holding device 14 includes a substrate support device 80 and a clamp member 82.
  • the substrate support device 80 supports the back surface of the substrate 2 from below using support pins 84, and holds the substrate 2 in a horizontal position.
  • the mounting device 20 has a mounting head 100 and a head moving device 102.
  • the head moving device 102 has an x-axis moving device 104 and a y-axis moving device 106, and moves the mounting head 100 to any position within the xy plane.
  • the x-axis moving device 104 has an x-axis slider 110 and an x-axis slider moving device 112.
  • the x-axis slider moving device 112 has a motor 114 and a feed screw mechanism 118 including a ball screw 116 and a nut (not shown).
  • the y-axis moving device 106 is provided on the x-axis slider 110 and has a y-axis slider 120 and a y-axis slider moving device 122.
  • the y-axis slider moving device 122 has a motor 124 and a feed screw mechanism (not shown).
  • the motors 114 and 124 are configured as servo motors or pulse motors with encoders, etc.
  • the mounting head 100 holds electronic components with a suction nozzle and is mounted on a y-axis slider 120.
  • the mounting head 100 moves the suction nozzle in the z direction to move the suction nozzle closer to and further away from the component supply devices 16, 18 and the board 2.
  • the mounting head 100 can use the suction nozzle to pick up electronic components from the component supply devices 16, 18 and place the electronic components picked up by the suction nozzle onto the board 2.
  • Each imaging device 22, 24 has a camera such as a CCD camera or CMOS camera.
  • the reference mark imaging device 22 is mounted on the y-axis slider 120.
  • the reference mark imaging device 22 is moved to any position in the xy plane by the head moving device 102, and captures an image of the reference mark 130 provided on the surface of the board 2.
  • the component imaging device 24 is mounted on the y-axis slider 120.
  • the component imaging device 24 captures an image of an electronic component picked up by the suction nozzle of the mounting head 100.
  • the control device 26 is configured using a computer equipped with a CPU 27 and memory 28.
  • the control device 26 controls the operation of each part of the component mounter 10 based on a production program transmitted from a higher-level management device (not shown). As shown in FIG. 3, the control device 26 is connected to and controls the operation of the board conveyor group 12, board holding device 14, component supply device 16, mounting device 20, reference mark imaging device 22, component imaging device 24, and board sensors 60, 62, and 64.
  • the memory 28 stores a first counter 80, a second counter 82, and a flag F1.
  • the first counter 80 and the second counter 82 count the number of pulses output by the motor 50 of the main conveyor 32.
  • the flag F1 changes from "0" to "1" when the upstream or downstream end of the board 2 is detected by the board sensor 60.
  • the conveyors 30, 32, and 34 can transport the board 2 in both forward and reverse directions by changing the rotation direction of the conveyor belt 36.
  • this section describes the case where the board 2 is transported in the positive x-axis direction in Figure 1 (from left to right in Figure 1).
  • conveyor 30 functions as the carry-in conveyor
  • conveyor 34 functions as the carry-out conveyor
  • board sensor 60 functions as the upstream sensor
  • board sensor 64 functions as the downstream sensor
  • board sensor 62 detects the transport of the board 2 from the main conveyor 32 to the carry-out conveyor 34.
  • board sensor 60 will be referred to as the upstream sensor 60
  • board sensor 64 will be referred to as the downstream sensor 64.
  • the CPU 27 of the control device 26 executes the operation control selection process shown in FIG. 4 prior to the start of a series of mounting of electronic components onto the boards 2.
  • the CPU 27 determines whether the length between the upstream and downstream ends of the board 2 in the transport direction for the board 2 being carried in is shorter than the inter-sensor distance between the upstream sensor 60 and the downstream sensor 64.
  • the production program sent from the management device describes the type and size of the board 2 to be produced.
  • the inter-sensor distance is also known. Therefore, the CPU 27 determines whether the length of the board 2 is shorter than the inter-sensor distance based on the production program.
  • the CPU 27 determines that the length of the board 2 is shorter than the distance between the sensors (YES in S10), it selects the first transport process as the process for transporting the board 2 by the main conveyor 32 when the board 2 is brought in at S12, and stores this in the memory 28. On the other hand, if the CPU 27 determines that the length of the board 2 is longer than the distance between the sensors (NO in S10), it selects the second transport process as the process for transporting the board 2 by the main conveyor 32 when the board 2 is brought in at S14, and stores this in the memory 28.
  • the order in which the board sensors 60, 64 detect the board edges differs depending on whether the length of the board 2 is shorter than the distance between the sensors. Therefore, in the operation control selection process, one of two types of operation control is selected depending on the length of the board 2.
  • the CPU 27 executes the board loading process shown in Figure 5 each time one board 2 is loaded onto the main conveyor 32.
  • the CPU 27 makes the determination in S16 based on the transport process (first transport process or second transport process) stored in the memory 28, and operates the main conveyor 32 in accordance with the selected transport process (S17, S18).
  • S17 and S18 are performed by executing the subroutines shown in Figures 6, 7 and 10, 11, respectively.
  • the CPU 27 controls the motor 50 using a speed control pattern including acceleration, constant speed, and deceleration.
  • the motor 50 is controlled by the CPU 27 so that one drive pulse with a predetermined pulse width is output every time a set time T elapses (S21, S22).
  • the CPU 27 counts up the number of output pulses by incrementing the count value C1 of the first counter 80 by 1 each time the motor 50 outputs one pulse in S21.
  • the CPU 27 determines whether the count value C1 has reached a set number CA. If it determines that the count value C1 is less than the set number CA (NO in S24), the process proceeds to S25.
  • the CPU 27 shortens the set time T by ⁇ T to increase the substrate transport speed.
  • the CPU 27 repeatedly executes S21 to S25 until the count value C1 reaches the set number CA.
  • the set number CA is the number of output pulses required for the substrate transport speed to reach the constant travel speed, and is set in advance.
  • the CPU 27 causes the motor 50 to output one pulse each time the set time T at that time elapses, thereby transporting the substrate 2 at a constant speed (S26, S27).
  • the CPU 27 determines whether the upstream end of the substrate 2 has been detected by the upstream sensor 60.
  • the CPU 27 determines that the upstream end of the substrate 2 has been detected (YES in S29) when the substrate 2 blocks light from the light-emitting element 68 of the upstream sensor 60 to the light-receiving element 70, causing the upstream sensor 60 to output ON (timing t1 in Figure 8), and then, as shown in Figure 9(a), the substrate 2 passes the upstream sensor 60, causing the output of the upstream sensor 60 to change from ON to OFF (timing t2 in Figure 8).
  • the CPU 27 repeatedly executes S26 to S29 until the upstream end of the substrate 2 is detected.
  • the CPU 27 sets flag F1 in memory 28 to 1 in S30. This stores the detection of the upstream end of the substrate 2 by the upstream sensor 60, and in subsequent processing, a YES determination is made in S28, so S29 to S32 are skipped.
  • the CPU 27 calculates in S31 the theoretical number of pulses CT (see FIG. 8 ), which is the drive amount of the motor 50 required to move the substrate from the position where the upstream sensor 60 detected the upstream end of the substrate 2 to the position where the downstream sensor 64 detected the downstream end of the substrate 2.
  • CT the theoretical number of pulses CT
  • the length of the substrate 2 and the distance between the sensors are known values. In the first transport process, the length of the substrate 2 is shorter than the distance between the sensors. Therefore, as shown in FIG.
  • the operation amount of the main conveyor 32 per pulse is a known value. Therefore, it is possible to calculate the theoretical number of pulses CT, which is the drive amount of the motor 50 required to operate the main conveyor 32 by the calculated theoretical operation amount.
  • the CPU 27 stores the calculated theoretical number of pulses CT in memory 28.
  • the CPU 27 calculates, based on the theoretical number of pulses CT, a set number of pulses CS (see FIG. 8), which is the drive amount of the motor 50 required to move the board 2 to a predetermined stop position.
  • the stop position is set downstream of the downstream sensor 64 in the transport direction.
  • the set operation amount is a known value.
  • the theoretical number of pulses CT required to move the main conveyor 32 by the theoretical operation amount was calculated.
  • the CPU 27 can calculate, based on the ratio of the set operation amount to the theoretical operation amount, the set number of pulses CS, which is the drive amount of the motor 50 required to operate the main conveyor 32 by the set operation amount (i.e., to stop the board at the stop position). Note that the operation of the main conveyor 32 is stopped by gradually decelerating, and the number of pulses CD and deceleration gradient required for deceleration shown in FIG. 8 are preset. Therefore, the CPU 27 calculates the set number of pulses CS taking into account the number of pulses CD used for deceleration control.
  • the CPU 27 determines whether the downstream end of the substrate 2 has been detected by the downstream sensor 64. As shown in FIG. 9(b), when the substrate 2 blocks light from the light-emitting element 68 of the downstream sensor 64 to the light-receiving element 70 and the output of the downstream sensor 64 changes from OFF to ON (timing t4 in FIG. 8), the CPU 27 determines that the downstream end of the substrate 2 has been detected (YES in S33). The CPU 27 repeatedly executes S26 to S28, S34, and S33 until the downstream end of the substrate 2 is detected. In S34, the CPU 27 counts up the number of output pulses by incrementing the count value C2 of the second counter 82 by 1 each time the motor 50 outputs one pulse. This counts the number of output pulses after the upstream end of the substrate 2 is detected in S29.
  • the CPU 27 detects in S35 the actual pulse number CR, which is the amount of drive of the motor 50 from the time when the upstream end of the substrate 2 is detected by the upstream sensor 60 (timing t2) to the time when the downstream end of the substrate 2 is detected by the downstream sensor 64 (timing t4), as shown in FIG. 8.
  • the actual pulse number CR is equal to the count value C2 of the second counter 82.
  • the CPU 27 determines whether the theoretical pulse count CT and the actual pulse count CR are equal.
  • the main conveyor 32 transports the board 2
  • relative movement occurs between the board 2 and the conveyor belt 36 due to vibrations of the board 2 and the conveyor belt 36, frictional resistance of the guide rail 56 against the board 2, etc., which can result in a discrepancy between the theoretical operating amount of the main conveyor 32 and the actual movement amount of the board 2.
  • the actual pulse count CR when the board 2 is actually moved from the position where the upstream end of the board 2 is detected by the upstream sensor 60 to the position where the downstream end of the board 2 is detected by the downstream sensor 64 may be greater than the theoretical pulse count CT (the drive amount of the motor 50 from timing t2 to t3).
  • the actual movement amount of the board 2 per pulse of the motor 50 may be smaller than the theoretical value due to the factors described above.
  • the motor 50 is driven for the set number of pulses CS calculated in S32, the board 2 will stop before reaching the stop position. Therefore, if the CPU 27 determines that the theoretical number of pulses CT and the actual number of pulses CR are not equal (NO in S36), in S37, the CPU 27 calculates the corrected set number of pulses CS' by correcting the set number of pulses CS calculated in S32 (pre-correction set number of pulses CS) based on the difference between the actual number of pulses CR and the theoretical number of pulses CT.
  • the CPU 27 calculates the corrected set number of pulses CS' by adding the difference ( ⁇ CF) between the actual number of pulses CR and the theoretical number of pulses CT to the pre-correction set number of pulses CS.
  • ⁇ CF is a positive value.
  • the CPU 27 counts the number of output pulses by incrementing the count value C2 of the second counter 82 by one each time the motor 50 outputs one pulse each time the set time T elapses (S38-S40), and repeatedly executes S38-S41 until the count value C2 reaches the set number CF+ ⁇ CF (S41).
  • the set number CF+ ⁇ CF is the number of output pulses while the board transport speed is constant from time t2 onwards.
  • the CPU 27 When the number of output pulses reaches the set number CF+ ⁇ CF (YES in S41), the CPU 27 thereafter lengthens the set time T by ⁇ T for each output pulse (S42-S44), gradually reducing the substrate transport speed. In S45, the CPU 27 counts up the number of output pulses by incrementing the count value C2 of the second counter 82 by 1 each time the motor 50 outputs one pulse, and in S46 determines whether the count value C2 has reached the corrected set number of pulses CS'.
  • the CPU 27 clears the count values C1 and C2 to 0, resets the flag F1 to 0, and sets the set time T to its initial value in S47, thereby ending the series of processes.
  • the CPU 27 determines that the theoretical pulse count CT and the actual pulse count CR are equal (YES in S36), it executes S48 to S56 without correcting the set pulse count CS calculated in S32.
  • the set pulse count CS is not corrected, and the set pulse count CS differs from the set pulse count CS' in the processing of S38 to S46, but in other respects S48 to S56 are the same as S38 to S46, respectively.
  • the second transfer process differs from the first transfer process in the way the substrate 2 is detected by the substrate sensors 60, 64 and the way the pulse counts CT, CR, and CS are calculated, but other processes are the same as the first transfer process.
  • S61 to S68 in FIG. 10 are the same as S21 to S28 in FIG. 6.
  • the CPU 27 determines whether the downstream end of the substrate 2 has been detected by the upstream sensor 60. As shown in FIG. 13(a), when the substrate 2 blocks light from the light-emitting element 68 to the light-receiving element 70 of the upstream sensor 60 and the output of the upstream sensor 60 changes from OFF to ON (timing t11 in FIG. 12), the CPU 27 determines that the downstream end of the substrate 2 has been detected (YES in S69). The CPU 27 repeatedly executes S66 to S69 until the downstream end of the substrate 2 is detected. When the downstream end of the substrate 2 is detected, the CPU 27 sets flag F1 in memory 28 to 1 in S70. This stores the detection of the downstream end of the substrate 2 by the upstream sensor 60, and in subsequent processing, S69 to S72 are skipped because a YES determination is made in S68.
  • the CPU 27 calculates in S71 the theoretical number of pulses CT (see FIG. 12), which is the drive amount of the motor 50 required to move the substrate from the position where the upstream sensor 60 detected the downstream end of the substrate 2 to the position where the downstream sensor 64 detects the downstream end of the substrate 2.
  • the distance between the sensors is set as the theoretical operation amount, as shown in FIG. 13(a).
  • the CPU 27 calculates the theoretical number of pulses CT, which is the drive amount of the motor 50 required to operate the main conveyor 32 by the set theoretical operation amount.
  • the CPU 27 calculates, based on the theoretical number of pulses CT, the set number of pulses CS (see FIG. 12), which is the drive amount of the motor 50 for moving the board 2 to a preset stop position.
  • the theoretical number of pulses CT is used to calculate the set number of pulses CS, which is the drive amount of the motor 50 for operating the main conveyor 32 the set operation amount from the position shown in FIG. 13(a) to the stop position shown in FIG. 13(c).
  • the CPU 27 determines whether the downstream end of the substrate 2 has been detected by the downstream sensor 64. As shown in FIG. 13(b), when the substrate 2 blocks light from the light-emitting element 68 of the downstream sensor 64 to the light-receiving element 70 and the output of the downstream sensor 64 changes from OFF to ON (timing t13 in FIG. 13), the CPU 27 determines that the downstream end of the substrate 2 has been detected (YES in S73). The CPU 27 repeatedly executes S66 to S68, S74, and S73 until the downstream end of the substrate 2 is detected. S74 is the same as S34 in FIG. 6.
  • the CPU 27 detects in S75 the actual pulse number CR, which is the amount of drive of the motor 50 from the time when the downstream end of the substrate 2 is detected by the upstream sensor 60 (timing t11) to the time when the downstream end of the substrate 2 is detected by the downstream sensor 64 (timing t13), as shown in FIG. 12.
  • the actual pulse number CR is equal to the count value C2 of the second counter 82.
  • the CPU 27 determines whether the theoretical pulse number CT and the actual pulse number CR are equal. If the CPU 27 determines that the theoretical pulse number CT and the actual pulse number CR are not equal (NO in S76), in S77, similar to S37 of FIG. 7, the CPU 27 calculates a corrected set pulse number CS' by correcting the set pulse number CS calculated in S72 (pre-correction set pulse number CS) based on the difference between the actual pulse number CR and the theoretical pulse number CT (see FIG. 12). S78 to S96 are similar to S38 to S56 of FIG. 7, respectively.
  • the set output amount CS of the motor 50 is corrected while the board 2 is being transported based on the difference between the drive amount of the motor 50 and the movement amount of the board 2 calculated based on the detection results of the board sensors 60 and 64. In this way, the component mounter 10 of this embodiment can correct errors in the set output amount CS by feeding back this difference while the conveyor 32 is operating, without having to stop the conveyor 32 once. This allows the board to be positioned accurately in a shorter time than with conventional configurations.
  • two spaced-apart board sensors 60, 64 are used to calculate the theoretical number of pulses CT required for the board 2 to move the distance from the upstream sensor 60 to the downstream sensor 64, and by comparing this distance with the actual number of pulses CR when the board 2 actually moves, it is possible to accurately calculate the deviation in the theoretical output amount CT due to the relative movement between the board 2 and the conveyor 32. Therefore, based on the difference between the theoretical number of pulses CT and the actual number of pulses CR, it is possible to appropriately correct the set number of pulses CS required to move the board 2 to the stop position, and calculate the corrected set number of pulses CS'.
  • different transport processes are performed depending on whether the length of the substrate 2 is longer or shorter than the sensor-to-sensor distance. That is, if the length of the substrate 2 is shorter than the sensor-to-sensor distance, the set pulse number CS is corrected based on the difference between the theoretical output amount CT and the actual output amount CR when the substrate 2 moves between the upstream sensor 60 and the downstream sensor 64. Furthermore, if the length of the substrate 2 is longer than the sensor-to-sensor distance, the set pulse number CS is corrected based on the theoretical output amount CT and the actual output amount CR when the substrate 2 moves from the position where the upstream sensor 60 detects the downstream end of the substrate 2 to the position where the downstream sensor 64 detects the downstream end of the substrate 2.
  • the set pulse number CS can be appropriately corrected at an earlier stage during transport of the substrate 2. Furthermore, according to this embodiment, deviations that may occur during constant-speed movement of the substrate 2 can be accurately corrected.
  • the main conveyor 32 is an example of a "board transport device.”
  • the board sensors 60, 64 are an example of a “detection unit.”
  • the set pulse number CS is an example of a "set output amount.”
  • the positions of the board 2 shown in Figures 9(a) and 13(a) and the positions of the board 2 shown in Figures 9(b) and 13(b) are examples of a "first position” and a "second position,” respectively.
  • the theoretical pulse number CT and the actual pulse number CR are examples of a "theoretical output amount” and a "actual output amount,” respectively.
  • Example 2 The second embodiment differs from the first embodiment in that the mounter 10 does not include the board sensor 64.
  • the third transport process shown in Fig. 14 and Fig. 15 is executed when the board 2 is carried in.
  • S101 to S108 in FIG. 10 are the same as S21 to S28 in FIG. 6.
  • the CPU 27 determines whether the downstream end of the substrate 2 has been detected by the substrate sensor 60. As shown in FIG. 17(a), when the substrate 2 blocks light from the light-emitting portion 68 to the light-receiving portion 70 of the substrate sensor 60 and the output of the substrate sensor 60 changes from OFF to ON (timing t21 in FIG. 16), the CPU 27 determines that the downstream end of the substrate 2 has been detected (YES in S109). The CPU 27 repeatedly executes S106 to S109 until the downstream end of the substrate 2 is detected. When the downstream end of the substrate 2 is detected, the CPU 27 sets flag F1 in memory 28 to 1 in S110. This stores the detection of the downstream end of the substrate 2 by the substrate sensor 60, and in subsequent processing, S109 to S112 are skipped because a YES determination is made in S108.
  • the CPU 27 calculates in S111 the theoretical number of pulses CT (see FIG. 16), which is the drive amount of the motor 50 required to move the substrate from the position where the substrate sensor 60 detected the downstream end of the substrate 2 to the position where the substrate sensor 60 detected the upstream end of the substrate 2.
  • the distance from the downstream end to the upstream end of the substrate 2 i.e., the length of the substrate 2 is set as the theoretical operation amount, as shown in FIGS. 17(a) and 17(b).
  • the CPU 27 calculates the theoretical number of pulses CT, which is the drive amount of the motor 50 required to operate the main conveyor 32 by the set theoretical operation amount.
  • the CPU 27 calculates, based on the theoretical number of pulses CT, the set number of pulses CS (see FIG. 16), which is the drive amount of the motor 50 for moving the board 2 to a preset stop position.
  • the theoretical number of pulses CT is used to calculate the set number of pulses CS, which is the drive amount of the motor 50 for operating the main conveyor 32 the set operation amount from the position shown in FIG. 17(a) to the stop position shown in FIG. 17(c).
  • the CPU 27 determines whether the upstream end of the substrate 2 has been detected by the substrate sensor 60. As shown in FIG. 17(b), when the substrate 2 passes the substrate sensor 60 and the output of the substrate sensor 60 changes from ON to OFF (timing t23 in FIG. 16), the CPU 27 determines that the upstream end of the substrate 2 has been detected (YES in S113). The CPU 27 repeatedly executes S106 to S108, S114, and S113 until the upstream end of the substrate 2 is detected. S114 is the same as S34 in FIG. 6.
  • the CPU 27 detects in S115 the actual pulse number CR, which is the amount of drive of the motor 50 from the time when the downstream end of the substrate 2 is detected by the substrate sensor 60 (timing t21) to the time when the upstream end of the substrate 2 is detected by the substrate sensor 60 (timing t23), as shown in FIG. 16.
  • the actual pulse number CR is equal to the count value C2 of the second counter 82.
  • the CPU 27 determines whether the theoretical pulse number CT and the actual pulse number CR are equal. If the CPU 27 determines that the theoretical pulse number CT and the actual pulse number CR are not equal (NO in S116), in S117, similar to S37 of FIG. 7, the CPU 27 calculates a corrected set pulse number CS' by correcting the set pulse number CS calculated in S112 (pre-correction set pulse number CS) based on the difference between the actual pulse number CR and the theoretical pulse number CT (see FIG. 16). S118 to S136 are similar to S38 to S56 of FIG. 7, respectively.
  • the distance from the downstream end of the substrate 2 until its upstream end passes the substrate sensor 60 is calculated as the theoretical number of pulses CT, and this distance is compared with the actual number of pulses CR when the substrate 2 actually moves, making it possible to accurately calculate the deviation in the theoretical output amount CT due to the relative movement between the substrate 2 and the conveyor 32. Therefore, based on the difference between the theoretical number of pulses CT and the actual number of pulses CR, the set number of pulses CS for moving the substrate 2 to the stop position can be appropriately corrected, and the corrected set number of pulses CS' can be calculated.
  • the difference between the theoretical output amount CT and the actual output amount CR is calculated using only a single substrate sensor 60. This simplifies the device configuration and reduces costs.
  • the main conveyor 32 is an example of a "board transport device.”
  • the board sensor 60 is an example of a “detection unit.”
  • the set pulse number CS is corrected when the theoretical pulse number CT is smaller than the actual pulse number CR.
  • the set pulse number CS can also be corrected in a similar manner when the theoretical pulse number CT is larger than the actual pulse number CR.
  • the difference between the theoretical pulse number CT and the actual pulse number CR is calculated, and the post-correction set pulse number CS' is calculated by adding a negative value ⁇ CF to the pre-correction set pulse number CS based on this difference.
  • the length of the substrate 2 does not need to be known.
  • the length of the substrate 2 may be calculated based on the number of output pulses from when the upstream sensor 60 detects the downstream end of the substrate 2 until it detects the upstream end.
  • the motor 50 is a pulse motor without an encoder, but it may also be, for example, a servo motor with an encoder.
  • the upstream and downstream ends of the substrate 2 are detected by the substrate sensors 60, 64.
  • the upstream and downstream ends of the substrate 2 may be detected using the reference mark imaging device 22 while the substrate 2 is being transported.
  • the substrate sensors 60, 64 can be omitted.

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Abstract

基板搬送装置は、基板を搬送方向に搬送するコンベアと、前記コンベアを運転させるモータと、前記モータを駆動させることにより、前記基板を前記コンベアにより所定の停止位置まで搬送する搬送処理を実行可能な制御部と、前記搬送方向において前記基板の上流端及び下流端を検出する少なくとも１つの検出部と、を備える。前記制御部は、前記搬送処理を実行する場合に、前記モータの駆動量と、前記検出部の検出結果に基づいて算出した前記基板の移動量との差分に基づいて、前記基板を搬送している間に、前記基板を前記停止位置まで移動させるための前記モータの設定出力量を補正する。

Description

基板搬送装置
　本明細書に開示の技術は、基板を所定の停止位置まで搬送する基板搬送装置に関する。
　国際公開第２０１３／１２４９７０号公報には、コンベアにより搬送方向に搬送した基板を、所定の停止位置で停止させる基板搬送装置が開示されている。この基板搬送装置は、検出器で基板の上流端を検出したときに、コンベアを所定の設定運転量だけ運転させて基板を停止させる。このときに、基板搬送装置は、検出器で基板の下流端を検出した位置から基板を停止位置まで移動させるためにコンベアが運転するための理論運転量と、基板の下流端を検出した位置からコンベアが停止するまでに実際に運転した実運転量との差分に基づいて停止位置の誤差を算出する。基板搬送装置は、算出した誤差に基づいてコンベアを再度運転させることにより、当該誤差が補正される。
　国際公開第２０１３／１２４９７０号公報の技術では、コンベアを設定運転量だけ運転して停止させた後、算出した誤差に基づいて、再度コンベアを運転することにより当該誤差を解消している。このため、基板を正確に停止位置に位置決めするために比較的長い時間を要する。本明細書では、基板搬送装置によって、より短時間で基板を正確に位置決めすることができる技術を提供する。
　本明細書に開示する基板搬送装置は、基板を搬送方向に搬送するコンベアと、前記コンベアを運転させるモータと、前記モータを駆動させることにより、前記基板を前記コンベアにより所定の停止位置まで搬送する搬送処理を実行可能な制御部と、前記搬送方向において前記基板の上流端及び下流端を検出する少なくとも１つの検出部と、を備える。前記制御部は、前記搬送処理を実行する場合に、前記モータの駆動量と、前記検出部の検出結果に基づいて算出した前記基板の移動量との差分に基づいて、前記基板を搬送している間に、前記基板を前記停止位置まで移動させるための前記モータの設定出力量を補正する。
　コンベアによって基板を搬送する際には、基板やコンベアの振動、基板に対する案内部材の摩擦抵抗、加減速時における基板の慣性力等により、基板とコンベアとの間に相対移動が発生し、所望する停止位置に対して、実際の停止位置にずれが生じることがある。すなわち、モータの駆動量（コンベアの移動量）に対して、基板の移動量にずれが生じ得る。上記の基板搬送装置では、モータの駆動量と、検出部の検出結果に基づいて算出した基板の移動量との差分に基づいて、基板を搬送している間に、モータの設定出力量が補正される。このように、上記の基板搬送装置では、コンベアの動作中に、当該差分をフィードバックすることにより、設定出力量の誤差を補正することができ、従来の構成と比較して短時間で基板を正確に位置決めすることができる。
実施例に係る部品実装機の平面図。 メインコンベアの背面図。 部品実装機の制御系を示すブロック図。 運転制御選択処理の一例を示すフローチャート。 基板搬入処理の一例を示すフローチャート。 第１搬送処理の一例を示すフローチャート。 第１搬送処理の一例を示すフローチャート。 第１搬送処理における各基板センサの出力を示すタイミングチャート及びモータの出力を示すグラフ。 第１搬送処理によりメインコンベアが制御されるときの基板の搬送及び停止を説明するための図。 第２搬送処理の一例を示すフローチャート。 第２搬送処理の一例を示すフローチャート。 第２搬送処理における各基板センサの出力を示すタイミングチャート及びモータの出力を示すグラフ。 第２搬送処理によりメインコンベアが制御されるときの基板の搬送及び停止を説明するための図。 第３搬送処理の一例を示すフローチャート。 第３搬送処理の一例を示すフローチャート。 第３搬送処理における基板センサの出力を示すタイミングチャート及びモータの出力を示すグラフ。 第３搬送処理によりメインコンベアが制御されるときの基板の搬送及び停止を説明するための図。
　以下に説明する実施例の主要な特徴を列記しておく。なお、以下に記載する技術要素は、それぞれ独立した技術要素であって、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時の請求項に記載の組合せに限定されるものではない。
　本技術の一実施形態では、前記制御部は、搬送処理を実行する場合に、前記基板の長さに基づいて、前記検出部が前記上流端又は前記下流端を検出する第１位置と、前記検出部が前記上流端又は前記下流端を検出する第２位置であって、前記第１位置とは異なる前記第２位置と、の間の距離を前記基板が移動するための前記モータの理論出力量を算出し、前記検出部により前記基板の前記上流端又は前記下流端を検出したときに、前記理論出力量に基づいて、前記設定出力量を算出し、前記第１位置と前記第２位置との間の距離を前記基板が実際に移動したときの前記モータの実出力量を検出し、前記基板を搬送している間に、前記理論出力量と前記実出力量との差分に基づいて、前記設定出力量を補正してもよい。
　このような構成では、停止位置までの間の所定の距離（第１位置と第２位置との間の距離）を基板が移動するための理論出力量を算出しておき、当該所定の距離を基板が実際に移動したときの実出力量と比較することで、基板とコンベアとの相対移動に起因する理論出力量のずれを予測し算出することができる。このため、理論出力量と実出力量の差分に基づいて、設定出力量を適切に補正することができる。
　本技術の一実施形態では、前記検出部は、前記搬送方向において上流側に設けられた上流側検出部と、前記上流側検出部よりも下流側に設けられた下流側検出部と、を備えてもよい。前記搬送方向における前記基板の長さが、前記上流側検出部と前記下流側検出部との間の距離よりも短い場合、前記第１位置は、前記上流側検出部が前記基板の前記上流端を検出する位置であり、前記第２位置は、前記下流側検出部が前記基板の前記下流端を検出する位置であってもよい。前記制御部は、前記搬送処理を実行する場合に、前記上流側検出部が前記基板の前記上流端を検出したときに、前記理論出力量に基づいて、前記第１位置から前記停止位置まで前記基板が移動するための前記モータの前記設定出力量を算出してもよい。
　このような構成では、間隔を空けて設けられた２つの検出部を利用して、理論出力量と実出力量の差分を算出する。このため、実出力量からの理論出力量のずれを精度良く算出することができる。
　本技術の一実施形態では、前記制御部は、前記上流側検出部が前記基板の前記下流端を検出してから前記上流端を検出するまでの間の前記モータの出力量に基づいて、前記基板の前記長さを算出してもよい。
　このような構成では、基板の搬送中に基板の長さを算出することができるので、基板の長さに関する情報を予め把握しておく必要がない。
　本技術の一実施形態では、前記検出部は、前記搬送方向において上流側に設けられた上流側検出部と、前記上流側検出部よりも下流側に設けられた下流側検出部と、を備えてもよい。前記搬送方向における前記基板の長さが、前記上流側検出部と前記下流側検出部との間の距離よりも長い場合、前記第１位置は、前記上流側検出部が前記基板の前記下流端を検出する位置であり、前記第２位置は、前記下流側検出部が前記基板の前記下流端を検出する位置であってもよい。前記制御部は、前記搬送処理を実行する場合に、前記上流側検出部が前記基板の前記下流端を検出したときに、前記理論出力量に基づいて、前記第１位置から前記停止位置まで前記基板が移動するための前記モータの前記設定出力量を算出してもよい。
　このような構成では、間隔を空けて設けられた２つの検出部を利用して、理論出力量と実出力量の差分を算出する。このため、実出力量からの理論出力量のずれを精度良く算出することができる。
　本技術の一実施形態では、前記基板搬送装置は、前記搬送方向において前記基板の前記上流端及び前記下流端を検出する１つの前記検出部を備えてもよい。前記第１位置は、前記検出部が前記基板の前記下流端を検出する位置であり、前記第２位置は、前記検出部が前記基板の前記上流端を検出する位置であってもよい。前記制御部は、前記搬送処理を実行する場合に、前記検出部が前記基板の前記下流端を検出したときに、前記理論出力量に基づいて、前記第１位置から前記停止位置まで前記基板が移動するための前記モータの前記設定出力量を算出してもよい。
　このような構成では、単一の検出部のみを利用して、理論出力量と実出力量の差分を算出する。このため、装置構成が簡易であり、コストを低減することができる。
　本技術の一実施形態では、前記モータは、前記モータの回転角度を検出するエンコーダを備えていないモータであってもよい。
　本技術の基板搬送装置では、検出部によって基板の上流端及び下流端（すなわち、基板の位置）が検出される。このため、モータがエンコーダを備えていなくても、設定出力量を適切に補正し、基板を正確に位置決めすることができる。
（実施例１）
　図面を参照して、実施例１に係る部品実装機１０について説明する。部品実装機１０は、基板２に部品を実装する装置である。部品実装機１０は、電子部品装着装置やチップマウンタとも称される。通常、部品実装機１０は、はんだ印刷機及び基板検査機といった他の基板作業機と共に併設され、一連の実装ラインを構成する。
　図１に示すように、部品実装機１０は、基板コンベア群１２と、基板保持装置１４と、部品供給装置１６、１８と、装着装置２０と、基準マーク撮像装置２２と、部品撮像装置２４と、制御装置２６と、を備える。
　基板コンベア群１２は、基板２を部品実装機１０に搬入するためのコンベア３０と、基板２を部品実装機１０内部で位置決めするためのメインコンベア３２と、基板２を部品実装機１０から搬出するためのコンベア３４と、を有する。コンベア３０、３２、３４は、いずれもベルトコンベアである。図２に示すように、メインコンベア３２は、一対の無端のコンベアベルト３６及びベルト周回装置３８を有する。ベルト周回装置３８は、サイドフレーム４０、４２の互いに対向する内側面にそれぞれ回転可能に取り付けられた駆動プーリ４４と、複数のガイドプーリ４６と、サイドフレーム４０、４２の各駆動プーリ４４を駆動するモータ５０と、を有する。なお、コンベア３０及び３４は、メインコンベア３２の構成（コンベアベルト３６、ベルト周回装置３８）と同様の構成を有する。
　プーリ４４、４６はタイミングプーリである。コンベアベルト３６はタイミングベルトである。一対のコンベアベルト３６がベルト周回装置３８により同時に周回されることにより、基板２は、ガイドレール５６によって幅方向（図１のｙ軸方向）の両側において案内されて搬送方向（図１のｘ軸正方向）に沿って搬送される。モータ５０は、モータの回転角度を検出するエンコーダを備えていないパルスモータである。
　図１に示すように、メインコンベア３２には、基板２の搬送方向において、基板センサ６０、６２、６４が設けられている。基板センサ６０は、搬送方向においてメインコンベア３２の上流端に設けられている。基板センサ６２は、搬送方向においてメインコンベア３２の下流端に設けられている。基板センサ６４は、搬送方向において基板センサ６０と基板センサ６２の間に設けられている。本実施例では、基板センサ６４は、搬送方向において、メインコンベア３２の中央よりも上流側に設けられている。
　本実施例では、各基板センサ６０、６２、６４は、透過型光電センサにより構成され、図１に示すように、幅方向に離間して対向して設けられた投光部６８及び受光部７０を備える。各基板センサ６０、６２、６４は、投光部６８からの光を受光部７０が受光する状態ではＯＦＦを出力し、当該光を受光しない状態ではＯＮを出力する。
　基板保持装置１４は、図１に示すように、メインコンベア３２の搬送方向の中央部に設けられている。基板保持装置１４は、図２に示すように、基板支持装置８０及びクランプ部材８２を備える。基板支持装置８０は、支持ピン８４により基板２の裏面を下方から支持し、基板２を水平な姿勢で保持する。
　装着装置２０は、図１に示すように、装着ヘッド１００及びヘッド移動装置１０２を有する。ヘッド移動装置１０２は、ｘ軸方向移動装置１０４及びｙ軸方向移動装置１０６を有し、装着ヘッド１００をｘｙ平面内の任意の位置へ移動させる。ｘ軸方向移動装置１０４は、ｘ軸スライダ１１０及びｘ軸スライダ移動装置１１２を有する。ｘ軸スライダ移動装置１１２は、モータ１１４と、ボールねじ１１６とナット（図示省略）とを含む送りねじ機構１１８とを備えている。ｙ軸方向移動装置１０６は、本実施例ではｘ軸スライダ１１０に設けられ、ｙ軸スライダ１２０及びｙ軸スライダ移動装置１２２を有する。ｙ軸スライダ移動装置１２２は、モータ１２４及び送りねじ機構（図示省略）を備えている。モータ１１４、１２４は、エンコーダ付きのサーボモータ又はパルスモータ等により構成されている。装着ヘッド１００は、吸着ノズルにより電子部品を保持し、ｙ軸スライダ１２０に搭載されている。装着ヘッド１００は、吸着ノズルをｚ方向に移動させることにより、部品供給装置１６、１８、及び基板２に対して、吸着ノズルを近接及び離間させる。装着ヘッド１００は、部品供給装置１６、１８から電子部品を吸着ノズルによって吸着するとともに、吸着ノズルに吸着された電子部品を基板２上に装着することができる。
　各撮像装置２２、２４は、例えば、ＣＣＤカメラ、ＣＭＯＳカメラ等のカメラを有している。基準マーク撮像装置２２は、ｙ軸スライダ１２０に搭載されている。基準マーク撮像装置２２は、ヘッド移動装置１０２によりｘｙ平面内の任意の位置へ移動され、基板２の表面に設けられた基準マーク１３０を撮像する。部品撮像装置２４は、ｙ軸スライダ１２０に搭載されている。部品撮像装置２４は、装着ヘッド１００の吸着ノズルに吸着された電子部品を撮像する。
　制御装置２６は、ＣＰＵ２７及びメモリ２８を備えるコンピュータを用いて構成されている。制御装置２６は、上位の管理装置（図示省略）から送信される生産プログラムに基づいて、部品実装機１０の各部の動作を制御する。図３に示すように、制御装置２６は、基板コンベア群１２、基板保持装置１４、部品供給装置１６、装着装置２０、基準マーク撮像装置２２、部品撮像装置２４、基板センサ６０、６２、６４に接続され、これらの動作を制御する。メモリ２８には、第１カウンタ８０、第２カウンタ８２、フラグＦ１が記憶されている。第１カウンタ８０及び第２カウンタ８２は、メインコンベア３２のモータ５０が出力するパルス数をカウントする。フラグＦ１は、基板２の上流端又は下流端が基板センサ６０により検出されると、「０」から「１」に変化する。
　次に、メインコンベア３２の運転制御について説明する。コンベア３０、３２、３４は、コンベアベルト３６の周回方向の変更により基板２を正逆両方向に搬送することができる。ここでは、上述の通り、基板２が図１においてｘ軸正方向（図１の左から右）へ搬送される場合について説明する。この場合、コンベア３０が搬入コンベア、コンベア３４が搬出コンベア、基板センサ６０が上流側センサ、基板センサ６４が下流側センサとしてそれぞれ機能し、基板センサ６２は、メインコンベア３２から搬出コンベア３４への基板２の搬出を検出する。以下では、基板センサ６０を上流側センサ６０と称し、基板センサ６４を下流側センサ６４と称する。
　まず、制御装置２６のＣＰＵ２７は、一連の基板２への電子部品の装着開始に先立って、図４に示す運転制御選択処理を実行する。Ｓ１０において、ＣＰＵ２７は、搬入される基板２について、搬送方向における基板２の上流端と下流端との間の長さが、上流側センサ６０と下流側センサ６４との間のセンサ間距離よりも短いか否かを判断する。管理装置から送信される生産プログラムには、生産される基板２の種類やサイズが記述されている。また、センサ間距離は既知である。このため、ＣＰＵ２７は、当該生産プログラムに基づいて、基板２の長さがセンサ間距離よりも短いか否かを判断する。
　ＣＰＵ２７は、基板２の長さがセンサ間距離よりも短いと判断する場合（Ｓ１０でＹＥＳ）、Ｓ１２において、基板２の搬入時にメインコンベア３２により基板２を搬送する処理として第１搬送処理を選択し、メモリ２８に記憶させる。一方、ＣＰＵ２７は、基板２の長さがセンサ間距離よりも長いと判断する場合（Ｓ１０でＮＯ）、Ｓ１４において、基板２の搬入時にメインコンベア３２により基板２を搬送する処理として第２搬送処理を選択し、メモリ２８に記憶させる。基板センサ６０、６４による基板端の検出順は、基板２の長さがセンサ間距離より短いか否かにより異なる。このため、運転制御選択処理では、基板２の長さに応じて２種類の運転制御のうちのいずれかが選択される。
　次に、制御装置２６のＣＰＵ２７が、基板２の搬入時に実行する基板搬入処理について説明する。ＣＰＵ２７は、１枚の基板２がメインコンベア３２へ搬入される毎に、図５に示す基板搬入処理が実行される。ここでは、ＣＰＵ２７は、メモリ２８に記憶された搬送処理（第１搬送処理又は第２搬送処理）に基づいてＳ１６の判断を行い、選択された搬送処理に従ってメインコンベア３２を運転する（Ｓ１７、Ｓ１８）。Ｓ１７及びＳ１８は、図６、７及び図１０、１１のそれぞれに示すサブルーチンを実行することにより行われる。
　まず、図６及び図７に示す第１搬送処理について説明する。基板２の搬送時には、ＣＰＵ２７は、モータ５０を加速、定速及び減速を含む速度制御パターンで制御する。モータ５０は、設定時間Ｔの経過毎に所定のパルス幅である駆動パルスが１つ出力されるようにＣＰＵ２７によって制御される（Ｓ２１、Ｓ２２）。ＣＰＵ２７は、Ｓ２３において、Ｓ２１でモータ５０が１パルス出力する毎に、第１カウンタ８０のカウント値Ｃ１を１増加させることにより出力パルス数をカウントアップする。ＣＰＵ２７は、Ｓ２４において、カウント値Ｃ１が設定数ＣＡに達したか否かを判断し、カウント値Ｃ１が設定数ＣＡ未満であると判断すると（Ｓ２４でＮＯ）、Ｓ２５に進む。Ｓ２５では、ＣＰＵ２７は、設定時間ＴをΔＴだけ短くして、基板搬送速度を上昇させる。ＣＰＵ２７は、カウント値Ｃ１が設定数ＣＡに達するまで、Ｓ２１～Ｓ２５を繰り返し実行する。設定数ＣＡは、図８に示すように、基板搬送速度が定速走行速度に達するまでに要する出力パルス数であり、予め設定されている。
　ＣＰＵ２７は、出力パルス数が設定数ＣＡに達すると（Ｓ２４でＹＥＳ）、その時点における設定時間Ｔが経過する毎にモータ５０に１パルスを出力させて、基板２を定速で搬送する（Ｓ２６、Ｓ２７）。ＣＰＵ２７は、Ｓ２９において、上流側センサ６０によって基板２の上流端が検出されたか否かを判断する。ＣＰＵ２７は、基板２が上流側センサ６０の投光部６８から受光部７０への光を遮断して、上流側センサ６０がＯＮを出力してから（図８のタイミングｔ１）、図９（ａ）に示すように基板２が上流側センサ６０を通過して、上流側センサ６０の出力がＯＮからＯＦＦに変化すると（図８のタイミングｔ２）、基板２の上流端が検出されたと判断する（Ｓ２９でＹＥＳ）。ＣＰＵ２７は、基板２の上流端が検出されるまで、Ｓ２６～Ｓ２９を繰り返し実行する。ＣＰＵ２７は、基板２の上流端が検出されると、Ｓ３０において、メモリ２８内のフラグＦ１を１にセットする。これにより上流側センサ６０による基板２の上流端の検出が記憶され、以降の処理では、Ｓ２８でＹＥＳと判断されるため、Ｓ２９～Ｓ３２がスキップされる。
　また、ＣＰＵ２７は、基板２の上流端が検出されると、Ｓ３１において、上流側センサ６０が基板２の上流端を検出した位置から、下流側センサ６４が基板２の下流端を検出する位置まで基板を移動させるためのモータ５０の駆動量である理論パルス数ＣＴ（図８参照）を算出する。上述したように、基板２の長さ及びセンサ間距離は既知の値である。第１搬送処理では、基板２の長さがセンサ間距離よりも短いので、図９（ａ）に示すように、センサ間距離から基板２の長さを減算することにより、上流側センサ６０が基板２の上流端を検出した位置から、下流側センサ６４が基板２の下流端を検出する位置までの距離（理論運転量）を算出することができる。また、１パルス当たりのメインコンベア３２の運転量は既知の値である。このため、算出した理論運転量だけメインコンベア３２を運転させるためのモータ５０の駆動量である理論パルス数ＣＴを算出することができる。ＣＰＵ２７は、算出した理論パルス数ＣＴをメモリ２８に記憶する。
　次いで、ＣＰＵ２７は、Ｓ３２において、理論パルス数ＣＴに基づいて、基板２を予め設定された停止位置まで移動させるためのモータ５０の駆動量である設定パルス数ＣＳ（図８参照）を算出する。図９（ｃ）に示すように、停止位置は、搬送方向において、下流側センサ６４よりも下流側に設定されている。ここで、設定運転量は、既知の値である。また、Ｓ３１において、理論運転量だけメインコンベア３２を移動させるための理論パルス数ＣＴが算出されている。したがって、ＣＰＵ２７は、理論パルス数ＣＴを利用することにより、設定運転量と理論運転量との比に基づいて、設定運転量だけメインコンベア３２を運転させる（すなわち、基板を停止位置に停止させる）ためのモータ５０の駆動量である設定パルス数ＣＳを算出することができる。なお、メインコンベア３２の運転は、徐々に減速することにより停止され、図８に示す減速に要するパルス数ＣＤ及び減速勾配は予め設定されている。したがって、ＣＰＵ２７は、減速制御するパルス数ＣＤを考慮して、設定パルス数ＣＳを算出する。
　ＣＰＵ２７は、Ｓ３３において、下流側センサ６４によって基板２の下流端が検出されたか否かを判断する。ＣＰＵ２７は、図９（ｂ）に示すように、基板２が下流側センサ６４の投光部６８から受光部７０への光を遮断して、下流側センサ６４の出力がＯＦＦからＯＮに変化すると（図８のタイミングｔ４）、基板２の下流端が検出されたと判断する（Ｓ３３でＹＥＳ）。ＣＰＵ２７は、基板２の下流端が検出されるまでＳ２６～Ｓ２８、Ｓ３４、Ｓ３３を繰り返し実行する。Ｓ３４では、ＣＰＵ２７は、モータ５０が１パルス出力する毎に、第２カウンタ８２のカウント値Ｃ２を１増加させることにより出力パルス数をカウントアップする。これにより、Ｓ２９における基板２の上流端の検出後の出力パルス数がカウントされる。
　ＣＰＵ２７は、基板２の下流端が検出されると、Ｓ３５において、図８に示すように、上流側センサ６０によって基板２の上流端が検出された時点（タイミングｔ２）から、下流側センサ６４によって基板２の下流端が検出された時点（タイミングｔ４）までのモータ５０の駆動量である実パルス数ＣＲを検出する。実パルス数ＣＲは、第２カウンタ８２のカウント値Ｃ２と等しい。
　次いで、ＣＰＵ２７は、図７のＳ３６において、理論パルス数ＣＴと実パルス数ＣＲとが等しいか否かを判断する。メインコンベア３２によって基板２を搬送する際には、基板２やコンベアベルト３６の振動、基板２に対するガイドレール５６の摩擦抵抗等により、基板２とコンベアベルト３６との間に相対移動が発生し、メインコンベア３２の理論運転量と、基板２の実際の移動量との間にずれが生じ得る。例えば、図８に示すように、上流側センサ６０により基板２の上流端が検出された位置から、下流側センサ６４により基板２の下流端が検出される位置まで基板２を実際に移動させたときの実パルス数ＣＲが、理論パルス数ＣＴ（タイミングｔ２からｔ３までのモータ５０の駆動量）よりも大きくなる場合がある。換言すると、モータ５０の１パルス当たりの基板２の実際の移動量が、上記した要因により、理論値よりも小さくなる場合がある。この場合、Ｓ３２において算出した設定パルス数ＣＳだけモータ５０を駆動させると、基板２が停止位置に達する前に停止してしまう。このため、ＣＰＵ２７は、理論パルス数ＣＴと実パルス数ＣＲとが等しくないと判断すると（Ｓ３６でＮＯ）、Ｓ３７において、実パルス数ＣＲと理論パルス数ＣＴとの差分に基づいて、Ｓ３２において算出した設定パルス数ＣＳ（補正前設定パルス数ＣＳ）を補正することにより、補正後設定パルス数ＣＳ’を算出する。具体的には、ＣＰＵ２７は、実パルス数ＣＲと理論パルス数ＣＴの差分（ΔＣＦ）を、補正前設定パルス数ＣＳに加算することにより、補正後設定パルス数ＣＳ’を算出する。図８に示す例では、ΔＣＦは正の値である。
　その後、ＣＰＵ２７は、設定時間Ｔの経過毎にモータ５０が１パルス出力する毎に、第２カウンタ８２のカウント値Ｃ２を１ずつ増加させることにより出力パルス数をカウントし（Ｓ３８～Ｓ４０）、カウント値Ｃ２が設定数ＣＦ＋ΔＣＦに達するまで（Ｓ４１）、Ｓ３８～Ｓ４１を繰り返し実行する。図８に示すように、設定数ＣＦ＋ΔＣＦは、タイミングｔ２以降において、基板搬送速度が定速である間の出力パルス数である。
　ＣＰＵ２７は、出力パルス数が設定数ＣＦ＋ΔＣＦに達すると（Ｓ４１でＹＥＳ）、以後、１パルスの出力毎に設定時間ＴをΔＴずつ長くして（Ｓ４２～Ｓ４４）、基板搬送速度を徐々に低下させる。ＣＰＵ２７は、Ｓ４５において、モータ５０が１パルス出力する毎に、第２カウンタ８２のカウント値Ｃ２を１ずつ増加させることにより出力パルス数をカウントアップし、Ｓ４６において、カウント値Ｃ２が補正後設定パルス数ＣＳ’に達したか否かを判断する。ＣＰＵ２７は、カウント値Ｃ２が補正後設定パルス数ＣＳ’に達すると（Ｓ４６でＹＥＳ）、Ｓ４７において、カウント値Ｃ１、Ｃ２を０にクリアし、フラグＦ１を０にリセットするとともに、設定時間Ｔを初期値にセットして、一連の処理を終了する。
　一方、ＣＰＵ２７は、理論パルス数ＣＴと実パルス数ＣＲとが等しいと判断する場合（Ｓ３６でＹＥＳ）、Ｓ３２において算出した設定パルス数ＣＳを補正することなく、Ｓ４８～Ｓ５６を実行する。Ｓ４８～Ｓ５６の処理では、設定パルス数ＣＳが補正されておらず、設定パルス数ＣＳがＳ３８～Ｓ４６の処理における設定パルス数ＣＳ’と異なっているが、その他の点においては、Ｓ４８～Ｓ５６は、Ｓ３８～Ｓ４６のそれぞれと同様である。
　次に、図１０及び図１１に示す第２搬送処理について説明する。第２搬送処理は、基板センサ６０、６４による基板２の検出態様、各パルス数ＣＴ、ＣＲ、ＣＳの算出態様が第１搬送処理と異なるが、その他の処理は第１搬送処理と同様である。
　図１０のＳ６１～Ｓ６８は、図６のＳ２１～Ｓ２８と同様である。ＣＰＵ２７は、Ｓ６９において、上流側センサ６０によって基板２の下流端が検出されたか否かを判断する。ＣＰＵ２７は、図１３（ａ）に示すように、基板２が上流側センサ６０の投光部６８から受光部７０への光を遮断して、上流側センサ６０の出力がＯＦＦからＯＮに変化すると（図１２のタイミングｔ１１）、基板２の下流端が検出されたと判断する（Ｓ６９でＹＥＳ）。ＣＰＵ２７は、基板２の下流端が検出されるまで、Ｓ６６～Ｓ６９を繰り返し実行する。ＣＰＵ２７は、基板２の下流端が検出されると、Ｓ７０において、メモリ２８内のフラグＦ１を１にセットする。これにより上流側センサ６０による基板２の下流端の検出が記憶され、以降の処理では、Ｓ６８でＹＥＳと判断されるため、Ｓ６９～Ｓ７２がスキップされる。
　また、ＣＰＵ２７は、基板２の下流端が検出されると、Ｓ７１において、上流側センサ６０が基板２の下流端を検出した位置から、下流側センサ６４が基板２の下流端を検出する位置まで基板を移動させるためのモータ５０の駆動量である理論パルス数ＣＴ（図１２参照）を算出する。第２搬送処理では、基板２の長さが、センサ間距離よりも長いので、図１３（ａ）に示すように、センサ間距離を理論運転量として設定する。そして、設定した理論運転量だけメインコンベア３２を運転させるためのモータ５０の駆動量である理論パルス数ＣＴを算出する。
　次いで、ＣＰＵ２７は、Ｓ７２において、理論パルス数ＣＴに基づいて、基板２を予め設定された停止位置まで移動させるためのモータ５０の駆動量である設定パルス数ＣＳ（図１２参照）を算出する。第２搬送処理では、第１搬送処理と同様に、理論パルス数ＣＴを利用して、図１３（ａ）に示す位置から、図１３（ｃ）に示す停止位置までの設定運転量だけメインコンベア３２を運転させるためのモータ５０の駆動量である設定パルス数ＣＳを算出する。
　ＣＰＵ２７は、Ｓ７３において、下流側センサ６４によって基板２の下流端が検出されたか否かを判断する。ＣＰＵ２７は、図１３（ｂ）に示すように、基板２が下流側センサ６４の投光部６８から受光部７０への光を遮断して、下流側センサ６４の出力がＯＦＦからＯＮに変化すると（図１３のタイミングｔ１３）、基板２の下流端が検出されたと判断する（Ｓ７３でＹＥＳ）。ＣＰＵ２７は、基板２の下流端が検出されるまでＳ６６～Ｓ６８、Ｓ７４、Ｓ７３を繰り返し実行する。Ｓ７４は、図６のＳ３４と同様である。
　ＣＰＵ２７は、下流側センサ６４によって基板２の下流端が検出されると、Ｓ７５において、図１２に示すように、上流側センサ６０によって基板２の下流端が検出された時点（タイミングｔ１１）から、下流側センサ６４によって基板２の下流端が検出された時点（タイミングｔ１３）までのモータ５０の駆動量である実パルス数ＣＲを検出する。実パルス数ＣＲは、第２カウンタ８２のカウント値Ｃ２と等しい。
　次いで、ＣＰＵ２７は、図１１のＳ７６において、理論パルス数ＣＴと実パルス数ＣＲとが等しいか否かを判断する。ＣＰＵ２７は、理論パルス数ＣＴと実パルス数ＣＲとが等しくないと判断すると（Ｓ７６でＮＯ）、Ｓ７７において、図７のＳ３７と同様に、実パルス数ＣＲと理論パルス数ＣＴとの差分に基づいて、Ｓ７２において算出した設定パルス数ＣＳ（補正前設定パルス数ＣＳ）を補正することにより、補正後設定パルス数ＣＳ’を算出する（図１２参照）。Ｓ７８～Ｓ９６は、図７のＳ３８～Ｓ５６のそれぞれと同様である。
　上述したように、メインコンベア３２によって基板２を搬送する際には、基板２やコンベアベルト３６の振動、基板２に対するガイドレール５６の摩擦抵抗、加減速時における基板２の慣性力等により、基板２とコンベアベルト３６との間に相対移動が発生し、所望する停止位置に対して、実際の停止位置にずれが生じることがある。すなわち、モータ５０の駆動量（コンベアベルト３６の移動量）に対して、基板２の移動量にずれが生じ得る。本実施例の部品実装機１０では、モータ５０の駆動量と、基板センサ６０、６４の検出結果に基づいて算出した基板２の移動量との差分に基づいて、基板２を搬送している間に、モータ５０の設定出力量ＣＳが補正される。このように、本実施例の部品実装機１０では、コンベア３２を一度停止させることなく、コンベア３２の動作中に、当該差分をフィードバックすることにより、設定出力量ＣＳの誤差を補正することができ、従来の構成と比較して短時間で基板を正確に位置決めすることができる。
　特に、本実施例では、間隔を空けて設けられた２つの基板センサ６０、６４を利用して、上流側センサ６０から下流側センサ６４までの距離を基板２が移動するための理論パルス数ＣＴを算出しておき、当該距離を基板２が実際に移動したときの実パルス数ＣＲと比較することで、基板２とコンベア３２との相対移動に起因する理論出力量ＣＴのずれを精度良く算出することができる。このため、理論パルス数ＣＴと実パルス数ＣＲの差分に基づいて、停止位置まで基板２を移動させるための設定パルス数ＣＳを適切に補正して、補正後設定パルス数ＣＳ’を算出することができる。
　また、本実施例では、基板２の長さがセンサ間距離よりも長いか短いかに応じて、異なる搬送処理を実行する。すなわち、基板２の長さがセンサ間距離よりも短い場合には、上流側センサ６０と下流側センサ６４との間を基板２が移動するときの理論出力量ＣＴ及び実出力量ＣＲの差分に基づいて設定パルス数ＣＳを補正する。また、基板２の長さがセンサ間距離よりも長い場合には、上流側センサ６０が基板２の下流端を検出する位置から下流側センサ６４が基板２の下流端を検出する位置まで基板２が移動するときの理論出力量ＣＴ及び実出力量ＣＲに基づいて設定パルス数ＣＳを補正する。このように、基板２の長さに応じて、異なる検出態様を採用することで、基板２の搬送中において、より早い段階で設定パルス数ＣＳを適切に補正することができる。なお、本実施例によれば、特に基板２の定速移動中に生じ得るずれを精度良く補正することができる。
（対応関係）
　メインコンベア３２が、「基板搬送装置」の一例である。基板センサ６０、６４が、「検出部」の一例である。設定パルス数ＣＳが「設定出力量」の一例である。図９（ａ）及び図１３（ａ）に示す基板２の位置、図９（ｂ）及び図１３（ｂ）に示す基板２の位置が、それぞれ「第１位置」、「第２位置」の一例である。理論パルス数ＣＴ、実パルス数ＣＲが、それぞれ「理論出力量」、「実出力量」の一例である。
（実施例２）
　実施例２では、部品実装機１０の基板センサ６４を備えない点が実施例１と異なる。実施例２では、基板２の長さに関わらず、基板２を搬入するときに、図１４及び図１５に示す第３搬送処理が実行される。
　図１０のＳ１０１～Ｓ１０８は、図６のＳ２１～Ｓ２８と同様である。ＣＰＵ２７は、Ｓ１０９において、基板センサ６０によって基板２の下流端が検出されたか否かを判断する。ＣＰＵ２７は、図１７（ａ）に示すように、基板２が基板センサ６０の投光部６８から受光部７０への光を遮断して、基板センサ６０の出力がＯＦＦからＯＮに変化すると（図１６のタイミングｔ２１）、基板２の下流端が検出されたと判断する（Ｓ１０９でＹＥＳ）。ＣＰＵ２７は、基板２の下流端が検出されるまで、Ｓ１０６～Ｓ１０９を繰り返し実行する。ＣＰＵ２７は、基板２の下流端が検出されると、Ｓ１１０において、メモリ２８内のフラグＦ１を１にセットする。これにより基板センサ６０による基板２の下流端の検出が記憶され、以降の処理では、Ｓ１０８でＹＥＳと判断されるため、Ｓ１０９～Ｓ１１２がスキップされる。
　また、ＣＰＵ２７は、基板２の下流端が検出されると、Ｓ１１１において、基板センサ６０が基板２の下流端を検出した位置から、基板センサ６０が基板２の上流端を検出する位置まで基板を移動させるためのモータ５０の駆動量である理論パルス数ＣＴ（図１６参照）を算出する。第３搬送処理では、単一の基板センサ６０のみが設けられているので、図１７（ａ）及び図１７（ｂ）に示すように、基板２の下流端から上流端までの距離（すなわち、基板２の長さ）を理論運転量として設定する。そして、設定した理論運転量だけメインコンベア３２を運転させるためのモータ５０の駆動量である理論パルス数ＣＴを算出する。
　次いで、ＣＰＵ２７は、Ｓ１１２において、理論パルス数ＣＴに基づいて、基板２を予め設定された停止位置まで移動させるためのモータ５０の駆動量である設定パルス数ＣＳ（図１６参照）を算出する。第３搬送処理では、第１搬送処理と同様に、理論パルス数ＣＴを利用して、図１７（ａ）に示す位置から、図１７（ｃ）に示す停止位置までの設定運転量だけメインコンベア３２を運転させるためのモータ５０の駆動量である設定パルス数ＣＳを算出する。
　ＣＰＵ２７は、Ｓ１１３において、基板センサ６０によって基板２の上流端が検出されたか否かを判断する。ＣＰＵ２７は、図１７（ｂ）に示すように、基板２が基板センサ６０を通過して、基板センサ６０の出力がＯＮからＯＦＦに変化すると（図１６のタイミングｔ２３）、基板２の上流端が検出されたと判断する（Ｓ１１３でＹＥＳ）。ＣＰＵ２７は、基板２の上流端が検出されるまでＳ１０６～Ｓ１０８、Ｓ１１４、Ｓ１１３を繰り返し実行する。Ｓ１１４は、図６のＳ３４と同様である。
　ＣＰＵ２７は、基板センサ６０によって基板２の上流端が検出されると、Ｓ１１５において、図１６に示すように、基板センサ６０によって基板２の下流端が検出された時点（タイミングｔ２１）から、基板センサ６０によって基板２の上流端が検出された時点（タイミングｔ２３）までのモータ５０の駆動量である実パルス数ＣＲを検出する。実パルス数ＣＲは、第２カウンタ８２のカウント値Ｃ２と等しい。
　次いで、ＣＰＵ２７は、図１５のＳ１１６において、理論パルス数ＣＴと実パルス数ＣＲとが等しいか否かを判断する。ＣＰＵ２７は、理論パルス数ＣＴと実パルス数ＣＲとが等しくないと判断すると（Ｓ１１６でＮＯ）、Ｓ１１７において、図７のＳ３７と同様に、実パルス数ＣＲと理論パルス数ＣＴとの差分に基づいて、Ｓ１１２において算出した設定パルス数ＣＳ（補正前設定パルス数ＣＳ）を補正することにより、補正後設定パルス数ＣＳ’を算出する（図１６参照）。Ｓ１１８～Ｓ１３６は、図７のＳ３８～Ｓ５６のそれぞれと同様である。
　以上に説明したように、実施例２においても、基板２の下流端から上流端が基板センサ６０を通過するまでの距離を理論パルス数ＣＴとして算出しておき、当該距離を基板２が実際に移動したときの実パルス数ＣＲと比較することで、基板２とコンベア３２との相対移動に起因する理論出力量ＣＴのずれを精度良く算出することができる。このため、理論パルス数ＣＴと実パルス数ＣＲの差分に基づいて、停止位置まで基板２を移動させるための設定パルス数ＣＳを適切に補正して、補正後設定パルス数ＣＳ’を算出することができる。
　また、本実施例では、単一の基板センサ６０のみを利用して、理論出力量ＣＴと実出力量ＣＲの差分を算出する。このため、装置構成が簡易であり、コストを低減することができる。
（対応関係）
　メインコンベア３２が、「基板搬送装置」の一例である。基板センサ６０が、「検出部」の一例である。
　以上、本明細書に開示の技術の具体例を詳細に説明したが、これらは例示に過ぎず、請求の範囲を限定するものではない。請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。以下に、上記の実施例の変形例を列記する。
　上述した各実施例では、理論パルス数ＣＴが実パルス数ＣＲよりも小さいときに設定パルス数ＣＳを補正する場合について説明した。しかしながら、理論パルス数ＣＴが実パルス数ＣＲよりも大きい場合についても、同様に設定パルス数ＣＳを補正することができる。この場合、理論パルス数ＣＴと実パルス数ＣＲの差分を算出し、当該差分に基づいて、負の値であるΔＣＦを補正前設定パルス数ＣＳに加算して補正後設定パルス数ＣＳ’を算出すればよい。
　また、実施例１の第１搬送処理では、基板２の長さが既知でなくてもよい。第１搬送処理では、上流側センサ６０が基板２の下流端を検出してから上流端を検出するまでの出力パルス数に基づいて、基板２の長さを算出してもよい。
　また、上述した各実施例では、モータ５０がエンコーダを備えていないパルスモータであったが、例えば、エンコーダを備えるサーボモータであってもよい。
　また、上述した各実施例では、基板センサ６０、６４によって基板２の上流端及び下流端を検出した。しかしながら、例えば、基板２の搬送中に、基準マーク撮像装置２２を利用して基板２の上流端及び下流端を検出してもよい。本変形例では、基板センサ６０、６４を省略可能である。
　本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組合せに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成するものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。

Claims (7)

  1. 　基板搬送装置であって、
    　基板を搬送方向に搬送するコンベアと、
    　前記コンベアを運転させるモータと、
    　前記モータを駆動させることにより、前記基板を前記コンベアにより所定の停止位置まで搬送する搬送処理を実行可能な制御部と、
    　前記搬送方向において前記基板の上流端及び下流端を検出する少なくとも１つの検出部と、
    　を備え、
    　前記制御部は、前記搬送処理を実行する場合に、前記モータの駆動量と、前記検出部の検出結果に基づいて算出した前記基板の移動量との差分に基づいて、前記基板を搬送している間に、前記基板を前記停止位置まで移動させるための前記モータの設定出力量を補正する、
    　基板搬送装置。
  2. 　前記制御部は、搬送処理を実行する場合に、
    　　前記基板の長さに基づいて、前記検出部が前記上流端又は前記下流端を検出する第１位置と、前記検出部が前記上流端又は前記下流端を検出する第２位置であって、前記第１位置とは異なる前記第２位置と、の間の距離を前記基板が移動するための前記モータの理論出力量を算出し、
    　　前記検出部により前記基板の前記上流端又は前記下流端を検出したときに、前記理論出力量に基づいて、前記設定出力量を算出し、
    　　前記第１位置と前記第２位置との間の距離を前記基板が実際に移動したときの前記モータの実出力量を検出し、
    　　前記基板を搬送している間に、前記理論出力量と前記実出力量との差分に基づいて、前記設定出力量を補正する、請求項１に記載の基板搬送装置。
  3. 　前記検出部は、前記搬送方向において上流側に設けられた上流側検出部と、前記上流側検出部よりも下流側に設けられた下流側検出部と、を備え、
    　前記搬送方向における前記基板の長さが、前記上流側検出部と前記下流側検出部との間の距離よりも短い場合、前記第１位置は、前記上流側検出部が前記基板の前記上流端を検出する位置であり、前記第２位置は、前記下流側検出部が前記基板の前記下流端を検出する位置であり、
    　前記制御部は、前記搬送処理を実行する場合に、前記上流側検出部が前記基板の前記上流端を検出したときに、前記理論出力量に基づいて、前記第１位置から前記停止位置まで前記基板が移動するための前記モータの前記設定出力量を算出する、請求項２に記載の基板搬送装置。
  4. 　前記制御部は、前記上流側検出部が前記基板の前記下流端を検出してから前記上流端を検出するまでの間の前記モータの出力量に基づいて、前記基板の前記長さを算出する、請求項３に記載の基板搬送装置。
  5. 　前記検出部は、前記搬送方向において上流側に設けられた上流側検出部と、前記上流側検出部よりも下流側に設けられた下流側検出部と、を備え、
    　前記搬送方向における前記基板の長さが、前記上流側検出部と前記下流側検出部との間の距離よりも長い場合、前記第１位置は、前記上流側検出部が前記基板の前記下流端を検出する位置であり、前記第２位置は、前記下流側検出部が前記基板の前記下流端を検出する位置であり、
    　前記制御部は、前記搬送処理を実行する場合に、前記上流側検出部が前記基板の前記下流端を検出したときに、前記理論出力量に基づいて、前記第１位置から前記停止位置まで前記基板が移動するための前記モータの前記設定出力量を算出する、請求項３に記載の基板搬送装置。
  6. 　前記基板搬送装置は、前記搬送方向において前記基板の前記上流端及び前記下流端を検出する１つの前記検出部を備え、
    　前記第１位置は、前記検出部が前記基板の前記下流端を検出する位置であり、
    　前記第２位置は、前記検出部が前記基板の前記上流端を検出する位置であり、
    　前記制御部は、前記搬送処理を実行する場合に、前記検出部が前記基板の前記下流端を検出したときに、前記理論出力量に基づいて、前記第１位置から前記停止位置まで前記基板が移動するための前記モータの前記設定出力量を算出する、請求項２に記載の基板搬送装置。
  7. 　前記モータは、前記モータの回転角度を検出するエンコーダを備えていないモータである、請求項１に記載の基板搬送装置。
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