WO2024150489A1 - 積層セラミックコンデンサ - Google Patents
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Classifications
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G4/00—Fixed capacitors; Processes of their manufacture
- H01G4/30—Stacked capacitors
Definitions
- the present invention relates to a multilayer ceramic capacitor.
- Patent Document 1 In multilayer ceramic capacitors, a technology is known that reduces voltage failures and also allows for larger capacitance (Patent Document 1). This technology achieves both suppression of voltage failures and larger capacitance by adjusting the radius of curvature of the corners of the internal electrode layers and the ridges of the laminate.
- the objective of the present invention is to provide a multilayer ceramic capacitor that can ensure sufficient reliability while achieving a balance between capacitance and breakdown voltage in devices with dimensional constraints in the height and width directions.
- the present invention provides a multilayer ceramic capacitor comprising: a laminate chip having an inner layer portion in which dielectric layers and internal electrode layers are alternately laminated, and outer layer portions respectively arranged on both sides of the lamination direction of the inner layer portion; and side gap portions respectively arranged on both sides of the width direction of the laminate chip perpendicular to the lamination direction; and external electrodes respectively arranged on both sides of the length direction of the laminate intersecting the lamination direction and the width direction, wherein the dielectric layers contain Ba and Ti, the internal electrode layers contain Ni, and the length direction dimension L0, the lamination direction dimension T0, and the width direction dimension W0 of the multilayer ceramic capacitor are set to 100 mm.
- the present invention provides a multilayer ceramic capacitor in which, when L0/T0 is 1.7 ⁇ L0/T0 ⁇ 2.3 and W0/T0 is 1.0 ⁇ W0/T0 ⁇ 1.4, when the amount of positional deviation in the width direction of the ends of the internal electrode layers adjacent to each other in the stacking direction in a cross section passing through the stacking direction and the width direction at the center of the length direction is d, d ⁇ 5 ⁇ m, Sn having an atomic composition percentage of 2 at% or more is segregated at the interface between the internal electrode layer and the dielectric layer, when the dimension in the width direction of the side gap portion is WS and the dimension in the stacking direction of the outer layer portion is TG, 0.3 ⁇ WS/TG ⁇ 0.6, and the dimension in the width direction of the internal electrode layer is T0 ⁇ WI.
- the present invention makes it possible to provide a multilayer ceramic capacitor that can ensure sufficient reliability while balancing capacitance and breakdown voltage within dimensional constraints.
- FIG. 1 is a schematic perspective view of a multilayer ceramic capacitor 1 according to an embodiment of the present invention
- 2 is a cross-sectional view of the multilayer ceramic capacitor 1 taken along line II-II of FIG. 2 is a cross-sectional view of the multilayer ceramic capacitor 1 taken along line III-III of FIG.
- FIG. 4 is an enlarged view of a portion S in FIG. 3 .
- 2 is a flowchart illustrating a method for manufacturing the multilayer ceramic capacitor 1.
- Fig. 1 is a schematic perspective view of the multilayer ceramic capacitor 1 according to the embodiment.
- Fig. 2 is a cross-sectional view of the multilayer ceramic capacitor 1 of Fig. 1 taken along line II-II.
- Fig. 3 is a cross-sectional view of the multilayer ceramic capacitor 1 of Fig. 1 taken along line III-III.
- the multilayer ceramic capacitor 1 has a substantially rectangular parallelepiped shape and includes a laminate 2 and a pair of external electrodes 3 provided on both ends of the laminate 2.
- the laminate 2 includes an inner layer portion 11 in which a plurality of dielectric layers 14 and a plurality of internal electrode layers 15 are laminated.
- the terms used to indicate the orientation of the multilayer ceramic capacitor 1 are the length direction L, which is the direction in which the pair of external electrodes 3 are provided in the multilayer ceramic capacitor 1.
- the direction in which the dielectric layers 14 and the internal electrode layers 15 are stacked is the stacking direction T.
- the direction that intersects both the length direction L and the stacking direction T is the width direction W. Note that in this embodiment, the width direction W is perpendicular to both the length direction L and the stacking direction T.
- first end surface C1 and second end surface C2 a pair of outer peripheral surfaces facing in the stacking direction T are referred to as main surfaces A, a pair of outer peripheral surfaces facing in the width direction W are referred to as side surfaces B, and a pair of outer peripheral surfaces facing in the length direction L are referred to as first end surface C1 and second end surface C2. Note that when there is no need to distinguish between the first end surface C1 and the second end surface C2, they will be collectively referred to as end surface C.
- the dimension in the multilayer ceramic capacitor 1 in the length direction L is L0
- the dimension in the stacking direction T is T0
- the dimension in the width direction W is W0
- the laminate 2 includes a laminate chip 10 and a side gap portion 20 .
- the laminate chip 10 includes an inner layer portion 11 and outer layer portions 12 arranged on the main surface A sides of both inner layer portions 11 .
- the inner layer portion 11 is formed by laminating a plurality of dielectric layers 14 and internal electrode layers 15.
- the dielectric layers 14 and the internal electrode layers 15 will be described in detail later.
- the outer layer portion 12 is manufactured from the same dielectric ceramic material as the dielectric layer 14 of the inner layer portion 11.
- the dimension TG of the outer layer portion 12 in the stacking direction T is preferably 36 ⁇ m ⁇ TG ⁇ 43 ⁇ m, and more preferably about 40 ⁇ m.
- the side gaps 20 are provided on both side surfaces B of the laminate chip 10.
- the side gaps 20 cover the ends of the internal electrode layers 15 exposed on both side surfaces of the laminate chip 10 in the width direction W along those ends.
- the side gaps 20 are made of the same dielectric ceramic material as the dielectric layers 14.
- the dimension WS of the side gap portion 20 in the width direction W is taken as 15 ⁇ m ⁇ WS ⁇ 20 ⁇ m, it is preferable that the dimension WS of the side gap portion 20 in the width direction W is 15 ⁇ m ⁇ WS ⁇ 20 ⁇ m, and it is more preferable that the dimension WS is about 17 ⁇ m.
- the ratio of the dimension WS of the side gap portion 20 in the width direction W to the dimension TG of the outer layer portion 12 in the stacking direction T is preferably 0.3 ⁇ WS/TG ⁇ 0.6, and it is more preferable that the ratio is 0.4 ⁇ WS/TG ⁇ 0.5.
- the external electrode 3 includes a first external electrode 3A provided on a first end face C1 of the laminate 2, and a second external electrode 3B provided on a second end face C2 of the laminate 2. When there is no need to particularly distinguish between the first external electrode 3A and the second external electrode 3B, they will be collectively described as the external electrode 3.
- the external electrode 3 covers not only the end face C, but also a portion of the main face A and the side face B on the end face C side.
- the dielectric layer 14 includes BaTiO 3 containing Ba and Ti as a base material.
- the first element M1 is a rare earth element such as Nd, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, and Yb
- the second element M2 is Ni diffused from the internal electrode layer 15 and other optional additive elements are solid-dissolved.
- the base material BaTiO 3 containing Ba and Ti is a ferroelectric material and has a very large dielectric constant, which makes it possible to ensure a large capacity of the multilayer ceramic capacitor 1.
- M1 is dissolved in the grains 140 by substituting part of Ba2 + in the crystal lattice of the BaTiO3 -based perovskite compound with M13 + .
- Ni is dissolved in the grains 140 by substituting part of Ti4 + in the crystal lattice of the BaTiO3 -based perovskite compound with Ni2+.
- the dielectric layer 14 includes a plurality of grains 140.
- Each grain 140 has a core-shell structure including a core portion 141 located at the center and a shell portion 142 surrounding the core portion 141.
- the core portion 141 has a smaller amount of each of the above elements dissolved therein than the shell portion 142, and is closer to pure BaTiO3 .
- the molar ratio of Ba to Ti contained in the grains 140 of the core portion 141 is higher than the molar ratio of Ba to Ti contained in the grains 140 of the shell portion 142.
- the molar ratio of Ba to Ti contained in the grains 140 of the core portion 141 is higher than the molar ratio of Ba to Ti contained in the grains 140 of the shell portion 142, thereby improving the insulation resistance.
- the shell portion 142 has a larger amount of the first element M1 than the core portion 141. Therefore, in the vicinity of the grain boundary, Ba vacancies are generated by the substitution of M1 3+ with Ba 2+ . As a result, oxygen vacancies are anchored to Ba vacancies in the dielectric layer 14, and the movement of oxygen vacancies in the dielectric layer 14 when a DC voltage is applied is suppressed. This improves the reliability of the multilayer ceramic capacitor 1 having the dielectric layer 14 containing BaTiO 3 .
- the grain 140 is not limited to a core-shell structure, and the first element and the second element may be distributed homogeneously throughout the grain 140.
- the thickness (dimension in the stacking direction T) TD of the dielectric layer 14 is preferably 0.67 ⁇ m ⁇ TD ⁇ 0.73 ⁇ m, and more preferably about 0.70 ⁇ m.
- the number of the dielectric layers 14 is preferably 405 or more and 430 or less.
- the grain size of the grains 140 is preferably 150 nm or more and 200 nm, and the average number GN of the grains 140 in the thickness direction (stacking direction T) of the dielectric layer 14 is preferably 3 ⁇ GN ⁇ 4.
- the thickness (dimension in the stacking direction T) TD of the dielectric layer 14 By setting the thickness (dimension in the stacking direction T) TD of the dielectric layer 14 to 0.67 ⁇ m ⁇ TD ⁇ 0.73 ⁇ m or less, it is possible to achieve a size of the multilayer ceramic capacitor 1 that can be mounted in equipment with overall height dimension constraints of the multilayer ceramic capacitor 1, and by setting the average number GN of the grains 140 in the thickness direction (stacking direction T) of the dielectric layer 14 to 3 ⁇ GN ⁇ 4, it is possible to suppress a decrease in the insulation resistance of the dielectric layer 14 while maintaining a mountable dimension in equipment with dimensional constraints.
- the thickness (dimension in the stacking direction T) TD of the dielectric layer 14 is preferably 0.85 ⁇ m ⁇ TD ⁇ 0.91 ⁇ m or less, and more preferably about 0.88 ⁇ m.
- the number of dielectric layers 14 is preferably 350 to 375.
- the grain size of the grains 140 is preferably 150 to 200 nm, and the average number GN of the grains 140 in the thickness direction (stacking direction T) of the dielectric layer 14 is preferably 4 ⁇ GN ⁇ 5.
- the thickness (dimension in the stacking direction T) TD of the dielectric layer 14 By setting the thickness (dimension in the stacking direction T) TD of the dielectric layer 14 to 0.85 ⁇ m ⁇ TD ⁇ 0.91 ⁇ m or less, it is possible to make the size of the multilayer ceramic capacitor 1 mountable in equipment where the overall height dimension of the multilayer ceramic capacitor 1 is restricted, and by setting the average number GN of the grains 140 in the thickness direction (stacking direction T) of the dielectric layer 14 to 4 ⁇ GN ⁇ 5, it is possible to suppress a decrease in the insulation resistance of the dielectric layer 14 while observing the dimensional restriction in the height direction.
- the opposing portion 152 where adjacent internal electrode layers 15 face each other is an effective portion that functions as a capacitor. It is preferable that the grain diameter of the dielectric layer 14 present between these effective portions is larger than the grain diameter of the dielectric in the side gap portion 20.
- the dielectric constant between the active parts is larger than the grain diameter of the dielectric in the side gap part 20
- the dielectric constant between the active parts can be kept high and sufficient capacitance can be ensured.
- high moisture resistance can be obtained in the side gap part 20, so high moisture resistance and durability can be obtained overall.
- Internal electrode layer 15 When the dimension of the internal electrode layer 15 in the width direction W is WI, T0 ⁇ WI.
- TI is preferably 0.49 ⁇ m ⁇ TI ⁇ 0.55 ⁇ m, and more preferably about 0.53 ⁇ m.
- the dimension WI of the width direction W of the internal electrode layer 15 is taken as T0 ⁇ WI, it is possible to ensure a large internal electrode area while ensuring the height of the multilayer ceramic capacitor 1 that can be mounted in a device with dimensional constraints, and therefore it is possible to ensure a large capacitance of the multilayer ceramic capacitor 1.
- the internal electrode layer 15 is formed of a metal material, but is not completely filled with the metal material.
- the internal electrode layer 15 includes hollow areas where no metal material is present. When the proportion of the metal material in the internal electrode layer 15 is defined as the coverage, it is preferable that this coverage be 85% or more.
- the internal electrode layer 15 comprises a plurality of first internal electrode layers 15A and a plurality of second internal electrode layers 15B.
- the first internal electrode layers 15A and the second internal electrode layers 15B are arranged alternately. Note that, when there is no need to distinguish between the first internal electrode layers 15A and the second internal electrode layers 15B, they will be collectively referred to as the internal electrode layers 15.
- the first internal electrode layer 15A has a first opposing portion 152a that faces the second internal electrode layer 15B, and a first lead portion 151a that is led out from the first opposing portion 152a to the first end face C1 side.
- the end of the first lead portion 151a is exposed at the first end face C1 and is electrically connected to the first external electrode 3A described below.
- the second internal electrode layer 15B has a second opposing portion 152b that faces the first internal electrode layer 15A, and a second lead portion 151b that is led out from the second opposing portion 152b to the second end face C2.
- the end of the second lead portion 151b is electrically connected to the second external electrode 3B described below.
- the opposing portion 152 where adjacent internal electrode layers 15 face each other is an effective portion that functions as a capacitor.
- the laminate chip 10 is formed by cutting a mother block, so that the side surfaces are formed into flat surfaces by cutting and the ends of the internal electrode layers 15 are exposed.
- the side gaps 20 are formed on both side surfaces of the laminate chip 10 and are manufactured by a so-called side gap 20 post-attachment method.
- the positional deviation d in the stacking direction T of the ends in the width direction W of the two first internal electrode layers 15A and the second internal electrode layers 15B adjacent to each other vertically in the stacking direction T is small, d ⁇ 5 ⁇ m. That is, the ends in the width direction W of the first internal electrode layer 15A and the second internal electrode layer 15B adjacent to each other vertically in the stacking direction T are in approximately the same position in the width direction W, and the positions of the ends are aligned in the stacking direction T.
- d ⁇ 5 ⁇ m the area of the internal electrode layer 15 can be secured as large as possible within the dimensional constraints, so that it is possible to secure a large capacitance of the multilayer ceramic capacitor 1.
- the internal electrode layer 15 is mainly composed of Ni and contains Sn.
- Sn In the interface vicinity region 153, which is about 20 nm from the surface of the internal electrode layer 15 facing the dielectric layer 14, for example, Sn with an atomic composition percentage of 2 at% or more is segregated. In other words, the interface vicinity region 153 shown in FIG. 4 contains a larger amount of Sn than other parts of the internal electrode layer 15.
- the internal electrode layer 15 is formed by firing a conductive paste for forming internal electrodes, which contains Ni powder, Ni-Sn alloy powder, and a Sn-component compounded co-material. During the firing process, the Sn-component compounded co-material is attracted to the dielectric layer 14 side, to which it has a high affinity, and the Sn component compounded in the co-material is also attracted to the dielectric layer 14 side.
- Ni-Sn alloying changes the state of the interface (electrical barrier height) between the ceramic dielectric layer 14 and the internal electrode layer 15, which is thought to contribute to improving the high-temperature load life.
- the presence of a large amount of Ni-Sn alloy in the region 153 near the interface is thought to play an important role in improving the high-temperature load life. Therefore, it is possible to obtain a highly reliable multilayer ceramic capacitor 1 with excellent high-temperature load life.
- FIG. 5 is a flowchart illustrating a method for manufacturing the multilayer ceramic capacitor 1.
- the manufacturing method of the multilayer ceramic capacitor 1 includes a material sheet preparation step S1, a material sheet lamination step S2, a mother block cutting step S3, a side gap portion formation step S4, a first firing step S5, an external electrode formation step S6, and a second firing step S7.
- a powder containing the first element M1 and other additive elements is added to a powder of a barium titanate-based perovskite compound containing Ti and Ba to obtain a raw material powder
- a ceramic slurry containing the raw material powder, a binder, and a solvent is prepared.
- This ceramic slurry is formed into sheets on a carrier film using a die coater, gravure coater, microgravure coater, etc. to produce ceramic green sheets for the inner layer 11 and ceramic green sheets for the outer layer 12.
- the conductive paste for forming the internal electrodes which contains Ni powder, Ni-Sn alloy powder, and a Sn-compound compound, is printed in a strip-shaped pattern on the ceramic green sheet for the inner layer portion 11 by screen printing, inkjet printing, gravure printing, or the like. This prepares a material sheet in which the conductive paste that will become the internal electrode layer 15 is printed on the surface of the ceramic green sheet for the inner layer portion 11, which will become the dielectric layer 14.
- a plurality of material sheets are stacked. Specifically, the plurality of material sheets are stacked so that the strips of conductive paste face the same direction and are shifted by half a pitch between adjacent material sheets in the width direction W. Furthermore, ceramic green sheets for the outer layer portion 12, which will become the outer layer portion 12, are stacked on both sides of the multiple laminated material sheets. Then, the multiple stacked material sheets and the ceramic green sheets for the outer layer portion 12 are thermally compressed together, thereby forming a mother block.
- the ceramic green sheets for the side gap are attached to both sides of the laminate chip 10 to form layers that will become the side gap 20.
- the laminate chip 10 is formed by cutting a mother block, so that the side surfaces are formed into flat surfaces by cutting, and the ends of the internal electrode layers 15 are exposed.
- the side gap 20 is manufactured by a so-called side gap post-attachment method, in which the side gap 20 is formed on both sides of the laminate chip 10.
- First firing step S5 The laminate chip 10 on which a layer that will become the side gap portion 20 is formed is degreased under specified conditions in a nitrogen atmosphere, and then fired and sintered at a specified temperature in a nitrogen-hydrogen-water vapor mixed atmosphere to become the laminate 2.
- the internal electrode layer 15 is formed by firing a conductive paste for forming internal electrodes, which contains Ni powder, Ni-Sn alloy powder, and a Sn-component compounded co-material. During this firing process, the Sn-component compounded co-material is attracted to the dielectric layer 14, which has a high affinity, and the Sn component compounded in the co-material is also attracted to the dielectric layer 14.
- Step S7 The laminate is then heated in a nitrogen atmosphere for a predetermined period of time at the set firing temperature, whereby the external electrodes 3 are baked onto the laminate 2, and the multilayer ceramic capacitor 1 is manufactured. It is also possible to sinter the laminate 2 together with the external electrodes 3 in the second firing step without including the first firing step.
- the multilayer ceramic capacitor 1 has A laminate chip 10 having an inner layer portion 11 in which dielectric layers 14 and internal electrode layers 15 are alternately laminated, and outer layer portions 12 disposed on both sides of the inner layer portion 11 in a lamination direction T; a stack 2 including side gaps 20 disposed on both sides of a width direction W perpendicular to a stacking direction T of the stack chip 10; A multilayer ceramic capacitor 1 comprising: external electrodes 3 disposed on both sides of a laminate 2 in a length direction L intersecting a lamination direction T and a width direction W,
- the dielectric layer 14 contains Ba and Ti
- the internal electrode layer 15 contains Ni
- the dimension WI in the width direction W of the internal electrode layer 15 can be increased to T0 ⁇ WI, and the area of the internal electrode layer 15 can be increased.
- the average number of grains in the stacking direction T in the dielectric layer 14 is 3 ⁇ GN ⁇ 5.
- the average number of grains GN is relatively large, there are more grain boundaries in the dielectric layer 14 compared to when the number of grains is 1, so the insulation resistance value is higher and durability is improved.
- the average grain number in the stacking direction T in the dielectric layer 14 is 4 ⁇ GN ⁇ 5.
- the average grain number GN is relatively large, there are more grain boundaries in the dielectric layer 14 compared to when the grain number is 1, so the insulation resistance value is higher and durability is improved.
- the multilayer ceramic capacitor 1 has a length direction L dimension L0 of 1.15 ⁇ L0 ⁇ 1.25 ⁇ m, a width direction W dimension W0 of 0.65 ⁇ W0 ⁇ 0.75 ⁇ m, a stacking direction T dimension T0 of 0.55 ⁇ T0 ⁇ 0.65 ⁇ m, a width direction W dimension WS of the side gap portion 20 of 15 ⁇ m ⁇ WS ⁇ 20 ⁇ m, and a stacking direction T dimension TG of each of the outer layers 12 of 36 ⁇ m ⁇ TG ⁇ 43 ⁇ m, making it a versatile size that ensures a balance between capacitance and breakdown voltage in devices with dimensional constraints.
- the dielectric layer 14 includes a plurality of grains 140, each of which has a core-shell structure consisting of a core portion 141 and a shell portion 142 surrounding the core portion 141, and the molar ratio of Ba to Ti contained in the grains 140 of the core portion 141 is higher than the molar ratio of Ba to Ti contained in the grains 140 of the shell portion 142. Therefore, the temperature characteristic of the dielectric constant can be flattened, and reliability can be improved.
- the multilayer ceramic capacitor 1 of the embodiment can provide a multilayer ceramic capacitor 1 that can ensure sufficient reliability while balancing the initial capacitance, effective capacitance, and dielectric breakdown voltage within dimensional constraints.
- a laminate chip having an inner layer portion in which conductor layers and internal electrode layers are alternately laminated, and outer layer portions disposed on both sides of the inner layer portion in a lamination direction, a laminate including side gap portions disposed on both sides of the laminate chip in a width direction perpendicular to the stacking direction; external electrodes disposed on both sides of the laminate in a length direction intersecting the lamination direction and the width direction, the dielectric layers contain Ba and Ti, the internal electrode layers contain Ni, When the dimension of the multilayer ceramic capacitor in the length direction is L0, the dimension in the lamination direction is T0, and the dimension in the width direction is W0, 1.7 ⁇ L0/T0 ⁇ 2.3 and 1.0 ⁇ W0/T0 ⁇ 1.4, In a cross section passing through the stacking direction and the width direction at the center in the longitudinal direction, when a positional deviation amount in the width direction of ends of the internal electrode layers adjacent to each other in the stacking direction
- the dielectric layer in the lamination direction When the dimension TD of the dielectric layer in the lamination direction is 0.67 ⁇ m ⁇ TD ⁇ 0.73 ⁇ m, the dielectric layer includes a plurality of grains, and an average number of grains in the stacking direction of the dielectric layer satisfies 3 ⁇ GN ⁇ 4.
- the multilayer ceramic capacitor according to ⁇ 1> When the dimension TD of the dielectric layer in the lamination direction is 0.67 ⁇ m ⁇ TD ⁇ 0.73 ⁇ m, the dielectric layer includes a plurality of grains, and an average number of grains in the stacking direction of the dielectric layer satisfies 3 ⁇ GN ⁇ 4.
- the dielectric layer in the lamination direction When the dimension TD of the dielectric layer in the lamination direction is 0.85 ⁇ m ⁇ TD ⁇ 0.91 ⁇ m, the dielectric layer includes a plurality of grains, and an average grain number in the lamination direction of the dielectric layer is 4 ⁇ GN ⁇ 5;
- the dimension L0 in the length direction is 1.15 ⁇ L0 ⁇ 1.25 ⁇ m
- the dimension W0 in the width direction is 0.65 ⁇ W0 ⁇ 0.75 ⁇ m
- the dimension T0 in the stacking direction is 0.55 ⁇ T0 ⁇ 0.65 ⁇ m
- the width direction dimension WS of the side gap portion is 15 ⁇ m ⁇ WS ⁇ 20 ⁇ m
- the dimension TG of each of the outer layers in the stacking direction is 36 ⁇ m ⁇ TG ⁇ 43 ⁇ m.
- the dielectric layer includes a plurality of grains,
- the grain has a core-shell structure consisting of a core portion and a shell portion surrounding the core portion, a molar ratio of Ba to Ti contained in the grains of the core portion is higher than a molar ratio of Ba to Ti contained in the grains of the shell portion;
- ⁇ 4> The multilayer ceramic capacitor according to any one of ⁇ 1> to ⁇ 4>.
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Abstract
寸法制約の中で、初期容量/実効容量/絶縁破壊電圧のバランスを取りながら信頼性が確保可能な積層セラミックコンデンサを提供する。誘電体層14はBa及びTiを含む積層セラミックコンデンサ1であって、内部電極層15はNiを含み、長さ方向の寸法L0、積層方向の寸法T0、幅方向の寸法W0としたときに、1.7≦L0/T0≦2.3、且つ、1.0≦W0/T0≦1.4であり、長さ方向中央における、積層方向と幅方向とを通る断面において、積層方向に互いに隣接する内部電極層15の幅方向の端部の幅方向での位置のずれ量をdとしたときにd≦5μmであり、内部電極層15と誘電体層14との界面に、原子組成百分率が2at%以上のSnが偏析し、サイドギャップ部20の幅方向の寸法WS、外層部12の積層方向の寸法TGとしたときに0.3≦WS/TG≦0.6であり、内部電極層15の幅方向の寸法WIはT0<WIである。
Description
本発明は、積層セラミックコンデンサに関する。
積層セラミックコンデンサにおいて、耐電圧不良を少なくし、且つ大容量化にも対応可能な技術が知られている(特許文献1)。この技術においては、内部電極層の角部の曲率半径や積層体の稜線部の曲率半径を調整することによって、耐電圧不良抑制と大容量化の両立が図られている。
しかし、上記従来技術の積層セラミックコンデンサにおいては、内部電極層の形状や積層体の稜線部の形状を調整する必要があり、製造が複雑化する。
本発明は、近年、携帯機器のさらなる高性能・小型化により、積層セラミックコンデンサの小型・大容量化のニーズが拡大しており、高さ方向や幅方向に寸法制約のある機器の中で、容量/絶縁破壊電圧のバランスを取りながら十分な信頼性が確保可能な積層セラミックコンデンサを提供することを目的とする。
上記課題を解決するために、本発明は、誘電体層と内部電極層とが交互に積層された内層部、及び、前記内層部の積層方向の両側にそれぞれ配置された外層部を有する積層体チップ、並びに、前記積層体チップにおける前記積層方向と直交する幅方向の両側にそれぞれ配置されたサイドギャップ部、を備える積層体と、前記積層体における前記積層方向及び前記幅方向と交差する長さ方向の両側にそれぞれ配置された外部電極と、を備える、積層セラミックコンデンサであって、前記誘電体層はBa及びTiを含み、前記内部電極層はNiを含み、前記積層セラミックコンデンサの前記長さ方向の寸法L0、前記積層方向の寸法T0、前記幅方向の寸法W0としたときに、1.7≦L0/T0≦2.3、且つ、1.0≦W0/T0≦1.4であり、前記長さ方向の中央における、前記積層方向と前記幅方向とを通る断面において、前記積層方向において互いに隣接する前記内部電極層の前記幅方向の端部の、前記幅方向での位置のずれ量をdとしたときに、d≦5μmであり、前記内部電極層と前記誘電体層との界面に、原子組成百分率が2at%以上のSnが偏析し、前記サイドギャップ部の前記幅方向の寸法WS、前記外層部の前記積層方向の寸法TGとしたときに、0.3≦WS/TG≦0.6であり、前記内部電極層の前記幅方向の寸法WIは、T0<WIである、積層セラミックコンデンサを提供する。
本発明によれば、寸法制約の中で、容量/絶縁破壊電圧のバランスを取りながら十分な信頼性が確保可能な積層セラミックコンデンサを提供することができる。
以下、本発明の実施形態にかかる積層セラミックコンデンサ1について説明する。図1は、実施形態の積層セラミックコンデンサ1の概略斜視図である。図2は、図1の積層セラミックコンデンサ1のII-II線に沿った断面図である。図3は、図1の積層セラミックコンデンサ1のIII-III線に沿った断面図である。
(積層セラミックコンデンサ1)
積層セラミックコンデンサ1は、略直方体形状で、積層体2と、積層体2の両端に設けられた一対の外部電極3とを備える。積層体2は、複数の誘電体層14と複数の内部電極層15とが積層された内層部11を含む。
積層セラミックコンデンサ1は、略直方体形状で、積層体2と、積層体2の両端に設けられた一対の外部電極3とを備える。積層体2は、複数の誘電体層14と複数の内部電極層15とが積層された内層部11を含む。
以下の説明において、積層セラミックコンデンサ1の向きを表わす用語として、積層セラミックコンデンサ1において、一対の外部電極3が設けられている方向を長さ方向Lとする。誘電体層14と内部電極層15とが積層されている方向を積層方向Tとする。長さ方向L及び積層方向Tのいずれにも交差する方向を幅方向Wとする。なお、実施形態においては、幅方向Wは長さ方向L及び積層方向Tのいずれにも直交している。
また、以下の説明において、図2に示す積層体2の6つの外周面のうち、積層方向Tに相対する一対の外周面を主面Aとし、幅方向Wに相対する一対の外周面を側面Bとし、長さ方向Lに相対する一対の外周面を第1端面C1と第2端面C2とする。なお、第1端面C1と第2端面C2とを特に区別して説明する必要のない場合、まとめて端面Cとして説明する。
積層セラミックコンデンサ1は、長さ方向Lの寸法をL0、積層方向Tの寸法をT0、幅方向Wの寸法をW0としたときに、1.15≦L0≦1.25μmが好ましく、約1.220μmがより好ましく、0.65≦W0≦0.75μmが好ましく、約0.725μmがより好ましく、0.55≦T0≦0.65μmが好ましく、約0.620μmがより好ましい。これにより、高さ方向や幅方向の寸法制約がなされた機器内において、実装可能な高さ方向や幅方向の寸法と、容量を確保することができる。
さらに、1.7≦L0/T0≦2.3、且つ、1.0≦W0/T0≦1.4となることが好ましい。これにより、高さ方向や幅方向の寸法制約がなされた機器内において、実装可能な高さ方向や幅方向の寸法と、容量を確保することができる。
また、L0とT0とW0との比率は、L0:T0:W0=2:1:1.2程度になることが好ましい。これにより、高さ方向や幅方向の寸法制約がなされた機器内において、実装可能な高さ方向や幅方向の寸法と、容量を確保することができる。
(積層体2)
積層体2は、積層体チップ10と、サイドギャップ部20とを備える。
積層体2は、積層体チップ10と、サイドギャップ部20とを備える。
(積層体チップ10)
積層体チップ10は、内層部11と、内層部11の両方の主面A側に配置される外層部12を備える。
積層体チップ10は、内層部11と、内層部11の両方の主面A側に配置される外層部12を備える。
(内層部11)
内層部11は、複数の誘電体層14と内部電極層15とが積層されている。誘電体層14と内部電極層15の詳細については後述する。
内層部11は、複数の誘電体層14と内部電極層15とが積層されている。誘電体層14と内部電極層15の詳細については後述する。
(外層部12)
外層部12は、内層部11の誘電体層14と同じ誘電体セラミック材料で製造されている。外層部12は積層方向Tの寸法TGは、36μm≦TG≦43μmが好ましく、40μm程度がより好ましい。上記寸法とすることで、寸法制約がなされた機器内において、実装可能な寸法としながら、必要な容量を確保することを可能としている。
外層部12は、内層部11の誘電体層14と同じ誘電体セラミック材料で製造されている。外層部12は積層方向Tの寸法TGは、36μm≦TG≦43μmが好ましく、40μm程度がより好ましい。上記寸法とすることで、寸法制約がなされた機器内において、実装可能な寸法としながら、必要な容量を確保することを可能としている。
(サイドギャップ部20)
サイドギャップ部20は、積層体チップ10の両側面B側に設けられている。サイドギャップ部20は、積層体チップ10の両側面に露出している内部電極層15の幅方向W側の端部を、その端部に沿って覆っている。サイドギャップ部20は、誘電体層14と同様の誘電体セラミック材料で製造されている。
サイドギャップ部20は、積層体チップ10の両側面B側に設けられている。サイドギャップ部20は、積層体チップ10の両側面に露出している内部電極層15の幅方向W側の端部を、その端部に沿って覆っている。サイドギャップ部20は、誘電体層14と同様の誘電体セラミック材料で製造されている。
(サイドギャップ部20の寸法)
サイドギャップ部20の幅方向Wの寸法WSとしたときに、15μm≦WS≦20μmであることが好ましく、17μm程度がより好ましい。また、サイドギャップ部20の幅方向Wの寸法WSと、外層部12の積層方向Tの寸法TGとの比は、0.3≦WS/TG≦0.6が好ましく、0.4≦WS/TG≦0.5がより好ましい。上記寸法比とすることで、寸法制約のなされた機器内において実装可能な寸法としながら、必要な容量を確保することを可能としている。
サイドギャップ部20の幅方向Wの寸法WSとしたときに、15μm≦WS≦20μmであることが好ましく、17μm程度がより好ましい。また、サイドギャップ部20の幅方向Wの寸法WSと、外層部12の積層方向Tの寸法TGとの比は、0.3≦WS/TG≦0.6が好ましく、0.4≦WS/TG≦0.5がより好ましい。上記寸法比とすることで、寸法制約のなされた機器内において実装可能な寸法としながら、必要な容量を確保することを可能としている。
(外部電極3)
外部電極3は、積層体2の第1端面C1に設けられた第1の外部電極3Aと、積層体2の第2端面C2に設けられた第2の外部電極3Bとを備える。なお、第1の外部電極3Aと第2の外部電極3Bとを特に区別して説明する必要のない場合、まとめて外部電極3として説明する。外部電極3は、端面Cだけでなく、主面A及び側面Bの端面C側の一部も覆っている。
外部電極3は、積層体2の第1端面C1に設けられた第1の外部電極3Aと、積層体2の第2端面C2に設けられた第2の外部電極3Bとを備える。なお、第1の外部電極3Aと第2の外部電極3Bとを特に区別して説明する必要のない場合、まとめて外部電極3として説明する。外部電極3は、端面Cだけでなく、主面A及び側面Bの端面C側の一部も覆っている。
(誘電体層14)
図4は、図3のS部分の拡大図である。誘電体層14は、Ba及びTiを含むBaTiO3をベース材料として含む。そして、BaTiO3に対して、第1の元素M1として、例えばNd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm及びYb等である希土類元素と、第2の元素M2として、内部電極層15から拡散したNiと、任意で添加されたその他の添加元素とが固溶している。Ba及びTiを含むBaTiO3をベース材料は、強誘電体材料であり、非常に大きな誘電率を有しているため、積層セラミックコンデンサ1の容量を多く確保することを可能としている。
図4は、図3のS部分の拡大図である。誘電体層14は、Ba及びTiを含むBaTiO3をベース材料として含む。そして、BaTiO3に対して、第1の元素M1として、例えばNd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm及びYb等である希土類元素と、第2の元素M2として、内部電極層15から拡散したNiと、任意で添加されたその他の添加元素とが固溶している。Ba及びTiを含むBaTiO3をベース材料は、強誘電体材料であり、非常に大きな誘電率を有しているため、積層セラミックコンデンサ1の容量を多く確保することを可能としている。
M1は、BaTiO3系のペロブスカイト型化合物の結晶格子中のBa2+の一部がM13+で置換されることにより、グレイン140に固溶している。Niは、BaTiO3系のペロブスカイト型化合物の結晶格子中のTi4+の一部がNi2+で置換されることにより、グレイン140に固溶している。
誘電体層14は、複数のグレイン140を含む。それぞれのグレイン140は、中央部に位置するコア部141と、コア部141を取り囲むシェル部142とを含むコアシェル構造を有する。コア部141は、上記の各元素の固溶量がシェル部142より少なく、純粋なBaTiO3に近い。コア部141のグレイン140に含まれるTiに対するBaのモル比は、シェル部142のグレイン140に含まれるTiに対するBaのモル比より高い。
コア部141のグレイン140に含まれるTiに対するBaのモル比は、シェル部142のグレイン140に含まれるTiに対するBaのモル比より高いことで、絶縁抵抗が向上する。
コア部141のグレイン140に含まれるTiに対するBaのモル比は、シェル部142のグレイン140に含まれるTiに対するBaのモル比より高いことで、絶縁抵抗が向上する。
シェル部142は、第1の元素M1の量がコア部141より多い。ゆえに粒界近傍において、M13+とBa2+との置換により、Ba空孔が生成される。その結果、酸素空孔が、誘電体層14内において、Ba空孔に繋ぎ止められることにより、直流電圧が印加された場合の誘電体層14中の酸素空孔の移動が抑えられる。これにより、BaTiO3を含む誘電体層14を備える積層セラミックコンデンサ1の信頼性向上する。
ただし、グレイン140は、コアシェル構造に限定されず、グレイン140全体に第1元素及び第2の元素が均質に分布していてもよい。
(誘電体層14のグレイン数)
実施形態の積層セラミックコンデンサ1は、一例として以下である。
定格電圧:6.3V
初期容量:15μF
実効容量:DC3Vにおいて5μF
絶縁破壊電圧:60V
このとき、誘電体層14の厚さ(積層方向Tの寸法)TDは0.67μm≦TD≦0.73μmが好ましく、0.70μm程度がより好ましい。誘電体層14の枚数は405枚以上430枚以下が好ましい。グレイン140の粒径は150nm以上200nmが好ましく、誘電体層14の厚さ方向(積層方向T)のグレイン140の数の平均値GNは、3≦GN≦4であることが好ましい。
誘電体層14の厚さ(積層方向Tの寸法)TDは0.67μm≦TD≦0.73μm以下とすることで、積層セラミックコンデンサ1の全体の高さ寸法の制約のなされた機器において、実装可能な積層セラミックコンデンサ1のサイズを可能とし、誘電体層14の厚さ方向(積層方向T)のグレイン140の数の平均値GNは、3≦GN≦4であることで、寸法制約がなされた機器内において、実装可能な寸法としながら、誘電体層14の絶縁抵抗の低下を抑制可能としている。
実施形態の積層セラミックコンデンサ1は、一例として以下である。
定格電圧:6.3V
初期容量:15μF
実効容量:DC3Vにおいて5μF
絶縁破壊電圧:60V
このとき、誘電体層14の厚さ(積層方向Tの寸法)TDは0.67μm≦TD≦0.73μmが好ましく、0.70μm程度がより好ましい。誘電体層14の枚数は405枚以上430枚以下が好ましい。グレイン140の粒径は150nm以上200nmが好ましく、誘電体層14の厚さ方向(積層方向T)のグレイン140の数の平均値GNは、3≦GN≦4であることが好ましい。
誘電体層14の厚さ(積層方向Tの寸法)TDは0.67μm≦TD≦0.73μm以下とすることで、積層セラミックコンデンサ1の全体の高さ寸法の制約のなされた機器において、実装可能な積層セラミックコンデンサ1のサイズを可能とし、誘電体層14の厚さ方向(積層方向T)のグレイン140の数の平均値GNは、3≦GN≦4であることで、寸法制約がなされた機器内において、実装可能な寸法としながら、誘電体層14の絶縁抵抗の低下を抑制可能としている。
また、実施形態の積層セラミックコンデンサ1は、他の例として以下である。
要求特性:10V
初期容量:10μF
実効容量:DC3Vにおいて4μF
絶縁破壊電圧:80V
このとき、誘電体層14の厚さ(積層方向Tの寸法)TDは0.85μm≦TD≦0.91μm以下が好ましく、0.88μm程度がより好ましい。誘電体層14の枚数は350枚以上375枚以下が好ましい。グレイン140の粒径は150nm以上200nmが好ましく、誘電体層14の厚さ方向(積層方向T)のグレイン140の数の平均値GNは、4≦GN≦5であることが好ましい。
誘電体層14の厚さ(積層方向Tの寸法)TDは0.85μm≦TD≦0.91μm以下とすることで、積層セラミックコンデンサ1の全体の高さ寸法の制約のなされた機器において、実装可能な積層セラミックコンデンサ1のサイズを可能とし、誘電体層14の厚さ方向(積層方向T)のグレイン140の数の平均値GNは、4≦GN≦5であることで、高さ方向の寸法制約を守りながら、誘電体層14の絶縁抵抗の低下を抑制可能としている。
要求特性:10V
初期容量:10μF
実効容量:DC3Vにおいて4μF
絶縁破壊電圧:80V
このとき、誘電体層14の厚さ(積層方向Tの寸法)TDは0.85μm≦TD≦0.91μm以下が好ましく、0.88μm程度がより好ましい。誘電体層14の枚数は350枚以上375枚以下が好ましい。グレイン140の粒径は150nm以上200nmが好ましく、誘電体層14の厚さ方向(積層方向T)のグレイン140の数の平均値GNは、4≦GN≦5であることが好ましい。
誘電体層14の厚さ(積層方向Tの寸法)TDは0.85μm≦TD≦0.91μm以下とすることで、積層セラミックコンデンサ1の全体の高さ寸法の制約のなされた機器において、実装可能な積層セラミックコンデンサ1のサイズを可能とし、誘電体層14の厚さ方向(積層方向T)のグレイン140の数の平均値GNは、4≦GN≦5であることで、高さ方向の寸法制約を守りながら、誘電体層14の絶縁抵抗の低下を抑制可能としている。
そして、後述するが、互いに隣接する内部電極層15が対向する対向部152は、コンデンサとして機能する有効部である。この有効部間に存在する誘電体層14のグレイン径は、サイドギャップ部20の誘電体のグレイン径より大きいことが好ましい。
誘電体はグレイン径が大きい方が誘電率が高く、グレイン径が小さい方が耐湿性が高く耐久性が良い。有効部間に存在する誘電体層14のグレイン径は、サイドギャップ部20の誘電体のグレイン径より大きいので、有効部間の誘電率を高く保つことができるので十分な容量を確保することができる。また、サイドギャップ部20では高い耐湿性が得られるので、全体として高い耐湿性及び耐久性を得ることができる。
(内部電極層15)
内部電極層15の幅方向Wの寸法WIとしたときに、T0<WIである。また、内部電極層15の積層方向Tの寸法(厚さ)をT1としたときに、TIは、0.49μm≦TI≦0.55μmであることが好ましく、0.53μm程度がより好ましい。
内部電極層15の幅方向Wの寸法WIとしたときに、T0<WIであることで、寸法制約のなされた機器において、実装可能な積層セラミックコンデンサ1の高さを確保しながら、内部電極面積を広く確保できているため、積層セラミックコンデンサ1の容量を多く確保することを可能としている。
内部電極層15の幅方向Wの寸法WIとしたときに、T0<WIである。また、内部電極層15の積層方向Tの寸法(厚さ)をT1としたときに、TIは、0.49μm≦TI≦0.55μmであることが好ましく、0.53μm程度がより好ましい。
内部電極層15の幅方向Wの寸法WIとしたときに、T0<WIであることで、寸法制約のなされた機器において、実装可能な積層セラミックコンデンサ1の高さを確保しながら、内部電極面積を広く確保できているため、積層セラミックコンデンサ1の容量を多く確保することを可能としている。
なお、内部電極層15は、金属材料で形成されているが、その金属材料で隙間なく埋められているのではない。内部電極層15には、金属材料が存在しない空洞の部分が含まれている。内部電極層15において金属材料が占める割合を、カバレッジ(被覆率)としたときに、このカバレッジは、85%以上が好ましい。
内部電極層15は、複数の第1の内部電極層15Aと、複数の第2の内部電極層15Bとを備える。第1の内部電極層15Aと第2の内部電極層15Bとは交互に配置されている。なお、第1の内部電極層15Aと第2の内部電極層15Bとを特に区別して説明する必要のない場合、まとめて内部電極層15として説明する。
第1の内部電極層15Aは、第2の内部電極層15Bと対向する第1の対向部152aと、第1の対向部152aから第1端面C1側に引き出された第1の引き出し部151aとを備える。第1の引き出し部151aの端部は、第1端面C1に露出し、後述の第1の外部電極3Aに電気的に接続されている。
第2の内部電極層15Bは、第1の内部電極層15Aと対向する第2の対向部152bと、第2の対向部152bから第2端面C2に引き出された第2の引き出し部151bとを備える。第2の引き出し部151bの端部は、後述の第2の外部電極3Bに電気的に接続されている。
以上の内部電極層15によれば、第1の内部電極層15Aの第1の対向部152aと、第2の内部電極層15Bの第2の対向部152bとに電荷が蓄積され、コンデンサとして機能する。この、互いに隣接する内部電極層15が対向する対向部152は、コンデンサとして機能する有効部である。
(ずれ量d)
後述するが、積層体チップ10は、マザーブロックを切断して形成されたものであるので、側面は切断によって平坦面に形成され、内部電極層15の端部が露出している。サイドギャップ部20は、その積層体チップ10両側面に形成された、いわゆるサイドギャップ部20後付け工法により製造されたものである。
後述するが、積層体チップ10は、マザーブロックを切断して形成されたものであるので、側面は切断によって平坦面に形成され、内部電極層15の端部が露出している。サイドギャップ部20は、その積層体チップ10両側面に形成された、いわゆるサイドギャップ部20後付け工法により製造されたものである。
したがって、図3に示すように、積層体2の中心を通る幅方向W及び積層方向Tの断面であるWT断面において、積層方向Tにおいて上下に隣り合う2つの第1の内部電極層15Aと第2の内部電極層15Bとの幅方向Wの端部の積層方向Tにおける位置のずれ量dは小さく、d≦5μmである。すなわち、積層方向Tにおいて上下に隣り合う第1の内部電極層15Aと第2の内部電極層15Bとの幅方向Wの端部は、幅方向W上において略同位置にあり、端部の位置が積層方向Tで揃っている。
d≦5μmであることで、寸法制約のなされた中で、内部電極層15の面積を可能な限り広く確保できているため、積層セラミックコンデンサ1の容量を多く確保することを可能としている。
d≦5μmであることで、寸法制約のなされた中で、内部電極層15の面積を可能な限り広く確保できているため、積層セラミックコンデンサ1の容量を多く確保することを可能としている。
内部電極層15は、Niを主成分とし、Snを含有している。そして、内部電極層15の、誘電体層14と対向する表面から例えば20nm程度の界面近傍領域153において、原子組成百分率が2at%(アトミック%)以上のSnが偏析している。すなわち、図4に示す界面近傍領域153は、内部電極層15の他の部分よりSnの量が多い。
内部電極層15は、Ni粉末と、Ni-Sn合金粉末及びSn成分配合共材とを含む、内部電極形成用の導電性ペーストが焼成されたものである。焼成工程で、Sn成分配合共材が親和性の高い誘電体層14側に引き寄せられるとともに、共材に配合されたSn成分も、誘電体層14側に引き寄せられる。
その結果、内部電極層15の内部よりも、誘電体層14との界面近傍領域153において高い確率でSnが存在することになる。これにより、内部電極層15がNi-Sn合金化して界面近傍領域153の状態が変化する。すなわち、NiとSnが合金を形成する(Ni-Sn合金化する)ことにより、セラミック誘電体層14と内部電極層15の界面の状態(電気的な障壁高さ)が変化するため、高温負荷寿命の向上に寄与すると考えられる。特に、界面近傍領域153にNi-Sn合金が多く存在すると、高温負荷寿命の向上にとって重要な役割を担うと推測される。ゆえに、高温負荷寿命に優れた信頼性の高い積層セラミックコンデンサ1を得ることが可能になる。
(積層セラミックコンデンサ1の製造方法)
図5は、積層セラミックコンデンサ1の製造方法を説明するフローチャートである。
積層セラミックコンデンサ1の製造方法は、素材シート作製工程S1と、素材シート積層工程S2と、マザーブロック切断工程S3と、サイドギャップ部形成工程S4と、第1焼成工程S5と、外部電極形成工程S6と、第2焼成工程S7とを含む。
図5は、積層セラミックコンデンサ1の製造方法を説明するフローチャートである。
積層セラミックコンデンサ1の製造方法は、素材シート作製工程S1と、素材シート積層工程S2と、マザーブロック切断工程S3と、サイドギャップ部形成工程S4と、第1焼成工程S5と、外部電極形成工程S6と、第2焼成工程S7とを含む。
(素材シート作製工程S1)
TiとBaを含むチタン酸バリウム系ペロブスカイト型化合物粉末に、第1の元素M1やその他の添加元素を含む粉末を加えて、原料粉末を得る。原料粉末、バインダ及び溶剤を含むセラミックスラリーが準備される。
TiとBaを含むチタン酸バリウム系ペロブスカイト型化合物粉末に、第1の元素M1やその他の添加元素を含む粉末を加えて、原料粉末を得る。原料粉末、バインダ及び溶剤を含むセラミックスラリーが準備される。
このセラミックスラリーをキャリアフィルム上においてダイコータ、グラビアコータ、マイクログラビアコータ等を用いてシート状に成形して、内層部11用セラミックグリーンシート及び外層部12用のセラミックグリーンシートが作製される。
Ni粉末と、Ni-Sn合金粉末及びSn成分配合共材を含む、内部電極形成用の導電性ペーストが、内層部11用セラミックグリーンシートに、帯状のパターンを有するようにスクリーン印刷、インクジェット印刷、グラビア印刷等によって印刷される。これにより、誘電体層14となる内層部11用セラミックグリーンシートの表面に内部電極層15となる導電体ペーストが印刷された素材シートが準備される。
(素材シート積層工程S2)
次いで、素材シートが複数枚積層される。具体的には、帯状の導電体ペーストが同一の方向を向き且つその帯状の導電体ペーストが隣り合う素材シート間において幅方向Wにおいて半ピッチずつずれた状態になるように、複数の素材シートが積み重ねられる。
さらに、複数枚積層された素材シートの両側に、外層部12となる外層部12用セラミックグリーンシートが積み重ねられる。そして、積み重ねられた複数の素材シートと、外層部12用セラミックグリーンシートとを熱圧着する。これにより、マザーブロックが形成される。
次いで、素材シートが複数枚積層される。具体的には、帯状の導電体ペーストが同一の方向を向き且つその帯状の導電体ペーストが隣り合う素材シート間において幅方向Wにおいて半ピッチずつずれた状態になるように、複数の素材シートが積み重ねられる。
さらに、複数枚積層された素材シートの両側に、外層部12となる外層部12用セラミックグリーンシートが積み重ねられる。そして、積み重ねられた複数の素材シートと、外層部12用セラミックグリーンシートとを熱圧着する。これにより、マザーブロックが形成される。
(マザーブロック切断工程S3)
次いで、マザーブロックを積層体チップ10の寸法に対応したサイズに切断する。
次いで、マザーブロックを積層体チップ10の寸法に対応したサイズに切断する。
(サイドギャップ部形成工程S4)
次に、サイドギャップ部用セラミックグリーンシートを積層体チップ10の両側部に張り付けることでサイドギャップ部20となる層が形成される。ここで、積層体チップ10は、マザーブロックを切断して形成されたものであるので、側面は切断によって平坦面に形成され、内部電極層15の端部が露出している。サイドギャップ部20は、その積層体チップ10両側面に形成された、いわゆるサイドギャップ部後付け工法により製造される。
次に、サイドギャップ部用セラミックグリーンシートを積層体チップ10の両側部に張り付けることでサイドギャップ部20となる層が形成される。ここで、積層体チップ10は、マザーブロックを切断して形成されたものであるので、側面は切断によって平坦面に形成され、内部電極層15の端部が露出している。サイドギャップ部20は、その積層体チップ10両側面に形成された、いわゆるサイドギャップ部後付け工法により製造される。
(第1焼成工程S5)
積層体チップ10にサイドギャップ部20となる層が形成されたものは、窒素雰囲気中、所定の条件で脱脂処理された後、窒素-水素-水蒸気混合雰囲気中、所定の温度で焼成され、焼結されて積層体2となる。
積層体チップ10にサイドギャップ部20となる層が形成されたものは、窒素雰囲気中、所定の条件で脱脂処理された後、窒素-水素-水蒸気混合雰囲気中、所定の温度で焼成され、焼結されて積層体2となる。
内部電極層15は、Ni粉末と、Ni-Sn合金粉末及びSn成分配合共材を含む、内部電極形成用の導電性ペーストが焼成されたものである。この焼成工程で、Sn成分配合共材が親和性の高い誘電体層14側に引き寄せられるとともに、共材に配合されたSn成分も、誘電体層14側に引き寄せられる。
(外部電極形成工程S6)
続いて積層体2の端面Cに、外部電極3を形成する導電性ペーストを塗布する。
続いて積層体2の端面Cに、外部電極3を形成する導電性ペーストを塗布する。
(第2焼成工程S7)
そして、設定された焼成温度で、窒素雰囲気中で所定時間加熱する。これにより、外部電極3が積層体2に焼き付けられて積層セラミックコンデンサ1が製造される。
なお、第1焼成工程は含まず、第2焼成工程において、積層体2も外部電極3とともに焼成してもよい。
そして、設定された焼成温度で、窒素雰囲気中で所定時間加熱する。これにより、外部電極3が積層体2に焼き付けられて積層セラミックコンデンサ1が製造される。
なお、第1焼成工程は含まず、第2焼成工程において、積層体2も外部電極3とともに焼成してもよい。
以上、実施形態の積層セラミックコンデンサ1は、
誘電体層14と内部電極層15とが交互に積層された内層部11、及び、内層部11の積層方向Tの両側にそれぞれ配置された外層部12を有する積層体チップ10、並びに、
積層体チップ10における積層方向Tと直交する幅方向Wの両側にそれぞれ配置されたサイドギャップ部20、を備える積層体2と、
積層体2における積層方向T及び幅方向Wと交差する長さ方向Lの両側にそれぞれ配置された外部電極3と、を備える、積層セラミックコンデンサ1であって、
誘電体層14はBa及びTiを含み、内部電極層15はNiを含み、
積層セラミックコンデンサ1の長さ方向Lの寸法L0、積層方向Tの寸法T0、幅方向Wの寸法W0としたときに、
1.7≦L0/T0≦2.3、且つ、1.0≦W0/T0≦1.4であり、
長さ方向Lの中央における、積層方向Tと幅方向Wとを通る断面において、積層方向Tにおいて互いに隣接する内部電極層15の幅方向Wの端部の、幅方向Wでの位置のずれ量をdとしたときに、d≦5μmであり、
内部電極層15と誘電体層14との界面に、原子組成百分率が2at%以上のSnが偏析し、
サイドギャップ部20の幅方向Wの寸法WS、外層部12の積層方向Tの寸法TGとしたときに、0.3≦WS/TG≦0.6であり、
内部電極層15の幅方向Wの寸法WIとしたときに、T0<WIである。
誘電体層14と内部電極層15とが交互に積層された内層部11、及び、内層部11の積層方向Tの両側にそれぞれ配置された外層部12を有する積層体チップ10、並びに、
積層体チップ10における積層方向Tと直交する幅方向Wの両側にそれぞれ配置されたサイドギャップ部20、を備える積層体2と、
積層体2における積層方向T及び幅方向Wと交差する長さ方向Lの両側にそれぞれ配置された外部電極3と、を備える、積層セラミックコンデンサ1であって、
誘電体層14はBa及びTiを含み、内部電極層15はNiを含み、
積層セラミックコンデンサ1の長さ方向Lの寸法L0、積層方向Tの寸法T0、幅方向Wの寸法W0としたときに、
1.7≦L0/T0≦2.3、且つ、1.0≦W0/T0≦1.4であり、
長さ方向Lの中央における、積層方向Tと幅方向Wとを通る断面において、積層方向Tにおいて互いに隣接する内部電極層15の幅方向Wの端部の、幅方向Wでの位置のずれ量をdとしたときに、d≦5μmであり、
内部電極層15と誘電体層14との界面に、原子組成百分率が2at%以上のSnが偏析し、
サイドギャップ部20の幅方向Wの寸法WS、外層部12の積層方向Tの寸法TGとしたときに、0.3≦WS/TG≦0.6であり、
内部電極層15の幅方向Wの寸法WIとしたときに、T0<WIである。
(効果)
このように、内部電極層15と誘電体層14との界面に、原子組成百分率が2at%以上のSnが偏析している。これにより、内部電極層15がNi-Sn合金化して誘電体層14と内部電極層15との界面の状態が変化する。すなわち、NiとSnが合金を形成する(Ni-Sn合金化する)ことにより、セラミック誘電体層14と内部電極層15の界面の状態(電気的な障壁高さ)が変化するため、高温負荷寿命が向上した信頼性の高い積層セラミックコンデンサ1を得ることできる。
このように、内部電極層15と誘電体層14との界面に、原子組成百分率が2at%以上のSnが偏析している。これにより、内部電極層15がNi-Sn合金化して誘電体層14と内部電極層15との界面の状態が変化する。すなわち、NiとSnが合金を形成する(Ni-Sn合金化する)ことにより、セラミック誘電体層14と内部電極層15の界面の状態(電気的な障壁高さ)が変化するため、高温負荷寿命が向上した信頼性の高い積層セラミックコンデンサ1を得ることできる。
また、長さ方向Lの中央における、積層方向Tと幅方向Wとを通る断面において、積層方向Tにおいて互いに隣接する内部電極層15の幅方向Wの端部の、幅方向Wでの位置のずれ量をdとしたときに、d≦5μmである。ゆえに、サイドギャップ部20の幅方向Wの寸法WSを、外層部12の積層方向Tの寸法TGとしたときに、0.3≦WS/TG≦0.6と薄くすることができる。これにより、積層セラミックコンデンサ1の長さ方向Lの寸法L0、積層方向Tの寸法T0、幅方向Wの寸法W0としたときに、1.7≦L0/T0≦2.3、且つ、1.0≦W0/T0≦1.4といったサイズにおいて、内部電極層15の幅方向Wの寸法WIを、T0<WIと大きくして内部電極層15の面積を大きくすることができる。
また、誘電体層14の積層方向Tの寸法TDとしたときに、0.67μm≦TD≦0.73μmの場合、誘電体層14における積層方向Tのグレイン数の平均値は、3≦GN≦5である。すなわちグレイン数の平均値GNが比較的大きいので、グレイン数が1の場合と比べて誘電体層14内の粒界が多くなるため、絶縁抵抗値が高くなり、耐久性が向上する。
また、誘電体層14の積層方向Tの寸法TDとしたときに、0.85μm≦TD≦0.91μmの場合、誘電体層14における積層方向Tのグレイン数平均値は、4≦GN≦5である。すなわちグレイン数の平均値GNが比較的大きいので、グレイン数が1の場合と比べて誘電体層14内の粒界が多くなるため、絶縁抵抗値が高くなり、耐久性が向上する。
積層セラミックコンデンサ1は、長さ方向Lの寸法L0が、1.15≦L0≦1.25μm、幅方向Wの寸法W0が、0.65≦W0≦0.75μm、積層方向Tの寸法T0が、0.55≦T0≦0.65μm、サイドギャップ部20の幅方向Wの寸法WSが、15μm≦WS≦20μm、外層部12のそれぞれの積層方向Tの寸法TGが、36μm≦TG≦43μmであるので、寸法制約のなされた機器内において、容量と絶縁破壊電圧のバランスを確保した汎用性が高いサイズである。
誘電体層14は、複数のグレイン140を含み、グレイン140は、コア部141と、コア部141を取り囲むシェル部142とからなるコアシェル構造を有し、コア部141のグレイン140に含まれるTiに対するBaのモル比は、シェル部142のグレイン140に含まれるTiに対するBaのモル比より高い。したがって、誘電率の温度特性を平坦化でき、信頼性の向上を図ることが可能である。
以上、実施形態の積層セラミックコンデンサ1によると、寸法制約の中で、初期容量/実効容量/絶縁破壊電圧のバランスを取りながら十分な信頼性が確保可能な積層セラミックコンデンサ1を提供することができる。
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は以下の組み合わせを含む。
<1>電体層と内部電極層とが交互に積層された内層部、及び、前記内層部の積層方向の両側にそれぞれ配置された外層部を有する積層体チップ、並びに、
前記積層体チップにおける前記積層方向と直交する幅方向の両側にそれぞれ配置されたサイドギャップ部、を備える積層体と、
前記積層体における前記積層方向及び前記幅方向と交差する長さ方向の両側にそれぞれ配置された外部電極と、を備える、積層セラミックコンデンサであって、
前記誘電体層はBa及びTiを含み、前記内部電極層はNiを含み、
前記積層セラミックコンデンサの前記長さ方向の寸法L0、前記積層方向の寸法T0、前記幅方向の寸法W0としたときに、
1.7≦L0/T0≦2.3、且つ、1.0≦W0/T0≦1.4であり、
前記長さ方向の中央における、前記積層方向と前記幅方向とを通る断面において、前記積層方向において互いに隣接する前記内部電極層の前記幅方向の端部の、前記幅方向での位置のずれ量をdとしたときに、d≦5μmであり、
前記内部電極層と前記誘電体層との界面に、原子組成百分率が2at%以上のSnが偏析し、
前記サイドギャップ部の前記幅方向の寸法WS、前記外層部の前記積層方向の寸法TGとしたときに、0.3≦WS/TG≦0.6であり、
前記内部電極層の前記幅方向の寸法WIは、T0<WIである、
積層セラミックコンデンサ。
<1>電体層と内部電極層とが交互に積層された内層部、及び、前記内層部の積層方向の両側にそれぞれ配置された外層部を有する積層体チップ、並びに、
前記積層体チップにおける前記積層方向と直交する幅方向の両側にそれぞれ配置されたサイドギャップ部、を備える積層体と、
前記積層体における前記積層方向及び前記幅方向と交差する長さ方向の両側にそれぞれ配置された外部電極と、を備える、積層セラミックコンデンサであって、
前記誘電体層はBa及びTiを含み、前記内部電極層はNiを含み、
前記積層セラミックコンデンサの前記長さ方向の寸法L0、前記積層方向の寸法T0、前記幅方向の寸法W0としたときに、
1.7≦L0/T0≦2.3、且つ、1.0≦W0/T0≦1.4であり、
前記長さ方向の中央における、前記積層方向と前記幅方向とを通る断面において、前記積層方向において互いに隣接する前記内部電極層の前記幅方向の端部の、前記幅方向での位置のずれ量をdとしたときに、d≦5μmであり、
前記内部電極層と前記誘電体層との界面に、原子組成百分率が2at%以上のSnが偏析し、
前記サイドギャップ部の前記幅方向の寸法WS、前記外層部の前記積層方向の寸法TGとしたときに、0.3≦WS/TG≦0.6であり、
前記内部電極層の前記幅方向の寸法WIは、T0<WIである、
積層セラミックコンデンサ。
<2>前記誘電体層の前記積層方向の寸法TDとしたときに、0.67μm≦TD≦0.73μmであるとともに、
前記誘電体層は複数のグレインを含み、前記誘電体層における前記積層方向のグレイン数の平均値は、3≦GN≦4である、
<1>に記載の積層セラミックコンデンサ。
前記誘電体層は複数のグレインを含み、前記誘電体層における前記積層方向のグレイン数の平均値は、3≦GN≦4である、
<1>に記載の積層セラミックコンデンサ。
<3>前記誘電体層の前記積層方向の寸法TDとしたときに、0.85μm≦TD≦0.91μmであるとともに、
前記誘電体層は複数のグレインを含み、前記誘電体層における前記積層方向のグレイン数平均値は、4≦GN≦5である、
<1>に記載の積層セラミックコンデンサ。
前記誘電体層は複数のグレインを含み、前記誘電体層における前記積層方向のグレイン数平均値は、4≦GN≦5である、
<1>に記載の積層セラミックコンデンサ。
<4>前記長さ方向の寸法L0が、1.15≦L0≦1.25μm、
前記幅方向の寸法W0が、0.65≦W0≦0.75μm、
前記積層方向の寸法T0が、0.55≦T0≦0.65μm、
前記サイドギャップ部の前記幅方向の寸法WSが、15μm≦WS≦20μm、
前記外層部のそれぞれの前記積層方向の寸法TGが、36μm≦TG≦43μmである、
<1>から<3>のいずれかに記載の積層セラミックコンデンサ。
前記幅方向の寸法W0が、0.65≦W0≦0.75μm、
前記積層方向の寸法T0が、0.55≦T0≦0.65μm、
前記サイドギャップ部の前記幅方向の寸法WSが、15μm≦WS≦20μm、
前記外層部のそれぞれの前記積層方向の寸法TGが、36μm≦TG≦43μmである、
<1>から<3>のいずれかに記載の積層セラミックコンデンサ。
<5>前記誘電体層は、複数のグレインを含み、
前記グレインは、コア部と、該コア部を取り囲むシェル部とからなるコアシェル構造を有し、
前記コア部の前記グレインに含まれるTiに対するBaのモル比は、前記シェル部の前記グレインに含まれるTiに対するBaのモル比より高い、
<1>から<4>のいずれかに記載の積層セラミックコンデンサ。
前記グレインは、コア部と、該コア部を取り囲むシェル部とからなるコアシェル構造を有し、
前記コア部の前記グレインに含まれるTiに対するBaのモル比は、前記シェル部の前記グレインに含まれるTiに対するBaのモル比より高い、
<1>から<4>のいずれかに記載の積層セラミックコンデンサ。
1 積層セラミックコンデンサ
2 積層体
3 外部電極
10 積層体チップ
11 内層部
12 外層部
14 誘電体層
15 内部電極層
20 サイドギャップ部
140 グレイン
141 コア部
142 シェル部
151a 出し部
151b 出し部
152 対向部
152a 第1の対向部
152b 第2の対向部
153 界面近傍領域
2 積層体
3 外部電極
10 積層体チップ
11 内層部
12 外層部
14 誘電体層
15 内部電極層
20 サイドギャップ部
140 グレイン
141 コア部
142 シェル部
151a 出し部
151b 出し部
152 対向部
152a 第1の対向部
152b 第2の対向部
153 界面近傍領域
Claims (5)
- 誘電体層と内部電極層とが交互に積層された内層部、及び、前記内層部の積層方向の両側にそれぞれ配置された外層部を有する積層体チップ、並びに、前記積層体チップにおける前記積層方向と直交する幅方向の両側にそれぞれ配置されたサイドギャップ部、を備える積層体と、前記積層体における前記積層方向及び前記幅方向と交差する長さ方向の両側にそれぞれ配置された外部電極と、を備える、積層セラミックコンデンサであって、
前記誘電体層はBa及びTiを含み、前記内部電極層はNiを含み、
前記積層セラミックコンデンサの前記長さ方向の寸法L0、前記積層方向の寸法T0、前記幅方向の寸法W0としたときに、1.7≦L0/T0≦2.3、且つ、1.0≦W0/T0≦1.4であり、
前記長さ方向の中央における、前記積層方向と前記幅方向とを通る断面において、前記積層方向において互いに隣接する前記内部電極層の前記幅方向の端部の、前記幅方向での位置のずれ量をdとしたときに、d≦5μmであり、
前記内部電極層と前記誘電体層との界面に、原子組成百分率が2at%以上のSnが偏析し、
前記サイドギャップ部の前記幅方向の寸法WS、前記外層部の前記積層方向の寸法TGとしたときに、0.3≦WS/TG≦0.6であり、
前記内部電極層の前記幅方向の寸法WIは、T0<WIである、
積層セラミックコンデンサ。 - 前記誘電体層の前記積層方向の寸法TDとしたときに、0.67μm≦TD≦0.73μmであるとともに、
前記誘電体層は複数のグレインを含み、前記誘電体層における前記積層方向のグレイン数の平均値は、3≦GN≦4である、
請求項1に記載の積層セラミックコンデンサ。 - 前記誘電体層の前記積層方向の寸法TDとしたときに、0.85μm≦TD≦0.91μmであるとともに、
前記誘電体層は複数のグレインを含み、前記誘電体層における前記積層方向のグレイン数平均値は、4≦GN≦5である、
請求項1に記載の積層セラミックコンデンサ。 - 前記長さ方向の寸法L0が、1.15≦L0≦1.25μm、
前記幅方向の寸法W0が、0.65≦W0≦0.75μm、
前記積層方向の寸法T0が、0.55≦T0≦0.65μm、
前記サイドギャップ部の前記幅方向の寸法WSが、15μm≦WS≦20μm、
前記外層部のそれぞれの前記積層方向の寸法TGが、36μm≦TG≦43μmである、
請求項1から3のいずれか1項に記載の積層セラミックコンデンサ。 - 前記誘電体層は、複数のグレインを含み、
前記グレインは、コア部と、該コア部を取り囲むシェル部とからなるコアシェル構造を有し、
前記コア部の前記グレインに含まれるTiに対するBaのモル比は、前記シェル部の前記グレインに含まれるTiに対するBaのモル比より高い、
請求項1から4のいずれか1項に記載の積層セラミックコンデンサ。
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PCT/JP2023/037367 WO2024150489A1 (ja) | 2023-01-13 | 2023-10-16 | 積層セラミックコンデンサ |
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