WO2024099639A1 - Trägergas-lecksuchsystem und trägergas-lecksuchverfahren zur leckagedetektion an einem prüfling - Google Patents

Trägergas-lecksuchsystem und trägergas-lecksuchverfahren zur leckagedetektion an einem prüfling Download PDF

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WO2024099639A1
WO2024099639A1 PCT/EP2023/077236 EP2023077236W WO2024099639A1 WO 2024099639 A1 WO2024099639 A1 WO 2024099639A1 EP 2023077236 W EP2023077236 W EP 2023077236W WO 2024099639 A1 WO2024099639 A1 WO 2024099639A1
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WO
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test chamber
gas
detector
flow
leak detection
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Application number
PCT/EP2023/077236
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French (fr)
Inventor
Daniel Wetzig
Maximilian REISMANN
Hjalmar Bruhns
Original Assignee
Inficon Gmbh
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Publication date
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    • G01M3/226—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators for containers, e.g. radiators
    • G01M3/229—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators for containers, e.g. radiators removably mounted in a test cell

Definitions

  • the invention relates to a system and a method for leak detection on a test object.
  • test objects are tested in a test chamber using test gas vacuum leak detection.
  • the test object filled with a test gas is placed in a test chamber, which is then evacuated.
  • the test gas partial pressure is measured in the vacuum system using a test gas detector.
  • Test gas, which leaks from the test object into the test chamber can be actively guided to the test gas detector using a carrier gas.
  • the carrier gas is continuously introduced into the test chamber and pumped out using the vacuum system so that an equilibrium working pressure is formed in the test chamber.
  • the resulting carrier gas flow transports test gas that has escaped from the test object to the test gas detector.
  • the presence or measured signal strength is a measure of the leakage rate on the test object.
  • Different detectors are used to detect the test gas, depending on which detection limit is required.
  • a quadrupole mass spectrometer is used to achieve a very high test gas sensitivity.
  • the QMS has both a very high sensitivity and a high selectivity.
  • the carrier gas method can also be used for other types of detectors that do not necessarily have to be operated in a vacuum or high vacuum, such as optical detectors or surface sensors.
  • the maximum sensitivity is achieved at an optimal total pressure of 1E-4 mbar in the ion source.
  • a lower working pressure in the detection volume results in a lower sensitivity due to the smaller number of molecules or atoms to be detected and a higher working pressure results in a reduction in sensitivity due to losses of charge carriers caused by space charge effects. Too high a density of electrically charged particles in the ion source space results in too strong a repulsion of the charge carriers from one another.
  • This optimum working pressure is achieved with the fixed suction capacity at the QMS detection volume and the fixed conductance of the pressure transducer inlet (e.g. capillary) for a specific inlet pressure.
  • a deviation from this optimum inlet pressure usually has a quadratic effect on the total pressure in the ion source. For example, halving the inlet pressure results in a reduction of the total pressure in high vacuum to a quarter of the original value.
  • the sensitivity of the system scales with decreasing pressure in the ion source, ie a changed pressure at the inlet to the mass spectrometer reduces the sensitivity of the system disproportionately.
  • the carrier gas flow rate should be adapted to the amount of gas present in the test chamber.
  • the aim here is to exchange the amount of gas in the chamber approximately two to three times (2-3 Tau) in the shortest possible period of time in order to achieve a convergence value of the leakage signal.
  • the pressure in the test chamber can be lowered to reduce the amount of gas to be exchanged.
  • the carrier gas flow must be increased for larger test chambers (larger net chamber volume), and reduced for smaller net volumes.
  • the equilibrium pressure in the test chamber also changes.
  • the working pressure at the gas detector such as in the detector volume of the mass spectrometric gas detector, especially in the case of a quadrupole mass spectrometer, to a changing working pressure in the test chamber.
  • the working pressure in the test chamber depends on the amount of carrier gas fed into the test chamber and the suction capacity of the pump used to evacuate the test chamber. This pump is referred to below as the test chamber vacuum pump. Adapting the working pressure in the Detector volume or the detector via the suction capacity of the vacuum pump requires a high level of technical effort and is therefore not very practical. In the case of a vacuum detector, the vacuum pump that evacuates the detector volume is referred to below as the detector vacuum pump.
  • the object of the invention is to provide a system and a method for leak detection on a test object by carrier gas leak detection, in which the flow strength of the carrier gas at the gas detector and the pressure in the test chamber can be adjusted with little technical effort.
  • the leak detection system according to the invention is defined by the features of patent claim 1.
  • the leak detection method according to the invention is defined by the features of patent claim 13.
  • the carrier gas leak detection system has a gas detector and a test chamber.
  • the test chamber has a test chamber volume into which at least a first test chamber inlet and a test chamber outlet open, with a test chamber vacuum pump that evacuates the test chamber volume being connected to the test chamber outlet.
  • the test chamber outlet is connected in a gas-conducting manner to the gas detector and the test chamber vacuum pump by a first gas line in order to supply the gas to be analyzed from the test chamber to the detector.
  • the gas detector can have a detector volume inlet with a first flow restrictor for pressure conversion at the detector volume inlet.
  • the first flow restrictor can, for example, be a suitable cross-sectional design of the detector volume inlet.
  • the first flow restrictor is not absolutely necessary depending on the type of detector.
  • a second flow restrictor is provided for supplying carrier gas into the test chamber volume at the test chamber inlet.
  • the second flow restrictor may have an adjustable conductance for changing the carrier gas flow.
  • a second gas line connecting the test chamber outlet to the gas detector parallel to the first gas line is connected in a first connection point to the test chamber vacuum pump and to the first gas line in a gas-conducting manner.
  • a third flow restrictor is provided in a detector section of the first gas line between the first connection point and the gas detector.
  • a fourth flow restrictor is provided in the second gas line between the test chamber outlet and the first connection point. The third flow restrictor and the fourth flow restrictor therefore form a flow divider together with the first and second gas lines such that a first partial flow can be evacuated from the test chamber through the second gas line and a second partial flow through the first gas line using the test chamber vacuum pump.
  • the third flow restrictor is provided in the first gas line between the first flow restrictor and the test chamber vacuum pump for adjusting the pressure in the first gas line.
  • the third flow restrictor can have an adjustable conductance.
  • the third flow restrictor can be used to set the pressure at the gas detector or to selectively adjust it manually or automatically by a pressure control device.
  • the carrier gas flow supplied to the test chamber can be set or changed using the second flow restrictor.
  • the fourth flow restrictor is provided in the second gas line between the test chamber outlet and the test chamber vacuum pump.
  • the fourth flow restrictor can be used to specify or adjust the suction capacity with which the test chamber vacuum pump sucks carrier gas into the test chamber volume.
  • the test chamber vacuum pump is gas-conducting between the third flow restrictor and the fourth flow restrictor in the first Connection point connected to the first and second gas lines so that the main gas flow of the carrier gas leads through the second flow restrictor, the test chamber inlet through the test chamber volume and from the test chamber outlet through the fourth flow restrictor into the test chamber vacuum pump.
  • the suction capacity of the test chamber specified via the fourth flow restrictor defines the pressure in the test chamber for a given carrier gas flow together with the third flow restrictor.
  • the fourth flow restrictor may also have an adjustable conductance to change the carrier gas flow and/or the pressure in the test chamber and/or to selectively adjust it, for example manually or automatically by a pressure control device.
  • the first, second, third and/or fourth flow restrictors each define the gas conductance of the respective line section and can be specified, for example, by an orifice, by a capillary or by the conductance, the cross-section or the diameter of the respective section of the gas line.
  • the gas flow that is sucked in from the test chamber by the test chamber vacuum pump can be divided using the third and fourth flow restrictors.
  • the third and fourth flow restrictors thus form a flow divider.
  • One partial flow - referred to below as the first partial flow - goes directly along the first gas line to the test chamber vacuum pump, while the other part - referred to below as the second partial flow - goes along the first gas line past the gas detector to the test chamber vacuum pump.
  • Carrier gas from the second partial flow which contains test gas in the event of a leak in the test object, is fed to the detector and analyzed there.
  • the detector volume is typically continuously evacuated by a detector vacuum pump.
  • the invention enables leak detection on a test object within a test chamber using an adjustable carrier gas flow with which leak gas or test gas is continuously transported from the test chamber to the detector, while the required pressure conditions and gas quantities at the detector and in the test chamber can be selectively adjusted.
  • the carrier gas leak detection method according to the invention for detecting leaks on a test object is characterized by the following steps:
  • the gas flow along the first partial flow is greater and in particular significantly greater than along the second partial flow.
  • the gas flows along the first and second partial flow are specified via the third flow restrictor and fourth flow restrictor and can be adjusted in the case of flow restrictors with variable conductance.
  • the conductance S3 of the third restrictor is preferably lower and in particular significantly lower than the conductance S4 of the fourth throttle.
  • the conductances S3, S4 can be adjusted, e.g. manually or by means of an electronic control device.
  • a test chamber section of the first gas line between the test chamber outlet and the gas detector or the detector volume inlet is provided with a selectively closable first valve, while the detector section has a selectively closable second valve between the first flow restrictor and the third flow restrictor.
  • the pressure conditions can be kept constant during the pumping out of the test chamber using the test chamber vacuum pump.
  • the test chamber can be evacuated using a direct connection between the test chamber vacuum pump and the test chamber, without the pressure at the detector volume inlet being changed by the pumping out of the test chamber.
  • the test chamber inlet may be provided with a selectively closable third valve.
  • the test chamber may have at least a second test chamber inlet for ventilating or flushing the test chamber or the test chamber volume, wherein the second test chamber inlet has a selectively closable fourth valve which is only opened for ventilating or flushing.
  • the test chamber outlet can be connected directly to the test chamber vacuum pump via a third gas line.
  • the third gas line preferably bridges the second gas line with the fourth flow restrictor and a possible sixth valve arranged upstream of the fourth flow restrictor.
  • the third gas line can be provided with a selectively closable fifth valve. When the fifth valve is open, the test chamber is evacuated directly via the third gas line in order to evacuate it, for example, after the introduction of a
  • the test object is placed in the test chamber to the required test chamber vacuum pressure.
  • This test chamber vacuum pressure is advantageously in the range of a few millibars, for example between 0.1 and 10 mbar.
  • the fifth valve is then closed and the sixth valve opened in order to use the test chamber vacuum pump to pump a continuous carrier gas flow through the test chamber volume into the second gas line with the third valve open.
  • the sixth valve can also be opened beforehand, e.g. if the test chamber is evacuated via the third gas line, or it can not be present.
  • the second gas line with the fourth flow restrictor and the sixth valve runs parallel to the third gas line with the fifth valve.
  • the test chamber With the first, second, third and fourth valves closed and the fifth valve open, the test chamber can be evacuated directly via the third gas line using the test chamber vacuum pump.
  • the fifth valve is closed and the third valve is opened. This causes carrier gas to be sucked into the test chamber volume through the first test chamber inlet and fed along the second gas line through the open sixth valve and through the fourth flow restrictor to the test chamber vacuum pump.
  • the gas detector can be evacuated using a gas detector vacuum pump.
  • the first valve and the second valve are opened so that a partial flow of the carrier gas, which is referred to below as the second partial flow, is fed along the first gas line past the gas detector and along the detector section of the test chamber vacuum pump.
  • the third flow restrictor and the fourth flow restrictor determine the ratio of the flow division.
  • a first partial flow flows through the second gas line to the test chamber vacuum pump. From the second partial flow, which is fed along the first gas line past the gas detector, Carrier gas with possible leakage gas from the test object to or into the gas detector and can be detected there.
  • the gas detector can be a vacuum gas detector or a mass spectrometric gas detector with a detector volume into which a detector volume inlet and a detector volume outlet open.
  • a detector vacuum pump is connected to the detector volume outlet in a gas-conducting manner in order to evacuate the detector volume to the required vacuum pressure.
  • the gas detector can be another type of detector, such as an optical detector, a radiation or radiation absorption detector, or a surface sensor past which the carrier gas flow is passed.
  • a mass spectrometric gas detector it can be a quadrupole mass spectrometer. Any type of detector that generally requires a vacuum for gas detection, such as a mass spectrometric gas detector, is referred to herein as a vacuum gas detector.
  • a detector vacuum pump different from the test chamber vacuum pump can be provided, which can be a high vacuum pumping system with a high vacuum pump, e.g. in the form of a turbomolecular pump, which evacuates the detector volume, and with a forevacuum pump which evacuates the high vacuum pump.
  • a first pressure gauge can be connected between the first valve and the first flow restrictor to the test chamber section of the first gas line to measure the pressure in the test chamber section.
  • a second pressure gauge can be connected between the first connection point and the third flow restrictor to the detector section of the first gas line to measure the pressure in the detector section.
  • the flow restrictors D3, D4 and/or the valves VI, V2, V6 can be controlled.
  • the test chamber is preferably connected to a third pressure gauge for measuring the pressure in the test chamber, wherein the second throttle D2, the fourth throttle D4, the third valve V3, the fourth valve V4, the fifth valve V5 and/or the sixth valve V6 can be controlled depending on the measured pressure in the test chamber.
  • the carrier gas leak detection system 10 of the embodiment shown in Fig. 1 is a mass spectrometric carrier gas leak detection system with a mass spectrometric gas detector 12 in the form of a quadrupole mass spectrometer with a detector volume 14, a detector volume inlet 15 opening into the detector volume 14 and a detector volume outlet 16 opening into the detector volume 14.
  • a detector vacuum pump 18 is connected to the detector volume outlet 16 in order to evacuate the detector volume 14.
  • the detector vacuum pump 18 consists of a turbomolecular pump and a fore-vacuum pump. In a known manner, the inlet of the turbomolecular pump is connected to the detector volume outlet 16, while the outlet of the turbomolecular pump is connected to the inlet of the fore-vacuum pump.
  • the outlet of the fore-vacuum pump can be open to the atmosphere.
  • the detector volume inlet 15 is provided with a first flow restrictor D1 for pressure conversion at the detector volume inlet 15.
  • the detector volume inlet 15 is connected to the test chamber outlet 26 by a first gas line 28.
  • the leak detection system 10 further includes a test chamber 20 with a test chamber volume 21, a first Test chamber inlet 22, a second test chamber inlet 24 opening into the test chamber volume 21 and a test chamber outlet 26 also opening into the test chamber volume 21.
  • the test chamber outlet 26 is connected in a gas-conducting manner to the first flow restrictor Dl and the detector volume inlet 15 via the first gas line 28.
  • the section of the first gas line 28 connecting the test chamber outlet 26 to the detector volume inlet 15 is referred to herein as the test chamber section 34.
  • the section of the first gas line 28 connecting the detector volume inlet 15 to the test chamber vacuum pump 27 is referred to herein as the detector section 40.
  • a second gas line 30 also connects the test chamber outlet 26 to the test chamber vacuum pump 27, the second gas line 30 running parallel to the first gas line 28 and thus forming a bypass for the first gas line 28.
  • the second gas line 30 is connected in a first connection point 38 in a gas-conducting manner to the first gas line 28 and to the gas inlet of the test chamber vacuum pump 27.
  • the first gas line 28 has a selectively closable first valve VI in its test chamber section 34 and a selectively closable second valve V2 in its detector section 40. Between the second valve V2 and the first connection point 38, the first gas line 28 has a third flow restrictor D3 with a predetermined or adjustable conductance S3.
  • the second gas line 30 has a fourth flow restrictor D4 with a predetermined or adjustable conductance S4, wherein the second gas line 30 has a selectively closable sixth valve V6 between the fourth flow restrictor D4 and the test chamber outlet 26.
  • the test chamber outlet 26 is also connected to the test chamber vacuum pump 27 in a gas-conducting manner via a third gas line 32, the third gas line 32 being connected to the first gas line 28 and the second gas line 30 in a gas-conducting manner at a second connection point 42 on the test chamber outlet 26.
  • the third gas line 32 bridges the first gas line 28 and the second gas line 30 between the first connection point 38 and the second connection point 42 and contains a selectively closable fifth valve V5.
  • the first, second and third gas lines 28, 30, 32 are connected to one another and to the gas inlet of the test chamber vacuum pump 27 in a gas-conducting manner at the first connection point 38.
  • the first gas line 30 is connected to a first pressure gauge PG1 in its test chamber section 34.
  • the detector section 40 is connected to a second pressure gauge PG2 between the third flow restrictor D3 and the first connection point 38.
  • the test chamber 20 is connected in a gas-conducting manner to a third pressure gauge PG3 in the form of a total pressure sensor for measuring the pressure in the test chamber 20.
  • the first test chamber inlet 22 has a second flow restrictor D2 with a predetermined or adjustable conductance S2 for the carrier gas supply and a selectively closable third valve V3.
  • the second test chamber inlet 24 has a selectively closable fourth valve V4 for flushing and/or ventilating the test chamber volume 21.
  • the section of the first gas line 28 connecting the first connection point 38 to the gas inlet 15 and the first flow restrictor D1 is referred to as the detector section 40.
  • the detector section 40 includes the second valve V2 and the third flow restrictor D3 and is connected to the second pressure gauge PG2.
  • the detector section 40 is connected in the first connection point 38 in a gas-conducting manner to the second gas line 30, the third gas line 32 and the gas inlet of the test chamber vacuum pump 27.
  • the detector volume 14 of the gas detector 12 is evacuated in a known manner by the detector vacuum pump 18 so that a suitable high vacuum pressure prevails inside the detector volume 14. In order to test a test object (not shown in the figure) for its leak tightness, it contains a fluid test medium and is introduced into the test chamber 20.
  • the test medium can be a test gas or a test liquid whose vapor phase is used to detect a leak.
  • the test chamber 20 is then evacuated by the test chamber vacuum pump 27 with the valve V5 open. As soon as a suitable pressure is reached in the test chamber 20, the fifth valve V5 is closed.
  • the first gas line 28 is connected to the gas detector 12 in a third connection point 44 connecting the test chamber section 34 to the detector section 40 with a short line section 46 of the detector volume gas inlet 15.
  • the first gas line 28 can be connected to the gas detector 12 in a different connection point not shown in the figures.
  • the third connection point 44 may be connected to a gas detector 12 of a different type.
  • the carrier gas flow is adapted to the test chamber volume 21 or the amount of gas in the test chamber 20.
  • a constant suction capacity of the test chamber vacuum pump 27 and/or a constant suction capacity effective via the restrictors D3 and D4 a changed carrier gas flow leads to a changed equilibrium pressure within the test chamber 20.
  • the suction capacity of the test chamber vacuum pump 27 is adapted to the desired inlet pressure at the detector volume inlet 15 by adjusting the conductance of the fourth restrictor D4.
  • the partial flow ratio of the two partial flows fed to the test chamber vacuum pump 27 is then adjusted via the third flow restrictor D3 in such a way that a defined second partial flow is guided along the detector volume inlet 15, while the main portion of the carrier gas flow is guided as the first partial flow directly to the test chamber vacuum pump 27.
  • the detector volume 14 is continuously pumped via the detector vacuum pump 18.
  • the carrier gas flows into the test chamber 20 via the valve V3.
  • the strength of the carrier gas flow is defined by the throttle D2. Downstream behind the test chamber 20, the carrier gas flow splits into two parts at the second connection point 42. The larger part is led via V6 and throttle D4 through the second gas line 30 directly to the test chamber vacuum pump 27. The second, smaller part of the flow flows along the first gas line 28 through the first valve VI and along the detector section 40 through the valve V2 and throttle D3 to the same test chamber vacuum pump 27.
  • the flow through the throttle D1 into the detector volume 14 is negligible compared to the carrier gas flow.
  • the sum of the pumping speeds/conductances of the two flow throttles D3 and D4, whose partial flows are combined at the first connection point 38, are selected such that the desired equilibrium pressure in the test chamber 20 is achieved at the selected carrier gas flow (defined via the throttle D2).
  • the carrier gas flow is determined.
  • the flow is selected such that the amount of gas in the net volume of the test chamber 20 is exchanged as completely as possible in the shortest time.
  • the carrier gas flow size should not be chosen too large in order not to dilute the test gas too much.
  • the pressure is reduced to a lower level so that the amount of gas to be exchanged with the carrier gas is smaller.
  • the pressure is not selected to be too low so that a simple, inexpensive pump can also be used as a test chamber vacuum pump.
  • the equilibrium pressure is set using the throttles D3 and D4.
  • the embodiment shown in Fig. 2 differs from the embodiment shown in Fig. 1 essentially in the type and length of the line routing of the first and second gas lines 28, 30 and in that the gas detector 14 is not necessarily a mass spectrometric gas detector. Rather, the gas detector 14 can be any conceivable type of gas detector, in particular also an optical gas analyzer, for example according to the principle of radiation analysis or infrared adsorption, or a gas detector with a surface sensor, along whose surface the second partial stream is guided.
  • the line section 46 of the detector inlet 15 between the detector volume 14 and the third connection point 44 should be kept short. This ensures a rapid gas exchange at the detector through the carrier gas flow leading through the third connection point 44.
  • the line section 46 is in particular shorter than the first gas line 28, the second gas line 30, the detector section 40 and the test chamber section 34.
  • FIG. 2 Another difference between the embodiment according to Fig. 2 and the embodiment according to Fig. 1 is that the pressure gauges PG1, PG2, PG3, the second test chamber inlet 24 with the fourth valve V4, the third valve V3 and the flow restrictor D1 are not shown in Fig. 2. Nevertheless, one or more of these components can be provided in the embodiment shown in Fig. 2. Accordingly, it is also conceivable that in the embodiment in Fig. 2 the valves VI, V2, the second flow restrictor D2 and/or the third gas line path 32 with the fifth valve V5 are omitted. Depending on the type of application and detector type, it would also be conceivable that one or more of the valves VI, V2, V6 are omitted.

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Abstract

Bei einem Trägergas-Lecksuchsystem (10) zur Leckagedetektion an einem Prüfling, mit einem Gasdetektor (12), einer Prüfkammer (20) mit mindestens einem ersten Prüfkammer-Einlass (22), einem Prüfkammer-Auslass (26) und einer den Prüfkammer-Auslass (26) evakuierenden Prüfkammer-Vakuumpumpe (27) und einer den Prüfkammer-Auslass (26) mit dem Detektorvolumen-Einlass (15) und der Prüfkammer-Vakuumpumpe (27) gasleitend verbindenden ersten Gasleitung (28), ist vorgesehen, dass eine zweite Flussdrossel (D2) zur Vorgabe des Trägergasflusses durch den ersten Prüfkammer-Einlass (22), eine den Prüfkammer-Auslass (26) mit der Prüfkammer-Vakuumpumpe (27) parallel zu der ersten Gasleitung (28) verbindende zweite Gasleitung (30), wobei die erste Gasleitung (28) und die zweite Gasleitung (30) in einem ersten Verbindungspunkt (38) gasleitend mit der Prüfkammer-Vakuumpumpe (27) verbunden ist, eine dritte Flussdrossel (D3) in einem Detektorabschnitt (40) der ersten Gasleitung (28) zwischen dem ersten Verbindungspunkt (38) und dem Detektorvolumen-Einlass (15) und einer vierten Flussdrossel (D4) in der zweiten Gasleitung (30) zwischen dem Prüfkammer-Auslass (26) und dem ersten Verbindungspunkt (38), so dass die dritte Flussdrossel (D3) und die vierte Flussdrossel (D4) einen Flussteiler derart bilden, dass mit der Prüfkammer-Vakuumpumpe (27) aus der Prüfkammer (20) ein erster Teilstrom durch die erste Gasleitung (28) und ein zweiter Teilstrom durch die zweite Gasleitung (30) und evakuiert werden können.

Description

Träqerqas-Lecksuchsvstem und Träciercias- Lecksuchverfahren zur
Leckaqedetektion an einem Prüfling
Die Erfindung betrifft ein System und ein Verfahren zur Leckagedetektion an einem Prüfling.
Zur integralen Dichtheitsprüfung mit Prüfgas werden Prüflinge per Prüfgas- Vakuumleckdetektion in einer Prüfkammer getestet. Dazu wird der mit einem Prüfgas gefüllte Prüfling in eine Prüfkammer gelegt, die anschließend evakuiert wird. Im Vakuumsystem wird mit einem Prüfgasdetektor der Prüfgaspartialdruck gemessen. Prüfgas, welches durch ein Leck aus dem Prüfling in die Prüfkammer strömt, kann mit einem Trägergas aktiv zum Prüfgasdetektor geleitet werden. Dazu wird das Trägergas kontinuierlich in die Prüfkammer eingelassen und mit dem Vakuumsystem abgepumpt, so dass sich in der Prüfkammer ein Gleichgewichtsarbeitsdruck bildet. Mit dem resultierenden Trägergasstrom wird aus dem Prüfling ausgetretenes Prüfgas zum Prüfgasdetektor transportiert. Das Vorhandensein bzw. die gemessene Signalstärke ist ein Maß für die Leckagerate am Prüfling. Zum Nachweis des Prüfgases werden unterschiedliche Detektoren eingesetzt, je nachdem welche Nachweisgrenze benötigt wird. Um eine sehr hohe Prüfgassensitivität zu erreichen, wird mit einem Quadrupolmassenspektrometer gearbeitet. Das QMS weist sowohl eine sehr hohe Empfindlichkeit als auch eine hohe Selektivität auf.
Grundsätzlich ist das Trägergasverfahren auch bei anderen Detektortypen verwendbar, die nicht zwingend im Vakuum oder Hochvakuum betrieben werden müssen, wie z.B. optische Detektoren oder Oberflächensensoren.
Die maximale Sensitivität wird bei einem optimalem Totaldruck von 1E-4 mbar in der lonenquelle erreicht. Ein geringerer Arbeitsdruck im Nachweisvolumen bewirkt eine geringere Sensitivität aufgrund der geringeren Anzahl nachzuweisender Moleküle bzw. Atome und ein höherer Arbeitsdruck bewirkt eine Reduktion der Sensitivität wegen Verlusten von Ladungsträgern verursacht durch Raumladungseffekte. Eine zu hohe Dichte von elektrisch geladenen Teilchen im lonen-Quellenraum bewirkt eine zu starke Abstoßung der Ladungsträger untereinander.
Dieser optimale Arbeitsdruck wird mit dem festen Saugvermögen am QMS- Nachweisvolumen und festen Leitwert des Druckwandlereinlasses (z.B. Kapillare) für einen bestimmten Einlassdruck erreicht. Eine Abweichung dieses optimalen Einlassdrucks wirkt sich in der Regel quadratisch auf den Totaldruck in der lonenquelle aus. Beispielsweise resultiert eine Halbierung des Einlassdrucks in einer Verringerung des Totaldrucks im Hochvakuum auf ein Viertel des ursprünglichen Wertes. Die Empfindlichkeit des Systems skaliert mit sinkendem Druck in der lonenquelle, d.h. ein geänderter Druck am Einlass zum Massenspektrometer verringert die Empfindlichkeit des Systems in überproportionaler Weise.
Beim Trägergasverfahren soll die Trägergasstromstärke an die in der Prüfkammer vorhandenen Gasmenge angepasst werden. Hierbei gilt es, die Gasmenge in der Kammer in einem möglichst kurzen Zeitraum etwa zwei bis dreimal (2-3 Tau) auszutauschen, um einen Konvergenzwert des Leckagesignals zu erreichen.
Grundsätzlich kann der Druck in der Prüfkammer abgesenkt werden, um die auszutauschende Gasmenge zu reduzieren. Dies bedeutet jedoch, dass zusätzliche Zeit zum Abpumpen der Kammer benötigt wird und höhere Kosten für das Pumpsystem entstehen.
Entsprechend muss bei größeren Prüfkammern (größerem Kammer- Nettovolumen) der Trägergasfluss erhöht, und bei geringerem Nettovolumen reduziert werden.
Mit Änderung des Trägergasflusses ändert sich der Gleichgewichtsdruck in der Prüfkammer ebenfalls.
Es ist wünschenswert, den Arbeitsdruck am Gasdetektor, wie z.B. im Detektorvolumen des massenspektrometrischen Gasdetektors, insbesondere im Falle eines Quadrupol-Massenspektrometers, an einen wechselnden Arbeitsdruck in der Prüfkammer anzupassen. Dies gilt auch für andere Detektorarten. Der Arbeitsdruck in der Prüfkammer hängt von der jeweils in die Prüfkammer zugeführten Trägergasmenge und dem Saugvermögen der zur Evakuierung der Prüfkammer eingesetzten Pumpe ab. Diese Pumpe wird nachfolgend als Prüfkammer-Vakuumpumpe bezeichnet. Ein Anpassen des Arbeitsdrucks im Detektorvolumen oder am Detektor über das Saugvermögen der Vakuumpumpe erfordert einen hohen technischen Aufwand und ist daher wenig praktikabel. Im Falle eines Vakuumdetektors wird die das Detektorvolumen evakuierende Vakuumpumpe nachfolgend als Detektor-Vakuumpumpe bezeichnet.
Vor diesem Hintergrund liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, ein System und ein Verfahren zur Leckagedetektion an einem Prüfling per Trägergas- Lecksuche bereitzustellen, bei dem die Flussstärke des Trägergases am Gasdetektor und der Druck in der Prüfkammer mit geringem technischem Aufwand angepasst werden können.
Das erfindungsgemäße Lecksuchsystem ist definiert durch die Merkmale von Patentanspruch 1. Das erfindungsgemäße Lecksuchverfahren ist definiert durch die Merkmale von Patentanspruch 13.
Das erfindungsgemäße Trägergas- Lecksuchsystem weist einen Gasdetektor und eine Prüfkammer auf. Die Prüfkammer weist ein Prüfkammervolumen auf, in das mindestens ein erster Prüfkammer-Einlass und ein Prüfkammer-Auslass münden, wobei eine das Prüfkammervolumen evakuierende Prüfkammer-Vakuumpumpe an den Prüfkammer-Auslass angeschlossen ist. Der Prüfkammer-Auslass ist gasleitend durch eine erste Gasleitung mit dem Gasdetektor und der Prüfkammer- Vakuumpumpe verbunden, um das zu analysierende Gas aus der Prüfkammer dem Detektor zuzuführen.
Der Gasdetektor kann einen Detektorvolumen-Einlass mit einer ersten Flussdrossel zur Druckwandlung am Detektorvolumen-Einlass aufweisen. Bei der ersten Flussdrossel kann es sich beispielsweise um eine geeignete Querschnittsausgestaltung des Detektorvolumen-Einlasses handeln. Die erste Flussdrossel ist je nach Detektorart nicht zwingend erforderlich. Eine zweite Flussdrossel ist zur Zufuhr von Trägergas in das Prüfkammervolumen am Prüfkammer-Einlass vorgesehen. Die zweite Flussdrossel kann einen verstellbaren Leitwert zum Verändern des Trägergasflusses aufweisen.
Eine den Prüfkammer-Auslass mit dem Gasdetektor parallel zu der ersten Gasleitung verbindende zweite Gasleitung ist in einem ersten Verbindungspunkt gasleitend mit der Prüfkammer-Vakuumpumpe und mit der ersten Gasleitung verbunden. Eine dritte Flussdrossel ist in einem Detektorabschnitt der ersten Gasleitung zwischen dem ersten Verbindungspunkt und dem Gasdetektor vorgesehen. Eine vierte Flussdrossel ist in der zweiten Gasleitung zwischen dem Prüfkammer-Auslass und dem ersten Verbindungspunkt vorgesehen. Die dritte Flussdrossel und die vierte Flussdrossel bilden daher zusammen mit den ersten und zweiten Gasleitungen einen Flussteiler derart, dass mit der Prüfkammer- Vakuumpumpe aus der Prüfkammer ein erster Teilstrom durch die zweite Gasleitung und ein zweiter Teilstrom durch die erste Gasleitung evakuiert werden können.
Die dritte Flussdrossel ist in der ersten Gasleitung zwischen der ersten Flussdrossel und der Prüfkammer-Vakuumpumpe zum Einstellen des Drucks in der ersten Gasleitung vorgesehen. Die dritte Flussdrossel kann einen verstellbaren Leitwert aufweisen. Mit der dritten Flussdrossel kann der Druck am Gasdetektor vorgegeben werden oder manuell oder automatisch durch eine Druckregelvorrichtung selektiv eingestellt werden. Mit Hilfe der zweiten Flussdrossel kann der der Prüfkammer zugeführte Trägergasfluss vorgegeben oder verändert werden.
Die vierte Flussdrossel ist in der zweiten Gasleitung zwischen dem Prüfkammer- Auslass und der Prüfkammer-Vakuumpumpe vorgesehen. Mit der vierten Flussdrossel kann das Saugvermögen vorgegeben oder eingestellt werden, mit dem die Prüfkammer-Vakuumpumpe Trägergas in das Prüfkammervolumen ansaugt. Dabei ist die Prüfkammer-Vakuumpumpe zwischen der dritten Flussdrossel und der vierten Flussdrossel gasleitend in dem ersten Verbindungspunkt mit der ersten und zweiten Gasleitung verbunden, so dass der Haupt-Gasstrom des Trägergases durch die zweite Flussdrossel, den Prüfkammer- Einlass durch das Prüfkammervolumen und aus dem Prüfkammer-Auslass durch die vierte Flussdrossel in die Prüfkammer-Vakuumpumpe führt. Das über die vierte Flussdrossel vorgegebene Saugvermögen an der Prüfkammer definiert bei gegebenen Trägergasstrom zusammen mit der dritten Flussdrossel den Druck in der Prüfkammer.
Die vierte Flussdrossel kann ebenfalls einen verstellbaren Leitwert aufweisen, um den Trägergasfluss und/oder den Druck in der Prüfkammer zu verändern und/oder beispielsweise manuell oder automatisch durch eine Druckregelvorrichtung selektiv einzustellen.
Die erste, zweite, dritte und/oder vierte Flussdrossel definieren jeweils den Gasleitwert des jeweiligen Leitungsabschnitts und können z.B. durch eine Blende, durch eine Kapillare oder durch den Leitwert, den Querschnitt oder den Durchmesser des jeweiligen Abschnitts der Gasleitung vorgegeben sein.
Mit Hilfe der dritten und vierten Flussdrossel kann erfindungsgemäß der Gasfluss, der aus der Prüfkammer von der Prüfkammer-Vakuumpumpe angesaugt wird, aufgeteilt werden. Die dritte und vierte Flussdrossel bilden somit einen Flussteiler. Hierbei gelangt ein Teilstrom - im Folgenden als erster Teilstrom bezeichnet - auf direktem Weg entlang der ersten Gasleitung zur Prüfkammer-Vakuumpumpe, während der andere Teil - im Folgenden als zweiter Teilstrom bezeichnet - entlang der ersten Gasleitung an dem Gasdetektor vorbei zur Prüfkammer-Vakuumpumpe geführt gelangt. Aus dem zweiten Teilstrom wird Trägergas, welches im Fall eines Lecks im Prüfling Prüfgas enthält, dem Detektor zugeführt und dort analysiert. Im Falle eines Vakuum- oder Hochvakuum-Detektors mit einem evakuierten Detektorvolumen, wie z.B. bei einem Massenspektrometer, wird währenddessen das Detektorvolumen typischerweise kontinuierlich von einer Detektor- Vakuumpumpe evakuiert. Die Erfindung ermöglicht die Lecksuche an einem Prüfling innerhalb einer Prüfkammer unter Verwendung eines einstellbaren Trägergasstroms, mit dem Leckagegas bzw. Prüfgas kontinuierlich aus der Prüfkammer zum Detektor transportiert wird, während die erforderlichen Druckverhältnisse und Gasmengen am Detektor und in der Prüfkammer selektiv eingestellt werden können.
In entsprechender Weise ist das erfindungsgemäße Trägergas-Lecksuchverfahren zur Leckagedetektion an einem Prüfling durch die nachfolgenden Schritte gekennzeichnet:
• Einbringen eines Prüflings in die Prüfkammer,
• Evakuieren der Prüfkammer mit der Prüfkammer-Vakuumpumpe,
• Zuführen von Trägergas in die den Prüfling enthaltende Prüfkammer durch die zweite Flussdrossel,
• Evakuieren der ersten und zweiten Gasleitung mit der Prüfkammer- Vakuumpumpe,
• Vorgeben oder Einstellen der Leitwerte der dritten Flussdrossel und der vierten Flussdrossel als Flussteiler derart, dass mit der Prüfkammer-Vakuumpumpe aus der Prüfkammer ein erster Teilstrom durch die zweite Gasleitung und ein zweiter Teilstrom durch die erste Gasleitung evakuiert werden und
• Analysieren von Gas des zweiten Teilstroms mit dem Gasdetektor.
Vorzugsweise ist dabei der Gasfluss entlang des ersten Teilstroms größer und insbesondere deutlich größer als entlang des zweiten Teilstroms. Die Gasflüsse entlang des ersten und zweiten Teilstromes werden über die dritte Flussdrossel und vierte Flussdrossel vorgegeben und können im Falle von Flussdrosseln mit veränderbarem Leitwert eingestellt werden. Der Leitwert S3 der dritten Drossel ist vorzugsweise geringer und insbesondere deutlich geringer als der Leitwert S4 der vierten Drossel. Vorzugsweise können die Leitwerte S3, S4 eingestellt werden, z.B. manuell oder mit Hilfe einer elektronischen Steuervorrichtung.
Vorteilhafterweise ist ein Prüfkammerabschnitt der ersten Gasleitung zwischen dem Prüfkammer-Auslass und dem Gasdetektor bzw. dem Detektorvolumen- Einlass mit einem selektiv schließbaren ersten Ventil versehen, während der Detektorabschnitt ein selektiv schließbares zweites Ventil zwischen der ersten Flussdrossel und der dritten Flussdrossel aufweist. Mit Hilfe des ersten Ventils und des zweiten Ventils können die Druckverhältnisse während des Abpumpens der Prüfkammer mit Hilfe der Prüfkammer-Vakuumpumpe konstant gehalten werden. Wenn das erste Ventil und das zweite Ventil geschlossen sind, kann mit Hilfe einer direkten Verbindung zwischen der Prüfkammer-Vakuumpumpe und der Prüfkammer die Prüfkammer evakuiert werden, ohne dass der Druck am Detektorvolumen-Einlass durch den Abpumpvorgang der Prüfkammer verändert wird.
Der Prüfkammer-Einlass kann mit einem selektiv schließbaren dritten Ventil versehen sein.
Die Prüfkammer kann mindestens einen zweiten Prüfkammer-Einlass zum Belüften oder Spülen der Prüfkammer oder des Prüfkammervolumens aufweisen, wobei der zweite Prüfkammer-Einlass ein selektiv schließbares viertes Ventil aufweist, welches nur zum Belüften oder Spülen geöffnet wird.
Der Prüfkammer-Auslass kann insbesondere über eine dritte Gasleitung direkt mit der Prüfkammer-Vakuumpumpe verbunden sein. Die dritte Gasleitung überbrückt dabei vorzugsweise die zweite Gasleitung mit der vierten Flussdrossel und einem möglichen, stromaufwärts der vierten Flussdrossel angeordneten sechstes Ventil. Die dritte Gasleitung kann dabei mit einem selektiv schließbaren fünften Ventil versehen sein. Bei geöffnetem fünftem Ventil wird die Prüfkammer über die dritte Gasleitung direkt evakuiert, um diese beispielsweise nach dem Einbringen eines Prüflings in die Prüfkammer auf den erforderlichen Prüfkammer-Vakuumdruck zu bringen. Dieser Prüfkammer-Vakuumdruck liegt vorteilhafterweise im Bereich weniger Millibar, wie zum Beispiel zwischen 0,1 und 10 mbar. Anschließend wird das fünfte Ventil geschlossen und das sechste Ventil geöffnet, um mit Hilfe der Prüfkammer-Vakuumpumpe einen kontinuierlichen Trägergasstrom bei geöffnetem drittem Ventil durch das Prüfkammervolumen in die zweite Gasleitung zu fördern. Das sechste Ventil kann auch schon vorher geöffnet sein, z.B. wenn die Prüfkammer über die dritte Gasleitung evakuiert wird, oder nicht vorhanden sein.
Die zweite Gasleitung mit der vierten Flussdrossel und dem sechsten Ventil verläuft parallel zu der dritten Gasleitung mit dem fünften Ventil. Bei geschlossenen ersten, zweiten, dritten und vierten Ventilen kann die Prüfkammer bei geöffnetem fünftem Ventil mit der Prüfkammer-Vakuumpumpe direkt über die dritte Gasleitung evakuiert werden. Sobald der erforderliche Prüfkammerdruck erreicht ist, wird das fünfte Ventil geschlossen und das dritte Ventil geöffnet. Dadurch wird Trägergas durch den ersten Prüfkammer-Einlass in das Prüfkammervolumen angesogen und entlang der zweiten Gasleitung durch das geöffnete sechste Ventil und durch die vierte Flussdrossel der Prüfkammer-Vakuumpumpe zugeführt. Währenddessen kann der Gasdetektor mit Hilfe einer Gasdetektor-Vakuumpumpe evakuiert werden.
Zum Beginn der Leckage-Messung werden das erste Ventil und das zweite Ventil geöffnet, so dass ein Teilstrom des Trägergases, der nachfolgend als zweiter Teilstrom bezeichnet wird, entlang der ersten Gasleitung vorbei am Gasdetektor und entlang des Detektorabschnitts der Prüfkammer-Vakuumpumpe zugeführt wird. Die dritte Flussdrossel und die vierte Flussdrossel bestimmen dabei das Verhältnis der Flussteilung. Ein erster Teilstrom strömt dabei durch die zweite Gasleitung zur Prüfkammer-Vakuumpumpe. Aus dem zweiten Teilstrom, der entlang der ersten Gasleitung am Gasdetektor vorbeigeführt wird, gelangt Trägergas mit möglichem Leckagegas aus dem Prüfling an oder in den Gasdetektor und kann dort detektiert werden.
Der Gasdetektor kann ein Vakuum-Gasdetektor oder ein massenspektrometrischer Gasdetektor mit einem Detektorvolumen sein, in das ein Detektorvolumen-Einlass und ein Detektorvolumen-Auslass münden. Eine Detektor-Vakuumpumpe ist dabei gasleitend an den Detektorvolumen-Auslass angeschlossen, um das Detektorvolumen auf den erforderlichen Vakuumdruck zu evakuieren. Alternativ kann es sich bei dem Gasdetektor um einen anderen Detektortypen, wie z.B. einen optischen Detektor, einen Strahlungs- oder Strahlungsabsorptionsdetektor oder um einen Oberflächensensor, an dem der Trägergasstrom vorbeigeleitet wird, handeln. Im Falle eines massenspektrometrischen Gasdetektors kann es sich um ein Quadrupol-Massenspektrometer handeln. Jede Detektorart, die allgemein ein Vakuum zur Gasdetektion erfordert, wie z.B. ein massenspektrometrischer Gasdetektor, wird vorliegend als Vakuum-Gasdetektor bezeichnet. Zur Erzeugung des erforderlichen Vakuums für den Vakuum-Gasdetektor kann eine von der Prüfkammer-Vakuumpumpe verschiedene Detektor-Vakuumpumpe vorgesehen sein, bei der es sich um ein Hochvakuum-Pumpsystem mit einer Hochvakuumpumpe, z.B. in Form einer Turbomolekularpumpe, die das Detektorvolumen evakuiert, und mit einer Vorvakuumpumpe, die die Hochvakuumpumpe evakuiert, handeln kann.
Ein erster Druckmesser kann zwischen dem ersten Ventil und der ersten Flussdrossel mit dem Prüfkammerabschnitt der ersten Gasleitung verbunden sein, um den Druck in dem Prüfkammerabschnitt zu messen. Ein zweiter Druckmesser kann zwischen dem ersten Verbindungspunkt und der dritten Flussdrossel mit dem Detektorabschnitt der ersten Gasleitung verbunden sein, um den Druck in dem Detektorabschnitt zu messen. In Abhängigkeit der gemessenen Drücke können die Flussdrosseln D3, D4 und/oder die Ventile VI, V2, V6 gesteuert werden. Die Prüfkammer ist vorzugsweise mit einem dritten Druckmesser zum Messen des Drucks in der Prüfkammer verbunden, wobei in Abhängigkeit des gemessenen Drucks in der Prüfkammer die zweite Drossel D2, die vierte Drossel D4, das dritte Ventil V3, das vierte Ventil V4, das fünfte Ventil V5 und/oder das sechste Ventil V6 gesteuert werden können.
Im Folgenden werden anhand der Figuren zwei Ausführungsbeispiele der Erfindung näher erläutert. Die Figuren zeigen jeweils schematische Darstellungen eines Trägergas-Lecksuchsystems.
Das Trägergas- Lecksuchsystem 10 des in Fig. 1 dargestellten Ausführungsbeispiels ist ein massenspektrometrisches Trägergas-Lecksuchsystem mit einem massenspektrometrischen Gasdetektor 12 in Form eines Quadrupol- Massenspektrometers mit einem Detektorvolumen 14, einem in das Detektorvolumen 14 mündenden Detektorvolumen-Einlass 15 und einem in das Detektorvolumen 14 mündenden Detektorvolumen-Auslass 16. Eine Detektor- Vakuumpumpe 18 ist an den Detektorvolumen-Auslass 16 angeschlossen, um das Detektorvolumen 14 zu evakuieren. Die Detektor-Vakuumpumpe 18 besteht aus einer Turbomolekularpumpe und einer Vorvakuumpumpe. In bekannter weise ist dabei der Einlass der Turbomolekularpumpe mit dem Detektorvolumen-Auslass 16 verbunden, während der Auslass der Turbomolekularpumpe mit dem Einlass der Vorvakuumpumpe verbunden ist. Der Auslass der Vorvakuumpumpe kann zur Atmosphäre hin offen sein.
Der Detektorvolumen-Einlass 15 ist mit einer ersten Flussdrossel Dl zur Druckwandlung am Detektorvolumen-Einlass 15 versehen. Der Detektorvolumen- Einlass 15 ist durch eine erste Gasleitung 28 mit dem Prüfkammer-Auslass 26 verbunden.
Das Lecksuchsystem 10 beinhaltet ferner eine Prüfkammer 20 mit einem Prüfkammervolumen 21, einem in das Prüfkammervolumen 21 mündenden ersten Prüfkammer-Einlass 22, einem in das Prüfkammervolumen 21 mündenden zweiten Prüfkammer-Einlass 24 und einem ebenfalls in das Prüfkammervolumen 21 mündenden Prüfkammer-Auslass 26. Der Prüfkammer-Auslass 26 ist über die erste Gasleitung 28 gasleitend mit der ersten Flussdrossel Dl und dem Detektorvolumen-Einlass 15 verbunden.
Der den Prüfkammer-Auslass 26 mit dem Detektorvolumen-Einlass 15 verbindende Abschnitt der ersten Gasleitung 28 wird vorliegend als Prüfkammerabschnitt 34 bezeichnet. Der den Detektorvolumen-Einlass 15 mit der Prüfkammer-Vakuumpumpe 27 verbindende Abschnitt der ersten Gasleitung 28 wird vorliegend als Detektorabschnitt 40 bezeichnet.
Eine zweite Gasleitung 30 verbindet ebenfalls den Prüfkammer-Auslass 26 mit der Prüfkammer-Vakuumpumpe 27, wobei die zweite Gasleitung 30 parallel zu der ersten Gasleitung 28 verläuft und somit einen Bypass für die erste Gasleitung 28 bildet. Die zweite Gasleitung 30 ist in einem ersten Verbindungspunkt 38 gasleitend mit der ersten Gasleitung 28 und mit dem Gaseinlass der Prüfkammer- Vakuumpumpe 27 verbunden.
Die erste Gasleitung 28 weist in ihrem Prüfkammerabschnitt 34 ein selektiv schließbares erstes Ventil VI und in ihrem Detektorabschnitt 40 ein selektiv schließbares zweites Ventil V2 auf. Zwischen dem zweiten Ventil V2 und dem ersten Verbindungspunkt 38 weist die erste Gasleitung 28 eine dritte Flussdrossel D3 mit vorgegebenem oder einstellbarem Leitwert S3 auf.
Zwischen dem Prüfkammer-Auslass 26 und dem ersten Verbindungspunkt 38 weist die zweite Gasleitung 30 eine vierte Flussdrossel D4 mit vorgegebenem oder einstellbarem Leitwert S4 auf, wobei die zweite Gasleitung 30 zwischen der vierten Flussdrossel D4 und dem Prüfkammer-Auslass 26 ein selektiv schließbares sechstes Ventil V6 aufweist. Der Prüfkammer-Auslass 26 ist zudem über eine dritte Gasleitung 32 gasleitend mit der Prüfkammer-Vakuumpumpe 27 verbunden, wobei die dritte Gasleitung 32 in einem zweiten Verbindungspunkt 42 am Prüfkammer-Auslass 26 gasleitend mit der ersten Gasleitung 28 und der zweiten Gasleitung 30 verbunden ist. Die dritte Gasleitung 32 überbrückt die erste Gasleitung 28 und die zweite Gasleitung 30 zwischen dem ersten Verbindungspunkt 38 und dem zweiten Verbindungspunkt 42 und enthält ein selektiv schließbares fünftes Ventil V5. Die erste, zweite und dritte Gasleitung 28, 30, 32 sind in dem ersten Verbindungspunkt 38 miteinander und mit dem Gaseinlass der Prüfkammer-Vakuumpumpe 27 gasleitend verbunden.
Zwischen der ersten Flussdrossel Dl und dem ersten Ventil VI ist die erste Gasleitung 30 in ihrem Prüfkammerabschnitt 34 mit einem ersten Druckmesser PG1 verbunden. Der Detektorabschnitt 40 ist zwischen der dritten Flussdrossel D3 und dem ersten Verbindungspunkt 38 mit einem zweiten Druckmesser PG2 verbunden.
Die Prüfkammer 20 ist gasleitend mit einem dritten Druckmesser PG3 in Form eines Totaldrucksensors zum Messen des Drucks in der Prüfkammer 20 verbunden. Der erste Prüfkammer-Einlass 22 weist eine zweite Flussdrossel D2 mit vorgegebenem oder verstellbarem Leitwert S2 zur Trägergas-Zufuhr sowie ein selektiv schließbares drittes Ventil V3 auf. Der zweite Prüfkammer-Einlass 24 weist zum Spülen und/oder Belüften des Prüfkammervolumens 21 ein selektiv schließbares viertes Ventil V4 auf.
Der den ersten Verbindungspunkt 38 mit dem Gaseinlass 15 und der ersten Flussdrossel Dl verbindende Abschnitt der ersten Gasleitung 28 wird als Detektorabschnitt 40 bezeichnet. Der Detektorabschnitt 40 beinhaltet das zweite Ventil V2 und die dritte Flussdrossel D3 und ist mit dem zweiten Druckmesser PG2 verbunden. Der Detektorabschnitt 40 ist in dem ersten Verbindungspunkt 38 gasleitend mit der zweiten Gasleitung 30, der dritten Gasleitung 32 und dem Gaseinlass der Prüfkammer-Vakuumpumpe 27 verbunden. Das Detektorvolumen 14 des Gasdetektors 12 wird auf bekannte Weise von der Detektor-Vakuumpumpe 18 evakuiert, so dass im Inneren des Detektorvolumens 14 ein geeigneter Hochvakuumdruck herrscht. Um einen in der Figur nicht dargestellten Prüfling auf dessen Dichtheit zu untersuchen, beinhaltet dieser ein fluides Prüfmedium und wird in die Prüfkammer 20 eingebracht. Das Prüfmedium kann ein Prüfgas oder eine Prüfflüssigkeit sein, deren Dampfphase zum Nachweis einer Leckage dient. Anschließend wird die Prüfkammer 20 bei geöffnetem Ventil V5 von der Prüfkammer-Vakuumpumpe 27 evakuiert. Sobald in der Prüfkammer 20 ein geeigneter Druck erreicht ist, wird das fünfte Ventil V5 geschlossen.
Durch Öffnen des sechsten Ventils V6 sowie des dritten Ventils V3 wird von der Prüfkammer-Vakuumpumpe 27 Trägergas durch die zweite Flussdrossel D2 in das Prüfkammervolumen 21 eingesogen und durch den Prüfkammer-Auslass 26 entlang der zweiten Gasleitung 30 durch die vierte Flussdrossel D4 der Prüfkammer-Vakuumpumpe 27 als erster Teilstrom zugeführt. Ein zweiter Teilstrom des durch die Prüfkammer 20 transportierten Trägergases wird nach Öffnen des ersten Ventils VI und des zweiten Ventils V2 entlang der ersten Gasleitung 28 vorbei am Detektor-Einlass 15 und durch den Detektorabschnitt 40 durch die dritte Flussdrossel D3 der Prüfkammer-Vakuumpumpe 27 zugeführt. Durch geeignetes Einstellen der Leitwerte der Flussdrosseln D3, D4 wird dabei eine Flussteilung derart bewirkt, dass der erste Teilstrom deutlich größer ist als der zweite Teilstrom entlang des Detektor-Einlasses 15.
Aus dem zweiten Teilstrom gelangt Trägergas mit möglichem Leckagegas aus dem Prüfling durch die erste Flussdrossel Dl in das Detektorvolumen 14, um dort analysiert zu werden. Hierzu ist die erste Gasleitung 28 in einem den Prüfkammerabschnitt 34 mit dem Detektorabschnitt 40 verbindenden dritten Verbindungspunkt 44 mit einem kurzen Leitungsabschnitt 46 des Detektorvolumen-Gaseinlasses 15 mit dem Gasdetektor 12 verbunden. Alternativ kann die erste Gasleitung 28 bei einem anderen, in den Figuren nicht dargestellten Ausführungsbeispiel in dem dritten Verbindungspunkt 44 mit einem Gasdetektor 12 eines anderen Typs verbunden sein.
Durch Verstellen des Leitwerts der zweiten Flussdrossel D2 wird der Trägergasfluss an das Prüfkammervolumen 21 oder die Gasmenge in der Prüfkammer 20 angepasst. Bei gleichbleibendem Saugvermögen der Prüfkammer-Vakuumpumpe 27 und/oder gleichbleibendem über die Drosseln D3 und D4 effektiv wirkendem Saugvermögen führt ein veränderter Trägergasfluss zu einem geänderten Gleichgewichtsdruck innerhalb der Prüfkammer 20. Um zu vermeiden, dass der veränderte Prüfkammerdruck auch den Druck innerhalb des Detektorvolumens 14 verändert, wird das Saugvermögen der Prüfkammer-Vakuumpumpe 27 durch Verstellen des Leitwerts der vierten Drossel D4 an den gewünschten Einlassdruck am Detektorvolumen-Einlass 15 angepasst. Über die dritte Flussdrossel D3 wird sodann das Teilstromverhältnis der beiden der Prüfkammer-Vakuumpumpe 27 zugeführten Teilströme derart angepasst, dass ein definierter zweiter Teilstrom am Detektorvolumen-Einlass 15 entlanggeführt wird, während der Hauptanteil des Trägergasstroms als erster Teilstrom direkt zur Prüfkammer-Vakuumpumpe 27 geführt wird.
Das Detektorvolumen 14 wird dauerhaft über die Detektor-Vakuumpumpe 18 gepumpt.
Messablauf:
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(*) der Punkt 3 kann auch übersprungen werden
Während des Messbetriebs strömt das Trägergas über das Ventil V3 in die Prüfkammer 20. Die Stärke des Trägergasflusses wird von der Drossel D2 definiert. Flussabwärts hinter der Prüfkammer 20 teilt sich der Trägergasfluss am zweiten Verbindungspunkt 42 in zwei Teile auf. Der größere Anteil wird über V6 und Drossel D4 durch die zweite Gasleitung 30 direkt zur Prüfkammer-Vakuumpumpe 27 geleitet. Der zweite kleinere Teil des Flusses fließt entlang der ersten Gasleitung 28 durch das erste Ventil VI und entlang des Detektorabschnitts 40 durch das Ventil V2 und Drossel D3 zur selben Prüfkammer-Vakuumpumpe 27. Der Fluss durch die Drossel Dl in das Detektorvolumen 14 ist verglichen zum Trägergasfluss vernachlässigbar klein.
Die Summe der Saugvermögen/Leitwerte der beiden Flussdrosseln D3 und D4, deren Teilströme an den ersten Verbindungspunkt 38 zusammengeführt werden, werden derart gewählt, dass der gewünschte Gleichgewichtsdruck in der Prüfkammer 20 bei dem gewählten Trägergasstrom (definiert über die Drossel D2) erreicht wird.
Es gilt:
P = Q / S mit S = S3 + S4
Q: Trägergasfluss
S: Leitwert der Drosseln (gleichbedeutend mit dem Saugvermögen, welches durch die Drosseln begrenzt wird) S3: Leitwert der Drossel D3
S4: Leitwert der Drossel D4
P: Gleichgewichtsdruck in der Prüfkammer.
Die Entscheidungskette bei der Auslegung der Parameter ist wie folgt:
Der Trägergasfluss wird festgelegt. Der Fluss wird derart gewählt, dass die Gasmenge im Nettovolumen der Prüfkammer 20 in kurzer Zeit möglichst komplett ausgetauscht wird.
Dabei soll die Trägergasflussgröße nicht zu groß gewählt werden, um das Prüfgas nicht stark zu verdünnen.
Bei Applikationen mit größerem Nettovolumen der Prüfkammer 20 wird der Druck auf ein geringeres Niveau reduziert, damit die mit dem Trägergas auszutauschende Gasmenge geringer ist. Dabei wird der Druck nicht zu gering gewählt, um auch mit einer einfachen, preiswerten Pumpe als Prüfkammer-Vakuumpumpe arbeiten zu können. Der Gleichgewichtsdruck wird über die Drosseln D3 und D4 eingestellt.
Das Verhältnis der Leitwerte der Drosseln D3 und D4 wird derart gewählt, dass ein ausreichend schneller Gasaustausch in der ersten Gasleitung 28 am Detektorvolumen-Einlass 15 zum Nachweissystem des Gasdetektors 12 (Pfad VI = > V2 => D3) gewährleistet wird.
Das in Fig. 2 dargestellte Ausführungsbeispiel unterscheidet sich von dem in Fig. 1 dargestellten Ausführungsbeispiel im Wesentlichen durch die Art und Länge der Leitungsführung der ersten und zweiten Gasleitungen 28, 30 sowie dadurch, dass es sich bei dem Gasdetektor 14 nicht zwingend um einen massenspektrometrischen Gasdetektor handelt. Vielmehr kann es sich bei dem Gasdetektor 14 um jede denkbare Art eines Gasdetektors handeln, insbesondere auch um einen optischen Gasanalysator, beispielsweise nach dem Prinzip der Strahlungsanalyse oder der Infrarot-Adsorption, oder um einen Gasdetektor mit einem Oberflächensensor, an dessen Oberfläche der zweite Teilstrom entlanggeführt wird.
Die Darstellung der Leitungsführung in Fig. 2 verdeutlicht, dass die erste Gasleitung 28 mit dem Prüfkammerabschnitt 34 und dem Detektorabschnitt 40 einen gemeinsamen, die beiden Verbindungspunkte 42, 38 verbindenden Gasleitungsweg bildet, der zwischen den beiden Verbindungspunkten 42, 38 parallel zu dem durch die zweite Gasleitung 30 gebildeten Gasleitungsweg verläuft.
Der Leitungsabschnitt 46 des Detektoreinlasses 15 zwischen dem Detektorvolumen 14 und dem dritten Verbindungspunkt 44 soll kurz gehalten werden. So wird durch den durch den dritten Verbindungspunkt 44 führenden Trägergasstrom ein schneller Gasaustausch am Detektor gewährleistet. Der Leitungsabschnitt 46 ist insbesondere kürzer als die erste Gasleitung 28, als die zweite Gasleitung 30, als der Detektorabschnitt 40 und als der Prüfkammerabschnitt 34.
Ein weiterer Unterschied des Ausführungsbeispiels nach Fig. 2 gegenüber dem Ausführungsbeispiel nach Fig. 1 besteht darin, dass die Druckmesser PG1, PG2, PG3, der zweite Prüfkammer-Einlass 24 mit dem vierten Ventil V4, das dritte Ventil V3 und die Flussdrossel Dl in Fig. 2 nicht dargestellt sind. Dennoch können bei dem in Fig. 2 dargestellten Ausführungsbeispiel eine oder mehrere dieser Komponenten vorgesehen sein. Entsprechend ist auch denkbar, dass bei dem Ausführungsbeispiel in Fig. 2 die Ventile VI, V2, die zweite Flussdrossel D2 und/oder der dritte Gasleitungsweg 32 mit dem fünften Ventil V5 entfallen. Ebenfalls wäre je nach Anwendungsart und Detektortyp denkbar, dass eines oder mehrere der Ventile VI, V2, V6 entfallen.

Claims

Patentansprüche Trägergas- Lecksuchsystem (10) zur Leckagedetektion an einem Prüfling, mit einem Gasdetektor (12) einer Prüfkammer (20) mit mindestens einem ersten Prüfkammer-Einlass (22), einem Prüfkammer-Auslass (26) und einer den Prüfkammer-Auslass (26) evakuierenden Prüfkammer-Vakuumpumpe (27) und einer den Prüfkammer-Auslass (26) mit dem Detektorvolumen-Einlass (15) und der Prüfkammer-Vakuumpumpe (27) gasleitend verbindenden ersten Gasleitung (28), g e k e n n z e i c h n e t d u r c h eine zweite Flussdrossel (D2) zur Vorgabe des Trägergasflusses durch den ersten Prüfkammer-Einlass (22), eine den Prüfkammer-Auslass (26) mit der Prüfkammer-Vakuumpumpe (27) parallel zu der ersten Gasleitung (28) verbindende zweite Gasleitung (30), wobei die erste Gasleitung (28) und die zweite Gasleitung (30) in einem ersten Verbindungspunkt (38) gasleitend mit der Prüfkammer- Vakuumpumpe (27) verbunden ist, eine dritte Flussdrossel (D3) in einem Detektorabschnitt (40) der ersten Gasleitung (28) zwischen dem ersten Verbindungspunkt (38) und dem Detektorvolumen-Einlass (15) und einer vierten Flussdrossel (D4) in der zweiten Gasleitung (30) zwischen dem Prüfkammer-Auslass (26) und dem ersten Verbindungspunkt (38), so dass die dritte Flussdrossel (D3) und die vierte Flussdrossel (D4) einen Flussteiler derart bilden, dass mit der Prüfkammer-Vakuumpumpe (27) aus der Prüfkammer (20) ein erster Teilstrom durch die erste Gasleitung (28) und ein zweiter Teilstrom durch die zweite Gasleitung (30) und evakuiert werden können. Trägergas- Lecksuchsystem (10) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Leitwert S3 der dritten Drossel (D3) geringer ist als der Leitwert S4 der vierten Drossel (D4). Trägergas- Lecksuchsystem (10) nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass ein Prüfkammerabschnitt (34) der ersten Gasleitung (28) zwischen dem Prüfkammer-Auslass (26) und dem Detektorvolumen- Einlass (15) ein selektiv schließbares erstes Ventil (VI) und der Detektorabschnitt (40) ein selektiv schließbares zweites Ventil (V2) zwischen der ersten Flussdrossel (Dl) und der dritten Flussdrossel (D3) aufweist. Trägergas- Lecksuchsystem (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der erste Prüfkammer-Einlass (22) mit einem selektiv schließbaren dritten Ventil (V3) versehen ist. Trägergas- Lecksuchsystem (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Prüfkammer (20) mindestens einen zweiten Prüfkammer-Einlass (24) zum Belüften oder Spülen der Prüfkammer (20) mit einem selektiv schließbaren vierten Ventil (V4) aufweist. Trägergas- Lecksuchsystem (10) nach einem der vorhergehenden
Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Prüfkammer-Auslass (26) durch eine dritte Gasleitung (32) über den ersten Verbindungspunkt (38) mit der Prüfkammer-Vakuumpumpe (27) verbunden ist, wobei die dritte Gasleitung (32) mit einem selektiv schließbaren fünften Ventil (V5) versehen ist und parallel zu den ersten und zweiten Gasleitungen (28, 30) angeordnet ist. Trägergas- Lecksuchsystem (10) nach einem der dem vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die zweite Gasleitung (30) ein selektiv schließbares sechstes Ventil (V6) aufweist. Trägergas- Lecksuchsystem (10) nach einem der vorhergehenden
Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Gasdetektor (12) ein Detektorvolumen (14), einen Detektorvolumen-Einlass (15) mit einer ersten Flussdrossel (Dl) zur Druckwandlung am Detektorvolumen-Einlass (15), einen Detektorvolumen-Auslass (16) und eine Detektor-Vakuumpumpe (18) am Detektorvolumen-Auslass (16) aufweist. Trägergas- Lecksuchsystem (10) nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass der Gasdetektor (12) ein Massenspektrometer, insbesondere ein Quadrupol-Massenspektrometer, und/oder die Detektor-Vakuumpumpe (18) ein Hochvakuumpumpsystem mit einer Turbomolekularpumpe und einer Vorvakuumpumpe sind. Trägergas- Lecksuchsystem (10) nach einem der vorhergehenden
Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein erster Druckmesser (PG1) mit der ersten Gasleitung (28) zwischen dem ersten Ventil (VI) und der ersten Flussdrossel (Dl) zum Messen des Drucks in der ersten Gasleitung (28) verbunden ist. Trägergas- Lecksuchsystem (10) nach einem der vorhergehenden
Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein zweiter Druckmesser (PG2) mit dem Detektorabschnitt (40) zwischen dem ersten Verbindungspunkt (38) und der dritten Flussdrossel (D3) zum Messen des Drucks in der ersten Gasleitung (28) verbunden ist. Trägergas- Lecksuchsystem (10) nach einem der vorhergehenden
Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Prüfkammer (20) mit einem dritten Druckmesser (PG3) zum Messen des Drucks in der Prüfkammer (20) verbunden ist. Trägergas-Lecksuchverfahren zur Leckagedetektion an einem Prüfling mit einem Trägergas- Lecksuchsystem (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch die Schritte:
• Einbringen eines Prüflings in die Prüfkammer (20),
• Evakuieren der Prüfkammer (20) mit der Prüfkammer-Vakuumpumpe (27),
• Zuführen von Trägergas in die den Prüfling enthaltende Prüfkammer (20) durch die zweite Flussdrossel (D2),
• Evakuieren der zweiten Gasleitung (30) mit der Prüfkammer- Vakuumpumpe (27),
• Vorgeben der Leitwerte der dritten Flussdrossel (D3) und der vierten Flussdrossel (D4) als Flussteiler derart, dass mit der Prüfkammer- Vakuumpumpe (27) aus der Prüfkammer (20) ein erster Teilstrom durch die zweite Gasleitung (28) und ein zweiter Teilstrom durch die erste Gasleitung (28) evakuiert werden und
• Analysieren von Gas des zweiten Teilstroms mit dem Gasdetektor Trägergas-Lecksuchverfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass der Gasdetektor (12) ein Detektorvolumen (14) und eine Detektor- Vakuumpumpe (18) aufweist, wobei die Detektor-Vaku um pumpe (18) das Detektorvolumen (14) auf einen zur Gasdetektion erforderlichen Vakuumdruck evakuiert. Trägergas-Lecksuchverfahren nach Anspruch 13 oder 14, dadurch gekennzeichnet, dass der Gasfluss entlang des ersten Teilstroms größer ist als entlang des zweiten Teilstroms.
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10324596A1 (de) * 2003-05-30 2004-12-16 Inficon Gmbh Lecksuchgerät
DE102020119600A1 (de) * 2020-07-24 2022-01-27 Inficon Gmbh Vakuumlecksuchsystem, Gassteuereinheit und Verfahren zur Gaslecksuche

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6220286B2 (ja) 2014-02-27 2017-10-25 株式会社フクダ 漏れ試験方法及び装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10324596A1 (de) * 2003-05-30 2004-12-16 Inficon Gmbh Lecksuchgerät
DE102020119600A1 (de) * 2020-07-24 2022-01-27 Inficon Gmbh Vakuumlecksuchsystem, Gassteuereinheit und Verfahren zur Gaslecksuche

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