WO2024089996A1

WO2024089996A1 - 極低温装置

Info

Publication number: WO2024089996A1
Application number: PCT/JP2023/030594
Authority: WO
Inventors: 篤橋本
Original assignee: 住友重機械工業株式会社
Priority date: 2022-10-27
Filing date: 2023-08-24
Publication date: 2024-05-02

Abstract

極低温装置（１０）は、真空容器（１２）と、真空容器（１２）内に配置される超伝導コイル（１４）と、真空容器（１２）に設置され、超伝導コイル（１４）を冷却する極低温冷凍機（２０）と、真空容器（１２）に設置され、超伝導コイル（１４）に接続された電流導入端子（３０）と、極低温冷凍機（２０）および電流導入端子（３０）の少なくとも一方の真空容器（１２）から露出された露出部分の下側で露出部分の周りに設けられた結露水溜まり（４４）と、を備える。

Description

極低温装置

　本発明は、極低温装置に関する。

　従来、極低温冷凍機と真空容器とを有する極低温装置が知られている。真空容器内には、例えば、超伝導コイルなどの超伝導機器、極低温環境で使用するその他の機器、さらにはこうした機器を冷却する極低温冷媒など、様々な被冷却物が収容される。極低温冷凍機は、被冷却物を冷却するために利用される。

特開２０１９－２００００３号公報

　極低温装置のメンテナンスの際、超伝導コイルへの通電が停止されたり、極低温冷凍機による冷却運転が停止されたりすることがある。このとき、極低温装置の通常運転中とは極低温装置内の熱的なバランスが変化し、真空容器内で極低温冷却されていた超伝導コイルが冷却源となりこれと伝熱可能に接続された極低温装置の構成部品が冷却されうる。こうして、例えば、超伝導コイルへの給電のための電流導入端子や、極低温冷凍機の駆動部など、真空容器の外面で周囲環境に露出された部分が冷却され、この露出部分に周囲の空気中の水分の結露や氷結が生じることがある。そこから結露水が極低温装置上で周囲に広がり、悪影響を及ぼすことが懸念される。例えば、真空容器を囲む磁気シールドやヨークなどの鉄材が濡れて錆の原因となるかもしれない。あるいは、電流導入端子のような通電部への水滴の付着は、漏電など電気系統のトラブルのリスクにつながりうる。

　本発明のある態様の例示的な目的のひとつは、極低温装置に生じうる結露に対処することにある。

　本発明のある態様によると、極低温装置は、真空容器と、真空容器内に配置される超伝導コイルと、真空容器に設置され、超伝導コイルを冷却する極低温冷凍機と、真空容器に設置され、超伝導コイルに接続された電流導入端子と、極低温冷凍機および電流導入端子の少なくとも一方の真空容器から露出された露出部分の下側で露出部分の周りに設けられた結露水溜まりと、を備える。

　本発明によれば、極低温装置に生じうる結露に対処することができる。

実施の形態に係る極低温装置を模式的に示す図である。変形例に係る結露水溜まりを模式的に示す図である。他の実施の形態に係る極低温装置を模式的に示す図である。

　以下、図面を参照しながら、本発明を実施するための形態について詳細に説明する。説明および図面において同一または同等の構成要素、部材、処理には同一の符号を付し、重複する説明は適宜省略する。図示される各部の縮尺や形状は、説明を容易にするために便宜的に設定されており、特に言及がない限り限定的に解釈されるものではない。実施の形態は例示であり、本発明の範囲を何ら限定するものではない。実施の形態に記述されるすべての特徴やその組み合わせは、必ずしも発明の本質的なものであるとは限らない。

　図１は、実施の形態に係る極低温装置１０を模式的に示す図である。図１には極低温装置１０の内部構造が模式的に示される。極低温装置１０は、超伝導磁石装置であり、真空容器１２と、真空容器１２内に配置される超伝導コイル１４と、真空容器１２に設置され、超伝導コイル１４を冷却する極低温冷凍機２０と、真空容器１２に設置され、超伝導コイル１４に接続された電流導入端子３０と、を備える。超伝導磁石装置は、例えば、単結晶引き上げ装置のための磁場源として使用されてもよい。

　真空容器１２は、超伝導コイル１４を超伝導状態とするのに適する極低温真空環境を提供する断熱真空容器であり、クライオスタットとも呼ばれる。通例、真空容器１２は、円柱状の形状、または中心部に中空部を有する円筒状の形状を有する。よって、真空容器１２は、概ね平坦な円形状または円環状の天板１２ａおよび底板１２ｂと、これらを接続する円筒状の側壁（円筒状外周壁、または同軸配置された円筒状の外周壁および内周壁）とを有する。真空容器１２は、周囲圧力（たとえば大気圧）に耐えるように、例えばステンレス鋼などの金属材料またはその他の適する高強度材料で形成される。

　超伝導コイル１４は、電流導入端子３０を通じて外部電源１６に接続される。電流導入端子３０は、電流リードともしばしば呼ばれる真空容器１２内の超伝導コイル１４への電流経路の先端にあたる。電流導入端子３０は、真空容器１２の壁面に設けられ、真空容器１２内の気密性を保ちつつ真空容器１２の外から内に電流を導入するための気密端子である。図１では簡単のために電流導入端子３０を１つだけ図示しているが、電流導入端子３０（および電流リード）は一般に、正極側と負極側で少なくとも一対に設けられる。電流導入端子３０は、この例では真空容器１２の底板１２ｂに設けられている。超伝導コイル１４が極低温冷凍機２０によって超伝導転移温度以下の極低温に冷却された状態で、外部電源１８から電流導入端子３０を通じて超伝導コイル１４に励磁電流が供給される。それにより、超伝導コイル１４は、強力な磁場を発生することができる。

　極低温冷凍機２０は、冷媒ガス（たとえばヘリウムガス）の圧縮機（図示せず）と、コールドヘッドとも呼ばれる膨張機とを備え、圧縮機と膨張機により極低温冷凍機２０の冷凍サイクルが構成され、それにより極低温冷却を提供する。極低温冷凍機２０は、一例として、二段式のギフォード・マクマホン（Gifford-McMahon；ＧＭ）冷凍機である。極低温冷凍機２０は、極低温に冷却される低温部として、第１冷却ステージ２２ａと第２冷却ステージ２２ｂを備える。これら冷却ステージは、真空容器１２の中に配置される。第１冷却ステージ２２ａおよび第２冷却ステージ２２ｂは、例えば、銅などの金属材料またはその他の高い熱伝導率をもつ材料で形成される。

　また、極低温冷凍機２０は、第１シリンダ２４ａと、第２シリンダ２４ｂと、コールドヘッド駆動部２６と、装着フランジ２８とを備える。第１シリンダ２４ａは、装着フランジ２８を第１冷却ステージ２２ａに接続し、第２シリンダ２４ｂは、第１冷却ステージ２２ａを第２冷却ステージ２２ｂに接続する。コールドヘッド駆動部２６は、第１シリンダ２４ａとは反対側で装着フランジ２８に取り付けられている。

　第１シリンダ２４ａと第２シリンダ２４ｂは、一例として、円筒形状を有する部材であり、第２シリンダ２４ｂが第１シリンダ２４ａよりも小径である。第１シリンダ２４ａと第２シリンダ２４ｂは同軸に配置され、第１シリンダ２４ａの下端が第２シリンダ２４ｂの上端に剛に連結されている。極低温冷凍機２０がＧＭ冷凍機である場合、第１シリンダ２４ａと第２シリンダ２４ｂにはそれぞれ、蓄冷材を内蔵した第１ディスプレーサと第２ディスプレーサが収容されている。第１ディスプレーサと第２ディスプレーサは互いに連結され、それぞれ第１シリンダ２４ａと第２シリンダ２４ｂに沿って往復動可能である。第１シリンダ２４ａおよび第２シリンダ２４ｂは通例、例えばステンレス鋼など、第１冷却ステージ２２ａおよび第２冷却ステージ２２ｂに比べて熱伝導率の低い金属材料で形成される。

　コールドヘッド駆動部２６は、モータと、モータの出力する回転運動を第１ディスプレーサと第２ディスプレーサの往復動に変換するようにモータをこれらディスプレーサに連結する連結機構とを備える。また、コールドヘッド駆動部２６は、第１シリンダ２４ａと第２シリンダ２４ｂの内部の圧力を高圧と低圧に周期的に切り替える圧力切替弁を備え、この圧力切替弁も同じモータによって駆動される。

　極低温冷凍機２０のコールドヘッドは、この例では、真空容器１２の天板１２ａに設置されている。真空容器１２の天板１２ａには、コールドヘッドを真空容器１２内に挿し込むための開口部３２が設けられている。コールドヘッドは、コールドヘッド駆動部２６を上方に向け、第１冷却ステージ２２ａおよび第２冷却ステージ２２ｂを下方に向けるようにして、縦向きに真空容器１２に設置される。コールドヘッド駆動部２６は、真空容器１２から周囲環境（例えば室温大気圧環境）に露出されている。

　極低温冷凍機２０の運転中、第１冷却ステージ２２ａは、第１冷却温度、例えば３０Ｋ～８０Ｋに冷却され、第２冷却ステージ２２ｂは、第１冷却温度よりも低い第２冷却温度、例えば３Ｋ～２０Ｋに冷却される。

　真空容器１２内には、極低温冷凍機２０の低温部および超伝導コイル１４とともに、輻射熱シールド３４が配置される。輻射熱シールド３４は、第１冷却ステージ２２ａと熱的に結合され第１冷却温度に冷却される。輻射熱シールド３４は、第１冷却ステージ２２ａに直接取り付けられ、第１冷却ステージ２２ａと熱的に結合される。あるいは、輻射熱シールド３４は、可撓性または剛性をもつ伝熱部材を介して第１冷却ステージ２２ａに取り付けられてもよい。輻射熱シールド３４は、例えば銅などの金属材料またはその他の高い熱伝導率をもつ材料で形成される。輻射熱シールド３４は、第２冷却温度に冷却される超伝導コイル１４、極低温冷凍機２０の第２冷却ステージ２２ｂ、およびその他の低温部を囲むように配置され、外部からの輻射熱からこれら低温部を熱的に保護することができる。

　超伝導コイル１４は、伝熱部材３６を介して第２冷却ステージ２２ｂと熱的に結合され第２冷却温度に冷却される。伝熱部材３６は、可撓性または剛性をもつ伝熱部材であってもよく、例えば銅などの金属材料またはその他の高い熱伝導率をもつ材料で形成される。あるいは、超伝導コイル１４は、第２冷却ステージ２２ｂに直接取り付けられてもよい。

　超伝導コイル１４が発生させる磁場が外部に漏洩するのを抑制するために、真空容器１２は、その外側に磁気シールド３８を備えてもよい。磁気シールド３８は、真空容器１２の天板１２ａ、底板１２ｂ、およびこれらを接続する側壁を覆っている。磁気シールド３８は、例えば鉄などの磁性材料で形成されている。真空容器１２の天板１２ａに隣接する磁気シールド３８の上板３８ａには、極低温冷凍機２０のコールドヘッド駆動部２６を受け入れる開口部が形成されており、図示されるように、コールドヘッド駆動部２６は、磁気シールド３８から上方に突き出して配置されている。

　この実施の形態では、真空容器１２は、天板１２ａの開口部３２から真空容器１２内へと下方に延びる第１筒部４０と、極低温冷凍機２０のうち真空容器１２から露出された露出部分（すなわちコールドヘッド駆動部２６）から第１筒部４０の内側へと下方に延びる第２筒部４２とを備える。第１筒部４０と第２筒部４２からなる二重筒が真空容器１２内の気密性を保持しつつ、真空容器１２の天板１２ａを開口部３２でコールドヘッド駆動部２６に接続する。

　第１筒部４０は、例えば円筒など中空の筒状の形状を有し、例えばステンレス鋼などの金属材料、またはその他適宜の材料で形成されている。第１筒部４０は、その下端に第２筒部４２を取り付けるための内フランジを有してもよい。

　第２筒部４２は、コールドヘッド駆動部２６（より具体的には装着フランジ２８）を第１筒部４０に接続する。第２筒部４２は、変形可能であってもよく、例えばベローズであってもよい。あるいは、第２筒部４２は、第１筒部４０と同様に、例えばステンレス鋼などの金属材料で形成され、コールドヘッド駆動部２６と第１筒部４０を剛に接続してもよい。

　なお、第２筒部４２に代えて（または第２筒部４２とともに）、第１筒部４０が変形可能であってもよく、例えばベローズであってもよい。第１筒部４０と第２筒部４２のうち少なくとも一方を変形可能とすることにより、極低温冷却時に生じうる低温部の熱収縮を吸収することが可能となる。

　上述のように、極低温装置１０のメンテナンスの際、超伝導コイル１４への通電停止や極低温冷凍機２０による冷却の停止に伴って極低温装置１０の通常運転中とは極低温装置１０内の熱的なバランスが変化しうる。それにより、真空容器１２内で極低温冷却されていた超伝導コイル１４が冷却源となりこれと伝熱可能に接続された極低温装置１０の構成部品、例えば極低温冷凍機２０のコールドヘッド駆動部２６が冷却されうる。そのため、極低温装置１０のメンテナンスの作業中に、コールドヘッド駆動部２６には、周囲の空気中の水分が結露しうる。もし、結露水が周囲に拡散したとすると、磁気シールド３８に付着するかもしれない。磁気シールド３８は鉄材で形成されているため、付着した水は錆の原因となるかもしれない。

　図示されるように、真空容器１２の天板１２ａより下側で第１筒部４０と第２筒部４２との間には、環状（例えば円環状）の凹みが形成されている。この凹みは、コールドヘッド駆動部２６の下側でその周りに設けられているから、結露水を受け止める結露水溜まり４４として機能することができる。つまり、コールドヘッド駆動部２６に結露した水滴は、この結露水溜まり４４へと流れ落ち、そこに回収される。結露水溜まり４４に蓄えられた結露水は、必要に応じて（例えば、メンテナンス作業の途中で、またはその終了時に）、拭き取りなどにより除去されてもよいし、あるいは自然蒸発に任せてもよい。こうして、結露水の周囲への拡散を軽減しまたは防止することができる。結露水溜まり４４が真空容器１２の天板１２ａに対して磁気シールド３８の上板３８ａとは反対側（つまり、天板１２ａより下側）に設けられているから、結露水との接触に起因する磁気シールド３８の錆発生も緩和されまたは防止される。

　図２は、変形例に係る結露水溜まり４４を模式的に示す図である。図１を参照して説明した極低温装置１０では電流導入端子３０が真空容器１２の底板１２ｂに設けられているが、極低温装置１０は、真空容器１２の天板１２ａに設けられた電流導入端子３０を採用する設計も可能である。上述のコールドヘッド駆動部２６と同様に、電流導入端子３０にも結露が生じうるので、実施の形態に係る結露水溜まり４４は、電流導入端子３０に適用されてもよい。

　図示されるように、真空容器１２は、天板１２ａの開口部３２から真空容器１２内へと下方に延びる第１筒部４０と、真空容器１２から露出された露出部分、この場合電流導入端子３０から第１筒部４０の内側へと下方に延びる第２筒部４２とを備える。第１筒部４０と第２筒部４２からなる二重筒が真空容器１２内の気密性を保持しつつ、真空容器１２の天板１２ａを開口部３２で電流導入端子３０に接続する。第２筒部４２は、電流導入端子３０に接続された電流リード３１を収容する筒状のケースであってもよい。第１筒部４０と第２筒部４２のうち少なくとも一方は、例えばベローズを有してもよく、変形可能であってもよい。

　真空容器１２の天板１２ａより下側で第１筒部４０と第２筒部４２との間には、結露水溜まり４４として機能する環状の凹みが形成されている。結露水溜まり４４は、電流導入端子３０の下側でその周りに設けられている。第１筒部４０と第２筒部４２はそれらの下端で結露水溜まり４４の底板４６により接続されている。なお、この底板４６は、上述のように第１筒部４０の内フランジであってもよいし、あるいは第２筒部４２の外フランジであってもよいし、あるいは第１筒部４０および第２筒部４２とは別の部材であってもよい。

　矢印４８で示すように、結露により電流導入端子３０に付着した水滴は、結露水溜まり４４へと流れ落ち、そこに回収される。こうして、結露水の周囲への拡散を軽減しまたは防止することができる。結露水溜まり４４が真空容器１２の天板１２ａに対して磁気シールド３８の上板３８ａとは反対側に設けられているから、結露水との接触に起因する磁気シールド３８の錆発生も緩和されまたは防止される。また、漏電など電気系統のトラブルのリスクも軽減されうる。

　図３は、他の実施の形態に係る極低温装置１０を模式的に示す図である。極低温装置１０は、超伝導磁石装置であり、真空容器１２と、真空容器１２内に配置される超伝導コイル１４と、真空容器１２に設置され、超伝導コイル１４を冷却する極低温冷凍機２０と、真空容器１２に設置され、超伝導コイル１４に接続された電流導入端子３０と、を備える。超伝導磁石装置は、例えば、サイクロトロンのための磁場源として使用されてもよい。

　真空容器１２は、超伝導コイル１４を収容する真空容器本体５０と、電流リード３１を収容する第１筒部５２と、極低温冷凍機２０を収容する第２筒部５４とを備える。真空容器本体５０は、天板１２ａおよび底板１２ｂと、これらを接続する側壁とを有する。第１筒部５２は、真空容器本体５０の天板１２ａから上方に突出し、電流リード３１のうち真空容器１２から露出された露出部分、すなわち電流導入端子３０へと延びている。言い換えれば、電流導入端子３０は、第１筒部５２の上端で真空容器１２の周囲環境に露出されている。第２筒部５４は、真空容器本体５０の天板１２ａから上方に突出し、極低温冷凍機２０のうち真空容器１２から露出された露出部分、すなわちコールドヘッド駆動部２６へと延びている。コールドヘッド駆動部２６は、第２筒部５４の上端で真空容器１２の周囲環境に露出されている。

　また、極低温装置１０は、真空容器１２を囲むヨーク５６を備える。ヨーク５６は、例えば鉄などの磁性材料で形成されている。この例では、ヨーク５６は、分割構造を有し、真空容器１２の上部を囲む上ヨーク５６ａと、真空容器１２の下部を囲む下ヨーク５６ｂとを有する。上ヨーク５６ａには、真空容器１２の第１筒部５２を受け入れる第１開口部が形成され、この開口部内で上ヨーク５６ａと第１筒部５２との間に隙間５８が形成されている。同様に、上ヨーク５６ａには、真空容器１２の第２筒部５４を受け入れる第２開口部が形成され、この開口部内で上ヨーク５６ａと第２筒部５４との間に隙間６０が形成されている。上ヨーク５６ａは、第１筒部５２および第２筒部５４を囲むヨーク天面５６ａ１を有する。

　上ヨーク５６ａは、真空容器１２に対して昇降可能であってもよい。例えば、極低温装置１０のメンテナンスの際、上ヨーク５６ａは、下ヨーク５６ｂから分離され、上方に移動されてもよい。これにより、作業者が真空容器１２にアクセスするための作業空間が上ヨーク５６ａと下ヨーク５６ｂとの間に形成されてもよい。メンテナンスの終了時に、上ヨーク５６ａは、下方に移動され、作業空間は閉鎖され、下ヨーク５６ｂと再び結合されてもよい。

　この実施の形態では、結露水溜まり４４は、ヨーク天面５６ａ１上に２つの結露水トレイ４４ａおよび結露水ガイド４４ｂを備える。結露水トレイ４４ａおよび結露水ガイド４４ｂは、第１筒部５２と第２筒部５４それぞれに対応して設けられている。

　第１筒部５２に関して、結露水トレイ４４ａは、電流導入端子３０の下側でその周りに設けられている。また、結露水ガイド４４ｂは、第１筒部５２と上ヨーク５６ａとの間の隙間５８の上方で隙間５８を覆うように配置され、電流導入端子３０から流下する結露水を結露水トレイ４４ａへと導くように構成されている。結露水ガイド４４ｂは、環状であり、その内周縁が第１筒部５２の上端に取り付けられその全周にわたり設けられ、外周縁が結露水トレイ４４ａの上方またはその内側に位置する。よって、結露により電流導入端子３０に付着した水滴は、結露水ガイド４４ｂの上面を流れて結露水トレイ４４ａへと回収される。

　同様に、第２筒部５４に関して、結露水トレイ４４ａは、コールドヘッド駆動部２６の下側でその周りに設けられている。また、結露水ガイド４４ｂは、第２筒部５４と上ヨーク５６ａとの間の隙間６０の上方で隙間６０を覆うように配置され、コールドヘッド駆動部２６から流下する結露水を結露水トレイ４４ａへと導くように構成されている。結露水ガイド４４ｂは、環状であり、その内周縁が第２筒部５４の上端に取り付けられその全周にわたり設けられ、外周縁が結露水トレイ４４ａの上方またはその内側に位置する。よって、結露によりコールドヘッド駆動部２６に付着した水滴は、結露水ガイド４４ｂの上面を流れて結露水トレイ４４ａへと回収される。

　したがって、結露水溜まり４４は、結露水の周囲への拡散を軽減しまたは防止することができる。結露水との接触に起因するヨーク５６の錆発生も緩和されまたは防止される。また、漏電など電気系統のトラブルのリスクも軽減されうる。

　結露水ガイド４４ｂは、可撓性を有してもよい。結露水ガイド４４ｂは、例えばシリコーン樹脂、またはフッ素系樹脂など、適宜の合成樹脂材料で、例えばシート状に形成され、変形可能であってもよい。このようにすれば、上ヨーク５６ａが結露水トレイ４４ａとともに第１筒部５２および第２筒部５４に対して移動するとき、結露水ガイド４４ｂは自身が変形することによって上ヨーク５６ａおよび結露水トレイ４４ａの移動を妨げないので、有利である。

　以上、本発明を実施例にもとづいて説明した。本発明は上記実施形態に限定されず、種々の設計変更が可能であり、様々な変形例が可能であること、またそうした変形例も本発明の範囲にあることは、当業者に理解されるところである。ある実施の形態に関連して説明した種々の特徴は、他の実施の形態にも適用可能である。組合せによって生じる新たな実施の形態は、組み合わされる実施の形態それぞれの効果をあわせもつ。

　上述の実施の形態では、極低温装置１０が極低温冷凍機２０によって超伝導コイル１４を直接冷却する、いわゆる伝導冷却式として構成される場合を例として説明している。しかし、ある実施の形態においては、極低温装置１０は、超伝導コイル１４を液体ヘリウムなどの極低温液体冷媒に浸漬する浸漬冷却式であってもよい。この場合、極低温冷凍機２０は、気化した極低温液体冷媒を再凝縮し、それにより超伝導コイル１４を冷却する。

　上述の実施の形態では、極低温冷凍機２０が二段式のＧＭ冷凍機である場合を例として説明しているが、ある実施の形態においては、極低温冷凍機２０は、単段式のＧＭ冷凍機であってもよい。あるいは、極低温冷凍機２０は、パルス管冷凍機、スターリング冷凍機、またはそのほかのタイプの単段式または多段式の極低温冷凍機であってもよい。

　実施の形態にもとづき、具体的な語句を用いて本発明を説明したが、実施の形態は、本発明の原理、応用の一側面を示しているにすぎず、実施の形態には、請求の範囲に規定された本発明の思想を逸脱しない範囲において、多くの変形例や配置の変更が認められる。

　本発明は、極低温装置の分野における利用が可能である。

　１０　極低温装置、　１２　真空容器、　１２ａ　天板、　１４　超伝導コイル、　２０　極低温冷凍機、　３０　電流導入端子、　３２　開口部、　４０　第１筒部、　４２　第２筒部、　４４　結露水溜まり、　４４ａ　結露水トレイ、　４４ｂ　結露水ガイド、　５０　真空容器本体、　５６　ヨーク、　５６ａ１　ヨーク天面、　５８，６０　隙間。

Claims

　真空容器と、
　前記真空容器内に配置される超伝導コイルと、
　前記真空容器に設置され、前記超伝導コイルを冷却する極低温冷凍機と、
　前記真空容器に設置され、前記超伝導コイルに接続された電流導入端子と、
　前記極低温冷凍機および前記電流導入端子の少なくとも一方の前記真空容器から露出された露出部分の下側で前記露出部分の周りに設けられた結露水溜まりと、を備えることを特徴とする極低温装置。
　前記真空容器は、
　　開口部を有する真空容器天板と、
　　前記真空容器天板の開口部から前記真空容器内へと下方に延びる第１筒部と、
　　前記露出部分から前記第１筒部の内側へと下方に延びる第２筒部と、を備え、
　前記結露水溜まりは、前記第１筒部と前記第２筒部の間に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の極低温装置。
　前記真空容器の外側で前記真空容器天板に隣接する磁気シールド上板を有する磁気シールドをさらに備え、
　前記結露水溜まりは、前記真空容器天板に対して前記磁気シールド上板とは反対側で前記第１筒部と前記第２筒部の間に設けられていることを特徴とする請求項２に記載の極低温装置。
　前記第１筒部と前記第２筒部のうち少なくとも一方が変形可能であることを特徴とする請求項２または３に記載の極低温装置。
　前記真空容器は、前記超伝導コイルを収容する真空容器本体と、前記真空容器本体から上方に突出し前記露出部分へと延びる筒部とを備え、
　前記極低温装置は、前記筒部を囲むヨーク天面を有するヨークをさらに備え、
　前記結露水溜まりは、前記ヨーク天面に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の極低温装置。
　前記筒部と前記ヨークとの間の隙間の上方で前記隙間を覆うように配置され、前記露出部分から流下する結露水を前記結露水溜まりへと導くように構成された結露水ガイドをさらに備えることを特徴とする請求項５に記載の極低温装置。
　前記結露水ガイドは、可撓性を有することを特徴とする請求項６に記載の極低温装置。