CN217485181U - 超导磁体装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型的课题在于兼顾超导磁体装置的磁屏蔽件的组装及拆卸性和磁屏蔽效果。超导磁体装置(10)具备：超导线圈；中空筒型低温恒温器(20)，容纳超导线圈；冷头(50)，具有安装于中空筒型低温恒温器(20)的第1圆环状端板上的驱动部(52)，并且冷却超导线圈；及第1磁屏蔽部件(41)，具有用于避免与驱动部(52)发生干涉的开口部(44)，并且与中空筒型低温恒温器(20)的第1圆环状端板相邻配置。第1磁屏蔽部件(41)具备彼此组合而形成开口部的多个磁屏蔽片(41a～41d)。

Description

超导磁体装置

技术领域

本实用新型涉及一种适于单晶拉制装置的超导磁体装置。

背景技术

以往，已知有一种为了在单晶拉制装置中控制坩埚内的熔液的对流而向熔液施加磁场的MCZ(Magnetic field applied Czochralski：磁控拉晶)法。超导磁体装置用作这种单晶拉制装置的磁场产生源。

通常，超导磁体装置具有：真空容器，又称为低温恒温器；超导线圈，配置于该真空容器内；及超低温制冷机，设置于真空容器中并且将超导线圈冷却至超低温。并且，为了减少泄漏磁场对周围设备造成的不良影响，在真空容器设置有磁屏蔽件。超低温制冷机的低温部与超导线圈一起配置于真空容器内，而超低温制冷机的驱动部则配置于真空容器的外部，因此，在磁屏蔽件上设置有避免与驱动部发生干涉的开口部。若考虑到组装或拆卸的便利性(例如，将驱动部放入开口部中或从开口部取出驱动部等)，则该开口部的尺寸通常比驱动部的尺寸大很多。如此一来，从驱动部与开口部之间的间隙泄露的磁场会增加，基于磁屏蔽件的磁屏蔽效果有可能会降低。但是，由于驱动部包括电动机等受到泄漏磁场影响的设备，因此优选磁屏蔽件能够提供充分的磁屏蔽效果。

发明内容

本实用新型的一种实施方式的例示性目的之一在于兼顾超导磁体装置的磁屏蔽件的组装及拆卸性和磁屏蔽效果。

为了解决上述课题，本实用新型的一种实施方式的超导磁体装置具备：超导线圈；中空筒型低温恒温器，容纳超导线圈；冷头，具有安装于中空筒型低温恒温器的第1圆环状端板上的驱动部，并且冷却超导线圈；及第1磁屏蔽部件，具有用于避免与驱动部发生干涉的开口部，并且与中空筒型低温恒温器的第1圆环状端板相邻配置。第1磁屏蔽部件具备彼此组合而形成开口部的多个磁屏蔽片。

根据该实施方式，组合多个磁屏蔽片而形成为了避免与冷头的驱动部发生干涉而设置于磁屏蔽件上的开口部。如此一来，与在单个磁屏蔽件板上形成考虑到组装及拆卸性的大孔的情况相比，容易将各个磁屏蔽片与驱动部靠近配置，以使驱动部与开口部之间的间隙变窄。因此，能够兼顾超导磁体装置的磁屏蔽件的组装及拆卸性和磁屏蔽效果。

多个磁屏蔽片可以包括：第1磁屏蔽片，在第1圆环状端板之上配置于中空筒型低温恒温器的外周侧；及第2磁屏蔽片，在第1圆环状端板之上配置于中空筒型低温恒温器的内周侧。

开口部可以为驱动部无法通过的大小。

多个磁屏蔽片可以分别固定于中空筒型低温恒温器上。

超导磁体装置还可以具备：第2磁屏蔽部件，和与第1圆环状端板相反一侧的中空筒型低温恒温器的第2圆环状端板相邻配置；及第3磁屏蔽部件，连接第1磁屏蔽部件与第2磁屏蔽部件，并且与中空筒型低温恒温器的外周壁相邻配置。

根据本实用新型，能够兼顾超导磁体装置的磁屏蔽件的组装及拆卸性和磁屏蔽效果。

附图说明

图1是示意地表示实施方式所涉及的超导磁体装置的立体图。

图2是示意地表示设置于图1所示的超导磁体装置的超导线圈的配置的立体图。

图3是示意地表示图1所示的超导磁体装置的剖视图。

图4是示意地表示图1所示的超导磁体装置的磁屏蔽件的俯视图。

图5是示意地表示图1所示的超导磁体装置的磁屏蔽件的分解立体图。

图6是示意地表示比较例所涉及的超导磁体装置的一部分的俯视图。

图7是示意地表示其他实施方式所涉及的超导磁体装置的立体图。

图8是示意地表示图7所示的超导磁体装置的磁屏蔽件的俯视图。

图9是示意地表示其他实施方式所涉及的超导磁体装置的磁屏蔽件的分解立体图。

图10是示意地表示图9所示的超导磁体装置的磁屏蔽件的俯视图。

图中：10-超导磁体装置，20-低温恒温器，24-中心空腔，30、32-合成磁场，40-磁屏蔽件，50a-第1冷头，50b-第2冷头，52-驱动部，54-马达。

具体实施方式

以下，参考附图对本实用新型的实施方式进行详细说明。在以下说明及附图中，对相同或等同的构成要件、部件及处理标注相同的符号，并适当省略重复说明。在各附图中，为了便于说明，简单设定各部的缩尺或形状，除非另有特别说明，其并不做限定性的解释。实施方式为例示，其对本实用新型的范围并不做任何限定。实施方式中所记载的所有特征或其组合并不一定是实用新型的本质。

图1是示意地表示实施方式所涉及的超导磁体装置的立体图。图2是示意地表示设置于图1所示的超导磁体装置的超导线圈的配置的立体图。图3是示意地表示图1所示的超导磁体装置的剖视图。在图3中示出了沿图1的A-A线剖切的截面。图4是示意地表示图1所示的超导磁体装置的磁屏蔽件的俯视图。图5是示意地表示图1所示的超导磁体装置的磁屏蔽件的分解立体图。

超导磁体装置10能够用作单晶拉制装置的磁场产生源，例如能够用作基于HMCZ(Horizontal-MCZ；横向磁场型的MCZ)法的单晶拉制装置的磁场产生源。单晶拉制装置例如为单晶硅拉制装置。

如图1至图5所示，超导磁体装置10具备中空筒型低温恒温器(以下，也简称为低温恒温器)20、六个超导线圈30a～30f、磁屏蔽件40、第1冷头50a、第2冷头50b及辐射屏蔽件60。另外，以下，有时将六个超导线圈30a～30f统称为超导线圈30。同样地，有时将第1冷头50a和第2冷头50b统称为冷头50。

低温恒温器20具有与低温恒温器20的周围环境22隔离的内部空间，在该内部空间内配置有超导线圈30和辐射屏蔽件60(参考图3)。内部空间例如呈圆环状或圆筒状的形状。低温恒温器20为绝热真空容器，并且在超导磁体装置10工作时，向低温恒温器20的内部空间提供适于使超导线圈30处于超导状态的超低温真空环境。

低温恒温器20在内侧划定有中心空腔24，并且沿通过中心空腔24的中心轴以圆筒状延伸。低温恒温器20可以以使中心轴与铅垂方向(与水平面正交的方向)一致的方式配置。以下，为了便于说明，定义将低温恒温器20的中心轴设为Z轴并将与Z轴正交且彼此正交的两个轴分别设为X轴及Y轴的正交坐标系。在单晶拉制装置的情况下，拉晶轴对应于Z轴，并且能够在与拉晶轴垂直的熔液表面上定义X轴、Y轴。此时，能够将与超导磁体装置10在熔液表面的中心产生的磁场垂直的方向设为X轴，并将与磁场平行的方向设为Y轴。

在超导磁体装置10搭载于单晶拉制装置的情况下，在中心空腔24配置有容纳单晶材料的熔液的坩埚。中心空腔24为低温恒温器20的周围环境22的一部分(即，在低温恒温器20的外部)，并且为被低温恒温器20包围的例如圆柱状的空间。

低温恒温器20具备：内周壁20a，面向中心空腔24；外周壁20b，与内周壁20a同轴配置；及第1圆环状端板20c及第2圆环状端板20d，分别在内周壁20a与外周壁20b的上下部位连接内周壁20a与外周壁20b。内周壁20a和外周壁20b均呈圆筒形状，在它们之间配置有超导线圈30和辐射屏蔽件60。第1圆环状端板20c和第2圆环状端板20d分别为低温恒温器20的顶板和底板，并且具有大致平坦的外表面。

低温恒温器20中的至少内周壁20a由非磁性材料(例如，不锈钢等非磁性金属材料)制成，以免妨碍超导线圈30在中心空腔24产生磁场。低温恒温器20的其他部位(即，外周壁20b、第1圆环状端板20c及第2圆环状端板20d)也可以由与内周壁20a相同的材料制成。

超导线圈30具有第1超导线圈30a、30d的组、第2超导线圈30b、30e的组及第3超导线圈30c、30f的组。形成各组的两个超导线圈以彼此之间隔着中心空腔24而对置的方式配置于低温恒温器20的内部。第2超导线圈30b、30e的组与第1超导线圈30a、30d的组在低温恒温器20的周向上相邻配置，第3超导线圈30c、30f的组与第2超导线圈30b、30e的组在低温恒温器20的周向上相邻配置。超导线圈30a～30f分别配置成其中心轴朝向低温恒温器20的径向(与Z轴垂直的方向)，从而在径向上产生磁场。超导线圈30a～30f具有相同形状及相同尺寸，在该例子中为直径相同的圆形线圈。超导线圈30通过未图示的线圈支承结构支承于低温恒温器20上。

作为一例，第1超导线圈30a、30d的组的线圈中心轴与Y轴一致，第2超导线圈30b、30e的组的线圈中心轴与以Z轴为中心从Y轴朝向顺时针方向旋转60度的直线一致，第3超导线圈30c、30f的组的线圈中心轴与以Z轴为中心从Y轴朝向逆时针方向旋转60度的直线一致。各组的超导线圈中的一个超导线圈(例如，超导线圈30a、30b、30f)产生朝向径向外侧的磁场，另一个超导线圈(例如，超导线圈30c、30d、30e)产生相同大小且朝向径向内侧的磁场。因此，在中心空腔24中，由超导线圈30a～30f产生的合成磁场32在Z轴上朝向Y方向。因此，超导线圈30a～30f能够用作HMCZ型单晶拉制装置的磁场产生源。

为了抑制由超导线圈30产生的磁场向外部泄漏，设置有覆盖低温恒温器20的外周壁20b、第1圆环状端板20c及第2圆环状端板20d的磁屏蔽件40。磁屏蔽件40并不覆盖低温恒温器20的内周壁20a，以免妨碍超导线圈30在中心空腔24中产生磁场。磁屏蔽件40例如由铁等磁性材料制成。

磁屏蔽件40具备第1磁屏蔽部件41、第2磁屏蔽部件42及第3磁屏蔽部件43。第1磁屏蔽部件41与低温恒温器20的第1圆环状端板20c相邻配置，并且通过例如螺栓等紧固部件固定于第1圆环状端板20c上。如后述，第1磁屏蔽部件41具备多个磁屏蔽片41a～41f。第2磁屏蔽部件42与低温恒温器20的第2圆环状端板20d相邻配置，并且通过例如螺栓等紧固部件固定于第2圆环状端板20d上。与低温恒温器20的第1圆环状端板20c及第2圆环状端板20d同样地，第1磁屏蔽部件41及第2磁屏蔽部件42分别具有圆环状的形状。第3磁屏蔽部件43连接第1磁屏蔽部件41与第2磁屏蔽部件42，并且与低温恒温器20的外周壁20b相邻配置。第3磁屏蔽部件43具有顺着低温恒温器20的外周壁20b沿周向延伸的圆筒状的形状。第3磁屏蔽部件43通过例如螺栓等紧固部件固定于外周壁20b上。

在超导磁体装置10上设置有两台超低温制冷机，其中一个超低温制冷机具有第1冷头50a，另一个超低温制冷机具有第2冷头50b。第1冷头50a和第2冷头50b具有相同的规格(制冷能力及尺寸)。虽然省略图示，但是在超导磁体装置10上还设置有与第1冷头50a一起构成第1超低温制冷机的第1压缩机，并且还设置有与第2冷头50b一起构成第2超低温制冷机的第2压缩机。第1压缩机通过工作气体配管与第1冷头50a连接，从而向第1冷头50a供给工作气体(例如氦气)及从第1冷头50a排出工作气体(例如氦气)。同样地，第2压缩机通过工作气体配管与第2冷头50b连接，从而向第2冷头50b供给工作气体及从第2冷头50b排出工作气体。这些超低温制冷机例如可以为二级式的吉福德-麦克马洪(Gifford-McMahon；GM)制冷机。

第1冷头50a设置于低温恒温器20上以冷却一部分超导线圈30(例如六个超导线圈中的一半的三个超导线圈)。为了进行冷却，这些超导线圈在低温恒温器20内通过导热部件彼此连接从而彼此热连接。第1冷头50a的第2冷却台固定于该导热部件上从而与超导线圈热连接。同样地，第2冷头50b设置于低温恒温器20上以冷却其余的超导线圈。

在超导磁体装置10的运行中，第1冷却台冷却至第1冷却温度(例如，30K～80K)，第2冷却台冷却至低于第1冷却温度的第2冷却温度(例如，3K～20K)。辐射屏蔽件60与第1冷却台热连接从而被冷却至第1冷却温度。辐射屏蔽件60以包围超导线圈30的方式配置于低温恒温器20内，从而抑制辐射热侵入超导线圈30。超导线圈30与第2冷却台热连接从而被冷却至第2冷却温度。

第1冷头50a及第2冷头50b设置于低温恒温器20的上表面上。第1冷头50a及第2冷头50b在低温恒温器20的外侧均具有驱动部52。各冷头50a、50b以使驱动部52朝向上方且使第1冷却台及第2冷却台朝向下方的方式纵向设置于低温恒温器20。第1冷却台和第2冷却台配置于低温恒温器20内。

驱动部52具有用于驱动各冷头50a、50b的马达54。并且，驱动部52具备：止转棒轭机构等运动转换机构，将由马达54输出的旋转运动转换为冷头50a、50b内的置换器的往复运动；及压力转换阀，将冷头50a、50b内的压力周期性地转换为高压和低压。该压力转换阀也被相同的马达54驱动。

驱动部52安装于低温恒温器20的第1圆环状端板20c上。在与第1圆环状端板20c相邻的第1磁屏蔽部件41上，为了避免与驱动部52发生干涉而设置有开口部44。如图所示，驱动部52配置于该开口部44内，并且配置成从第1磁屏蔽部件41向上方突出。

并且，马达54朝向从朝向Z轴的方向偏离的方向(例如，如图所示，朝向径向外侧)。在驱动部52还设置有与用于将冷头50a、50b连接到压缩机的工作气体配管连接的配管连接部，该配管连接部也与马达54同样地朝向从朝向Z轴的方向偏离的方向。如此，通过使马达54或配管连接部朝向除了朝向径向内侧的方向以外的方向，与马达54或配管连接部朝向Z轴的情况相比，作业者容易从低温恒温器20的外侧进行将电气配线或配管连接于驱动部52的作业。

虽然省略图示，但是在低温恒温器20的下表面设置有与超导线圈30连接的电流导入端子、用于低温恒温器20的真空排气的真空排气端口及与低温恒温器20内的测量设备连接的测量用端口。

电流导入端子与超导线圈30连接，因此被冷头50a、50b冷却。因此，暴露于低温恒温器20的外侧的电流导入端子的一部分会产生结露或结冰。通过将电流导入端子设置于低温恒温器20的下侧，可以将用于接受滴落的结露水的托盘配置于低温恒温器20的下方以回收结露水，从而能够避免结露水弄湿地面等周围环境。

另外，电流导入端子、真空排气端口及测量用端口中的至少一个可以设置于低温恒温器20的下表面。或者，电流导入端子、真空排气端口及测量用端口中的至少一个可以设置于低温恒温器20的上表面。

在本实施方式中，第1磁屏蔽部件41具备彼此组合而形成开口部44的多个磁屏蔽片41a～41d。更具体而言，第1磁屏蔽片41a和第2磁屏蔽片41b组合而形成容纳第1冷头50a的驱动部52的开口部44。并且，其余的第1屏蔽片41c和第2屏蔽片41d组合而形成容纳第2冷头50b的驱动部52的开口部44。

第1磁屏蔽片41a、41c在第1圆环状端板20c之上配置于低温恒温器20的外周侧，第2磁屏蔽片41b、41d在第1圆环状端板20c之上配置于低温恒温器20的内周侧。第1磁屏蔽片41a与第2磁屏蔽片41b的边界线沿低温恒温器20的周向延伸。

构成第1磁屏蔽部件41的其余的磁屏蔽片41e、41f与开口部44的形成无关。这些磁屏蔽片41e、41f具有比将第1磁屏蔽片41a、41c和第2磁屏蔽片41b、41d组合而成的磁屏蔽部分更长的圆弧状或C字状的形状，通过组合该磁屏蔽部分和磁屏蔽片41e、41f，第1磁屏蔽部件41形成为圆环状。

另外，将第1磁屏蔽部件41分割成多个磁屏蔽片的方法并不只限于上述例子。例如，形成开口部44的第1磁屏蔽片41a和第2磁屏蔽片41b也可以被分割成它们的边界线沿低温恒温器20的径向或其他方向延伸。在上述例子中，由两个磁屏蔽片形成开口部44，但是也可以通过组合三片以上的磁屏蔽片来形成开口部44。与开口部44的形成无关的磁屏蔽片41e、41f也可以被分割成更多的小片。

多个磁屏蔽片41a～41f可以分别固定于低温恒温器20上。各磁屏蔽片41a～41f例如使用螺栓等紧固部件机械结合于低温恒温器20的例如第1圆环状端板20c上。如此，分别固定磁屏蔽片有助于向各磁屏蔽片41a～41f提供相对于基于超导磁体装置10工作时产生的磁场而作用于各磁屏蔽片41a～41f的电磁力的可靠的支承。

为了便于进行组装及分解作业，在至少一部分磁屏蔽片(例如，更大型的磁屏蔽片41e、41f)上可以安装搬运用的金属配件62。金属配件62可以为了进行组装及分解作业而安装于磁屏蔽片上并在作业结束之后卸下。因此，在超导磁体装置10工作时，可以从磁屏蔽件40卸下金属配件62。

为了便于理解，在图4中，相对于开口部44用虚线示出了驱动部52。由图4可知，俯视时，驱动部52的尺寸大于开口部44的尺寸。因此，在形成开口部44的第1磁屏蔽片41a和第2磁屏蔽片41b并未分离而保持组合状态的情况下，无法从安装有第1冷头50a的低温恒温器20卸下第1磁屏蔽部件41。同样地，在第1磁屏蔽片41a和第2磁屏蔽片41b并未分离而保持组合状态的情况下，也无法在安装有第1冷头50a的低温恒温器20上安装第1磁屏蔽部件41。即，在本实施方式中，开口部44设为驱动部52无法通过的大小。

由此，能够以使开口部44的形状与驱动部52匹配并且使驱动部52与开口部44之间的间隙基本上消失的方式配置各个磁屏蔽片41a～41d。如此，能够减少或防止从驱动部52与开口部44之间的间隙泄漏磁场。

相比之下，如图6所示的比较例，在使用单个磁屏蔽件板70的情况下，考虑到组装及拆卸性，需要能够使驱动部52通过的大孔72。驱动部52与大孔72之间的间隙74容易变大，其结果，通过了该间隙74的磁场的泄漏也增加，磁场的影响可能会波及到驱动部52或周围的其他设备。

根据实施方式所涉及的超导磁体装置10，如上所述，通过组合多个磁屏蔽片41a～41d而形成为了避免与冷头的驱动部52发生干涉而设置于磁屏蔽件40上的开口部44。如此一来，与在单个磁屏蔽件板上形成考虑到组装及拆卸性的大孔的情况相比，容易将各个磁屏蔽片41a～41d与驱动部52靠近配置，以使驱动部52与开口部44之间的间隙变窄。因此，能够兼顾超导磁体装置10的磁屏蔽件40的组装及拆卸性和磁屏蔽效果。

另外，冷头50a、50b也可以以其他方式配置。图7是示意地表示其他实施方式所涉及的超导磁体装置的立体图。图8是示意地表示图7所示的超导磁体装置的磁屏蔽件的俯视图。如图7及图8所示，两台冷头50a、50b可以集中设置于低温恒温器20的单侧。

与上述实施方式同样地，磁屏蔽件40具备第1磁屏蔽部件41、第2磁屏蔽部件42及第3磁屏蔽部件43。但是，在该例子中，第1磁屏蔽部件41具备彼此组合而形成开口部44的多个磁屏蔽片41a～41e。第1磁屏蔽片41a在第1圆环状端板20c之上配置于低温恒温器20的外周侧，第2磁屏蔽片41b在第1圆环状端板20c之上配置于低温恒温器20的内周侧。第1磁屏蔽片41a与第2磁屏蔽片41b的边界线沿低温恒温器20的周向延伸。

与第1磁屏蔽片41a及第2磁屏蔽片41b在周向上相邻设置有第3磁屏蔽片41c，并且在周向上的与第3磁屏蔽片41c相反的一侧，与第1磁屏蔽片41a及第2磁屏蔽片41b在周向上相邻设置有第4磁屏蔽片41d。第1磁屏蔽片41a、第2磁屏蔽片41b及第3磁屏蔽片41c组合而形成容纳第1冷头50a的驱动部52的开口部44。第1磁屏蔽片41a、第2磁屏蔽片41b及第4磁屏蔽片41d组合而形成容纳第2冷头50b的驱动部52的开口部44。并且，在与第1磁屏蔽片41a及第2磁屏蔽片41b对置的位置上设置有与开口部44的形成无关的磁屏蔽片41e。

图9是示意地表示其他实施方式所涉及的超导磁体装置的磁屏蔽件的分解立体图。图10是示意地表示图9所示的超导磁体装置的磁屏蔽件的俯视图。如图所示，在超导磁体装置10上可以设置有四台冷头50a～50d。

磁屏蔽件40具备第1磁屏蔽部件41、第2磁屏蔽部件42及第3磁屏蔽部件43，第1磁屏蔽部件41具备彼此组合而形成开口部44的多个磁屏蔽片41a～41f。第1磁屏蔽片41a、41c在第1圆环状端板20c之上配置于低温恒温器20的外周侧，第2磁屏蔽片41b、41d在第1圆环状端板20c之上配置于低温恒温器20的内周侧。第1磁屏蔽片41a、41c与第2磁屏蔽片41b、41d的边界线沿低温恒温器20的周向延伸。

与第1磁屏蔽片41a和第2磁屏蔽片41b的组及第1磁屏蔽片41c和第2磁屏蔽片41d的组在周向上相邻设置有第3磁屏蔽片41e，并且在周向上的与第3磁屏蔽片41e相反的一侧，与这些磁屏蔽片41a～41d在周向上相邻设置有第4磁屏蔽片41f。

第1磁屏蔽片41a、第2磁屏蔽片41b及第3磁屏蔽片41e组合而形成容纳第1冷头50a的驱动部52的开口部44。第1磁屏蔽片41a、第2磁屏蔽片41b及第4磁屏蔽片41f组合而形成容纳第2冷头50b的驱动部52的开口部44。同样地，第1磁屏蔽片41c、第2磁屏蔽片41d及第3磁屏蔽片41e组合而形成容纳第3冷头50c的驱动部52的开口部44。第1磁屏蔽片41c、第2磁屏蔽片41d及第4磁屏蔽片41f组合而形成容纳第4冷头50d的驱动部52的开口部44。

以上，根据实施例对本实用新型进行了说明。本领域技术人员应当可以理解，本实用新型并不只限于上述实施方式，可以进行各种设计变更，可以存在各种变形例，并且这种变形例也在本实用新型的范围内。在一种实施方式中进行说明的各种特征也可以适用于其他实施方式中。通过组合而产生的新的实施方式兼具所组合的实施方式各自的效果。

在上述实施方式中，超导磁体装置10具有六个超导线圈30，但是并不只限于此。超导磁体装置10例如也可以具有彼此之间隔着中心空腔24而对置的两个超导线圈30。此时，超导线圈30并不只限于圆形线圈，例如也可以为马鞍形线圈等其他形状的线圈。并且，超导磁体装置10也可以具有以包围中心空腔24的方式配置的四个超导线圈30。如此，设置于超导磁体装置10中的超导线圈30的数量是任意的。

以上，基于实施方式并使用具体的语句对本实用新型进行了说明，但是，实施方式仅表示本实用新型的原理、应用的一个方式，在不脱离技术方案所限定的本实用新型的思想的范围内，可以对实施方式进行各种变形或配置的变更。

Claims (5)

1.一种超导磁体装置，其特征在于，具备：

超导线圈；

中空筒型低温恒温器，容纳所述超导线圈；

冷头，具有安装于所述中空筒型低温恒温器的第1圆环状端板上的驱动部，并且冷却所述超导线圈；及

第1磁屏蔽部件，具有用于避免与所述驱动部发生干涉的开口部，并且与所述中空筒型低温恒温器的第1圆环状端板相邻配置，

所述第1磁屏蔽部件具备彼此组合而形成所述开口部的多个磁屏蔽片。

2.根据权利要求1所述的超导磁体装置，其特征在于，

所述多个磁屏蔽片包括：第1磁屏蔽片，在所述第1圆环状端板之上配置于所述中空筒型低温恒温器的外周侧；及第2磁屏蔽片，在所述第1圆环状端板之上配置于所述中空筒型低温恒温器的内周侧。

3.根据权利要求1或2所述的超导磁体装置，其特征在于，

所述开口部为所述驱动部无法通过的大小。

4.根据权利要求1或2所述的超导磁体装置，其特征在于，

所述多个磁屏蔽片分别固定于所述中空筒型低温恒温器上。

5.根据权利要求1或2所述的超导磁体装置，其特征在于，还具备：

第2磁屏蔽部件，和与所述第1圆环状端板相反一侧的所述中空筒型低温恒温器的第2圆环状端板相邻配置；及

第3磁屏蔽部件，连接所述第1磁屏蔽部件与所述第2磁屏蔽部件，并且与所述中空筒型低温恒温器的外周壁相邻配置。

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