CN216928214U - 超导磁体装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型的课题在于降低超导磁体装置的拥有成本。超导磁体装置(10)具备：筒型低温恒温器(20)，在内侧划定有中心空腔，并且沿通过中心空腔的中心轴延伸；四个超导线圈(30a～30d)，由一对超导线圈及另一对超导线圈构成，所述一对超导线圈以彼此之间隔着中心空腔而对置的方式配置于筒型低温恒温器的内部，所述另一对超导线圈以彼此之间隔着中心空腔而对置的方式配置于筒型低温恒温器的内部并且在筒型低温恒温器的周向上配置于与一对超导线圈不同的位置上，并且所述四个超导线圈在与中心轴垂直的方向上产生合成磁场；第1冷头(50a)及第2冷头(50b)，设置于筒型低温恒温器上以分别冷却四个超导线圈中的两个超导线圈。

Description

超导磁体装置

技术领域

本实用新型涉及一种适于单晶拉制装置的超导磁体装置。

背景技术

以往，已知有一种为了在单晶拉制装置中控制坩埚内的熔液的对流而向熔液施加磁场的MCZ(Magnetic field applied Czochralski：磁控拉晶)法。超导磁体装置用作这种单晶拉制装置的磁场产生源。

在作为MCZ法的一例而已知的HMCZ(Horizontal-MCZ；横向磁场型的MCZ)中，为了向熔液的表面施加水平方向的磁场，有时在坩埚的左右设置两对超导线圈。为了将这些四个超导线圈冷却至超低温以使其能够励磁，设置有与超导线圈相同数量(即四台)的超低温制冷机，并且各超导线圈被对应的制冷机冷却。如此设置多台制冷机可能会导致超导磁体装置的制造成本的上升。并且，在超导磁体装置的运行中，为了将超导线圈维持在超低温，制冷机也始终工作，因此也可能会导致超导磁体装置的运行成本的上升。

发明内容

本实用新型的一种实施方式的例示性目的之一在于降低超导磁体装置的拥有成本。

为了解决上述课题，本实用新型的一种实施方式的超导磁体装置具备：筒型低温恒温器，在气内侧划定有中心空腔，并且沿通过中心空腔的中心轴延伸；四个超导线圈，由一对超导线圈及另一对超导线圈构成，所述一对超导线圈以彼此之间隔着中心空腔而对置的方式配置于筒型低温恒温器的内部，所述另一对超导线圈以彼此之间隔着中心空腔而对置的方式配置于筒型低温恒温器的内部并且在筒型低温恒温器的周向上配置于与一对超导线圈不同的位置上，并且所述四个超导线圈在与中心轴垂直的方向上产生合成磁场；第1冷头，设置于筒型低温恒温器上以冷却四个超导线圈中的两个超导线圈；及第2冷头，设置于筒型低温恒温器上以冷却四个超导线圈中的其余两个超导线圈。

根据该实施方式，能够使用两台冷头冷却四个超导线圈。如此，在筒型低温恒温器中设置有比以往更少数量的冷头，因此能够降低超导磁体装置的拥有成本。

第1冷头及第2冷头中的至少一个可以经由能够伸缩的气密隔板而设置于筒型低温恒温器。

第1冷头及第2冷头中的至少一个在筒型低温恒温器的外侧具备具有马达的驱动部，马达可以朝向从朝向中心轴的方向偏离的方向。

在筒型低温恒温器的下表面可以设置有与超导线圈连接的电流导入端子、用于筒型低温恒温器的真空排气的真空排气端口及与筒型低温恒温器内的测量设备连接的测量用端口中的至少一个。

超导磁体装置还可以具备覆盖筒型低温恒温器的外周面的磁屏蔽件。在筒型低温恒温器的外周面可以设置有在筒型低温恒温器的径向上支承超导线圈的支承体，在磁屏蔽件可以设置有从其外周面沿径向贯穿磁屏蔽件并与支承体接触的承载部。

超导磁体装置还可以具备覆盖筒型低温恒温器的上表面的磁屏蔽件。第1冷头及第2冷头中的至少一个可以以冷头的中心轴位于比磁屏蔽件的径向宽度的中间点更靠径向内侧的方式设置于筒型低温恒温器。

筒型低温恒温器可以具备面向中心空腔的内周壁，内周壁可以由非磁性材料制成。

第1冷头及第2冷头中的至少一个可以设置于筒型低温恒温器的上表面，并且从中心轴的方向观察时，第1冷头及第2冷头中的至少一个可以配置于未设置有四个超导线圈的位置上。

根据本实用新型，能够降低超导磁体装置的拥有成本。

附图说明

图1是示意地表示实施方式所涉及的超导磁体装置的立体图。

图2是示意地表示图1所示的超导磁体装置的俯视图。

图3是示意地表示图1所示的超导磁体装置的剖视图。

图4是示意地表示图1所示的超导磁体装置的剖视图。

图5是示意地表示将冷头设置在实施方式所涉及的超导磁体装置上的设置例的图。

图6是示意地表示其他实施方式所涉及的超导磁体装置的立体图。

图中：10-超导磁体装置，20-筒型低温恒温器，24-中心空腔，30、32-合成磁场，40-磁屏蔽件，50a-第1冷头，50b-第2冷头，52-驱动部，54-马达，76-承载部，80-气密隔板。

具体实施方式

以下，参考附图对本实用新型的实施方式进行详细说明。在以下说明及附图中，对相同或等同的构成要件、部件及处理标注相同的符号，并适当省略重复说明。在各附图中，为了便于说明，简单设定各部的缩尺或形状，除非另有特别说明，其并不做限定性的解释。实施方式为例示，其对本实用新型的范围并不做任何限定。实施方式中所记载的所有特征或其组合并不一定是实用新型的本质。

图1是示意地表示实施方式所涉及的超导磁体装置10的立体图。图2是示意地表示图1所示的超导磁体装置10的俯视图。图3及图4是示意地表示图1所示的超导磁体装置10的剖视图。在图1中示出了超导磁体装置10的外观，在图2中，为了便于理解，用虚线示出了配置于超导磁体装置10的内部的构成要件的一部分。在图3中示出了沿图1的A-A线剖切的截面，在图4中示出了沿图1的B-B线剖切的截面。

超导磁体装置10能够用作基于HMCZ(Horizontal-MCZ；横向磁场型的MC Z)法的单晶拉制装置的磁场产生源。单晶拉制装置例如为单晶硅拉制装置。

如图1至图4所示，超导磁体装置10具备筒型低温恒温器20、四个超导线圈30a～30d、磁屏蔽件40、第1冷头50a、第2冷头50b及辐射屏蔽件60。另外，以下，有时将四个超导线圈30a～30d统称为超导线圈30。同样地，有时将第1冷头50a和第2冷头50b统称为冷头50。

筒型低温恒温器20具有与筒型低温恒温器20的周围环境22隔离的内部空间，并且在该内部空间内配置有超导线圈30和辐射屏蔽件60。内部空间例如呈圆环状或圆筒状的形状。筒型低温恒温器20为绝热真空容器，并且在超导磁体装置10工作时，向筒型低温恒温器20的内部空间提供适于使超导线圈30处于超导状态的超低温真空环境。

筒型低温恒温器20在内侧划定有中心空腔24，并且沿通过中心空腔24的中心轴延伸。筒型低温恒温器20可以以使中心轴与铅垂方向(与水平面正交的方向)一致的方式配置。以下，为了便于说明，定义将筒型低温恒温器20的中心轴设为Z轴并将与Z轴正交且彼此正交的两个轴分别设为X轴及Y轴的正交坐标系。在单晶拉制装置的情况下，拉晶轴对应于Z轴，并且能够在与拉晶轴垂直的熔液表面上定义X轴、Y轴。此时，能够将与超导磁体装置10在熔液表面的中心产生的磁场平行的方向设为X轴，并将与其垂直的方向设为Y轴。

在超导磁体装置10搭载于单晶拉制装置的情况下，在中心空腔24配置有容纳单晶材料的熔液的坩埚。中心空腔24为筒型低温恒温器20的周围环境22的一部分(即，在筒型低温恒温器20的外部)，并且为被筒型低温恒温器20包围的例如圆柱状的空间。

筒型低温恒温器20具备：内周壁，面向中心空腔24；外周壁，与内周壁同轴配置；及顶板及底板，分别在内周壁与外周壁的上下部位连接内周壁与外周壁。内周壁和外周壁均呈圆筒形状，在它们之间配置有超导线圈30和辐射屏蔽件60。顶板和底板呈圆环状的形状，并且具有大致平坦的表面。

筒型低温恒温器20中的至少内周壁由非磁性材料(例如，不锈钢等非磁性金属材料)制成，以免妨碍超导线圈30在中心空腔24产生磁场。筒型低温恒温器20的其他部位(即，外周壁、顶板及底板)也可以由与内周壁相同的材料制成。

超导线圈30由一对超导线圈30a、30d及一对超导线圈30c、30d构成，一对超导线圈30a、30d以彼此之间隔着中心空腔24而对置的方式配置于筒型低温恒温器20的内部，一对超导线圈30c、30d以彼此之间隔着中心空腔24而对置的方式配置于筒型低温恒温器20的内部且在筒型低温恒温器20的周向上配置于与一对超导线圈30a、30d不同的位置上。

这些四个超导线圈30a～30d配置成在中心空腔24的外侧包围中心空腔24。两个超导线圈30a、30b在周向上彼此相邻配置，其余两个超导线圈30c、30d在周向上彼此相邻配置。超导线圈30c在周向上与超导线圈30a分开配置，超导线圈30d在周向上与超导线圈30b分开配置。

超导线圈30a～30d分别配置成其中心轴朝向筒型低温恒温器20的径向(与Z轴垂直的方向)，从而在径向上产生磁场。两个超导线圈30a、30b产生朝向径向内侧(或朝向径向外侧)的磁场，其余两个超导线圈30c、30d产生朝向径向外侧(或朝向径向内侧)的磁场。一对超导线圈30a、30d配置成线圈中心轴与以Z轴为中心从X轴朝向逆时针方向旋转30度的直线一致，另一对超导线圈30c、30d配置成线圈中心轴与以Z轴为中心从X轴朝向顺时针方向旋转30度的直线一致。超导线圈30a～30d具有相同形状及相同尺寸，在该例子中为直径相同的圆形线圈。如图2所示，在中心空腔24中，由超导线圈30a～30d产生的合成磁场32在Z轴上朝向X方向。因此，超导线圈30a～30d能够用作HMCZ型单晶拉制装置的磁场产生源。

为了抑制由超导线圈30产生的磁场向外部泄漏，磁屏蔽件40覆盖筒型低温恒温器20的外周面、上表面及下表面。磁屏蔽件40例如由铁等磁性材料制成，并且与筒型低温恒温器20的外周壁、顶板及底板相邻配置。磁屏蔽件40并不覆盖筒型低温恒温器20的内周面，以免妨碍超导线圈30在中心空腔24中产生磁场。

在超导磁体装置10上设置有两台超低温制冷机，其中一个超低温制冷机具有第1冷头50a，另一个超低温制冷机具有第2冷头50b。第1冷头50a和第2冷头50b具有相同的规格(制冷能力及尺寸)。虽然省略图示，但是在超导磁体装置10上还设置有与第1冷头50a一起构成第1超低温制冷机的第1压缩机，并且还设置有与第2冷头50b一起构成第2超低温制冷机的第2压缩机。第1压缩机通过工作气体配管与第1冷头50a连接，从而向第1冷头50a供给工作气体(例如氦气)及从第1冷头50a排出工作气体(例如氦气)。同样地，第2压缩机通过工作气体配管与第2冷头50b连接，从而向第2冷头50b供给工作气体及从第2冷头50b排出工作气体。这些超低温制冷机例如可以为二级式的吉福德-麦克马洪(Giffo rd-McMahon；GM)制冷机。

第1冷头50a设置于筒型低温恒温器20上以冷却四个超导线圈30a～30d中的两个超导线圈30a、30c。如图4所示，这些两个超导线圈30a、30c通过第1导热部件62彼此连接从而彼此热连接。第1冷头50a的第2冷却台固定于该第1导热部件62上从而与第1导热部件62热连接。第1导热部件62在筒型低温恒温器20内配置于比辐射屏蔽件60更靠内侧的位置上，并且沿辐射屏蔽件60以圆弧状延伸。

第2冷头50b设置于筒型低温恒温器20上以冷却四个超导线圈30a～30d中的其余两个超导线圈30b、30d。

超导线圈30b、30d通过另一个第1导热部件62彼此连接从而彼此热连接。第2冷头50b的第2冷却台固定于该第1导热部件62上从而与第1导热部件62热连接。

并且，在周向上彼此相邻配置的超导线圈30a、30b可以通过第2导热部件64彼此连接从而彼此热连接。同样地，在周向上彼此相邻配置的超导线圈30c、30d可以通过第2导热部件64彼此连接从而彼此热连接。

第1冷头50a及第2冷头50b设置于筒型低温恒温器20的上表面上，如图2所示，从Z方向观察时，其配置于并未设置有四个超导线圈30a～30d的位置上。例如，第1冷头50a配置于在周向上分开配置的两个超导线圈30a、30c之间，第2冷头50b配置于在周向上分开配置的两个超导线圈30b、30d之间。第1冷头50a及第2冷头50b在Y方向上的两侧各配置有一个并且彼此之间隔着中心空腔24。如此，第1冷头50a及第2冷头50b利用筒型低温恒温器20内的空闲空间而设置。

第1冷头50a及第2冷头50b在筒型低温恒温器20的外侧均具有驱动部52。各冷头50a、50b以使驱动部52朝向上方且使第1冷却台及第2冷却台朝向下方的方式纵向设置于筒型低温恒温器20。第1冷却台和第2冷却台配置于筒型低温恒温器20内。

在超导磁体装置10的运行中，第1冷却台冷却至第1冷却温度(例如，30K～80K)，第2冷却台冷却至低于第1冷却温度的第2冷却温度(例如，3K～20K)。辐射屏蔽件60与第1冷却台热连接从而被冷却至第1冷却温度。辐射屏蔽件60以包围超导线圈30的方式配置于筒型低温恒温器20内，从而抑制辐射热侵入超导线圈30。超导线圈30与第2冷却台热连接从而被冷却至第2冷却温度。

四个超导线圈30a～30d中的两个超导线圈30a、30c通过第1导热部件62与第1冷头50a的第2冷却台连接，因此被第1冷头50a冷却至第2冷却温度。同样地，其余两个超导线圈30b、30d通过另一个第1导热部件62与第2冷头50b的第2冷却台连接，因此被第2冷头50b冷却至第2冷却温度。

但是，由于在周向上相邻的超导线圈(30a和30b、或30c和30d)通过第2导热部件64彼此连接，因此第1冷头50a经由第1导热部件62、超导线圈30a、30c及第2导热部件64还能够有助于其余两个超导线圈30b、30d的冷却。第2冷头50b也能够有助于主要被第1冷头50a冷却的超导线圈30a、30c的冷却。

驱动部52具有用于驱动各冷头50a、50b的马达54。并且，驱动部52具备：止转棒轭等运动转换机构，将由马达54输出的旋转运动转换为冷头50a、50b内的置换器的往复运动；及压力转换阀，将冷头50a、50b内的压力周期性地转换为高压和低压。该压力转换阀也被相同的马达54驱动。

驱动部52固定于筒型低温恒温器20的顶板上。在与筒型低温恒温器20的顶板相邻的磁屏蔽件40的上板上形成有容纳驱动部52的开口部，如图所示，驱动部52配置成从磁屏蔽件40朝向上方突出。

马达54朝向从朝向Z轴的方向偏离的方向(例如，如图所示，朝向径向外侧)。虽然省略图示，但是在驱动部52还设置有与用于将冷头50a、50b连接到压缩机的工作气体配管连接的配管连接部，该配管连接部也与马达54同样地朝向从朝向Z轴的方向偏离的方向。如此，通过使马达54或配管连接部朝向除了朝向径向内侧的方向以外的方向，与马达54或配管连接部朝向Z轴的情况相比，作业者容易从筒型低温恒温器20的外侧进行将电气配线或配管连接于驱动部52的作业。

第1冷头50a及第2冷头50b以冷头的中心轴56位于比磁屏蔽件40的径向宽度57的中间点58更靠径向内侧的方式设置于筒型低温恒温器20。针对筒型低温恒温器20而言，冷头50a、50b以其中心轴56与筒型低温恒温器20的径向宽度的中间点大致一致的方式设置，但是由于磁屏蔽件40在外周侧具有相对较厚的厚度，因此冷头50a、50b在磁屏蔽件40上配置于更靠径向内侧的位置上。

虽然省略图示，但是在筒型低温恒温器20的下表面设置有与超导线圈30连接的电流导入端子、用于筒型低温恒温器20的真空排气的真空排气端口及与筒型低温恒温器20内的测量设备连接的测量用端口。

电流导入端子与超导线圈30连接，因此被冷头50a、50b冷却。因此，暴露于筒型低温恒温器20的外侧的电流导入端子的一部分会产生结露或结冰。通过将电流导入端子设置于筒型低温恒温器20的下侧，可以将用于接受滴落的结露水的托盘配置于筒型低温恒温器20的下方以回收结露水，从而能够避免结露水弄湿地面等周围环境。

另外，电流导入端子、真空排气端口及测量用端口中的至少一个可以设置于筒型低温恒温器20的下表面。或者，电流导入端子、真空排气端口及测量用端口中的至少一个可以设置于筒型低温恒温器20的上表面。

在图3中示意地示出了用于将超导线圈30支承于筒型低温恒温器20上的线圈支承结构70。线圈支承结构70用于将超导线圈30连接于筒型低温恒温器20并且支承作用于超导线圈30的自重和工作时产生的电磁力。线圈支承结构70具备线圈支承板72和线圈支承体74。设置线圈支承板72的目的在于连接超导线圈30和线圈支承体74，并且线圈支承板72安装于超导线圈30的单侧(例如，筒型低温恒温器20的内周侧)。

线圈支承体74在筒型低温恒温器20的径向(水平方向)上支承超导线圈30。线圈支承体74具有棒状的形状，并且沿筒型低温恒温器20的径向延伸。线圈支承体74的一端在超导线圈30的内侧安装于线圈支承板72上，而另一端则安装于筒型低温恒温器20的外周面上。线圈支承体74的该端部从筒型低温恒温器20的外周面朝向磁屏蔽件40突出。

在磁屏蔽件40上设置有从其外周面沿径向贯穿磁屏蔽件40并与线圈支承体74的末端部接触的承载部76。作为一例，承载部76可以为与形成于磁屏蔽件40上的螺栓孔螺合的螺栓，如图1所示，该螺栓的头部设置于磁屏蔽件40的外周面上，如图3所示，螺栓的末端与线圈支承体74的末端部接触。通过使承载部76相对于磁屏蔽件40旋转，承载部76能够沿筒型低温恒温器20的径向移动，由此，能够调节承载部76沿径向按压线圈支承体74的力量(即，线圈支承体74在径向上支承超导线圈30的力量)。如图1所示，一个超导线圈30可以被多个(例如两个)承载部76(及线圈支承体74)支承于筒型低温恒温器20上。

另外，虽然省略图示，但是线圈支承结构70也可以具备支承部件，该支承部件将超导线圈30连接于筒型低温恒温器20的底面并且在Z方向(铅垂方向)上支承超导线圈30。

根据实施方式所涉及的超导磁体装置10，能够由两台冷头50a、50b冷却四个超导线圈30a～30d。相对于在以往的典型的超导磁体装置中针对每个超导线圈设置冷头(即，为了冷却四个超导线圈而设置有四台冷头)，在本实施方式中，所设置的冷头的数量减半。因此，能够降低冷却超导线圈30a～30d所需的超导磁体装置10的拥有成本。超导磁体装置10的节能性能也得到提高。并且，向冷头供给工作气体的压缩机的台数也减半。压缩机配置于超导磁体装置10的周围，但是也能够减少(减半)压缩机所占的占用空间。

图5是示意地表示将冷头50设置在实施方式所涉及的超导磁体装置10上的设置0例的图。两个冷头50中的至少一个(例如两个)经由可伸缩的气密隔板80(例如，波纹管)设置于筒型低温恒温器20。气密隔板80将冷头50的驱动部52连接于筒型低温恒温器20。通过气密隔板80的伸缩，冷头50相对于筒型低温恒温器20能够沿其中心轴的方向稍微移动。

在将冷头50经由气密隔板80设置于筒型低温恒温器20的情况下，气密隔板80能够吸收由冷头50及被冷却物(例如，超导线圈30)的冷却引起的热收缩。因此，即使将冷头50的冷却台直接固定于被冷却物(或固定于被冷却物上的刚性导热部件)上，也能够抑制伴随热收缩而产生热应力，从而能够抑制冷头50或被冷却物的变形。通过将冷头50的冷却台直接固定于被冷却物上，能够降低冷却台与被冷却物之间的热阻，从而能够更有效地冷却被冷却物。并且，通过气密隔板80还能够吸收基于热收缩而可能会作用于冷头50的偏心荷载。

在将冷头50不经由气密隔板80而固定于筒型低温恒温器20上的情况下，可以经由挠性导热部件将冷头的冷却台连接于被冷却物(或固定于被冷却物上的刚性导热部件)。如此，也能够缓和由冷却引起的热收缩的影响。

以上，根据实施例对本实用新型进行了说明。本领域技术人员应当可以理解，本实用新型并不只限于上述实施方式，可以进行各种设计变更，可以存在各种变形例，并且这种变形例也在本实用新型的范围内。在一种实施方式中进行说明的各种特征也可以适用于其他实施方式中。通过组合而产生的新的实施方式兼具所组合的实施方式各自的效果。

图6是示意地表示其他实施方式所涉及的超导磁体装置10的立体图。在上述实施方式中，两个冷头50a、50b在中心空腔24的两侧各设置有一个。但是，取而代之，如图6所示，两个冷头50a、50b也可以相对于筒型低温恒温器20的中心空腔24设置于单侧。此时，第1冷头50a及第2冷头50b也设置于筒型低温恒温器20的上表面上，并从Z轴方向观察时，配置于筒型低温恒温器20内的四个超导线圈并未设置的位置上。筒型低温恒温器20的外周面、上表面及下表面被磁屏蔽件40覆盖，各冷头50a、50b的驱动部52固定于筒型低温恒温器20的顶板上，并且从相邻的磁屏蔽件40的上板朝向上方突出配置。在磁屏蔽件40上可以设置有承载部76。

在图6的实施方式中，四个超导线圈也可以通过图4所示的第1导热部件62和第2导热部件64彼此热连接。各冷头50a、50b的第2冷却台可以固定于其中一个第1导热部件62上。第1冷头50a可以主要冷却四个超导线圈中的两个超导线圈(例如，图2及图4所示的超导线圈30c、30d)，第2冷头50b可以主要冷却四个超导线圈中的其余两个超导线圈(例如，图2及图4所示的超导线圈30a、30b)。

在上述实施方式中，两个冷头50a、50b均设置于筒型低温恒温器20的上表面上，从Z方向观察时，其配置于未设置有四个超导线圈30a～30d的位置上。取而代之，冷头50a、50b中的至少一个可以设置于筒型低温恒温器20的下表面上。并且，从Z方向观察时，冷头50a、50b中的至少一个可以配置于设置有四个超导线圈30a～30d中的任一个的位置上。

以上，基于实施方式并使用具体的语句对本实用新型进行了说明，但是，实施方式仅表示本实用新型的原理、应用的一个方式，在不脱离技术方案所限定的本实用新型的思想的范围内，可以对实施方式进行各种变形或配置的变更。

Claims (8)

1.一种超导磁体装置，其特征在于，具备：

筒型低温恒温器，在其内侧划定有中心空腔，并且沿通过所述中心空腔的中心轴延伸；

四个超导线圈，由一对超导线圈及另一对超导线圈构成，所述一对超导线圈以彼此之间隔着所述中心空腔而对置的方式配置于所述筒型低温恒温器的内部，所述另一对超导线圈以彼此之间隔着所述中心空腔而对置的方式配置于所述筒型低温恒温器的内部并且在所述筒型低温恒温器的周向上配置于与所述一对超导线圈不同的位置上，并且所述四个超导线圈在与所述中心轴垂直的方向上产生合成磁场；

第1冷头，设置于所述筒型低温恒温器上以冷却所述四个超导线圈中的两个超导线圈；及

第2冷头，设置于所述筒型低温恒温器上以冷却所述四个超导线圈中的其余两个超导线圈。

2.根据权利要求1所述的超导磁体装置，其特征在于，

所述第1冷头及所述第2冷头中的至少一个经由可伸缩的气密隔板设置于所述筒型低温恒温器。

3.根据权利要求1所述的超导磁体装置，其特征在于，

所述第1冷头及所述第2冷头中的至少一个在所述筒型低温恒温器的外侧具备具有马达的驱动部，所述马达朝向从朝向所述中心轴的方向偏离的方向。

4.根据权利要求1所述的超导磁体装置，其特征在于，

在所述筒型低温恒温器的下表面设置有与所述超导线圈连接的电流导入端子、用于所述筒型低温恒温器的真空排气的真空排气端口及与所述筒型低温恒温器内的测量设备连接的测量用端口中的至少一个。

5.根据权利要求1所述的超导磁体装置，其特征在于，

还具备磁屏蔽件，所述磁屏蔽件覆盖所述筒型低温恒温器的外周面，

在所述筒型低温恒温器的外周面设置有在所述筒型低温恒温器的径向上支承所述超导线圈的支承体，

在所述磁屏蔽件设置有从其外周面沿所述径向贯穿所述磁屏蔽件并与所述支承体接触的承载部。

6.根据权利要求1所述的超导磁体装置，其特征在于，

还具备磁屏蔽件，所述磁屏蔽件覆盖所述筒型低温恒温器的上表面，

所述第1冷头及所述第2冷头中的至少一个以冷头的中心轴位于比所述磁屏蔽件的径向宽度的中间点更靠径向内侧的方式设置于所述筒型低温恒温器。

7.根据权利要求1所述的超导磁体装置，其特征在于，

所述筒型低温恒温器具备面向所述中心空腔的内周壁，所述内周壁由非磁性材料制成。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的超导磁体装置，其特征在于，

所述第1冷头及所述第2冷头中的至少一个设置于所述筒型低温恒温器的上表面，并且从所述中心轴的方向观察时，所述第1冷头及所述第2冷头中的至少一个配置于未设置有所述四个超导线圈的位置上。

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