WO2023276555A1 - 光学レンズ検査装置、および光学レンズ検査方法 - Google Patents

光学レンズ検査装置、および光学レンズ検査方法 Download PDF

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WO2023276555A1
WO2023276555A1 PCT/JP2022/022646 JP2022022646W WO2023276555A1 WO 2023276555 A1 WO2023276555 A1 WO 2023276555A1 JP 2022022646 W JP2022022646 W JP 2022022646W WO 2023276555 A1 WO2023276555 A1 WO 2023276555A1
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WO
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optical lens
illumination member
illumination
imaging
light
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PCT/JP2022/022646
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English (en)
French (fr)
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祥雄 古谷
広平 三浦
健一 仁坂
Original Assignee
株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
    • G01N21/892—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the flaw, defect or object feature examined
    • G01N21/896—Optical defects in or on transparent materials, e.g. distortion, surface flaws in conveyed flat sheet or rod

Definitions

  • the technology disclosed in the present specification relates to an optical lens inspection device and an optical lens inspection method.
  • a device described in Patent Document 1 has been proposed as a device for inspecting scratches and the like on optical lenses (hereinafter also simply referred to as "lenses").
  • the lens inspection apparatus described in Patent Document 1 includes a camera for imaging a lens from one side of a stage on which the lens is mounted, and a line-shaped inspection light for dark field illumination from the other side of the camera across the lens. and a linear slider capable of linearly moving the line illumination means parallel to the stage.
  • an illumination device is linearly moved in a direction orthogonal to an extending direction of linear inspection light for dark field illumination.
  • a lens is irradiated with dark-field illumination inspection light projected from the line illumination means, and the dark-field illumination inspection light transmitted through the lens is received by the solid-state imaging device of the imaging device. As the illumination device moves, dark field regions are continuously extracted in synchronism with it, and the dark field regions are combined to generate a dark field image of the entire lens surface.
  • the irradiation angle of the light with respect to the lens is always the direction inclined by a predetermined angle with respect to the linear direction in which the illumination device moves. Become. If there is a linear scratch on the lens and the direction of light irradiation is the same as the direction in which the linear scratch on the lens extends, Therefore, the light scattering phenomenon that occurs when inspection light for dark-field illumination collides with it is less likely to occur. Therefore, in such a case, a sufficient scattered light intensity may not be obtained, and the location of the abnormality may not be detected. For this reason, the device described in Patent Document 1 has a problem that it is difficult to detect a flaw or the like depending on the extending direction of the substantially linear flaw or the like.
  • This technology relates to an optical lens inspection device and an optical lens inspection method that can easily detect flaws and the like.
  • a first aspect of the optical lens inspection apparatus disclosed in the specification of the present application is an apparatus for inspecting an optical lens, comprising: an imaging unit that images the optical lens; an illumination member having a linear or curved shape for irradiating the optical lens with light, and the illumination member rotating about the optical axis of the optical lens relatively to the optical lens and a first rotating part that causes the
  • a second aspect of the optical lens inspection apparatus disclosed in the specification of the present application is the optical lens inspection apparatus according to the first aspect, wherein the illumination member is positioned between a position approaching the optical axis and a position away from the optical axis. and a moving mechanism for relatively moving with respect to the optical lens.
  • a third aspect of the optical lens inspection apparatus disclosed in the specification of the present application is the optical lens inspection apparatus according to the second aspect, wherein the moving mechanism moves the illumination member so as to be positioned on the main plane of the optical lens. It is composed of a second rotating part that rotates relative to the optical lens about an axis including the center of the lens.
  • a fourth aspect of the optical lens inspection apparatus disclosed in the specification of the present application is the optical lens inspection apparatus according to the second aspect, wherein the moving mechanism moves the illumination member on a plane perpendicular to the optical axis. It is composed of a moving part.
  • a fifth aspect of the optical lens inspection apparatus disclosed in the specification of the present application is the optical lens inspection apparatus of the fourth aspect, further comprising an irradiation angle changing unit that changes the irradiation direction of the light from the illumination member.
  • a sixth aspect of the optical lens inspection apparatus disclosed in the specification of the present application is the optical lens inspection apparatus according to any one of the first to fifth aspects, wherein the illumination member is arranged in the imaging unit to It moves within a range where the bright field light from the illumination member does not enter.
  • a seventh aspect of the optical lens inspection apparatus disclosed in the specification of the present application is the optical lens inspection apparatus according to the sixth aspect, wherein the range is the range when a sample optical lens having the same shape as the optical lens is imaged in advance. The range is determined so that the illumination member is not imaged by the imaging unit.
  • An eighth aspect of the optical lens inspection apparatus disclosed in the specification of the present application is the optical lens inspection apparatus according to any one of the first to seventh aspects, wherein the illumination members are arranged linearly, and the illumination members are arranged in a straight line.
  • the width of the straight line is substantially the same as the diameter of the optical lens or larger than the diameter of the optical lens.
  • a ninth aspect of the optical lens inspection apparatus disclosed in the specification of the present application is, in the optical lens inspection apparatus of any of the first to eighth aspects, the quality of the optical lens based on the image captured by the imaging unit. It further comprises a control unit that determines
  • a first aspect of the optical lens inspection method disclosed in the specification of the present application is a method for inspecting an optical lens, wherein the illumination member having a linear shape or a curved shape irradiates the optical lens with light, a first imaging step of capturing an image of the optical lens by an imaging unit arranged to face the illumination member with the optical lens interposed therebetween; a rotating step of rotating the optical lens and the illumination member relative to each other and arranging the optical lens and the illumination member in a positional relationship different from that in the first imaging step; and after the rotating step, irradiating the optical lens with light from the illumination member. and a second imaging step of imaging the optical lens with the imaging unit.
  • a second aspect of the optical lens inspection method disclosed in the specification of the present application is the optical lens inspection method of the first aspect, wherein a sample optical lens having the same shape as the optical lens is formed by combining the sample optical lens and the illumination member.
  • the sample imaging step of imaging with the imaging unit while illuminating with the illumination member, wherein bright field light from the illumination member does not enter in the sample imaging step The relative positional relationship of the illumination member with respect to the sample optical lens and the imaging unit when the image is captured is the same as the optical lens of the illumination member and the imaging unit in the first imaging step and the second imaging step. It is adopted for the relative positional relationship with respect to the part.
  • FIG. 1 is a block diagram showing the overall configuration of an inspection system including an optical lens inspection apparatus according to a first embodiment
  • FIG. 1 is a schematic diagram showing the overall configuration of an optical lens inspection device according to a first embodiment
  • FIG. 4 is a schematic explanatory diagram showing the operation of the moving mechanism of the optical lens inspection device according to the first embodiment together with the overall configuration
  • FIG. 4 is an explanatory diagram showing an example of the configuration of light sources of an illumination member
  • It is the schematic which shows a moving mechanism.
  • It is the schematic which shows a moving mechanism and an optical lens.
  • It is a block diagram which shows the relationship of connection with the control part with which a computer is equipped, and each structure of an optical lens inspection apparatus.
  • FIG. 10 is a plan view showing the positional relationship between the optical lens and the illumination member after the illumination member is rotated by the first rotating section; It is a flowchart which shows the process by which an optical lens is inspected by the optical lens inspection apparatus regarding 1st Embodiment. It is a figure which shows the positional relationship of an imaging device, an optical lens, and an illumination member by a coordinate system.
  • FIG. 11 is a schematic explanatory diagram showing the operation of the movement mechanism of the optical lens inspection device according to the second embodiment together with the overall configuration;
  • FIG. 12 is a schematic diagram showing the moving mechanism shown in FIG. 11; FIG.
  • FIG. 11 is a flowchart showing a process of determining a moving range of an illumination member by an optical lens inspection device relating to the third embodiment;
  • FIG. 4 is an explanatory diagram showing a path of irradiation light from an illumination member to an imaging unit;
  • FIG. 4 is an explanatory diagram showing a path of irradiation light from an illumination member to an imaging unit;
  • FIG. 4 is an explanatory diagram showing a path of irradiation light from an illumination member to an imaging unit;
  • FIG. 4 is an explanatory diagram showing a path of irradiation light from an illumination member to an imaging unit;
  • FIG. 4 is an explanatory diagram showing a path of irradiation light from an illumination member to an imaging unit;
  • FIG. 4 is an explanatory diagram showing a path of irradiation light from an illumination member to an imaging unit;
  • FIG. 4 is an explanatory diagram showing a path of irradiation light from an illumination member to an imaging unit;
  • FIG. 4 is an explanatory diagram showing a path of irradiation light from an illumination member to an imaging unit; It is a figure explaining the preferable arrangement
  • FIG. 4 is a plan view showing the arrangement of lighting members that do not reflect bright field regions; It is explanatory drawing which shows an optical lens and the illumination member arranged curvilinearly. It is a side view which shows the illumination member and moving mechanism in the modification of 2nd Embodiment.
  • XYZ orthogonal coordinate axes (right-handed system) are appropriately attached to each drawing for explaining directions.
  • the Z direction on the coordinate axis indicates the vertical direction
  • the XY plane is the horizontal plane.
  • one side in the X direction may be called the +X side
  • the other side may be called the -X side.
  • the +Z side indicates the vertical upper side.
  • FIG. 1 is a block diagram showing the overall configuration of an inspection system 101.
  • Inspection system 101 includes optical lens inspection apparatus 100 according to the present embodiment.
  • the inspection system 101 includes a container 102 , a non-defective product container 103 , and a defective product container 104 .
  • the accommodation unit 102 accommodates an optical lens to be inspected.
  • the non-defective product storage unit 103 receives and stores an optical lens determined to be a non-defective product by the optical lens inspection device 100 .
  • the defective product storage unit 104 receives and stores optical lenses that have been determined to be defective by the optical lens inspection apparatus 100 .
  • the inspection system 101 further includes transfer mechanisms 105, 106, and 107.
  • the transfer mechanism 105 transfers the optical lens between the container 102 and the optical lens inspection device 100 .
  • the transfer mechanism 106 transfers the optical lens between the optical lens inspection device 100 and the non-defective product storage section 103 .
  • a transfer mechanism 107 transfers the optical lens between the optical lens inspection apparatus 100 and the defective product storage unit 104 .
  • the arrows in the figure indicate the directions in which the optical lenses are transported. Note that the transfer mechanism 106 and the transfer mechanism 107 may be configured by the same mechanism, or may be used in common.
  • the inspection system 101 is connected to the control unit 50, which will be described later in detail. Each device is controlled by the control unit 50 to process the optical lens.
  • FIG. 2 is a schematic diagram showing the overall configuration of the optical lens inspection device 100 according to this embodiment.
  • FIG. 3 is a schematic explanatory diagram showing the operation of the moving mechanism 4 of the optical lens inspection apparatus 100 according to the present embodiment together with the overall configuration.
  • An optical lens inspection apparatus 100 includes an imaging unit 2 that captures an image of an optical lens 1 to be inspected, an illumination member 3 that irradiates the optical lens 1 with light, and a moving mechanism 4 that moves the illumination member 3. .
  • the optical lens inspection device 100 is connected to the computer 5.
  • the computer 5 has the function of a control section 50 that controls the overall operation of the inspection system 101 .
  • a control unit 50 controls the overall operation of the optical lens inspection apparatus 100 .
  • the optical lens 1 is held by an optical lens holding portion (not shown) and fixed to the optical lens inspection device 100 .
  • the optical lens holding portion is composed of, for example, a plate-like member having a hollow hole. By holding the peripheral portion of the optical lens 1 in the hollow hole, the optical lens 1 is fixed to the optical lens inspection apparatus 100 .
  • the imaging unit 2 has an optical system 21 and an imaging device 22 .
  • the optical system 21 has an imaging lens 23 .
  • the imaging lens 23 guides the light from the illumination member 3 passing through the optical lens 1 to the imaging device 22 to form an image.
  • Optical system 21 further comprises an aperture stop 24 .
  • the aperture stop 24 functions as a shield that regulates the amount of light passing through the optical lens 1 and reaching the imaging device 22 .
  • the imaging device 22 is, for example, a CCD (Charge Coupled Device) image sensor or a CMOS (Complementary Metal Oxide Semiconductor) image sensor.
  • FIG. 7 is a block diagram showing the connection relationship between the control unit 50 and each component of the optical lens inspection device 100.
  • the control unit 50 stores a CPU (central processing unit) 51 that is a central processing unit that performs various arithmetic processing, a ROM (read only memory) 52 that is a read-only memory that stores basic programs, and various information. and a RAM (random access memory) 53 that is a readable and writable memory.
  • the CPU 51 is connected to the illumination member 3, the moving mechanism 4, the imaging section 2, etc., and the control section 50 controls these.
  • the control unit 50 causes the RAM 53 to store the image captured by the imaging unit 2 . Images stored in the RAM 53 are processed by the CPU 51 .
  • the control unit 50 is realized by the computer 5, for example.
  • FIG. 4 is an explanatory diagram showing an example of the configuration of the light sources of the illumination member 3.
  • the illumination member 3 is arranged to face the imaging unit 2 with the optical lens 1 interposed therebetween.
  • the lighting member 3 has a plurality of light sources 33 as shown in FIG. These light sources 33 are arranged linearly, for example.
  • the illumination member 3 may be composed of a plurality of LEDs (Light Emitting Diodes) arranged in a straight line, may be composed of a linear halogen lamp, or may be composed of a plurality of halogen lamps arranged in a straight line. Alternatively, a plurality of laser light sources may be linearly arranged in parallel.
  • LEDs Light Emitting Diodes
  • FIG. 5 is a schematic diagram showing the moving mechanism 4
  • FIG. 6 is a schematic diagram showing the moving mechanism 4 and the optical lens 1.
  • FIG. 5 shows the rotation direction 41R of the first rotating portion 41 that constitutes the moving mechanism 4 .
  • FIG. 6 also shows a rotation direction 42S of the second rotating portion 42 that constitutes the moving mechanism 4. As shown in FIG.
  • the moving mechanism 4 includes a first rotating portion 41 and a second rotating portion 42 attached to the first rotating portion 41 .
  • the lighting member 3 is fixed to the second rotating section 42 so that the irradiation direction of the light source 33 is directed toward the optical lens 1 .
  • the first rotating portion 41 rotates the illumination member 3 with respect to the optical lens 1 about the optical axis O1 of the optical lens 1 via the second rotating portion 42 .
  • the second rotating part 42 is composed of, for example, a goniometer stage.
  • the goniometer stage includes a guide rail 42a and a moving member 42b that moves on the guide rail 42a.
  • the guide rail 42a is fixed to the first rotating portion 41 on the first rotating portion 41 side.
  • the moving member 42b rotates on the guide rail 42a about the axis O2.
  • Axis O2 lies on principal plane P1 of optical lens 1 and includes center C of optical lens 1 .
  • the moving member 42b is arranged on the guide rail 42a.
  • the guide rail 42a guides the moving member 42b so that the moving member 42b reciprocates in the rotational direction 42S.
  • the illumination member 3 moves in the rotational direction 42S.
  • the second rotating section 42 moves the illumination member 3 relative to the optical lens 1 between a position closer to the optical axis O1 and a position further away from the optical axis O1.
  • the second rotating section 42 moves the lighting member 3 so that the angle between the line connecting the lighting member 3 and the axis O2 and the optical axis O1 is changed.
  • the second rotating section 42 when the first rotating section 41 rotates around the optical axis O1, the second rotating section 42 also rotates around the optical axis O1 as the first rotating section 41 rotates.
  • the illumination member 3 fixed to the second rotating portion 42 also rotates.
  • the irradiation direction 3D of light from the illumination member 3 to the optical lens 1 is changed along with the movement of the moving member 42b on the guide rail 42a.
  • the irradiation direction 3D of the light of the illumination member 3 with respect to the optical lens 1 is an illumination angle ⁇ at which the illumination member 3 moves on the goniostage (guide rail 42a) (the illumination angle ⁇ is such that the irradiation direction 3D coincides with the optical axis O1. 0 degree).
  • FIG. 8 is a plan view showing the positional relationship between the optical lens 1 and the illumination member 3.
  • the width d in which the plurality of light sources 33 are linearly arranged in the illumination member 3 is, for example, approximately the same as the diameter 2R of the optical lens 1 or larger than the diameter 2R.
  • d ⁇ 2R substantially the entire surface of the optical lens 1 is illuminated by the illumination member 3 by scanning the illumination member 3 only once in the direction of the arrow S in FIG.
  • substantially the entire surface of the optical lens 1 is illuminated by the illumination member 3 by moving the illumination member 3 also in the direction perpendicular to the arrow S direction in the XY plane direction of FIG.
  • the image processing performed by the CPU 51 is performed, for example, by using the dark field region 31 extracted from the image captured by the imaging unit 2 .
  • a dark field region 31 is a region existing at the boundary between a bright portion and a dark portion.
  • the bright portion is the bright field region 32 and the dark portion is the region where the light from the lighting member 3 does not reach.
  • the dark field region 31 is a region obtained by excluding the bright field region 32 from the entire region irradiated with light.
  • the bright field region 32 refers to a region obtained only from bright field light from the illumination member 3 .
  • the extraction of the dark field region 31 is performed by masking the bright field region 32, for example. An image of only the extracted dark field region 31 is obtained. The reason for extracting only the dark field region 31 is that the contrast is enhanced to facilitate the detection of fine flaws.
  • a predetermined area of the optical lens 1 is imaged by moving the illumination member 3 in the direction of the arrow S by the second rotating portion 42 .
  • a dark field image, which is an image of only the dark field region 31 obtained by this imaging, is created by the control unit 50 .
  • the quality of the optical lens 1 is determined based on this dark field image. Note that the predetermined area is, for example, an area in which a portion of the optical lens 1 where there is a high possibility of having a scratch is preferentially determined.
  • FIG. 9 is a plan view showing the positional relationship between two positions of the illumination member 3 obtained by rotating the illumination member 3 by the first rotating section 41 and the optical lens 1.
  • the first rotating portion 41 changes the direction of the axis O2 of the second rotating portion 42 of the illumination member 3 on the XY plane. Specifically, after the illumination member 3 illuminates a predetermined area of the optical lens 1 by rotating the second rotating part 42 in the initial position of the first rotating part 41 , the first rotating part 41 rotates the illumination member 3 around the optical axis O1. Rotate by a predetermined angle ⁇ . This predetermined angle ⁇ is, for example, 45 degrees around the optical axis O1.
  • the optical lens 1 is illuminated from a plurality of angles (a plurality of positions) by the illumination member 3 . Further, when the illumination member 3 is rotated by the first rotating portion 41, the optical lens 1 is illuminated from a plurality of illumination directions 3D.
  • the axis O2 is parallel to the X direction at the initial position of the first rotating portion 41, and the lighting member 3 (including the dark field region 31 and the bright field region 32) at this time is indicated by a dashed line.
  • the illumination member 3 (including the dark field region 31 and the bright field region 32) after the first rotating portion 41 has rotated from the initial position by the predetermined angle ⁇ is indicated by solid lines and broken lines.
  • a dark field region 31 and a bright field region 32 indicated by dashed lines show the state before passing through the optical lens 1 .
  • the defect 11 caused by a streak (linear) scratch is irradiated with light from a direction (at an angle of 0 degree or 180 degrees) parallel to the extending direction of the defect 11, Light scattering phenomenon is less likely to occur. For this reason, sufficient contrast may not be obtained between the scratch and the non-scratch portion in the captured image. For this reason, it may not be possible to detect scratches.
  • the defect 11 caused by a streaky (straight line) scratch is irradiated with light from a direction with an angle (angles other than 0 degree and 180 degrees), the light scattering phenomenon caused by the scratch occurs. likely to occur.
  • the irradiation direction 3D can be set in a plurality of directions, and it is easy to detect linear flaws that have been overlooked until now.
  • the transparent optical lens 1 is exemplified as an inspection target. If the transparent optical lens 1 has a defect 11 such as a scratch, the light from the illumination member 3 is scattered by the defect 11 . Since the size of the defect 11 is generally larger than the wavelength of light, when the defect 11 is irradiated with light, the so-called Mie scattering phenomenon (scattering of light by spherical particles having a size equal to or larger than the wavelength of light) occurs. break out. A part of the light scattered by this Mie scattering phenomenon (hereinafter referred to as “scattered light”) is imaged by the imaging unit 2 and image-processed by the control unit 50 to detect the defect 11 .
  • scattered light A part of the light scattered by this Mie scattering phenomenon
  • Image processing in the control unit 50 is performed by, for example, binarization processing.
  • binarized image for example, bright portions are processed as "H” and dark portions are processed as "L". If the scattered light is reflected, the part where the scattered light is reflected becomes bright and is processed as "H”. On the contrary, the part where the light is not reflected becomes dark, and the part is processed as "L”. Therefore, for example, when a portion in which scattered light is reflected in an image to be processed is processed as "H", the control unit 50 determines that the optical lens 1 is defective. On the other hand, if there is no part where scattered light is reflected, the entire image is processed as "L”, and the control unit 50 determines that the optical lens 1 is good.
  • FIG. 10 is a flowchart showing the process of inspecting the optical lens 1 by the optical lens inspection apparatus 100 according to the first embodiment.
  • step S1 irradiation of light from the illumination member 3 to the optical lens 1 is started.
  • the second rotating part 42 rotates (step S2).
  • the second rotating part 42 rotates manually or automatically. Automatic rotation is controlled by the controller 50 .
  • the second rotating section 42 is configured by a goniometer stage. The relationship between the trajectory of the illumination member 3 rotated by this goniostage and the irradiation position from the illumination member 3 on the principal plane P1 of the optical lens 1 is obtained as follows.
  • FIG. 11 is a diagram showing the positional relationship among the imaging device 22, the optical lens 1, and the illumination member 3 in a coordinate system.
  • the coordinates (0, 0) of the center C of the optical lens 1 the coordinates (y 0 , 0) of the position D irradiated from the illumination member 3 onto the principal plane P1 of the optical lens 1, and the imaging lens of the imaging unit 2
  • the coordinates (y s , z s ) of the position F of the illumination member 3 and the radius r of the arc J representing the possible range of the position F.
  • the center C of the optical lens 1 may be regarded as the center of the circle formed by the principal plane P1 of the optical lens 1 .
  • Position F is the intersection of arc J and line L.
  • the illumination angle ⁇ satisfies the following formula (6).
  • the illumination angle ⁇ I when the illumination light from the illumination member 3 illuminates the position D on the optical lens 1 , passes through the center E of the imaging lens and enters the imaging element surface is obtained. be done. That is, it is possible to obtain the illumination angle ⁇ when the position D is imaged in a bright field. Thereby, the movable range of the illumination angle ⁇ with respect to the center position C of the optical lens 1 is obtained.
  • step S2 the lighting member 3 rotates about the axis O2 as the second rotating section 42 rotates. Due to the rotation of the illumination member 3, a predetermined area of the optical lens 1 (predetermined area, for example, the entire area where the optical lens 1 is imaged by the imaging unit 2) is illuminated. In step S3, it is determined whether or not the rotation of the second rotating portion 42 has ended. When it is determined that the rotation has ended, the imaging unit 2 takes an image of the optical lens 1 while the light irradiation is maintained (step S4). As described above, the optical lens inspection apparatus 100 irradiates the optical lens 1 with light from the illumination member 3, and the optical lens 1 is detected by the imaging unit 2 arranged facing the illumination member 3 with the optical lens 1 interposed therebetween.
  • step S3 Take an image (first imaging step).
  • step S3 If it is determined in step S3 that the rotation has not ended, the process returns to step S2 and the second rotating section 42 is rotated.
  • step S5 the control unit 50 processes the image captured by the imaging unit 2. This image is processed by extracting only the dark field region 31 as described above. In the control unit 50, a dark field image is formed by only the extracted image of the dark field region 31. FIG. In step S6, the controller 50 determines whether or not the dark field image includes scattered light due to the defect 11 of the optical lens 1 (step S6).
  • step S6 If it is determined in step S6 that the scattered light is not included in the dark field image, the optical lens 1 is determined to be good (step S7). If it is determined in step S6 that the scattered light is included in the dark field image, it is determined that the optical lens 1 is defective (step S8).
  • step S9 it is determined whether the rotation of the first rotating section 41 is necessary (step S9). This is because it is difficult to detect a flaw that forms a small angle with the projection onto P1 of the light irradiation direction 3D of the illumination member 3 only by scanning the optical lens 1 by the second rotating portion 42 . Therefore, in the present embodiment, after step S11 is executed and the first rotating section 41 rotates, the process returns to step S3.
  • the angle by which the first rotating section 41 rotates in step S11 is, for example, 45 degrees around the optical axis O1.
  • the second rotating portion 42 rotates again in step S3, so that the illumination member 3 changes the projection direction of the irradiation direction 3D onto P1.
  • the optical lens inspection apparatus 100 of the present embodiment even streaky (linear) scratches on the optical lens 1 are easily detected.
  • step S9 If the first rotating part 41 has already rotated and the illumination member 3 has projected light onto the optical lens 1 by changing the direction of projection of the irradiation direction 3D onto P1, the first rotating part 41 is rotated in step S9. 41 is determined to be unnecessary. Then, the optical lens 1 is determined to be good (step S10), and the inspection of the optical lens 1 by the optical lens inspection device 100 is completed. On the other hand, if the optical lens 1 needs to be illuminated from a different angle, it is determined in step S9 that the first rotating section 41 needs to be rotated. When it is determined in step S9 that the first rotating portion 41 needs to be rotated, the first rotating portion 41 rotates (step S11) (rotating step).
  • the optical lens inspection apparatus 100 rotates the illumination member 3 relatively to the optical lens 1 about the optical axis O1 of the optical lens 1 . Then, the optical lens inspection apparatus 100 arranges the optical lens 1 and the illumination member 3 in a positional relationship different from that in the first imaging step. After the first rotating part 41 rotates, the process returns to step S2. After the rotating process of step S11, the optical lens inspection apparatus 100 irradiates the optical lens 1 with light from the illumination member 3 while rotating the second rotating part 41. 42 is rotated, and an image of the optical lens 1 is imaged by the imaging unit 2 (second imaging step). Then, the optical lens 1 is inspected.
  • FIG. 12 is a schematic explanatory diagram showing the operation of the moving mechanism 240 of the optical lens inspection device 200 according to the second embodiment together with the overall configuration.
  • the optical lens inspection device 200 of the second embodiment includes a moving mechanism 240.
  • the moving mechanism 240 includes a first rotating portion 41 and a planar moving portion 242 fixed to the first rotating portion 41 .
  • FIG. 13 is a schematic diagram showing the moving mechanism 240 of FIG. In FIG. 12, the rotation direction 41R of the first rotation portion 41 and the movement direction 242S of the planar movement portion 242, which constitute the moving mechanism 240, are shown.
  • the plane moving unit 242 moves the illumination member 3 on a plane (XY plane) perpendicular to the optical axis O1.
  • the planar moving portion 242 includes a guide rail 242a and a moving member 242b that moves on the guide rail 242a.
  • the guide rail 242 a is fixed to the first rotating portion 41 .
  • the guide rail 242a guides the moving member 242b so that the moving member 242b reciprocates in a linear moving direction 242S on the XY plane.
  • the illumination member 3 is fixed to the moving member 242b and moves with the movement of the moving member 242b. As the moving member 242b moves in the moving direction 242S, the illumination member 3 moves in the direction 242S. In this manner, the planar movement section 242 moves the illumination member 3 between a position closer to the optical axis O1 and a position further away from the optical axis O1.
  • the rotational movement of the illumination member 3 by the second rotating section 42 in step S3 is changed to the linear movement of the illumination member 3 by the planar movement section 242, and the optical lens inspection apparatus 200 A process of inspection by is obtained. That is, in the second embodiment, the position F of the illumination member 3 moves not on the arc J but on a straight line parallel to the Y-axis.
  • Other points of the inspection process by the optical lens inspection apparatus 200 are the same as those of the inspection process by the optical lens inspection apparatus 100 .
  • the optical lens inspection apparatus 200 employs the planar moving section 242 , it is possible to move the illumination member 3 with a simpler configuration than employing the second rotating section 42 .
  • the configuration of the second rotating portion 42 is preferable in that the irradiation direction 3D of the light from the illumination member 3 to the optical lens 1 can be easily changed along with the movement of the moving member 42b.
  • the third embodiment utilizes an apparatus having the same configuration as the optical lens inspection apparatus 100 relating to the first embodiment.
  • the illumination member 3 moves within a range in which the bright field light from the illumination member 3 does not enter the imaging unit 2 .
  • This range is determined in advance by imaging a sample optical lens having the same shape as the optical lens 1 to be inspected.
  • FIG. 14 is a flow chart showing the process of determining the moving range of the illumination member 3 by the optical lens inspection apparatus 100 according to the third embodiment.
  • the optical lens inspection apparatus 100 illuminates a sample optical lens having the same shape as the optical lens 1 from a plurality of positions with different relative positions with respect to the sample optical lens, using the illumination member 3 .
  • the optical lens inspection apparatus 100 captures an image of the sample optical lens by the imaging unit 2 facing the illumination member 3 with the sample optical lens interposed therebetween.
  • a sample optical lens having the same shape as the optical lens 1 is inspected.
  • a sample optical lens set in the optical lens inspection apparatus 100 is irradiated with light from the illumination member 3 (step S101).
  • a lens having the same shape as the optical lens 1 to be actually inspected is adopted as the sample optical lens.
  • the imaging unit 2 starts imaging the sample optical lens (step S102).
  • step S102 After the illumination member 3 starts irradiating the sample optical lens with light in step S101, the second rotating section 42 rotates (step S102).
  • step S102 the lighting member 3 rotates about the axis O2 as the second rotating section 42 rotates.
  • a predetermined area of the sample optical lens predetermined area, for example, the entire area where the optical lens 1 is imaged by the imaging unit 2 is illuminated.
  • step S103 it is determined whether or not the rotation of the second rotating portion 42 has ended.
  • the image of the sample optical lens is captured by the imaging unit 2 (step S104).
  • the optical lens inspection apparatus 100 captures an image of the sample optical lens with the imaging unit 2 while illuminating the sample optical lens with the illumination member 3 (sample imaging step). After that, the process proceeds to step S105.
  • step S103 If it is determined in step S103 that the rotation has not ended, the process returns to step S102 and the rotation of the second rotating section 42 is continued. Determining whether or not to rotate the first rotating portion 41 is required for the same reason as in the case of the optical lens 1 in the first embodiment.
  • step S105 it is determined whether or not the first rotating section 41 needs to be rotated.
  • step S105 it is determined that rotation of the first rotating portion 41 is necessary, and the rotation of the first rotating portion 41 is executed and the first rotating portion 41 rotates (step S106).
  • the optical lens inspection apparatus 100 illuminates the sample optical lens with the illumination member 3 in a plurality of positional relationships in which the relative positions of the sample optical lens and the illumination member 3 are different.
  • the number of rotations of the first rotating section 41 is greater than the number of rotations of the first rotating section 41 during imaging of the optical lens 1 to be imaged later. This is because it is preferable to know the dark field region 31 and the bright field region 32 in the optical lens 1 in advance.
  • the process returns to step S102 again. By repeating these operations, the range in which the dark field region can be obtained is grasped in the optical lens 1 to be imaged later.
  • step S105 the first rotating part 41 is determined to be unnecessary.
  • the image captured by the imaging unit 2 is processed by the control unit 50 in step S107.
  • the control unit 50 By processing this image, it is determined whether or not the bright field region 32 is reflected in the captured image.
  • 15 to 20 are explanatory diagrams showing paths of irradiation light from the illumination member 3 to the imaging unit 2.
  • FIG. 15 and 16 show the case where the illumination member 3, the optical lens 1, and the imaging unit 2 have the same arrangement relationship.
  • 17 and 18 show the case where the illumination member 3, the optical lens 1, and the imaging unit 2 are arranged under the same condition.
  • 19 and 20 show the case where the illumination member 3, the optical lens 1, and the imaging unit 2 have the same arrangement relationship.
  • 15, 17, and 19 show cases where there is no defect 11 in the position of the optical lens 1 irradiated with light from the illumination member 3.
  • FIG. 16, 18, and 20 show cases where there is a defect 11 in the position of the optical lens 1 irradiated with light from the illumination member 3.
  • FIG. 15 shows a case where the irradiation light from the illumination member 3 collides with the defect 11 of the optical lens 1, causing a scattering phenomenon. Scattered light due to this scattering phenomenon passes through the optical lens 1 , the imaging lens 23 , and the aperture stop 24 and reaches the imaging device 22 . In both FIG. 15 and FIG. 16, the light emitted from the lighting member 3 is reflected in the captured image. Therefore, in the arrangement of the illumination member 3 shown in FIGS. 15 and 16, it is not clear whether the optical lens 1 has the defect 11 or not.
  • FIG. 17 shows a case where the irradiation light from the illumination member 3 collides with the defect 11 of the optical lens 1, causing a scattering phenomenon. Part of the scattered light due to this scattering phenomenon passes through the optical lens 1 , the imaging lens 23 , and the aperture stop 24 and reaches the imaging device 22 .
  • FIGS. 17 and 18 show the arrangement of the illumination member 3 shown in FIGS. 17 and 18, light is reflected in the captured image only when there is a defect 11 in the optical lens 1, so the presence or absence of the defect 11 in the optical lens 1 is clear. .
  • FIG. 19 shows a case where the irradiation light from the illumination member 3 collides with the defect 11 of the optical lens 1, causing a scattering phenomenon. Scattered light due to this scattering phenomenon passes through the optical lens 1 and the aperture stop 24 and reaches the imaging device 22 . Therefore, with the arrangement of the illumination member 3 shown in FIGS. 19 and 20, the presence or absence of the defect 11 in the optical lens 1 becomes clear.
  • FIG. 21 is a diagram illustrating an example of a preferable arrangement of the illumination member 3 for clarifying the presence or absence of the defect 11 of the optical lens 1.
  • FIG. 4 is a diagram showing; In FIG. 21, the illumination angle .theta. on the horizontal axis indicates the illumination angle .theta. in FIGS.
  • the illumination angle ⁇ is controlled by the operation of the second rotating section 42 (first embodiment) or plane moving section 242 (second embodiment).
  • P indicates the pixel value of the portion corresponding to the defect 11 in the captured image
  • P' indicates the pixel value of the portion corresponding to the periphery of the defect 11 in the captured image.
  • the portion corresponding to the defect 11 and the portion corresponding to the periphery of the defect 11 are distinguished from the portion corresponding to the defect 11 and the periphery of the defect 11 in the captured image based on the information of the position where the defect 11 is created. This is done by specifying in advance the position of each pixel of the portion to be processed.
  • the range of the illumination angle ⁇ 1 is the region in which the bright field region 32 is reflected. In this range, the pixel values are generally high due to the influence of bright field light. This range is a range in which P and P' are indistinguishable.
  • the degree of detection P/P' indicated on the vertical axis (right side) indicates [value of P]/[value of P'].
  • the degree of detection P/P′ is 1, and the presence or absence of the defect 11 in the optical lens 1 is not clear. I understand.
  • the illumination angle ⁇ is the value ⁇ 2 ( ⁇ 7.5 [deg]) or more
  • the degree of detection P/P′ generally exceeds 1.5.
  • the degree of detection P/P' exceeds 1.5, the defect 11 becomes so clear that the defect 11 can be fully grasped. Therefore, it can be seen that the presence or absence of the defect 11 in the optical lens 1 becomes clear.
  • the degree of detection P/P′ greatly exceeds 1.5, indicating that the presence or absence of the defect 11 in the optical lens 1 is significant.
  • the bright-field light from the illumination member 3 is not reflected when the degree of detection P/P' exceeds 1.5.
  • the degree of detection P/P′ is 1 when bright field light is reflected in the image.
  • the illumination member 3 is arranged under the condition that the degree of detection P/P' increases ( ⁇ 2 ⁇ 16 [deg])
  • the difference between the defect 11 and the non-defective portion becomes clear. Therefore, even if the number of images taken is small, the defect 11 can be detected. Therefore, when the degree of detection increases, the number of images to be captured can be reduced, and the optical lens 1 can be inspected in a short time and at low cost.
  • FIG. 22 is a plan view showing the arrangement of the lighting members 3 in which the bright field region 32 is not reflected.
  • a particularly preferable condition for arranging the illumination member 3 is that the arrangement of the illumination member 3 is such that the distance from the center C of the optical lens 1 in XY plan view is R+w (R is the radius of the optical lens 1, w is the illumination member 1/2 of the width of 3 (2w)).
  • R is the radius of the optical lens 1
  • w is the illumination member 1/2 of the width of 3 (2w)
  • the condition of this illumination angle ⁇ depends on the power of the optical lens 1 .
  • step S109 the movement range of the illumination member 3 with respect to the sample optical lens is set to the movement range of the illumination member 3 in the inspection of the optical lens 1. is determined as the range of
  • step S110 the optical lens 1 is determined as the range of movement of the illumination member 3 in the inspection of .
  • the relative positional relationship between the sample optical lens of the illumination member 3 and the imaging unit 2 when an image in which the bright field light from the illumination member 3 does not enter (is not reflected) is It is employed for the relative positional relationship of the illumination member 3 with respect to the optical lens 1 and the imaging unit 2 in the first imaging process and the second imaging process.
  • the optical lens inspection apparatus 100 inspects the optical lens 1 within a predetermined range of movement of the illumination member 3. Specifically, the inspection of the optical lens 1 is performed according to the same flow as the flow in FIG.
  • the optical lens inspection apparatus 100 illuminates the optical lens 1 from a plurality of positions relative to the optical lens 1 by the illumination member 3 and captures an image by the imaging unit 2 .
  • the optical lens inspection apparatus 100 is a sample optical lens of the illumination member 3 when an image in which the bright field light from the illumination member 3 does not enter (an image in which the bright field region 32 is not reflected) is captured. and the imaging unit 2 is employed as the relative positional relationship of the illumination member 3 with respect to the optical lens 1 and the imaging unit 2 .
  • FIG. 23 is an explanatory diagram showing the optical lens 1 and the illumination members 3 arranged in a curved line.
  • the light-emitting portions of the illumination member 3 are arranged in a shape (for example, a curved shape) corresponding to the shape of the convex surface or concave surface of the optical lens 1, so that each light-emitting portion of the illumination member 3 and the optical lens 1 are aligned.
  • the distances can be approximately the same. This makes it easier for the light emitted from each light-emitting portion to be focused on the imaging section 2 after passing through the optical lens 1 . Therefore, the defect 11 of the optical lens 1 is easily detected.
  • the optical lens 1 may rotate relative to the illumination member 3 about the optical axis O1. Therefore, a configuration in which the optical lens 1 rotates instead of the illumination member 3 may be employed.
  • the aperture stop 24 may be adjusted by the controller 50 so that bright field light from the illumination member 3 does not enter the imaging lens 23, for example.
  • the control unit 50 controls the aperture diaphragm 24 so that the contrast is suitable for image processing.
  • the distance between the optical lens 1 and the imaging unit 2 and the distance between the optical lens 1 and the lighting member 3 may also be adjusted under the control of the control unit 50 .
  • a position adjustment mechanism for the optical lens 1 a position adjustment mechanism for the imaging unit 2, or a position adjustment mechanism for the illumination member 3 is provided, and these position adjustment mechanisms (none of which are shown) , the above distance is adjusted.
  • the second rotating section 42 is configured by, for example, a goniometer stage. However, it is not limited to this.
  • step S9 the determination of whether or not the rotation of the first rotating section 41 is necessary (step S9) may be performed before the processing of the image captured by the imaging section 2 (step S5). That is, after acquiring a plurality of images captured by arranging the optical lens 1 and the illumination member 3 in a plurality of different positional relationships, the processing of the plurality of images may be collectively performed.
  • FIG. 24 is a side view showing the lighting member 3 and the moving mechanism 240 in the modified example of the second embodiment.
  • the optical lens inspection apparatus 200 in this modified example further includes an irradiation angle changing section 233 that changes the irradiation direction 3D of the light from the illumination member 3 .
  • the irradiation angle changer 233 connects the illumination member 3 to the planar movement unit 242 .
  • the irradiation angle changer 233 is configured to be rotatable around the X-axis direction as a central axis. Therefore, the illumination member 3 rotates around the X-axis as the irradiation angle changing unit 233 rotates.
  • the X-axis direction is a direction perpendicular to the moving direction of the moving member 242b. By rotating in the direction perpendicular to the moving direction of the moving member 242b in this manner, the irradiation angle of the light from the illumination member 3 to the optical lens is changed. Therefore, the optical lens is irradiated with light corresponding to the concave-convex shape of the optical lens.
  • the optical lens inspection apparatus 200 of the second embodiment allows the lighting member 3 to change the irradiation angle of light without depending on the moving mechanism 240 .
  • the optical lens 1 is illuminated by the illumination member 3 from a plurality of angles (a plurality of positions).
  • the optical lens inspection devices 100 and 200 include the second rotating section 42, but may be configured without the second rotating section 42.
  • the dark field region 31 which is the boundary region between the bright portion and the dark portion, expands.
  • the dark field region 31 can be widened by increasing the intensity of the light emitted from the illumination member 3 .
  • the intensity of the illumination light from the illumination member 3 is increased to the extent that the dark field region 31 can be widened. If the dark field region 31 is widened, it is conceivable that substantially the entire region of the optical lens 1 can be imaged as a dark field image only by rotating the first rotating part 41 .
  • optical lens 2 imaging unit 3 illumination member 3D light irradiation direction 4,240 moving mechanism 5 computer 11 defect 21 optical system 22 imaging device 23 imaging lens 24 aperture stop 31 dark field region 32 bright field region 33 light source 41 first rotation unit 41R Rotational direction of first rotating part 42 Second rotating part 42S Rotational direction of second rotating part 42a, 242a Guide rails 42b, 242b Moving member 50 Control part 51 CPU 52 ROMs 53 RAM REFERENCE SIGNS LIST 100 Optical lens inspection device 101 Inspection system 102 Storage unit 103 Non-defective product storage unit 104 Defective product storage unit 105, 106, 107 Transfer mechanism 230R Rotational direction of illumination member 233 Irradiation angle changing unit 242 Planar moving unit 242S Moving direction O1 Optical lens light Axis O2 Axis of rotation of the second rotating part P1 Principal plane of the optical lens C Center

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Abstract

光学レンズ検査装置１００は光学レンズ１を検査する。光学レンズ検査装置１００は、光学レンズ１を撮像する撮像部２と、光学レンズ１を挟んで撮像部２と対向して配置され、光学レンズ１に対して光を照射する直線状に配列される照明部材３と、照明部材３を、光学レンズ１の光軸Ｏ１を略中心として光学レンズ１に対して相対的に回転させる第１回転部４１とを備える。

Description

光学レンズ検査装置、および光学レンズ検査方法
　本願明細書に開示される技術は、光学レンズ検査装置、および光学レンズ検査方法に関する。
　光学レンズ（以下では単に「レンズ」とも称される）の傷等を検査するための装置として、特許文献１に記載の装置が提案されている。この特許文献１に記載のレンズ検査装置は、レンズを搭載するステージに対して一方側からレンズを撮像するカメラと、レンズを挟んでカメラの他方側からライン状の暗視野照明用検査光を照明するライン照明手段と、当該ライン照明手段をステージと平行に直線移動可能なリニアスライダを備える。特許文献１では、ライン状の暗視野照明用検査光の延出方向と直交する方向に照明装置を直線移動させる。ライン照明手段から投光される暗視野照明用検査光がレンズに照射され、レンズを透過した暗視野照明用検査光が撮像装置の固体撮像素子に受光される。照明装置の移動に伴い、それに同期して暗視野領域を連続的に抽出して、各暗視野領域を合成し、レンズ全面の暗視野画像を生成する。
特開２００４－２１２３５３号公報
　このような特許文献１に記載の装置では、検査に用いる暗視野領域の画像において、レンズに対する光の照射角度は常に、照明装置が移動する直線状の方向に対して所定角度だけ傾斜した方向となる。レンズに線状の傷等が生じている場合であって、光の照射方向とレンズに生じた略直線状の傷等の延在方向とが同方向である場合は、レンズの傷等に対して暗視野照明用検査光が衝突するときに起こる光の散乱現象が起こりにくい。したがって、このような場合には、散乱光強度が十分得られず、異常発生箇所の検出ができないことがある。このため、特許文献１に記載の装置では、略直線状の傷等の延在方向によっては、傷等の検出がし難いという問題があった。
　本願明細書に開示される技術は、以上に記載されたような問題に鑑みてなされたものである。この技術は、傷等の検出が容易な光学レンズ検査装置、および光学レンズ検査方法に関する技術である。
　本願明細書に開示される光学レンズ検査装置の第１の態様は、光学レンズを検査する装置であって、前記光学レンズを撮像する撮像部と、前記光学レンズを挟んで前記撮像部と対向して配置され、前記光学レンズに対して光を照射する直線状または曲線状を有する照明部材と、前記照明部材を、前記光学レンズの光軸を略中心として前記光学レンズに対して相対的に回転させる第１回転部と、を備える。
　本願明細書に開示される光学レンズ検査装置の第２の態様は、第１の態様の光学レンズ検査装置において、前記照明部材を、前記光軸に近づく位置と前記光軸から遠ざかる位置との間で前記光学レンズに対して相対的に移動させる移動機構をさらに備える。
　本願明細書に開示される光学レンズ検査装置の第３の態様は、第２の態様の光学レンズ検査装置において、前記移動機構は前記照明部材を、前記光学レンズの主平面上に位置し前記光学レンズの中心を含む軸を略中心として、前記光学レンズに対して相対的に回転させる第２回転部により構成される。
　本願明細書に開示される光学レンズ検査装置の第４の態様は、第２の態様の光学レンズ検査装置において、前記移動機構は、前記光軸に垂直な平面上に前記照明部材を移動させる平面移動部により構成される。
　本願明細書に開示される光学レンズ検査装置の第５の態様は、第４の態様の光学レンズ検査装置において、前記照明部材の光の照射方向を変更する照射角度変更部をさらに備える。
　本願明細書に開示される光学レンズ検査装置の第６の態様は、第１の態様ないし第５の態様のいずれか一つの態様の光学レンズ検査装置において、前記照明部材は、前記撮像部に前記照明部材からの明視野光が入らない範囲で移動する。
　本願明細書に開示される光学レンズ検査装置の第７の態様は、第６の態様の光学レンズ検査装置において、前記範囲は、予め前記光学レンズと同一形状のサンプル光学レンズを撮像したときに前記撮像部に前記照明部材が撮像されない範囲に決定される。
　本願明細書に開示される光学レンズ検査装置の第８の態様は、第１の態様ないし第７の態様の光学レンズ検査装置において、前記照明部材は直線状に配列され、前記照明部材の配列される直線状の幅は、前記光学レンズの直径と略同一、または、前記光学レンズの直径よりも大きい。
　本願明細書に開示される光学レンズ検査装置の第９の態様は、第１の態様ないし第８の態様の光学レンズ検査装置において、前記撮像部で撮像された画像に基づき、前記光学レンズの良否を判定する制御部をさらに備える。
　本願明細書に開示される光学レンズ検査方法の第１の態様は、光学レンズを検査する方法であって、直線状または曲線状を有する照明部材から前記光学レンズに対して光を照射しつつ、前記光学レンズを挟んで前記照明部材と対向して配置された撮像部により前記光学レンズを撮像する第１撮像工程と、前記照明部材を、前記光学レンズの光軸を略中心として前記光学レンズに対して相対的に回転させ、前記光学レンズと前記照明部材を前記第１撮像工程と異なる位置関係に配置する回転工程と、前記回転工程後に、前記光学レンズに対して前記照明部材から光を照射しつつ、前記撮像部により前記光学レンズを撮像する第２撮像工程と、を備える。
　本願明細書に開示される光学レンズ検査方法の第２の態様は、第１の態様の光学レンズ検査方法において、前記光学レンズと同一形状のサンプル光学レンズを、前記サンプル光学レンズと前記照明部材との相対的な位置が異なる複数の位置関係において、前記照明部材によって照明しつつ、前記撮像部によって撮像するサンプル撮像工程をさらに備え、前記サンプル撮像工程において前記照明部材からの明視野光が入らない画像が撮像されたときの前記照明部材の前記サンプル光学レンズと前記撮像部とに対する相対的な位置関係が、前記第１撮像工程及び前記第２撮像工程における前記照明部材の前記光学レンズと前記撮像部とに対する相対的な位置関係に採用される。
　本願明細書に開示される光学レンズ検査装置の第１から第９の態様および光学レンズ検査方法の第１の態様から第２の態様によれば、傷等の検出が容易である。
　本願明細書に開示される技術に関連する目的と、特徴と、局面と、利点とは、以下に示される詳細な説明と添付図面とによって、さらに明白となる。
第１の実施の形態に関する光学レンズ検査装置を含む検査システムの全体構成を示すブロック図である。 第１の実施の形態に関する光学レンズ検査装置の全体構成を示す概略図である。 第１の実施の形態に関する光学レンズ検査装置の移動機構の動作を全体構成とともに示す概略説明図である。 照明部材の光源の構成の例を示す説明図である。 移動機構を示す概略図である。 移動機構と光学レンズとを示す概略図である。 コンピュータに備えられる制御部と光学レンズ検査装置の各構成との接続の関係を示すブロック図である。 光学レンズと照明部材との位置関係を示す平面図である。 照明部材が第１回転部により回転した後の光学レンズと照明部材との位置関係を示す平面図である。 第１の実施の形態に関する光学レンズ検査装置により光学レンズが検査される工程を示すフロー図である。 撮像デバイス、光学レンズ、および照明部材の位置関係を座標系で示す図である。 第２の実施の形態に関する光学レンズ検査装置の移動機構の動作を全体構成とともに示す概略説明図である。 図１１に示された移動機構を示す概略図である。 第３の実施の形態に関する光学レンズ検査装置による照明部材の移動する範囲が決定される工程を示すフロー図である。 照明部材から撮像部までの照射光の経路を示す説明図である。 照明部材から撮像部までの照射光の経路を示す説明図である。 照明部材から撮像部までの照射光の経路を示す説明図である。 照明部材から撮像部までの照射光の経路を示す説明図である。 照明部材から撮像部までの照射光の経路を示す説明図である。 照明部材から撮像部までの照射光の経路を示す説明図である。 光学レンズの欠陥の有無が明確になるための照明部材の好ましい配置を説明する図である。 明視野領域が映り込まない照明部材の配置を示す平面図である。 光学レンズと曲線状に配列された照明部材とを示す説明図である。 第２の実施の形態の変形例における照明部材と移動機構とを示す側面図である。
　以下、添付される図面を参照しながら実施の形態について説明する。以下の実施の形態では、技術の説明のために詳細な特徴なども示されるが、それらは例示であり、実施の形態が実施可能となるためにそれらすべてが必ずしも必須の特徴ではない。
　なお、図面は概略的に示され、説明の便宜のため、適宜、構成の省略、または、構成の簡略化が図面においてなされる。また、異なる図面にそれぞれ示される構成などの大きさおよび位置の相互関係は、必ずしも正確に記載されるものではなく、適宜変更され得るものである。また、断面図ではない平面図などの図面においても、実施の形態の内容を理解することを容易にするために、ハッチングが付される場合がある。
　以下に示される説明では、同様の構成要素には図面において同じ符号が付され、それらの名称と機能とについても同様のものとする。したがって、それらについての詳細な説明は、重複を避けるために省略される場合がある。
　以下に記載される説明において、ある構成要素を「備える」、「含む」または「有する」などと記載される場合、特に断らない限り、当該記載は他の構成要素の存在を除外する排他的な表現ではない。
　以下に記載される説明において、序数、例えば「第１」および「第２」が用いられる場合があっても、これらの用語は、実施の形態の内容を理解することを容易にするために便宜上用いられ、実施の形態において説明される技術はこれらの序数によって生じ得る順序に限定されない。
　図面において、理解を容易にする目的で、各部の寸法および数が誇張または簡略化して図示されている場合がある。また、各図面には、方向を説明するためのＸＹＺ直交座標軸（右手系）が適宜に付されている。該座標軸におけるＺ方向は鉛直方向を示し、ＸＹ平面は水平面である。以下では、Ｘ方向の一方側を＋Ｘ側と呼び、その反対側を－Ｘ側と呼ぶことがある。Ｙ軸およびＺ軸についても同様であり、＋Ｚ側は鉛直上側を示す。
　＜第１の実施の形態＞
　以下、第１の実施の形態に関する光学レンズ検査装置１００について説明する。
　＜光学レンズ検査装置１００の構成＞
　図１は、検査システム１０１の全体構成を示すブロック図である。検査システム１０１は、本実施の形態に関する光学レンズ検査装置１００を含む。検査システム１０１は、収容部１０２と、良品収容部１０３と、不良品収容部１０４とを備える。収容部１０２は、検査対象となる光学レンズを収容する。良品収容部１０３は、光学レンズ検査装置１００で良品と判断された光学レンズを受け取って収容する。不良品収容部１０４は、光学レンズ検査装置１００で不良品と判断された光学レンズを受け取って収容する。
　検査システム１０１は移送機構１０５，１０６，１０７をさらに備える。移送機構１０５は、収容部１０２と光学レンズ検査装置１００との間で光学レンズを移送する。移送機構１０６は、光学レンズ検査装置１００と良品収容部１０３との間で光学レンズを移送する。移送機構１０７は、光学レンズ検査装置１００と不良品収容部１０４との間で光学レンズを移送する。図中の矢印は、光学レンズが移送される方向を示す。なお、移送機構１０６と移送機構１０７は、互いに同一の機構によって構成されても良いし、兼用されても良い。
　検査システム１０１は、後に詳細に説明される制御部５０と接続される。制御部５０により、それぞれの装置が制御されて光学レンズの処理を行う。
　図２は、本実施の形態に関する光学レンズ検査装置１００の全体構成を示す概略図である。また、図３は、本実施の形態に関する光学レンズ検査装置１００の移動機構４の動作を全体構成とともに示す概略説明図である。光学レンズ検査装置１００は、検査対象となる光学レンズ１を撮像する撮像部２と、光学レンズ１に対して光を照射する照明部材３と、照明部材３を移動させる移動機構４と、を備える。
　光学レンズ検査装置１００は、コンピュータ５に接続される。コンピュータ５は、検査システム１０１の全体動作の制御を行う制御部５０の機能を備える。制御部５０は光学レンズ検査装置１００の全体動作の制御を行う。
　光学レンズ１は図示しない光学レンズ保持部により保持されて光学レンズ検査装置１００に固定される。光学レンズ保持部は、例えば中空孔が形成された板状部材により構成される。この中空孔に光学レンズ１の周縁部が保持されることにより、光学レンズ１が光学レンズ検査装置１００に固定される。
　撮像部２は、光学系２１と、撮像デバイス２２とを有する。光学系２１は撮像レンズ２３を備える。撮像レンズ２３は、光学レンズ１を通過する照明部材３からの光を撮像デバイス２２に導いて結像させる。光学系２１はさらに開口絞り２４を備える。開口絞り２４は、光学レンズ１を通過して撮像デバイス２２に到達する光の量を調整する遮蔽物として機能する。撮像デバイス２２は、例えば、ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ　Ｃｏｕｐｌｅｄ　Ｄｅｖｉｃｅ）イメージセンサ、または、ＣＭＯＳ（Ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ　Ｍｅｔａｌ　Ｏｘｉｄｅ　Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）イメージセンサである。
　図７は、制御部５０と光学レンズ検査装置１００の各構成との接続の関係を示すブロック図である。例えば制御部５０は、各種演算処理を行う中央演算処理装置であるＣＰＵ（ｃｅｎｔｒａｌ　ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ　ｕｎｉｔ）５１と、基本プログラムを記憶する読み出し専用のメモリであるＲＯＭ（ｒｅａｄ　ｏｎｌｙ　ｍｅｍｏｒｙ）５２と、各種情報を記憶する読み書き自在のメモリであるＲＡＭ（ｒａｎｄｏｍ　ａｃｃｅｓｓ　ｍｅｍｏｒｙ）５３と、を備える。ＣＰＵ５１は照明部材３、移動機構４、撮像部２等に接続され、制御部５０はこれらを制御する。また、制御部５０は、撮像部２で撮像された画像をＲＡＭ５３に記憶させる。ＲＡＭ５３で記憶された画像は、ＣＰＵ５１で処理される。制御部５０は例えばコンピュータ５によって実現される。
　図４は、照明部材３の光源の構成の例を示す説明図である。照明部材３は、光学レンズ１を挟んで撮像部２と対向して配置される。照明部材３は図４に示すように複数の光源３３を有する。これらの光源３３は例えば直線状に配列される。照明部材３は、複数のＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ　Ｅｍｉｔｔｉｎｇ　Ｄｉｏｄｅ）が直線状に配置されることにより構成されても、直線状のハロゲンランプにより構成されても、複数のハロゲンランプが直線状に並列されて構成されても、複数のレーザー光源が直線状に並列されて構成されても良い。
　照明部材３は、移動機構４に固定されて、移動機構４の移動に伴って移動する。図５は、移動機構４を示す概略図であり、図６は、移動機構４と光学レンズ１とを示す概略図である。図５においては、移動機構４を構成する第１回転部４１の回転方向４１Ｒが示される。また、図６においては、移動機構４を構成する第２回転部４２の回転方向４２Ｓが示される。
　移動機構４は、第１回転部４１と、第１回転部４１に取付られる第２回転部４２とを備える。照明部材３は、光源３３の照射方向が光学レンズ１方向を向くように、第２回転部４２に固定される。第１回転部４１は、第２回転部４２を介して照明部材３を光学レンズ１の光軸Ｏ１を略中心として光学レンズ１に対して回転させる。
　第２回転部４２は、例えば、ゴニオステージにより構成される。ゴニオステージは、ガイドレール４２ａと、ガイドレール４２ａ上を移動する移動部材４２ｂとを備える。ガイドレール４２ａは第１回転部４１側において第１回転部４１に固定される。第１回転部４１とは反対側において、軸Ｏ２を略中心として、移動部材４２ｂはガイドレール４２ａ上を回転する。軸Ｏ２は、光学レンズ１の主平面Ｐ１上に位置し光学レンズ１の中心Ｃを含む。移動部材４２ｂはガイドレール４２ａ上に配置される。ガイドレール４２ａは、移動部材４２ｂが回転方向４２Ｓに往復移動するように、移動部材４２ｂを案内する。移動部材４２ｂの回転方向４２Ｓへの移動に伴って、照明部材３が回転方向４２Ｓに沿って移動する。このようにして、第２回転部４２は、照明部材３を光軸Ｏ１に近づく位置と光軸Ｏ１から遠ざかる位置との間で光学レンズ１に対して相対的に移動させる。そして、例えば、第２回転部４２は、照明部材３を、照明部材３と軸Ｏ２を結ぶ線と光軸Ｏ１との成す角度が変化するように移動させる。
　以上のような構成により、第１回転部４１が光軸Ｏ１周りに回転すると、第１回転部４１の回転に伴って第２回転部４２も光軸Ｏ１周りに回転する。これにより、第２回転部４２に固定される照明部材３も回転する。照明部材３から光学レンズ１への光の照射方向３Ｄは、移動部材４２ｂのガイドレール４２ａ上の移動に伴って変更される。言い換えると、光学レンズ１に対する照明部材３の光の照射方向３Ｄが、照明部材３のゴニオステージ（ガイドレール４２ａ）上で移動する照明角度θ（照明角度θは照射方向３Ｄが光軸Ｏ１と一致するところを０度とする）に応じて変更される。
　図８は、光学レンズ１と照明部材３との位置関係を示す平面図である。照明部材３において複数の光源３３が直線状に配列される幅ｄは、例えば、光学レンズ１の直径２Ｒと略同一、または、直径２Ｒよりも大きい。このように、ｄ≧２Ｒであれば、照明部材３が図８における矢印Ｓ方向へ一度走査されただけで、照明部材３により光学レンズ１の略全面が照射される。ただし、ｄ＜２Ｒであっても、照明部材３が図７のＸＹ平面方向において矢印Ｓ方向に垂直な方向にも移動することで、照明部材３により光学レンズ１の略全面が照射される。ＣＰＵ５１で行われる画像の処理は、例えば、撮像部２で撮像された画像から抽出される暗視野領域３１を利用することにより行われる。暗視野領域３１は、明部と暗部の境界に存在する領域である。ここで、明部とは、明視野領域３２のことであり、暗部とは、照明部材３から光が届かない領域のことである。暗視野領域３１は、光の照射される全体領域から明視野領域３２を除外して得られる領域である。明視野領域３２とは、照明部材３からの明視野光のみから得られる領域のことをいう。
　暗視野領域３１の抽出は、例えば、明視野領域３２をマスキング加工することにより行われる。抽出された暗視野領域３１のみの画像が得られる。暗視野領域３１のみを抽出する理由は、コントラストが強調されて細やかな傷の検出を容易にすることにある。照明部材３が第２回転部４２により矢印Ｓ方向へ移動することにより、光学レンズ１の所定領域が撮像される。この撮像により得られた暗視野領域３１のみの画像である暗視野画像が制御部５０で作成される。この暗視野画像に基づいて光学レンズ１の良否が判定される。なお、所定領域は、例えば、光学レンズ１において傷が存在する可能性の高い箇所が優先されて定められる領域である。
　図９は、第１回転部４１により照明部材３が回転して得られる照明部材３の二つの位置と、光学レンズ１との位置関係を示す平面図である。本実施形態においては、第１回転部４１がＸＹ平面上での照明部材３の第２回転部４２の軸Ｏ２の方向を変える。具体的には、照明部材３が第１回転部４１の初期位置において第２回転部４２の回転により、光学レンズ１の所定領域を照射した後、第１回転部４１により光軸Ｏ１を中心に所定角度βだけ回転する。この所定角度βは、例えば、光軸Ｏ１周りに４５度である。このように、第１回転部４１により照明部材３が回転すると、光学レンズ１が照明部材３により複数の角度（複数の位置）から照射される。また、第１回転部４１により照明部材３が回転すると、光学レンズ１は複数の照射方向３Ｄから照射される。
　図９において、第１回転部４１の初期位置では軸Ｏ２がＸ方向と平行になり、このときの照明部材３（暗視野領域３１および明視野領域３２を含む。）は一点鎖線で示される。第１回転部４１が初期位置から所定角度βで回転した後の照明部材３（暗視野領域３１および明視野領域３２を含む。）は実線および破線で示される。なお、破線で示される暗視野領域３１および明視野領域３２は、光学レンズ１を通過する前の状態が示される。
　ここで、例えば、筋状（直線状）の傷による欠陥１１に対して、欠陥１１の延在方向と平行な方向（０度または１８０度の角度）からの光の照射であると、傷による光の散乱現象が起こりにくい。このため、撮像される画像内での傷と傷のない部分との間でコントラストが十分得られないことがある。このため、傷の検出ができないことがある。これに対し、筋状（直線状）の傷による欠陥１１に対して、角度を持った方向（０度および１８０度を除く角度）からの光の照射であると、傷による光の散乱現象が起こりやすい。このため撮像される画像内での傷による欠陥１１と欠陥１１のない部分との間でコントラストが向上する。この光学レンズ検査装置１００によれば、照射方向３Ｄが複数の方向に設定可能であって、これまで見逃されることのあった直線状の傷の検出が容易である。
　また、本実施形態においては、透明な光学レンズ１が検査対象として例示される。透明な光学レンズ１において傷などの欠陥１１がある場合は、照明部材３からの光がその欠陥１１によって散乱する。欠陥１１のサイズは一般的には光の波長よりも大きいため、欠陥１１に光が照射されると、いわゆるミー散乱現象（光の波長程度以上の大きさの球形粒子による光の散乱現象）が起こる。このミー散乱現象により散乱した光（以下、「散乱光」という。）の一部が撮像部２で撮像されて、制御部５０において画像処理されることにより、欠陥１１が検出される。なお、制御部５０における画像処理は、例えば、２値化処理により行われる。２値化処理された画像では、例えば、明るい部分が「Ｈ」、暗い部分が「Ｌ」として処理される。仮に散乱光が映り込んでいれば、散乱光が映り込んだ部分が明るくなり、その部分が「Ｈ」として処理される。反対に、光の映り込まない部分は、暗くなり、その部分は「Ｌ」として処理される。したがって、例えば、処理される画像中に散乱光が映り込んだ部分が「Ｈ」として処理された場合、制御部５０により光学レンズ１が不良であると判断される。一方で、散乱光が映り込んだ部分がなければ、画像全体が「Ｌ」として処理され、制御部５０により光学レンズ１が良であると判断される。
　＜第１の実施の形態に関する光学レンズ検査装置１００による検査の工程＞
　図１０は、第１の実施の形態に関する光学レンズ検査装置１００により光学レンズ１が検査される工程を示すフロー図である。光学レンズ検査装置１００により光学レンズ１が検査される場合には、まず、照明部材３から光学レンズ１への光の照射が開始される（ステップＳ１）。
　ステップＳ１で照明部材３から光学レンズ１への光の照射が開始された後、第２回転部４２が回転する（ステップＳ２）。第２回転部４２は、手動または自動によって回転する。自動による回転の場合は、制御部５０により制御される。本実施形態においては、第２回転部４２はゴニオステージにより構成される。このゴニオステージにより回転する照明部材３の軌道と、光学レンズ１の主平面Ｐ１における照明部材３からの照射位置との関係は、次のようにして求められる。
　図１１は、撮像デバイス２２、光学レンズ１、および照明部材３の位置関係を座標系で示す図である。図１１中、光学レンズ１の中心Ｃの座標（０，０）、照明部材３から光学レンズ１の主平面Ｐ１に照射される位置Ｄの座標（ｙ０，０）と撮像部２の撮像レンズ２３の中心Ｅとを結ぶ線の光学レンズ１の光軸Ｏ１に対する傾きθＩ、照明部材３の位置Ｆの座標（ｙｓ，ｚｓ）、位置Ｆが取り得る範囲を表す円弧Ｊの半径ｒ、位置Ｄと位置Ｆとを結ぶ線Ｌの光軸Ｏ１に対する傾きθ０、中心Ｃと位置Ｆとを結ぶ線Ｋと光軸Ｏ１との間の照明角度θが導入され、下記のように諸量が求められる。なお、光学レンズ１の中心Ｃとは、光学レンズ１の主平面Ｐ１の成す円の中心とみなしてよい。
　傾きθ０は、光学レンズ１のパワー（＝焦点距離ｆＬの逆数）から、下記式（１）で表される。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000001
　また、位置Ｄと位置Ｆとを結ぶ線は下記式（２）で表され、円弧Ｊは下記式（３）で表される。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000002
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000003
　位置Ｆは円弧Ｊと線Ｌとの交点である。式（２）および式（３）の両方を満足する座標（ｙ、ｚ）のうち、ｚ＜０の条件に適合する方が位置Ｆの座標（ｙｓ，ｚｓ）として妥当である。式（２）および式（３）を満足するｙ＝ｙｓ，ｚ＝ｚｓは、それぞれ下記式（４）および式（５）で表される。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000004
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000005
　照明角度θは下記式（６）を満足する。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000006
　この式（６）に対して、式（４）および式（５）を代入すると、下記式（７）が得られる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000007
　式（７）を用いて、照明部材３からの照射光が光学レンズ１上の位置Ｄを照射し、撮像レンズの中心Ｅを通過して撮像素子面に入射するときの照明角度θＩが求められる。すなわち位置Ｄを明視野撮像するときの照明角度θを求めることができる。これにより、光学レンズ１の中心位置Ｃに対する照明角度θの可動範囲が求められる。
　ステップＳ２の実行により、第２回転部４２の回転に伴って照明部材３が軸Ｏ２を中心として回転する。照明部材３の回転により、光学レンズ１の所定領域（予め決められた領域、例えば、光学レンズ１が撮像部２により撮像される領域全体）が照射される。ステップＳ３において第２回転部４２の回転が終了したか否かが判断される。当該回転が終了したと判断されると、光の照射が維持されつつ撮像部２による光学レンズ１の撮像を行う（ステップＳ４）。このように光学レンズ検査装置１００は、照明部材３から光学レンズ１に対して光を照射しつつ、光学レンズ１を挟んで照明部材３と対向して配置された撮像部２により光学レンズ１を撮像する（第１撮像工程）。光学レンズ１が撮像されるときには、光学レンズ１に焦点が合わされている。その後、処理がステップＳ５へ進む。なお、ステップＳ３において当該回転が終了していないと判断されれば、処理がステップＳ２へ戻って第２回転部４２の回転がされる。
　ステップＳ５では、制御部５０において、撮像部２で撮像された画像の処理が行われる。この画像の処理は、上述のとおり、暗視野領域３１のみを抽出して行われる。制御部５０において、抽出された暗視野領域３１の画像のみによる暗視野画像が形成される。ステップＳ６において、光学レンズ１の欠陥１１による散乱光が暗視野画像に含まれているかどうかが制御部５０によって判断される（ステップＳ６）。
　ステップＳ６において散乱光が暗視野画像に含まれていると判断されなければ、光学レンズ１が良と判断される（ステップＳ７）。ステップＳ６において散乱光が暗視野画像に含まれていると判断されれば、光学レンズ１が不良と判断される（ステップＳ８）。
　ステップＳ７で、光学レンズ１が良と判断された場合には、第１回転部４１の回転が必要かどうかが判断される（ステップＳ９）。光学レンズ１が第２回転部４２による走査のみでは、照明部材３による光の照射方向３ＤとのＰ１への射影と成す角度が小さい傷は、検出されにくいためである。このため、本実施形態においては、ステップＳ１１が実行されて第１回転部４１が回転した後、処理が再びステップＳ３に戻る。第１回転部４１がステップＳ１１において回転する角度は、光軸Ｏ１を中心として、例えば４５度である。第１回転部４１の回転の後、ステップＳ３で再度第２回転部４２が回転することにより、照明部材３は、照射方向３ＤのＰ１への射影の方向を異ならせる。これにより、本実施形態の光学レンズ検査装置１００によれば、光学レンズ１の筋状（直線状）の傷等も検出され易い。
　すでに第１回転部４１が回転し、照明部材３は、照射方向３ＤのＰ１への射影の方向を異ならせて光学レンズ１に対して光が照射されていれば、ステップＳ９で第１回転部４１の回転が不要と判断される。そして、光学レンズ１が良と判断されて（ステップＳ１０）、光学レンズ１に対する光学レンズ検査装置１００の検査が終了する。これに対し、光学レンズ１に対して別の角度からの照明がさらに必要である場合には、ステップＳ９で第１回転部４１の回転が必要と判断される。ステップＳ９で第１回転部４１の回転が必要と判断されると、第１回転部４１が回転する（ステップＳ１１）（回転工程）。光学レンズ検査装置１００は、照明部材３を、光学レンズ１の光軸Ｏ１を略中心として光学レンズ１に対して相対的に回転させる。そして、光学レンズ検査装置１００は、光学レンズ１と照明部材３を第１撮像工程と異なる位置関係に配置する。第１回転部４１が回転した後、再びステップＳ２に戻り、光学レンズ検査装置１００は、ステップＳ１１の回転工程後に、光学レンズ１に対して照明部材３から光を照射しつつ、第２回転部４２の回転、撮像部２による光学レンズ１の撮像を行う（第２撮像工程）。そして、光学レンズ１の検査が行われる。
　＜第２の実施の形態＞
　以下、第２の実施の形態に関する光学レンズ検査装置２００について説明する。
　＜光学レンズ検査装置２００の構成＞
　図１２は、第２の実施の形態に関する光学レンズ検査装置２００の移動機構２４０の動作を全体構成とともに示す概略説明図である。第２の実施の形態の光学レンズ検査装置２００は、移動機構２４０を備える。移動機構２４０は、第１回転部４１と、第１回転部４１に固設される平面移動部２４２とを備える。図１３は、図１２の移動機構２４０を示す概略図である。図１２においては、移動機構２４０を構成する第１回転部４１の回転方向４１Ｒと平面移動部２４２の移動方向２４２Ｓとが示される。
　平面移動部２４２は、光軸Ｏ１に垂直な平面（ＸＹ平面）上に照明部材３を移動させる。平面移動部２４２は、ガイドレール２４２ａと、ガイドレール２４２ａ上を移動する移動部材２４２ｂとを備える。ガイドレール２４２ａは第１回転部４１に固定される。ガイドレール２４２ａは、移動部材２４２ｂがＸＹ平面上で直線方向の移動方向２４２Ｓに往復移動するように、移動部材２４２ｂを案内する。照明部材３は、移動部材２４２ｂに固定され、移動部材２４２ｂの移動に伴って移動する。移動部材２４２ｂの移動方向２４２Ｓへの移動に伴って、照明部材３が２４２Ｓ方向へ移動する。このようにして、平面移動部２４２は、照明部材３を光軸Ｏ１に近づく位置と光軸Ｏ１から遠ざかる位置との間で移動させる。
　光学レンズ検査装置１００による検査の工程のうち、ステップＳ３の第２回転部４２による照明部材３の回転移動が、平面移動部２４２による照明部材３の直線移動に変更されて、光学レンズ検査装置２００による検査の工程が得られる。すなわち、第２の実施形態においては、照明部材３の位置Ｆが円弧Ｊ上ではなく、Ｙ軸に平行な直線上を移動する。なお、照明角度θ等は、第１の実施形態における式（１）ないし（１０）を、位置Ｆがｚ＝－ｒの直線上を移動する条件に置き換えて計算することで求めることができる。光学レンズ検査装置２００による検査の工程のその他の点は光学レンズ検査装置１００による検査の工程と同じである。光学レンズ検査装置２００は、平面移動部２４２を採用するので、第２回転部４２を採用するよりも簡易な構成で、照明部材３を移動させることができる。ただし、照明部材３から光学レンズ１への光の照射方向３Ｄを移動部材４２ｂの移動に伴って簡易に変更できる点で、第２回転部４２の構成が好ましい。
　＜第３の実施の形態＞
　以下、本願の第３の実施形態について説明する。第３の実施の形態は、第１の実施形態に関する光学レンズ検査装置１００と同じ構成の装置が利用される。
　＜第３の実施の形態に関する光学レンズ検査装置１００による検査の工程＞
　第３の実施の形態に関する光学レンズ検査装置１００により、照明部材３は、撮像部２に照明部材３からの明視野光が入らない範囲で移動する。この範囲は、予め、検査される予定の光学レンズ１と同一形状のサンプル光学レンズが撮像されることにより、決定される。図１４は、第３の実施の形態に関する光学レンズ検査装置１００による照明部材３の移動する範囲が決定される工程を示すフロー図である。
　第３の実施の形態に関する光学レンズ検査装置１００は、光学レンズ１と同一形状のサンプル光学レンズを、サンプル光学レンズに対する相対的な位置が異なる複数の位置から照明部材３によって照明する。そして、この光学レンズ検査装置１００は、サンプル光学レンズを挟んで照明部材３と対向する撮像部２によって、サンプル光学レンズを撮像する。
　具体的には、光学レンズ検査装置１００により光学レンズ１が検査される前に、光学レンズ１と同一形状のサンプル光学レンズが検査される。まず、光学レンズ検査装置１００にセットされたサンプル光学レンズに対して照明部材３から光が照射される（ステップＳ１０１）。サンプル光学レンズとして、実際に検査される光学レンズ１と同一形状のレンズが採用される。ステップＳ１０１で、照明部材３による光の照射が開始されると、撮像部２によるサンプル光学レンズの撮像が開始される（ステップＳ１０２）。
　ステップＳ１０１で照明部材３によるサンプル光学レンズへの光の照射が開始された後、第２回転部４２が回転する（ステップＳ１０２）。
　ステップＳ１０２の実行により、第２回転部４２の回転に伴って照明部材３が軸Ｏ２を中心として回転する。照明部材３の回転により、サンプル光学レンズの所定領域（予め決められた領域、例えば、光学レンズ１が撮像部２により撮像される領域全体）が照射される。ステップＳ１０３において第２回転部４２の回転が終了したか否かが判断される。当該回転が終了したと判断されると、撮像部２によるサンプル光学レンズの撮像が実行される（ステップＳ１０４）。このとき、光学レンズ検査装置１００は、サンプル光学レンズを、照明部材３によって照明しつつ、撮像部２によって撮像する（サンプル撮像工程）。その後、処理がステップＳ１０５へ進む。なお、ステップＳ１０３において当該回転が終了していないと判断されれば、処理がステップＳ１０２へもどって第２回転部４２の回転が継続される。第１回転部４１の回転の要否の判断については、第１の実施の形態における光学レンズ１の場合と同様の理由により、必要とされる。
　第１の実施の形態における光学レンズ１の場合と同様に、第１回転部４１の回転が必要であるかどうかが判断される（ステップＳ１０５）。ステップＳ１０５で第１回転部４１の回転が必要であると判断され、第１回転部４１の回転が実行されて第１回転部４１が回転する（ステップＳ１０６）。これにより、光学レンズ検査装置１００は、サンプル光学レンズと照明部材３との相対的な位置が異なる複数の位置関係において、照明部材３によってサンプル光学レンズを照明する。第１回転部４１の回転は、後に撮像される光学レンズ１の撮像時の第１回転部４１の回転回数よりも多く行われる。光学レンズ１における暗視野領域３１および明視野領域３２が、事前に把握される方が好ましいためである。第１回転部４１が回転した後、処理が再びステップＳ１０２に戻る。これらの動作が繰り返されることにより、後に撮像される光学レンズ１において、暗視野領域が得られる範囲が把握される。
　すでに第１回転部４１が回転し、照明部材３は、照射方向３ＤのＰ１への射影の方向を異ならせて光学レンズ１に対して光が照射されていれば、ステップＳ１０５で第１回転部４１の回転が不要と判断される。
　第１回転部４１の回転および第２回転部４２の回転が終了すると、ステップＳ１０７において、撮像部２で撮像された画像の処理が制御部５０によって行われる。この画像の処理により、撮像された画像に明視野領域３２が映り込んでいるかどうかが判断される。
　ここで、撮像される画像に明視野領域３２が映り込む場合と、映り込まない場合とを、図を用いて説明する。図１５ないし図２０は照明部材３から撮像部２までの照射光の経路を示す説明図である。図１５および図１６は照明部材３、光学レンズ１、および撮像部２の配置関係が同じ条件である場合を示す。図１７および図１８は照明部材３、光学レンズ１、および撮像部２の配置関係が同じ条件である場合を示す。図１９および図２０は照明部材３、光学レンズ１、および撮像部２の配置関係が同じ条件である場合を示す。図１５、図１７、および図１９は、光学レンズ１における照明部材３からの光の照射位置に欠陥１１がない場合を示す。図１６、図１８、および図２０は、光学レンズ１における照明部材３からの光の照射位置に欠陥１１がある場合を示す。
　図１５および図１６において、照明部材３からの照射光の経路を比較する。図１５では、照明部材３からの照射光が光学レンズ１、撮像レンズ２３、および開口絞り２４を通過して撮像デバイス２２に到達する。したがって、図１５の照明部材３の配置では、撮像される画像に明視野領域３２が映り込んでしまう。図１６では、照明部材３からの照射光が光学レンズ１の欠陥１１に衝突することにより散乱現象が起こる場合が示される。この散乱現象による散乱光が、光学レンズ１、撮像レンズ２３、および開口絞り２４を通過して撮像デバイス２２に到達する。図１５においても図１６においても照明部材３からの照射光が撮像される画像に映り込んでしまう。このため、図１５および図１６に示される照明部材３の配置では、光学レンズ１の欠陥１１の有無が明確にならない。
　図１７および図１８において、照明部材３からの照射光の経路を比較する。図１７では、照明部材３からの照射光は、光学レンズ１を透過するが、開口絞り２４に遮断されて、撮像デバイス２２に到達していない。したがって、図１７の照明部材３の配置では、撮像される画像に明視野領域３２が映り込まない。図１８では、照明部材３からの照射光が光学レンズ１の欠陥１１に衝突することにより散乱現象が起こる場合が示される。この散乱現象による散乱光の一部が、光学レンズ１、撮像レンズ２３、および開口絞り２４を通過して撮像デバイス２２に到達する。図１７および図１８に示される照明部材３の配置であれば、光学レンズ１に欠陥１１が有る場合にのみ撮像される画像に光が映るので、光学レンズ１の欠陥１１の有無が明確である。
　図１９および図２０において、照明部材３からの照射光の経路を比較する。図１９では、照明部材３からの照射光は、光学レンズ１を透過するが、開口絞り２４に遮断されて、撮像デバイス２２に到達していない。したがって、図１９の照明部材３の配置では、撮像される画像に明視野領域３２が映り込まない。図２０では、照明部材３からの照射光が光学レンズ１の欠陥１１に衝突することにより散乱現象が起こる場合が示される。この散乱現象による散乱光は、光学レンズ１及び開口絞り２４を通過して撮像デバイス２２に到達する。このため、図１９および図２０に示される照明部材３の配置であれば、光学レンズ１の欠陥１１の有無が明確になる。
　以上のように、光学レンズ１の欠陥１１の有無が明確になるためには、照明部材３と光学レンズ１と撮像部２との配置関係が重要であることがわかる。図２１は、光学レンズ１の欠陥１１の有無が明確になるための照明部材３の好ましい配置の一例を説明する図である。より具体的には、予め所定の位置に人為的に欠陥１１を設けたサンプル用の光学レンズに対して照明の照射角度を変更しつつ撮像を行った際の、照射角度と検出度合いの関係を示す図である。図２１において、横軸の照明角度θは図５および図１０における照明角度θを示す。例えば照明角度θは第２回転部４２（第１の実施の形態）あるいは平面移動部２４２（第２の実施の形態）の動作によって制御される。この図において、Ｐは、撮像された画像において欠陥１１に相当する部分の画素値を示し、Ｐ´は撮像された画像において欠陥１１の周囲に相当する部分の画素値を示す。欠陥１１に相当する部分と、欠陥１１の周囲に相当する部分との区別は、欠陥１１を作成した位置の情報に基づき、撮像画像中で欠陥１１に相当する部分と、欠陥１１の周囲に相当する部分それぞれの画素の位置を予め指定することにより行われる。なお、図２１において、照明角度θ＜θ１の範囲は、明視野領域３２が映り込んでいる領域である。この範囲では、明視野光の影響により全体的に画素値が高くなっている。この範囲は、ＰとＰ´との区別がつかない範囲である。
　この図２１において、縦軸（右側）に示す検出度合いＰ／Ｐ´は、［Ｐの値］／［Ｐ´の値］を示す。図２１を参照すると、照明角度θが値θ１（≒４．５［ｄｅｇ］）未満では、検出度合いＰ／Ｐ´が１となっており、光学レンズ１の欠陥１１の有無が明確にはならないことがわかる。これに対し、照明角度θが値θ２（≒７．５［ｄｅｇ］）以上であれば、検出度合いＰ／Ｐ´が概ね１．５を超えている。検出度合いＰ／Ｐ´が１．５を超えると、欠陥１１が十分に把握できる程、欠陥１１が明確になる。したがって、光学レンズ１の欠陥１１の有無が明確になることがわかる。特に照明角度θが、θ２＜θ＜１６［ｄｅｇ］の場合に、検出度合いＰ／Ｐ´が１．５を大きく超えており、光学レンズ１の欠陥１１の有無が顕著になることがわかる。なお、今回の例において、この検出度合いＰ／Ｐ´が１．５を超える場合には、照明部材３による明視野光が映り込んでいないことが実験により判明している。
　ここで、照明角度θの値がθ１（≒４．５［ｄｅｇ］）未満の検出度合いＰ／Ｐ´が１となる場合というのは、画像に明視野光が映り込む場合である。このように明視野光が映り込むと、明視野光によって欠陥１１による散乱光が目立たなくなる。したがって、検出度合いＰ／Ｐ´が大きくなる条件（θ２＜θ＜１６［ｄｅｇ］）で照明部材３が配置されると、欠陥１１と欠陥１１でない部分との相違が明確になる。このため、撮像される画像の枚数が少量であっても欠陥１１が検出され得る。このため、検出度合いが大きくなると、撮像される画像の枚数を削減することができ、短時間かつ低コストで光学レンズ１を検査することができる。なお、θ１、θ２は光学レンズ１のパワーおよび欠陥１１の位置に依存するため、上述（後述）の数値は一例である。同様に、検出度合いの指標値として、上記の例では１．５としたが、これも一例であり、検査対象とする光学レンズ１のパワー及び欠陥１１の位置に応じて適宜調整される。
　図２２は、明視野領域３２が映り込まない照明部材３の配置を示す平面図である。具体的に、照明部材３の特に好ましい配置の条件は、照明部材３の配置が、ＸＹ平面視において光学レンズ１の中心Ｃからの距離がＲ＋ｗ（Ｒは光学レンズ１の半径、ｗは照明部材３の幅（２ｗ）の１／２）となることである。この配置の関係であれば、撮像される画像に明視野領域３２が映り込まず、検出度合いも大きくなる。ただし、この照明角度θの条件は、光学レンズ１のパワーに依存する。この照明角度θは、第１の実施形態における式（７）で、ｙ０＝Ｒ＋ｗとすることで算出できる。
　以上の説明から、撮像された画像に明視野領域３２が映り込むか否かは、照明部材３の配置や撮像部２の開口絞り２４の条件の設定によるものが大きいことがわかる。
　ステップＳ１０８において撮像された画像に明視野領域３２が映り込んでいないと判断されれば、ステップＳ１０９においてサンプル光学レンズに対する照明部材３の移動の範囲が光学レンズ１の検査での照明部材３の移動の範囲と決定される。
　ステップＳ１０８において撮像された画像に明視野領域３２が映り込んでいると判断されば、ステップＳ１１０において明視野領域３２が映り込んだ画像における照明部材３の配置条件が除外された範囲が光学レンズ１の検査での照明部材３の移動の範囲と決定される。上述のサンプル撮像工程において、照明部材３からの明視野光が入らない（映り込まない）画像が撮像されたときの照明部材３のサンプル光学レンズと撮像部２に対する相対的な位置関係が、第１撮像工程および第２撮像工程における照明部材３の光学レンズ１と撮像部２に対する相対的な位置関係に採用される。
　このようにして、第３の実施の形態に関する光学レンズ検査装置１００は、予め決定された照明部材３の移動の範囲で、光学レンズ１を検査する。具体的には、図１０におけるフローと同様のフローにより光学レンズ１の検査が行われる。光学レンズ検査装置１００は、光学レンズ１を、光学レンズ１に対する相対的な位置が異なる複数の位置から照明部材３によって照明し、撮像部２によって撮像する。
　第３の実施の形態に関する光学レンズ検査装置１００は、照明部材３からの明視野光が入らない画像（明視野領域３２が映り込まない画像）が撮像されたときの照明部材３のサンプル光学レンズと撮像部２とに対する相対的な位置関係が、照明部材３の光学レンズ１と撮像部２とに対する相対的な位置関係に採用される。
　上述した実施形態においては、照明部材３は、直線状に配列される構成であるが、直線状に配列される構成に限定されず、曲線状に配列される構成でもよい。図２３は、光学レンズ１と曲線状に配列された照明部材３とを示す説明図である。図２３のように、照明部材３の発光部分が光学レンズ１の凸面または凹面の形状に対応した形状（例えば、曲線状）に配列されて、照明部材３の各発光部分と光学レンズ１との距離を略同一にすることができる。これにより、各発光部分からの照射光が光学レンズ１を通じた光の撮像部２での焦点位置が合わされ易くなる。したがって、光学レンズ１の欠陥１１が検出され易くなる。
　上述した実施形態においては、光学レンズ１は、照明部材３に対して光軸Ｏ１を略中心として相対的に回転していればよい。したがって、照明部材３に代えて光学レンズ１が回転する構成が採用されてもよい。また、上述した実施形態において、開口絞り２４は、例えば、照明部材３からの明視野光が撮像レンズ２３へ入らないように制御部５０によって調整されてもよい。この場合、例えば、光学レンズ１の撮像時に、制御部５０の制御により、画像処理にとって適切なコントラストになるように開口絞り２４が調整される。また、例えば、光学レンズ１と撮像部２との距離や光学レンズ１と照明部材３との距離も、制御部５０の制御により調整されてもよい。また、上記の実施形態において、例えば、光学レンズ１の位置調整機構、撮像部２の位置調整機構、または照明部材３の位置調整機構が備えられ、これらの位置調整機構（いずれも不図示）によって、上述の距離が調整される。
　上述した第１の実施の形態においては、第２回転部４２は、例えば、ゴニオステージにより構成されるが、照明部材３と第１回転部４１とを軸Ｏ２を略中心として回転させる構成であれば、これに限定されない。
　上述した第１の実施の形態において、第１回転部４１の回転が必要かどうかの判断（ステップＳ９）は、撮像部２で撮像された画像の処理（ステップＳ５）の前に行ってもよい。すなわち、光学レンズ１と照明部材３を異なる複数の位置関係に配置して撮像した複数の画像を取得した後に、当該複数の画像の処理をまとめて行ってもよい。
　上述の第２の実施の形態における光学レンズ検査装置２００を構成する平面移動部２４２の移動部材２４２ｂが、例えば、照明部材３の光の照射角度を変更可能に、照明部材３と連結される構成が採用されて、第２の実施の形態の変形例が得られる。図２４は、第２の実施の形態の変形例における照明部材３と移動機構２４０とを示す側面図である。この変形例における光学レンズ検査装置２００は、照明部材３の光の照射方向３Ｄを変更する照射角度変更部２３３をさらに備える。照射角度変更部２３３は、平面移動部２４２に対して照明部材３を連結する。照射角度変更部２３３は、Ｘ軸方向を中心軸として回転可能に構成される。このため、照射角度変更部２３３の回転に伴って、照明部材３がＸ軸に沿った軸周りに回転する。Ｘ軸方向は、移動部材２４２ｂの移動方向に垂直となる方向である。このように移動部材２４２ｂの移動方向と垂直となる方向に回転することにより、照明部材３から光学レンズへの光の照射角度が変更される。したがって、光学レンズの凹凸形状に対応させて、光学レンズに対して光が照射される。言い換えると、図２４に示すような変形例は、照明部材３が光の照射角度を移動機構２４０に依らずに変更させることができる。このような第２の実施の形態における光学レンズ検査装置２００によれば、光学レンズ１が照明部材３により複数の角度（複数の位置）から照射される。
　上述の実施形態においては、光学レンズ検査装置１００，２００は、第２回転部４２を備えるが、第２回転部４２を備えない構成であっても良い。この場合は、照明部材３の照射光の強度を大きくすることにより、明部と暗部との境界の領域としての、暗視野領域３１が広がる。このようにして、照明部材３の照射光の強度を大きくして、暗視野領域３１を広げることができる。また、このように暗視野領域３１が広がることにより、光学レンズ１の全体を撮像するために必要な画像の撮像枚数が低減する。この点で、暗視野領域３１を広げることのできる程度に照明部材３の照射光の強度が大きくなることが好ましい。暗視野領域３１が広がれば、第１回転部４１の回転のみでも、光学レンズ１の略全領域を暗視野画像として撮像可能であると考えられる。
　今回開示された実施の形態は例示であって、上述の内容のみに限定されるものではない。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内のすべての変更が含まれることが意図される。
　１　光学レンズ
　２　撮像部
　３　照明部材
　３Ｄ　光の照射方向
　４，２４０　移動機構
　５　コンピュータ
　１１　欠陥
　２１　光学系
　２２　撮像デバイス
　２３　撮像レンズ
　２４　開口絞り
　３１　暗視野領域
　３２　明視野領域
　３３　光源
　４１　第１回転部
　４１Ｒ　第１回転部の回転方向
　４２　第２回転部
　４２Ｓ　第２回転部の回転方向
　４２ａ，２４２ａ　ガイドレール
　４２ｂ，２４２ｂ　移動部材
　５０　制御部
　５１　ＣＰＵ
　５２　ＲＯＭ
　５３　ＲＡＭ
　１００　光学レンズ検査装置
　１０１　検査システム
　１０２　収容部
　１０３　良品収容部
　１０４　不良品収容部
　１０５，１０６，１０７　移送機構
　２３０Ｒ　照明部材の回転方向
　２３３　照射角度変更部
　２４２　平面移動部
　２４２Ｓ　移動方向
　Ｏ１　光学レンズの光軸
　Ｏ２　第２回転部の回転軸
　Ｐ１　光学レンズの主平面
　Ｃ　中心

Claims (11)

  1. 　光学レンズを検査する装置であって、
    　前記光学レンズを撮像する撮像部と、
    　前記光学レンズを挟んで前記撮像部と対向して配置され、前記光学レンズに対して光を照射する直線状または曲線状を有する照明部材と、
    　前記照明部材を、前記光学レンズの光軸を略中心として前記光学レンズに対して相対的に回転させる第１回転部と、
    を備える、光学レンズ検査装置。
  2. 　請求項１に記載の光学レンズ検査装置において、
    　前記照明部材を、前記光軸に近づく位置と前記光軸から遠ざかる位置との間で前記光学レンズに対して相対的に移動させる移動機構をさらに備える、光学レンズ検査装置。
  3. 　請求項２に記載の光学レンズ検査装置において、
    　前記移動機構は前記照明部材を、前記光学レンズの主平面上に位置し前記光学レンズの中心を含む軸を略中心として、前記光学レンズに対して相対的に回転させる第２回転部により構成される、
    光学レンズ検査装置。
  4. 　請求項２に記載の光学レンズ検査装置において、
    　前記移動機構は、前記光軸に垂直な平面上に前記照明部材を移動させる平面移動部により構成される、
    光学レンズ検査装置。
  5. 　請求項４に記載の光学レンズ検査装置において、
    　前記照明部材の光の照射方向を変更する照射角度変更部をさらに備える、
    光学レンズ検査装置。
  6. 　請求項１ないし請求項５のいずれか一つに記載の光学レンズ検査装置において、
    　前記照明部材は、前記撮像部に前記照明部材からの明視野光が入らない範囲で移動する、
    光学レンズ検査装置。
  7. 　請求項６に記載の光学レンズ検査装置において、
    　前記範囲は、予め前記光学レンズと同一形状のサンプル光学レンズを撮像したときに前記撮像部に前記照明部材が撮像されない範囲に決定される、
    光学レンズ検査装置。
  8. 　請求項１ないし請求項７のいずれか一つに記載の光学レンズ検査装置において、
    　前記照明部材は直線状に配列され、
    　前記照明部材の配列される直線状の幅は、前記光学レンズの直径と略同一、または、前記光学レンズの直径よりも大きい、光学レンズ検査装置。
  9. 　請求項１ないし請求項８のいずれか一つに記載の光学レンズ検査装置において、
    　前記撮像部で撮像された画像に基づき、前記光学レンズの良否を判定する制御部をさらに備える、光学レンズ検査装置。
  10. 　光学レンズを検査する方法であって、
    　直線状または曲線状を有する照明部材から前記光学レンズに対して光を照射しつつ、前記光学レンズを挟んで前記照明部材と対向して配置された撮像部により前記光学レンズを撮像する第１撮像工程と、
    　前記照明部材を、前記光学レンズの光軸を略中心として前記光学レンズに対して相対的に回転させ、前記光学レンズと前記照明部材を前記第１撮像工程と異なる位置関係に配置する回転工程と、
    　前記回転工程後に、前記光学レンズに対して前記照明部材から光を照射しつつ、前記撮像部により前記光学レンズを撮像する第２撮像工程と、
    　を備える光学レンズ検査方法。
  11. 　請求項１０に記載の光学レンズ検査方法において、
    　前記光学レンズと同一形状のサンプル光学レンズを、前記サンプル光学レンズと前記照明部材との相対的な位置が異なる複数の位置関係において、前記照明部材によって照明しつつ、前記撮像部によって撮像するサンプル撮像工程をさらに備え、
    　前記サンプル撮像工程において前記照明部材からの明視野光が入らない画像が撮像されたときの前記照明部材の前記サンプル光学レンズと前記撮像部とに対する相対的な位置関係が、前記第１撮像工程及び前記第２撮像工程における前記照明部材の前記光学レンズと前記撮像部とに対する相対的な位置関係に採用される、光学レンズ検査方法。
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Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11125577A (ja) * 1997-10-22 1999-05-11 Asahi Optical Co Ltd 光学部材検査装置
JP2004212353A (ja) * 2003-01-09 2004-07-29 Tb Optical Co Ltd 光学的検査装置
JP2005127989A (ja) * 2003-10-03 2005-05-19 Olympus Corp 傷検出装置および傷検出プログラム
JP2009085883A (ja) * 2007-10-02 2009-04-23 Fujinon Corp 欠陥検査装置
JP2015227793A (ja) * 2014-05-30 2015-12-17 コニカミノルタ株式会社 光学部品の検査装置及び検査方法
JP2017003412A (ja) * 2015-06-10 2017-01-05 富士通株式会社 レンズ検査装置及びレンズ検査方法
US20180195931A1 (en) * 2015-07-30 2018-07-12 Essilor International (Compagnie Generale D'optique) Method for checking a geometric characteristic and an optical characteristic of a trimmed ophthalmic lens and associated device
JP2021096112A (ja) * 2019-12-16 2021-06-24 コニカミノルタ株式会社 透明体の検査装置

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11125577A (ja) * 1997-10-22 1999-05-11 Asahi Optical Co Ltd 光学部材検査装置
JP2004212353A (ja) * 2003-01-09 2004-07-29 Tb Optical Co Ltd 光学的検査装置
JP2005127989A (ja) * 2003-10-03 2005-05-19 Olympus Corp 傷検出装置および傷検出プログラム
JP2009085883A (ja) * 2007-10-02 2009-04-23 Fujinon Corp 欠陥検査装置
JP2015227793A (ja) * 2014-05-30 2015-12-17 コニカミノルタ株式会社 光学部品の検査装置及び検査方法
JP2017003412A (ja) * 2015-06-10 2017-01-05 富士通株式会社 レンズ検査装置及びレンズ検査方法
US20180195931A1 (en) * 2015-07-30 2018-07-12 Essilor International (Compagnie Generale D'optique) Method for checking a geometric characteristic and an optical characteristic of a trimmed ophthalmic lens and associated device
JP2021096112A (ja) * 2019-12-16 2021-06-24 コニカミノルタ株式会社 透明体の検査装置

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