JP2023006310A

JP2023006310A - 光学レンズ検査装置、および光学レンズ検査方法

Info

Publication number: JP2023006310A
Application number: JP2021108848A
Authority: JP
Inventors: 祥雄古谷; Yoshio Furuya; 広平三浦; Kohei Miura; 健一仁坂; Kenichi Nisaka
Original assignee: Screen Holdings Co Ltd
Current assignee: Screen Holdings Co Ltd
Priority date: 2021-06-30
Filing date: 2021-06-30
Publication date: 2023-01-18
Anticipated expiration: 2041-06-30
Also published as: WO2023276555A1; JP7648456B2

Abstract

【課題】検出の難しかった照射光の方向と同方向の略直線状の傷等の検出精度を向上させた光学レンズ検査装置および光学レンズ検査方法を提供する。
【解決手段】光学レンズ検査装置１００は光学レンズ１を検査する。光学レンズ検査装置１００は、光学レンズ１を撮像する撮像部２と、光学レンズ１を挟んで撮像部２と対向して配置され、光学レンズ１に対して光を照射する直線状に配列される照明部材３と、照明部材３を、光学レンズ１の光軸Ｏ１を略中心として光学レンズ１に対して相対的に回転させる第１回転部４１とを備える。
【選択図】図２

Description

本願明細書に開示される技術は、光学レンズ検査装置、および光学レンズ検査方法に関する。

光学レンズ（以下では単に「レンズ」とも称される）の傷等を検査するための装置として、特許文献１に記載の装置が提案されている。この特許文献１に記載のレンズ検査装置は、レンズを搭載するステージに対して一方側からレンズを撮像するカメラと、レンズを挟んでカメラの他方側からライン状の暗視野照明用検査光を照明するライン照明手段と、当該ライン照明手段をステージと平行に直線移動可能なリニアスライダを備える。特許文献１では、ライン状の暗視野照明用検査光の延出方向と直交する方向に照明装置を直線移動させる。ライン照明手段から投光される暗視野照明用検査光がレンズに照射され、レンズを透過した暗視野照明用検査光が撮像装置の固体撮像素子に受光される。照明装置の移動に伴い、それに同期して暗視野領域を連続的に抽出して、各暗視野領域を合成し、レンズ全面の暗視野画像を生成する。

特開２００４－２１２３５３号公報

このような特許文献１に記載の装置では、検査に用いる暗視野領域の画像において、レンズに対する光の照射角度は常に、照明装置が移動する直線状の方向に対して所定角度だけ傾斜した方向となる。レンズに線状の傷等が生じている場合であって、光の照射方向とレンズに生じた略直線状の傷等の延在方向とが同方向である場合は、レンズの傷等に対して暗視野照明用検査光が衝突するときに起こる光の散乱現象が起こりにくい。したがって、このような場合には、散乱光強度が十分得られず、異常発生箇所の検出ができないことがある。このため、特許文献１に記載の装置では、略直線状の傷等の延在方向によっては、傷等の検出がし難いという問題があった。

本願明細書に開示される技術は、以上に記載されたような問題に鑑みてなされたものである。この技術は、傷等の検出が容易な光学レンズ検査装置、および光学レンズ検査方法に関する技術である。

本願明細書に開示される光学レンズ検査装置の第１の態様は、光学レンズを検査する装置であって、前記光学レンズを撮像する撮像部と、前記光学レンズを挟んで前記撮像部と対向して配置され、前記光学レンズに対して光を照射する直線状または曲線状を有する照明部材と、前記照明部材を、前記光学レンズの光軸を略中心として前記光学レンズに対して相対的に回転させる第１回転部と、を備える。

本願明細書に開示される光学レンズ検査装置の第２の態様は、第１の態様の光学レンズ検査装置において、前記照明部材を、前記光軸に近づく位置と前記光軸から遠ざかる位置との間で前記光学レンズに対して相対的に移動させる移動機構をさらに備える。

本願明細書に開示される光学レンズ検査装置の第３の態様は、第２の態様の光学レンズ検査装置において、前記移動機構は前記照明部材を、前記光学レンズの主平面上に位置し前記光学レンズの中心を含む軸を略中心として、前記光学レンズに対して相対的に回転させる第２回転部により構成される。

本願明細書に開示される光学レンズ検査装置の第４の態様は、第２の態様の光学レンズ検査装置において、前記移動機構は、前記光軸に垂直な平面上に前記照明部材を移動させる平面移動部により構成される。

本願明細書に開示される光学レンズ検査装置の第５の態様は、第４の態様の光学レンズ検査装置において、前記照明部材の光の照射方向を変更する照射角度変更部をさらに備える。

本願明細書に開示される光学レンズ検査装置の第６の態様は、第１の態様ないし第５の態様のいずれか一つの態様の光学レンズ検査装置において、前記照明部材は、前記撮像部に前記照明部材からの明視野光が入らない範囲で移動する。

本願明細書に開示される光学レンズ検査装置の第７の態様は、第６の態様の光学レンズ検査装置において、前記範囲は、予め前記光学レンズと同一形状のサンプル光学レンズを撮像したときに前記撮像部に前記照明部材が撮像されない範囲に決定される。

本願明細書に開示される光学レンズ検査装置の第８の態様は、第１の態様ないし第７の態様の光学レンズ検査装置において、前記照明部材は直線状に配列され、前記照明部材の配列される直線状の幅は、前記光学レンズの直径と略同一、または、前記光学レンズの直径よりも大きい。

本願明細書に開示される光学レンズ検査装置の第９の態様は、第１の態様ないし第８の態様の光学レンズ検査装置において、前記撮像部で撮像された画像に基づき、前記光学レンズの良否を判定する制御部をさらに備える。

本願明細書に開示される光学レンズ検査方法の第１の態様は、光学レンズを検査する方法であって、直線状または曲線状を有する照明部材から前記光学レンズに対して光を照射しつつ、前記光学レンズを挟んで前記照明部材と対向して配置された撮像部により前記光学レンズを撮像する第１撮像工程と、前記照明部材を、前記光学レンズの光軸を略中心として前記光学レンズに対して相対的に回転させ、前記光学レンズと前記照明部材を前記第１撮像工程と異なる位置関係に配置する回転工程と、前記回転工程後に、前記光学レンズに対して前記照明部材から光を照射しつつ、前記撮像部により前記光学レンズを撮像する第２撮像工程と、を備える。

本願明細書に開示される光学レンズ検査方法の第２の態様は、第１の態様の光学レンズ検査方法において、前記光学レンズと同一形状のサンプル光学レンズを、前記サンプル光学レンズと前記照明部材との相対的な位置が異なる複数の位置関係において、前記照明部材によって照明しつつ、前記撮像部によって撮像するサンプル撮像工程をさらに備え、前記サンプル撮像工程において前記照明部材からの明視野光が入らない画像が撮像されたときの前記照明部材の前記サンプル光学レンズと前記撮像部とに対する相対的な位置関係が、前記第１撮像工程及び前記第２撮像工程における前記照明部材の前記光学レンズと前記撮像部とに対する相対的な位置関係に採用される。

本願明細書に開示される光学レンズ検査装置の第１から第９の態様および光学レンズ検査方法の第１の態様から第２の態様によれば、傷等の検出が容易である。

本願明細書に開示される技術に関連する目的と、特徴と、局面と、利点とは、以下に示される詳細な説明と添付図面とによって、さらに明白となる。

第１の実施の形態に関する光学レンズ検査装置を含む検査システムの全体構成を示すブロック図である。第１の実施の形態に関する光学レンズ検査装置の全体構成を示す概略図である。第１の実施の形態に関する光学レンズ検査装置の移動機構の動作を全体構成とともに示す概略説明図である。照明部材の光源の構成の例を示す説明図である。移動機構を示す概略図である。移動機構と光学レンズとを示す概略図である。コンピュータに備えられる制御部と光学レンズ検査装置の各構成との接続の関係を示すブロック図である。光学レンズと照明部材との位置関係を示す平面図である。照明部材が第１回転部により回転した後の光学レンズと照明部材との位置関係を示す平面図である。第１の実施の形態に関する光学レンズ検査装置により光学レンズが検査される工程を示すフロー図である。撮像デバイス、光学レンズ、および照明部材の位置関係を座標系で示す図である。第２の実施の形態に関する光学レンズ検査装置の移動機構の動作を全体構成とともに示す概略説明図である。図１１に示された移動機構を示す概略図である。第３の実施の形態に関する光学レンズ検査装置による照明部材の移動する範囲が決定される工程を示すフロー図である。照明部材から撮像部までの照射光の経路を示す説明図である。照明部材から撮像部までの照射光の経路を示す説明図である。照明部材から撮像部までの照射光の経路を示す説明図である。照明部材から撮像部までの照射光の経路を示す説明図である。照明部材から撮像部までの照射光の経路を示す説明図である。照明部材から撮像部までの照射光の経路を示す説明図である。光学レンズの欠陥の有無が明確になるための照明部材の好ましい配置を説明する図である。明視野領域が映り込まない照明部材の配置を示す平面図である。光学レンズと曲線状に配列された照明部材とを示す説明図である。第２の実施の形態の変形例における照明部材と移動機構とを示す側面図である。

以下、添付される図面を参照しながら実施の形態について説明する。以下の実施の形態では、技術の説明のために詳細な特徴なども示されるが、それらは例示であり、実施の形態が実施可能となるためにそれらすべてが必ずしも必須の特徴ではない。

なお、図面は概略的に示され、説明の便宜のため、適宜、構成の省略、または、構成の簡略化が図面においてなされる。また、異なる図面にそれぞれ示される構成などの大きさおよび位置の相互関係は、必ずしも正確に記載されるものではなく、適宜変更され得るものである。また、断面図ではない平面図などの図面においても、実施の形態の内容を理解することを容易にするために、ハッチングが付される場合がある。

以下に示される説明では、同様の構成要素には図面において同じ符号が付され、それらの名称と機能とについても同様のものとする。したがって、それらについての詳細な説明は、重複を避けるために省略される場合がある。

以下に記載される説明において、ある構成要素を「備える」、「含む」または「有する」などと記載される場合、特に断らない限り、当該記載は他の構成要素の存在を除外する排他的な表現ではない。

以下に記載される説明において、序数、例えば「第１」および「第２」が用いられる場合があっても、これらの用語は、実施の形態の内容を理解することを容易にするために便宜上用いられ、実施の形態において説明される技術はこれらの序数によって生じ得る順序に限定されない。

図面において、理解を容易にする目的で、各部の寸法および数が誇張または簡略化して図示されている場合がある。また、各図面には、方向を説明するためのＸＹＺ直交座標軸（右手系）が適宜に付されている。該座標軸におけるＺ方向は鉛直方向を示し、ＸＹ平面は水平面である。以下では、Ｘ方向の一方側を＋Ｘ側と呼び、その反対側を－Ｘ側と呼ぶことがある。Ｙ軸およびＺ軸についても同様であり、＋Ｚ側は鉛直上側を示す。

＜第１の実施の形態＞
以下、第１の実施の形態に関する光学レンズ検査装置１００について説明する。

＜光学レンズ検査装置１００の構成＞
図１は、検査システム１０１の全体構成を示すブロック図である。検査システム１０１は、本実施の形態に関する光学レンズ検査装置１００を含む。検査システム１０１は、収容部１０２と、良品収容部１０３と、不良品収容部１０４とを備える。収容部１０２は、検査対象となる光学レンズを収容する。良品収容部１０３は、光学レンズ検査装置１００で良品と判断された光学レンズを受け取って収容する。不良品収容部１０４は、光学レンズ検査装置１００で不良品と判断された光学レンズを受け取って収容する。

検査システム１０１は移送機構１０５，１０６，１０７をさらに備える。移送機構１０５は、収容部１０２と光学レンズ検査装置１００との間で光学レンズを移送する。移送機構１０６は、光学レンズ検査装置１００と良品収容部１０３との間で光学レンズを移送する。移送機構１０７は、光学レンズ検査装置１００と不良品収容部１０４との間で光学レンズを移送する。図中の矢印は、光学レンズが移送される方向を示す。なお、移送機構１０６と移送機構１０７は、互いに同一の機構によって構成されても良いし、兼用されても良い。

検査システム１０１は、後に詳細に説明される制御部５０と接続される。制御部５０により、それぞれの装置が制御されて光学レンズの処理を行う。

図２は、本実施の形態に関する光学レンズ検査装置１００の全体構成を示す概略図である。また、図３は、本実施の形態に関する光学レンズ検査装置１００の移動機構４の動作を全体構成とともに示す概略説明図である。光学レンズ検査装置１００は、検査対象となる光学レンズ１を撮像する撮像部２と、光学レンズ１に対して光を照射する照明部材３と、照明部材３を移動させる移動機構４と、を備える。

光学レンズ検査装置１００は、コンピュータ５に接続される。コンピュータ５は、検査システム１０１の全体動作の制御を行う制御部５０の機能を備える。制御部５０は光学レンズ検査装置１００の全体動作の制御を行う。

光学レンズ１は図示しない光学レンズ保持部により保持されて光学レンズ検査装置１００に固定される。光学レンズ保持部は、例えば中空孔が形成された板状部材により構成される。この中空孔に光学レンズ１の周縁部が保持されることにより、光学レンズ１が光学レンズ検査装置１００に固定される。

撮像部２は、光学系２１と、撮像デバイス２２とを有する。光学系２１は撮像レンズ２３を備える。撮像レンズ２３は、光学レンズ１を通過する照明部材３からの光を撮像デバイス２２に導いて結像させる。光学系２１はさらに開口絞り２４を備える。開口絞り２４は、光学レンズ１を通過して撮像デバイス２２に到達する光の量を調整する遮蔽物として機能する。撮像デバイス２２は、例えば、ＣＣＤ（ＣｈａｒｇｅＣｏｕｐｌｅｄＤｅｖｉｃｅ）イメージセンサ、または、ＣＭＯＳ（ＣｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙＭｅｔａｌＯｘｉｄｅＳｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）イメージセンサである。

図７は、制御部５０と光学レンズ検査装置１００の各構成との接続の関係を示すブロック図である。例えば制御部５０は、各種演算処理を行う中央演算処理装置であるＣＰＵ（ｃｅｎｔｒａｌｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇｕｎｉｔ）５１と、基本プログラムを記憶する読み出し専用のメモリであるＲＯＭ（ｒｅａｄｏｎｌｙｍｅｍｏｒｙ）５２と、各種情報を記憶する読み書き自在のメモリであるＲＡＭ（ｒａｎｄｏｍａｃｃｅｓｓｍｅｍｏｒｙ）５３と、を備える。ＣＰＵ５１は照明部材３、移動機構４、撮像部２等に接続され、制御部５０はこれらを制御する。また、制御部５０は、撮像部２で撮像された画像をＲＡＭ５３に記憶させる。ＲＡＭ５３で記憶された画像は、ＣＰＵ５１で処理される。制御部５０は例えばコンピュータ５によって実現される。

図４は、照明部材３の光源の構成の例を示す説明図である。照明部材３は、光学レンズ１を挟んで撮像部２と対向して配置される。照明部材３は図４に示すように複数の光源３３を有する。これらの光源３３は例えば直線状に配列される。照明部材３は、複数のＬＥＤ（ＬｉｇｈｔＥｍｉｔｔｉｎｇＤｉｏｄｅ）が直線状に配置されることにより構成されても、直線状のハロゲンランプにより構成されても、複数のハロゲンランプが直線状に並列されて構成されても、複数のレーザー光源が直線状に並列されて構成されても良い。

照明部材３は、移動機構４に固定されて、移動機構４の移動に伴って移動する。図５は、移動機構４を示す概略図であり、図６は、移動機構４と光学レンズ１とを示す概略図である。図５においては、移動機構４を構成する第１回転部４１の回転方向４１Ｒが示される。また、図６においては、移動機構４を構成する第２回転部４２の回転方向４２Ｓが示される。

移動機構４は、第１回転部４１と、第１回転部４１に取付られる第２回転部４２とを備える。照明部材３は、光源３３の照射方向が光学レンズ１方向を向くように、第２回転部４２に固定される。第１回転部４１は、第２回転部４２を介して照明部材３を光学レンズ１の光軸Ｏ１を略中心として光学レンズ１に対して回転させる。

第２回転部４２は、例えば、ゴニオステージにより構成される。ゴニオステージは、ガイドレール４２ａと、ガイドレール４２ａ上を移動する移動部材４２ｂとを備える。ガイドレール４２ａは第１回転部４１側において第１回転部４１に固定される。第１回転部４１とは反対側において、軸Ｏ２を略中心として、移動部材４２ｂはガイドレール４２ａ上を回転する。軸Ｏ２は、光学レンズ１の主平面Ｐ１上に位置し光学レンズ１の中心Ｃを含む。移動部材４２ｂはガイドレール４２ａ上に配置される。ガイドレール４２ａは、移動部材４２ｂが回転方向４２Ｓに往復移動するように、移動部材４２ｂを案内する。移動部材４２ｂの回転方向４２Ｓへの移動に伴って、照明部材３が回転方向４２Ｓに沿って移動する。このようにして、第２回転部４２は、照明部材３を光軸Ｏ１に近づく位置と光軸Ｏ１から遠ざかる位置との間で光学レンズ１に対して相対的に移動させる。そして、例えば、第２回転部４２は、照明部材３を、照明部材３と軸Ｏ２を結ぶ線と光軸Ｏ１との成す角度が変化するように移動させる。

以上のような構成により、第１回転部４１が光軸Ｏ１周りに回転すると、第１回転部４１の回転に伴って第２回転部４２も光軸Ｏ１周りに回転する。これにより、第２回転部４２に固定される照明部材３も回転する。照明部材３から光学レンズ１への光の照射方向３Ｄは、移動部材４２ｂのガイドレール４２ａ上の移動に伴って変更される。言い換えると、光学レンズ１に対する照明部材３の光の照射方向３Ｄが、照明部材３のゴニオステージ（ガイドレール４２ａ）上で移動する照明角度θ（照明角度θは照射方向３Ｄが光軸Ｏ１と一致するところを０度とする）に応じて変更される。

図８は、光学レンズ１と照明部材３との位置関係を示す平面図である。照明部材３において複数の光源３３が直線状に配列される幅ｄは、例えば、光学レンズ１の直径２Ｒと略同一、または、直径２Ｒよりも大きい。このように、ｄ≧２Ｒであれば、照明部材３が図８における矢印Ｓ方向へ一度走査されただけで、照明部材３により光学レンズ１の略全面が照射される。ただし、ｄ＜２Ｒであっても、照明部材３が図７のＸＹ平面方向において矢印Ｓ方向に垂直な方向にも移動することで、照明部材３により光学レンズ１の略全面が照射される。ＣＰＵ５１で行われる画像の処理は、例えば、撮像部２で撮像された画像から抽出される暗視野領域３１を利用することにより行われる。暗視野領域３１は、明部と暗部の境界に存在する領域である。ここで、明部とは、明視野領域３２のことであり、暗部とは、照明部材３から光が届かない領域のことである。暗視野領域３１は、光の照射される全体領域から明視野領域３２を除外して得られる領域である。明視野領域３２とは、照明部材３からの明視野光のみから得られる領域のことをいう。

暗視野領域３１の抽出は、例えば、明視野領域３２をマスキング加工することにより行われる。抽出された暗視野領域３１のみの画像が得られる。暗視野領域３１のみを抽出する理由は、コントラストが強調されて細やかな傷の検出を容易にすることにある。照明部材３が第２回転部４２により矢印Ｓ方向へ移動することにより、光学レンズ１の所定領域が撮像される。この撮像により得られた暗視野領域３１のみの画像である暗視野画像が制御部５０で作成される。この暗視野画像に基づいて光学レンズ１の良否が判定される。なお、所定領域は、例えば、光学レンズ１において傷が存在する可能性の高い箇所が優先されて定められる領域である。

図９は、第１回転部４１により照明部材３が回転して得られる照明部材３の二つの位置と、光学レンズ１との位置関係を示す平面図である。本実施形態においては、第１回転部４１がＸＹ平面上での照明部材３の第２回転部４２の軸Ｏ２の方向を変える。具体的には、照明部材３が第１回転部４１の初期位置において第２回転部４２の回転により、光学レンズ１の所定領域を照射した後、第１回転部４１により光軸Ｏ１を中心に所定角度βだけ回転する。この所定角度βは、例えば、光軸Ｏ１周りに４５度である。このように、第１回転部４１により照明部材３が回転すると、光学レンズ１が照明部材３により複数の角度（複数の位置）から照射される。また、第１回転部４１により照明部材３が回転すると、光学レンズ１は複数の照射方向３Ｄから照射される。

図９において、第１回転部４１の初期位置では軸Ｏ２がＸ方向と平行になり、このときの照明部材３（暗視野領域３１および明視野領域３２を含む。）は一点鎖線で示される。第１回転部４１が初期位置から所定角度βで回転した後の照明部材３（暗視野領域３１および明視野領域３２を含む。）は実線および破線で示される。なお、破線で示される暗視野領域３１および明視野領域３２は、光学レンズ１を通過する前の状態が示される。

ここで、例えば、筋状（直線状）の傷による欠陥１１に対して、欠陥１１の延在方向と平行な方向（０度または１８０度の角度）からの光の照射であると、傷による光の散乱現象が起こりにくい。このため、撮像される画像内での傷と傷のない部分との間でコントラストが十分得られないことがある。このため、傷の検出ができないことがある。これに対し、筋状（直線状）の傷による欠陥１１に対して、角度を持った方向（０度および１８０度を除く角度）からの光の照射であると、傷による光の散乱現象が起こりやすい。このため撮像される画像内での傷による欠陥１１と欠陥１１のない部分との間でコントラストが向上する。この光学レンズ検査装置１００によれば、照射方向３Ｄが複数の方向に設定可能であって、これまで見逃されることのあった直線状の傷の検出が容易である。

また、本実施形態においては、透明な光学レンズ１が検査対象として例示される。透明な光学レンズ１において傷などの欠陥１１がある場合は、照明部材３からの光がその欠陥１１によって散乱する。欠陥１１のサイズは一般的には光の波長よりも大きいため、欠陥１１に光が照射されると、いわゆるミー散乱現象（光の波長程度以上の大きさの球形粒子による光の散乱現象）が起こる。このミー散乱現象により散乱した光（以下、「散乱光」という。）の一部が撮像部２で撮像されて、制御部５０において画像処理されることにより、欠陥１１が検出される。なお、制御部５０における画像処理は、例えば、２値化処理により行われる。２値化処理された画像では、例えば、明るい部分が「Ｈ」、暗い部分が「Ｌ」として処理される。仮に散乱光が映り込んでいれば、散乱光が映り込んだ部分が明るくなり、その部分が「Ｈ」として処理される。反対に、光の映り込まない部分は、暗くなり、その部分は「Ｌ」として処理される。したがって、例えば、処理される画像中に散乱光が映り込んだ部分が「Ｈ」として処理された場合、制御部５０により光学レンズ１が不良であると判断される。一方で、散乱光が映り込んだ部分がなければ、画像全体が「Ｌ」として処理され、制御部５０により光学レンズ１が良であると判断される。

＜第１の実施の形態に関する光学レンズ検査装置１００による検査の工程＞
図１０は、第１の実施の形態に関する光学レンズ検査装置１００により光学レンズ１が検査される工程を示すフロー図である。光学レンズ検査装置１００により光学レンズ１が検査される場合には、まず、照明部材３から光学レンズ１への光の照射が開始される（ステップＳ１）。

ステップＳ１で照明部材３から光学レンズ１への光の照射が開始された後、第２回転部４２が回転する（ステップＳ２）。第２回転部４２は、手動または自動によって回転する。自動による回転の場合は、制御部５０により制御される。本実施形態においては、第２回転部４２はゴニオステージにより構成される。このゴニオステージにより回転する照明部材３の軌道と、光学レンズ１の主平面Ｐ１における照明部材３からの照射位置との関係は、次のようにして求められる。

図１１は、撮像デバイス２２、光学レンズ１、および照明部材３の位置関係を座標系で示す図である。図１１中、光学レンズ１の中心Ｃの座標（０，０）、照明部材３から光学レンズ１の主平面Ｐ１に照射される位置Ｄの座標（ｙ_０，０）と撮像部２の撮像レンズ２３の中心Ｅとを結ぶ線の光学レンズ１の光軸Ｏ１に対する傾きθ_Ｉ、照明部材３の位置Ｆの座標（ｙ_ｓ，ｚ_ｓ）、位置Ｆが取り得る範囲を表す円弧Ｊの半径ｒ、位置Ｄと位置Ｆとを結ぶ線Ｌの光軸Ｏ１に対する傾きθ_０、中心Ｃと位置Ｆとを結ぶ線Ｋと光軸Ｏ１との間の照明角度θが導入され、下記のように諸量が求められる。なお、光学レンズ１の中心Ｃとは、光学レンズ１の主平面Ｐ１の成す円の中心とみなしてよい。

傾きθ_０は、光学レンズ１のパワー（＝焦点距離ｆ_Ｌの逆数）から、下記式（１）で表される。

また、位置Ｄと位置Ｆとを結ぶ線は下記式（２）で表され、円弧Ｊは下記式（３）で表される。

位置Ｆは円弧Ｊと線Ｌとの交点である。式（２）および式（３）の両方を満足する座標（ｙ、ｚ）のうち、ｚ＜０の条件に適合する方が位置Ｆの座標（ｙ_ｓ，ｚ_ｓ）として妥当である。式（２）および式（３）を満足するｙ＝ｙ_ｓ，ｚ＝ｚ_ｓは、それぞれ下記式（４）および式（５）で表される。

照明角度θは下記式（６）を満足する。

この式（６）に対して、式（４）および式（５）を代入すると、下記式（７）が得られる。

式（７）を用いて、照明部材３からの照射光が光学レンズ１上の位置Ｄを照射し、撮像レンズの中心Ｅを通過して撮像素子面に入射するときの照明角度θ_Ｉが求められる。すなわち位置Ｄを明視野撮像するときの照明角度θを求めることができる。これにより、光学レンズ１の中心位置Ｃに対する照明角度θの可動範囲が求められる。

ステップＳ２の実行により、第２回転部４２の回転に伴って照明部材３が軸Ｏ２を中心として回転する。照明部材３の回転により、光学レンズ１の所定領域（予め決められた領域、例えば、光学レンズ１が撮像部２により撮像される領域全体）が照射される。ステップＳ３において第２回転部４２の回転が終了したか否かが判断される。当該回転が終了したと判断されると、光の照射が維持されつつ撮像部２による光学レンズ１の撮像を行う（ステップＳ４）。このように光学レンズ検査装置１００は、照明部材３から光学レンズ１に対して光を照射しつつ、光学レンズ１を挟んで照明部材３と対向して配置された撮像部２により光学レンズ１を撮像する（第１撮像工程）。光学レンズ１が撮像されるときには、光学レンズ１に焦点が合わされている。その後、処理がステップＳ５へ進む。なお、ステップＳ３において当該回転が終了していないと判断されれば、処理がステップＳ２へ戻って第２回転部４２の回転がされる。

ステップＳ５では、制御部５０において、撮像部２で撮像された画像の処理が行われる。この画像の処理は、上述のとおり、暗視野領域３１のみを抽出して行われる。制御部５０において、抽出された暗視野領域３１の画像のみによる暗視野画像が形成される。ステップＳ６において、光学レンズ１の欠陥１１による散乱光が暗視野画像に含まれているかどうかが制御部５０によって判断される（ステップＳ６）。

ステップＳ６において散乱光が暗視野画像に含まれていると判断されなければ、光学レンズ１が良と判断される（ステップＳ７）。ステップＳ６において散乱光が暗視野画像に含まれていると判断されれば、光学レンズ１が不良と判断される（ステップＳ８）。

ステップＳ７で、光学レンズ１が良と判断された場合には、第１回転部４１の回転が必要かどうかが判断される（ステップＳ９）。光学レンズ１が第２回転部４２による走査のみでは、照明部材３による光の照射方向３ＤとのＰ１への射影と成す角度が小さい傷は、検出されにくいためである。このため、本実施形態においては、ステップＳ１１が実行されて第１回転部４１が回転した後、処理が再びステップＳ３に戻る。第１回転部４１がステップＳ１１において回転する角度は、光軸Ｏ１を中心として、例えば４５度である。第１回転部４１の回転の後、ステップＳ３で再度第２回転部４２が回転することにより、照明部材３は、照射方向３ＤのＰ１への射影の方向を異ならせる。これにより、本実施形態の光学レンズ検査装置１００によれば、光学レンズ１の筋状（直線状）の傷等も検出され易い。

すでに第１回転部４１が回転し、照明部材３は、照射方向３ＤのＰ１への射影の方向を異ならせて光学レンズ１に対して光が照射されていれば、ステップＳ９で第１回転部４１の回転が不要と判断される。そして、光学レンズ１が良と判断されて（ステップＳ１０）、光学レンズ１に対する光学レンズ検査装置１００の検査が終了する。これに対し、光学レンズ１に対して別の角度からの照明がさらに必要である場合には、ステップＳ９で第１回転部４１の回転が必要と判断される。ステップＳ９で第１回転部４１の回転が必要と判断されると、第１回転部４１が回転する（ステップＳ１１）（回転工程）。光学レンズ検査装置１００は、照明部材３を、光学レンズ１の光軸Ｏ１を略中心として光学レンズ１に対して相対的に回転させる。そして、光学レンズ検査装置１００は、光学レンズ１と照明部材３を第１撮像工程と異なる位置関係に配置する。第１回転部４１が回転した後、再びステップＳ２に戻り、光学レンズ検査装置１００は、ステップＳ１１の回転工程後に、光学レンズ１に対して照明部材３から光を照射しつつ、第２回転部４２の回転、撮像部２による光学レンズ１の撮像を行う（第２撮像工程）。そして、光学レンズ１の検査が行われる。

＜第２の実施の形態＞
以下、第２の実施の形態に関する光学レンズ検査装置２００について説明する。

＜光学レンズ検査装置２００の構成＞
図１２は、第２の実施の形態に関する光学レンズ検査装置２００の移動機構２４０の動作を全体構成とともに示す概略説明図である。第２の実施の形態の光学レンズ検査装置２００は、移動機構２４０を備える。移動機構２４０は、第１回転部４１と、第１回転部４１に固設される平面移動部２４２とを備える。図１３は、図１２の移動機構２４０を示す概略図である。図１２においては、移動機構２４０を構成する第１回転部４１の回転方向４１Ｒと平面移動部２４２の移動方向２４２Ｓとが示される。

平面移動部２４２は、光軸Ｏ１に垂直な平面（ＸＹ平面）上に照明部材３を移動させる。平面移動部２４２は、ガイドレール２４２ａと、ガイドレール２４２ａ上を移動する移動部材２４２ｂとを備える。ガイドレール２４２ａは第１回転部４１に固定される。ガイドレール２４２ａは、移動部材２４２ｂがＸＹ平面上で直線方向の移動方向２４２Ｓに往復移動するように、移動部材２４２ｂを案内する。照明部材３は、移動部材２４２ｂに固定され、移動部材２４２ｂの移動に伴って移動する。移動部材２４２ｂの移動方向２４２Ｓへの移動に伴って、照明部材３が２４２Ｓ方向へ移動する。このようにして、平面移動部２４２は、照明部材３を光軸Ｏ１に近づく位置と光軸Ｏ１から遠ざかる位置との間で移動させる。

光学レンズ検査装置１００による検査の工程のうち、ステップＳ３の第２回転部４２による照明部材３の回転移動が、平面移動部２４２による照明部材３の直線移動に変更されて、光学レンズ検査装置２００による検査の工程が得られる。すなわち、第２の実施形態においては、照明部材３の位置Ｆが円弧Ｊ上ではなく、Ｙ軸に平行な直線上を移動する。なお、照明角度θ等は、第１の実施形態における式（１）ないし（１０）を、位置Ｆがｚ＝－ｒの直線上を移動する条件に置き換えて計算することで求めることができる。光学レンズ検査装置２００による検査の工程のその他の点は光学レンズ検査装置１００による検査の工程と同じである。光学レンズ検査装置２００は、平面移動部２４２を採用するので、第２回転部４２を採用するよりも簡易な構成で、照明部材３を移動させることができる。ただし、照明部材３から光学レンズ１への光の照射方向３Ｄを移動部材４２ｂの移動に伴って簡易に変更できる点で、第２回転部４２の構成が好ましい。

＜第３の実施の形態＞
以下、本願の第３の実施形態について説明する。第３の実施の形態は、第１の実施形態に関する光学レンズ検査装置１００と同じ構成の装置が利用される。

＜第３の実施の形態に関する光学レンズ検査装置１００による検査の工程＞
第３の実施の形態に関する光学レンズ検査装置１００により、照明部材３は、撮像部２に照明部材３からの明視野光が入らない範囲で移動する。この範囲は、予め、検査される予定の光学レンズ１と同一形状のサンプル光学レンズが撮像されることにより、決定される。図１４は、第３の実施の形態に関する光学レンズ検査装置１００による照明部材３の移動する範囲が決定される工程を示すフロー図である。

第３の実施の形態に関する光学レンズ検査装置１００は、光学レンズ１と同一形状のサンプル光学レンズを、サンプル光学レンズに対する相対的な位置が異なる複数の位置から照明部材３によって照明する。そして、この光学レンズ検査装置１００は、サンプル光学レンズを挟んで照明部材３と対向する撮像部２によって、サンプル光学レンズを撮像する。

具体的には、光学レンズ検査装置１００により光学レンズ１が検査される前に、光学レンズ１と同一形状のサンプル光学レンズが検査される。まず、光学レンズ検査装置１００にセットされたサンプル光学レンズに対して照明部材３から光が照射される（ステップＳ１０１）。サンプル光学レンズとして、実際に検査される光学レンズ１と同一形状のレンズが採用される。ステップＳ１０１で、照明部材３による光の照射が開始されると、撮像部２によるサンプル光学レンズの撮像が開始される（ステップＳ１０２）。

ステップＳ１０１で照明部材３によるサンプル光学レンズへの光の照射が開始された後、第２回転部４２が回転する（ステップＳ１０２）。

ステップＳ１０２の実行により、第２回転部４２の回転に伴って照明部材３が軸Ｏ２を中心として回転する。照明部材３の回転により、サンプル光学レンズの所定領域（予め決められた領域、例えば、光学レンズ１が撮像部２により撮像される領域全体）が照射される。ステップＳ１０３において第２回転部４２の回転が終了したか否かが判断される。当該回転が終了したと判断されると、撮像部２によるサンプル光学レンズの撮像が実行される（ステップＳ１０４）。このとき、光学レンズ検査装置１００は、サンプル光学レンズを、照明部材３によって照明しつつ、撮像部２によって撮像する（サンプル撮像工程）。その後、処理がステップＳ１０５へ進む。なお、ステップＳ１０３において当該回転が終了していないと判断されれば、処理がステップＳ１０２へもどって第２回転部４２の回転が継続される。第１回転部４１の回転の要否の判断については、第１の実施の形態における光学レンズ１の場合と同様の理由により、必要とされる。

第１の実施の形態における光学レンズ１の場合と同様に、第１回転部４１の回転が必要であるかどうかが判断される（ステップＳ１０５）。ステップＳ１０５で第１回転部４１の回転が必要であると判断され、第１回転部４１の回転が実行されて第１回転部４１が回転する（ステップＳ１０６）。これにより、光学レンズ検査装置１００は、サンプル光学レンズと照明部材３との相対的な位置が異なる複数の位置関係において、照明部材３によってサンプル光学レンズを照明する。第１回転部４１の回転は、後に撮像される光学レンズ１の撮像時の第１回転部４１の回転回数よりも多く行われる。光学レンズ１における暗視野領域３１および明視野領域３２が、事前に把握される方が好ましいためである。第１回転部４１が回転した後、処理が再びステップＳ１０２に戻る。これらの動作が繰り返されることにより、後に撮像される光学レンズ１において、暗視野領域が得られる範囲が把握される。

すでに第１回転部４１が回転し、照明部材３は、照射方向３ＤのＰ１への射影の方向を異ならせて光学レンズ１に対して光が照射されていれば、ステップＳ１０５で第１回転部４１の回転が不要と判断される。

第１回転部４１の回転および第２回転部４２の回転が終了すると、ステップＳ１０７において、撮像部２で撮像された画像の処理が制御部５０によって行われる。この画像の処理により、撮像された画像に明視野領域３２が映り込んでいるかどうかが判断される。

ここで、撮像される画像に明視野領域３２が映り込む場合と、映り込まない場合とを、図を用いて説明する。図１５ないし図２０は照明部材３から撮像部２までの照射光の経路を示す説明図である。図１５および図１６は照明部材３、光学レンズ１、および撮像部２の配置関係が同じ条件である場合を示す。図１７および図１８は照明部材３、光学レンズ１、および撮像部２の配置関係が同じ条件である場合を示す。図１９および図２０は照明部材３、光学レンズ１、および撮像部２の配置関係が同じ条件である場合を示す。図１５、図１７、および図１９は、光学レンズ１における照明部材３からの光の照射位置に欠陥１１がない場合を示す。図１６、図１８、および図２０は、光学レンズ１における照明部材３からの光の照射位置に欠陥１１がある場合を示す。

図１５および図１６において、照明部材３からの照射光の経路を比較する。図１５では、照明部材３からの照射光が光学レンズ１、撮像レンズ２３、および開口絞り２４を通過して撮像デバイス２２に到達する。したがって、図１５の照明部材３の配置では、撮像される画像に明視野領域３２が映り込んでしまう。図１６では、照明部材３からの照射光が光学レンズ１の欠陥１１に衝突することにより散乱現象が起こる場合が示される。この散乱現象による散乱光が、光学レンズ１、撮像レンズ２３、および開口絞り２４を通過して撮像デバイス２２に到達する。図１５においても図１６においても照明部材３からの照射光が撮像される画像に映り込んでしまう。このため、図１５および図１６に示される照明部材３の配置では、光学レンズ１の欠陥１１の有無が明確にならない。

図１７および図１８において、照明部材３からの照射光の経路を比較する。図１７では、照明部材３からの照射光は、光学レンズ１を透過するが、開口絞り２４に遮断されて、撮像デバイス２２に到達していない。したがって、図１７の照明部材３の配置では、撮像される画像に明視野領域３２が映り込まない。図１８では、照明部材３からの照射光が光学レンズ１の欠陥１１に衝突することにより散乱現象が起こる場合が示される。この散乱現象による散乱光の一部が、光学レンズ１、撮像レンズ２３、および開口絞り２４を通過して撮像デバイス２２に到達する。図１７および図１８に示される照明部材３の配置であれば、光学レンズ１に欠陥１１が有る場合にのみ撮像される画像に光が映るので、光学レンズ１の欠陥１１の有無が明確である。

図１９および図２０において、照明部材３からの照射光の経路を比較する。図１９では、照明部材３からの照射光は、光学レンズ１を透過するが、開口絞り２４に遮断されて、撮像デバイス２２に到達していない。したがって、図１９の照明部材３の配置では、撮像される画像に明視野領域３２が映り込まない。図２０では、照明部材３からの照射光が光学レンズ１の欠陥１１に衝突することにより散乱現象が起こる場合が示される。この散乱現象による散乱光は、光学レンズ１及び開口絞り２４を通過して撮像デバイス２２に到達する。このため、図１９および図２０に示される照明部材３の配置であれば、光学レンズ１の欠陥１１の有無が明確になる。

以上のように、光学レンズ１の欠陥１１の有無が明確になるためには、照明部材３と光学レンズ１と撮像部２との配置関係が重要であることがわかる。図２１は、光学レンズ１の欠陥１１の有無が明確になるための照明部材３の好ましい配置の一例を説明する図である。より具体的には、予め所定の位置に人為的に欠陥１１を設けたサンプル用の光学レンズに対して照明の照射角度を変更しつつ撮像を行った際の、照射角度と検出度合いの関係を示す図である。図２１において、横軸の照明角度θは図５および図１０における照明角度θを示す。例えば照明角度θは第２回転部４２（第１の実施の形態）あるいは平面移動部２４２（第２の実施の形態）の動作によって制御される。この図において、Ｐは、撮像された画像において欠陥１１に相当する部分の画素値を示し、Ｐ´は撮像された画像において欠陥１１の周囲に相当する部分の画素値を示す。欠陥１１に相当する部分と、欠陥１１の周囲に相当する部分との区別は、欠陥１１を作成した位置の情報に基づき、撮像画像中で欠陥１１に相当する部分と、欠陥１１の周囲に相当する部分それぞれの画素の位置を予め指定することにより行われる。なお、図２１において、照明角度θ＜θ１の範囲は、明視野領域３２が映り込んでいる領域である。この範囲では、明視野光の影響により全体的に画素値が高くなっている。この範囲は、ＰとＰ´との区別がつかない範囲である。

この図２１において、縦軸（右側）に示す検出度合いＰ／Ｐ´は、［Ｐの値］／［Ｐ´の値］を示す。図２１を参照すると、照明角度θが値θ１（≒４．５［ｄｅｇ］）未満では、検出度合いＰ／Ｐ´が１となっており、光学レンズ１の欠陥１１の有無が明確にはならないことがわかる。これに対し、照明角度θが値θ２（≒７．５［ｄｅｇ］）以上であれば、検出度合いＰ／Ｐ´が概ね１．５を超えている。検出度合いＰ／Ｐ´が１．５を超えると、欠陥１１が十分に把握できる程、欠陥１１が明確になる。したがって、光学レンズ１の欠陥１１の有無が明確になることがわかる。特に照明角度θが、θ２＜θ＜１６［ｄｅｇ］の場合に、検出度合いＰ／Ｐ´が１．５を大きく超えており、光学レンズ１の欠陥１１の有無が顕著になることがわかる。なお、今回の例において、この検出度合いＰ／Ｐ´が１．５を超える場合には、照明部材３による明視野光が映り込んでいないことが実験により判明している。

ここで、照明角度θの値がθ１（≒４．５［ｄｅｇ］）未満の検出度合いＰ／Ｐ´が１となる場合というのは、画像に明視野光が映り込む場合である。このように明視野光が映り込むと、明視野光によって欠陥１１による散乱光が目立たなくなる。したがって、検出度合いＰ／Ｐ´が大きくなる条件（θ２＜θ＜１６［ｄｅｇ］）で照明部材３が配置されると、欠陥１１と欠陥１１でない部分との相違が明確になる。このため、撮像される画像の枚数が少量であっても欠陥１１が検出され得る。このため、検出度合いが大きくなると、撮像される画像の枚数を削減することができ、短時間かつ低コストで光学レンズ１を検査することができる。なお、θ１、θ２は光学レンズ１のパワーおよび欠陥１１の位置に依存するため、上述（後述）の数値は一例である。同様に、検出度合いの指標値として、上記の例では１．５としたが、これも一例であり、検査対象とする光学レンズ１のパワー及び欠陥１１の位置に応じて適宜調整される。

図２２は、明視野領域３２が映り込まない照明部材３の配置を示す平面図である。具体的に、照明部材３の特に好ましい配置の条件は、照明部材３の配置が、ＸＹ平面視において光学レンズ１の中心Ｃからの距離がＲ＋ｗ（Ｒは光学レンズ１の半径、ｗは照明部材３の幅（２ｗ）の１／２）となることである。この配置の関係であれば、撮像される画像に明視野領域３２が映り込まず、検出度合いも大きくなる。ただし、この照明角度θの条件は、光学レンズ１のパワーに依存する。この照明角度θは、第１の実施形態における式（７）で、ｙ０＝Ｒ＋ｗとすることで算出できる。

以上の説明から、撮像された画像に明視野領域３２が映り込むか否かは、照明部材３の配置や撮像部２の開口絞り２４の条件の設定によるものが大きいことがわかる。

ステップＳ１０８において撮像された画像に明視野領域３２が映り込んでいないと判断されれば、ステップＳ１０９においてサンプル光学レンズに対する照明部材３の移動の範囲が光学レンズ１の検査での照明部材３の移動の範囲と決定される。

ステップＳ１０８において撮像された画像に明視野領域３２が映り込んでいると判断されば、ステップＳ１１０において明視野領域３２が映り込んだ画像における照明部材３の配置条件が除外された範囲が光学レンズ１の検査での照明部材３の移動の範囲と決定される。上述のサンプル撮像工程において、照明部材３からの明視野光が入らない（映り込まない）画像が撮像されたときの照明部材３のサンプル光学レンズと撮像部２に対する相対的な位置関係が、第１撮像工程および第２撮像工程における照明部材３の光学レンズ１と撮像部２に対する相対的な位置関係に採用される。

このようにして、第３の実施の形態に関する光学レンズ検査装置１００は、予め決定された照明部材３の移動の範囲で、光学レンズ１を検査する。具体的には、図１０におけるフローと同様のフローにより光学レンズ１の検査が行われる。光学レンズ検査装置１００は、光学レンズ１を、光学レンズ１に対する相対的な位置が異なる複数の位置から照明部材３によって照明し、撮像部２によって撮像する。

第３の実施の形態に関する光学レンズ検査装置１００は、照明部材３からの明視野光が入らない画像（明視野領域３２が映り込まない画像）が撮像されたときの照明部材３のサンプル光学レンズと撮像部２とに対する相対的な位置関係が、照明部材３の光学レンズ１と撮像部２とに対する相対的な位置関係に採用される。

上述した実施形態においては、照明部材３は、直線状に配列される構成であるが、直線状に配列される構成に限定されず、曲線状に配列される構成でもよい。図２３は、光学レンズ１と曲線状に配列された照明部材３とを示す説明図である。図２３のように、照明部材３の発光部分が光学レンズ１の凸面または凹面の形状に対応した形状（例えば、曲線状）に配列されて、照明部材３の各発光部分と光学レンズ１との距離を略同一にすることができる。これにより、各発光部分からの照射光が光学レンズ１を通じた光の撮像部２での焦点位置が合わされ易くなる。したがって、光学レンズ１の欠陥１１が検出され易くなる。

上述した実施形態においては、光学レンズ１は、照明部材３に対して光軸Ｏ１を略中心として相対的に回転していればよい。したがって、照明部材３に代えて光学レンズ１が回転する構成が採用されてもよい。また、上述した実施形態において、開口絞り２４は、例えば、照明部材３からの明視野光が撮像レンズ２３へ入らないように制御部５０によって調整されてもよい。この場合、例えば、光学レンズ１の撮像時に、制御部５０の制御により、画像処理にとって適切なコントラストになるように開口絞り２４が調整される。また、例えば、光学レンズ１と撮像部２との距離や光学レンズ１と照明部材３との距離も、制御部５０の制御により調整されてもよい。また、上記の実施形態において、例えば、光学レンズ１の位置調整機構、撮像部２の位置調整機構、または照明部材３の位置調整機構が備えられ、これらの位置調整機構（いずれも不図示）によって、上述の距離が調整される。

上述した第１の実施の形態においては、第２回転部４２は、例えば、ゴニオステージにより構成されるが、照明部材３と第１回転部４１とを軸Ｏ２を略中心として回転させる構成であれば、これに限定されない。

上述した第１の実施の形態において、第１回転部４１の回転が必要かどうかの判断（ステップＳ９）は、撮像部２で撮像された画像の処理（ステップＳ５）の前に行ってもよい。すなわち、光学レンズ１と照明部材３を異なる複数の位置関係に配置して撮像した複数の画像を取得した後に、当該複数の画像の処理をまとめて行ってもよい。

上述の第２の実施の形態における光学レンズ検査装置２００を構成する平面移動部２４２の移動部材２４２ｂが、例えば、照明部材３の光の照射角度を変更可能に、照明部材３と連結される構成が採用されて、第２の実施の形態の変形例が得られる。図２４は、第２の実施の形態の変形例における照明部材３と移動機構２４０とを示す側面図である。この変形例における光学レンズ検査装置２００は、照明部材３の光の照射方向３Ｄを変更する照射角度変更部２３３をさらに備える。照射角度変更部２３３は、平面移動部２４２に対して照明部材３を連結する。照射角度変更部２３３は、Ｘ軸方向を中心軸として回転可能に構成される。このため、照射角度変更部２３３の回転に伴って、照明部材３がＸ軸に沿った軸周りに回転する。Ｘ軸方向は、移動部材２４２ｂの移動方向に垂直となる方向である。このように移動部材２４２ｂの移動方向と垂直となる方向に回転することにより、照明部材３から光学レンズへの光の照射角度が変更される。したがって、光学レンズの凹凸形状に対応させて、光学レンズに対して光が照射される。言い換えると、図２４に示すような変形例は、照明部材３が光の照射角度を移動機構２４０に依らずに変更させることができる。このような第２の実施の形態における光学レンズ検査装置２００によれば、光学レンズ１が照明部材３により複数の角度（複数の位置）から照射される。

上述の実施形態においては、光学レンズ検査装置１００，２００は、第２回転部４２を備えるが、第２回転部４２を備えない構成であっても良い。この場合は、照明部材３の照射光の強度を大きくすることにより、明部と暗部との境界の領域としての、暗視野領域３１が広がる。このようにして、照明部材３の照射光の強度を大きくして、暗視野領域３１を広げることができる。また、このように暗視野領域３１が広がることにより、光学レンズ１の全体を撮像するために必要な画像の撮像枚数が低減する。この点で、暗視野領域３１を広げることのできる程度に照明部材３の照射光の強度が大きくなることが好ましい。暗視野領域３１が広がれば、第１回転部４１の回転のみでも、光学レンズ１の略全領域を暗視野画像として撮像可能であると考えられる。

今回開示された実施の形態は例示であって、上述の内容のみに限定されるものではない。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内のすべての変更が含まれることが意図される。

１光学レンズ
２撮像部
３照明部材
３Ｄ光の照射方向
４，２４０移動機構
５コンピュータ
１１欠陥
２１光学系
２２撮像デバイス
２３撮像レンズ
２４開口絞り
３１暗視野領域
３２明視野領域
３３光源
４１第１回転部
４１Ｒ第１回転部の回転方向
４２第２回転部
４２Ｓ第２回転部の回転方向
４２ａ，２４２ａガイドレール
４２ｂ，２４２ｂ移動部材
５０制御部
５１ＣＰＵ
５２ＲＯＭ
５３ＲＡＭ
１００光学レンズ検査装置
１０１検査システム
１０２収容部
１０３良品収容部
１０４不良品収容部
１０５，１０６，１０７移送機構
２３０Ｒ照明部材の回転方向
２３３照射角度変更部
２４２平面移動部
２４２Ｓ移動方向
Ｏ１光学レンズの光軸
Ｏ２第２回転部の回転軸
Ｐ１光学レンズの主平面
Ｃ中心

Claims

光学レンズを検査する装置であって、
前記光学レンズを撮像する撮像部と、
前記光学レンズを挟んで前記撮像部と対向して配置され、前記光学レンズに対して光を照射する直線状または曲線状を有する照明部材と、
前記照明部材を、前記光学レンズの光軸を略中心として前記光学レンズに対して相対的に回転させる第１回転部と、
を備える、光学レンズ検査装置。
請求項１に記載の光学レンズ検査装置において、
前記照明部材を、前記光軸に近づく位置と前記光軸から遠ざかる位置との間で前記光学レンズに対して相対的に移動させる移動機構をさらに備える、光学レンズ検査装置。
請求項２に記載の光学レンズ検査装置において、
前記移動機構は前記照明部材を、前記光学レンズの主平面上に位置し前記光学レンズの中心を含む軸を略中心として、前記光学レンズに対して相対的に回転させる第２回転部により構成される、
光学レンズ検査装置。
請求項２に記載の光学レンズ検査装置において、
前記移動機構は、前記光軸に垂直な平面上に前記照明部材を移動させる平面移動部により構成される、
光学レンズ検査装置。
請求項４に記載の光学レンズ検査装置において、
前記照明部材の光の照射方向を変更する照射角度変更部をさらに備える、
光学レンズ検査装置。
請求項１ないし請求項５のいずれか一つに記載の光学レンズ検査装置において、
前記照明部材は、前記撮像部に前記照明部材からの明視野光が入らない範囲で移動する、
光学レンズ検査装置。
請求項６に記載の光学レンズ検査装置において、
前記範囲は、予め前記光学レンズと同一形状のサンプル光学レンズを撮像したときに前記撮像部に前記照明部材が撮像されない範囲に決定される、
光学レンズ検査装置。
請求項１ないし請求項７のいずれか一つに記載の光学レンズ検査装置において、
前記照明部材は直線状に配列され、
前記照明部材の配列される直線状の幅は、前記光学レンズの直径と略同一、または、前記光学レンズの直径よりも大きい、光学レンズ検査装置。
請求項１ないし請求項８のいずれか一つに記載の光学レンズ検査装置において、
前記撮像部で撮像された画像に基づき、前記光学レンズの良否を判定する制御部をさらに備える、光学レンズ検査装置。
光学レンズを検査する方法であって、
直線状または曲線状を有する照明部材から前記光学レンズに対して光を照射しつつ、前記光学レンズを挟んで前記照明部材と対向して配置された撮像部により前記光学レンズを撮像する第１撮像工程と、
前記照明部材を、前記光学レンズの光軸を略中心として前記光学レンズに対して相対的に回転させ、前記光学レンズと前記照明部材を前記第１撮像工程と異なる位置関係に配置する回転工程と、
前記回転工程後に、前記光学レンズに対して前記照明部材から光を照射しつつ、前記撮像部により前記光学レンズを撮像する第２撮像工程と、
を備える光学レンズ検査方法。
請求項１０に記載の光学レンズ検査方法において、
前記光学レンズと同一形状のサンプル光学レンズを、前記サンプル光学レンズと前記照明部材との相対的な位置が異なる複数の位置関係において、前記照明部材によって照明しつつ、前記撮像部によって撮像するサンプル撮像工程をさらに備え、
前記サンプル撮像工程において前記照明部材からの明視野光が入らない画像が撮像されたときの前記照明部材の前記サンプル光学レンズと前記撮像部とに対する相対的な位置関係が、前記第１撮像工程及び前記第２撮像工程における前記照明部材の前記光学レンズと前記撮像部とに対する相対的な位置関係に採用される、光学レンズ検査方法。