TWI686660B - 攝像裝置 - Google Patents

攝像裝置 Download PDF

Info

Publication number
TWI686660B
TWI686660B TW108114005A TW108114005A TWI686660B TW I686660 B TWI686660 B TW I686660B TW 108114005 A TW108114005 A TW 108114005A TW 108114005 A TW108114005 A TW 108114005A TW I686660 B TWI686660 B TW I686660B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
optical path
reflected light
hole
head
path length
Prior art date
Application number
TW108114005A
Other languages
English (en)
Other versions
TW202004320A (zh
Inventor
古谷祥雄
Original Assignee
日商斯庫林集團股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 日商斯庫林集團股份有限公司 filed Critical 日商斯庫林集團股份有限公司
Publication of TW202004320A publication Critical patent/TW202004320A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI686660B publication Critical patent/TWI686660B/zh

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/954Inspecting the inner surface of hollow bodies, e.g. bores

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Studio Devices (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

為了於短時間內良好地拍攝孔之內周面,本發明之攝像裝置具備:光源,其發出用以照明孔之內周面之照明光,其中,該孔係自攝像對象物之表面朝孔形成方向形成;頭部,其具有複數個折回鏡,且於以分別將照明光導引至內周面中在孔形成方向上互不相同之區域並自孔取出由區域反射之反射光之方式將複數個折回鏡插入於孔之狀態下,繞與孔形成方向平行之旋轉軸旋轉;像旋轉補正部,其一面以每單位時間之旋轉角成為頭部之一半旋轉角之方式繞旋轉軸旋轉,一面將自頭部取出之複數反射光朝攝像部導引,而將藉由攝像部拍攝之影像之方向維持一定;及光程長度差補正部,其對自像旋轉補正部射出之每一反射光,一面根據頭部之複數反射光之光程長度差而調整自像旋轉補正部至攝像部之反射光之光程長度,一面朝攝像部導引光。

Description

攝像裝置
本發明係關於一種對自攝像對象物之表面朝孔形成方向形成之孔之內周面進行拍攝之攝像裝置。
以下所示之日本申請案之說明書、圖式及申請專利範圍中之揭示內容,全部作為參考而被編入本說明書中。
日本專利特願2018-103494(2018年5月30日申請)。
作為金屬製零件、樹脂製零件或橡膠製零件等之立體工件之一種,具有自工件之表面設置孔(包含凹部或貫通孔等)之構成。例如,於藉由切削加工對圓盤狀之金屬板之表面形成圓筒形狀之孔之情況下,需要檢查該孔之內周面是否以所希望之周面狀態形成。於此,提出一種檢查技術,其使用例如日本專利特開2012-49624號公報記載之攝像裝置而對孔之內周面進行拍攝,並且基於由該攝像裝置獲得之圖像來檢查工件。
於日本專利特開2012-49624號公報記載之攝像裝置中,沿上下方向延伸設置有能自由插脫於工件之孔內之鏡筒。於該鏡筒之下端側,以相對於鏡筒之軸線傾斜45°之狀態配置有物鏡,將沿鏡筒之軸線自上方朝向下方之照明光朝水平方向折回而照射於孔之內周面。此外,由孔之內周面反射之反射光,係藉由物鏡而 被朝上方折回,然後經由調光部而由照相機單元接收。藉此,可利用照相機單元拍攝孔之內周面之部分圖像。
於該攝像裝置中,為了對孔之內周面遍及全周地進行拍攝,會使鏡筒及物鏡繞軸線旋轉。此外,因自鏡筒射出之反射光伴隨上述旋轉而繞軸線旋轉,而使上述調光部繞軸線旋轉。藉由採用如此之構成,防止入射於照相機單元之光繞軸線旋轉,而可使由照相機單元拍攝之影像之方向維持一定。如此,可於鏡筒及物鏡之插入高度位置對孔之內周面之全周圖像良好地進行拍攝。
惟,為了對與上下方向上之物鏡之尺寸相比而足夠深之孔進行內周面之全周圖像之拍攝,需要一面分多個階段切換鏡筒及物鏡之插入高度位置,一面於各插入高度位置上使鏡筒及物鏡旋轉且與該旋轉同步使調光部旋轉,同時藉由照相機單元反復地進行全周圖像之拍攝。因此,於孔之內周面之拍攝上需要花費極大之時間。
本發明係鑑於上述課題而完成者,其目的在於提供一種攝像裝置,其可於短時間內良好地進行孔之內周面之拍攝。
本發明之攝像裝置係藉由攝像部對自攝像對象物之表面朝孔形成方向形成之孔之內周面進行拍攝者;其特徵在於具備:光源,其發出用以照明內周面之照明光;頭部,其具有複數個折回鏡,且於以分別將照明光導引至內周面中在孔形成方向上互不相同之區域並自孔取出由區域反射之反射光之方式將複數個折回鏡插入於孔之狀態下,繞與孔形成方向平行之旋轉軸旋轉;像旋轉補正部,其一面以每單位時間之旋轉角成為頭部之一半旋轉角之方式繞旋轉軸旋轉,一面將自頭部取出之複數反射光朝攝像部導引,而 將藉由攝像部拍攝之影像之方向維持一定;及光程長度差補正部,其對自像旋轉補正部射出之每一反射光,一面根據頭部之複數反射光之光程長度差而調整自像旋轉補正部至攝像部之反射光之光程長度,一面朝攝像部導引光。
於如上述構成之發明中,於被插入孔之頭部設置有複數個折回鏡,分別將照明光導引至內周面中在孔形成方向上互不相同之區域並自孔取出由區域反射之反射光。而且,各反射光被導引至攝像部。因此,可一次對在孔形成方向上互不相同之複數個區域進行孔之內周面之拍攝。
此外,如上述,藉由於頭部設置複數個折回鏡,雖然於頭部上會在複數反射光之間產生光程長度差,但光程長度差補正部係於其等反射光入射至攝像部之前,會對自像旋轉補正部射出之每一反射光調整自像旋轉補正部至攝像部之反射光之光程長度。因此,對於任一反射光,自內周面至攝像部之光程長度皆相等,從而可對於各區域良好地拍攝孔之內周面。
如上述,於頭部設置複數個折回鏡,並以光程長度差補正部調整伴隨其而產生之在頭部上之反射光之光程長度差,因此可於短時間內良好地進行孔之內周面之拍攝。
上述本發明之各態樣所具有之複數個構成要素,並非全部為必須之要素,為了解決上述部分或全部課題、或者為了達成本說明書記載之部分或全部功效,可適宜對上述複數個構成要素之部分構成要素進行變更、刪除、與新的其他構成要素之更換、或限定內容之部分刪除等。此外,為了解決上述部分或全部課題、或者為了達成本說明書記載之部分或全部功效,也可將上述本發明之一 態樣內包含之技術特徵之一部分或全部與上述本發明之其他態樣內包含之技術特徵之一部分或全部組合,而作為本發明之獨立之一形態。
1‧‧‧工件
2‧‧‧工件保持台
3‧‧‧頭部
4‧‧‧像旋轉補正部
5‧‧‧光程長度差補正部
6‧‧‧攝像部
7‧‧‧光源
9‧‧‧控制部
11‧‧‧表面
12‧‧‧背面
13‧‧‧貫通孔
13a‧‧‧中心軸
14‧‧‧內周面
31、32‧‧‧折回鏡
33‧‧‧頭旋轉驅動部
41~43‧‧‧補正用鏡
44‧‧‧像旋轉驅動部
51、52‧‧‧光程變更鏡
61‧‧‧半反射鏡
62‧‧‧攝像元件
63‧‧‧光學系統
100‧‧‧攝像裝置
311、312、321‧‧‧鏡面
621‧‧‧攝像面
631、632‧‧‧透鏡
633‧‧‧光圈
A1、A2、C1、D1‧‧‧反射位置
B1、B2‧‧‧折回位置
C2、D2‧‧‧位置
E1、E2‧‧‧入射位置
IL‧‧‧照明光
L1‧‧‧Z方向之折回鏡與光程變更鏡之鏡間距離
L2‧‧‧Z方向之光程變更鏡之鏡間距離
L3‧‧‧Z方向之光程變更鏡與透鏡之入射面之距離
R1、R2‧‧‧區域
RL1、RL2‧‧‧反射光
Z‧‧‧孔形成方向
dx‧‧‧X方向之光程變更鏡之鏡間距離
dy1‧‧‧Y方向之折回鏡之鏡間距離
dy2‧‧‧Y方向之折回鏡與光程變更鏡之鏡間距離
dz‧‧‧Z方向之折回鏡之鏡間距離
rw‧‧‧內周面之半徑
θ‧‧‧旋轉角
α1‧‧‧YZ平面內之折回鏡之反射角
α2x‧‧‧XZ平面內之光程變更鏡之反射角
α2y‧‧‧YZ平面內之光程變更鏡之反射角
圖1為顯示本發明之攝像裝置之一實施形態之圖。
圖2為示意地顯示圖1所示之攝像裝置之主要構成即頭部、像旋轉補正部及光程長度差補正部之圖。
圖3為示意地顯示將在貫通孔之內周面被反射之光朝攝像部導引之光程之圖。
圖4為顯示攝像部之主要構成之圖。
圖5為自Z方向觀察圖3所示之光程長度差補正部、像旋轉補正部及頭部之俯視圖。
圖6為自Y方向觀察圖3所示之光程長度差補正部、像旋轉補正部及頭部之側視圖。
圖7為自X方向觀察圖3所示之光程長度差補正部、像旋轉補正部及頭部之側視圖。
圖1為顯示本發明之攝像裝置之一實施形態之圖。圖2為示意地顯示圖1所示之攝像裝置之主要構成即頭部、像旋轉補正部及光程長度差補正部之圖。圖3為示意地顯示將在貫通孔之內周面被反射之光即反射光朝攝像部導引之光程之圖。本攝像裝置100,係將於圓盤狀之金屬板之中央部穿設有自表面11貫穿至背面12之貫通孔13之工件1作為攝像對象物,且於藉由工件保持台2 保持該工件1之背面12之狀態下對工件1之貫通孔13之內周面14進行拍攝之裝置。再者,於以下之各圖中,將形成有貫通孔13之孔形成方向作為「Z方向」。
於攝像裝置100中,相對於保持於工件保持台2之工件1之貫通孔13而自(+Z)方向插脫自如地設置頭部3。而且,當進行工件1之拍攝時,如圖1及圖3所示,將頭部3插入工件1之貫通孔13內。此外,於頭部3之上方即(+Z)方向依序設置有像旋轉補正部4、光程長度差補正部5及攝像部6,並且於攝像部6之側面安裝有光源7。
光源7係發出用以照明貫通孔13之內周面14之照明光。並且,如圖1所示,自光源7發出之照明光IL係朝設於攝像部6之半反射鏡61照射。照明光IL藉由半反射鏡61而被朝(-Z)方向折回,進而經由光程長度差補正部5及像旋轉補正部4而入射至頭部3。於該頭部3中,照明光IL被朝(-X)方向折回,而照射於貫通孔13之內周面14。
另一方面,由貫通孔13之內周面14反射之反射光朝(+X)方向前進,且在頭部3被朝(+Z)方向折回,而自工件1之貫通孔13內取出。然後,該反射光經由像旋轉補正部4及光程長度差補正部5而入射於攝像部6,且通過半反射鏡61而藉由攝像元件62接收。藉此,攝像部6對貫通孔13之內周面14中的受到照明光IL照射之區域進行拍攝。
於本實施形態中,如圖2所示,頭部3具有2個折回鏡31、32。折回鏡31、32係於Z方向上相互錯開配置。更詳細而言,折回鏡32被配置為較折回鏡31更朝(-Z)方向偏移,於Z方向 上位於前端側。亦即,折回鏡32相當於本發明之「前端折回鏡」之一例。此外,在與X方向及Z方向正交之Y方向上,折回鏡32也較折回鏡31更朝(-Y)方向偏移。因此,如圖3所示,照明光IL(圖1)分別經由折回鏡31、32被照射至內周面14中的在Z方向上互不相同之2個區域R1、R2,並且於區域R1、R2內被反射之反射光RL1、RL2分別經由折回鏡31、32而自貫通孔13內取出。其等反射光中的反射光RL2,相當於本發明之「前端反射光」之一例。
此外,圖3中之符號A1顯示照明光IL在區域R1之反射位置,符號A2顯示照明光IL在區域R2之反射位置。此外,圖3中之符號B1為以折回鏡31之鏡面311使反射光RL1折回之折回位置,符號B2為以折回鏡32之鏡面321使反射光RL2折回之折回位置。再者,於本實施形態中,以鏡面311之面法線相對於鏡面312之面法線略微傾斜之方式設置折回鏡31、32,且反射光RL2朝Z方向射出,另一方面,反射光RL1於Y方向上一面漸漸地與反射光RL2分離一面前進(參照圖7),關於其理由容待後續詳述。
此外,如此般具有2個折回鏡31、32之頭部3,係被構成為可使折回鏡31、32以與Z方向平行延伸之貫通孔13之中心軸13a作為旋轉軸而一體地旋轉自如。此外,如圖1及圖2所示,頭部3係與頭旋轉驅動部33機械式地連接。因此,若頭旋轉驅動部33根據來自控制裝置整體之控制部9之旋轉指令而運作,則頭部3繞中心軸13a旋轉。其結果,藉由上述區域R1、R2沿內周面14之圓周方向移動而使頭部3旋轉一周,可遍及貫通孔13之內周面14之全周地取出反射光RL1、RL2。
如此,若使頭部3旋轉,則反射光RL1、RL2亦隨著該旋轉而旋轉。因此,於本實施形態之攝像裝置100中,也設置具有與日本專利特開2012-49624號公報之調光部相同構造之像旋轉補正部4。像旋轉補正部4,係由3片補正用鏡41~43構成,並可使補正用鏡41~43以貫通孔13之中心軸13a作為旋轉軸而一體地旋轉自如。此外,如圖1及圖2所示,像旋轉補正部4係與像旋轉驅動部44機械式地連接。而且,若像旋轉驅動部44根據來自控制部9之旋轉指令而運作,則像旋轉補正部4繞中心軸13a旋轉。惟,以其旋轉速度即每單位時間之旋轉角θ成為頭部3之一半之旋轉角(θ/2)之方式進行旋轉控制。其結果,反射光RL1、RL2不會旋轉,且直接經由光程長度差補正部5而被朝攝像部6導引,從而可使攝像部6所拍攝之影像之方向維持一定。再者,像旋轉補正部4之構成及動作,於日本專利特開2012-49624號公報中已作詳述,故而本說明書中省略對像旋轉補正部4之構成及動作之說明。
其中,經比較自像旋轉補正部4射出之反射光RL1、RL2之光程長度,於頭部3中,折回鏡32較折回鏡31更偏離像旋轉補正部4,即配置於前端側,因此反射光RL2之光程長度較反射光RL1之光程長度更長。因此,若將自像旋轉補正部4射出之反射光RL1、RL2直接入射至攝像部6,則會於區域R1、R2之間產生焦點之偏差,而難以一併地且良好地拍攝圖像。因此,於本實施形態中,於像旋轉補正部4與攝像部6之間插入有光程長度差補正部5,該光程長度差補正部5係將2片光程變更鏡51、52組合而成者。
如圖2及圖3所示,光程長度差補正部5具備:光程變更鏡51,其被配置為自反射光RL2之光程朝Y方向偏移且僅對 反射光RL1進行反射;及光程變更鏡52,其將由光程變更鏡51折回之反射光RL1朝像攝像部6折回。因此,如圖3所示,於光程長度差補正部5中,反射光RL1之光程長度較反射光RL2之光程長度,增加了相當於在光程變更鏡51之反射位置C1及光程變更鏡52之反射位置D1上進行反射光RL1之折回之部分之長度。亦即,於本實施形態中,根據頭部3之反射光RL1、RL2之光程長度差,對自像旋轉補正部4射出之每一反射光RL1、RL2,調整自像旋轉補正部4至攝像部6之反射光之光程長度。藉此,可使自反射位置A1至朝攝像部6入射之入射位置E1(圖3)之反射光RL1之光程長度、與自反射位置A2至朝攝像部6入射之入射位置E2(圖3)之反射光RL2之光程長度大致一致。再者,關於其分析容待後續參照圖5至圖7而進行說明。
圖4為顯示攝像部之主要構成之圖。攝像部6除了上述半反射鏡61及攝像元件62以外,還具有由2片透鏡631、632及光圈633構成之光學系統63,構成所謂之物側遠心並使反射光RL1、RL2分別聚光於攝像元件62之攝像面621,將各區域R1、R2之影像成像於攝像面621上。此外,雖省略圖4之圖示,但於攝像裝置100中,如上述構成所謂之同軸投射照明系統,即經由攝像部6、光程長度差補正部5、像旋轉補正部4及頭部3將來自光源7之照明光IL照射於貫通孔13之內周面14。因此可獲得如下之作用功效。
如上述,工件1係金屬製,貫通孔13藉由切削加工等而形成,且其內周面14大多被要求較高之精度。因此,內周面14成為接近於鏡面之狀態。若於如此之內周面14上存在傷痕或缺 口等之缺陷部,則會於該缺陷部產生散射光。相反地,於缺陷部以外之部位仍維持鏡面狀態,來自該鏡面部位之散射光成分少。因此,藉由兼備如本實施形態般之物側遠心之特徵及採用同軸投射照明之特徵,反射光RL1、RL2成為正反射光,於假設存在缺陷部之情況下,於藉由攝像部6拍攝之影像上會明顯含有缺陷部。其結果,可容易檢查是否存在有缺陷部。
如上述,根據本實施形態,將在Z方向上互不相同之位置上配置有折回鏡31、32之頭部3插入工件1之貫通孔13。然後,於該插入之狀態下將照明光IL導引至內周面14中在Z方向上互不相同之區域R1、R2,並將在區域R1、R2反射之反射光RL1、RL2自貫通孔13中取出,且由攝像部6之攝像元件62接收。因此,可同時拍攝貫通孔13之內周面14含有之2個區域R1、R2,從而可以短時間拍攝貫通孔13之內周面14。
此外,藉由於頭部3設置2個折回鏡31、32,雖然於頭部3中會於反射光RL1、RL2之間產生光程長度差,但藉由設置光程長度差補正部5,而會如圖4般對於反射光RL1、RL2之任一者,自內周面14至入射於攝像部6之物體側之透鏡631之光程長度皆可藉由如下述詳細說明般自裝置規格適當地決定數個尺寸或值,而設定為相等,並可對於各區域R1、R2而使焦點一致,進而可良好地拍攝貫通孔13之內周面14。
其次,參照圖3、圖5至圖7,對自內周面14至入射於攝像部6之物體側之透鏡631之光程長度詳細地進行敘述。圖5為自Z方向觀察圖3所示之光程長度差補正部5、像旋轉補正部4及頭部3之俯視圖、即XY平面圖。此外,圖6為自Y方向觀察圖 3所示之光程長度差補正部5、像旋轉補正部4及頭部3之側視圖、即XZ平面圖。並且,圖7為自X方向觀察圖3所示之光程長度差補正部5、像旋轉補正部4及頭部3之側視圖、即YZ平面圖。再者,於圖5及圖7中省略像旋轉補正部4之圖示。此外,圖5~圖7之符號dx、dy1、dy2、dz、L1、L2、L3、rw,分別表示如下。
dx:X方向之光程變更鏡51、52之鏡間距離;dy1:Y方向之折回鏡31、32之鏡間距離;dy2:Y方向之折回鏡31與光程變更鏡51之鏡間距離;dz:Z方向之折回鏡31、32之鏡間距離;L1:Z方向之折回鏡31與光程變更鏡51之鏡間距離(惟,包含補正用鏡41~43之反射光之折回);L2:Z方向之光程變更鏡51、52之鏡間距離;L3:Z方向之光程變更鏡52與透鏡631之入射面之距離;rw:內周面14之半徑;α1:YZ平面內之折回鏡31之反射角;α2x:XZ平面內之光程變更鏡51之反射角;α2y:YZ平面內之光程變更鏡51之反射角。
其中,首先對反射光RL1之光程長度進行探討。如圖6所示,反射光RL1係以位置A1-位置B1-(像旋轉補正部4)-位置C1-位置D1-位置E1之光程入射至攝像部6。因此,彼此相鄰之位置間之距離,如下式所示。
[數式1]
Figure 108114005-A0101-12-0011-1
另一方面,如圖6所示,反射光RL2係以位置A2-位置B2-(像旋轉補正部4)-位置C2-位置D2-位置E2之光程入射至攝像部6。因此,彼此相鄰之位置間之距離,如下式所示。
Figure 108114005-A0101-12-0011-2
並且,為了使反射光RL1、RL2之光程長度相等,需要滿足下式。
Figure 108114005-A0101-12-0011-3
將上述數式1及數式2代入上述數式3,對Z方向之光程變更鏡51、52之鏡間距離L2進行整理,而獲得下式。
[數式4]
Figure 108114005-A0101-12-0012-4
另一方面,YZ平面內之折回鏡31之反射角α1、XZ平面內之光程變更鏡51之反射角α2x、及YZ平面內之光程變更鏡51之反射角α2y,由圖6及圖7可知,且以下式表示。
[數式5]α 1=tan-1{dy 2/L 1} α 2x =tan-1{dx/L 2} α 2y =tan-1{(dy 1+dy 2)/L 2}
藉此,若根據攝像裝置100之各部分規格來決定距離dx、dy1、dy2、dz、L1、L3,則可根據使反射光RL1、RL2之光程長度相等之條件,求出Z方向之光程變更鏡51、52之鏡間距離L2。而且,反射角α1、α2x、α2y,係根據上述反射角之數式而唯一地決定。如此,可決定光程長度差補正部5、像旋轉補正部4及頭部3之各部分之具體構成,於依此方式組裝之攝像裝置100中,以攝像部6接受2條反射光RL1、RL2,藉此不僅可於短時間內拍攝內周面14,而且可良好地拍攝貫通孔13之內周面14。
此外,如上述,以鏡面311之面法線相對於鏡面312之面法線略微傾斜之方式配置折回鏡31、32來設置反射角α1。藉此,入射於光程長度差補正部5之反射光RL1、RL2朝Y方向分離,反射光RL2通過光程變更鏡51之側面被朝攝像部6導引,並且反射光RL1由光程變更鏡51、52折回之後被朝攝像部6導引。其結果,雖然反射光RL1、RL2具有對應物體側開口數之擴散,但如上 述,可將反射光RL1、RL2分離後沿所希望之光程進行導引。
再者,本發明不限於上述實施形態,只要不超出本發明之實質內容之範圍內,可於上述構成之外進行各種之變更。例如,於上述實施形態中,雖然於頭部3設置2個折回鏡31、32,對在Z方向上互不相同之2個區域R1、R2同時進行拍攝,但折回鏡之數量也可為3個以上。概言之,複數個折回鏡也可以將照明光IL分別導引至內周面14中在Z方向上互不相同之區域並自貫通孔13取出由區域被反射之反射光之方式構成。該情況下,只要伴隨折回鏡之數量之增加,而亦增加設於光程長度差補正部5之光程變更鏡之數量即可。
此外,於上述實施形態中,雖然將形成有貫通孔13之工件1作為本發明之「攝像對象物」,但也可拍攝自表面11形成有較金屬板之厚度薄之凹部之工件。亦即,本發明之「孔」,包含貫通孔及凹部之雙方。此外,工件之材質不限於金屬材料,也可為陶瓷材料、樹脂材料、或橡膠材料,可將各種工件作為攝像對象物而進行拍攝。
以上,根據特定之實施例對發明進行了說明,但該說明不旨在以限制之意思加以解釋。熟悉本技術者只要參照發明之說明,應能與本發明之其他實施形態相同地理解所揭示之實施形態之各種變形例。因此,只要於不超出發明之實質內容之範圍內,所附之申請專利範圍包含該變形例或實施形態。
本發明可應用於對自攝像對象物之表面朝孔形成方向形成之孔之內周面進行拍攝之所有攝像裝置。
1‧‧‧工件
3‧‧‧頭部
4‧‧‧像旋轉補正部
5‧‧‧光程長度差補正部
6‧‧‧攝像部
31‧‧‧折回鏡
32‧‧‧折回鏡
41‧‧‧補正用鏡
42‧‧‧補正用鏡
43‧‧‧補正用鏡
51‧‧‧光程變更鏡
52‧‧‧光程變更鏡
631‧‧‧透鏡
A1‧‧‧反射位置
A2‧‧‧反射位置
B1‧‧‧折回位置
B2‧‧‧折回位置
C1‧‧‧反射位置
D1‧‧‧反射位置
E1‧‧‧入射位置
E2‧‧‧入射位置
R1‧‧‧區域
R2‧‧‧區域
dz‧‧‧Z方向之折回鏡之鏡間距離
rw‧‧‧內周面之半徑

Claims (5)

  1. 一種攝像裝置,其係藉由攝像部對自攝像對象物之表面朝孔形成方向形成之孔之內周面進行拍攝者;其特徵在於具備:光源,其發出用以照明上述內周面之照明光;頭部,其具有複數個折回鏡,且於以分別將上述照明光導引至上述內周面中在上述孔形成方向上互不相同之區域並自上述孔取出由上述區域反射之反射光之方式將上述複數個折回鏡插入於上述孔之狀態下,繞與上述孔形成方向平行之旋轉軸旋轉;像旋轉補正部,其一面以每單位時間之旋轉角成為上述頭部之一半旋轉角之方式繞上述旋轉軸旋轉,一面將自上述頭部取出之上述複數反射光朝上述攝像部導引,而將藉由上述攝像部拍攝之影像之方向維持一定;及光程長度差補正部,其對自上述像旋轉補正部射出之上述每一反射光,一面根據在上述頭部之上述複數反射光之光程長度差而調整自上述像旋轉補正部至上述攝像部之上述反射光之光程長度,一面朝上述攝像部導引光。
  2. 如請求項1之攝像裝置,其中,上述攝像部具有:攝像元件;及光學系統,其使自上述光程長度差補正部射出之上述複數反射光入射於上述攝像元件,將上述內周面成像於上述攝像元件上,自上述光源發出之上述照明光,經由上述光學系統、上述光程長度差補正部、上述像旋轉補正部及上述頭部而照射於上述內周面。
  3. 如請求項1或2之攝像裝置,其中,上述複數個折回鏡係在與上述孔形成方向正交之平面內被配置於互不相同之位置。
  4. 如請求項3之攝像裝置,其中,當將上述複數個折回鏡中離上 述像旋轉補正部最遠之折回鏡作為前端折回鏡,並且將藉由上述前端折回鏡取出之上述反射光作為前端反射光時,上述光程長度差補正部具有偏離上述前端反射光之光程而配置之光程變更鏡,且以上述光程變更鏡對自上述像旋轉補正部射出之上述複數反射光中的上述前端反射光以外之上述反射光進行反射而變更光程並朝上述攝像部導引,另一方面,將上述前端反射光直接朝上述攝像部導引,而調整光程長度。
  5. 如請求項4之攝像裝置,其中,上述複數個折回鏡中的上述前端折回鏡以外之折回鏡具有相對於上述前端折回鏡之面法線傾斜之面法線,且將上述反射光朝上述光程變更鏡導引。
TW108114005A 2018-05-30 2019-04-22 攝像裝置 TWI686660B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018-103494 2018-05-30
JP2018103494A JP6966974B2 (ja) 2018-05-30 2018-05-30 撮像装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW202004320A TW202004320A (zh) 2020-01-16
TWI686660B true TWI686660B (zh) 2020-03-01

Family

ID=68698027

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW108114005A TWI686660B (zh) 2018-05-30 2019-04-22 攝像裝置

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP6966974B2 (zh)
TW (1) TWI686660B (zh)
WO (1) WO2019230215A1 (zh)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114199885A (zh) * 2021-12-09 2022-03-18 合肥御微半导体技术有限公司 一种晶圆检测装置及其方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007132776A1 (ja) * 2006-05-16 2007-11-22 Kirin Techno-System Company, Limited 表面検査装置及び表面検査ヘッド装置
TW200935115A (en) * 2007-12-10 2009-08-16 Sony Corp Image-capturing apparatus
CN103163641A (zh) * 2011-12-09 2013-06-19 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种实现多光程及变化光程数的多光程方法及装置
US20160124219A1 (en) * 2014-10-29 2016-05-05 Canon Kabushiki Kaisha Light scanning apparatus and image forming apparatus using the same
CN107111121A (zh) * 2014-09-22 2017-08-29 纳诺利弗股份有限公司 显微镜

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000097846A (ja) * 1998-09-21 2000-04-07 Olympus Optical Co Ltd 光走査プローブ装置
US6445944B1 (en) * 1999-02-01 2002-09-03 Scimed Life Systems Medical scanning system and related method of scanning
KR100728694B1 (ko) * 2005-07-07 2007-06-14 유재민 구멍 내벽 검사 장치
JP4864662B2 (ja) * 2006-11-24 2012-02-01 富士フイルム株式会社 光プローブおよびこれを用いた光治療診断システム
JP5595180B2 (ja) * 2010-08-24 2014-09-24 ユキ技研株式会社 撮像装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007132776A1 (ja) * 2006-05-16 2007-11-22 Kirin Techno-System Company, Limited 表面検査装置及び表面検査ヘッド装置
TW200935115A (en) * 2007-12-10 2009-08-16 Sony Corp Image-capturing apparatus
CN103163641A (zh) * 2011-12-09 2013-06-19 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种实现多光程及变化光程数的多光程方法及装置
CN107111121A (zh) * 2014-09-22 2017-08-29 纳诺利弗股份有限公司 显微镜
US20160124219A1 (en) * 2014-10-29 2016-05-05 Canon Kabushiki Kaisha Light scanning apparatus and image forming apparatus using the same

Also Published As

Publication number Publication date
WO2019230215A1 (ja) 2019-12-05
TW202004320A (zh) 2020-01-16
JP6966974B2 (ja) 2021-11-17
JP2019207188A (ja) 2019-12-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3953988B2 (ja) 検査装置および検査方法
JP5144401B2 (ja) ウエハ用検査装置
JP2008203093A (ja) 照明装置、画像測定装置
CN110073203B (zh) 检查透明基材上的缺陷的方法和设备
JP6895768B2 (ja) 欠陥検査装置、および欠陥検査方法
JP6328620B2 (ja) カメラと絞りとを含む光学デバイス
TWI686660B (zh) 攝像裝置
JP6310372B2 (ja) 検査装置
JP6387381B2 (ja) オートフォーカスシステム、方法及び画像検査装置
TWI632971B (zh) 雷射加工裝置與雷射加工方法
KR102364376B1 (ko) 검사 및 리페어 기능을 갖는 레이저 마킹 시스템
JP6839916B2 (ja) 内面検査システムおよびその光学系
JP2008073718A (ja) レーザリペア装置
WO2020121977A1 (ja) 検査システム、及び検査用の画像取得方法
JPWO2020095843A1 (ja) 同軸照明装置
JP5930284B2 (ja) 照明装置、撮像装置、スクリーン印刷装置、位置合わせ方法、及び基板の製造方法
JP2021086121A (ja) 撮像装置及び表面検査装置
JP4783335B2 (ja) 部品認識装置、表面実装機
JP2021085815A (ja) 光照射装置、検査システム、及び、光照射方法
CN106461382A (zh) 五轴光学检测系统
JP2021001734A (ja) 管材の内面自動検査装置及び管材の内面自動検査方法
WO2023276555A1 (ja) 光学レンズ検査装置、および光学レンズ検査方法
TWI832419B (zh) 對光罩取像之取像裝置
JP2862833B2 (ja) 半田付外観検査装置
KR101593870B1 (ko) 초점 거리 가변용 텔레센트릭 광학 장치

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A Annulment or lapse of patent due to non-payment of fees