WO2023218818A1 - 天井搬送車 - Google Patents

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WO2023218818A1
WO2023218818A1 PCT/JP2023/014256 JP2023014256W WO2023218818A1 WO 2023218818 A1 WO2023218818 A1 WO 2023218818A1 JP 2023014256 W JP2023014256 W JP 2023014256W WO 2023218818 A1 WO2023218818 A1 WO 2023218818A1
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WO
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traveling
contact roller
section
rail
main body
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PCT/JP2023/014256
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French (fr)
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誠 小林
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Murata Machinery Ltd
Original Assignee
Murata Machinery Ltd
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Publication date
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B61—RAILWAYS
    • B61B—RAILWAY SYSTEMS; EQUIPMENT THEREFOR NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B61B3/00—Elevated railway systems with suspended vehicles
    • B61B3/02—Elevated railway systems with suspended vehicles with self-propelled vehicles
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B61—RAILWAYS
    • B61F—RAIL VEHICLE SUSPENSIONS, e.g. UNDERFRAMES, BOGIES OR ARRANGEMENTS OF WHEEL AXLES; RAIL VEHICLES FOR USE ON TRACKS OF DIFFERENT WIDTH; PREVENTING DERAILING OF RAIL VEHICLES; WHEEL GUARDS, OBSTRUCTION REMOVERS OR THE LIKE FOR RAIL VEHICLES
    • B61F13/00—Rail vehicles characterised by wheel arrangements, not otherwise provided for
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations
    • H10P72/32—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H10P72/3208—Changing the direction of the conveying path
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations
    • H10P72/32—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H10P72/3221—Overhead conveying

Definitions

  • An object of one aspect of the present invention relates to an overhead transport vehicle.
  • Patent Document 1 discloses an overhead transport vehicle that includes a traveling section that travels on traveling rails and a main body that holds articles.
  • the traveling section travels inside the cylinder of the traveling rail formed in the shape of a rectangular tube, and the main body is connected to the traveling section through a slit provided in the lower surface of the traveling rail. It is suspended and supported.
  • an object of one aspect of the present invention is to provide an overhead transport vehicle that can suppress the amount of lifting of the traveling wheels when the traveling section travels through a curved section.
  • An overhead conveyance vehicle includes: a traveling section including traveling wheels that roll on a traveling rail; a main body that is supported by the traveling section via a hanging part and holds an object to be transported; A contact roller is provided on the upper surface of the main body facing the running rail in the vertical direction, and contacts the outer side of the curve of the running rail in the curved section from below.
  • a contact roller is provided on the upper surface of the main body portion, and contacts the outer side of the curve of the travel rail in the curve section from below.
  • the curved outer portion of the running rail refers to the portion outside the center line in the width direction of the running rail.
  • the traveling rail includes a slit portion in which the hanging portion is movable when the traveling portion is traveling, and a portion on which the traveling wheels roll, and the traveling rail is configured to include a portion in which the traveling wheel rolls in the vertical direction and the traveling portion.
  • a pair of rolling parts are arranged to face each other with a slit part in between in the width direction perpendicular to both of the directions.
  • the roller may be provided so as to contact one of the rolling portions disposed in the roller. In this configuration, the contact roller contacts one of the pair of rolling parts disposed on the outside of the curve in the curved section. As a result, the reaction force generated when the contact roller contacts one of the rolling parts prevents the outer curved portion of the main body from approaching the travel rail (rolling part).
  • the ceiling transport vehicle may further include a lifting mechanism that lifts and lowers the contact roller in the vertical direction.
  • a lifting mechanism that lifts and lowers the contact roller in the vertical direction.
  • a trapezoidal screw may be used for a part of the linear motion mechanism that constitutes the elevating mechanism.
  • the overhead conveyance vehicle may further include a control section that controls the lifting mechanism so that the contact roller contacts the traveling rail at least when the traveling section travels through a curved section.
  • the contact roller can be brought into contact with the outside portion of the curve of the travel rail more reliably in the curve section.
  • the contact roller is rotatably provided, and the direction of the contact roller is swingable in a direction perpendicular to the rotation axis direction when viewed from the vertical direction. may be provided.
  • the contact roller since the direction of the contact roller can be changed along the traveling direction of the traveling section, the contact roller rotates well when the overhead conveyance vehicle travels. Thereby, it is possible to suppress the contact roller from sliding on the running rail and being worn out due to the mismatch between the running direction of the running section and the orientation of the contact roller.
  • the contact roller may be provided at the center of the main body in the traveling direction of the traveling section.
  • FIG. 1 is a schematic configuration diagram of an overhead guided vehicle system according to an embodiment.
  • FIG. 2 is a front view of the ceiling transport vehicle shown in FIG. 1 seen from the front.
  • FIG. 3 is a side view of the ceiling conveyance vehicle of FIG. 1 viewed from the side.
  • FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view of the traveling rail portion of FIG. 2.
  • 5(A), FIG. 5(B), and FIG. 5(C) are diagrams illustrating the operation of the tilt suppression mechanism.
  • FIG. 6(A) is a schematic configuration diagram of the tilt suppression mechanism viewed from above.
  • FIG. 6(B) is a schematic configuration diagram of the contact roller viewed from above.
  • FIG. 6(C) is a diagram showing the positional relationship between the optical sensor and the shielding plate when viewed from the front.
  • FIG. 7(A) is a perspective view of the contact roller.
  • FIG. 7(B) is a perspective view of the contact roller when viewed from a different direction from FIG. 7(A).
  • FIG. 7(C) is a side view of the contact roller.
  • 8(A), FIG. 8(B), and FIG. 8(C) are diagrams illustrating the operation of the tilt suppression mechanism provided in the ceiling transport vehicle according to the modified example.
  • FIGS. 2 to 4 "up”, “down”, “left”, “right”, “front”, and “back” directions are defined for convenience of explanation.
  • FIGS. 5 and 6 for convenience of explanation, X-axis, Y-axis, and Z-axis that are orthogonal to each other are defined.
  • the ceiling transport vehicle 6 (hereinafter referred to as "transport vehicle 6") according to the present embodiment is used in the ceiling transport vehicle system 1 as shown in FIG. 1.
  • the ceiling conveyance vehicle system 1 is a system for conveying articles (objects to be conveyed) 10 between mounting sections 9 using a conveyance vehicle 6 that is movable along traveling rails 4 .
  • the articles 10 include, for example, containers such as a FOUP (Front Opening Unified Pod) that stores a plurality of semiconductor wafers, a reticle pod that stores a glass substrate, and general parts.
  • the ceiling transport vehicle system 1 includes a traveling rail 4, a plurality of transport vehicles 6, and a plurality of mounting sections 9.
  • the mounting section 9 is arranged along the traveling rail 4, and is provided at a position where the transport vehicle 6 can deliver the article 10.
  • the mounting section 9 includes a buffer and a delivery port.
  • the buffer is a placement section on which the article 10 is temporarily placed.
  • the buffer is used to transfer the article 10 when the article 10 being conveyed by the transport vehicle 6 cannot be transferred to the delivery port due to, for example, another article 10 being placed at the intended delivery port.
  • This is a placement section where the item is temporarily placed.
  • the delivery port is a loading port for delivering the article 10 to a semiconductor processing device (not shown) such as a cleaning device, a film forming device, a lithography device, an etching device, a heat treatment device, and a planarization device. Department.
  • the processing device is not particularly limited, and may be any of various devices.
  • the mounting section 9 is arranged on the side of the running rail 4.
  • the conveyance vehicle 6 transfers the article 10 to and from the loading section 9 by horizontally feeding the elevating drive section 28 and the like in the transverse feeding section 24 and elevating and lowering the elevating table 30 (see FIG. 2).
  • the mounting section 9 may be arranged directly below the traveling rail 4. In this case, the conveyance vehicle 6 transfers the article 10 to and from the mounting section 9 by raising and lowering the lifting platform 30.
  • the running rail 4 is laid, for example, near the ceiling, which is the space above the worker's head.
  • the running rail 4 is suspended from the ceiling, for example.
  • the travel rail 4 is a predetermined travel path on which the carrier vehicle 6 travels.
  • the carrier vehicle 6 moves along the traveling rail 4 in one predetermined direction.
  • the running rail 4 is supported by pillars 4A, 4A (see FIG. 2).
  • the running rail 4 has a rectangular cylindrical rail main body consisting of a pair of lower surface parts (rolling parts) 41, 41, a pair of side parts 42, 42, and an upper surface part 43. 40, a power feeding section 45, and a magnetic plate 46.
  • the rail main body portion 40 forms an internal space S in which a traveling portion 50 of the carrier vehicle 6 travels.
  • the lower surface portion 41 extends in the traveling direction of the transport vehicle 6 and constitutes the lower surface of the rail main body portion 40.
  • the lower surface portion 41 is a plate-like member that causes the traveling rollers (traveling wheels) 51 of the transport vehicle 6 to roll to cause the traveling section 50 to travel.
  • the side surface portion 42 is erected (intersecting) from the bottom surface portion 41 .
  • the side surface portion 42 extends in the traveling direction of the transport vehicle 6 and constitutes a side surface of the rail body portion 40.
  • the upper surface portion 43 extends in the traveling direction of the transport vehicle 6 and constitutes the upper surface of the rail main body portion 40
  • a slit through which the hanging part 8 of the running part 50, which will be described in detail later, passes during running.
  • a section G is formed.
  • the slit portion G extends along the direction in which the running rail 4 extends.
  • the pair of lower surface parts 41, 41 are arranged to face each other across the slit part G in the width direction.
  • the power feeding unit 45 is a part that supplies power to the power feeding core 57 of the transport vehicle 6 and also transmits and receives signals to and from the power feeding core 57.
  • the power feeding section 45 is fixed to each of the pair of side surfaces 42, 42, and extends along the traveling direction.
  • the power supply unit 45 supplies power to the power supply core 57 in a non-contact manner.
  • the magnetic plate 46 generates a magnetic force for driving or stopping the LDM (Linear DC Motor) 59 of the transport vehicle 6 .
  • the magnetic plate 46 is fixed to the upper surface portion 43 and extends along the traveling direction.
  • the transport vehicle 6 travels along the travel rail 4 and transports the article 10.
  • the transport vehicle 6 is configured to be able to transfer the article 10 thereon.
  • the guided vehicle 6 is an automatic guided vehicle that travels on the ceiling.
  • the number of transport vehicles 6 included in the ceiling transport vehicle system 1 is not particularly limited, and is plural.
  • the transport vehicle 6 includes a main body section 7, a traveling section 50, and a main body controller (control section) 35.
  • the main body section 7 includes a main body frame 22, a transverse feed section 24, a ⁇ drive 26, an elevating drive section 28, an elevating table 30, and a cover 33.
  • the main body frame 22 is connected to the traveling section 50 via the hanging section 8, and supports the transverse feeding section 24, the ⁇ drive 26, the lifting drive section 28, the lifting platform 30, and the cover 33.
  • the lateral feed section 24 collectively traverses the ⁇ drive 26, the elevation drive section 28, and the elevating platform 30 in the width direction (horizontal direction) perpendicular to the traveling direction of the traveling rail 4.
  • the ⁇ drive 26 rotates at least one of the elevating drive unit 28 and the elevating table 30 within a predetermined angular range within a horizontal plane.
  • the lifting drive section 28 lifts and lowers the lifting platform 30 by winding up or letting out hanging materials such as wires, ropes, and belts.
  • the elevating table 30 is provided with a chuck so that the article 10 can be gripped or released.
  • a pair of covers 33 are provided at the front and rear of the transport vehicle 6 in the traveling direction.
  • the cover 33 has claws (not shown) and the like to prevent the article 10 from falling during transportation.
  • the traveling section 50 causes the transport vehicle 6 to travel along the traveling rail 4.
  • the running section 50 includes a running roller 51, a side roller 52, a branching roller 53, an auxiliary roller 54, an inclined roller 55, a power supply core 57, an LDM 59, and an inclination suppressing mechanism 60.
  • the running rollers 51 are arranged at both the front and rear left and right ends of the running section 50.
  • the running roller 51 rolls on the inner surfaces 41a, 41a of the pair of lower surface parts 41, 41 of the rail main body part 40.
  • the side rollers 52 are provided so as to be able to come into contact with the inner surface 42a of the side surface portion 42 of the rail main body portion 40.
  • the branching roller 53 is provided to switch between branching the transport vehicle 6 (traveling section 50) left and right at the branching point of the traveling rail 4. More specifically, the branching roller 53 switches the direction in which the transport vehicle 6 moves by being guided by a guide member provided at the branching point.
  • the branching roller 53 is provided so as to be able to come into contact with a guide (not shown) disposed at a connecting portion or a branching portion of the traveling rail 4.
  • the auxiliary rollers 54 are a group of three rollers provided before and after the running section 50.
  • the auxiliary roller 54 is used to prevent the LDM 59, power supply core 57, etc. from coming into contact with the magnetic plate 46 disposed on the top surface 43 of the running rail 4 when the running section 50 is tilted back and forth due to acceleration or deceleration. It is provided.
  • the inclined roller 55 is arranged in an inclined state from the front and rear directions. The inclined rollers 55 are provided to prevent the running section 50 from tilting due to centrifugal force when traveling through a curve section.
  • the power feeding core 57 is arranged before and after the traveling section 50 so as to sandwich the LDM 59 in the left-right direction. It performs non-contact power feeding and non-contact transmission and reception of various signals with a power feeding section 45 disposed on the traveling rail 4.
  • the power supply core 57 exchanges signals with the main body controller 35.
  • the LDM 59 is provided before and after the running section 50.
  • the LDM 59 generates magnetic force for running or stopping between it and a magnetic plate 46 disposed on the upper surface 43 of the running rail 4 using an electromagnet.
  • the traveling rail 4 is composed of a straight section 4S and a curved section 4C.
  • the tilt suppression mechanism 60 shown in FIGS. 2 to 4 is a mechanism that suppresses the traveling section 50 and the main body section 7 from tilting due to centrifugal force when the transport vehicle 6 travels through the curve section 4C.
  • the tilt suppression mechanism 60 is provided on the upper surface of the main body portion 7.
  • the inclination suppressing mechanism 60 brings the contact roller 61 provided in the inclination suppressing mechanism 60 into contact with the outer surface of the lower surface portion 41 of the running rail 4 from below when traveling on the curve section 4C, and uses the reaction force obtained from the running rail 4 to cause the main body to This is a mechanism that prevents the portion 7 from tilting.
  • the tilt suppression mechanism 60 is disposed on the upper surface of the main body portion 7 near both left and right ends in the width direction. That is, the tilt suppression mechanism 60 includes a left side tilt suppression mechanism 60A and a right side tilt suppression mechanism 60B.
  • the contact roller 61 included in the left-side inclination suppression mechanism 60A is provided so as to contact the left lower surface portion 41 of the pair of lower surface portions 41, 41 constituting the traveling rail 4.
  • the contact roller 61 included in the right side inclination suppression mechanism 60B is provided so as to come into contact with the right side lower surface portion 41 of the pair of lower surface portions 41, 41 constituting the traveling rail 4.
  • the contact roller 61 included in the tilt suppression mechanism 60 is provided at the center of the main body 7 in the front-rear direction, as shown in FIG.
  • the contact roller 61 of the inclination suppression mechanism 60 contacts one of the pair of lower surface portions 41, 41 forming the traveling rail 4, which is located on the outside of the curve in the curve section 4C. Specifically, when the left lower surface portion 41 in FIG. 4 is located on the outside of the curve in the curve section 4C, the contact roller 61 provided in the left side tilt suppression mechanism 60A contacts the left lower surface portion 41, and the lower surface portion 41 in FIG. When the right lower surface part 41 in 4 is located on the outside of the curve, the contact roller 61 provided in the right side tilt suppression mechanism 60B contacts the right lower surface part 41.
  • the tilt suppression mechanism 60 includes a lifting mechanism 63 that moves the contact roller 61 in the Z-axis direction (raises and lowers in the vertical direction). Thereby, the inclination suppression mechanism 60 can control the contact roller 61 to be brought into contact with the outer surface of the lower surface portion 41 of the traveling rail 4 or to be moved away from the outer surface of the lower surface portion 41.
  • the elevating mechanism 63 includes a linear motion mechanism 64 and a swinging mechanism 65.
  • the linear motion mechanism 64 includes a drive section 64A, a gear 64B, a trapezoidal screw 64C, a support section 64D, and a moving block 64E.
  • the drive unit 64A is, for example, a motor.
  • the rotational drive in the drive unit 64A is transmitted to the trapezoidal screw 64C via a plurality of gears 64B.
  • a moving block 64E is screwed onto the trapezoidal screw 64C.
  • the moving block 64E having such a configuration moves linearly in the X-axis direction by rotating the trapezoidal screw 64C.
  • the moving block 64E moves to the left as shown in FIG. 5A when the trapezoidal screw 64C rotates in the positive direction (clockwise), and the trapezoidal screw 64C rotates in the negative direction (counterclockwise). As a result, it is configured to move in the right direction as shown in FIG. 5(A).
  • the swing mechanism 65 includes a first link member 65A, a second link member 65B, a third link member 65C, and a support portion 65D.
  • the first link member 65A is supported by the support portion 65D so as to be movable along the X-axis direction.
  • One end of the first link member 65A is rotatably supported by the moving block 64E, and the other end is rotatably supported by the third link member 65C.
  • the first link member 65A is provided so as to be movable along the X-axis direction integrally with the moving block 64E.
  • the second link member 65B has one end rotatably fixed to the support portion 65D, and the other end rotatably fixed to the third link member 65C.
  • An elastic member is provided between the second link member 65B and the support portion 65D, and urges the second link member 65B so that the second link member 65B rotates clockwise around the rotation axis of the support portion 65D.
  • the third link member 65C is rotatably fixed to both the other end of the first link member 65A and the other end of the second link member 65B.
  • a contact roller 61 is fixed to the third link member 65C.
  • the contact roller 61 is attached to the third link member 65C.
  • the contact roller 61 includes a rotating portion 61A, a rotating support portion (rotating shaft) 61B, a first shaft portion 61C, and a second shaft portion 61D. , and a spring member 61E.
  • the rotating portion 61A is a portion that rolls on the lower surface portion 41 of the traveling rail 4, and is provided rotatably with respect to the rotating support portion 61B.
  • the rotation support part 61B is a ring-shaped member that rotatably supports the rotation part 61A.
  • the first shaft portion 61C is a portion that passes through the radial center of the rotation support portion 61B and extends in the radial direction, and is formed integrally with the rotation support portion 61B.
  • the first shaft portion 61C has a predetermined caster angle.
  • the second shaft portion 61D is a member attached to the third link member 65C, and is a member extending in one direction.
  • the first shaft portion 61C is rotatably provided around the second shaft portion 61D.
  • the rotation support portion 61B is attached to the third link member 65C via a spring member 61E.
  • the direction of the contact roller 61 (double-dashed line) is the first shaft portion 61C when viewed from the vertical direction (Z-axis direction). It is provided so as to be swingable in the direction perpendicular to the direction (dotted chain line).
  • the orientation of the contact roller 61 here refers to a straight line connecting the front end and the rear end when the contact roller 61 is viewed from above.
  • the contact roller 61 is swung by an acting force received from the traveling rail 4 while traveling on the traveling rail 4.
  • the traveling section 50 is controlled via the main body controller 35 by a transport controller 90, which will be described in detail later. Specifically, a command from the transport controller 90 is transmitted to the main body controller 35, and the main body controller 35 that has received the command controls the traveling section 50.
  • the main controller (control unit) 35 is an electronic control unit that includes a CPU (Central Processing Unit), a ROM (Read Only Memory), a RAM (Random Access Memory), and the like.
  • the main body controller 35 controls various operations in the transport vehicle 6. Specifically, the main body controller 35 controls the traveling section 50, the traversing section 24, the ⁇ drive 26, the elevating drive section 28, the elevating table 30, and the tilt suppressing mechanism 60.
  • the main body controller 35 can be configured as software, for example, a program stored in a ROM is loaded onto a RAM and executed by a CPU.
  • the main body controller 35 may be configured as hardware such as an electronic circuit.
  • the main body controller 35 communicates with the transport controller 90 (see FIG. 1) using the power supply section 45 (feeder line) of the traveling rail 4 and the like.
  • the main body controller 35 of this embodiment controls the lifting mechanism 63 of the tilt suppression mechanism 60 to position the contact roller 61 so that it contacts the lower surface portion 41 of the running rail 4, as shown in FIG. 5(A).
  • a first state S1 position where the contact roller 61 is raised to the maximum in the lifting mechanism 63
  • a second state where the contact roller 61 is a distance D away from the lower surface portion 41 of the running rail 4 as shown in FIG. 5(B).
  • the position of the contact roller 61 can be switched to either the state S2 or a third state S3 in which the contact roller 61 is lowered to the maximum by the elevating mechanism 63, as shown in FIG. 5(C).
  • the distance D is set based on the permissible lifting amount of the traveling roller 51.
  • the main body controller 35 controls the lifting mechanism 63 so that when the transport vehicle 6 transfers the article 10 to the loading section 9, it is in the first state S1. More specifically, the main body controller 35 is configured such that the carrier 6 is placed not on the mounting section 9 located directly below the traveling rail 4, but on the mounting section 9 located on the lower right side or lower left side of the traveling rail 4. When transferring the article 10, the elevating mechanism 63 is controlled so as to be in the first state S1.
  • the main body controller 35 transfers the article 10 to the loading section 9 disposed on the lower left side of the traveling rail 4 when viewed from the front in the traveling direction of the conveyance vehicle 6,
  • the contact roller 61 provided in the right side inclination suppression mechanism 60B shown in 4 is brought into contact with the right lower surface part 41 and the article 10 is transferred to the mounting part 9 arranged on the lower right side of the traveling rail 4,
  • a contact roller 61 provided in the left-side tilt suppressing mechanism 60A shown in FIG. 4 is brought into contact with the left lower surface portion 41.
  • the main controller 35 controls the lifting mechanism 63 so that the transport vehicle 6 is in the second state S2 when it travels at least in the curve section 4C. Specifically, when the transport vehicle 6 travels through a curved section and the lower surface portion 41 on the left side in FIG. When the right side lower side 41 in FIG. 4 is located on the outside of the curve, the contact roller 61 provided in the right side inclination suppression mechanism 60B is brought into contact with the right side lower side 41.
  • the main body controller 35 controls the lifting mechanism 63 to be in the third state S3, for example, except during the above-mentioned transfer or when traveling in the curve section 4C.
  • the lifting mechanism 63 has two optical sensors 66A and 66B.
  • Each of the optical sensors 66A and 66B includes, for example, a light projecting section and a light receiving section, and detects whether or not the light receiving section receives light from the light projecting section.
  • the moving block 64E includes a shielding plate 67 that can pass between the light emitting part and the light receiving part of the two optical sensors 66A and 66B arranged side by side in the X-axis direction. is installed.
  • the two optical sensors 66A, 66B are configured such that the shielding plate 67 makes the optical sensor 66A non-detectable in the first state S1, and the shielding plate 67 makes the two optical sensors 66A, 66B non-detectable in the second state S2.
  • the optical sensor 66B is arranged so that it is not detected by the shielding plate 67 in the third state S3 so that the optical sensor 66B is not detected.
  • the main body controller 35 switches the state of the contact roller 61 based on the detection results of the two optical sensors 66A and 66B.
  • the outer side of the curve in the traveling rail 4 means the side surface portion 42 side that has a larger curve radius (smaller curvature)
  • the inside of the curve in the traveling rail 4 means the side surface portion 42 side on the side with a smaller curve radius (larger curvature).
  • the outer side of the curve in the running rail 4 means the part on the side surface portion 42 side where the radius of the curve is larger than the center line in the width direction
  • the inner part of the curve in the running rail 4 means the part on the side of the side surface 42 where the radius of the curve is larger than the center line in the width direction. means the part on the smaller side surface portion 42 side.
  • the surface on the side that contacts the above-mentioned internal space S is called an inner surface
  • the surface on the opposite side to the inner surface, that is, the surface on the side that contacts the external space is called an outer surface.
  • the main body 7 As shown in FIG. 2, in the carrier 6 configured such that the main body 7 is suspended from the traveling section 50, the main body 7 is tilted due to centrifugal force when traveling in the curved section 4C, and the outer side of the curve approaches the traveling rail 4.
  • a contact roller 61 is provided on the upper surface of the main body 7, which contacts the curved outer portion of the traveling rail 4 in the curved section 4C from below.
  • the contact roller 61 contacts one of the pair of lower surface portions 41, 41 disposed on the outside of the curve in the curve section 4C.
  • the reaction force generated when the contact roller 61 contacts one of the lower surface parts 41 prevents the curved outer portion of the main body part 7 from approaching the traveling rail 4 (lower surface part 41).
  • the transport vehicle 6 of the above embodiment includes a lifting mechanism 63 that moves the contact roller 61 up and down in the vertical direction.
  • the trapezoidal screw 64C is used for a part of the linear motion mechanism 64 that constitutes the elevating mechanism 63, so that a simple structure can be achieved without using a complicated mechanism such as a brake mechanism. This can counteract the reaction force when the contact roller 61 contacts the traveling rail 4.
  • the main body controller 35 controls the lifting mechanism 63 so that the contact roller 61 contacts the traveling rail 4 at least when the traveling section 50 travels in the curve section 4C. Thereby, the contact roller 61 can be brought into contact with the outside portion of the curve of the running rail 4 more reliably in the curve section 4C.
  • the contact roller 61 is rotatably provided, and the direction of the contact roller 61 is swingable. Thereby, the direction of the contact roller 61 can be changed along the traveling direction of the traveling section 50, so that the contact roller 61 can rotate favorably when the conveyance vehicle 6 is traveling. Thereby, it is possible to suppress that the rotating part 61A forming the contact roller 61 slides on the running rail 4 due to the mismatch between the running direction of the running part 50 and the direction of the contact roller 61, and that the contact roller 61 is worn out.
  • the contact roller 61 is provided at the center of the main body 7 in the running direction of the running section 50, so even if the contact roller 61 cannot be swung in the direction of the curve. There is a high possibility that the running direction of the running section 50 and the direction of the contact roller 61 match in the section 4C. This prevents the rotating part 61A of the contact roller 61 from sliding on the running rail 4 due to the mismatch between the running direction of the running part 50 and the direction of the contact roller 61, and the rotating part 61A of the contact roller 61 from being worn out. can.
  • the main body controller 35 controls the lifting mechanism 63 so that the conveyance vehicle 6 is in the first state S1 when the article 10 is transferred to the placement section 9. This prevents the main body 7 from tilting to the left when the article 10 is transferred to the loading section 9 disposed on the lower left side of the traveling rail 4 when viewed from the front in the traveling direction of the transport vehicle 6. can be suppressed. Further, when transferring the article 10 to the mounting section 9 disposed on the lower right side of the running rail 4, it is possible to suppress the main body section 7 from tilting to the right side.
  • the position of the contact roller 61 is lowered by moving the moving block 64E to the left, and the position of the contact roller 61 is raised by moving the moving block 64E to the right.
  • the invention is not limited thereto.
  • the position of the contact roller 61 is raised by moving the moving block 64E to the left, and the position of the contact roller 61 is raised by moving the moving block 64E to the right.
  • the tilt suppression mechanism 60 may be configured to lower the position of the roller 61. Note that the description of each part constituting the tilt suppression mechanism 60 will be omitted.
  • the main body controller 35 controls the contact roller 61 as shown in FIG.
  • the contact roller 61 can be reliably brought into contact with the outer side of the curve of the running rail 4 in the curve section 4C.
  • the elevating mechanism 63 for elevating the contact roller 61 is provided, but the elevating mechanism 63 may not be provided, for example.
  • the contact roller 61 may be arranged at a distance D away from the lower surface portion 41 of the traveling rail 4.
  • the trapezoidal screw 64C and the movable block 64E screwed into the trapezoidal screw 64C have been described as an example of the linear motion mechanism 64 included in the tilt suppression mechanism 60.
  • a mechanism such as a rack and pinion may be employed.
  • the linear motion mechanism 64 provided in the tilt suppression mechanism 60 is controlled even when transferring the article 10 from the main body 7 to the placing section 9, for example, in FIG. 5(A) or FIG.
  • FIG. 5(A) or FIG. Although the explanation has been given using an example of setting the state shown in A), such control does not necessarily have to be executed.
  • An overhead conveyance vehicle having a traveling part equipped with traveling wheels rolling on a traveling rail, and a main body part supported by the traveling part via a hanging part and holding an object to be transported,
  • An overhead transport vehicle wherein a contact roller is provided on an upper surface of the main body portion facing the traveling rail in the vertical direction, and contacts a curved outer portion of the traveling rail in a curved section from below.
  • the traveling rail is a slit portion in which the hanging portion is movable when the traveling portion runs;
  • a pair of rolling parts which are parts on which the running wheels roll, and are arranged to face each other across the slit part in a width direction perpendicular to both the vertical direction and the running direction of the running part.

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Abstract

天井搬送車（６）は、走行レール（４）上を転動する走行車輪（５１）を備えた走行部（５０）と、走行部（５０）に吊下部（８）を介して支持されると共に被搬送物（１０）を保持する本体部（７）と、を有する。天井搬送車（６）は、鉛直方向において走行レール（４）に対向する本体部（７）の上面には、カーブ区間（４Ｃ）における走行レール（４）のカーブ外側部分に下方から接触する接触ローラ（６１）が設けられている。

Description

天井搬送車
　本発明の一側面の目的は、天井搬送車に関する。
　工場等の建屋の天井等に設置された走行レールに沿って走行する天井搬送車が知られている。例えば、特許文献１には、走行レールを走行する走行部と、物品を保持する本体部と、を備えた天井搬送車が開示されている。特許文献１の天井搬送車では、走行部は、角筒状に形成された走行レールの筒内部を走行し、本体部は、走行レールの下面部に設けられたスリットを介して、走行部に対して吊り下げ支持されている。
ＷＯ２０１２／１５７３１９号公報
　このような構成の天井搬送車では、カーブ区間を走行する際の遠心力によって走行部の走行車輪が浮き上がり、カーブ区間を安定的に走行できないおそれがある。
　そこで、本発明の一側面の目的は、走行部がカーブ区間を走行する際の走行車輪の浮き上がり量を抑制することができる、天井搬送車を提供することにある。
　本発明の一側面に係る天井搬送車は、走行レール上を転動する走行車輪を備えた走行部と、走行部に吊下部を介して支持されると共に被搬送物を保持する本体部と、を有する天井搬送車であって、鉛直方向において走行レールに対向する本体部の上面には、カーブ区間における走行レールのカーブ外側部分に下方から接触する接触ローラが設けられている。
　走行部から吊り下げられる構成の本体部を備える天井搬送車では、カーブ区間を走行するときの遠心力によって本体部が傾き、本体部のカーブ外側部分が走行レールに近づく。ところが、本発明の一側面に係る天井搬送車では、カーブ区間における走行レールのカーブ外側部分に下方から接触する接触ローラが本体部の上面に設けられている。これにより、本体部のカーブ外側部分が走行レールに近づこうとすると、接触ローラが走行レールのカーブ外側部分に接触し、そのときの反力によって本体部のカーブ外側部分が走行レールに近づくことが規制される。この結果、本体部が傾くこと、ひいては本体部を吊り下げ支持する走行部が傾くことが抑制され、走行部がカーブ区間を走行する際の走行車輪の浮き上がり量を抑制することができる。なお、ここでいう走行レールのカーブ外側部分とは、走行レールの幅方向における中心線よりも外側の部分を言う。
　本発明の一側面に係る天井搬送車では、走行レールは、走行部の走行時において吊下部が移動可能なスリット部と、走行車輪が転動する部分であって、鉛直方向及び走行部の走行方向の両方に直交する幅方向において、スリット部を挟んで対向するように配置されている一対の転動部と、を有し、カーブ区間において接触ローラは、一対の転動部のうちカーブ外側に配置された一方の転動部に接触するように設けられていてもよい。この構成では、カーブ区間において接触ローラが一対の転動部のうちカーブ外側に配置された一方の転動部に接触する。これにより、接触ローラが一方の転動部に接触したときの反力によって、本体部のカーブ外側部分に走行レール（転動部）に近づくことが規制される。
　本発明の一側面に係る天井搬送車では、接触ローラを鉛直方向に昇降させる昇降機構を更に備えてもよい。この構成では、接触ローラを走行レールに接触させたいときに、確実に接触ローラを走行レールに接触させることができ、接触ローラを走行レールから離反させたいときに、確実に接触ローラを走行レールから離反させることができる。
　本発明の一側面に係る天井搬送車では、昇降機構を構成する直動機構の一部には台形ネジが用いられてもよい。この構成では、例えばブレーキ機構等の複雑な機構を採用しなくても、簡易な構成で接触ローラが走行レールに接触したときの反力に対抗することができる。
　本発明の一側面に係る天井搬送車では、少なくとも走行部がカーブ区間を走行するときに、接触ローラが走行レールに接触するように昇降機構を制御する制御部を更に備えてもよい。この構成では、カーブ区間においてより確実に、走行レールのカーブ外側部分に接触ローラを接触させることができる。
　本発明の一側面に係る天井搬送車では、接触ローラは回転可能に設けられており、接触ローラの向きは、鉛直方向から見たときの回転軸方向に直交する方向に対して揺動可能に設けられてもよい。この構成では、走行部の走行方向に沿うように接触ローラの向きを変えることができるので、天井搬送車の走行時には接触ローラは良好に回転する。これにより、走行部の走行方向と接触ローラの向きとが一致しないことによって接触ローラが走行レールを摺動し、接触ローラが摩耗することを抑制できる。
　本発明の一側面に係る天井搬送車では、接触ローラは、走行部の走行方向において本体部の中央部に設けられてもよい。この構成では、接触ローラの向きが揺動不能であったとしても、カーブ区間において走行車の走行方向と接触ローラの向きとが一致する可能性が高くなる。これにより、走行部の走行方向と接触ローラの向きとが一致しないことによって接触ローラが走行レールを摺動し、接触ローラが摩耗することを抑制できる。
　本発明の一側面によれば、走行部がカーブ区間を走行する際の走行車輪の浮き上がり量を抑制することができる。
図１は、一実施形態に係る天井搬送車システムの概略構成図である。 図２は、図１の天井搬送車を前方から見た前面図である。 図３は、図１の天井搬送車を側方から見た側面図である。 図４は、図２の走行レール部分を拡大して示した断面図である。 図５（Ａ）、図５（Ｂ）及び図５（Ｃ）は、傾き抑制機構の動作を説明する図である。 図６（Ａ）は、傾き抑制機構を上方から見た概略構成図である。図６（Ｂ）は、接触ローラを上方から見た概略構成図である。図６（Ｃ）は、前方から見たときの光学センサと遮蔽板との位置関係を示した図である。 図７（Ａ）は、接触ローラの斜視図である。図７（Ｂ）は、図７（Ａ）とは異なる方向から見たときの接触ローラの斜視図である。図７（Ｃ）は、接触ローラの側面図である。 図８（Ａ）、図８（Ｂ）及び図８（Ｃ）は、変形例に係る天井搬送車に備わる傾き抑制機構の動作を説明する図である。
　以下、図面を参照して、一実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において、同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。図２～図４では、説明の便宜のため「上」、「下」、「左」、「右」、「前」、「後」方向を定義する。図５及び図６では、説明の便宜のため互いに直交するＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸を定義する。
　本実施形態に係る天井搬送車６（以下、「搬送車６」と称する。）は、図１に示されるような天井搬送車システム１に用いられる。天井搬送車システム１は、走行レール４に沿って移動可能な搬送車６を用いて、物品（被搬送物）１０を載置部９間で搬送するためのシステムである。物品１０には、例えば、複数の半導体ウェハを格納するＦＯＵＰ（Front　Opening　Unified　Pod）及びガラス基板を格納するレチクルポッド等のような容器、並びに一般部品等が含まれる。天井搬送車システム１は、走行レール４、複数の搬送車６及び複数の載置部９を備える。
　図１に示されるように、載置部９は、走行レール４に沿って配置され、搬送車６が物品１０を受け渡し可能な位置に設けられている。載置部９には、バッファ及び受渡ポートが含まれる。バッファは、物品１０が一時的に載置される載置部である。バッファは、例えば、目的とする受渡ポートに他の物品１０が載置されている等の理由により、搬送車６が搬送している物品１０をその受渡ポートに移載できない場合に、物品１０が仮置きされる載置部である。受渡ポートは、例えば洗浄装置、成膜装置、リソグラフィ装置、エッチング装置、熱処理装置、平坦化装置をはじめとする半導体の処理装置（図示せず）に対して物品１０の受渡を行うための載置部である。なお、処理装置は、特に限定されず、種々の装置であってもよい。
　例えば、載置部９は、走行レール４の側方に配置されている。この場合、搬送車６は、横送り部２４で昇降駆動部２８等を横送りし、昇降台３０（図２参照）を昇降させることにより、載置部９との間で物品１０を受け渡しする。なお、図示はしないが載置部９は、走行レール４の直下に配置されてもよい。この場合、搬送車６は、昇降台３０を昇降させることにより、載置部９との間で物品１０を受け渡しする。
　走行レール４は、例えば、作業者の頭上スペースである天井付近に敷設されている。走行レール４は、例えば天井から吊り下げられている。走行レール４は、搬送車６を走行させるための予め定められた走行路である。搬送車６は、予め定められた一方向に走行レール４を移動する。走行レール４は、支柱４Ａ，４Ａ（図２参照）により支持される。
　図２～図４に示されるように、走行レール４は、一対の下面部（転動部）４１，４１と一対の側面部４２，４２と上面部４３とからなる角筒状のレール本体部４０と、給電部４５と、磁気プレート４６と、を有している。レール本体部４０は、搬送車６の走行部５０が走行する内部空間Ｓを形成する。下面部４１は、搬送車６の走行方向に延在し、レール本体部４０の下面を構成する。下面部４１は、搬送車６の走行ローラ（走行車輪）５１を転動させて走行部５０を走行させる板状部材である。側面部４２は、下面部４１から立設（交差）している。側面部４２は、搬送車６の走行方向に延在し、レール本体部４０の側面を構成する。上面部４３は、搬送車６の走行方向に延在し、レール本体部４０の上面を構成する。
　走行レール４の延在方向に直交する幅方向（左右方向）に対向する一対の下面部４１，４１の間には、後段にて詳述する走行部５０の吊下部８が走行時に通過するスリット部Ｇが形成されている。スリット部Ｇは、走行レール４の延在方向に沿って延在している。言い換えれば、一対の下面部４１，４１は、幅方向にスリット部Ｇを挟んで対向するように配置されている。
　給電部４５は、搬送車６の給電コア５７に電力を供給すると共に、給電コア５７と信号の送受信を行う部位である。給電部４５は、一対の側面部４２，４２のそれぞれに固定され、走行方向に沿って延在している。給電部４５は、給電コア５７に対して非接触の状態で電力を供給する。磁気プレート４６は、搬送車６のＬＤＭ（Linear　DC　Motor）５９に走行又は停止のための磁力を発生させる。磁気プレート４６は、上面部４３に固定され、走行方向に沿って延在している。
　搬送車６は、走行レール４に沿って走行し、物品１０を搬送する。搬送車６は、物品１０を移載可能に構成されている。搬送車６は、天井走行式無人搬送車である。天井搬送車システム１が備える搬送車６の台数は、特に限定されず、複数である。搬送車６は、本体部７と、走行部５０と、本体コントローラ（制御部）３５と、を有する。本体部７は、本体フレーム２２と、横送り部２４と、θドライブ２６と、昇降駆動部２８と、昇降台３０と、カバー３３と、を有する。
　本体フレーム２２は、走行部５０と吊下部８を介して接続されており、横送り部２４と、θドライブ２６と、昇降駆動部２８と、昇降台３０と、カバー３３とを支持する。横送り部２４は、θドライブ２６、昇降駆動部２８及び昇降台３０を一括して、走行レール４の走行方向と直交する幅方向（左右方向）に横送りする。θドライブ２６は、昇降駆動部２８及び昇降台３０の少なくとも何れかを水平面内で所定の角度範囲内で回動させる。昇降駆動部２８は、ワイヤ、ロープ及びベルト等の吊持材を巻取る又は繰出すことによって昇降台３０を昇降させる。昇降台３０には、チャックが設けられており、物品１０の把持又は解放が自在とされている。カバー３３は、例えば搬送車６の走行方向の前後に一対設けられている。カバー３３は、図示しない爪等を出没させて、搬送中に物品１０が落下することを防止する。
　図３及び図４に示されるように、走行部５０は、搬送車６を走行レール４に沿って走行させる。走行部５０は、走行ローラ５１、サイドローラ５２、分岐ローラ５３、補助ローラ５４、傾斜ローラ５５、給電コア５７、ＬＤＭ５９及び傾き抑制機構６０を有している。
　走行ローラ５１は、走行部５０の前後の左右両端に配置されている。走行ローラ５１は、レール本体部４０の一対の下面部４１，４１の内面４１ａ，４１ａを転動する。サイドローラ５２は、レール本体部４０の側面部４２の内面４２ａに接触可能に設けられている。
　分岐ローラ５３は、走行レール４の分岐箇所で搬送車６（走行部５０）が左右に分岐するのを切り替えるために設けられる。より詳細には、分岐ローラ５３は、分岐箇所に設けられているガイド部材に誘導されることによって、搬送車６が進む方向を切り替える。
　分岐ローラ５３は、走行レール４の接続部又は分岐部等に配置されているガイド（図示せず）に接触可能に設けられている。補助ローラ５４は、走行部５０の前後に設けられている、三つ一組のローラ群である。補助ローラ５４は、走行部５０が加減速等により前後に傾いたときに、ＬＤＭ５９及び給電コア５７等が走行レール４の上面部４３に配置された磁気プレート４６に接触することを防止するために設けられている。傾斜ローラ５５は、前後方向から傾いた状態で配置されている。傾斜ローラ５５は、走行部５０がカーブ区間を走行する際の遠心力による傾きを防止するために設けられている。
　給電コア５７は、走行部５０の前後に、左右方向にＬＤＭ５９を挟むように配置されている。走行レール４に配置された給電部４５との間で非接触による給電と、非接触による各種信号の送受信を行う。給電コア５７は本体コントローラ３５との間で信号をやりとりする。ＬＤＭ５９は、走行部５０の前後に設けられている。ＬＤＭ５９は、電磁石によって走行レール４の上面部４３に配置された磁気プレート４６との間で、走行又は停止のための磁力を発生させる。
　図１に示されるように、走行レール４は、ストレート区間４Ｓとカーブ区間４Ｃとによって構成されている。図２～図４に示される傾き抑制機構６０は、搬送車６がカーブ区間４Ｃを走行するときの遠心力によって走行部５０及び本体部７が傾くことを抑制する機構である。傾き抑制機構６０は、本体部７の上面に設けられている。傾き抑制機構６０は、カーブ区間４Ｃを走行するときに傾き抑制機構６０に備わる接触ローラ６１を走行レール４の下面部４１の外面に下方から接触させて、走行レール４から得られる反力によって本体部７が傾くことを抑制する機構である。
　図４に示されるように、傾き抑制機構６０は、本体部７の上面において、幅方向における左右両端近傍に配置されている。すなわち、傾き抑制機構６０は、左側傾き抑制機構６０Ａと右側傾き抑制機構６０Ｂとによって構成されている。左側傾き抑制機構６０Ａに備わる接触ローラ６１は、走行レール４を構成する一対の下面部４１，４１のうち、左側の下面部４１に接触するように設けられている。右側傾き抑制機構６０Ｂに備わる接触ローラ６１は、走行レール４を構成する一対の下面部４１，４１のうち、右側の下面部４１に接触するように設けられている。傾き抑制機構６０に備わる接触ローラ６１は、図３に示されるように、本体部７の前後方向における中央部に設けられる。
　傾き抑制機構６０の接触ローラ６１は、走行レール４を構成する一対の下面部４１，４１のうち、カーブ区間４Ｃにおけるカーブ外側に配置された一方の下面部４１に接触する。具体的には、カーブ区間４Ｃにおいて図４における左側の下面部４１がカーブ外側に位置する場合、左側傾き抑制機構６０Ａに備わる接触ローラ６１が左側の下面部４１に接触し、カーブ区間４Ｃにおいて図４における右側の下面部４１がカーブ外側に位置する場合、右側傾き抑制機構６０Ｂに備わる接触ローラ６１が右側の下面部４１に接触する。
　図５（Ａ）及び図６（Ａ）に示されるように、傾き抑制機構６０は、接触ローラ６１をＺ軸方向に移動（鉛直方向に昇降）させる昇降機構６３を備える。これにより、傾き抑制機構６０では、接触ローラ６１を、走行レール４の下面部４１の外面に接触させたり、下面部４１の外面から離反させたりする制御が可能となる。
　昇降機構６３は、直動機構６４と、揺動機構６５と、を有する。直動機構６４は、駆動部６４Ａと、ギア６４Ｂと、台形ネジ６４Ｃと、支持部６４Ｄと、移動ブロック６４Ｅと、を有する。駆動部６４Ａは、例えばモータである。駆動部６４Ａにおける回転駆動は、複数のギア６４Ｂを介して台形ネジ６４Ｃに伝達される。台形ネジ６４Ｃには、移動ブロック６４Ｅが螺合されている。このような構成の移動ブロック６４Ｅは、台形ネジ６４Ｃが回転することによってＸ軸方向に直線的に移動する。移動ブロック６４Ｅは、例えば、台形ネジ６４Ｃが正方向（右回り）に回転することで、図５（Ａ）に示される左方向に移動し、台形ネジ６４Ｃが負方向（左回り）に回転することで、図５（Ａ）に示される右方向に移動するように構成されている。
　揺動機構６５は、第一リンク部材６５Ａと、第二リンク部材６５Ｂと、第三リンク部材６５Ｃと、支持部６５Ｄと、を有する。第一リンク部材６５Ａは、支持部６５ＤにＸ軸方向に沿って移動可能に支持されている。第一リンク部材６５Ａは、一端が移動ブロック６４Ｅに回動可能に支持され、他端が第三リンク部材６５Ｃに回動可能に支持されている。第一リンク部材６５Ａは、移動ブロック６４Ｅと一体的にＸ軸方向に沿って移動可能に設けられている。
　第二リンク部材６５Ｂは、一端が支持部６５Ｄに回動可能に固定され、他端が第三リンク部材６５Ｃに回動可能に固定されている。第二リンク部材６５Ｂと支持部６５Ｄとの間には、支持部６５Ｄの回動軸を中心に第二リンク部材６５Ｂが時計回りに回動するように第二リンク部材６５Ｂを付勢する弾性部材が設けられている。第三リンク部材６５Ｃは、第一リンク部材６５Ａの他端と第二リンク部材６５Ｂの他端との両方に対して回動可能に固定されている。第三リンク部材６５Ｃには、接触ローラ６１が固定されている。このような直動機構６４及び揺動機構６５の構成では、直動機構６４の移動ブロック６４ＥがＸ軸方向に沿って左方向に移動すれば、揺動機構６５の第三リンク部材６５Ｃに固定された接触ローラ６１の高さ位置（Ｚ軸方向における位置）が下降する（図５（Ｃ）参照）。一方、直動機構６４の移動ブロック６４ＥがＸ軸方向に沿って右方向に移動すれば、揺動機構６５の第三リンク部材６５Ｃに固定された接触ローラ６１の高さ位置（Ｚ軸方向における位置）が上昇する（図５（Ａ）参照）。
　図６（Ａ）に示されるように、接触ローラ６１は、第三リンク部材６５Ｃに取り付けられている。図７（Ａ）～図７（Ｃ）に示されるように、接触ローラ６１は、回転部６１Ａと、回転支持部（回転軸）６１Ｂと、第一軸部６１Ｃと、第二軸部６１Ｄと、バネ部材６１Ｅと、を有する。回転部６１Ａは、走行レール４の下面部４１を転動する部分であり、回転支持部６１Ｂに対して回転可能に設けられている。回転支持部６１Ｂは、回転部６１Ａを回転可能に支持するリング状部材である。第一軸部６１Ｃは、回転支持部６１Ｂの径方向中心を通り、径方向に延在する部位であり、回転支持部６１Ｂと一体的に形成されている。第一軸部６１Ｃは、所定のキャスタ角度を有している。第二軸部６１Ｄは、第三リンク部材６５Ｃに取り付けられる部材であり、一方向に延在する部材である。第一軸部６１Ｃは、第二軸部６１Ｄを軸として回転可能に設けられている。回転支持部６１Ｂは、バネ部材６１Ｅを介して第三リンク部材６５Ｃに取り付けられている。
　このような接触ローラ６１の構成によって、図６（Ｂ）に示されるように、接触ローラ６１の向き（二点鎖線）は、鉛直方向（Ｚ軸方向）から見たときの第一軸部６１Ｃに直交する方向（一点鎖線）に対して揺動可能に設けられている。ここでいう接触ローラ６１の向きとは、接触ローラ６１を平面視したときに前端と後端とを結ぶ直線をいう。接触ローラ６１は、例えば、走行レール４を走行時に走行レール４から受ける作用力によって揺動する。
　図１及び図２に示されるように、走行部５０は、後段にて詳述する搬送コントローラ９０によって本体コントローラ３５を介した状態で制御される。具体的には、搬送コントローラ９０からの指令が本体コントローラ３５に送信され、当該指令を受信した本体コントローラ３５が走行部５０を制御する。
　本体コントローラ（制御部）３５は、ＣＰＵ（Central　Processing　Unit）、ＲＯＭ（Read　Only　Memory）及びＲＡＭ（Random　Access　Memory）等からなる電子制御ユニットである。本体コントローラ３５は、搬送車６における各種動作を制御する。具体的には、本体コントローラ３５は、走行部５０と、横送り部２４と、θドライブ２６と、昇降駆動部２８と、昇降台３０と、傾き抑制機構６０と、を制御する。本体コントローラ３５は、例えばＲＯＭに格納されているプログラムがＲＡＭ上にロードされてＣＰＵで実行されるソフトウェアとして構成することができる。本体コントローラ３５は、電子回路等によるハードウェアとして構成されてもよい。本体コントローラ３５は、走行レール４の給電部４５（フィーダー線）等を利用して、搬送コントローラ９０（図１参照）と通信を行う。
　本実施形態の本体コントローラ３５は、傾き抑制機構６０の昇降機構６３を制御して、図５（Ａ）に示されるように、接触ローラ６１が走行レール４の下面部４１に接触するように位置する第一状態Ｓ１（昇降機構６３において接触ローラ６１を最大に上昇させた位置）、図５（Ｂ）に示されるように接触ローラ６１が走行レール４の下面部４１から距離Ｄ離れた第二状態Ｓ２、又は図５（Ｃ）に示されるように、昇降機構６３において接触ローラ６１を最大に下降させた第三状態Ｓ３の何れかに、接触ローラ６１の位置を切り替えることができる。なお、距離Ｄは、許容される走行ローラ５１の浮き上がり量に基づいて設定される。
　本体コントローラ３５は、搬送車６が載置部９に物品１０を移載するときに、第一状態Ｓ１となるように昇降機構６３を制御する。より詳細には、本体コントローラ３５は、搬送車６が走行レール４の真下に配置された載置部９ではなく、走行レール４の右側下方又は左側下方に配置された載置部９に対して物品１０を移載するときに、第一状態Ｓ１となるように昇降機構６３を制御する。具体的には、本体コントローラ３５は、搬送車６の走行方向前方から見たときに、走行レール４の左側下方に配置された載置部９に対して物品１０を移載するときは、図４に示される右側傾き抑制機構６０Ｂに備わる接触ローラ６１を右側の下面部４１に接触させ、走行レール４の右側下方に配置された載置部９に対して物品１０を移載するときは、図４に示される左側傾き抑制機構６０Ａに備わる接触ローラ６１を左側の下面部４１に接触させる。
　本体コントローラ３５は、搬送車６が少なくともカーブ区間４Ｃを走行するときに、第二状態Ｓ２となるように昇降機構６３を制御する。具体的には、本体コントローラ３５は、搬送車６がカーブ区間を走行するときに、図４における左側の下面部４１がカーブ外側に位置する場合、左側傾き抑制機構６０Ａに備わる接触ローラ６１を左側の下面部４１に接触させ、図４における右側の下面部４１がカーブ外側に位置する場合、右側傾き抑制機構６０Ｂに備わる接触ローラ６１を右側の下面部４１に接触させる。
　本体コントローラ３５は、例えば、上記の移載時やカーブ区間４Ｃ走行時以外は、第三状態Ｓ３となるように昇降機構６３を制御する。
　昇降機構６３は、二つの光学センサ６６Ａ，６６Ｂを有する。光学センサ６６Ａ，６６Ｂのそれぞれは、例えば投光部と受光部とからなり、受光部における投光部からの光の受光の有無を検知する。図６（Ｃ）に示されるように、移動ブロック６４Ｅには、Ｘ軸方向に並べて配置されている二つの光学センサ６６Ａ，６６Ｂの投光部と受光部との間を通過可能な遮蔽板６７が取り付けられている。二つの光学センサ６６Ａ，６６Ｂは、第一状態Ｓ１のときに遮蔽板６７によって光学センサ６６Ａが非検知となるように、第二状態Ｓ２のときに遮蔽板６７によって両方の光学センサ６６Ａ，６６Ｂが非検知となるように、第三状態Ｓ３のときに遮蔽板６７によって光学センサ６６Ｂが非検知となるように配置されている。本体コントローラ３５は、二つの光学センサ６６Ａ，６６Ｂの検知結果に基づいて、接触ローラ６１の状態を切り替える。
　なお、走行レール４を構成する一対の側面部４２，４２を平面視した場合において、走行レール４におけるカーブ外側とは、曲線半径の大きい（曲率が小さい）側の側面部４２側を意味し、走行レール４におけるカーブ内側とは、曲線半径の小さい（曲率が大きい）側の側面部４２側を意味する。走行レール４におけるカーブ外側部分とは、幅方向における中心線よりも曲線半径の大きい側面部４２側の部分を意味し、走行レール４におけるカーブ内側部分とは、幅方向における中心線よりも曲線半径の小さい側面部４２側の部分を意味する。また、下面部４１、側面部４２及び上面部４３においては、上記内部空間Ｓに接する側の面を内面といい、内面とは反対側の面すなわち外部空間に接する側の面を外面という。
　上記実施形態の天井搬送車システム１における作用効果について説明する。図２に示されるように、走行部５０から本体部７が吊り下げられる構成の搬送車６では、カーブ区間４Ｃを走行するときの遠心力によって本体部７が傾き、本体部７のカーブ外側部分が走行レール４に近づく。上記実施形態の搬送車６は、カーブ区間４Ｃにおける走行レール４のカーブ外側部分に下方から接触する接触ローラ６１が本体部７の上面に設けられている。これにより、本体部７のカーブ外側部分が走行レール４に近づこうとすると、接触ローラ６１が走行レール４のカーブ外側部分に接触し、そのときの反力によって本体部７のカーブ外側部分が走行レール４に近づくことが規制される。この結果、本体部７が傾くこと、ひいては本体部７を吊り下げ支持する走行部５０が傾くことが抑制され、走行部５０がカーブ区間４Ｃを走行する際の走行ローラ５１の浮き上がり量を抑制することができる。
　上記実施形態の搬送車６では、カーブ区間４Ｃにおいて、一対の下面部４１，４１のうちカーブ外側に配置された一方の下面部４１に接触ローラ６１が接触する。これにより、接触ローラ６１が一方の下面部４１に接触したときの反力によって、本体部７のカーブ外側部分が走行レール４（下面部４１）に近づくことが規制される。
　上記実施形態の搬送車６では、接触ローラ６１を鉛直方向に昇降させる昇降機構６３を備える。これにより、接触ローラ６１を走行レール４に接触させたいときに、確実に接触ローラ６１を走行レール４に接触させることができ、接触ローラ６１を走行レール４から離反させたいときに、確実に接触ローラ６１を走行レール４から離反させることができる。
　上記実施形態の搬送車６では、昇降機構６３を構成する直動機構６４の一部には台形ネジ６４Ｃが用いられるので、例えばブレーキ機構等の複雑な機構を採用しなくても、簡易な構成で接触ローラ６１が走行レール４に接触したときの反力に対抗することができる。
　上記実施形態の搬送車６では、本体コントローラ３５が、少なくとも走行部５０がカーブ区間４Ｃを走行するときに、接触ローラ６１が走行レール４に接触するように昇降機構６３を制御する。これにより、カーブ区間４Ｃにおいてより確実に、走行レール４のカーブ外側部分に接触ローラ６１を接触させることができる。
　上記実施形態の搬送車６では、接触ローラ６１は回転可能に設けられており、接触ローラ６１の向きが揺動可能に設けられている。これにより、走行部５０の走行方向に沿うように接触ローラ６１の向きを変えることができるので、搬送車６の走行時には接触ローラ６１が良好に回転するようになる。これにより、走行部５０の走行方向と接触ローラ６１の向きとが一致しないことによって接触ローラ６１を構成する回転部６１Ａが走行レール４を摺動し、接触ローラ６１が摩耗することを抑制できる。
　上記実施形態の搬送車６では、接触ローラ６１は、走行部５０の走行方向において本体部７の中央部に設けられているので、接触ローラ６１の向きが揺動不能であったとしても、カーブ区間４Ｃにおいて走行部５０の走行方向と接触ローラ６１の向きとが一致する可能性が高くなる。これにより、走行部５０の走行方向と接触ローラ６１の向きとが一致しないことによって接触ローラ６１の回転部６１Ａが走行レール４を摺動し、接触ローラ６１の回転部６１Ａが摩耗することを抑制できる。
　上記実施形態の搬送車６では、本体コントローラ３５が、搬送車６が載置部９に物品１０を移載するときに、第一状態Ｓ１となるように昇降機構６３を制御している。これにより、搬送車６の走行方向前方から見たときに、走行レール４の左側下方に配置された載置部９に対して物品１０を移載するときに、本体部７が左側に傾くことを抑制できる。また、走行レール４の右側下方に配置された載置部９に対して物品１０を移載するときに、本体部７が右側に傾くことを抑制できる。
　以上、一実施形態について説明したが、本発明の一側面は、上記実施形態に限られない。発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
　上記実施形態の傾き抑制機構６０では、移動ブロック６４Ｅを左方向に移動させることによって接触ローラ６１の位置を下げ、移動ブロック６４Ｅを右方向に移動させることによって接触ローラ６１の位置を上げる構成を例に挙げて説明したがこれに限定されない。例えば、図８（Ａ）～図８（Ｃ）に示されるように、移動ブロック６４Ｅを左方向に移動させることによって接触ローラ６１の位置を上げ、移動ブロック６４Ｅを右方向に移動させることによって接触ローラ６１の位置を下げるような構成の傾き抑制機構６０としてもよい。なお、傾き抑制機構６０を構成する各部の説明は省略する。
　このような変形例に係る傾き抑制機構６０であっても、本体コントローラ３５が、少なくとも走行部５０がカーブ区間４Ｃを走行するときに、図８（Ｂ）で示されるような、接触ローラ６１が走行レール４に接触するような状態となるように昇降機構６３を制御することで、カーブ区間４Ｃにおいて確実に、走行レール４のカーブ外側部分に接触ローラ６１を接触させることができる。
　上記実施形態及び上記変形例では、接触ローラ６１を昇降させる昇降機構６３が設けられている例を挙げて説明したが、例えば昇降機構６３を設けられなくてもよい。この場合、例えば、図５（Ｂ）に示されるように、走行レール４の下面部４１から距離Ｄ離れた位置に接触ローラ６１が配置されるような構成とすればよい。
　上記実施形態及び変形例では、傾き抑制機構６０に備わる直動機構６４の例として台形ネジ６４Ｃと台形ネジ６４Ｃに螺合する移動ブロック６４Ｅを例に挙げて説明したが、例えば、ボールネジ、リニアガイド、又はラックアンドピニオン等の機構を採用してもよい。
　上記実施形態及び変形例では、本体部７から載置部９への物品１０の移載時にも傾き抑制機構６０に備わる直動機構６４を制御して、例えば図５（Ａ）又は図８（Ａ）に示される状態にする例を挙げて説明したが、このような制御は必ずしも実行しなくてもよい。
　本発明の一側面の技術主題は以下のとおりに記載され得る。
［１］
　走行レール上を転動する走行車輪を備えた走行部と、前記走行部に吊下部を介して支持されると共に被搬送物を保持する本体部と、を有する天井搬送車であって、
　鉛直方向において前記走行レールに対向する前記本体部の上面には、カーブ区間における前記走行レールのカーブ外側部分に下方から接触する接触ローラが設けられている、天井搬送車。
［２］
　前記走行レールは、
　　前記走行部の走行時において前記吊下部が移動可能なスリット部と、
　　前記走行車輪が転動する部分であって、鉛直方向及び前記走行部の走行方向の両方に直交する幅方向において、前記スリット部を挟んで対向するように配置されている一対の転動部と、を有し、
　前記カーブ区間において前記接触ローラは、一対の前記転動部のうち前記カーブ外側に配置された一方の前記転動部に接触するように設けられている、［１］に記載の天井搬送車。
［３］
　前記接触ローラを鉛直方向に昇降させる昇降機構を更に備える、［１］又は［２］に記載の天井搬送車。
［４］
　前記昇降機構を構成する直動機構の一部には台形ネジが含まれる、［３］に記載の天井搬送車。
［５］
　少なくとも前記走行部が前記カーブ区間を走行するときに、前記接触ローラが前記走行レールに接触するように前記昇降機構を制御する制御部を更に備える、［３］又は［４］に記載の天井搬送車。
［６］
　前記接触ローラは回転可能に設けられており、前記接触ローラの向きは、鉛直方向から見たときの回転軸方向に直交する方向に対して揺動可能に設けられている、［１］～［５］の何れかに一つに記載の天井搬送車。
［７］
　前記接触ローラは、前記走行部の走行方向において前記本体部の中央部に設けられる、［１］～［５］の何れか一つに記載の天井搬送車。
　４…走行レール、４Ｃ…カーブ区間、６…搬送車（天井搬送車）、７…本体部、１０…物品、３５…本体コントローラ（制御部）、５０…走行部、５１…走行ローラ、６０（６０Ａ，６０Ｂ）…傾き抑制機構、６１…接触ローラ、６３…昇降機構、６４…直動機構、６４Ｃ…台形ネジ、６５…揺動機構、Ｇ…スリット部。

Claims (7)

  1. 　走行レール上を転動する走行車輪を備えた走行部と、前記走行部に吊下部を介して支持されると共に被搬送物を保持する本体部と、を有する天井搬送車であって、
    　鉛直方向において前記走行レールに対向する前記本体部の上面には、カーブ区間における前記走行レールのカーブ外側部分に下方から接触する接触ローラが設けられている、天井搬送車。
  2. 　前記走行レールは、
    　　前記走行部の走行時において前記吊下部が移動可能なスリット部と、
    　　前記走行車輪が転動する部分であって、鉛直方向及び前記走行部の走行方向の両方に直交する幅方向において、前記スリット部を挟んで対向するように配置されている一対の転動部と、を有し、
    　前記カーブ区間において前記接触ローラは、一対の前記転動部のうち前記カーブ外側に配置された一方の前記転動部に接触するように設けられている、請求項１記載の天井搬送車。
  3. 　前記接触ローラを鉛直方向に昇降させる昇降機構を更に備える、請求項２記載の天井搬送車。
  4. 　前記昇降機構を構成する直動機構の一部には台形ネジが含まれる、請求項３記載の天井搬送車。
  5. 　少なくとも前記走行部が前記カーブ区間を走行するときに、前記接触ローラが前記走行レールに接触するように前記昇降機構を制御する制御部を更に備える、請求項３又は４記載の天井搬送車。
  6. 　前記接触ローラは回転可能に設けられており、前記接触ローラの向きは、鉛直方向から見たときの回転軸方向に直交する方向に対して揺動可能に設けられている、請求項１～４の何れか一項記載の天井搬送車。
  7. 　前記接触ローラは、前記走行部の走行方向において前記本体部の中央部に設けられる、請求項１～４の何れか一項記載の天井搬送車。
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