KR20220001440A - 물품 반송차 - Google Patents

물품 반송차 Download PDF

Info

Publication number
KR20220001440A
KR20220001440A KR1020210046315A KR20210046315A KR20220001440A KR 20220001440 A KR20220001440 A KR 20220001440A KR 1020210046315 A KR1020210046315 A KR 1020210046315A KR 20210046315 A KR20210046315 A KR 20210046315A KR 20220001440 A KR20220001440 A KR 20220001440A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
article
regulating
posture
type
regulating body
Prior art date
Application number
KR1020210046315A
Other languages
English (en)
Inventor
다케시 아베
가즈야 아사히
토모히로 요시야마
Original Assignee
가부시키가이샤 다이후쿠
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 가부시키가이샤 다이후쿠 filed Critical 가부시키가이샤 다이후쿠
Publication of KR20220001440A publication Critical patent/KR20220001440A/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733—Overhead conveying
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G35/00—Mechanical conveyors not otherwise provided for
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/0457—Storage devices mechanical with suspended load carriers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G43/00—Control devices, e.g. for safety, warning or fault-correcting
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67259—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67294—Apparatus for monitoring, sorting or marking using identification means, e.g. labels on substrates or labels on containers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67724—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations by means of a cart or a vehicule
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67736—Loading to or unloading from a conveyor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0297—Wafer cassette

Abstract

복수 종류의 물품을 반송 가능한 물품 반송차에 있어서, 이들 복수 종류의 물품의 각각에 대하여 반송 중에 탈락하는 것을 적절히 규제한다. 규제체 제어부는, 물품 검출부에 의해 검출된 수용 물품(8)의 종류가 제1종 물품(81)인 경우에, 하면 대향부(511)가 상하 방향을 따르는 상하 방향에서 볼 때 제1종 물품(81)에 중복되는 위치에 배치되고, 또한 측면 대향부(512)가 상하 방향에서 볼 때 제1종 물품(81)의 측면(8s)을 따르는 위치에 배치되는 제1 규제 자세 Ar1로 되도록, 규제체(51)를 자세 변경시키고, 물품 검출부에 의해 검출된 수용 물품(8)의 종류가 제2종 물품(82)인 경우에, 하면 대향부(511)가 상하 방향에서 볼 때 제2종 물품(82)에 중복되는 위치에 배치되고, 또한 측면 대향부(512)가 상하 방향에서 볼 때 제2종 물품(82)의 측면(8s)을 따르는 위치로서 제1종 물품(81)은 중복되는 위치에 배치되는 제2 규제 자세 Ar2로 되도록, 규제체(51)를 자세 변경시킨다.

Description

물품 반송차{ARTICLE TRANSPORT VEHICLE}
본 발명은, 이동 경로를 따라 이동하여 복수 종류의 물품을 반송(搬送; transport)하는 물품 반송차에 관한 것이다.
예를 들면, 일본 특허 제5700255호 공보(특허문헌 1)에는, 복수 종류의 물품 각각에 대응한 복수 종류의 물품 반송차가 개시되어 있다. 이하, 배경 기술의 설명에 있어서 괄호 내에 첨부 부호는, 특허문헌 1의 것이다.
특허문헌 1에는, 물품 반송차로서, 웨이퍼 수납 용기(W)의 반송(transport) 전용(專用)의 제1 천정 반송차(overhead transport vehicle)(B1)와 레티클(reticle) 수납 용기(R)의 반송 전용의 제2 천정 반송차(B2)가 개시되어 있다. 웨이퍼 수납 용기(W)와 레티클 수납 용기(R)는, 서로 크기나 형상이 상이하므로, 특허문헌 1에 개시된 기술에서는, 상기한 바와 같이 종류가 상이한 물품 반송차를 사용하고 있다.
일본 특허 제5700255호 공보
그런데, 반송 대상인 물품의 종류에 따라서는, 반송 빈도가 상이한 경우 등이 있으므로, 각각을 반송하는 물품 반송차의 사용 빈도도 상이하게 된다. 그러므로, 보다 효율적인 운용을 도모하기 위해, 복수 종류의 물품을 같은 물품 반송차에 의해 반송 가능하게 하는 것이 요구되고 있다. 이것이 가능하게 되면, 설비에 구비되는 복수의 물품 반송차의 사용 빈도의 균일화를 도모할 수 있어, 효율적인 운용이 가능해진다. 그러나, 물품 반송차에 의한 물품의 반송 중에는, 상기 물품 반송차로부터의 물품의 탈락을 규제(restriction)하기 위한 조치가 취하여지는 것이 일반적이지만, 상기한 바와 같이 크기나 형상이 상이한 복수 종류의 물품을 반송 가능한 물품 반송차를 실현하려고 하는 경우, 복수 종류의 물품의 각각에 대응한 탈락 규제의 조치가 필요해진다.
상기 문제점을 해결하기 위해, 복수 종류의 물품을 반송 가능한 물품 반송차에 있어서, 이들 복수 종류의 물품의 각각에 대하여 반송 중에 탈락하는 것을 적절히 규제할 수 있는 기술의 실현이 요구된다.
이동 경로를 따라 이동하여 복수 종류의 물품을 반송하는 물품 반송차로서, 상기 물품을 수용하는 수용부와, 상기 수용부와 상기 수용부보다 아래쪽에 위치하는 이송탑재(移載; transfer) 대상 개소(箇所)와의 사이에서 상기 물품의 이송탑재(transfer)를 행하는 이송탑재 기구와, 상기 수용부에 수용된 상태의 상기 물품이 상기 수용부로부터 외측으로 탈락하는 것을 규제하는 탈락 규제부와, 상기 수용부에 수용된 상태의 상기 물품인 수용 물품의 종류를 검출하는 물품 검출부를 구비하고,
상기 이송탑재 기구는, 상기 물품을 유지하는 유지부(holding portion)와, 상기 유지부를 상기 수용부와 상기 이송탑재 대상 개소와의 사이에서 승강시키는 승강 기구를 구비하고,
상기 물품에는, 적어도, 제1종 물품과, 상기 제1종 물품보다 평면에서 볼 때의 외형이 작은 제2종 물품의 2 종류가 포함되고,
상기 탈락 규제부는, 상기 수용 물품의 탈락을 규제하는 규제 자세와 상기 규제 자세보다 상기 수용 물품으로부터 이격된 이격 자세로 자세 변경하는 규제체와, 상기 규제체의 자세 변경을 제어하는 규제체 제어부를 구비하고,
상기 규제체는, 상기 규제 자세에 있어서 상기 수용 물품의 하면에 대향하는 하면 대향부와, 상기 규제 자세에 있어서 상기 수용 물품의 측면에 대향하는 측면 대향부를 구비하고,
상기 규제체 제어부는,
상기 물품 검출부에 의해 검출된 상기 수용 물품의 종류가 상기 제1종 물품인 경우에, 상기 하면 대향부가 상하 방향을 따르는 상하 방향에서 볼 때 상기 제1종 물품에 중복되는 위치에 배치되고, 또한 상기 측면 대향부가 상기 상하 방향에서 볼 때 상기 제1종 물품의 측면을 따르는 위치에 배치되는 상기 규제 자세인 제1 규제 자세로 되도록, 상기 규제체를 자세 변경시키고,
상기 물품 검출부에 의해 검출된 상기 수용 물품의 종류가 상기 제2종 물품인 경우에, 상기 하면 대향부가 상기 상하 방향에서 볼 때 상기 제2종 물품에 중복되는 위치에 배치되고, 또한 상기 측면 대향부가 상기 상하 방향에서 볼 때 상기 제2종 물품의 측면을 따르는 위치로서 상기 제1종 물품과는 중복되는 위치에 배치되는 상기 규제 자세인 제2 규제 자세로 되도록, 상기 규제체를 자세 변경시키고, 상기 유지부가 상기 물품을 유지한 상태로 상기 승강 기구에 의해 승강하는 경우에, 상기 유지부에 유지된 상기 물품의 이동 궤적과 중복되지 않는 위치에 상기 규제체가 배치되는 상기 이격 자세로 되도록 상기 규제체를 자세 변경시킨다.
본 구성에 의하면, 규제체 제어부에 의해, 규제체를 제1 규제 자세와 제2 규제 자세와 이격 자세로 자세 변경할 수 있다. 규제체가 제1 규제 자세의 상태에 있어서는, 하면 대향부가 상하 방향에서 볼 때 제1종 물품에 중복되는 위치에 배치되고 또한, 측면 대향부가 상하 방향에서 볼 때 제1종 물품의 측면을 따르는 위치에 배치되므로, 하면 대향부 및 측면 대향부에 의해 제1종 물품의 탈락을 적절히 규제할 수 있다. 또한, 규제체가 제2 규제 자세의 상태에 있어서는, 하면 대향부가 상하 방향에서 볼 때 제2종 물품에 중복되는 위치에 배치되고 또한, 측면 대향부가 상하 방향에서 볼 때 제2종 물품의 측면을 따르는 위치로서 제1종 물품과는 중복되는 위치에 배치되므로, 하면 대향부 및 측면 대향부에 의해 제2종 물품의 탈락을 적절히 규제할 수 있다. 여기서, 제2 규제 자세에서는, 측면 대향부가, 제1종 물품과 중복될수록 제2종 물품의 측면에 가까운 위치에 배치되므로, 제1종 물품보다 평면에서 볼 때의 외형이 작은 제2종 물품의 탈락을 더욱 적절히 규제할 수 있다. 따라서, 본 구성에 의하면, 물품의 종류에 관계없이, 반송 중에서의 물품의 탈락을 적절히 규제할 수 있다. 또한, 규제체가 이격 자세의 상태에서는, 유지부에 유지된 물품이 제1종 물품이라도 제2종 물품이라도, 이들의 승강 이동 궤적과 중복되지 않는 위치에 규제체가 배치되므로, 유지부를 수용부와 이송탑재 대상 개소와의 사이에서 승강시키는 경우에, 규제체가 방해가 되지 않도록 할 수 있다.
본 개시에 관한 기술의 새로운 특징과 장점은, 도면을 참조하여 기술(記述)하는 이하의 예시적이고 비한정적인 실시형태의 설명에 따라서 더욱 명백해 질 것이다.
도 1은 물품 반송 설비의 측면도
도 2는 물품 반송 설비의 평면도
도 3은 물품 반송차의 측면도
도 4는 물품의 종류를 검출하는 상태를 나타낸 설명도
도 5는 물품 검출부에 의한 검출 결과와 물품의 종류와의 관계를 나타내는 표
도 6은 물품 반송 설비의 제어 블록도
도 7은 규제체의 제1 규제 자세와 제2 규제 자세를 나타내는 설명도
도 8은 규제체의 동작을 나타낸 설명도
도 9는 그 외의 실시형태에 있어서, 물품 검출부에 의한 검출 결과와 물품의 종류와의 관계를 나타내는 표
도 10은 그 외의 실시형태에 있어서, 규제체의 동작을 나타낸 설명도
물품 반송차의 실시형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. 이하에서는, 물품 반송차가, 물품의 반송이 행해지는 물품 반송 설비에 적용되는 경우를 예시하여, 본 실시형태에 관한 물품 반송차에 대하여 설명한다.
도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 물품 반송 설비는, 물품(8)을 반송하는 물품 반송차(V)와, 설비의 천정(ceiling) 가까이에 설치되고, 물품 반송차(V)의 이동 경로(R)를 구성하는 레일(Ra)과, 물품 반송차(V)와의 사이에서 물품(8)의 이송탑재가 행해지는 이송탑재 대상 개소(9)를 구비하고 있다.
이송탑재 대상 개소(9)에는, 물품(8)에 대한 처리를 행하는 처리 장치(91)와, 처리 장치(91)에 인접하여 배치되고, 물품(8)을 지지하는 지지대(92)가 설치되어 있다. 본 실시형태에서는, 물품 반송차(V)는, 처리 장치(91)에 의한 처리가 행해지기 전의 물품(8)을, 도시하지 않은 반송원(搬送元)으로부터 지지대(92)로 반송하고 또한, 처리 장치(91)에 의한 처리가 행해진 후의 물품(8)을, 지지대(92) 내지 도면 밖의 반송처(搬送處)로 반송한다. 본 실시형태에서는, 물품(8)은, 처리 장치(91)에 의한 처리의 대상이 되는 처리 대상물(對象物)을 수납하는 용기이며, 전술한 「물품(8)에 대한 처리」란, 물품(8)에 수납된 처리 대상물에 대한 처리를 의미한다. 예를 들면, 물품(8)으로서는, 웨이퍼를 수납하는 웨이퍼 수납 용기(이른바 FOUP: Front Opening Unified Pod)라도 되고, 레티클을 수용하는 레티클 수납 용기(이른바 레티클 포드[reticle pod)]라도 된다. 물품(8)이 FOUP인 경우, 처리 대상물은 웨이퍼로 된다. 물품(8)이 레티클 포드인 경우, 처리 대상물은 레티클로 된다.
이하, 도 1∼도 3을 참조하여, 물품 반송차(V)의 구성에 대하여 상세하게 설명한다. 그리고, 이하에서는, 물품 반송차(V)가 이동 경로(R)를 따라 물품(8)을 반송하는 방향을 「반송 방향 X」라고 한다. 그리고, 반송 방향 X에 대하여 상하 방향을 따르는 상하 방향에서 볼 때 교차하는 방향을 「교차 방향 Y」라고 한다. 본 예에서는, 교차 방향 Y는, 반송 방향 X에 대하여 상하 방향에서 볼 때 직교하는 방향이다. 그리고, 반송 방향 X를 제1 방향, 교차 방향 Y를 제2 방향이라고 각각 바꾸어 말해도 된다. 제1 방향과 제2 방향은 상하 방향에서 볼 때 서로 교차하는 방향이다.
물품 반송차(V)는, 이동 경로(R)를 따라 이동하여 복수 종류의 물품(8)을 반송한다. 물품 반송차(V)는, 물품(8)을 수용하는 수용부(2)와, 수용부(2)와 상기 수용부(2)보다 아래쪽에 위치하는 이송탑재 대상 개소(9)와의 사이에서 물품(8)의 이송탑재를 행하는 이송탑재 기구(4)를 구비하고 있다. 본 실시형태에서는, 물품 반송차(V)는, 주행 기구(機構)(1)와, 수용부(2)를 덮는 커버(3)를 더 포함하고 있다.
주행 기구(1)는, 레일(Ra) 상을 전동(轉動)하는 주행 차륜(10)과, 주행 차륜(10)을 구동시키는 주행용 모터(M1)(도 6 참조)를 구비하고 있다. 도시한 예에서는, 복수의 주행 차륜(10)이, 물품 반송차(V)에 구비되어 있다. 주행용 모터(M1)는, 복수의 주행 차륜(10) 중 하나 이상을 구동하여, 물품 반송차(V)가 반송 방향 X를 따라 주행하기 위한 추진력을 부여한다.
커버(3)는, 주행 기구(1)에 의해 현수(懸垂) 지지되어 있다. 레일(Ra)에 대하여 위쪽에 주행 기구(1)가 배치되고, 레일(Ra)에 대하여 아래쪽에 커버(3)가 배치되어 있다. 본 실시형태에서는, 커버(3)는, 수용부(2)의 상측 및 반송 방향 X의 양측을 덮고 있다. 본 예에서는, 커버(3)는, 수용부(2)의 상측을 덮는 상측 커버부(30)와, 수용부(2)에서의 반송 방향 X의 한쪽 측을 덮는 제1 커버부(31)와, 수용부(2)에서의 반송 방향 X의 다른 쪽 측을 덮는 제2 커버부(32)를 구비하고 있다. 제1 커버부(31) 및 제2 커버부(32)의 각각은, 수용부(2)에 수용된 물품(8)에서의 반송 방향 X를 향하는 면에 대하여 대향하도록 배치된다. 수용부(2)에 대하여 교차 방향 Y의 양측은, 커버(3)가 배치되어 있지 않고, 개방되어 있다.
이송탑재 기구(4)는, 물품(8)을 유지하는 유지부(41)와, 유지부(41)를 수용부(2)와 이송탑재 대상 개소(9)와의 사이에서 승강시키는 승강 기구(42)을 구비하고 있다. 본 실시형태에서는, 이송탑재 기구(4)는, 유지부(41)를 교차 방향 Y를 따라 이동시키는 슬라이딩 기구(43)와, 유지부(41)를 상하 축심(軸心; axis) 주위로 선회(旋回)시키는 선회 기구(44)를 더 포함하고 있다.
유지부(41)는, 한 쌍의 파지 클로우(gripping claw)(411)와, 한 쌍의 파지 클로우(411)를 서로 접근 이격시키는 파지용(把持用) 모터(M41)(도 6 참조)를 구비하고 있다. 그리고, 유지부(41)는, 파지용 모터(M41)의 구동에 의해 한 쌍의 파지 클로우(411)를 서로 접근 또는 이격시킴으로써, 한 쌍의 파지 클로우(411)가 물품(8)을 파지(把持)하는 파지 상태와, 상기 파지 상태를 해제하는 파지 해제 상태를 전환할 수 있도록 구성되어 있다. 본 실시형태에서는, 물품(8)은, 물품 본체부(8b)와, 물품 본체부(8b)보다 위쪽에 설치된 피유지부(8g)를 구비하고 있다. 그리고, 유지부(41)는, 물품(8)에서의 피유지부(8g)를 유지함으로써, 보다 상세하게는, 피유지부(8g)를 한 쌍의 파지 클로우(411)에 의해 파지함으로써, 물품(8)을 유지하도록 구성되어 있다.
슬라이딩 기구(43)는, 수용부(2)에 대하여 교차 방향 Y를 따라 이동하는 슬라이딩체(431)와, 슬라이딩체(431)를 교차 방향 Y를 따라 이동시키는 슬라이딩용 모터(M43)(도 6 참조)를 구비하고 있다. 슬라이딩 기구(43)는, 슬라이딩용 모터(M43)의 구동에 의해 슬라이딩체(431)를 교차 방향 Y를 따라 이동시킴으로써, 승강 기구(42) 및 유지부(41) 및 유지부(41)에 유지된 물품(8)을 교차 방향 Y를 따라 이동시키도록 구성되어 있다. 예를 들면, 이송탑재 대상 개소(9)에서의 지지대(92)가 이동 경로(R)에 대하여 교차 방향 Y로 어긋난 위치에 배치되어 있는 경우, 유지부(41)에 유지된 물품(8)을 교차 방향 Y를 따라 이동시킴으로써, 물품(8)을 지지대(92)에 대하여 상하 방향에서 볼 때 중복되는 위치에 배치할 수 있다. 이로써, 승강 기구(42)에 의한, 지지대(92)에 대한 물품(8)의 이송탑재를 적절히 행할 수 있게 된다.
선회 기구(44)는, 슬라이딩체(431)에 대하여 상하 축심 주위로 선회 가능하게 지지된 선회체(旋回體)(441)와, 선회체(441)를 상하 축심 주위로 선회시키는 선회용(旋回用) 모터(M44)(도 6 참조)를 구비하고 있다. 선회 기구(44)는, 선회용 모터(M44)의 구동에 의해 선회체(441)를 선회시킴으로써, 유지부(41) 및 유지부(41)에 유지된 물품(8)을 상하 축심 주위를 따라 선회시키도록 구성되어 있다. 유지부(41)에 유지된 물품(8)을 선회시킴으로써, 물품(8)이 이송탑재 대상 개소(9)에 대하여 적합한 방향을 향하도록 할 수 있다. 예를 들면, 물품(8)이 FOUP인 경우에는, 그 전면(前面)에, 처리 대상물을 출입시키기 위한 개구부가 형성되어 있다. 이 경우, 상기 개구부가 처리 장치(91)에 대향하도록, 선회 기구(44)에 의해 물품(8)의 방향이 변경된다. 이로써, 처리 장치(91)에 대하여 적절한 방향으로, 물품(8)을 지지대(92)에 탑재할 수 있다.
승강 기구(42)는, 선회체(441)에 지지된 풀리(pully)(421)와, 풀리(421)에 권취되어 선단부에 유지부(41)가 연결된 벨트(422)와, 풀리(421)를 회전시켜 벨트(422)를 구동시키는 승강용 모터(M42)(도 6 참조)를 구비하고 있다. 승강 기구(42)는, 승강용 모터(M42)의 구동에 의해 풀리(421)를 정회전 방향으로 회전시켜, 벨트(422)를 권취함으로써, 유지부(41) 및 유지부(41)에 유지된 물품(8)을 상승시킨다. 또한, 승강 기구(42)는, 승강용 모터(M42)의 구동에 의해 풀리(421)를 역회전 방향으로 회전시켜, 벨트(422)를 송출함으로써, 유지부(41) 및 유지부(41)에 유지된 물품(8)을 하강시킨다. 승강 기구(42)가 유지부(41)에 유지된 물품(8)을 승강시킴으로써, 수용부(2)보다 아래쪽에 배치된 지지대(92)[이송탑재 대상 개소(9)]와의 사이에서 물품(8)을 이송탑재하는 것이 가능하게 되어 있다.
도 3에 나타낸 바와 같이, 물품 반송차(V)는, 수용부(2)에 수용된 상태의 물품(8)이 수용부(2)로부터 외측으로 탈락하는 것을 규제하는 탈락 규제부(5)와, 수용부(2)에 수용된 상태의 물품(8)인 수용 물품(8)의 종류를 검출하는 물품 검출부(S)를 구비하고 있다.
여기서, 도 4에 나타낸 바와 같이, 물품(8)에는, 적어도, 제1종 물품(81)과, 제1종 물품(81)보다 평면에서 볼 때의 외형이 작은 제2종 물품(82)의 2 종류가 포함된다. 전술한 바와 같이, 물품(8)은, 물품 본체부(8b)와 피유지부(8g)를 구비하고 있다. 본 실시형태에서는, 물품 본체부(8b)의 수평 방향의 치수를 물품 폭으로 하여, 제1종 물품(81)은 제1 폭 W1을 가지고, 제2종 물품(82)은 제1 폭 W1보다 작은 제2 폭 W2를 가지고 있다. 본 명세서에 있어서 「물품폭」은, 물품(8)이 수용부(2)에 수용되어 주행 기구(1)에 의해 반송될 때의 반송 자세로 된 상태에서의, 물품 본체부(8b)의 반송 방향 X를 따르는 치수에 의해 정의된다. 즉, 물품 본체부(8b)에서의 반송 방향 X의 한쪽 측을 향하는 측면(8s)과, 반송 방향 X의 다른 쪽 측을 향하는 측면(8s)과의 사이의 거리가, 물품의 폭으로 된다. 「물품 본체부(8b)의 측면(8s)」은, 물품(8)의 측면(8s)에 상당하고, 이하에서는, 물품 본체부(8b)의 측면(8s)과 물품(8)의 측면(8s)을 같은 의미인 것으로 하여 설명한다. 그리고, 본 실시형태에서는, 제1종 물품(81)의 물품 본체부(8b)와 제2종 물품(82)의 물품 본체부(8b)와의 양쪽은, 평면에서 볼 때 직사각형, 보다 상세하게는, 정사각형상으로 형성된다. 따라서, 본 예에 있어서 물품(8)은, 서로 반송 방향 X에서의 반대측을 향하는 한 쌍의 측면(8s)과, 서로 교차 방향 Y에서의 반대측을 향하는 한 쌍의 측면(8s)을 구비하고 있다(도 8도 참조). 그리고, 반송 방향 X에서의 반대측을 향하는 한 쌍의 측면(8s)의 거리와, 교차 방향 Y에서의 반대측을 향하는 한 쌍의 측면(8s)의 거리는, 같다. 여기서, 반송 자세에서의 물품(8)의 방향은, 반송원 또는 반송처의 처리 장치(91)의 방향에 따라서 변경되는 경우가 있다. 이하에서는, 2대의 측면(8s)을 서로 구별할 필요가 있는 경우에는, 반송 자세에서의 물품(8)의 방향을 기준으로 하여, 반송 방향 X에서의 반대측을 향하는 한 쌍의 측면(8s)을 단지 측면(8s)이라고 하고, 교차 방향 Y에서의 반대측을 향하는 한 쌍의 측면(8s)을 전면(8f) 및 배면(8r)이라고 한다. 그리고, 물품 본체부(8b)의 평면에서 볼 때의 형상은, 다각형상, 원형상, 또는 타원 형상 등, 다양한 형상이라도 된다.
또한, 본 실시형태에서는, 물품 본체부(8b)의 하면(8d)으로부터 피유지부(8g)까지의 치수를 물품 높이로 하여, 제1종 물품(81)은 제1 높이 H1를 가지고, 제2종 물품(82)은 제1 높이 H1보다 작은 제2 높이 H2를 가지고 있다. 본 실시형태에서는, 피유지부(8g)는, 물품 본체부(8b)의 상면으로부터 위쪽으로 돌출하고, 또한 플랜지형으로 형성된 플랜지부로 된다. 본 명세서에 있어서 「물품 높이」는, 물품 본체부(8b)의 하면(8d)으로부터 피유지부(8g)에서의 상단(上端)까지의 상하 방향의 치수에 의해 정의된다. 그리고, 「물품 본체부(8b)의 하면(8d)」은, 물품(8)의 하면(8d)에 상당하고, 이하에서는, 물품 본체부(8b)의 하면(8d)과 물품(8)의 하면(8d)을 같은 의미인 것으로 하여 설명한다.
본 실시형태에서는, 물품 검출부(S)는, 수용 물품(8)의 측면(8s)의 위치를 검출하는 측면 위치 검출 센서(Sw)와, 수용 물품(8)의 하면(8d)의 위치를 검출하는 하면 위치 검출 센서(Sh)를 구비하고 있고, 측면 위치 검출 센서(Sw) 및 하면 위치 검출 센서(Sh)의 양쪽에 의한 검출 결과에 기초하여 물품(8)의 종류를 검출한다.
본 실시형태에서는, 측면 위치 검출 센서(Sw)는, 수용 물품(8)의 측면(8s)의 위치를 검출함으로써, 수용 물품(8)의 물품폭을 검출한다. 구체적으로는, 측면 위치 검출 센서(Sw)는, 커버(3)에 장착되어 수용부(2)에 배치되어 있다. 본 예에서는, 측면 위치 검출 센서(Sw)는, 커버(3)에서의 제1 커버부(31) 또는 제2 커버부(32)에 장착된다. 측면 위치 검출 센서(Sw)는, 거리 센서로서 구성되어 있고, 수용부(2)에 배치된 수용 물품(8)의 측면(8s)까지의 거리를 검출한다. 여기서, 유지부(41)는 수용부(2)에 배치되어 있고, 유지부(41)에 유지된 상태의 수용 물품(8)의 수평 방향의 중심 위치[도 4에 있어서 피유지부(8g)를 지나는 1점 쇄선으로 나타내는 위치]는, 유지부(41)의 위치에 대응하고 있으므로 기지(旣知)이다. 측면 위치 검출 센서(Sw)는, 상기 측면 위치 검출 센서(Sw)로부터 수용 물품(8)의 측면(8s)까지의 거리와, 상기 수용 물품(8)의 수평 방향에서의 중심 위치에 기초하여, 수용 물품(8)의 물품폭을 검출한다. 그리고, 측면 위치 검출 센서(Sw)에 의해 검출된 수용 물품(8)의 물품폭에 기초하여, 상기 수용 물품(8)이, 제1 폭 W1의 물품폭을 가지는 제1종 물품(81)인지, 제2 폭 W2의 물품폭을 가지는 제2종 물품(82)인지를 검출할 수 있도록 되어 있다. 그리고, 측면 위치 검출 센서(Sw)는, 제1종 물품(81) 및 제2종 물품(82) 이외의 수용 물품(8)의 물품폭을 검출할 수도 있다. 예를 들면, 본 예에서는, 도 5에 나타낸 바와 같이, 측면 위치 검출 센서(Sw)는, 제N종 물품의 물품폭 Wn을 검출할 수도 있다. 그리고, 측면 위치 검출 센서(Sw)를 구성하는 거리 센서로서는, 예를 들면, 레이저 센서, 광 센서, 초음파 센서 등, 공지의 센서를 사용할 수 있다.
본 실시형태에서는, 하면 위치 검출 센서(Sh)는, 수용 물품(8)의 하면 위치를 검출함으로써, 수용 물품(8)의 물품 높이를 검출한다. 구체적으로는, 하면 위치 검출 센서(Sh)는, 커버(3)에 장착되어 수용부(2)에 배치되어 있다. 본 예에서는, 하면 위치 검출 센서(Sh)는, 커버(3)에서의 제1 커버부(31) 또는 제2 커버부(32)에 장착된다. 하면 위치 검출 센서(Sh)는, 광축의 차단의 유무에 의해 검출 위치에서의 차광(遮光) 물체의 유무를 검출하는 온(on) 또는 오프(off) 센서로서 구성되어 있다. 그리고, 하면 위치 검출 센서(Sh)는, 수용부(2)에 배치된 각각의 종류의 수용 물품(8)의 하면(8d)의 상하 방향의 위치에 따른 위치를 검출 위치로 하여, 상기 검출 위치에서의 수용 물품(8)의 유무를 검출한다. 하면 위치 검출 센서(Sh)는, 상하 방향의 각각의 검출 위치에 있어서, 수용부(2)에서의 수평 방향의 전역(全域)을 횡단하도록 수평 방향을 따라 검출광을 투광한다. 유지부(41)에 의해 유지된 수용 물품(8)의 피유지부(8g)의 상하 방향의 위치는 이미 알고 있는 것이므로, 각각의 종류의 수용 물품(8)의 하면(8d)의 상하 방향의 위치도 기지이다. 따라서, 하면 위치 검출 센서(Sh)는, 각각의 종류의 수용 물품(8)의 하면(8d)의 상하 방향의 위치에 따라 설정된 복수의 검출 위치에서의, 수용 물품(8)의 유무의 검출 결과에 기초하여, 상기 수용 물품(8)이, 제1 높이 H1의 물품 높이를 구비하는 제1종 물품(81)인지, 제2 높이 H2의 물품 높이를 구비하는 제2종 물품(82)인지를 검출할 수 있도록 되어 있다.
본 실시형태에서는, 하면 위치 검출 센서(Sh)는, 물품 높이에 따른 방향(상하 방향)으로 나란히 배치된 복수의 센서를 구비하고 있다. 도시한 예에서는, 하면 위치 검출 센서(Sh)는, 제1 센서(Sh1)과, 제1 센서(Sh1)보다 아래쪽에 배치된 제2 센서(Sh2)를 구비하고 있다. 상기한 바와 같이, 물품 반송차(V)가 반송 가능한 물품(8)의 종류는, 미리 설정되어 있으므로, 제1 센서(Sh1)과 제2 센서(Sh2)는, 미리 정해진 물품(8)의 종류에 따른 물품 높이를 검출 가능한 위치에 배치된다. 보다 구체적으로는, 제1 센서(Sh1)는, 제1종 물품(81)과 제2종 물품(82)과의 어딘가에 따라서도 차광되는 위치를 검출 위치로 하도록 배치되고, 제2 센서(Sh2)는, 제1종 물품(81)에 의해 차광되지만 제2종 물품(82)에 따라서는 차광 되지 않는 위치를 검출 위치로 하도록 배치되어 있다.
하면 위치 검출 센서(Sh)는, 제1 센서(Sh1)과 제2 센서(Sh2)와의 검출 결과에 기초하여, 수용 물품(8)의 물품 높이를 검출한다. 예를 들면, 본 예에서는, 도 4 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 제1 센서(Sh1)에 의해 투광된 검출광이 차단되었을 경우(검출 결과: ON)로서, 제2 센서(Sh2)에 의해 투광된 검출광이 차단되었을 경우(검출 결과: ON)에는, 하면 위치 검출 센서(Sh)는, 수용 물품(8)의 물품 높이가 제1 높이 H1인 것을 검출한다. 또한, 제1 센서(Sh1)에 의해 투광된 검출광이 차단되었을 경우(검출 결과: ON)로서, 제2 센서(Sh2)에 의해 투광된 검출광이 차단되어 있지 않은 경우(검출 결과: OFF)에는, 하면 위치 검출 센서(Sh)는, 수용 물품(8)의 물품 높이가 제2 높이 H2인 것을 검출한다. 이로써, 하면 위치 검출 센서(Sh)는, 제1종 물품(81)의 물품 높이인 제1 높이 H1, 및 제2종 물품(82)의 물품 높이인 제2 높이 H2를 검출할 수 있도록 되어 있다. 그리고, 도 5에 나타낸 예에서는, 제1 센서(Sh1)에 의해 투광된 검출광, 및, 제2 센서(Sh2)에 의해 투광된 검출광의 양쪽이 차단되어 있지 않은 경우(검출 결과: OFF)에는, 하면 위치 검출 센서(Sh)는, 수용 물품(8)의 물품 높이가, 제1 높이 H1 및 제2 높이 H2 이외의 높이이며 제2 높이 H2보다 작은 높이인 것을 검출한다. 이 도시의 예에서는, 제1 센서(Sh1) 및 제2 센서(Sh2)의 검출 결과가 「OFF」인 경우, 수용 물품(8)이, 제1종 물품(81) 및 제2종 물품(82) 이외의 물품(8)인 제N종 물품인 것을 검출한다.
도 6∼도 8에 나타낸 바와 같이, 탈락 규제부(5)는, 수용 물품(8)의 탈락을 규제하는 규제 자세 Ar과 규제 자세 Ar보다 수용 물품(8)으로부터 이격된 이격 자세 Ad로 자세 변경하는 규제체(51)와, 규제체(51)의 자세 변경을 제어하는 규제체 제어부(52)을 구비하고 있다. 본 실시형태에서는, 탈락 규제부(5)는, 규제체(51)를 구동시키는 규제체 구동 기구(53)(도 8 참조)를 더 포함하고 있다. 그리고, 규제체 제어부(52)는, 규제체 구동 기구(53)를 제어함으로써, 규제체(51)의 자세 변경을 제어한다. 본 실시형태에서는, 탈락 규제부(5)는, 규제체(51)를 한 쌍 구비하고 있다. 규제체 제어부(52)는, 한 쌍의 규제체(51)를 서로 접근 및 이격시킴으로써 자세 변경시킨다.
도 3에 나타낸 바와 같이, 한 쌍의 규제체(51)는, 커버(3)에 설치되어 있고, 수용부(2)를 협지(sandwich)하여 서로 이격되어 배치되어 있다. 본 예에서는, 한 쌍의 규제체(51) 중 한쪽은, 커버(3)에서의 제1 커버부(31)에 장착되고, 한 쌍의 규제체(51) 중 다른 쪽은, 커버(3)에서의 제2 커버부(32)에 장착되어 있다. 본 실시형태에서는, 한 쌍의 규제체(51)는, 서로 동 구조로 되어 있다. 이하, 규제체(51)의 구조에 대하여 설명하는 경우에는, 특별히 한정하지 않는 한, 한 쌍의 규제체(51)의 각각의 구조에 대하여 설명하고 있는 것으로 한다.
도 7 및 도 8에 나타낸 바와 같이, 규제체(51)는, 규제 자세 Ar에 있어서 수용 물품(8)의 하면(8d)에 대향하는 하면 대향부(511)와, 규제 자세 Ar에 있어서 수용 물품(8)의 측면(8s)에 대향하는 측면 대향부(512)을 구비하고 있다. 본 실시형태에서는, 하면 대향부(511)는, 수평 방향을 따르는 판형으로 형성되어 있다. 측면 대향부(512)는, 하면 대향부(511)와 일체로 형성되고, 하면 대향부(511)의 상면으로부터 위쪽으로 돌출되도록 형성되어 있다. 본 예에서는, 측면 대향부(512)는, 판형으로 형성되어 있다. 측면 대향부(512)는, 규제체(51)의 규제 자세 Ar에 있어서, 그 판면(板面)이 수용 물품(8)에서의 측면(8s)을 향하도록 배치되어 있다. 본 실시형태에서는, 측면 대향부(512)는, 하면 대향부(511)에 복수 설치되어 있다. 복수의 측면 대향부(512)는, 반송 방향 X에서의 같은 위치에 있어서, 교차 방향 Y로 배열되도록 이격되어 배치되어 있다. 이로써, 물품(8)의 교차 방향 Y의 폭이 종류에 따라 상이하게 되어 있어도, 교차 방향 Y로 배열되는 복수의 측면 대향부(512) 중 하나 이상을, 수용 물품(8)의 측면(8s)에 대향시켜 배치할 수 있다.
상기한 바와 같이, 교차 방향 Y에서의 반대측을 향하는 한 쌍의 측면(8s)을 전면(8f) 및 배면(8r)이라고 한다. 도 8에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에서는, 규제체(51)는, 규제 자세 Ar에 있어서 수용 물품(8)의 전면(8f)에 대향하는 전면 대향부(513)와, 규제 자세 Ar에 있어서 수용 물품(8)의 배면(8r)에 대향하는 배면 대향부(514)를 더 포함하고 있다. 전면 대향부(513) 및 배면 대향부(514)는, 하면 대향부(511)와 일체로 형성되고, 하면 대향부(511)의 상면으로부터 위쪽으로 돌출되도록 형성되어 있다. 본 예에서는, 전면 대향부(513) 및 배면 대향부(514)는, 판형으로 형성되어 있다. 전면 대향부(513)는, 규제체(51)의 규제 자세 Ar에 있어서, 그 판면이 수용 물품(8)에서의 전면(8f)을 향하도록 배치되어 있다. 배면 대향부(514)는, 규제체(51)의 규제 자세 Ar에 있어서, 그 판면이 수용 물품(8)에서의 배면(8r)을 향하도록 배치되어 있다. 본 실시형태에서는, 한 쌍의 규제체(51) 중 한쪽에 전면 대향부(513)가 형성되고, 한 쌍의 규제체(51) 중 다른 쪽에 배면 대향부(514)가 형성되어 있다. 단, 한 쌍의 규제체(51)의 각각에, 전면 대향부(513) 및 배면 대향부(514)의 양쪽이 형성되어 있어도 된다. 그리고, 도 7에서는, 설명의 편의 상, 전면 대향부(513) 및 배면 대향부(514)를 생략하고 있다.
본 실시형태에서는, 탈락 규제부(5)는, 규제체(51)를 구동시키는 규제체 구동 기구(53)를 구비하고 있다. 규제체 구동 기구(53)는, 규제체(51)를 구동함으로써, 규제체(51)의 자세 변경을 행한다. 본 예에서는, 규제체 구동 기구(53)는, 복수의 링크를 구비한 링크 기구로서 구성되어 있다. 복수의 링크의 각각은, 상하 축심을 따른 회전축(53ax) 주위로 회전하도록 구성되어 있다. 본 실시형태에서는, 규제체 구동 기구(53)는, 서로 이격되어 배치된 한 쌍의 링크(531)를 구비하고 있다. 한 쌍의 링크(531) 각각에 회전축(53ax)에 연결된 회전축부와, 규제체(51)에 연결된 연결부가 설치되어 있다. 한 쌍의 링크(531) 중 하나 이상은, 구동 모터(M53)에 연결된 구동 링크로 되고, 상기 구동 모터(M53)에 구동되어 회전한다. 구동 링크인 링크(531)의 회전에 의해, 이에 연결된 규제체(51) 및, 규제체(51)에 연결된 다른 링크(531)에 구동력이 전달된다. 이로써, 규제체(51)가, 수평면을 따라 요동(搖動)한다. 보다 구체적으로는, 규제체(51)는, 회전축(53ax) 주위로 선회하도록, 도 8에 나타낸 화살표의 방향으로 요동한다. 이로써, 규제체(51)는, 반송 방향 X 및 교차 방향 Y의 양쪽으로 이동 가능하게 되어 있다.
이와 같이, 본 실시형태에서는, 규제체(51)는, 수평면을 따라 요동하고, 반송 방향 X 및 교차 방향 Y의 양쪽으로 이동하도록 구성되어 있다. 본 실시형태에서는, 규제체(51)는, 반송 방향 X(제1 방향) 및 교차 방향 Y(제2 방향)의 양쪽에, 물품(8)의 종류에 따라 상이한 이동량으로 이동하여, 규제 자세 Ar과 이격 자세 Ad로 자세 변경한다. 규제체(51)가, 반송 방향 X로 수용 물품(8)의 종류에 따라 상이한 이동량으로 이동함으로써, 수용 물품(8)의 종류에 관계없이, 하면 대향부(511)를 수용 물품(8)의 하면(8d)에 대하여 적절한 위치에 배치할 수 있고 또한, 측면 대향부(512)를 수용 물품(8)의 측면(8s)에 대하여 적절한 위치에 배치할 수 있다. 그리고, 규제체(51)가, 교차 방향 Y로 수용 물품(8)의 종류에 따라 상이한 이동량으로 이동함으로써, 수용 물품(8)의 종류에 관계없이, 전면 대향부(513)를 수용 물품(8)의 전면(8f)에 대하여 적절한 위치에 배치할 수 있고 또한, 배면 대향부(514)를 수용 물품(8)의 배면(8r)에 대하여 적절한 위치에 배치할 수 있다.
다음에, 물품 반송차(V)의 제어 구성에 대하여 도 6을 참조하여 설명한다.
본 실시형태에서는, 물품 반송 설비는, 설비 전체를 관리하는 상위 제어 장치(Ct)를 구비하고 있고, 물품 반송차(V)는, 상기 물품 반송차(V)의 각 부를 제어하는 하위 제어 장치(Cv)를 구비하고 있다. 상위 제어 장치(Ct)와 하위 제어 장치(Cv)는, 서로 통신 가능하게 구성되어 있다. 상위 제어 장치(Ct) 및 하위 제어 장치(Cv)는, 예를 들면, 마이크로 컴퓨터 등의 프로세서, 메모리 등의 주변 회로 등을 구비하고 있다. 그리고, 이들의 하드웨어와 컴퓨터 등의 프로세서 상에서 실행되는 프로그램과의 협동에 의해, 각 기능이 실현된다.
상위 제어 장치(Ct)는, 물품(8)의 반송 지령을 하위 제어 장치(Cv)에 송신한다. 본 실시형태에서는, 물품 반송차(V)는, 물품(8)의 반송 지령을 상위 제어 장치(Ct)로부터 취득하는 지령 취득부(6)를 구비하고 있다. 상위 제어 장치(Ct)로부터의 반송 지령을 취득한 지령 취득부(6)는, 취득한 반송 지령을 하위 제어 장치(Cv)에 송신하고, 하위 제어 장치(Cv)는, 상기 반송 지령에 따라 물품 반송차(V)를 제어하여 물품(8)을 반송한다. 지령 취득부(6)가 취득하는 반송 지령에는, 상기 반송 지령에 관한 물품(8)의 반송원을 나타내는 반송원 정보, 및, 반송처를 나타내는 반송처 정보가 포함된다. 또한, 본 실시형태에서는, 이 반송 지령에는, 상기 반송 지령에 관한 물품(8)의 종류를 나타내는 물품 종류 정보가 포함된다. 즉, 본 예에서는, 상위 제어 장치(Ct)는, 반송원과 반송처를 지정하여, 제1종 물품(81), 제2종 물품(82), 또는 그 이외의 물품(8)(예를 들면, 제N종 물품)을 반송하는 반송 지령을, 지령 취득부(6)를 통해 하위 제어 장치(Cv)에 송신한다.
반송 지령을 받은 하위 제어 장치(Cv)는, 주행 기구(1)와 이송탑재 기구(4)를 제어하여, 상기 반송 지령에 관한 물품(8)의 반송 및 이송탑재를 행한다. 본 실시형태에서는, 하위 제어 장치(Cv)는, 주행용 모터(M1), 파지용 모터(M41), 승강용 모터(M42), 슬라이딩용 모터(M43), 선회용 모터(M44)의 일부 또는 전부(全部)를 제어하여, 반송 지령에 관한 물품(8)의 반송 및 이송탑재를 행한다.
규제체 제어부(52)는, 물품 검출부(S)에 의한 물품(8)의 종류의 검출 결과를 취득하도록 구성되어 있다. 본 실시형태에서는, 규제체 제어부(52)는, 하위 제어 장치(Cv)를 통해, 물품 검출부(S)에 의한 물품(8)의 종류의 검출 결과를 취득하도록 구성되어 있다. 구체적으로는, 도 6에 나타낸 바와 같이, 하위 제어 장치(Cv)는, 물품 검출부(S)에 의한 물품(8)의 종류의 검출 결과를 취득한다. 그리고, 하위 제어 장치(Cv)는, 물품 검출부(S)로부터의 검출 결과를 규제체 제어부(52)에 송신한다. 이로써, 규제체 제어부(52)는, 물품 검출부(S)에 의한 물품(8)의 종류의 검출 결과를 취득한다.
규제체 제어부(52)는, 물품 검출부(S)에 의한 물품(8)의 종류의 검출 결과에 기초하여 규제체 구동 기구(53)[구동 모터(M53)]를 제어한다. 그리고, 규제체 제어부(52)는, 규제체 구동 기구(53)를 제어함으로써, 규제체(51)의 자세를, 제1 규제 자세 Ar1, 제2 규제 자세 Ar2, 또는 이격 자세 Ad로 변경한다(도 7 및 도 8 참조).
도 7의 상부 도면에 나타낸 바와 같이, 규제체 제어부(52)는, 물품 검출부(S)에 의해 검출된 수용 물품(8)의 종류가 제1종 물품(81)인 경우에, 하면 대향부(511)가 상하 방향에서 볼 때 제1종 물품(81)에 중복되는 위치에 배치되고, 또한 측면 대향부(512)가 상하 방향에서 볼 때 제1종 물품(81)의 측면(8s)을 따르는 위치에 배치되는 규제 자세 Ar인 제1 규제 자세 Ar1로 되도록, 규제체(51)를 자세 변경시킨다. 이로써, 하면 대향부(511) 및 측면 대향부(512)에 의해 제1종 물품(81)의 탈락을 적절히 규제할 수 있다. 본 실시형태에서는, 제1 규제 자세 Ar1에서는, 전면 대향부(513)가 상하 방향에서 볼 때 제1종 물품(81)의 전면(8f)을 따르는 위치에 배치되고, 배면 대향부(514)가 상하 방향에서 볼 때 제1종 물품(81)의 배면(8r)을 따르는 위치에 배치된다(도 8 참조). 이로써, 수용 물품(8)이 제1종 물품(81)인 경우에 있어서, 제1종 물품(81)의 각 면에 대향하도록 규제체(51)의 각 부를 배치할 수 있고, 제1종 물품(81)의 수용부(2)로부터의 탈락을 더욱 적절히 규제할 수 있다.
또한, 도 7의 하부 도면에 나타낸 바와 같이, 규제체 제어부(52)는, 물품 검출부(S)에 의해 검출된 수용 물품(8)의 종류가 제2종 물품(82)인 경우에, 하면 대향부(511)가 상하 방향에서 볼 때 제2종 물품(82)에 중복되는 위치에 배치되고, 또한 측면 대향부(512)가 상하 방향에서 볼 때 제2종 물품(82)의 측면(8s)을 따르는 위치로서 제1종 물품(81)은 중복되는 위치에 배치되는 규제 자세 Ar인 제2 규제 자세 Ar2로 되도록, 규제체(51)를 자세 변경시킨다. 이로써, 하면 대향부(511) 및 측면 대향부(512)에 의해 제2종 물품(82)의 탈락을 적절히 규제할 수 있다. 그리고, 제2 규제 자세 Ar2에서는, 측면 대향부(512)가 상하 방향에서 볼 때 제2종 물품(82)는 중복되지 않고, 제1종 물품(81)은 중복되는 위치에 배치된다. 이로써, 측면 대향부(512)가 상하 방향에서 볼 때 제1종 물품(81) 및 제2종 물품(82)의 양쪽과 중복되지 않는 위치에 배치되는 경우와 비교하여, 제2 규제 자세 Ar2에서의 측면 대향부(512)와 제2종 물품(82)의 측면(8s)과의 대향 간격을 가깝게 할 수 있다. 따라서, 측면 대향부(512)에 의해 제2종 물품(82)의 탈락을 적절히 규제할 수 있다. 본 실시형태에서는, 제2 규제 자세 Ar2에서는, 상기한 제1 규제 자세 Ar1의 경우와 마찬가지로, 전면 대향부(513)가 상하 방향에서 볼 때 제2종 물품(82)의 전면(8f)을 따르는 위치에 배치되고, 배면 대향부(514)가 상하 방향에서 볼 때 제2종 물품(82)의 배면(8r)을 따르는 위치에 배치된다(도 8 참조). 이로써, 수용 물품(8)이 제2종 물품(82)인 경우에 있어서, 제2종 물품(82)의 각 면에 대향하도록 규제체(51)의 각 부를 배치할 수 있고, 제2종 물품(82)의 수용부(2)로부터의 탈락을 더욱 적절히 규제할 수 있다.
또한, 도 1 및 도 8에 나타낸 바와 같이, 규제체 제어부(52)는, 유지부(41)가 물품(8)을 유지한 상태로 승강 기구(42)에 의해 승강하는 경우에, 유지부(41)에 유지된 물품(8)의 이동 궤적과 중복되지 않는 위치에 규제체(51)가 배치되는 이격 자세 Ad로 되도록 규제체(51)를 자세 변경시킨다. 이로써, 규제체(51)가 이격 자세 Ad의 상태에서는, 유지부(41)에 유지된 물품(8)이 제1종 물품(81)이라도 제2종 물품(82)이라도, 이들의 승강 이동 궤적과 중복되지 않는 위치에 규제체(51)가 배치되므로, 유지부(41)를 수용부(2)와 이송탑재 대상 개소(9)와의 사이에서 승강시키는 경우에, 규제체(51)가 방해가 되지 않도록 할 수 있다.
본 실시형태에서는, 도 6에 나타낸 바와 같이, 규제체 제어부(52)는, 지령 취득부(6)가 취득하는 반송 지령에 포함되는 물품 종류 정보와, 물품 검출부(S)에 의한 물품(8)의 종류의 검출 결과에 기초하여, 규제체(51)를 자세 변경시킨다. 이로써, 물품(8)의 종류에 관하여, 상이한 정보 원로부터 취득되는 2개의 정보에 기초하여 규제체(51)를 동작시킬 수 있고, 물품(8)의 종류에 따른 확실성이 높은 동작을 규제체에 행하게 할 수 있다. 그리고, 본 예에서는, 규제체 제어부(52)는, 하위 제어 장치(Cv)를 통해, 반송 지령에 포함되는 물품 종류 정보를 지령 취득부(6)로부터 취득한다.
그리고, 규제체 제어부(52)는, 물품 종류 정보에 나타낸 물품(8)의 종류와, 물품 검출부(S)에 의해 검출된 물품(8)의 종류가 일치하고 있는 경우에는, 상기 종류에 따른 규제 자세 Ar로 되도록 규제체(51)를 자세 변경시킨다. 예를 들면, 물품 종류 정보에 나타낸 물품(8)의 종류가 제1종 물품(81)이며, 물품 검출부(S)에 의해 검출된 물품(8)의 종류도 제1종 물품(81)인 경우에는, 규제체 제어부(52)는, 규제체(51)를 제1 규제 자세 Ar1로 자세 변경시킨다(도 7 상부 도면 참조). 또한, 물품 종류 정보에 나타낸 물품(8)의 종류가 제2종 물품(82)이며, 물품 검출부(S)에 의해 검출된 물품(8)의 종류도 제2종 물품(82)인 경우에는, 규제체 제어부(52)는, 규제체(51)를 제2 규제 자세 Ar2로 자세 변경시킨다(도 7 하부 도면 참조).
여기서, 규제체(51)는, 제2 규제 자세 Ar2의 상태에서는, 수용 물품(8)이 제1종 물품(81)인 경우에, 상기 제1종 물품(81)과 중복되는 위치에 배치된다. 그러므로, 수용 물품(8)의 종류가 제1종 물품(81)의 경우에 잘못하여 규제체(51)를 제2 규제 자세 Ar2로 하면, 규제체(51)가 수용 물품(8)[제1종 물품(81)]에 간섭하게 된다. 그러나, 규제체(51)의 제1 규제 자세 Ar1은, 제2종 물품(82)보다 외형의 큰 제1종 물품(81)에 대응한 자세이다. 그러므로, 규제체(51)가 제1 규제 자세 Ar1의 상태에서는, 수용 물품(8)이 제1종 물품(81) 및 제2종 물품(82) 중 어느 쪽의 경우라도, 규제체(51)는 상기 수용 물품(8)에 간섭하지 않는다.
그래서 본 실시형태에서는, 규제체 제어부(52)는, 물품 종류 정보에 나타낸 물품(8)의 종류와, 물품 검출부(S)에 의해 검출된 물품(8)의 종류가 일치하고 있지 않은 경우에는, 제1 규제 자세 Ar1로 되도록 규제체(51)를 자세 변경시킨다. 즉, 본 실시형태에서는, 물품 종류 정보에 나타낸 물품(8)의 종류가 제1종 물품(81)인 것에도 불구하고, 물품 검출부(S)에 의해 검출된 물품(8)의 종류가 제2종 물품(82)인 경우, 및, 물품 종류 정보에 나타낸 물품(8)의 종류가 제2종 물품(82)인 것에도 불구하고, 물품 검출부(S)에 의해 검출된 물품(8)의 종류가 제1종 물품(81)인 경우에는, 규제체 제어부(52)는, 규제체(51)를 제1 규제 자세 Ar1로 자세 변경시킨다(도 7 상부 도면 참조). 이로써, 실제의 수용 물품(8)이 제1종 물품(81) 및 제2종 물품(82) 중 어느 쪽이라도, 상기 수용 물품(8)에 규제체(51)가 간섭하는 것을 확실하게 방지할 수 있다.
본 실시형태에서는, 도 7에 나타낸 바와 같이, 규제체 제어부(52)는, 제1 규제 자세 Ar1 및 제2 규제 자세 Ar2 중 어느 쪽의 상태라도, 수용 물품(8)의 피유지부(8g)로부터 하면 대향부(511)의 상면까지의 상하 방향의 거리[이하, 하단(下端) 거리 Dd라고 함]가 제1 높이 H1보다 크고, 수용 물품(8)의 피유지부(8g)로부터 측면 대향부(512)의 상단까지의 거리(이하, 상단 거리 Du라고 함)가 제2 높이 H2보다 작아지도록, 규제체(51)를 배치한다. 즉, 규제체(51)가 제1 규제 자세 Ar1 및 제2 규제 자세 Ar2 중 어느 쪽의 상태라도, 하단 거리 Dd는 제1 높이 H1보다 크고, 상단 거리 Du는 제2 높이 H2보다 작다. 환언하면, 규제체(51)가 제1 규제 자세 Ar1 및 제2 규제 자세 Ar2 중 어느 쪽의 상태라도, 하면 대향부(511)의 상면은 수용 물품(8)(제1종 물품(81) 및 제2종 물품(82)의 하면(8d)보다 아래쪽에 배치되고, 측면 대향부(512)의 상단은 수용 물품(8)[제1종 물품(81) 및 제2종 물품(82)]의 하면(8d)보다 위쪽에 배치된다.
전술한 바와 같이, 본 예에서는, 규제체(51)는, 수평면을 따라 이동하도록 구성되어 있고, 상하 방향으로는 이동하지 않는다. 따라서, 하면 대향부(511)의 상면의 위치는, 물품 반송차(V)에 의해 반송되는 복수 종류의 물품(8) 중, 물품 높이가 최대가 되는 물품(8)[본 예에서는 제1종 물품(81)]에 맞추어, 규제 자세 Ar에 있어서 상기 물품(8)의 하면(8d)보다 아래쪽에 배치되도록 설정된다. 그리고, 측면 대향부(512)의 상단의 위치는, 물품 반송차(V)에 의해 반송되는 복수 종류의 물품(8) 중, 물품 높이가 최소로 되는 물품(8)[본 예에서는 제2종 물품(82)]에 맞추어, 규제 자세 Ar에 있어서 상기 물품(8)의 하면(8d)보다 위쪽에 배치되도록 설정된다. 상기한 구성에 의하면, 서로 물품 높이가 상이한 제1종 물품(81)과 제2종 물품(82)과의 각각에 맞추어 규제체(51)의 상하 방향의 위치를 변경할 필요가 없기 때문에, 규제체 제어부(52)의 구성을 간략화할 수 있다. 그리고, 규제체(51)의 상하 방향의 위치를 변경시키지 않고, 규제체(51)가 제1 규제 자세 Ar1 및 제2 규제 자세 Ar2 중 어느 쪽의 상태라도, 하면 대향부(511)와 측면 대향부(512)를 제1종 물품(81) 또는 제2종 물품(82)의 탈락을 규제하기 위한 적절한 위치에 배치할 수 있다.
[그 외의 실시형태]
다음에, 물품 반송차의 그 외의 실시형태에 대하여 설명한다.
(1) 상기한 실시형태에서는, 물품(8)에는, 적어도, 제1종 물품(81)과 제2종 물품(82)과의 2 종류가 포함되는 예에 대하여 설명하였다. 따라서, 물품(8)의 종류는, 3종류 이상이라도 된다. 예를 들면, 도 9에 나타낸 바와 같이, 측면 위치 검출 센서(Sw)에 의한 검출 결과와 하면 위치 검출 센서(Sh)에 의한 검출 결과와의 조합에 따라 검출 가능한, 물품폭이나 물품 높이가 상이한 3 종류 이상의 물품(8)이 포함되어 있어도 된다. 도 9에서의 세로의 열에는, 예를 들면, 서로 물품폭이 같고, 물품 높이가 각각 상이한 제10종 물품, 제11종 물품, 제12종 물품 … 이 나타나 있다. 도 9에서의 가로의 열에는, 예를 들면, 서로 물품 높이가 같고, 물품폭이 각각 상이한 제10종 물품, 제20종 물품… 이 나타나 있다.
(2) 상기한 실시형태에서는, 규제체(51)가, 수평면을 따라 요동하고, 반송 방향 X(제1 방향) 및 교차 방향 Y(제2 방향)의 양쪽으로 이동하도록 구성되어 있는 예에 대하여 설명하였다. 그러나, 이와 같은 예에 한정되지 않고, 규제체(51)는, 반송 방향 X로만 이동하도록 구성되어 있어도 된다. 또는, 규제체(51)는, 예를 들면, 도 10에 나타낸 바와 같이, 반송 방향 X나 교차 방향 Y에 더하여, 상하 방향으로도 이동하도록 구성되어 있어도 된다. 규제체(51)가 이동 가능한 방향은, 규제체(51)를 구동시키는 규제체 구동 기구(53)의 구조에 의해 정해진다.
(3) 상기한 실시형태에서는, 물품 검출부(S)가, 수용 물품(8)의 측면(8s)의 위치를 검출하는 측면 위치 검출 센서(Sw)와, 수용 물품(8)의 하면(8d)의 위치를 검출하는 하면 위치 검출 센서(Sh)에 의해, 물품(8)의 종류를 검출하는 예에 대하여 설명하였다. 그러나, 이와 같은 예에 한정되지 않고, 예를 들면, 물품 검출부(S)는, 수용 물품(8)의 중량을 검출하는 중량 검출 센서를 구비하고, 중량 검출 센서에 의해 검출된 수용 물품(8)의 중량에 기초하여 물품(8)의 종류를 검출해도 된다. 이 경우, 물품 반송차(V)는, 반송 대상으로 될 수 있는 복수 종류의 물품(8) 각각의 중량을 중량 정보로서 기억한 기억부를 구비하고, 기억부에 기억된 중량 정보와 중량 검출 센서에 의해 검출된 수용 물품(8)의 중량에 기초하여, 상기 수용 물품(8)의 종류를 특정하면 된다.
(4) 상기한 실시형태에서는, 측면 위치 검출 센서(Sw)가, 거리 센서로서 구성되어 있는 예에 대하여 설명하였다. 그러나, 이와 같은 예에 한정되지 않고, 측면 위치 검출 센서(Sw)는, 광축의 차단의 유무에 의해 검출 위치에서의 차광 물체의 유무를 검출하는 온 또는 오프 센서로서 구성되어 있어도 된다. 또한, 상기한 실시형태에서는, 측면 위치 검출 센서(Sw)가, 커버(3)에서의 제1 커버부(31) 또는 제2 커버부(32)에 장착되는 예에 대하여 설명하였으나, 상기한 바와 같이 측면 위치 검출 센서(Sw)가 복수의 온 또는 오프 센서를 구비하여 구성되어 있는 경우에는, 예를 들면, 측면 위치 검출 센서(Sw)는 커버(3)에서의 상측 커버부(30)에 장착되어 있는 것으로 된다. 이 경우, 복수의 온 또는 오프 센서는, 수용 물품(8)의 물품폭(반송 방향 X)에 따른 방향으로 나란히 배치되고, 수용 물품(8)의 측면(8s)의 위치를 검출하도록 구성되어 있으면 된다.
(5) 상기한 실시형태에서는, 하면 위치 검출 센서(Sh)는, 광축의 차단의 유무에 의해 검출 위치에서의 차광 물체의 유무를 검출하는 온 또는 오프 센서로서 구성되어 있는 예에 대하여 설명하였다. 그러나, 이와 같은 예에 한정되지 않고, 하면 위치 검출 센서(Sh)는, 거리 센서로서 구성되어 있어도 된다. 이 경우, 하면 위치 검출 센서(Sh)는, 수용 물품(8)의 하면(8d)에 대하여 교차하는 방향에 검출광을 투광(投光)하도록 구성되는 것이 바람직하다. 그리고, 하면 위치 검출 센서(Sh)는, 상기 하면 위치 검출 센서(Sh)로부터 수용 물품(8)의 하면(8d)까지의 거리를 검출하고, 이 거리와, 유지부(41)의 위치에 따라 기지인 피유지부(8g)의 상하 방향의 위치에 기초하여, 수용 물품(8)의 물품 높이를 검출한다.
(6) 상기한 실시형태에서는, 측면 대향부(512)가, 하면 대향부(511)와 일체로 형성되어 있는 예에 대하여 설명하였다. 그러나, 이와 같은 예에 한정되지 않고, 측면 대향부(512)와 하면 대향부(511)는, 별개로 형성되어 있어도 된다. 이 경우, 측면 대향부(512)와 하면 대향부(511)는, 각각 다른 구동 기구에 의해 구동되어도 된다.
(7) 상기한 실시형태에서는, 측면 대향부(512)가 판형으로 형성되어 있는 예에 대하여 설명하였다. 그러나, 이와 같은 예에 한정되지 않고, 측면 대향부(512)는, 다각(多角) 기둥형이나 원기둥형으로 형성되어 있어도 되고, 또는, 블록형으로 형성되어 있어도 된다.
(8) 상기한 실시형태에서는, 규제체 구동 기구(53)가. 복수의 링크를 구비한 링크 기구로서 구성되어 있는 예에 대하여 설명하였다. 그러나, 이와 같은 예에 한정되지 않고, 규제체 구동 기구(53)는, 링크 기구 이외의 공지의 기구로 구성되어 있어도 된다. 예를 들면, 규제체 구동 기구(53)는, 볼나사 등을 구비한 직동(直動) 기구로서 구성되어 있어도 된다.
(9) 상기한 실시형태에서는, 탈락 규제부(5)가, 규제체(51)를 한 쌍 구비하고 있는 예에 대하여 설명하였다. 그러나, 이와 같은 예에 한정되지 않고, 탈락 규제부(5)는, 규제체(51)를 1개만 구비하거나, 또는, 3개 이상 구비하고 있어도 된다.
(10) 상기한 실시형태에서는, 규제체(51)가 제1 규제 자세 Ar1 및 제2 규제 자세 Ar2 중 어느 쪽의 상태라도, 수용 물품(8)의 피유지부(8g)로부터 하면 대향부(511)의 상면까지의 상하 방향의 거리(하단 거리 Dd)가 제1 높이 H1보다 크고, 수용 물품(8)의 피유지부(8g)로부터 측면 대향부(512)의 상단까지의 거리(상단 거리 Du)가 제2 높이 H2보다 작은 예에 대하여 설명하였다. 그러나, 이와 같은 예에 한정되지 않고, 규제체(51)를 상하 방향으로 이동 가능하게 구성하고, 하단 거리 Dd와 상단 거리 Du를, 물품(8)의 종류에 따라 변경해도 된다. 즉, 수용 물품(8)이 제1종 물품(81)인 경우에 있어서, 규제체(51)가, 제1종 물품(81)에 따른 제1 규제 자세 Ar1의 상태에서는, 상단 거리 Du는, 제1 높이 H1보다 작으면, 제2 높이 H2보다 커도 된다. 또한, 수용 물품(8)이 제2종 물품(82)인 경우에 있어서, 규제체(51)가, 제2종 물품(82)에 따른 제2 규제 자세 Ar2의 상태에서는, 하단 거리 Dd는, 제2 높이 H2보다 크면, 제1 높이 H1보다 작아도 된다.
(11) 상기한 실시형태에서는, 규제체 제어부(52)는, 물품 종류 정보에 나타낸 물품(8)의 종류와, 물품 검출부(S)에 의해 검출된 물품(8)의 종류가 일치하고 있지 않은 경우에는, 제1 규제 자세 Ar1로 되도록 규제체(51)를 자세 변경시키는 예에 대하여 설명하였다. 그러나, 이와 같은 예에 한정되지 않고, 예를 들면, 규제체 제어부(52)는, 물품 종류 정보에 나타낸 물품(8)의 종류와, 물품 검출부(S)에 의해 검출된 물품(8)의 종류가 일치하고 있지 않은 경우에는, 규제체(51)의 동작을 정지시켜 에러를 통지해도 된다.
(12) 상기한 실시형태에서는, 규제체 제어부(52)는, 지령 취득부(6)가 취득하는 반송 지령에 포함되는 물품 종류 정보와, 물품 검출부(S)에 의한 물품(8)의 종류의 검출 결과에 기초하여, 규제체(51)를 자세 변경시키는 예에 대하여 설명하였다. 그러나, 이와 같은 예에 한정되지 않고, 규제체 제어부(52)는, 지령 취득부(6)가 취득하는 반송 지령에 포함되는 물품 종류 정보는 고려하지 않고, 물품 검출부(S)에 의한 물품(8)의 종류의 검출 결과에만 기초하여, 규제체(51)를 자세 변경시켜도 된다. 또는, 규제체 제어부(52)는, 물품 검출부(S)에 의한 물품(8)의 종류의 검출 결과는 고려하지 않고, 지령 취득부(6)가 취득하는 반송 지령에 포함되는 물품 종류 정보만에 기초하여, 규제체(51)를 자세 변경시켜도 된다.
(13) 그리고, 전술한 실시형태에서 개시된 구성은, 모순이 생기지 않는 한, 다른 실시형태에서 개시된 구성과 조합시켜 적용할 수도 있다. 그 외의 구성에 관해서도, 본 명세서에 있어서 개시된 실시형태는 모든 점에서 단순한 예시에 지나지 않는다. 따라서, 본 발명의 취지를 벗어나지 않는 범위 내에서, 적절히, 각종 개변(改變; modification)을 행할 수 있다.
[상기 실시형태의 개요]
이하, 상기에 있어서 설명한 물품 반송차에 대하여 설명한다.
이동 경로를 따라 이동하여 복수 종류의 물품을 반송하는 물품 반송차로서,
상기 물품을 수용하는 수용부와, 상기 수용부와 상기 수용부보다 아래쪽에 위치하는 이송탑재 대상 개소와의 사이에서 상기 물품의 이송탑재를 행하는 이송탑재 기구와, 상기 수용부에 수용된 상태의 상기 물품이 상기 수용부로부터 외측으로 탈락하는 것을 규제하는 탈락 규제부와, 상기 수용부에 수용된 상태의 상기 물품인 수용 물품의 종류를 검출하는 물품 검출부를 구비하고,
상기 이송탑재 기구는, 상기 물품을 유지하는 유지부와, 상기 유지부를 상기 수용부와 상기 이송탑재 대상 개소와의 사이에서 승강시키는 승강 기구를 구비하고,
상기 물품에는, 적어도, 제1종 물품과, 상기 제1종 물품보다 평면에서 볼 때의 외형이 작은 제2종 물품의 2 종류가 포함되고,
상기 탈락 규제부는, 상기 수용 물품의 탈락을 규제하는 규제 자세와 상기 규제 자세보다 상기 수용 물품으로부터 이격된 이격 자세로 자세 변경하는 규제체와, 상기 규제체의 자세 변경을 제어하는 규제체 제어부를 구비하고,
상기 규제체는, 상기 규제 자세에 있어서 상기 수용 물품의 하면에 대향하는 하면 대향부와, 상기 규제 자세에 있어서 상기 수용 물품의 측면에 대향하는 측면 대향부를 구비하고,
상기 규제체 제어부는,
상기 물품 검출부에 의해 검출된 상기 수용 물품의 종류가 상기 제1종 물품인 경우에, 상기 하면 대향부가 상하 방향을 따르는 상하 방향에서 볼 때 상기 제1종 물품에 중복되는 위치에 배치되고, 또한 상기 측면 대향부가 상기 상하 방향에서 볼 때 상기 제1종 물품의 측면을 따르는 위치에 배치되는 상기 규제 자세인 제1 규제 자세로 되도록, 상기 규제체를 자세 변경시키고,
상기 물품 검출부에 의해 검출된 상기 수용 물품의 종류가 상기 제2종 물품인 경우에, 상기 하면 대향부가 상기 상하 방향에서 볼 때 상기 제2종 물품에 중복되는 위치에 배치되고, 또한 상기 측면 대향부가 상기 상하 방향에서 볼 때 상기 제2종 물품의 측면을 따르는 위치로서 상기 제1종 물품과는 중복되는 위치에 배치되는 상기 규제 자세인 제2 규제 자세로 되도록, 상기 규제체를 자세 변경시키고, 상기 유지부가 상기 물품을 유지한 상태로 상기 승강 기구에 의해 승강하는 경우에, 상기 유지부에 유지된 상기 물품의 이동 궤적과 중복되지 않는 위치에 상기 규제체가 배치되는 상기 이격 자세로 되도록 상기 규제체를 자세 변경시킨다.
본 구성에 의하면, 규제체 제어부에 의해, 규제체를 제1 규제 자세와 제2 규제 자세와 이격 자세로 자세 변경할 수 있다. 규제체가 제1 규제 자세의 상태에 있어서는, 하면 대향부가 상하 방향에서 볼 때 제1종 물품에 중복되는 위치에 배치되고 또한, 측면 대향부가 상하 방향에서 볼 때 제1종 물품의 측면을 따르는 위치에 배치되므로, 하면 대향부 및 측면 대향부에 의해 제1종 물품의 탈락을 적절히 규제할 수 있다. 또한, 규제체가 제2 규제 자세의 상태에 있어서는, 하면 대향부가 상하 방향에서 볼 때 제2종 물품에 중복되는 위치에 배치되고 또한, 측면 대향부가 상하 방향에서 볼 때 제2종 물품의 측면을 따르는 위치로서 제1종 물품과는 중복되는 위치에 배치되므로, 하면 대향부 및 측면 대향부에 의해 제2종 물품의 탈락을 적절히 규제할 수 있다. 여기서, 제2 규제 자세에서는, 측면 대향부가, 제1종 물품과 중복될수록 제2종 물품의 측면에 가까운 위치에 배치되므로, 제1종 물품보다 평면에서 볼 때의 외형이 작은 제2종 물품의 탈락을 더욱 적절히 규제할 수 있다. 따라서, 본 구성에 의하면, 물품의 종류에 관계없이, 반송 중에서의 물품의 탈락을 적절히 규제할 수 있다. 또한, 규제체가 이격 자세의 상태에서는, 유지부에 유지된 물품이 제1종 물품이라도 제2종 물품이라도, 이들의 승강 이동 궤적과 중복되지 않는 위치에 규제체가 배치되므로, 유지부를 수용부와 이송탑재 대상 개소와의 사이에서 승강시키는 경우에, 규제체가 방해가 되지 않도록 할 수 있다.
여기서,
상기 탈락 규제부는, 상기 규제체를 한 쌍 구비하고,
상기 규제체 제어부는, 한 쌍의 상기 규제체를 서로 접근 및 이격시킴으로써 자세를 변경시키는 것이 바람직하다.
본 구성에 의하면, 규제 자세로 한 경우에, 한 쌍의 규제체에 의해 수용 물품을 양측으로부터 협지한 상태로 할 수 있다. 따라서, 물품의 탈락을 더욱 적절히 규제할 수 있다. 또한, 한 쌍의 규제체 각각의 이동 범위를 작게 할 수 있고, 한 쌍의 규제체의 자세 변경에 필요로 하는 시간의 단축을 도모할 수 있다.
또한,
상기 물품은, 물품 본체부와, 상기 물품 본체부보다 위쪽에 설치되고, 상기 유지부에 의해 유지되는 피유지부를 구비하고,
상기 물품 본체부의 하면으로부터 상기 피유지부까지의 치수를 물품 높이로 하여, 상기 제1종 물품은 제1 높이를 가지고, 상기 제2종 물품은 상기 제1 높이보다 작은 제2 높이를 가지고,
상기 규제체 제어부는, 상기 제1 규제 자세 및 상기 제2 규제 자세 중 어느 쪽의 상태라도, 상기 피유지부로부터 상기 하면 대향부의 상면까지의 상기 상하 방향의 거리가 상기 제1 높이보다 크고, 상기 피유지부로부터 상기 측면 대향부의 상단까지의 거리가 상기 제2 높이보다 작아지도록, 상기 규제체를 배치하는 것이 바람직하다.
본 구성에 의하면, 서로 물품 높이가 상이한 제1종 물품과 제2종 물품과의 각각에 맞추어 규제체의 상하 방향의 위치를 변경할 필요가 없기 때문에, 규제체 제어부의 구성을 간략화할 수 있다. 그리고, 규제체의 상하 방향의 위치를 변경시키지 않고, 규제체가 제1 규제 자세 및 제2 규제 자세 중 어느 쪽의 상태라도, 하면 대향부와 측면 대향부를 제1종 물품 또는 제2종 물품의 탈락을 규제하기 위한 적절한 위치에 배치할 수 있다.
또한,
상기 물품 검출부는, 상기 수용 물품의 측면의 위치를 검출하는 측면 위치 검출 센서와, 상기 수용 물품의 하면의 위치를 검출하는 하면 위치 검출 센서를 구비하고 있고, 상기 측면 위치 검출 센서 및 상기 하면 위치 검출 센서의 양쪽에 의한 검출 결과에 기초하여 상기 물품의 종류를 검출하는 것이 바람직하다.
본 구성에 의하면, 측면 위치 검출 센서에 의해 수용 물품의 측면의 위치를 검출함으로써, 수용 물품의 평면에서 볼 때의 외형 치수를 간접적으로 검출할 수 있다. 그리고, 하면 위치 검출 센서에 의해 수용 물품의 하면의 위치를 검출함으로써, 수용 물품의 높이 치수를 간접적으로 검출할 수 있다. 따라서, 본 구성에 의하면, 수용 물품의 크기 또는 형상을 특정할 수 있고, 그에 따라, 크기나 형상이 상이한 물품의 종류를 특정할 수 있다.
또한,
상기 물품의 반송 지령을 상위 제어 장치로부터 취득하는 지령 취득부를 구비하고,
상기 지령 취득부가 취득하는 상기 반송 지령에는, 상기 반송 지령에 관한 상기 물품의 종류를 나타내는 물품 종류 정보가 포함되고,
상기 규제체 제어부는, 상기 물품 종류 정보에 나타낸 상기 물품의 종류와, 상기 물품 검출부에 의해 검출된 상기 물품의 종류가 일치하고 있는 경우에는, 상기 종류에 따른 상기 규제 자세로 되도록 상기 규제체를 자세 변경시키고, 일치하고 있지 않은 경우에는 상기 제1 규제 자세로 되도록 상기 규제체를 자세 변경시키는 것이 바람직하다.
본 구성에 의하면, 물품의 종류에 관하여, 상이한 정보 원로부터 취득되는 2개의 정보에 기초하여 규제체를 동작시키기 위해, 물품의 종류에 따른 확실성이 높은 동작을 규제체에 행하게 할 수 있다. 여기서, 규제체는, 제2 규제 자세의 상태에서는 제1종 물품과 중복되는 위치에 배치되므로, 수용 물품의 종류가 제1종 물품의 경우에 잘못하여 규제체를 제2 규제 자세로 하면, 규제체가 물품에 간섭하게 된다. 그러나, 본 구성에 의하면, 상위 제어 장치로부터 취득하는 물품 종류 정보에 나타낸 물품의 종류와, 물품 검출부에 의해 검출된 물품의 종류가 일치하고 있지 않은 경우에는, 제1 규제 자세로 되도록 규제체를 자세 변경시킨다. 그러므로, 물품의 종류를 나타내는 2개의 정보가 일치하고 있지 않은 경우에는, 수용부에 수용되어 있는 물품이 제1종 물품 및 제2종 물품 중 어느 쪽이라도, 상기 물품에 규제체가 간섭하지 않도록 할 수 있다.
본 개시에 관한 기술은, 이동 경로를 따라 이동하여 복수 종류의 물품을 반송하는 물품 반송차에 이용할 수 있다.
V: 물품 반송차
2: 수용부
4: 이송탑재 기구
41: 유지부
42: 승강 기구
5: 탈락 규제부
51: 규제체
511: 하면 대향부
512: 측면 대향부
52: 규제체 제어부
6: 지령 취득부
S: 물품 검출부
Sh: 하면 위치 검출 센서
Sw: 측면 위치 검출 센서
8: 물품
8: 수용 물품
81: 제1종 물품
82: 제2종 물품
8b: 물품 본체부
8d: 하면
8g: 피유지부
8s: 측면
9: 이송탑재 대상 개소
Ad: 이격 자세
Ar: 규제 자세
Ar1: 제1 규제 자세
Ar2: 제2 규제 자세
Ct: 상위 제어 장치
Dd: 하단 거리
Du: 상단 거리
R: 이동 경로

Claims (5)

  1. 이동 경로를 따라 이동하여 복수 종류의 물품을 반송(搬送)하는 물품 반송차(article transport vehicle)로서,
    상기 물품을 수용하는 수용부;
    상기 수용부와 상기 수용부보다 아래쪽에 위치하는 이송탑재(移載; transfer) 대상 개소(箇所) 사이에서 상기 물품의 이송탑재를 행하는 이송탑재 기구;
    상기 수용부에 수용된 상태의 상기 물품이 상기 수용부로부터 외측으로 탈락하는 것을 규제하는 탈락 규제부; 및
    상기 수용부에 수용된 상태의 상기 물품인 수용 물품의 종류를 검출하는 물품 검출부;
    를 포함하고,
    상기 이송탑재 기구는, 상기 물품을 유지하는 유지부(holding portion)와, 상기 유지부를 상기 수용부와 상기 이송탑재 대상 개소 사이에서 승강시키는 승강 기구를 구비하고,
    상기 물품에는, 적어도, 제1종 물품과, 상기 제1종 물품보다 평면에서 볼 때의 외형이 작은 제2종 물품의 2 종류가 포함되고,
    상기 탈락 규제부는, 상기 수용 물품의 탈락을 규제하는 규제 자세와 상기 규제 자세보다 상기 수용 물품으로부터 이격된 이격 자세로 자세 변경하는 규제체와, 상기 규제체의 자세 변경을 제어하는 규제체 제어부를 구비하고,
    상기 규제체는, 상기 규제 자세에 있어서 상기 수용 물품의 하면에 대향하는 하면 대향부와, 상기 규제 자세에 있어서 상기 수용 물품의 측면에 대향하는 측면 대향부를 구비하고,
    상기 규제체 제어부는,
    상기 물품 검출부에 의해 검출된 상기 수용 물품의 종류가 상기 제1종 물품인 경우에, 상기 하면 대향부가 상하 방향을 따르는 상하 방향에서 볼 때 상기 제1종 물품에 중복되는 위치에 배치되고 또한, 상기 측면 대향부가 상기 상하 방향에서 볼 때 상기 제1종 물품의 측면을 따르는 위치에 배치되는 상기 규제 자세인 제1 규제 자세로 되도록, 상기 규제체를 자세 변경시키고,
    상기 물품 검출부에 의해 검출된 상기 수용 물품의 종류가 상기 제2종 물품인 경우에, 상기 하면 대향부가 상기 상하 방향에서 볼 때 상기 제2종 물품에 중복되는 위치에 배치되고 또한, 상기 측면 대향부가 상기 상하 방향에서 볼 때 상기 제2종 물품의 측면을 따르는 위치로서 상기 제1종 물품과는 중복되는 위치에 배치되는 상기 규제 자세인 제2 규제 자세로 되도록, 상기 규제체를 자세 변경시키고,
    상기 유지부가 상기 물품을 유지한 상태로 상기 승강 기구에 의해 승강하는 경우에, 상기 유지부에 유지된 상기 물품의 이동 궤적과 중복되지 않는 위치에 상기 규제체가 배치되는 상기 이격 자세로 되도록 상기 규제체를 자세 변경시키는,
    물품 반송차.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 탈락 규제부는, 상기 규제체를 한 쌍 구비하고,
    상기 규제체 제어부는, 한 쌍의 상기 규제체를 서로 접근 및 이격시킴으로써 자세를 변경시키는, 물품 반송차.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 물품은, 물품 본체부와, 상기 물품 본체부보다 위쪽에 설치되고, 상기 유지부에 의해 유지되는 피유지부를 구비하고,
    상기 물품 본체부의 하면으로부터 상기 피유지부까지의 치수를 물품 높이로 하여, 상기 제1종 물품은 제1 높이를 가지고, 상기 제2종 물품은 상기 제1 높이보다 작은 제2 높이를 가지고,
    상기 규제체 제어부는, 상기 제1 규제 자세 및 상기 제2 규제 자세 중 어느 쪽의 상태라도, 상기 피유지부로부터 상기 하면 대향부의 상면까지의 상기 상하 방향의 거리가 상기 제1 높이보다 크고, 상기 피유지부로부터 상기 측면 대향부의 상단(上端)까지의 거리가 상기 제2 높이보다 작아지도록, 상기 규제체를 배치하는, 물품 반송차.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 물품 검출부는, 상기 수용 물품의 측면의 위치를 검출하는 측면 위치 검출 센서와, 상기 수용 물품의 하면의 위치를 검출하는 하면 위치 검출 센서를 구비하고 있고, 상기 측면 위치 검출 센서 및 상기 하면 위치 검출 센서의 양쪽에 의한 검출 결과에 기초하여 상기 물품의 종류를 검출하는, 물품 반송차.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 물품의 반송 지령을 상위 제어 장치로부터 취득하는 지령 취득부를 더 포함하고,
    상기 지령 취득부가 취득하는 상기 반송 지령에는, 상기 반송 지령에 관한 상기 물품의 종류를 나타내는 물품 종류 정보가 포함되고,
    상기 규제체 제어부는, 상기 물품 종류 정보에 나타낸 상기 물품의 종류와, 상기 물품 검출부에 의해 검출된 상기 물품의 종류가 일치하고 있는 경우에는, 상기 종류에 따른 상기 규제 자세로 되도록 상기 규제체를 자세 변경시키고, 일치하고 있지 않은 경우에는 상기 제1 규제 자세로 되도록 상기 규제체를 자세 변경시키는, 물품 반송차.
KR1020210046315A 2020-06-29 2021-04-09 물품 반송차 KR20220001440A (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2020-112082 2020-06-29
JP2020112082A JP7318596B2 (ja) 2020-06-29 2020-06-29 物品搬送車

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20220001440A true KR20220001440A (ko) 2022-01-05

Family

ID=79274260

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020210046315A KR20220001440A (ko) 2020-06-29 2021-04-09 물품 반송차

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP7318596B2 (ko)
KR (1) KR20220001440A (ko)
CN (1) CN113928808A (ko)
TW (1) TW202200468A (ko)

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4048409B2 (ja) * 2001-10-22 2008-02-20 株式会社ダイフク 搬送設備
JP5277828B2 (ja) * 2008-09-22 2013-08-28 東京エレクトロン株式会社 ウエハ位置合わせ装置
JP5700255B2 (ja) * 2012-03-27 2015-04-15 株式会社ダイフク 物品保管設備及び物品搬送設備
JP6171984B2 (ja) * 2014-03-07 2017-08-02 株式会社ダイフク 物品支持装置
JP6287657B2 (ja) * 2014-07-16 2018-03-07 株式会社ダイフク 物品搬送設備

Also Published As

Publication number Publication date
CN113928808A (zh) 2022-01-14
TW202200468A (zh) 2022-01-01
JP2022011144A (ja) 2022-01-17
JP7318596B2 (ja) 2023-08-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20110245964A1 (en) Self Aligning Automated Material Handling System
US11476141B2 (en) Rail-guided trolley system, and rail-guided trolley
US7243003B2 (en) Substrate carrier handler that unloads substrate carriers directly from a moving conveyor
US11276596B2 (en) Conveyance system
KR102279602B1 (ko) 물품 반송 설비
JP6896027B2 (ja) 半導体部品処理システム
US20070235287A1 (en) System for transporting substrate carriers
EP3159922B1 (en) Carrier transport system and transport method
KR20140069354A (ko) 용량이 축소된 캐리어, 이송, 로드 포트, 버퍼 시스템
JP2003506289A (ja) 一貫搬送キャリヤ及びディレクターを有する搬送装置
US7806648B2 (en) Transportation system and transportation method
JP6743967B2 (ja) 天井搬送車システム及びティーチングユニット
KR20210064364A (ko) 천장 주행차, 천장 주행차 시스템, 및 장애물의 검출 방법
US20220384229A1 (en) Transport system and grid system
KR20220001440A (ko) 물품 반송차
WO2021220582A1 (ja) 天井搬送車及び天井搬送システム
US11834283B2 (en) Loading system
KR20220008331A (ko) 반송차
JP7238859B2 (ja) 物品搬送車
WO2023218818A1 (ja) 天井搬送車
KR102451691B1 (ko) 주행차 시스템
WO2024070303A1 (ja) 天井搬送車
US20230170238A1 (en) Overhead conveyance system
WO2024034175A1 (ja) 天井搬送車
WO2022149305A1 (ja) 天井保管システム

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination