WO2023218757A1 - 天井搬送車 - Google Patents

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WO2023218757A1
WO2023218757A1 PCT/JP2023/010434 JP2023010434W WO2023218757A1 WO 2023218757 A1 WO2023218757 A1 WO 2023218757A1 JP 2023010434 W JP2023010434 W JP 2023010434W WO 2023218757 A1 WO2023218757 A1 WO 2023218757A1
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WO
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guide block
slide
magnetic member
unit
lateral direction
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PCT/JP2023/010434
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English (en)
French (fr)
Inventor
誠 小林
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Murata Machinery Ltd
Original Assignee
Murata Machinery Ltd
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Publication date
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations

Definitions

  • One aspect of the present invention relates to an overhead transport vehicle.
  • Patent Document 1 describes an overhead transport vehicle that includes an elevator drive section (unit) that raises and lowers an elevator platform, and a lateral movement section (slide mechanism) that moves the elevator drive section laterally. There is.
  • the slide portion when the unit is slid by the slide mechanism, the slide portion may be moved relative to the transport vehicle main body while being guided by a guide block.
  • the sliding unit tilts depending on the amount of protrusion from the conveyance vehicle body. Further, the position of the guide block (the supporting state of the unit) at that time is not fixed, and as a result, there is a possibility that the angle at which the unit tilts changes each time the unit slides.
  • one aspect of the present invention aims to provide an overhead transport vehicle that can suppress an angle change in which a unit slid by a slide mechanism is tilted more than expected.
  • An overhead transport vehicle includes a slide mechanism that slides a unit including an article holding section that holds an article along a first direction perpendicular to a traveling direction, and the slide mechanism is attached to the transport vehicle main body. a slide portion that moves along the first direction; and a guide block that is provided between the carrier body and the slide portion and is slidable in the first direction with respect to the carrier body and the slide portion, respectively. and a guide block holding part that holds the position of the guide block so that the positional relationship between the guide block and either the conveyor body or the slide part is maintained when the slide part moves.
  • the position in the first direction is uncertain
  • the guide block it has been found that depending on the position in the first direction, the slide part tilts more than expected, and the tilt angle changes. Therefore, in one aspect of the present invention, when the sliding portion is moved, the positional relationship (hereinafter also simply referred to as “positional relationship”) between the guide block and either the carrier main body or the sliding portion is determined by holding the guide block. Maintained by the department. This makes it possible to prevent the slide portion from tilting more than expected. In other words, it is possible to suppress an angle change in which the unit slid by the slide mechanism is tilted more than expected.
  • the guide block holding portion is provided on the guide block and includes a first magnetic member including a magnet or a magnetic material, and a first magnetic member provided on at least one of the transport vehicle main body and the slide portion.
  • a second magnetic member including a magnet or a magnetic substance attracted to the first magnetic member may be included.
  • the first magnetic member may be attracted to the second magnetic member through the gap or the protective member while maintaining the position of the guide block. In this case, since the first magnetic member and the second magnetic member do not come into direct contact with each other, it is possible to suppress their damage.
  • a plurality of guide blocks are provided, and the guide block holding section moves at least one of the plurality of guide blocks in a direction away from another guide block adjacent to the guide block. It may be energized.
  • the guide block includes a first guide block and a second guide block, and the guide block holding portion is configured to support at least one of the guided vehicle body and the sliding portion in the first direction.
  • the position of the first guide block may be maintained at one end, and the position of the second guide block may be maintained at the other end of at least one of the carrier body and the slide portion in the first direction.
  • the distance between the first guide block and the second guide block can be widened as much as possible. Therefore, it is possible to suppress the inclination of the sliding portion and the inclination of the slid unit.
  • the slide mechanism is provided with another slide part that moves along the first direction with respect to the slide part, and between the slide part and the other slide part, and the slide mechanism and another guide block that is slidable along the first direction with respect to each of the sliding part and the other sliding part, and when the other sliding part moves, the sliding part and the other sliding part are connected to each other.
  • it may have another guide block holding part that holds the position of the other guide block. In this case, it becomes possible to easily increase the sliding amount (stroke) of the sliding mechanism.
  • the slide mechanism may slide the unit to both one side and the other side in the first direction.
  • the position of the guide block in the first direction is often unstable, so the effect of maintaining the positional relationship with the guide block holding part and suppressing changes in the angle of inclination of the sliding part more than expected is significant. become.
  • the ceiling transport vehicle 1 of the embodiment travels along a track 20 laid near the ceiling of a clean room where semiconductor devices are manufactured.
  • the track 20 forms a travel path for the overhead transport vehicle 1.
  • the overhead transport vehicle 1 transports a FOUP (Front Opening Unified Pod) (article) 200 containing a plurality of semiconductor wafers, and transports the FOUP 200 to a load port 300 or the like provided in a processing device that performs various processes on semiconductor wafers. Perform the transfer.
  • FOUP Front Opening Unified Pod
  • the ceiling transport vehicle 1 includes a frame unit 2, a traveling unit 3, a lateral unit (slide mechanism) 4, a theta unit 5, an elevating drive unit 6, a holding unit (article holding section) 7, and a transport vehicle controller 8. and.
  • the frame unit 2 includes a center frame (vehicle main body) 15, a front frame 16, and a rear frame 17.
  • the front frame 16 extends downward from the front end of the center frame 15 (the front side in the traveling direction of the ceiling transport vehicle 1).
  • the rear frame 17 extends downward from the rear end of the center frame 15 (the rear side in the traveling direction of the ceiling transport vehicle 1).
  • the traveling unit 3 is arranged above the center frame 15. For example, the traveling unit 3 travels along the track 20 by receiving power from a high-frequency current line laid along the track 20 in a non-contact manner.
  • the lateral unit 4 is arranged below the center frame 15. The lateral unit 4 slides the theta unit 5, the lifting drive unit 6, and the holding unit 7 laterally with respect to the center frame 15.
  • the lateral direction in which the lateral unit 4 slides the unit 9 (the first direction, the lateral direction, and the lateral direction perpendicular to the traveling direction of the ceiling transport vehicle 1) is also simply referred to as the lateral direction.
  • the lateral unit 4 moves the unit 9 to both one side and the other side in the lateral direction (left direction and right direction in the figure) by the driving force of a drive mechanism (not shown, such as a drive motor, pulley, belt, etc.). Slide it.
  • the theta unit 5 is arranged below the lateral unit 4.
  • Theta unit 5 rotates the elevation drive unit 6 and the holding unit 7 in a horizontal plane.
  • the elevating drive unit 6 is arranged below the theta unit 5.
  • the lifting drive unit 6 moves the holding unit 7 up and down by feeding out and winding up a plurality of belts B connected to the holding unit 7.
  • the holding unit 7 is arranged below the lifting drive unit 6.
  • the holding unit 7 is provided so as to be movable up and down by the up/down drive unit 6.
  • the holding unit 7 has a pair of grippers 12 that can be opened and closed in the horizontal direction.
  • the holding unit 7 holds the flange 201 of the FOUP 200 using a pair of grippers 12 .
  • the conveyance vehicle controller 8 is arranged on the center frame 15.
  • the conveyance vehicle controller 8 is an electronic control unit composed of a CPU (Central Processing Unit), a ROM (Read Only Memory), a RAM (Random Access Memory), and the like.
  • the carrier controller 8 controls each part of the ceiling carrier 1 .
  • the carrier controller 8 may be composed of a plurality of electronic control units.
  • the carrier controller 8 may be arranged on the front frame 16 or the like.
  • the ceiling transport vehicle 1 configured as described above operates as follows, as an example.
  • the ceiling carrier 1 that does not hold the FOUP 200 stops at a predetermined position above the load port 300. If the position of the holding unit 7 to be lowered at the stop position deviates from the predetermined position with respect to the load port 300 (FOUP 200 placed on the load port 300), the holding unit 7 is lowered by driving the lateral unit 4 and theta unit 5. Adjust the horizontal position and horizontal angle of 7.
  • the lifting drive unit 6 lowers the holding unit 7, and the holding unit 7 holds the flange 201 of the FOUP 200 placed on the load port 300.
  • the lifting drive unit 6 raises the holding unit 7 to the rising end, and the FOUP 200 is placed between the front frame 16 and the rear frame 17. Subsequently, the ceiling transport vehicle 1 holding the FOUP 200 starts traveling.
  • the ceiling carrier 1 holding the FOUP 200 stops at a predetermined position above the load port 300. If the position of the holding unit 7 (FOUP 200) that is lowered at the stop position deviates from the predetermined position with respect to the load port 300, the horizontal position and horizontal angle of the holding unit are adjusted by driving the lateral unit 4 and theta unit 5. do. Subsequently, the lifting drive unit 6 lowers the holding unit 7 to place the FOUP 200 on the load port 300, and the holding unit 7 releases the holding of the flange 201 of the FOUP 200. Subsequently, the lifting drive unit 6 raises the holding unit 7 to the rising end. Subsequently, the ceiling transport vehicle 1 that does not hold the FOUP 200 starts traveling.
  • the lateral unit 4 includes an upper slide section (slide section) 41, an upper guide block (guide block) 42, a lower slide section (other slide section) 43, and a lower guide block (other guide block). ) 44, an upper guide block holding part (guide block holding part) 45, and a lower guide block holding part (another guide block holding part) 48.
  • the upper slide portion 41 moves laterally with respect to the center frame 15. As shown in FIGS. The upper slide portion 41 is configured to be movable to both one side and the other side in the lateral direction below the center frame 15.
  • the upper guide block 42 is provided between the center frame 15 and the upper slide portion 41.
  • the upper guide block 42 is slidable along the lateral direction relative to the center frame 15 and the upper slide portion 41, respectively.
  • the upper guide block 42 is, for example, a linear motion guide (LM guide) block.
  • LM guide linear motion guide
  • An upper groove 42a that opens upward is formed in the upper part of the upper guide block 42.
  • a first upper rail portion 15a provided at the lower part of the center frame 15 so as to protrude downward is slidably engaged with the upper groove 42a along the lateral direction.
  • the upper groove 42a and the first upper rail portion 15a extend in the lateral direction.
  • a lower groove 42b that opens downward is formed in the lower part of the upper guide block 42.
  • a second upper rail part 41a provided at the upper part of the upper slide part 41 so as to protrude upward is slidably engaged with the lower groove 42b along the lateral direction.
  • the lower groove 42b and the second upper rail portion 41a extend in the lateral direction.
  • the upper guide block 42 includes a first upper guide block (first guide block) 42X and a second upper guide block (second guide block) 42Y.
  • the upper guide block 42 as described above guides the movement of the upper slide portion 41 in the lateral direction.
  • the upper guide block 42 restricts the movement of the upper slide portion 41 in the traveling direction of the ceiling transport vehicle 1 .
  • the upper guide block 42 connects the center frame 15 and the upper slide portion 41 in the vertical direction.
  • the upper guide block 42 is not fixed in the lateral direction and is freely movable in the lateral direction (the lateral position is undefined).
  • the lower slide section 43 moves laterally with respect to the upper slide section 41.
  • the lower slide section 43 is configured to be movable to both one side and the other side in the lateral direction below the upper slide section 41 .
  • the theta unit 5 is connected to the lower slide portion 43.
  • the lower guide block 44 is provided between the upper slide section 41 and the lower slide section 43.
  • the lower guide block 44 is slidable along the lateral direction with respect to each of the upper slide section 41 and the lower slide section 43.
  • the lower guide block 44 is, for example, a linear motion guide (LM guide) block.
  • An upper groove 44a that opens upward is formed in the upper part of the lower guide block 44.
  • a first lower rail part 41b provided at the lower part of the upper slide part 41 so as to protrude downward is slidably engaged with the upper groove 44a along the lateral direction.
  • the upper groove 44a and the first lower rail portion 41b extend in the lateral direction.
  • a lower groove 44b that opens downward is formed in the lower part of the lower guide block 44.
  • a second lower rail part 43a provided at the upper part of the lower slide part 43 so as to protrude upward is slidably engaged with the lower groove 44b along the lateral direction.
  • the lower groove 44b and the second lower rail portion 43a extend in the lateral direction.
  • a plurality of lower guide blocks 44 are provided.
  • the lower guide block 44 includes a first lower guide block 44X and a second lower guide block 44Y.
  • the lower guide block 44 as described above guides the movement of the lower slide portion 43 in the lateral direction.
  • the lower guide block 44 restricts the movement of the lower slide portion 43 in the traveling direction of the ceiling transport vehicle 1 .
  • the lower guide block 44 connects the upper slide section 41 and the lower slide section 43 in the vertical direction.
  • the lower guide block 44 is not fixed in the lateral direction and is freely movable in the lateral direction (the lateral position is undefined).
  • the upper guide block holding section 45 maintains the position of the upper guide block 42 using magnetic force that attracts each other (in other words, attractive force or attractive force due to magnetic force).
  • the upper guide block holding section 45 includes first magnetic members 46X and 46Y that include magnets or magnetic bodies, and second magnetic members 47A to 47D that include magnets or magnetic bodies that are attracted to the first magnetic members 46X and 46Y. .
  • the first magnetic member 46X is provided on the outer side of the first upper guide block 42X in the lateral direction (on the opposite side to the second upper guide block 42Y side).
  • the first magnetic member 46Y is provided on the outer side of the second upper guide block 42Y in the lateral direction (on the side opposite to the first upper guide block 42X side).
  • the second magnetic member 47A is fixed to the center frame 15 via a stopper 61A.
  • the stopper 61A is provided at the lower part of the center frame 15 on the outside of the first upper rail portion 15a in the lateral direction.
  • the stopper 61A is arranged at one end of the center frame 15 in the lateral direction. The stopper 61A prevents the first upper guide block 42X from falling off from the first upper rail portion 15a by coming into contact with the first upper guide block 42X.
  • the second magnetic member 47A is fixed to the lower surface of the stopper 61A.
  • the second magnetic member 47A is disposed outwardly in the lateral direction from the stopper 61A.
  • the inner surface in the lateral direction of the second magnetic member 47A is located on the outer side in the lateral direction than the inner surface in the lateral direction of the stopper 61A.
  • the second magnetic member 47B is fixed to the upper slide portion 41 via a stopper 61B.
  • the stopper 61B is provided on the upper side of the upper slide portion 41 and on the outer side of the second upper rail portion 41a in the lateral direction.
  • the stopper 61B is arranged at one end of the upper slide portion 41 in the lateral direction. The stopper 61B prevents the first upper guide block 42X from falling off from the second upper rail portion 41a by coming into contact with the first upper guide block 42X.
  • the second magnetic member 47B is fixed to the top surface of the stopper 61B.
  • the second magnetic member 47B is disposed outwardly in the lateral direction from the stopper 61B.
  • the inner surface in the lateral direction of the second magnetic member 47B is located on the outer side in the lateral direction than the inner surface in the lateral direction of the stopper 61B.
  • the second magnetic member 47C is fixed to the lower surface of the stopper 61C.
  • the second magnetic member 47C is disposed outwardly in the lateral direction from the stopper 61C.
  • the inner surface in the lateral direction of the second magnetic member 47C is located on the outer side in the lateral direction than the inner surface in the lateral direction of the stopper 61C.
  • the second magnetic member 47D is fixed to the upper slide portion 41 via a stopper 61D.
  • the stopper 61D is provided at the upper part of the upper slide section 41 on the outside of the second upper rail section 41a in the lateral direction.
  • the stopper 61D is arranged at the other end of the upper slide portion 41 in the lateral direction.
  • the stopper 61D prevents the second upper guide block 42Y from falling off from the second upper rail portion 41a by coming into contact with the second upper guide block 42Y.
  • the second magnetic member 47D is fixed to the top surface of the stopper 61D.
  • the second magnetic member 47D is disposed outwardly in the lateral direction from the stopper 61D.
  • the inner surface in the lateral direction of the second magnetic member 47D is located on the outer side in the lateral direction than the inner surface in the lateral direction of the stopper 61D.
  • the lower guide block holding section 48 holds the lower guide block 44 so that the positional relationship between either the upper slide section 41 or the lower slide section 43 and the lower guide block 44 is maintained when the lower slide section 43 moves. hold the position.
  • the lower guide block holding section 48 urges the first lower guide block 44X and the second lower guide block 44Y in a direction in which they move away from each other.
  • the lower guide block holding section 48 holds the position of the first lower guide block 44X at one end side of the upper slide section 41 and the lower slide section 43 in the lateral direction, and holds the position of the first lower guide block 44X at one end side of the upper slide section 41 and the lower slide section 43 in the lateral direction.
  • the position of the second lower guide block 44Y is held at the other end.
  • the lower guide block holding section 48 holds the position of the lower guide block 44 by using magnetic force that attracts each other.
  • the lower guide block holding section 48 includes first magnetic members 49X, 49Y that include magnets or magnetic bodies, and second magnetic members 50A to 50D that include magnets or magnetic bodies that are attracted to the first magnetic members 49X, 49Y. .
  • the first magnetic member 49X is provided on the outer side of the first lower guide block 44X in the lateral direction (on the opposite side to the second lower guide block 44Y side).
  • the first magnetic member 49Y is provided on the outer side of the second lower guide block 44Y in the lateral direction (on the side opposite to the first lower guide block 44X side).
  • the second magnetic member 50A is fixed to the upper slide portion 41 via a stopper 62A.
  • the stopper 62A is provided at the lower part of the upper slide section 41 on the outside of the first lower rail section 41b in the lateral direction.
  • the stopper 62A is arranged at one end of the upper slide portion 41 in the lateral direction.
  • the stopper 62A prevents the first lower guide block 44X from falling off from the first lower rail portion 41b by coming into contact with the first lower guide block 44X.
  • the second magnetic member 50A is fixed to the lower surface of the stopper 62A.
  • the second magnetic member 50A is disposed outwardly in the lateral direction from the stopper 62A.
  • the inner surface of the second magnetic member 50A in the lateral direction is located on the outer side in the lateral direction than the inner surface of the stopper 62A in the lateral direction.
  • the second magnetic member 50B is fixed to the lower slide portion 43 via a stopper 62B.
  • the stopper 62B is provided on the upper side of the lower slide section 43 and on the outer side of the second upper rail section 43b in the lateral direction.
  • the stopper 62B is arranged at one end of the lower slide portion 43 in the lateral direction.
  • the stopper 62B prevents the first lower guide block 44X from falling off from the second lower rail portion 43a by coming into contact with the first lower guide block 44X.
  • the second magnetic member 50B is fixed to the top surface of the stopper 62B.
  • the second magnetic member 50B is disposed outwardly in the lateral direction from the stopper 62B.
  • the inner surface in the lateral direction of the second magnetic member 50B is located on the outer side in the lateral direction than the inner surface in the lateral direction of the stopper 62B.
  • the second magnetic member 50C is fixed to the upper slide portion 41 via a stopper 62C.
  • the stopper 62C is provided at the lower part of the upper slide section 41 and on the outer side of the first lower rail section 41b in the lateral direction.
  • the stopper 62C is arranged at the other end of the upper slide portion 41 in the lateral direction.
  • the stopper 62C prevents the second lower guide block 44Y from falling off from the first lower rail portion 41b by coming into contact with the second lower guide block 44Y.
  • the second magnetic member 50C is fixed to the lower surface of the stopper 62C.
  • the second magnetic member 50C is disposed outwardly in the lateral direction from the stopper 62C.
  • the inner surface in the lateral direction of the second magnetic member 50C is located on the outer side in the lateral direction than the inner surface in the lateral direction of the stopper 62C.
  • the second magnetic member 50D is fixed to the lower slide portion 43 via a stopper 62D.
  • the stopper 62D is provided on the upper side of the lower slide portion 43 and on the outer side of the second lower rail portion 43a in the lateral direction.
  • the stopper 62D is arranged at the other end of the lower slide portion 43 in the lateral direction.
  • the stopper 62D prevents the second lower guide block 44Y from falling off from the second lower rail portion 43a by coming into contact with the second lower guide block 44Y.
  • the second magnetic member 50D is fixed to the top surface of the stopper 62D.
  • the second magnetic member 50D is disposed outwardly in the lateral direction from the stopper 62D.
  • the inner surface of the second magnetic member 47D in the lateral direction is located on the outer side in the lateral direction than the inner surface of the stopper 62D in the lateral direction.
  • the upper slide portion 41 is moved to the other side in the lateral direction with respect to the center frame 15 while being guided by the upper guide block 42 due to the driving force of the drive mechanism (not shown).
  • the lower slide section 43 further slides to the other side in the lateral direction with respect to the upper slide section 41 while being guided by the lower guide block 44 due to the driving force of a drive mechanism (not shown).
  • the first upper guide block 42X slides along the first upper rail part 15a as the upper slide part 41 moves. At this time, the first upper guide block 42X remains located at one end of the upper slide portion 41 because the first magnetic member 46X is attracted by the magnetic force of the second magnetic member 47B. Further, the second upper guide block 42Y slides along the second upper rail section 41a as the upper slide section 41 moves. At this time, the second upper guide block 42Y remains located on the other end side of the center frame 15 because the first magnetic member 46Y is attracted by the magnetic force of the second magnetic member 47C.
  • the first lower guide block 44X slides along the first lower rail part 41b as the lower slide part 43 moves.
  • the first lower guide block 44X remains located at one end of the lower slide portion 43 because the first magnetic member 49X is attracted by the magnetic force of the second magnetic member 50B.
  • the second lower guide block 44Y slides along the second lower rail part 43a as the lower slide part 43 moves.
  • the first magnetic member 49Y is attracted by the magnetic force of the second magnetic member 50C, and the second lower guide block 44Y remains located on the other end side of the upper slide portion 41.
  • the ceiling transport vehicle 1 it is possible to suppress an angle change in which the unit 9 slid by the lateral unit 4 is tilted more than expected. It becomes possible to suppress variations in the inclination of the unit 9.
  • the lateral unit 4 allows the unit 9 to slide as expected. It is possible to reduce shaking, improve transfer stability (transfer accuracy, etc.), and suppress the amount of deviation of various mounted sensors.
  • the upper guide block holding section 45 includes first magnetic members 46X, 46Y provided on the upper guide block 42, and second magnetic members 47A to 47D provided on the center frame 15 and the upper slide section 41. and, including.
  • the first magnetic members 46X, 46Y and the second magnetic members 47A to 47D are used as the upper guide block holding section 45 to suppress the angle change in which the unit 9 slid by the lateral unit 4 is tilted more than expected. becomes possible.
  • the lower guide block holding section 48 has first magnetic members 49X and 49Y provided on the lower guide block 44, and second magnetic members provided on the upper slide section 41 and the lower slide section 43. members 50A to 50D.
  • the first magnetic members 49X, 49Y and the second magnetic members 50A to 50D are used as the lower guide block holding portion 48 to suppress an angle change in which the unit 9 slid by the lateral unit 4 is tilted more than expected. becomes possible.
  • the first magnetic members 46X, 46Y are attracted to the second magnetic members 47A to 47D through the gaps while maintaining the position of the upper guide block 42.
  • the first magnetic members 49X, 49Y are attracted to the second magnetic members 50A to 50D through the gaps while maintaining the position of the lower guide block 44.
  • the first magnetic members 46X, 46Y, 49X, 49Y and the second magnetic members 47A to 47D, 50A to 50D do not come into direct contact with each other, damage to these members can be suppressed.
  • a plurality of upper guide blocks 42 are provided (configured to be divided).
  • the upper guide block holding section 45 urges the first upper guide block 42X and the second upper guide block 42Y in a direction away from each other. That is, at least one of the plurality of upper guide blocks 42 is urged in a direction away from other upper guide blocks 42 adjacent to the upper guide block 42 .
  • a plurality of lower guide blocks 44 are provided (configured to be divided).
  • the lower guide block holding portion 48 urges the first lower guide block 44X and the second lower guide block 44Y in a direction away from each other.
  • at least one of the plurality of lower guide blocks 44 is urged in a direction away from other lower guide blocks 44 adjacent to the lower guide block 44 .
  • the upper guide block holding section 45 holds the position of the first upper guide block 42X at one end side of the center frame 15 and the upper slide section 41 in the lateral direction, and The position of the second upper guide block 42Y is maintained at the other end side of the upper slide section 41. Thereby, the distance between the first upper guide block 42X and the second upper guide block 42Y can be widened as much as possible.
  • the first upper guide block 42X and the second upper guide block 42Y can be positioned at the most advantageous positions. Therefore, it becomes possible to suppress the inclination of the upper slide portion 41 and the inclination of the slid unit 9.
  • the lower guide block holding section 48 holds the position of the first lower guide block 44X at one end side of the upper slide section 41 and the lower slide section 43 in the lateral direction, and The position of the second lower guide block 44Y is maintained at the other end side of the upper slide section 41 and the lower slide section 43. Thereby, the interval between the first lower guide block 44X and the second lower guide block 44Y can be widened as much as possible.
  • the first lower guide block 44X and the second lower guide block 44Y can be positioned at the most advantageous position. Therefore, the lower slide portion 43 can suppress inclination, and the slid unit 9 can suppress inclination.
  • the lateral unit 4 includes a lower slide portion 43, a lower guide block 44, and a lower guide block holder 48 in addition to an upper slide portion 41, an upper guide block 42, and an upper guide block holder 45.
  • a plurality of upper guide blocks 42 are provided, including a first upper guide block 42X and a second upper guide block 42Y, but the number of upper guide blocks 42 is not limited and may be one. There may be three or more. Similarly, the number of lower guide blocks 44 is not limited either, and may be one, three or more.
  • the lateral unit 104 may include one undivided upper guide block 142 and one undivided lower guide block 144.
  • the upper guide block 142 and the lower guide block 144 have a shape that is elongated in the lateral direction (for example, a shape in which the longitudinal dimension is twice or more the transverse dimension).
  • the stoppers 61C, 61D, 62C, 62D and the second magnetic members 47C, 47D, 50C, 50D may not be provided.
  • the first magnetic members 46X, 46Y are attracted to the second magnetic members 47A to 47D through the gaps, but the present invention is not limited thereto.
  • the first magnetic members 46X, 46Y may be attracted to the second magnetic members 47A-47D, for example, via a protective member that protects the second magnetic members 47A-47D.
  • the first magnetic members 49X, 49Y are attracted to the second magnetic members 50A to 50D through gaps, but the present invention is not limited thereto.
  • the first magnetic members 49X, 49Y may be attracted to the second magnetic members 50A to 50D, for example, via a protective member that protects the second magnetic members 50A to 50D.
  • the protective member is not particularly limited, and various known members may be used.
  • the upper guide block holding part 45 and the lower guide block holding part 48 hold the positions of the upper guide block 42 and the lower guide block 44 using magnetic force, but the present invention is not limited thereto.
  • the upper guide block holding section 45 and the lower guide block holding section 48 may hold the positions of the upper guide block 42 and the lower guide block 44 using the elastic force of an elastic body such as a spring.
  • the guide block holding part is a first magnetic member provided on the guide block and including a magnet or a magnetic body;
  • the overhead conveyance vehicle according to invention 1 further comprising: a second magnetic member that is provided on at least one of the conveyance vehicle body and the slide portion and includes a magnet or a magnetic body that is attracted to the first magnetic member.
  • a plurality of guide blocks are provided, The ceiling according to any one of inventions 1 to 3, wherein the guide block holding section urges at least one of the plurality of guide blocks in a direction away from another guide block adjacent to the guide block.
  • the guide block includes a first guide block and a second guide block, The guide block holding part is maintaining the position of the first guide block at one end side of at least one of the carrier body and the slide portion in the first direction;
  • the ceiling conveyance vehicle according to invention 4 wherein the position of the second guide block is maintained at the other end side of at least one of the conveyance vehicle body and the slide portion in the first direction.
  • the slide mechanism is another slide part that moves along the first direction with respect to the slide part; another guide block provided between the slide part and the other slide part and slidable along the first direction with respect to each of the slide part and the other slide part; Maintaining the position of the other guide block so that the positional relationship between either the slide part or the other slide part and the other guide block is maintained when the other slide part moves.

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Abstract

天井搬送車は、物品を保持する物品保持部を含むユニットを、走行方向と直交する第１方向に沿ってスライドさせるスライド機構を備える。スライド機構は、搬送車本体に対して第１方向に沿って移動するスライド部と、搬送車本体とスライド部との間に設けられ、搬送車本体及びスライド部のそれぞれに対して第１方向に沿って摺動可能なガイドブロックと、スライド部の移動の際に搬送車本体及びスライド部の何れか一方とガイドブロックとの位置関係が保たれるように、ガイドブロックの位置を保持するガイドブロック保持部と、を有する。

Description

天井搬送車
　本発明の一側面は、天井搬送車に関する。
　例えば、特許文献１には、昇降台を昇降させる昇降駆動部（ユニット）と、昇降駆動部を横方向に横移動させる横移動部（スライド機構）と、を備えた天井搬送車が記載されている。
特開２００７－３３１９０６号公報
　上述した天井搬送車では、スライド機構によりユニットをスライドさせる際、搬送車本体に対してスライド部をガイドブロックによりガイドさせながら移動させる場合がある。このような天井搬送車では、搬送車本体からの突出量に応じてスライドさせたユニットが傾く。また、そのときのガイドブロックの位置（ユニットの支持状態）は定まっておらず、その結果、ユニットの傾く角度が当該スライドの都度変化するおそれがある。
　そこで、本発明の一側面は、スライド機構によりスライドさせたユニットが想定以上に傾く角度変化を抑制することが可能な天井搬送車を提供することを目的とする。
　本発明の一側面に係る天井搬送車は、物品を保持する物品保持部を含むユニットを、走行方向と直交する第１方向に沿ってスライドさせるスライド機構を備え、スライド機構は、搬送車本体に対して第１方向に沿って移動するスライド部と、搬送車本体とスライド部との間に設けられ、搬送車本体及びスライド部のそれぞれに対して第１方向に沿って摺動可能なガイドブロックと、スライド部の移動の際に搬送車本体及びスライド部の何れか一方とガイドブロックとの位置関係が保たれるように、ガイドブロックの位置を保持するガイドブロック保持部と、を有する。
　本発明者は鋭意検討を重ねた結果、天井搬送車においてスライド機構によりユニットをスライドさせる際、ガイドブロックが第１方向に自由に移動できる（第１方向の位置が不定である）場合、ガイドブロックの第１方向の位置によっては、スライド部が想定以上に大きく傾き、傾く角度が変化するという知見を得た。そこで、本発明の一側面では、スライド部の移動の際に、搬送車本体及びスライド部の何れか一方とガイドブロックとの位置関係（以下、単に「位置関係」ともいう）を、ガイドブロック保持部により保っている。これにより、スライド部が想定以上に大きく傾くのを抑えることが可能となる。すなわち、スライド機構によりスライドさせたユニットが想定以上に傾く角度変化を抑制することが可能となる。
　本発明の一側面に係る天井搬送車では、ガイドブロック保持部は、ガイドブロックに設けられ、磁石又は磁性体を含む第１磁性部材と、搬送車本体及びスライド部の少なくとも一方に設けられ、第１磁性部材に引き付けられる磁石又は磁性体を含む第２磁性部材と、を含んでいてもよい。この場合、第１磁性部材及び第２磁性部材をガイドブロック保持部として利用して、スライド機構によりスライドさせたユニットが想定以上に傾く角度変化を抑制することが可能となる。
　本発明の一側面に係る天井搬送車では、第１磁性部材は、ガイドブロックの位置を保持している状態において、隙間又は保護部材を介して第２磁性部材に引き付けられてもよい。この場合、第１磁性部材と第２磁性部材とが直接接触しないことから、これらの損傷を抑えることが可能となる。
　本発明の一側面に係る天井搬送車では、ガイドブロックは、複数設けられ、ガイドブロック保持部は、複数のガイドブロックの少なくとも何れかを、当該ガイドブロックに隣接する他のガイドブロックから離れる方向に付勢してもよい。これにより、複数のガイドブロックが設けられた場合において、複数のガイドブロックの少なくとも何れかの位置関係を効果的に保つことが可能となる。
　本発明の一側面に係る天井搬送車では、ガイドブロックは、第１ガイドブロックと第２ガイドブロックとを含み、ガイドブロック保持部は、第１方向における搬送車本体及びスライド部の少なくとも何れかの一端側にて、第１ガイドブロックの位置を保持し、第１方向における搬送車本体及びスライド部の少なくとも何れかの他端側にて、第２ガイドブロックの位置を保持してもよい。この場合、第１ガイドブロックと第２ガイドブロックとの間隔を可能な限り広げることができる。よって、スライド部の傾きを抑制し、スライドさせたユニットの傾きを抑制することが可能となる。
　本発明の一側面に係る天井搬送車では、スライド機構は、スライド部に対して第１方向に沿って移動する他のスライド部と、スライド部と他のスライド部との間に設けられ、スライド部と他のスライド部のそれぞれに対して第１方向に沿って摺動可能な他のガイドブロックと、他のスライド部の移動の際にスライド部及び他のスライド部の何れか一方と他のガイドブロックとの位置関係が保たれるように、他のガイドブロックの位置を保持する他のガイドブロック保持部と、を有していてもよい。この場合、スライド機構のスライド量（ストローク）を容易に大きくすることが可能となる。
　本発明の一側面に係る天井搬送車では、スライド機構は、ユニットを第１方向における一方側と他方側との双方にスライドさせてもよい。このような構成では、ガイドブロックは第１方向の位置が不定である場合が多いことから、位置関係をガイドブロック保持部により保ってスライド部が想定以上に傾く角度の変化を抑えるという効果は顕著になる。
　本発明の一側面によれば、スライド機構によりスライドさせたユニットが想定以上に傾く角度変化を抑制することが可能な天井搬送車を提供することが可能となる。
図１は、一実施形態に係る天井搬送車を示す側面図である。 図２は、図１のラテラルユニットを拡大して示す正面図である。 図３（ａ）は、図２の上段ガイドブロックを示す概略断面図である。図３（ｂ）は、図２の下段ガイドブロックを示す概略断面図である。 図４は、図２のラテラルユニットのスライド時を示す正面図である。 図５は、変形例に係るラテラルユニットのスライド時を示す正面図である。
　以下、図面を参照して、一実施形態について詳細に説明する。図面の説明において、同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。「上」及び「下」の語は、鉛直方向の上下方向に対応する。
　図１に示されるように、実施形態の天井搬送車１は、半導体デバイスが製造されるクリーンルームの天井付近に敷設された軌道２０に沿って走行する。軌道２０は、天井搬送車１の走行路を形成する。天井搬送車１は、複数の半導体ウェハが収容されたＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）（物品）２００の搬送、及び、半導体ウェハに各種処理を施す処理装置に設けられたロードポート３００等に対するＦＯＵＰ２００の移載を行う。
　天井搬送車１は、フレームユニット２と、走行ユニット３と、ラテラルユニット（スライド機構）４と、シータユニット５と、昇降駆動ユニット６と、保持ユニット（物品保持部）７と、搬送車コントローラ８と、を備える。フレームユニット２は、センターフレーム（搬送車本体）１５と、フロントフレーム１６と、リアフレーム１７と、を有している。フロントフレーム１６は、センターフレーム１５における前側（天井搬送車１の走行方向における前側）の端部から下側に延在している。リアフレーム１７は、センターフレーム１５における後側（天井搬送車１の走行方向における後側）の端部から下側に延在している。
　走行ユニット３は、センターフレーム１５の上側に配置されている。走行ユニット３は、例えば、軌道２０に沿って敷設された高周波電流線から非接触で電力の供給を受けることで、軌道２０に沿って走行する。ラテラルユニット４は、センターフレーム１５の下側に配置されている。ラテラルユニット４は、シータユニット５、昇降駆動ユニット６及び保持ユニット７を、センターフレーム１５に対して側方向へスライドさせる。
　なお、シータユニット５、昇降駆動ユニット６及び保持ユニット７を、単にユニット９とも称する。ラテラルユニット４がユニット９をスライドさせる側方向（天井搬送車１の走行方向と直交する第１方向，横方向，側方）を、単に側方とも称する。ラテラルユニット４は、ユニット９を側方向における一方側と他方側との双方（図中の左方向及び右方向）に、不図示の駆動機構（例えば駆動モータ、プーリ及びベルト等）の駆動力によりスライドさせる。
　シータユニット５は、ラテラルユニット４の下側に配置されている。シータユニット５は、昇降駆動ユニット６及び保持ユニット７を水平面内において回動させる。昇降駆動ユニット６は、シータユニット５の下側に配置されている。昇降駆動ユニット６は、保持ユニット７に接続された複数のベルトＢの繰出し及び巻取りにより、保持ユニット７を昇降させる。保持ユニット７は、昇降駆動ユニット６の下側に配置されている。保持ユニット７は、昇降駆動ユニット６により昇降可能に設けられている。保持ユニット７は、水平方向に沿って開閉可能な一対のグリッパ１２を有している。保持ユニット７は、一対のグリッパ１２によりＦＯＵＰ２００のフランジ２０１を保持する。
　搬送車コントローラ８は、センターフレーム１５に配置されている。搬送車コントローラ８は、ＣＰＵ（Central　Processing　Unit）、ＲＯＭ（Read　only　memory）及びＲＡＭ(Random　access　memory)等によって構成された電子制御ユニットである。搬送車コントローラ８は、天井搬送車１の各部を制御する。搬送車コントローラ８は、複数の電子制御ユニットにより構成されていてもよい。また、搬送車コントローラ８は、フロントフレーム１６等に配置されていてもよい。
　以上のように構成された天井搬送車１は、一例として、次のように動作する。ロードポート３００から天井搬送車１にＦＯＵＰ２００を移載する場合には、ＦＯＵＰ２００を保持していない天井搬送車１がロードポート３００の上方の予め定められた位置に停止する。停止位置において下降させる保持ユニット７の位置が、ロードポート３００（ロードポート３００に載置されたＦＯＵＰ２００）に対する所定位置からずれる場合には、ラテラルユニット４及びシータユニット５を駆動することにより、保持ユニット７の水平位置及び水平角度を調整する。続いて、昇降駆動ユニット６が保持ユニット７を下降させ、保持ユニット７が、ロードポート３００に載置されているＦＯＵＰ２００のフランジ２０１を保持する。続いて、昇降駆動ユニット６が保持ユニット７を上昇端まで上昇させて、フロントフレーム１６とリアフレーム１７との間にＦＯＵＰ２００を配置する。続いて、ＦＯＵＰ２００を保持した天井搬送車１が走行を開始する。
　一方、天井搬送車１からロードポート３００にＦＯＵＰ２００を移載する場合には、ＦＯＵＰ２００を保持した天井搬送車１がロードポート３００の上方の予め定められた位置に停止する。停止位置において下降させる保持ユニット７（ＦＯＵＰ２００）の位置が、ロードポート３００に対する所定位置からずれる場合には、ラテラルユニット４及びシータユニット５を駆動することにより、保持ユニットの水平位置及び水平角度を調整する。続いて、昇降駆動ユニット６が保持ユニット７を下降させ、ロードポート３００にＦＯＵＰ２００を載置し、保持ユニット７がＦＯＵＰ２００のフランジ２０１の保持を解放する。続いて、昇降駆動ユニット６が保持ユニット７を上昇端まで上昇させる。続いて、ＦＯＵＰ２００を保持していない天井搬送車１が走行を開始する。
　次に、ラテラルユニット４の構成について、説明する。
　図２に示されるように、ラテラルユニット４は、上段スライド部（スライド部）４１、上段ガイドブロック（ガイドブロック）４２、下段スライド部（他のスライド部）４３、下段ガイドブロック（他のガイドブロック）４４、上段ガイドブロック保持部（ガイドブロック保持部）４５、及び、下段ガイドブロック保持部（他のガイドブロック保持部）４８を有する。
［上段スライド部］
　図２及び図３（ａ）に示されるように、上段スライド部４１は、センターフレーム１５に対して側方向に沿って移動する。上段スライド部４１は、センターフレーム１５の下方において、側方向の一方側及び他方側の双方に移動可能に構成されている。
［上段ガイドブロック］
　上段ガイドブロック４２は、センターフレーム１５と上段スライド部４１との間に設けられている。上段ガイドブロック４２は、センターフレーム１５及び上段スライド部４１のそれぞれに対して、側方向に沿って摺動可能である。上段ガイドブロック４２は、例えばリニアモーションガイド（ＬＭガイド）ブロックである。
　上段ガイドブロック４２の上部には、上方に開口する上溝４２ａが形成されている。上溝４２ａには、センターフレーム１５の下部に下方へ突出するように設けられた第１上段レール部１５ａが、側方向に沿って摺動可能に係合している。上溝４２ａ及び第１上段レール部１５ａは、側方向に沿って延在する。上段ガイドブロック４２の下部には、下方に開口する下溝４２ｂが形成されている。下溝４２ｂには、上段スライド部４１の上部に上方へ突出するように設けられた第２上段レール部４１ａが、側方向に沿って摺動可能に係合している。下溝４２ｂ及び第２上段レール部４１ａは、側方向に沿って延在する。
　上段ガイドブロック４２は、複数設けられている。ここでは、上段ガイドブロック４２は、第１上段ガイドブロック（第１ガイドブロック）４２Ｘと第２上段ガイドブロック（第２ガイドブロック）４２Ｙとを含む。以上のような上段ガイドブロック４２は、側方向における上段スライド部４１の移動をガイドする。上段ガイドブロック４２は、天井搬送車１の走行方向における上段スライド部４１の移動を規制する。上段ガイドブロック４２は、上下方向においてセンターフレーム１５と上段スライド部４１とを連結する。上段ガイドブロック４２は、側方向において固定されておらず、側方向に自由に移動可能（側方向の位置が不定）である。
［下段スライド部］
　図２及び図３（ｂ）に示されるように、下段スライド部４３は、上段スライド部４１に対して側方向に沿って移動する。下段スライド部４３は、上段スライド部４１の下方において、側方向の一方側及び他方側の双方に移動可能に構成されている。下段スライド部４３には、シータユニット５が連結されている。
［下段ガイドブロック］
　下段ガイドブロック４４は、上段スライド部４１と下段スライド部４３との間に設けられている。下段ガイドブロック４４は、上段スライド部４１及び下段スライド部４３のそれぞれに対して、側方向に沿って摺動可能である。下段ガイドブロック４４は、例えばリニアモーションガイド（ＬＭガイド）ブロックである。
　下段ガイドブロック４４の上部には、上方に開口する上溝４４ａが形成されている。上溝４４ａには、上段スライド部４１の下部に下方へ突出するように設けられた第１下段レール部４１ｂが、側方向に沿って摺動可能に係合している。上溝４４ａ及び第１下段レール部４１ｂは、側方向に沿って延在する。下段ガイドブロック４４の下部には、下方に開口する下溝４４ｂが形成されている。下溝４４ｂには、下段スライド部４３の上部に上方へ突出するように設けられた第２下段レール部４３ａが、側方向に沿って摺動可能に係合している。下溝４４ｂ及び第２下段レール部４３ａは、側方向に沿って延在する。
　下段ガイドブロック４４は、複数設けられている。ここでは、下段ガイドブロック４４は、第１下段ガイドブロック４４Ｘと第２下段ガイドブロック４４Ｙとを含む。以上のような下段ガイドブロック４４は、側方向における下段スライド部４３の移動をガイドする。下段ガイドブロック４４は、天井搬送車１の走行方向における下段スライド部４３の移動を規制する。下段ガイドブロック４４は、上下方向において上段スライド部４１と下段スライド部４３とを連結する。下段ガイドブロック４４は、側方向において固定されておらず、側方向に自由に移動可能（側方向の位置が不定）である。
［上段ガイドブロック保持部］
　上段ガイドブロック保持部４５は、上段スライド部４１の移動の際にセンターフレーム１５及び上段スライド部４１の何れか一方と上段ガイドブロック４２との位置関係が保たれるように、上段ガイドブロック４２の位置を保持する。上段ガイドブロック保持部４５は、第１上段ガイドブロック４２Ｘ及び第２上段ガイドブロック４２Ｙを、これらが互いに離れる方向に付勢する。上段ガイドブロック保持部４５は、側方向におけるセンターフレーム１５及び上段スライド部４１の一端側にて、第１上段ガイドブロック４２Ｘの位置を保持し、側方向におけるセンターフレーム１５及び上段スライド部４１の他端側にて、第２上段ガイドブロック４２Ｙの位置を保持する。
　上段ガイドブロック保持部４５は、引き付け合う磁力（換言すると、磁力による引力又は誘引力）を利用して、上段ガイドブロック４２の位置を保持する。上段ガイドブロック保持部４５は、磁石又は磁性体を含む第１磁性部材４６Ｘ，４６Ｙと、第１磁性部材４６Ｘ，４６Ｙに引き付けられる磁石又は磁性体を含む第２磁性部材４７Ａ～４７Ｄと、を有する。第１磁性部材４６Ｘは、第１上段ガイドブロック４２Ｘの側方向における外側（第２上段ガイドブロック４２Ｙ側とは反対側）に設けられている。第１磁性部材４６Ｙは、第２上段ガイドブロック４２Ｙの側方向における外側（第１上段ガイドブロック４２Ｘ側とは反対側）に設けられている。
　第２磁性部材４７Ａは、センターフレーム１５にストッパ６１Ａを介して固定されている。ストッパ６１Ａは、センターフレーム１５の下部において第１上段レール部１５ａの側方向の外側に設けられている。ストッパ６１Ａは、センターフレーム１５の側方向の一端部に配置されている。ストッパ６１Ａは、第１上段ガイドブロック４２Ｘに当たることで、第１上段レール部１５ａからの第１上段ガイドブロック４２Ｘの脱落を防止する。
　第２磁性部材４７Ａは、ストッパ６１Ａの下面に固定されている。第２磁性部材４７Ａは、ストッパ６１Ａよりも側方向における外側にズレて配置されている。換言すると、第２磁性部材４７Ａの側方向における内側の面は、ストッパ６１Ａの側方向における内側の面よりも、側方向の外側に位置する。これにより、第１上段ガイドブロック４２Ｘがストッパ６１Ａに当たった場合において、第２磁性部材４７Ａと第１上段ガイドブロック４２Ｘとの間には隙間が形成され、これらの直接的な接触が防止される。その結果、第１磁性部材４６Ｘは、第１上段ガイドブロック４２Ｘの位置を保持している状態において、隙間を介して第２磁性部材４７Ａに磁力により引き付けられる。
　第２磁性部材４７Ｂは、上段スライド部４１にストッパ６１Ｂを介して固定されている。ストッパ６１Ｂは、上段スライド部４１の上部において第２上段レール部４１ａの側方向の外側に設けられている。ストッパ６１Ｂは、上段スライド部４１の側方向の一端部に配置されている。ストッパ６１Ｂは、第１上段ガイドブロック４２Ｘに当たることで、第２上段レール部４１ａからの第１上段ガイドブロック４２Ｘの脱落を防止する。
　第２磁性部材４７Ｂは、ストッパ６１Ｂの上面に固定されている。第２磁性部材４７Ｂは、ストッパ６１Ｂよりも側方向における外側にズレて配置されている。換言すると、第２磁性部材４７Ｂの側方向における内側の面は、ストッパ６１Ｂの側方向における内側の面よりも、側方向の外側に位置する。これにより、第１上段ガイドブロック４２Ｘがストッパ６１Ｂに当たった場合において、第２磁性部材４７Ｂと第１上段ガイドブロック４２Ｘとの間には隙間が形成され、これらの直接的な接触が防止される。その結果、第１磁性部材４６Ｘは、第１上段ガイドブロック４２Ｘの位置を保持している状態において、隙間を介して第２磁性部材４７Ｂに磁力により引き付けられる。
　第２磁性部材４７Ｃは、センターフレーム１５にストッパ６１Ｃを介して固定されている。ストッパ６１Ｃは、センターフレーム１５の下部において第１上段レール部１５ａの側方向の外側に設けられている。ストッパ６１Ｃは、センターフレーム１５の側方向の他端部に配置されている。ストッパ６１Ｃは、第２上段ガイドブロック４２Ｙに当たることで、第１上段レール部１５ａからの第２上段ガイドブロック４２Ｙの脱落を防止する。
　第２磁性部材４７Ｃは、ストッパ６１Ｃの下面に固定されている。第２磁性部材４７Ｃは、ストッパ６１Ｃよりも側方向における外側にズレて配置されている。換言すると、第２磁性部材４７Ｃの側方向における内側の面は、ストッパ６１Ｃの側方向における内側の面よりも、側方向の外側に位置する。これにより、第２上段ガイドブロック４２Ｙがストッパ６１Ｃに当たった場合において、第２磁性部材４７Ｃと第２上段ガイドブロック４２Ｙとの間には隙間が形成され、これらの直接的な接触が防止される。その結果、第１磁性部材４６Ｙは、第２上段ガイドブロック４２Ｙの位置を保持している状態において、隙間を介して第２磁性部材４７Ｃに磁力により引き付けられる。
　第２磁性部材４７Ｄは、上段スライド部４１にストッパ６１Ｄを介して固定されている。ストッパ６１Ｄは、上段スライド部４１の上部において第２上段レール部４１ａの側方向の外側に設けられている。ストッパ６１Ｄは、上段スライド部４１の側方向の他端部に配置されている。ストッパ６１Ｄは、第２上段ガイドブロック４２Ｙに当たることで、第２上段レール部４１ａからの第２上段ガイドブロック４２Ｙの脱落を防止する。
　第２磁性部材４７Ｄは、ストッパ６１Ｄの上面に固定されている。第２磁性部材４７Ｄは、ストッパ６１Ｄよりも側方向における外側にズレて配置されている。換言すると、第２磁性部材４７Ｄの側方向における内側の面は、ストッパ６１Ｄの側方向における内側の面よりも、側方向の外側に位置する。これにより、第２上段ガイドブロック４２Ｙがストッパ６１Ｄに当たった場合において、第２磁性部材４７Ｄと第２上段ガイドブロック４２Ｙとの間には隙間が形成され、これらの直接的な接触が防止される。その結果、第１磁性部材４６Ｙは、第２上段ガイドブロック４２Ｙの位置を保持している状態において、隙間を介して第２磁性部材４７Ｄに磁力により引き付けられる。
［下段ガイドブロック保持部］
　下段ガイドブロック保持部４８は、下段スライド部４３の移動の際に上段スライド部４１及び下段スライド部４３の何れか一方と下段ガイドブロック４４との位置関係が保たれるように、下段ガイドブロック４４の位置を保持する。下段ガイドブロック保持部４８は、第１下段ガイドブロック４４Ｘ及び第２下段ガイドブロック４４Ｙを、これらが互いに離れる方向に付勢する。下段ガイドブロック保持部４８は、側方向における上段スライド部４１及び下段スライド部４３の一端側にて、第１下段ガイドブロック４４Ｘの位置を保持し、側方向における上段スライド部４１及び下段スライド部４３の他端側にて、第２下段ガイドブロック４４Ｙの位置を保持する。
　下段ガイドブロック保持部４８は、引き付け合う磁力を利用して、下段ガイドブロック４４の位置を保持する。下段ガイドブロック保持部４８は、磁石又は磁性体を含む第１磁性部材４９Ｘ，４９Ｙと、第１磁性部材４９Ｘ，４９Ｙに引き付けられる磁石又は磁性体を含む第２磁性部材５０Ａ～５０Ｄと、を有する。第１磁性部材４９Ｘは、第１下段ガイドブロック４４Ｘの側方向における外側（第２下段ガイドブロック４４Ｙ側とは反対側）に設けられている。第１磁性部材４９Ｙは、第２下段ガイドブロック４４Ｙの側方向における外側（第１下段ガイドブロック４４Ｘ側とは反対側）に設けられている。
　第２磁性部材５０Ａは、上段スライド部４１にストッパ６２Ａを介して固定されている。ストッパ６２Ａは、上段スライド部４１の下部において第１下段レール部４１ｂの側方向の外側に設けられている。ストッパ６２Ａは、上段スライド部４１の側方向の一端部に配置されている。ストッパ６２Ａは、第１下段ガイドブロック４４Ｘに当たることで、第１下段レール部４１ｂからの第１下段ガイドブロック４４Ｘの脱落を防止する。第２磁性部材５０Ａは、ストッパ６２Ａの下面に固定されている。第２磁性部材５０Ａは、ストッパ６２Ａよりも側方向における外側にズレて配置されている。換言すると、第２磁性部材５０Ａの側方向における内側の面は、ストッパ６２Ａの側方向における内側の面よりも、側方向の外側に位置する。これにより、第１下段ガイドブロック４４Ｘがストッパ６２Ａに当たった場合において、第２磁性部材５０Ａと第１下段ガイドブロック４４Ｘとの間には隙間が形成され、これらの直接的な接触が防止される。その結果、第１磁性部材４９Ｘは、第１下段ガイドブロック４４Ｘの位置を保持している状態において、隙間を介して第２磁性部材５０Ａに磁力により引き付けられる。
　第２磁性部材５０Ｂは、下段スライド部４３にストッパ６２Ｂを介して固定されている。ストッパ６２Ｂは、下段スライド部４３の上部において第２上段レール部４３ｂの側方向の外側に設けられている。ストッパ６２Ｂは、下段スライド部４３の側方向の一端部に配置されている。ストッパ６２Ｂは、第１下段ガイドブロック４４Ｘに当たることで、第２下段レール部４３ａからの第１下段ガイドブロック４４Ｘの脱落を防止する。第２磁性部材５０Ｂは、ストッパ６２Ｂの上面に固定されている。第２磁性部材５０Ｂは、ストッパ６２Ｂよりも側方向における外側にズレて配置されている。換言すると、第２磁性部材５０Ｂの側方向における内側の面は、ストッパ６２Ｂの側方向における内側の面よりも、側方向の外側に位置する。これにより、第１下段ガイドブロック４４Ｘがストッパ６２Ｂに当たった場合において、第２磁性部材５０Ｂと第１下段ガイドブロック４４Ｘとの間には隙間が形成され、これらの直接的な接触が防止される。その結果、第１磁性部材４９Ｘは、第１下段ガイドブロック４４Ｘの位置を保持している状態において、隙間を介して第２磁性部材５０Ｂに磁力により引き付けられる。
　第２磁性部材５０Ｃは、上段スライド部４１にストッパ６２Ｃを介して固定されている。ストッパ６２Ｃは、上段スライド部４１の下部において第１下段レール部４１ｂの側方向の外側に設けられている。ストッパ６２Ｃは、上段スライド部４１の側方向の他端部に配置されている。ストッパ６２Ｃは、第２下段ガイドブロック４４Ｙに当たることで、第１下段レール部４１ｂからの第２下段ガイドブロック４４Ｙの脱落を防止する。第２磁性部材５０Ｃは、ストッパ６２Ｃの下面に固定されている。第２磁性部材５０Ｃは、ストッパ６２Ｃよりも側方向における外側にズレて配置されている。換言すると、第２磁性部材５０Ｃの側方向における内側の面は、ストッパ６２Ｃの側方向における内側の面よりも、側方向の外側に位置する。これにより、第２下段ガイドブロック４４Ｙがストッパ６２Ｃに当たった場合において、第２磁性部材５０Ｃと第２下段ガイドブロック４４Ｙとの間には隙間が形成され、これらの直接的な接触が防止される。その結果、第１磁性部材４９Ｙは、第２下段ガイドブロック４４Ｙの位置を保持している状態において、隙間を介して第２磁性部材５０Ｃに磁力により引き付けられる。
　第２磁性部材５０Ｄは、下段スライド部４３にストッパ６２Ｄを介して固定されている。ストッパ６２Ｄは、下段スライド部４３の上部において第２下段レール部４３ａの側方向の外側に設けられている。ストッパ６２Ｄは、下段スライド部４３の側方向の他端部に配置されている。ストッパ６２Ｄは、第２下段ガイドブロック４４Ｙに当たることで、第２下段レール部４３ａからの第２下段ガイドブロック４４Ｙの脱落を防止する。第２磁性部材５０Ｄは、ストッパ６２Ｄの上面に固定されている。第２磁性部材５０Ｄは、ストッパ６２Ｄよりも側方向における外側にズレて配置されている。換言すると、第２磁性部材４７Ｄの側方向における内側の面は、ストッパ６２Ｄの側方向における内側の面よりも、側方向の外側に位置する。これにより、第２下段ガイドブロック４４Ｙがストッパ６２Ｄに当たった場合において、第２磁性部材５０Ｄと第２下段ガイドブロック４４Ｙとの間には隙間が形成され、これらの直接的な接触が防止される。その結果、第１磁性部材４９Ｙは、第２下段ガイドブロック４４Ｙの位置を保持している状態において、隙間を介して第２磁性部材５０Ｄに磁力により引き付けられる。
　次に、ラテラルユニット４の動作例について、説明する。
　例えば図４に示されるように、ラテラルユニット４では、不図示の駆動機構の駆動力により、センターフレーム１５に対して上段スライド部４１が、上段ガイドブロック４２によりガイドされながら側方向の他方側にスライドする。これと共に、不図示の駆動機構の駆動力により、上段スライド部４１に対して下段スライド部４３が、下段ガイドブロック４４によりガイドされながら側方向の他方側に更にスライドする。
　この場合、第１上段ガイドブロック４２Ｘは、上段スライド部４１の移動に連れ立って第１上段レール部１５ａに沿って摺動する。このとき、第１上段ガイドブロック４２Ｘは、第１磁性部材４６Ｘが第２磁性部材４７Ｂにより磁力により引き付けられ、上段スライド部４１の一端側に位置したままとなる。また、第２上段ガイドブロック４２Ｙは、上段スライド部４１の移動に連れ立って第２上段レール部４１ａに沿って摺動する。このとき、第２上段ガイドブロック４２Ｙは、第１磁性部材４６Ｙが第２磁性部材４７Ｃにより磁力により引き付けられ、センターフレーム１５の他端側に位置したままとなる。
　またこの場合、第１下段ガイドブロック４４Ｘは、下段スライド部４３の移動に連れ立って第１下段レール部４１ｂに沿って摺動する。このとき、第１下段ガイドブロック４４Ｘは、第１磁性部材４９Ｘが第２磁性部材５０Ｂにより磁力により引き付けられ、下段スライド部４３の一端側に位置したままとなる。第２下段ガイドブロック４４Ｙは、下段スライド部４３の移動に連れ立って第２下段レール部４３ａに沿って摺動する。このとき、第２下段ガイドブロック４４Ｙは、第１磁性部材４９Ｙが第２磁性部材５０Ｃにより磁力により引き付けられ、上段スライド部４１の他端側に位置したままとなる。
　なお、ここでの動作例では、上段スライド部４１及び下段スライド部４３が側方向における他方側にスライドする場合を説明したが、側方向における一方側にスライドする場合も同様である。
　以上、天井搬送車１では、上段スライド部４１の移動の際に、センターフレーム１５及び上段スライド部４１の何れか一方と上段ガイドブロック４２との位置関係を、上段ガイドブロック保持部４５により保っている。これにより、上段スライド部４１が傾く角度の予期せぬ変化を抑えることが可能となる。同様に、下段スライド部４３の移動の際に、上段スライド部４１及び下段スライド部４３の何れか一方と下段ガイドブロック４４との位置関係を、下段ガイドブロック保持部４８により保っている。これにより、下段スライド部４３が傾く角度の予期せぬ変化を抑えることが可能となる。
　したがって、天井搬送車１によれば、ラテラルユニット４によりスライドさせたユニット９が想定以上に傾く角度変化を抑制することが可能となる。ユニット９の傾きのバラツキを抑制することが可能となる。ラテラルユニット４により想定どおりにユニット９をスライドさせることが可能となる。揺れの低下、移載安定性(移載精度等)の向上、及び、搭載されている各種のセンサのずれ量の抑制が可能となる。
　天井搬送車１では、上段ガイドブロック保持部４５は、上段ガイドブロック４２に設けられた第１磁性部材４６Ｘ，４６Ｙと、センターフレーム１５及び上段スライド部４１に設けられた第２磁性部材４７Ａ～４７Ｄと、を含む。この場合、第１磁性部材４６Ｘ，４６Ｙ及び第２磁性部材４７Ａ～４７Ｄを上段ガイドブロック保持部４５として利用して、ラテラルユニット４によりスライドさせたユニット９が想定以上に傾く角度変化を抑制することが可能となる。
　同様に、天井搬送車１では、下段ガイドブロック保持部４８は、下段ガイドブロック４４に設けられた第１磁性部材４９Ｘ，４９Ｙと、上段スライド部４１及び下段スライド部４３に設けられた第２磁性部材５０Ａ～５０Ｄと、を含む。この場合、第１磁性部材４９Ｘ，４９Ｙ及び第２磁性部材５０Ａ～５０Ｄを下段ガイドブロック保持部４８として利用して、ラテラルユニット４によりスライドさせたユニット９が想定以上に傾く角度変化を抑制することが可能となる。
　天井搬送車１では、第１磁性部材４６Ｘ，４６Ｙは、上段ガイドブロック４２の位置を保持している状態において、隙間を介して第２磁性部材４７Ａ～４７Ｄに引き付けられる。第１磁性部材４９Ｘ，４９Ｙは、下段ガイドブロック４４の位置を保持している状態において、隙間を介して第２磁性部材５０Ａ～５０Ｄに引き付けられる。この場合、第１磁性部材４６Ｘ，４６Ｙ，４９Ｘ，４９Ｙと第２磁性部材４７Ａ～４７Ｄ，５０Ａ～５０Ｄとが直接接触しないことから、これらの損傷を抑えることが可能となる。
　天井搬送車１では、上段ガイドブロック４２は、複数設けられている（分轄するように構成されている）。上段ガイドブロック保持部４５は、第１上段ガイドブロック４２Ｘと第２上段ガイドブロック４２Ｙとを互いに離れる方向に付勢する。つまり、複数の上段ガイドブロック４２の少なくとも何れかを、当該上段ガイドブロック４２に隣接する他の上段ガイドブロック４２から離れる方向に付勢する。これにより、複数の上段ガイドブロック４２が設けられた場合において、これらの位置関係を効果的に保つことが可能となる。
　同様に、天井搬送車１では、下段ガイドブロック４４は、複数設けられている（分轄するように構成されている）。下段ガイドブロック保持部４８は、第１下段ガイドブロック４４Ｘと第２下段ガイドブロック４４Ｙとを互いに離れる方向に付勢する。つまり、複数の下段ガイドブロック４４の少なくとも何れかを、当該下段ガイドブロック４４に隣接する他の下段ガイドブロック４４から離れる方向に付勢する。これにより、複数の下段ガイドブロック４４が設けられた場合において、これらの位置関係を効果的に保つことが可能となる。
　天井搬送車１では、上段ガイドブロック保持部４５は、側方向におけるセンターフレーム１５及び上段スライド部４１の一端側にて、第１上段ガイドブロック４２Ｘの位置を保持し、側方向におけるセンターフレーム１５及び上段スライド部４１の他端側にて、第２上段ガイドブロック４２Ｙの位置を保持する。これにより、第１上段ガイドブロック４２Ｘと第２上段ガイドブロック４２Ｙとの間隔を、可能な限り広げることができる。ラテラルユニット４によりユニット９をスライドさせる際、最も有利な位置に第１上段ガイドブロック４２Ｘ及び第２上段ガイドブロック４２Ｙを位置させることができる。よって、上段スライド部４１の傾きを抑制し、スライドさせたユニット９の傾きを抑制することが可能となる。
　同様に、天井搬送車１では、下段ガイドブロック保持部４８は、側方向における上段スライド部４１及び下段スライド部４３の一端側にて、第１下段ガイドブロック４４Ｘの位置を保持し、側方向における上段スライド部４１及び下段スライド部４３の他端側にて、第２下段ガイドブロック４４Ｙの位置を保持する。これにより、第１下段ガイドブロック４４Ｘと第２下段ガイドブロック４４Ｙとの間隔を可能な限り広げることができる。ラテラルユニット４によりユニット９をスライドさせる際、最も有利な位置に第１下段ガイドブロック４４Ｘ及び第２下段ガイドブロック４４Ｙを位置させることができる。よって、下段スライド部４３が傾きを抑制し、スライドさせたユニット９が傾きを抑制することが可能となる。
　天井搬送車１では、ラテラルユニット４は、上段スライド部４１、上段ガイドブロック４２及び上段ガイドブロック保持部４５に加え、下段スライド部４３、下段ガイドブロック４４及び下段ガイドブロック保持部４８を有する。このように上下に複数段の構成を採用することにより、ラテラルユニット４のスライド量（ストローク）を容易に大きくすることが可能となる。
　天井搬送車１では、ラテラルユニット４は、ユニット９を側方向における一方側と他方側との双方にスライドさせる。このような構成では、上段ガイドブロック４２及び下段ガイドブロック４４は側方向の位置が不定であることから、位置関係を上段ガイドブロック保持部４５及び下段ガイドブロック保持部４８により保って上段スライド部４１及び下段スライド部４３が想定以上に傾く角度の変化を抑えるという効果は顕著になる。
　以上、一実施形態について説明したが、本発明の一側面は、上記実施形態に限られない。発明の一側面の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
　上記実施形態では、上段ガイドブロック４２が複数設けられており、第１上段ガイドブロック４２Ｘ及び第２上段ガイドブロック４２Ｙが含まれるが、上段ガイドブロック４２の数は限定されず、１つであってもよいし、３つ以上であってもよい。同様に、下段ガイドブロック４４の数も限定されず、１つであってもよいし、３つ以上であってもよい。例えば図５に示されるように、変形例に係るラテラルユニット１０４では、分割されていない１つの上段ガイドブロック１４２が設けられ、分割されていない１つの下段ガイドブロック１４４が設けられていてもよい。上段ガイドブロック１４２及び下段ガイドブロック１４４は、側方向に長尺の形状（例えば長手方向の寸法が短手方向の寸法の２倍以上の形状）を呈する。この場合、図示するように、ストッパ６１Ｃ，６１Ｄ，６２Ｃ，６２Ｄ及び第２磁性部材４７Ｃ，４７Ｄ，５０Ｃ，５０Ｄは設けられていなくてもよい。
　上記実施形態又は変形例では、第１磁性部材４６Ｘ，４６Ｙは、隙間を介して第２磁性部材４７Ａ～４７Ｄに引き付けられるが、これに限定されない。第１磁性部材４６Ｘ，４６Ｙは、例えば第２磁性部材４７Ａ～４７Ｄを保護する保護部材を介して、第２磁性部材４７Ａ～４７Ｄに引き付けられてもよい。同様に、第１磁性部材４９Ｘ，４９Ｙは、隙間を介して第２磁性部材５０Ａ～５０Ｄに引き付けられるが、これに限定されない。第１磁性部材４９Ｘ，４９Ｙは、例えば第２磁性部材５０Ａ～５０Ｄを保護する保護部材を介して、第２磁性部材５０Ａ～５０Ｄに引き付けられてもよい。この場合、第１磁性部材４６Ｘ，４６Ｙ，４９Ｘ，４９Ｙと第２磁性部材４７Ａ～４７Ｄ，５０Ａ～５０Ｄとが直接接触しないことから、これらの損傷を抑えることが可能となる。保護部材は特に限定されず、種々の公知部材を用いてもよい。
　上記実施形態又は変形例では、上段ガイドブロック保持部４５及び下段ガイドブロック保持部４８は、磁力を利用して上段ガイドブロック４２及び下段ガイドブロック４４の位置を保持したが、これに限定されない。上段ガイドブロック保持部４５及び下段ガイドブロック保持部４８は、バネ等の弾性体の弾性力を利用して上段ガイドブロック４２及び下段ガイドブロック４４の位置を保持してもよい。
　上記実施形態又は変形例における各構成には、上述した材料及び形状に限定されず、様々な材料及び形状を適用することができる。上記実施形態又は変形例における各構成は、他の実施形態又は変形例における各構成に任意に適用することができる。上記実施形態又は変形例における各構成の一部は、本発明の一態様の要旨を逸脱しない範囲で適宜に省略可能である。
　なお、以下、本発明の一態様の構成要件を記載する。
＜発明１＞
　物品を保持する物品保持部を含むユニットを、走行方向と直交する第１方向に沿ってスライドさせるスライド機構を備え、
　前記スライド機構は、
　　搬送車本体に対して前記第１方向に沿って移動するスライド部と、
　　前記搬送車本体と前記スライド部との間に設けられ、前記搬送車本体及び前記スライド部のそれぞれに対して前記第１方向に沿って摺動可能なガイドブロックと、
　　前記スライド部の移動の際に前記搬送車本体及び前記スライド部の何れか一方と前記ガイドブロックとの位置関係が保たれるように、前記ガイドブロックの位置を保持するガイドブロック保持部と、を有する、天井搬送車。
＜発明２＞
　前記ガイドブロック保持部は、
　　前記ガイドブロックに設けられ、磁石又は磁性体を含む第１磁性部材と、
　　前記搬送車本体及び前記スライド部の少なくとも一方に設けられ、前記第１磁性部材に引き付けられる磁石又は磁性体を含む第２磁性部材と、を含む、発明１に記載の天井搬送車。
＜発明３＞
　前記第１磁性部材は、前記ガイドブロックの位置を保持している状態において、隙間又は保護部材を介して前記第２磁性部材に引き付けられる、発明２に記載の天井搬送車。
＜発明４＞
　前記ガイドブロックは、複数設けられ、
　前記ガイドブロック保持部は、複数の前記ガイドブロックの少なくとも何れかを、当該ガイドブロックに隣接する他の前記ガイドブロックから離れる方向に付勢する、発明１～３の何れか一項に記載の天井搬送車。
＜発明５＞
　前記ガイドブロックは、第１ガイドブロックと第２ガイドブロックとを含み、
　前記ガイドブロック保持部は、
　　前記第１方向における前記搬送車本体及び前記スライド部の少なくとも何れかの一端側にて、前記第１ガイドブロックの位置を保持し、
　　前記第１方向における前記搬送車本体及び前記スライド部の少なくとも何れかの他端側にて、前記第２ガイドブロックの位置を保持する、発明４に記載の天井搬送車。
＜発明６＞
　前記スライド機構は、
　　前記スライド部に対して前記第１方向に沿って移動する他のスライド部と、
　　前記スライド部と前記他のスライド部との間に設けられ、前記スライド部と前記他のスライド部のそれぞれに対して前記第１方向に沿って摺動可能な他のガイドブロックと、
　　前記他のスライド部の移動の際に前記スライド部及び前記他のスライド部の何れか一方と前記他のガイドブロックとの位置関係が保たれるように、前記他のガイドブロックの位置を保持する他のガイドブロック保持部と、を有する、発明１～５の何れか一項に記載の天井搬送車。
＜発明７＞
　前記スライド機構は、前記ユニットを前記第１方向における一方側と他方側との双方にスライドさせる、発明１～６の何れか一項に記載の天井搬送車。
　１…天井搬送車、４，１０４…ラテラルユニット（スライド機構）、７…保持ユニット（物品保持部）、９…ユニット、１５…センターフレーム（搬送車本体）、４１…上段スライド部（スライド部）、４２，１４２…上段ガイドブロック（ガイドブロック）、４２Ｘ…第１上段ガイドブロック（第１ガイドブロック）、４２Ｙ…第２上段ガイドブロック（第２ガイドブロック）、４３…下段スライド部（他のスライド部）、４４，１４４…下段ガイドブロック（他のガイドブロック）、４４Ｘ…第１下段ガイドブロック、４４Ｙ…第２下段ガイドブロック、４５…上段ガイドブロック保持部（ガイドブロック保持部）、４６Ｘ，４６Ｙ，４９Ｘ，４９Ｙ…第１磁性部材、４７Ａ，４７Ｂ，４７Ｃ，４７Ｄ，５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃ，５０Ｄ…第２磁性部材、４８…下段ガイドブロック保持部（他のガイドブロック保持部）、２００…ＦＯＵＰ（物品）。

Claims (7)

  1. 　物品を保持する物品保持部を含むユニットを、走行方向と直交する第１方向に沿ってスライドさせるスライド機構を備え、
    　前記スライド機構は、
    　　搬送車本体に対して前記第１方向に沿って移動するスライド部と、
    　　前記搬送車本体と前記スライド部との間に設けられ、前記搬送車本体及び前記スライド部のそれぞれに対して前記第１方向に沿って摺動可能なガイドブロックと、
    　　前記スライド部の移動の際に前記搬送車本体及び前記スライド部の何れか一方と前記ガイドブロックとの位置関係が保たれるように、前記ガイドブロックの位置を保持するガイドブロック保持部と、を有する、天井搬送車。
  2. 　前記ガイドブロック保持部は、
    　　前記ガイドブロックに設けられ、磁石又は磁性体を含む第１磁性部材と、
    　　前記搬送車本体及び前記スライド部の少なくとも一方に設けられ、前記第１磁性部材に引き付けられる磁石又は磁性体を含む第２磁性部材と、を含む、請求項１に記載の天井搬送車。
  3. 　前記第１磁性部材は、前記ガイドブロックの位置を保持している状態において、隙間又は保護部材を介して前記第２磁性部材に引き付けられる、請求項２に記載の天井搬送車。
  4. 　前記ガイドブロックは、複数設けられ、
    　前記ガイドブロック保持部は、複数の前記ガイドブロックの少なくとも何れかを、当該ガイドブロックに隣接する他の前記ガイドブロックから離れる方向に付勢する、請求項１に記載の天井搬送車。
  5. 　前記ガイドブロックは、第１ガイドブロックと第２ガイドブロックとを含み、
    　前記ガイドブロック保持部は、
    　　前記第１方向における前記搬送車本体及び前記スライド部の少なくとも何れかの一端側にて、前記第１ガイドブロックの位置を保持し、
    　　前記第１方向における前記搬送車本体及び前記スライド部の少なくとも何れかの他端側にて、前記第２ガイドブロックの位置を保持する、請求項４に記載の天井搬送車。
  6. 　前記スライド機構は、
    　　前記スライド部に対して前記第１方向に沿って移動する他のスライド部と、
    　　前記スライド部と前記他のスライド部との間に設けられ、前記スライド部と前記他のスライド部のそれぞれに対して前記第１方向に沿って摺動可能な他のガイドブロックと、
    　　前記他のスライド部の移動の際に前記スライド部及び前記他のスライド部の何れか一方と前記他のガイドブロックとの位置関係が保たれるように、前記他のガイドブロックの位置を保持する他のガイドブロック保持部と、を有する、請求項１に記載の天井搬送車。
  7. 　前記スライド機構は、前記ユニットを前記第１方向における一方側と他方側との双方にスライドさせる、請求項１に記載の天井搬送車。
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