TW202408899A - 高架搬送車 - Google Patents

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小林誠
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日商村田機械股份有限公司
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    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
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Abstract

本發明之高架搬送車具備有：滑動機構，其使包含有物品保持部之單元沿著與行駛方向正交之第1方向滑動，物品保持部對物品進行保持。滑動機構具有：滑動部，其相對於搬送車本體沿著第1方向移動；引導塊，其設置於搬送車本體與滑動部之間，可相對於搬送車本體及滑動部分別沿著第1方向滑動；及引導塊保持部，其以於滑動部移動時使搬送車本體及滑動部的任一者與引導塊的位置關係維持不變之方式，保持引導塊的位置。

Description

高架搬送車
本發明之一態樣係關於一種高架搬送車。
例如，專利文獻1中記載有一種高架搬送車，其具備有：升降驅動部(單元)，其使升降台升降；及橫移部(滑動機構)，其使升降驅動部沿橫向進行橫移。 [先前技術文獻] [專利文獻]
專利文獻1：日本專利特開2007-331906號公報
(發明所欲解決之問題)
於上述高架搬送車中，藉由滑動機構使單元滑動時，其一面利用引導塊引導滑動部一面使其相對於搬送車本體移動。於此種高架搬送車中，滑動之單元係對應於自搬送車本體的突出量而傾斜。又，此時引導塊的位置(單元的支持狀態)未固定，其結果，存在單元的傾斜角度隨著每次滑動而變化之虞。
因此，本發明之一態樣的目的在於，提供一種可抑制因滑動機構進行滑動之單元超出預期傾斜之角度變化的高架搬送車。 (解決問題之技術手段)
本發明之一態樣的高架搬送車其具備有：滑動機構，其使包含有物品保持部之單元沿著與行駛方向正交之第1方向滑動，物品保持部對物品進行保持；且滑動機構具有：滑動部，其相對於搬送車本體沿著第1方向移動；引導塊，其設置於搬送車本體與滑動部之間，可相對於搬送車本體及滑動部分別沿著第1方向滑動；及引導塊保持部，其以於滑動部移動時使搬送車本體及滑動部的任一者與引導塊的位置關係維持不變之方式，保持引導塊的位置。
本發明人等經過多次潛心鑽研，發現如下結果：於高架搬送車中，藉由滑動機構使單元滑動時，若引導塊可於第1方向上自由移動(第1方向的位置不固定)，則依照引導塊於第1方向的位置，滑動部可能超出預期地大幅傾斜，從而導致傾斜角度發生變化。因此，於本發明之一態樣中，滑動部移動時，藉由引導塊保持部維持著搬送車本體及滑動部的任一者與引導塊的位置關係(以下，亦簡稱為「位置關係」)。藉此，其可抑制滑動部超出預期地大幅傾斜。即，可抑制藉由滑動機構進行滑動之單元超出預期地傾斜之角度變化。
於本發明之一態樣的高架搬送車中，引導塊保持部亦可包含有：第1磁性構件，其設置於引導塊，包含有磁鐵或磁性體；及第2磁性構件，其設置於搬送車本體及滑動部的至少一者，包含有可被第1磁性構件吸引之磁鐵或磁性體。在該情形時，可將第1磁性構件及第2磁性構件用作引導塊保持部，從而可抑制因滑動機構進行滑動之單元超出預期地傾斜之角度變化。
於本發明之一態樣的高架搬送車中，第1磁性構件亦可於保持著引導塊的位置之狀態下，隔著間隙或保護構件被第2磁性構件吸引。在該情形時，第1磁性構件與第2磁性構件不直接接觸，因此可抑制其等受到損傷。
於本發明之一態樣的高架搬送車中，引導塊亦可設置有複數個，且引導塊保持部將複數個引導塊的至少任一者，向自鄰接於該引導塊的另一引導塊離開之方向施力。藉此，於設置有複數個引導塊時，其可有效維持複數個引導塊的至少任一者的位置關係。
於本發明之一態樣的高架搬送車中，引導塊亦可包含有第1引導塊及第2引導塊，且引導塊保持部於第1方向上之搬送車本體及滑動部的至少任一者的一端側，保持第1引導塊的位置，引導塊保持部於第1方向上之搬送車本體及滑動部的至少任一者的另一端側，保持第2引導塊的位置。在該情形時，其可將第1引導塊與第2引導塊的間隔儘可能地擴大。藉此，可抑制滑動部傾斜，從而抑制滑動之單元傾斜。
於本發明之一態樣的高架搬送車中，滑動機構亦可具有：另一滑動部，其相對於滑動部沿著第1方向移動；另一引導塊，其設置於滑動部與另一滑動部之間，可相對於滑動部及另一滑動部分別沿著第1方向滑動；及另一引導塊保持部，其以於另一滑動部移動時使滑動部及另一滑動部的任一者與另一引導塊的位置關係維持不變之方式，保持另一引導塊的位置。在該情形時，可容易地增大滑動機構的滑動量(行程)。
於本發明之一態樣的高架搬送車中，滑動機構亦可使單元向第1方向之一側及另一側的兩側滑動。於此種構成中，引導塊大多為第1方向的位置不固定之情形，因此藉由引導塊保持部維持位置關係而抑制滑動部超出預期地傾斜之角度變化，其效果顯著。 (對照先前技術之功效)
根據本發明之一態樣，提供一種可抑制藉由滑動機構進行滑動之單元超出預期傾斜之角度變化的高架搬送車。
以下，參照圖式，對本發明一實施形態進行詳細說明。於圖式說明中，對相同構件被標示相同符號，並省略其重複之說明。用語「上」及「下」對應於鉛直方向的上下方向。
如圖1所示，本發明實施形態的高架搬送車1沿著軌道20行駛，該軌道20鋪設於製造半導體元件之無塵室的天花板附近。軌道20形成高架搬送車1的行駛路徑。高架搬送車1搬送收容有複數片半導體晶圓之前開式晶圓盒(FOUP，Front Opening Unified Pod)(物品)200，及對裝卸埠300等進行FOUP200的移載，該裝卸埠300設置於對半導體晶圓實施各種處理之處理裝置。
高架搬送車1具備有框架單元2、行駛單元3、側向單元(滑動機構)4、θ單元5、升降驅動單元6、保持單元(物品保持部)7、及搬送車控制器8。框架單元2具有中央框架(搬送車本體)15、前框架16、及後框架17。前框架16自中央框架15之前側(高架搬送車1的行駛方向上之前側)的端部向下側延伸。後框架17自中央框架15之後側(高架搬送車1的行駛方向上之後側)的端部向下側延伸。
行駛單元3配置於中央框架15的上側。行駛單元3例如自沿著軌道20鋪設之高頻電流線以非接觸方式接受電力的供給，藉此沿著軌道20行駛。側向單元4配置於中央框架15的下側。側向單元4使θ單元5、升降驅動單元6及保持單元7相對於中央框架15向側方向滑動。
再者，將θ單元5、升降驅動單元6及保持單元7亦簡稱為單元9。將側向單元4使單元9滑動之側方向(與高架搬送車1的行駛方向正交之第1方向、橫向、側方)亦簡稱為側方。側向單元4藉由未圖示的驅動機構(例如驅動馬達、滑輪及傳送帶等)的驅動力，使單元9向側方向之一側及另一側的兩側(圖中的左方向及右方向)滑動。
θ單元5配置於側向單元4的下側。θ單元5使升降驅動單元6及保持單元7於水平面內旋動。升降驅動單元6配置於θ單元5的下側。升降驅動單元6藉由連接於保持單元7之複數條傳送帶B的捲出及捲入而使保持單元7升降。保持單元7配置於升降驅動單元6的下側。保持單元7設置為可藉由升降驅動單元6而升降。保持單元7具有沿著水平方向可開閉的一對夾具12。保持單元7藉由一對夾具12保持FOUP200的凸緣201。
搬送車控制器8配置於中央框架15。搬送車控制器8係包含有中央處理單元(CPU，Central Processing Unit)、唯讀記憶體(ROM，Read only memory)及隨機存取記憶體(RAM，Random access memory)等之電子控制單元。搬送車控制器8控制高架搬送車1的各部。搬送車控制器8亦可包含有複數個電子控制單元。又，搬送車控制器8亦可配置於前框架16等。
作為一例，以如上方式構成之高架搬送車1係以如下方式進行動作。於自裝卸埠300向高架搬送車1移載FOUP200時，未保持FOUP200之高架搬送車1停止於裝卸埠300上方的預定位置。當要在停止位置下降之保持單元7的位置相對於裝卸埠300(載置於裝卸埠300之FOUP200)之既定位置偏離時，藉由驅動側向單元4及θ單元5，而調整保持單元7的水平位置及水平角度。然後，升降驅動單元6使保持單元7下降，保持單元7保持載置於裝卸埠300之F0UP200的凸緣201。然後，升降驅動單元6使保持單元7上升至上升端，將FOUP200配置於前框架16與後框架17之間。然後，保持著FOUP200之高架搬送車1開始行駛。
另一方面，當自高架搬送車1向裝卸埠300移載FOUP200時，保持著FOUP200之高架搬送車1停止於裝卸埠300上方的預定位置。當要在停止位置下降之保持單元7(FOUP200)的位置相對於裝卸埠300之既定位置偏離時，驅動側向單元4及θ單元5，藉此調整保持單元的水平位置及水平角度。然後，升降驅動單元6使保持單元7下降，將FOUP200載置於裝卸埠300，保持單元7解除對FOUP200的凸緣201之保持。然後，升降驅動單元6使保持單元7上升至上升端。然後，未保持FOUP200之高架搬送車1開始行駛。
接下來，對側向單元4的構成進行說明。
如圖2所示，側向單元4具有上段滑動部(滑動部)41、上段引導塊(引導塊)42、下段滑動部(另一滑動部)43、下段引導塊(另一引導塊)44、上段引導塊保持部(引導塊保持部)45及下段引導塊保持部(另一引導塊保持部)48。
[上段滑動部] 如圖2及圖3(a)所示，上段滑動部41相對於中央框架15沿著側方向移動。上段滑動部41被構成為，於中央框架15之下方，可於側方向的一側及另一側的兩側移動。
[上段引導塊] 上段引導塊42被設置於中央框架15與上段滑動部41之間。上段引導塊42可相對於中央框架15及上段滑動部41分別沿著側方向滑動。上段引導塊42例如為線性運動引導(LM引導)塊。
於上段引導塊42的上部形成有向上方開口之上槽42a。以向下方突出之方式設置於中央框架15下部之第1上段導軌部15a係可沿著側方向滑動地卡合於上槽42a。上槽42a及第1上段導軌部15a沿著側方向延伸。於上段引導塊42的下部形成有向下方開口之下槽42b。以向上方突出之方式設置於上段滑動部41上部之第2上段導軌部41a係可沿著側方向滑動地卡合於下槽42b。下槽42b及第2上段導軌部41a沿著側方向延伸。
上段引導塊42設置有複數個。此處，上段引導塊42包含有第1上段引導塊(第1引導塊)42X及第2上段引導塊(第2引導塊)42Y。如上所述之上段引導塊42引導上段滑動部41於側方向上之移動。上段引導塊42限制上段滑動部41於高架搬送車1的行駛方向上之移動。上段引導塊42於上下方向上將中央框架15與上段滑動部41連結。上段引導塊42於側方向上不固定，而可於側方向上自由移動(側方向的位置不固定)。
[下段滑動部] 如圖2及圖3(b)所示，下段滑動部43相對於上段滑動部41沿著側方向移動。下段滑動部43被構成為，於上段滑動部41之下方，可於側方向的一側及另一側的兩側移動。下段滑動部43被連結有θ單元5。
[下段引導塊] 下段引導塊44被設置於上段滑動部41與下段滑動部43之間。下段引導塊44可相對於上段滑動部41及下段滑動部43分別沿著側方向滑動。下段引導塊44例如為線性運動引導(LM引導)塊。
於下段引導塊44的上部形成有向上方開口之上槽44a。以向下方突出之方式設置於上段滑動部41下部之第1下段導軌部41b，其係可沿著側方向滑動地卡合於上槽44a。上槽44a及第1下段導軌部41b沿著側方向延伸。於下段引導塊44的下部形成有向下方開口之下槽44b。以向上方突出之方式設置於下段滑動部43上部之第2下段導軌部43a，其係可沿著側方向滑動地卡合於下槽44b。下槽44b及第2下段導軌部43a沿著側方向延伸。
下段引導塊44設置有複數個。此處，下段引導塊44包含有第1下段引導塊44X及第2下段引導塊44Y。如上所述之下段引導塊44引導下段滑動部43於側方向上之移動。下段引導塊44限制下段滑動部43於高架搬送車1的行駛方向上之移動。下段引導塊44於上下方向上將上段滑動部41與下段滑動部43連結。下段引導塊44於側方向上不固定，而可於側方向上自由移動(側方向的位置不固定)。
[上段引導塊保持部] 上段引導塊保持部45以於上段滑動部41移動時使中央框架15及上段滑動部41的任一者與上段引導塊42的位置關係維持不變之方式，保持上段引導塊42的位置。上段引導塊保持部45將第1上段引導塊42X及第2上段引導塊42Y向兩者彼此分離之方向施力。上段引導塊保持部45於側方向上之中央框架15及上段滑動部41的一端側，保持第1上段引導塊42X的位置，於側方向上之中央框架15及上段滑動部41的另一端側，保持第2上段引導塊42Y的位置。
上段引導塊保持部45利用相互吸引之磁力(換言之，由磁力產生之引力或吸引力)，保持上段引導塊42的位置。上段引導塊保持部45具有第1磁性構件46X、46Y、及第2磁性構件47A～47D，第1磁性構件46X、46Y包含有磁鐵或磁性體，第2磁性構件47A～47D包含有可被第1磁性構件46X、46Y吸引之磁鐵或磁性體。第1磁性構件46X被設置於第1上段引導塊42X的側方向外側(與第2上段引導塊42Y側為相反側)。第1磁性構件46Y被設置於第2上段引導塊42Y的側方向外側(與第1上段引導塊42X側為相反側)。
第2磁性構件47A經由止動部61A固定於中央框架15。止動部61A係於中央框架15的下部，被設置於第1上段導軌部15a的側方向外側。止動部61A被配置於中央框架15的側方向一端部。止動部61A藉由抵住第1上段引導塊42X，以防止第1上段引導塊42X自第1上段導軌部15a脫落。
第2磁性構件47A被固定於止動部61A的下表面。第2磁性構件47A被配置為，較止動部61A更向側方向外側偏移。換言之，第2磁性構件47A的側方向內側的面所處位置較止動部61A的側方向內側的面更靠側方向的外側。藉此，當第1上段引導塊42X抵住止動部61A時，第2磁性構件47A與第1上段引導塊42X之間形成間隙，以防止其等的直接接觸。其結果，第1磁性構件46X於保持第1上段引導塊42X的位置之狀態下，隔著間隙被第2磁性構件47A以磁力吸引。
第2磁性構件47B經由止動部61B固定於上段滑動部41。止動部61B係於上段滑動部41的上部，被設置於第2上段導軌部41a的側方向外側。止動部61B被配置於上段滑動部41的側方向一端部。止動部61B藉由抵住第1上段引導塊42X，以防止第1上段引導塊42X自第2上段導軌部41a脫落。
第2磁性構件47B固定於止動部61B的上表面。第2磁性構件47B被配置為，較止動部61B更向側方向外側偏移。換言之，第2磁性構件47B的側方向內側的面所處位置較止動部61B的側方向內側的面更靠側方向的外側。藉此，當第1上段引導塊42X抵住止動部61B時，第2磁性構件47B與第1上段引導塊42X之間形成間隙，以防止其等的直接接觸。其結果，第1磁性構件46X在保持第1上段引導塊42X的位置之狀態下，隔著間隙被第2磁性構件47B以磁力吸引。
第2磁性構件47C經由止動部61C固定於中央框架15。止動部61C係於中央框架15的下部，被設置於第1上段導軌部15a的側方向外側。止動部61C被配置於中央框架15的側方向另一端部。止動部61C藉由抵住第2上段引導塊42Y，以防止第2上段引導塊42Y自第1上段導軌部15a脫落。
第2磁性構件47C被固定於止動部61C的下表面。第2磁性構件47C被配置為，較止動部61C更向側方向外側偏移。換言之，第2磁性構件47C的側方向內側的面所處位置較止動部61C的側方向內側的面更靠側方向的外側。藉此，當第2上段引導塊42Y抵住止動部61C時，第2磁性構件47C與第2上段引導塊42Y之間形成間隙，以防止其等的直接接觸。其結果，第1磁性構件46Y在保持第2上段引導塊42Y的位置之狀態下，隔著間隙被第2磁性構件47C以磁力吸引。
第2磁性構件47D經由止動部61D被固定於上段滑動部41。止動部61D係於上段滑動部41的上部，被設置於第2上段導軌部41a的側方向外側。止動部61D被配置於上段滑動部41的側方向另一端部。止動部61D藉由抵住第2上段引導塊42Y，以防止第2上段引導塊42Y自第2上段導軌部41a脫落。
第2磁性構件47D被固定於止動部61D的上表面。第2磁性構件47D被配置為，較止動部61D更向側方向外側偏移。換言之，第2磁性構件47D的側方向內側的面所處位置較止動部61D的側方向內側的面更靠側方向的外側。藉此，當第2上段引導塊42Y抵住止動部61D時，第2磁性構件47D與第2上段引導塊42Y之間形成間隙，以防止其等的直接接觸。其結果，第1磁性構件46Y在保持第2上段引導塊42Y的位置之狀態下，隔著間隙被第2磁性構件47D以磁力吸引。
[下段引導塊保持部] 下段引導塊保持部48以在下段滑動部43移動時使上段滑動部41及下段滑動部43的任一者與下段引導塊44的位置關係維持不變之方式，保持下段引導塊44的位置。下段引導塊保持部48將第1下段引導塊44X及第2下段引導塊44Y向兩者彼此分離之方向施力。下段引導塊保持部48於側方向上之上段滑動部41及下段滑動部43的一端側，保持第1下段引導塊44X的位置，於側方向上之上段滑動部41及下段滑動部43的另一端側，保持第2下段引導塊44Y的位置。
下段引導塊保持部48利用相互吸引之磁力，保持下段引導塊44的位置。下段引導塊保持部48具有第1磁性構件49X、49Y、及第2磁性構件50A～50D，第1磁性構件49X、49Y包含有磁鐵或磁性體，第2磁性構件50A～50D包含有可被第1磁性構件49X、49Y吸引之磁鐵或磁性體。第1磁性構件49X設置於第1下段引導塊44X的側方向外側(與第2下段引導塊44Y側為相反側)。第1磁性構件49Y被設置於第2下段引導塊44Y的側方向外側(與第1下段引導塊44X側為相反側)。
第2磁性構件50A經由止動部62A被固定於上段滑動部41。止動部62A係於上段滑動部41的下部，被設置於第1下段導軌部41b的側方向外側。止動部62A被配置於上段滑動部41的側方向一端部。止動部62A藉由抵住第1下段引導塊44X，以防止第1下段引導塊44X自第1下段導軌部41b脫落。第2磁性構件50A被固定於止動部62A的下表面。第2磁性構件50A被配置為，較止動部62A更向側方向外側偏移。換言之，第2磁性構件50A的側方向內側的面所處位置較止動部62A的側方向內側的面更靠側方向的外側。藉此，當第1下段引導塊44X抵住止動部62A時，第2磁性構件50A與第1下段引導塊44X之間形成間隙，以防止其等的直接接觸。其結果，第1磁性構件49X在保持第1下段引導塊44X的位置之狀態下，隔著間隙被第2磁性構件50A以磁力吸引。
第2磁性構件50B經由止動部62B被固定於下段滑動部43。止動部62B係於下段滑動部43的上部，被設置於第2下段導軌部43a的側方向外側。止動部62B被配置於下段滑動部43的側方向一端部。止動部62B藉由抵住第1下段引導塊44X，以防止第1下段引導塊44X自第2下段導軌部43a脫落。第2磁性構件50B被固定於止動部62B的上表面。第2磁性構件50B被配置為，較止動部62B更向側方向外側偏移。換言之，第2磁性構件50B的側方向內側的面所處位置較止動部62B的側方向內側的面更靠側方向的外側。藉此，在第1下段引導塊44X抵住止動部62B時，第2磁性構件50B與第1下段引導塊44X之間形成間隙，以防止其等的直接接觸。其結果，第1磁性構件49X在保持第1下段引導塊44X的位置之狀態下，隔著間隙被第2磁性構件50B以磁力吸引。
第2磁性構件50C經由止動部62C被固定於上段滑動部41。止動部62C係於上段滑動部41的下部，被設置於第1下段導軌部41b的側方向外側。止動部62C被配置於上段滑動部41的側方向另一端部。止動部62C藉由抵住第2下段引導塊44Y，以防止第2下段引導塊44Y自第1下段導軌部41b脫落。第2磁性構件50C被固定於止動部62C的下表面。第2磁性構件50C被配置為，較止動部62C更向側方向外側偏移。換言之，第2磁性構件50C的側方向內側的面所處位置較止動部62C的側方向內側的面更靠側方向的外側。藉此，當第2下段引導塊44Y抵住止動部62C時，第2磁性構件50C與第2下段引導塊44Y之間形成間隙，以防止其等的直接接觸。其結果，第1磁性構件49Y在保持第2下段引導塊44Y的位置之狀態下，隔著間隙被第2磁性構件50C以磁力吸引。
第2磁性構件50D經由止動部62D被固定於下段滑動部43。止動部62D係於下段滑動部43的上部，被設置於第2下段導軌部43a的側方向外側。止動部62D被配置於下段滑動部43的側方向另一端部。止動部62D藉由抵住第2下段引導塊44Y，以防止第2下段引導塊44Y自第2下段導軌部43a脫落。第2磁性構件50D被固定於止動部62D的上表面。第2磁性構件50D被配置為，較止動部62D更向側方向外側偏移。換言之，第2磁性構件47D的側方向內側的面所處位置較止動部62D的側方向內側的面更靠側方向的外側。藉此，當第2下段引導塊44Y抵住止動部62D時，第2磁性構件50D與第2下段引導塊44Y之間形成間隙，以防止其等的直接接觸。其結果，第1磁性構件49Y在保持第2下段引導塊44Y的位置之狀態下，隔著間隙被第2磁性構件50D以磁力吸引。
接下來，對側向單元4的動作例進行說明。
例如，如圖4所示，於側向單元4中，藉由未圖示的驅動機構的驅動力，一面利用上段引導塊42引導上段滑動部41，一面使其相對於中央框架15向側方向另一側滑動。與此同時，藉由未圖示的驅動機構的驅動力，一面利用下段引導塊44引導下段滑動部43，一面使其進一步相對於上段滑動部41向側方向另一側滑動。
在該情形時，第1上段引導塊42X隨著上段滑動部41的移動而一起沿著第1上段導軌部15a滑動。此時，第1上段引導塊42X藉由第1磁性構件46X被第2磁性構件47B以磁力吸引，而始終位於上段滑動部41的一端側。又，第2上段引導塊42Y隨著上段滑動部41的移動而一起沿著第2上段導軌部41a滑動。此時，第2上段引導塊42Y藉由第1磁性構件46Y被第2磁性構件47C以磁力吸引，而始終位於中央框架15的另一端側。
又，在該情形時，第1下段引導塊44X隨著下段滑動部43的移動而一起沿著第1下段導軌部41b滑動。此時，第1下段引導塊44X藉由第1磁性構件49X被第2磁性構件50B以磁力吸引，而始終位於下段滑動部43的一端側。第2下段引導塊44Y隨著下段滑動部43的移動而一起沿著第2下段導軌部43a滑動。此時，第2下段引導塊44Y藉由第1磁性構件49Y被第2磁性構件50C以磁力吸引，而始終位於上段滑動部41的另一端側。
再者，此處的動作例中已說明上段滑動部41及下段滑動部43向側方向另一側滑動之情形，但向側方向一側滑動之情形亦相同。
以上，於高架搬送車1中，在上段滑動部41移動時，藉由上段引導塊保持部45維持著中央框架15及上段滑動部41的任一者與上段引導塊42的位置關係。藉此，其可抑制上段滑動部41傾斜角度的非預期變化。同樣地，下段滑動部43移動時，藉由下段引導塊保持部48維持著上段滑動部41及下段滑動部43的任一者與下段引導塊44的位置關係。藉此，其可抑制下段滑動部43傾斜角度的非預期變化。
因此，根據高架搬送車1，其可抑制藉由側向單元4進行滑動之單元9超出預期地傾斜的角度變化。從而可抑制單元9的傾斜差異。藉由側向單元4可使單元9如預期地滑動。其可減輕搖晃，並提高移載穩定性(移載精度等)，及抑制所搭載之各種感測器的偏移量。
於高架搬送車1中，上段引導塊保持部45包含有設置於上段引導塊42之第1磁性構件46X、46Y、以及設置於中央框架15及上段滑動部41之第2磁性構件47A～47D。在該情形時，可將第1磁性構件46X、46Y及第2磁性構件47A～47D用作上段引導塊保持部45，從而可抑制藉由側向單元4進行滑動之單元9超出預期地傾斜之角度變化。
同樣地，於高架搬送車1中，下段引導塊保持部48包含有設置於下段引導塊44之第1磁性構件49X、49Y、以及設置於上段滑動部41及下段滑動部43之第2磁性構件50A～50D。在該情形時，可將第1磁性構件49X、49Y及第2磁性構件50A～50D用作下段引導塊保持部48，從而可抑制藉由側向單元4進行滑動之單元9超出預期地傾斜之角度變化。
於高架搬送車1中，第1磁性構件46X、46Y於保持著上段引導塊42的位置之狀態下，隔著間隙被第2磁性構件47A~47D所吸引。第1磁性構件49X、49Y於保持著下段引導塊44的位置之狀態下，隔著間隙被第2磁性構件50A～50D所吸引。在該情形時，第1磁性構件46X、46Y、49X、49Y與第2磁性構件47A～47D、50A～50D不直接接觸，因此可抑制其等受到損傷。
於高架搬送車1中，上段引導塊42被設置有複數個(以分開管理之方式構成)。上段引導塊保持部45將第1上段引導塊42X及第2上段引導塊42Y向彼此分離之方向施力。即，將複數個上段引導塊42的至少任一者，向自鄰接於該上段引導塊42之另一上段引導塊42離開之方向施力。藉此，於設置有複數個上段引導塊42時，其可有效維持該等的位置關係。
同樣地，於高架搬送車1中，下段引導塊44被設置有複數個(以分開管理之方式構成)。下段引導塊保持部48將第1下段引導塊44X及第2下段引導塊44Y向彼此分離之方向施力。即，將複數個下段引導塊44的至少任一者，向自鄰接於該下段引導塊44之另一下段引導塊44離開之方向施力。藉此，當設置有複數個下段引導塊44時，其可有效維持該等的位置關係。
於高架搬送車1中，上段引導塊保持部45於側方向上之中央框架15及上段滑動部41的一端側，保持第1上段引導塊42X的位置，於側方向上之中央框架15及上段滑動部41的另一端側，保持第2上段引導塊42Y的位置。藉此，其可將第1上段引導塊42X與第2上段引導塊42Y的間隔儘可能地擴大。藉由側向單元4使單元9滑動時，可使第1上段引導塊42X及第2上段引導塊42Y位於最有利之位置。藉此，其可抑制上段滑動部41傾斜，從而抑制滑動之單元9傾斜。
同樣地，於高架搬送車1中，下段引導塊保持部48於側方向上之上段滑動部41及下段滑動部43的一端側，保持第1下段引導塊44X的位置，於側方向上之上段滑動部41及下段滑動部43的另一端側，保持第2下段引導塊44Y的位置。藉此，其可將第1下段引導塊44X與第2下段引導塊44Y的間隔儘可能地擴大。藉由側向單元4使單元9滑動時，可使第1下段引導塊44X及第2下段引導塊44Y位於最有利之位置。藉此，其可抑制下段滑動部43傾斜，從而抑制滑動之單元9傾斜。
於高架搬送車1中，側向單元4除了上段滑動部41、上段引導塊42及上段引導塊保持部45以外，進一步具有下段滑動部43、下段引導塊44及下段引導塊保持部48。藉由採用如此分成上下數段的構成，其可容易地增大側向單元4的滑動量(行程)。
於高架搬送車1中，側向單元4使單元9向側方向之一側及另一側的兩側滑動。於此種構成中，上段引導塊42及下段引導塊44之側方向的位置並不固定，因此藉由上段引導塊保持部45及下段引導塊保持部48維持位置關係而抑制上段滑動部41及下段滑動部43超出預期地傾斜之角度變化，其效果顯著。
以上已對本發明一實施形態進行說明，但本發明之態樣並不受限於上述實施形態。於不脫離發明態樣的意旨之範圍內其可實施各種變更。
於上述實施形態中，上段引導塊42設置有複數個，包含有第1上段引導塊42X及第2上段引導塊42Y，但上段引導塊42的數量並不受限定，亦可為1個，亦可為3個以上。同樣地，下段引導塊44之數量亦不受限定，亦可為1個，亦可為3個以上。例如，如圖5所示，於變化例之側向單元104中，亦可設置有未分割之1個上段引導塊142，且設置有未分割之1個下段引導塊144。上段引導塊142及下段引導塊144於側方向上呈長條形狀(例如長邊方向的尺寸為短邊方向的尺寸2倍以上之形狀)。在該情形時，如圖所示，亦可不設置止動部61C、61D、62C、62D及第2磁性構件47C、47D、50C、50D。
於上述實施形態或變化例中，第1磁性構件46X、46Y隔著間隙被第2磁性構件47A～47D所吸引，但本發明並不受限於此。第1磁性構件46X、46Y亦可隔著例如保護第2磁性構件47A～47D之保護構件被第2磁性構件47A～47D所吸引。同樣地，第1磁性構件49X、49Y隔著間隙被第2磁性構件50A～50D所吸引，但本發明並不受限於此。第1磁性構件49X、49Y亦可隔著例如保護第2磁性構件50A～50D之保護構件被第2磁性構件50A～50D所吸引。在該情形時，第1磁性構件46X、46Y、49X、49Y與第2磁性構件47A～47D、50A～50D不直接接觸，因此可抑制其等受到損傷。保護構件並不特別受限，其可採用各種的周知構件。
於上述實施形態或變化例中，雖然上段引導塊保持部45及下段引導塊保持部48利用磁力保持上段引導塊42及下段引導塊44的位置，但本發明並不受限於此。上段引導塊保持部45及下段引導塊保持部48亦可利用彈簧等彈性體的彈力保持上段引導塊42及下段引導塊44的位置。
上述實施形態或變化例之各構成可被適用各種材料及形狀，而不受限於上述材料及形狀。上述實施形態或變化例之各構成可任意適用於其他實施形態或變化例之各構成。上述實施形態或變化例之各構成的一部分在不脫離本發明態樣的意旨之範圍內可被適當省略。
再者，以下記載本發明之一態樣的構成要件。 ＜發明態樣1＞ 一種高架搬送車，其具備有： 滑動機構，其使包含有物品保持部之單元沿著與行駛方向正交之第1方向滑動，上述物品保持部對物品進行保持；且 上述滑動機構具有： 滑動部，其相對於搬送車本體沿著上述第1方向移動； 引導塊，其被設置於上述搬送車本體與上述滑動部之間，可相對於上述搬送車本體及上述滑動部分別沿著上述第1方向滑動；及 引導塊保持部，其以於上述滑動部移動時使上述搬送車本體及上述滑動部的任一者與上述引導塊的位置關係維持不變之方式，保持上述引導塊的位置。 ＜發明態樣2＞ 如發明態樣1之高架搬送車，其中， 上述引導塊保持部包含有： 第1磁性構件，其設置於上述引導塊，包含有磁鐵或磁性體；及 第2磁性構件，其設置於上述搬送車本體及上述滑動部的至少一者，包含有可被上述第1磁性構件吸引之磁鐵或磁性體。 ＜發明態樣3＞ 如發明態樣2之高架搬送車，其中， 上述第1磁性構件於保持著上述引導塊的位置之狀態下，隔著間隙或保護構件被上述第2磁性構件所吸引。 ＜發明態樣4＞ 如發明態樣1至3中任一項之高架搬送車，其中， 上述引導塊設置有複數個，且 上述引導塊保持部將複數個上述引導塊的至少任一者，向自鄰接於該引導塊的另一上述引導塊離開之方向施力。 ＜發明態樣5＞ 如發明態樣4之高架搬送車，其中， 上述引導塊包含有第1引導塊及第2引導塊，且 上述引導塊保持部於上述第1方向上之上述搬送車本體及上述滑動部的至少任一者的一端側，保持上述第1引導塊的位置， 上述引導塊保持部於上述第1方向上之上述搬送車本體及上述滑動部的至少任一者的另一端側，保持上述第2引導塊的位置。 ＜發明態樣6＞ 如發明態樣1至5中任一項之高架搬送車，其中， 上述滑動機構具有： 另一滑動部，其相對於上述滑動部沿著上述第1方向移動； 另一引導塊，其被設置於上述滑動部與上述另一滑動部之間，可相對於上述滑動部及上述另一滑動部分別沿著上述第1方向滑動；及 另一引導塊保持部，其以於上述另一滑動部移動時使上述滑動部及上述另一滑動部的任一者與上述另一引導塊的位置關係維持不變之方式，保持上述另一引導塊的位置。 ＜發明態樣7＞ 如發明態樣1至6中任一項之高架搬送車，其中， 上述滑動機構使上述單元向上述第1方向之一側及另一側的兩側滑動。
1:高架搬送車 2:框架單元 3:行駛單元 4,104:側向單元(滑動機構) 5:θ單元 6:升降驅動單元 7:保持單元(物品保持部) 8:搬送車控制器 9:單元 12:夾具 15:中央框架(搬送車本體) 15a:第1上段導軌部 16:前框架 17:後框架 20:軌道 41:上段滑動部(滑動部) 41a:第2上段導軌部 41b:第1下段導軌部 42,142:上段引導塊(引導塊) 42a:上槽 42b:下槽 42X:第1上段引導塊(第1引導塊) 42Y:第2上段引導塊(第2引導塊) 43:下段滑動部(另一滑動部) 43a:第2下段導軌部 44,144:下段引導塊(另一引導塊) 44a:上槽 44b:下槽 44X:第1下段引導塊 44Y:第2下段引導塊 45:上段引導塊保持部(引導塊保持部) 46X,46Y,49X,49Y:第1磁性構件 47A,47B,47C,47D,50A,50B,50C,50D:第2磁性構件 48:下段引導塊保持部(另一引導塊保持部) 61A,61B,61C,61D,62A,62B,62C,62D:止動部 200:FOUP(物品) 201:凸緣 300:裝卸埠 B:傳送帶
圖1係表示本發明一實施形態之高架搬送車的側視圖。 圖2係將圖1之側向單元放大表示的前視圖。 圖3(a)係表示圖2中上段引導塊的概略剖視圖。圖3(b)係表示圖2中下段引導塊的概略剖視圖。 圖4係表示圖2中側向單元滑動時的前視圖。 圖5係表示變化例的側向單元滑動時的前視圖。
2:框架單元
4:側向單元(滑動機構)
5:θ單元
6:升降驅動單元
7:保持單元(物品保持部)
9:單元
15:中央框架(搬送車本體)
15a:第1上段導軌部
41:上段滑動部(滑動部)
41a:第2上段導軌部
41b:第1下段導軌部
42:上段引導塊(引導塊)
42X:第1上段引導塊(第1引導塊)
42Y:第2上段引導塊(第2引導塊)
43:下段滑動部(另一滑動部)
43a:第2下段導軌部
44:下段引導塊(另一引導塊)
44X:第1下段引導塊
44Y:第2下段引導塊
45:上段引導塊保持部(引導塊保持部)
46X,46Y,49X,49Y:第1磁性構件
47A,47B,47C,47D,50A,50B,50C,50D:第2磁性構件
48:下段引導塊保持部(另一引導塊保持部)
61A,61B,61C,61D,62A,62B,62C,62D:止動部
B:傳送帶

Claims (7)

  1. 一種高架搬送車，其具備有： 滑動機構，其使包含有物品保持部之單元沿著與行駛方向正交之第1方向滑動，上述物品保持部對物品進行保持；且 上述滑動機構具有： 滑動部，其相對於搬送車本體沿著上述第1方向移動； 引導塊，其被設置於上述搬送車本體與上述滑動部之間，可相對於上述搬送車本體及上述滑動部分別沿著上述第1方向滑動；及 引導塊保持部，其以於上述滑動部移動時使上述搬送車本體及上述滑動部的任一者與上述引導塊的位置關係維持不變之方式，保持上述引導塊的位置。
  2. 如請求項1之高架搬送車，其中， 上述引導塊保持部包含有： 第1磁性構件，其設置於上述引導塊，包含有磁鐵或磁性體；及 第2磁性構件，其設置於上述搬送車本體及上述滑動部的至少一者，包含有可被上述第1磁性構件吸引之磁鐵或磁性體。
  3. 如請求項2之高架搬送車，其中， 上述第1磁性構件於保持著上述引導塊的位置之狀態下，隔著間隙或保護構件被上述第2磁性構件所吸引。
  4. 如請求項1之高架搬送車，其中， 上述引導塊設置有複數個，且 上述引導塊保持部將複數個上述引導塊的至少任一者，向自鄰接於該引導塊的另一上述引導塊離開之方向施力。
  5. 如請求項4之高架搬送車，其中， 上述引導塊包含有第1引導塊及第2引導塊，且 上述引導塊保持部於上述第1方向上之上述搬送車本體及上述滑動部的至少任一者的一端側，保持上述第1引導塊的位置， 上述引導塊保持部於上述第1方向上之上述搬送車本體及上述滑動部的至少任一者的另一端側，保持上述第2引導塊的位置。
  6. 如請求項1之高架搬送車，其中， 上述滑動機構具有： 另一滑動部，其相對於上述滑動部沿著上述第1方向移動； 另一引導塊，其被設置於上述滑動部與上述另一滑動部之間，可相對於上述滑動部及上述另一滑動部分別沿著上述第1方向滑動；及 另一引導塊保持部，其以於上述另一滑動部移動時使上述滑動部及上述另一滑動部的任一者與上述另一引導塊的位置關係維持不變之方式，保持上述另一引導塊的位置。
  7. 如請求項1之高架搬送車，其中， 上述滑動機構使上述單元向上述第1方向之一側及另一側的兩側滑動。
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