WO2023162102A1 - プラズマ照射装置、およびプラズマ処理液体製造方法 - Google Patents

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WO2023162102A1
WO2023162102A1 PCT/JP2022/007692 JP2022007692W WO2023162102A1 WO 2023162102 A1 WO2023162102 A1 WO 2023162102A1 JP 2022007692 W JP2022007692 W JP 2022007692W WO 2023162102 A1 WO2023162102 A1 WO 2023162102A1
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WO
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plasma
irradiation
container
liquid
measuring
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PCT/JP2022/007692
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English (en)
French (fr)
Inventor
俊之 池戸
高広 神藤
Original Assignee
株式会社Fuji
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    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
    • H05H1/24—Generating plasma
    • H05H1/26—Plasma torches
    • H05H1/32—Plasma torches using an arc
    • H05H1/42—Plasma torches using an arc with provisions for introducing materials into the plasma, e.g. powder, liquid

Definitions

  • the present invention relates to a technique for producing a plasma-treated liquid by irradiating a liquid to be treated with plasma.
  • the patent document describes a technique for irradiating plasma to the liquid to be treated that is stored in a container.
  • An object of the present specification is to efficiently produce a plasma-treated liquid by irradiating a liquid to be treated stored in a container with plasma.
  • the present specification provides a container for storing non-processed liquid, a plasma generator for generating plasma to irradiate the liquid to be processed stored in the container, and a container for measuring the temperature of the container.
  • a plasma irradiation apparatus comprising: a temperature measuring device;
  • FIG. 1 is an exploded view of a plasma generator;
  • FIG. 1 is an exploded view of a plasma generator;
  • FIG. It is a sectional view of a plasma generator.
  • It is a perspective view of an atmospheric pressure plasma irradiation apparatus.
  • It is a side view of an atmospheric pressure plasma irradiation apparatus.
  • It is a side view of an atmospheric pressure plasma irradiation apparatus.
  • It is a perspective view of an atmospheric pressure plasma irradiation apparatus.
  • It is the perspective view ((a)) of an irradiation block, and the cross-sectional perspective view ((b)) in the AA line.
  • It is a cross-sectional view of an atmospheric pressure plasma irradiation apparatus.
  • It is a cross-sectional view of an atmospheric pressure plasma irradiation apparatus.
  • It is a schematic diagram showing a laser beam measuring device. It is a block diagram of a control device.
  • FIG. 1 shows an atmospheric pressure plasma irradiation device 10 according to one embodiment of the present disclosure.
  • the atmospheric pressure plasma irradiation device 10 is a device for irradiating a culture solution (an example of a “liquid to be treated”) with plasma under atmospheric pressure, and includes a plasma generator 20, a cover housing 22, an opening and closing mechanism 24, Stage 26, lifting device 28, purge gas supply mechanism 32 (see FIG. 5), concentration detection mechanism 34, hygrometer 36, spectroscope 38 (see FIG. 8), irradiation block temperature measuring device 40 (see FIG. 10) , a device temperature measuring device 42 (see FIG. 11), a laser light measuring device 44 (see FIG. 12), an exhaust mechanism 46, and a control device 48 (see FIG. 13).
  • the width direction of the atmospheric pressure plasma irradiation device 10 is called the X direction
  • the depth direction of the atmospheric pressure plasma irradiation device 10 is called the Y direction
  • the direction perpendicular to the X direction and the Y direction, that is, the vertical direction is called the Z direction.
  • the plasma generator 20 includes a cover 50, an upper block 52, a lower block 54, a pair of electrodes 56, and a nozzle block 58, as shown in FIGS.
  • the cover 50 generally has a rectangular tubular shape with a lid, and an upper block 52 is arranged inside the cover 50 .
  • the upper block 52 has a generally rectangular parallelepiped shape and is made of ceramic.
  • a pair of cylindrical recesses 60 are formed in the lower surface of the upper block 52 .
  • the lower block 54 also has a generally rectangular parallelepiped shape and is made of ceramic.
  • a concave portion 62 is formed in the upper surface of the lower block 54.
  • the concave portion 62 is composed of a pair of cylindrical concave portions 66 and a connecting concave portion 68 connecting the pair of cylindrical concave portions 66.
  • the lower block 54 is fixed to the lower surface of the upper block 52 while protruding from the lower end of the cover 50, and the columnar recess 60 of the upper block 52 and the columnar recess 66 of the lower block 54 communicate with each other.
  • the cylindrical recess 60 and the cylindrical recess 66 have substantially the same diameter.
  • a slit 70 penetrating through the lower surface of the lower block 54 is formed in the bottom surface of the recess 62 .
  • Each of the pair of electrodes 56 is arranged in a columnar space defined by the columnar recess 60 of the upper block 52 and the columnar recess 66 of the lower block 54 .
  • the outer diameter of the electrode 56 is smaller than the inner diameter of the cylindrical recesses 60 and 66 .
  • the nozzle block 58 has a generally flat plate shape and is fixed to the lower surface of the lower block 54 .
  • the nozzle block 58 is formed with an ejection port 72 that communicates with the slit 70 of the lower block 54 , and the ejection port 72 vertically penetrates the nozzle block 58 .
  • the plasma generator 20 further has a processing gas supply device 74 (see FIG. 13).
  • the processing gas supply device 74 is a device for supplying a processing gas obtained by mixing an active gas such as oxygen and an inert gas such as nitrogen at an arbitrary ratio, and is a cylindrical space defined by the cylindrical recesses 60 and 66. And it is connected to the upper part of the connection recessed part 68 via piping (not shown). As a result, the processing gas is supplied into the recess 62 from the gap between the electrode 56 and the cylindrical recess 66 and from the top of the connecting recess 68 .
  • the plasma generator 20 ejects plasma from the ejection port 72 of the nozzle block 58.
  • the processing gas is supplied to the interior of the recess 62 by a processing gas supply device 74 .
  • voltage is applied to the pair of electrodes 56 in the recess 62 , and current flows between the pair of electrodes 56 .
  • an electric discharge is generated between the pair of electrodes 56, and the electric discharge converts the processing gas into plasma.
  • Plasma is then ejected from the ejection port 72 through the slit 70 .
  • the cover housing 22 also includes an upper cover 76 and a lower cover 78, as shown in FIG.
  • the upper cover 76 has a generally cylindrical shape with a lid, and a through hole (not shown) having a shape corresponding to the lower block 54 of the plasma generator 20 is formed in the lid portion of the upper cover 76 .
  • a cover 50 of the plasma generator 20 is fixed upright on the lid portion of the upper cover 76 so as to cover the through hole. Therefore, the lower block 54 and the nozzle block 58 of the plasma generator 20 protrude toward the inside of the upper cover 76 so as to extend in the Z direction. As a result, the plasma generated by the plasma generator 20 is jetted in the Z direction from the jetting port 72 of the nozzle block 58 toward the inside of the upper cover 76 .
  • the lower cover 78 of the cover housing 22 has a generally disk shape, and is attached to the lower housing 81 (see FIG. 10) of the mounting section on which the atmospheric pressure plasma irradiation apparatus 10 is mounted. Fixed.
  • the outer diameter of the lower cover 78 is larger than the outer diameter of the upper cover 76 , and an annular packing 82 having the same diameter as the upper cover 76 is arranged on the upper surface of the lower cover 78 .
  • the opening/closing mechanism 24 includes a pair of slide mechanisms 86 and an air cylinder 88, as shown in FIGS.
  • Each slide mechanism 86 includes a support shaft 90 and a slider 92 .
  • the support shaft 90 is erected on the lower housing 81 (see FIG. 10) so as to extend in the Z direction.
  • the slider 92 has a generally cylindrical shape and is fitted onto the support shaft 90 so as to be slidable in the axial direction of the support shaft 90 .
  • the upper cover 76 is held on the slider 92 by an upper bracket 96 and a lower bracket 98 . Thereby, the upper cover 76 is slidable in the Z direction, that is, in the vertical direction.
  • the air cylinder 88 includes a rod 100, a piston (not shown) and a cylinder 102.
  • the rod 100 is arranged to extend in the Z direction and is fixed to the upper cover 76 at its upper end.
  • a piston is fixed to the lower end of the rod 100 .
  • the piston is fitted inside the cylinder 102 from the top end and slidably moves inside the cylinder 102 .
  • the cylinder 102 is fixed at its lower end to the lower housing 81 (see FIG. 10), and a predetermined amount of air is sealed inside the cylinder 102 .
  • the air cylinder 88 functions as a damper to prevent the upper cover 76 from descending rapidly.
  • the air pressure inside the cylinder 102 is set to a pressure that can be compressed by the weight of the integrated body that slides together with the upper cover 76, that is, the upper cover 76, the plasma generator 20, the slider 92, and the like. That is, when the operator releases the upper cover 76 while the upper cover 76 is raised, the upper cover 76 descends due to the weight of the upper cover 76 and the like. Then, the upper cover 76 is in close contact with the packing 82 of the lower cover 78, and the inside of the cover housing 22 is sealed by the upper cover 76 and the lower cover 78, as shown in FIG.
  • the inside of the cover housing 22 is opened by the operator lifting the upper cover 76 .
  • a magnet 106 (see FIG. 1) is fixed to the upper surface of the upper cover 76, and when the upper cover 76 is raised, the magnet 106 is attached to the upper housing (not shown) of the mounting section. stick. By attracting the magnet 106 to the upper housing in this manner, the state in which the upper cover 76 is raised, that is, the state in which the cover housing 22 is opened is maintained.
  • the stage 26 is generally disc-shaped, and an irradiation block 180 is placed on the upper surface of the stage 26 . Also, the outer diameter of the stage 26 is made smaller than the outer diameter of the lower cover 78 . The stage 26 is arranged on the upper surface of the lower cover 78 .
  • the irradiation block 180 is used to store the liquid to be treated that has been sent by the liquid sending tube 120, and to generate the plasma-treated liquid by irradiating the stored liquid to be treated with the plasma ejected from the plasma generator 20. .
  • the generated plasma-treated liquid is drained from irradiation block 180 by drain tube 122 .
  • the liquid to be treated is sent to the liquid-sending tube 120 using a supply pump (not shown) provided outside the cover housing 22 and supplied to the irradiation block 180 inside the cover housing 22 .
  • the plasma-treated liquid produced in the irradiation block 180 is discharged from the irradiation block 180 to the discharge tube 122 using a discharge pump (not shown), and is placed outside the cover housing 22 in a temporary storage bin (shown in the drawing). not shown). Therefore, through holes 134 and 136 through which the liquid feeding tube 120 and the liquid draining tube 122 are passed are formed in the side surface of the lower cover 78 .
  • FIG. 9 shows a schematic configuration of the irradiation block 180.
  • FIG. 9(a) is a perspective view showing the appearance of the entire irradiation block 180
  • FIG. 9(b) is a sectional perspective view taken along line AA in FIG. 9(a). The direction from left to right is the direction in which the liquid to be treated flows.
  • the irradiation block 180 is made of ceramic and consists of an irradiation block main body 181 having a generally rectangular parallelepiped shape.
  • the long side direction of the irradiation block 180 is the X direction, and the short side direction is the Y direction.
  • the irradiation block body portion 181 is formed with a groove portion 183 and a storage portion 184 having an open surface facing the plasma generator 20 when installed in the cover housing 22 .
  • the groove portion 183 has a U-shape opening upward in the YZ cross section.
  • a bottom surface 183a forming the groove 183 is curved.
  • the YZ cross section of this groove portion 183 is slightly narrower than the cross-sectional shape of the liquid-feeding tube 120 (see FIG. 1). is fixed.
  • the reservoir 184 stores the liquid to be treated for plasma irradiation.
  • the storage portion 184 is configured by a cylindrical recess having a side surface 184a and a bottom surface 184b. Further, the bottom surface 184b that constitutes the storage portion 184 is formed so as to be located below the bottom surface 183a that constitutes the groove portion 183. As shown in FIG. Furthermore, a drain hole 184c is formed in the bottom surface 184b of the reservoir 184 for discharging the plasma-treated liquid generated by irradiating the liquid to be treated with plasma from the reservoir 184 to the outside.
  • the bottom surface 184b is an inclined surface that slopes downward from the side surface 184a toward the drainage hole 184c. This has a function of quickly discharging the plasma-treated liquid from the reservoir 184 and a function of preventing, as much as possible, a state in which part of the plasma-treated liquid remains in the reservoir 184 without being discharged. This is to make it happen.
  • the irradiation block main body part 181 has a discharge part 186 in addition to the above configuration.
  • the discharge portion 186 is formed on the lower surface 181 a of the irradiation block body portion 181 and protrudes downward from a position including the liquid discharge hole 184 c of the storage portion 184 .
  • the discharge portion 186 has a base portion 186a, a flange portion 186b, and a discharge locking portion 186c, and is integrally formed with the components 186a to 186c connected downward.
  • a through hole 186 d is formed in the Z direction at the center of the discharge portion 186 and communicates with the discharge hole 184 c of the storage portion 184 .
  • a portion of the outer peripheral surface of the discharge portion 186 that is continuous with the lower surface 181a of the irradiation block body portion 181 is a base portion 186a.
  • the diameter of the outer periphery of the discharge locking portion 186c formed below the base portion 186a with the flange portion 186b interposed therebetween is made larger than the diameter of the liquid discharge tube 122 (see FIG. 1).
  • the outer diameter of the upper portion 186c1 of the ejection locking portion 186c is made smaller than the outer diameter of the ejection locking portion 186c.
  • the irradiation block 180 is fixed to the stage 26 by fitting the base portion 186a and the notch portion 26a (see FIG. 1) of the stage 26 together. In this way, the irradiation block 180 can be easily attached to and detached from the stage 26 because it is not fixed using fixtures.
  • the lifting device 28 includes a support rod 112, a rack 114, a pinion 116, and an electromagnetic motor 117 (see FIG. 13).
  • a through hole (not shown) is formed through the lower cover 78 in the vertical direction, and the support rod 112 is inserted through the through hole.
  • the outer diameter of the support rod 112 is made smaller than the inner diameter of the through hole, and the support rod 112 is movable in the vertical direction, that is, in the Z direction.
  • a lower surface of the stage 26 is fixed to the upper end of the support rod 112 .
  • the rack 114 is fixed to the outer peripheral surface of the portion of the support rod 112 extending downward from the lower cover 78 so as to extend in the axial direction of the support rod 112 .
  • the pinion 116 is meshed with the rack 114 and is driven by the electromagnetic motor 117 to rotate.
  • the pinion 116 is rotatably held by a lower housing 81 (see FIG. 10).
  • the purge gas supply mechanism 32 includes four air joints 130 (three are shown in the drawing) and a purge gas supply device 132 (see FIG. 13).
  • Four air joints 130 are provided at four equal positions on the upper end of the side surface of the upper cover 76 , and each air joint 130 opens inside the upper cover 76 .
  • the purge gas supply device 132 is a device that supplies an inert gas such as nitrogen, and is connected to each air joint 130 via a pipe (not shown). With such a structure, the purge gas supply mechanism 32 supplies inert gas to the inside of the upper cover 76 .
  • the concentration detection mechanism 34 includes an air joint 140, a pipe 142, and a detection sensor 144 (see FIG. 13).
  • a through hole (not shown) is formed in the lower cover 78 to communicate the upper surface and the side surface of the lower cover 78 .
  • An opening 146 on the upper surface side of the lower cover 78 of the through hole is located inside the packing 82 .
  • an air joint 140 is connected to the side opening of the lower cover 78 of the through hole.
  • a detection sensor 144 is a sensor that detects oxygen concentration and is connected to the air joint 140 via a pipe 142 . With such a structure, the concentration detection mechanism 34 detects the oxygen concentration inside the cover housing 22 when the cover housing 22 is sealed.
  • the hygrometer 36 measures humidity, and is erected on the upper surface of the lower cover 78 as shown in FIG. Therefore, the humidity inside the cover housing 22 is measured when the cover housing 22 is sealed.
  • the spectroscope 38 measures the electromagnetic spectrum of light, splits the light for each wavelength at the time of measurement, and measures the intensity of the split light for each wavelength. Therefore, as shown in FIG. 8, the spectroscope 38 has a light receiver 150 for receiving light and a measuring device 152 for measuring the intensity of the received light by dispersing the light.
  • a light receiver 150 is arranged outside the cover housing 22 at a position facing the glass plate 80 and receives the plasma light generated inside the cover housing 22 . Then, the measuring device 152 spectroscopically measures the intensity of the plasma light.
  • the irradiation block temperature measuring device 40 measures the temperature using infrared rays, and as shown in FIG.
  • the cover 50 of the plasma generator 20 is erected on the upper surface of the upper cover 76 .
  • a hole 156 is formed.
  • the through hole 156 is formed above a portion of the irradiation block 180 different from the reservoir 184 , that is, a portion of the irradiation block 180 where the liquid to be processed is not stored.
  • a plate 158 is provided. That is, the irradiation block temperature measuring device 40, the glass plate 158, and the irradiation block 180 are positioned on a straight line in the vertical direction.
  • the irradiation block temperature measuring device 40 measures the temperature of the irradiation block 180 using infrared rays emitted from the irradiation block when the liquid to be processed stored in the irradiation block is irradiated with plasma. . Since the inside of the cover housing 22 becomes hot due to the plasma irradiation, the irradiation block temperature measuring device 40 is disposed outside the cover housing 22, so that the irradiation block temperature measuring device 40 is prevented from being damaged or malfunctioned. prevented.
  • the device temperature measuring device 42 also measures the temperature using infrared rays, and is arranged outside the upper cover 76 in a posture facing the side surface of the upper cover 76, as shown in FIG.
  • a bracket 160 is fixed to the upper surface of the upper cover 76 and extends outward from the side edge of the upper surface of the upper cover 76 .
  • fixed in a position facing the A through hole 162 is formed in the side surface of the upper cover 76 facing the device temperature measuring device 42 , and the device temperature measuring device 42 corresponds to the lower block 54 of the plasma generator 20 through the through hole 162 . are doing.
  • a transparent glass plate 164 is arranged so as to block the through hole 162 .
  • the device temperature measuring device 42, the glass plate 164, and the lower block 54 of the plasma generator 20 are positioned on a straight line in the horizontal direction.
  • the device temperature measuring device 42 measures the temperature of the plasma generator 20 by infrared rays emitted from the lower block 54 of the plasma generator 20 while the plasma generator 20 is irradiating plasma.
  • the device temperature measuring device 42 is arranged outside the cover housing 22 to prevent the device temperature measuring device 42 from being damaged or malfunctioned. be.
  • the laser light measuring device 44 has an irradiator 170 that emits laser light and a light receiver 172 that receives the laser light emitted from the irradiator 170 .
  • the illuminator 170 is arranged outside the cover housing 22 at a position facing one glass plate 80a out of the four glass plates 80 fitted in the upper cover 76, and is located at the center inside the cover housing.
  • a laser beam is irradiated toward the generated plasma 176 through the glass plate 80a.
  • the light receiver 172 is positioned on the opposite side of the glass plate 80a on which the illuminator 170 is arranged, among the four glass plates 80 fitted in the upper cover 76 outside the cover housing 22.
  • the irradiator 170 and the light receiver 172 are arranged so as to sandwich two glass plates 80a and 80b arranged symmetrically with respect to the plasma 176 generated inside the cover housing 22.
  • the light receiver 172 receives the laser light emitted from the irradiator 170 toward the plasma 176 .
  • the light receiver 172 separates the received laser light for each wavelength and measures the intensity.
  • the laser beam measuring device 44 is arranged outside the cover housing 22, thereby preventing the laser beam measuring device 44 from being damaged or broken. be.
  • the exhaust mechanism 46 includes an L-shaped pipe 187, a connecting pipe 188, and a main pipe 189, as shown in FIG.
  • the lower cover 78 is formed with a duct port 190 that opens to the upper and lower surfaces.
  • the opening of the duct port 190 on the upper surface side of the lower cover 78 is formed into a tapered surface 192 whose inner diameter increases upward. That is, when the cover housing 22 is closed, the tapered surface 192 is inclined toward the inner wall surface of the upper cover 76 .
  • an L-shaped pipe 187 is connected to the opening of the duct port 190 on the lower surface side of the lower cover 78 .
  • a main pipe 189 is connected to the L-shaped pipe 187 via a connecting pipe 188 .
  • a portion of the connecting pipe 188 on the L-shaped pipe 187 side is omitted.
  • An ozone filter 196 is arranged inside the main pipe 189 .
  • the ozone filter 196 is made of activated carbon and adsorbs ozone.
  • the control device 48 includes a controller 200 and a plurality of drive circuits 202, as shown in FIG.
  • a plurality of drive circuits 202 are connected to the electrodes 56 , the processing gas supply device 74 , the electromagnetic motor 117 and the purge gas supply device 132 .
  • the controller 200 includes a CPU, ROM, RAM, etc., is mainly a computer, and is connected to a plurality of drive circuits 202 . Thereby, the controller 200 controls the operations of the plasma generator 20 , the lifting device 28 , and the purge gas supply mechanism 32 .
  • the controller 200 is also connected to the hygrometer 36 and acquires the measurement result of the hygrometer 36 , that is, the humidity inside the cover housing 22 .
  • the controller 200 is also connected to the irradiation block temperature measuring device 40 and acquires the measurement result of the irradiation block temperature measuring device 40 , that is, the temperature of the irradiation block 180 .
  • the controller 200 is also connected to the device temperature measuring device 42 and obtains the measurement result of the device temperature measuring device 42 , that is, the temperature of the plasma generator 20 .
  • the controller 200 is also connected to the detection sensor 144 of the concentration detection mechanism 34 and acquires the detection result of the detection sensor 144 , that is, the oxygen concentration inside the cover housing 22 .
  • the controller 200 is also connected to the measuring device 152 of the spectroscope 38, and acquires the measurement result of the measuring device 152, that is, the intensity of the plasma light for each wavelength.
  • the controller 200 is also connected to the laser light measuring device 44 and acquires the measurement result of the laser light measuring device 44, that is, the intensity of the laser light for each wavelength.
  • the culture solution is activated by irradiating the culture solution with the plasma. is expected to be utilized. Therefore, the plasma-irradiated culture solution is generated, and the culture solution is preferably irradiated with the plasma under controlled conditions.
  • the atmospheric pressure plasma irradiation apparatus 10 by placing the irradiation block 180 on the stage 26 and sealing the cover housing 22, it is possible to irradiate the culture medium with plasma under predetermined conditions. is. The technique of irradiating the culture medium with plasma under predetermined conditions will be described in detail below.
  • the irradiation block 180 is placed on the stage 26 .
  • the stage 26 is moved up and down to an arbitrary height by the lifting device 28 . This makes it possible to arbitrarily set the distance between the plasma ejection port 72 and the culture medium as the object to be irradiated with the plasma. It should be noted that the elevation height of the stage 26 can be confirmed by the scale of the measurement rod 118 .
  • the upper cover 76 is lowered to seal the cover housing 22.
  • An inert gas is supplied to the inside of the cover housing 22 by the purge gas supply mechanism 32 .
  • the oxygen concentration in the cover housing 22 is detected by the concentration detection mechanism 34 .
  • the plasma generator 20 ejects plasma into the cover housing 22 .
  • the plasma is irradiated toward the irradiation block 180 arranged below the nozzle block 58 of the plasma generator 20 . It should be noted that the inert gas is continuously supplied to the inside of the cover housing 22 even when the plasma is being irradiated.
  • the liquid to be treated which has been adjusted to a constant flow rate, is flowed to the reservoir 184 of the irradiation block 180 via the liquid transfer tube 120 .
  • the liquid supply to the storage section 184 is stopped.
  • the liquid to be processed stored in the storage section 184 is irradiated with the plasma gas from the plasma generator 20, thereby activating the liquid to be processed.
  • the irradiation block temperature measuring device 40 measures the temperature of the irradiation block 180 . Therefore, it is possible to check the temperature of the irradiation block 180 during plasma irradiation. Furthermore, the temperature of the lower block 54 of the plasma generator 20 is measured by the device temperature measuring device 42 while the plasma gas is being irradiated to the irradiation block 180 by the plasma generator 20 . Therefore, it is possible to check the temperature of the plasma generator 20 during plasma irradiation.
  • the intensity of the plasma light of the plasma gas irradiated by the plasma generator 20 is measured by the spectroscope 38 .
  • the intensity of the plasma light measured by the spectroscope 38 is measured for each wavelength as described above.
  • the processing gas is plasmatized in the plasma generator 20, light of a predetermined wavelength is emitted. Therefore, the excited reaction state of the plasma gas can be confirmed by measuring the intensity of the plasma light measured for each wavelength. That is, by measuring the intensity of the plasma light measured for each wavelength, it is possible to confirm whether or not the processing gas is appropriately converted to plasma.
  • the laser beam is irradiated to the plasma gas by the laser beam measuring device 44, and the intensity of the laser beam is measured.
  • the intensity of the laser light measured by the laser light measuring device 44 is measured for each wavelength as described above.
  • the laser light of a specific wavelength is absorbed by the plasma gas according to the components of the plasma gas. Therefore, the components of the plasma gas can be confirmed by measuring the intensity of the laser beam measured for each wavelength.
  • the oxygen concentration in the cover housing 22 is detected by the concentration detection mechanism 34 even when the irradiation block 180 is irradiated with the plasma gas by the plasma generator 20 . Therefore, it is possible to check the oxygen concentration in the cover housing 22 during plasma irradiation.
  • the humidity in the cover housing 22 is also detected by the hygrometer 36 while the plasma generator 20 is irradiating the irradiation block 180 with the plasma gas. Therefore, it is possible to check the humidity inside the cover housing 22 during plasma irradiation.
  • the temperature of the irradiation block 180, the temperature of the plasma generator 20, the excited reaction state of the plasma gas, the components of the plasma gas, the oxygen concentration and humidity in the cover housing 22 are measured.
  • the irradiation block 180 is irradiated with the plasma gas. It is known that the liquid to be treated is irradiated with the plasma gas for a predetermined period of time, so that the treatment effect of the liquid to be treated that has been irradiated with the plasma is exhibited. Therefore, the liquid to be processed stored in the storage section 184 is irradiated with the plasma gas for a predetermined time.
  • the liquid to be treated undergoes natural convection in the reservoir 184 by being irradiated with the plasma gas. This results in a homogenous, activated plasma-treated liquid that exerts a therapeutic effect.
  • the plasma-treated liquid stored in the storage section 184 is discharged through the liquid discharge tube 122 by the operation of the discharge pump.
  • the plasma-treated liquid from the reservoir 184 is discharged.
  • the liquid to be plasma-treated next is supplied to the reservoir 184 of the irradiation block 180 through the liquid-sending tube 120 by the operation of the supply pump.
  • plasma irradiation of the liquid to be processed stored in the reservoir 184 for a predetermined time discharge of the plasma-processed liquid, supply of new liquid to be processed to the irradiation block 180, plasma irradiation of the liquid to be processed, and so on.
  • Plasma treatment is performed repeatedly until a target amount of plasma-treated liquid is produced.
  • the air inside the cover housing 22 is exhausted to the outside of the cover housing 22 by supplying the inert gas to the inside of the cover housing 22 .
  • the oxygen concentration in the cover housing 22 the conditions affecting the plasma irradiation are managed. More specifically, since plasma contains active radicals, when it reacts with oxygen, it becomes ozone, which lowers the effect of plasma irradiation. Therefore, by adjusting the oxygen concentration in the cover housing 22 before and during the plasma irradiation, it is possible to examine the influence of the oxygen concentration on the effect of the plasma-irradiated culture solution. In addition, it becomes possible to irradiate the culture medium with plasma under the same conditions. This enables efficient and reproducible generation of the plasma-treated liquid.
  • the distance between the plasma ejection port 72 and the culture solution is arbitrarily set. This makes it possible to investigate the effect of the irradiation distance on the effect of the plasma-irradiated culture medium, and to produce the plasma-treated liquid efficiently and with good reproducibility.
  • the temperature of the irradiation block 180 and the temperature of the plasma generation device 20 are measured while the plasma generation device 20 is irradiating the irradiation block 180 with the plasma gas. This makes it possible to investigate the effect of temperature on the effect of the plasma-irradiated culture solution, and to produce the plasma-treated liquid efficiently and with good reproducibility.
  • the humidity inside the cover housing 22 is also measured while the irradiation block 180 is being irradiated with the plasma gas by the plasma generator 20. This makes it possible to investigate the effect of humidity on the effect of plasma-irradiated culture solution, and to produce plasma-treated liquid efficiently and with good reproducibility.
  • the intensity of the plasma light of the plasma gas is measured by the spectroscope 38 while the irradiation block 180 is being irradiated with the plasma gas by the plasma generator 20 .
  • the spectroscope 38 As a result, it becomes possible to confirm the excited reaction state of the plasma gas, and to generate the plasma-treated liquid efficiently and with good reproducibility.
  • the atmospheric pressure plasma irradiation apparatus 10 while the irradiation block 180 is irradiated with the plasma gas by the plasma generator 20, the plasma gas is irradiated with laser light by the laser light measurement device 44, and the intensity of the laser light is measured. As a result, it becomes possible to confirm the components of the plasma gas, and to generate the plasma-treated liquid efficiently and with good reproducibility.
  • a duct port 190 is also formed in the lower cover 78 . Therefore, by supplying the inert gas into the cover housing 22 , the pressure inside the cover housing 22 becomes positive, and the inside of the cover housing 22 is naturally exhausted.
  • a duct port 190 of the lower cover 78 is formed with a tapered surface 192 whose inner diameter increases toward the upper surface of the lower cover 78 . This makes it possible to facilitate the evacuation of gas from the inside of the cover housing 22 .
  • the exhaust mechanism 46 is provided with an ozone filter 196 . As a result, even if plasma and oxygen react to generate ozone, it is possible to prevent ozone from being exhausted to the outside.
  • the controller 200 of the control device 48 has an irradiation section 210 and a temperature measurement section 212, as shown in FIG.
  • the irradiation unit 210 is a functional unit for irradiating the liquid to be processed stored in the irradiation block 180 with plasma gas.
  • the temperature measurement unit 212 is a functional unit for measuring the temperature of the irradiation block 180 when the liquid to be processed stored in the irradiation block 180 is irradiated with the plasma gas.
  • the atmospheric pressure plasma irradiation device 10 is an example of the plasma irradiation device.
  • the plasma generator 20 is an example of a plasma generator.
  • the cover housing 22 is an example of a housing.
  • the hygrometer 36 is an example of a humidity measuring instrument.
  • Spectroscope 38 is an example of a spectroscope.
  • the irradiation block temperature measuring device 40 is an example of a container temperature measuring device.
  • the device temperature measuring device 42 is an example of a device temperature measuring device.
  • the laser light measurement device 44 is an example of a laser light measurement device.
  • the through hole 77 is an example of a through hole.
  • the glass plate 80 is an example of a transparent member.
  • Through hole 156 is an example of a through hole.
  • Glass plate 158 is an example of a transparent member.
  • the irradiator 170 is an example of an irradiator.
  • the light receiver 172 is an example of a light receiver.
  • Irradiation block 180 is an example of a container.
  • the process performed by the irradiation part 210 is an example of an irradiation process.
  • the process executed by the temperature measurement unit 212 is an example of the temperature measurement process.
  • the atmospheric pressure plasma irradiation apparatus 10 measures the temperatures of the irradiation block 180 that stores the liquid to be processed, the plasma generator 20 that generates plasma to irradiate the liquid to be processed stored in the irradiation block 180, and the irradiation block 180. and an irradiation block temperature measuring device 40 . This makes it possible to investigate the effect of the temperature of the irradiation block 180 on the effect of the plasma-irradiated culture solution, and to produce the plasma-treated liquid efficiently and with good reproducibility.
  • the atmospheric pressure plasma irradiation apparatus 10 also includes a device temperature measuring device 42 that measures the temperature of the plasma generator 20 . This makes it possible to examine the influence of the temperature of the plasma generator 20 on the effect of the plasma-irradiated culture solution, and to generate the plasma-treated liquid efficiently and with good reproducibility.
  • a through hole 156 is formed in the cover housing 22, and a glass plate 158 is fitted in the through hole 156.
  • the irradiation block temperature measuring device 40 is arranged outside the cover housing 22 and measures the temperature of the irradiation block 180 through the glass plate 158 .
  • the irradiation block temperature measuring device 40 is arranged outside the cover housing 22 rather than inside the cover housing 22, which is exposed to high temperatures, thereby preventing damage, failure, etc. of the irradiation block temperature measuring device 40. .
  • the atmospheric pressure plasma irradiation device 10 also includes a spectroscope 38 that measures the intensity of plasma generated by the plasma generation device 20 . As a result, it becomes possible to confirm the excited reaction state of the plasma gas, and to generate the plasma-treated liquid efficiently and with good reproducibility.
  • the atmospheric pressure plasma irradiation apparatus 10 includes a laser light measurement device 44.
  • the laser light measurement device 44 includes an irradiator 170 that irradiates the plasma generated by the plasma generator 20 with laser light, and the irradiator 170. It has a light receiver 172 for receiving the irradiated laser light. Then, based on the intensity of the laser light received by the light receiver 172, the components of the plasma are calculated. This enables efficient and reproducible generation of the plasma-treated liquid.
  • a pair of through holes 77 are formed in the cover housing 22, and a pair of glass plates 80 are fitted into the pair of through holes 77.
  • the irradiator 170 of the laser light measuring device 44 is arranged outside the cover housing 22 and irradiates the plasma with laser light through one of the pair of glass plates 80 .
  • the light receiver 172 of the laser light measurement device 44 is also arranged outside the cover housing 22 and receives the laser light emitted from the irradiator 170 through one of the pair of glass plates 80 . In this manner, the laser beam measuring device 44 is arranged outside the cover housing 22 rather than inside the cover housing 22, which is exposed to high temperatures, so that the laser beam measuring device 44 is prevented from being damaged or broken.
  • the atmospheric pressure plasma irradiation device 10 also includes a hygrometer 36 that measures the humidity inside the cover housing 22 . This makes it possible to investigate the effect of humidity on the effect of plasma-irradiated culture solution, and to produce plasma-treated liquid efficiently and with good reproducibility.
  • the present invention is not limited to the above embodiments, and can be implemented in various aspects with various modifications and improvements based on the knowledge of those skilled in the art.
  • the liquid to be treated is irradiated with plasma inside the closed cover housing 22, but the liquid to be treated may be irradiated with plasma in an open space.
  • the liquid to be processed is irradiated with plasma under atmospheric pressure, but the liquid to be processed may be irradiated with plasma under reduced pressure.
  • the culture solution is used as the liquid to be treated, but it is possible to use a liquid other than the culture solution as the liquid to be treated.
  • the present disclosure can be applied not only to the medical field but also to various fields such as the industrial field.
  • the hygrometer 36 , the spectroscope 38 , the irradiation block temperature measuring device 40 , the device temperature measuring device 42 , and the laser light measuring device 44 are arranged in the atmospheric pressure plasma irradiation device 10 .
  • at least one of the hygrometer 36 , the spectroscope 38 , the irradiation block temperature measuring device 40 , the device temperature measuring device 42 and the laser light measuring device 44 may be provided in the atmospheric pressure plasma irradiation device 10 .
  • Atmospheric pressure plasma irradiation device (plasma irradiation device) 20: Plasma generator 22: Cover housing (housing) 36: Hygrometer (humidity measuring device) 38: Spectrometer 40: Irradiation block temperature measuring device (container temperature measuring device) 42: Device temperature measuring device 44: Laser light measuring device 77: Through hole 80: Glass plate (transmissive member) 156: Through hole 158: Glass plate (transmissive member) 170: Irradiator (irradiating part) 172: Light receiver (Light receiving part) 180: Irradiation block (container) 210: Irradiation part (irradiation process) 212: Temperature measurement part (temperature measurement process)

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Abstract

非処理液体を貯留する容器と、容器に貯留された被処理液体に照射するプラズマを発生するプラズマ発生装置と、容器の温度を測定する容器温度測定器と、を備えるプラズマ照射装置。

Description

プラズマ照射装置、およびプラズマ処理液体製造方法
　本発明は、被処理液体にプラズマを照射することでプラズマ処理液体を製造する技術に関するものである。
　特許文献には、容器に貯留されている被処理液体にプラズマを照射する技術が記載されている。
国際公開第２０２０／０２６３２４号
　本明細書は、容器に貯留されている被処理液体にプラズマを照射することで効率的にプラズマ処理液体を製造することを課題とする。
　上記目的を達成するため、本明細書は、非処理液体を貯留する容器と、前記容器に貯留された被処理液体に照射するプラズマを発生するプラズマ発生装置と、前記容器の温度を測定する容器温度測定器と、を備えるプラズマ照射装置を開示する。
　本開示によれば、効率的にプラズマ処理液体を製造することが可能となる。
大気圧プラズマ照射装置の斜視図である。 プラズマ発生装置の分解図である。 プラズマ発生装置の分解図である。 プラズマ発生装置の断面図である。 大気圧プラズマ照射装置の斜視図である。 大気圧プラズマ照射装置の側面図である。 大気圧プラズマ照射装置の側面図である。 大気圧プラズマ照射装置の斜視図である。 照射ブロックの斜視図（（ａ））及びそのＡＡ線における断面斜視図（（ｂ））である。 大気圧プラズマ照射装置の断面図である。 大気圧プラズマ照射装置の断面図である。 レーザ光測定装置を示す概略図である。 制御装置のブロック図である。
　以下、本開示の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
　図１は、本開示の一実施形態に係る大気圧プラズマ照射装置１０を示している。大気圧プラズマ照射装置１０は、大気圧下でプラズマを培養液（「被処理液体」の一例）に照射するための装置であり、プラズマ発生装置２０と、カバーハウジング２２と、開閉機構２４と、ステージ２６と、昇降装置２８と、パージガス供給機構３２（図５参照）、濃度検出機構３４と、湿度計３６と、分光器３８（図８参照）、照射ブロック温度測定器４０（図１０参照）、装置温度測定器４２（図１１参照）、レーザ光測定装置４４（図１２参照）、排気機構４６と、制御装置４８（図１３参照）とを備えている。なお、大気圧プラズマ照射装置１０の幅方向をＸ方向と、大気圧プラズマ照射装置１０の奥行方向をＹ方向と、Ｘ方向とＹ方向とに直行する方向、つまり、上下方向をＺ方向と称する。
　プラズマ発生装置２０は、図２～図４に示すように、カバー５０と、上部ブロック５２と、下部ブロック５４と、１対の電極５６と、ノズルブロック５８とを含む。カバー５０は、概して、有蓋四角筒形状をなし、カバー５０の内部に、上部ブロック５２が配設されている。上部ブロック５２は、概して直方体形状をなし、セラミックにより成形されている。上部ブロック５２の下面には、１対の円柱状の円柱凹部６０が形成されている。
　また、下部ブロック５４も、概して直方体形状をなし、セラミックにより成形されている。下部ブロック５４の上面には、凹部６２が形成されており、凹部６２は、１対の円柱状の円柱凹部６６と、それら１対の円柱凹部６６を連結する連結凹部６８とによって構成されている。そして、下部ブロック５４が、カバー５０の下端から突出した状態で、上部ブロック５２の下面に固定されており、上部ブロック５２の円柱凹部６０と、下部ブロック５４の円柱凹部６６とが連通している。なお、円柱凹部６０と円柱凹部６６とは、略同径とされている。また、凹部６２の底面には、下部ブロック５４の下面に貫通するスリット７０が形成されている。
　１対の電極５６の各々は、上部ブロック５２の円柱凹部６０と、下部ブロック５４の円柱凹部６６とによって区画される円柱状の空間に配設されている。なお、電極５６の外径は、円柱凹部６０，６６の内径より小さい。また、ノズルブロック５８は、概して平板状をなし、下部ブロック５４の下面に固定されている。ノズルブロック５８には、下部ブロック５４のスリット７０と連通する噴出口７２が形成されており、その噴出口７２は、ノズルブロック５８を上下方向に貫通している。
　プラズマ発生装置２０は、さらに、処理ガス供給装置７４（図１３参照）を有している。処理ガス供給装置７４は、酸素等の活性ガスと窒素等の不活性ガスとを任意の割合で混合させた処理ガスを供給する装置であり、円柱凹部６０，６６によって区画される円柱状の空間及び、連結凹部６８の上部に、配管（図示せず）を介して、連結されている。これにより、電極５６と円柱凹部６６との隙間、及び、連結凹部６８の上部から、処理ガスが、凹部６２の内部に供給される。
　このような構造により、プラズマ発生装置２０は、ノズルブロック５８の噴出口７２からプラズマを噴出する。詳しくは、凹部６２の内部に、処理ガス供給装置７４によって処理ガスが供給される。この際、凹部６２では、１対の電極５６に電圧が印加されており、１対の電極５６間に電流が流れる。これにより、１対の電極５６間に放電が生じ、その放電により、処理ガスがプラズマ化される。そして、プラズマが、スリット７０を介して、噴出口７２から噴出される。
　また、カバーハウジング２２は、図５に示すように、上部カバー７６と、下部カバー７８とを含む。上部カバー７６は、概して有蓋円筒状をなし、上部カバー７６の蓋部には、プラズマ発生装置２０の下部ブロック５４に応じた形状の貫通穴（図示せず）が形成されている。そして、その貫通穴を覆うように、プラズマ発生装置２０のカバー５０が、上部カバー７６の蓋部に立設された状態で固定されている。このため、プラズマ発生装置２０の下部ブロック５４及び、ノズルブロック５８が、上部カバー７６の内部に向かって、Ｚ方向に延びるように、突出している。これにより、プラズマ発生装置２０によって発生されたプラズマが、ノズルブロック５８の噴出口７２から、上部カバー７６の内部に向かって、Ｚ方向に噴出される。
　また、上部カバー７６の側面には、図１２に示すように、４等配の位置に、概して矩形の貫通穴７７が形成されており、その貫通穴７７を塞ぐように、透明なガラス板８０が配設されている。これにより、ガラス板８０を介して、上部カバー７６の内部を視認することが可能とされている。
　カバーハウジング２２の下部カバー７８は、図５に示すように、概して円板形状とされており、大気圧プラズマ照射装置１０が載置される載置部の下部筐体８１（図１０参照）に固定されている。下部カバー７８の外径は、上部カバー７６の外径より大きくされており、下部カバー７８の上面には、上部カバー７６と同径の円環状のパッキン８２が配設されている。そして、上部カバー７６が、開閉機構２４によって下方にスライドされることで、上部カバー７６がパッキン８２に密着し、カバーハウジング２２の内部が密閉された状態となる。
　詳しくは、開閉機構２４は、図６及び図７に示すように、１対のスライド機構８６とエアシリンダ８８とを含む。各スライド機構８６は、支持軸９０とスライダ９２とを含む。支持軸９０は、下部筐体８１（図１０参照）に、Ｚ方向に延びるように立設されている。また、スライダ９２は、概して円筒形状をなし、支持軸９０の軸方向にスライド可能に、支持軸９０に外嵌されている。そして、上部カバー７６が、上部ブラケット９６と下部ブラケット９８とによって、スライダ９２に保持されている。これにより、上部カバー７６は、Ｚ方向、つまり、上下方向にスライド可能とされている。
　エアシリンダ８８は、ロッド１００とピストン（図示せず）とシリンダ１０２とを含む。ロッド１００は、Ｚ方向に延びるように配設され、上端部において上部カバー７６に固定されている。また、ロッド１００の下端部に、ピストンが固定されている。ピストンは、シリンダ１０２の上端から内部に嵌合されており、シリンダ１０２の内部において摺動可能に移動する。また、シリンダ１０２は、下端部において、下部筐体８１（図１０参照）に固定されており、シリンダ１０２内部には、所定量のエアが封入されている。
　これにより、エアシリンダ８８は、ダンパとして機能し、上部カバー７６の急激な下降が防止される。なお、シリンダ１０２内部のエア圧は、上部カバー７６と共にスライドする一体物、つまり、上部カバー７６，プラズマ発生装置２０，スライダ９２等の重量により圧縮可能な圧力とされている。つまり、作業者が、上部カバー７６を上昇させた状態で、上部カバー７６を離すと、上部カバー７６等の自重によって上部カバー７６が下降する。そして、上部カバー７６が、下部カバー７８のパッキン８２に密着し、図８に示すように、上部カバー７６と下部カバー７８とによって、カバーハウジング２２の内部が密閉された状態となる。
　また、作業者が、上部カバー７６を上昇させることで、カバーハウジング２２の内部が開放される。なお、上部カバー７６の上面には、磁石１０６（図１参照）が固定されており、上部カバー７６が上昇されることで、磁石１０６が、載置部の上部筐体（図示せず）に引っ付く。このように、磁石１０６を上部筐体に引っ付けることで、上部カバー７６を上昇させた状態、つまり、カバーハウジング２２が開放された状態が維持される。
　ステージ２６は、概して、円板形状とされており、ステージ２６の上面に、照射ブロック１８０が載置される。また、ステージ２６の外径は、下部カバー７８の外径より小さくされている。そして、ステージ２６は、下部カバー７８の上面に配設されている。
　照射ブロック１８０は、送液チューブ１２０により送液された被処理液体を貯留し、貯留した被処理液体にプラズマ発生装置２０から噴出したプラズマを照射することによりプラズマ処理液体を生成するために用いられる。生成されたプラズマ処理液体は、排液チューブ１２２により照射ブロック１８０から排出される。
　被処理液体は、カバーハウジング２２の外に設けられた供給ポンプ（図示せず）を用いて送液チューブ１２０に送り出されて、カバーハウジング２２内の照射ブロック１８０に供給される。また、照射ブロック１８０で生成されたプラズマ処理液体は、排出ポンプ（図示せず）を用いて照射ブロック１８０から排液チューブ１２２に排出され、カバーハウジング２２の外に設けられた一時保管ビン（図示せず）に保管される。したがって、下部カバー７８の側面には、送液チューブ１２０及び排液チューブ１２２をそれぞれ通す貫通孔１３４，１３６が形成されている。
　図９は、照射ブロック１８０の概略構成を示している。そして、図９（ａ）は、照射ブロック１８０全体の外観を示す斜視図であり、図９（ｂ）は、図９（ａ）のＡＡ線における断面斜視図である。なお、左から右へ向かう方向が、被処理液体が流れる方向である。
　照射ブロック１８０は、セラミックにより成形され、概して直方体形状をなす照射ブロック本体部１８１からなる。なお、照射ブロック１８０の長辺方向がＸ方向であり、短辺方向がＹ方向である。照射ブロック本体部１８１には、カバーハウジング２２に設置された場合に、プラズマ発生装置２０と対向する面が開放された溝部１８３及び貯留部１８４が形成されている。
　溝部１８３は、ＹＺ断面が上方に向かって開口するＵ字状である。溝部１８３を構成する底面１８３ａは湾曲している。この溝部１８３のＹＺ断面は、送液チューブ１２０（図１参照）の断面形状よりも若干狭くされており、可撓性を有する送液チューブ１２０が溝部１８３に嵌め込まれることで、送液チューブ１２０が固定される。
　貯留部１８４は、プラズマ照射するために被処理液体を貯留する。貯留部１８４は、側面１８４ａと底面１８４ｂとからなる円筒状の凹部により構成される。また、貯留部１８４を構成する底面１８４ｂは、溝部１８３を構成する底面１８３ａよりも下方に位置するように形成されている。さらに、貯留部１８４を構成する底面１８４ｂには、被処理液体がプラズマ照射されて生成されたプラズマ処理液体を貯留部１８４から外に排出するための排液穴１８４ｃが形成されている。なお、底面１８４ｂは、側面１８４ａから排液穴１８４ｃに向かって下方に傾斜する傾斜面となっている。これは、プラズマ処理液体を排出する際に、貯留部１８４から迅速に排出させる機能と、貯留部１８４にプラズマ処理液体の一部が排出されないで残留する状態を可及的に防止する機能とを実現させるためである。
　照射ブロック本体部１８１は、上記構成の他に、排出部１８６を有する。排出部１８６は、照射ブロック本体部１８１の下面１８１ａであって、貯留部１８４の排液穴１８４ｃを含む位置から下方に突出して形成されている。排出部１８６は、基部１８６ａ、フランジ部１８６ｂ及び排出係止部１８６ｃを有し、各構成要素１８６ａ～１８６ｃが下方に連結した状態で一体的に形成されている。また、排出部１８６の中心部には、貫通孔１８６ｄがＺ方向に形成され、貯留部１８４の排液穴１８４ｃと連通している。
　排出部１８６の外周面において、照射ブロック本体部１８１の下面１８１ａと連続する部分が基部１８６ａである。基部１８６ａの下方に、フランジ部１８６ｂを挟んで形成された排出係止部１８６ｃの外周の径は、排液チューブ１２２（図１参照）の径よりも大きくされている。また、排出係止部１８６ｃの上部１８６ｃ１の外径は、排出係止部１８６ｃの外径よりも小さくされている。これにより、可撓性を有する排液チューブ１２２が上部１８６ｃ１まで嵌め込まれると、排出係止部１８６ｃの外周に沿って排液チューブ１２２が変形し、排液チューブ１２２が固定される。また、基部１８６ａとステージ２６の切欠き部２６ａ（図１参照）とが嵌め合されることにより、ステージ２６に照射ブロック１８０が固定される。このように、固定具を用いる固定ではないため、照射ブロック１８０はステージ２６に対して容易に着脱することができる。
　昇降装置２８は、図７に示すように、支持ロッド１１２と、ラック１１４と、ピニオン１１６と、電磁モータ１１７（図１３参照）とを含む。下部カバー７８には、上下方向に貫通する貫通穴（図示せず）が形成されており、その貫通穴に、支持ロッド１１２が挿通されている。支持ロッド１１２の外径は、貫通穴の内径より小さくされており、支持ロッド１１２は、上下方向、つまり、Ｚ方向に移動可能とされている。その支持ロッド１１２の上端に、ステージ２６の下面が固定されている。
　また、ラック１１４は、支持ロッド１１２の軸方向に延びるように、支持ロッド１１２の下部カバー７８から下方に延び出す部分の外周面に固定されている。ピニオン１１６は、ラック１１４に噛合されており、電磁モータ１１７の駆動により回転する。なお、ピニオン１１６は、下部筐体８１（図１０参照）により回転可能に保持されている。このような構造によって、電磁モータ１１７の駆動によりピニオン１１６が回転することで、支持ロッド１１２がＺ方向に移動し、ステージ２６が昇降する。なお、下部カバー７８の上面には、ステージ２６の隣に、計測ロッド１１８が立設されている。計測ロッド１１８の外周面には、目盛りが記されており、その目盛りによって、ステージ２６のＺ方向の高さ、つまり、ステージ２６の昇降量を目視によって確認することが可能となっている。
　パージガス供給機構３２は、図５に示すように、４個のエアジョイント１３０（図では、３個図示されている）と、パージガス供給装置１３２（図１３参照）とを含む。４個のエアジョイント１３０は、上部カバー７６の側面の上端部において、４等配の位置に設けられており、各エアジョイント１３０は、上部カバー７６の内部に開口している。パージガス供給装置１３２は、窒素等の不活性ガスを供給する装置であり、配管（図示せず）を介して、各エアジョイント１３０に接続されている。このような構造により、パージガス供給機構３２は、上部カバー７６の内部に、不活性ガスを供給する。
　濃度検出機構３４は、エアジョイント１４０と、配管１４２と、検出センサ１４４（図１３参照）とを含む。下部カバー７８には、下部カバー７８の上面と側面とを連通する貫通穴（図示せず）が形成されている。その貫通穴の下部カバー７８の上面側の開口１４６は、パッキン８２の内側に位置している。一方、貫通穴の下部カバー７８の側面側の開口に、エアジョイント１４０が接続されている。また、検出センサ１４４は、酸素濃度を検出するセンサであり、配管１４２を介して、エアジョイント１４０に接続されている。このような構造により、濃度検出機構３４は、カバーハウジング２２が密閉された際に、カバーハウジング２２の内部の酸素濃度を検出する。
　湿度計３６は、湿度を測定するものであり、図１０に示すように、下部カバー７８の上面に立設されている。このため、カバーハウジング２２が密閉された際に、カバーハウジング２２の内部の湿度を測定する。
　分光器３８は、光の電磁スペクトルを測定するものであり、測定時に光を波長毎に分光し、分光した波長毎の光の強度を測定する。このため、分光器３８は、図８に示すように、光を受光する受光器１５０と、受光した光を分光して強度を計測する計測器１５２とを有している。そして、受光器１５０が、カバーハウジング２２の外部においてガラス板８０と対向する位置に配設されており、カバーハウジング２２の内部で発生するプラズマ光を受光する。そして、計測器１５２が、プラズマ光を分光して強度を計測する。
　照射ブロック温度測定器４０は、赤外線により温度を測定するものであり、図１０に示すように、プラズマ発生装置２０のカバー５０の側面に下方を向いた状態で固定されている。プラズマ発生装置２０のカバー５０は、上部カバー７６の上面に立設されており、そのカバー５０の側面に固定されている照射ブロック温度測定器４０の下方に位置する上部カバー７６の上面には貫通穴１５６が形成されている。貫通穴１５６は、照射ブロック１８０の貯留部１８４と異なる箇所、つまり、照射ブロック１８０の被処理液体が貯留されていない箇所の上方に形成されており、貫通穴１５６を塞ぐように、透明なガラス板１５８が配設されている。つまり、照射ブロック温度測定器４０とガラス板１５８と照射ブロック１８０とが上下方向において一直線上に位置している。このような構造により、照射ブロック温度測定器４０は、照射ブロックに貯留されている被処理液体にプラズマが照射されている際に、照射ブロックから放射される赤外線により照射ブロック１８０の温度を測定する。なお、カバーハウジング２２の内部は、プラズマの照射により高温となるため、照射ブロック温度測定器４０がカバーハウジング２２の外部に配設されることで、照射ブロック温度測定器４０の損傷，故障等が防止される。
　装置温度測定器４２も、赤外線により温度を測定するものであり、図１１に示すように、上部カバー７６の外部において上部カバー７６の側面を向いた姿勢で配設されている。上部カバー７６の上面には、上部カバー７６の上面の側縁から外部に向って延び出すブラケット１６０が固定されており、そのブラケット１６０の下面に、装置温度測定器４２が、上部カバー７６の側面を向いた姿勢で固定されている。そして、装置温度測定器４２と対向する上部カバー７６の側面には貫通穴１６２が形成されており、その貫通穴１６２を介して、装置温度測定器４２はプラズマ発生装置２０の下部ブロック５４と対応している。また、貫通穴１６２を塞ぐように、透明なガラス板１６４が配設されている。つまり、装置温度測定器４２とガラス板１６４とプラズマ発生装置２０の下部ブロック５４とが左右方向において一直線上に位置している。このような構造により、装置温度測定器４２は、プラズマ発生装置２０がプラズマを照射している際に、プラズマ発生装置２０の下部ブロック５４から放射される赤外線によりプラズマ発生装置２０の温度を測定する。なお、カバーハウジング２２の内部は、プラズマの照射により高温となるため、装置温度測定器４２がカバーハウジング２２の外部に配設されることで、装置温度測定器４２の損傷，故障等が防止される。
　レーザ光測定装置４４は、図１２に示すように、レーザ光を照射する照射器１７０と、照射器１７０から照射されたレーザ光を受光する受光器１７２とを有している。照射器１７０は、カバーハウジング２２の外部において上部カバー７６に嵌め込まれた４枚のガラス板８０のうちの１枚のガラス板８０ａと対向する位置に配設されており、カバーハウジング内部の中心で発生するプラズマ１７６に向ってガラス板８０ａを介してレーザ光を照射する。また、受光器１７２は、カバーハウジング２２の外部において上部カバー７６に嵌め込まれた４枚のガラス板８０のうちの照射器１７０が配設されているガラス板８０ａの反対側に位置するガラス板８０ｂと対向する位置に配設されている。つまり、照射器１７０と受光器１７２とは、カバーハウジング２２の内部で発生するプラズマ１７６を中心として対称的に配設された２枚のガラス板８０ａ，８０ｂを挟むようにして配設されている。このため、受光器１７２は、照射器１７０がプラズマ１７６に向って照射したレーザ光を受光する。なお、受光器１７２は、受光したレーザ光を波長毎に分光して強度を計測する。また、カバーハウジング２２の内部は、プラズマの照射により高温となるため、レーザ光測定装置４４がカバーハウジング２２の外部に配設されることで、レーザ光測定装置４４の損傷，故障等が防止される。
　排気機構４６は、図１に示すように、Ｌ型配管１８７と、連結配管１８８と、メイン配管１８９とを含む。下部カバー７８には、図７に示すように、上面と下面とに開口するダクト口１９０が形成されている。ダクト口１９０の下部カバー７８の上面側の開口は、上方に向かうほど内径が大きくなるテーパ面１９２とされている。つまり、カバーハウジング２２が密閉された際に、テーパ面１９２は、上部カバー７６の内壁面に向かって傾斜した状態となる。一方、ダクト口１９０の下部カバー７８の下面側の開口に、Ｌ型配管１８７が接続されている。そして、そのＬ型配管１８７に、連結配管１８８を介して、メイン配管１８９が接続されている。なお、連結配管１８８のＬ型配管１８７側の部分は、省略されている。また、メイン配管１８９の内部には、オゾンフィルタ１９６が配設されている。オゾンフィルタ１９６は、活性炭により形成されており、オゾンを吸着する。
　制御装置４８は、図１３に示すように、コントローラ２００と、複数の駆動回路２０２とを備えている。複数の駆動回路２０２は、電極５６、処理ガス供給装置７４、電磁モータ１１７、パージガス供給装置１３２に接続されている。コントローラ２００は、ＣＰＵ，ＲＯＭ，ＲＡＭ等を備え、コンピュータを主体とするものであり、複数の駆動回路２０２に接続されている。これにより、プラズマ発生装置２０、昇降装置２８、パージガス供給機構３２の作動が、コントローラ２００によって制御される。また、コントローラ２００は、湿度計３６に接続されており、湿度計３６の測定結果、つまり、カバーハウジング２２の内部の湿度を取得する。また、コントローラ２００は、照射ブロック温度測定器４０に接続されており、照射ブロック温度測定器４０の測定結果、つまり、照射ブロック１８０の温度を取得する。また、コントローラ２００は、装置温度測定器４２に接続されており、装置温度測定器４２の測定結果、つまり、プラズマ発生装置２０の温度を取得する。また、コントローラ２００は、濃度検出機構３４の検出センサ１４４に接続されており、検出センサ１４４の検出結果、つまり、カバーハウジング２２の内部の酸素濃度を取得する。また、コントローラ２００は、分光器３８の計測器１５２に接続されており、計測器１５２の計測結果、つまり、プラズマ光の波長毎の強度を取得する。また、コントローラ２００は、レーザ光測定装置４４に接続されており、レーザ光測定装置４４の測定結果、つまり、レーザ光の波長毎の強度を取得する。
　上述した構成の大気圧プラズマ照射装置１０では、培養液にプラズマを照射することで、培養液が活性化するため、プラズマ照射された培養液を用いた癌の治療等、医療の分野でのプラズマの活用が期待されている。このため、プラズマ照射された培養液の生成等が行われるが、培養液は、プラズマ照射される際の条件が管理された状態でプラズマ照射されることが好ましい。大気圧プラズマ照射装置１０では、上述した構成により、照射ブロック１８０をステージ２６の上に載置し、カバーハウジング２２を密閉することで、所定の条件下で培養液にプラズマを照射することが可能である。以下に、所定の条件下で、培養液にプラズマを照射する手法について、詳しく説明する。
　具体的には、まず、照射ブロック１８０をステージ２６の上に載置する。次に、昇降装置２８によってステージ２６を任意の高さに昇降させる。これにより、プラズマの噴出口７２と、プラズマの被照射体としての培養液との間の距離を任意に設定することが可能となる。なお、ステージ２６の昇降高さは、計測ロッド１１８の目盛りにより確認することが可能である。
　次に、上部カバー７６を下降させ、カバーハウジング２２を密閉させる。そして、パージガス供給機構３２によって、カバーハウジング２２の内部に不活性ガスが供給される。この際、濃度検出機構３４によって、カバーハウジング２２内の酸素濃度が検出される。そして、検出された酸素濃度が予め設定された閾値以下となった後に、プラズマ発生装置２０によってプラズマが、カバーハウジング２２の内部に噴出される。この際、プラズマ発生装置２０のノズルブロック５８の下方に配置されている照射ブロック１８０に向ってプラズマが照射される。なお、プラズマが照射されている際も、カバーハウジング２２の内部への不活性ガスの供給は、継続して行われる。
　また、一定の流量に調整された被処理液体が、送液チューブ１２０を介して照射ブロック１８０の貯留部１８４へ流される。貯留部１８４に所定量の被処理液体が貯留されると、貯留部１８４への送液は停止される。そして、貯留部１８４に貯留された被処理液体に、プラズマ発生装置２０からプラズマガスが照射されることで、被処理液体が活性化される。
　また、プラズマ発生装置２０によってプラズマガスが照射ブロック１８０に照射されている際に、照射ブロック温度測定器４０により照射ブロック１８０の温度が測定される。このため、プラズマ照射時の照射ブロック１８０の温度を確認することができる。さらに、プラズマ発生装置２０によってプラズマガスが照射ブロック１８０に照射されている際に、装置温度測定器４２によりプラズマ発生装置２０の下部ブロック５４の温度が測定される。このため、プラズマ照射時のプラズマ発生装置２０の温度を確認することができる。
　また、プラズマ発生装置２０によってプラズマガスが照射ブロック１８０に照射されている際に、プラズマ発生装置２０によって照射されているプラズマガスのプラズマ光の強度が分光器３８により測定される。分光器３８により測定されるプラズマ光の強度は、上述したように、波長毎に測定されている。一方で、プラズマ発生装置２０において処理ガスがプラズマ化される際に、所定の波長の光を放出する。このため、波長毎に測定されているプラズマ光の強度を測定することで、プラズマガスの励起反応状態を確認することができる。つまり、波長毎に測定されているプラズマ光の強度を測定することで、処理ガスが適切にプラズマ化されているか否かを確認することができる。
　また、プラズマ発生装置２０によってプラズマガスが照射ブロック１８０に照射されている際に、レーザ光測定装置４４によりプラズマガスにレーザ光が照射され、そのレーザ光の強度が測定される。なお、レーザ光測定装置４４により測定されるレーザ光の強度は、上述したように、波長毎に測定されている。一方で、プラズマガスにレーザ光が照射されることで、プラズマガスの成分に応じて特定の波長のレーザ光がプラズマガスに吸収される。このため、波長毎に測定されているレーザ光の強度を測定することで、プラズマガスの成分を確認することができる。
　また、プラズマ発生装置２０によってプラズマガスが照射ブロック１８０に照射されている際においても、濃度検出機構３４によって、カバーハウジング２２内の酸素濃度が検出される。このため、プラズマ照射時におけるカバーハウジング２２内の酸素濃度も確認することができる。さらに、プラズマ発生装置２０によってプラズマガスが照射ブロック１８０に照射されている際に、湿度計３６によってカバーハウジング２２内の湿度も検出される。このため、プラズマ照射時におけるカバーハウジング２２内の湿度も確認することができる。
　このように、大気圧プラズマ照射装置１０では、照射ブロック１８０の温度，プラズマ発生装置２０の温度，プラズマガスの励起反応状態，プラズマガスの成分，カバーハウジング２２内の酸素濃度及び湿度が測定されながら、照射ブロック１８０にプラズマガスが照射される。なお、被処理液体に所定時間、プラズマガスが照射されることで、プラズマ照射された被処理液体による治療効果は発揮されることがわかっている。このため、貯留部１８４に貯留された被処理液体に、所定時間、プラズマガスが照射される。また、被処理液体は、プラズマガスが照射されることにより、貯留部１８４内で自然対流する。これにより、治療効果が発揮される均質な活性化されたプラズマ処理液体とすることができる。
　そして、被処理液体へのプラズマ照射が開始された後、所定時間が経過すると、貯留部１８４に貯留されたプラズマ処理液体は、排出ポンプの作動により排液チューブ１２２を介して排出される。この際、貯留部１８４からのプラズマ処理液体の排出が開始された後、所定時間が経過すると、貯留部１８４にプラズマ処理液体が残留していないとみなして、貯留部１８４からのプラズマ処理液体の排出を完了する。そして、次にプラズマ処理する被処理液体が、供給ポンプの作動により送液チューブ１２０を介して照射ブロック１８０の貯留部１８４へ供給される。以下、貯留部１８４に貯留された被処理液体への所定時間のプラズマ照射、プラズマ処理液体の排液、新たな被処理液体の照射ブロック１８０への供給、被処理液体へのプラズマ照射、…というプラズマ処理が、目標とする量のプラズマ処理液体が生成されるまで繰り返し実行される。
　このように、大気圧プラズマ照射装置１０では、カバーハウジング２２の内部に不活性ガスが供給されることで、カバーハウジング２２内の空気は、カバーハウジング２２の外部に排気される。この際、カバーハウジング２２内の酸素濃度が調整されることで、プラズマ照射に影響を及ぼす条件が管理される。詳しくは、プラズマは、活性ラジカルを含んでいるため、酸素と反応すると、オゾンとなり、プラズマ照射の効果が低下する。このため、プラズマ照射前とプラズマ照射中においてカバーハウジング２２内の酸素濃度を調整することで、プラズマ照射された培養液の効果に対する酸素濃度の影響を調べることが可能となる。また、同一条件下で培養液にプラズマを照射することが可能となる。これにより、効率的かつ再現性良く、プラズマ処理液体を生成することが可能となる。
　また、大気圧プラズマ照射装置１０では、プラズマの噴出口７２と培養液との間の距離が任意に設定される。これにより、プラズマ照射された培養液の効果に対する照射距離の影響を調べることが可能となり、効率的かつ再現性良く、プラズマ処理液体を生成することが可能となる。
　また、大気圧プラズマ照射装置１０では、プラズマ発生装置２０によってプラズマガスが照射ブロック１８０に照射されている際に、照射ブロック１８０の温度及びプラズマ発生装置２０の温度が測定される。これにより、プラズマ照射された培養液の効果に対する温度の影響を調べることが可能となり、効率的かつ再現性良く、プラズマ処理液体を生成することが可能となる。
　また、大気圧プラズマ照射装置１０では、プラズマ発生装置２０によってプラズマガスが照射ブロック１８０に照射されている際に、カバーハウジング２２内の湿度も測定される。これにより、プラズマ照射された培養液の効果に対する湿度の影響を調べることが可能となり、効率的かつ再現性良く、プラズマ処理液体を生成することが可能となる。
　また、大気圧プラズマ照射装置１０では、プラズマ発生装置２０によってプラズマガスが照射ブロック１８０に照射されている際に、プラズマガスのプラズマ光の強度が分光器３８により測定される。これにより、プラズマガスの励起反応状態を確認することが可能となり、効率的かつ再現性良く、プラズマ処理液体を生成することが可能となる。
　また、大気圧プラズマ照射装置１０では、プラズマ発生装置２０によってプラズマガスが照射ブロック１８０に照射されている際に、レーザ光測定装置４４によりプラズマガスにレーザ光が照射され、そのレーザ光の強度が測定される。これにより、プラズマガスの成分を確認することが可能となり、効率的かつ再現性良く、プラズマ処理液体を生成することが可能となる。
　また、下部カバー７８には、ダクト口１９０が形成されている。このため、カバーハウジング２２内への不活性ガスの供給により、カバーハウジング２２内が正圧となり、カバーハウジング２２内から自然排気される。また、下部カバー７８のダクト口１９０には、下部カバー７８の上面に向かうほど内径の大きいテーパ面１９２が形成されている。これにより、カバーハウジング２２の内部からの気体の排気を促進することが可能となる。さらに、排気機構４６には、オゾンフィルタ１９６が設けられている。これにより、プラズマと酸素とが反応し、オゾンが発生した場合であっても、オゾンの外部への排気を防止することが可能となる。
　また、制御装置４８のコントローラ２００は、図１３に示すように、照射部２１０と温度測定部２１２とを有している。照射部２１０は、照射ブロック１８０に貯留された被処理液体にプラズマガスを照射するための機能部である。温度測定部２１２は、照射ブロック１８０に貯留されている被処理液体にプラズマガスが照射されている際に、照射ブロック１８０の温度を測定するための機能部である。
　なお、上記実施例において、大気圧プラズマ照射装置１０は、プラズマ照射装置の一例である。プラズマ発生装置２０は、プラズマ発生装置の一例である。カバーハウジング２２は、ハウジングの一例である。湿度計３６は、湿度測定器の一例である。分光器３８は、分光器の一例である。照射ブロック温度測定器４０は、容器温度測定器の一例である。装置温度測定器４２は、装置温度測定器の一例である。レーザ光測定装置４４は、レーザ光測定装置の一例である。貫通穴７７は、貫通穴の一例である。ガラス板８０は、透過性部材の一例である。貫通穴１５６は、貫通穴の一例である。ガラス板１５８は、透過性部材の一例である。照射器１７０は、照射部の一例である。受光器１７２は、受光部の一例である。照射ブロック１８０は、容器の一例である。また、照射部２１０により実行される工程は、照射工程の一例である。温度測定部２１２により実行される工程は、温度測定工程の一例である。
　以上、上記した本実施形態では、以下の効果を奏する。
　大気圧プラズマ照射装置１０は、被処理液体を貯留する照射ブロック１８０と、照射ブロック１８０に貯留された被処理液体に照射するプラズマを発生させるプラズマ発生装置２０と、照射ブロック１８０の温度を測定する照射ブロック温度測定器４０とを備える。これにより、プラズマ照射された培養液の効果に対する照射ブロック１８０の温度の影響を調べることが可能となり、効率的かつ再現性良く、プラズマ処理液体を生成することが可能となる。
　また、大気圧プラズマ照射装置１０は、プラズマ発生装置２０の温度を測定する装置温度測定器４２を備える。これにより、プラズマ照射された培養液の効果に対するプラズマ発生装置２０の温度の影響を調べることが可能となり、効率的かつ再現性良く、プラズマ処理液体を生成することが可能となる。
　また、カバーハウジング２２に貫通穴１５６が形成されており、その貫通穴１５６にガラス板１５８が嵌め込まれている。そして、照射ブロック温度測定器４０はカバーハウジング２２の外部に配設されており、ガラス板１５８を介して照射ブロック１８０の温度を測定する。これにより、照射ブロック温度測定器４０が、高温となるカバーハウジング２２の内部でなく、カバーハウジング２２の外部に配設されることで、照射ブロック温度測定器４０の損傷，故障等が防止される。
　また、大気圧プラズマ照射装置１０は、プラズマ発生装置２０が発生するプラズマの強度を測定する分光器３８を備える。これにより、プラズマガスの励起反応状態を確認することが可能となり、効率的かつ再現性良く、プラズマ処理液体を生成することが可能となる。
　また、大気圧プラズマ照射装置１０は、レーザ光測定装置４４を備えており、レーザ光測定装置４４は、プラズマ発生装置２０が発生するプラズマにレーザ光を照射する照射器１７０と、照射器１７０が照射したレーザ光を受光する受光器１７２と有している。そして、受光器１７２が受光したレーザ光の強度に基づいて、プラズマの成分が演算される。これにより、効率的かつ再現性良く、プラズマ処理液体を生成することが可能となる。
　また、カバーハウジング２２に１対の貫通穴７７が形成されており、それら１対の貫通穴７７に１対のガラス板８０が嵌め込まれている。そして、レーザ光測定装置４４の照射器１７０はカバーハウジング２２の外部に配設されており、１対のガラス板８０の一方を介してレーザ光をプラズマに向って照射する。また、レーザ光測定装置４４の受光器１７２もカバーハウジング２２の外部に配設されており、照射器１７０から照射されたレーザ光を１対のガラス板８０の一方を介して受光する。このように、レーザ光測定装置４４は、高温となるカバーハウジング２２の内部でなく、カバーハウジング２２の外部に配設されることで、レーザ光測定装置４４の損傷，故障等が防止される。
　また、大気圧プラズマ照射装置１０は、カバーハウジング２２の内部の湿度を測定する湿度計３６を備えている。これにより、プラズマ照射された培養液の効果に対する湿度の影響を調べることが可能となり、効率的かつ再現性良く、プラズマ処理液体を生成することが可能となる。
　なお、本発明は、上記実施例に限定されるものではなく、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の態様で実施することが可能である。例えば、上記実施例では、密閉されたカバーハウジング２２の内部で被処理液体にプラズマが照射されているが、開放された空間で被処理液体にプラズマが照射されてもよい。また、上記実施例では、大気圧下で被処理液体にプラズマが照射されているが、減圧下で被処理液体にプラズマが照射されてもよい。
　また、上記実施例では、被処理液体として、培養液が採用されているが、培養液以外の液体を、被処理液体として採用することが可能である。また、医療の分野に限られず、工業分野等の種々の分野に、本開示を適用することが可能である。
　また、上記実施例では、湿度計３６と分光器３８と照射ブロック温度測定器４０と装置温度測定器４２とレーザ光測定装置４４とが大気圧プラズマ照射装置１０に配設されている。一方、湿度計３６と分光器３８と照射ブロック温度測定器４０と装置温度測定器４２とレーザ光測定装置４４との少なくとも１つが大気圧プラズマ照射装置１０に設けられていてもよい。
　１０：大気圧プラズマ照射装置（プラズマ照射装置）　　２０：プラズマ発生装置　　２２：カバーハウジング（ハウジング）　　３６:湿度計（湿度測定器）　　３８：分光器　　４０：照射ブロック温度測定器（容器温度測定器）　　４２：装置温度測定器　　４４：レーザ光測定装置　　７７：貫通穴　　８０：ガラス板（透過性部材）　　１５６：貫通穴　　１５８：ガラス板（透過性部材）　　１７０：照射器（照射部）　　１７２：受光器（受光部）　　１８０：照射ブロック（容器）　　２１０：照射部（照射工程）　　２１２：温度測定部（温度測定工程）

Claims (11)

  1. 　非処理液体を貯留する容器と、
    　前記容器に貯留された被処理液体に照射するプラズマを発生するプラズマ発生装置と、
    　前記容器の温度を測定する容器温度測定器と、
    　を備えるプラズマ照射装置。
  2. 　前記プラズマ発生装置の温度を測定する装置温度測定器を備える請求項１に記載のプラズマ照射装置。
  3. 　前記容器を覆うハウジングと、
    　前記ハウジングの外部に配設され、前記ハウジングに形成された貫通穴に嵌め込まれた透過性部材を介して前記容器の温度を測定する前記容器温度測定器と、
    　を備える請求項１または請求項２に記載のプラズマ照射装置。
  4. 　前記プラズマ発生装置が発生するプラズマの強度を測定する分光器を備える請求項１ないし請求項３のいずれか１つに記載のプラズマ照射装置。
  5. 　前記プラズマ発生装置が発生するプラズマに向ってレーザ光を照射する照射部と、前記照射部が照射したレーザ光を受光する受光部とを有し、レーザ光の強度を測定するレーザ光測定装置を備える請求項１ないし請求項４のいずれか１つに記載のプラズマ照射装置。
  6. 　前記容器を覆い、前記容器を挟んだ位置に形成された１対の貫通穴を有するハウジングと、
    　前記ハウジングの外部に配設され、前記１対の貫通穴の一方に嵌め込まれた透過性部材を介してレーザ光を照射する前記照射部と、前記ハウジングの外部に配設され、前記１対の貫通穴の他方に嵌め込まれた透過性部材を介してレーザ光を受光する前記受光部とを有する前記レーザ光測定装置を備える請求項５に記載のプラズマ照射装置。
  7. 　前記容器を覆うハウジングと、
    　前記ハウジングの内部の湿度を測定する湿度測定器と、
    　を備える請求項１ないし請求項６のいずれか１つに記載のプラズマ照射装置。
  8. 　非処理液体を貯留する容器と、
    　前記容器に貯留された被処理液体に照射するプラズマを発生するプラズマ発生装置と、
    　前記プラズマ発生装置が発生するプラズマの強度を測定する分光器と、
    　を備えるプラズマ照射装置。
  9. 　非処理液体を貯留する容器と、
    　前記容器に貯留された被処理液体に照射するプラズマを発生するプラズマ発生装置と、
    　前記プラズマ発生装置が発生するプラズマに向ってレーザ光を照射する照射部と、前記照射部が照射したレーザ光を受光する受光部とを有し、レーザ光の強度を測定するレーザ光測定装置と、
    　を備えるプラズマ照射装置。
  10. 　非処理液体を貯留する容器と、
    　前記容器を覆うハウジングと、
    　前記容器に貯留された被処理液体に照射するプラズマを発生するプラズマ発生装置と、
    　前記ハウジングの内部の湿度を測定する湿度測定器と、
    　を備えるプラズマ照射装置。
  11. 　容器に貯留された被処理液体にプラズマを照射する照射工程と、
    　前記照射工程においてプラズマが前記容器に貯留された被処理液体に照射されている際に、前記容器の温度を測定する温度測定工程と、
    　を含み、
    　前記照射工程におけるプラズマの照射によりプラズマ処理液体を製造するプラズマ処理液体製造方法。
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