WO2023149417A1 - 撮像装置 - Google Patents

撮像装置 Download PDF

Info

Publication number
WO2023149417A1
WO2023149417A1 PCT/JP2023/003013 JP2023003013W WO2023149417A1 WO 2023149417 A1 WO2023149417 A1 WO 2023149417A1 JP 2023003013 W JP2023003013 W JP 2023003013W WO 2023149417 A1 WO2023149417 A1 WO 2023149417A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
signal
reference signal
comparison circuit
comparison
circuit
Prior art date
Application number
PCT/JP2023/003013
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
崇 馬上
拓朗 古坂
Original Assignee
ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 filed Critical ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社
Publication of WO2023149417A1 publication Critical patent/WO2023149417A1/ja

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N25/00Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
    • H04N25/50Control of the SSIS exposure
    • H04N25/57Control of the dynamic range
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N25/00Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
    • H04N25/60Noise processing, e.g. detecting, correcting, reducing or removing noise
    • H04N25/65Noise processing, e.g. detecting, correcting, reducing or removing noise applied to reset noise, e.g. KTC noise related to CMOS structures by techniques other than CDS
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N25/00Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
    • H04N25/70SSIS architectures; Circuits associated therewith
    • H04N25/76Addressed sensors, e.g. MOS or CMOS sensors
    • H04N25/78Readout circuits for addressed sensors, e.g. output amplifiers or A/D converters

Definitions

  • the present disclosure relates to imaging devices.
  • AD conversion is performed using a single-slope ADC (Analog to Digital Converter) with a simple configuration.
  • ADC Analog to Digital Converter
  • This type of ADC counts the time until a photoelectrically converted pixel signal crosses a sawtooth-shaped ramp wave signal with a counter, and generates a digital signal based on the count value (see Patent Document 1).
  • Recent cameras, smartphones, etc. may be equipped with HDR (High-Dynamic Range) functions to increase the dynamic range of captured images.
  • HDR is a technique for synthesizing images obtained by taking multiple shots while changing sensitivity and gain, and is capable of suppressing blown-out highlights in a captured image while also eliminating blocked-up shadows.
  • HDR in order to prevent blurring when synthesizing images, it is desirable to read out the signal obtained by one exposure by changing the sensitivity and gain, instead of performing exposure for each image to be synthesized.
  • the present disclosure provides an imaging device capable of realizing a single-exposure HDR function with a simple circuit configuration without increasing noise.
  • a first comparison circuit that outputs a first signal according to a comparison result of signal levels of a first reference signal corresponding to a first gain and a first input signal and, a second comparison circuit that outputs a second signal according to a comparison result between a second reference signal corresponding to a second gain different in amount from the first gain and a second input signal;
  • a third signal corresponding to a comparison result of signal levels of the first signal and the first input signal and a fourth signal corresponding to a comparison result of the second signal and the second input signal are different from each other.
  • a third comparison circuit that outputs in timing.
  • the first reference signal includes a signal period in which the signal level changes with a first slope over time
  • the second reference signal includes a signal period in which the signal level changes over time with a second slope different from the first slope
  • the first comparison circuit causes a signal level transition of the first signal when the signal levels of the first reference signal and the first input signal match
  • the second comparison circuit may change the signal level of the second signal when the signal levels of the second reference signal and the second input signal match.
  • the first reference signal has a first signal period during which the signal level changes with the first slope corresponding to the reset level, and a second signal period during which the signal level changes with the first slope corresponding to the signal level. death,
  • the second reference signal has a third signal period during which the signal level changes with the second slope corresponding to the reset level, and a fourth signal period during which the signal level changes with the second slope corresponding to the signal level.
  • the second gain has a gain amount larger than that of the first gain
  • the first reference signal may have a larger signal change amount per unit time than the second reference signal.
  • the first comparison circuit outputs the first signal corresponding to the comparison result between the first reference signal corresponding to reset level and the first input signal, and the first reference signal corresponding to signal level and the first input signal. outputting the first signal corresponding to the result of comparison with the input signal at different timings;
  • the second comparator circuit outputs the second signal corresponding to the comparison result between the second reference signal corresponding to the reset level and the second input signal, and the second reference signal corresponding to the signal level and the second input signal.
  • the second signal corresponding to the result of comparison with the input signal may be output at different timings.
  • a reference signal generation circuit that generates the first reference signal and the second reference signal, The first signal output from the first comparison circuit and the second signal output from the second comparison circuit may be input to the third comparison circuit via a common signal line.
  • the reference signal generating circuit sequentially outputs the first reference signal for reset level, the second reference signal for reset level, the second reference signal for signal level, and the first reference signal for signal level.
  • the reference signal generating circuit sequentially outputs the second reference signal for reset level, the first reference signal for reset level, the first reference signal for signal level, and the second reference signal for signal level.
  • the first comparison circuit performs comparison processing with the first input signal to output the first signal within a period in which the reference signal generation circuit outputs the first reference signal, and generates the reference signal. stop outputting the first signal within a period in which the circuit outputs the second reference signal;
  • the second comparison circuit performs comparison processing with the second input signal to output the second signal within a period in which the reference signal generation circuit outputs the second reference signal, and generates the reference signal. The output of the second signal may be stopped while the circuit outputs the first reference signal.
  • the first comparator circuit a first transistor having a source supplied with the first input signal and a gate supplied with a voltage according to the first reference signal; a first capacitor connected to the gate of the first transistor and holding a charge according to the initial voltage of the first reference signal; a first switch for switching whether to short-circuit the gate and drain of the first transistor; a second switch that switches whether to supply the drain voltage of the first transistor to the third comparison circuit;
  • the second comparator circuit a second transistor having a source supplied with the second input signal and a gate supplied with a voltage according to the second reference signal; a second capacitor connected to the gate of the second transistor and holding a charge corresponding to the initial voltage of the second reference signal; a third switch for switching whether to short-circuit the gate and drain of the second transistor; and a fourth switch for switching whether to supply the drain voltage of the second transistor to the third comparison circuit.
  • the second switch supplies the drain voltage of the first transistor to the third comparison circuit within a period in which the first reference signal and the first input signal are input to the first comparison circuit, and cutting off a connection path between the drain of the first transistor and the third comparison circuit within a period in which the second reference signal and the second input signal are input to the second comparison circuit;
  • the fourth switch supplies the drain voltage of the second transistor to the third comparison circuit within a period in which the second reference signal and the second input signal are input to the second comparison circuit, and A connection path between the drain of the second transistor and the third comparison circuit may be cut off during a period in which the first reference signal and the first input signal are input to the first comparison circuit.
  • the first comparator circuit a fifth switch that switches whether to supply the first reference signal to one end of the first capacitor; a sixth switch for switching whether to supply a reference voltage of a predetermined voltage level to one end of the first capacitor;
  • the second comparator circuit a seventh switch that switches whether to supply the second reference signal to one end of the second capacitor; an eighth switch that switches whether to supply the reference voltage to one end of the second capacitor; During the period in which the first comparison circuit compares the signal levels of the first reference signal and the first input signal, the fifth switch outputs the first reference signal to one end of the first capacitor.
  • the sixth switch does not supply the reference voltage to one end of the first capacitor, and the seventh switch does not supply the second reference signal to one end of the second capacitor, and the eighth switch supplies the reference voltage to one end of the second capacitor,
  • the fifth switch outputs the first reference signal to one end of the first capacitor.
  • the sixth switch supplies the reference voltage to one end of the first capacitor, and the seventh switch supplies the second reference signal to one end of the second capacitor, and
  • the eighth switch may not supply the reference voltage to one end of the second capacitor.
  • the first comparison circuit has a third capacitor connected between a connection node between the first capacitor and the gate of the first transistor and a reference voltage node
  • the second comparison circuit has a fourth capacitor connected between a connection node between the second capacitor and the gate of the second transistor and the reference voltage node
  • the first capacitor, the second capacitor, the third capacitor, and the fourth capacitor may be variable in capacitance.
  • the first comparison circuit has a first buffer that buffers the first reference signal and supplies the first reference signal to one end of the first capacitor
  • the second comparison circuit may have a second buffer that buffers the second reference signal and supplies it to one end of the second capacitor.
  • the reference signal line may be connected to one end of the first capacitor and one end of the second capacitor.
  • first reference signal line that supplies the first reference signal to one end of the first capacitor
  • second reference signal line that supplies the second reference signal to one end of the second capacitor
  • a fourth comparison circuit is further provided for outputting a fifth signal according to a comparison result between a third input signal and a third reference signal corresponding to a third gain having a gain amount different from the first gain and the second gain.
  • the third comparison circuit provides a third signal corresponding to a comparison result of signal levels of the first signal and the first input signal, and a third signal corresponding to a comparison result of the second signal and the second input signal.
  • the fourth signal and the sixth signal corresponding to the comparison result between the fifth signal and the third input signal may be output at different timings.
  • the analog-digital converter may have the first comparison circuit, the second comparison circuit, and the third comparison circuit for each of the two or more pixels arranged in the first direction.
  • the pixel circuit is a conversion efficiency switching circuit that switches photoelectric conversion efficiency in synchronization with the comparison processing of the first comparison circuit and the second comparison circuit;
  • the conversion efficiency switching circuit may make the photoelectric conversion efficiency during the period in which the second comparison circuit performs the comparison process higher than the photoelectric conversion efficiency in the period in which the first comparison circuit performs the comparison process.
  • FIG. 2 is a block diagram schematically showing the outline of the system configuration of the CMOS image sensor;
  • FIG. 2 is a circuit diagram showing an example of the circuit configuration of a pixel;
  • FIG. 2 is a perspective view schematically showing a parallel-type chip structure of a CMOS image sensor;
  • 1 is an exploded perspective view schematically showing a laminated semiconductor chip structure of a CMOS image sensor;
  • FIG. 4 is a diagram showing an example of the configuration of an analog-digital converter;
  • FIG. 4 is a diagram showing a circuit configuration example of a comparator according to a reference example;
  • FIG. 4 is a timing chart for explaining an example of circuit operation of a comparator according to a reference example;
  • FIG. 4 is a characteristic diagram showing an example of characteristics of a P-channel MOS transistor used as an input transistor in a comparator according to a reference example;
  • FIG. 4 is a circuit diagram of a comparator according to a reference example in which buffers are arranged; 4 is a circuit diagram of a comparator in the imaging device according to the first embodiment;
  • FIG. FIG. 10 is a timing diagram of the comparator of FIG. 9;
  • FIG. 4 is a circuit diagram of pixels and comparators in an imaging device according to a second embodiment;
  • FIG. 12 is a timing diagram of the comparator of FIG. 11;
  • FIG. 11 is a circuit diagram of a comparator in an imaging device according to the third embodiment;
  • FIG. 14 is a timing diagram of the comparator of FIG. 13;
  • FIG. 11 is a circuit diagram of a comparator in an imaging device according to the fourth embodiment;
  • FIG. 16 is a timing diagram of the comparator of FIG. 15;
  • FIG. 12 is a circuit diagram of a comparator in the imaging device according to the fifth embodiment;
  • FIG. 18 is a diagram showing an example in which the comparators in FIG. 17 are arranged for each column;
  • FIG. 18 is a circuit diagram of a comparator according to the first modification of FIG. 17;
  • FIG. 20 is a diagram showing an example in which the comparators in FIG. 19 are arranged for each column;
  • FIG. 21 is a modified example of FIG. 20, showing an example in which a buffer is also connected to the reference signal line;
  • FIG. 18 is a circuit diagram of a comparator according to a second modification of FIG. 17;
  • FIG. 11 is a circuit diagram of a comparator in an imaging device according to the sixth embodiment;
  • FIG. 11 is a circuit diagram of a comparator in an imaging device according to the seventh embodiment;
  • FIG. 25 is a timing diagram for the comparator of FIG. 24;
  • FIG. 25 is a circuit diagram of a comparator according to a modified example of FIG. 24;
  • FIG. 27 is a diagram showing an example in which the comparators of FIG. 24 or FIG. 26 are arranged for each column;
  • FIG. 12 is a schematic layout diagram of a comparator according to the eighth embodiment;
  • FIG. 4 is a schematic layout diagram of a comparator according to a comparative example;
  • 1 is a block diagram showing an example of a schematic configuration of a vehicle control system;
  • FIG. 2 is an explanatory diagram showing an example of installation positions of an information detection unit outside the vehicle and an imaging unit;
  • an imaging device will be described below with reference to the drawings. Although the main components of the imaging device will be mainly described below, the imaging device may have components and functions that are not illustrated or described. The following description does not exclude components or features not shown or described.
  • CMOS Complementary Metal Oxide Semiconductor
  • a CMOS image sensor is an image sensor fabricated by applying or partially using a CMOS process.
  • FIG. 1 is a block diagram schematically showing an outline of a system configuration of a CMOS image sensor, which is an example of an imaging device 1 to which technology according to the present disclosure is applied.
  • the CMOS image sensor 1 has a configuration including a pixel array section 11 and a peripheral circuit section of the pixel array section 11 .
  • the pixel array section 11 has a configuration in which pixels (pixel circuits) 20 including light receiving elements are two-dimensionally arranged in the row direction X and the column direction Y, that is, in a matrix.
  • the row direction X refers to the arrangement direction of each pixel row extending in the column direction Y.
  • the pixels 20 perform photoelectric conversion to generate and store photocharges corresponding to the amount of received light.
  • the peripheral circuit section of the pixel array section 11 includes, for example, a row selection section 12, an analog-digital conversion section 13, a logic circuit section 14 as a signal processing section, a timing control section 15, and the like.
  • a plurality of pixel control lines 31 (31 1 to 31 m ) are arranged in the row direction X for each pixel row with respect to the matrix-like pixel arrangement.
  • Signal lines 32 (32 1 to 32 n ) are arranged in the column direction Y for each pixel column.
  • the pixel control lines 31 transmit drive signals for driving corresponding pixel rows.
  • One end of the pixel control line 31 is connected to an output terminal corresponding to each row of the row selection section 12 .
  • the row selection unit 12 is composed of a shift register, an address decoder, and the like, and controls pixel row scanning and pixel row addressing when selecting each pixel 20 of the pixel array unit 11 .
  • the specific configuration of the row selection unit 12 is omitted from the drawing, it generally has two scanning systems, a readout scanning system and a discharge scanning system.
  • the readout scanning system In order to read out pixel signals from the pixels 20, the readout scanning system sequentially selectively scans the pixels 20 of the pixel array section 11 row by row. A pixel signal read out from the pixel 20 is an analog signal.
  • the sweep-scanning system performs sweep-scanning ahead of the read-out scanning by the shutter speed for the read-out rows to be read-scanned by the read-out scanning system.
  • a so-called electronic shutter operation is performed by sweeping out (resetting) unnecessary charges by this sweeping scanning system.
  • the electronic shutter operation refers to an operation of discarding the photocharges of the photoelectric conversion element and newly starting exposure (starting accumulation of photocharges).
  • the analog-to-digital converter 13 is composed of a set of a plurality of analog-to-digital converters (ADC) provided corresponding to the pixel columns of the pixel array section 11 (for example, for each pixel column).
  • the analog-to-digital converter 13 is a column-parallel type analog-to-digital converter that converts analog pixel signals output through the signal lines 32 1 to 32 n for each pixel column into digital signals.
  • analog-to-digital converter in the analog-to-digital converter 13 for example, a single slope type analog-to-digital converter, which is an example of a reference signal comparison type analog-to-digital converter, can be used.
  • the logic circuit section 14 which is a signal processing section, reads pixel signals digitized by the analog-digital conversion section 13 and performs predetermined signal processing. Specifically, the logic circuit unit 14 performs predetermined signal processing such as vertical line defect correction, point defect correction, signal clamping, parallel-serial conversion, compression, encoding, addition, averaging, and so on. , and digital signal processing such as intermittent operation. The logic circuit unit 14 outputs the generated image data to a subsequent device as the output signal OUT of the CMOS image sensor 1 .
  • predetermined signal processing such as vertical line defect correction, point defect correction, signal clamping, parallel-serial conversion, compression, encoding, addition, averaging, and so on.
  • digital signal processing such as intermittent operation.
  • the logic circuit unit 14 outputs the generated image data to a subsequent device as the output signal OUT of the CMOS image sensor 1 .
  • the timing control unit 15 generates various timing signals, clock signals, control signals, etc., based on the synchronization signal provided from the outside. Based on these generated signals, the timing control unit 15 controls driving of the row selection unit 12, the analog-digital conversion unit 13, the logic circuit unit 14, and the like.
  • FIG. 2 is a circuit diagram showing an example of the circuit configuration of the pixel 20.
  • the pixel 20 has, for example, a photodiode 21 as a photoelectric conversion element.
  • the pixel 20 includes a transfer transistor 22 , a reset transistor 23 , an amplification transistor 24 and a selection transistor 25 in addition to the photodiode 21 .
  • the four transistors of the transfer transistor 22, the reset transistor 23, the amplification transistor 24, and the selection transistor 25, for example, N-channel MOS field effect transistors are used.
  • the combination of the conductivity types of the four transistors 22 to 25 illustrated here is merely an example, and the combination is not limited to these combinations.
  • a plurality of pixel control lines are commonly wired to the pixels 20 in the same pixel row as the pixel control lines 31 (31 1 to 31 m ) described above.
  • the plurality of pixel control lines are connected to the output terminals corresponding to the respective pixel rows of the row selection section 12 in units of pixel rows.
  • the row selection unit 12 appropriately outputs a transfer signal TRG, a reset signal RST, and a selection signal SEL to a plurality of pixel control lines.
  • the photodiode 21 has an anode electrode connected to a low-potential power source (for example, ground), photoelectrically converts the received light into photocharges (here, photoelectrons) corresponding to the amount of light, and converts the light into photoelectrons. Accumulate electric charge.
  • a cathode electrode of the photodiode 21 is electrically connected to a gate electrode of the amplification transistor 24 via the transfer transistor 22 .
  • the region where the gate electrode of the amplification transistor 24 is electrically connected is a floating diffusion (floating diffusion region/impurity diffusion region) FD.
  • the floating diffusion FD is a charge-voltage converter that converts charge into voltage.
  • a gate electrode of the transfer transistor 22 is supplied with a transfer signal TRG from the row selection section 12 whose high level (for example, VDD level) is active.
  • a transfer signal TRG from the row selection section 12 whose high level (for example, VDD level) is active.
  • the transfer transistor 22 becomes conductive in response to the transfer signal TRG, the photocharges photoelectrically converted by the photodiode 21 and accumulated in the photodiode 21 are transferred to the floating diffusion FD.
  • the reset transistor 23 is connected between the node of the high potential side power supply voltage V DD and the floating diffusion FD.
  • a gate electrode of the reset transistor 23 is supplied with a reset signal RST from the row selection section 12 whose high level is active.
  • the reset transistor 23 becomes conductive in response to the reset signal RST, and resets the floating diffusion FD by dumping the charge of the floating diffusion FD to the voltage VDD node.
  • the amplification transistor 24 has a gate electrode connected to the floating diffusion FD and a drain electrode connected to the node of the high-potential power supply voltage VDD .
  • the amplification transistor 24 serves as an input part of a source follower that reads out a signal obtained by photoelectric conversion in the photodiode 21 . That is, the amplification transistor 24 has a source electrode connected to the signal line 32 via the selection transistor 25 .
  • the selection transistor 25 has a drain electrode connected to the source electrode of the amplification transistor 24 and a source electrode connected to the signal line 32 .
  • the gate electrode of the selection transistor 25 is supplied with a selection signal SEL from the row selection section 12 whose high level is active.
  • the selection transistor 25 becomes conductive in response to the selection signal SEL, thereby transmitting the signal output from the amplification transistor 24 to the signal line 32 with the pixel 20 in the selected state.
  • the pixel 20 is composed of the transfer transistor 22, the reset transistor 23, the amplification transistor 24, and the selection transistor 25, that is, a 4Tr configuration composed of four transistors (Tr). , but not limited to these.
  • a 3Tr configuration in which the selection transistor 25 is omitted and the amplification transistor 24 has the function of the selection transistor 25 can be used, or a configuration of 5Tr or more with an increased number of transistors can be used as necessary. .
  • semiconductor chip structure As the semiconductor chip structure of the CMOS image sensor 1 having the above configuration, a parallel semiconductor chip structure and a stacked semiconductor chip structure can be exemplified.
  • the pixel structure when the substrate surface on which the wiring layer is formed is defined as the front surface (front surface), it is also possible to adopt a back-illuminated pixel structure in which light emitted from the back surface on the opposite side is taken in. Alternatively, a surface-illuminated pixel structure that captures light emitted from the surface side may be employed.
  • FIG. 3A is a perspective view schematically showing a parallel-type chip structure of the CMOS image sensor 1.
  • each component of the peripheral circuit section of the pixel array section 11 is formed on the same semiconductor substrate 41 as the pixel array section 11 in which the pixels 20 are arranged in a matrix. It has a formed structure.
  • the row selection section 12, the analog-digital conversion section 13, the logic circuit section 14, the timing control section 15, and the like are formed.
  • Pads 42 for external connection and power supply are provided, for example, at both left and right ends of the semiconductor substrate 41 of the first layer.
  • FIG. 3B is an exploded perspective view schematically showing the laminated semiconductor chip structure of the CMOS image sensor 1.
  • a laminated semiconductor chip structure As shown in FIG. 3B, a laminated semiconductor chip structure, a so-called laminated structure, has a structure in which at least two semiconductor chips, a first-layer semiconductor chip 43 and a second-layer semiconductor chip 44, are stacked. .
  • the first semiconductor chip 43 has a pixel array section 11 in which pixels 20 each including a photoelectric conversion element (for example, a photodiode 21) are arranged two-dimensionally in a matrix.
  • Pads 42 for external connection and power supply are provided at, for example, both left and right ends of the semiconductor chip 43 of the first layer.
  • the second-layer semiconductor chip 44 is a circuit chip in which the peripheral circuit portion of the pixel array portion 11, that is, the row selection portion 12, the analog-digital conversion portion 13, the logic circuit portion 14, the timing control portion 15, and the like are formed. is. Note that the arrangement of the row selection unit 12, the analog-digital conversion unit 13, the logic circuit unit 14, and the timing control unit 15 is an example, and is not limited to this arrangement example.
  • the pixel array portion 11 on the semiconductor chip 43 of the first layer and the peripheral circuit portion on the semiconductor chip 44 of the second layer are metal-metal bonding including Cu-Cu bonding, Through Silicon Via (TSV). ), and are electrically connected via bonding portions 45 and 46 composed of microbumps or the like.
  • TSV Through Silicon Via
  • a process suitable for manufacturing the pixel array section 11 can be applied to the semiconductor chip 43 of the first layer, and a process suitable for manufacturing the circuit section can be applied to the semiconductor chip 44 of the second layer. process can be applied.
  • the process can be optimized in manufacturing the CMOS image sensor 1 .
  • the process can be optimized in manufacturing the CMOS image sensor 1 .
  • the analog-digital converter 13 is composed of a set of a plurality of single-slope analog-digital converters provided corresponding to each pixel column of the pixel array section 11 .
  • the n-th column single-slope analog-digital converter 33 will be described as an example.
  • the analog-digital converter 33 has a circuit configuration having a comparator 34 and a counter 35 .
  • a reference signal generated by the reference signal generating circuit 16 is used in the single slope analog-digital converter 33 .
  • the reference signal generation circuit 16 is composed of, for example, a digital-analog converter (DAC), and generates a reference signal V RAMP having a ramp waveform (so-called ramp wave) whose level (voltage) monotonously decreases with the passage of time. and applied as a reference signal to the comparator 34 provided for each pixel column.
  • DAC digital-analog converter
  • the comparator 34 uses the analog pixel signal V VSL read out from the pixel 20 as a comparison input and the ramp wave reference signal V RAMP generated by the reference signal generation circuit 16 as a reference input, and compares both signals.
  • the output of the comparator 34 is in the first state (for example, high level) when the reference signal V RAMP is greater than the pixel signal V VSL , and when the reference signal V RAMP is less than or equal to the pixel signal V VSL . , the output goes to the second state (eg, low level).
  • the comparator 34 outputs a pulse signal having a pulse width corresponding to the signal level of the pixel signal V VSL , specifically, the magnitude of the signal level, as a comparison result.
  • the counter 35 is supplied with the clock signal CLK from the timing control unit 15 at the same timing as the supply start timing of the reference signal V RAMP to the comparator 34 .
  • the counter 35 performs a count operation in synchronization with the clock signal CLK to measure the pulse width period of the output pulse of the comparator 34, that is, the period from the start of the comparison operation to the end of the comparison operation.
  • the count result (count value) of the counter 35 is supplied to the logic circuit section 14 as a digital value obtained by digitizing the analog pixel signal VVSL .
  • the reference signal VRAMP of the ramp wave generated by the reference signal generation circuit 16 and the signal line 32 from the pixel 20 A digital value can be obtained from the time information until the magnitude relationship with the analog pixel signal V VSL read out through V VSL changes.
  • analog-to-digital converter 13 a configuration in which the analog-to-digital converters 33 are arranged in a one-to-one correspondence with respect to the pixel columns of the pixel array unit 11 is illustrated. A configuration in which the analog-to-digital converter 33 is arranged for each pixel column is also possible.
  • a P-channel MOS (Metal-Oxide-Semiconductor) transistor having a source electrode to which an analog pixel signal is input and a gate electrode to which a predetermined reference signal is input is provided.
  • MOS Metal-Oxide-Semiconductor
  • the drain voltage of the P-channel MOS transistor fluctuates according to the level of the pixel signal.
  • the timing at which the comparison result of the detector is inverted may deviate from the ideal timing at which the pixel signal and the reference signal match. Due to this inversion timing error, a digital signal resulting from analog-to-digital conversion of a pixel signal has an error and non-linearity, and the image quality of the image data is degraded.
  • FIG. 5 shows a circuit configuration example of a comparator according to the reference example.
  • the circuit configuration for one pixel column is illustrated.
  • the comparator 34 includes a capacitive element C11 , an auto-zero switch SWAZ , an input transistor PT11 , an input-side load current source I11 , a capacitive element C12 , and an input-side clamp transistor PT13. , an input clamp transistor NT 11 , an output transistor PT 12 , an output load current source I 12 , and an output clamp transistor NT 12 .
  • the input transistor PT11 consists of a P-channel MOS transistor and is connected between the signal line 32 and the input side load current source I11 . Specifically, the source electrode of the input transistor PT11 is connected to the signal line 32, and the drain electrode is connected to one end of the input side load current source I11 . As a result, the analog pixel signal V VSL is input to the source electrode of the input transistor PT 11 through the signal line 32 .
  • the backgate and source electrodes of the input transistor PT11 may be shorted to suppress the backgate effect.
  • the other end of the input-side load current source I 11 is connected to a low-potential power supply, eg, ground GND.
  • the input side load current source I 11 supplies a constant current to the series connection circuit of the input transistor PT 11 and the signal line 32 .
  • the capacitive element C11 is connected between the input terminal T11 for the ramp-wave reference signal V RAMP and the gate electrode of the input transistor PT11 , serves as an input capacitance for the reference signal V RAMP , and absorbs the offset.
  • the analog pixel signal V VSL is input to the source electrode of the input transistor PT 11 through the signal line 32, and the ramp wave reference signal V RAMP is input to the gate electrode through the capacitive element C 11 .
  • the input transistor PT 11 has the difference between the ramp wave reference signal V RAMP input to the gate electrode and the analog pixel signal V VSL input to the source electrode, that is, the gate-source voltage V of the input transistor PT 11 .
  • gs is amplified and output from the drain electrode as a drain voltage Vd .
  • the auto-zero switch SW AZ is connected between the gate electrode and the drain electrode of the input transistor PT11 , and is turned on (closed) by the drive signal AZ input from the timing control section 15 shown in FIG. 1 via the input terminal T12 . /OFF (open) control is performed.
  • the auto-zero switch SW AZ When the auto-zero switch SW AZ is turned on, it performs auto-zero (initialization operation) to short-circuit the gate electrode and the drain electrode of the input transistor PT11 .
  • the auto-zero switch SWAZ can be configured using a P-channel or N-channel MOS transistor.
  • the capacitive element C12 is connected in parallel with the input transistor PT11 . Specifically, one end of the capacitive element C12 is connected to the source electrode of the input transistor PT11 , and the other end of the capacitive element C12 is connected to the drain electrode of the input transistor PT11 .
  • the capacitive element C12 is a band limiting capacitor.
  • the input-side clamp transistor PT13 is composed of, for example, a P-channel MOS transistor, and is connected between the source and drain electrodes of the input transistor PT11 .
  • the input-side clamp transistor PT13 has a diode-connected configuration in which a gate electrode and a source electrode are commonly connected to prevent a drop in the drain voltage of the input transistor PT11 when the input transistor PT11 is in a non-conducting state. It acts as a suppressor.
  • the input-side clamp transistor NT11 is composed of an N-channel MOS transistor and has a drain electrode connected to the source electrode of the input transistor PT11 and a source electrode connected to the drain electrode of the input transistor PT11 .
  • a predetermined bias voltage bias1 is applied to the gate electrode of the input-side clamp transistor NT11 .
  • a predetermined bias voltage bias1 is applied to the gate electrode of the input-side clamp transistor NT11 .
  • the lower limit of the drain voltage Vd of the input transistor PT11 can be restricted, and stoppage of drain current supply can be directly prevented.
  • the output transistor PT12 is composed of, for example, a P-channel MOS transistor, and is connected between the signal line 32 and the output side load current source I12 . Specifically, the source electrode of the output transistor PT12 is connected to the signal line 32, and the drain electrode is connected to one end of the output side load current source I12 . As a result, the pixel signal V VSL is input through the signal line 32 to the source electrode of the output transistor PT12 .
  • the backgate and source electrodes of the output transistor PT12 may be shorted to suppress the backgate effect.
  • the other end of the output-side load current source I12 is connected to a low-potential power supply, eg, ground GND.
  • the output side load current source I 12 supplies a constant current to the series connection circuit of the output transistor PT 12 and the signal line 32 .
  • the gate electrode of the output transistor PT12 is connected to the drain electrode of the input transistor PT11 .
  • the drain voltage of the input transistor PT11 is input to the gate electrode of the output transistor PT12 .
  • the output-side clamp transistor NT12 is composed of an N-channel MOS transistor, and has a drain electrode connected to the source electrode of the output transistor PT12 and a source electrode connected to the drain electrode of the output transistor PT12 .
  • a predetermined bias voltage bias2 is applied to the gate electrode of the output-side clamp transistor NT12 .
  • the output-side clamp transistor NT12 which is an N-channel MOS transistor, can limit the lower limit of the drain voltage of the output transistor PT12 .
  • the comparator 34 according to the reference example has a circuit configuration in which the load current sources I 11 and I 12 that supply current to the signal line 32 are shared as the current sources of the comparator 34. . According to the comparator 34 having this circuit configuration, the power consumption of the analog-digital converter 33 and, in turn, the power consumption of the CMOS image sensor 1 can be reduced. That is, the comparator 34 according to the reference example is an ultra-low power consumption type comparator.
  • the comparator 34 since the input transistor PT 11 supplies the voltage between the drain and the source between the gate and the source of the output transistor PT 12 , the change in the analog pixel signal V VSL and the reference to the ramp wave The comparison result can be inverted at the timing that coincides with the change of the signal VRAMP . As a result, the nonlinearity caused by the error in the inversion timing can be reduced, and the image quality of the image data can be improved.
  • FIG. 6 is a timing chart for explaining an example of circuit operation of the comparator 34 according to the reference example.
  • the timing chart of FIG. 6 includes the analog pixel signal V VSL , the ramp wave reference signal V RAMP , the drain voltage V d of the input transistor PT 11 , the comparison result COMP of the comparator 34, and the drive signal of the auto-zero switch SW AZ .
  • the timing relationship of each waveform of AZ is shown.
  • drive signal AZ for auto-zero switch SW AZ becomes active (high level) for a predetermined auto-zero period.
  • the auto-zero switch SW AZ is turned on (closed) in response to the drive signal AZ, short-circuiting the gate electrode and the drain electrode of the input transistor PT 11 , and initializing the comparator 34, i.e. auto-zeroing. I do.
  • the reference signal generation circuit 16 After the auto-zero operation, the reference signal generation circuit 16 starts outputting the reference signal VRAMP at time t2 .
  • the reference signal V RAMP is a ramp wave signal whose level (voltage) monotonously decreases over time.
  • noise removal processing is generally performed by correlated double sampling (CDS) in order to remove noise during the reset operation of the pixels 20.
  • CDS correlated double sampling
  • the reset level V VSL_P corresponds to the potential of the signal line 32 corresponding to the potential of the floating diffusion FD of the pixel 20 when the floating diffusion FD is reset.
  • the signal level V VSL_D is the potential obtained by photoelectric conversion in the photodiode 21, that is, the potential of the floating diffusion FD when the charge accumulated in the photodiode 21 is transferred to the floating diffusion FD. Corresponds to electric potential.
  • the reference signal V RAMP whose voltage gradually decreases with the lapse of time crosses the reset level V VSL_P via an offset voltage (not shown) determined during the auto-zero operation.
  • the drain voltage V d of the input transistor PT 11 at time t 3 is V d_p
  • the drain voltage V d_p or less is low level
  • the drain voltage V d_p or more is high level
  • the drain voltage of the input transistor PT 11 is V d reverses from low level to high level around time t3 .
  • the reference signal V RAMP is initialized, and from time t4 , the reference signal V RAMP starts to gradually decrease again.
  • the reference signal V RAMP starts to gradually decrease again.
  • the signal level VVSL_D is output as the pixel signal. This signal level V VSL_D is lower than the reset level V VSL_P by ⁇ V.
  • the reference signal V RAMP whose voltage gradually decreases with the lapse of time crosses the signal level V VSL_D through an offset voltage (not shown) determined during the auto-zero operation.
  • the drain voltage Vd of the input transistor PT11 at time t5 be Vd_d .
  • This drain voltage V d_d is lower than the drain voltage V d_p by ⁇ V. That is, the drain voltage V d_d at time t 5 has a lower value as the signal level V VSL_D , which is the pixel signal at that time, is lower.
  • the drain voltage Vd_d of the input transistor PT11 drops by ⁇ V from the drain voltage Vd_p at the time of conversion of the reset level VVSL_P .
  • linearity errors and offsets occur in the analog-to-digital converter 33, and there is a risk that the image quality of the image data will be degraded due to these errors.
  • the output transistor PT12 is provided after the input transistor PT11 . connected to the electrodes. Through this connection, the drain-source voltage V ds of the input transistor PT 11 is input to the output transistor PT 12 as its gate-source voltage.
  • the voltage of the pixel signal V VSL is set at time t 3 and time t 5 when the reference signal V RAMP intersects the pixel signal V VSL via an offset voltage (not shown) determined during the auto zero operation.
  • the drop amount ⁇ V is the same as the voltage drop amount of the drain voltage Vd of the input transistor PT11 . Therefore, the drain-source voltage Vds has the same value at these timings.
  • the value of the drain-source voltage V ds at this time (that is, time t 3 and time t 5 ) is the same as at the time of auto zero. Since the drain-source voltage V ds of the input transistor PT 11 is the gate-source voltage of the output transistor PT 12 , the drain voltage of the output transistor PT 12 is inverted near time t 3 and time t 5 .
  • the inversion timing of the comparison result COMP of the comparator 34 corresponds to the ideal timing at which the reference signal V RAMP crosses the signal level V VSL_D , the inversion timing error is suppressed. This makes it possible to reduce the linearity error and offset and improve the image quality of the image data compared to the case where only the drain voltage V d_p of the input transistor PT 11 is used for generating the comparison result COMP.
  • the amount of voltage drop ⁇ V in the drain voltage Vd of the input transistor PT11 becomes equal to the amount of voltage drop in the pixel signal VVSL input to the source electrode of the input transistor PT11 . I will explain why.
  • FIG. 7 is a characteristic diagram showing an example of the characteristics of a P-channel MOS transistor used as the input transistor PT11 in the comparator 34 according to the reference example.
  • the vertical axis is the drain current
  • the horizontal axis is the drain-source voltage.
  • the dashed line indicates the boundary between the linear region and the saturation region.
  • Id (1/2) ⁇ C ox (W/L) ⁇ (V GS ⁇ V th ) 2 (1+ ⁇ V ds ) (1)
  • is the electron mobility
  • C ox is the capacitance per unit area of the MOS capacitor
  • W is the gate width
  • L is the gate length
  • V th is the threshold voltage.
  • is a predetermined coefficient.
  • the input transistor PT11 is a P-channel MOS transistor
  • equation (1) holds in the saturation region.
  • the drain current Id of the input transistor PT11 is a constant value Id1 supplied by the input-side load current source I11 .
  • the electron mobility ⁇ , the unit capacitance C ox , the gate width W, the gate length L, the threshold voltage V th , and the coefficient ⁇ are constant values.
  • the gate-source The inter-voltage V gs is a constant value that is determined during auto zero.
  • V ds V VSL_P - V d_p (2)
  • V ds1 V VSL_D -V d_d (3)
  • V VSL_P ⁇ V VSL_D V d_p ⁇ V d_d (4)
  • a capacitor for absorbing an offset is used to increase the driving power of the ramp-wave reference signal V RAMP supplied to the comparator of each pixel column and to decrease the output impedance.
  • a buffer may be placed before element C11 . At this time, buffer noise may adversely affect the comparator. For this reason, for example, in a conventional comparator having a differential amplifier configuration, as shown in the buffer 50 in FIG. I was letting
  • the noise of the buffer 50 arranged in front of the capacitive element C11 was taken as an example to explain the problem.
  • Noise that adversely affects the unit 13 is not limited to the noise of the buffer 50 .
  • the noise of the reference signal generation circuit 16 riding on the reference signal VRAMP of the ramp wave poses a problem in the image quality of the image data.
  • the noise of the reference signal generation circuit 16 riding on the reference signal VRAMP of the ramp wave poses a problem in the image quality of the image data.
  • the imaging apparatus 1 has an HDR function, and synthesizes images obtained by imaging a plurality of times while changing the sensitivity (gain) in one exposure. At this time, a circuit is devised so that noise is not added to the image data obtained by AD-converting the imaging result.
  • FIG. 9 is a circuit diagram of the comparator 34 in the imaging device 1 according to the first embodiment.
  • the comparator 34 of FIG. 9 has a first comparison circuit 51, a second comparison circuit 52, a third comparison circuit 53, a first current source 54, and a second current source 55.
  • the first comparison circuit 51 outputs a first signal according to the comparison result of the signal levels of the first reference signal corresponding to the first gain and the first input signal.
  • the first gain is sometimes called a low gain (LG: Low Gain).
  • the first reference signal is a reference signal corresponding to the first gain LG supplied from the reference signal generation circuit 16 through the reference signal line RAMP.
  • the first input signal is a pixel signal corresponding to the first gain LG supplied from the pixel via the signal line (VSL) 32 .
  • VSL signal line
  • the second comparison circuit 52 outputs a second signal according to the comparison result between the second input signal and the second reference signal corresponding to the second gain HG having a different gain amount from the first gain LG.
  • the second gain HG may be called a high gain (HG).
  • the second reference signal is a reference signal corresponding to the second gain HG supplied from the reference signal generation circuit 16 through the reference signal line RAMP.
  • the second input signal is a pixel signal corresponding to the second gain HG supplied from the pixel via the signal line 32 .
  • the internal configuration of the second comparison circuit 52 will be described later.
  • the first reference signal and the second reference signal are supplied from the reference signal generation circuit 16 via the common reference signal line RAMP. Also, the first signal output from the first comparison circuit 51 and the second signal output from the second comparison circuit 52 are input to the third comparison circuit 53 via a common line CPout1.
  • the third comparison circuit 53 outputs a third signal according to the comparison result of the signal levels of the first signal and the first input signal, and a fourth signal according to the comparison result of the second signal and the second input signal. , are output at different timings.
  • the third signal and fourth signal are output via a common line CPout2.
  • the third signal and the fourth signal are input to the counter 35 shown in FIG. 4 via this wiring CPout2.
  • Both the output node of the first comparison circuit 51 and the output node of the second comparison circuit 52 are connected to the input node of the third comparison circuit 53 and to one end of the first current source 54 .
  • the other end of the first current source 54 is connected to the ground node.
  • An output wiring CPout2 of the third comparison circuit 53 is connected to one end of the second current source 55 .
  • the other end of the second current source 55 is connected to the ground node.
  • the first comparison circuit 51 and the second comparison circuit 52 constitute a first stage comparison section
  • the third comparison circuit 53 constitutes a second stage comparison section.
  • the first comparison circuit 51 and the second comparison circuit 52 operate alternately, and the third comparison circuit 53 performs comparison operations in accordance with the comparison operations of the first comparison circuit 51 and the second comparison circuit 52 .
  • the reference signal generation circuit 16 shown in FIG. 4 supplies the first reference signal to the reference signal line RAMP at the timing when the first comparison circuit 51 performs the comparison operation, and supplies the first reference signal to the reference signal line RAMP at the timing when the second comparison circuit 52 performs the comparison operation.
  • a second reference signal is supplied to the reference signal line RAMP.
  • the first reference signal includes a signal period in which the signal level changes with the first slope over time.
  • the second reference signal includes a signal period in which the signal level changes over time with a second slope different from the first slope.
  • the first slope is steeper than the second slope, and the amount of change in the signal level of the first reference signal is greater than the amount of change in the signal level of the second reference signal.
  • the first comparison circuit 51 outputs a first signal corresponding to the difference between the signal level of the first reference signal and the signal level of the first input signal.
  • the second comparison circuit 52 outputs a second signal corresponding to the difference between the signal level of the second reference signal and the signal level of the second input signal.
  • the first reference signal has a first signal period LG_RST during which the signal level changes with a first slope corresponding to the reset level, and a second signal period during which the signal level changes with the first slope corresponding to the signal level.
  • LG_SIG The second reference signal has a third signal period HG_RST in which the signal level changes with a second slope corresponding to the reset level, and a fourth signal period HG_SIG in which the signal level changes with a second slope corresponding to the signal level.
  • the second gain HG has a larger gain amount than the first gain LG, the second slope is gentler than the first slope, and the signal change amount per unit time of the second reference signal is equal to that of the first reference signal. It is smaller than the amount of signal change per unit time.
  • the first comparison circuit 51 compares a first signal corresponding to a comparison result between a first reference signal corresponding to a reset level and a first input signal, and a first reference signal corresponding to a signal level and a first input signal. A first signal corresponding to the result is output at different timings.
  • the second comparison circuit 52 compares a second signal corresponding to the comparison result between the second reference signal corresponding to the reset level and the second input signal, and the second reference signal corresponding to the signal level and the second input signal.
  • a second signal corresponding to the result is output at different timings.
  • the first comparison circuit 51 performs comparison processing with the first input signal and outputs the first signal within a period in which the reference signal generation circuit 16 outputs the first reference signal, and the reference signal generation circuit 16 outputs the first reference signal. 2 Stop outputting the first signal during the period of outputting the reference signal.
  • the second comparison circuit 52 performs comparison processing with the second input signal and outputs a second signal within a period in which the reference signal generation circuit 16 outputs the second reference signal, and the reference signal generation circuit 16 outputs the second reference signal. The output of the second signal is stopped during the period of outputting one reference signal.
  • the first comparison circuit 51 has an input transistor Q1, a capacitive element AZC1, an auto-zero switch AZSW1, and a cutoff switch STSW1.
  • the input transistor Q1 is a P-channel MOS transistor, and the signal line 32 is connected to its source.
  • a capacitive element AZC1 is connected between the gate of the input transistor Q1 and the reference signal line RAMP.
  • An auto-zero switch AZSW1 is connected between the gate and drain of the input transistor Q1.
  • a cut-off switch STSW1 is connected between the drain of the input transistor Q1 and the output node of the first comparison circuit 51.
  • the auto-zero switch AZSW1 is turned on in time with the initial voltage just before the signal level of the first reference signal starts to change with the first slope, and holds the charge corresponding to the initial voltage in the capacitive element AZC1.
  • the cut-off switch STSW1 is provided to improve the speed (hereinafter referred to as response speed) of transitioning the output node of the first comparison circuit 51 to low level.
  • the second comparison circuit 52 has an input transistor Q2, a capacitive element AZC2, an auto-zero switch AZSW2, and a cutoff switch STSW2.
  • the input transistor Q2 is a P-channel MOS transistor, and the signal line 32 is connected to its source.
  • a capacitive element AZC2 is connected between the gate of the input transistor Q2 and the reference signal line RAMP.
  • An auto-zero switch AZSW2 is connected between the gate and drain of the input transistor Q2.
  • a cut-off switch STSW2 is connected between the drain of the input transistor Q2 and the output node of the second comparison circuit 52. As shown in FIG.
  • the auto-zero switch AZSW2 is turned on in time with the initial voltage just before the signal level of the second reference signal starts to change at the second slope, and holds the charge corresponding to the initial voltage in the capacitive element AZC2.
  • the cut-off switch STSW2 is provided to improve the speed of transitioning the output node of the second comparison circuit 52 to low level (hereinafter referred to as response speed).
  • the third comparison circuit 53 has an input transistor Q3.
  • the input transistor Q3 is, for example, a P-channel MOS transistor, and its gate is connected to the output wiring CPout1 connected to the drain of the first comparison circuit 51 and the drain of the second comparison circuit 52 .
  • the input transistor Q3 has a drain connected to the signal line 32 and a source connected to the output line CPout2 of the comparator 34 .
  • the comparator 34 in FIG. 9 may have a band limiting capacitor C1.
  • the band limiting capacitor C1 is connected between the signal line 32 and output nodes of the first comparison circuit 51 and the second comparison circuit 52 . By providing the band-limiting capacitor C1, it is possible to limit noise components above the cut-off frequency.
  • the comparator 34 of FIG. 9 may have a first clamp transistor Q4 and a second clamp transistor Q5.
  • the first clamp transistor Q4 and the second clamp transistor Q5 are N-channel MOS transistors.
  • the first clamp transistor Q4 has a drain connected to the signal line 32 and a source connected to the output wiring CPout1 of the first comparison circuit 51 and the second comparison circuit 52.
  • FIG. The drain of the second clamp transistor Q5 is connected to the signal line 32, and its source is connected to the output line CPout2 of the third comparison circuit 53.
  • the first clamp transistor Q4 and the second clamp transistor Q5 are provided to suppress a drop in drain voltage when the input transistors Q1 and Q2 are off.
  • the comparator 34 in FIG. 9 may have a third clamp transistor Q6.
  • the third clamp transistor Q6 is, for example, a P-channel MOS transistor, and has its gate and drain short-circuited.
  • the third comparison circuit 53 of FIG. 9 may have a comparison output switch CSW.
  • the comparison output switch CSW switches whether to short-circuit the output wiring CPout2 of the third comparison circuit 53 and the signal line 32 .
  • the comparison output switch CSW is temporarily turned on in synchronization with the timing of the reference signal line RAMP.
  • FIG. 10 is a timing diagram of comparator 34 in FIG. FIG. 10 shows an example of performing comparison processing while realizing the HDR function.
  • the reference signal generation circuit 16 generates a first reference signal for the reset level LG_RST of the first gain LG, a second reference signal for the reset level HG_RST of the second gain HG, and a second reference signal for the signal level HG_SIG of the second gain HG. signal and the first reference signal for the signal level LG_SIG of the first gain LG are sequentially supplied to the reference signal line RAMP.
  • the timing chart in FIG. 10 shows an example of imaging a dark place.
  • the signal voltages (first input signal and second input signal) VSL on the signal line 32 are at almost the same voltage level whether they are the reset level or the signal level.
  • the signal voltage VSL is shown by a solid line
  • the output wiring CPout1 of the first comparison circuit 51 is shown by a broken line
  • the output wiring CPout2 of the second comparison circuit 52 is shown by a dashed line.
  • the reset transistor 23 in the pixel 20 is turned on, and the pixel 20 outputs a pixel signal corresponding to the reset level to the corresponding signal line 32.
  • the auto-zero switch AZSW1 and the cutoff switch STSW1 in the first comparison circuit 51 are turned on.
  • the auto-zero switch AZSW2 and the cut-off switch STSW2 in the second comparator circuit 52 are off.
  • the comparison output switch CSW in the third comparison circuit 53 is turned on.
  • the capacitive element AZC1 in the first comparison circuit 51 holds the charge corresponding to the initial voltage for the reset level LG_RST of the first gain LG.
  • the cut-off switch STSW1 in the first comparison circuit 51 is turned on and the current of the first current source 54 is supplied to the input transistor Q1.
  • the signal level of the first reference signal is once raised, and thereafter, the signal level is lowered at the first slope during the period from time t3 to t5.
  • the input transistor Q1 in the first comparison circuit 51 is turned on, and the signal level at the output node in the first comparison circuit 51 rises. Since the output line CPout1 in the first comparison circuit 51 is input to the gate of the input transistor Q3 in the third comparison circuit 53, the input transistor Q3 in the third comparison circuit 53 operates in the direction of turning off, Since the output line CPout2 of the comparison circuit 53 is pulled by the second current source 55, the voltage of the output line CPout2 of the third comparison circuit 53 is lowered.
  • the auto-zero switch AZSW2 and the cutoff switch STSW2 in the second comparison circuit 52 are turned on during the period from time t5 to t6. At this time, the auto-zero switch AZSW1 and the cut-off switch STSW1 in the first comparator circuit 51 are turned off. Also, the comparison output switch CSW in the third comparison circuit 53 is turned on. As a result, the capacitive element AZC2 in the second comparison circuit 52 holds the charge corresponding to the initial voltage for the reset level HG_RST of the second gain HG. At this time, the cut-off switch STSW2 in the second comparison circuit 52 is turned on and the current of the first current source 54 is supplied to the input transistor Q2.
  • the signal level of the second reference signal is once raised, and thereafter, the signal level is lowered at the second slope during the period from time t7 to t9.
  • the input transistor Q2 in the second comparison circuit 52 is turned on, and the signal level at the output node in the second comparison circuit 52 rises. Since the output line CPout1 in the second comparison circuit 52 is input to the gate of the input transistor Q3 in the third comparison circuit 53, the input transistor Q3 operates in the direction of turning off, and the output line of the third comparison circuit 53 The voltage on CPout2 drops.
  • the transfer transistor in the pixel 20 is temporarily turned on, and the charge photoelectrically converted by the photodiode is transferred to the floating diffusion.
  • the comparison output switch CSW in the third comparison circuit 53 is turned on during the period from time t9 to time t10, and the output wiring CPout2 of the third comparison circuit 53 matches the signal voltage on the signal line 32.
  • the cutoff switch STSW2 in the second comparison circuit 52 is turned on, and the second reference signal for the signal level HG_SIG of the second gain HG is supplied to the gate of the input transistor Q2.
  • the input transistor Q2 in the second comparator circuit 52 is turned on, the signal level of the output line CPout1 in the second comparator circuit 52 rises, and the input transistor Q3 in the third comparator circuit 53 increases. operates in the direction of turning off, and the voltage of the output line CPout2 of the third comparison circuit 53 decreases.
  • the cutoff switch STSW1 in the first comparison circuit 51 is turned on, and the comparison output switch CSW in the third comparison circuit 53 is turned on.
  • the cutoff switch STSW1 in the first comparison circuit 51 is turned on, and the first reference signal for the signal level LG_SIG of the first gain LG is supplied to the gate of the input transistor Q1.
  • the input transistor Q1 in the first comparator circuit 51 is turned on, the signal level at the output node in the first comparator circuit 51 rises, and the input transistor Q3 in the third comparator circuit 53 is turned on. It operates in the direction of turning off, and the output line CPout2 of the third comparison circuit 53 decreases.
  • the comparator 34 performs comparison processing of the reset level LG_RST of the first gain LG, comparison processing of the reset level HG_RST of the second gain HG, and signal level of the second gain HG.
  • a comparison process of HG_SIG and a comparison process of the signal level LG_SIG of the first gain LG are sequentially performed.
  • the lowest signal levels of the first reference signal and the second reference signal are brought closer to the ground potential side.
  • the potential level of the reference signal line RAMP can be suppressed as a whole, and the power consumption of the imaging device 1 can be reduced.
  • the first comparison circuit 51 performs the comparison processing of the reset level of the first gain LG and the comparison processing of the signal level of the first gain LG, and the second gain HG. and the second comparison circuit 52 for comparing the reset level of HG and the signal level of the second gain HG.
  • the comparator 34 can process the HDR function of one-time exposure.
  • the comparator 34 performs successively the reset level comparison processing of the first gain LG and the reset level comparison processing of the second gain HG, and then compares the signal level of the second gain HG.
  • a plurality of AD conversion processing can be performed while minimizing the number of resets of the pixels 20, so that the S/N ratio can be improved.
  • the cut-off switch STSW1 and the cut-off switch STSW2 which are originally provided to improve responsiveness, are used to switch the comparison processing in the first comparison circuit 51 and the second comparison circuit 52. Therefore, the comparison processing This eliminates the need for a separate signal or switch for switching between and simplifies the circuit configuration.
  • power consumption can be reduced by bringing the lowest signal levels of the first reference signal and the second reference signal supplied via the reference signal line RAMP closer to the ground potential side.
  • FIG. 11 is a circuit diagram of the pixel 20 and the comparator 34 in the imaging device 1 according to the second embodiment.
  • the internal configuration of comparator 34 in FIG. 11 is the same as in FIG.
  • a pixel 20 in FIG. 11 has a conversion efficiency switching transistor 26 in addition to the configuration of the pixel 20 in FIG.
  • the conversion efficiency switching transistor 26 is connected between the reset transistor 23 and the floating diffusion.
  • the conversion efficiency switching transistor 26 is, for example, an N-channel MOS transistor, and a charge storage section 27 is provided between its drain and the ground node.
  • This charge storage unit 27 may be an individual capacitive element, or may be the parasitic capacitance of the conversion efficiency switching transistor 26 and the reset transistor 23 .
  • a control signal FDG is input to the gate of the conversion efficiency switching transistor 26, and the conversion efficiency switching transistor 26 is switched on/off by the control signal FDG.
  • the conversion efficiency switching transistor 26 When the conversion efficiency switching transistor 26 is turned on, the charge storage section 27 and the floating diffusion are coupled to increase the total amount of photoelectrically converted charge that can be stored. As a result, while the photoelectric conversion efficiency is low, charges can be accumulated without overflowing even at high luminance. Conversely, when the conversion efficiency switching transistor 26 is turned off, photoelectrically converted charges can be accumulated only in the floating diffusion. As a result, while the photoelectric conversion efficiency is increased, the luminance is high and the electric charges are likely to overflow.
  • FIG. 12 is a timing diagram of comparator 34 in FIG.
  • the timing chart of FIG. 12 is obtained by adding the signal waveform of the control signal FDG to the timing chart of FIG. 10, and the timings of other signals are the same as in FIG.
  • the first slope of the first reference signal and the second slope of the second reference signal may be different or the same.
  • the conversion efficiency switching transistor 26 switches between The conversion efficiency switching transistor 26 is turned on, and the conversion efficiency switching transistor 26 is turned off during the comparison processing period of the reset level of the second gain HG (time t5 to t9) and the comparison processing period of the signal level of the second gain HG (time t9 to t13).
  • the conversion efficiency switching transistor 26 When the conversion efficiency switching transistor 26 is turned on, the pixel signal can be output from the pixel 20 without overexposure even in a high-brightness environment, so the dynamic range of comparison processing in the comparator 34 is improved.
  • the photoelectric conversion efficiency of the pixel 20 is switched in synchronization with the switching of the gain, so AD conversion can be performed with high accuracy from low luminance to high luminance.
  • the reference signal and the input signal are compared in the order of reset level of the first gain LG ⁇ reset level of the second gain HG ⁇ signal level of the second gain HG ⁇ signal level of the first gain LG. Although shown, it is possible to change this order.
  • FIG. 13 is a circuit diagram of the comparator 34 in the imaging device 1 according to the third embodiment
  • FIG. 14 is a timing chart of the comparator 34 in FIG.
  • the circuit configuration of the comparator 34 in FIG. 13 is the same as in FIG. 9, but the signal waveform on the reference signal line RAMP is different from that in FIG.
  • a first reference signal and a second reference signal are supplied to the reference signal line RAMP connected to the comparator 34 in FIG. 13 at timings different from those of the reference signal line RAMP connected to the comparator 34 in FIG. .
  • the comparator 34 shown in FIG. 9 receives a first reference signal at the reset level of the first gain LG ⁇ a second reference signal at the reset level of the second gain HG ⁇ the second reference signal through the reference signal line RAMP.
  • the second reference signal having the signal level of 2 gain HG ⁇ the first reference signal having the signal level of 1st gain LG are supplied in this order.
  • the first reference signal having the signal level of the gain LG ⁇ the second reference signal having the signal level of the second gain HG are supplied in this order.
  • the reset level comparison process and the signal level comparison process of the second gain HG are continuously performed in the second and third comparison processes among the four comparison processes. Since the comparison processing of the second gain HG is more sensitive to noise than the comparison processing of the first gain LG, as shown in FIG. It is preferable to do so. However, as shown in FIG. 13, it is also possible to perform the comparison processing of the reset level of the second gain HG and the comparison processing of the signal level discontinuously.
  • the HDR function can be realized even when the comparison processing is performed in an order different from that of the first embodiment.
  • a switch is provided on the reference signal line RAMP connected to the first comparison circuit 51 and the second comparison circuit 52, and a reference signal with a fixed signal level can be applied to the reference signal line RAMP. It is what I did.
  • FIG. 15 is a circuit diagram of the comparator 34 in the imaging device 1 according to the fourth embodiment
  • FIG. 16 is a timing chart of the comparator 34 of FIG.
  • the comparator 34 in FIG. 15 has a switch EN1, a switch EN2, a switch XEN1, and a switch XEN2 in addition to the configuration of the comparator 34 in FIG. Although the pixel 20 connected to the comparator 34 in FIG. 15 has the conversion efficiency switching transistor 26, this transistor may be omitted. That is, switches EN1, EN2, XEN1, and XEN2 may be added to the comparator 34 of FIG.
  • the switch EN1 switches whether to input the first reference signal on the reference signal line RAMP to the first comparison circuit 51 or not.
  • the switch EN2 switches whether to input the second reference signal on the reference signal line RAMP to the second comparison circuit 52 or not.
  • the switch XEN1 switches whether to input the reference signal VREF to the first comparison circuit 51 or not.
  • the switch XEN2 switches whether to input the reference signal VREF to the second comparison circuit 52 or not.
  • the switch EN1 When the reset level or signal level of the first gain LG is compared (time t1 to t5 and t13 to t17 in FIG. 16), the switch EN1 is turned on and the first reference signal on the reference signal line RAMP is It is input to the first comparison circuit 51 . At this time, the switches XEN1 and EN2 are turned off, and the switch XEN2 is turned on. Therefore, the reference signal VREF is input to the second comparison circuit 52 .
  • the switch EN2 is turned on and the second reference signal on the reference signal line RAMP is changed to the second It is input to the comparison circuit 52 .
  • the switch XEN2 and the switch EN1 are turned off, and the switch XEN1 is turned on. Therefore, the reference signal VREF is input to the first comparison circuit 51 .
  • the reference signal VREF is a voltage signal with a fixed voltage level, and may be, for example, the ground voltage or other voltages.
  • the reference signal VREF is input to the comparison processing that does not perform comparison processing, so the potential of the output node of the comparison circuit that does not perform comparison processing may unintentionally fluctuate. can be prevented.
  • the first comparison circuit 51 and the second comparison circuit 52 turn off the cutoff switch STSW1 or STSW2 when the comparison processing is not performed. .
  • the comparator 34 of FIG. 15 since the reference signal VREF is input to the comparison circuit that does not perform comparison processing among the first comparison circuit 51 and the second comparison circuit 52, the comparison of FIG. Fluctuations in the output potential of the device 34 can be suppressed.
  • the switches EN1, EN2, XEN1, and XEN2 are provided in the input stages of the first comparison circuit 51 and the second comparison circuit 52, only the comparison circuit that performs comparison processing is provided.
  • the first reference signal or the second reference signal is input to the , and the reference signal VREF is input to the comparison circuit that does not perform comparison processing.
  • the comparison result is not affected by parasitic capacitance or the like.
  • the fifth embodiment connects a buffer on the reference signal line RAMP.
  • FIG. 17 is a circuit diagram of the comparator 34 in the imaging device 1 according to the fifth embodiment.
  • Comparator 34 in FIG. 17 has a configuration in which buffer 50 is added to comparator 34 in FIG. A buffer 50 may be added to the comparator 34 of FIG.
  • the buffer 50 is connected to the reference signal line RAMP.
  • the first reference signal on the reference signal line RAMP is input to the first comparison circuit 51 after being buffered by the buffer 50 .
  • the second reference signal on the reference signal line RAMP is input to the second comparison circuit 52 after being buffered by the buffer 50 .
  • the buffer 50 acts to increase the driving power of the first reference signal and the second reference signal and decrease the output impedance. By providing the buffer 50, it becomes easier to drive the capacitive elements AZC1 and AZC2, and inter-column interference can be prevented.
  • FIG. 18 is a diagram showing an example in which the comparators 34 of FIG. 17 are arranged for each column.
  • a buffer 50 is provided for each column. Inter-column interference can thereby be suppressed.
  • FIG. 19 is a circuit diagram of the comparator 34 according to the first modified example of FIG. Comparator 34 in FIG. 19 has switch EN1, switch EN2, switch XEN1, and switch XEN2, similar to FIG. 15, in addition to the configuration of comparator 34 in FIG.
  • the buffer 50 is connected to the reference signal line RAMP, the buffer 50 is not connected to the reference signal VREF line. However, another buffer 50 may also be connected to the reference signal VREF line.
  • FIG. 20 is a diagram showing an example in which the comparators 34 of FIG. 19 are arranged for each column. As shown, a buffer 50, a switch EN1, a switch EN2, a switch XEN1, and a switch XEN2 are provided for each column.
  • FIG. 21 is a modified example of FIG. 20, showing an example in which the buffer 50 is also connected to the reference signal VREF line.
  • all columns share the switch EN1, the switch EN2, the switch XEN1, and the switch XEN2, and two buffers 50 are provided for each column after these switches.
  • the number of switches can be greatly reduced.
  • the buffer 50 is provided for each column, the load capacity of the reference signal line RAMP and the reference signal VREF line can be reduced, and inter-column interference can be suppressed.
  • FIG. 22 is a circuit diagram of the comparator 34 according to the second modified example of FIG. Comparator 34 in FIG. 22 has capacitive elements AZC3 and AZC4 in addition to the configuration of comparator 34 in FIG. Both the capacitive element AZC1 and the capacitive element AZC3 in the first comparison circuit 51 are variable capacitive elements. Similarly, both the capacitive element AZC2 and the capacitive element AZC4 in the second comparison circuit 52 are variable capacitive elements.
  • the capacitive element AZC3 in the first comparison circuit 51 is connected between the gate of the input transistor Q1 and the reference potential VSScap.
  • a capacitive element AZC4 in the second comparison circuit 52 is connected between the gate of the input transistor Q2 and the reference potential VSScap.
  • the gate of the input transistor Q1 in the first comparison circuit 51 receives a signal capacitively divided by the capacitive elements AZC1 and AZC3.
  • the second comparison circuit 52 is also the same. Capacitive attenuation by capacitive voltage division can reduce noise superimposed on the first reference signal and the second reference signal.
  • the attenuation ratio of capacitance attenuation can be arbitrarily set. For example, according to the analog gain of the analog-digital converter 33 including the comparator 34, the attenuation ratio of the capacitance attenuation by the variable capacitive elements AZC1 and AZC3 can be set.
  • the comparison result may be affected by the noise of the buffer 50 itself. can be reduced.
  • the capacitive elements AZC3 and AZC4 in FIG. 22 may be provided in the comparator 34 that does not have the buffer 50 on the reference signal line RAMP like the comparator 34 in FIG. 9, FIG. 11, FIG. 13, or FIG. .
  • interference between columns can be suppressed by providing the buffer 50 on the reference signal line RAMP. Also, although the characteristics of the comparison result may deteriorate due to noise in the buffer 50 itself, the noise can be reduced by providing the variable capacitance elements AZC3 and AZC4 and attenuating the capacitance through capacitance voltage division.
  • FIG. 23 is a circuit diagram of the comparator 34 in the imaging device 1 according to the sixth embodiment.
  • the comparator 34 of FIG. 23 has a fourth comparison circuit 56 in addition to the configuration of the comparator 34 of FIG.
  • the fourth comparison circuit 56 outputs a fifth signal according to the comparison result between the third input signal and the third reference signal corresponding to the third gain having a different gain amount from the first gain LG and the second gain HG. .
  • the third gain may be a gain intermediate between the first gain LG and the second gain HG, a gain lower than the first gain LG, or a gain higher than the second gain HG. may be
  • the fourth comparison circuit 56 has an input transistor Q5, a capacitive element AZC5, an auto-zero switch AZSW3, and a cutoff switch STSW3.
  • the capacitive element AZC6 may be connected between the gate of the input transistor Q5 and the reference potential VSScap, and the capacitive elements AZC5 and AZC6 may be variable capacitive elements.
  • the comparison result by the fourth comparison circuit 56 is input to the third comparison circuit 53 in the same way as the comparison results by the first comparison circuit 51 and the second comparison circuit 52 .
  • a comparison circuit corresponding to the gain amount may be further provided separately from the first comparison circuit 51, the second comparison circuit 52, and the fourth comparison circuit 56. There is no limit to the number of comparator circuits each having a different .
  • the comparison results of the first comparison circuit 51, the second comparison circuit 52, and the fourth comparison circuit 56 corresponding to the first to third gains are input to the third comparison circuit 53. Therefore, AD conversion processing can be performed for each pixel signal captured by changing the gain in one exposure.
  • FIG. 24 is a circuit diagram of the comparator 34 in the imaging device 1 according to the seventh embodiment
  • FIG. 25 is a timing chart of the comparator 34 of FIG.
  • the 24 has a first reference signal line RAMP1 input to the first comparison circuit 51 and a second reference signal line RAMP2 input to the second comparison circuit 52, unlike the comparator 34 in FIG. and is provided.
  • the first reference signal line RAMP is a signal line for inputting the first reference signal to the first comparison circuit 51 .
  • the second reference signal line RAMP is a signal line for inputting the second reference signal to the second comparison circuit 52 .
  • the reference signal generation circuit 16 compares the signal level of the first gain LG with the period (time t1 to t5) during which the first comparison circuit 51 compares the reset level of the first gain LG.
  • the first reference signal is input to the first comparison circuit 51 through the first reference signal line RAMP.
  • the reference signal generation circuit 16 has a period (time t5 to t9) during which the second comparison circuit 52 performs comparison processing of the reset level of the second gain HG and a period (time t5 to t9) during which the comparison processing of the signal level of the second gain HG is performed. From time t9 to t13), the second reference signal is input to the second comparison circuit 52 via the second reference signal line RAMP.
  • the first reference signal line RAMP is set to a fixed potential (eg, ground potential) during a period in which the first reference signal is not transmitted.
  • the second reference signal line RAMP is set to a fixed potential (for example, ground potential) during a period in which the second reference signal is not transmitted.
  • the first comparison circuit 51 in FIG. 24 turns off the cutoff switch STSW1 during a period in which the first reference signal is not input through the first reference signal line RAMP.
  • the second comparison circuit 52 turns off the cut-off switch STSW2 during a period in which the second reference signal is not input through the second reference signal line RAMP.
  • the output of the comparator 34 By turning off the cutoff switch STSW1 or STSW2, the output of the comparator 34, which does not perform comparison processing, can be fixed. There is therefore, by providing the first reference signal line RAMP and the second reference signal line RAMP and fixing the signal level of the reference signal line RAMP which does not perform the comparison processing, the fluctuation of the output potential of the comparator 34 which does not perform the comparison processing can be reliably prevented.
  • FIG. 26 is a circuit diagram of the comparator 34 according to one modification of FIG. Comparator 34 of FIG. 26 has buffer 50 and variable capacitance elements AZC3 and AZC4 in addition to the configuration of comparator 34 of FIG.
  • a buffer 50 is separately connected to each of the first reference signal line RAMP and the second reference signal line RAMP.
  • a variable capacitance element AZC1 is connected between the buffer 50 of the first comparison circuit 51 and the gate of the input transistor Q1, and a variable capacitance element AZC3 is connected between the gate of the input transistor Q1 and the reference potential VSScap.
  • a variable capacitance element AZC2 is connected between the buffer 50 of the second comparison circuit 52 and the gate of the input transistor Q2, and a variable capacitance element AZC4 is connected between the gate of the input transistor Q2 and the reference potential VSScap.
  • the noise of the first reference signal and the second reference signal input to the gates of the input transistors Q1 and Q2 can be reduced by the capacitive voltage division of these variable capacitive elements AZC1.
  • variable capacitance elements AZC3 and AZC4 may be added to comparator 34 of FIG. 24 without adding buffer 50 of FIG.
  • FIG. 27 is a diagram showing an example in which the comparators 34 of FIG. 24 or 26 are arranged for each column.
  • the first reference signal line RAMP1 and the second reference signal line RAMP2 are shared by all columns, and the buffer 50 for the first comparison circuit 51 and the buffer 50 for the second comparison circuit 52 are provided for each column. have.
  • the first reference signal line RAMP1 for the first comparison circuit 51 and the second reference signal line RAMP2 for the second comparison circuit 52 are provided, and the first comparison circuit 51
  • the first reference signal is transmitted through the first reference signal line RAMP1 in synchronization with the timing of comparison processing
  • the second reference signal is transmitted through the second reference signal line RAMP2 in synchronization with the timing of comparison processing in the second comparison circuit 52.
  • the first reference signal line RAMP1 is set to a fixed potential during a period in which the first comparison circuit 51 does not perform comparison processing
  • the second reference signal line RAMP2 is set to a fixed potential in a period in which the second comparison circuit 52 does not perform comparison processing. is set to This eliminates the possibility that the output node of the first comparison circuit 51 and the output node of the second comparison circuit 52 unintentionally fluctuate during the period in which the comparison operation is not performed.
  • the comparator 34 in the imaging device 1 according to the eighth embodiment relates to the layout arrangement of the comparators 34 according to the first to seventh embodiments.
  • FIG. 28A is a schematic layout diagram of the comparator 34 according to the eighth embodiment
  • FIG. 28B is a schematic layout diagram of the comparator 40 according to a comparative example
  • FIG. 28A shows a schematic layout of the comparator 34 according to any of the first to seventh embodiments.
  • the comparator 34 in FIG. 28A is roughly divided into an arrangement area AR1 for the capacitive element AZC1 in the first comparison circuit 51, an arrangement area AR2 for the first comparison circuit 51 other than the capacitive element AZC1, and an arrangement area AR3 for the capacitive element AZC2, an arrangement area AR4 for the second comparison circuit 52 other than the capacitive element AZC2, and an arrangement area AR5 for other circuits.
  • the arrangement areas AR1 to AR5 in FIG. 28A are arranged by the number of pixels in the pixel array section 11 in the horizontal and vertical directions. Also, when the CMOS image sensor 1 is of the horizontal type as shown in FIG. 3A, the pixel array section 11 is arranged above the arrangement area AR1 of FIG. 28A, and the counter 35 is arranged below the arrangement area AR5. Further, in the case of the stacked type as shown in FIG. 3B, the connecting portion to the semiconductor chip 44 is arranged above the arrangement area AR1 of FIG. 28A, and the counter 35 is arranged below the arrangement area AR5.
  • These placement areas AR1 to AR5 are connected by wiring patterns. It is desirable to shorten the wiring pattern WP1 connecting the arrangement areas AR1 and AR2 and the wiring pattern WP2 connecting the wiring areas AR3 and AR4 as much as possible.
  • the parasitic capacitance of the gate of the input transistor Q1 in the first comparison circuit 51 increases and the signal level of the first reference signal may attenuate. Attenuation of the signal level of the first reference signal reduces the dynamic range of the analog-to-digital converter. In order to suppress the attenuation of the signal level of the first reference signal, it is conceivable to increase the size of the capacitive element AZC1.
  • the wiring pattern WP1 between the wiring regions AR1 and AR2 is susceptible to interference from adjacent circuits, and the longer the wiring pattern WP1, the worse the crosstalk performance.
  • the capacitive elements AZC1 and AZC2 are arranged adjacent to each other, and the switches and transistors are arranged adjacent to each other. are arranged in the order of In the case of FIG. 28B, the wiring pattern WP1 between the placement areas AR1 and AR2 is longer than in FIG. 28A, and the wiring pattern WP2 between the placement areas AR3 and AR4 is also longer than in FIG. 28A. Therefore, the layout of FIG. 28B is more likely to be affected by interference from adjacent circuits than the layout of FIG. 28A, resulting in poor crosstalk performance.
  • the technology (the present technology) according to the present disclosure can be applied to various products.
  • the technology according to the present disclosure can be realized as a device mounted on any type of moving body such as automobiles, electric vehicles, hybrid electric vehicles, motorcycles, bicycles, personal mobility, airplanes, drones, ships, and robots. may
  • FIG. 29 is a block diagram showing a schematic configuration example of a vehicle control system, which is an example of a mobile control system to which the technology according to the present disclosure can be applied.
  • a vehicle control system 12000 includes a plurality of electronic control units connected via a communication network 12001.
  • the vehicle control system 12000 includes a drive system control unit 12010, a body system control unit 12020, an outside information detection unit 12030, an inside information detection unit 12040, and an integrated control unit 12050.
  • a microcomputer 12051, an audio/image output unit 12052, and an in-vehicle network I/F (Interface) 12053 are illustrated.
  • the drive system control unit 12010 controls the operation of devices related to the drive system of the vehicle according to various programs.
  • the driving system control unit 12010 includes a driving force generator for generating driving force of the vehicle such as an internal combustion engine or a driving motor, a driving force transmission mechanism for transmitting the driving force to the wheels, and a steering angle of the vehicle. It functions as a control device such as a steering mechanism to adjust and a brake device to generate braking force of the vehicle.
  • the body system control unit 12020 controls the operation of various devices equipped on the vehicle body according to various programs.
  • the body system control unit 12020 functions as a keyless entry system, a smart key system, a power window device, or a control device for various lamps such as headlamps, back lamps, brake lamps, winkers or fog lamps.
  • body system control unit 12020 can receive radio waves transmitted from a portable device that substitutes for a key or signals from various switches.
  • the body system control unit 12020 receives the input of these radio waves or signals and controls the door lock device, power window device, lamps, etc. of the vehicle.
  • the vehicle exterior information detection unit 12030 detects information outside the vehicle in which the vehicle control system 12000 is installed.
  • the vehicle exterior information detection unit 12030 is connected with an imaging section 12031 .
  • the vehicle exterior information detection unit 12030 causes the imaging unit 12031 to capture an image of the exterior of the vehicle, and receives the captured image.
  • the vehicle exterior information detection unit 12030 may perform object detection processing or distance detection processing such as people, vehicles, obstacles, signs, or characters on the road surface based on the received image.
  • the imaging unit 12031 is an optical sensor that receives light and outputs an electrical signal according to the amount of received light.
  • the imaging unit 12031 can output the electric signal as an image, and can also output it as distance measurement information.
  • the light received by the imaging unit 12031 may be visible light or non-visible light such as infrared rays.
  • the in-vehicle information detection unit 12040 detects in-vehicle information.
  • the in-vehicle information detection unit 12040 is connected to, for example, a driver state detection section 12041 that detects the state of the driver.
  • the driver state detection unit 12041 includes, for example, a camera that captures an image of the driver, and the in-vehicle information detection unit 12040 detects the degree of fatigue or concentration of the driver based on the detection information input from the driver state detection unit 12041. It may be calculated, or it may be determined whether the driver is dozing off.
  • the microcomputer 12051 calculates control target values for the driving force generator, the steering mechanism, or the braking device based on the information inside and outside the vehicle acquired by the vehicle exterior information detection unit 12030 or the vehicle interior information detection unit 12040, and controls the drive system control unit.
  • a control command can be output to 12010 .
  • the microcomputer 12051 realizes the functions of ADAS (Advanced Driver Assistance System) including collision avoidance or shock mitigation, follow-up driving based on inter-vehicle distance, vehicle speed maintenance driving, vehicle collision warning, or vehicle lane deviation warning. Cooperative control can be performed for the purpose of ADAS (Advanced Driver Assistance System) including collision avoidance or shock mitigation, follow-up driving based on inter-vehicle distance, vehicle speed maintenance driving, vehicle collision warning, or vehicle lane deviation warning. Cooperative control can be performed for the purpose of ADAS (Advanced Driver Assistance System) including collision avoidance or shock mitigation, follow-up driving based on inter-vehicle distance, vehicle speed maintenance driving, vehicle collision warning, or vehicle
  • the microcomputer 12051 controls the driving force generator, the steering mechanism, the braking device, etc. based on the information about the vehicle surroundings acquired by the vehicle exterior information detection unit 12030 or the vehicle interior information detection unit 12040, so that the driver's Cooperative control can be performed for the purpose of autonomous driving, etc., in which vehicles autonomously travel without depending on operation.
  • the microcomputer 12051 can output a control command to the body system control unit 12030 based on the information outside the vehicle acquired by the information detection unit 12030 outside the vehicle.
  • the microcomputer 12051 controls the headlamps according to the position of the preceding vehicle or the oncoming vehicle detected by the vehicle exterior information detection unit 12030, and performs cooperative control aimed at anti-glare such as switching from high beam to low beam. It can be carried out.
  • the audio/image output unit 12052 transmits at least one of audio and/or image output signals to an output device capable of visually or audibly notifying the passengers of the vehicle or the outside of the vehicle.
  • an audio speaker 12061, a display unit 12062, and an instrument panel 12063 are illustrated as output devices.
  • the display unit 12062 may include at least one of an on-board display and a head-up display, for example.
  • FIG. 30 is a diagram showing an example of the installation position of the imaging unit 12031.
  • the imaging unit 12031 has imaging units 12101, 12102, 12103, 12104, and 12105.
  • the imaging units 12101, 12102, 12103, 12104, and 12105 are provided at positions such as the front nose, side mirrors, rear bumper, back door, and windshield of the vehicle 12100, for example.
  • An image pickup unit 12101 provided in the front nose and an image pickup unit 12105 provided above the windshield in the passenger compartment mainly acquire images in front of the vehicle 12100 .
  • Imaging units 12102 and 12103 provided in the side mirrors mainly acquire side images of the vehicle 12100 .
  • An imaging unit 12104 provided in the rear bumper or back door mainly acquires an image behind the vehicle 12100 .
  • the imaging unit 12105 provided above the windshield in the passenger compartment is mainly used for detecting preceding vehicles, pedestrians, obstacles, traffic lights, traffic signs, lanes, and the like.
  • FIG. 30 shows an example of the imaging range of the imaging units 12101 to 12104.
  • the imaging range 12111 indicates the imaging range of the imaging unit 12101 provided in the front nose
  • the imaging ranges 12112 and 12113 indicate the imaging ranges of the imaging units 12102 and 12103 provided in the side mirrors, respectively
  • the imaging range 12114 The imaging range of an imaging unit 12104 provided in the rear bumper or back door is shown. For example, by superimposing the image data captured by the imaging units 12101 to 12104, a bird's-eye view image of the vehicle 12100 viewed from above can be obtained.
  • At least one of the imaging units 12101 to 12104 may have a function of acquiring distance information.
  • at least one of the imaging units 12101 to 12104 may be a stereo camera composed of a plurality of imaging elements, or may be an imaging element having pixels for phase difference detection.
  • the microcomputer 12051 determines the distance to each three-dimensional object within the imaging ranges 12111 to 12114 and changes in this distance over time (relative velocity with respect to the vehicle 12100). , it is possible to extract, as the preceding vehicle, the closest three-dimensional object on the traveling path of the vehicle 12100, which runs at a predetermined speed (for example, 0 km/h or more) in substantially the same direction as the vehicle 12100. can. Furthermore, the microcomputer 12051 can set the inter-vehicle distance to be secured in advance in front of the preceding vehicle, and perform automatic brake control (including following stop control) and automatic acceleration control (including following start control). In this way, cooperative control can be performed for the purpose of automatic driving in which the vehicle runs autonomously without relying on the operation of the driver.
  • automatic brake control including following stop control
  • automatic acceleration control including following start control
  • the microcomputer 12051 converts three-dimensional object data related to three-dimensional objects to other three-dimensional objects such as motorcycles, ordinary vehicles, large vehicles, pedestrians, and utility poles. It can be classified and extracted and used for automatic avoidance of obstacles. For example, the microcomputer 12051 distinguishes obstacles around the vehicle 12100 into those that are visible to the driver of the vehicle 12100 and those that are difficult to see. Then, the microcomputer 12051 judges the collision risk indicating the degree of danger of collision with each obstacle, and when the collision risk is equal to or higher than the set value and there is a possibility of collision, an audio speaker 12061 and a display unit 12062 are displayed. By outputting an alarm to the driver via the drive system control unit 12010 and performing forced deceleration and avoidance steering via the drive system control unit 12010, driving support for collision avoidance can be performed.
  • At least one of the imaging units 12101 to 12104 may be an infrared camera that detects infrared rays.
  • the microcomputer 12051 can recognize a pedestrian by determining whether or not the pedestrian exists in the captured images of the imaging units 12101 to 12104 .
  • recognition of a pedestrian is performed by, for example, a procedure for extracting feature points in images captured by the imaging units 12101 to 12104 as infrared cameras, and performing pattern matching processing on a series of feature points indicating the outline of an object to determine whether or not the pedestrian is a pedestrian.
  • the audio image output unit 12052 outputs a rectangular outline for emphasis to the recognized pedestrian. is superimposed on the display unit 12062 . Also, the audio/image output unit 12052 may control the display unit 12062 to display an icon or the like indicating a pedestrian at a desired position.
  • the technology according to the present disclosure can be applied to the imaging unit 12031 and the like among the configurations described above.
  • the imaging device 1 of the present disclosure can be applied to the imaging unit 12031 .
  • this technique can take the following structures. (1) a first comparison circuit that outputs a first signal according to a comparison result of signal levels of a first reference signal corresponding to a first gain and a first input signal; a second comparison circuit that outputs a second signal according to a comparison result between a second reference signal corresponding to a second gain different in amount from the first gain and a second input signal; A third signal corresponding to a comparison result of signal levels of the first signal and the first input signal and a fourth signal corresponding to a comparison result of the second signal and the second input signal are different from each other. and a third comparison circuit that outputs in timing.
  • the first reference signal includes a signal period in which the signal level changes with a first slope over time;
  • the second reference signal includes a signal period in which the signal level changes over time with a second slope different from the first slope, the first comparison circuit causes a signal level transition of the first signal when the signal levels of the first reference signal and the first input signal match;
  • the imaging device wherein the second comparison circuit causes the signal level of the second signal to transition when the signal levels of the second reference signal and the second input signal match.
  • the first reference signal has a first signal period during which the signal level changes with the first slope corresponding to the reset level, and a second signal period during which the signal level changes with the first slope corresponding to the signal level.
  • the second reference signal has a third signal period during which the signal level changes with the second slope corresponding to the reset level, and a fourth signal period during which the signal level changes with the second slope corresponding to the signal level.
  • the second gain has a larger gain amount than the first gain;
  • the first comparison circuit outputs the first signal corresponding to the result of comparison between the first reference signal corresponding to the reset level and the first input signal, and the first reference signal corresponding to the signal level.
  • the second comparator circuit outputs the second signal corresponding to the comparison result between the second reference signal corresponding to the reset level and the second input signal, and the second reference signal corresponding to the signal level and the second input signal.
  • the imaging device according to (3) or (4), wherein the second signal corresponding to the result of comparison with the input signal is output at different timings.
  • a reference signal generation circuit that generates the first reference signal and the second reference signal; The first signal output from the first comparison circuit and the second signal output from the second comparison circuit are input to the third comparison circuit via a common signal line, (1 ) to (5).
  • the reference signal generation circuit includes the first reference signal for reset level, the second reference signal for reset level, the second reference signal for signal level, and the first reference signal for signal level.
  • the imaging device according to (6), which outputs in the order of (8) The reference signal generation circuit generates the second reference signal for reset level, the first reference signal for reset level, the first reference signal for signal level, and the second reference signal for signal level.
  • the imaging device which outputs in the order of (9)
  • the first comparison circuit performs comparison processing with the first input signal and outputs the first signal within a period in which the reference signal generation circuit outputs the first reference signal, and stopping the output of the first signal within a period in which the reference signal generation circuit outputs the second reference signal;
  • the second comparison circuit performs comparison processing with the second input signal to output the second signal within a period in which the reference signal generation circuit outputs the second reference signal, and generates the reference signal.
  • the imaging apparatus according to any one of (6) to (8), wherein output of the second signal is stopped during a period in which the circuit outputs the first reference signal.
  • the first comparator circuit a first transistor having a source supplied with the first input signal and a gate supplied with a voltage according to the first reference signal; a first capacitor connected to the gate of the first transistor and holding a charge according to the initial voltage of the first reference signal; a first switch for switching whether to short-circuit the gate and drain of the first transistor; a second switch that switches whether to supply the drain voltage of the first transistor to the third comparison circuit;
  • the second comparator circuit a second transistor having a source supplied with the second input signal and a gate supplied with a voltage according to the second reference signal; a second capacitor connected to the gate of the second transistor and holding a charge corresponding to the initial voltage of the second reference signal; a third switch for switching whether to short-circuit the gate and drain of the second transistor;
  • the imaging device according to any one of (1) to (9), further comprising a fourth switch that switches whether to supply the drain voltage of the second transistor to the third comparison circuit.
  • the second switch supplies the drain voltage of the first transistor to the third comparison circuit within a period in which the first reference signal and the first input signal are input to the first comparison circuit. and disconnecting a connection path between the drain of the first transistor and the third comparison circuit within a period in which the second reference signal and the second input signal are input to the second comparison circuit,
  • the fourth switch supplies the drain voltage of the second transistor to the third comparison circuit within a period in which the second reference signal and the second input signal are input to the second comparison circuit, and (10), cutting off a connection path between the drain of the second transistor and the third comparison circuit within a period in which the first reference signal and the first input signal are input to the first comparison circuit;
  • the first comparator circuit a fifth switch that switches whether to supply the first reference signal to one end of the first capacitor; a sixth switch for switching whether to supply a reference voltage of a predetermined voltage level to one end of the first capacitor;
  • the second comparator circuit a seventh switch that switches whether to supply the second reference signal to one end of the second capacitor; an eighth switch that switches whether to supply the reference voltage to one end of the second capacitor;
  • the fifth switch outputs the first reference signal to one end of the first capacitor.
  • the sixth switch does not supply the reference voltage to one end of the first capacitor, and the seventh switch does not supply the second reference signal to one end of the second capacitor, and the eighth switch supplies the reference voltage to one end of the second capacitor,
  • the fifth switch outputs the first reference signal to one end of the first capacitor.
  • the sixth switch supplies the reference voltage to one end of the first capacitor, and the seventh switch supplies the second reference signal to one end of the second capacitor, and
  • the first comparison circuit has a third capacitor connected between a connection node between the first capacitor and the gate of the first transistor and a reference voltage node
  • the second comparison circuit has a fourth capacitor connected between a connection node between the second capacitor and the gate of the second transistor and the reference voltage node
  • the imaging device according to any one of (10) to (12), wherein the first capacitor, the second capacitor, the third capacitor, and the fourth capacitor are variable in capacitance.
  • the first comparator circuit has a first buffer that buffers the first reference signal and supplies the first reference signal to one end of the first capacitor
  • the imaging device according to any one of (10) to (13), wherein the second comparison circuit includes a second buffer that buffers the second reference signal and supplies the second reference signal to one end of the second capacitor.
  • (15) comprising one reference signal line that transmits the first reference signal and the second reference signal at different timings;
  • the imaging device according to any one of (10) to (14), wherein the reference signal line is connected to one end of the first capacitor and one end of the second capacitor.
  • (16) A first reference signal line that supplies the first reference signal to one end of the first capacitor, and a second reference signal line that supplies the second reference signal to one end of the second capacitor.
  • the imaging device according to any one of (10) to (14).
  • (17) A fourth comparison circuit for outputting a fifth signal according to a comparison result between a third input signal and a third reference signal corresponding to a third gain having a gain amount different from the first gain and the second gain.
  • the third comparison circuit provides a third signal corresponding to a comparison result of signal levels of the first signal and the first input signal, and a third signal corresponding to a comparison result of the second signal and the second input signal.
  • the imaging according to any one of (1) to (16), wherein the 4 signals and the 6th signal according to the result of comparison between the 5th signal and the 3rd input signal are output at different timings.
  • Device. (18) a plurality of pixels arranged in a first direction and a second direction and each having a pixel circuit that performs photoelectric conversion; an analog-digital converter that converts an input signal based on a signal photoelectrically converted by the two or more pixels arranged in the first direction into a digital signal; (1) to ( 17) The imaging device according to any one of items.
  • the pixel circuit includes: a conversion efficiency switching circuit that switches photoelectric conversion efficiency in synchronization with the comparison processing of the first comparison circuit and the second comparison circuit; (18), wherein the conversion efficiency switching circuit makes the photoelectric conversion efficiency during the period in which the second comparison circuit performs the comparison process higher than the photoelectric conversion efficiency in the period in which the first comparison circuit performs the comparison process; The imaging device described.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)

Abstract

[課題]簡易な回路構成でノイズを増やすことなく1回露光のHDR機能を実現する。 [解決手段]撮像装置は、第1ゲインに対応する第1参照信号と第1入力信号との信号レベルの比較結果に応じた第1信号を出力する第1比較回路と、前記第1ゲインとはゲイン量が異なる第2ゲインに対応する第2参照信号と第2入力信号との比較結果に応じた第2信号を出力する第2比較回路と、前記第1信号と前記第1入力信号との信号レベルの比較結果に応じた第3信号と、前記第2信号と前記第2入力信号との比較結果に応じた第4信号とを、互いに異なるタイミングで出力する第3比較回路と、を備える。

Description

撮像装置
 本開示は、撮像装置に関する。
 撮像装置では、構成が簡易なシングルスロープ型のADC(Analog to Digital Converter)を用いてAD変換を行うことがある。この種のADCは、光電変換された画素信号が鋸波形状のランプ波信号と交差するまでの時間をカウンタでカウントし、そのカウント値に基づいてデジタル信号を生成する(特許文献1参照)。
特開2020-136935号公報
 最近のカメラやスマートフォン等は、撮影画像のダイナミックレンジを上げるために、HDR(High-Dynamic Range)機能を搭載している場合がある。HDRは、感度やゲインを変えながら複数回の撮像を行って得られた画像を合成する技術であり、撮影画像の白飛びを抑制できる一方で、黒つぶれも解消できる。HDRにおいては、画像の合成時のブレを防止するために、合成する画像ごとに露光を行うのではなく、1回の露光で取得した信号を感度やゲインを変えて読み出すことが望ましい。
 従来のシングルスロープ型のADCを用いて1回露光のHDR機能を実現するには、カラムごとに複数のADCを設けたり、いったんリセットしてから感度やゲインを変更する処理を行ったりしなければならず、回路構成の複雑化やノイズの増大につながってしまう。
 そこで、本開示では、簡易な回路構成でノイズを増やすことなく1回露光のHDR機能を実現可能な撮像装置を提供するものである。
 上記の課題を解決するために、本開示によれば、第1ゲインに対応する第1参照信号と第1入力信号との信号レベルの比較結果に応じた第1信号を出力する第1比較回路と、
 前記第1ゲインとはゲイン量が異なる第2ゲインに対応する第2参照信号と第2入力信号との比較結果に応じた第2信号を出力する第2比較回路と、
 前記第1信号と前記第1入力信号との信号レベルの比較結果に応じた第3信号と、前記第2信号と前記第2入力信号との比較結果に応じた第4信号とを、互いに異なるタイミングで出力する第3比較回路と、を備える、撮像装置が提供される。
 前記第1参照信号は、時間の経過に応じて第1傾斜で信号レベルが変化する信号期間を含み、
 前記第2参照信号は、時間の経過に応じて前記第1傾斜とは異なる第2傾斜で信号レベルが変化する信号期間を含み、
 前記第1比較回路は、前記第1参照信号と前記第1入力信号との信号レベルが一致すると、前記第1信号の信号レベルを遷移させ、
 前記第2比較回路は、前記第2参照信号と前記第2入力信号との信号レベルが一致すると、前記第2信号の信号レベルを遷移させてもよい。
 前記第1参照信号は、リセットレベルに対応する前記第1傾斜で信号レベルが変化する第1信号期間と、信号レベルに対応する前記第1傾斜で信号レベルが変化する第2信号期間とを有し、
 前記第2参照信号は、リセットレベルに対応する前記第2傾斜で信号レベルが変化する第3信号期間と、信号レベルに対応する前記第2傾斜で信号レベルが変化する第4信号期間とを有してもよい。
 前記第2ゲインは、前記第1ゲインよりもゲイン量が大きく、
 前記第1参照信号は、前記第2参照信号よりも、単位時間当たりの信号変化量が大きくてもよい。
 前記第1比較回路は、リセットレベルに対応する前記第1参照信号と前記第1入力信号との比較結果に応じた前記第1信号と、信号レベルに対応する前記第1参照信号と前記第1入力信号との比較結果に応じた前記第1信号とを、それぞれ異なるタイミングで出力し、
 前記第2比較回路は、リセットレベルに対応する前記第2参照信号と前記第2入力信号との比較結果に応じた前記第2信号と、信号レベルに対応する前記第2参照信号と前記第2入力信号との比較結果に応じた前記第2信号とを、それぞれ異なるタイミングで出力してもよい。
 前記第1参照信号及び前記第2参照信号を生成する参照信号生成回路を備え、
 前記第1比較回路から出力される前記第1信号と、前記第2比較回路から出力される前記第2信号とは、共通の信号線を介して前記第3比較回路に入力されてもよい。
 前記参照信号生成回路は、リセットレベル用の前記第1参照信号、リセットレベル用の前記第2参照信号、信号レベル用の前記第2参照信号、及び信号レベル用の前記第1参照信号の順に出力してもよい。
 前記参照信号生成回路は、リセットレベル用の前記第2参照信号、リセットレベル用の前記第1参照信号、信号レベル用の前記第1参照信号、及び信号レベル用の前記第2参照信号の順に出力してもよい。
 前記第1比較回路は、前記参照信号生成回路が前記第1参照信号を出力する期間内に前記第1入力信号との比較処理を行って前記第1信号を出力し、かつ、前記参照信号生成回路が前記第2参照信号を出力する期間内には前記第1信号の出力を停止し、
 前記第2比較回路は、前記参照信号生成回路が前記第2参照信号を出力する期間内に前記第2入力信号との比較処理を行って前記第2信号を出力し、かつ、前記参照信号生成回路が前記第1参照信号を出力する期間内には前記第2信号の出力を停止してもよい。
 前記第1比較回路は、
 前記第1入力信号が供給されるソースと、前記第1参照信号に応じた電圧が供給されるゲートとを有する第1トランジスタと、
 前記第1トランジスタのゲートに接続され、前記第1参照信号の初期電圧に応じた電荷を保持する第1キャパシタと、
 前記第1トランジスタのゲート及びドレイン間を短絡するか否かを切り替える第1切替器と、
 前記第1トランジスタのドレイン電圧を前記第3比較回路に供給するか否かを切り替える第2切替器と、を有し、
 前記第2比較回路は、
 前記第2入力信号が供給されるソースと、前記第2参照信号に応じた電圧が供給されるゲートとを有する第2トランジスタと、
 前記第2トランジスタのゲートに接続され、前記第2参照信号の初期電圧に応じた電荷を保持する第2キャパシタと、
 前記第2トランジスタのゲート及びドレイン間を短絡するか否かを切り替える第3切替器と、
 前記第2トランジスタのドレイン電圧を前記第3比較回路に供給するか否かを切り替える第4切替器と、を有してもよい。
 前記第2切替器は、前記第1比較回路に前記第1参照信号と前記第1入力信号とが入力される期間内に前記第1トランジスタのドレイン電圧を前記第3比較回路に供給し、かつ、前記第2比較回路に前記第2参照信号と前記第2入力信号とが入力される期間内に前記第1トランジスタのドレインと前記第3比較回路との接続経路を遮断し、
 前記第4切替器は、前記第2比較回路に前記第2参照信号と前記第2入力信号とが入力される期間内に前記第2トランジスタのドレイン電圧を前記第3比較回路に供給し、かつ、前記第1比較回路に前記第1参照信号と前記第1入力信号とが入力される期間内に前記第2トランジスタのドレインと前記第3比較回路との接続経路を遮断してもよい。
 前記第1比較回路は、
 前記第1キャパシタの一端に前記第1参照信号を供給するか否かを切り替える第5切替器と、
 前記第1キャパシタの一端に所定の電圧レベルの基準電圧を供給するか否かを切り替える第6切替器と、を有し、
 前記第2比較回路は、
 前記第2キャパシタの一端に前記第2参照信号を供給するか否かを切り替える第7切替器と、
 前記第2キャパシタの一端に前記基準電圧を供給するか否かを切り替える第8切替器と、を有し、
 前記第1比較回路が前記第1参照信号と前記第1入力信号との信号レベルの比較処理を行っている期間内は、前記第5切替器は前記第1キャパシタの一端に前記第1参照信号を供給し、かつ前記第6切替器は前記第1キャパシタの一端に前記基準電圧を供給せず、かつ前記第7切替器は前記第2キャパシタの一端に前記第2参照信号を供給せず、かつ前記第8切替器は前記第2キャパシタの一端に前記基準電圧を供給し、
 前記第2比較回路が前記第2参照信号と前記第2入力信号との信号レベルの比較処理を行っている期間内は、前記第5切替器は前記第1キャパシタの一端に前記第1参照信号を供給せず、かつ前記第6切替器は前記第1キャパシタの一端に前記基準電圧を供給し、かつ前記第7切替器は前記第2キャパシタの一端に前記第2参照信号を供給し、かつ前記第8切替器は前記第2キャパシタの一端に前記基準電圧を供給しなくてもよい。
 前記第1比較回路は、前記第1キャパシタと前記第1トランジスタのゲートとの接続ノードと、基準電圧ノードとの間に接続される第3キャパシタを有し、
 前記第2比較回路は、前記第2キャパシタと前記第2トランジスタのゲートとの接続ノードと、前記基準電圧ノードとの間に接続される第4キャパシタを有し、
 前記第1キャパシタ、前記第2キャパシタ、前記第3キャパシタ、及び前記第4キャパシタは、キャパシタンスを可変可能であってもよい。
 前記第1比較回路は、前記第1参照信号をバッファリングして前記第1キャパシタの一端に供給する第1バッファを有し、
 前記第2比較回路は、前記第2参照信号をバッファリングして前記第2キャパシタの一端に供給する第2バッファを有してもよい。
 前記第1参照信号及び前記第2参照信号をそれぞれ異なるタイミングで伝送する1本の参照信号線を備え、
 前記第1キャパシタの一端及び前記第2キャパシタの一端には、前記参照信号線が接続されてもよい。
 前記第1キャパシタの一端に前記第1参照信号を供給する第1参照信号線と、
 前記第2キャパシタの一端に前記第2参照信号を供給する第2参照信号線と、を備えてもよい。
 前記第1ゲイン及び前記第2ゲインとはゲイン量が異なる第3ゲインに対応する第3参照信号と第3入力信号との比較結果に応じた第5信号を出力する第4比較回路をさらに備え、
 前記第3比較回路は、前記第1信号と前記第1入力信号との信号レベルの比較結果に応じた第3信号と、前記第2信号と前記第2入力信号との比較結果に応じた第4信号と、前記第5信号と前記第3入力信号との比較結果に応じた第6信号とを、それぞれ異なるタイミングで出力してもよい。
 第1方向及び第2方向に配置されており、それぞれが光電変換を行う画素回路を有する複数の画素と、
 前記第1方向に配置された2以上の前記画素で光電変換された信号に基づく入力信号をデジタル信号に変換するアナログ-デジタル変換器と、を備え、
 前記アナログ-デジタル変換器は、前記第1方向に配置された前記2以上の画素ごとに、前記第1比較回路、前記第2比較回路、及び前記第3比較回路を有してもよい。
 前記画素回路は、
 前記第1比較回路及び前記第2比較回路の比較処理に同期して、光電変換効率を切り替える変換効率切替回路を有し、
 前記変換効率切替回路は、前記第2比較回路が比較処理を行う期間内の光電変換効率を、前記第1比較回路が比較処理を行う期間内の光電変換効率よりも高くしてもよい。
 前記第1比較回路内の前記第1参照信号の初期電圧に応じた電荷を保持する第1キャパシタが配置される第1領域と、
 前記第1比較回路内の前記第1キャパシタ以外の回路素子が配置される第2領域と、
 前記第2比較回路内の前記第2参照信号の初期電圧に応じた電荷を保持する第2キャパシタが配置される第3領域と、
 前記第2比較回路内の前記第2キャパシタ以外の回路素子が配置される第4領域と、
 前記第3比較回路が配置される第5領域と、が前記第2方向の画素ごとに配置され、
 前記第1領域及び前記第2領域は前記第1方向に沿って隣接して配置され、
 前記第3領域及び前記第4領域は前記第1方向に沿って隣接して配置されてもよい。
CMOSイメージセンサのシステム構成の概略を模式的に示すブロック図。 画素の回路構成の一例を示す回路図。 CMOSイメージセンサの平置型のチップ構造を模式的に示す斜視図。 CMOSイメージセンサの積層型の半導体チップ構造を模式的に示す分解斜視図。 アナログ-デジタル変換部の構成の一例を示す図。 参考例に係る比較器の回路構成例を示す図。 参考例に係る比較器の回路動作の一例の説明に供するタイミング図。 参考例に係る比較器における入力トランジスタとして用いられるPチャネルMOSトランジスタの特性の一例を示す特性図。 バッファを配置した参考例に係る比較器の回路図。 第1の実施形態に係る撮像装置内の比較器の回路図。 図9の比較器のタイミング図。 第2の実施形態に係る撮像装置内の画素と比較器の回路図。 図11の比較器のタイミング図。 第3の実施形態に係る撮像装置内の比較器の回路図。 図13の比較器のタイミング図。 第4の実施形態に係る撮像装置内の比較器の回路図。 図15の比較器のタイミング図。 第5の実施形態に係る撮像装置内の比較器の回路図。 図17の比較器をカラムごとに配置した例を示す図。 図17の第1変形例に係る比較器の回路図。 図19の比較器をカラムごとに配置した例を示す図。 図20の一変形例であり、基準信号線にもバッファを接続した例を示す図。 図17の第2変形例に係る比較器の回路図。 第6の実施形態に係る撮像装置内の比較器の回路図。 第7の実施形態に係る撮像装置内の比較器の回路図。 図24の比較器のタイミング図。 図24の一変形例に係る比較器の回路図。 図24又は図26の比較器をカラムごとに配置した例を示す図。 第8の実施形態に係る比較器の模式的なレイアウト図。 一比較例に係る比較器の模式的なレイアウト図。 車両制御システムの概略的な構成の一例を示すブロック図。 車外情報検出部及び撮像部の設置位置の一例を示す説明図。
 以下、図面を参照して、撮像装置の実施形態について説明する。以下では、撮像装置の主要な構成部分を中心に説明するが、撮像装置には、図示又は説明されていない構成部分や機能が存在しうる。以下の説明は、図示又は説明されていない構成部分や機能を除外するものではない。
<本開示に係る技術が適用される撮像装置>
 本開示に係る技術が適用される撮像装置として、X-Yアドレス方式の撮像装置の一種であるCMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)イメージセンサを例に挙げて説明する。CMOSイメージセンサは、CMOSプロセスを応用して、又は、部分的に使用して作製されたイメージセンサである。
[CMOSイメージセンサの構成例]
 図1は、本開示に係る技術が適用される撮像装置1の一例であるCMOSイメージセンサのシステム構成の概略を模式的に示すブロック図である。
 本適用例に係るCMOSイメージセンサ1は、画素アレイ部11及び当該画素アレイ部11の周辺回路部を有する構成となっている。画素アレイ部11は、受光素子を含む画素(画素回路)20が行方向X及び列方向Yに、即ち、行列状に2次元配置された構成となっている。ここで、行方向Xとは、列方向Yに延びる各画素行の配列方向を言う。画素20は、光電変換を行うことにより、受光した光量に応じた光電荷を生成し、蓄積する。
 画素アレイ部11の周辺回路部は、例えば、行選択部12、アナログ-デジタル変換部13、信号処理部としてのロジック回路部14、及び、タイミング制御部15等によって構成されている。
 画素アレイ部11において、行列状の画素配列に対し、画素行毎に複数の画素制御線31(311~31m)が行方向Xに配置されている。また、画素列毎に信号線32(321~32n)が列方向Yに配置されている。画素制御線31は、対応する画素行を駆動するための駆動信号を伝送する。画素制御線31の一端は、行選択部12の各行に対応した出力端に接続されている。
 行選択部12は、シフトレジスタやアドレスデコーダなどによって構成され、画素アレイ部11の各画素20の選択に際して、画素行の走査や画素行のアドレスを制御する。この行選択部12は、その具体的な構成については図示を省略するが、一般的に、読出し走査系と掃出し走査系の2つの走査系を有する構成となっている。
 読出し走査系は、画素20から画素信号を読み出すために、画素アレイ部11の画素20を行単位で順に選択走査する。画素20から読み出される画素信号はアナログ信号である。掃出し走査系は、読出し走査系によって読出し走査が行われる読出し行に対して、その読出し走査よりもシャッタスピードの時間分だけ先行して掃出し走査を行う。
 この掃出し走査系による掃出し走査により、読出し行の画素20の光電変換素子から不要な電荷が掃き出されることによって当該光電変換素子がリセットされる。そして、この掃出し走査系による不要電荷の掃き出す(リセットする)ことにより、所謂、電子シャッタ動作が行われる。ここで、電子シャッタ動作とは、光電変換素子の光電荷を捨てて、新たに露光を開始する(光電荷の蓄積を開始する)動作のことを言う。
 アナログ-デジタル変換部13は、画素アレイ部11の画素列に対応して(例えば、画素列毎に)設けられた複数のアナログ-デジタル変換器(ADC)の集合から成る。アナログ-デジタル変換部13は、画素列毎に信号線321~32nの各々を通して出力されるアナログの画素信号を、デジタル信号に変換する列並列型のアナログ-デジタル変換部である。
 アナログ-デジタル変換部13におけるアナログ-デジタル変換器としては、例えば、参照信号比較型のアナログ-デジタル変換器の一例であるシングルスロープ型アナログ-デジタル変換器を用いることができる。
 信号処理部であるロジック回路部14は、アナログ-デジタル変換部13でデジタル化された画素信号の読み出しや所定の信号処理を行う。具体的には、ロジック回路部14では、所定の信号処理として、例えば、縦線欠陥、点欠陥の補正、又は、信号のクランプ、更には、パラレル-シリアル変換、圧縮、符号化、加算、平均、及び、間欠動作などのデジタル信号処理が行われる。ロジック回路部14は、生成した画像データを、本CMOSイメージセンサ1の出力信号OUTとして後段の装置に出力する。
 タイミング制御部15は、外部から与えられる同期信号に基づいて、各種のタイミング信号、クロック信号、及び、制御信号等を生成する。そして、タイミング制御部15は、これら生成した信号を基に、行選択部12、アナログ-デジタル変換部13、及び、ロジック回路部14等の駆動制御を行う。
[画素の回路構成例]
 図2は画素20の回路構成の一例を示す回路図である。画素20は、光電変換素子として、例えば、フォトダイオード21を有している。画素20は、フォトダイオード21の他に、転送トランジスタ22、リセットトランジスタ23、増幅トランジスタ24、及び、選択トランジスタ25を有する構成となっている。
 転送トランジスタ22、リセットトランジスタ23、増幅トランジスタ24、及び、選択トランジスタ25の4つのトランジスタとしては、例えばNチャネルのMOS型電界効果トランジスタを用いている。但し、ここで例示した4つのトランジスタ22~25の導電型の組み合わせは一例に過ぎず、これらの組み合わせに限られるものではない。
 この画素20に対して、先述した画素制御線31(311~31m)として、複数の画素制御線が同一画素行の各画素20に対して共通に配線されている。これら複数の画素制御線は、行選択部12の各画素行に対応した出力端に画素行単位で接続されている。行選択部12は、複数の画素制御線に対して転送信号TRG、リセット信号RST、及び、選択信号SELを適宜出力する。
 フォトダイオード21は、アノード電極が低電位側電源(例えば、グランド)に接続されており、受光した光をその光量に応じた電荷量の光電荷(ここでは、光電子)に光電変換してその光電荷を蓄積する。フォトダイオード21のカソード電極は、転送トランジスタ22を介して増幅トランジスタ24のゲート電極と電気的に接続されている。ここで、増幅トランジスタ24のゲート電極が電気的に繋がった領域は、フローティングディフュージョン(浮遊拡散領域/不純物拡散領域)FDである。フローティングディフュージョンFDは、電荷を電圧に変換する電荷電圧変換部である。
 転送トランジスタ22のゲート電極には、高レベル(例えば、VDDレベル)がアクティブとなる転送信号TRGが行選択部12から与えられる。転送トランジスタ22は、転送信号TRGに応答して導通状態となることで、フォトダイオード21で光電変換され、当該フォトダイオード21に蓄積された光電荷をフローティングディフュージョンFDに転送する。
 リセットトランジスタ23は、高電位側電源電圧VDDのノードとフローティングディフュージョンFDとの間に接続されている。リセットトランジスタ23のゲート電極には、高レベルがアクティブとなるリセット信号RSTが行選択部12から与えられる。リセットトランジスタ23は、リセット信号RSTに応答して導通状態となり、フローティングディフュージョンFDの電荷を電圧VDDのノードに捨てることによってフローティングディフュージョンFDをリセットする。
 増幅トランジスタ24は、ゲート電極がフローティングディフュージョンFDに、ドレイン電極が高電位側電源電圧VDDのノードにそれぞれ接続されている。増幅トランジスタ24は、フォトダイオード21での光電変換によって得られる信号を読み出すソースフォロワの入力部となる。すなわち、増幅トランジスタ24は、ソース電極が選択トランジスタ25を介して信号線32に接続される。
 選択トランジスタ25は、ドレイン電極が増幅トランジスタ24のソース電極に接続され、ソース電極が信号線32に接続されている。選択トランジスタ25のゲート電極には、高レベルがアクティブとなる選択信号SELが行選択部12から与えられる。選択トランジスタ25は、選択信号SELに応答して導通状態となることで、画素20を選択状態として増幅トランジスタ24から出力される信号を信号線32に伝達する。
 尚、上記の回路例では、画素20として、転送トランジスタ22、リセットトランジスタ23、増幅トランジスタ24、及び、選択トランジスタ25から成る、即ち、4つのトランジスタ(Tr)から成る4Tr構成を例に挙げたが、これに限られるものではない。例えば、選択トランジスタ25を省略し、増幅トランジスタ24に選択トランジスタ25の機能を持たせる3Tr構成とすることもできるし、必要に応じて、トランジスタの数を増やした5Tr以上の構成とすることもできる。
[半導体チップ構造]
 上記の構成のCMOSイメージセンサ1の半導体チップ構造としては、平置型の半導体チップ構造及び積層型の半導体チップ構造を例示することができる。また、画素構造については、配線層が形成される側の基板面を表面(正面)とするとき、その反対側の裏面側から照射される光を取り込む裏面照射型の画素構造とすることもできるし、表面側から照射される光を取り込む表面照射型の画素構造とすることもできる。
 以下に、平置型の半導体チップ構造及び積層型の半導体チップ構造の概略について説明する。
(平置型の半導体チップ構造)
 図3Aは、CMOSイメージセンサ1の平置型のチップ構造を模式的に示す斜視図である。図3Aに示すように、平置型の半導体チップ構造は、画素20が行列状に配置されて成る画素アレイ部11と同じ半導体基板41上に、画素アレイ部11の周辺回路部の各構成要素を形成した構造となっている。具体的には、画素アレイ部11と同じ半導体基板41上に、行選択部12、アナログ-デジタル変換部13、ロジック回路部14、及び、タイミング制御部15等が形成されている。1層目の半導体基板41の例えば左右両端部には、外部接続用や電源用のパッド42が設けられている。
(積層型の半導体チップ構造)
 図3Bは、CMOSイメージセンサ1の積層型の半導体チップ構造を模式的に示す分解斜視図である。図3Bに示すように、積層型の半導体チップ構造、所謂、積層構は、1層目の半導体チップ43及び2層目の半導体チップ44の少なくとも2つの半導体チップが積層された構造となっている。
 この積層型の半導体チップ構造において、1層目の半導体チップ43は、光電変換素子(例えば、フォトダイオード21)を含む画素20が行列状に2次元配置されて成る画素アレイ部11が形成された画素チップである。1層目の半導体チップ43の例えば左右両端部には、外部接続用や電源用のパッド42が設けられている。
 2層目の半導体チップ44は、画素アレイ部11の周辺回路部、即ち、行選択部12、アナログ-デジタル変換部13、ロジック回路部14、及び、タイミング制御部15等が形成された回路チップである。尚、行選択部12、アナログ-デジタル変換部13、ロジック回路部14、及び、タイミング制御部15の配置については、一例であって、この配置例に限られるものではない。
 1層目の半導体チップ43上の画素アレイ部11と、2層目の半導体チップ44上の周辺回路部とは、Cu-Cu接合を含む金属-金属接合、シリコン貫通電極(Through Silicon Via:TSV)、マイクロバンプ等から成る接合部45,46を介して電気的に接続される。
 上述した積層型の半導体チップ構造によれば、1層目の半導体チップ43には画素アレイ部11の作製に適したプロセスを適用でき、2層目の半導体チップ44には回路部分の作製に適したプロセスを適用できる。これにより、CMOSイメージセンサ1の製造に当たって、プロセスの最適化を図ることができる。これにより、CMOSイメージセンサ1の製造に当たって、プロセスの最適化を図ることができる。特に、回路部分の作製に当たっては、先端プロセスの適用が可能になる。
[アナログ-デジタル変換部の構成例]
 続いて、アナログ-デジタル変換部13の構成の一例について説明する。ここでは、アナログ-デジタル変換部13の各アナログ-デジタル変換器として、シングルスロープ型のアナログ-デジタル変換器を用いることとする。
 アナログ-デジタル変換部13の構成の一例を図4に示す。CMOSイメージセンサ1において、アナログ-デジタル変換部13は、画素アレイ部11の各画素列に対応して設けられた複数のシングルスロープ型のアナログ-デジタル変換器の集合から成る。ここでは、n列目のシングルスロープ型のアナログ-デジタル変換器33を例に挙げて説明する。
 アナログ-デジタル変換器33は、比較器34及びカウンタ35を有する回路構成となっている。そして、シングルスロープ型のアナログ-デジタル変換器33では、参照信号生成回路16で生成される参照信号が用いられる。参照信号生成回路16は、例えば、デジタル-アナログ変換器(DAC)から成り、時間の経過に応じてレベル(電圧)が単調減少する傾斜状波形(所謂、ランプ波)の参照信号VRAMPを生成し、画素列毎に設けられた比較器34に基準信号として与える。
 比較器34は、画素20から読み出されるアナログの画素信号VVSLを比較入力とし、参照信号生成回路16で生成されるランプ波の参照信号VRAMPを基準入力とし、両信号を比較する。そして、比較器34は、例えば、参照信号VRAMPが画素信号VVSLよりも大きいときに出力が第1の状態(例えば、高レベル)になり、参照信号VRAMPが画素信号VVSL以下のときに出力が第2の状態(例えば、低レベル)になる。これにより、比較器34は、画素信号VVSLの信号レベルに応じた、具体的には、信号レベルの大きさに対応したパルス幅を持つパルス信号を比較結果として出力する。
 カウンタ35には、比較器34に対する参照信号VRAMPの供給開始タイミングと同じタイミングで、タイミング制御部15からクロック信号CLKが与えられる。そして、カウンタ35は、クロック信号CLKに同期してカウント動作を行うことによって、比較器34の出力パルスのパルス幅の期間、即ち、比較動作の開始から比較動作の終了までの期間を計測する。カウンタ35のカウント結果(カウント値)は、アナログの画素信号VVSLをデジタル化したデジタル値として、ロジック回路部14へ供給される。
 上述したシングルスロープ型のアナログ-デジタル変換器33の集合から成るアナログ-デジタル変換部13によれば、参照信号生成回路16で生成されるランプ波の参照信号VRAMPと、画素20から信号線32を通して読み出されるアナログの画素信号VVSLとの大小関係が変化するまでの時間情報からデジタル値を得ることができる。
 尚、上記の例では、アナログ-デジタル変換部13として、画素アレイ部11の画素列に対して1対1の対応関係でアナログ-デジタル変換器33が配置されて成る構成を例示したが、複数の画素列を単位としてアナログ-デジタル変換器33が配置されて成る構成とすることも可能である。
[アナログ-デジタル変換器の比較器について]
 上述したシングルスロープ型のアナログ-デジタル変換器33において、比較器34としては、一般的に、差動アンプ構成の比較器が用いられる。しかし、差動アンプ構成の比較器の場合、画素の負荷電流源と比較器の電流源を別々に用意する必要があり、従って、アナログ-デジタル変換器33の消費電力、ひいては、CMOSイメージセンサ1の消費電力が削減しにくいという問題がある。
 これに対し、ソース電極にアナログの画素信号が入力され、ゲート電極に所定の参照信号が入力されるPチャネルMOS(Metal-Oxide-Semiconductor)トランジスタを設け、比較器の電流源として、画素(画素回路)の負荷電流源を共用する構成の従来技術がある(例えば、特許文献1参照)。かかる従来技術によれば、画素回路と別途に比較器にも電流源を設ける構成の場合と比較して、消費電力を低減できる。
 しかしながら、従来技術の上記の接続構成では、アナログの画素信号と所定の参照信号とが一致する際に、PチャネルMOSトランジスタのドレイン電圧は、画素信号のレベルに応じて変動してしまうため、比較器の比較結果が反転するタイミングが、画素信号と参照信号とが一致する理想的なタイミングからずれてしまうことがある。この反転タイミングの誤差に起因して、画素信号をアナログ-デジタル変換したデジタル信号に誤差や非線形性が生じ、画像データの画質が低下するという問題がある。
[参考例に係る比較器]
 上記の従来技術の問題点を解決するための比較器について、参考例に係る比較器として以下に説明する。
(参考例に係る比較器の回路構成例)
 参考例に係る比較器の回路構成例を図5に示す。ここでは、図面の簡略化のために、1画素列分の回路構成について図示している。
 図5に示すように、参考例に係る比較器34は、容量素子C11、オートゼロスイッチSWAZ、入力トランジスタPT11、入力側負荷電流源I11、容量素子C12、入力側クランプトランジスタPT13、入力側クランプトランジスタNT11、出力トランジスタPT12、出力側負荷電流源I12、及び、出力側クランプトランジスタNT12を備える構成となっている。
 入力トランジスタPT11は、PチャネルのMOSトランジスタから成り、信号線32と入力側負荷電流源I11との間に接続されている。具体的には、入力トランジスタPT11のソース電極が信号線32に接続され、ドレイン電極が入力側負荷電流源I11の一端に接続されている。これにより、入力トランジスタPT11のソース電極には、信号線32を通してアナログの画素信号VVSLが入力される。入力トランジスタPT11のバックゲートとソース電極とは、バックゲート効果を抑制するために短絡してもよい。
 入力側負荷電流源I11の他端は、低電位側電源、例えばグランドGNDに接続されている。入力側負荷電流源I11は、入力トランジスタPT11と信号線32との直列接続回路に対して一定の電流を供給する。
 容量素子C11は、ランプ波の参照信号VRAMPの入力端子T11と入力トランジスタPT11のゲート電極との間に接続されており、参照信号VRAMPに対する入力容量となり、オフセットを吸収する。これにより、入力トランジスタPT11には、アナログの画素信号VVSLが信号線32を通してソース電極に入力され、ランプ波の参照信号VRAMPが容量素子C11を介してゲート電極に入力されることになる。
 入力トランジスタPT11は、ゲート電極に入力されるランプ波の参照信号VRAMPと、ソース電極に入力されるアナログの画素信号VVSLとの差、即ち、入力トランジスタPT11のゲート-ソース間電圧Vgsを増幅し、ドレイン電極からドレイン電圧Vdとして出力する。
 オートゼロスイッチSWAZは、入力トランジスタPT11のゲート電極とドレイン電極との間に接続され、図1に示すタイミング制御部15から入力端子T12を介して入力される駆動信号AZによってオン(閉)/オフ(開)の制御が行われる。オートゼロスイッチSWAZは、オン状態になることにより、入力トランジスタPT11のゲート電極とドレイン電極との間を短絡するオートゼロ(初期化動作)を行う。オートゼロスイッチSWAZについては、Pチャネル又はNチャネルのMOSトランジスタを用いて構成することができる。
 容量素子C12は、入力トランジスタPT11に対して並列に接続されている。具体的には、容量素子C12の一端が入力トランジスタPT11のソース電極に接続され、容量素子C12の他端が入力トランジスタPT11のドレイン電極に接続されている。容量素子C12は、帯域制限容量である。
 入力側クランプトランジスタPT13は、例えば、PチャネルのMOSトランジスタから成り、入力トランジスタPT11のソース電極とドレイン電極との間に接続されている。入力側クランプトランジスタPT13は、ゲート電極とソース電極とが共通に接続されたダイオード接続の構成となっており、入力トランジスタPT11が非導通状態のときの入力トランジスタPT11のドレイン電圧の低下を抑制する作用をなす。
 入力側クランプトランジスタNT11は、NチャネルのMOSトランジスタから成り、ドレイン電極が入力トランジスタPT11のソース電極に接続され、ソース電極が入力トランジスタPT11のドレイン電極に接続されている。入力側クランプトランジスタNT11のゲート電極には、所定のバイアス電圧bias1が印加される。
 入力側クランプトランジスタNT11は、ゲート電極に所定のバイアス電圧bias1が印加される。これにより、信号線32の電圧に関わりなく、入力トランジスタPT11のドレイン電圧Vdの下限を制限し、ドレイン電流の供給停止を直接的に防止することができる。
 出力トランジスタPT12は、例えば、PチャネルのMOSトランジスタから成り、信号線32と出力側負荷電流源I12との間に接続されている。具体的には、出力トランジスタPT12のソース電極が信号線32に接続され、ドレイン電極が出力側負荷電流源I12の一端に接続されている。これにより、出力トランジスタPT12のソース電極には、信号線32を通して画素信号VVSLが入力される。出力トランジスタPT12のバックゲートとソース電極とは、バックゲート効果を抑制するために短絡してもよい。
 出力側負荷電流源I12の他端は、低電位側電源、例えばグランドGNDに接続されている。出力側負荷電流源I12は、出力トランジスタPT12と信号線32との直列接続回路に対して一定の電流を供給する。
 出力トランジスタPT12のゲート電極は、入力トランジスタPT11のドレイン電極に接続されている。これにより、出力トランジスタPT12のゲート電極には、入力トランジスタPT11のドレイン電圧が入力される。
 出力トランジスタPT12は、信号線32を通してソース電極に入力されるアナログの画素信号VVSLと、ゲート電極に入力される入力トランジスタPT11のドレイン電圧Vdとの電圧差が所定の閾値電圧を超えるか否かを示す信号OUTを、アナログの画素信号VVSLとランプ波の参照信号VRAMPとの比較結果として、ドレイン電極から出力端子T13を通して出力する。
 出力側クランプトランジスタNT12は、NチャネルのMOSトランジスタから成り、ドレイン電極が出力トランジスタPT12のソース電極に接続され、ソース電極が出力トランジスタPT12のドレイン電極に接続されている。出力側クランプトランジスタNT12のゲート電極には、所定のバイアス電圧bias2が印加される。NチャネルのMOSトランジスタから成る出力側クランプトランジスタNT12は、出力トランジスタPT12のドレイン電圧の下限を制限することができる。
 上述したように、参考例に係る比較器34は、比較器34の電流源として、信号線32に電流を供給する負荷電流源I11及び負荷電流源I12を共用した回路構成となっている。この回路構成の比較器34によれば、アナログ-デジタル変換器33の消費電力、ひいては、CMOSイメージセンサ1の低消費電力化を図ることができる。すなわち、参考例に係る比較器34は、超低消費電力型の比較器である。
 更に、参考例に係る比較器34において、入力トランジスタPT11が、ドレイン-ソース間電圧を出力トランジスタPT12のゲート-ソース間に供給するため、アナログの画素信号VVSLの変化とランプ波の参照信号VRAMPの変化とが一致するタイミングで比較結果を反転させることができる。これにより、反転タイミングの誤差に起因する非線形性を低減し、画像データの画質を向上させることができる。
(比較器の回路動作例)
 続いて、上記の基本形の回路構成を有する比較器34の回路動作の一例について説明する。図6は、参考例に係る比較器34の回路動作の一例の説明に供するタイミング図である。図6のタイミング図には、アナログの画素信号VVSL、ランプ波の参照信号VRAMP、入力トランジスPT11のドレイン電圧Vd、比較器34の比較結果COMP、及び、オートゼロスイッチSWAZの駆動信号AZの各波形のタイミング関係を示している。
 アナログ-デジタル変換(AD変換)の開始直前の時刻t1で、オートゼロスイッチSWAZの駆動信号AZが、所定のオートゼロ期間に亘ってアクティブ状態(高レベル状態)になる。これにより、オートゼロスイッチSWAZが、駆動信号AZに応答してオン(閉)状態となり、入力トランジスPT11のゲート電極とドレイン電極とを短絡し、比較器34の初期化動作、即ち、オートゼロ動作を行う。
 オートゼロ動作後、時刻t2で、参照信号生成回路16から参照信号VRAMPの出力が開始される。参照信号VRAMPは、時間の経過に応じてレベル(電圧)が単調減少するランプ波の信号である。
 ところで、CMOSイメージセンサ1では、一般的に、画素20のリセット動作時のノイズを除去するために、相関二重サンプリング(Correlated Double Sampling:CDS)によるノイズ除去処理が行われる。このため、画素20からは、画素信号として、例えば、リセットレベル(第1モード)VVSL_P及び信号レベル(第2モード)VVSL_Dが読み出される。
 リセットレベルVVSL_Pは、画素20のフローティングディフュージョンFDをリセットしたときの当該フローティングディフュージョンFDの電位に応じた信号線32の電位に相当する。信号レベルVVSL_Dは、フォトダイオード21での光電変換によって得られる電位、即ち、フォトダイオード21に蓄積された電荷をフローティングディフュージョンFDへ転送したときの当該フローティングディフュージョンFDの電位に応じた信号線32の電位に相当する。
 時刻t3で、時間の経過に応じて電圧が徐々に減少する参照信号VRAMPが、オートゼロ動作時に定まる図示しないオフセット電圧を介して、リセットレベルVVSL_Pと交差するものとする。ここで、時刻t3での入力トランジスPT11のドレイン電圧VdをVd_pとし、ドレイン電圧Vd_p未満を低レベルとし、ドレイン電圧Vd_p以上を高レベルとすると、入力トランジスPT11のドレイン電圧Vdは、時刻t3付近で低レベルから高レベルに反転する。
 その後、参照信号VRAMPの初期化が行われ、時刻t4から再び、参照信号VRAMPが徐々に低下を開始する。一方、画素20では、フォトダイオード21からフローティングディフュージョンFDへ電荷が転送され、画素信号として信号レベルVVSL_Dが出力される。この信号レベルVVSL_Dは、リセットレベルVVSL_PよりもΔVだけ低いレベルとする。
 そして、時刻t5で、時間の経過に応じて電圧が徐々に減少する参照信号VRAMPが、オートゼロ動作時に定まる図示しないオフセット電圧を介して、信号レベルVVSL_Dと交差するものとする。ここで、時刻t5での入力トランジスPT11のドレイン電圧VdをVd_dとする。このドレイン電圧Vd_dは、ドレイン電圧Vd_pよりもΔVだけ低い値となる。すなわち、時刻t5でのドレイン電圧Vd_dは、そのときの画素信号である信号レベルVVSL_Dが低いほど、低い値となる。
 入力トランジスPT11のドレイン電圧Vd_dが、リセットレベルVVSL_Pの変換時のドレイン電圧Vd_pよりもΔVだけ降下している。従来技術では、このドレイン電圧Vdが反転したと判定されるのは、時刻t5の後の時刻t6となる。このため、仮に、このドレイン電圧Vd_pを、比較器34の比較結果COMPの生成のために用いると、比較結果COMPが反転するタイミング(時刻t6付近)は、参照信号VRAMPが信号レベルVVSL_Dと交差する理想的なタイミング(時刻t5付近)からずれてしまう。この結果、アナログ-デジタル変換器33において、リニアリティ誤差やオフセットが生じ、この誤差に起因して画像データの画質が低下してしまうおそれがある。
 これに対して、参考例に係る比較器34では、入力トランジスタPT11の後段に出力トランジスタPT12が設けられ、入力トランジスタPT11のソース電極及びドレイン電極が、出力トランジスタPT12のソース電極及びゲート電極に接続されている。この接続により、入力トランジスタPT11のドレイン-ソース間電圧Vdsが、出力トランジスタPT12にそのゲート-ソース間電圧として入力される。
 図6のタイミング図に例示したように、オートゼロ動作時に定まる図示しないオフセット電圧を介して、参照信号VRAMPが画素信号VVSLと交差する時刻t3及び時刻t5において、画素信号VVSLの電圧降下量ΔVは、入力トランジスPT11のドレイン電圧Vdの電圧降下量と同一である。このため、これらのタイミングにおいて、ドレイン-ソース間電圧Vdsは同一の値となる。このとき(即ち、時刻t3及び時刻t5)のドレイン-ソース間電圧Vdsの値は、オートゼロ時と同じになる。入力トランジスPT11のドレイン-ソース間電圧Vdsは、出力トランジスタPT12のゲート-ソース間電圧であるため、時刻t3付近及び時刻t5付近で、出力トランジスタPT12のドレイン電圧が反転する。
 比較器34の比較結果COMPの反転タイミングが、参照信号VRAMPが信号レベルVVSL_Dと交差する理想的なタイミングに応じているため、反転タイミングの誤差が抑制される。これにより、入力トランジスPT11のドレイン電圧Vd_pのみを比較結果COMPの生成のために用いる場合と比較して、リニアリティ誤差やオフセットを小さくして、画像データの画質を向上させることができる。
 続いて、時刻t3及び時刻t5で、入力トランジスPT11のドレイン電圧Vdの電圧降下量ΔVが、入力トランジスPT11のソース電極に入力される画素信号VVSLの電圧降下量と同一になる理由について説明する。
 図7は、参考例に係る比較器34における入力トランジスPT11として用いられるPチャネルMOSトランジスタの特性の一例を示す特性図である。図7の特性図において、縦軸は、ドレイン電流であり、横軸は、ドレイン-ソース間電圧である。また、破線は、線形領域と飽和領域との境界を示している。
 一般的に、PチャネルMOSトランジスタは、オートゼロ時に飽和領域で動作するように動作点が定められる。PチャネルMOSトランジスタの飽和領域のドレイン電流Idは、次式(1)によって表される。
  Id=(1/2)・μCOX(W/L)・(VGS-Vth2(1+λVds)・・・(1)
 ここで、μは、電子の移動度であり、COXは、MOSキャパシタの単位面積当たりの容量であり、Wは、ゲート幅であり、Lは、ゲート長であり、Vthは、閾値電圧であり、λは、所定の係数である。
 入力トランジスPT11は、PチャネルMOSトランジスタであるから、飽和領域において、式(1)が成立する。このとき入力トランジスPT11のドレイン電流Idは、入力側負荷電流源I11が供給する一定の値Id1である。また、電子移動度μ、単位容量COX、ゲート幅W、ゲート長L、閾値電圧Vth、及び、係数λは、一定の値である。
 また、オートゼロ動作時に定まる図示しないオフセット電圧を介して、入力トランジスタPT11のゲート電極に入力される参照信号VRAMPが、ソース電極に入力される画素信号VVSLと交差すると言うとき、ゲート-ソース間電圧Vgsは、オートゼロ時に定まる一定の値である。
 従って、オートゼロ動作時に定まる図示しないオフセット電圧を介して、入力トランジスタPT11のゲート電極に入力される参照信号VRAMPが、ソース電極に入力される画素信号VVSLと交差するときは、式(1)より、ドレイン-ソース間電圧Vdsも一定の値となる。その一定のドレイン-ソース間電圧をVds1とすると、時刻t3及び時刻t5において次式(2),(3)が成立する。
   Vds1=VVSL_P-Vd_p      ・・・(2)
   Vds1=VVSL_D-Vd_d      ・・・(3)
 式(2)及び式(3)からドレイン-ソース間電圧Vds1を消去すると、次の式(4)が得られる。
   VVSL_P-VVSL_D=Vd_p-Vd_d  ・・・(4)
 尚、PチャネルMOSトランジスタをオートゼロ時に線形領域となるように動作点を定めた場合、式(1)は違う形となるが、式(4)は同様に成り立つ。
 式(4)より、入力トランジスタPT11のドレイン電圧Vdの電圧降下量ΔVは、そのソース電極に入力される画素信号VVSLの電圧降下量と同一になる。従って、図6のタイミング図に例示したタイミング関係が得られる。
(バッファのノイズについて)
 シングルスロープ型のアナログ-デジタル変換器では、各画素列の比較器に供給されるランプ波の参照信号VRAMPの駆動力を上げ、出力インピーダンスを下げることを目的として、オフセットを吸収するための容量素子C11の前にバッファを配置する場合がある。このとき、バッファのノイズが比較器に悪影響を与えるおそれがある。このため、例えば差動アンプ構成の従来型の比較器では、図8のバッファ50に示すように、バッファ50の出力端を画素列間に接続し、バッファ50のノイズを平均化することで低減させていた。
 ところが、上記の参考例に係る超低消費電力型の比較器34では、キックバックが大きいため、他の画素列への干渉、具体的には、ストリーキング(筋状のノイズ)を避けるために、図8に×印で示すように、バッファ50の出力端を画素列間で接続することができない。その結果、バッファ50のノイズを画素列間で平均化することができないため、バッファ50のノイズが減衰されずに残り、比較器34全体のノイズが悪化することになる。ここで、「キックバック」とは、電荷が注入される、又は、電荷が引かれることに伴って電位が変動する(揺れる)現象である。
 尚、ここでは、アナログ-デジタル変換部13に悪影響を与えるノイズについて、容量素子C11の前に配されるバッファ50のノイズを例に挙げて、その問題点について説明したが、アナログ-デジタル変換部13に悪影響を与えるノイズは、バッファ50のノイズに限られるものではない。例えば、容量素子C11の前にバッファ50が配されない場合であっても、ランプ波の参照信号VRAMPに乗る参照信号生成回路16のノイズに対しても、画像データの画質において問題とされることがある。
 (第1の実施形態)
 第1の実施形態に係る撮像装置1は、HDR機能を備えており、1回の露光で感度(ゲイン)を変えて複数回の撮像を行って得られた画像を合成する。このとき、撮像結果をAD変換した画像データにノイズが乗らないように回路的な工夫を施している。
 図9は第1の実施形態に係る撮像装置1内の比較器34の回路図である。図9の比較器34は、第1比較回路51と、第2比較回路52と、第3比較回路53と、第1電流源54と、第2電流源55とを有する。
 第1比較回路51は、第1ゲインに対応する第1参照信号と第1入力信号との信号レベルの比較結果に応じた第1信号を出力する。本明細書では、第1ゲインをロウゲイン(LG:Low Gain)と呼ぶことがある。第1参照信号は、参照信号生成回路16から参照信号線RAMPで供給される第1ゲインLGに対応する参照信号である。第1入力信号は、信号線(VSL)32を介して画素から供給される、第1ゲインLGに対応する画素信号である。第1比較回路51の内部構成は後述する。
 第2比較回路52は、第1ゲインLGとはゲイン量が異なる第2ゲインHGに対応する第2参照信号と第2入力信号との比較結果に応じた第2信号を出力する。本明細書では、第2ゲインHGをハイゲイン(HG:High Gain)と呼ぶことがある。第2参照信号は、参照信号生成回路16から参照信号線RAMPで供給される第2ゲインHGに対応する参照信号である。第2入力信号は、信号線32を介して画素から供給される、第2ゲインHGに対応する画素信号である。第2比較回路52の内部構成は後述する。
 図9の例では、第1参照信号と第2参照信号は、共通の参照信号線RAMPを介して参照信号生成回路16から供給される。また、第1比較回路51から出力される第1信号と、2比較回路52から出力される第2信号とは、共通の配線CPout1を介して、第3比較回路53に入力される。
 第3比較回路53は、第1信号と第1入力信号との信号レベルの比較結果に応じた第3信号と、第2信号と第2入力信号との比較結果に応じた第4信号とを、互いに異なるタイミングで出力する。第3信号と第4信号は、共通の配線CPout2を介して出力される。この配線CPout2を介して、第3信号と第4信号は、図4に示すカウンタ35に入力される。
 第1比較回路51の出力ノードと第2比較回路52の出力ノードはいずれも、第3比較回路53の入力ノードに接続されるとともに、第1電流源54の一端に接続されている。第1電流源54の他端は接地ノードに接続されている。第3比較回路53の出力配線CPout2は、第2電流源55の一端に接続されている。第2電流源55の他端は接地ノードに接続されている。
 図9の比較器34のうち、第1比較回路51と第2比較回路52は一段目の比較部を構成し、第3比較回路53は二段目の比較部を構成している。第1比較回路51と第2比較回路52は交互に動作し、第3比較回路53は第1比較回路51と第2比較回路52の比較動作に合わせて、比較動作を行う。
 図4に示す参照信号生成回路16は、第1比較回路51が比較動作を行うタイミングに合わせて第1参照信号を参照信号線RAMPに供給し、第2比較回路52が比較動作を行うタイミングに合わせて第2参照信号を参照信号線RAMPに供給する。
 第1参照信号は、時間の経過に応じて第1傾斜で信号レベルが変化する信号期間を含んでいる。第2参照信号は、時間の経過に応じて第1傾斜とは異なる第2傾斜で信号レベルが変化する信号期間を含んでいる。第1傾斜は、第2傾斜よりも急峻であり、第1参照信号の信号レベルの変化量は第2参照信号の信号レベルの変化量よりも大きい。
 第1比較回路51は、第1参照信号の信号レベルと第1入力信号の信号レベルの差分に応じた第1信号を出力する。第2比較回路52は、第2参照信号の信号レベルと第2入力信号の信号レベルの差分に応じた第2信号を出力する。
 より詳細には、第1参照信号は、リセットレベルに対応する第1傾斜で信号レベルが変化する第1信号期間LG_RSTと、信号レベルに対応する第1傾斜で信号レベルが変化する第2信号期間LG_SIGとを有する。第2参照信号は、リセットレベルに対応する第2傾斜で信号レベルが変化する第3信号期間HG_RSTと、信号レベルに対応する第2傾斜で信号レベルが変化する第4信号期間HG_SIGとを有する。
 第2ゲインHGは、第1ゲインLGよりもゲイン量が大きいため、第2傾斜は第1傾斜よりも緩やかであり、第2参照信号の単位時間当たりの信号変化量は、第1参照信号の単位時間当たりの信号変化量よりも小さい。
 第1比較回路51は、リセットレベルに対応する第1参照信号と第1入力信号との比較結果に応じた第1信号と、信号レベルに対応する第1参照信号と第1入力信号との比較結果に応じた第1信号とを、それぞれ異なるタイミングで出力する。
 第2比較回路52は、リセットレベルに対応する第2参照信号と第2入力信号との比較結果に応じた第2信号と、信号レベルに対応する第2参照信号と第2入力信号との比較結果に応じた第2信号とを、それぞれ異なるタイミングで出力する。
 第1比較回路51は、参照信号生成回路16が第1参照信号を出力する期間内に第1入力信号との比較処理を行って第1信号を出力し、かつ、参照信号生成回路16が第2参照信号を出力する期間内には第1信号の出力を停止する。
 第2比較回路52は、参照信号生成回路16が第2参照信号を出力する期間内に第2入力信号との比較処理を行って第2信号を出力し、かつ、参照信号生成回路16が第1参照信号を出力する期間内には第2信号の出力を停止する。
 第1比較回路51は、入力トランジスタQ1と、容量素子AZC1と、オートゼロスイッチAZSW1と、遮断スイッチSTSW1とを有する。
 入力トランジスタQ1は、PチャネルのMOSトランジスタであり、そのソースには信号線32が接続されている。入力トランジスタQ1のゲートと参照信号線RAMPとの間には容量素子AZC1が接続されている。入力トランジスタQ1のゲートとドレインとの間にはオートゼロスイッチAZSW1が接続されている。入力トランジスタQ1のドレインと第1比較回路51の出力ノードとの間には遮断スイッチSTSW1が接続されている。
 オートゼロスイッチAZSW1は、第1参照信号の信号レベルが第1傾斜で変化し始める直前の初期電圧のタイミングに合わせてオンし、初期電圧に応じた電荷を容量素子AZC1に保持する。遮断スイッチSTSW1は、第1比較回路51の出力ノードをローレベルに遷移する速度(以下、応答速度)を向上させるために設けられている。
 第2比較回路52は、入力トランジスタQ2と、容量素子AZC2と、オートゼロスイッチAZSW2と、遮断スイッチSTSW2とを有する。
 入力トランジスタQ2は、PチャネルのMOSトランジスタであり、そのソースには信号線32が接続されている。入力トランジスタQ2のゲートと参照信号線RAMPとの間には容量素子AZC2が接続されている。入力トランジスタQ2のゲートとドレインとの間にはオートゼロスイッチAZSW2が接続されている。入力トランジスタQ2のドレインと第2比較回路52の出力ノードとの間には遮断スイッチSTSW2が接続されている。
 オートゼロスイッチAZSW2は、第2参照信号の信号レベルが第2傾斜で変化し始める直前の初期電圧のタイミングに合わせてオンし、初期電圧に応じた電荷を容量素子AZC2に保持する。遮断スイッチSTSW2は、第2比較回路52の出力ノードをローレベルに遷移する速度(以下、応答速度)を向上させるために設けられている。
 第3比較回路53は、入力トランジスタQ3を有する。入力トランジスタQ3は、例えばPチャネルのMOSトランジスタであり、そのゲートは第1比較回路51のドレイン及び第2比較回路52のドレインにつながる出力配線CPout1に接続されている。入力トランジスタQ3のドレインは信号線32に接続され、ソースは比較器34の出力配線CPout2に接続されている。
 この他、図9の比較器34は、帯域制限容量C1を有していてもよい。帯域制限容量C1は、信号線32と第1比較回路51及び第2比較回路52の出力ノードとの間に接続されている。帯域制限容量C1を設けることで、遮断周波数以上のノイズ成分を制限することができる。
 この他、図9の比較器34は、第1クランプトランジスタQ4と第2クランプトランジスタQ5を有していてもよい。第1クランプトランジスタQ4と第2クランプトランジスタQ5は、NチャネルのMOSトランジスタである。第1クランプトランジスタQ4のドレインは信号線32に接続され、そのソースは第1比較回路51及び第2比較回路52の出力配線CPout1に接続されている。第2クランプトランジスタQ5のドレインは信号線32に接続され、そのソースは第3比較回路53の出力配線CPout2に接続されている。第1クランプトランジスタQ4と第2クランプトランジスタQ5は、入力トランジスタQ1、Q2がオフのときに、そのドレイン電圧の低下を抑制するために設けられる。
 また、図9の比較器34は、第3クランプトランジスタQ6を有していてもよい。第3クランプトランジスタQ6は、例えばPチャネルのMOSトランジスタであり、ゲートとドレインが短絡されている。
 この他、図9の第3比較回路53は、比較出力スイッチCSWを有していてもよい。比較出力スイッチCSWは、第3比較回路53の出力配線CPout2と信号線32とを短絡するか否かを切り替える。比較出力スイッチCSWは、参照信号線RAMPのタイミングに合わせて、一時的にオンする。
 図10は図9の比較器34のタイミング図である。図10は、HDR機能を実現しながら比較処理を行う例を示している。
 参照信号生成回路16は、第1ゲインLGのリセットレベルLG_RST用の第1参照信号、第2ゲインHGのリセットレベルHG_RST用の第2参照信号、第2ゲインHGの信号レベルHG_SIG用の第2参照信号、及び第1ゲインLGの信号レベルLG_SIG用の第1参照信号を順に参照信号線RAMPに供給する。
 図10のタイミング図は、暗所を撮像した例を示している。暗所を撮像すると、信号線32上の信号電圧(第1入力信号と第2入力信号)VSLは、リセットレベルでも信号レベルでもほとんど同一の電圧レベルである。図10では、信号電圧VSLを実線、第1比較回路51の出力配線CPout1を破線、第2比較回路52の出力配線CPout2を一点鎖線で図示している。
 時刻t1で画素20内のリセットトランジスタ23がオンし、画素20はリセットレベルに応じた画素信号を、対応する信号線32に出力する。時刻t1~t2の期間内に、第1比較回路51内のオートゼロスイッチAZSW1と遮断スイッチSTSW1がオンする。このとき、第2比較回路52内のオートゼロスイッチAZSW2と遮断スイッチSTSW2はオフである。また、第3比較回路53内の比較出力スイッチCSWがオンする。これにより、第1比較回路51内の容量素子AZC1には、第1ゲインLGのリセットレベルLG_RST用の初期電圧に応じた電荷が保持される。このとき、第1比較回路51内の遮断スイッチSTSW1がオンして第1電流源54の電流が入力トランジスタQ1に供給される。
 時刻t2になると、第1参照信号の信号レベルがいったん引き上げられ、その後、時刻t3~t5の期間は、第1傾斜で信号レベルが低下する。時刻t4になると、第1比較回路51内の入力トランジスタQ1はオンする方向に動作し、第1比較回路51内の出力ノードの信号レベルは上昇する。第1比較回路51内の出力配線CPout1は、第3比較回路53内の入力トランジスタQ3のゲートに入力されるため、第3比較回路53内の入力トランジスタQ3はオフする方向に動作し、第3比較回路53の出力配線CPout2は第2電流源55により電流が引っ張られることから、第3比較回路53の出力配線CPout2の電圧は低下する。
 時刻t5~t6の期間内に、第2比較回路52内のオートゼロスイッチAZSW2と遮断スイッチSTSW2がオンする。このとき、第1比較回路51内のオートゼロスイッチAZSW1と遮断スイッチSTSW1はオフする。また、第3比較回路53内の比較出力スイッチCSWがオンする。これにより、第2比較回路52内の容量素子AZC2には、第2ゲインHGのリセットレベルHG_RST用の初期電圧に応じた電荷が保持される。このとき、第2比較回路52内の遮断スイッチSTSW2がオンして第1電流源54の電流が入力トランジスタQ2に供給される。
 時刻t6になると、第2参照信号の信号レベルがいったん引き上げられ、その後、時刻t7~t9の期間は、第2傾斜で信号レベルが低下する。時刻t8になると、第2比較回路52内の入力トランジスタQ2はオンする方向に動作し、第2比較回路52内の出力ノードの信号レベルは上昇する。第2比較回路52内の出力配線CPout1は、第3比較回路53内の入力トランジスタQ3のゲートに入力されるため、この入力トランジスタQ3はオフする方向に動作し、第3比較回路53の出力配線CPout2の電圧は低下する。
 時刻t9で、画素20内の転送トランジスタが一時的にオンし、フォトダイオードが光電変換した電荷がフローティングディフュージョンに転送される。
 時刻t9~t10の期間内に第3比較回路53内の比較出力スイッチCSWがオンし、第3比較回路53の出力配線CPout2が信号線32上の信号電圧と一致する。
 その後、時刻t10~t13では、第2比較回路52内の遮断スイッチSTSW2がオンし、第2ゲインHGの信号レベルHG_SIG用の第2参照信号が入力トランジスタQ2のゲートに供給される。時刻t12になると、第2比較回路52内の入力トランジスタQ2はオンする方向に動作し、第2比較回路52内の出力配線CPout1の信号レベルは上昇し、第3比較回路53内の入力トランジスタQ3はオフする方向に動作し、第3比較回路53の出力配線CPout2の電圧は低下する。
 時刻t13~t14の期間内に第1比較回路51内の遮断スイッチSTSW1がオンし、かつ第3比較回路53内の比較出力スイッチCSWがオンする。
 その後、時刻t14~t17では、第1比較回路51内の遮断スイッチSTSW1がオンし、第1ゲインLGの信号レベルLG_SIG用の第1参照信号が入力トランジスタQ1のゲートに供給される。時刻t16になると、第1比較回路51内の入力トランジスタQ1はオンする方向に動作し、第1比較回路51内の出力ノードの信号レベルは上昇し、第3比較回路53内の入力トランジスタQ3はオフする方向に動作し、第3比較回路53の出力配線CPout2は低下する。
 図10からわかるように、第1の実施形態に係る比較器34は、第1ゲインLGのリセットレベルLG_RSTの比較処理、第2ゲインHGのリセットレベルHG_RSTの比較処理、第2ゲインHGの信号レベルHG_SIGの比較処理、及び第1ゲインLGの信号レベルLG_SIGの比較処理を順に行う。これら4つの比較処理では、第1参照信号と第2参照信号の最低信号レベルを接地電位側に寄せている。これにより、参照信号線RAMPの電位レベルを全体的に抑制でき、撮像装置1の消費電力の削減が図れる。
 このように、第1の実施形態に係る比較器34では、第1ゲインLGのリセットレベルの比較処理及び第1ゲインLGの信号レベルの比較処理を行う第1比較回路51と、第2ゲインHGのリセットレベルの比較処理及び第2ゲインHGの信号レベルの比較処理を行う第2比較回路52とを設けるため、1回の露光で、異なる2つのゲインでのAD変換処理を行うことができ、比較器34にて1回露光のHDR機能の処理を行うことができる。
 第1の実施形態に係る比較器34は、第1ゲインLGのリセットレベルの比較処理と第2ゲインHGのリセットレベルの比較処理を連続して行い、その後に第2ゲインHGの信号レベルの比較処理と第1ゲインLGの信号レベルの比較処理を連続して行うことで、画素20のリセット回数を最小限に抑えて複数のAD変換処理を行うことができるため、S/N比を向上できる。
 また、本実施形態では、応答性を改善するために本来設けられる遮断スイッチSTSW1および遮断スイッチSTSW2を利用して、第1比較回路51及び第2比較回路52での比較処理を切り替えるため、比較処理を切り替えるための別個の信号やスイッチが不要となり、回路構成を簡略化できる。
 さらに、参照信号線RAMPを介して供給される第1参照信号と第2参照信号の最低信号レベルを接地電位側に寄せることで、消費電力の削減が図れる。
 (第2の実施形態)
 第2の実施形態は、画素20内に光電変換効率を切り替える機能を設けるものである。
 図11は第2の実施形態に係る撮像装置1内の画素20と比較器34の回路図である。図11の比較器34の内部構成は図9と同じである。図11の画素20は、図9の画素20の構成に加えて、変換効率切替トランジスタ26を有する。
 変換効率切替トランジスタ26は、リセットトランジスタ23とフローティングディフュージョンとの間に接続されている。変換効率切替トランジスタ26は、例えばNチャネルMOSトランジスタであり、そのドレインと接地ノード間には電荷蓄積部27が設けられている。この電荷蓄積部27は、個別の容量素子でもよいし、変換効率切替トランジスタ26およびリセットトランジスタ23の寄生容量でもよい。
 変換効率切替トランジスタ26のゲートには、制御信号FDGが入力され、制御信号FDGにより、変換効率切替トランジスタ26のオン/オフが切り替えられる。変換効率切替トランジスタ26がオンすると、電荷蓄積部27とフローティングディフュージョンが結合されて、光電変換された電荷を蓄積可能な総量が増える。これにより、光電変換効率が低くなる一方で、高輝度でも電荷をあふれさせることなく蓄積できる。逆に、変換効率切替トランジスタ26がオフすると、光電変換された電荷はフローティングディフュージョンだけに蓄積可能となる。これにより、光電変換効率が高くなる一方で、高輝度で電荷があふれやすくなる。
 このように、高輝度環境下では、変換効率切替トランジスタ26をオンにするのが望ましく、低輝度環境下では、変換効率切替トランジスタ26をオフにするのが望ましい。すなわち、第1レベルLGの比較処理を行う際は変換効率切替トランジスタ26をオンにし、第2レベルHGの比較処理を行う際は変換効率切替トランジスタ26をオフにするのが望ましい。
 図12は図11の比較器34のタイミング図である。図12のタイミング図は、図10のタイミング図に制御信号FDGの信号波形を追加したものであり、その他の信号のタイミングは図10と同様である。なお、このようにゲインの切替に変換効率切替を併用する場合は、第1参照信号の第1傾斜と第2参照信号の第2傾斜は、異なってもよく同じであってもよい。
 図12に示すように、第1ゲインLGのリセットレベルの比較処理期間(時刻t1~t5)と、第1ゲインLGの信号レベルの比較処理期間(時刻t13~t17)で変換効率切替トランジスタ26はオンし、第2ゲインHGのリセットレベルの比較処理期間(時刻t5~t9)と、第2ゲインHGの信号レベルの比較処理期間(時刻t9~t13)で変換効率切替トランジスタ26はオフする。
 変換効率切替トランジスタ26がオンのときは、高輝度環境下でも、白飛びを生じさせずに画素20から画素信号を出力できるため、比較器34での比較処理のダイナミックレンジが向上する。
 このように、第2の実施形態では、ゲインの切替に同期して、画素20の光電変換効率を切り替えるため、低輝度から高輝度まで、精度よくAD変換を行うことができる。
 (第3の実施形態)
 第1では、第1ゲインLGのリセットレベル→第2ゲインHGのリセットレベル→第2ゲインHGの信号レベル→第1ゲインLGの信号レベルの順に、参照信号と入力信号の比較処理を行う例を示したが、この順序を変更することも可能である。
 図13は第3の実施形態に係る撮像装置1内の比較器34の回路図、図14は図13の比較器34のタイミング図である。図13の比較器34の回路構成は図9と同じであるが、参照信号線RAMP上の信号波形が図9とは異なる。
 図13の比較器34に接続された参照信号線RAMPには、図9の比較器34に接続された参照信号線RAMPとは異なるタイミングで、第1参照信号と第2参照信号が供給される。より具体的には、図9の比較器34には、参照信号線RAMPを介して、第1ゲインLGのリセットレベルの第1参照信号→第2ゲインHGのリセットレベルの第2参照信号→第2ゲインHGの信号レベルの第2参照信号→第1ゲインLGの信号レベルの第1参照信号の順に供給される。これに対して、図13の比較器34には、参照信号線RAMPを介して、第2ゲインHGのリセットレベルの第2参照信号→第1ゲインLGのリセットレベルの第1参照信号→第1ゲインLGの信号レベルの第1参照信号→第2ゲインHGの信号レベルの第2参照信号の順に供給される。
 図9の比較器34では、4つの比較処理のうち、2番目と3番目の比較処理で、第2ゲインHGのリセットレベルの比較処理と信号レベルの比較処理を連続して行っている。第2ゲインHGの比較処理は、第1ゲインLGの比較処理よりもノイズに敏感であるため、図9のように第2ゲインHGのリセットレベルの比較処理と信号レベルの比較処理を連続して行う方が望ましい。しかしながら、図13のように、第2ゲインHGのリセットレベルの比較処理と信号レベルの比較処理を連続せずに行うことも可能である。
 図13の比較器34に接続された画素20内に図11と同様の変換効率切替トランジスタ26を設ける場合には、第2ゲインHGの信号レベルの比較処理を行う前に、第1ゲインLGの信号レベルの比較処理を行う必要がある。電荷蓄積部27を用いてフローティングディフュージョンの電荷再配分を行った後に、フローティングディフュージョンの電荷を元に戻すことはできないためである。このため、図14のように、第2ゲインHGの信号レベルの比較処理の後に第1ゲインLGの信号レベルの比較処理を行う場合には、変換効率切替トランジスタ26による光電変換効率の切替を行うことはできない。
 このように、第1の実施形態とは異なる順序で比較処理を行う場合であっても、HDR機能を実現できる。
 (第4の実施形態)
 第4の実施形態は、第1比較回路51と第2比較回路52に接続される参照信号線RAMP上にスイッチを設けるとともに、参照信号線RAMPに信号レベルが固定の基準信号を付与できるようにしたものである。
 図15は第4の実施形態に係る撮像装置1内の比較器34の回路図、図16は図15の比較器34のタイミング図である。
 図15の比較器34は、図11の比較器34の構成に加えて、スイッチEN1、スイッチEN2と、スイッチXEN1と、スイッチXEN2とを有する。なお、図15の比較器34に接続された画素20は、変換効率切替トランジスタ26を有するが、このトランジスタを省略してもよい。すなわち、図9の比較器34にスイッチEN1、スイッチEN2と、スイッチXEN1と、スイッチXEN2を追加してもよい。
 スイッチEN1は、参照信号線RAMP上の第1参照信号を第1比較回路51に入力するか否かを切り替える。スイッチEN2は、参照信号線RAMP上の第2参照信号を第2比較回路52に入力するか否かを切り替える。スイッチXEN1は、基準信号VREFを第1比較回路51に入力するか否かを切り替える。スイッチXEN2は、基準信号VREFを第2比較回路52に入力するか否かを切り替える。
 第1ゲインLGのリセットレベル又は信号レベルの比較処理を行う際(図16の時刻t1~t5とt13~t17)には、スイッチEN1がオンして、参照信号線RAMP上の第1参照信号が第1比較回路51に入力される。このとき、スイッチXEN1とスイッチEN2はオフし、スイッチXEN2がオンする。よって、第2比較回路52には基準信号VREFが入力される。
 一方、第2ゲインHGのリセットレベル又は信号レベルの比較処理を行う際(図16の時刻t5~t13)には、スイッチEN2がオンして、参照信号線RAMP上の第2参照信号が第2比較回路52に入力される。このとき、スイッチXEN2とスイッチEN1はオフし、スイッチXEN1がオンする。よって、第1比較回路51には基準信号VREFが入力される。
 基準信号VREFは、電圧レベルが固定の電圧信号であり、例えば接地電圧でもよいし、その他の電圧でもよい。第1比較回路51と第2比較回路52のうち、比較処理を行わない比較処理には基準信号VREFを入力するため、比較処理を行わない比較回路の出力ノードの電位が意図せず変動するおそれを防止できる。
 第1比較回路51と第2比較回路52は、比較処理を行わないときは遮断スイッチSTSW1又はSTSW2をオフするようにしているが、意図しない寄生容量等の影響により比較結果がずれるおそれがありうる。図15の比較器34では、第1比較回路51と第2比較回路52のうち、比較処理を行わない比較回路に基準信号VREFを入力するため、遮断スイッチSTSW1、STSW2と相まって、図13の比較器34の出力電位の変動を抑制できる。
 このように、第4の実施形態では、第1比較回路51と第2比較回路52の入力段に、スイッチEN1、スイッチEN2、スイッチXEN1、及びスイッチXEN2を設けるため、比較処理を行う比較回路のみに第1参照信号又は第2参照信号を入力し、比較処理を行わない比較回路には基準信号VREFを入力する。これにより、比較結果が寄生容量等の影響を受けなくなる。
 (第5の実施形態)
 第5の実施形態は参照信号線RAMP上にバッファを接続するものである。
 図17は第5の実施形態に係る撮像装置1内の比較器34の回路図である。図17の比較器34は、図11の比較器34にバッファ50を追加した構成を有する。なお、図9の比較器34にバッファ50を追加してもよい。
 バッファ50は、参照信号線RAMPに接続されている。参照信号線RAMP上の第1参照信号は、バッファ50にてバッファ50リングされた後に第1比較回路51に入力される。参照信号線RAMP上の第2参照信号は、バッファ50にてバッファ50リングされた後に第2比較回路52に入力される。
 バッファ50は、第1参照信号及び第2参照信号の駆動力を上げ、出力インピーダンスを下げる作用を行う。バッファ50を設けることで、容量素子AZC1、AZC2を駆動しやすくなり、またカラム間干渉を防止できる。
 図18は図17の比較器34をカラムごとに配置した例を示す図である。バッファ50は、カラムごとに設けられる。これにより、カラム間干渉を抑制できる。
 図19は図17の第1変形例に係る比較器34の回路図である。図19の比較器34は、図17の比較器34の構成に加えて、図15と同様に、スイッチEN1、スイッチEN2と、スイッチXEN1と、スイッチXEN2とを有する。
 図19の例では、参照信号線RAMPにバッファ50を接続するものの、基準信号VREF線にはバッファ50を接続していない。しかしながら、基準信号VREF線にも別のバッファ50を接続してもよい。
 図20は図19の比較器34をカラムごとに配置した例を示す図である。図示のように、カラムごとに、バッファ50と、スイッチEN1、スイッチEN2と、スイッチXEN1と、スイッチXEN2とが設けられる。
 図21は図20の一変形例であり、基準信号VREF線にもバッファ50を接続した例を示す図である。また、図21では、スイッチEN1、スイッチEN2、スイッチXEN1、及びスイッチXEN2を全カラムで共有し、これらスイッチの後段に、カラムごとに2つのバッファ50を設けている。このような構成にすることで、スイッチの数を大幅に削減できる。また、カラムごとにバッファ50を設けるため、参照信号線RAMPと基準信号VREF線の負荷容量を削減できるとともに、カラム間干渉を抑制できる。
 図22は図17の第2変形例に係る比較器34の回路図である。図22の比較器34は、図19の比較器34の構成に加えて、容量素子AZC3、AZC4を有する。第1比較回路51内の容量素子AZC1と容量素子AZC3はいずれも可変容量素子である。同様に、第2比較回路52内の容量素子AZC2と容量素子AZC4はいずれも可変容量素子である。
 第1比較回路51内の容量素子AZC3は、入力トランジスタQ1のゲートと基準電位VSScapとの間に接続されている。第2比較回路52内の容量素子AZC4は、入力トランジスタQ2のゲートと基準電位VSScapとの間に接続されている。
 容量素子AZC3を追加することで、第1比較回路51内の入力トランジスタQ1のゲートには、容量素子AZC1と容量素子AZC3で容量分圧された信号が入力される。第2比較回路52も同様である。容量分圧による容量減衰によって、第1参照信号及び第2参照信号に重畳されるノイズを低減できる。
 容量素子AZC1と容量素子AZC3は可変容量素子であるため、容量減衰の減衰比を任意に設定することができる。例えば、比較器34を含むアナログ-デジタル変換器33のアナログゲインに応じて、可変容量素子AZC1及び可変容量素子AZC3による容量減衰の減衰比を設定することができる。
 図17のように、参照信号線RAMP上にバッファ50が設けられている場合、比較結果がバッファ50自身のノイズの影響を受けるおそれがあるが、容量分圧による容量減衰を行うことで、ノイズを低減できる。
 なお、図22の容量素子AZC3、AZC4は、図9、図11、図13、又は図15の比較器34のように、参照信号線RAMP上にバッファ50がない比較器34に設けてもよい。
 このように、第5の実施形態では、参照信号線RAMP上にバッファ50を設けることで、カラム間の干渉を抑制できる。また、バッファ50自身のノイズにより比較結果の特性が劣化するおそれがあるが、可変容量素子AZC3、AZC4を設けて、容量分圧による容量減衰でノイズを低減できる。
 (第6の実施形態)
 第6の実施形態は、3種類以上のゲインを切り替えてHDR機能を実現するものである。
 図23は第6の実施形態に係る撮像装置1内の比較器34の回路図である。図23の比較器34は、図11の比較器34の構成に加えて、第4比較回路56を有する。
 第4比較回路56は、第1ゲインLG及び第2ゲインHGとはゲイン量が異なる第3ゲインに対応する第3参照信号と第3入力信号との比較結果に応じた第5信号を出力する。第4比較回路56を設けることで、1回の露光で、それぞれ異なる3種類のゲインで撮像した画像を合成することができる。
 第3ゲインは、第1ゲインLGと第2ゲインHGの中間のゲインであってもよいし、第1ゲインLGよりもさらに低いゲインであってもよいし、第2ゲインHGよりもさらに高いゲインであってもよい。
 第4比較回路56は、入力トランジスタQ5と、容量素子AZC5と、オートゼロスイッチAZSW3と、遮断スイッチSTSW3とを有する。また、入力トランジスタQ5のゲートと基準電位VSScapとの間に容量素子AZC6を接続し、容量素子AZC5、AZC6を可変容量素子にしてもよい。
 第4比較回路56による比較結果は、第1比較回路51と第2比較回路52による比較結果と同様に、第3比較回路53に入力される。
 図23の比較器34の一変形例として、第1比較回路51、第2比較回路52、及び第4比較回路56とは別個のゲイン量に対応する比較回路をさらに設けてもよく、ゲイン量がそれぞれ異なる比較回路の数には制限はない。
 このように、第6の実施形態では、第1ゲイン~第3ゲインに対応する第1比較回路51、第2比較回路52、及び第4比較回路56の比較結果を第3比較回路53に入力するため、1回の露光で3通りにゲインを変えて撮像した各画素信号のAD変換処理を行うことができる。
 (第7の実施形態)
 図24は第7の実施形態に係る撮像装置1内の比較器34の回路図、図25は図24の比較器34のタイミング図である。
 図24の比較器34は、図11の比較器34と比べて、第1比較回路51に入力される第1参照信号線RAMP1と、第2比較回路52に入力される第2参照信号線RAMP2とを設けたものである。第1参照信号線RAMPは、第1比較回路51に第1参照信号を入力するための信号線である。第2参照信号線RAMPは、第2比較回路52に第2参照信号を入力するための信号線である。
 図25に示すように、参照信号生成回路16は、第1比較回路51が第1ゲインLGのリセットレベルの比較処理を行う期間(時刻t1~t5)と、第1ゲインLGの信号レベルの比較処理を行う期間(時刻t13~t17)とに、第1参照信号線RAMPを介して第1参照信号を第1比較回路51に入力する。また、参照信号生成回路16は、第2比較回路52が第2ゲインHGのリセットレベルの比較処理を行う期間(時刻t5~t9)と、第2ゲインHGの信号レベルの比較処理を行う期間(時刻t9~t13)とに、第2参照信号線RAMPを介して第2参照信号を第2比較回路52に入力する。
 第1参照信号線RAMPは、第1参照信号を伝送していない期間は固定電位(例えば接地電位)に設定される。同様に、第2参照信号線RAMPは、第2参照信号を伝送していない期間は固定電位(例えば接地電位)に設定される。
 また、図24の第1比較回路51は、第1参照信号線RAMPにて第1参照信号が入力されない期間内は遮断スイッチSTSW1をオフする。同様に、第2比較回路52は、第2参照信号線RAMPにて第2参照信号が入力されない期間内は遮断スイッチSTSW2をオフする。
 遮断スイッチSTSW1又はSTSW2をオフすることで、比較処理を行わない比較器34の出力を固定にすることができるが、意図しない寄生容量等の影響を受けて比較器34の出力電位が変動するおそれがある。そこで、第1参照信号線RAMPと第2参照信号線RAMPを設けて、比較処理を行わない参照信号線RAMPの信号レベルを固定させることで、比較処理を行わない比較器34の出力電位の変動を確実に防止できる。
 図26は図24の一変形例に係る比較器34の回路図である。図26の比較器34は、図24の比較器34の構成に加えて、バッファ50と、可変容量素子AZC3、AZC4とを有する。
 第1参照信号線RAMPと第2参照信号線RAMPのそれぞれに別個にバッファ50が接続されている。また、第1比較回路51のバッファ50と入力トランジスタQ1のゲートとの間には可変容量素子AZC1が接続され、入力トランジスタQ1のゲートと基準電位VSScapとの間には可変容量素子AZC3が接続されている。同様に、第2比較回路52のバッファ50と入力トランジスタQ2のゲートとの間には可変容量素子AZC2が接続され、入力トランジスタQ2のゲートと基準電位VSScapとの間には可変容量素子AZC4が接続されている。
 これら可変容量素子AZC1の容量分圧によって、入力トランジスタQ1、Q2のゲートに入力される第1参照信号と第2参照信号のノイズを低減できる。
 なお、図24の比較器34に対して、図26の可変容量素子AZC3、AZC4を追加せずに、バッファ50を追加してもよい。あるいは、図24の比較器34に対して、図26のバッファ50を追加せずに、可変容量素子AZC3、AZC4を追加してもよい。
 図27は図24又は図26の比較器34をカラムごとに配置した例を示す図である。図27では、第1参照信号線RAMP1と第2参照信号線RAMP2をすべてのカラムで共有し、カラムごとに第1比較回路51用のバッファ50と、第2比較回路52用のバッファ50とを有する。
 このように、第7の実施形態では、第1比較回路51用の第1参照信号線RAMP1と、第2比較回路52用の第2参照信号線RAMP2とを設けて、第1比較回路51で比較処理を行うタイミングに合わせて第1参照信号線RAMP1で第1参照信号を伝送し、第2比較回路52で比較処理を行うタイミングに合わせて第2参照信号線RAMP2で第2参照信号を伝送する。第1比較回路51で比較処理を行わない期間内は第1参照信号線RAMP1は固定電位に設定され、第2比較回路52で比較処理を行わない期間内は第2参照信号線RAMP2は固定電位に設定される。これにより、第1比較回路51の出力ノードと第2比較回路52の出力ノードが、比較動作を行わない期間中に意図せずに変動するおそれがなくなる。
 (第8の実施形態)
 第8の実施形態に係る撮像装置1内の比較器34は、第1~第7の実施形態に係る比較器34のレイアウト配置に関する。
 図28Aは第8の実施形態に係る比較器34の模式的なレイアウト図、図28Bは一比較例に係る比較器40の模式的なレイアウト図である。図28Aは、第1~第7の実施形態のいずれかに係る比較器34の模式的なレイアウトを示している。
 図28Aの比較器34は、大きく分けて、第1比較回路51内の容量素子AZC1の配置領域AR1と、容量素子AZC1以外の第1比較回路51の配置領域AR2と、第2比較回路52内の容量素子AZC2の配置領域AR3と、容量素子AZC2以外の第2比較回路52の配置領域AR4と、その他の回路の配置領域AR5とを有する。
 なお、図28Aの配置領域AR1~AR5は、画素アレイ部11の水平方向及び垂直方向の画素数分配置されている。また、CMOSイメージセンサ1が図3Aのような平置型の場合は、図28Aの配置領域AR1の上には画素アレイ部11が配置され、配置領域AR5の下にはカウンタ35が配置される。また、図3Bのような積層型の場合は、図28Aの配置領域AR1の上には半導体チップ44への接続部が配置され、配置領域AR5の下にはカウンタ35が配置される。
 これら配置領域AR1~AR5は、配線パターンで接続されている。配置領域AR1、AR2を接続する配線パターンWP1と、配線領域AR3、AR4を接続する配線パターンWP2とはできるだけ短くするのが望ましい。
 例えば、配置領域AR1とAR2の間の配線パターンWP1が長くなると、第1比較回路51内の入力トランジスタQ1のゲートの寄生容量が大きくなり、第1参照信号の信号レベルが減衰するおそれがある。第1参照信号の信号レベルが減衰すると、アナログ-デジタル変換器のダイナミックレンジが狭くなる。第1参照信号の信号レベルの減衰を抑制するには、容量素子AZC1のサイズを大きくすることが考えられるが、容量素子AZC1のサイズが大きくなると、小型化が困難になる。
 また、配線領域AR1とAR2の間の配線パターンWP1は、隣接回路からの干渉の影響を受けやすく、長くなるとクロストーク性能が悪くなりやすい。
 図28Bの一比較例では、容量素子AZC1、AZC2を隣接して配置し、スイッチやトランジスタ同士を隣接して配置しており、具体的には、配置領域AR1、AR3、AR2、AR4、及びAR5の順に配置している。図28Bの場合、配置領域AR1とAR2の間の配線パターンWP1が図28Aよりも長くなり、かつ配置領域AR3とAR4の間の配線パターンWP2も図28Aよりも長くなる。よって、図28Bのレイアウトでは、図28Aのレイアウトよりも、隣接回路からの干渉の影響を受けやすくなりクロストーク性能が悪くなりやすい。
 このように、比較器34内の各回路素子をレイアウト配置する際には、性能に悪影響を及ぼす部分の配線パターンの長さができるだけ短くなるように各回路素子を配置するのが望ましい。
 <移動体への応用例>
 本開示に係る技術(本技術)は、様々な製品へ応用することができる。例えば、本開示に係る技術は、自動車、電気自動車、ハイブリッド電気自動車、自動二輪車、自転車、パーソナルモビリティ、飛行機、ドローン、船舶、ロボット等のいずれかの種類の移動体に搭載される装置として実現されてもよい。
 図29は、本開示に係る技術が適用され得る移動体制御システムの一例である車両制御システムの概略的な構成例を示すブロック図である。
 車両制御システム12000は、通信ネットワーク12001を介して接続された複数の電子制御ユニットを備える。図29に示した例では、車両制御システム12000は、駆動系制御ユニット12010、ボディ系制御ユニット12020、車外情報検出ユニット12030、車内情報検出ユニット12040、及び統合制御ユニット12050を備える。また、統合制御ユニット12050の機能構成として、マイクロコンピュータ12051、音声画像出力部12052、及び車載ネットワークI/F(Interface)12053が図示されている。
 駆動系制御ユニット12010は、各種プログラムにしたがって車両の駆動系に関連する装置の動作を制御する。例えば、駆動系制御ユニット12010は、内燃機関又は駆動用モータ等の車両の駆動力を発生させるための駆動力発生装置、駆動力を車輪に伝達するための駆動力伝達機構、車両の舵角を調節するステアリング機構、及び、車両の制動力を発生させる制動装置等の制御装置として機能する。
 ボディ系制御ユニット12020は、各種プログラムにしたがって車体に装備された各種装置の動作を制御する。例えば、ボディ系制御ユニット12020は、キーレスエントリシステム、スマートキーシステム、パワーウィンドウ装置、あるいは、ヘッドランプ、バックランプ、ブレーキランプ、ウィンカー又はフォグランプ等の各種ランプの制御装置として機能する。この場合、ボディ系制御ユニット12020には、鍵を代替する携帯機から発信される電波又は各種スイッチの信号が入力され得る。ボディ系制御ユニット12020は、これらの電波又は信号の入力を受け付け、車両のドアロック装置、パワーウィンドウ装置、ランプ等を制御する。
 車外情報検出ユニット12030は、車両制御システム12000を搭載した車両の外部の情報を検出する。例えば、車外情報検出ユニット12030には、撮像部12031が接続される。車外情報検出ユニット12030は、撮像部12031に車外の画像を撮像させるとともに、撮像された画像を受信する。車外情報検出ユニット12030は、受信した画像に基づいて、人、車、障害物、標識又は路面上の文字等の物体検出処理又は距離検出処理を行ってもよい。
 撮像部12031は、光を受光し、その光の受光量に応じた電気信号を出力する光センサである。撮像部12031は、電気信号を画像として出力することもできるし、測距の情報として出力することもできる。また、撮像部12031が受光する光は、可視光であっても良いし、赤外線等の非可視光であっても良い。
 車内情報検出ユニット12040は、車内の情報を検出する。車内情報検出ユニット12040には、例えば、運転者の状態を検出する運転者状態検出部12041が接続される。運転者状態検出部12041は、例えば運転者を撮像するカメラを含み、車内情報検出ユニット12040は、運転者状態検出部12041から入力される検出情報に基づいて、運転者の疲労度合い又は集中度合いを算出してもよいし、運転者が居眠りをしていないかを判別してもよい。
 マイクロコンピュータ12051は、車外情報検出ユニット12030又は車内情報検出ユニット12040で取得される車内外の情報に基づいて、駆動力発生装置、ステアリング機構又は制動装置の制御目標値を演算し、駆動系制御ユニット12010に対して制御指令を出力することができる。例えば、マイクロコンピュータ12051は、車両の衝突回避あるいは衝撃緩和、車間距離に基づく追従走行、車速維持走行、車両の衝突警告、又は車両のレーン逸脱警告等を含むADAS(Advanced Driver Assistance System)の機能実現を目的とした協調制御を行うことができる。
 また、マイクロコンピュータ12051は、車外情報検出ユニット12030又は車内情報検出ユニット12040で取得される車両の周囲の情報に基づいて駆動力発生装置、ステアリング機構又は制動装置等を制御することにより、運転者の操作に拠らずに自律的に走行する自動運転等を目的とした協調制御を行うことができる。
 また、マイクロコンピュータ12051は、車外情報検出ユニット12030で取得される車外の情報に基づいて、ボディ系制御ユニット12030に対して制御指令を出力することができる。例えば、マイクロコンピュータ12051は、車外情報検出ユニット12030で検知した先行車又は対向車の位置に応じてヘッドランプを制御し、ハイビームをロービームに切り替える等の防眩を図ることを目的とした協調制御を行うことができる。
 音声画像出力部12052は、車両の搭乗者又は車外に対して、視覚的又は聴覚的に情報を通知することが可能な出力装置へ音声及び画像のうちの少なくとも一方の出力信号を送信する。図29の例では、出力装置として、オーディオスピーカ12061、表示部12062及びインストルメントパネル12063が例示されている。表示部12062は、例えば、オンボードディスプレイ及びヘッドアップディスプレイの少なくとも一つを含んでいてもよい。
 図30は、撮像部12031の設置位置の例を示す図である。
 図30では、撮像部12031として、撮像部12101、12102、12103、12104、12105を有する。
 撮像部12101、12102、12103、12104、12105は、例えば、車両12100のフロントノーズ、サイドミラー、リアバンパ、バックドア及び車室内のフロントガラスの上部等の位置に設けられる。フロントノーズに備えられる撮像部12101及び車室内のフロントガラスの上部に備えられる撮像部12105は、主として車両12100の前方の画像を取得する。サイドミラーに備えられる撮像部12102、12103は、主として車両12100の側方の画像を取得する。リアバンパ又はバックドアに備えられる撮像部12104は、主として車両12100の後方の画像を取得する。車室内のフロントガラスの上部に備えられる撮像部12105は、主として先行車両又は、歩行者、障害物、信号機、交通標識又は車線等の検出に用いられる。
 なお、図30には、撮像部12101ないし12104の撮影範囲の一例が示されている。撮像範囲12111は、フロントノーズに設けられた撮像部12101の撮像範囲を示し、撮像範囲12112,12113は、それぞれサイドミラーに設けられた撮像部12102,12103の撮像範囲を示し、撮像範囲12114は、リアバンパ又はバックドアに設けられた撮像部12104の撮像範囲を示す。例えば、撮像部12101ないし12104で撮像された画像データが重ね合わせられることにより、車両12100を上方から見た俯瞰画像が得られる。
 撮像部12101ないし12104の少なくとも1つは、距離情報を取得する機能を有していてもよい。例えば、撮像部12101ないし12104の少なくとも1つは、複数の撮像素子からなるステレオカメラであってもよいし、位相差検出用の画素を有する撮像素子であってもよい。
 例えば、マイクロコンピュータ12051は、撮像部12101ないし12104から得られた距離情報を基に、撮像範囲12111ないし12114内における各立体物までの距離と、この距離の時間的変化(車両12100に対する相対速度)を求めることにより、特に車両12100の進行路上にある最も近い立体物で、車両12100と略同じ方向に所定の速度(例えば、0km/h以上)で走行する立体物を先行車として抽出することができる。さらに、マイクロコンピュータ12051は、先行車の手前に予め確保すべき車間距離を設定し、自動ブレーキ制御(追従停止制御も含む)や自動加速制御(追従発進制御も含む)等を行うことができる。このように運転者の操作に拠らずに自律的に走行する自動運転等を目的とした協調制御を行うことができる。
 例えば、マイクロコンピュータ12051は、撮像部12101ないし12104から得られた距離情報を元に、立体物に関する立体物データを、2輪車、普通車両、大型車両、歩行者、電柱等その他の立体物に分類して抽出し、障害物の自動回避に用いることができる。例えば、マイクロコンピュータ12051は、車両12100の周辺の障害物を、車両12100のドライバが視認可能な障害物と視認困難な障害物とに識別する。そして、マイクロコンピュータ12051は、各障害物との衝突の危険度を示す衝突リスクを判断し、衝突リスクが設定値以上で衝突可能性がある状況であるときには、オーディオスピーカ12061や表示部12062を介してドライバに警報を出力することや、駆動系制御ユニット12010を介して強制減速や回避操舵を行うことで、衝突回避のための運転支援を行うことができる。
 撮像部12101ないし12104の少なくとも1つは、赤外線を検出する赤外線カメラであってもよい。例えば、マイクロコンピュータ12051は、撮像部12101ないし12104の撮像画像中に歩行者が存在するか否かを判定することで歩行者を認識することができる。かかる歩行者の認識は、例えば赤外線カメラとしての撮像部12101ないし12104の撮像画像における特徴点を抽出する手順と、物体の輪郭を示す一連の特徴点にパターンマッチング処理を行って歩行者か否かを判別する手順によって行われる。マイクロコンピュータ12051が、撮像部12101ないし12104の撮像画像中に歩行者が存在すると判定し、歩行者を認識すると、音声画像出力部12052は、当該認識された歩行者に強調のための方形輪郭線を重畳表示するように、表示部12062を制御する。また、音声画像出力部12052は、歩行者を示すアイコン等を所望の位置に表示するように表示部12062を制御してもよい。
 以上、本開示に係る技術が適用され得る車両制御システムの一例について説明した。本開示に係る技術は、以上説明した構成のうち、撮像部12031等に適用され得る。具体的には、本開示の撮像装置1は、撮像部12031に適用することができる。撮像部12031に本開示に係る技術を適用することにより、より鮮明な撮影画像を得ることができるため、ドライバの疲労を軽減することが可能になる。
 なお、本技術は以下のような構成を取ることができる。
 (1)第1ゲインに対応する第1参照信号と第1入力信号との信号レベルの比較結果に応じた第1信号を出力する第1比較回路と、
 前記第1ゲインとはゲイン量が異なる第2ゲインに対応する第2参照信号と第2入力信号との比較結果に応じた第2信号を出力する第2比較回路と、
 前記第1信号と前記第1入力信号との信号レベルの比較結果に応じた第3信号と、前記第2信号と前記第2入力信号との比較結果に応じた第4信号とを、互いに異なるタイミングで出力する第3比較回路と、を備える、撮像装置。
 (2)前記第1参照信号は、時間の経過に応じて第1傾斜で信号レベルが変化する信号期間を含み、
 前記第2参照信号は、時間の経過に応じて前記第1傾斜とは異なる第2傾斜で信号レベルが変化する信号期間を含み、
 前記第1比較回路は、前記第1参照信号と前記第1入力信号との信号レベルが一致すると、前記第1信号の信号レベルを遷移させ、
 前記第2比較回路は、前記第2参照信号と前記第2入力信号との信号レベルが一致すると、前記第2信号の信号レベルを遷移させる、(1)に記載の撮像装置。
 (3)前記第1参照信号は、リセットレベルに対応する前記第1傾斜で信号レベルが変化する第1信号期間と、信号レベルに対応する前記第1傾斜で信号レベルが変化する第2信号期間とを有し、
 前記第2参照信号は、リセットレベルに対応する前記第2傾斜で信号レベルが変化する第3信号期間と、信号レベルに対応する前記第2傾斜で信号レベルが変化する第4信号期間とを有する、(2)に記載の撮像装置。
 (4)前記第2ゲインは、前記第1ゲインよりもゲイン量が大きく、
 前記第1参照信号は、前記第2参照信号よりも、単位時間当たりの信号変化量が大きい、(2)又は(3)に記載の撮像装置。
 (5)前記第1比較回路は、リセットレベルに対応する前記第1参照信号と前記第1入力信号との比較結果に応じた前記第1信号と、信号レベルに対応する前記第1参照信号と前記第1入力信号との比較結果に応じた前記第1信号とを、それぞれ異なるタイミングで出力し、
 前記第2比較回路は、リセットレベルに対応する前記第2参照信号と前記第2入力信号との比較結果に応じた前記第2信号と、信号レベルに対応する前記第2参照信号と前記第2入力信号との比較結果に応じた前記第2信号とを、それぞれ異なるタイミングで出力する、(3)又は(4)に記載の撮像装置。
 (6)前記第1参照信号及び前記第2参照信号を生成する参照信号生成回路を備え、
 前記第1比較回路から出力される前記第1信号と、前記第2比較回路から出力される前記第2信号とは、共通の信号線を介して前記第3比較回路に入力される、(1)乃至(5)のいずれか一項に記載の撮像装置。
 (7)前記参照信号生成回路は、リセットレベル用の前記第1参照信号、リセットレベル用の前記第2参照信号、信号レベル用の前記第2参照信号、及び信号レベル用の前記第1参照信号の順に出力する、(6)に記載の撮像装置。
 (8)前記参照信号生成回路は、リセットレベル用の前記第2参照信号、リセットレベル用の前記第1参照信号、信号レベル用の前記第1参照信号、及び信号レベル用の前記第2参照信号の順に出力する、(6)に記載の撮像装置。
 (9)前記第1比較回路は、前記参照信号生成回路が前記第1参照信号を出力する期間内に前記第1入力信号との比較処理を行って前記第1信号を出力し、かつ、前記参照信号生成回路が前記第2参照信号を出力する期間内には前記第1信号の出力を停止し、
 前記第2比較回路は、前記参照信号生成回路が前記第2参照信号を出力する期間内に前記第2入力信号との比較処理を行って前記第2信号を出力し、かつ、前記参照信号生成回路が前記第1参照信号を出力する期間内には前記第2信号の出力を停止する、(6)乃至(8)のいずれか一項に記載の撮像装置。
 (10)前記第1比較回路は、
 前記第1入力信号が供給されるソースと、前記第1参照信号に応じた電圧が供給されるゲートとを有する第1トランジスタと、
 前記第1トランジスタのゲートに接続され、前記第1参照信号の初期電圧に応じた電荷を保持する第1キャパシタと、
 前記第1トランジスタのゲート及びドレイン間を短絡するか否かを切り替える第1切替器と、
 前記第1トランジスタのドレイン電圧を前記第3比較回路に供給するか否かを切り替える第2切替器と、を有し、
 前記第2比較回路は、
 前記第2入力信号が供給されるソースと、前記第2参照信号に応じた電圧が供給されるゲートとを有する第2トランジスタと、
 前記第2トランジスタのゲートに接続され、前記第2参照信号の初期電圧に応じた電荷を保持する第2キャパシタと、
 前記第2トランジスタのゲート及びドレイン間を短絡するか否かを切り替える第3切替器と、
 前記第2トランジスタのドレイン電圧を前記第3比較回路に供給するか否かを切り替える第4切替器と、を有する、(1)乃至(9)のいずれか一項に記載の撮像装置。
 (11)前記第2切替器は、前記第1比較回路に前記第1参照信号と前記第1入力信号とが入力される期間内に前記第1トランジスタのドレイン電圧を前記第3比較回路に供給し、かつ、前記第2比較回路に前記第2参照信号と前記第2入力信号とが入力される期間内に前記第1トランジスタのドレインと前記第3比較回路との接続経路を遮断し、
 前記第4切替器は、前記第2比較回路に前記第2参照信号と前記第2入力信号とが入力される期間内に前記第2トランジスタのドレイン電圧を前記第3比較回路に供給し、かつ、前記第1比較回路に前記第1参照信号と前記第1入力信号とが入力される期間内に前記第2トランジスタのドレインと前記第3比較回路との接続経路を遮断する、(10)に記載の撮像装置。
 (12)前記第1比較回路は、
 前記第1キャパシタの一端に前記第1参照信号を供給するか否かを切り替える第5切替器と、
 前記第1キャパシタの一端に所定の電圧レベルの基準電圧を供給するか否かを切り替える第6切替器と、を有し、
 前記第2比較回路は、
 前記第2キャパシタの一端に前記第2参照信号を供給するか否かを切り替える第7切替器と、
 前記第2キャパシタの一端に前記基準電圧を供給するか否かを切り替える第8切替器と、を有し、
 前記第1比較回路が前記第1参照信号と前記第1入力信号との信号レベルの比較処理を行っている期間内は、前記第5切替器は前記第1キャパシタの一端に前記第1参照信号を供給し、かつ前記第6切替器は前記第1キャパシタの一端に前記基準電圧を供給せず、かつ前記第7切替器は前記第2キャパシタの一端に前記第2参照信号を供給せず、かつ前記第8切替器は前記第2キャパシタの一端に前記基準電圧を供給し、
 前記第2比較回路が前記第2参照信号と前記第2入力信号との信号レベルの比較処理を行っている期間内は、前記第5切替器は前記第1キャパシタの一端に前記第1参照信号を供給せず、かつ前記第6切替器は前記第1キャパシタの一端に前記基準電圧を供給し、かつ前記第7切替器は前記第2キャパシタの一端に前記第2参照信号を供給し、かつ前記第8切替器は前記第2キャパシタの一端に前記基準電圧を供給しない、(10)又は(11)に記載の撮像装置。
 (13)前記第1比較回路は、前記第1キャパシタと前記第1トランジスタのゲートとの接続ノードと、基準電圧ノードとの間に接続される第3キャパシタを有し、
 前記第2比較回路は、前記第2キャパシタと前記第2トランジスタのゲートとの接続ノードと、前記基準電圧ノードとの間に接続される第4キャパシタを有し、
 前記第1キャパシタ、前記第2キャパシタ、前記第3キャパシタ、及び前記第4キャパシタは、キャパシタンスを可変可能である、(10)乃至(12)のいずれか一項に記載の撮像装置。
 (14)前記第1比較回路は、前記第1参照信号をバッファリングして前記第1キャパシタの一端に供給する第1バッファを有し、
 前記第2比較回路は、前記第2参照信号をバッファリングして前記第2キャパシタの一端に供給する第2バッファを有する、(10)乃至(13)のいずれか一項に記載の撮像装置。
 (15)前記第1参照信号及び前記第2参照信号をそれぞれ異なるタイミングで伝送する1本の参照信号線を備え、
 前記第1キャパシタの一端及び前記第2キャパシタの一端には、前記参照信号線が接続される、(10)乃至(14)のいずれか一項に記載の撮像装置。
 (16)前記第1キャパシタの一端に前記第1参照信号を供給する第1参照信号線と、 前記第2キャパシタの一端に前記第2参照信号を供給する第2参照信号線と、を備える、(10)乃至(14)のいずれか一項に記載の撮像装置。
 (17)前記第1ゲイン及び前記第2ゲインとはゲイン量が異なる第3ゲインに対応する第3参照信号と第3入力信号との比較結果に応じた第5信号を出力する第4比較回路をさらに備え、
 前記第3比較回路は、前記第1信号と前記第1入力信号との信号レベルの比較結果に応じた第3信号と、前記第2信号と前記第2入力信号との比較結果に応じた第4信号と、前記第5信号と前記第3入力信号との比較結果に応じた第6信号とを、それぞれ異なるタイミングで出力する、(1)乃至(16)のいずれか一項に記載の撮像装置。
 (18)第1方向及び第2方向に配置されており、それぞれが光電変換を行う画素回路を有する複数の画素と、
 前記第1方向に配置された2以上の前記画素で光電変換された信号に基づく入力信号をデジタル信号に変換するアナログ-デジタル変換器と、を備え、
 前記アナログ-デジタル変換器は、前記第1方向に配置された前記2以上の画素ごとに、前記第1比較回路、前記第2比較回路、及び前記第3比較回路を有する、(1)乃至(17)のいずれか一項に記載の撮像装置。
 (19)前記画素回路は、
 前記第1比較回路及び前記第2比較回路の比較処理に同期して、光電変換効率を切り替える変換効率切替回路を有し、
 前記変換効率切替回路は、前記第2比較回路が比較処理を行う期間内の光電変換効率を、前記第1比較回路が比較処理を行う期間内の光電変換効率よりも高くする、(18)に記載の撮像装置。
 (20)前記第1比較回路内の前記第1参照信号の初期電圧に応じた電荷を保持する第1キャパシタが配置される第1領域と、
 前記第1比較回路内の前記第1キャパシタ以外の回路素子が配置される第2領域と、
 前記第2比較回路内の前記第2参照信号の初期電圧に応じた電荷を保持する第2キャパシタが配置される第3領域と、
 前記第2比較回路内の前記第2キャパシタ以外の回路素子が配置される第4領域と、
 前記第3比較回路が配置される第5領域と、が前記第2方向の画素ごとに配置され、
 前記第1領域及び前記第2領域は前記第1方向に沿って隣接して配置され、
 前記第3領域及び前記第4領域は前記第1方向に沿って隣接して配置される、(18)に記載の撮像装置。
 本開示の態様は、上述した個々の実施形態に限定されるものではなく、当業者が想到しうる種々の変形も含むものであり、本開示の効果も上述した内容に限定されない。すなわち、特許請求の範囲に規定された内容およびその均等物から導き出される本開示の概念的な思想と趣旨を逸脱しない範囲で種々の追加、変更および部分的削除が可能である。
1 撮像装置、11 画素アレイ部、12 行選択部、13 アナログ-デジタル変換部、14 ロジック回路部、15 タイミング制御部、16 参照信号生成回路、20 画素(画素回路)、21 フォトダイオード、22 転送トランジスタ、23 リセットトランジスタ、24 増幅トランジスタ、25 選択トランジスタ、26 変換効率切替トランジスタ、27 電荷蓄積部、31 画素制御線、31m 画素制御線、32 信号線(VSL)、32n 信号線(VSL)、33 アナログ-デジタル変換器、34 比較器、35 カウンタ、40 比較器、41 半導体基板、42 パッド、43 半導体チップ、44 半導体チップ、45 接合部、46 接合部、50 バッファ、51 第1比較回路、52 第2比較回路、53 第3比較回路、54 第1電流源、55 第2電流源、56 第4比較回路、311 画素制御線、321 信号線(VSL)

Claims (20)

  1.  第1ゲインに対応する第1参照信号と第1入力信号との信号レベルの比較結果に応じた第1信号を出力する第1比較回路と、
     前記第1ゲインとはゲイン量が異なる第2ゲインに対応する第2参照信号と第2入力信号との比較結果に応じた第2信号を出力する第2比較回路と、
     前記第1信号と前記第1入力信号との信号レベルの比較結果に応じた第3信号と、前記第2信号と前記第2入力信号との比較結果に応じた第4信号とを、互いに異なるタイミングで出力する第3比較回路と、を備える、撮像装置。
  2.  前記第1参照信号は、時間の経過に応じて第1傾斜で信号レベルが変化する信号期間を含み、
     前記第2参照信号は、時間の経過に応じて前記第1傾斜とは異なる第2傾斜で信号レベルが変化する信号期間を含み、
     前記第1比較回路は、前記第1参照信号と前記第1入力信号との信号レベルが一致すると、前記第1信号の信号レベルを遷移させ、
     前記第2比較回路は、前記第2参照信号と前記第2入力信号との信号レベルが一致すると、前記第2信号の信号レベルを遷移させる、請求項1に記載の撮像装置。
  3.  前記第1参照信号は、リセットレベルに対応する前記第1傾斜で信号レベルが変化する第1信号期間と、信号レベルに対応する前記第1傾斜で信号レベルが変化する第2信号期間とを有し、
     前記第2参照信号は、リセットレベルに対応する前記第2傾斜で信号レベルが変化する第3信号期間と、信号レベルに対応する前記第2傾斜で信号レベルが変化する第4信号期間とを有する、請求項2に記載の撮像装置。
  4.  前記第2ゲインは、前記第1ゲインよりもゲイン量が大きく、
     前記第1参照信号は、前記第2参照信号よりも、単位時間当たりの信号変化量が大きい、請求項2に記載の撮像装置。
  5.  前記第1比較回路は、リセットレベルに対応する前記第1参照信号と前記第1入力信号との比較結果に応じた前記第1信号と、信号レベルに対応する前記第1参照信号と前記第1入力信号との比較結果に応じた前記第1信号とを、それぞれ異なるタイミングで出力し、
     前記第2比較回路は、リセットレベルに対応する前記第2参照信号と前記第2入力信号との比較結果に応じた前記第2信号と、信号レベルに対応する前記第2参照信号と前記第2入力信号との比較結果に応じた前記第2信号とを、それぞれ異なるタイミングで出力する、請求項3に記載の撮像装置。
  6.  前記第1参照信号及び前記第2参照信号を生成する参照信号生成回路を備え、
     前記第1比較回路から出力される前記第1信号と、前記第2比較回路から出力される前記第2信号とは、共通の信号線を介して前記第3比較回路に入力される、請求項1に記載の撮像装置。
  7.  前記参照信号生成回路は、リセットレベル用の前記第1参照信号、リセットレベル用の前記第2参照信号、信号レベル用の前記第2参照信号、及び信号レベル用の前記第1参照信号の順に出力する、請求項6に記載の撮像装置。
  8.  前記参照信号生成回路は、リセットレベル用の前記第2参照信号、リセットレベル用の前記第1参照信号、信号レベル用の前記第1参照信号、及び信号レベル用の前記第2参照信号の順に出力する、請求項6に記載の撮像装置。
  9.  前記第1比較回路は、前記参照信号生成回路が前記第1参照信号を出力する期間内に前記第1入力信号との比較処理を行って前記第1信号を出力し、かつ、前記参照信号生成回路が前記第2参照信号を出力する期間内には前記第1信号の出力を停止し、
     前記第2比較回路は、前記参照信号生成回路が前記第2参照信号を出力する期間内に前記第2入力信号との比較処理を行って前記第2信号を出力し、かつ、前記参照信号生成回路が前記第1参照信号を出力する期間内には前記第2信号の出力を停止する、請求項6に記載の撮像装置。
  10.  前記第1比較回路は、
     前記第1入力信号が供給されるソースと、前記第1参照信号に応じた電圧が供給されるゲートとを有する第1トランジスタと、
     前記第1トランジスタのゲートに接続され、前記第1参照信号の初期電圧に応じた電荷を保持する第1キャパシタと、
     前記第1トランジスタのゲート及びドレイン間を短絡するか否かを切り替える第1切替器と、
     前記第1トランジスタのドレイン電圧を前記第3比較回路に供給するか否かを切り替える第2切替器と、を有し、
     前記第2比較回路は、
     前記第2入力信号が供給されるソースと、前記第2参照信号に応じた電圧が供給されるゲートとを有する第2トランジスタと、
     前記第2トランジスタのゲートに接続され、前記第2参照信号の初期電圧に応じた電荷を保持する第2キャパシタと、
     前記第2トランジスタのゲート及びドレイン間を短絡するか否かを切り替える第3切替器と、
     前記第2トランジスタのドレイン電圧を前記第3比較回路に供給するか否かを切り替える第4切替器と、を有する、請求項1に記載の撮像装置。
  11.  前記第2切替器は、前記第1比較回路に前記第1参照信号と前記第1入力信号とが入力される期間内に前記第1トランジスタのドレイン電圧を前記第3比較回路に供給し、かつ、前記第2比較回路に前記第2参照信号と前記第2入力信号とが入力される期間内に前記第1トランジスタのドレインと前記第3比較回路との接続経路を遮断し、
     前記第4切替器は、前記第2比較回路に前記第2参照信号と前記第2入力信号とが入力される期間内に前記第2トランジスタのドレイン電圧を前記第3比較回路に供給し、かつ、前記第1比較回路に前記第1参照信号と前記第1入力信号とが入力される期間内に前記第2トランジスタのドレインと前記第3比較回路との接続経路を遮断する、請求項10に記載の撮像装置。
  12.  前記第1比較回路は、
     前記第1キャパシタの一端に前記第1参照信号を供給するか否かを切り替える第5切替器と、
     前記第1キャパシタの一端に所定の電圧レベルの基準電圧を供給するか否かを切り替える第6切替器と、を有し、
     前記第2比較回路は、
     前記第2キャパシタの一端に前記第2参照信号を供給するか否かを切り替える第7切替器と、
     前記第2キャパシタの一端に前記基準電圧を供給するか否かを切り替える第8切替器と、を有し、
     前記第1比較回路が前記第1参照信号と前記第1入力信号との信号レベルの比較処理を行っている期間内は、前記第5切替器は前記第1キャパシタの一端に前記第1参照信号を供給し、かつ前記第6切替器は前記第1キャパシタの一端に前記基準電圧を供給せず、かつ前記第7切替器は前記第2キャパシタの一端に前記第2参照信号を供給せず、かつ前記第8切替器は前記第2キャパシタの一端に前記基準電圧を供給し、
     前記第2比較回路が前記第2参照信号と前記第2入力信号との信号レベルの比較処理を行っている期間内は、前記第5切替器は前記第1キャパシタの一端に前記第1参照信号を供給せず、かつ前記第6切替器は前記第1キャパシタの一端に前記基準電圧を供給し、かつ前記第7切替器は前記第2キャパシタの一端に前記第2参照信号を供給し、かつ前記第8切替器は前記第2キャパシタの一端に前記基準電圧を供給しない、請求項10に記載の撮像装置。
  13.  前記第1比較回路は、前記第1キャパシタと前記第1トランジスタのゲートとの接続ノードと、基準電圧ノードとの間に接続される第3キャパシタを有し、
     前記第2比較回路は、前記第2キャパシタと前記第2トランジスタのゲートとの接続ノードと、前記基準電圧ノードとの間に接続される第4キャパシタを有し、
     前記第1キャパシタ、前記第2キャパシタ、前記第3キャパシタ、及び前記第4キャパシタは、キャパシタンスを可変可能である、請求項10に記載の撮像装置。
  14.  前記第1比較回路は、前記第1参照信号をバッファリングして前記第1キャパシタの一端に供給する第1バッファを有し、
     前記第2比較回路は、前記第2参照信号をバッファリングして前記第2キャパシタの一端に供給する第2バッファを有する、請求項10に記載の撮像装置。
  15.  前記第1参照信号及び前記第2参照信号をそれぞれ異なるタイミングで伝送する1本の参照信号線を備え、
     前記第1キャパシタの一端及び前記第2キャパシタの一端には、前記参照信号線が接続される、請求項10に記載の撮像装置。
  16.  前記第1キャパシタの一端に前記第1参照信号を供給する第1参照信号線と、
     前記第2キャパシタの一端に前記第2参照信号を供給する第2参照信号線と、を備える、請求項10に記載の撮像装置。
  17.  前記第1ゲイン及び前記第2ゲインとはゲイン量が異なる第3ゲインに対応する第3参照信号と第3入力信号との比較結果に応じた第5信号を出力する第4比較回路をさらに備え、
     前記第3比較回路は、前記第1信号と前記第1入力信号との信号レベルの比較結果に応じた第3信号と、前記第2信号と前記第2入力信号との比較結果に応じた第4信号と、前記第5信号と前記第3入力信号との比較結果に応じた第6信号とを、それぞれ異なるタイミングで出力する、請求項1に記載の撮像装置。
  18.  第1方向及び第2方向に配置されており、それぞれが光電変換を行う画素回路を有する複数の画素と、
     前記第1方向に配置された2以上の前記画素で光電変換された信号に基づく入力信号をデジタル信号に変換するアナログ-デジタル変換器と、を備え、
     前記アナログ-デジタル変換器は、前記第1方向に配置された前記2以上の画素ごとに、前記第1比較回路、前記第2比較回路、及び前記第3比較回路を有する、請求項1に記載の撮像装置。
  19.  前記画素回路は、
     前記第1比較回路及び前記第2比較回路の比較処理に同期して、光電変換効率を切り替える変換効率切替回路を有し、
     前記変換効率切替回路は、前記第2比較回路が比較処理を行う期間内の光電変換効率を、前記第1比較回路が比較処理を行う期間内の光電変換効率よりも高くする、請求項18に記載の撮像装置。
  20.  前記第1比較回路内の前記第1参照信号の初期電圧に応じた電荷を保持する第1キャパシタが配置される第1領域と、
     前記第1比較回路内の前記第1キャパシタ以外の回路素子が配置される第2領域と、
     前記第2比較回路内の前記第2参照信号の初期電圧に応じた電荷を保持する第2キャパシタが配置される第3領域と、
     前記第2比較回路内の前記第2キャパシタ以外の回路素子が配置される第4領域と、
     前記第3比較回路が配置される第5領域と、が前記第2方向の画素ごとに配置され、
     前記第1領域及び前記第2領域は前記第1方向に沿って隣接して配置され、
     前記第3領域及び前記第4領域は前記第1方向に沿って隣接して配置される、請求項18に記載の撮像装置。
PCT/JP2023/003013 2022-02-07 2023-01-31 撮像装置 WO2023149417A1 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2022-017376 2022-02-07
JP2022017376 2022-02-07

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2023149417A1 true WO2023149417A1 (ja) 2023-08-10

Family

ID=87552413

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2023/003013 WO2023149417A1 (ja) 2022-02-07 2023-01-31 撮像装置

Country Status (1)

Country Link
WO (1) WO2023149417A1 (ja)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014146849A (ja) * 2013-01-25 2014-08-14 Canon Inc 撮像装置、その駆動方法、及び撮像システム
JP2015111762A (ja) * 2013-12-06 2015-06-18 株式会社ニコン 撮像素子および撮像装置
JP2020136935A (ja) * 2019-02-21 2020-08-31 ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 固体撮像素子

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014146849A (ja) * 2013-01-25 2014-08-14 Canon Inc 撮像装置、その駆動方法、及び撮像システム
JP2015111762A (ja) * 2013-12-06 2015-06-18 株式会社ニコン 撮像素子および撮像装置
JP2020136935A (ja) * 2019-02-21 2020-08-31 ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 固体撮像素子

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102520518B1 (ko) 촬상 소자, 촬상 소자의 제어 방법, 및 전자기기
JP2019057873A (ja) 固体撮像素子及び電子機器
JP7225127B2 (ja) 撮像素子及び電子機器
JP7331180B2 (ja) 撮像素子及び電子機器
US11800256B2 (en) Solid-state image sensor, imaging device, and method of controlling solid-state image sensor
TWI826614B (zh) 固態影像感測器
CN115604558B (zh) 传感器元件和电子器件
CN115804012A (zh) 成像装置和电子设备
WO2023149417A1 (ja) 撮像装置
KR20230021024A (ko) 고체 촬상 소자
JP2022017676A (ja) 撮像装置及び電子機器
CN114402583A (zh) 固态摄像元件
WO2022172714A1 (ja) 固体撮像素子
WO2023026565A1 (ja) 撮像装置及び電子機器
US20240064430A1 (en) Imaging device and electronic apparatus
EP4280594A1 (en) Imaging device and electronic apparatus
WO2023276199A1 (ja) 固体撮像素子、電子機器、および、固体撮像素子の制御方法
WO2022249736A1 (ja) 撮像装置および電子機器
US20230283921A1 (en) Solid-state imaging device
WO2022118630A1 (ja) 撮像装置及び電子機器
WO2021192576A1 (ja) 固体撮像素子、および、撮像装置
WO2023067924A1 (ja) 撮像装置および電子機器
US20230254609A1 (en) Solid state imaging element, imaging apparatus, and method for controlling solid state imaging element
WO2023112594A1 (ja) 物理量検出装置及び撮像装置
WO2021192577A1 (ja) 固体撮像素子、撮像装置、および、個体撮像素子の制御方法

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 23749733

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2023578554

Country of ref document: JP