WO2023136144A1 - 表面処理剤、物品、物品の製造方法 - Google Patents

表面処理剤、物品、物品の製造方法 Download PDF

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WO2023136144A1
WO2023136144A1 PCT/JP2022/048309 JP2022048309W WO2023136144A1 WO 2023136144 A1 WO2023136144 A1 WO 2023136144A1 JP 2022048309 W JP2022048309 W JP 2022048309W WO 2023136144 A1 WO2023136144 A1 WO 2023136144A1
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WO
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fluorine
surface treatment
treatment agent
compound
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PCT/JP2022/048309
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元志 青山
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Ａｇｃ株式会社
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    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B9/00—Layered products comprising a layer of a particular substance not covered by groups B32B11/00 - B32B29/00
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    • C09D171/02—Polyalkylene oxides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
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    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
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    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation

Definitions

  • the present invention relates to a surface treatment agent, an article, and a method for manufacturing an article.
  • Patent Document 1 discloses forming a surface layer using a surface treatment agent containing a fluorine-containing ether compound and a metal compound containing tantalum (Ta).
  • an object of the present invention is to provide a surface treatment agent capable of forming a surface layer with excellent friction durability, an article having a surface layer, and a method for producing the article.
  • a surface layer having excellent friction durability can be formed by using a surface treatment agent containing a fluorine-containing ether compound and two or more metal compounds. I came up with the invention.
  • the first metal element is a metal element having a Pauling electronegativity of 2.00 or more
  • the second metal element is a metal element having a Pauling electronegativity of 1.00 or less, or is a metal element having an electronegativity of more than 1.00 and less than 2.00, the surface treatment agent according to [2].
  • the surface treatment agent according to any one of the above.
  • the total content of the first metal compound and the second metal compound is 0.1 mass ppb to 1 mass% with respect to the total mass of the fluorine-containing ether compound in the surface treatment agent, [1 ] to [3] the surface treatment agent according to any one of.
  • An article comprising a substrate and a surface layer formed from the surface treating agent according to any one of [1] to [6] above.
  • a surface treatment agent capable of forming a surface layer with excellent friction durability, an article having a surface layer, and a method for producing the article.
  • a fluoroalkyl group is a collective term for a perfluoroalkyl group and a partial fluoroalkyl group.
  • a perfluoroalkyl group means a group in which all hydrogen atoms of an alkyl group are substituted with fluorine atoms.
  • a partial fluoroalkyl group is an alkyl group in which one or more hydrogen atoms are substituted with fluorine atoms and which has one or more hydrogen atoms.
  • a fluoroalkyl group is an alkyl group having one or more fluorine atoms.
  • "Reactive silyl group” is a general term for hydrolyzable silyl groups and silanol groups (Si-OH), and "hydrolyzable silyl group” is a group that can be hydrolyzed to form a silanol group.
  • Organic group means a hydrocarbon group which may have a substituent and which may have a heteroatom or other bond in the carbon chain.
  • the “hydrocarbon group” is a group consisting of a carbon atom and a hydrogen atom, and is an aliphatic hydrocarbon group (for example, a divalent aliphatic hydrocarbon group includes a linear alkylene group, a branched alkylene group, a cyclo alkylene groups, etc.), aromatic hydrocarbon groups (for example, divalent aromatic hydrocarbon groups such as phenylene groups, etc.), and groups consisting of combinations thereof.
  • a "surface layer” means a layer formed on a substrate.
  • the “molecular weight” of the fluoropolyether chain is the number average molecular weight calculated by obtaining the number (average value) of oxyfluoroalkylene units based on the terminal group by 1 H-NMR and 19 F-NMR. " ⁇ ” indicating a numerical range means that the numerical values before and after it are included as lower and upper limits. "Electronegativity” means Pauling electronegativity, unless otherwise specified. “ppb” means “parts-per-billion (10 ⁇ 9 )” and represents mass ratio.
  • the surface treatment agent of the present invention (hereinafter also referred to as "this surface treatment agent”) comprises a fluorine-containing ether compound having a fluoropolyether chain and a reactive silyl group, and a first metal compound containing a first metal element. and a second metal compound containing a second metal element different in kind from the first metal element.
  • this surface treatment agent a surface layer having excellent friction durability can be formed. Although the details of this reason have not been clarified, it is presumed to be due to the following reason.
  • the surface layer may be formed so as to be in contact with a base material having silanol groups on the surface thereof, such as a glass base material, or a base layer.
  • the metal element contained in the surface layer improves the reactivity between the silanol groups derived from the reactive silyl groups of the fluorine-containing ether compound and the silanol groups present on the surface of the substrate or the like. . It is presumed that this caused the surface layer and the base material to be firmly adhered to each other. In addition, it is presumed that the use of two or more metal compounds having different metal elements causes the metal elements to function complementarily, thereby further improving the friction durability of the surface layer.
  • a fluorine-containing ether compound has a fluoropolyether chain and a reactive silyl group. Since the fluorine-containing ether compound has a fluoropolyether chain, the surface layer obtained using the fluorine-containing ether compound is excellent in water/oil repellency and fingerprint stain removability.
  • a fluorine-containing ether compound has a reactive silyl group. Since the reactive silyl groups are strongly chemically bonded to the base material, the resulting surface layer has excellent friction durability.
  • a fluoropolyether chain is a group having two or more oxyfluoroalkylene units.
  • the fluoropolyether chain may have hydrogen atoms.
  • the proportion of fluorine atoms in the fluoropolyether chain represented by the following formula (I) is preferably 60% or more, more preferably 80% or more. , substantially 100%, ie perfluoropolyether chains, are more preferred. If the fluorine atom content is 60% or more, the amount of fluorine in the fluoropolyether chain increases and the lubricity and fingerprint removability are further improved.
  • Formula (I): Percentage of fluorine atoms (%) (number of fluorine atoms) / ⁇ (number of fluorine atoms) + (number of hydrogen atoms) ⁇ x 100
  • the molecular weight per fluoropolyether chain is preferably 2,000 to 20,000, more preferably 2,500 to 15,000, from the viewpoint of achieving both fingerprint stain removal and lubricity on the surface layer. ,000 to 10,000 is more preferred. If the molecular weight of the fluoropolyether chain is 2,000 or more, the flexibility of the fluoropolyether chain is improved, and the fluorine content in the molecule is increased, thereby further improving the lubricity and fingerprint removability. On the other hand, if the molecular weight of the fluoropolyether chain is 20,000 or less, the surface layer is more excellent in friction durability.
  • the fluoropolyether chain is preferably structure (f1). (OR f ) y (f1)
  • R f is a fluoroalkylene group having 1 to 6 carbon atoms, and a plurality of R f may be the same or different. y may be an integer of 2 or more, preferably 2-200.
  • (OR f ) y preferably has a structure represented by the following formula (f2). - [(OG f1 ) m1 (OG f2 ) m2 (OG f3 ) m3 (OG f4 ) m4 (OG f5 ) m5 (OG f6 ) m6 ]- ...(f2) however, G f1 is a fluoroalkylene group having 1 carbon atoms, G f2 is a fluoroalkylene group having 2 carbon atoms, G f3 is a fluoroalkylene group having 3 carbon atoms, G f4 is a fluoroalkylene group having 4 carbon atoms, G f5 is a fluoroalkylene group having 5 carbon atoms, G f6 is a fluoroalkylene group having 6 carbon atoms, m1, m2, m3, m4, m5, and m6 each independently represents an integer of 0 or 1 or more,
  • the bonding order of (OG f1 ) to (OG f6 ) in formula (f2) is arbitrary.
  • m1 to m6 in the formula (f2) represent the number of (OG f1 ) to (OG f6 ), respectively, and do not represent the arrangement.
  • (OG f5 ) m5 indicates that the number of (OG f5 ) is m5, and does not indicate the block arrangement structure of (OG f5 ) m5 .
  • the order of (OG f1 ) to (OG f6 ) does not represent the order of bonding of the respective units.
  • the fluoroalkylene group having 3 to 6 carbon atoms may be a linear fluoroalkylene group or a fluoroalkylene group having a branched or ring structure.
  • G f1 examples include -CF 2 - and -CHF-.
  • G f2 examples include -CF 2 CF 2 -, -CHFCF 2 -, -CHFCHF-, -CH 2 CF 2 -, -CH 2 CHF- and the like.
  • G f3 include -CF 2 CF 2 CF 2 -, -CF 2 CHFCF 2 -, -CF 2 CH 2 CF 2 -, -CHFCF 2 CF 2 -, -CHFCHFCF 2 -, -CHFCHFCHF-, - CHFCH2CF2- , -CH2CF2CF2- , -CH2CHFCF2- , -CH2CH2CF2- , -CH2CF2CHF- , -CH2CHFCHF- , -CH2CH2 _ _ CHF-, -CF(CF 3 )-CF 2 -, -CF(CHF 2 )-CF 2 -, -CF(CH 2 F)-CF 2 -, -CF(CH 3 )-CF 2 -, -CF (CF 3 )-CHF-, -CF(CHF 2 )-CHF-, -CF(CH 2 F)-CHF-, -CF(CH 3 )-CF
  • G f4 include -CF 2 CF 2 CF 2 -, -CHFCF 2 CF 2 CF 2 -, -CH 2 CF 2 CF 2 -, -CF 2 CHFCF 2 CF 2 -, -CHFCHFCF 2CF2- , -CH2CHFCF2CF2- , -CF2CH2CF2CF2- , -CHFCH2CF2CF2- , -CH2CH2CF2CF2- , -CHFCF2CHFCF2 _ _ _ _ _ _ _ _ - - -, -CH 2 CF 2 CHFCF 2 -, -CF 2 CHFCHFCF 2 -, -CHFCHFCHFCF 2 -, -CH 2 CHFCHFCF 2 -, -CF 2 CH 2 CHFCF 2 -, -CHFCH 2 CHFCF 2 -, -CH 2 CH 2CHFCF2- , -CF2CH2CH2CF2- , -
  • G f5 examples include -CF 2 CF 2 CF 2 CF 2 CF 2 -, -CHFCF 2 CF 2 CF 2 -, -CH 2 CHFCF 2 CF 2 CF 2 -, -CF 2 CHFCF 2 CF 2 —, —CHFCHFCF 2 CF 2 CF 2 —, —CF 2 CH 2 CF 2 CF 2 —, —CHFCH 2 CF 2 CF 2 CF 2 —, —CH 2 CH 2 CF 2 CF 2 CF 2 —, -CF2CF2CHFCF2CF2- , -CHFCF2CHFCF2CF2- , -CH2CF2CHFCF2CF2- , -CH2CF2CF2CF2CH2- , -cycloC5F8- _ _ _ _ _ _ _ _ etc.
  • G f6 include -CF 2 CF 2 CF 2 CF 2 CF 2 CF 2 -, -CF 2 CF 2 CHFCHFCF 2 CF 2 -, -CHFCF 2 CF 2 CF 2 CF 2 CF 2 -, -CHFCHFCHFCHFCHFCHF- , -CHFCF 2 CF 2 CF 2 CH 2 -, -CH 2 CF 2 CF 2 CF 2 CH 2 -, -cycloC 6 F 10 - and the like.
  • -cycloC 4 F 6 - means a perfluorocyclobutanediyl group, and specific examples include a perfluorocyclobutane-1,2-diyl group and a perfluorocyclobutane-1,3-diyl group.
  • -cycloC 5 F 8 - means a perfluorocyclopentanediyl group, and specific examples thereof include a perfluorocyclopentane-1,3-diyl group.
  • -cycloC 6 F 10 - means a perfluorocyclohexanediyl group, a specific example of which is a perfluorocyclohexane-1,4-diyl group.
  • (OR f ) y preferably has any one of the structures represented by the following formulas (f3) to (f5) from the viewpoint of superior water and oil repellency, friction durability, and fingerprint stain removability. More preferably, it has a structure represented by the following formula (f3), and a structure represented by (OCF 2 ) m1 ⁇ (OCF 2 CF 2 ) m2 is even more preferable from the viewpoint of better alkali resistance.
  • the order of bonding between (OG f1 ) and (OG f2 ) and between (OG f2 ) and (OG f4 ) is arbitrary.
  • (OG f1 ) and (OG f2 ) may be alternately arranged, (OG f1 ) and (OG f2 ) may be arranged in blocks, or may be randomly arranged. .
  • m1 is preferably 1-30, more preferably 1-20.
  • m2 is preferably 1-30, more preferably 1-20.
  • m4 is preferably 1-30, more preferably 1-20.
  • m3 is preferably 1-30, more preferably 1-20.
  • the ratio of fluorine atoms in the fluoropolyether chain (OR f ) y is excellent in water and oil repellency and fingerprint removability From the point of view, 60% or more is preferable, 70% or more is more preferable, and 80% or more is still more preferable. Further, the molecular weight of the fluoropolyether chain (OR f ) y portion is preferably from 2,000 to 20,000, more preferably from 2,500 to 15,000, more preferably from 3,000 to 10,000, from the viewpoint of friction durability. 000 is more preferred.
  • the reactive silyl group is preferably the group (g1). —SiR a1 z1 R a2 3-z1 (g1) however, R a1 is a hydroxyl group or a hydrolyzable group, and when there are multiple R a1 s , the multiple R a1s may be the same or different, R a2 is a non-hydrolyzable group, and when there are multiple R a2 s, the multiple R a2s may be the same or different, z1 is an integer of 1-3.
  • R a1 When R a1 is a hydroxyl group, it constitutes a silanol (Si—OH) group together with the Si atom.
  • a hydrolyzable group is a group that becomes a hydroxyl group (that is, a silanol group) by a hydrolysis reaction.
  • the silanol groups further react intermolecularly to form Si--O--Si bonds.
  • the silanol group undergoes a dehydration condensation reaction with the hydroxyl group (substrate (or underlying layer) —OH) on the surface of the substrate (or underlying layer) to form a chemical bond (substrate (or underlying layer) —O—Si). to form
  • the fluorine-containing ether compound is excellent in friction durability after forming the surface layer.
  • the hydrolyzable group of R a1 includes an alkoxy group, an aryloxy group, a halogen atom, an acyl group, an acyloxy group, an isocyanate group (--NCO) and the like.
  • alkoxy group an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms is preferable.
  • acyl group an acyl group having 1 to 6 carbon atoms is preferred.
  • acyloxy group an acyloxy group having 1 to 6 carbon atoms is preferred.
  • R a1 is preferably an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms or a halogen atom from the viewpoint of ease of production of the fluorine-containing ether compound.
  • the alkoxy group for R a1 is preferably an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms, because the storage stability of the fluorine-containing ether compound is excellent and outgassing during the reaction is suppressed, and from the viewpoint of long-term storage stability.
  • the halogen atom a chlorine atom is particularly preferable.
  • Examples of the non-hydrolyzable group for R a2 include a hydrogen atom and a monovalent hydrocarbon group.
  • the hydrocarbon group includes an alkyl group, a cycloalkyl group, an alkenyl group, an allyl group, and the like, and an alkyl group is preferable from the viewpoint of ease of production. From the standpoint of ease of production, etc., the number of carbon atoms in the hydrocarbon group is preferably 1-6, more preferably 1-3, even more preferably 1-2.
  • z1 may be an integer of 1 to 3, preferably 2 or 3, more preferably 3, from the viewpoint of adhesion to the substrate (or underlying layer).
  • Specific examples of the group (g1) include -Si(OCH 3 ) 3 , -SiCH 3 (OCH 3 ) 2 , -Si(OCH 2 CH 3 ) 3 , -SiCl 3 , -Si(OCOCH 3 ) 3 , - Si(NCO) 3 and the like.
  • -Si(OCH 3 ) 3 is preferred from the viewpoint of ease of handling in production.
  • the multiple groups (g1) may be the same or different.
  • the fluoropolyether chain and the group (g1) are bonded directly or via a linking group.
  • the linking group include divalent or higher organic groups.
  • the number of fluoropolyether chains in one molecule of the fluorine-containing ether compound may be one or two or more.
  • the number of fluoropolyether chains in one molecule is preferably 1 to 20, more preferably 1 to 10, even more preferably 1 to 4, from the viewpoint of ease of synthesis and the like.
  • the number of groups (g1) in one molecule of the fluorine-containing ether compound may be one or two or more.
  • the number of groups (g1) is preferably 1 to 32, more preferably 1 to 18, even more preferably 2 to 12, from the viewpoint of achieving both friction durability and water/oil repellency.
  • the plurality of fluoropolyether chains may be the same or different.
  • each group (g1) may be the same or different.
  • Any fluorine-containing ether compound may be used as long as it satisfies the above constitution.
  • Compounds represented by the following formula (A1), (A2), or (A3) are particularly preferred from the viewpoints of easiness of synthesis, easiness of handling of the compound, and the like.
  • R f1 is a fluoroalkyl group having 1 to 20 carbon atoms, and when there are a plurality of R f1 , the plurality of R f1 may be the same or different; R f11 is a fluoroalkylene group having 1 to 6 carbon atoms, and when there are a plurality of R f11 , the plurality of R f11 may be the same or different,
  • Compound (A1) has a structure represented by the following formula (A1). [R f1 ⁇ (OR f11 ) y1 ⁇ OR 1 ] j ⁇ L 1 ⁇ (R 11 ⁇ T 11 ) x1 (A1) However, each symbol in the formula (A1) is as described above.
  • R f1 is a fluoroalkyl group having 1 to 20 carbon atoms.
  • the fluoroalkyl group may be linear, branched and/or have a cyclic structure.
  • a straight-chain fluoroalkyl group is preferable from the viewpoint of friction durability, and the number of carbon atoms in the fluoroalkyl group is preferably 1 to 6, more preferably 1 to 3, from the viewpoint of ease of synthesis.
  • R f11 and y1 in (OR f11 ) y1 are the same as R f and y in formula (f1) above, and preferred embodiments are also the same.
  • R 1 is an alkylene group or a fluoroalkylene group.
  • the alkylene group and fluoroalkylene group for R 1 may be linear or may have a branched and/or cyclic structure. From the viewpoint of ease of synthesis and the like, a linear or branched alkylene group or fluoroalkylene group is preferable, and a linear or branched alkylene group or fluoroalkylene group having a methyl group or a fluoromethyl group is more preferable.
  • the number of carbon atoms in R 1 is preferably 1-6, more preferably 1-3.
  • R 1 is bonded to R 11 when L 1 is a single bond. In this case, the carbon atom bonded to R 11 in R 1 should be bonded to at least one fluorine atom or fluoroalkyl group.
  • j represents the number of [R f1 -(OR f11 ) y1 -OR 1 ] in one molecule, and may be an integer of 1 or more, preferably 1 to 20, more preferably 1 to 10, 1 to 4 is more preferred.
  • R 11 is an alkylene group in which the atom bonded to L 1 may be an etheric oxygen atom or may have an etheric oxygen atom between carbon atoms.
  • the alkylene group for R 11 may be linear or may have a branched and/or cyclic structure.
  • a linear or branched alkylene group having a methyl group is preferable, and a linear alkylene group is more preferable, because the compound (A1) is likely to be densely arranged when forming a surface layer.
  • R 11 can be specifically represented by the following formula (g2).
  • R g2 is an alkylene group having 1 or more carbon atoms, and a plurality of R g2 may be the same or different, a1 is 0 or 1, a2 is an integer of 0 or more, * is a bond that binds to L1 , ** is a bond that binds to T11 .
  • a1 When a1 is 0, the atom having the bond * becomes a carbon atom, and when a1 is 1, the atom having the bond * becomes an oxygen atom.
  • a1 may be either 0 or 1, and may be appropriately selected from the viewpoint of synthesis and the like.
  • a2 is the number of repetitions of R g2 O, preferably 0 to 6, more preferably 0 to 3, even more preferably 0 to 1, from the viewpoint of durability as a surface layer.
  • R 11 is more preferably a group represented by the following formula (g3) from the viewpoint that the surface layer is excellent in water and oil repellency, fingerprint stain removability, and durability such as abrasion resistance.
  • *-(O) a1 -R g3 -** (g3) however, R g3 is an alkylene group, a1, * and ** are the same as in formula (g2).
  • the alkylene group for R g3 may be linear or may have a branched and/or cyclic structure.
  • a linear alkylene group is preferable from the viewpoint that the compound (A1) is likely to be densely arranged when forming the surface layer.
  • the number of carbon atoms in R g3 may be 1 or more, preferably 1 to 18, more preferably 1 to 12, even more preferably 1 to 6.
  • T 11 is —SiR a11 z11 R a12 3-z11 , R a11 , R a12 and z11 are respectively the same as R a1 , R a2 and z1 constituting the above group (g1), and preferred embodiments are also the same. be.
  • x1 represents the number of R 11 -T 11 in one molecule, and may be an integer of 1 or more, preferably 1-32, more preferably 1-18, even more preferably 2-12.
  • the atoms bonded to R 1 and R 11 may be the same atom or different atoms.
  • L 1 is at least one branch point (hereinafter referred to as "branch point P 1 '').
  • the branch point P 1 When N is the branch point P 1 , the branch point P 1 is represented by * ⁇ N( ⁇ **) 2 or (* ⁇ ) 2 N ⁇ **, for example. However, * is a bond on the R1 side, and ** is a bond on the R11 side.
  • the branch point P 1 When C is the branch point P 1 , the branch point P 1 is, for example, * ⁇ C( ⁇ **) 3 , (* ⁇ ) 2 C( ⁇ **) 2 , (* ⁇ ) 3 C ⁇ **, *-CR 29 (-**) 2 or (*-) 2 CR 29 -**.
  • the branch point P 1 is, for example, *-Si(-**) 3 , (*-) 2 Si(-**) 2 , (*-) 3 Si-**, *-SiR 29 (-**) 2 or (*-) 2 SiR 29 -**.
  • R 29 is a monovalent group such as a hydrogen atom, a hydroxyl group, an alkyl group, an alkoxy group, and the like. be done.
  • a 3- to 8-membered aliphatic ring is used because it is easy to produce a fluorine-containing ether compound, and the surface layer has further excellent resistance to abrasion, light resistance, and chemical resistance.
  • One selected from the group consisting of a ring, a 3- to 8-membered aromatic ring, a 3- to 8-membered heterocyclic ring, and a condensed ring consisting of two or more of these rings is preferable, and is listed in the following formula. is more preferred.
  • organopolysiloxane residue constituting the branch point P1 examples include the following groups.
  • R25 in the following formula is a hydrogen atom, an alkyl group, an alkoxy group, or a phenyl group.
  • the number of carbon atoms in the alkyl group and alkoxy group of R 25 is preferably 1 to 10, more preferably 1.
  • L 1 Divalent or higher L 1 is —C(O)N(R 26 )—, —N(R 26 )C(O)—, —C(O)O—, —OC(O)—, —C( O)-, -O-, -N(R 26 )-, -S-, -OC(O)O-, -NHC(O)O-, -OC(O)NH-, -NHC(O)N (R 26 )-, -SO 2 N(R 26 )-, -N(R 26 )SO 2 -, -Si(R 26 ) 2 -, -OSi(R 26 ) 2 -, -Si(CH 3 ) 2 -Ph-Si(CH 3 ) 2 - and at least one bond selected from the group consisting of divalent organopolysiloxane residues (hereinafter also referred to as ").
  • R 26 is a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms or a phenyl group, and Ph is a phenylene group.
  • the number of carbon atoms in the alkyl group of R 26 is preferably 1 to 6, more preferably 1 to 3, even more preferably 1 to 2, from the viewpoint of facilitating production of the fluorine-containing ether compound.
  • Examples of the divalent organopolysiloxane residue include groups of the following formula.
  • R27 in the following formula is a hydrogen atom, an alkyl group, an alkoxy group, or a phenyl group.
  • the number of carbon atoms in the alkyl group and alkoxy group of R 27 is preferably 1 to 10, more preferably 1.
  • bond B 1 As the bond B 1 , -C(O)NR 26 -, -N(R 26 )C(O)-, -C(O)-, and -NR 26 -, from the viewpoint of easy production of fluorine-containing ether compounds. At least one bond selected from the group consisting of is preferable, and from the viewpoint of further improving the light resistance and chemical resistance of the surface layer, —C(O)NR 26 —, —N(R 26 )C(O)—, or -C(O)- is more preferred.
  • Specific examples of divalent L 1 include a single bond, one or more bonds B 1 (eg, *-B 1 -**, *-B 1 -R 28 -B 1 -**), and the like.
  • R 28 is a single bond or a divalent organic group
  • * is a bond on the R 1 side
  • ** is a bond on the R 11 side.
  • L 1 having a valence of 3 or more include one or more branch points P 1 (eg ⁇ (*-) j P 1 (-**) x1 ⁇ , ⁇ (*-) j P 1 -R 28 - P 1 (-**) x1 ⁇ , etc.), combinations of one or more branch points P 1 and one or more bonds B 1 (eg, ⁇ *-B 1 -R 28 -P 1 (-**) x1 ⁇ , ⁇ *-B 1 -R 28 -P 1 (-R 28 -B 1 -**) x1 ⁇ , etc.).
  • R 28 is a single bond or a divalent organic group
  • * is a bond on the R 1 side
  • ** is a bond on the R 11 side.
  • the divalent organic group for R 28 includes, for example, a hydrocarbon group such as a divalent aliphatic hydrocarbon group (alkylene group, cycloalkylene group, etc.), a divalent aromatic hydrocarbon group (phenylene group, etc.) and may have a bond B 1 between the carbon-carbon atoms of the hydrocarbon group.
  • the number of carbon atoms in the divalent organic group is preferably 1-10, more preferably 1-6, even more preferably 1-4.
  • L 1 is preferably a group represented by any one of the following formulas (L1) to (L7) from the viewpoint of easy production of the fluorine-containing ether compound.
  • a 1 is a single bond, -B 3 -, -B 3 -R 30 -, or -B 3 -R 30 -B 2 -
  • R 30 is an alkylene group, or a A group having -C(O)NR e6 -, -C(O)-, -NR e6 - or -O- between carbon-carbon atoms of an alkylene group
  • B 2 is -C(O)NR e6 -, -C(O)-, -NR e6 -, or -O-
  • B 3 is -C(O)NR e6 -, -C(O)-, or -NR e6 -
  • a 2 is a single bond or -B 3
  • a group having -O-, Q 22 is a single bond, -B 3 -, -R 30 -B 3 - or -B 2 -R 30 -B 3 -;
  • Q 23 is a single bond or -R 30 -B 3 -;
  • Q 24 is Q 22 when the atom in Z 1 to which Q 24 is bonded is a carbon atom, and Q 23 when the atom in Z 1 to which Q 24 is bonded is a nitrogen atom;
  • Q 25 is a single bond or -R 30 -B 3 -;
  • Q 26 is a single bond or -R 30 -B 3 -;
  • Z 1 is a group having a (d8+d9) valent ring structure having a carbon or nitrogen atom to which A 3 is directly bonded and a carbon or nitrogen atom to which Q is directly bonded,
  • R e1 is a hydrogen atom or an alkyl group
  • R e2 is a hydrogen atom, a hydroxyl
  • the plurality of A 1 's may be the same or different.
  • d1+d3, d5, d7, d8, d10 is j
  • d2+d4 d6, 3-d7, d9, d11, 1+d12 is x1.
  • the number of carbon atoms in the alkylene group of R 30 is preferably 1 to 10, more preferably 1 to 6, from the viewpoints of easy production of the fluorine-containing ether compound, and further excellent abrasion durability, light resistance and chemical resistance of the surface layer. More preferably, 1 to 4 are even more preferable. However, the lower limit of the number of carbon atoms in the alkylene group is 2 when it has a specific bond between carbon atoms.
  • the ring structure of Z 1 includes the ring structures described above, and preferred forms are also the same.
  • the number of carbon atoms in the alkyl group of R e1 , R e2 or R e3 is preferably 1 to 6, more preferably 1 to 3, even more preferably 1 to 2, from the viewpoint of easy production of the fluorine-containing ether compound.
  • the number of carbon atoms in the alkyl group portion of the acyloxy group of R e2 is preferably 1 to 6, more preferably 1 to 3, even more preferably 1 to 2, from the viewpoint of facilitating production of compound 1.
  • d9 is preferably 2 to 6, more preferably 2 to 4, and even more preferably 2 or 3, from the viewpoints of easy production of a fluorine-containing ether compound and further excellent friction durability and fingerprint stain removability of the surface layer. .
  • L 1 include groups represented by any of the following formulas (L11) to (L17).
  • G is a group (G21) below, and two or more Gs in L 1 may be the same or different. Codes other than G are the same as the codes in formulas (L11) to (L17). -Si(R 21 ) 3-k (-Q 3 -) k (G21) However, in the formula (G21), the Si side is connected to Q22 , Q23 , Q24 , Q25 or Q26 , and the Q3 side is connected to R11 .
  • R21 is an alkyl group.
  • Q 3 is a single bond or -R 31 -B 3 -, and R 31 is an alkylene group, or -C(O)NR 32 - between carbon atoms of an alkylene group having 2 or more carbon atoms, a group having -C(O)-, -NR 32 - or -O-, or -(OSi(R 22 ) 2 ) p11 -O- and two or more Q 3 may be the same or different; good too.
  • k is 2 or 3;
  • R 32 is a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms or a phenyl group.
  • R 22 is an alkyl group, a phenyl group or an alkoxy group, and two R 22s may be the same or different.
  • p11 is an integer of 0 to 5, and when p11 is 2 or more, two or more (OSi(R 22 ) 2 ) may be the same or different.
  • the number of carbon atoms in the alkylene group of Q 3 is preferably 1 to 10, and 1 to 6, from the viewpoints of easy production of the fluorine-containing ether compound, and further excellent abrasion durability, light resistance, and chemical resistance of the surface layer. More preferably, 1 to 4 are even more preferable. However, the lower limit of the number of carbon atoms in the alkylene group is 2 when it has a specific bond between carbon atoms.
  • the number of carbon atoms in the alkyl group of R 21 is preferably 1 to 6, more preferably 1 to 3, even more preferably 1 to 2, from the viewpoint of facilitating production of the fluorine-containing ether compound.
  • the number of carbon atoms in the alkyl group of R 22 is preferably 1 to 6, more preferably 1 to 3, even more preferably 1 to 2, from the viewpoint of facilitating production of the fluorine-containing ether compound.
  • the number of carbon atoms in the alkoxy group of R 22 is preferably 1 to 6, more preferably 1 to 3, even more preferably 1 to 2, from the viewpoint of excellent storage stability of the fluorine-containing ether compound.
  • p11 is preferably 0 or 1.
  • Examples of compound (A1) include the following. where R f is [R f1 -(OR f11 ) y1 -OR 1 ].
  • Compound (A2) has a structure represented by the following formula (A2). (T 31 -R 31 ) x3 -L 3 -R 3 -(OR f12 ) y2 -OR 2 -L 2 -(R 21 -T 21 ) x2 (A2) However, each code
  • R f12 and (OR f12 ) y2 are the same as R f11 and (OR f11 ) y1 above, and preferred embodiments are also the same.
  • R 2 and R 3 are each independently the same as R 1 above, and preferred embodiments are also the same.
  • R 21 and R 31 are the same as R 11 above, and preferred embodiments are also the same.
  • “binds to L1” is read as “binds to L2 " for R21
  • “binds to T11” is read as “binds to T21 " in the case of R21
  • L2 is a single bond
  • R21 directly bonds to R2
  • L3 is a single bond
  • R31 directly bonds to R3 .
  • T 21 and T 31 are each independently —SiR a21 z21 R a22 3-z21 , and R a21 , R a22 and z21 are respectively the same as R a1 , R a2 and z1 constituting the group (g1); , and preferred embodiments are also the same.
  • x2 and x3 are each independently the same as x1, and preferred embodiments are also the same.
  • L 2 and L 3 are each independently the same as when j is 1 in L 1 above.
  • compound (A2) is represented by the following formula (A2').
  • each symbol in formula (A2') is the same as in formula (A2).
  • L 2 or L 3 is a trivalent or higher group
  • L 2 or L 3 is selected from the group consisting of C, N, Si, a ring structure and a (1+x2)-valent or (1+x3)-valent organopolysiloxane residue. has at least one type of branch point (hereinafter also referred to as “branch point P 2 ”).
  • the branch point P2 When N is the branch point P2 , the branch point P2 is represented by *-N(-**) 2 , for example. However, * is a bond on the R2 or R3 side, and ** is a bond on the R21 or R31 side.
  • the branch point P 2 When C is the branch point P 2 , the branch point P 2 is represented by *-C(-**) 3 or *-CR 29 (-**) 2 , for example.
  • * is a bond on the R 2 or R 3 side
  • ** is a bond on the R 21 or R 31 side
  • R 29 is a monovalent group such as a hydrogen atom, a hydroxyl group, an alkyl group. , an alkoxy group, and the like.
  • the branch point P 2 is represented by *-Si(-**) 3 or *-SiR 29 (-**) 2 , for example.
  • * is a bond on the R 2 or R 3 side
  • ** is a bond on the R 21 or R 31 side
  • R 29 is a monovalent group such as a hydrogen atom, a hydroxyl group, an alkyl group. , an alkoxy group, and the like.
  • each of L 2 or L 3 having a valence of 2 or more may independently have the above bond B 1 .
  • the aspect of bond B1 is as described above, and the preferred aspects are also the same.
  • Specific examples of divalent L 2 or L 3 include a single bond, one or more bonds B 1 (eg, *-B 1 -**, *-B 1 -R 28 -B 1 -**), etc. is mentioned.
  • R 28 is a single bond or a divalent organic group
  • * is a bond on the R 2 or R 3 side
  • ** is a bond on the R 21 or R 31 side.
  • L 2 or L 3 having a valence of 3 or more include one or more branch points P 2 (eg ⁇ *-P 2 (-**) x ⁇ , ⁇ *-P 2 -R 28 -P 2 ( -**) x ⁇ , etc.), combinations of one or more branch points P 2 and one or more bonds B 1 (for example, ⁇ *-B 1 -R 28 -P 2 (-**) x ⁇ , ⁇ *-B 1 -R 28 -P 2 (-R 28 -B 1 -**) x ⁇ etc., where x is x2 for L 2 and x3 for L 3 .
  • R 28 is a single bond or a divalent organic group
  • * is a bond on the R 2 or R 3 side
  • ** is a bond on the R 21 or R 31 side.
  • the aspect of R 28 is as described above, and the preferred aspects are also the same.
  • L 2 or L 3 is preferably a group independently represented by any one of the following formulas (L21) to (L27) from the viewpoint of easy production of the fluorine-containing ether compound.
  • the A 1 , A 2 or A 3 side is connected to formula R 2 or R 3
  • the Q 22 , Q 23 , Q 24 , Q 25 or Q 26 side is R 21 Or connect to R31 .
  • a 1 , A 2 , A 3 , Q 11 , Q 22 , Q 23 , Q 24 , Q 25 , Q 26 , R e1 , R e2 R e3 and R e6 are the same as those described in L 1 above. and preferred embodiments are also the same.
  • Z 1 is a group having a (1+d9) valent ring structure having a carbon or nitrogen atom to which A 3 is directly bonded and a carbon or nitrogen atom to which Q is directly bonded
  • d2 is an integer from 0 to 3
  • d4 is an integer from 0 to 3
  • d2+d4 is an integer from 1 to 5
  • d6 is an integer from 1 to 3
  • d9 is an integer of 1 or more
  • d11 is an integer of 1-3
  • d12 is an integer of 1-3.
  • d2+d4, d6, d9, d11 and 1+d12 are x2 or x3.
  • d9 is preferably 2 to 6, more preferably 2 to 4, and even more preferably 2 or 3, from the viewpoints of easy production of a fluorine-containing ether compound and further excellent friction durability and fingerprint stain removability of the surface layer. .
  • L 2 or L 3 include groups represented by any of the following formulas (L31) to (L37).
  • the A 1 , A 2 or A 3 side is connected to R 2 or R 3 in the formula, and the Q 22 , Q 23 , Q 24 , Q 25 or Q 26 side is R 21 Or connect to R31 .
  • G is the above group (G21), and preferred embodiments are also the same. Codes other than G are the same as the codes in formulas (L21) to (L27), and preferred embodiments are also the same.
  • Examples of the compound (A2) include the following. where Q f is -R 3 -(OR f12 ) y2 -OR 2 -.
  • Compound (A3) has a structure represented by the following formula (A3).
  • Q 1 [-(OR f13 ) y3 -OR 4 -L 4 -(R 41 -T 41 ) x4 ] r1 (A3)
  • each symbol in the formula (A3) is as described above.
  • R f13 and (OR f13 ) y3 are the same as R f11 and (OR f11 ) y1 , and preferred embodiments are also the same.
  • R 4 is the same as R 1 above, and preferred embodiments are also the same.
  • R 41 is the same as R 11 above, and preferred embodiments are also the same. However, “bind to L1 " shall be read as “bind to L4 ". In addition, “bind to T11 " shall be read as “bind to T41 ". When L4 is a single bond, R41 directly bonds to R4 .
  • T 41 is —SiR a41 z41 R a42 3-z41 , R a41 , R a42 and z41 are respectively the same as R a1 , R a2 and z1 constituting the above group (g1), and preferred embodiments are also the same. is.
  • x4 is the same as x1, and the preferred embodiment is also the same.
  • L 4 is the same as L 2 or L 3 , and preferred embodiments are also the same.
  • Q1 is an r1-valent group having a branch point, and r1 is 3 or 4;
  • the branch point P3 constituting Q1 includes N, C, Si, or a ring structure.
  • the number of branch points P3 may be one, or two or more.
  • the branch point P 1 is represented by N(-*) 3 , NR 29 (-*) 2 , for example.
  • the branch point P 3 includes, for example, C(-*) 4 , CR 29 (-*) 3 , C(R 29 ) 2 (-*) 2 and the like.
  • Si serves as the branch point P 3
  • the branch point P 3 includes, for example, Si(-*) 4 , SiR 29 (-*) 3 , Si(R 29 ) 2 (-*) 2 and the like.
  • * is a bond on the OR f13 side
  • R29 is a monovalent group. Examples of R 29 include a hydrogen atom, a fluorine atom, a hydroxyl group, an alkyl group, a fluoroalkyl group, and a fluoropolyether chain having no R 41 -T 41 .
  • Examples of the ring structure constituting the branch point P 3 include those similar to those of the branch point P 1.
  • Examples of the substituents of the ring structure include the substituents described above, as well as a fluorine atom, a fluoroalkyl group, and R 41 -T It may also have a fluoropolyether chain without 41 .
  • a 11 , A 12 or A 13 is connected to (OR f13 ).
  • a 11 is a single bond
  • R 40 is an alkylene group, a fluoroalkylene group, or a carbon atom of an alkylene group having 2 or more carbon atoms or a fluoroalkylene group - is a group having -C(O)NR e17 -, -C(O)-, -NR e17 - or -O- between carbon atoms
  • B 13 is -C(O)NR e6 -, -C (O)-, -NR e6 - or -O-
  • a 12 is a single bond or -R 40 -
  • a 13 is A 11 when the atom in Z 1 to which A 13 is attached is a carbon atom
  • a 12 when the atom in Z 1 to which A 13 is attached is a
  • the number of carbon atoms in the alkylene group or fluoroalkylene group of R 40 is preferably 1 to 10 from the viewpoints of easy production of the fluorine-containing ether compound and further excellent abrasion durability, light resistance and chemical resistance of the surface layer. 1 to 6 are more preferred, and 1 to 4 are even more preferred. However, the lower limit of the number of carbon atoms in the alkylene group is 2 when it has a specific bond between carbon atoms.
  • the ring structure of Z 1 includes the ring structures described above, and preferred forms are also the same.
  • the number of carbon atoms in the alkyl group or fluoroalkylene group is preferably 1 to 6, and 1 to 3, from the viewpoint of facilitating production of the fluorine-containing ether compound. is more preferred, and 1 to 2 are even more preferred.
  • Examples of the compound (A3) include the following. where R f3 is (OR f13 ) y3 —OR 4 .
  • the content of the fluorine-containing ether compound is preferably 0.01 to 50% by mass, more preferably 0.03 to 40% by mass, and further 0.05 to 30% by mass, based on the total mass of the surface treatment agent. preferable.
  • the content of the fluorine-containing ether compound is within the above range, the surface layer is more excellent in water and oil repellency, friction durability, fingerprint stain removability, lubricity and appearance.
  • the present surface treatment agent contains a first metal compound containing a first metal element and a second metal compound containing a second metal element different from the first metal element.
  • metal compound is a generic term for "first metal compound” and “second metal compound”
  • metal element is used as a general term for "first metal element” and "second metal It is a general term for "element”.
  • a metal compound is a compound containing a metal element and an element other than a metal element. Specific examples thereof include an oxide containing a metal element, a salt containing a metal element, a complex containing a metal element, and a metal element. Among them, acetates containing metal elements, metal alkoxides containing metal elements, complexes containing metal elements, and metal halides are preferred because the friction durability of the surface layer is more excellent. preferable.
  • the metal element means a group 1 element to a group 12 element (including lanthanides and actinides) of the periodic table excluding hydrogen atoms, and base metals (Al, Ga, In, Tl, Sn, Pb, Bi). .
  • the first metal element preferably has an electronegativity of more than 1.00, and more preferably an electronegativity of 2.00 or more, in order to improve the friction durability of the surface layer.
  • the fluorine-containing ether compound It is presumed that the reactivity between the silanol group derived from the reactive silyl group of and the silanol group present on the surface of the substrate or the like is further improved.
  • the electronegativity of the first metal element is more than 1.00
  • the second metal element may be a different metal element from the first metal element, and the electronegativity of the second metal element is 1.00. 00 or less, or 1.00 or less.
  • the second metal element is a metal element having an electronegativity of 1.00 or less, or an electronegative It is preferably a metal element with a degree of more than 1.00 and less than 2.00.
  • Metal elements having an electronegativity of more than 2.00 are ruthenium (Ru, 2.20), rhodium (Rh, 2.28), palladium (Pd, 2.00), and palladium (Pd, 2.00), since the surface layer has more excellent friction durability. 20), iridium (Ir, 2.20), platinum (Pt, 2.28), lead (Pb, 2.33), and more preferably Pd and Pt.
  • Metal elements having an electronegativity of more than 1.00 and less than 2.00 are magnesium (Mg, 1.31), aluminum (Al, 1.61), titanium ( Ti, 1.54), Chromium (Cr, 1.66), Manganese (Mn, 1.55), Iron (Fe, 1.83), Nickel (Ni, 1.91), Copper (Cu, 1.90 ), zinc (Zn, 1.65), niobium (Nb, 1.6), silver (Ag, 1.93), cadmium (Cd, 1.69), tin (Sn, 1.96), thallium (Tl , 1.62), etc., preferably Mg, Al, Ti, Cr, Ni, Cu, Zn and Sn, more preferably Mg, Cu and Sn.
  • Metal elements with an electronegativity of 1.00 or less are sodium (Na, 0.93), potassium (K, 0.82), lithium (Li, 0.98), because the friction durability of the surface layer is more excellent. ), calcium (Ca, 1.00), and cesium (Cs, 0.79) are preferred, and Na and K are more preferred. Numerical values written together with element symbols in parentheses represent values of Pauling's electronegativity.
  • Aspect 1 A first metal compound containing a first metal element having an electronegativity of 2.00 or more, and a second metal compound containing a second metal element having an electronegativity of more than 1.00 and less than 2.00.
  • Aspect 2 A first metal compound containing a first metal element having an electronegativity of 2.00 or more, and a second metal compound containing a second metal element having an electronegativity of 1.00 or less.
  • Aspect 3 A first metal compound containing a first metal element having an electronegativity of more than 1.00 and less than 2.00, and a second metal element having an electronegativity of 1.00 or less.
  • Aspect 4 A first metal compound containing a first metal element having an electronegativity of 2.00 or more, and a second metal compound having an electronegativity of 2.00 or more.
  • Aspect 5 A first metal compound containing a first metal element having an electronegativity of more than 1.00 and less than 2.00, and an electronegativity of more than 1.00 and less than 2.00.
  • aspects containing a second metal compound containing a certain second metal element Among the above aspects 1 to 5, aspects 1 to 3 are preferable, and aspects 1 and 2 are more preferable, because the surface layer has more excellent friction durability. , Aspect 1 is more preferred.
  • mode 1 a combination of either Pd or Pt as the first metal compound and any one of Mg, Cu, Zn, and Sn as the second metal compound is preferable.
  • Pt and Mg, Pt and Cu, Pt and Sn, Pt and Zn, Pd and Mg are particularly preferred.
  • aspect 2 a combination of Pt and K is preferable.
  • mode 3 combinations of Cu and Na and Mg and K are preferable.
  • metal compounds include magnesium methoxide, magnesium ethoxide, copper methoxide, copper ethoxide, tetra-n-butoxy tin, chloroplatinic acid, palladium acetate, potassium methoxide, potassium ethoxide, sodium methoxide, sodium ethoxy and zinc chloride.
  • the total content of the first metal compound and the second metal compound is preferably 0.001 mass ppb to 5 mass%, more preferably 0.01 mass ppb to 3 mass%, relative to the total mass of the surface treatment agent. , 0.1 mass ppb to 1 mass % is more preferable.
  • the total content is 0.001 mass ppb or more, the surface layer has more excellent friction durability. If the total content is 5% by mass or less, the water and oil repellency of the surface layer is more excellent.
  • the content of the first metal compound is preferably 0.001 mass ppb to 5 mass%, and 0.01 mass ppb to 3 mass % is more preferable, and 0.1 mass ppb to 1 mass % is even more preferable.
  • the content of the second metal compound is preferably 0.001 mass ppb to 5 mass%, and 0.01 mass ppb to 3 mass % is more preferable, and 0.1 mass ppb to 1 mass % is even more preferable.
  • the total content of the first metal compound and the second metal compound is preferably from 0.001 ppm by mass to 5% by mass, and from 0.01 ppm by mass to the total mass of the fluorine-containing ether compound in the surface treatment agent. 3 mass % is more preferable, and 0.1 mass ppm to 1 mass % is even more preferable.
  • the content of the metal compound is 0.001 ppm by mass or more, the surface layer has more excellent friction durability. If the content of the metal compound is 5% by mass or less, the water and oil repellency of the surface layer is more excellent.
  • the content of the first metal compound is preferably 0.001 ppm by mass to 5% by mass with respect to the total mass of the fluorine-containing ether compound in the present surface treatment agent, from the viewpoint of improving the friction durability of the surface layer. 0.01 mass ppm to 3 mass% is more preferable, and 0.1 mass ppm to 1 mass% is even more preferable.
  • the mass ratio of the content of the first metal compound to the content of the second metal compound is 0 because the surface layer has better friction durability. 0.00001 to 100000 is preferred, 0.0001 to 10000 is more preferred, and 0.001 to 1000 is even more preferred.
  • the present surface treatment agent may contain components other than the fluorine-containing ether compound and the metal compound (hereinafter also referred to as "other components"). Specific examples of other components include fluorine-containing compounds other than the above-mentioned fluorine-containing ether compounds, at least one of the following impurities, and liquid media.
  • fluorine-containing compounds include fluorine-containing compounds by-produced in the production process of the above-mentioned fluorine-containing ether compounds (hereinafter also referred to as "by-product fluorine-containing compounds"), which are used for the same purposes as the above-mentioned fluorine-containing ether compounds.
  • a well-known fluorine-containing compound etc. are mentioned.
  • compounds that are unlikely to deteriorate the properties of the fluorine-containing ether compound are preferred.
  • the content of the other fluorine-containing compound is preferably less than 70% by mass, more preferably less than 50% by mass, based on the total mass of the present surface treatment agent, from the viewpoint of sufficiently exhibiting the properties of the fluorine-containing ether compound. Less than 20% by weight is more preferred, less than 10% by weight is particularly preferred, and less than 5% by weight is most preferred.
  • Examples of by-product fluorine-containing compounds include unreacted fluorine-containing compounds during the synthesis of fluorine-containing ether compounds.
  • the purification step for removing the by-product fluorine-containing compound or reducing the amount of the by-product fluorine-containing compound can be simplified.
  • fluorine-containing compounds include, for example, those described in the following documents. perfluoropolyether-modified aminosilanes described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-029585; a silicon-containing organic fluorine-containing polymer described in Japanese Patent No. 2874715; Organosilicon compounds described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-144097, perfluoropolyether-modified aminosilanes described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-327772; Fluorinated siloxane described in Japanese Patent Publication No. 2002-506887, Organosilicone compounds described in Japanese Patent Publication No. 2008-534696, A fluorinated modified hydrogen-containing polymer described in Japanese Patent No.
  • fluorine-containing compounds include KY-100 series (KY-178, KY-185, KY-195, etc.) manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., and SURECO AF such as SURECO (registered trademark) 2101S manufactured by AGC. series, Optool (registered trademark) DSX, Optool (registered trademark) AES, Optool (registered trademark) UF503, Optool (registered trademark) UD509 and the like manufactured by Daikin Industries.
  • the content of the other fluorine-containing compounds with respect to the total content of the above-mentioned fluorine-containing ether compound and other fluorine-containing compounds in the present surface treatment agent is 60 mass. % or less is preferable, 30 mass % or less is more preferable, and 10 mass % or less is still more preferable.
  • the total content of the fluorine-containing ether compound and other fluorine-containing compounds in the present surface treatment agent is preferably at least 0.01% by mass, more preferably at least 0.03% by mass.
  • the surface layer is excellent in water and oil repellency, friction durability, fingerprint stain removability, lubricity and appearance.
  • the present surface treatment agent When the present surface treatment agent contains a liquid medium, the present surface treatment agent can be used as a coating liquid.
  • the coating liquid may be in a liquid state, and may be a solution or a dispersion liquid.
  • the organic solvent may be a fluorinated organic solvent, may be a non-fluorinated organic solvent, or may contain both solvents.
  • Fluorinated organic solvents include fluorinated alkanes, fluorinated aromatic compounds, fluoroalkyl ethers, fluorinated alkylamines, fluoroalcohols and the like.
  • fluorinated alkane compounds having 4 to 8 carbon atoms are preferred.
  • Commercially available products include C 6 F 13 H (manufactured by AGC, Asahiklin (registered trademark) AC-2000), C 6 F 13 C 2 H 5 (manufactured by AGC, Asahiklin (registered trademark) AC-6000), C 2 F 5 CHFCHFCF 3 (Vertrel (registered trademark) XF manufactured by Chemours) and the like.
  • fluorinated aromatic compounds include hexafluorobenzene, trifluoromethylbenzene, perfluorotoluene, and bis(trifluoromethyl)benzene.
  • fluoroalkyl ether compounds having 4 to 12 carbon atoms are preferred.
  • fluorinated alkylamines include perfluorotripropylamine and perfluorotributylamine.
  • fluoroalcohols include 2,2,3,3-tetrafluoropropanol, 2,2,2-trifluoroethanol and hexafluoroisopropanol.
  • non-fluorine organic solvent compounds consisting only of hydrogen atoms and carbon atoms and compounds consisting only of hydrogen atoms, carbon atoms and oxygen atoms are preferable, and hydrocarbon organic solvents, alcohol organic solvents, ketone organic solvents, Examples include ether-based organic solvents and ester-based organic solvents.
  • the surface treatment agent contains a liquid medium
  • the surface treatment agent preferably contains 60 to 99.999% by mass of the liquid medium, preferably 85 to 99.99% by mass, and 90 to 99.9% by mass. % is more preferable.
  • the present surface treatment agent may further contain known additives such as acid catalysts and basic catalysts that promote hydrolysis and condensation reaction of hydrolyzable silyl groups.
  • the content of the additive is preferably 10% by mass or less, more preferably 1% by mass or less, relative to the total mass of the surface treatment agent.
  • the article of the present invention (hereinafter also referred to as “this article") has a base material, a surface layer disposed on the base material, and has an underlying layer between the base material and the surface layer. is preferred.
  • the surface layer is a layer formed from the surface treatment agent described above and contains the condensate of the fluorine-containing ether compound described above.
  • the material and shape of the base material may be selected as appropriate according to the intended use of the product.
  • Materials for the substrate include glass, resin, sapphire, metal, ceramic, stone, and composite materials thereof.
  • the glass may be chemically strengthened.
  • examples of substrates that require water and oil repellency include substrates for touch panels, substrates for displays, and substrates that constitute housings of electronic devices.
  • a touch panel substrate and a display substrate have translucency. "Having translucency" means having a vertical incident visible light transmittance of 25% or more according to JIS R3106:1998 (ISO 9050:1990). Glass or transparent resin is preferable as the material for the touch panel substrate.
  • the base material may be one that has undergone surface treatment such as corona discharge treatment, plasma treatment, plasma graft polymerization treatment, etc. on the surface on which the base layer is to be provided.
  • a surface that has undergone surface treatment has even better adhesion between the base material and the underlying layer, and as a result, the friction durability of the surface layer is further improved.
  • corona discharge treatment or plasma treatment is preferable from the viewpoint that the friction durability of the surface layer is further excellent.
  • the underlying layer is preferably a layer containing an oxide containing silicon (preferably silicon oxide), and may further contain other elements.
  • the underlayer contains silicon oxide, the reactive silyl groups of the fluorine-containing ether compound undergo dehydration condensation to form Si—O—Si bonds with the underlayer, forming a surface layer with excellent friction durability. be done.
  • the content of silicon oxide in the underlayer is preferably 65% by mass or more, more preferably 80% by mass or more, still more preferably 85% by mass or more, and particularly preferably 90% by mass or more. If the content of silicon oxide is at least the lower limit, sufficient Si--O--Si bonds are formed in the underlayer, and sufficient mechanical properties of the underlayer are ensured.
  • the content of silicon oxide is the remainder obtained by subtracting the total content of other elements (the amount converted to oxide in the case of oxide) from the mass of the underlayer.
  • the oxides in the underlayer further include alkali metal elements, alkaline earth metal elements, platinum group elements, boron, aluminum, phosphorus, titanium, zirconium, iron, nickel, chromium, and molybdenum. , and tungsten.
  • alkali metal elements alkaline earth metal elements
  • platinum group elements platinum group elements
  • boron aluminum, phosphorus, titanium, zirconium, iron, nickel, chromium, and molybdenum.
  • tungsten By including these elements, the bond between the undercoat layer and the fluorine-containing ether compound is strengthened, and the friction durability is improved.
  • the thickness of the underlayer is preferably 1 to 200 nm, more preferably 2 to 20 nm.
  • the thickness of the underlayer is equal to or greater than the lower limit, the effect of improving the adhesion due to the underlayer tends to be sufficiently obtained.
  • the thickness of the base layer is equal to or less than the upper limit, the friction durability of the base layer itself increases.
  • Methods for measuring the thickness of the underlayer include a method of cross-sectional observation of the underlayer with an electron microscope (SEM, TEM, etc.), and a method of using an optical interference film thickness meter, a spectroscopic ellipsometer, a profilometer, and the like.
  • Examples of the method of forming the underlying layer include a method of vapor-depositing a vapor deposition material having a desired composition of the underlying layer on the surface of the base material.
  • An example of the vapor deposition method is a vacuum vapor deposition method.
  • the vacuum deposition method is a method of evaporating a deposition material in a vacuum chamber and attaching it to the surface of a substrate.
  • the temperature during vapor deposition (for example, the temperature of the boat in which the vapor deposition material is placed when using a vacuum vapor deposition apparatus) is preferably 100 to 3000.degree. C., more preferably 500 to 3000.degree.
  • the pressure during vapor deposition (for example, when using a vacuum vapor deposition apparatus, the absolute pressure in the tank in which the vapor deposition material is placed is preferably 1 Pa or less, more preferably 0.1 Pa or less.
  • one vapor deposition material may be used, or two or more vapor deposition materials containing different elements may be used. Evaporation materials can be melted and vaporized on a resistance heating boat made of high-melting-point metal. and the electron gun method of evaporating.
  • the evaporation method of the vapor deposition material it is possible to evaporate high-melting-point substances because it can be locally heated, and since the temperature is low where the electron beam is not applied, there is no risk of reaction with the container or contamination with impurities. gun law is preferred.
  • the vapor deposition material used in the electron gun method a molten granular material or a sintered material is preferable because it is difficult to scatter even when an air current is generated.
  • the surface layer contains the condensate of the fluorine-containing ether compound.
  • the hydrolyzable silyl group in the fluorine-containing ether compound undergoes a hydrolysis reaction to form a silanol group (Si-OH), and the silanol group undergoes an intermolecular condensation reaction to form Si- A structure in which an O—Si bond is formed, and a silanol group in the fluorine-containing ether compound is condensed with a silanol group or a Si—OM group (where M is an alkali metal element) on the surface of the base material or underlayer. It includes structures that have reacted to form Si--O--Si bonds.
  • the surface layer may contain a condensate of a fluorine-containing compound other than the fluorine-containing ether compound. That is, the surface layer contains a fluorine-containing compound having a reactive silyl group in a state in which a part or all of the reactive silyl groups of the fluorine-containing compound undergo a condensation reaction.
  • the thickness of the surface layer is preferably 1-100 nm, more preferably 1-50 nm. If the thickness of the surface layer is at least the lower limit, the effect of the surface layer can be sufficiently obtained. If the thickness of the surface layer is equal to or less than the upper limit, the utilization efficiency is high.
  • the thickness of the surface layer is the thickness obtained with an X-ray diffractometer for thin film analysis. The thickness of the surface layer can be calculated from the vibration period of the interference pattern obtained by obtaining an interference pattern of reflected X-rays by the X-ray reflectance method using an X-ray diffractometer for thin film analysis.
  • this item is a touch panel.
  • the surface layer is preferably formed on the surface of the member that constitutes the surface of the touch panel that is touched by a finger.
  • the method for producing the present article is a method of forming a surface layer on a substrate by a dry coating method or a wet coating method using the present surface treating agent.
  • the present surface treating agent When the present surface treating agent does not contain a liquid medium, the present surface treating agent can be used as it is in the dry coating method.
  • the dry coating method includes methods such as vacuum deposition, CVD, and sputtering.
  • a vacuum vapor deposition method can be preferably used from the viewpoint of suppressing the decomposition of the fluorine-containing ether compound and the simplicity of the apparatus.
  • a pellet-like substance in which a fluorine-containing ether compound and a metal compound are supported on a metal porous body made of a metal material such as iron or steel may be used.
  • a pellet-like material supporting a fluorine-containing ether compound and a metal compound can be produced by impregnating a metal porous body with the present surface treatment agent containing a liquid medium, followed by drying to remove the liquid medium.
  • the present surface treating agent contains a liquid medium
  • the present surface treating agent can be suitably used in wet coating methods.
  • Wet coating methods include spin coating, wipe coating, spray coating, squeegee coating, dip coating, die coating, inkjet, flow coating, roll coating, casting, Langmuir-Blodgett, and gravure. A coat method and the like can be mentioned.
  • an operation for promoting the reaction between the fluorine-containing ether compound and the substrate (or underlayer) may be performed.
  • the operation includes heating, humidification, light irradiation, and the like.
  • a base material on which a surface layer is formed in an atmosphere containing moisture hydrolysis reaction of hydrolyzable groups, reaction between hydroxyl groups on the surface of the base material and silanol groups, and condensation reaction of silanol groups It can promote reactions such as formation of siloxane bonds.
  • compounds in the surface layer that are not chemically bonded to other compounds or the substrate may be removed if necessary. Specific examples include a method of pouring a solvent over the surface layer, a method of wiping off with a cloth impregnated with the solvent, and the like.
  • Examples 1 to 17 are working examples, and examples 18 to 23 are comparative examples. However, the present invention is not limited to these examples.
  • the compounding amount of each component in the table to be described later indicates a mass standard.
  • a fluorine-containing ether compound X1 is mixed with C 4 F 9 OC 2 H 5 (Novec-7200: product name, manufactured by 3M) as a liquid medium, and the content of the fluorine-containing ether compound is 10% by mass. A solution was obtained. 30 g of the resulting solution, 0.03 g of diethoxymagnesium (manufactured by Kojundo Chemical Laboratory), and 0.03 g of chloroplatinic acid (manufactured by Kanto Kagaku) were mixed to obtain surface treatment agent 1. rice field.
  • Examples 1 to 23 Each surface treatment agent obtained as described above was vacuum-deposited on a glass substrate (Dragontrail (registered trademark), manufactured by AGC, 50 mm ⁇ 50 mm, thickness 0.5 mm). Specifically, each of the surface treatment agents 1 to 21 (0.5 g) was filled in a resistance heating boat in a vacuum deposition device (manufactured by ULVAC, VTR350M), and the pressure in the vacuum deposition device was 3.0 ⁇ 10 ⁇ It was evacuated to 3 Pa or less. Next, a silicon dioxide film of 5 nm was formed on the glass base material, and the film was formed on the glass by raising the temperature of the resistance heating boat.
  • the vapor-deposited film-coated glass is allowed to stand in an atmosphere of 150° C. for 30 minutes, and then allowed to cool to room temperature to form a surface layer on the substrate, Examples 1 to 23 (surface treatment agents 1 to 23).
  • a glass base material with a surface layer was obtained.
  • the static contact angle of water is measured by placing a 2 ⁇ L drop of pure water on the surface layer and using a contact angle meter (manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd.: automatic contact angle meter DropMaster 701). It was measured. The static contact angle of water was recorded as an arithmetic mean value at five different points.
  • the evaluation criteria are as follows, and the results are shown in Tables 3 and 4. ⁇ Friction element> The surface (1 cm in diameter) of the following silicone rubber processed product was covered with cotton immersed in artificial sweat having the following composition, and this was used as a friction element.
  • a surface layer having excellent friction durability can be formed by using a surface treatment agent containing a fluorine-containing ether compound and two or more metal elements (e.g. 1-15). Further, as shown in Table 5, if a surface treatment agent containing a fluorine-containing ether compound having a structure represented by (OCF 2 ) m1 ⁇ (OCF 2 CF 2 ) m2 and two or more metal elements is used, , it was confirmed that a surface layer having excellent alkali resistance can be formed (Example 15).
  • the surface treatment agent which can form the surface layer provided with water-repellent oil repellency excellent in friction durability on the surface of various articles, and an article provided with the said surface layer are provided.
  • the articles are useful as, for example, optical articles, touch panels, antireflection films, antireflection glass, SiO2 -treated glass, tempered glass, sapphire glass, quartz substrates, mold metals, and the like.

Abstract

摩擦耐久性に優れた表面層を形成できる表面処理剤、表面層を有する物品、及び、物品の製造方法の提供。　本発明の表面処理剤は、フルオロポリエーテル鎖と反応性シリル基とを有する含フッ素エーテル化合物と、第１金属元素を含む第１金属化合物と、第１金属元素とは異なる種類の第２金属元素を含む第２金属化合物と、を含む。

Description

表面処理剤、物品、物品の製造方法
　本発明は、表面処理剤、物品及び物品の製造方法に関する。
　基材の表面に撥水撥油性、防汚性等を付与するために、フルオロポリエーテル鎖と、反応性シリル基と、を有する含フッ素エーテル化合物を用いた表面処理によって、基材の表面に含フッ素エーテル化合物の縮合物からなる表面層を形成することが知られている。
　特許文献１には、含フッ素エーテル化合物と、タンタル（Ｔａ）を含む金属化合物と、を含む表面処理剤を用いて、表面層を形成することが開示されている。
特開２０２１－０１７５８１号公報
　近年、含フッ素エーテル化合物を用いて形成された表面層に対する要求性能が高くなっている。例えば、タッチパネル等は指で繰り返し摩擦されるので、タッチパネル等の指で摩擦される部材の表面に形成された表面層には、摩擦耐久性のより一層の向上が求められている。
　本発明者らが、特許文献１に記載の表面処理剤を参考にして、含フッ素エーテル化合物と、１種類の金属化合物と、を含む表面処理剤を用いて形成された表面層を評価したところ、表面層の摩擦耐久性に改良の余地があることを見出した。
　そこで、本発明は、摩擦耐久性に優れた表面層を形成できる表面処理剤、表面層を有する物品、及び、物品の製造方法の提供を課題とする。
　本発明者らは、上記課題について鋭意検討した結果、含フッ素エーテル化合物と２種以上の金属化合物とを含む表面処理剤を用いれば、摩擦耐久性に優れた表面層を形成できることを見出し、本発明に至った。
　すなわち、本発明者らは、以下の構成により上記課題が解決できることを見出した。
［１］フルオロポリエーテル鎖と反応性シリル基とを有する含フッ素エーテル化合物と、第１金属元素を含む第１金属化合物と、上記第１金属元素とは異なる種類の第２金属元素を含む第２金属化合物と、を含む、表面処理剤。
［２］上記第１金属元素が、ポーリングの電気陰性度が１．００超の金属元素である、［１］に記載の表面処理剤。
［３］上記第１金属元素が、ポーリングの電気陰性度が２．００以上の金属元素であり、上記第２金属元素が、ポーリングの電気陰性度が１．００以下の金属元素、又は、ポーリングの電気陰性度が１．００超２．００未満の金属元素である、［２］に記載の表面処理剤。
［４］上記第１金属化合物及び上記第２金属化合物の合計含有量が、上記表面処理剤の全質量に対して０．１質量ｐｐｂ～１質量％である、［１］～［３］のいずれかに記載の表面処理剤。
［５］　前記第１金属化合物及び前記第２金属化合物の合計含有量が、前記表面処理剤中の含フッ素エーテル化合物の全質量に対して０．１質量ｐｐｂ～１質量％である、［１］～［３］のいずれかに記載の表面処理剤。
［６］さらに、液状媒体を含む、［１］～［５］のいずれかに記載の表面処理剤。
［７］上記［１］～［６］のいずれかに記載の表面処理剤から形成された表面層を基材上に有する、物品。
［８］上記［１］～［６］のいずれかに記載の表面処理剤を用いて、ドライコーティング法又はウェットコーティング法により、基材上に表面層を形成することを特徴とする、物品の製造方法。
　本発明によれば、摩擦耐久性に優れた表面層を形成できる表面処理剤、表面層を有する物品、及び、物品の製造方法を提供できる。
　本明細書において、式（ｇ１）で表される基を、基（ｇ１）と記すことがある。また、式（Ａ１）で表される化合物を、化合物（Ａ１）と記すことがある。他の式で表される化合物等もこれらに準ずる。
　フルオロアルキル基とは、ペルフルオロアルキル基とパーシャルフルオロアルキル基とを合わせた総称である。ペルフルオロアルキル基とは、アルキル基の水素原子が全てフッ素原子で置換された基を意味する。またパーシャルフルオロアルキル基とは、水素原子の１個以上がフッ素原子で置換され、かつ、水素原子を１個以上有するアルキル基である。すなわちフルオロアルキル基は１個以上のフッ素原子を有するアルキル基である。
　「反応性シリル基」とは、加水分解性シリル基及びシラノール基（Ｓｉ－ＯＨ）の総称であり、「加水分解性シリル基」とは、加水分解反応してシラノール基を形成し得る基を意味する。
　「有機基」とは、置換基を有していてもよく、炭素鎖中にヘテロ原子又は他の結合を有してもよい炭化水素基を意味する。
　「炭化水素基」とは、炭素原子と水素原子からなる基であり、脂肪族炭化水素基（例えば、２価の脂肪族炭化水素基としては、直鎖アルキレン基、分岐を有するアルキレン基、シクロアルキレン基等）、芳香族炭化水素基（例えば、２価の芳香族炭化水素基としては、フェニレン基等）及びこれらの組み合わせからなる基である。
　「表面層」とは、基材上に形成される層を意味する。
　フルオロポリエーテル鎖の「分子量」は、１Ｈ－ＮＭＲ及び１９Ｆ－ＮＭＲによって、末端基を基準にしてオキシフルオロアルキレン単位の数（平均値）を求めて算出される数平均分子量である。
　数値範囲を示す「～」は、その前後に記載された数値を下限値及び上限値として含むことを意味する。
　「電気陰性度」とは、特に断りのない限り、ポーリングの電気陰性度を意味する。
　「ｐｐｂ」は「parts-per-billion（１０－９）」を意味し、質量比を表す。
［表面処理剤］
　本発明の表面処理剤（以下、「本表面処理剤」ともいう。）は、フルオロポリエーテル鎖と反応性シリル基とを有する含フッ素エーテル化合物と、第１金属元素を含む第１金属化合物と、第１金属元素とは異なる種類の第２金属元素を含む第２金属化合物と、を含む。
　本表面処理剤によれば、摩擦耐久性に優れた表面層を形成できる。この理由の詳細は明らかになっていないが、以下の理由によると推測される。
　表面層は、ガラス基材等の表面にシラノール基を有する基材や下地層と接するように形成される場合がある。この場合において、表面層に含まれる金属元素が、含フッ素エーテル化合物の反応性シリル基を由来とするシラノール基と、基材等の表面に存在するシラノール基との反応性を向上させると考えられる。これにより、表面層と基材とが強固に接着したと推測される。
　また、金属元素の種類が互いに異なる２種以上の金属化合物を用いることで、各金属元素が相補的に機能して、表面層の摩擦耐久性がより向上したと推測される。
＜含フッ素エーテル化合物＞
　含フッ素エーテル化合物は、フルオロポリエーテル鎖と、反応性シリル基と、を有する。
　含フッ素エーテル化合物はフルオロポリエーテル鎖を有するため、含フッ素エーテル化合物を用いて得られる表面層は、撥水撥油性、指紋汚れ除去性に優れる。
　含フッ素エーテル化合物は反応性シリル基を有する。当該反応性シリル基は基材と強固に化学結合するため得られる表面層は摩擦耐久性に優れる。
　フルオロポリエーテル鎖は、２以上のオキシフルオロアルキレン単位を有する基である。
　フルオロポリエーテル鎖は水素原子を有していてもよい。表面層の摩擦耐久性及び指紋汚れ除去性により優れる点からは、フルオロポリエーテル鎖の下記数式（Ｉ）で表される中のフッ素原子の割合は６０％以上が好ましく、８０％以上がより好ましく、実質的に１００％、すなわちペルフルオロポリエーテル鎖が更に好ましい。フッ素原子が６０％以上であれば、フルオロポリエーテル鎖のフッ素量が増大して、潤滑性や指紋除去性がより向上する。
　数式（Ｉ）：フッ素原子の割合（％）＝（フッ素原子の数）／｛（フッ素原子の数）＋（水素原子の数）｝×１００
　フルオロポリエーテル鎖の１つ当たりの分子量は、表面層の指紋汚れ除去性及び潤滑性を両立する点から、２，０００～２０，０００が好ましく、２，５００～１５，０００がより好ましく、３，０００～１０，０００が更に好ましい。フルオロポリエーテル鎖の分子量が２，０００以上であれば、フルオロポリエーテル鎖の柔軟性が向上するとともに、分子中のフッ素量が増加して、潤滑性や指紋除去性がより向上する。一方、フルオロポリエーテル鎖の分子量が２０，０００以下であれば、表面層の摩擦耐久性により優れる。
　フルオロポリエーテル鎖は、構造（ｆ１）が好ましい。
　（ＯＲｆ）ｙ　・・・（ｆ１）
　Ｒｆは、炭素数１～６のフルオロアルキレン基であり、複数あるＲｆは互いに同一であっても異なっていてもよい。
　ｙは２以上の整数であればよく、２～２００が好ましい。
　（ＯＲｆ）ｙは、下記式（ｆ２）で表される構造を有することが好ましい。
　－［（ＯＧｆ１）ｍ１（ＯＧｆ２）ｍ２（ＯＧｆ３）ｍ３（ＯＧｆ４）ｍ４（ＯＧｆ５）ｍ５（ＯＧｆ６）ｍ６］－　・・・（ｆ２）
　ただし、
　Ｇｆ１は、炭素数１のフルオロアルキレン基であり、
　Ｇｆ２は、炭素数２のフルオロアルキレン基であり、
　Ｇｆ３は、炭素数３のフルオロアルキレン基であり、
　Ｇｆ４は、炭素数４のフルオロアルキレン基であり、
　Ｇｆ５は、炭素数５のフルオロアルキレン基であり、
　Ｇｆ６は、炭素数６のフルオロアルキレン基であり、
　ｍ１、ｍ２、ｍ３、ｍ４、ｍ５、ｍ６は、それぞれ独立に０又は１以上の整数を表し、
　ｍ１＋ｍ２＋ｍ３＋ｍ４＋ｍ５＋ｍ６は２～２００の整数が好ましい。
　なお、式（ｆ２）における（ＯＧｆ１）～（ＯＧｆ６）の結合順序は任意である。式（ｆ２）のｍ１～ｍ６は、それぞれ、（ＯＧｆ１）～（ＯＧｆ６）の個数を表すものであり、配置を表すものではない。例えば、（ＯＧｆ５）ｍ５は、（ＯＧｆ５）の数がｍ５個であることを表し、（ＯＧｆ５）ｍ５のブロック配置構造を表すものではない。同様に、（ＯＧｆ１）～（ＯＧｆ６）の記載順は、それぞれの単位の結合順序を表すものではない。
　また上記炭素数３～６のフルオロアルキレン基は、直鎖フルオロアルキレン基であってもよく、分岐、又は環構造を有するフルオロアルキレン基であってもよい。
　Ｇｆ１の具体例としては、－ＣＦ２－、－ＣＨＦ－が挙げられる。
　Ｇｆ２の具体例としては、－ＣＦ２ＣＦ２－、－ＣＨＦＣＦ２－、－ＣＨＦＣＨＦ－、－ＣＨ２ＣＦ２－、－ＣＨ２ＣＨＦ－等が挙げられる。
　Ｇｆ３の具体例としては、－ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２－、－ＣＦ２ＣＨＦＣＦ２－、－ＣＦ２ＣＨ２ＣＦ２－、－ＣＨＦＣＦ２ＣＦ２－、－ＣＨＦＣＨＦＣＦ２－、－ＣＨＦＣＨＦＣＨＦ－、－ＣＨＦＣＨ２ＣＦ２－、－ＣＨ２ＣＦ２ＣＦ２－、－ＣＨ２ＣＨＦＣＦ２－、－ＣＨ２ＣＨ２ＣＦ２－、－ＣＨ２ＣＦ２ＣＨＦ－、－ＣＨ２ＣＨＦＣＨＦ－、－ＣＨ２ＣＨ２ＣＨＦ－、－ＣＦ（ＣＦ３）－ＣＦ２－、－ＣＦ（ＣＨＦ２）－ＣＦ２－、－ＣＦ（ＣＨ２Ｆ）－ＣＦ２－、－ＣＦ（ＣＨ３）－ＣＦ２－、－ＣＦ（ＣＦ３）－ＣＨＦ－、－ＣＦ（ＣＨＦ２）－ＣＨＦ－、－ＣＦ（ＣＨ２Ｆ）－ＣＨＦ－、－ＣＦ（ＣＨ３）－ＣＨＦ－、－ＣＦ（ＣＦ３）－ＣＨ２－、－ＣＦ（ＣＨＦ２）－ＣＨ２－、－ＣＦ（ＣＨ２Ｆ）－ＣＨ２－、－ＣＦ（ＣＨ３）－ＣＨ２－、－ＣＨ（ＣＦ３）－ＣＦ２－、－ＣＨ（ＣＨＦ２）－ＣＦ２－、－ＣＨ（ＣＨ２Ｆ）－ＣＦ２－、－ＣＨ（ＣＨ３）－ＣＦ２－、－ＣＨ（ＣＦ３）－ＣＨＦ－、－ＣＨ（ＣＨＦ２）－ＣＨＦ－、－ＣＨ（ＣＨ２Ｆ）－ＣＨＦ－、－ＣＨ（ＣＨ３）－ＣＨＦ－、－ＣＨ（ＣＦ３）－ＣＨ２－、－ＣＨ（ＣＨＦ２）－ＣＨ２－、－ＣＨ（ＣＨ２Ｆ）－ＣＨ２－等が挙げられる。
　Ｇｆ４の具体例としては、－ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２－、－ＣＨＦＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２－、－ＣＨ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２－、－ＣＦ２ＣＨＦＣＦ２ＣＦ２－、－ＣＨＦＣＨＦＣＦ２ＣＦ２－、－ＣＨ２ＣＨＦＣＦ２ＣＦ２－、－ＣＦ２ＣＨ２ＣＦ２ＣＦ２－、－ＣＨＦＣＨ２ＣＦ２ＣＦ２－、－ＣＨ２ＣＨ２ＣＦ２ＣＦ２－、－ＣＨＦＣＦ２ＣＨＦＣＦ２－、－ＣＨ２ＣＦ２ＣＨＦＣＦ２－、－ＣＦ２ＣＨＦＣＨＦＣＦ２－、－ＣＨＦＣＨＦＣＨＦＣＦ２－、－ＣＨ２ＣＨＦＣＨＦＣＦ２－、－ＣＦ２ＣＨ２ＣＨＦＣＦ２－、－ＣＨＦＣＨ２ＣＨＦＣＦ２－、－ＣＨ２ＣＨ２ＣＨＦＣＦ２－、－ＣＦ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＦ２－、－ＣＨＦＣＨ２ＣＨ２ＣＦ２－、－ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＦ２－、－ＣＨＦＣＨ２ＣＨ２ＣＨＦ－、－ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨＦ－、－ｃｙｃｌｏＣ４Ｆ６－等が挙げられる。
　Ｇｆ５の具体例としては、－ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２－、－ＣＨＦＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２－、－ＣＨ２ＣＨＦＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２－、－ＣＦ２ＣＨＦＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２－、－ＣＨＦＣＨＦＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２－、－ＣＦ２ＣＨ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２－、－ＣＨＦＣＨ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２－、－ＣＨ２ＣＨ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２－、－ＣＦ２ＣＦ２ＣＨＦＣＦ２ＣＦ２－、－ＣＨＦＣＦ２ＣＨＦＣＦ２ＣＦ２－、－ＣＨ２ＣＦ２ＣＨＦＣＦ２ＣＦ２－、－ＣＨ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＨ２－、－ｃｙｃｌｏＣ５Ｆ８－等が挙げられる。
　Ｇｆ６の具体例としては、－ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２－、－ＣＦ２ＣＦ２ＣＨＦＣＨＦＣＦ２ＣＦ２－、－ＣＨＦＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２－、－ＣＨＦＣＨＦＣＨＦＣＨＦＣＨＦＣＨＦ－、－ＣＨＦＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＨ２－、－ＣＨ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＨ２－、－ｃｙｃｌｏＣ６Ｆ１０－等が挙げられる。
　ここで、－ｃｙｃｌｏＣ４Ｆ６－は、ペルフルオロシクロブタンジイル基を意味し、その具体例としては、ペルフルオロシクロブタン－１，２－ジイル基、ペルフルオロシクロブタン－１，３－ジイル基が挙げられる。－ｃｙｃｌｏＣ５Ｆ８－は、ペルフルオロシクロペンタンジイル基を意味し、その具体例としては、ペルフルオロシクロペンタン－１，３－ジイル基が挙げられる。－ｃｙｃｌｏＣ６Ｆ１０－は、ペルフルオロシクロヘキサンジイル基を意味し、その具体例としては、ペルフルオロシクロヘキサン－１，４－ジイル基が挙げられる。
　（ＯＲｆ）ｙは、撥水撥油性、摩擦耐久性、指紋汚れ除去性により優れる点から、中でも、下式（ｆ３）～下式（ｆ５）で表される構造のいずれかを有することが好ましく、アルカリ耐性により優れる点から、下式（ｆ３）で表される構造を有することがより好ましく、（ＯＣＦ２）ｍ１・（ＯＣＦ２ＣＦ２）ｍ２で表される構造が更に好ましい。
　（ＯＧｆ１）ｍ１・（ＯＧｆ２）ｍ２　・・・（ｆ３）
　（ＯＧｆ２）ｍ２・（ＯＧｆ４）ｍ４　・・・（ｆ４）
　（ＯＧｆ３）ｍ３　・・・（ｆ５）
　ただし、式（ｆ３）～式（ｆ５）の各符号は、上記式（ｆ２）と同様である。
　式（ｆ３）及び式（ｆ４）において、（ＯＧｆ１）と（ＯＧｆ２）、（ＯＧｆ２）と（ＯＧｆ４）の結合順序は各々任意である。例えば式（Ｇ２）において（ＯＧｆ１）と（ＯＧｆ２）が交互に配置されてもよく、（ＯＧｆ１）と（ＯＧｆ２）が各々ブロックに配置されてもよく、またランダムであってもよい。式（ｆ５）においても同様である。
　式（ｆ３）において、ｍ１は１～３０が好ましく、１～２０がより好ましい。またｍ２は１～３０が好ましく、１～２０がより好ましい。
　式（ｆ４）において、ｍ２は１～３０が好ましく、１～２０がより好ましい。またｍ４は１～３０が好ましく、１～２０がより好ましい。
　式（ｆ５）において、ｍ３は１～３０が好ましく、１～２０がより好ましい。
　上記フルオロポリエーテル鎖（ＯＲｆ）ｙ中のフッ素原子の割合［｛フッ素原子数／（フッ素原子数＋水素原子数）｝×１００（％）］は、撥水撥油性及び指紋除去性に優れる点から、６０％以上が好ましく、７０％以上がより好ましく、８０％以上が更に好ましい。
　また、フルオロポリエーテル鎖（ＯＲｆ）ｙ部分の分子量は、摩擦耐久性の点から、２，０００～２０，０００が好ましく、２，５００～１５，０００がより好ましく、３，０００～１０，０００が更に好ましい。
　反応性シリル基は、基（ｇ１）が好ましい。
　－ＳｉＲａ１ ｚ１Ｒａ２ ３－ｚ１　・・・（ｇ１）
　ただし、
　Ｒａ１は水酸基又は加水分解性基であって、Ｒａ１が複数ある場合、複数あるＲａ１は互いに同一であっても異なっていてもよく、
　Ｒａ２は非加水分解性基であり、Ｒａ２が複数ある場合、複数あるＲａ２は互いに同一であっても異なっていてもよく、
　ｚ１は１～３の整数である。
　Ｒａ１が水酸基の場合、Ｓｉ原子と共にシラノール（Ｓｉ－ＯＨ）基を構成する。また、加水分解性基は加水分解反応によって水酸基（すなわちシラノール基）となる基である。シラノール基は、更に分子間で反応してＳｉ－Ｏ－Ｓｉ結合を形成する。また、シラノール基は、基材（又は下地層）の表面の水酸基（基材（又は下地層）－ＯＨ）と脱水縮合反応して、化学結合（基材（又は下地層）－Ｏ－Ｓｉ）を形成する。含フッ素エーテル化合物は基（ｇ１）を１以上有することにより、表面層形成後の摩擦耐久性に優れる。
　Ｒａ１の加水分解性基としては、アルコキシ基、アリールオキシ基、ハロゲン原子、アシル基、アシルオキシ基、イソシアナート基（－ＮＣＯ）等が挙げられる。アルコキシ基としては、炭素数１～４のアルコキシ基が好ましい。アシル基としては、炭素数１～６のアシル基が好ましい。アシルオキシ基としては、炭素数１～６のアシルオキシ基が好ましい。
　Ｒａ１は、含フッ素エーテル化合物の製造のしやすさの点から、中でも、炭素数１～４のアルコキシ基又はハロゲン原子が好ましい。Ｒａ１におけるアルコキシ基は、含フッ素エーテル化合物の保存安定性に優れ、反応時のアウトガスが抑制される点から、中でも、炭素数１～４のアルコキシ基が好ましく、長期の保存安定性の点からはエトキシ基がより好ましく、加水分解反応委時間を短時間にする点からはメトキシ基がより好ましい。ハロゲン原子としては、中でも塩素原子が好ましい。
　Ｒａ２の非加水分解性基としては、水素原子又は１価の炭化水素基等が挙げられる。炭化水素基としては、アルキル基、シクロアルキル基、アルケニル基、アリル基等が挙げられ、製造の容易性等の点から、アルキル基が好ましい。また、製造の容易性等の点から、炭化水素基の炭素数は、１～６が好ましく、１～３がより好ましく、１～２が更に好ましい。
　ｚ１は１～３の整数であればよく、基材（又は下地層）との密着性の点から、２又は３が好ましく、３がより好ましい。
　基（ｇ１）の具体例としては、－Ｓｉ（ＯＣＨ３）３、－ＳｉＣＨ３（ＯＣＨ３）２、－Ｓｉ（ＯＣＨ２ＣＨ３）３、－ＳｉＣｌ３、－Ｓｉ（ＯＣＯＣＨ３）３、－Ｓｉ（ＮＣＯ）３等が挙げられる。製造における取扱いやすさの点から、－Ｓｉ（ＯＣＨ３）３が好ましい。
　なお、１分子中に基（ｇ１）が複数ある場合、当該複数ある基（ｇ１）は同一であっても異なっていてもよい。
　含フッ素エーテル化合物は、上記フルオロポリエーテル鎖と、上記基（ｇ１）が直接又は連結基を介して結合している。当該連結基としては２価以上の有機基が挙げられる。
　含フッ素エーテル化合物１分子中のフルオロポリエーテル鎖の数は１個であっても２個以上であってもよい。合成の容易性等の点から、１分子中のフルオロポリエーテル鎖の数は１～２０個が好ましく、１～１０個がより好ましく、１～４個が更に好ましい。
　また、含フッ素エーテル化合物１分子中の基（ｇ１）の数は１個であっても２個以上であってもよい。摩擦耐久性と撥水撥油性等を両立する点から、基（ｇ１）の数は１～３２個が好ましく、１～１８個がより好ましく、２～１２個が更に好ましい。
　なお、フルオロポリエーテル鎖が複数ある場合、複数あるフルオロポリエーテル鎖は同一であっても異なっていてもよい。また、基（ｇ１）が複数ある場合、各基（ｇ１）は同一であっても異なっていてもよい。
　含フッ素エーテル化合物は上記の構成を満たすものであればよい。合成の容易性、化合物の取り扱いの容易性等の点からは、中でも下式（Ａ１）、下式（Ａ２）又は下式（Ａ３）で表される化合物であることが好ましい。
　［Ｒｆ１－（ＯＲｆ１１）ｙ１－Ｏ－Ｒ１］ｊ－Ｌ１－（Ｒ１１－Ｔ１１）ｘ１　・・・（Ａ１）
（Ｔ３１－Ｒ３１）ｘ３－Ｌ３－Ｒ３－（ＯＲｆ１２）ｙ２－Ｏ－Ｒ２－Ｌ２－（Ｒ２１－Ｔ２１）ｘ２　・・・（Ａ２）
　Ｑ１［－（ＯＲｆ１３）ｙ３－Ｏ－Ｒ４－Ｌ４－（Ｒ４１－Ｔ４１）ｘ４］ｒ１　・・・（Ａ３）
　ただし、
　Ｒｆ１は、炭素数１～２０のフルオロアルキル基であり、Ｒｆ１が複数ある場合、複数あるＲｆ１は互いに同一であっても異なっていてもよく、
　Ｒｆ１１は、炭素数１～６のフルオロアルキレン基であり、Ｒｆ１１が複数ある場合、複数あるＲｆ１１は互いに同一であっても異なっていてもよく、
　Ｒ１は、アルキレン基又はフルオロアルキレン基であり、Ｒ１が複数ある場合、複数あるＲ１は互いに同一であっても異なっていてもよく、
　Ｌ１は、単結合又は、Ｎ、Ｏ、Ｓ、Ｓｉを有していてもよく、分岐点を有していてもよいｊ＋ｘ１価の有機基であって、Ｒ１及びＲ１１に結合する原子は、各々独立に、Ｎ、Ｏ、Ｓ、Ｓｉ、分岐点を構成する炭素原子、又はオキソ基（＝Ｏ）を有する炭素原子であり、
　Ｒ１１は、Ｌ１に結合する原子がエーテル性酸素原子でもよく、炭素－炭素原子間にエーテル性酸素原子を有してもよいアルキレン基であり、
　Ｔ１１は、－ＳｉＲａ１１ ｚ１１Ｒａ１２ ３－ｚ１１であり、
　Ｒａ１１は水酸基又は加水分解性基であって、Ｒａ１１が複数ある場合、複数あるＲａ１１は互いに同一であっても異なっていてもよく、
　Ｒａ１２は非加水分解性基であり、Ｒａ１２が複数ある場合、複数あるＲａ１２は互いに同一であっても異なっていてもよく、
　ｊは１以上の整数であり、
　ｚ１１は１～３の整数であり、
　ｘ１は１以上の整数であり、
　ｙ１は１以上の整数であり、ｙ１が複数ある場合、複数あるｙ１は互いに同一であっても異なっていてもよく、
　Ｒｆ１２は、炭素数１～６のフルオロアルキレン基であり、Ｒｆ１２が複数ある場合、複数あるＲｆ１２は互いに同一であっても異なっていてもよく、
　Ｒ２及びＲ３は、各々独立に、アルキレン基又はフルオロアルキレン基であり、
　Ｌ２は、単結合又は、Ｎ、Ｏ、Ｓ、Ｓｉを有していてもよく、分岐点を有していてもよい１＋ｘ２価の有機基であって、Ｒ２及びＲ２１に結合する原子は、各々独立に、Ｎ、Ｏ、Ｓ、Ｓｉ、分岐点を構成する炭素原子、又はオキソ基（＝Ｏ）を有する炭素原子であり、
　Ｒ２１は、Ｌ２に隣接する原子がエーテル性酸素原子でもよく、炭素－炭素原子間にエーテル性酸素原子を有してもよいアルキレン基であり、
　Ｌ３は、単結合又は、Ｎ、Ｏ、Ｓ、Ｓｉを有していてもよく、分岐点を有していてもよい１＋ｘ３価の有機基であって、Ｒ３及びＲ３１に結合する原子は、各々独立に、Ｎ、Ｏ、Ｓ、Ｓｉ、分岐点を構成する炭素原子、又はオキソ基（＝Ｏ）を有する炭素原子であり、
　Ｒ３１は、Ｌ３に隣接する原子がエーテル性酸素原子でもよく、炭素－炭素原子間にエーテル性酸素原子を有してもよいアルキレン基であり、
　Ｔ２１及びＴ３１は、各々独立に、－ＳｉＲａ２１ ｚ２１Ｒａ２２ ３－ｚ２１であり、
　Ｒａ２１は水酸基又は加水分解性基であって、Ｒａ２１が複数ある場合、複数あるＲａ２１は互いに同一であっても異なっていてもよく、
　Ｒａ２２は非加水分解性基であり、Ｒａ２２が複数ある場合、複数あるＲａ２２は互いに同一であっても異なっていてもよく、
　ｚ２１は１～３の整数であり、
　ｘ２及びｘ３は各々独立に１以上の整数であり、
　ｙ２は１以上の整数であり、
　Ｑ１は分岐点を有するｒ１価の基であり、
　Ｒｆ１３は、炭素数１～６のフルオロアルキレン基であり、Ｒｆ１３が複数ある場合、複数あるＲｆ１３は互いに同一であっても異なっていてもよく、
　Ｒ４は、各々独立に、アルキレン基又はフルオロアルキレン基であり、
　Ｌ４は、単結合又は、Ｎ、Ｏ、Ｓ、Ｓｉを有していてもよく、分岐点を有していてもよい１＋ｘ４価の有機基であって、Ｒ４及びＲ４１に結合する原子は、各々独立に、Ｎ、Ｏ、Ｓ、Ｓｉ、分岐点を構成する炭素原子、又はオキソ基（＝Ｏ）を有する炭素原子であり、
　Ｒ４１は、Ｌ４に隣接する原子がエーテル性酸素原子でもよく、炭素－炭素原子間にエーテル性酸素原子を有してもよいアルキレン基であり、
　Ｔ４１は、－ＳｉＲａ４１ ｚ４１Ｒａ４２ ３－ｚ４１であり、
　Ｒａ４１は水酸基又は加水分解性基であって、Ｒａ４１が複数ある場合、複数あるＲａ４１は互いに同一であっても異なっていてもよく、
　Ｒａ４２は非加水分解性基であり、Ｒａ４２が複数ある場合、複数あるＲａ４２は互いに同一であっても異なっていてもよく、
　ｚ４１は１～３の整数であり、
　ｘ４は１以上の整数であり、
　ｙ３は１以上の整数であり、
　ｒ１は３又は４である。
　以下、各化合物の構成について説明するが、同様の構造を有する符号についてはそのことを示し、適宜読み替えて参照できるものとする。
（化合物（Ａ１））
　化合物（Ａ１）は、下記式（Ａ１）で表される構造を有する。
　［Ｒｆ１－（ＯＲｆ１１）ｙ１－Ｏ－Ｒ１］ｊ－Ｌ１－（Ｒ１１－Ｔ１１）ｘ１　・・・（Ａ１）
　ただし、式（Ａ１）中の各符号は上述の通りである。
　Ｒｆ１は、炭素数１～２０のフルオロアルキル基である。当該フルオロアルキル基は、直鎖であってもよく、分岐及び／又は環構造を有していてもよい。摩擦耐久性の点から直鎖フルオロアルキル基が好ましく、合成の容易性等の観点から、フルオロアルキル基の炭素数は１～６が好ましく、１～３がより好ましい。
　（ＯＲｆ１１）ｙ１のＲｆ１１、ｙ１はそれぞれ、上記式（ｆ１）のＲｆ、ｙと同様であり、好ましい態様も同様である。
　Ｒ１は、アルキレン基又はフルオロアルキレン基である。Ｒ１におけるアルキレン基及びフルオロアルキレン基は直鎖であってもよく、分岐及び／又は環構造を有していてもよい。合成の容易性等の点から直鎖又は分岐を有するアルキレン基又はフルオロアルキレン基が好ましく、直鎖もしくは分岐としてメチル基又はフルオロメチル基を有するアルキレン基又はフルオロアルキレン基がより好ましい。Ｒ１の炭素数は１～６が好ましく、１～３がより好ましい。なお、Ｒ１は、Ｌ１が単結合の場合、Ｒ１１に結合する。この場合、Ｒ１中のＲ１１に結合する炭素原子が少なくとも１個のフッ素原子又はフルオロアルキル基と結合しているものとする。
　ｊは１分子中の［Ｒｆ１－（ＯＲｆ１１）ｙ１－Ｏ－Ｒ１］の数を表し、１以上の整数であればよく、１～２０が好ましく、１～１０がより好ましく、１～４が更に好ましい。
　Ｒ１１は、Ｌ１に結合する原子がエーテル性酸素原子でもよく、炭素－炭素原子間にエーテル性酸素原子を有してもよいアルキレン基である。
　Ｒ１１におけるアルキレン基は、直鎖であってもよく、分岐及び／又は環構造を有していてもよい。化合物（Ａ１）が表面層を形成する際に密に配置されやすい点からは、直鎖又は分岐としてメチル基を有するアルキレン基が好ましく、直鎖アルキレン基がより好ましい。
　Ｒ１１は、具体的には下式（ｇ２）で表わすことができる。
　＊－（Ｏ）ａ１－（Ｒｇ２Ｏ）ａ２－Ｒｇ２－＊＊　・・・（ｇ２）
　ただし、
　Ｒｇ２は、炭素数１以上のアルキレン基であり、複数あるＲｇ２は互いに同一であっても異なっていてもよく、
　ａ１は０又は１であり、
　ａ２は０以上の整数であり、
　＊はＬ１に結合する結合手であり、
　＊＊はＴ１１に結合する結合手である。
　ａ１が０の場合は結合手＊を有する原子が炭素原子となり、ａ１が１の場合は結合手＊を有する原子が酸素原子となる。化合物（Ａ１）においてａ１は０又は１のいずれでもよく、合成等の点から適宜選択すればよい。
　ａ２はＲｇ２Ｏの繰り返し数であり、表面層としての耐久性等の点から、０～６が好ましく、０～３がより好ましく、０～１が更に好ましい。
　Ｒ１１は、表面層として撥水撥油性、指紋汚れ除去性により優れ、摩擦耐久性等の耐久性にも優れる点から、下式（ｇ３）で表される基であることが更に好ましい。
　＊－（Ｏ）ａ１－Ｒｇ３－＊＊　・・・（ｇ３）
　ただし、
　Ｒｇ３はアルキレン基であり、
　ａ１、＊及び＊＊は式（ｇ２）と同様である。
　Ｒｇ３におけるアルキレン基は、直鎖であってもよく、分岐及び／又は環構造を有していてもよい。化合物（Ａ１）が表面層を形成する際に密に配置されやすい点からは直鎖アルキレン基が好ましい。また、Ｒｇ３の炭素数は１以上であればよく、１～１８が好ましく、１～１２がより好ましく、１～６が更に好ましい。
　Ｔ１１は－ＳｉＲａ１１ ｚ１１Ｒａ１２ ３－ｚ１１であり、Ｒａ１１、Ｒａ１２、ｚ１１は、それぞれ上記基（ｇ１）を構成するＲａ１、Ｒａ２、ｚ１と同様であり、好ましい態様も同様である。
　ｘ１は１分子中のＲ１１－Ｔ１１の数を表し、１以上の整数であればよく、１～３２が好ましく、１～１８がより好ましく、２～１２が更に好ましい。
　Ｌ１は、単結合又は、Ｎ、Ｏ、Ｓ、Ｓｉを有していてもよく、分岐点を有していてもよいｊ＋ｘ１価の基であって、Ｒ１及びＲ１１に結合する原子は、各々独立に、Ｎ、Ｏ、Ｓ、Ｓｉ、分岐点を構成する炭素原子、又はオキソ基（＝Ｏ）を有する炭素原子である。なおＲ１及びＲ１１に結合する原子は同一原子であってもよく、異なる原子であってもよい。
　Ｌ１が単結合の場合、式（Ａ１）のＲ１とＲ１１は直接結合し、化合物（Ａ１）は下式（Ａ１’）で表される。
　Ｒｆ１－（ＯＲｆ１１）ｙ１－Ｏ－Ｒ１－Ｒ１１－Ｔ１１　・・・（Ａ１’）
　ただし、式（Ａ１’）中の各符号は、式（Ａ１）と同様である。
　Ｌ１が３価以上の基の場合、Ｌ１はＣ、Ｎ、Ｓｉ、環構造及び（ｊ＋ｘ１）価のオルガノポリシロキサン残基からなる群から選ばれる少なくとも１種の分岐点（以下、「分岐点Ｐ１」ともいう。）を有する。
　Ｎが分岐点Ｐ１となる場合、分岐点Ｐ１は、例えば＊－Ｎ（－＊＊）２又は（＊－）２Ｎ－＊＊で表される。ただし、＊はＲ１側の結合手であり、＊＊はＲ１１側の結合手である。
　Ｃが分岐点Ｐ１となる場合、分岐点Ｐ１は、例えば＊－Ｃ（－＊＊）３、（＊－）２Ｃ（－＊＊）２、（＊－）３Ｃ－＊＊、＊－ＣＲ２９（－＊＊）２、又は（＊－）２ＣＲ２９－＊＊で表される。ただし、＊はＲ１側の結合手であり、＊＊はＲ１１側の結合手であり、Ｒ２９は１価の基であり、例えば、水素原子、水酸基、アルキル基、アルコキシ基等が挙げられる。
　Ｓｉが分岐点Ｐ１となる場合、分岐点Ｐ１は、例えば＊－Ｓｉ（－＊＊）３、（＊－）２Ｓｉ（－＊＊）２、（＊－）３Ｓｉ－＊＊、＊－ＳｉＲ２９（－＊＊）２、又は（＊－）２ＳｉＲ２９－＊＊で表される。ただし、＊はＲ１側の結合手であり、＊＊はＲ１１側の結合手であり、Ｒ２９は１価の基であり、例えば、水素原子、水酸基、アルキル基、アルコキシ基等が挙げられる。
　分岐点Ｐ１を構成する環構造としては、含フッ素エーテル化合物を製造しやすい点、及び表面層の摩擦耐久性、耐光性及び耐薬品性が更に優れる点から、３～８員環の脂肪族環、３～８員環の芳香族環、３～８員環のヘテロ環、及びこれらの環のうちの２つ以上からなる縮合環からなる群から選ばれる１種が好ましく、下式に挙げられる環構造がより好ましい。環構造は、ハロゲン原子、アルキル基（炭素－炭素原子間にエーテル性酸素原子を含んでいてもよい。）、シクロアルキル基、アルケニル基、アリル基、アルコキシ基、オキソ基（＝Ｏ）等の置換基を有してもよい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000001
　分岐点Ｐ１を構成するオルガノポリシロキサン残基としては、例えば、下記の基が挙げられる。ただし、下式におけるＲ２５は、水素原子、アルキル基、アルコキシ基、又はフェニル基である。Ｒ２５のアルキル基及びアルコキシ基の炭素数は、１～１０が好ましく、１がより好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000002
　２価以上のＬ１は、－Ｃ（Ｏ）Ｎ（Ｒ２６）－、－Ｎ（Ｒ２６）Ｃ（Ｏ）－、－Ｃ（Ｏ）Ｏ－、－ＯＣ（Ｏ）－、－Ｃ（Ｏ）－、－Ｏ－、－Ｎ（Ｒ２６）－、－Ｓ－、－ＯＣ（Ｏ）Ｏ－、－ＮＨＣ（Ｏ）Ｏ－、－ＯＣ（Ｏ）ＮＨ－、－ＮＨＣ（Ｏ）Ｎ（Ｒ２６）－、－ＳＯ２Ｎ（Ｒ２６）－、－Ｎ（Ｒ２６）ＳＯ２－、－Ｓｉ（Ｒ２６）２－、－ＯＳｉ（Ｒ２６）２－、－Ｓｉ（ＣＨ３）２－Ｐｈ－Ｓｉ（ＣＨ３）２－及び２価のオルガノポリシロキサン残基からなる群から選ばれる少なくとも１種の結合（以下、「結合Ｂ１」ともいう。）を有していてもよい。
　ただし、Ｒ２６は、水素原子、炭素数１～６のアルキル基又はフェニル基であり、Ｐｈは、フェニレン基である。Ｒ２６のアルキル基の炭素数は、含フッ素エーテル化合物を製造しやすい点から、１～６が好ましく、１～３がより好ましく、１～２が更に好ましい。
　２価のオルガノポリシロキサン残基としては、例えば、下式の基が挙げられる。ただし、下式におけるＲ２７は、水素原子、アルキル基、アルコキシ基、又はフェニル基である。Ｒ２７のアルキル基及びアルコキシ基の炭素数は、１～１０が好ましく、１がより好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000003
　結合Ｂ１としては、含フッ素エーテル化合物を製造しやすい点から、－Ｃ（Ｏ）ＮＲ２６－、－Ｎ（Ｒ２６）Ｃ（Ｏ）－、－Ｃ（Ｏ）－、及び－ＮＲ２６－からなる群から選ばれる少なくとも１種の結合が好ましく、表面層の耐光性及び耐薬品性が更に優れる点から、－Ｃ（Ｏ）ＮＲ２６－、－Ｎ（Ｒ２６）Ｃ（Ｏ）－又は－Ｃ（Ｏ）－がより好ましい。
　２価のＬ１としては、Ｒ１及びＲ１１に結合する原子が、各々独立に、Ｎ、Ｏ、Ｓ、Ｓｉ又はオキソ基（＝Ｏ）を有する炭素原子である。すなわち、Ｒ１及びＲ１１に隣接する原子が各々結合Ｂ１の構成元素である。２価のＬ１の具体例としては、単結合、１個以上の結合Ｂ１（例えば、＊－Ｂ１－＊＊、＊－Ｂ１－Ｒ２８－Ｂ１－＊＊）等が挙げられる。ただし、Ｒ２８は単結合又は２価の有機基であり、＊はＲ１側の結合手であり、＊＊はＲ１１側の結合手である。
　３価以上のＬ１は、Ｒ１及びＲ１１に結合する原子が、各々独立に、Ｎ、Ｏ、Ｓ、Ｓｉ、分岐点を構成する炭素原子、又はオキソ基（＝Ｏ）を有する炭素原子である。すなわち、Ｒ１及びＲ１１に隣接する原子が各々結合Ｂ１又は分岐点Ｐ１の構成元素である。３価以上のＬ１の具体例としては、１個以上の分岐点Ｐ１（例えば｛（＊－）ｊＰ１（－＊＊）ｘ１｝、｛（＊－）ｊＰ１－Ｒ２８－Ｐ１（－＊＊）ｘ１｝等）、１個以上の分岐点Ｐ１と１個以上の結合Ｂ１との組み合わせ（例えば、｛＊－Ｂ１－Ｒ２８－Ｐ１（－＊＊）ｘ１｝、｛＊－Ｂ１－Ｒ２８－Ｐ１（－Ｒ２８－Ｂ１－＊＊）ｘ１｝等）が挙げられる。ただし、Ｒ２８は単結合又は２価の有機基であり、＊はＲ１側の結合手であり、＊＊はＲ１１側の結合手である。
　上記Ｒ２８における２価の有機基としては、例えば、２価の脂肪族炭化水素基（アルキレン基、シクロアルキレン基等）、２価の芳香族炭化水素基（フェニレン基等）等の炭化水素基が挙げられ、当該炭化水素基の炭素－炭素原子間に結合Ｂ１を有していてもよい。２価の有機基の炭素数は１～１０が好ましく、１～６がより好ましく、１～４が更に好ましい。
　上記Ｌ１としては、含フッ素エーテル化合物を製造しやすい点から、下式（Ｌ１）～（Ｌ７）のいずれかで表される基が好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000004
　（－Ａ１－）ｄ５Ｃ（Ｒｅ２）４－ｄ５―ｄ６（－Ｑ２２－）ｄ６　・・・（Ｌ２）
　（－Ａ２－）ｄ７Ｎ（－Ｑ２３－）３－ｄ７　・・・　（Ｌ３）
　（－Ａ３－）ｄ８Ｚ１（－Ｑ２４－）ｄ９　・・・（Ｌ４）
　（－Ａ２－）ｄ１０Ｓｉ（Ｒｅ３）４－ｄ１０－ｄ１１（－Ｑ２５－）ｄ１１　・・・（Ｌ５）
　－Ａ１－Ｑ２６－　・・・（Ｌ６）
　－Ａ１－ＣＨ（－Ｑ２２－）－Ｓｉ（Ｒｅ３）３－ｄ１２（－Ｑ２５－）ｄ１２　・・・（Ｌ７）
　ただし、式（Ｌ１）～式（Ｌ７）においては、Ａ１、Ａ２又はＡ３側が式（Ａ１）のＲ１と接続し、Ｑ２２、Ｑ２３、Ｑ２４、Ｑ２５又はＱ２６側がＲ１１に接続する。
　ここで、Ａ１は、単結合、－Ｂ３－、－Ｂ３－Ｒ３０－、又は－Ｂ３－Ｒ３０－Ｂ２－であって、Ｒ３０はアルキレン基、又は炭素数２以上のアルキレン基の炭素－炭素原子間に－Ｃ（Ｏ）ＮＲｅ６－、－Ｃ（Ｏ）－、－ＮＲｅ６－又は－Ｏ－を有する基であり、Ｂ２は、－Ｃ（Ｏ）ＮＲｅ６－、－Ｃ（Ｏ）－、－ＮＲｅ６－又は－Ｏ－であり、Ｂ３は－Ｃ（Ｏ）ＮＲｅ６－、－Ｃ（Ｏ）－、又は－ＮＲｅ６－であり、
　Ａ２は、単結合又は－Ｂ３－Ｒ３０－であり、
　Ａ３は、Ａ３が結合するＺ１における原子が炭素原子の場合はＡ１であり、Ａ３が結合するＺ１における原子が窒素原子の場合はＡ２であり、
　Ｑ１１は、単結合、－Ｏ－、アルキレン基、又は炭素数２以上のアルキレン基の炭素－炭素原子間に－Ｃ（Ｏ）ＮＲｅ６－、－Ｃ（Ｏ）－、－ＮＲｅ６－又は－Ｏ－を有する基であり、
　Ｑ２２は、単結合、－Ｂ３－、－Ｒ３０－Ｂ３－又は－Ｂ２－Ｒ３０－Ｂ３－であり、
　Ｑ２３は、単結合又は－Ｒ３０－Ｂ３－であり、
　Ｑ２４は、Ｑ２４が結合するＺ１における原子が炭素原子の場合、Ｑ２２であり、Ｑ２４が結合するＺ１における原子が窒素原子の場合、Ｑ２３であり、
　Ｑ２５は、単結合、又は－Ｒ３０－Ｂ３－であり、
　Ｑ２６は、単結合又は－Ｒ３０－Ｂ３－であり、
　Ｚ１は、Ａ３が直接結合する炭素原子又は窒素原子を有しかつＱ２４が直接結合する炭素原子又は窒素原子を有する（ｄ８＋ｄ９）価の環構造を有する基であり、
　Ｒｅ１は、水素原子又はアルキル基であり、
　Ｒｅ２は、水素原子、水酸基、アルキル基又はアシルオキシ基であり、
　Ｒｅ３は、アルキル基であり、
　Ｒｅ６は、水素原子、炭素数１～６のアルキル基又はフェニル基であり、
　ｄ１は０～３の整数であり、ｄ２は０～３の整数であって、ｄ１＋ｄ２は１～３の整数であり、
　ｄ３は０～３の整数であり、ｄ４は０～３の整数であって、ｄ３＋ｄ４は１～３の整数であり、
　ｄ１＋ｄ３は１～５の整数であり、
　ｄ２＋ｄ４は１～５の整数であり、
　ｄ５は１～３の整数であり、ｄ６は１～３の整数であって、ｄ５＋ｄ６は２～４の整数であり、
　ｄ７は１又は２であり、
　ｄ８は１以上の整数であり、
　ｄ９は１以上の整数であり、
　ｄ１０は１～３の整数であり、ｄ１１は１～３の整数であって、ｄ１０＋ｄ１１は２～４の整数であり、
　ｄ１２は１～３の整数である。
　なお、Ａ１が複数ある場合、当該複数あるＡ１は互いに同一であっても異なっていてもよい。Ａ２、Ａ３、Ｑ２２、Ｑ２３、Ｑ２４、Ｑ２５、Ｒｅ１、Ｒｅ２、Ｒｅ３についても同様である。
　また、ｄ１＋ｄ３、ｄ５、ｄ７、ｄ８、ｄ１０がｊであり、ｄ２＋ｄ４、ｄ６、３－ｄ７、ｄ９、ｄ１１、１＋ｄ１２がｘ１である。
　Ｒ３０のアルキレン基の炭素数は、含フッ素エーテル化合物を製造しやすい点、及び表面層の摩擦耐久性、耐光性及び耐薬品性が更に優れる点から、１～１０が好ましく、１～６がより好ましく、１～４が更に好ましい。ただし、炭素－炭素原子間に特定の結合を有する場合のアルキレン基の炭素数の下限値は２である。
　Ｚ１における環構造としては、上述した環構造が挙げられ、好ましい形態も同様である。
　Ｒｅ１、Ｒｅ２又はＲｅ３のアルキル基の炭素数は、含フッ素エーテル化合物を製造しやすい点から、１～６が好ましく、１～３がより好ましく、１～２が更に好ましい。
　Ｒｅ２のアシルオキシ基のアルキル基部分の炭素数は、化合物１を製造しやすい点から、１～６が好ましく、１～３がより好ましく、１～２が更に好ましい。
　ｄ９は、含フッ素エーテル化合物を製造しやすい点、及び表面層の摩擦耐久性及び指紋汚れ除去性が更に優れる点から、２～６が好ましく、２～４がより好ましく、２又は３が更に好ましい。
　上記Ｌ１の他の形態としては、下式（Ｌ１１）～（Ｌ１７）のいずれかで表される基が挙げられる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000005
　（－Ａ１－）ｄ５Ｃ（Ｒｅ２）４－ｄ５―ｄ６（－Ｑ２２－Ｇ）ｄ６　・・・（Ｌ１２）
　（－Ａ２－）ｄ７Ｎ（－Ｑ２３－Ｇ）３－ｄ７　・・・（Ｌ１３）
　（－Ａ３－）ｄ８Ｚ１（－Ｑ２４－Ｇ）ｄ９　・・・（Ｌ１４）
　（－Ａ２－）ｄ１０Ｓｉ（Ｒｅ３）４－ｄ１０－ｄ１１（－Ｑ２５－Ｇ）ｄ１１　・・・（Ｌ１５）
　－Ａ１－Ｑ２６－Ｇ　・・・（Ｌ１６）
　－Ａ１－ＣＨ（－Ｑ２２－）－Ｓｉ（Ｒｅ３）３－ｄ１２（－Ｑ２５－Ｇ）ｄ１２　・・・（Ｌ１７）
　ただし、式（Ｌ１１）～式（Ｌ１７）において、Ａ１、Ａ２又はＡ３側が式（Ａ１）のＲ１と接続し、Ｑ２２、Ｑ２３、Ｑ２４、Ｑ２５又はＱ２６側がＲ１１に接続する。Ｇは、下記の基（Ｇ２１）であり、Ｌ１が有する２以上のＧは同一であっても異なっていてもよい。Ｇ以外の符号は、式（Ｌ１１）～式（Ｌ１７）における符号と同じである。
　－Ｓｉ（Ｒ２１）３－ｋ（－Ｑ３－）ｋ　・・・（Ｇ２１）
　ただし、式（Ｇ２１）において、Ｓｉ側がＱ２２、Ｑ２３、Ｑ２４、Ｑ２５又はＱ２６に接続し、Ｑ３側がＲ１１に接続する。Ｒ２１は、アルキル基である。Ｑ３は、単結合、又は－Ｒ３１－Ｂ３－であって、Ｒ３１は、アルキレン基、又は炭素数２以上のアルキレン基の炭素－炭素原子間に－Ｃ（Ｏ）ＮＲ３２－、－Ｃ（Ｏ）－、－ＮＲ３２－又は－Ｏ－を有する基、又は－（ＯＳｉ（Ｒ２２）２）ｐ１１－Ｏ－であり、２以上のＱ３は同一であっても異なっていてもよい。ｋは、２又は３である。Ｒ３２は、水素原子、炭素数１～６のアルキル基又はフェニル基である。Ｒ２２は、アルキル基、フェニル基又はアルコキシ基であり、２個のＲ２２は同一であっても異なっていてもよい。ｐ１１は、０～５の整数であり、ｐ１１が２以上の場合、２以上の（ＯＳｉ（Ｒ２２）２）は同一であっても異なっていてもよい。
　Ｑ３のアルキレン基の炭素数は、含フッ素エーテル化合物を製造しやすい点、及び表面層の摩擦耐久性、耐光性及び耐薬品性が更に優れる点から、１～１０が好ましく、１～６がより好ましく、１～４が更に好ましい。ただし、炭素－炭素原子間に特定の結合を有する場合のアルキレン基の炭素数の下限値は２である。
　Ｒ２１のアルキル基の炭素数は、含フッ素エーテル化合物を製造しやすい点から、１～６が好ましく、１～３がより好ましく、１～２が更に好ましい。
　Ｒ２２のアルキル基の炭素数は、含フッ素エーテル化合物を製造しやすい点から、１～６が好ましく、１～３がより好ましく、１～２が更に好ましい。
　Ｒ２２のアルコキシ基の炭素数は、含フッ素エーテル化合物の保存安定性に優れる点から、１～６が好ましく、１～３がより好ましく、１～２が更に好ましい。
　ｐ１１は、０又は１が好ましい。
　化合物（Ａ１）としては、例えば、下記のものが挙げられる。ただしＲｆは［Ｒｆ１－（ＯＲｆ１１）ｙ１－Ｏ－Ｒ１］である。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000006
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000007
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000008
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000009
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000010
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000011
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000012
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000013
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000014
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000015
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000016
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000017
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000018
（化合物（Ａ２））
　化合物（Ａ２）は、下記式（Ａ２）で表される構造を有する。
（Ｔ３１－Ｒ３１）ｘ３－Ｌ３－Ｒ３－（ＯＲｆ１２）ｙ２－Ｏ－Ｒ２－Ｌ２－（Ｒ２１－Ｔ２１）ｘ２　・・・（Ａ２）
　ただし、式（Ａ２）中の各符号は上述の通りである。
　Ｒｆ１２、及び（ＯＲｆ１２）ｙ２は、上記Ｒｆ１１及び（ＯＲｆ１１）ｙ１と同様であり、好ましい態様も同様である。
　Ｒ２及びＲ３は各々独立に上記Ｒ１と同様であり、好ましい態様も同様である。
　Ｒ２１及びＲ３１は上記Ｒ１１と同様であり、好ましい態様も同様である。ただし、「Ｌ１に結合する」は、Ｒ２１の場合は「Ｌ２に結合する」に読み替え、Ｒ３１の場合は「Ｌ３に結合する」と読み替えるものとする。また、「Ｔ１１に結合する」は、Ｒ２１の場合は「Ｔ２１に結合する」に読み替え、Ｒ３１の場合は「Ｔ３１に結合する」と読み替えるものとする。なお、Ｌ２が単結合の場合、Ｒ２１はＲ２に直接結合する。また、Ｌ３が単結合の場合、Ｒ３１はＲ３に直接結合する。
　Ｔ２１及びＴ３１は各々独立に－ＳｉＲａ２１ ｚ２１Ｒａ２２ ３－ｚ２１であり、Ｒａ２１、Ｒａ２２、ｚ２１は、それぞれ上記基（ｇ１）を構成するＲａ１、Ｒａ２、ｚ１と同様であり、好ましい態様も同様である。
　ｘ２及びｘ３は各々独立にｘ１と同様であり、好ましい態様も同様である。
　Ｌ２及びＬ３は各々独立に上記Ｌ１のうちｊが１の場合と同様である。
　例えばＬ２及びＬ３が単結合の場合は、化合物（Ａ２）は、下式（Ａ２’）で表される。
　Ｔ３１－Ｒ３１－Ｒ３－（ＯＲｆ１２）ｙ２－Ｏ－Ｒ２－Ｌ２－Ｒ２１－Ｔ２１　・・・（Ａ２’）
　ただし、式（Ａ２’）中の各符号は、式（Ａ２）と同様である。
　Ｌ２又はＬ３が３価以上の基の場合、当該Ｌ２又はＬ３はＣ、Ｎ、Ｓｉ、環構造及び（１＋ｘ２）価又は（１＋ｘ３）価のオルガノポリシロキサン残基からなる群から選ばれる少なくとも１種の分岐点（以下、「分岐点Ｐ２」ともいう。）を有する。
　Ｎが分岐点Ｐ２となる場合、分岐点Ｐ２は、例えば＊－Ｎ（－＊＊）２で表される。ただし、＊はＲ２又はＲ３側の結合手であり、＊＊はＲ２１又はＲ３１側の結合手である。
　Ｃが分岐点Ｐ２となる場合、分岐点Ｐ２は、例えば＊－Ｃ（－＊＊）３、又は＊－ＣＲ２９（－＊＊）２で表される。ただし、＊はＲ２又はＲ３側の結合手であり、＊＊はＲ２１又はＲ３１側の結合手であり、Ｒ２９は１価の基であり、例えば、水素原子、水酸基、アルキル基、アルコキシ基等が挙げられる。
　Ｓｉが分岐点Ｐ２となる場合、分岐点Ｐ２は、例えば＊－Ｓｉ（－＊＊）３、又は＊－ＳｉＲ２９（－＊＊）２で表される。ただし、＊はＲ２又はＲ３側の結合手であり、＊＊はＲ２１又はＲ３１側の結合手であり、Ｒ２９は１価の基であり、例えば、水素原子、水酸基、アルキル基、アルコキシ基等が挙げられる。
　分岐点Ｐ２を構成する環構造、オルガノポリシロキサン残基は、上記分岐点Ｐ１と同様であり好ましい態様も同様である。
　また、２価以上のＬ２又はＬ３は各々独立に上記結合Ｂ１を有していてもよい。結合Ｂ１の態様は前述の通りであり、好ましい態様も同様である。
　２価のＬ２又はＬ３は、Ｒ２及びＲ２１、もしくは、Ｒ３及びＲ３１に結合する原子が、各々独立に、Ｎ、Ｏ、Ｓ、Ｓｉ又はオキソ基（＝Ｏ）を有する炭素原子である。すなわち、Ｒ２及びＲ２１、もしくは、Ｒ３及びＲ３１に隣接する原子が各々結合Ｂ１の構成元素である。２価のＬ２又はＬ３の具体例としては、単結合、１個以上の結合Ｂ１（例えば、＊－Ｂ１－＊＊、＊－Ｂ１－Ｒ２８－Ｂ１－＊＊）等が挙げられる。ただし、Ｒ２８は単結合又は２価の有機基であり、＊はＲ２又はＲ３側の結合手であり、＊＊はＲ２１又はＲ３１側の結合手である。
　３価以上のＬ２又はＬ３は、Ｒ２及びＲ２１、もしくは、Ｒ３及びＲ３１に結合する原子が、各々独立に、Ｎ、Ｏ、Ｓ、Ｓｉ、分岐点を構成する炭素原子、又はオキソ基（＝Ｏ）を有する炭素原子である。すなわち、Ｒ２及びＲ２１、もしくは、Ｒ３及びＲ３１に隣接する原子が各々結合Ｂ１又は分岐点Ｐ２の構成元素である。３価以上のＬ２又はＬ３の具体例としては、１個以上の分岐点Ｐ２（例えば｛＊－Ｐ２（－＊＊）ｘ｝、｛＊－Ｐ２－Ｒ２８－Ｐ２（－＊＊）ｘ｝等）、１個以上の分岐点Ｐ２と１個以上の結合Ｂ１との組み合わせ（例えば、｛＊－Ｂ１－Ｒ２８－Ｐ２（－＊＊）ｘ｝、｛＊－Ｂ１－Ｒ２８－Ｐ２（－Ｒ２８－Ｂ１－＊＊）ｘ｝等が挙げられる。ただし、ｘは、Ｌ２の場合はｘ２であり、Ｌ３の場合はｘ３である。Ｒ２８は単結合又は２価の有機基であり、＊はＲ２又はＲ３側の結合手であり、＊＊はＲ２１又はＲ３１側の結合手である。
　上記Ｒ２８の態様は前述の通りであり、好ましい態様も同様である。
　上記Ｌ２又はＬ３としては、含フッ素エーテル化合物を製造しやすい点から、各々独立に下式（Ｌ２１）～（Ｌ２７）のいずれかで表される基が好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000019
　－Ａ１－Ｃ（Ｒｅ２）４－ｄ６（－Ｑ２２－）ｄ６　・・・（Ｌ２２）
　－Ａ２－Ｎ（－Ｑ２３－）２　・・・（Ｌ２３）
　－Ａ３－Ｚ１（－Ｑ２４－）ｄ９　・・・（Ｌ２４）
　－Ａ２－Ｓｉ（Ｒｅ３）４－ｄ１１（－Ｑ２５－）ｄ１１　・・・（Ｌ２５）
　－Ａ１－Ｑ２６－　・・・（Ｌ２６）
　－Ａ１－ＣＨ（－Ｑ２２－）－Ｓｉ（Ｒｅ３）３－ｄ１２（－Ｑ２５－）ｄ１２　・・・（Ｌ２７）
　ただし、式（Ｌ２１）～式（Ｌ２７）においては、Ａ１、Ａ２又はＡ３側が式Ｒ２又はＲ３と接続し、Ｑ２２、Ｑ２３、Ｑ２４、Ｑ２５又はＱ２６側がＲ２１又はＲ３１に接続する。
　ここで、Ａ１、Ａ２、Ａ３、Ｑ１１、Ｑ２２、Ｑ２３、Ｑ２４、Ｑ２５、Ｑ２６、Ｒｅ１、Ｒｅ２Ｒｅ３、Ｒｅ６は上記Ｌ１で説明したものと同様であり、好ましい態様も同様である。
　Ｚ１は、Ａ３が直接結合する炭素原子又は窒素原子を有しかつＱ２４が直接結合する炭素原子又は窒素原子を有する（１＋ｄ９）価の環構造を有する基であり、
　ｄ２は０～３の整数であり、ｄ４は０～３の整数であって、ｄ２＋ｄ４は１～５の整数であり、
　ｄ６は１～３の整数あり、
　ｄ９は１以上の整数であり、
　ｄ１１は１～３の整数であり
　ｄ１２は１～３の整数である。
　なお、ｄ２＋ｄ４、ｄ６、ｄ９、ｄ１１、１＋ｄ１２がｘ２又はｘ３である。
　ｄ９は、含フッ素エーテル化合物を製造しやすい点、及び表面層の摩擦耐久性及び指紋汚れ除去性が更に優れる点から、２～６が好ましく、２～４がより好ましく、２又は３が更に好ましい。
　上記Ｌ２又はＬ３の他の形態としては、下式（Ｌ３１）～（Ｌ３７）のいずれかで表される基が挙げられる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000020
　－Ａ１－Ｃ（Ｒｅ２）４－ｄ６（－Ｑ２２－Ｇ）ｄ６　・・・（Ｌ３２）
　－Ａ２－Ｎ（－Ｑ２３－Ｇ）２　・・・（Ｌ３３）
　－Ａ３－Ｚ１（－Ｑ２４－Ｇ）ｄ９　・・・（Ｌ３４）
　－Ａ２－Ｓｉ（Ｒｅ３）４－ｄ１１（－Ｑ２５－Ｇ）ｄ１１　・・・（Ｌ３５）
　－Ａ１－Ｑ２６－Ｇ　・・・（Ｌ３６）
　－Ａ１－ＣＨ（－Ｑ２２－）－Ｓｉ（Ｒｅ３）３－ｄ１２（－Ｑ２５－Ｇ）ｄ１２　・・・（Ｌ３７）
　ただし、式（Ｌ３１）～式（Ｌ３７）において、Ａ１、Ａ２又はＡ３側が式のＲ２又はＲ３と接続し、Ｑ２２、Ｑ２３、Ｑ２４、Ｑ２５又はＱ２６側がＲ２１又はＲ３１に接続する。Ｇは、上記基（Ｇ２１）であり、好ましい態様も同様である。Ｇ以外の符号は、式（Ｌ２１）～式（Ｌ２７）における符号と同じであり、好ましい態様も同様である。
　化合物（Ａ２）としては、例えば、下記のものが挙げられる。ただしＱｆは－Ｒ３－（ＯＲｆ１２）ｙ２－Ｏ－Ｒ２－である。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000021
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000022
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000023
（化合物（Ａ３））
　化合物（Ａ３）は、下記式（Ａ３）で表される構造を有する。
　Ｑ１［－（ＯＲｆ１３）ｙ３－Ｏ－Ｒ４－Ｌ４－（Ｒ４１－Ｔ４１）ｘ４］ｒ１　・・・（Ａ３）
　ただし、式（Ａ３）中の各符号は上述の通りである。
　Ｒｆ１３、及び（ＯＲｆ１３）ｙ３は、上記Ｒｆ１１及び（ＯＲｆ１１）ｙ１と同様であり、好ましい態様も同様である。
　Ｒ４は上記Ｒ１と同様であり、好ましい態様も同様である。
　Ｒ４１は上記Ｒ１１と同様であり、好ましい態様も同様である。ただし、「Ｌ１に結合する」は、「Ｌ４に結合する」と読み替えるものとする。また、「Ｔ１１に結合する」は、「Ｔ４１に結合する」と読み替えるものとする。なお、Ｌ４が単結合の場合、Ｒ４１はＲ４に直接結合する。
　Ｔ４１は、－ＳｉＲａ４１ ｚ４１Ｒａ４２ ３－ｚ４１であり、Ｒａ４１、Ｒａ４２、ｚ４１は、それぞれ上記基（ｇ１）を構成するＲａ１、Ｒａ２、ｚ１と同様であり、好ましい態様も同様である。
　ｘ４はｘ１と同様であり、好ましい態様も同様である。
　Ｌ４は、Ｌ２又はＬ３と同様であり、好ましい態様も同様である。
　Ｑ１は分岐点を有するｒ１価の基であり、ｒ１は３又は４である。
　Ｑ１を構成する分岐点Ｐ３としては、Ｎ、Ｃ、Ｓｉ又は環構造が挙げられる。分岐点Ｐ３は１個であってもよく、２個以上有していてもよい。
　Ｎが分岐点Ｐ３となる場合、分岐点Ｐ１は、例えば、Ｎ（－＊）３、ＮＲ２９（－＊）２で表される。
　Ｃが分岐点Ｐ３となる場合、分岐点Ｐ３は、例えばＣ（－＊）４、ＣＲ２９（－＊）３、Ｃ（Ｒ２９）２（－＊）２等が挙げられる。
　Ｓｉが分岐点Ｐ３となる場合、分岐点Ｐ３は、例えばＳｉ（－＊）４、ＳｉＲ２９（－＊）３、Ｓｉ（Ｒ２９）２（－＊）２等が挙げられる。ただし、＊はＯＲｆ１３側の結合手であり、Ｒ２９は１価の基である。Ｒ２９としては、例えば、水素原子、フッ素原子、水酸基、アルキル基、フルオロアルキル基、Ｒ４１－Ｔ４１を有しないフルオロポリエーテル鎖等が挙げられる。
　分岐点Ｐ３を構成する環構造としては、分岐点Ｐ１と同様のものが挙げられ、環構造の置換基として、上述の置換基のほか、更にフッ素原子、フルオロアルキル基、Ｒ４１－Ｔ４１を有しないフルオロポリエーテル鎖を有していてもよい。
　上記Ｑ１としては、含フッ素エーテル化合物を製造しやすい点から、下式（Ｑ１）～（Ｑ８）のいずれかで表される基が好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000024
　Ｃ（－Ａ１１－）ｄ２３（Ｒｅ１２）４－ｄ２３　・・・（Ｑ２）
　Ｎ（－Ａ１２－）３　・・・（Ｑ３）
　Ｚ１（－Ａ１３－）ｄ２４　・・・（Ｑ４）
　Ｓｉ（－Ａ１２－）ｄ２５（Ｒｅ１３）４－ｄ２５　・・・（Ｑ５）
　ＣＨ（－Ａ１１－）２－Ｓｉ（Ｒｅ１３）３－ｄ２６（－Ａ１１－）ｄ２６　・・・（Ｑ６）
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000025
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000026
　ただし、式（Ｑ１）～式（Ｑ８）においては、Ａ１１、Ａ１２又はＡ１３が（ＯＲｆ１３）と接続する。
　ここで、Ａ１１は、単結合、－Ｒ４０－、－Ｂ１３－Ｒ４０－であって、Ｒ４０はアルキレン基、フルオロアルキレン基、もしくは炭素数２以上のアルキレン基又はフルオロアルキレン基の炭素－炭素原子間に－Ｃ（Ｏ）ＮＲｅ１７－、－Ｃ（Ｏ）－、－ＮＲｅ１７－又は－Ｏ－を有する基であり、Ｂ１３は、－Ｃ（Ｏ）ＮＲｅ６－、－Ｃ（Ｏ）－、－ＮＲｅ６－又は－Ｏ－であり、
　Ａ１２は、単結合、又は－Ｒ４０－であり、
　Ａ１３は、Ａ１３が結合するＺ１における原子が炭素原子の場合はＡ１１であり、Ａ１３が結合するＺ１における原子が窒素原子の場合はＡ１２であり、
　Ｚ１は、Ａ１３が直接結合する炭素原子又は窒素原子を有するｒ１価の環構造を有する基であり、
　Ｑ５２は、単結合、－Ｏ－、アルキレン基、フルオロアルキレン基、もしくは炭素数２以上のアルキレン基又はフルオロアルキレン基の炭素－炭素原子間に－Ｃ（Ｏ）ＮＲｅ１７－、－Ｃ（Ｏ）－、－ＮＲｅ１７－又は－Ｏ－を有する基であり、
　Ｒｅ１１は、水素原子、フッ素原子、アルキル基、フルオロアルキル基、Ｒ４１－Ｔ４１を有しないフルオロポリエーテル鎖、又はｒ１が３～４となる範囲で－Ｑ５２－Ｃ（Ｒｅ１１）３－ｄ２１（－Ａ１１－）ｄ２１の繰り返し構造を有する基であり、
　Ｒｅ１２は、水素原子、フッ素原子、水酸基、アルキル基、フルオロアルキル基、又はＲ４１－Ｔ４１を有しないフルオロポリエーテル鎖であり、
　Ｒｅ１３は、アルキル基又はフルオロアルキル基であり、
　Ｒｅ１４、Ｒｅ１５、及び、Ｒｅ１６はそれぞれ独立に、水素原子、フッ素原子、アルキル基、又はフルオロアルキル基であり、
　Ｒｅ１７は、水素原子、炭素数１～６のアルキル基、フルオロアルキル基又はフッ素置換されていてもよいフェニル基であり、
　ｄ２１は０～３の整数であり、ｄ２２は０～３の整数であって、ｄ２１＋ｄ２２は３～４の整数であり、
　ｄ２３は３又は４であり、
　ｄ２４は３又は４であり、
　ｄ２５は３又は４であり、
　ｄ２６は１又は２であり、
　ｄ２７は１～３の整数であり、
　ｄ２８は１又は２であり、
　ｄ２９は１～３の整数であり、
　ｄ３０は１～３の整数であり、
　ｄ３１は１又は２であり、
　ｄ３２は１又は２であり、
　ｄ３３は１～３の整数である。
　なお、Ａ１１が複数ある場合、当該複数あるＡ１は互いに同一であっても異なっていてもよい。Ａ１２、Ａ１３、Ｒｅ１１、Ｒｅ１２、Ｒｅ１３についても同様である。
　Ｒ４０のアルキレン基又はフルオロアルキレン基の炭素数は、含フッ素エーテル化合物を製造しやすい点、及び表面層の摩擦耐久性、耐光性及び耐薬品性が更に優れる点から、１～１０が好ましく、１～６がより好ましく、１～４が更に好ましい。ただし、炭素－炭素原子間に特定の結合を有する場合のアルキレン基の炭素数の下限値は２である。
　Ｚ１における環構造としては、上述した環構造が挙げられ、好ましい形態も同様である。
　Ｒｅ１１、Ｒｅ１２、Ｒｅ１３、Ｒｅ１４、Ｒｅ１５及びＲｅ１６において、アルキル基又はフルオロアルキレン基の炭素数は、含フッ素エーテル化合物を製造しやすい点から、１～６が好ましく、１～３がより好ましく、１～２が更に好ましい。
　化合物（Ａ３）としては、例えば、下記のものが挙げられる。ただしＲｆ３は（ＯＲｆ１３）ｙ３－Ｏ－Ｒ４である。
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Figure JPOXMLDOC01-appb-C000028
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000029
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000030
（含有量）
　含フッ素エーテル化合物の含有量は、本表面処理剤の全質量に対して、０．０１～５０質量％が好ましく、０．０３～４０質量％がより好ましく、０．０５～３０質量％が更に好ましい。含フッ素エーテル化合物の含有量が上記範囲にあれば、表面層の撥水撥油性、摩擦耐久性、指紋汚れ除去性、潤滑性、外観により優れる。
＜金属化合物＞
　本表面処理剤は、第１金属元素を含む第１金属化合物と、第１金属元素とは異なる種類の第２金属元素を含む第２金属化合物と、を含む。
　本明細書において、「金属化合物」という場合には「第１金属化合物」及び「第２金属化合物」の総称であり、「金属元素」という場合には「第１金属元素」及び「第２金属元素」の総称である。
　金属化合物とは、金属元素と、金属元素以外の他の元素とを含む化合物であり、その具体例としては、金属元素を含む酸化物、金属元素を含む塩、金属元素を含む錯体、金属元素を含む金属アルコキシド、金属ハロゲン化物が挙げられ、中でも、表面層の摩擦耐久性がより優れる点から、金属元素を含む酢酸塩、金属元素を含む金属アルコキシド、金属元素を含む錯体、金属ハロゲン化物が好ましい。
　金属元素とは、水素原子を除く周期表の第１族元素～第１２族元素（ランタノイド及びアクチノイドを含む）、及び、卑金属（Ａｌ、Ｇａ、Ｉｎ、Ｔｌ、Ｓｎ、Ｐｂ、Ｂｉ）を意味する。
　第１金属元素は、表面層の摩擦耐久性がより優れる点から、電気陰性度が１．００超であるのが好ましく、電気陰性度が２．００以上であるのがより好ましい。このような電気陰性度が高い金属元素、すなわち電気陰性度が１．００超の金属元素を用いることによって、表面層の摩擦耐久性が向上する理由の詳細は不明であるが、含フッ素エーテル化合物の反応性シリル基を由来とするシラノール基と、基材等の表面に存在するシラノール基との反応性がより向上するためと推測される。
　第１金属元素の電気陰性度が１．００超である場合、第２金属元素は、第１金属元素と異なる種類の金属元素であればよく、第２金属元素の電気陰性度は、１．００超であってもよく、１．００以下であってもよい。
　本表面処理剤において、第１金属元素が、電気陰性度が２．００以上である金属元素である場合、第２金属元素は、電気陰性度が１．００以下の金属元素、又は、電気陰性度が１．００超２．００未満の金属元素であることが好ましい。これにより、表面層の摩擦耐久性が更に優れる。
　電気陰性度が２．００超である金属元素は、表面層の摩擦耐久性がより優れる点から、ルテニウム（Ｒｕ、２．２０）、ロジウム（Ｒｈ、２．２８）、パラジウム（Ｐｄ、２．２０）、イリジウム（Ｉｒ、２．２０）、白金（Ｐｔ、２．２８）、鉛（Ｐｂ、２．３３）が好ましく、Ｐｄ、Ｐｔがより好ましい。
　電気陰性度が１．００超２．００未満である金属元素は、表面層の摩擦耐久性がより優れる点から、マグネシウム（Ｍｇ、１．３１）、アルミニウム（Ａｌ、１．６１）、チタン（Ｔｉ、１．５４）、クロム（Ｃｒ、１．６６）、マンガン（Ｍｎ、１．５５）、鉄（Ｆｅ、１．８３）、ニッケル（Ｎｉ、１．９１）、銅（Ｃｕ、１．９０）、亜鉛（Ｚｎ、１．６５）、ニオブ（Ｎｂ、１．６）、銀（Ａｇ、１．９３）、カドミウム（Ｃｄ、１．６９）、錫（Ｓｎ、１．９６）、タリウム（Ｔｌ、１．６２）などが挙げられ、Ｍｇ、Ａｌ、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｚｎ、Ｓｎが好ましく、Ｍｇ、Ｃｕ、Ｓｎがより好ましい。
　電気陰性度が１．００以下の金属元素は、表面層の摩擦耐久性がより優れる点から、ナトリウム（Ｎａ、０．９３）、カリウム（Ｋ、０．８２）、リチウム（Ｌｉ、０．９８）、カルシウム（Ｃａ、１．００）、セシウム（Ｃｓ、０．７９）が好ましく、Ｎａ、Ｋがより好ましい。
　なお、括弧内において元素記号と併記した数値は、ポーリングの電位陰性度の値を表す。
　本表面処理剤に含まれる金属化合物の組み合わせの好適態様を以下に示す。
　態様１：電気陰性度が２．００以上である第１金属元素を含む第１金属化合物と、電気陰性度が１．００超２．００未満である第２金属元素を含む第２金属化合物と、を含む態様
　態様２：電気陰性度が２．００以上である第１金属元素を含む第１金属化合物と、電気陰性度が１．００以下である第２金属元素を含む第２金属化合物と、を含む態様
　態様３：電気陰性度が１．００超２．００未満である第１金属元素を含む第１金属化合物と、電気陰性度が１．００以下である第２金属元素を含む第２金属化合物と、を含む態様
　態様４：電気陰性度が２．００以上である第１金属元素を含む第１金属化合物と、電気陰性度が２．００以上である第２金属元素を含む第２金属化合物と、を含む態様
　態様５：電気陰性度が１．００超２．００未満である第１金属元素を含む第１金属化合物と、電気陰性度が１．００超２．００未満である第２金属元素を含む第２金属化合物と、を含む態様
　上記態様１～５の中でも、表面層の摩擦耐久性がより優れる点から、態様１～３が好ましく、態様１～２がより好ましく、態様１が更に好ましい。
　態様１としては、第１金属化合物としてＰｄ、Ｐｔのいずれかと、第２金属化合物としてＭｇ、Ｃｕ、Ｚｎ、Ｓｎのいずれかとの組み合わせが好ましく、ＰtとＭｇ、ＰｔとＣｕ、ＰｔとＳｎ、ＰｔとＺｎ、ＰｄとＭｇの組合せが特に好ましい。
　態様２としてはＰｔとＫの組合せが好ましい。
　態様３としてはＣｕとＮａ、ＭｇとＫの組合せが好ましい。
　金属化合物の具体例としては、マグネシウムメトキシド、マグネシウムエトキシド、銅メトキシド、銅エトキシド、テトラ－ｎ－ブトキシ錫、塩化白金酸、酢酸パラジウム、カリウムメトキシド、カリウムエトキシト、ナトリウムメトキシド、ナトリウムエトキシド、塩化亜鉛などが挙げられる。
　第１金属化合物及び第２金属化合物の合計含有量は、本表面処理剤の全質量に対して、０．００１質量ｐｐｂ～５質量％が好ましく、０．０１質量ｐｐｂ～３質量％がより好ましく、０．１質量ｐｐｂ～１質量％が更に好ましい。上記合計含有量が０．００１質量ｐｐｂ以上であれば、表面層の摩擦耐久性がより優れる。上記合計含有量が５質量％以下であれば、表面層の撥水撥油性がより優れる。
　第１金属化合物の含有量は、表面層の摩擦耐久性がより優れる点から、本表面処理剤の全質量に対して、０．００１質量ｐｐｂ～５質量％が好ましく、０．０１質量ｐｐｂ～３質量％がより好ましく、０．１質量ｐｐｂ～１質量％が更に好ましい。
　第２金属化合物の含有量は、表面層の摩擦耐久性がより優れる点から、本表面処理剤の全質量に対して、０．００１質量ｐｐｂ～５質量％が好ましく、０．０１質量ｐｐｂ～３質量％がより好ましく、０．１質量ｐｐｂ～１質量％が更に好ましい。
　第１金属化合物及び第２金属化合物の合計含有量は、本表面処理剤中の含フッ素エーテル化合物の全質量に対して、０．００１質量ｐｐｍ～５質量％が好ましく、０．０１質量ｐｐｍ～３質量％がより好ましく、０．１質量ｐｐｍ～１質量％が更に好ましい。金属化合物の含有量が０．００１質量ｐｐｍ以上であれば、表面層の摩擦耐久性がより優れる。金属化合物の含有量が５質量％以下であれば、表面層の撥水撥油性がより優れる。
　第１金属化合物の含有量は、表面層の摩擦耐久性がより優れる点から、本表面処理剤中の含フッ素エーテル化合物の全質量に対して、０．００１質量ｐｐｍ～５質量％が好ましく、０．０１質量ｐｐｍ～３質量％がより好ましく、０．１質量ｐｐｍ～１質量％が更に好ましい。
　第２金属化合物の含有量に対する第１金属化合物の含有量の質量比（第１金属化合物の含有量／第２金属化合物の含有量）は、表面層の摩擦耐久性がより優れる点から、０．００００１～１０００００が好ましく、０．０００１～１００００がより好ましく、０．００１～１０００が更に好ましい。
＜他の成分＞
　本表面処理剤は、上記含フッ素エーテル化合物及び上記金属化合物以外の成分（以下、「他の成分」ともいう。）を含んでいてもよい。
　他の成分の具体例としては、上記含フッ素エーテル化合物以外の含フッ素化合物及び下記不純物の少なくとも一方の成分、液状媒体が挙げられる。
　他の含フッ素化合物としては、上記含フッ素エーテル化合物の製造過程で副生する含フッ素化合物（以下、「副生含フッ素化合物」ともいう。）、上記含フッ素エーテル化合物と同様の用途に用いられる公知の含フッ素化合物等が挙げられる。
　他の含フッ素化合物としては、上記含フッ素エーテル化合物の特性を低下させるおそれが少ない化合物が好ましい。
　他の含フッ素化合物の含有量は、含フッ素エーテル化合物の特性を十分に発揮する点から、本表面処理剤の全質量に対して、７０質量％未満が好ましく、５０質量％未満がより好ましく、２０質量％未満が更に好ましく、１０質量％未満が特に好ましく、５質量％未満が最も好ましい。
　副生含フッ素化合物としては、含フッ素エーテル化合物の合成時における未反応の含フッ素化合物等が挙げられる。本組成物が副生含フッ素化合物を含む場合、該副生含フッ素化合物を除去、もしくは該副生含フッ素化合物量を低減させるための精製工程を簡略化することができる。
　公知の含フッ素化合物としては、例えば、下記の文献に記載のものが挙げられる。
　日本特開平１１－０２９５８５号公報に記載のパーフルオロポリエーテル変性アミノシラン、
　日本特許第２８７４７１５号公報に記載のケイ素含有有機含フッ素ポリマー、
　日本特開２０００－１４４０９７号公報に記載の有機ケイ素化合物、
　日本特開２０００－３２７７７２号公報に記載のパーフルオロポリエーテル変性アミノシラン、
　日本特表２００２－５０６８８７号公報に記載のフッ素化シロキサン、
　日本特表２００８－５３４６９６号公報に記載の有機シリコーン化合物、
　日本特許第４１３８９３６号公報に記載のフッ素化変性水素含有重合体、
　米国特許出願公開第２０１０／０１２９６７２号明細書、国際公開第２０１４／１２６０６４号、日本特開２０１４－０７０１６３号公報に記載の化合物、
　国際公開第２０１１／０６００４７号、国際公開第２０１１／０５９４３０号に記載のオルガノシリコン化合物、
　国際公開第２０１２／０６４６４９号に記載の含フッ素オルガノシラン化合物、
　日本特開２０１２－７２２７２号公報に記載のフルオロオキシアルキレン基含有ポリマー、
　国際公開第２０１３／０４２７３２号、国際公開第２０１３／１２１９８４号、国際公開第２０１３／１２１９８５号、国際公開第２０１３／１２１９８６号、国際公開第２０１４／１６３００４号、日本特開２０１４－０８０４７３号公報、国際公開第２０１５／０８７９０２号、国際公開第２０１７／０３８８３０号、国際公開第２０１７／０３８８３２号、国際公開第２０１７／１８７７７５号に記載の含フッ素エーテル化合物、
　日本特開２０１４－２１８６３９号公報、国際公開第２０１７／０２２４３７号、国際公開第２０１８／０７９７４３号、国際公開第２０１８／１４３４３３号に記載のパーフルオロ（ポリ）エーテル含有シラン化合物、
　日本特開２０１５－１９９９０６号公報、日本特開２０１６－２０４６５６号公報、日本特開２０１６－２１０８５４号公報、日本特開２０１６－２２２８５９号公報に記載のフルオロポリエーテル基含有ポリマー変性シラン、
　国際公開第２０１８／２１６６３０号、国際公開第２０１９／０３９２２６号、国際公開第２０１９／０３９３４１号、国際公開第２０１９／０３９１８６号、国際公開第２０１９／０４４４７９号、日本特開２０１９－４４１５８号公報、国際公開第２０１９／０４４４７９号、国際公開第２０１９／１６３２８２号に記載の含フッ素エーテル化合物。
　また、含フッ素化合物の市販品としては、信越化学工業社製のＫＹ－１００シリーズ（ＫＹ－１７８、ＫＹ－１８５、ＫＹ－１９５等）、ＡＧＣ社製のＳＵＲＥＣＯ（登録商標）　２１０１ＳなどのＳＵＲＥＣＯ　ＡＦシリーズ、ダイキン工業社製のオプツール（登録商標）ＤＳＸ、オプツール（登録商標）ＡＥＳ、オプツール（登録商標）ＵＦ５０３、オプツール（登録商標）ＵＤ５０９等が挙げられる。
　本表面処理剤が他の含フッ素化合物を含む場合、本表面処理剤中の上記含フッ素エーテル化合物及び他の含フッ素化合物の含有量の合計に対する、他の含フッ素化合物の含有量は、６０質量％以下が好ましく、３０質量％以下がより好ましく、１０質量％以下が更に好ましい。
　本表面処理剤中の上記含フッ素エーテル化合物及び他の含フッ素化合物の含有量の合計は、０．０１質量％以上が好ましく、０．０３質量％以上がより好ましい。
　上記含フッ素エーテル化合物及び他の含フッ素化合物の含有量が上記範囲内であれば、表面層の撥水撥油性、摩擦耐久性、指紋汚れ除去性、潤滑性、外観に優れる。
　本表面処理剤が液状媒体を含む場合、本表面処理剤は、コーティング液として用いることができる。コーティング液は、液状であればよく、溶液であってもよく、分散液であってもよい。
　液状媒体としては、有機溶媒が好ましい。有機溶媒は、フッ素系有機溶媒であってもよく、非フッ素系有機溶媒であってもよく、両溶媒を含んでもよい。
　フッ素系有機溶媒としては、フッ素化アルカン、フッ素化芳香族化合物、フルオロアルキルエーテル、フッ素化アルキルアミン、フルオロアルコール等が挙げられる。
　フッ素化アルカンとしては、炭素数４～８の化合物が好ましい。市販品としては、Ｃ６Ｆ１３Ｈ（ＡＧＣ社製、アサヒクリン（登録商標）ＡＣ－２０００）、Ｃ６Ｆ１３Ｃ２Ｈ５（ＡＧＣ社製、アサヒクリン（登録商標）ＡＣ－６０００）、Ｃ２Ｆ５ＣＨＦＣＨＦＣＦ３（ケマーズ社製、バートレル（登録商標）ＸＦ）等が挙げられる。
　フッ素化芳香族化合物の具体例としては、ヘキサフルオロベンゼン、トリフルオロメチルベンゼン、ペルフルオロトルエン、ビス（トリフルオロメチル）ベンゼンが挙げられる。
　フルオロアルキルエーテルとしては、炭素数４～１２の化合物が好ましい。市販品としては、ＣＦ３ＣＨ２ＯＣＦ２ＣＦ２Ｈ（ＡＧＣ社製、アサヒクリン（登録商標）ＡＥ－３０００）、Ｃ４Ｆ９ＯＣＨ３（３Ｍ社製、ノベック（登録商標）７１００）、Ｃ４Ｆ９ＯＣ２Ｈ５（３Ｍ社製、ノベック（登録商標）７２００）、Ｃ２Ｆ５ＣＦ（ＯＣＨ３）Ｃ３Ｆ７（３Ｍ社製、ノベック（登録商標）７３００）等が挙げられる。
　フッ素化アルキルアミンの具体例としては、ペルフルオロトリプロピルアミン、ペルフルオロトリブチルアミンが挙げられる。
　フルオロアルコールの具体例としては、２，２，３，３－テトラフルオロプロパノール、２，２，２－トリフルオロエタノール、ヘキサフルオロイソプロパノールが挙げられる。
　非フッ素系有機溶媒としては、水素原子及び炭素原子のみからなる化合物と、水素原子、炭素原子及び酸素原子のみからなる化合物が好ましく、炭化水素系有機溶媒、アルコール系有機溶媒、ケトン系有機溶媒、エーテル系有機溶媒、エステル系有機溶媒が挙げられる。
　本表面処理剤が液状媒体を含む場合、本表面処理剤は、液状媒体を６０～９９．９９９質量％含むことが好ましく、８５～９９．９９質量％含むことが好ましく、９０～９９．９質量％含むことがより好ましい。
　本表面処理剤は、加水分解性シリル基の加水分解と縮合反応を促進する酸触媒や塩基性触媒等の公知の添加剤を更に含んでいてもよい。
　添加剤の含有量は、本表面処理剤の全質量に対して、１０質量％以下が好ましく、１質量％以下がより好ましい。
［物品］
　本発明の物品（以下、「本物品」ともいう。）は、基材と、基材上に配置された表面層と、を有し、基材と表面層との間に下地層を有することが好ましい。
　表面層は、上述の表面処理剤から形成される層であり、上記含フッ素エーテル化合物の縮合体を含む。
　基材の材質及び形状は、本物品の用途等に応じて適宜選択すればよい。基材の材質としては、ガラス、樹脂、サファイア、金属、セラミック、石、これらの複合材料が挙げられる。ガラスは化学強化されていてもよい。特に、撥水撥油性が求められる基材として、タッチパネル用基材、ディスプレイ用基材、電子機器の筐体を構成する基材等が挙げられる。タッチパネル用基材、ディスプレイ用基材は、透光性を有する。「透光性を有する」とは、ＪＩＳ　Ｒ３１０６：１９９８（ＩＳＯ　９０５０：１９９０）に準じた垂直入射型可視光透過率が２５％以上であることを意味する。タッチパネル用基材の材料としては、ガラス又は透明樹脂が好ましい。
　基材は、下地層が設けられる面に、コロナ放電処理、プラズマ処理、プラズマグラフト重合処理等の表面処理を施したものであってもよい。表面処理を施した表面は、基材と下地層の接着性が更に優れ、その結果、表面層の摩擦耐久性が更に向上する。表面処理としては、表面層の摩擦耐久性が更に優れる点から、コロナ放電処理又はプラズマ処理が好ましい。
　下地層はケイ素を含む酸化物（好ましくは、酸化ケイ素）を含む層が好ましく、更に他の元素を有していてもよい。下地層が酸化ケイ素を含むことで、上記含フッ素エーテル化合物の反応性シリル基が脱水縮合し、下地層との間でＳｉ－Ｏ－Ｓｉ結合が形成され摩擦耐久性に優れた表面層が形成される。
　下地層中の酸化ケイ素の含有量は、６５質量％以上が好ましく、８０質量％以上がより好ましく、８５質量％以上が更に好ましく、９０質量％以上が特に好ましい。酸化ケイ素の含有量が下限値以上であれば、下地層においてＳｉ－Ｏ－Ｓｉ結合が充分に形成され、下地層の機械特性が充分に確保される。酸化ケイ素の含有量は、他の元素の合計の含有量（酸化物の場合は酸化物換算した量）の合計を下地層の質量から除いた残部である。
　表面層の耐久性の点から、下地層中の酸化物は、更に、アルカリ金属元素、アルカリ土類金属元素、白金族元素、ホウ素、アルミニウム、リン、チタン、ジルコニウム、鉄、ニッケル、クロム、モリブデン、及びタングステンより選択される１種以上の元素を含むことが好ましい。これらの元素を含むことで、下地層と上記含フッ素エーテル化合物との結合が強くなり摩擦耐久性が向上する。
　下地層の厚さは、１～２００ｎｍが好ましく、２～２０ｎｍがより好ましい。下地層の厚さが下限値以上であれば、下地層による接着性の向上効果が充分に得られやすい。下地層の厚さが上限値以下であれば、下地層自体の摩擦耐久性が高くなる。下地層の厚さを測定する方法としては、電子顕微鏡（ＳＥＭ、ＴＥＭ等）による下地層の断面観察による方法や、光干渉膜厚計、分光エリプソメータ、段差計等を用いる方法が挙げられる。
　下地層の形成方法は、例えば、基材の表面に、所望の下地層の組成を有する蒸着材料を蒸着する方法等が挙げられる。
　蒸着法は一例として、真空蒸着法が挙げられる。真空蒸着法は、蒸着材料を真空槽内で蒸発させ、基材の表面に付着させる方法である。
　蒸着時の温度（例えば、真空蒸着装置を用いる際には、蒸着材料を設置するボートの温度）は、１００～３０００℃が好ましく、５００～３０００℃がより好ましい。
　蒸着時の圧力（例えば、真空蒸着装置を用いる際には、蒸着材料を設置する槽内の絶対圧は、１Ｐａ以下が好ましく、０．１Ｐａ以下がより好ましい。
　蒸着材料を用いて下地層を形成する場合、１つの蒸着材料を用いてもよいし、異なる元素を含む２つ以上の蒸着材料を用いてもよい。
　蒸着材料の蒸発方法としては、高融点金属製の抵抗加熱用ボート上で蒸着材料を溶融し、蒸発させる抵抗加熱法、電子ビームを蒸着材料に照射し、蒸着材料を直接加熱して表面を溶融し、蒸発させる電子銃法等が挙げられる。蒸着材料の蒸発方法としては、局所的に加熱できるため高融点物質も蒸発できる点、電子ビームが当たっていないところは低温であるため容器との反応や不純物の混入のおそれがない点から、電子銃法が好ましい。電子銃法に用いる蒸着材料としては、気流が生じても飛散しにくい点から、溶融粒状体又は焼結体が好ましい。
　表面層は、上記含フッ素エーテル化合物の縮合体を含む。含フッ素エーテル化合物の縮合体は、含フッ素エーテル化合物中の加水分解性シリル基が加水分解反応することによってシラノール基（Ｓｉ－ＯＨ）が形成され、シラノール基が分子間で縮合反応してＳｉ－Ｏ－Ｓｉ結合が形成された構造、及び、含フッ素エーテル化合物中のシラノール基が基材又は下地層の表面のシラノール基又はＳｉ－ＯＭ基（ただし、Ｍはアルカリ金属元素である。）と縮合反応してＳｉ－Ｏ－Ｓｉ結合が形成された構造を含む。また、表面層は含フッ素エーテル化合物以外の含フッ素化合物の縮合体を含んでいてもよい。すなわち、表面層は、反応性シリル基を有する含フッ素化合物を、含フッ素化合物の反応性シリル基の一部又は全部が縮合反応した状態で含む。
　表面層の厚さは、１～１００ｎｍが好ましく、１～５０ｎｍがより好ましい。表面層の厚さが下限値以上であれば、表面層による効果が充分に得られる。表面層の厚さが上限値以下であれば、利用効率が高い。
　表面層の厚さは、薄膜解析用Ｘ線回折計で得られた厚さである。表面層の厚さは、薄膜解析用Ｘ線回折計を用いて、Ｘ線反射率法によって反射Ｘ線の干渉パターンを得て、干渉パターンの振動周期から算出できる。
　本物品はタッチパネルであることが好ましい。この場合、表面層はタッチパネルの指で触れる面を構成する部材の表面に形成されていることが好ましい。
［物品の製造方法］
　本物品の製造方法は、本表面処理剤を用いて、ドライコーティング法又はウェットコーティング法により、基材上に表面層を形成する方法である。
　本表面処理剤が液状媒体を含まない場合、本表面処理剤は、ドライコーティング法にそのまま用いることができる。ドライコーティング法としては、真空蒸着、ＣＶＤ、スパッタリング等の手法が挙げられる。含フッ素エーテル化合物の分解を抑える点、及び装置の簡便さの点から、真空蒸着法が好適に利用できる。
　真空蒸着には、鉄や鋼等の金属材料からなる金属多孔体に含フッ素エーテル化合物及び金属化合物を担持させたペレット状物質を使用してもよい。含フッ素エーテル化合物及び金属化合物を担持させたペレット状物質は、金属多孔体に液状媒体を含む本表面処理剤を含浸し、乾燥して液状媒体を除去することにより製造できる。
　本表面処理剤が液状媒体を含む場合、本表面処理剤は、ウェットコーティング法に好適に用いることができる。ウェットコーティング法としては、スピンコート法、ワイプコート法、スプレーコート法、スキージーコート法、ディップコート法、ダイコート法、インクジェット法、フローコート法、ロールコート法、キャスト法、ラングミュア・ブロジェット法、グラビアコート法等が挙げられる。
　表面層の摩擦耐久性を向上させるために、必要に応じて、含フッ素エーテル化合物と基材（又は下地層）との反応を促進するための操作を行ってもよい。該操作としては、加熱、加湿、光照射等が挙げられる。例えば、水分を有する大気中で表面層が形成された基材を加熱して、加水分解性基の加水分解反応、基材の表面の水酸基等とシラノール基との反応、シラノール基の縮合反応によるシロキサン結合の生成、等の反応を促進できる。
　表面処理後、表面層中の化合物であって他の化合物や基材と化学結合していない化合物は、必要に応じて除去してもよい。具体例としては、表面層に溶媒をかけ流す方法、溶媒をしみ込ませた布でふき取る方法等が挙げられる。
　以下、例を挙げて本発明を詳細に説明する。例１～例１７は実施例であり、例１８～例２３は比較例である。ただし本発明はこれらの例に限定されない。なお、後述する表中における各成分の配合量は、質量基準を示す。
［含フッ素エーテル化合物Ｘ１の製造］
　国際公開第２０１７／０３８８３０号公報の例１１に記載の方法と同様にして、含フッ素エーテル化合物Ｘ１を得た。
　ＣＦ３－（ＯＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２）ｎ（ＯＣＦ２ＣＦ２）－ＯＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２－Ｃ（Ｏ）ＮＨ－ＣＨ２－Ｃ［ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２－Ｓｉ（ＯＣＨ３）３］３　・・・（Ｘ１）
　式中、ｎの平均値は１３であり、含フッ素エーテル化合物Ｘ１の数平均分子量は５４００であった。
［含フッ素エーテル化合物Ｘ２の製造］
　特開２０１９－１３１８０７号公報に記載の対照化合物１を、含フッ素エーテル化合物Ｘ２として用いた。
　ＣＦ３ＣＦ２ＣＦ２（ＯＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２）３０ＯＣＦ２ＣＦ２ＣＯＮＨＣＨ２Ｃ［ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２Ｓｉ（ＯＣＨ３）３］３　・・・（Ｘ２）
［含フッ素エーテル化合物Ｘ３の製造］
　特開２０１９－１３１８０７号公報に記載の対照化合物２を、含フッ素エーテル化合物Ｘ３として用いた。
　ＣＦ３（ＯＣＦ２ＣＦ２）２２（ＯＣＦ２）２３ＯＣＦ２ＣＯＮＨＣＨ２Ｃ［ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２Ｓｉ（ＯＣＨ３）３］３　・・・（Ｘ３）
［表面処理剤１の調製］
　含フッ素エーテル化合物Ｘ１と、液状媒体としてのＣ４Ｆ９ＯＣ２Ｈ５（ノベック－７２００：製品名、３Ｍ社製）とを混合して、含フッ素エーテル化合物の含有量が１０質量％である溶液を得た。
　得られた溶液の３０ｇと、ジエトキシマグネシウム（高純度化学研究所製）の０．０３ｇと、塩化白金酸（関東化学製）の０．０３ｇと、を混合して、表面処理剤１を得た。
［表面処理剤２～２３の調製］
　含フッ素エーテル化合物の種類、金属化合物の種類、及び、金属化合物の添加量の少なくとも１つを表１及び表２に記載の通りに変更した以外は、表面処理剤１の調製と同様にして、表面処理剤２～２３を得た。また、表面処理剤１８～２０については、表２に記載の添加量の通りに、メタノール又はエタノールを加えた。
　表１及び表２に記載の金属化合物の概要を以下に示す。
・Ｍｇ（ＯＣＨ２ＣＨ３）２：ジエトキシマグネシウム、高純度化学研究所製
・Ｃｕ（ＯＣＨ３）２：銅メトキシド、ｓｉｇｍａ－ａｌｄｒｉｃｈ製
・Ｓｎ（Ｏ－ｎ－Ｃ４Ｈ９）４：テトラ－ｎ－ブトキシ錫、高純度化学研究所製
・Ｈ２ＰｔＣｌ６：塩化白金酸、関東化学製
・Ｐｄ（ＯＣＯＣＨ３）２：酢酸パラジウム（ＩＩ）、東京化成製
・ＫＯＣＨ３：カリウムメトキシド、ｓｉｇｍａ－ａｌｄｒｉｃｈ社製
・ＮａＯＣＨ３：ナトリウムメトキシド、関東化学社製
・ＺｎＣｌ２：塩化亜鉛、富士フイルム和光純薬株式会社
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000031
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000032
［例１～２３］
　上記のようにして得られた各表面処理剤を、ガラス基材（Ｄｒａｇｏｎｔｒａｉｌ（登録商標）、ＡＧＣ社製、５０ｍｍ×５０ｍｍ、厚さ０．５ｍｍ）上に真空蒸着した。具体的には、表面処理剤１～２１（０．５ｇ）を、それぞれ真空蒸着装置（ＵＬＶＡＣ社製、ＶＴＲ３５０Ｍ）内の抵抗加熱ボートに充填し、真空蒸着装置内を圧力３．０×１０－３Ｐａ以下に排気した。次いで、上記ガラス基材上に５ｎｍの二酸化ケイ素膜を形成し、抵抗加熱ボートを昇温することで、ガラス上に成膜を行った。次に蒸着膜付きガラスを、温度１５０℃の雰囲気下で３０分静置し、その後室温まで放冷させ、基材上に表面層を形成し、例１～２３（表面処理剤１～２３）の表面層付きガラス基材を得た。
［摩擦耐久性試験］
　例１～２３の評価サンプルを水平配置し、下記摩擦子を表面層の表面に接触（接触面は直径１ｃｍの円）させて、その上に５Ｎの荷重を付与した。その後、荷重を加えた状態で摩擦子を４０ｍｍ／秒の速度で往復させた。摩擦子を最大１０，０００回往復させ、それぞれ、往復回数（摩擦回数）１０００回毎に水の静的接触角を測定した。水の静的接触角の測定値が９０°未満となった時点で試験を中止した。
　水の静的接触角は、表面層に対して、２μＬの純水の水滴を着滴させ、接触角計（協和界面化学社製：自動接触角計　ＤｒｏｐＭａｓｔｅｒ７０１）を用いて、水に対する接触角を測定した。水の静的接触角は、異なる５箇所の算術平均値を記録した。
　評価基準は以下の通りであり、結果を表３及び表４に示す。
＜摩擦子＞
　下記シリコーンゴム加工品の表面（直径１ｃｍ）を、下記組成の人工汗に浸漬したコットンで覆い、これを摩擦子として用いた。
（シリコーンゴム加工品）
・シリコーンゴム栓ＳＲ－５１（タイガースポリマー製）を、直径１ｃｍ、厚さ１ｃｍの円柱状に加工し、これをシリコーンゴム加工品として用いた。
（人工汗の組成）
・無水リン酸水素二ナトリウム：２ｇ
・塩化ナトリウム：２０ｇ
・８５％乳酸：２ｇ
・ヒスチジン塩酸塩：５ｇ
・蒸留水：１ｋｇ
＜評価基準＞
　Ａ（優良）：１０，０００回摩擦した後も、水の静的接触角が９０度以上である。
　Ｂ（良）：７，０００回超、１０，０００回以下の摩擦後に、水の静的接触角が９０度未満になる。
　Ｃ（不可）：７，０００回以下の摩擦後に、水の静的接触角が９０度未満になる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000033
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000034
［アルカリ浸漬試験］
　直径１ｃｍのＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）製のＯリングを、例１３～１５、２１～２３の評価サンプルの表面層に設置し、８Ｎの水酸化ナトリウム水溶液を上記Ｏリング内に滴下し、表面層の表面を水酸化ナトリウム水溶液と接触させた。水酸化ナトリウム水溶液と接触させてから９０分経過後、１２０分経過後に、水酸化ナトリウム水溶液をふき取り、純水、エタノールで洗浄した後、水に対する接触角を測定した。
　なお、水に対する接触角は、摩擦耐久性試験と同様の方法で実施した。
　評価基準は以下の通りであり、結果を表５に示す。
＜評価基準＞
　Ａ：１２０分経過後の水の静的接触角が９０度以上である。
　Ｂ：９０分経過後の水の静的接触角が９０度以上であるが、１２０分経過後の水の静的接触角が９０度未満である。
　Ｃ：９０分経過後の水の静的接触角が９０度未満である。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000035
　表３及び表４に示す通り、含フッ素エーテル化合物と、２種以上の金属元素とを含む、表面処理剤を用いれば、摩擦耐久性に優れた表面層を形成できるのが確認された（例１～１５）。
　また、表５に示す通り、（ＯＣＦ２）ｍ１・（ＯＣＦ２ＣＦ２）ｍ２で表される構造を有する含フッ素エーテル化合物と、２種以上の金属元素とを含む、表面処理剤を用いれば、アルカリ耐性に優れた表面層を形成できるのが確認された（例１５）。
　本発明によれば、各種物品の表面に摩擦耐久性に優れた撥水撥油性を備える表面層を形成することができる表面処理剤、及び当該表面層を備えた物品が提供される。当該物品は、一例として、光学物品、タッチパネル、反射防止フィルム、反射防止ガラス、ＳｉＯ２処理ガラス、強化ガラス、サファイアガラス、石英基板、金型金属等として有用である。
　この出願は、２０２２年１月１１日に出願された日本出願特願２０２２－００２１９３を基礎とする優先権を主張し、その開示の全てをここに取り込む。

Claims (8)

  1. 　フルオロポリエーテル鎖と反応性シリル基とを有する含フッ素エーテル化合物と、
    　第１金属元素を含む第１金属化合物と、
    　前記第１金属元素とは異なる種類の第２金属元素を含む第２金属化合物と、を含む、表面処理剤。
  2. 　前記第１金属元素が、ポーリングの電気陰性度が１．００超の金属元素である、請求項１に記載の表面処理剤。
  3. 　前記第１金属元素が、ポーリングの電気陰性度が２．００以上の金属元素であり、
    　前記第２金属元素が、ポーリングの電気陰性度が１．００以下の金属元素、又は、ポーリングの電気陰性度が１．００超２．００未満の金属元素である、請求項２に記載の表面処理剤。
  4. 　前記第１金属化合物及び前記第２金属化合物の合計含有量が、前記表面処理剤の全質量に対して０．１質量ｐｐｂ～１質量％である、請求項１～３のいずれか１項に記載の表面処理剤。
  5. 　前記第１金属化合物及び前記第２金属化合物の合計含有量が、前記表面処理剤中の含フッ素エーテル化合物の全質量に対して０．１質量ｐｐｂ～１質量％である、請求項１～３のいずれか１項に記載の表面処理剤。
  6. 　さらに、液状媒体を含む、請求項１～５のいずれか１項に記載の表面処理剤。
  7. 　請求項１～６のいずれか１項に記載の表面処理剤から形成された表面層を基材上に有する、物品。
  8. 　請求項１～６のいずれか１項に記載の表面処理剤を用いて、ドライコーティング法又はウェットコーティング法により、基材上に表面層を形成することを特徴とする、物品の製造方法。
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