WO2023096149A1 - 반도체 발광 소자를 포함하는 디스플레이 장치 - Google Patents

반도체 발광 소자를 포함하는 디스플레이 장치 Download PDF

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WO2023096149A1
WO2023096149A1 PCT/KR2022/015292 KR2022015292W WO2023096149A1 WO 2023096149 A1 WO2023096149 A1 WO 2023096149A1 KR 2022015292 W KR2022015292 W KR 2022015292W WO 2023096149 A1 WO2023096149 A1 WO 2023096149A1
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light emitting
assembly
disposed
electrode
layer
Prior art date
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PCT/KR2022/015292
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English (en)
French (fr)
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김영도
남주현
장훈
이슬
김민석
엄혜선
이문선
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엘지전자 주식회사
엘지디스플레이 주식회사
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
    • H01L27/12—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/36—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the electrodes
    • H01L33/38—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the electrodes with a particular shape
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/44—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the coatings, e.g. passivation layer or anti-reflective coating

Definitions

  • the embodiment relates to a display device, and more particularly, to a display device using a semiconductor light emitting device.
  • Display devices used for computer monitors, TVs, mobile phones, etc. include organic light emitting displays (OLEDs) that emit light themselves, liquid crystal displays (LCDs) that require a separate light source, and micro-LEDs. display, etc.
  • OLEDs organic light emitting displays
  • LCDs liquid crystal displays
  • micro-LEDs. display etc.
  • a micro-LED display is a display using a micro-LED, which is a semiconductor light emitting device having a diameter or cross-sectional area of 100 ⁇ m or less, as a display device.
  • Micro-LED display has excellent performance in many characteristics such as contrast ratio, response speed, color reproducibility, viewing angle, brightness, resolution, lifespan, luminous efficiency or luminance because it uses micro-LED, which is a semiconductor light emitting device, as a display element.
  • the micro-LED display has the advantage of being free to adjust the size or resolution as screens can be separated and combined in a modular manner, and can implement a flexible display.
  • the self-assembly method is a method in which a semiconductor light emitting device finds an assembly position by itself in a fluid, and is an advantageous method for realizing a large-screen display device.
  • a technical problem of the embodiment is to provide a display device in which an assembly rate of a light emitting device is improved by implementing assembled wiring in various forms.
  • a technical problem of the embodiment is to provide a display device minimizing corrosion of assembled wiring.
  • a technical problem of the embodiment is to provide a display device capable of easily bonding a light emitting element by reducing a step between assembled wires.
  • a technical problem of the embodiment is to provide a display device in which the electric field bias is improved by reducing the size of the first electrode of the light emitting device.
  • a technical problem of the embodiment is to provide a display device capable of easily bonding the light emitting element by changing the shape of the first electrode and the opening of the light emitting element.
  • a technical problem of the embodiment is to provide a display device in which side wires driving light emitting elements are uniformly formed.
  • the technical problem of the embodiment is to provide a display device with improved assembly force of the light emitting element.
  • a display device including a semiconductor light emitting device includes a substrate; first assembly wires and second assembly wires spaced apart from each other on the substrate; a planarization layer disposed on the first assembly line and the second assembly line and having an opening overlapping the first assembly line and the second assembly line; and a light emitting element disposed inside the opening and including a first electrode electrically connected to the first assembly wire, wherein the opening includes a main opening and one or more auxiliary openings connected to the main opening and smaller than the main opening.
  • the first assembly wire may be positioned above the second assembly wire, the first electrode may contact the first assembly wire, and the auxiliary opening may overlap the first assembly wire.
  • an area where the first assembly line overlaps with the opening may be wider than an area where the second assembly line overlaps with the opening.
  • first assembly wiring and the second assembly wiring are disposed on the same layer
  • the light emitting element further includes a first semiconductor layer disposed on the first electrode and having a lower surface having a larger area than an upper surface of the first electrode, wherein the first electrode is formed based on the center of the first semiconductor layer. They can be arranged asymmetrically.
  • the end of the first electrode may be disposed on the same plane as the end of the first semiconductor layer, or may protrude outward from the end of the first semiconductor layer.
  • the auxiliary opening may be disposed adjacent to an end of the first electrode.
  • the embodiment includes a contact hole disposed between the first assembly line and the second assembly line and the light emitting element, and exposing the first assembly line disposed between the light emitting element and the planarization layer. passivation layer; and a contact electrode connecting the first electrode and the first assembled wire through the contact hole.
  • the main opening and the light emitting element may have a circular or elliptical shape on a plane.
  • the auxiliary opening may be disposed in plurality to surround the circumference of the main opening.
  • the main opening and the light emitting device may have the same polygonal shape on a plane.
  • the auxiliary opening may be arranged to be connected to a plurality of vertices or a plurality of sides of the main opening.
  • a display device including a semiconductor light emitting device includes a substrate on which a plurality of sub-pixels are defined; a plurality of first assembling wires disposed along a plurality of sub-pixels disposed on the same line among the plurality of sub-pixels; a plurality of second assembly wirings disposed along a plurality of sub-pixels disposed on the same line among the plurality of sub-pixels and disposed adjacent to each of the first assembly wirings; a planarization layer including a plurality of pockets overlapping the plurality of first assembly wires and the plurality of second assembly wires; and a plurality of light emitting elements disposed in the plurality of pockets in each of the plurality of sub-pixels and including a lower electrode bonded to a display device, each of the plurality of pockets having a first size and the plurality of light emitting elements. It may include a first pocket in which is disposed and a second pocket having a second size smaller than the first size and extending from the first
  • the plurality of first assembly wires are positioned above the plurality of second assembly wires, and the lower electrode is in contact with the plurality of first assembly wires;
  • the second pocket may overlap the plurality of first assembly wires.
  • the plurality of first assembly wires and the plurality of second assembly wires may be disposed on the same plane.
  • the light emitting element includes a first semiconductor layer disposed on the lower electrode, the lower electrode has a smaller area in plan view than the first semiconductor layer, and the lower electrode is the first semiconductor layer. It may be asymmetrically arranged with respect to the center of .
  • an end of the lower electrode may coincide with a side surface of the light emitting device or may protrude outward from a side surface of the light emitting device.
  • the second pocket may be disposed adjacent to an end of the lower electrode.
  • the second pocket may be arranged in plurality to surround the periphery of the first pocket.
  • first assembly line and the second assembly line overlap vertically
  • first assembly line may include an electrode hole in a region vertically overlapping the second assembly line and the light emitting element. there is.
  • a display device including a semiconductor light emitting device includes a substrate;
  • first assembly wires and second assembly wires spaced apart from each other on the substrate
  • a planarization layer disposed on the first assembly line and the second assembly line and having an opening overlapping the first assembly line and the second assembly line;
  • a light emitting element disposed within the opening and including a first electrode
  • a side wire disposed within the opening and electrically connected to the first electrode
  • the opening includes a main opening and at least one auxiliary opening connected to the main opening and smaller than the main opening,
  • the side wiring may be disposed within the auxiliary opening and may come into contact with a sidewall of the opening.
  • the wiring for self-assembly of the light emitting element can also be used as a wiring for driving the light emitting element.
  • the embodiment has a technical effect of minimizing the occurrence of defects during self-assembly or bonding of the light emitting device by forming the structure of a plurality of assembly lines in various ways.
  • the embodiment has a technical effect capable of minimizing corrosion and short circuit defects of a plurality of assembled wires.
  • the embodiment has a technical effect of stably bonding a plurality of light emitting elements by reducing a step between a plurality of assembled wires.
  • the embodiment has a technical effect of forming a symmetrical electric field by securing a wide electric field gradient by reducing the area of the first electrode of the light emitting device.
  • the embodiment has a technical effect of reducing assembly defects of the light emitting device by preventing an electric field from being concentrated on the barrier rib at the side of the opening through a change in the shape of the first electrode and the opening of the light emitting device.
  • the embodiment has a technical effect of forming a uniform side wiring by changing the shape of the opening.
  • the embodiment has a technical effect of improving assembly force with respect to the light emitting device by arranging a plurality of assembly lines to vertically overlap each other.
  • FIG. 1 is a schematic plan view of a display device according to an exemplary embodiment.
  • FIG. 2 is a schematic enlarged plan view of a display device according to an exemplary embodiment.
  • FIG. 3 is an enlarged plan view of area A of FIG. 2 .
  • FIG. 4 is a cross-sectional view along IV-IV′ of FIG. 2 .
  • 5A to 5F are process charts for explaining a method of manufacturing a display device according to an embodiment.
  • FIG. 6 is an enlarged plan view of a display device according to a second embodiment.
  • FIG. 7 is a cross-sectional view of a display device according to a second embodiment.
  • FIG. 8A is an enlarged plan view of a display device according to a third embodiment.
  • FIG. 8B is an enlarged plan view of a display device according to a fourth embodiment.
  • FIG. 8C is an enlarged plan view of a display device according to a fifth embodiment.
  • FIG 9 is an enlarged plan view of a display device according to a sixth embodiment.
  • 10A to 11B are enlarged plan views of display devices according to seventh to tenth embodiments.
  • FIG. 12 is an enlarged plan view of a display device according to an eleventh embodiment.
  • FIG. 13 is an enlarged plan view of a display device according to a twelfth embodiment.
  • FIG. 14 is an enlarged perspective view of a part of the display device according to the twelfth embodiment.
  • Display devices described in this specification include digital TVs, mobile phones, smart phones, laptop computers, digital broadcasting terminals, personal digital assistants (PDAs), portable multimedia players (PMPs), navigation devices, and slates. ) PC, tablet PC, ultra-book, desktop computer, etc. may be included.
  • PDAs personal digital assistants
  • PMPs portable multimedia players
  • PC tablet PC
  • ultra-book desktop computer, etc.
  • the configuration according to the embodiment described in this specification can be applied to a device capable of displaying even a new product type to be developed in the future.
  • FIG. 1 is a schematic plan view of a display device according to an exemplary embodiment. In FIG. 1 , only the substrate 110 and the plurality of sub-pixels SP among various components of the display device 100 are illustrated for convenience of description.
  • the display device 100 may include a flexible display fabricated on a thin and flexible substrate.
  • a flexible display can be bent or rolled like paper while maintaining characteristics of a conventional flat panel display.
  • a unit pixel means a minimum unit for implementing one color.
  • a unit pixel of the flexible display may be implemented by a light emitting device.
  • the light emitting device may be a Micro-LED or a Nano-LED, but is not limited thereto.
  • the substrate 110 is a component for supporting various components included in the display device 100 and may be made of an insulating material.
  • the substrate 110 may be made of glass or resin.
  • the substrate 110 may be made of a polymer or plastic, or may be made of a material having flexibility.
  • the substrate 110 includes a display area AA and a non-display area NA.
  • the display area AA is an area where a plurality of sub-pixels SP are disposed to display an image.
  • Each of the plurality of sub-pixels SP is an individual unit emitting light, and a light emitting element LED and a driving circuit are formed in each of the plurality of sub-pixels SP.
  • the plurality of sub-pixels SP may include a red sub-pixel, a green sub-pixel, a blue sub-pixel, and/or a white sub-pixel, but are not limited thereto.
  • a description will be made on the assumption that the plurality of sub-pixels SP includes a red sub-pixel, a green sub-pixel, and a blue sub-pixel, but is not limited thereto.
  • the non-display area NA is an area in which an image is not displayed, and is an area where various wires, driving ICs, etc. for driving the sub-pixels SP disposed in the display area AA are disposed.
  • various ICs such as a gate driver IC and a data driver IC and driving circuits may be disposed in the non-display area NA.
  • the non-display area NA may be located on the rear surface of the substrate 110, that is, the surface without the sub-pixel SP, or may be omitted, and is not limited to what is shown in the drawings.
  • the display device 100 of the embodiment may drive a light emitting element in an active matrix (AM) method or a passive matrix (PM) method.
  • AM active matrix
  • PM passive matrix
  • FIGS. 2 to 4 are also referred to for a more detailed description of the plurality of sub-pixels SP.
  • FIG. 2 is a schematic enlarged plan view of a display device according to an exemplary embodiment.
  • FIG. 3 is an enlarged plan view of area A of FIG. 2 .
  • FIG. 4 is a cross-sectional view along IV-IV′ of FIG. 2 . 2 to 4
  • the display device 100 according to the exemplary embodiment includes a plurality of scan wires (SL), a plurality of data wires (DL), a plurality of high-potential power supply wires (VDD), and a plurality of assembly wires.
  • SL scan wires
  • DL data wires
  • VDD high-potential power supply wires
  • a storage capacitor (ST) a semiconductor light emitting device (LED), a light blocking layer (LS), a buffer layer 111, a gate insulating layer 112, a plurality of passivation layers 113, 115, and 116, a plurality of planarization layers 114, 117, 118), a connection electrode 123, a pixel electrode PE, and the like.
  • the wiring 120 extends in a column direction between the plurality of sub-pixels SP, and the plurality of scan lines SL and the third layer VDD3 of the high-potential power supply line VDD are connected to the plurality of sub-pixels SP. It may extend in the row direction between them.
  • a first transistor TR1 , a second transistor TR2 , a third transistor TR3 , and a storage capacitor ST may be disposed in each of the plurality of sub-pixels SP.
  • the first layer VDD1 of the high potential power line VDD and the light blocking layer LS may be disposed on the substrate 110 .
  • the high-potential power supply line VDD is a line that transmits a high-potential power supply voltage to each of the plurality of sub-pixels SP.
  • the plurality of high-potential power lines VDD may transmit high-potential power voltages to the second transistor TR2 of each of the plurality of sub-pixels SP.
  • the plurality of high potential power supply lines VDD may be formed of a single layer or a plurality of layers.
  • the plurality of high potential power lines VDD are formed of a plurality of layers. do.
  • the high potential power line VDD includes a plurality of first layers VDD1 and a plurality of second layers VDD2 and a plurality of third layers VDD3 connecting them.
  • the first layer VDD1 may extend in a column direction between each of the plurality of sub-pixels SP.
  • a light blocking layer LS may be disposed on each of the plurality of sub-pixels SP on the substrate 110 .
  • the light blocking layer LS blocks light incident from a lower portion of the substrate 110 to the second active layer ACT2 of the second transistor TR2 to be described later, thereby minimizing leakage current.
  • a buffer layer 111 is disposed on the first layer VDD1 of the high potential power line VDD and the light blocking layer LS.
  • the buffer layer 111 may reduce penetration of moisture or impurities through the substrate 110 .
  • the buffer layer 111 may include, for example, a single layer or a multi-layer of silicon oxide (SiOx) or silicon nitride (SiNx), but is not limited thereto.
  • SiOx silicon oxide
  • SiNx silicon nitride
  • the buffer layer 111 may be omitted depending on the type of substrate 110 or the type of transistor, but is not limited thereto.
  • a plurality of scan lines SL, a plurality of reference lines RL, a plurality of data lines DL, a first transistor TR1, a second transistor TR2, a third transistor TR3, and a storage capacitor ST. may be disposed on the buffer layer 111 .
  • a first transistor TR1 may be disposed in each of a plurality of sub-pixels SP.
  • the first transistor TR1 includes a first active layer ACT1, a first gate electrode GE1, a first source electrode SE1, and a first drain electrode DE1.
  • a first active layer ACT1 is disposed on the buffer layer 111 .
  • the first active layer ACT1 may be made of a semiconductor material such as an oxide semiconductor, amorphous silicon, or polysilicon, but is not limited thereto.
  • a gate insulating layer 112 may be disposed on the first active layer ACT1.
  • the gate insulating layer 112 is an insulating layer for insulating the first active layer ACT1 and the first gate electrode GE1, and may include a single layer or a multi-layer of silicon oxide (SiOx) or silicon nitride (SiNx). However, it is not limited thereto.
  • a first gate electrode GE1 may be disposed on the gate insulating layer 112 .
  • the first gate electrode GE1 may be electrically connected to the scan line SL.
  • the first gate electrode GE1 is made of a conductive material such as copper (Cu), aluminum (Al), molybdenum (Mo), nickel (Ni), titanium (Ti), chromium (Cr), or an alloy thereof. It may be, but is not limited thereto.
  • a first passivation layer 113 may be disposed on the first gate electrode GE1.
  • a contact hole through which each of the first source electrode SE1 and the first drain electrode DE1 is connected to the first active layer ACT1 is formed in the first passivation layer 113 .
  • the first passivation layer 113 is an insulating layer for protecting the lower portion of the first passivation layer 113, and may be composed of a single layer or multiple layers of silicon oxide (SiOx) or silicon nitride (SiNx), but is limited thereto. It doesn't work.
  • a first source electrode SE1 and a first drain electrode DE1 electrically connected to the first active layer ACT1 may be disposed on the first passivation layer 113 .
  • the first drain electrode DE1 may be connected to the data line DL, and the first source electrode SE1 may be connected to the second gate electrode GE2 of the second transistor TR2.
  • the first source electrode SE1 and the first drain electrode DE1 may be formed of a conductive material, for example, copper (Cu), aluminum (Al), molybdenum (Mo), nickel (Ni), titanium (Ti), chromium ( Cr) or an alloy thereof, but is not limited thereto.
  • the first source electrode SE1 and the first drain electrode DE1 are respectively connected to the second gate electrode GE2 and the data line DL, but the first source electrode depends on the type of transistor.
  • SE1 may be connected to the data line DL, and the first drain electrode DE1 may be connected to the second gate electrode GE2 of the second transistor TR2, but is not limited thereto.
  • the first transistor TR1 may be turned on or turned off according to a scan signal when the first gate electrode GE1 is connected to the scan line SL.
  • the first transistor TR1 may transmit a data voltage to the second gate electrode GE2 of the second transistor TR2 based on the scan signal and may be referred to as a switching transistor.
  • a plurality of data lines DL and a plurality of reference lines RL along with the first gate electrode GE1 may be disposed on the gate insulating layer 112 .
  • the plurality of data lines DL and reference lines RL may be formed of the same material and process as those of the first gate electrode GE1.
  • the plurality of data lines DL are wires that transfer data voltages to each of the plurality of sub-pixels SP.
  • the plurality of data lines DL may transfer data voltages to the first transistor TR1 of each of the plurality of sub-pixels SP.
  • the plurality of data lines DL include a data line DL transferring data voltages to the red sub-pixel SPR, a data line DL transferring data voltages to the green sub-pixel SPG, and a blue sub-pixel SPG. It may include a data line DL that transmits data voltages to the pixel SPB.
  • the plurality of reference lines RL is a line that transmits a reference voltage to each of the plurality of sub-pixels SP.
  • the plurality of reference wires RL may transfer the reference voltage to the third transistor TR3 of each of the plurality of sub-pixels SP.
  • a second transistor TR2 may be disposed in each of the plurality of sub-pixels SP.
  • the second transistor TR2 may include a second active layer ACT2, a second gate electrode GE2, a second source electrode SE2, and a second drain electrode DE2.
  • a second active layer ACT2 may be disposed on the buffer layer 111 .
  • the second active layer ACT2 may be made of a semiconductor material such as an oxide semiconductor, amorphous silicon, or polysilicon, but is not limited thereto.
  • a gate insulating layer 112 may be disposed on the second active layer ACT2 , and a second gate electrode GE2 may be disposed on the gate insulating layer 112 .
  • the second gate electrode GE2 may be electrically connected to the first source electrode SE1 of the first transistor TR1.
  • the second gate electrode GE2 is made of a conductive material such as copper (Cu), aluminum (Al), molybdenum (Mo), nickel (Ni), titanium (Ti), chromium (Cr), or an alloy thereof. It may be, but is not limited thereto.
  • the first passivation layer 113 may be disposed on the second gate electrode GE2 , and the second source electrode SE2 and the second drain electrode DE2 may be disposed on the first passivation layer 113 .
  • the second source electrode SE2 is electrically connected to the second active layer ACT2.
  • the second drain electrode DE2 may be electrically connected to the second active layer ACT2 and electrically connected to the high potential power line VDD.
  • the second drain electrode DE2 may be disposed between the first layer VDD1 and the second layer VDD2 of the high potential power line VDD and electrically connected to the high potential power line VDD.
  • the second transistor TR2 has a second gate electrode GE2 connected to the first source electrode SE1 of the first transistor TR1 and is turned on by a data voltage transmitted when the first transistor TR1 is turned on. can be on Also, since the turned-on second transistor TR2 may transfer driving current to the light emitting device LED based on the high potential power supply voltage from the high potential power line VDD, it may be referred to as a driving transistor.
  • a third transistor TR3 may be disposed in each of the plurality of sub-pixels SP.
  • the third transistor TR3 may include a third active layer ACT3, a third gate electrode GE3, a third source electrode SE3, and a third drain electrode DE3.
  • a third active layer ACT3 may be disposed on the buffer layer 111 .
  • the third active layer ACT3 may be made of a semiconductor material such as oxide semiconductor, amorphous silicon, or polysilicon, but is not limited thereto.
  • a gate insulating layer 112 may be disposed on the third active layer ACT3 , and a third gate electrode GE3 may be disposed on the gate insulating layer 112 .
  • the third gate electrode GE3 is connected to the scan line SL, and the third transistor TR3 can be turned on or off by a scan signal.
  • the third gate electrode GE3 is made of a conductive material such as copper (Cu), aluminum (Al), molybdenum (Mo), nickel (Ni), titanium (Ti), chromium (Cr), or an alloy thereof. It may be, but is not limited thereto.
  • the third gate electrode GE3 and the first gate electrode GE1 are connected to the same scan line SL
  • the third gate electrode GE3 is a different scan line from the first gate electrode GE1. (SL) may be connected, but is not limited thereto.
  • the first passivation layer 113 may be disposed on the third gate electrode GE3 , and the third source electrode SE3 and the third drain electrode DE3 may be disposed on the first passivation layer 113 .
  • the third source electrode SE3 is integrally formed with the second source electrode SE2 and is electrically connected to the third active layer ACT3 and electrically connected to the second source electrode SE2 of the second transistor TR2. can be connected to Also, the third drain electrode DE3 may be electrically connected to the reference line RL.
  • the third transistor TR3 electrically connected to the second source electrode SE2 of the second transistor TR2 as a driving transistor, the reference line RL, and the storage capacitor ST may be referred to as a sensing transistor.
  • a storage capacitor ST may be disposed in each of the plurality of sub-pixels SP.
  • the storage capacitor ST may include a first capacitor electrode ST1 and a second capacitor electrode ST2.
  • the storage capacitor ST is connected between the second gate electrode GE2 and the second source electrode SE2 of the second transistor TR2 and stores a voltage so that the light emitting element LED emits light while the second transistor ( The voltage level of the gate electrode of TR2) may be kept constant.
  • the first capacitor electrode ST1 may be integrally formed with the second gate electrode GE2 of the second transistor TR2. Accordingly, the first capacitor electrode ST1 may be electrically connected to the second gate electrode GE2 of the second transistor TR2 and the first source electrode SE1 of the first transistor TR1.
  • a second capacitor electrode ST2 is disposed on the first capacitor electrode ST1 with the first passivation layer 113 therebetween.
  • the second capacitor electrode ST2 may be integrally formed with the second source electrode SE2 of the second transistor TR2 and the third source electrode SE3 of the third transistor TR3. Accordingly, the second capacitor electrode ST2 may be electrically connected to the second transistor TR2 and the third transistor TR3.
  • the plurality of scan wires SL includes a first source electrode SE1, a first drain electrode DE1, a second source electrode SE2, a second drain electrode DE2, a third source electrode SE3, It may be disposed on the first passivation layer 113 together with the third drain electrode DE3 and the second capacitor electrode ST2.
  • the plurality of scan lines SL is a line that transmits a scan signal to each of the plurality of sub-pixels SP.
  • the plurality of scan lines SL may transfer scan signals to the first transistor TR1 of each of the plurality of sub-pixels SP.
  • each of the plurality of scan lines SL may extend in a row direction and transmit a scan signal to a plurality of sub-pixels SP disposed in the same row.
  • the first planarization layer 114 includes a plurality of scan lines SL, a plurality of reference lines RL, a plurality of data lines DL, a first transistor TR1, a second transistor TR2, 3 may be disposed on the transistor TR3 and the storage capacitor ST.
  • the first planarization layer 114 may planarize an upper portion of the substrate 110 on which a plurality of transistors are disposed.
  • the first planarization layer 114 may be composed of a single layer or multiple layers, and may be made of, for example, an acryl-based organic material, but is not limited thereto.
  • a second passivation layer 115 may be disposed on the first planarization layer 114 .
  • the second passivation layer 115 is an insulating layer for protecting the lower portion of the second passivation layer 115 and improving the adhesion of the components formed on the second passivation layer 115, and is made of silicon oxide (SiOx) or It may be composed of a single layer or multiple layers of silicon nitride (SiNx), but is not limited thereto.
  • the second layer VDD2 of the high potential power supply line VDD, the plurality of second assembly wires 122 among the plurality of assembly wires 120, and the connection electrode 123 are disposed on the second passivation layer 115.
  • the plurality of assembly lines 120 generate an electric field for aligning the plurality of light emitting devices (LED) when manufacturing the display device 100, and generate an electric field for arranging the plurality of light emitting devices (LED) when the display device 100 is driven. It is a wire that supplies low-potential power supply voltage. Accordingly, the assembled wiring 120 may be referred to as a low-potential power supply wiring.
  • the plurality of assembly wires 120 are disposed in a column direction along the plurality of sub-pixels SP disposed on the same line. The plurality of assembly wires 120 may be disposed to overlap a plurality of sub-pixels SP disposed in the same column.
  • one first assembly wire 121 and one second assembly wire 122 are disposed in the red sub-pixel SPR disposed in the same column, and one first assembly wire 121 is disposed in the green sub-pixel SPG ( 121) and the second assembly wire 122 may be disposed, and one first assembly wire 121 and one second assembly wire 122 may be disposed in the blue sub-pixel SPB.
  • the plurality of assembly wires 120 may include a plurality of first assembly wires 121 and a plurality of second assembly wires 122 .
  • the same low potential voltage as AC may be applied to the plurality of first assembly wires 121 and the plurality of second assembly wires 122 .
  • the plurality of first assembly wires 121 and the plurality of second assembly wires 122 may be alternately disposed.
  • one first assembly line 121 and one second assembly line 122 may be disposed adjacent to each other.
  • the plurality of first assembly wires 121 and the plurality of second assembly wires 122 may be made of a conductive material, such as copper (Cu) or chromium (Cr), but are not limited thereto.
  • the plurality of second assembly wires 122 may include a second conductive layer 122a and a second clad layer 122b.
  • the second conductive layer 122a may be disposed on the second passivation layer 115 .
  • the second clad layer 122b may contact the second conductive layer 122a.
  • the second cladding layer 122b may be disposed to cover the top and side surfaces of the second conductive layer 122a.
  • the second conductive layer 122a may have a greater thickness than the second cladding layer 122b.
  • the second cladding layer 122b is made of a material more resistant to corrosion than the second conductive layer 122a, and when manufacturing the display device 100, the second conductive layer 122a of the second assembly line 122 and the first assembly line ( 121) has a technical effect of minimizing a short circuit defect due to migration between the first conductive layers 121a.
  • the second cladding layer 122b may be made of molybdenum (Mo), molybdenum titanium (MoTi), etc., but is not limited thereto.
  • a second layer VDD2 of the high potential power line VDD may be disposed on the second passivation layer 115 .
  • the second layer VDD2 extends in a column direction between each of the plurality of sub-pixels SP and may overlap the first layer VDD1.
  • the first layer VDD1 and the second layer VDD2 may be electrically connected through contact holes formed in insulating layers formed between the first layer VDD1 and the second layer VDD2.
  • the second layer VDD2 may be formed of the same material and process as the second assembly line 122 , but is not limited thereto.
  • a connection electrode 123 may be disposed in each of the plurality of sub-pixels SP.
  • the connection electrode 123 is electrically connected to the second capacitor electrode ST2 and the second source electrode SE2 of the second transistor TR2 through a contact hole formed in the second passivation layer 115 .
  • the connection electrode 123 is an electrode for electrically connecting the light emitting element LED and the second transistor TR2 serving as a driving transistor, and includes a first connection layer 123a and a second connection layer 123b.
  • the first connection layer 123a may be formed of the same material as the second conductive layer 122a of the second assembly line 122
  • the second connection layer 123b may be formed of the same material as the second clad layer 122a. It may be formed of the same material in the same layer as the layer 122b.
  • a third passivation layer 116 may be disposed on the second layer VDD2 , the second assembly line 122 , and the connection electrode 123 .
  • the third passivation layer 116 is an insulating layer for protecting the lower portion of the third passivation layer 116, and may be composed of a single layer or multiple layers of silicon oxide (SiOx) or silicon nitride (SiNx), but is limited thereto. It doesn't work.
  • the third passivation layer 116 may function as an insulating layer to prevent a short circuit defect due to migration between the first assembly line 121 and the second assembly line 122 when the display device 100 is manufactured. , This will be described later with reference to FIGS. 5A to 5F.
  • a plurality of first assembled wires 121 among the plurality of assembled wires 120 are disposed on the third passivation layer 116 .
  • each of the plurality of first assembly wires 121 is disposed in a plurality of sub-pixels SP disposed on the same line, and the plurality of first assembly wires 121 and the plurality of second assembly wires 122 may be spaced apart from each other.
  • Each of the plurality of first assembled wires 121 includes a first conductive layer 121a and a first clad layer 121b.
  • a first conductive layer 121a is disposed on the third passivation layer 116 .
  • the first cladding layer 121b may be in contact with and electrically connected to the first conductive layer 121a.
  • the first cladding layer 121b may be disposed to cover the top and side surfaces of the first conductive layer 121a.
  • the first conductive layer 1211a may have a greater thickness than the first cladding layer 121b.
  • the first cladding layer 121b is also made of a material more resistant to corrosion than the first conductive layer 121a, and is assembled with the first assembly wiring 121 when manufacturing the display device 100. A short circuit defect due to migration between wires 122 can be minimized.
  • the first cladding layer 121b may be made of molybdenum (Mo), molybdenum titanium (MoTi), etc., but is not limited thereto.
  • a second planarization layer 117 may be disposed on the plurality of first assembly lines 121 .
  • the second planarization layer 117 may be composed of a single layer or multiple layers, and may be made of, for example, an acryl-based organic material, but is not limited thereto.
  • the second planarization layer 117 includes a plurality of first openings 117a in which each of the plurality of light emitting elements (LEDs) are seated and a plurality of second openings 117b exposing each of the plurality of connection electrodes 123.
  • LEDs light emitting elements
  • a plurality of first openings 117a may be disposed in each of a plurality of sub-pixels SP.
  • the first opening may be referred to as a pocket.
  • Each of the plurality of first openings 117a may include a main opening 117a-1 and an auxiliary opening 117a-2.
  • one or more first openings 117a may be disposed in one sub-pixel SP.
  • one first opening 117a may be disposed in one sub-pixel SP, or two first openings 117a may be disposed.
  • the plurality of first openings 117a may be formed to overlap the plurality of assembly lines 120 .
  • one first opening 117a may overlap the first assembly line 121 and the second assembly line 122 disposed adjacent to each other in one sub-pixel SP.
  • a portion of the first clad layer 121b of the plurality of first assembly lines 121 may be exposed through the first opening 117a.
  • the third passivation layer 116 covers all of the second assembly wires 122 in the first opening 117a, the second assembly wires 122 overlap the first opening 117a, but It is not exposed at (117a).
  • the main opening 117a-1 is an opening into which a plurality of light emitting devices (LEDs) are inserted, and may also be referred to as a first pocket.
  • the main opening 117a - 1 and the plurality of light emitting devices (LEDs) may have circular or elliptical shapes corresponding to each other on a plane, as shown in FIG. 3 , but are not limited thereto.
  • the auxiliary opening 117a-2 may be connected to the main opening 117a-1.
  • the auxiliary opening 117a-2 may also be referred to as a second pocket.
  • one or more auxiliary openings 117a-2 connected to one main opening 117a-1 may be disposed.
  • one auxiliary opening 117a-2 may be connected to one main opening 117a-1, or two or more auxiliary openings 117a-2 may be connected.
  • the display device 100 a case in which the number of auxiliary openings 117a - 2 is one will be described.
  • the auxiliary opening 117a-2 may be connected to the main opening 117a-1 into which the light emitting device LED is inserted.
  • the auxiliary opening 117a-2 since the size of the auxiliary opening 117a-2 is smaller than that of the main opening 117a-1, a plurality of light emitting devices (LEDs) cannot be inserted therein.
  • the auxiliary opening 117a-2 may have a circular or elliptical shape on a plane.
  • the planar shape of the auxiliary opening 117a-2 may correspond to the planar shape of the main opening 117a-1.
  • the auxiliary opening 117a - 2 may be formed to overlap the plurality of assembly lines 120 .
  • the auxiliary opening may overlap only one of the first assembly line 121 and the second assembly line 122 .
  • one auxiliary opening 117a - 2 includes the first assembly line 121 and the second assembly line disposed adjacent to each other in one sub-pixel SP.
  • it may overlap only with the first assembly line 121. Accordingly, an area where the first assembly line 121 and the first opening 117a overlap may be larger than an area where the second assembly line 122 and the first opening 117a overlap.
  • a plurality of second openings 117b may be disposed in a plurality of sub-pixels SP.
  • the plurality of second openings 117b are portions exposing the connection electrodes 123 of each of the plurality of sub-pixels SP.
  • the connection electrode 123 under the second planarization layer 117 is exposed through the plurality of second openings 117b and can be electrically connected to the light emitting element LED, and the driving current from the second transistor TR2 can be reduced. It can be transmitted to the light emitting element (LED).
  • the third passivation layer 116 may have a contact hole in an area overlapping the second opening 117b, and the connection electrode 123 is formed from the second planarization layer 117 and the third passivation layer 116. may be exposed.
  • a plurality of light emitting devices are disposed in the plurality of first openings 117a.
  • the plurality of light emitting devices are light emitting devices (LED) that emit light by current.
  • the plurality of light emitting devices may include light emitting devices (LED) emitting red light, green light, blue light, etc., and a combination thereof may implement light of various colors including white.
  • the light emitting device may be a light emitting diode (LED) or a micro LED, but is not limited thereto.
  • a plurality of light emitting elements LEDs are disposed in the red sub-pixel SPR, the green light emitting element 130 disposed in the green sub-pixel SPG, and the blue sub-pixel SPB. It will be described assuming that it includes the blue light emitting device 150.
  • the plurality of light emitting elements (LEDs) are made of light emitting elements (LEDs) emitting light of the same color, and a separate light conversion member that converts light from the plurality of light emitting elements (LEDs) into light of a different color is used.
  • images of various colors may be displayed, but the present invention is not limited thereto.
  • the plurality of light emitting devices LEDs include a red light emitting device 130 disposed on a red sub-pixel SPR, a green light emitting device 140 disposed on a green sub-pixel SPG, and a blue light emitting device 140 disposed on a blue sub-pixel SPB.
  • a light emitting device 150 may be included.
  • Each of the red light emitting device 130, the green light emitting device 140, and the blue light emitting device 150 may include a first semiconductor layer, a second semiconductor layer, a first electrode, and a second electrode in common.
  • the red light emitting device 130 includes a light emitting layer emitting red light
  • the green light emitting device 140 includes a light emitting layer emitting green light
  • the blue light emitting device 150 includes a light emitting layer emitting blue light. can do.
  • a second semiconductor layer 133 is disposed on the first semiconductor layer 131 .
  • the first semiconductor layer 131 and the second semiconductor layer 133 may be layers formed by doping a specific material with n-type and p-type impurities.
  • the first semiconductor layer 131 and the second semiconductor layer 133 may include an AlInGaP-based semiconductor layer, for example, a p-p material such as indium aluminum phosphide (InAlP) or gallium arsenide (GaAs). It may be a layer doped with n-type or n-type impurities.
  • the p-type impurity may be magnesium (Mg), zinc (Zn), or beryllium (Be), and the n-type impurity may be silicon (Si), germanium (Ge), or tin (Sn), but is not limited thereto. don't
  • a light emitting layer 132 emitting red light is disposed between the first semiconductor layer 131 and the second semiconductor layer 133 .
  • the light emitting layer 132 may emit light by receiving holes and electrons from the first semiconductor layer 131 and the second semiconductor layer 133 .
  • the light emitting layer 132 may be formed of a single-layer or multi-quantum well (MQW) structure, for example, may be formed of indium gallium nitride (InGaN) or gallium nitride (GaN), but is not limited thereto. no.
  • the first electrode 134 is disposed on the lower surface of the first semiconductor layer 131
  • the second electrode 135 is disposed on the upper surface of the second semiconductor layer 133 . Accordingly, the first electrode 134 may be referred to as a lower electrode.
  • the first electrode 134 is an electrode bonded to the first assembled wiring 121 exposed through the first opening 117a
  • the second electrode 135 is a pixel electrode PE and a second semiconductor layer 133 which will be described later.
  • the first electrode 134 and the second electrode 135 may be formed of a conductive material.
  • the first electrode 134 may be formed of a eutectic metal.
  • the first electrode 134 may include tin (Sn), indium (In), zinc (Zn), lead (Pb), nickel (Ni), gold (Au), platinum (Pt), or copper (Cu). etc., but is not limited thereto.
  • both the green light emitting device 140 and the blue light emitting device 150 may have the same structure as the red light emitting device 130 .
  • the green light emitting device 140 includes a first electrode, a first semiconductor layer on the first electrode, a green light emitting layer on the first semiconductor layer, a second semiconductor layer on the green light emitting layer, and a second electrode on the second semiconductor layer.
  • the blue light emitting device may also have a structure in which a first electrode, a first semiconductor layer, a blue light emitting layer, a second semiconductor layer, and a second electrode are sequentially stacked.
  • the green light emitting device 140 and the blue light emitting device 150 may be formed of a compound selected from the group consisting of GaN, AlGaN, InGaN, AlInGaN, GaP, AlN, GaAs, AlGaAs, InP, and mixtures thereof. It is not limited to this.
  • an insulating layer surrounding a portion of each of the plurality of light emitting elements may be disposed.
  • the insulating layer may cover at least a side surface of the plurality of light emitting elements (LED) among the outer surfaces of the plurality of light emitting elements (LED).
  • An insulating layer is formed on the light emitting element (LED) to protect the light emitting element (LED), and when the first electrode 134 and the second electrode 135 are formed, the first semiconductor layer 131 and the second semiconductor layer 133 of electrical shorts can be prevented.
  • a third planarization layer 118 may be disposed on the plurality of light emitting devices (LEDs).
  • the third planarization layer 118 may planarize an upper portion of the substrate 110 on which the plurality of light emitting devices (LEDs) are disposed, and the plurality of light emitting devices (LEDs) are formed by the third planarization layer 118 through the first opening ( 117a) can be stably fixed.
  • the third planarization layer 118 may be composed of a single layer or a multi-layer, and may be made of, for example, an acryl-based organic material, but is not limited thereto.
  • a pixel electrode PE may be disposed on the third planarization layer 118 .
  • the pixel electrode PE is an electrode for electrically connecting the plurality of light emitting elements LED and the connection electrode CE.
  • the pixel electrode PE may be electrically connected to the light emitting device LED of the first opening 117a and the connection electrode 123 of the second opening 117b through a contact hole formed in the third planarization layer 118 .
  • the second electrode 135 of the light emitting element LED, the connection electrode 123, and the second transistor TR2 may be electrically connected through the pixel electrode PE.
  • a third layer VDD3 of the high potential power line VDD may be disposed on the third planarization layer 118 .
  • the third layer VDD3 may electrically connect the first layer VDD1 and the second layer VDD2 disposed in different columns.
  • the third layer VDD3 extends between the plurality of sub-pixels SP in a row direction, and electrically connects the plurality of second layers VDD2 of the high potential power line VDD extending in the column direction to each other. can be connected to Also, since the plurality of high-potential power lines VDD are connected in a mesh form through the third layer VDD3, a voltage drop phenomenon may be reduced.
  • a black matrix BM may be disposed on the third planarization layer 118 .
  • the black matrix BM may be disposed between the plurality of sub-pixels SP on the third planarization layer 118 .
  • the black matrix BM can reduce color mixing between a plurality of sub-pixels SP.
  • the black matrix BM may be made of an opaque material, for example, black resin, but is not limited thereto.
  • a protective layer 119 may be disposed on the pixel electrode PE, the third planarization layer 118 , and the black matrix BM.
  • the protective layer 119 is a layer for protecting components under the protective layer 119, and may be composed of a single layer or multiple layers of light transmitting epoxy, silicon oxide (SiOx), or silicon nitride (SiNx), but is not limited thereto. .
  • the plurality of second assembled wires 122 are spaced apart from the plurality of light emitting elements LEDs, and only the plurality of first assembled wires 121 are in contact with the plurality of light emitting elements LEDs. can This is to prevent defects caused by the plurality of light emitting elements (LEDs) contacting both the plurality of first assembly wires 121 and the plurality of second assembly wires 122 during the manufacturing process of the display device 100.
  • a third passivation layer 116 may be formed on the second assembly lines 122 of the first assembly line 122 , and the plurality of light emitting devices (LEDs) may be brought into contact only with the plurality of first assembly lines 121 .
  • 5A to 5F are process charts for explaining a method of manufacturing a display device according to an embodiment.
  • 5A and 5B are process diagrams for explaining a process of self-assembling a plurality of light emitting devices (LEDs) in the first opening 117a.
  • 5C is a schematic plan view of a mother substrate 10 used for self-assembly of a plurality of light emitting devices (LEDs).
  • 5D is a diagram schematically illustrating an electrical connection relationship between a plurality of assembly wires 120 and assembly pads PD.
  • 5E is a schematic plan view of the plurality of substrates 110 formed by scribing the mother substrate 10 after self-assembly of the plurality of light emitting devices (LEDs) is completed.
  • 5F is a schematic cross-sectional view of region X of FIG. 5E.
  • a light emitting device is inserted into a chamber (CB) filled with a fluid (WT).
  • the fluid WT may include water or the like, and the chamber CB filled with the fluid WT may have an open top.
  • the mother substrate 10 may be placed on the chamber CB filled with the light emitting device LED.
  • the mother substrate 10 is a substrate composed of a plurality of substrates 110 constituting the display device 100, and when a plurality of light emitting devices (LEDs) are self-assembled, a plurality of assembly wires 120 and a second planarization layer 117 ) can be used.
  • LEDs light emitting devices
  • the mother substrate 10 formed with the first and second assembly lines 121 and 122 and the second planarization layer 117 is placed on the chamber CB or inserted into the chamber CB.
  • the mother substrate 10 may be positioned such that the first opening 117a of the second planarization layer 117 and the fluid WT face each other.
  • a magnet MG may be placed on the mother substrate 10 .
  • the light emitting devices LEDs sinking or floating on the bottom of the chamber CB may move toward the mother substrate 10 by the magnetic force of the magnet MG.
  • the light emitting element LED may include a magnetic material to move by a magnetic field.
  • the first electrode 134 or the second electrode 135 of the light emitting device (LED) may include a ferromagnetic material such as iron, cobalt, or nickel.
  • the light emitting element (LED) moved toward the second planarization layer 117 by the magnet MG is generated through the first opening ( 117a) can be self-assembled.
  • An AC voltage may be applied to the plurality of first assembled wires 121 and the plurality of second assembled wires 122 to form an electric field.
  • the light emitting element LED may be dielectrically polarized by such an electric field to have a polarity. Further, the dielectric polarized light emitting device (LED) may be moved or fixed in a specific direction by dielectrophoresis (DEP), that is, an electric field. Accordingly, the plurality of light emitting devices (LEDs) may be fixed in the first opening 117a of the second planarization layer 117 using dielectrophoresis.
  • the mother board 10 is 180 can also be reversed. If the mother board 10 is overturned in a state where no voltage is applied to the plurality of first assembly wires 121 and the plurality of second assembly wires 122, the plurality of light emitting elements LEDs are formed through the first opening ( 117a) may deviate. Therefore, the mother board 10 may be turned over in a state in which voltage is applied to the plurality of first assembly wires 121 and the plurality of second assembly wires 122 , and subsequent processes may be performed.
  • the mother board 10 may be turned over in a state in which voltage is applied to the plurality of first assembly wires 121 and the plurality of second assembly wires 122 , and subsequent processes may be performed.
  • the first electrode 134 of the light emitting element LED may be bonded to the first assembly line 121 through eutectic bonding.
  • Eutectic bonding is a bonding method by thermal compression at high temperature, and is one of the bonding processes that is very robust and highly reliable. The eutectic bonding method not only realizes high bonding strength, but also has an advantage of not needing to apply a separate adhesive material from the outside.
  • bonding methods of the plurality of light emitting devices may be configured in various ways other than eutectic bonding, but are not limited thereto.
  • the plurality of first assembly wires 121 and the plurality of second assembly wires 122 may be connected to different assembly pads PD, so that different voltages may be applied thereto.
  • the assembly lines 120 on the plurality of substrates 110 form the assembly pads PD outside the plurality of substrates 110 .
  • a plurality of assembly pads PD and a plurality of assembly line connection parts PL are disposed on the mother substrate 10 along with the plurality of substrates 110 constituting the display device 100 .
  • the plurality of assembly pads (PD) are pads for applying a voltage to the plurality of assembly wires 120, and are electrically connected to the plurality of assembly wires 120 disposed on each of the plurality of substrates 110 constituting the mother board 10. can be connected to The plurality of assembly pads PD may be formed outside the substrate 110 of the display device 100 on the mother substrate 10, and when the manufacturing process of the display device 100 is completed, the substrate of the display device 100 ( 110) can be separated. For example, when two substrates 110 are formed on the mother substrate 10, the plurality of first assembly wires 121 disposed on each substrate 110 are connected to one assembly pad PD. And, the plurality of second assembly lines 122 may be connected to other assembly pads PD.
  • the plurality of light emitting devices LED
  • the plurality of assembly wires 120 disposed in the plurality of red sub-pixels (SPR) and the plurality of green sub-pixels (SPG) The plurality of assembly lines 120 arranged on the , and the plurality of assembly lines 120 arranged on the plurality of blue sub-pixels SPB may be connected to different assembly pads PD.
  • the plurality of assembly pads PD includes a first assembly pad PD1 , a second assembly pad PD2 , a third assembly pad PD3 , a fourth assembly pad PD4 , and a fifth assembly pad PD5 . and a sixth assembly pad PD6.
  • the first assembly pad PD1 is a pad for applying a voltage to the plurality of first assembly lines 121 disposed in the plurality of red sub-pixels SPR on the mother substrate 10 .
  • the fourth assembly pad PD4 is a pad for applying a voltage to the plurality of second assembly lines 122 disposed in the plurality of red sub-pixels SPR on the mother substrate 10 .
  • the second assembly pad PD2 is a pad for applying a voltage to the plurality of first assembly wires 121 disposed in the plurality of green sub-pixels SPG on the mother substrate 10 .
  • the fifth assembly pad PD5 is a pad for applying a voltage to the plurality of second assembly lines 122 disposed in the plurality of green sub-pixels SPG on the mother substrate 10 .
  • the third assembly pad PD3 is a pad for applying a voltage to the plurality of first assembly wires 121 disposed in the plurality of blue sub-pixels SPB on the mother substrate 10 .
  • the sixth assembly pad PD6 is a pad for applying a voltage to the plurality of second assembly wires 122 disposed in the plurality of blue sub-pixels SPB on the mother substrate 10 .
  • the light emitting element LED may be selectively self-assembled only in a specific sub-pixel SP among the plurality of sub-pixels SP. For example, when the light emitting device LED is self-assembled only in the plurality of red sub-pixels SPR, the plurality of red sub-pixels SPR are assembled through the first and fourth assembly pads PD1 and PD4. A voltage may be applied only to the plurality of first assembly wires 121 and the plurality of second assembly wires 122 disposed thereon.
  • the assembly line connection part PL is a wiring connecting the plurality of assembly lines 120 and the plurality of assembly pads PD on each substrate 110 .
  • the assembly line connecting part PL has one end connected to the plurality of assembly pads PD and the other end extending onto the plurality of substrates 110 to form a plurality of first assembly wires 121 and a plurality of second assembly wires 122 . ) and electrically connected.
  • the assembled wiring connection part PL includes a first connection part PL1, a second connection part PL2, a third connection part PL3, a fourth connection part PL4, a fifth connection part PL5, and a sixth connection part PL6. do.
  • the first connection part PL1 is a wire electrically connecting the first assembly line 121 disposed in the plurality of red sub-pixels SPR on the mother substrate 10 and the first assembly pad PD1.
  • the fourth connection part PL4 is a wire electrically connecting the second assembly line 122 disposed in the plurality of red sub-pixels SPR on the mother substrate 10 and the fourth assembly pad PD4.
  • the first connection part PL1 extends to each of the plurality of substrates 110 at the other end and includes a plurality of first assembly wires 121 disposed in the red sub-pixel SPR of each of the plurality of substrates 110 .
  • the fourth connection part PL4 has the other end extended to each of the plurality of substrates 110 and is disposed on the plurality of second assembled wires 122 disposed in the red sub-pixel SPR of each of the plurality of substrates 110. can be electrically connected to
  • the second connection part PL2 is a wire electrically connecting the first assembly line 121 disposed in the plurality of green sub-pixels SPG on the mother substrate 10 and the second assembly pad PD2.
  • the fifth connection part PL5 is a wiring that electrically connects the second assembly line 122 disposed in the plurality of green sub-pixels SPG on the mother substrate 10 and the fifth assembly pad PD5.
  • the third connection part PL3 is a wiring that electrically connects the first assembly line 121 disposed in the plurality of blue sub-pixels SPB on the mother substrate 10 and the third assembly pad PD3.
  • the sixth connection part PL6 is a wiring that electrically connects the second assembly line 122 disposed in the plurality of blue sub-pixels SPB on the mother substrate 10 and the sixth assembly pad PD6.
  • a plurality of first assembly wires 121 disposed on one substrate 110 are connected to one, and a plurality of second assembly wires 122 are also connected to one to form a plurality of first assembly wires 121 and a plurality of second assembly wires 122 .
  • Each of the second assembly lines 122 of the assembly line 122 may be easily connected to the assembly line connection part PL.
  • the first assembly wires 121 disposed in the plurality of red sub-pixels SPR on one substrate 110 are link wires in the non-display area NA of the substrate 110.
  • the second assembly line 122 that is connected to one through the LL and disposed in the plurality of red sub-pixels SPR may also be connected to one through the link line LL in the non-display area NA of the substrate 110.
  • each of the plurality of first assembly lines 121 and the plurality of second assembly lines 122 disposed on one substrate 110 is not individually connected to the assembly line connection part PL, and the non-display area In (NA), a plurality of first assembly wires (121) and a plurality of second assembly wires (122) are connected to each other by connecting a link wire (LL) and an assembly wire connection part (PL) that connect each of the plurality of first assembly wires (121) and the plurality of second assembly wires (122) into one. 121) and the plurality of second assembly lines 122, a voltage for self-assembly of the light emitting device (LED) may be easily applied.
  • LL link wire
  • PL assembly wire connection part
  • the assembly line connecting portion PL may be formed of the same material and process as the plurality of assembly lines 120 or may be formed of a different material and process.
  • the assembled wiring connection unit PL may have a single-layer structure or a multi-layer structure, but is not limited thereto.
  • assembly line connection part PL and the assembly pad PD shown in FIGS. 5C and 5D are exemplary, and the arrangement and shape of the assembly line connection part PL and the assembly pad PD, and the number or order of self-assembly processes. , may vary according to the design of the plurality of sub-pixels SP.
  • the mother substrate 10 is cut along the scribing line SCL to form a plurality of substrates 110.
  • the mother board 10 is scribed, a portion of the assembly line connecting portion PL connecting the plurality of assembly lines 120 and the plurality of assembly pads PD at the edge of the board 110 may be cut. there is. Accordingly, the cut surface of the assembled wiring connecting portion PL may be confirmed on the cut surface of the substrate 110 .
  • the cross-section of the substrate 110, the cross-section of the plurality of insulating layers IL disposed to form the driving circuit or the plurality of wires on the substrate 110, and the plurality of insulating layers A cross section of the assembled wiring connection portion PL disposed between the ILs may be confirmed.
  • a link wire LL connecting the plurality of first assembled wires 121 into one and a plurality of second assembled wires 122 The same voltage can be easily applied to the plurality of first assembling wires 121 and the plurality of second assembly wires 122 through the link wires LL connecting the ) into one.
  • the link wiring LL connecting each of the plurality of first assembly wires 121 and the plurality of second assembly wires 122 into one in the non-display area NA and driving Voltage may be applied to the plurality of first assembly lines 121 and the plurality of second assembly lines 122 by connecting the ICs.
  • the plurality of assembly wires 120 for self-assembly of the plurality of light emitting elements is used as a wire for applying a low potential power supply voltage to the plurality of light emitting elements (LEDs).
  • LEDs light emitting devices floating in the fluid
  • WT a magnetic field
  • different voltages may be applied to the plurality of first assembly wires 121 and the plurality of second assembly wires 122 to form an electric field
  • the plurality of light emitting devices (LEDs) may be connected to the plurality of first assembly wires 121 by the electric field.
  • the opening 117a can be self-assembled into the opening 117a.
  • light is emitted from the first assembly wiring 121 partially exposed in the first opening 117a.
  • the plurality of assembled wires 120 may be used as wires for supplying a low potential voltage to the plurality of light emitting elements LED.
  • the plurality of assembly wires 120 can be used not only for self-assembly of the plurality of light emitting elements (LEDs) but also as wires for driving the plurality of light emitting elements (LEDs).
  • the plurality of assembled wires 120 include a cladding layer, corrosion of the plurality of assembled wires 120 or short-circuit defects may be reduced.
  • the plurality of first assembling wires 121 are composed of a first conductive layer 121a and a first clad layer 121b surrounding the first conductive layer 121a and more resistant to corrosion than the first conductive layer 121a.
  • the second assembling wiring 122 of is composed of a second conductive layer 122a and a second clad layer 122b surrounding the second conductive layer 122a and being more resistant to corrosion than the second conductive layer 122a.
  • the plurality of light emitting devices (LEDs) may be self-assembled by placing the mother substrate 10 on which the plurality of assembly lines 120 are formed in the fluid WT.
  • the assembled wiring 120 may be corroded, and thus a short circuit may occur. Therefore, the second conductive layer 122a of the plurality of second assembly wires 122 can be wrapped with the second passivation layer 115 and the second cladding layer 122b, and the The first conductive layer 121a may be covered with the third passivation layer 116 and the first cladding layer 121b. Therefore, the plurality of assembly lines 120 are formed in a structure including the first cladding layer 121b and the second cladding layer 122b, so that a technical effect of improving reliability of the plurality of assembly lines 120 is obtained. there is.
  • a first opening was formed in the second planarization layer to correspond to the shape and size of the light emitting elements.
  • the first opening is formed to correspond to the size of the light emitting element, the first opening is formed with a minimum size that allows the light emitting element to be assembled into the first opening in consideration of a process margin.
  • the space between the second planarization layer and the light emitting device is narrow, and the area of the first assembly wiring exposed by the second planarization layer is narrow, resulting in a high assembly defect rate.
  • the size of the first opening is excessively increased compared to the light emitting element, so that the light emitting element may be separated from the first opening after self-assembly of the light emitting element, and in the display device. There is a problem that the resolution may be reduced.
  • the first opening 117a into which the light emitting element LED is inserted includes the main opening 117a-1 corresponding to the shape and size of the light emitting element LED and the main opening ( An auxiliary opening 117a-2 extending from 117a-1 may be included.
  • the auxiliary opening 117a-2 is smaller in size than the main opening 117a-1 and the light emitting element LED is not inserted therein.
  • a sufficient space between the planarization layers 117 may be secured. Accordingly, since the area of the first assembly line 121 exposed by the main opening 117a-1 and the auxiliary opening 117a-2 increases, the light emitting element LED may contact the first assembly line 121. Since the available area is also widened, the contact area between the light emitting device (LED) and the first assembly line 121 can be sufficiently secured, and there is a technical effect that assembly defects can be improved.
  • the first assembly line 121 is positioned above the second assembly line 122, and the first electrode 134 of the light emitting element 130 is the first assembly line ( 121). Therefore, since the first assembly line 121 and the second assembly line 122 are disposed on a different layer than the same layer, the electric field asymmetry phenomenon may become more severe, and the first assembly line exposed through the first opening 117a An electric field may be more strongly focused in the space between the (121) and the second planarization layer (117).
  • the first opening 117a includes the auxiliary opening 117a-2 connected to the main opening 117a-1, so that the second flattening layer 117 and the light emission A space between the elements LED may be sufficiently secured. Accordingly, by disposing the additional auxiliary openings 117a-2 in the region where the electric field can be more strongly concentrated, a sufficient space is secured between the second flattening layer 117 and the light emitting device (LED), thereby reducing the intensity of the electric field per unit area. Therefore, the electric field asymmetry phenomenon can be weakened.
  • the display device 200 according to the second embodiment may adopt the characteristics of the display device 100 of FIGS. 1 to 4 .
  • the second embodiment may include a main opening 117a-1 and an auxiliary opening 117a-2 extending from the main opening 117a-1.
  • the plurality of assembly wires 220 may include a plurality of first assembly wires 221 and a plurality of second assembly wires 122 . Both the plurality of first assembly wires 221 and the plurality of second assembly wires 122 may be disposed on the second passivation layer 115 . That is, the first assembly line 221 and the second assembly line 122 may be disposed on the same layer. When the display device 200 is driven, the same low potential voltage may be applied as AC to the plurality of first assembly wires 221 and the plurality of second assembly wires 122 . The plurality of first assembly wires 221 and the plurality of second assembly wires 122 may be alternately disposed. In each of the plurality of sub-pixels SP, one first assembly wire 221 and one second assembly wire 122 may be disposed adjacent to each other.
  • the plurality of first assembly wires 221 include the first conductive layer 221a and the first clad layer 221b
  • the plurality of second assembly wires 122 include the second conductive layer 122a and the second clad layer 221b. layer 122b.
  • the first conductive layer 221a and the second conductive layer 122a may be disposed on the second passivation layer 115 .
  • the first cladding layer 221b and the second cladding layer 122b may contact the first conductive layer 221a and the second conductive layer 122a, respectively.
  • the first clad layer 221b may be disposed to cover the top and side surfaces of the first conductive layer 221a, and the second clad layer 122b may cover the top and side surfaces of the second conductive layer 122a. It can be arranged to cover. Also, the first conductive layer 221a and the second conductive layer 122a may have a thicker thickness than the first cladding layer 221b and the second cladding layer 122b.
  • a third passivation layer 216 is disposed on the first assembly line 221 and the second assembly line 122 .
  • the third passivation layer 216 is an insulating layer for protecting a structure under the third passivation layer 216 .
  • the third passivation layer 216 may function as an insulating layer to prevent a short circuit defect due to migration between the first assembly line 221 and the second assembly line 122 when the display device 200 is manufactured.
  • the plurality of first assembly wires 221 and the plurality of second assembly wires 122 may be spaced apart from each other with the third passivation layer 216 interposed therebetween.
  • a second planarization layer 117 may be disposed on the third passivation layer 216 .
  • the second planarization layer 117 includes a plurality of first openings 117a in which each of the plurality of light emitting elements (LEDs) are seated and a plurality of second openings 117b exposing each of the plurality of connection electrodes 123.
  • the plurality of first openings 117a include a main opening 117a-1 and an auxiliary opening 117a-2 like the display device 100 of FIGS. 2 to 4 .
  • a plurality of light emitting devices may be disposed in the plurality of first openings 117a.
  • the plurality of light emitting elements LEDs include a red light emitting element 230 disposed on the red sub-pixel SPR, a green light emitting element 240 disposed on the green sub-pixel SPG, and a blue light emitting element 240 disposed on the blue sub-pixel SPB.
  • a light emitting device 250 may be included.
  • a second semiconductor layer 133 may be disposed on the first semiconductor layer 131 .
  • a light emitting layer 132 emitting red light is disposed between the first semiconductor layer 131 and the second semiconductor layer 133 .
  • the first electrode 234 may be disposed on the lower surface of the first semiconductor layer 131
  • the second electrode 135 may be disposed on the upper surface of the second semiconductor layer 133 .
  • the red light emitting device 230 may include the first semiconductor layer 131 having a lower surface having a larger area than the upper surface of the first electrode 234 . That is, the first electrode 234 has a smaller area on a plane than the first semiconductor layer 131 . The first electrode 234 overlaps only a portion of the area where the red light emitting element 230 contacts the third passivation layer 216, and the first semiconductor layer 131 and the third passivation layer 216 contact the remaining area. can do.
  • the first electrode 234 of the red light emitting device 230 may be asymmetrically disposed with respect to the center of the first semiconductor layer 131 . That is, the first electrode 234 may be asymmetrically disposed with respect to the center of the plane of the red light emitting device 230 .
  • the first electrode 234 is disposed asymmetrically, and at the same time, the end of the first electrode 234 is disposed on the same plane as the end of the first semiconductor layer 131 or is higher than the end of the first semiconductor layer 1310. It can protrude outward.
  • the auxiliary opening 117a - 2 may be disposed adjacent to the end of the asymmetrically disposed first electrode 234 .
  • the red light emitting device 230 may further include a protective layer 136 .
  • the passivation layer 136 may surround a portion of the first semiconductor layer 131 , the light emitting layer 132 , and the second semiconductor layer 133 .
  • the protective film 135 is formed to protect the first semiconductor layer 131, the light emitting layer 132, and the second semiconductor layer 133 of the red light emitting device 230, and the contact electrode CE and the pixel electrode PE, which will be described later. ), it is possible to prevent short circuit defects during formation.
  • the passivation layer 136 may cover at least a side surface of the red light emitting device 230 among outer surfaces of the red light emitting device 230 .
  • the protective film 136 may include side surfaces and top surfaces of the first semiconductor layer 131 , side surfaces of the light emitting layer 132 , top surfaces of the first semiconductor layer 131 protruding outward from the second semiconductor layer 133 , and the second semiconductor layer 133 . It may be disposed to cover the second electrode 135 .
  • the passivation layer 136 may cover only the side surfaces of the second semiconductor layer 133 and the side surfaces of the light emitting layer 132 or may cover even a portion of the side surface of the first semiconductor layer 131, but is not limited thereto.
  • the red light emitting device 230 is described in FIGS. 6 and 7 , a green light emitting device and a blue light emitting device may also have the same structure and shape as the red light emitting device 230 .
  • a contact electrode CE may be disposed inside the first opening 117a.
  • the contact electrode CE is an electrode electrically connecting the first assembly line 221 overlapping the first opening 117a to the first electrode 234 of the red light emitting element 230 .
  • a contact electrode CE is placed inside the first opening 117a.
  • the contact electrode CE is a side surface of the second planarization layer 117 in the first opening 117a and a first portion of the first assembly line 221 exposed from the third passivation layer 216 in the first opening 117a. It may be in contact with the cladding layer 221b. Also, the contact electrode CE may be disposed on the side surface of the first semiconductor layer 131 , the side surface of the light emitting layer 132 , and the side surface of the second semiconductor layer 133 . However, the contact electrode CE is not disposed on the upper part of the second semiconductor layer 133 protruding outward from the second electrode 135 and on the side surface of the second electrode 135 . In this case, the contact electrode CE and the second electrode 135 are electrically connected by the protective film 136 surrounding the light emitting layer 132, the second semiconductor layer 133, and the second electrode 135, resulting in A short circuit can be prevented.
  • the contact electrode CE is made of a conductive material such as copper (Cu), aluminum (Al), molybdenum (Mo), nickel (Ni), titanium (Ti), chromium (Cr), or an alloy thereof.
  • a conductive material such as copper (Cu), aluminum (Al), molybdenum (Mo), nickel (Ni), titanium (Ti), chromium (Cr), or an alloy thereof.
  • a low potential power supply voltage is applied to at least a part of the plurality of assembly lines 220 for self-assembly of the plurality of light emitting elements (LED).
  • the first electrode 234 By electrically connecting the first electrode 234, there is a technical effect of using the plurality of assembled wires 220 as wires for supplying low potential voltage to the plurality of light emitting elements (LED) when driving the display device 200. .
  • each of the first conductive layer 221a of the plurality of first assembled wires 221 and the second conductive layer 122a of the plurality of second assembled wires 122 is formed by the second passivation layer 115 and the first clad. Since it is covered with the layer 221b and the second cladding layer 122b, there is a technical effect of improving the reliability of the plurality of assembled wires 220.
  • the plurality of first assembly wires 221 and the plurality of second assembly wires 122 may be disposed on the same layer. That is, both the plurality of first assembly wires 221 and the plurality of second assembly wires 122 may be disposed on the second passivation layer 115 . Accordingly, the distance between the light emitting element LED and the first assembly line 221 may be substantially the same as the distance between the light emitting element LED and the second assembly line 122 . Accordingly, in the display device 200 according to the second embodiment, an electric field imbalance that may occur when the light emitting device (LED) is disposed relatively close to either the first assembly line 221 or the second assembly line 122. There are technical effects that can solve the phenomenon.
  • LED light emitting device
  • the first electrode 234 of the light emitting element (LED), eg, the red light emitting element 230, has a smaller area on a plane than the first semiconductor layer. That is, the lower surface of the first semiconductor layer 131 may be wider than the upper surface of the first electrode 234 . Accordingly, in the display device 200 according to the second embodiment, the vertical electric field between the first electrode 234 and the plurality of assembled wires 220 can be reduced, and the electric field gradient is widened so that the light emitting element (LED) can There is a technical effect that the phenomenon of riding on the side of the planarization layer 117 can be minimized.
  • LED light emitting element
  • the first opening 117a into which the light emitting element LED is inserted is the main opening 117a-1 corresponding to the shape and size of the light emitting element LED and the main opening 117a-1. and an auxiliary opening 117a-2 extending from the opening 117a-1.
  • the auxiliary opening 117a-2 is smaller in size than the main opening 117a-1 and the light emitting element LED is not inserted therein.
  • a sufficient space between the planarization layers 117 may be secured.
  • the third passivation layer 216 may be removed with more margin in the space secured by the main opening 117a-1 and the auxiliary opening 117a-2, and thus light emission through the contact electrode CE. There is a technical effect of securing the connection between the first electrode 234 of the device LED and the first assembly wire 221 .
  • the first electrode 234 may be asymmetrically disposed with respect to the center of the first semiconductor layer 131 .
  • the first electrode 234 is not only disposed asymmetrically, but also the end of the first electrode 234 is disposed on the same plane as the end of the first semiconductor layer 131, or the first semiconductor layer 131 It may protrude outward from the end.
  • the auxiliary opening 117a-2 is disposed adjacent to the end of the first electrode 234, even if the first electrode 234 is asymmetrically disposed, the auxiliary opening 117a-2 prevents an asymmetry in the electric field. can alleviate When the first electrode 234 of the light emitting element 230 is asymmetrically disposed and is biased to one side, the electric field may be excessively focused on the corresponding region.
  • the auxiliary opening 117a-2 when the auxiliary opening 117a-2 is disposed in the direction in which the first electrode 234 is disposed, the auxiliary opening 117a-2 fills the space between the light emitting element 230 and the second planarization layer 117. Since it can be sufficiently secured, an electric field asymmetry phenomenon that may occur between the first electrode 234 and the second planarization layer 117 can be alleviated. That is, since the intensity per unit area of an electric field that may occur between the second planarization layer 117 and the first electrode 234 is reduced, the electric field asymmetry phenomenon may be weakened.
  • FIGS. 8A to 8C are enlarged plan views of display devices according to third to fifth embodiments.
  • the display devices 300A, 300B, and 300C of FIGS. 8A to 8C further include a plurality of auxiliary openings 317a-2, which will be described with emphasis. .
  • FIGS. 8A to 8C only the first opening and the red light emitting element among the various configurations of the display devices 300A, 300B, and 300C are illustrated for convenience of description.
  • a plurality of first openings 317a may be disposed in each of a plurality of sub-pixels SP.
  • Each of the plurality of first openings 317a may include a main opening 117a-1 and a plurality of auxiliary openings 317a-2. In this case, there may be a plurality of first openings 317a in one sub-pixel SP.
  • the main opening 117a-1 is an opening into which a plurality of light emitting devices (LEDs) are inserted.
  • the main opening 117a-1 and the plurality of light emitting devices (LEDs) may have circular or elliptical shapes corresponding to each other on a plane, as shown in FIGS. 8A to 8C.
  • the auxiliary opening 317a-2 may be connected to the main opening 117a-1.
  • the number of auxiliary openings 317a-2 connected to one main opening 117a-1 may be plural.
  • the plurality of auxiliary openings 317a - 2 may be disposed adjacent to at least an end of the first electrode 234 of the red light emitting element 230 . That is, when the first electrode 234 of the red light emitting device 230 is asymmetrically disposed, the plurality of auxiliary openings 317a - 2 may be disposed in the region where the first electrode 234 is disposed.
  • the plurality of auxiliary openings 317a-2 surround the main opening 117a-1. can be placed as Meanwhile, although not shown in the drawing, the green light emitting element and the blue light emitting element may be equally applied to the first opening 317a in which the green light emitting element and the blue light emitting element are disposed.
  • the first opening 317a may include a main opening 117a-1 and two auxiliary openings 317a-2.
  • One of the auxiliary openings 317a - 2 may be disposed adjacent to the end of the first electrode 234 .
  • the remaining auxiliary openings 317a-2 may be disposed on opposite sides of the main opening 117a-2. Therefore, even if the first electrode 234 is located on the opposite side of the expected position during the assembly process of the red light emitting element 230, the red light emitting element 230 and the second planarization layer 117 are formed by the auxiliary opening 317a-2. Enough space can be secured between them.
  • the first opening 317a may include a main opening 117a-1 and three or more auxiliary openings 317a-2. Although the number of auxiliary openings 317a-2 is illustrated in FIG. 8B as five, it is not limited thereto. As shown in FIG. 8B , the plurality of auxiliary openings 317a - 2 may be disposed adjacent to ends of the asymmetrically disposed first electrodes 234 . Also, the plurality of auxiliary openings 317a-2 may be arranged to surround about half of the circumference of the main opening 117a-1 having a circular or elliptical shape.
  • the first opening 317a may include a main opening 117a-1 and three or more auxiliary openings 317a-2.
  • the number of auxiliary openings 317a-2 is 8, it is not limited thereto.
  • the plurality of auxiliary openings 317a-2 may be disposed to surround the circumference of the main opening 117a-1 having a circular or elliptical shape, and as shown in FIG. 8C, the entire circumference of the main opening 117a-1. It can be arranged to surround.
  • the first opening 317a since the first opening 317a includes the main opening 117a-1 and the plurality of auxiliary openings 317a-2, the first opening 317a includes the first opening 117a-1. Even if the electrode 234 is partially rotated and disposed at a desired position during the assembly process, a space between the second planarization layer 117 and the first electrode 234 may be secured.
  • the plurality of auxiliary openings 317a-2 are smaller in size than the main opening 117a-1 so that the light emitting elements (LEDs) are not inserted, but the light emitting elements (LEDs) are not inserted in the area where the plurality of auxiliary openings 317a-2 are disposed. ) and the second planarization layer 117, there is a technical effect of securing a more sufficient space.
  • auxiliary openings 317a-2 are disposed.
  • a gap between the first electrode 234 and the second planarization layer 117 may be secured by disposing the auxiliary opening 317a-2 to surround the circumference of the main opening 117a-1.
  • a sufficient contact area between the light emitting element (LED) and the third passivation layer 216 can be secured, and assembly defects can be improved. There are possible technical effects.
  • FIG. 9 is a schematic enlarged plan view of a display device according to a sixth embodiment.
  • the display device 400 according to the sixth embodiment may adopt the characteristics of the display device 200 of FIGS. 6 to 7 .
  • a main opening 417a-1 and an auxiliary opening 417a-2 extending from the main opening 417a-1 may be included.
  • the planar shapes of the first opening 417a and the red light emitting element 430 are different, and the description will focus on these.
  • the display device 400 Of the various configurations only the first opening and the red light emitting element are shown.
  • each of the plurality of first openings 417a may include a main opening 417a-1 and a plurality of auxiliary openings 417a-2.
  • the main opening 417a-1 is an opening into which a plurality of light emitting elements LEDs are inserted, and the main opening 417a-1 and the plurality of light emitting elements LEDs may have the same polygonal shape on a plane.
  • the main opening 417a-1 and the red light emitting element 430 may have a triangular shape on a plane, but are not limited thereto.
  • the red light emitting device 430 includes a first semiconductor layer 431, a second semiconductor layer 433, a light emitting layer 432 disposed between the first semiconductor layer 431 and the second semiconductor layer 433, and the first semiconductor layer 432.
  • a first electrode 434 disposed on a lower surface of the layer 431 and a second electrode 435 disposed on an upper surface of the second semiconductor layer 433 are included.
  • the first semiconductor layer 431, the second semiconductor layer 433, the light emitting layer 432, and the second electrode 435 are The difference is that the shape on a plane is a triangle, which will be mainly described.
  • the first electrode 434 has a smaller area on a plane than the first semiconductor layer 431 .
  • the lower surface of the first semiconductor layer 431 may have a larger area than the upper surface of the first electrode 434 .
  • the first electrode 434 may be disposed to be adjacent to one vertex of the triangular red light emitting element 430 on a plane.
  • the end of the first electrode 434 is illustrated as being disposed on the same plane as the end of the first semiconductor layer 431, but may protrude outward from the end of the first semiconductor layer.
  • the green light emitting element and the blue light emitting element may also be equally applied to the first opening in which the green light emitting element and the blue light emitting element are disposed.
  • the auxiliary opening 417a-2 may be connected to the main opening 417a-1. In this case, there may be one auxiliary opening 417a-2 connected to one main opening 417a-1.
  • the auxiliary opening 417a-2 may be connected to the main opening 417a-1 into which the light emitting device LED is inserted.
  • the planar shape of the auxiliary opening 417a-2 may correspond to the planar shape of the main opening 417a-1. That is, the auxiliary opening 417a-2 may have a polygonal shape on a plane. Referring to FIG. 9 , the auxiliary opening 417a-2 may have a triangular shape on a plane, but is not limited thereto.
  • the auxiliary opening 417a-2 may be disposed to be connected to one of the plurality of vertices of the main opening 417a-1.
  • the auxiliary opening 417a-2 may be disposed to be connected to one of three vertices of the main opening 417a-1 having a triangular shape on a plane.
  • the first electrode 434 of the red light emitting device 430 may be disposed adjacent to the auxiliary opening 417a-2.
  • the light emitting element LED may be formed in a triangular shape on a plane. Since the light emitting device (LED) has a very small size in micrometers, it is advantageous in terms of manufacturing the light emitting device (LED) in a polygonal shape rather than in a circular shape on a flat surface when manufacturing the light emitting device (LED). . That is, when the side of the light emitting element LED is flat rather than a curved surface, a cutting process or the like may be more advantageous in manufacturing the light emitting element LED. Thus, in the display device 400 according to the sixth embodiment, the light emitting element (LED) is formed in a triangular shape on a flat surface, so that the light emitting element (LED) can be more easily manufactured.
  • the light emitting devices can be more accurately assembled at a desired position through the main opening 417a-1 corresponding to the light emitting devices (LEDs) having a triangular shape on a plane.
  • the probability that the light emitting element LED is rotated and assembled in an undesirable position during assembly process may be reduced. Therefore, in the display device 400 according to the sixth embodiment, there is a technical effect that the assembling rate of the light emitting device can be improved.
  • the auxiliary opening 417a-2 may alleviate the electric field asymmetry. That is, when the auxiliary opening 417a-2 is disposed in the direction in which the first electrode 434 side is disposed, the auxiliary opening 417a-2 is a space between the light emitting element LED and the second planarization layer 117. Since it is possible to sufficiently secure, an electric field asymmetry phenomenon that may occur between the first electrode 434 and the second planarization layer 117 can be alleviated.
  • the display device 400 since the intensity per unit area of an electric field that may occur between the second planarization layer 117 and the first electrode 434 is reduced, the electric field asymmetry phenomenon may be weakened. Therefore, in the display device 400 according to the sixth embodiment, a technical effect that can improve assembly defects such as the light emitting element (LED) riding on the second flattening layer 117 due to a phenomenon in which the electric field is asymmetrically focused there is
  • FIGS. 10A to 11B are enlarged plan views of display devices according to seventh and eighth embodiments.
  • the display devices 500A and 500B of FIGS. 10A and 10B have different auxiliary openings 517a-2 compared to the display device 400 of FIG. 9, and the display devices 600A and 600B of FIGS. 11A and 11B ) has a different first opening 617a compared to the display device 400 of FIG. 9 , and this will be mainly described.
  • FIGS. 10A and 11B only the first opening and the red light emitting element among the various configurations of the display devices 500A, 500B, 600A, and 600B are illustrated for convenience of description.
  • a plurality of first openings 517a are disposed in each of a plurality of sub-pixels SP.
  • Each of the plurality of first openings 517a may include a main opening 417a-1 and a plurality of auxiliary openings 517a-2. In this case, there may be a plurality of first openings 517a in one sub-pixel SP.
  • the main opening 417a-1 is an opening into which a plurality of light emitting devices (LEDs) are inserted.
  • the main opening 417a-1 and the plurality of light emitting devices LED may have a triangular shape on a plane.
  • the auxiliary opening 517a-2 may be connected to the main opening 417a-1.
  • the number of auxiliary openings 517a-2 connected to one main opening 417a-1 may be plural.
  • the first opening 517a may include a main opening 417a-1 and three auxiliary openings 517a-2.
  • Each of the three auxiliary openings 517a-2 may be disposed to correspond to three vertices of the triangular main opening 417a-1.
  • the first electrode 434 of the red light emitting device 430 has a smaller area than the first semiconductor layer 431 on a plane. That is, the area of the lower surface of the first semiconductor layer 431 may be larger than that of the upper surface of the first electrode 434 .
  • the first electrode 434 may be disposed adjacent to one side of the triangular red light emitting element 430 on a plane.
  • the end of the first electrode 434 is illustrated as being disposed on the same plane as the end of the first semiconductor layer 431 , but may protrude outward from the end of the first semiconductor layer 431 .
  • each of the three auxiliary openings 517a-2 may be disposed to correspond to three sides of the triangular main opening 417a-1.
  • the first opening 517a includes the main opening 417a-1 and the plurality of auxiliary openings 517a-2
  • the first electrode ( 434) may be partially rotated and disposed at a desired position during the assembly process, a space between the second planarization layer 117 and the first electrode 434 may be secured.
  • the first electrode 434 can be rotated and disposed when the light emitting element LED is assembled and disposed in the main opening. is a total of three That is, when the first electrode 434 is disposed corresponding to the vertex and when it is disposed corresponding to the side, the light emitting element LED may be disposed in three cases, respectively.
  • the plurality of auxiliary openings 517a-2 are disposed corresponding to vertices or sides, so that the first electrode is assembled during the assembling process. Even if the 434 is rotated and assembled at a desired position, there is a technical effect of securing a space between the second planarization layer 117 and the first electrode 434 .
  • the plurality of auxiliary openings 517a-2 are smaller in size than the main opening 417a-1 so that the light emitting elements (LEDs) are not inserted, but the light emitting elements are located in the area where the plurality of auxiliary openings 517a-2 are disposed.
  • a space between the LED and the second planarization layer 117 may be more sufficiently secured. Accordingly, in the assembly process of the light emitting device (LED), even if the light emitting device (LED) is inserted into a desired position, but the first electrode 434 is rotated and disposed at a desired position, a plurality of auxiliary openings 517a-2 are disposed.
  • a distance between the first electrode 434 and the second planarization layer 117 may be secured by being arranged to correspond to all vertices or all sides of the main opening 417a - 1 .
  • a sufficient contact area between the light emitting element (LED) and the third passivation layer 216 can be secured, and assembly defects can be improved. There is a technical effect.
  • each of the plurality of first openings 617a may include a main opening 617a-1 and a plurality of auxiliary openings 617a-2.
  • the main opening 617a-1 is an opening into which a plurality of light emitting elements LEDs are inserted, and the main opening 617a-1 and the plurality of light emitting elements LEDs may have the same polygonal shape on a plane.
  • the main opening 617a-1 and the red light emitting device 630 may have a rectangular shape on a plane, but are not limited thereto.
  • the red light emitting device 630 includes a first semiconductor layer 631, a second semiconductor layer 633, a light emitting layer 632 disposed between the first semiconductor layer 631 and the second semiconductor layer 633, and the first semiconductor layer 632.
  • a first electrode 634 disposed on a lower surface of the layer 631 and a second electrode 635 disposed on an upper surface of the second semiconductor layer 633 may be included.
  • the red light emitting device 630 of the display devices 600A and 600B according to the ninth and tenth embodiments is compared to the red light emitting device 130 of FIGS. 6 and 7 according to the second embodiment, and the first semiconductor layer ( 631), the second semiconductor layer 633, the light emitting layer 632, and the second electrode 635 are different in that they have a rectangular shape on a plane, and this will be described with emphasis.
  • the first electrode 635 has a smaller area than the first semiconductor layer 631 on a plane. That is, the area of the lower surface of the first semiconductor layer 631 may be larger than that of the upper surface of the first electrode 635 .
  • the first electrode 635 may be disposed adjacent to one side of the red light emitting element 630 having a rectangular shape on a plane, as shown in FIG. 11A, or a rectangular shape on a plane, as shown in FIG. 11B. It may be arranged to be adjacent to one vertex of the red light emitting element 630 of . 11A and 11B, the end of the first electrode 634 is illustrated as being disposed on the same plane as the end of the first semiconductor layer 631, but may protrude outward from the end of the first semiconductor layer 631. .
  • the green light emitting element and the blue light emitting element are not shown in the drawing, and the green light emitting element, the blue light emitting element, and the first opening in which the green light emitting element and the blue light emitting element are disposed may also be applied in the same manner.
  • the auxiliary opening 617a-2 may be connected to the main opening 617a-1.
  • the number of auxiliary openings 617a-2 connected to one main opening 617a-1 may be plural.
  • the main opening 617a-1 is an opening into which a plurality of light emitting devices (LEDs) are inserted.
  • the main opening 617a-1 and the plurality of light emitting devices LED may have a rectangular shape on a plane.
  • the auxiliary opening 617a-2 may be connected to the main opening 617a-1.
  • the number of auxiliary openings 617a-2 connected to one main opening 617a-1 may be plural.
  • the first opening 617a may include a main opening 617a-1 and four auxiliary openings 617a-2.
  • Each of the four auxiliary openings 617a-2 may be disposed to correspond to the four sides of the quadrangular main opening 617a-1.
  • each of the four auxiliary openings 617a-2 may be disposed to correspond to four vertexes of the quadrangular main opening 617a-1.
  • the first electrode ( 634) may be partially rotated and disposed at a desired position during the assembly process, a space between the second planarization layer 117 and the first electrode 634 may be secured. Since the light emitting device LED has a rectangular shape and the main opening 617a-1 also has a rectangular shape, the first electrode 634 is rotated when the light emitting device LED is assembled and disposed in the main opening 617a-1. There are a total of four cases that can be placed.
  • the light emitting element LED may be disposed in four cases respectively. Accordingly, in the display devices 600A and 600B according to the ninth and tenth embodiments, the plurality of auxiliary openings 617a-2 are disposed corresponding to vertices or sides, so that the first electrode is assembled during the assembling process. Even when the 634 is rotated and assembled at a desired position, a space between the second planarization layer 117 and the first electrode 634 may be secured.
  • the plurality of auxiliary openings 617a-2 are smaller in size than the main opening 617a-1 so that the light emitting elements (LEDs) are not inserted, but the light emitting elements are located in the area where the plurality of auxiliary openings 617a-2 are disposed.
  • a space between the LED and the second planarization layer 117 may be more sufficiently secured. Therefore, in the process of assembling the light emitting device (LED), even if the light emitting device (LED) is inserted into a desired position but the first electrode 634 is rotated and disposed at a desired position, a plurality of auxiliary openings 617a-2 are disposed.
  • a distance between the first electrode 634 and the second planarization layer 117 may be secured by being arranged to correspond to all vertices or all sides of the main opening 617a - 1 . Accordingly, in the display devices 600A and 600B according to the ninth and tenth embodiments, a sufficient contact area between the light emitting element (LED) and the third passivation layer 216 can be secured, and assembly defects can be improved. .
  • LED light emitting element
  • FIG. 12 is a cross-sectional view of a display device 700 according to an eleventh embodiment.
  • the display device 700 according to the eleventh embodiment may adopt the features of FIGS. 6 and 7 .
  • a main opening 117a-1 and an auxiliary opening 117a-2 extending from the main opening 117a-1 may be included.
  • a description will be given focusing on a display device including a side wiring.
  • a display device 700 includes a main opening 117a-1 and an auxiliary opening 117a-2 extending from the main opening 117a-1.
  • the first assembling wire 121 and the second assembling wire 122 may be disposed on the second passivation layer 115 to overlap an opening region where the light emitting device 130 is assembled.
  • the second insulating layer 116 - 2 may be disposed on the first clad layer 121b of the first assembly line 121 .
  • the side wiring 125 is disposed in the opening 117a-1 to be electrically connected to the first electrode 134 of the light emitting element 130 and may come into contact with the sidewall of the opening 117a-1.
  • the eleventh embodiment includes the auxiliary opening 117a-2, and since the area remaining after the light emitting element 130 is assembled in the assembly hole is sufficiently secured, it is electrically connected to the first electrode 134 of the light emitting element 130. There is a technical effect of uniformly forming the connected side wiring, and there is a technical effect of reducing the number of process steps because there is no need to perform a process of ashing the partition wall on the side of the assembly hole.
  • FIG. 13 is a cross-sectional view of a display device 800 according to a twelfth embodiment.
  • the display device 800 according to the twelfth embodiment may adopt the features of FIGS. 6 and 7 .
  • a main opening 117a-1 and an auxiliary opening 117a-2 extending from the main opening 117a-1 may be included.
  • the difference in the shape of the assembled wiring 1020 will be mainly described.
  • the first clad layer 1021b of the first assembly line 1021 may extend from the first conductive layer 1021a toward the second assembly line 1022 .
  • the second clad layer 1022b of the second assembly line may extend from the second conductive layer 1022a toward the first assembly line 1021 .
  • the first cladding layer 1021b and the second cladding layer 1022b are disposed with the third passivation layer 116 interposed therebetween, and may overlap each other.
  • the first cladding layer 1021b may have a predetermined electrode hole 1023 in an area overlapping the light emitting element 130 and the second cladding layer 1022b.
  • a width of the electrode hole 1023 may be smaller than that of the light emitting device 130 .
  • an AC voltage may be applied to the first cladding layer 1021b and the second cladding layer 1022b to form an electric field.
  • the DEP force caused by the electric field may be concentrated in the electrode hole 1023 provided in the second cladding layer 1022b.
  • the light emitting device 130 may be self-assembled into the first opening 117a by the concentrated dielectrophoretic force (DEP force).
  • the second cladding layer 1022b may be disposed below the light emitting element 130 . Also, the first cladding layer 1021b may contact the first electrode 134 of the light emitting element 130 .
  • the second cladding layer 1022b is disposed on the lower surface of the first electrode 134 of the light emitting element 130, the light emitting element 130 is uniformly supported and a wide electrical contact area is secured with the carrier.
  • the injection efficiency is improved and the luminous efficiency is improved and the luminance is improved.
  • FIG. 14 is a diagram showing in detail the assembled wiring 1020 in the display device 800 according to the twelfth embodiment.
  • the first cladding layer 1021b may include a 1-1 cladding layer 1021b1 , a 1-2 cladding layer 1021b2 , and a 1-3 cladding layer 1021b3 .
  • the 1-2 cladding layer 1021b2 may be a protrusion electrode extending from the 1-1 cladding layer 1021b1 toward the second cladding layer 1022b.
  • the second clad layer 1022b may include a 2-1 clad layer 1022b1, a 2-2 clad layer 1022b2, and a 2-3 clad layer 1022b3.
  • the 2-2 cladding layer 1022b2 may be a protruding electrode extending from the 2-1 cladding layer 1022b1 toward the first cladding layer 1021b.
  • the 1-2 cladding layer 1021b2 and the 2-2 cladding layer 1022b2 may vertically overlap each other.
  • the 1-2 cladding layer 1021b2 may include an electrode hole 1023 . Accordingly, the DEP force can be concentrated in the electrode hole 1023 of the first cladding layer 1021b, and the uniform Dep force is distributed in the assembly hole 1023, thereby improving the assembly force.
  • the 1-3 cladding layer 1021b3 connecting the 1-1 cladding layer 1022b1 and 1-2 cladding layer 1021b2 may be arranged to have an inclined surface.
  • the first conductive layer 1021a is disposed in an area other than the first opening 117a, thereby having a technical effect of reducing the thickness of the panel.
  • the display device including the semiconductor light emitting device according to the above-described embodiment has a technical effect in that wiring for self-assembly of the light emitting device can also be used as a wiring for driving the light emitting device.
  • the embodiment has a technical effect of minimizing the occurrence of defects during self-assembly or bonding of the light emitting device by forming the structure of a plurality of assembly lines in various ways.
  • the embodiment has a technical effect capable of minimizing corrosion and short circuit defects of a plurality of assembled wires.
  • the embodiment has a technical effect of stably bonding a plurality of light emitting elements by reducing a step between a plurality of assembled wires.
  • the embodiment has a technical effect of forming a symmetrical electric field by securing a wide electric field gradient by reducing the area of the first electrode of the light emitting device.
  • the embodiment has a technical effect of reducing assembly defects of the light emitting device by preventing an electric field from being concentrated on the barrier rib at the side of the opening through a change in the shape of the first electrode and the opening of the light emitting device.
  • the embodiment has a technical effect of forming a uniform side wiring by changing the shape of the opening.
  • the embodiment has a technical effect of improving assembly force with respect to the light emitting device by arranging a plurality of assembly lines to vertically overlap each other.
  • NA non-display area
  • SP sub-pixel
  • gate insulating layer 113 first passivation layer
  • first planarization layer 115 second passivation layer
  • 121a, 221a, 1021a first conductive layer 121b, 221b, 1021b: first cladding layer
  • 1021b2 1st-2nd clad layer
  • 1021b3 1st-3rd clad layer
  • connection electrode 123a first connection layer
  • LED light emitting element 130, 230, 430, 630: red light emitting element
  • first semiconductor layer 132, 432, 632 light emitting layer
  • VDD high potential power wire
  • VDD1 first layer
  • VDD2 second layer
  • VDD3 3rd layer TR1: 1st transistor
  • ACT1 first active layer GE1: first gate electrode
  • TR2 second transistor ACT2: second active layer
  • PE pixel electrode BM: black matrix
  • SCL scribing line IL: multiple insulating layers
  • the embodiment may be adopted in the display field for displaying images or information.
  • the embodiment may be adopted in the display field for displaying images or information using a semiconductor light emitting device.
  • the embodiment may be adopted in the display field for displaying images or information using micro-level or nano-level semiconductor light emitting devices.

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Abstract

실시예에 따른 반도체 발광 소자를 포함하는 디스플레이 장치는, 기판, 기판 상에서 서로 이격되어 배치된 제1 조립 배선 및 제2 조립 배선, 제1 조립 배선 및 제2 조립 배선 상에 배치되고 제1 조립 배선 및 제2 조립 배선과 중첩하는 개구부를 갖는 평탄화층, 개구부 내측에 배치되고 제1 조립 배선에 전기적으로 연결된 제1 전극을 포함하는 발광 소자를 포함하고, 개구부는 메인 개구부 및 메인 개구부와 연결되고 메인 개구부보다 작은 하나 이상의 보조 개구부를 포함한다.

Description

반도체 발광 소자를 포함하는 디스플레이 장치
실시예는 디스플레이 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치에 관한 것이다.
컴퓨터의 모니터나 TV, 핸드폰 등에 사용되는 디스플레이 장치에는 스스로 광을 발광하는 유기 발광 디스플레이(Organic Light Emitting Display; OLED) 등과 별도의 광원을 필요로 하는 액정 디스플레이(Liquid Crystal Display; LCD), 마이크로-LED 디스플레이 등이 있다.
마이크로-LED 디스플레이는 100㎛ 이하의 직경 또는 단면적을 가지는 반도체 발광소자인 마이크로-LED를 표시소자로 사용하는 디스플레이이다.
마이크로-LED 디스플레이는 반도체 발광소자인 마이크로-LED를 표시소자로 사용하기 때문에 명암비, 응답속도, 색 재현율, 시야각, 밝기, 해상도, 수명, 발광효율이나 휘도 등 많은 특성에서 우수한 성능을 가지고 있다.
특히 마이크로-LED 디스플레이는 화면을 모듈 방식으로 분리, 결합할 수 있어 크기나 해상도 조절이 자유로운 장점 및 플렉서블 디스플레이 구현이 가능한 장점이 있다.
그런데 대형 마이크로-LED 디스플레이는 수백만 개 이상의 마이크로-LED가 필요로 하기 때문에 마이크로-LED를 디스플레이 패널에 신속하고 정확하게 전사하기 어려운 기술적 문제가 있다. 한편, 반도체 발광 소자를 기판에 전사하는 방법에 있어서, 픽앤-플레이스 공법(pick and place process), 레이저 리프트 오프법(Laser Lift-off method) 또는 자가조립 방식(self-assembly method) 등이 있다.
이 중에서, 자가조립 방식은 유체 내에서 반도체 발광 소자가 조립위치를 스스로 찾아가는 방식으로서 대화면의 디스플레이 장치의 구현에 유리한 방식이다.
한편, 발광 소자를 유체 내에서 전사하는 경우 조립 배선이 유체에 의해 부식되는 문제가 발생하고 있다. 조립 배선의 부식으로 인해 전기적 단락이 발생될 수 있으며, 조립 불량의 문제가 발생될 수 있다. 또한 원활한 자가 조립을 위해 조립 배선과 발광 소자 간의 접촉면적 확보가 중요한 상황이다.
실시예의 기술적 과제는 조립 배선을 다양한 형태로 구현하여 발광 소자의 조립율을 향상시킨 디스플레이 장치를 제공하는 것이다.
또한, 실시예의 기술적 과제는 조립 배선의 부식을 최소화한 디스플레이 장치를 제공하는 것이다.
또한, 실시예의 기술적 과제는 조립 배선 간의 단차를 저감하여 발광 소자를 용이하게 본딩 가능한 디스플레이 장치를 제공하는 것이다.
또한, 실시예의 기술적 과제는 발광 소자의 제1 전극의 크기를 줄여 전기장 쏠림 현상을 개선한 디스플레이 장치를 제공하는 것이다.
또한, 실시예의 기술적 과제는 발광 소자의 제1 전극 및 개구부의 형상 변경을 통해 발광 소자를 용이하게 본딩할 수 있는 디스플레이 장치를 제공하는 것이다.
또한, 실시예의 기술적 과제는 발광 소자를 구동시키는 측면 배선이 균일하게 형성된 디스플레이 장치를 제공하는 것이다.
또한, 실시예의 기술적 과제는 발광 소자의 조립력이 향상된 디스플레이 장치를 제공하는 것이다.
실시예의 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
실시예에 따른 반도체 발광 소자를 포함하는 디스플레이 장치는 기판; 상기 기판 상에서 서로 이격되어 배치된 제1 조립 배선 및 제2 조립배선; 상기 제1 조립 배선 및 상기 제2 조립 배선 상에 배치되고, 상기 제1 조립 배선 및 상기 제2 조립 배선과 중첩하는 개구부를 갖는 평탄화층; 및 상기 개구부 내측에 배치되고, 상기 제1 조립 배선에 전기적으로 연결된 제1 전극을 포함하는 발광 소자를 포함하고, 상기 개구부는 메인 개구부 및 상기 메인 개구부와 연결되고 상기 메인 개구부보다 작은 하나 이상의 보조 개구부를 포함할 수 있다.
또한, 실시예에서 상기 제1 조립 배선은 상기 제2 조립 배선보다 상부에 위치하고, 상기 제1 전극은 상기 제1 조립 배선과 접하고, 상기 보조 개구부는 상기 제1 조립 배선과 중첩할 수 있다.
또한, 실시예에서 상기 제1 조립 배선과 상기 개구부가 중첩하는 영역은 상기 제2 조립 배선과 상기 개구부가 중첩하는 영역보다 넓을 수 있다.
또한, 실시예는 상기 제1 조립 배선과 상기 제2 조립 배선은 동일 층에 배치되고,
상기 발광 소자는 상기 제1 전극 상에 배치되고, 상기 제1 전극의 상면보다 면적이 넓은 하면을 갖는 제1 반도체층을 더 포함하고, 상기 제1 전극은 상기 제1 반도체층의 중심을 기준으로 비대칭적으로 배치될 수 있다.
또한, 실시예에서 상기 제1 전극의 끝단은 상기 제1 반도체층의 끝단과 동일 평면에 배치되거나, 상기 제1 반도체층의 끝단보다 외측으로 돌출될 수 있다.
또한, 실시예에서 상기 보조 개구부는 상기 제1 전극의 끝단과 인접하도록 배치될 수 있다.
또한, 실시예는 상기 제1 조립 배선 및 상기 제2 조립 배선과 상기 발광 소자 사이에 배치되고, 상기 발광 소자와 상기 평탄화층 사이에 배치된 상기 제1 조립 배선을 노출시키기 위한 컨택홀을 포함하는 패시베이션층; 및 상기 컨택홀을 통해 상기 제1 전극과 상기 제1 조립 배선을 연결하는 컨택 전극을 더 포함할 수 있다.
또한, 실시예에서 상기 메인 개구부 및 상기 발광 소자는 평면 상에서 원형 또는 타원형의 형상을 가질 수 있다.
또한, 실시예에서 상기 보조 개구부는 상기 메인 개구부의 둘레를 둘러싸도록 복수로 배치될 수 있다.
또한, 실시예에서 상기 메인 개구부 및 상기 발광 소자는 평면 상에서 동일한 다각형의 형상을 가질 수 있다.
또한, 실시예에서 상기 보조 개구부는 상기 메인 개구부의 복수의 꼭지점 또는 복수의 변에 연결되도록 배치될 수 있다.
또한, 실시예에 따른 반도체 발광 소자를 포함하는 디스플레이 장치는 복수의 서브 화소가 정의된 기판; 상기 복수의 서브 화소 중 동일 라인에 배치된 복수의 서브 화소를 따라 배치된 복수의 제1 조립 배선; 상기 복수의 서브 화소 중 동일 라인에 배치된 복수의 서브 화소를 따라 배치되고, 상기 제1 조립 배선 각각과 이웃하게 배치된 복수의 제2 조립 배선; 상기 복수의 제1 조립 배선 및 상기 복수의 제2 조립 배선과 중첩하는 복수의 포켓을 포함하는 평탄화층; 및 상기 복수의 서브 화소 각각에서 상기 복수의 포켓에 배치되고, 디스플레이 장치에 접합되는 하부 전극을 포함하는 복수의 발광 소자를 포함하고, 상기 복수의 포켓 각각은 제1 크기를 갖고 상기 복수의 발광 소자가 배치되는 제1 포켓 및 상기 제1 크기보다 작은 제2 크기를 갖고, 상기 제1 포켓으로부터 연장되는 제2 포켓을 포함할 수 있다.
또한, 실시예에서 상기 복수의 제1 조립 배선은 상기 복수의 제2 조립 배선보다 상부에 위치하고, 상기 하부 전극은 상기 복수의 제1 조립 배선과 접하고,
상기 제2 포켓은 상기 복수의 제1 조립 배선과 중첩할 수 있다.
또한, 실시예에서 상기 복수의 제1 조립 배선과 상기 복수의 제2 조립 배선은 동일 평면상에 배치될 수 있다.
또한, 실시예에서 상기 발광 소자는 상기 하부 전극 상에 배치되는 제1 반도체층을 포함하고, 상기 하부 전극은 상기 제1 반도체층보다 평면상 작은 면적을 가지고, 상기 하부 전극은 상기 제1 반도체층의 중심을 기준으로 비대칭적으로 배치될 수 있다.
또한, 실시예에서 상기 하부 전극의 끝단은 상기 발광 소자의 측면과 일치하거나, 상기 발광 소자의 측면보다 외측으로 돌출될 수 있다.
또한, 실시예에서 상기 제2 포켓은 상기 하부 전극의 끝단과 인접하도록 배치될 수 있다.
또한, 실시예에서 상기 제2 포켓은 상기 제1 포켓의 외곽을 둘러싸도록 복수로 배치될 수 있다.
또한, 실시예에서 상기 제1 조립 배선과 상기 제2 조립 배선은 수직으로 중첩하며, 상기 제1 조립 배선은 상기 제2 조립 배선 및 상기 발광 소자와 수직으로 중첩되는 영역에 전극 홀을 포함할 수 있다.
또한, 실시예에 따른 반도체 발광 소자를 포함하는 디스플레이 장치는 기판;
상기 기판 상에서 서로 이격되어 배치된 제1 조립 배선 및 제2 조립배선;
상기 제1 조립 배선 및 상기 제2 조립 배선 상에 배치되고, 상기 제1 조립 배선 및 상기 제2 조립 배선과 중첩하는 개구부를 갖는 평탄화층;
상기 개구부 내에 배치되며 제1 전극을 포함하는 발광 소자;
상기 개구부 내에 배치되어 상기 제1 전극과 전기적으로 연결되는 측면 배선;
상기 개구부는 메인 개구부 및 상기 메인 개구부와 연결되고 상기 메인 개구부보다 작은 하나 이상의 보조 개구부를 포함하며,
상기 측면 배선은 상기 보조 개구부 내에 배치되고, 상기 개구부의 측벽에 접할 수 있다.
실시예에 의하면 발광 소자의 자가 조립을 위한 배선을 발광 소자의 구동을 위한 배선으로도 활용할 수 있는 기술적 효과가있다.
또한, 실시예는 복수의 조립 배선의 구조를 다양하게 형성하여 발광 소자의 자가 조립이나 본딩 시 불량이 발생하는 것을 최소화할 수 있는 기술적 효과가 있다.
또한, 실시예는 복수의 조립 배선의 부식 및 쇼트 불량을 최소화할 수 있는 기술적 효과가 있다.
또한, 실시예는 복수의 조립 배선 간의 단차를 저감하여 복수의 발광 소자를 안정적으로 본딩할 수 있는 기술적 효과가 있다.
또한, 실시예는 발광 소자의 제1 전극의 면적을 축소시켜 전기장 구배를 넓게 확보하여 전기장을 대칭으로 형성할 수 있는 기술적 효과가 있다.
또한, 실시예는 발광 소자의 제1 전극 및 개구부의 형상 변경을 통해 개구부 측면 격벽부에 전기장이 쏠리는 현상을 방지하여 발광 소자의 조립 불량을 저감할 수 있는 기술적 효과가 있다.
또한, 실시예는 개구부의 형상 변경을 통하여, 균일한 측면 배선을 형성할 수 있는 기술적 효과가 있다.
또한, 실시예는 복수의 조립 배선을 수직으로 중첩되도록 배치하여 발광 소자에 대한 조립력을 향상시킬 수 있는 기술적 효과가 있다.
실시예에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며, 더욱 다양한 효과들이 명세서 내에 포함되어 있다.
도 1은 실시예에 따른 디스플레이 장치의 개략적인 평면도이다.
도 2는 실시예에 따른 디스플레이 장치의 개략적인 확대 평면도이다.
도 3은 도 2의 A 영역에 대한 확대 평면도이다.
도 4는 도 2의 Ⅳ-Ⅳ'에 따른 단면도이다.
도 5a 내지 도 5f는 실시예에 따른 디스플레이 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 공정도들이다.
도 6은 제2 실시예에 따른 디스플레이 장치에 대한 확대 평면도이다.
도 7은 제2 실시예에 따른 디스플레이 장치의 단면도이다.
도 8a는 제3 실시예에 따른 디스플레이 장치에 대한 확대 평면도이다.
도 8b는 제4 실시예에 따른 디스플레이 장치에 대한 확대 평면도이다.
도 8c는 제5 실시예에 따른 디스플레이 장치에 대한 확대 평면도이다.
도 9는 제6 실시예에 따른 디스플레이 장치에 대한 확대 평면도이다.
도 10a 내지 도 11b는 제7 내지 제10 실시예에 따른 디스플레이 장치에 대한 확대 평면도이다.
도 12는 제11 실시예에 따른 디스플레이 장치에 대한 확대 평면도이다.
도 13은 제12 실시예에 따른 디스플레이 장치에 대한 확대 평면도이다.
도 14는 제12 실시예에 따른 디스플레이 장치에서 일부분을 확대한 사시도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 명세서에 개시된 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 이하의 설명에서 사용되는 구성요소에 대한 접미사 '모듈' 및 '부'는 명세서 작성의 용이함이 고려되어 부여되거나 혼용되는 것으로서, 그 자체로 서로 구별되는 의미 또는 역할을 갖는 것은 아니다. 또한, 첨부된 도면은 본 명세서에 개시된 실시예를 쉽게 이해할 수 있도록 하기 위한 것이며, 첨부된 도면에 의해 본 명세서에 개시된 기술적 사상이 제한되는 것은 아니다. 또한, 층, 영역 또는 기판과 같은 요소가 다른 구성요소 '상(on)'에 존재하는 것으로 언급될 때, 이것은 직접적으로 다른 요소 상에 존재하거나 또는 그 사이에 다른 중간 요소가 존재할 수도 있는 것을 포함한다.
본 명세서에서 설명되는 디스플레이 장치에는 디지털 TV, 휴대폰, 스마트 폰(smart phone), 노트북 컴퓨터(laptop computer), 디지털방송용 단말기, PDA(personal digital assistants), PMP(portable multimedia player), 네비게이션, 슬레이트(Slate) PC, 태블릿(Tablet) PC, 울트라 북(Ultra-Book), 데스크탑 컴퓨터 등이 포함될 수 있다. 그러나, 본 명세서에 기재된 실시예에 따른 구성은 추후 개발되는 새로운 제품형태이라도, 디스플레이가 가능한 장치에도 적용될 수 있다.
이하에서는 도면을 참조하여 실시예에 대해 설명하기로 한다.
도 1은 실시예에 따른 디스플레이 장치의 개략적인 평면도이다. 도 1에서는 설명의 편의를 위해 디스플레이 장치(100)의 다양한 구성 요소 중 기판(110) 및 복수의 서브 화소(SP)만을 도시하였다.
실시예에 따른 디스플레이 장치(100)는 얇고 유연한 기판 위에 제작되는 플렉서블 디스플레이(flexible display)를 포함할 수 있다. 플렉서블 디스플레이는 기존의 평판 디스플레이의 특성을 유지하면서, 종이와 같이 휘어지거나 말릴 수 있다.
플렉서블 디스플레이에서 시각정보는 매트릭스 형태로 배치되는 단위 화소(unit pixel)의 발광이 독자적으로 제어됨에 의하여 구현될 수 있다. 단위 화소는 하나의 색을 구현하기 위한 최소 단위를 의미한다. 플렉서블 디스플레이의 단위 화소는 발광소자에 의하여 구현될 수 있다. 실시예에서 발광소자는 Micro-LED나 Nano-LED일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.
기판(110)은 디스플레이 장치(100)에 포함된 다양한 구성 요소를 지지하기 위한 구성으로, 절연 물질로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 기판(110)은 유리 또는 수지 등으로 이루어질 수 있다. 또한, 기판(110)은 고분자 또는 플라스틱을 포함하여 이루어질 수도 있고, 플렉서빌리티(flexibility)를 갖는 물질로 이루어질 수도 있다.
기판(110)은 표시 영역(AA) 및 비표시 영역(NA)을 포함한다.
표시 영역(AA)은 복수의 서브 화소(SP)가 배치되어 영상이 표시되는 영역이다. 복수의 서브 화소(SP) 각각은 빛을 발광하는 개별 단위로, 복수의 서브 화소(SP) 각각에는 발광 소자(LED) 및 구동 회로가 형성된다. 예를 들어, 복수의 서브 화소(SP)는 적색 서브 화소, 녹색 서브 화소, 청색 서브 화소 및/또는 백색 서브 화소 등을 포함할 수 있으며, 이에 제한되는 것은 아니다. 이하에서는 복수의 서브 화소(SP)가 적색 서브 화소, 녹색 서브 화소 및 청색 서브 화소를 포함하는 것으로 가정하여 설명하기로 하나, 이에 제한되는 것은 아니다.
비표시 영역(NA)은 영상이 표시되지 않는 영역으로, 표시 영역(AA)에 배치된 서브 화소(SP)를 구동하기 위한 다양한 배선, 구동 IC 등이 배치되는 영역이다. 예를 들어, 비표시 영역(NA)에는 게이트 드라이버 IC, 데이터 드라이버 IC와 같은 다양한 IC 및 구동 회로 등이 배치될 수 있다. 한편, 비표시 영역(NA)은 기판(110)의 배면, 즉, 서브 화소(SP)가 없는 면에 위치되거나 생략될 수도 있으며, 도면에 도시된 바에 제한되지 않는다.
실시예의 디스플레이 장치(100)는 액티브 매트릭스(AM, Active Matrix)방식 또는 패시브 매트릭스(PM, Passive Matrix) 방식으로 발광소자를 구동할 수 있다.
이하에서는 복수의 서브 화소(SP)에 대한 보다 상세한 설명을 위해 도 2 내지 도 4를 함께 참조한다.
도 2는 실시예에 따른 디스플레이 장치의 개략적인 확대 평면도이다. 도 3은 도 2의 A 영역에 대한 확대 평면도이다. 도 4는 도 2의 Ⅳ-Ⅳ'에 따른 단면도이다. 도 2 내지 도 4를 참조하면, 실시예에 따른 디스플레이 장치(100)는, 복수의 스캔 배선(SL), 복수의 데이터 배선(DL), 복수의 고전위 전원 배선(VDD), 복수의 조립 배선(120), 복수의 기준 배선(RL) 및 블랙 매트릭스(BM)와 복수의 서브 화소(SP) 각각의 제1 트랜지스터(TR1), 제2 트랜지스터(TR2), 제3 트랜지스터(TR3), 스토리지 커패시터(ST), 반도체 발광 소자(LED), 차광층(LS), 버퍼층(111), 게이트 절연층(112), 복수의 패시베이션층(113, 115, 116), 복수의 평탄화층(114, 117, 118), 연결 전극(123) 및 화소 전극(PE) 등을 포함할 수 있다.
도 2 및 도 4를 참조하면, 복수의 데이터 배선(DL), 고전위 전원 배선(VDD)의 제1 층(VDD1) 및 제2 층(VDD2), 복수의 기준 배선(RL) 및 복수의 조립 배선(120)은 복수의 서브 화소(SP) 사이에서 열 방향으로 연장되고, 복수의 스캔 배선(SL) 및 고전위 전원 배선(VDD)의 제3 층(VDD3)은 복수의 서브 화소(SP) 사이에서 행 방향으로 연장될 수 있다. 그리고 복수의 서브 화소(SP) 각각에는 제1 트랜지스터(TR1), 제2 트랜지스터(TR2), 제3 트랜지스터(TR3) 및 스토리지 커패시터(ST)가 배치될 수 있다.
먼저, 고전위 전원 배선(VDD)의 제1 층(VDD1) 및 차광층(LS)이 기판(110) 상에 배치될 수 있다.
고전위 전원 배선(VDD)은 복수의 서브 화소(SP) 각각으로 고전위 전원 전압을 전달하는 배선이다. 복수의 고전위 전원 배선(VDD)은 고전위 전원 전압을 복수의 서브 화소(SP) 각각의 제2 트랜지스터(TR2)로 전달할 수 있다.
한편, 복수의 고전위 전원 배선(VDD)은 단층 또는 복수의 층으로 이루어질 수 있으며, 이하에서는 설명의 편의를 위해 복수의 고전위 전원 배선(VDD)이 복수의 층으로 이루어진 것으로 가정하여 설명하기로 한다.
고전위 전원 배선(VDD)은 복수의 제1 층(VDD1) 및 복수의 제2 층(VDD2)과 이들을 연결하는 복수의 제3 층(VDD3)을 포함한다. 제1 층(VDD1)은 복수의 서브 화소(SP) 각각의 사이에서 열 방향으로 연장될 수 있다.
차광층(LS)이 기판(110) 상에서 복수의 서브 화소(SP) 각각에 배치될 수 있다. 차광층(LS)은 기판(110) 하부에서 후술할 제2 트랜지스터(TR2)의 제2 액티브층(ACT2)으로 입사하는 광을 차단하여, 누설 전류를 최소화할 수 있다.
고전위 전원 배선(VDD)의 제1 층(VDD1) 및 차광층(LS) 상에 버퍼층(111)이 배치된다. 버퍼층(111)은 기판(110)을 통한 수분 또는 불순물의 침투를 저감할 수 있다. 버퍼층(111)은 예를 들어, 실리콘 산화물(SiOx) 또는 실리콘 질화물(SiNx)의 단일층 또는 복층으로 구성될 수 있으나, 이에 제한되지 않는다. 다만, 버퍼층(111)은 기판(110)의 종류나 트랜지스터의 종류에 따라 생략될 수도 있으며, 이에 제한되지 않는다.
복수의 스캔 배선(SL), 복수의 기준 배선(RL), 복수의 데이터 배선(DL), 제1 트랜지스터(TR1), 제2 트랜지스터(TR2), 제3 트랜지스터(TR3) 및 스토리지 커패시터(ST)가 버퍼층(111) 상에 배치될 수 있다.
먼저, 제1 트랜지스터(TR1)가 복수의 서브 화소(SP) 각각에 배치될 수 있다. 제1 트랜지스터(TR1)는 제1 액티브층(ACT1), 제1 게이트 전극(GE1), 제1 소스 전극(SE1) 및 제1 드레인 전극(DE1)을 포함한다. 버퍼층(111) 상에 제1 액티브층(ACT1)이 배치된다. 제1 액티브층(ACT1)은 산화물 반도체, 비정질 실리콘 또는 폴리 실리콘과 같은 반도체 물질로 이루어질 수 있으나, 이에 제한되지 않는다.
게이트 절연층(112)이 제1 액티브층(ACT1) 상에 배치될 수 있다. 게이트 절연층(112)은 제1 액티브층(ACT1)과 제1 게이트 전극(GE1)을 절연시키기 위한 절연층으로, 실리콘 산화물(SiOx) 또는 실리콘 질화물(SiNx)의 단일층 또는 복층으로 구성될 수 있으나, 이에 제한되지 않는다.
제1 게이트 전극(GE1)이 게이트 절연층(112) 상에 배치될 수 있다. 제1 게이트 전극(GE1)은 스캔 배선(SL)과 전기적으로 연결될 수 있다. 제1 게이트 전극(GE1)은 도전성 물질, 예를 들어, 구리(Cu), 알루미늄(Al), 몰리브덴(Mo), 니켈(Ni), 티타늄(Ti), 크롬(Cr) 또는 이에 대한 합금으로 구성될 수 있으나, 이에 제한되지 않는다.
제1 패시베이션층(113)이 제1 게이트 전극(GE1) 상에 배치될 수 있다. 제1 패시베이션층(113)에는 제1 소스 전극(SE1) 및 제1 드레인 전극(DE1) 각각이 제1 액티브층(ACT1)에 접속하기 위한 컨택홀이 형성된다. 제1 패시베이션층(113)은 제1 패시베이션층(113) 하부의 구성을 보호하기 위한 절연층으로, 실리콘 산화물(SiOx) 또는 실리콘 질화물(SiNx)의 단일층 또는 복층으로 구성될 수 있으나, 이에 제한되지 않는다.
제1 액티브층(ACT1)과 전기적으로 연결되는 제1 소스 전극(SE1) 및 제1 드레인 전극(DE1)이 제1 패시베이션층(113) 상에 배치될 수 있다. 제1 드레인 전극(DE1)은 데이터 배선(DL)에 연결될 수 있고, 제1 소스 전극(SE1)은 제2 트랜지스터(TR2)의 제2 게이트 전극(GE2)에 연결될 수 있다. 제1 소스 전극(SE1) 및 제1 드레인 전극(DE1)은 도전성 물질, 예를 들어, 구리(Cu), 알루미늄(Al), 몰리브덴(Mo), 니켈(Ni), 티타늄(Ti), 크롬(Cr) 또는 이에 대한 합금으로 구성될 수 있으나, 이에 제한되지 않는다.
한편, 실시예에서는 제1 소스 전극(SE1) 및 제1 드레인 전극(DE1) 각각이 제2 게이트 전극(GE2) 및 데이터 배선(DL)과 연결된 것으로 설명하였으나, 트랜지스터의 타입에 따라 제1 소스 전극(SE1)이 데이터 배선(DL)에 연결되고, 제1 드레인 전극(DE1)이 제2 트랜지스터(TR2)의 제2 게이트 전극(GE2)에 연결될 수 있으며, 이에 제한되지 않는다.
제1 트랜지스터(TR1)는 제1 게이트 전극(GE1)이 스캔 배선(SL)에 연결되어, 스캔 신호에 따라 턴 온(Turn-on) 또는 턴 오프(Turn-off) 될 수 있다. 제1 트랜지스터(TR1)는 스캔 신호에 기초하여 데이터 전압을 제2 트랜지스터(TR2)의 제2 게이트 전극(GE2)으로 전달할 수 있고, 스위칭 트랜지스터로 지칭될 수 있다.
한편, 제1 게이트 전극(GE1)과 함께 복수의 데이터 배선(DL) 및 복수의 기준 배선(RL)이 게이트 절연층(112) 상에서 배치될 수 있다. 복수의 데이터 배선(DL) 및 기준 배선(RL)은 제1 게이트 전극(GE1)과 동일 물질 및 동일 공정으로 형성될 수 있다.
복수의 데이터 배선(DL)은 복수의 서브 화소(SP) 각각으로 데이터 전압을 전달하는 배선이다. 복수의 데이터 배선(DL)은 데이터 전압을 복수의 서브 화소(SP) 각각의 제1 트랜지스터(TR1)로 전달할 수 있다. 예를 들어, 복수의 데이터 배선(DL)은 적색 서브 화소(SPR)로 데이터 전압을 전달하는 데이터 배선(DL), 녹색 서브 화소(SPG)로 데이터 전압을 전달하는 데이터 배선(DL) 및 청색 서브 화소(SPB)로 데이터 전압을 전달하는 데이터 배선(DL)으로 이루어질 수 있다.
복수의 기준 배선(RL)은 복수의 서브 화소(SP) 각각으로 기준 전압을 전달하는 배선이다. 복수의 기준 배선(RL)은 기준 전압을 복수의 서브 화소(SP) 각각의 제3 트랜지스터(TR3)로 전달할 수 있다.
제2 트랜지스터(TR2)가 복수의 서브 화소(SP) 각각에 배치될 수 있다. 제2 트랜지스터(TR2)는 제2 액티브층(ACT2), 제2 게이트 전극(GE2), 제2 소스 전극(SE2) 및 제2 드레인 전극(DE2)을 포함할 수 있다. 제2 액티브층(ACT2)이 버퍼층(111) 상에 배치될 수 있다. 제2 액티브층(ACT2)은 산화물 반도체, 비정질 실리콘 또는 폴리 실리콘과 같은 반도체 물질로 이루어질 수 있으나, 이에 제한되지 않는다.
게이트 절연층(112)이 제2 액티브층(ACT2) 상에 배치되고, 제2 게이트 전극(GE2)이 게이트 절연층(112) 상에 배치될 수 있다. 제2 게이트 전극(GE2)은 제1 트랜지스터(TR1)의 제1 소스 전극(SE1)과 전기적으로 연결될 수 있다. 제2 게이트 전극(GE2)은 도전성 물질, 예를 들어, 구리(Cu), 알루미늄(Al), 몰리브덴(Mo), 니켈(Ni), 티타늄(Ti), 크롬(Cr) 또는 이에 대한 합금으로 구성될 수 있으나, 이에 제한되지 않는다.
제1 패시베이션층(113)이 제2 게이트 전극(GE2) 상에 배치되고, 제2 소스 전극(SE2) 및 제2 드레인 전극(DE2)이 제1 패시베이션층(113) 상에 배치될 수 있다. 제2 소스 전극(SE2)은 제2 액티브층(ACT2)과 전기적으로 연결된다. 제2 드레인 전극(DE2)은 제2 액티브층(ACT2)과 전기적으로 연결되는 동시에 고전위 전원 배선(VDD)과 전기적으로 연결될 수 있다. 제2 드레인 전극(DE2)은 고전위 전원 배선(VDD)의 제1 층(VDD1)과 제2 층(VDD2) 사이에 배치되어 고전위 전원 배선(VDD)과 전기적으로 연결될 수 있다.
제2 트랜지스터(TR2)는 제2 게이트 전극(GE2)이 제1 트랜지스터(TR1)의 제1 소스 전극(SE1)과 연결되어, 제1 트랜지스터(TR1)의 턴 온 시 전달되는 데이터 전압에 의해 턴 온 될 수 있다. 그리고 턴 온 된 제2 트랜지스터(TR2)는 고전위 전원 배선(VDD)으로부터의 고전위 전원 전압에 기초하여 구동 전류를 발광 소자(LED)로 전달할 수 있으므로, 구동 트랜지스터로 지칭될 수 있다.
제3 트랜지스터(TR3)가 복수의 서브 화소(SP) 각각에 배치될 수 있다. 제3 트랜지스터(TR3)는 제3 액티브층(ACT3), 제3 게이트 전극(GE3), 제3 소스 전극(SE3) 및 제3 드레인 전극(DE3)을 포함할 수 있다. 제3 액티브층(ACT3)이 버퍼층(111) 상에 배치될 수 있다. 제3 액티브층(ACT3)은 산화물 반도체, 비정질 실리콘 또는 폴리 실리콘과 같은 반도체 물질로 이루어질 수 있으나, 이에 제한되지 않는다.
게이트 절연층(112)이 제3 액티브층(ACT3) 상에 배치되고, 제3 게이트 전극(GE3)이 게이트 절연층(112) 상에 배치될 수 있다. 제3 게이트 전극(GE3)은 스캔 배선(SL)과 연결되고, 제3 트랜지스터(TR3)는 스캔 신호에 의해 턴 온 또는 턴 오프 될 수 있다. 제3 게이트 전극(GE3)은 도전성 물질, 예를 들어, 구리(Cu), 알루미늄(Al), 몰리브덴(Mo), 니켈(Ni), 티타늄(Ti), 크롬(Cr) 또는 이에 대한 합금으로 구성될 수 있으나, 이에 제한되지 않는다.
다만, 제3 게이트 전극(GE3) 및 제1 게이트 전극(GE1)이 동일한 스캔 배선(SL)에 연결된 것으로 설명하였으나, 제3 게이트 전극(GE3)은 제1 게이트 전극(GE1)과 서로 다른 스캔 배선(SL)에 연결될 수도 있으며, 이에 제한되지 않는다.
제1 패시베이션층(113)이 제3 게이트 전극(GE3) 상에 배치되고, 제3 소스 전극(SE3) 및 제3 드레인 전극(DE3)이 제1 패시베이션층(113) 상에 배치될 수 있다. 제3 소스 전극(SE3)은 제2 소스 전극(SE2)과 일체로 형성되어, 제3 액티브층(ACT3)과 전기적으로 연결되는 동시에 제2 트랜지스터(TR2)의 제2 소스 전극(SE2)과 전기적으로 연결될 수 있다. 그리고 제3 드레인 전극(DE3)은 기준 배선(RL)과 전기적으로 연결될 수 있다.
구동 트랜지스터인 제2 트랜지스터(TR2)의 제2 소스 전극(SE2), 기준 배선(RL) 및 스토리지 커패시터(ST)와 전기적으로 연결된 제3 트랜지스터(TR3)는 센싱 트랜지스터로 지칭될 수 있다.
스토리지 커패시터(ST)가 복수의 서브 화소(SP) 각각에 배치될 수 있다. 스토리지 커패시터(ST)는 제1 커패시터 전극(ST1) 및 제2 커패시터 전극(ST2)을 포함할 수 있다. 스토리지 커패시터(ST)는 제2 트랜지스터(TR2)의 제2 게이트 전극(GE2)과 제2 소스 전극(SE2) 사이에 연결되고, 전압을 저장하여 발광 소자(LED)가 발광하는 동안 제2 트랜지스터(TR2)의 게이트 전극의 전압 레벨을 일정하게 유지시킬 수 있다.
제1 커패시터 전극(ST1)은 제2 트랜지스터(TR2)의 제2 게이트 전극(GE2)과 일체로 이루어질 수 있다. 이에, 제1 커패시터 전극(ST1)은 제2 트랜지스터(TR2)의 제2 게이트 전극(GE2) 및 제1 트랜지스터(TR1)의 제1 소스 전극(SE1)과 전기적으로 연결될 수 있다.
제1 패시베이션층(113)을 사이에 두고 제1 커패시터 전극(ST1) 상에 제2 커패시터 전극(ST2)이 배치된다. 제2 커패시터 전극(ST2)은 제2 트랜지스터(TR2)의 제2 소스 전극(SE2)이자 제3 트랜지스터(TR3)의 제3 소스 전극(SE3)과 일체로 이루어질 수 있다. 따라서, 제2 커패시터 전극(ST2)은 제2 트랜지스터(TR2) 및 제3 트랜지스터(TR3)와 전기적으로 연결될 수 있다.
한편, 복수의 스캔 배선(SL)이 제1 소스 전극(SE1), 제1 드레인 전극(DE1), 제2 소스 전극(SE2), 제2 드레인 전극(DE2), 제3 소스 전극(SE3), 제3 드레인 전극(DE3) 및 제2 커패시터 전극(ST2)과 함께 제1 패시베이션층(113) 상에 배치될 수 있다.
복수의 스캔 배선(SL)은 복수의 서브 화소(SP) 각각으로 스캔 신호를 전달하는 배선이다. 복수의 스캔 배선(SL)은 스캔 신호를 복수의 서브 화소(SP) 각각의 제1 트랜지스터(TR1)로 전달할 수 있다. 예를 들어, 복수의 스캔 배선(SL) 각각은 행 방향으로 연장되며, 동일 행에 배치된 복수의 서브 화소(SP)로 스캔 신호를 전달할 수 있다.
다음으로, 제1 평탄화층(114)이 복수의 스캔 배선(SL), 복수의 기준 배선(RL), 복수의 데이터 배선(DL), 제1 트랜지스터(TR1), 제2 트랜지스터(TR2), 제3 트랜지스터(TR3) 및 스토리지 커패시터(ST) 상에 배치될 수 있다. 제1 평탄화층(114)은 복수의 트랜지스터가 배치된 기판(110)의 상부를 평탄화할 수 있다. 제1 평탄화층(114)은 단층 또는 복층으로 구성될 수 있으며, 예를 들어, 아크릴(acryl)계 유기 물질로 이루어질 수 있으나, 이에 제한되지 않는다.
제2 패시베이션층(115)이 제1 평탄화층(114) 상에 배치될 수 있다. 제2 패시베이션층(115)은 제2 패시베이션층(115) 하부의 구성을 보호하고, 제2 패시베이션층(115) 상에 형성되는 구성의 점착력을 향상시키기 위한 절연층으로, 실리콘 산화물(SiOx) 또는 실리콘 질화물(SiNx)의 단일층 또는 복층으로 구성될 수 있으나, 이에 제한되지 않는다.
고전위 전원 배선(VDD)의 제2 층(VDD2), 복수의 조립 배선(120) 중 복수의 제2 조립 배선(122) 및 연결 전극(123)이 제2 패시베이션층(115) 상에 배치될 수 있다.
먼저, 복수의 조립 배선(120)은 디스플레이 장치(100)의 제조 시 복수의 발광 소자(LED)를 정렬하기 위한 전기장을 발생시키고, 디스플레이 장치(100)의 구동 시 복수의 발광 소자(LED)로 저전위 전원 전압을 공급하는 배선이다. 이에, 조립 배선(120)은 저전위 전원 배선으로 지칭될 수 있다. 복수의 조립 배선(120)은 동일한 라인에 배치된 복수의 서브 화소(SP)를 따라 열 방향으로 배치된다. 복수의 조립 배선(120)은 동일 열에 배치된 복수의 서브 화소(SP)에 중첩하도록 배치될 수 있다. 예를 들어, 동일 열에 배치된 적색 서브 화소(SPR)에 하나의 제1 조립 배선(121) 및 제2 조립 배선(122)이 배치되고, 녹색 서브 화소(SPG)에 하나의 제1 조립 배선(121) 및 제2 조립 배선(122)이 배치되며, 청색 서브 화소(SPB)에 하나의 제1 조립 배선(121) 및 제2 조립 배선(122)이 배치될 수 있다.
복수의 조립 배선(120)은 복수의 제1 조립 배선(121) 및 복수의 제2 조립 배선(122)을 포함할 수 있다. 디스플레이 장치(100) 구동 시, 복수의 제1 조립 배선(121) 및 복수의 제2 조립 배선(122)에는 동일한 저전위 전압이 교류로 인가될 수 있다. 복수의 제1 조립 배선(121) 및 복수의 제2 조립 배선(122)은 교대로 배치될 수 있다. 그리고 복수의 서브 화소(SP) 각각에서 하나의 제1 조립 배선(121) 및 하나의 제2 조립 배선(122)은 서로 인접하게 배치될 수 있다.
복수의 제1 조립 배선(121) 및 복수의 제2 조립 배선(122)은 도전성 물질, 예를 들어, 구리(Cu) 및 크롬(Cr) 등의 물질로 이루어질 수 있으며, 이에 제한되는 것은 아니다.
복수의 제2 조립 배선(122)은 제2 도전층(122a) 및 제2 클래드층(122b)을 포함할 수 있다. 제2 도전층(122a)은 제2 패시베이션층(115) 상에 배치될 수 있다. 제2 클래드층(122b)은 제2 도전층(122a)에 접할 수 있다. 예를 들어, 제2 클래드층(122b)은 제2 도전층(122a)의 상면과 측면을 덮도록 배치될 수 있다. 그리고 제2 도전층(122a)은 제2 클래드층(122b)보다 두꺼운 두께를 가질 수 있다.
제2 클래드층(122b)은 제2 도전층(122a)보다 부식에 강한 물질로 이루어져 디스플레이 장치(100) 제조 시 제2 조립 배선(122)의 제2 도전층(122a)과 제1 조립 배선(121)의 제1 도전층(121a) 간의 마이그레이션(migration)에 의한 쇼트 불량을 최소화할 수 있는 기술적 효과가 있다. 예를 들어, 제2 클래드층(122b)은 몰리브덴(Mo), 몰리브덴 티타늄(MoTi) 등으로 이루어질 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.
고전위 전원 배선(VDD)의 제2 층(VDD2)이 제2 패시베이션층(115) 상에 배치될 수 있다. 제2 층(VDD2)은 복수의 서브 화소(SP) 각각의 사이에서 열 방향으로 연장되며, 제1 층(VDD1)과 중첩할 수 있다. 제1 층(VDD1)과 제2 층(VDD2)은 제1 층(VDD1)과 제2 층(VDD2) 사이에 형성된 절연층들에 형성된 컨택홀을 통해 전기적으로 연결될 수 있다. 제2 층(VDD2)은 제2 조립 배선(122)과 동일 물질 및 동일 공정으로 형성될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.
연결 전극(123)이 복수의 서브 화소(SP) 각각에 배치될 수 있다. 연결 전극(123)은 제2 패시베이션층(115)에 형성된 컨택홀을 통해 제2 커패시터 전극(ST2)이자 제2 트랜지스터(TR2)의 제2 소스 전극(SE2)과 전기적으로 연결된다. 연결 전극(123)은 발광 소자(LED)와 구동 트랜지스터인 제2 트랜지스터(TR2)를 전기적으로 연결하기 위한 전극으로, 제1 연결층(123a) 및 제2 연결층(123b)을 포함한다. 예를 들어, 제1 연결층(123a)은 제2 조립 배선(122)의 제2 도전층(122a)과 동일 층에서 동일 물질로 형성될 수 있고, 제2 연결층(123b)은 제2 클래드층(122b)과 동일 층에서 동일 물질로 형성될 수 있다.
이어서, 제3 패시베이션층(116)이 제2 층(VDD2), 제2 조립 배선(122), 연결 전극(123) 상에 배치될 수 있다. 제3 패시베이션층(116)은 제3 패시베이션층(116) 하부의 구성을 보호하기 위한 절연층으로, 실리콘 산화물(SiOx) 또는 실리콘 질화물(SiNx)의 단일층 또는 복층으로 구성될 수 있으나, 이에 제한되지 않는다. 또한, 제3 패시베이션층(116)은 디스플레이 장치(100)의 제조 시 제1 조립 배선(121)과 제2 조립 배선(122) 간의 마이그레이션에 의한 쇼트 불량을 방지하기 위한 절연층으로 기능할 수 있으며, 이에 대하여 도 5a 내지 도 5f를 참조하여 후술하기로 한다.
제3 패시베이션층(116) 상에 복수의 조립 배선(120) 중 복수의 제1 조립 배선(121)이 배치된다. 복수의 제1 조립 배선(121) 각각은 상술한 바와 같이 동일 라인에 배치된 복수의 서브 화소(SP)에 배치되고, 복수의 제1 조립 배선(121)과 복수의 제2 조립 배선(122)은 서로 이격되어 배치될 수 있다.
복수의 제1 조립 배선(121) 각각은 제1 도전층(121a) 및 제1 클래드층(121b)을 포함한다. 제3 패시베이션층(116) 상에 제1 도전층(121a)이 배치된다. 그리고 제1 클래드층(121b)은 제1 도전층(121a)에 접하여 전기적으로 연결될 수 있다. 예를 들어, 제1 클래드층(121b)은 제1 도전층(121a)의 상면과 측면을 덮도록 배치될 수 있다. 그리고 제1 도전층(1211a)은 제1 클래드층(121b)보다 두꺼운 두께를 가질 수 있다.
제1 클래드층(121b) 또한 제2 클래드층(122b)과 동일하게 제1 도전층(121a)보다 부식에 강한 물질로 이루어져 디스플레이 장치(100) 제조 시 제1 조립 배선(121)과 제2 조립 배선(122) 간의 마이그레이션에 의한 쇼트 불량을 최소화할 수 있다. 예를 들어, 제1 클래드층(121b)은 몰리브덴(Mo), 몰리브덴 티타늄(MoTi) 등으로 이루어질 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.
다음으로, 제2 평탄화층(117)이 복수의 제1 조립 배선(121) 상에 배치될 수 있다. 제2 평탄화층(117)은 단층 또는 복층으로 구성될 수 있으며, 예를 들어, 아크릴(acryl)계 유기 물질로 이루어질 수 있으나, 이에 제한되지 않는다.
한편, 제2 평탄화층(117)은 복수의 발광 소자(LED) 각각이 안착되는 복수의 제1 개구부(117a) 및 복수의 연결 전극(123) 각각을 노출시키는 복수의 제2 개구부(117b)를 포함한다.
복수의 제1 개구부(117a)가 복수의 서브 화소(SP) 각각에 배치될 수 있다. 여기서, 제1 개구부는 포켓으로 지칭될 수 있다. 복수의 제1 개구부(117a) 각각은 메인 개구부(117a-1) 및 보조 개구부(117a-2)를 포함할 수 있다. 이때, 하나의 서브 화소(SP)에서 제1 개구부(117a)는 하나 이상 배치될 수도 있다. 예를 들어, 하나의 서브 화소(SP)에 1개의 제1 개구부(117a)가 배치될 수도 있고, 2개의 제1 개구부(117a)가 배치될 수 있다.
복수의 제1 개구부(117a)는 복수의 조립 배선(120)과 중첩하도록 형성될 수 있다. 예를 들어, 하나의 제1 개구부(117a)는 하나의 서브 화소(SP)에서 서로 이웃하게 배치된 제1 조립 배선(121) 및 제2 조립 배선(122)과 중첩할 수 있다.
그리고 제1 개구부(117a)에서는 복수의 제1 조립 배선(121)의 제1 클래드층(121b)의 일부분이 노출될 수 있다. 반면, 제1 개구부(117a)에서 제3 패시베이션층(116)은 제2 조립 배선(122) 모두를 덮고 있기 때문에 제2 조립 배선(122)은 제1 개구부(117a)에 중첩하나, 제1 개구부(117a)에서 노출되지는 않는다.
메인 개구부(117a-1)는 복수의 발광 소자(LED)가 삽입되는 개구부로, 제1 포켓으로도 지칭될 수 있다. 이때, 메인 개구부(117a-1) 및 복수의 발광 소자(LED)는 도 3에 도시된 바와 같이 평면 상에서 서로 대응하는 원형 또는 타원형의 형상을 가질 수도 있으나, 이에 제한되지 않는다.
보조 개구부(117a-2)는 메인 개구부(117a-1)와 연결될 수 있다. 보조 개구부(117a-2)는 제2 포켓으로도 지칭될 수 있다. 이때, 하나의 메인 개구부(117a-1)에 연결되는 보조 개구부(117a-2)는 하나 이상 배치될 수도 있다. 예를 들어, 하나의 메인 개구부(117a-1)에 1개의 보조 개구부(117a-2)가 연결될 수도 있고, 2개 이상의 보조 개구부(117a-2)가 연결될 수 있다. 실시예에 따른 디스플레이 장치(100)에서는 보조 개구부(117a-2)가 1개인 경우를 설명한다.
도 3을 참조하면, 보조 개구부(117a-2)는 발광 소자(LED)가 삽입되는 메인 개구부(117a-1)와 연결될 수 있다. 다만, 보조 개구부(117a-2)는 메인 개구부(117a-1)보다 크기가 작아 복수의 발광 소자(LED)가 삽입될 수 없다. 이때, 보조 개구부(117a-2)는 평면 상에서 원형 또는 타원형의 형상을 가질 수 있다. 또한, 보조 개구부(117a-2)의 평면 상 형상은 메인 개구부(117a-1)의 평면 상 형상과 대응할 수도 있다.
보조 개구부(117a-2)는 복수의 조립 배선(120)과 중첩하도록 형성될 수 있다. 다만, 보조 개구부는 제1 조립 배선(121) 및 제2 조립 배선(122) 중 하나와만 중첩될 수도 있다. 예를 들어, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 하나의 보조 개구부(117a-2)는 하나의 서브 화소(SP)에서 서로 이웃하게 배치된 제1 조립 배선(121) 및 제2 조립 배선(122) 중 제1 조립 배선(121)과만 중첩될 수 있다. 이에 따라, 제1 조립 배선(121)과 제1 개구부(117a)가 중첩하는 영역은 제2 조립 배선(122)과 제1 개구부(117a)가 중첩하는 영역보다 넓을 수 있다.
복수의 제2 개구부(117b)가 복수의 서브 화소(SP)에 배치될 수 있다. 복수의 제2 개구부(117b)는 복수의 서브 화소(SP) 각각의 연결 전극(123)을 노출시키는 부분이다. 제2 평탄화층(117) 아래의 연결 전극(123)은 복수의 제2 개구부(117b)에서 노출되어, 발광 소자(LED)와 전기적으로 연결될 수 있고, 제2 트랜지스터(TR2)로부터의 구동 전류를 발광 소자(LED)로 전달할 수 있다. 이때, 제3 패시베이션층(116)은 제2 개구부(117b)에 중첩하는 영역에서 컨택홀을 가질 수 있고, 연결 전극(123)은 제2 평탄화층(117) 및 제3 패시베이션층(116)으로부터 노출될 수 있다.
복수의 제1 개구부(117a)에 복수의 발광 소자(LED)가 배치된다. 복수의 발광 소자(LED)는 전류에 의해 빛을 발광하는 발광 소자(LED)이다. 복수의 발광 소자(LED)는 적색 광, 녹색 광, 청색 광 등을 발광하는 발광 소자(LED)를 포함할 수 있고, 이들의 조합으로 백색을 포함하는 다양한 색상의 광을 구현할 수 있다. 예를 들어, 발광 소자(LED)는 LED(Light Emitting Diode) 또는 마이크로 LED일 수 있으나, 이에 제한되지 않는다.
이하에서는 복수의 발광 소자(LED)가 적색 서브 화소(SPR)에 배치된 적색 발광 소자(130), 녹색 서브 화소(SPG)에 배치된 녹색 발광 소자(140), 청색 서브 화소(SPB)에 배치된 청색 발광 소자(150)를 포함하는 것으로 가정하여 설명하기로 한다. 다만, 복수의 발광 소자(LED)는 동일한 색상의 광을 발광하는 발광 소자(LED)로 이루어지고, 복수의 발광 소자(LED)로부터 광을 다른 색상의 광으로 변환하는 별도의 광 변환 부재를 사용하여 다양한 색상의 영상을 표시할 수도 있으며, 이에 제한되는 것은 아니다.
복수의 발광 소자(LED)는 적색 서브 화소(SPR)에 배치된 적색 발광 소자(130), 녹색 서브 화소(SPG)에 배치된 녹색 발광 소자(140) 및 청색 서브 화소(SPB)에 배치된 청색 발광 소자(150)를 포함할 수 있다. 적색 발광 소자(130), 녹색 발광 소자(140) 및 청색 발광 소자(150) 각각은 제1 반도체층, 제2 반도체층, 제1 전극 및 제2 전극을 공통으로 포함할 수 있다. 그리고 적색 발광 소자(130)는 적색 광을 발광하는 발광층을 포함하고, 녹색 발광 소자(140)는 녹색 광을 발광하는 발광층을 포함하며, 청색 발광 소자(150)는 청색 광을 발광하는 발광층을 포함할 수 있다.
도 4를 참조하면, 적색 서브 화소(SPR)에 배치된 적색 발광 소자(130)는 제1 반도체층(131) 상에 제2 반도체층(133)이 배치된다. 제1 반도체층(131) 및 제2 반도체층(133)은 특정 물질에 n형 및 p형의 불순물을 도핑하여 형성된 층일 수 있다. 예를 들어, 제1 반도체층(131) 및 제2 반도체층(133)은 AlInGaP계 반도체층을 포함할 수 있으며, 예를 들어 인듐 알루미늄 인화물(InAlP), 갈륨 비소(GaAs) 등과 같은 물질에 p형 또는 n형의 불순물이 도핑된 층일 수 있다. 그리고 p형의 불순물은 마그네슘(Mg), 아연(Zn), 베릴륨(Be) 등일 수 있고, n형의 불순물은 실리콘(Si), 게르마늄(Ge), 주석(Sn) 등일 수 있으나, 이에 제한되지 않는다.
제1 반도체층(131)과 제2 반도체층(133) 사이에 적색 광을 발광하는 발광층(132)이 배치된다. 발광층(132)은 제1 반도체층(131) 및 제2 반도체층(133)으로부터 정공 및 전자를 공급받아 빛을 발광할 수 있다. 발광층(132)은 단층 또는 다중 양자 우물(Multi-Quantum Well, MQW) 구조로 이루어질 수 있고, 예를 들어, 인듐 갈륨 질화물(InGaN) 또는 질화갈륨(GaN) 등으로 이루어질 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.
제1 전극(134)이 제1 반도체층(131) 하면에 배치되고, 제2 전극(135)이 제2 반도체층(133) 상면에 배치된다. 이에, 제1 전극(134)은 하부 전극으로 지칭될 수 있다. 제1 전극(134)은 제1 개구부(117a)에서 노출된 제1 조립 배선(121)에 본딩되는 전극이고, 제2 전극(135)은 후술할 화소 전극(PE)과 제2 반도체층(133)을 전기적으로 연결하는 전극이다. 제1 전극(134) 및 제2 전극(135)은 도전성 물질로 형성될 수 있다.
이때, 제1 전극(134)을 제1 조립 배선(121) 상에 본딩하기 위해 제1 전극(134)을 공융 금속(eutectic metal)으로 구성할 수 있다. 예를 들어, 제1 전극(134)은 주석(Sn), 인듐(In), 아연(Zn), 납(Pb), 니켈(Ni), 금(Au), 백금(Pt), 구리(Cu) 등으로 이루어질 수 있으나, 이에 제한되지 않는다.
그리고 녹색 발광 소자(140) 및 청색 발광 소자(150) 둘 다 적색 발광 소자(130)와 동일한 구조로 형성될 수 있다. 예를 들어, 녹색 발광 소자(140)는 제1 전극, 제1 전극 상의 제1 반도체층, 제1 반도체층 상의 녹색 발광층, 녹색 발광층 상의 제2 반도체층, 제2 반도체층 상의 제2 전극으로 이루어질 수 있고, 청색 발광 소자 또한 제1 전극, 제1 반도체층, 청색 발광층, 제2 반도체층 및 제2 전극이 순차적으로 적층된 구조로 이루어질 수 있다.
다만, 상기 녹색 발광 소자(140) 및 청색 발광 소자(150)는 GaN, AlGaN, InGaN, AlInGaN, GaP, AlN, GaAs, AlGaAs, InP 및 이들의 혼합물로 이루어진 군에서 선택되는 화합물로 형성될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.
한편, 도면에 도시되지는 않았으나, 복수의 발광 소자(LED) 각각의 일부분을 둘러싸는 절연층이 배치될 수 있다. 구체적으로, 절연층은 복수의 발광 소자(LED)의 외측면 중 적어도 발광 소자(LED)의 측면을 덮을 수 있다. 발광 소자(LED)에 절연층을 형성하여 발광 소자(LED)를 보호하고, 제1 전극(134) 및 제2 전극(135) 형성 시 제1 반도체층(131)과 제2 반도체층(133)의 전기적인 쇼트를 방지할 수 있다.
다음으로, 제3 평탄화층(118)이 복수의 발광 소자(LED) 상에 배치될 수 있다. 제3 평탄화층(118)은 복수의 발광 소자(LED)가 배치된 기판(110) 상부를 평탄화할 수 있고, 복수의 발광 소자(LED)는 제3 평탄화층(118)에 의해 제1 개구부(117a)에서 안정적으로 고정될 수 있다. 제3 평탄화층(118)은 단층 또는 복층으로 구성될 수 있으며, 예를 들어, 아크릴(acryl)계 유기 물질로 이루어질 수 있으나, 이에 제한되지 않는다.
화소 전극(PE)이 제3 평탄화층(118) 상에 배치될 수 있다. 화소 전극(PE)은 복수의 발광 소자(LED)와 연결 전극(CE)을 전기적으로 연결하기 위한 전극이다. 화소 전극(PE)은 제3 평탄화층(118)에 형성된 컨택홀을 통해 제1 개구부(117a)의 발광 소자(LED)와 제2 개구부(117b)의 연결 전극(123)에 전기적으로 연결될 수 있다. 따라서, 화소 전극(PE)을 통해 발광 소자(LED)의 제2 전극(135), 연결 전극(123) 및 제2 트랜지스터(TR2)가 전기적으로 연결될 수 있다.
고전위 전원 배선(VDD)의 제3 층(VDD3)이 제3 평탄화층(118) 상에 배치될 수 있다. 제3 층(VDD3)은 다른 열에 배치된 제1 층(VDD1) 및 제2 층(VDD2)을 전기적으로 연결할 수 있다. 예를 들어, 제3 층(VDD3)은 복수의 서브 화소(SP) 사이에서 행 방향으로 연장되며, 열 방향으로 연장된 고전위 전원 배선(VDD)의 복수의 제2 층(VDD2)을 서로 전기적으로 연결할 수 있다. 그리고 복수의 고전위 전원 배선(VDD)은 제3 층(VDD3)을 통해 메쉬 형태로 연결됨에 따라, 전압 강하 현상이 저감될 수 있다.
블랙 매트릭스(BM)가 제3 평탄화층(118) 상에 배치될 수 있다. 블랙 매트릭스(BM)는 제3 평탄화층(118) 상에서 복수의 서브 화소(SP) 사이에 배치될 수 있다. 블랙 매트릭스(BM)는 복수의 서브 화소(SP) 간의 혼색을 저감할 수 있다. 블랙 매트릭스(BM)는 불투명한 물질로 이루어질 수 있으며, 예를 들어, 블랙 레진(black resin)으로 이루어질 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.
보호층(119)이 화소 전극(PE), 제3 평탄화층(118), 블랙 매트릭스(BM) 상에 배치될 수 있다. 보호층(119)은 보호층(119) 아래의 구성을 보호하기 위한 층으로, 투광성 에폭시, 실리콘 산화물(SiOx) 또는 실리콘 질화물(SiNx)의 단일층 또는 복층으로 구성될 수 있으나, 이에 제한되지 않는다.
한편, 제1 개구부(117a)에서 복수의 제2 조립 배선(122)은 복수의 발광 소자(LED)와 이격되고, 복수의 제1 조립 배선(121)만이 복수의 발광 소자(LED)와 컨택할 수 있다. 이는 디스플레이 장치(100) 제조 과정에서 복수의 제1 조립 배선(121)과 복수의 제2 조립 배선(122) 둘 다에 복수의 발광 소자(LED)가 접촉하여 발생하는 불량을 방지하기 위해, 복수의 제2 조립 배선(122) 상에 제3 패시베이션층(116)을 형성하고, 복수의 제1 조립 배선(121)에만 복수의 발광 소자(LED)를 컨택시킬 수 있다. 이하에서는 도 5a 내지 도 5f를 참조하여 실시예에 따른 디스플레이 장치(100)의 제조 방법에 대해 상세히 설명하기로 한다.
도 5a 내지 도 5f는 실시예에 따른 디스플레이 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 공정도들이다. 도 5a 및 도 5b는 복수의 발광 소자(LED)를 제1 개구부(117a)에 자가 조립하는 공정을 설명하기 위한 공정도들이다. 도 5c는 복수의 발광 소자(LED)의 자가 조립에 사용되는 원장 기판(10)의 개략적인 평면도이다. 도 5d는 복수의 조립 배선(120)과 조립 패드(PD)의 전기적인 연결 관계를 개략적으로 나타낸 도면이다. 도 5e는 복수의 발광 소자(LED)의 자가 조립이 완료된 후 원장 기판(10)을 스크라이빙하여 형성된 복수의 기판(110)의 개략적인 평면도이다. 도 5f는 도 5e의 X 영역에 대한 개략적인 단면도이다.
도 5a를 참조하면, 유체(WT)가 채워진 챔버(CB)에 발광 소자(LED)를 투입한다. 유체(WT)는 물 등을 포함할 수 있고, 유체(WT)가 채워진 챔버(CB)는 상부가 오픈된 형상일 수 있다.
이어서, 발광 소자(LED)가 채워진 챔버(CB) 상에 원장 기판(10)을 위치시킬 수 있다. 원장 기판(10)은 디스플레이 장치(100)를 이루는 복수의 기판(110)으로 구성된 기판으로, 복수의 발광 소자(LED)의 자가 조립 시에는 복수의 조립 배선(120)과 제2 평탄화층(117)까지 형성한 원장 기판(10)을 사용할 수 있다.
그리고 제1 조립 배선(121) 및 제2 조립 배선(122)과 제2 평탄화층(117)까지 형성된 원장 기판(10)을 챔버(CB) 상에 위치시키거나, 챔버(CB) 내에 투입한다. 이때, 제2 평탄화층(117)의 제1 개구부(117a)와 유체(WT)가 서로 마주하도록 원장 기판(10)을 위치시킬 수 있다.
이어서, 원장 기판(10) 상에 자석(MG)을 위치시킬 수 있다. 챔버(CB)의 바닥에 가라앉거나 부유하는 발광 소자(LED)들은 자석(MG)의 자기력에 의해 원장 기판(10) 측으로 이동할 수 있다.
이때, 발광 소자(LED)는 자기장에 의해 이동하도록 자성체를 포함할 수 있다. 예를 들어, 발광 소자(LED)의 제1 전극(134) 또는 제2 전극(135)은 철이나 코발트, 니켈과 같은 강자성체 물질을 포함할 수 있다.
다음으로, 자석(MG)에 의해 제2 평탄화층(117) 측으로 이동한 발광 소자(LED)는 제1 조립 배선(121)과 제2 조립 배선(122)에 의해 형성된 전기장에 의해 제1 개구부(117a)에 자가 조립될 수 있다.
복수의 제1 조립 배선(121)과 복수의 제2 조립 배선(122)에는 교류 전압이 인가되어 전기장이 형성될 수 있다. 이러한 전기장에 의해 발광 소자(LED)는 유전 분극되어 극성을 가질 수 있다. 그리고 유전 분극된 발광 소자(LED)는 유전 영동(Dielectrophoresis, DEP), 즉, 전기장에 의해 특정 방향으로 이동하거나 고정될 수 있다. 따라서, 유전 영동을 이용하여 복수의 발광 소자(LED)를 제2 평탄화층(117)의 제1 개구부(117a) 내에 고정시킬 수 있다.
다음으로, 복수의 제1 조립 배선(121) 및 복수의 제2 조립 배선(122)의 전기장을 이용해 제1 개구부(117a) 내에 발광 소자(LED)를 고정시킨 상태에서 원장 기판(10)을 180도 뒤집을 수 있다. 만약, 복수의 제1 조립 배선(121) 및 복수의 제2 조립 배선(122)에 전압을 인가하지 않은 상태에서 원장 기판(10)을 뒤집는 경우, 복수의 발광 소자(LED)가 제1 개구부(117a) 내에서 이탈할 수도 있다. 그러므로, 복수의 제1 조립 배선(121) 및 복수의 제2 조립 배선(122)에 전압을 인가한 상태에서 원장 기판(10)을 뒤집고, 후속 공정을 진행할 수 있다.
그리고 발광 소자(LED)의 제1 전극(134)이 제1 조립 배선(121) 상에 위치한 상태에서 발광 소자(LED)에 열 및 압력을 가하여 발광 소자(LED)를 제1 조립 배선(121)에 본딩할 수 있다. 예를 들어, 발광 소자(LED)의 제1 전극(134)은 제1 조립 배선(121)과 공융 접합(eutectic bonding)을 통해 본딩될 수 있다. 공융 접합은 고온에서의 열압착에 의한 접합방식으로, 매우 견고하고 신뢰성이 매우 높은 본딩 공정 중의 하나이다. 공융 접합 방식은 높은 접합 강도를 실현시킬 수 있을 뿐만 아니라, 외부로부터 별도의 접착물을 도포할 필요가 없다는 장점을 가진다. 다만, 복수의 발광 소자(LED)의 본딩 방식은 공융 접합 외에도 다양하게 구성될 수 있으며, 이에 제한되지 않는다.
한편, 복수의 제1 조립 배선(121) 및 복수의 제2 조립 배선(122)은 디스플레이 장치(100) 제조 시 서로 다른 전압이 인가되나, 디스플레이 장치(100) 구동 시 동일한 전압이 교류로 인가된다. 이를 위해, 디스플레이 장치(100) 제조 시 복수의 제1 조립 배선(121) 및 복수의 제2 조립 배선(122)은 서로 다른 조립 패드(PD)에 연결되어, 서로 다른 전압이 인가될 수 있다.
이와 관련하여 도 5c를 참조하면, 디스플레이 장치(100) 제조 시, 원장 기판(10) 상태에서는 복수의 기판(110) 상의 조립 배선(120)이 복수의 기판(110) 외측의 조립 패드(PD)와 연결될 수 있다. 구체적으로, 원장 기판(10) 상에는 디스플레이 장치(100)를 이루는 복수의 기판(110)과 함께 복수의 조립 패드(PD) 및 복수의 조립 배선 연결부(PL)가 배치된다.
복수의 조립 패드(PD)는 복수의 조립 배선(120)에 전압을 인가하기 위한 패드로, 원장 기판(10)을 이루는 복수의 기판(110) 각각에 배치된 복수의 조립 배선(120)과 전기적으로 연결될 수 있다. 복수의 조립 패드(PD)는 원장 기판(10)에서 디스플레이 장치(100)의 기판(110) 외측에 형성될 수 있으며, 디스플레이 장치(100)의 제조 공정이 완료되면 디스플레이 장치(100)의 기판(110)과는 분리될 수 있다. 예를 들어, 원장 기판(10) 상에 2개의 기판(110)이 형성된 경우, 각각의 기판(110) 상에 배치된 복수의 제1 조립 배선(121)을 하나의 조립 패드(PD)에 연결하고, 복수의 제2 조립 배선(122)은 다른 조립 패드(PD)에 연결할 수 있다.
따라서, 원장 기판(10)을 복수의 발광 소자(LED)가 투입된 챔버(CB)에 위치시킨 후, 복수의 조립 패드(PD)를 통해 복수의 조립 배선(120)에 교류 전압을 인가하여 전기장을 형성할 수 있고, 복수의 발광 소자(LED)를 제2 평탄화층(117)의 제1 개구부(117a)에 용이하게 자가 조립할 수 있다.
한편, 복수의 서브 화소(SP) 별로 복수의 발광 소자(LED)를 자가 조립하는 경우, 복수의 적색 서브 화소(SPR)에 배치된 복수의 조립 배선(120), 복수의 녹색 서브 화소(SPG)에 배치된 복수의 조립 배선(120), 복수의 청색 서브 화소(SPB)에 배치된 복수의 조립 배선(120)을 서로 다른 조립 패드(PD)에 연결할 수 있다.
이 경우, 복수의 조립 패드(PD)는 제1 조립 패드(PD1), 제2 조립 패드(PD2), 제3 조립 패드(PD3), 제4 조립 패드(PD4), 제5 조립 패드(PD5) 및 제6 조립 패드(PD6)를 포함할 수 있다.
제1 조립 패드(PD1)는 원장 기판(10) 상의 복수의 적색 서브 화소(SPR)에 배치된 복수의 제1 조립 배선(121)에 전압을 인가하기 위한 패드이다. 제4 조립 패드(PD4)는 원장 기판(10) 상의 복수의 적색 서브 화소(SPR)에 배치된 복수의 제2 조립 배선(122)에 전압을 인가하기 위한 패드이다.
제2 조립 패드(PD2)는 원장 기판(10) 상의 복수의 녹색 서브 화소(SPG)에 배치된 복수의 제1 조립 배선(121)에 전압을 인가하기 위한 패드이다. 제5 조립 패드(PD5)는 원장 기판(10) 상의 복수의 녹색 서브 화소(SPG)에 배치된 복수의 제2 조립 배선(122)에 전압을 인가하기 위한 패드이다.
제3 조립 패드(PD3)는 원장 기판(10) 상의 복수의 청색 서브 화소(SPB)에 배치된 복수의 제1 조립 배선(121)에 전압을 인가하기 위한 패드이다. 제6 조립 패드(PD6)는 원장 기판(10) 상의 복수의 청색 서브 화소(SPB)에 배치된 복수의 제2 조립 배선(122)에 전압을 인가하기 위한 패드이다.
이러한 복수의 조립 패드(PD)를 통해 복수의 서브 화소(SP) 중 특정 서브 화소(SP)에만 발광 소자(LED)를 선택적으로 자가 조립할 수 있다. 예를 들어, 복수의 적색 서브 화소(SPR)에만 발광 소자(LED)를 자가 조립하는 경우, 제1 조립 패드(PD1) 및 제4 조립 패드(PD4)를 통해 복수의 적색 서브 화소(SPR)에 배치된 복수의 제1 조립 배선(121) 및 복수의 제2 조립 배선(122)에만 전압을 인가할 수 있다.
조립 배선 연결부(PL)는 각 기판(110) 상의 복수의 조립 배선(120)과 복수의 조립 패드(PD)를 연결하는 배선이다. 조립 배선 연결부(PL)는 일단이 복수의 조립 패드(PD)에 연결되고, 타단이 복수의 기판(110) 상으로 연장되어 복수의 제1 조립 배선(121) 및 복수의 제2 조립 배선(122)과 전기적으로 연결될 수 있다. 조립 배선 연결부(PL)는 제1 연결부(PL1), 제2 연결부(PL2), 제3 연결부(PL3), 제4 연결부(PL4), 제5 연결부(PL5) 및 제6 연결부(PL6)를 포함한다.
제1 연결부(PL1)는 원장 기판(10) 상의 복수의 적색 서브 화소(SPR)에 배치된 제1 조립 배선(121)과 제1 조립 패드(PD1)를 전기적으로 연결하는 배선이다. 제4 연결부(PL4)는 원장 기판(10) 상의 복수의 적색 서브 화소(SPR)에 배치된 제2 조립 배선(122)과 제4 조립 패드(PD4)를 전기적으로 연결하는 배선이다. 예를 들어, 제1 연결부(PL1)는 타단이 복수의 기판(110) 각각으로 연장되어, 복수의 기판(110) 각각의 적색 서브 화소(SPR)에 배치된 복수의 제1 조립 배선(121)과 전기적으로 연결될 수 있다. 예를 들어, 제4 연결부(PL4)는 타단이 복수의 기판(110) 각각으로 연장되어, 복수의 기판(110) 각각의 적색 서브 화소(SPR)에 배치된 복수의 제2 조립 배선(122)과 전기적으로 연결될 수 있다.
제2 연결부(PL2)는 원장 기판(10) 상의 복수의 녹색 서브 화소(SPG)에 배치된 제1 조립 배선(121)과 제2 조립 패드(PD2)를 전기적으로 연결하는 배선이다. 제5 연결부(PL5)는 원장 기판(10) 상의 복수의 녹색 서브 화소(SPG)에 배치된 제2 조립 배선(122)과 제5 조립 패드(PD5)를 전기적으로 연결하는 배선이다.
제3 연결부(PL3)는 원장 기판(10) 상의 복수의 청색 서브 화소(SPB)에 배치된 제1 조립 배선(121)과 제3 조립 패드(PD3)를 전기적으로 연결하는 배선이다. 제6 연결부(PL6)는 원장 기판(10) 상의 복수의 청색 서브 화소(SPB)에 배치된 제2 조립 배선(122)과 제6 조립 패드(PD6)를 전기적으로 연결하는 배선이다.
이때, 하나의 기판(110) 상에 배치된 복수의 제1 조립 배선(121)을 하나로 연결하고, 복수의 제2 조립 배선(122) 또한 하나로 연결하여 복수의 제1 조립 배선(121) 및 복수의 제2 조립 배선(122) 각각을 용이하게 조립 배선 연결부(PL)와 연결할 수 있다.
예를 들어, 도 5d를 참조하면, 하나의 기판(110)에서 복수의 적색 서브 화소(SPR)에 배치된 제1 조립 배선(121)은 기판(110)의 비표시 영역(NA)에서 링크 배선(LL)을 통해 하나로 연결되고, 복수의 적색 서브 화소(SPR)에 배치된 제2 조립 배선(122)도 기판(110)의 비표시 영역(NA)에서 링크 배선(LL)을 통해 하나로 연결될 수 있다. 이 경우, 하나의 기판(110) 상에 배치된 복수의 제1 조립 배선(121) 및 복수의 제2 조립 배선(122) 각각을 개별적으로 조립 배선 연결부(PL)와 연결하지 않고, 비표시 영역(NA)에서 복수의 제1 조립 배선(121) 및 복수의 제2 조립 배선(122) 각각을 하나로 연결하는 링크 배선(LL)과 조립 배선 연결부(PL)를 연결하여 복수의 제1 조립 배선(121) 및 복수의 제2 조립 배선(122)에 용이하게 발광 소자(LED)의 자가 조립을 위한 전압을 인가할 수 있다.
한편, 조립 배선 연결부(PL)는 복수의 조립 배선(120)과 동일한 물질 및 동일 공정으로 형성될 수도 있고, 서로 다른 물질 및 공정으로 형성될 수도 있다. 또한, 조립 배선 연결부(PL)는 단층 구조일 수도 있고, 다층 구조일 수 있으며, 이에 제한되지 않는다.
또한, 도 5c 및 도 5d에 도시된 조립 배선 연결부(PL) 및 조립 패드(PD)는 예시적인 것이며, 조립 배선 연결부(PL) 및 조립 패드(PD)의 배치 및 형상, 자가 조립 공정 횟수나 순서, 복수의 서브 화소(SP)의 설계에 따라 달라질 수 있다.
다음으로, 도 5e 및 도 5f를 참조하면, 복수의 발광 소자(LED)의 자가 조립 공정이 완료된 후, 스크라이빙 라인(SCL)을 따라 원장 기판(10)을 절단하여 복수의 기판(110)으로 분리할 수 있다. 그리고 원장 기판(10)을 스크라이빙하는 경우, 기판(110)의 엣지에서 복수의 조립 배선(120)과 복수의 조립 패드(PD)를 연결하는 조립 배선 연결부(PL)의 일부분이 절단될 수 있다. 이에, 기판(110)의 절단면에서 조립 배선 연결부(PL)의 절단면을 확인할 수 있다.
예를 들어, 도 5e의 X 영역에서는, 기판(110)의 단면, 기판(110) 상에 구동 회로나 복수의 배선들을 형성하기 위해 배치된 복수의 절연층(IL)의 단면 및 복수의 절연층(IL) 사이에 배치된 조립 배선 연결부(PL)의 단면을 확인할 수 있다. 복수의 절연층(IL) 사이에서 복수의 적색 서브 화소(SPR)의 제1 조립 배선(121)을 연결하는 제1 연결부(PL1), 복수의 녹색 서브 화소(SPG)의 제1 조립 배선(121)을 연결하는 제2 연결부(PL2) 및 복수의 청색 서브 화소(SPB)의 제1 조립 배선(121)을 연결하는 제3 연결부(PL3)의 절단면을 확인할 수 있다.
한편, 원장 기판(10)을 스크라이빙하여 복수의 기판(110)으로 분리한 이후, 복수의 제1 조립 배선(121)을 하나로 연결하는 링크 배선(LL)과 복수의 제2 조립 배선(122)을 하나로 연결하는 링크 배선(LL)을 통해 복수의 제1 조립 배선(121) 및 복수의 제2 조립 배선(122)에 용이하게 동일 전압을 인가할 수 있다. 예를 들어, 디스플레이 장치(100) 구동 시, 비표시 영역(NA)에서 복수의 제1 조립 배선(121) 및 복수의 제2 조립 배선(122) 각각을 하나로 연결하는 링크 배선(LL)과 구동 IC를 연결함으로써 복수의 제1 조립 배선(121) 및 복수의 제2 조립 배선(122)에 전압을 인가할 수 있다.
실시예에 따른 디스플레이 장치(100)에서는 복수의 발광 소자(LED)의 자가 조립을 위한 복수의 조립 배선(120) 중 적어도 일부를 복수의 발광 소자(LED)에 저전위 전원 전압을 인가하는 배선으로 활용할 수 있다. 디스플레이 장치(100) 제조 시, 자기장을 이용해 유체(WT) 내에서 부유하는 복수의 발광 소자(LED)를 원장 기판(10)에 인접하게 이동시킬 수 있다. 이어서, 복수의 제1 조립 배선(121) 및 복수의 제2 조립 배선(122)에 서로 다른 전압을 인가하여 전기장을 형성할 수 있고, 복수의 발광 소자(LED)는 전기장에 의해 복수의 제1 개구부(117a) 내에 자가 조립될 수 있다. 이때, 저전위 전압을 공급하는 배선을 별도로 형성하고 이를 자가 조립된 복수의 발광 소자(LED)에 연결하는 대신, 제1 개구부(117a) 내에서 일부분이 노출된 제1 조립 배선(121)에 발광 소자(LED)의 제1 전극(134)을 본딩하여, 디스플레이 장치(100) 구동 시 복수의 조립 배선(120)을 복수의 발광 소자(LED)로 저전위 전압을 공급하는 배선으로 사용할 수 있다. 따라서 실시예에 따른 디스플레이 장치(100)에서는 복수의 조립 배선(120)을 복수의 발광 소자(LED)의 자가 조립만이 아니라 복수의 발광 소자(LED)의 구동을 위한 배선으로 사용할 수 있는 기술적 효과가 있다.
실시예에 따른 디스플레이 장치(100)에서는 복수의 조립 배선(120)이 클래드층을 포함하여 복수의 조립 배선(120)이 부식되거나, 쇼트 불량을 저감할 수 있다. 복수의 제1 조립 배선(121)은 제1 도전층(121a) 및 제1 도전층(121a)을 둘러싸고 제1 도전층(121a)보다 부식에 강한 제1 클래드층(121b)으로 이루어지고, 복수의 제2 조립 배선(122)은 제2 도전층(122a) 및 제2 도전층(122a)을 둘러싸고 제2 도전층(122a)보다 부식에 강한 제2 클래드층(122b)으로 이루어진다. 디스플레이 장치(100) 제조 시, 복수의 조립 배선(120)이 형성된 원장 기판(10)을 유체(WT) 내에 위치시켜 복수의 발광 소자(LED)를 자가 조립할 수 있다.
이 경우, 유체(WT) 내에 제1 도전층(121a) 및/또는 제2 도전층(122a)이 노출되어 조립 배선(120)이 부식될 수도 있고, 이에 의해 쇼트 불량이 발생할 수도 있다. 그러므로, 복수의 제2 조립 배선(122)의 제2 도전층(122a)을 제2 패시베이션층(115)과 제2 클래드층(122b)으로 감쌀 수 있고, 복수의 제1 조립 배선(121)의 제1 도전층(121a)을 제3 패시베이션층(116)과 제1 클래드층(121b)으로 감쌀 수 있다. 따라서, 복수의 조립 배선(120)이 제1 클래드층(121b) 및 제2 클래드층(122b)을 포함하는 구조로 형성되어, 복수의 조립 배선(120)의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 기술적 효과가 있다.
한편 내부적으로 연구된 기술에서는 복수의 발광 소자를 조립하기 위해, 발광 소자의 형상 및 크기에 대응하도록 제2 평탄화층에 제1 개구부를 형성하였다. 여기서, 발광 소자의 크기에 대응하도록 제1 개구부를 형성하는 경우, 공정 마진을 고려하여 발광 소자가 제1 개구부 내에 조립될 수 있는 최소한의 크기로 제1 개구부를 형성한다. 제1 개구부가 발광 소자의 형상 및 크기에 대응하도록 형성되는 경우, 제2 평탄화층과 발광 소자 간의 공간이 좁고, 제2 평탄화층에 의해 노출되는 제1 조립 배선의 영역이 좁아 조립 불량율이 높은 문제가 있었다. 또한, 제1 조립 배선 및 제2 조립 배선에 전압을 인가하여 전기장을 형성하여 발광 소자를 자기 조립하는 경우, 제2 평탄화층과 발광 소자 간의 공간이 좁아 해당 공간에 강하게 전기장이 형성될 수 있고, 이에 따라, 전기장이 비대칭적으로 쏠리는 현상이 발생할 수 있다. 이때, 개구부의 측면인 제2 평탄화층에 전기장이 쏠림으로써 발광 소자가 제2 평탄화층에 올라타는 조립 불량이 발생하는 문제점이 있다. 이에, 제1 개구부의 전체적인 크기를 증가시키는 경우, 발광 소자에 비해 제1 개구부의 크기가 지나치게 증가되어, 발광 소자의 자가 조립 이후에 발광 소자가 제1 개구부로부터 이탈될 수도 있고, 디스플레이 장치에서의 해상도가 감소할 수 있는 문제점이 있다.
이에, 실시예에 따른 디스플레이 장치(100)는 발광 소자(LED)가 삽입되는 제1 개구부(117a)가 발광 소자(LED)의 형상 및 크기에 대응하는 메인 개구부(117a-1) 및 메인 개구부(117a-1)로부터 연장되는 보조 개구부(117a-2)를 포함할 수 있다. 보조 개구부(117a-2)는 메인 개구부(117a-1)보다 크기가 작아 발광 소자(LED)가 삽입되지는 않으나, 보조 개구부(117a-2)가 배치되는 영역에서 발광 소자(LED)와 제2 평탄화층(117) 사이의 공간을 충분히 확보할 수 있다. 이에, 메인 개구부(117a-1) 및 보조 개구부(117a-2)에 의해 노출되는 제1 조립 배선(121)의 면적이 넓어지므로, 발광 소자(LED)가 제1 조립 배선(121)에 컨택할 수 있는 면적 또한 넓어지므로, 발광 소자(LED)와 제1 조립 배선(121) 간의 컨택 면적이 충분히 확보될 수 있고, 조립 불량이 개선될 수 있는 기술적 효과가 있다.
특히, 실시예에 따른 디스플레이 장치(100)에서는 제1 조립 배선(121)이 제2 조립 배선(122)보다 상부에 위치하고, 발광 소자(130)의 제1 전극(134)이 제1 조립 배선(121)과 접한다. 따라서, 제1 조립 배선(121) 및 제2 조립 배선(122)이 동일층이 아닌 다른 층에 배치되므로 전기장 비대칭 현상이 더 심해질 수 있고, 제1 개구부(117a)에 노출되어 있는 제1 조립 배선(121)과 제2 평탄화층(117) 사이의 공간에서 전기장이 더 강하게 쏠릴 수 있다.
이에, 실시예에 따른 디스플레이 장치(100)에서는 제1 개구부(117a)가 메인 개구부(117a-1)에 연결되는 보조 개구부(117a-2)를 포함함에 따라, 제2 평탄화층(117)과 발광 소자(LED) 간의 공간이 충분히 확보될 수 있다. 이에 따라, 전기장이 더 강하게 쏠릴 수 있는 영역에 추가적인 보조 개구부(117a-2)를 배치시킴으로써, 제2 평탄화층(117)과 발광 소자(LED) 간의 공간을 충분히 확보하여 전기장의 단위 면적당 세기가 줄어드므로 전기장 비대칭 현상이 약해질 수 있다.
따라서, 실시예에 따른 디스플레이 장치(100)에서는 전기장이 비대칭적으로 쏠리는 현상에 의해 발광 소자(LED)가 제2 평탄화층(117)에 올라타는 등의 조립 불량이 개선될 수 있는 기술적 효과가 있다.
도 6은 제2 실시예에 따른 디스플레이 장치의 개략적인 확대 평면도이다. 도 7은 제2 실시예에 따른 디스플레이 장치의 단면도이다. 도 6 및 도 7을 참조하면, 제2 실시예에 따른 디스플레이 장치(200)는 도1 내지 도 4의 디스플레이 장치(100)의 특징을 채용할 수 있다. 예를 들어, 제2 실시예는 메인 개구부(117a-1) 및 메인 개구부(117a-1)로부터 연장되는 보조 개구부(117a-2)를 포함할 수 있다.
도 6 및 도 7을 참조하면, 복수의 조립 배선(220)은 복수의 제1 조립 배선(221) 및 복수의 제2 조립 배선(122)을 포함할 수 있다. 복수의 제1 조립 배선(221) 및 복수의 제2 조립 배선(122) 모두가 제2 패시베이션층(115) 상에 배치될 수 있다. 즉, 제1 조립 배선(221) 및 제2 조립 배선(122)은 동일 층에 배치될 수 있다. 디스플레이 장치(200) 구동 시, 복수의 제1 조립 배선(221) 및 복수의 제2 조립 배선(122)에는 동일한 저전위 전압이 교류로 인가될 수 있다. 복수의 제1 조립 배선(221) 및 복수의 제2 조립 배선(122)은 교대로 배치될 수 있다. 그리고 복수의 서브 화소(SP) 각각에서 하나의 제1 조립 배선(221) 및 하나의 제2 조립 배선(122)은 서로 인접하게 배치될 수 있다.
복수의 제1 조립 배선(221)은 제1 도전층(221a) 및 제1 클래드층(221b)를 포함하고, 복수의 제2 조립 배선(122)은 제2 도전층(122a) 및 제2 클래드층(122b)을 포함할 수 있다. 제1 도전층(221a) 및 제2 도전층(122a)은 제2 패시베이션층(115) 상에 배치될 수 있다. 제1 클래드층(221b) 및 제2 클래드층(122b)은 각각 제1 도전층(221a) 및 제2 도전층(122a)에 접할 수 있다. 예를 들어, 제1 클래드층(221b)은 제1 도전층(221a)의 상면과 측면을 덮도록 배치될 수 있고, 제2 클래드층(122b)은 제2 도전층(122a)의 상면과 측면을 덮도록 배치될 수 있다. 그리고 제1 도전층(221a) 및 제2 도전층(122a)은 제1 클래드층(221b) 및 제2 클래드층(122b)보다 두꺼운 두께를 가질 수 있다
이어서, 제1 조립 배선(221) 및 제2 조립 배선(122) 상에 제3 패시베이션층(216)이 배치된다. 제3 패시베이션층(216)은 제3 패시베이션층(216) 하부의 구성을 보호하기 위한 절연층이다. 또한, 제3 패시베이션층(216)은 디스플레이 장치(200)의 제조 시 제1 조립 배선(221)과 제2 조립 배선(122) 간의 마이그레이션에 의한 쇼트 불량을 방지하기 위한 절연층으로 기능할 수 있다. 따라서, 복수의 제1 조립 배선(221)과 복수의 제2 조립 배선(122)은 제3 패시베이션층(216)을 사이에 두고 서로 이격되어 배치될 수 있다.
다음으로, 제2 평탄화층(117)이 제3 패시베이션층(216) 상에 배치될 수 있다. 제2 평탄화층(117)은 복수의 발광 소자(LED) 각각이 안착되는 복수의 제1 개구부(117a) 및 복수의 연결 전극(123) 각각을 노출시키는 복수의 제2 개구부(117b)를 포함한다. 이때, 복수의 제1 개구부(117a)는 도 2 내지 도 4의 디스플레이 장치(100)와 마찬가지로 메인 개구부(117a-1)와 보조 개구부(117a-2)를 포함한다.
복수의 제1 개구부(117a)에 복수의 발광 소자(LED)가 배치될 수 있다. 복수의 발광 소자(LED)는 적색 서브 화소(SPR)에 배치된 적색 발광 소자(230), 녹색 서브 화소(SPG)에 배치된 녹색 발광 소자(240), 청색 서브 화소(SPB)에 배치된 청색 발광 소자(250)을 포함할 수 있다.
도 6 및 도 7을 참조하면, 적색 서브 화소(SPR)에 배치된 적색 발광 소자(230)는 제1 반도체층(131) 상에 제2 반도체층(133)이 배치될 수 있다. 제1 반도체층(131)과 제2 반도체층(133) 사이에는 적색 광을 발광하는 발광층(132)이 배치된다. 제1 전극(234)이 제1 반도체층(131) 하면에 배치되고, 제2 전극(135)이 제2 반도체층(133) 상면에 배치될 수 있다.
이때, 적색 발광 소자(230)는 제1 전극(234)의 상면보다 면적이 넓은 하면을 갖는 제1 반도체층(131)을 포함할 수 있다. 즉, 제1 전극(234)은 제1 반도체층(131)보다 평면 상 작은 면적을 가진다. 제1 전극(234)은 적색 발광 소자(230)가 제3 패시베이션층(216)과 접하는 면적 중 일부분만 중첩되고, 나머지 면적에서는 제1 반도체층(131)과 제3 패시베이션층(216)이 접촉할 수 있다.
한편, 적색 발광 소자(230)의 제1 전극(234)은 제1 반도체층(131)의 중심을 기준으로 비대칭적으로 배치될 수 있다. 즉, 제1 전극(234)은 적색 발광 소자(230)의 평면 상 중심을 기준으로 비대칭적으로 배치될 수 있다. 또한, 제1 전극(234)은 비대칭적으로 배치됨과 동시에 제1 전극(234)의 끝단은 제1 반도체층(131)의 끝단과 동일 평면에 배치되거나, 제1 반도체층(1310)의 끝단보다 외측으로 돌출될 수 있다. 이때, 보조 개구부(117a-2)는 비대칭적으로 배치된 제1 전극(234)의 끝단과 인접하도록 배치될 수 있다.
또한, 적색 발광 소자(230)는 보호막(136)을 추가로 포함할 수 있다. 보호막(136)은 제1 반도체층(131)의 일부분, 발광층(132) 및 제2 반도체층(133)을 둘러쌀 수 있다. 보호막(135)을 형성하여 적색 발광 소자(230)의 제1 반도체층(131), 발광층(132) 및 제2 반도체층(133)을 보호하고, 후술할 컨택 전극(CE) 및 화소 전극(PE) 형성 시 쇼트 불량을 방지할 수 있다. 보호막(136)은 적색 발광 소자(230)의 외측면 중 적어도 적색 발광 소자(230)의 측면을 덮을 수 있다. 예를 들어, 보호막(136)은 제1 반도체층(131)의 측면과 상면, 발광층(132)의 측면, 제2 반도체층(133) 외측으로 돌출된 제1 반도체층(131)의 상면 및 제2 전극(135)을 덮도록 배치될 수 있다. 다만, 보호막(136)은 제2 반도체층(133)의 측면과 발광층(132)의 측면만을 덮거나, 제1 반도체층(131)의 측면 일부분까지 덮을 수도 있으며, 이에 제한되지 않는다. 도 6 및 도 7에서는 적색 발광 소자(230)에 대해 설명하나, 녹색 발광 소자 및 청색 발광 소자도 적색 발광 소자(230)와 동일한 구조 및 형상으로 형성될 수 있다.
컨택 전극(CE)이 제1 개구부(117a) 내측에 배치될 수 있다. 컨택 전극(CE)은 제1 개구부(117a)에 중첩하는 제1 조립 배선(221)을 적색 발광 소자(230)의 제1 전극(234)과 전기적으로 연결하는 전극이다. 제1 개구부(117a)에 중첩하는 제3 패시베이션층(216)의 일부분에 제1 조립 배선(221)을 노출시키는 컨택홀을 형성한 후, 제1 개구부(117a) 내측에 컨택 전극(CE)을 형성하여 적색 발광 소자(230)의 제1 전극(234)과 제1 조립 배선(221)을 전기적으로 연결할 수 있다.
컨택 전극(CE)은 제1 개구부(117a)에서 제2 평탄화층(117)의 측면, 제1 개구부(117a)에서 제3 패시베이션층(216)으로부터 노출된 제1 조립 배선(221)의 제1 클래드층(221b)에 접할 수 있다. 그리고 컨택 전극(CE)은 제1 반도체층(131)의 측면, 발광층(132)의 측면 및 제2 반도체층(133)의 측면에까지 배치될 수도 있다. 다만, 컨택 전극(CE)은 제2 전극(135) 외측으로 돌출된 제2 반도체층(133)의 상부, 제2 전극(135)의 측면에는 배치되지 않는다. 이 경우, 발광층(132), 제2 반도체층(133) 및 제2 전극(135)를 둘러싸는 보호막(136)에 의해 컨택 전극(CE)과 제2 전극(135)이 전기적으로 연결되어 발생하는 쇼트 불량을 방지할 수 있다.
한편, 컨택 전극(CE)은 도전성 물질, 예를 들어, 구리(Cu), 알루미늄(Al), 몰리브덴(Mo), 니켈(Ni), 티타늄(Ti), 크롬(Cr) 또는 이에 대한 합금으로 이루어질 수 있다. 이때, 컨택 전극(CE)이 반사 특성이 우수한 도전성 물질로 형성되는 경우, 발광 소자(LED)에서 발광된 광 중 발광 소자(LED) 측면으로 향하는 광은 컨택 전극(CE)에 의해 발광 소자(LED) 상부로 반사될 수 있고, 광효율이 향상될 수 있는 기술적 효과가 있다.
제2 실시예에 따른 디스플레이 장치(200)에서는 복수의 발광 소자(LED)의 자가 조립을 위한 복수의 조립 배선(220) 중 적어도 일부를 복수의 발광 소자(LED)에 저전위 전원 전압을 인가하는 배선으로 활용할 수 있다. 즉, 저전위 전압을 공급하는 배선을 별도로 형성하고 이를 자가 조립된 복수의 발광 소자(LED)에 연결하는 대신, 컨택 전극(CE)를 통해 제1 조립 배선(221)과 발광 소자(230)의 제1 전극(234)을 전기적으로 연결하여, 디스플레이 장치(200) 구동 시 복수의 조립 배선(220)을 복수의 발광 소자(LED)로 저전위 전압을 공급하는 배선으로 사용할 수 있는 기술적 효과가 있다.
제2 실시예에 따른 디스플레이 장치(200)에서는 복수의 조립 배선(220)이 클래드층을 포함하여 복수의 조립 배선(220)이 부식되거나, 쇼트 불량을 저감할 수 있다. 즉, 복수의 제1 조립 배선(221)의 제1 도전층(221a) 및 복수의 제2 조립 배선(122)의 제2 도전층(122a) 각각을 제2 패시베이션층(115)과 제 1 클래드층(221b) 및 제2 클래드층(122b)으로 커버하므로, 복수의 조립 배선(220)의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 기술적 효과가 있다.
또한, 제2 실시예에 따른 디스플레이 장치(200)에서는 복수의 제1 조립 배선(221)과 복수의 제2 조립 배선(122)이 동일 층에 배치될 수 있다. 즉, 복수의 제1 조립 배선(221)과 복수의 제2 조립 배선(122)은 모두 제2 패시베이션층 (115)에 배치될 수 있다. 이에 따라, 발광 소자(LED)와 제1 조립 배선(221)과의 간격은 발광 소자(LED)와 제2 조립 배선(122)과의 간격과 실질적으로 동일할 수 있다. 이에, 제2 실시예에 따른 디스플레이 장치(200)에서는 발광 소자(LED)가 제1 조립 배선(221) 및 제2 조립 배선(122) 중 어느 하나에 상대적으로 가깝게 배치되는 경우 발생할 수 있는 전기장 불균형 현상이 해소될 수 있는 기술적 효과가 있다.
또한 제2 실시예에 따른 디스플레이 장치(200)에서는 발광 소자(LED), 예를 들어, 적색 발광 소자(230)의 제1 전극(234)이 제1 반도체층보다 평면 상 작은 면적을 가진다. 즉, 제1 전극(234)의 상면보다 제1 반도체층(131)의 하면이 더 넓을 수 있다. 이에 따라, 제2 실시예에 따른 디스플레이 장치(200)에서는 제1 전극(234)과 복수의 조립 배선(220) 간의 수직 전기장을 감소시킬 수 있으며, 전기장 구배를 넓혀 발광 소자(LED)가 제2 평탄화층(117)의 측면에 올라타는 현상이 최소화될 수 있는 기술적 효과가 있다.
또한, 제2 실시예에 따른 디스플레이 장치(200)는 발광 소자(LED)가 삽입되는 제1 개구부(117a)가 발광 소자(LED)의 형상 및 크기에 대응하는 메인 개구부(117a-1) 및 메인 개구부(117a-1)로부터 연장되는 보조 개구부(117a-2)를 포함한다. 보조 개구부(117a-2)는 메인 개구부(117a-1)보다 크기가 작아 발광 소자(LED)가 삽입되지는 않으나, 보조 개구부(117a-2)가 배치되는 영역에서 발광 소자(LED)와 제2 평탄화층(117) 사이의 공간을 충분히 확보할 수 있다. 이에, 메인 개구부(117a-1) 및 보조 개구부(117a-2)에 의해 확보된 공간으로 제3 패시베이션층(216)을 보다 여유있게 제거할 수 있고, 이에 따라, 컨택 전극(CE)을 통한 발광 소자(LED)의 제1 전극(234)과 제1 조립 배선(221)의 연결을 확보할 수 있는 기술적 효과가 있다.
한편, 제2 실시예에 따른 디스플레이 장치(200)에서는 제1 전극(234)이 제1 반도체층(131)의 중심을 기준으로 비대칭적으로 배치될 수 있다. 그리고, 제1 전극(234)은 비대칭적으로 배치될 뿐만 아니라, 제1 전극(234)의 끝단은 제1 반도체층(131)의 끝단과 동일 평면에 배치되거나, 제1 반도체층(131)의 끝단보다 외측으로 돌출될 수 있다. 이때, 보조 개구부(117a-2)가 제1 전극(234)의 끝단과 인접하게 배치됨에 따라, 제1 전극(234)이 비대칭적으로 배치되더라도, 보조 개구부(117a-2)가 전기장 비대칭 현상을 완화시킬 수 있다. 발광 소자(230)의 제1 전극(234)이 비대칭적으로 배치되어 일 측에 치우치도록 배치되는 경우, 해당 영역에 전기장이 과하게 쏠리는 경우가 발생할 수 있다.
그러나, 보조 개구부(117a-2)가 제1 전극(234)이 배치된 방향에 배치되는 경우, 보조 개구부(117a-2)는 발광 소자(230)와 제2 평탄화층(117) 사이의 공간을 충분히 확보할 수 있으므로, 제1 전극(234)과 제2 평탄화층(117) 사이에 발생할 수 있는 전기장 비대칭 현상을 완화시킬 수 있다. 즉, 제2 평탄화층(117)과 제1 전극(234)사이에 발생할 수 있는 전기장의 단위 면적당 세기가 줄어드므로 전기장 비대칭 현상이 약해질 수 있다.
따라서, 제2 실시예에 따른 디스플레이 장치(200)에서는 전기장이 비대칭적으로 쏠리는 현상에 의해 발광 소자(LED)가 제2 평탄화층(117)에 올라타는 등의 조립 불량이 개선될 수 있는 기술적 효과가 있다.
도 8a 내지 도 8c는 제3 내지 제5 실시예에 따른 디스플레이 장치에 대한 확대 평면도이다. 도 8a 내지 도 8c의 디스플레이 장치(300A, 300B, 300C)는 도 6 및 도 7의 디스플레이 장치(200)와 비교하여 복수의 보조 개구부(317a-2)를 더 포함하며, 이를 중점으로 설명하도록 한다.
도 8a 내지 도 8c에서는 설명의 편의를 위해 디스플레이 장치(300A, 300B, 300C)의 다양한 구성 중 제1 개구부 및 적색 발광 소자만을 도시하였다.
복수의 제1 개구부(317a)가 복수의 서브 화소(SP) 각각에 배치될 수 있다. 복수의 제1 개구부(317a) 각각은 메인 개구부(117a-1) 및 복수의 보조 개구부(317a-2)를 포함할 수 있다. 이때, 하나의 서브 화소(SP)에서 제1 개구부(317a)는 복수일 수 있다.
메인 개구부(117a-1)은 복수의 발광 소자(LED)가 삽입되는 개구부이다. 이때 메인 개구부(117a-1) 및 복수의 발광 소자(LED)는 도 8a 내지 도 8c에 도시된 바와 같이 평면 상에서 서로 대응하는 원형 또는 타원형의 형상을 가질 수 있다.
보조 개구부(317a-2)는 메인 개구부(117a-1)와 연결될 수 있다. 이때, 하나의 메인 개구부(117a-1)에 연결되는 보조 개구부(317a-2)는 복수일 수 있다.
이때, 복수의 보조 개구부(317a-2)는 적어도 적색 발광 소자(230)의 제1 전극(234)의 끝단과 인접하도록 배치될 수 있다. 즉, 적색 발광 소자(230)의 제1 전극(234)이 비대칭적으로 배치되는 경우, 제1 전극(234)이 배치된 영역 쪽에 복수의 보조 개구부(317a-2)가 배치될 수 있다. 또한, 메인 개구부(117a-1) 및 발광 소자(LED)가 평면 상에서 원형 또는 타원형의 형상을 가지는 경우, 복수의 보조 개구부(317a-2)는 메인 개구부(117a-1)의 둘레를 둘러싸도록 복수로 배치될 수 있다. 한편, 녹색 발광 소자 및 청색 발광 소자에 대해서는 도면에 도시하지 않았으나, 녹색 발광 소자 및 청색 발광 소자가 배치되는 제1 개구부(317a) 또한 동일하게 적용될 수 있다.
구체적으로, 도 8a를 참조하면, 제1 개구부(317a)는 메인 개구부(117a-1)와 2개의 보조 개구부(317a-2)를 포함할 수 있다. 보조 개구부(317a-2) 중 하나는 제1 전극(234)의 끝단과 인접하게 배치될 수 있다. 나머지 보조 개구부(317a-2)는 메인 개구부(117a-2)를 기준으로 반대편에 배치될 수 있다. 이에, 적색 발광 소자(230)의 조립 과정에서 제1 전극(234)이 예상되는 위치의 반대편에 위치하더라도 보조 개구부(317a-2)에 의해 적색 발광 소자(230)와 제2 평탄화층(117) 사이의 공간을 충분히 확보할 수 있다.
다음으로, 도 8b를 참조하면, 제1 개구부(317a)는 메인 개구부(117a-1)와 3개 이상의 보조 개구부(317a-2)를 포함할 수 있다. 도 8b에서는 보조 개구부(317a-2)가 5개인 것으로 도시되었으나, 이에 제한되지 않는다. 복수의 보조 개구부(317a-2)는 도 8b에 도시된 것처럼 비대칭적으로 배치된 제1 전극(234)의 끝단에 인접하도록 배치될 수 있다. 또한, 복수의 보조 개구부(317a-2)는 원형 또는 타원형의 형상을 가지는 메인 개구부(117a-1)의 둘레의 약 절반 정도를 둘러싸도록 배치될 수 있다.
도 8c를 참조하면, 제1 개구부(317a)는 메인 개구부(117a-1)와 3개 이상의 보조 개구부(317a-2)를 포함할 수 있다. 도 8C에서는 보조 개구부(317a-2)가 8개인 것으로 도시되었으나, 이에 제한되지 않는다. 복수의 보조 개구부(317a-2)는 원형 또는 타원형의 형상을 가지는 메인 개구부(117a-1)의 둘레를 둘러싸도록 배치될 수 있고, 도 8c에 도시된 것처럼 메인 개구부(117a-1)의 둘레 전체를 둘러싸도록 배치될 수 있다.
따라서, 제3 내지 제5 실시예에 따른 디스플레이 장치(300A, 300B, 300C)에서는 제1 개구부(317a)가 메인 개구부(117a-1) 및 복수의 보조 개구부(317a-2)를 포함하므로 제1 전극(234)이 조립 과정에서 원하는 위치에서 일부 회전되어 배치되더라도 제2 평탄화층(117)과 제1 전극(234) 사이의 공간을 확보할 수 있다. 복수의 보조 개구부(317a-2)는 메인 개구부(117a-1)보다 크기가 작아 발광 소자(LED)가 삽입되지는 않으나, 복수의 보조 개구부(317a-2)가 배치되는 영역에서 발광 소자(LED)와 제2 평탄화층(117) 사이의 공간을 더욱 충분히 확보할 수 있는 기술적 효과가 있다.
이에, 발광 소자(LED)의 조립 과정에서 발광 소자(LED)가 원하는 위치에 삽입은 되지만 제1 전극(234)이 원하는 위치에서 회전되어 배치되더라도, 보조 개구부(317a-2)가 복수로 배치되고 보조 개구부(317a-2)가 메인 개구부(117a-1)의 둘레를 둘러싸도록 배치됨에 의해 제1 전극(234)과 제2 평탄화층(117) 간의 간격이 확보될 수 있다.
이에 따라, 제3 내지 제5 실시예에 따른 디스플레이 장치(300A, 300B, 300C)에서는 발광 소자(LED)와 제3 패시베이션층(216)간의 컨택 면적이 충분히 확보될 수 있고, 조립 불량이 개선될 수 있는 기술적 효과가 있다.
도 9는 제6 실시예에 따른 디스플레이 장치의 개략적인 확대 평면도이다. 도 9를 참조하면, 제6 실시예에 따른 디스플레이 장치(400)는 도 6 내지 도 7의 디스플레이 장치(200)의 특징을 채용할 수 있다. 예를 들어, 메인 개구부(417a-1) 및 메인 개구부(417a-1)로부터 연장되는 보조 개구부(417a-2)를 포함할 수 있다. 특히, 제2 실시예와 비교하여 제1 개구부(417a) 및 적색 발광 소자(430)의 평면 상 형상이 상이하며, 이를 중심으로 설명하도록 한다.도 9에서는 설명의 편의를 위해 디스플레이 장치(400)의 다양한 구성 중 제1 개구부 및 적색 발광 소자만을 도시하였다.
도 9를 참조하면, 복수의 제1 개구부(417a) 각각은 메인 개구부(417a-1) 및 복수의 보조 개구부(417a-2)를 포함할 수 있다. 메인 개구부(417a-1)는 복수의 발광 소자(LED)가 삽입되는 개구부로, 메인 개구부(417a-1) 및 복수의 발광 소자(LED)는 평면 상에서 동일하게 다각형의 형상을 가질 수 있다. 도 9를 참조하면, 메인 개구부(417a-1) 및 적색 발광 소자(430)은 평면 상에서 삼각형의 형상을 가질 수 있으나, 이에 제한되지 않는다.
적색 발광 소자(430)는 제1 반도체층(431), 제2 반도체층(433), 제1 반도체층(431)과 제2 반도체층(433) 사이에 배치된 발광층(432), 제1 반도체층(431) 하면에 배치된 제1 전극(434) 및 제2 반도체층(433) 상면에 배치된 제2 전극(435)을 포함한다. 제2 실시예에 따른 디스플레이 장치(200)에서 적색 발광 소자(130)과 비교하여, 제1 반도체층(431), 제2 반도체층(433), 발광층(432) 및 제2 전극(435)은 평면 상 형상이 삼각형인 것이 상이하며, 이를 중심으로 설명하도록 한다.제1 전극(434)은 제1 반도체층(431)보다 평면 상 작은 면적을 가진다. 즉, 제1 전극(434)의 상면보다 제1 반도체층(431)의 하면의 면적이 더 넓을 수 있다. 또한, 제1 전극(434)은 평면 상에서 삼각형 형상의 적색 발광 소자(430)의 하나의 꼭지점에 인접하도록 배치될 수 있다. 도 9에서는 제1 전극(434)의 끝단은 제1 반도체층(431)의 끝단과 동일 평면에 배치되는 것으로 도시하였으나, 제1 반도체층의 끝단보다 외측으로 돌출될 수도 있다. 한편, 녹색 발광 소자 및 청색 발광 소자에 대해서는 도면에 도시하지 않았으나, 녹색 발광 소자 및 청색 발광 소자와 녹색 발광 소자 및 청색 발광 소자가 배치되는 제1 개구부 또한 동일하게 적용될 수 있다.
보조 개구부(417a-2)는 메인 개구부(417a-1)와 연결될 수 있다. 이때, 하나의 메인 개구부(417a-1)에 연결되는 보조 개구부(417a-2)는 하나 일 수 있다.
도 9를 참조하면, 보조 개구부(417a-2)는 발광 소자(LED)가 삽입되는 메인 개구부(417a-1)와 연결될 수 있다. 다만, 보조 개구부(417a-2)는 메인 개구부(417a-1)보다 크기가 작아 복수의 발광 소자(LED)가 삽입될 수 없다. 이때, 보조 개구부(417a-2)의 평면 상 형상은 메인 개구부(417a-1)의 평면 상 형상과 대응할 수도 있다. 즉, 보조 개구부(417a-2)는 평면 상에서 다각형의 형상을 가질 수 있다. 도 9를 참조하면, 보조 개구부(417a-2)는 평면 상에서 삼각형의 형상을 가질 수 있으나, 이에 제한되지 않는다.
또한, 메인 개구부(417a-1) 및 복수의 발광 소자(LED)가 다각형의 형상인 경우, 보조 개구부(417a-2)는 메인 개구부(417a-1)의 복수의 꼭지점 중 하나에 연결되도록 배치될 수 있다. 도 9를 참조하면, 보조 개구부(417a-2)는 평면 상 삼각형 형상의 메인 개구부(417a-1)의 3개의 꼭지점 중 하나에 연결되도록 배치될 수 있다. 다만, 이에 제한되지는 않는다. 이때, 적색 발광 소자(430)의 제1 전극(434)은 보조 개구부(417a-2)에 인접하도록 배치될 수 있다.
제6 실시예에 따른 디스플레이 장치(400)에서는 발광 소자(LED)를 평면 상에서 삼각형의 형상으로 형성할 수 있다. 발광 소자(LED)는 마이크로 미터 단위로 매우 작은 크기를 가지므로, 발광 소자(LED) 제조 시에 발광 소자(LED)를 평면 상에서 원형 형상으로 제조하는 것보다 다각형 형상으로 제조하는 것이 공정 상 유리하다. 즉, 발광 소자(LED)의 측면이 곡면인 경우보다 평면인 경우 발광 소자(LED) 제조 시 컷팅 공정 등이 유리할 수 있다. 이에, 제6 실시예에 따른 디스플레이 장치(400)에서는 발광 소자(LED)를 평면 상에서 삼각형의 형상으로 형성하여 보다 용이하게 발광 소자(LED) 제조가 가능할 수 있는 기술적 효과가 있다.
또한, 제6 실시예에 따른 디스플레이 장치(400)에서는 평면 상에서 삼각형 형상을 갖는 발광 소자(LED)에 대응하는 메인 개구부(417a-1)를 통해 보다 정확하게 원하는 위치에 발광 소자(LED)를 조립할 수 있다. 즉, 발광 소자(LED) 및 메인 개구부(417a-1)가 모두 삼각형인 경우 발광 소자(LED)가 조립되는 과정에서 발광 소자(LED)가 회전되어 원하지 않는 위치에 조립될 확률이 낮아질 수 있다. 따라서, 제6 실시예에 따른 디스플레이 장치(400)에서는 발광 소자의 조립율이 개선될 수 있는 기술적 효과가 있다.
또한, 제6 실시예에 따른 디스플레이 장치(400)에서는 보조 개구부(417a-2)가 제1 전극(434)의 끝단과 인접하게 배치됨에 따라, 제1 전극(434)이 비대칭적으로 배치되더라도, 보조 개구부(417a-2)가 전기장 비대칭 현상을 완화시킬 수 있다. 즉, 보조 개구부(417a-2)가 제1 전극(434)측이 배치된 방향에 배치되는 경우, 보조 개구부(417a-2)는 발광 소자(LED)와 제2 평탄화층(117) 사이의 공간을 충분히 확보할 수 있으므로, 제1 전극(434)과 제2 평탄화층(117) 사이에 발생할 수 있는 전기장 비대칭 현상을 완화시킬 수 있다.
즉, 제2 평탄화층(117)과 제1 전극(434)사이에 발생할 수 있는 전기장의 단위 면적당 세기가 줄어드므로 전기장 비대칭 현상이 약해질 수 있다. 따라서, 제6 실시예에 따른 디스플레이 장치(400)에서는 전기장이 비대칭적으로 쏠리는 현상에 의해 발광 소자(LED)가 제2 평탄화층(117)에 올라타는 등의 조립 불량이 개선될 수 있는 기술적 효과가 있다.
도 10a 내지 도 11b는 제7 및 제8 실시예에 따른 디스플레이 장치에 대한 확대 평면도이다. 도 10a 및 도 10b의 디스플레이 장치(500A, 500B)는 도 9의 디스플레이 장치(400)와 비교하여 복수의 보조 개구부(517a-2)가 상이하며, 도 11a 및 도 11b의 디스플레이 장치(600A, 600B)는 도 9의 디스플레이 장치(400)와 비교하여 제1 개구부(617a)가 상이하며, 이를 중심으로 설명하도록 한다. 도 10a 내지 도 11b에서는 설명의 편의를 위해 디스플레이 장치(500A, 500B, 600A, 600B)의 다양한 구성 중 제1 개구부 및 적색 발광 소자만을 도시하였다.
먼저 도 10a 및 도 10b를 참조하면, 복수의 서브 화소(SP) 각각에 복수의 제1 개구부(517a)가 배치된다. 복수의 제1 개구부(517a) 각각은 메인 개구부(417a-1) 및 복수의 보조 개구부(517a-2)를 포함할 수 있다. 이때, 하나의 서브 화소(SP)에서 제1 개구부(517a)는 복수일 수 있다.
메인 개구부(417a-1)은 복수의 발광 소자(LED)가 삽입되는 개구부이다. 이때 메인 개구부(417a-1) 및 복수의 발광 소자(LED)는 평면 상에서 삼각형 형상을 가질 수 있다.
보조 개구부(517a-2)는 메인 개구부(417a-1)와 연결될 수 있다. 이때, 하나의 메인 개구부(417a-1)에 연결되는 보조 개구부(517a-2)는 복수일 수 있다.
먼저, 도 10a를 참조하면, 제1 개구부(517a)는 메인 개구부(417a-1)와 3개의 보조 개구부(517a-2)를 포함할 수 있다. 3개의 보조 개구부(517a-2) 각각은 삼각형 형상의 메인 개구부(417a-1)의 3개의 꼭지점에 각각 대응하도록 배치될 수 있다.
다음으로, 도 10b를 참조하면, 적색 발광 소자(430)의 제1 전극(434)은 제1 반도체층(431)보다 평면 상 작은 면적을 가진다. 즉, 제1 전극(434)의 상면보다 제1 반도체층(431)의 하면의 면적이 더 넓을 수 있다. 또한, 제1 전극(434)은 평면 상에서 삼각형 형상의 적색 발광 소자(430)의 하나의 변에 인접하도록 배치될 수 있다. 도 10b에서는 제1 전극(434)의 끝단은 제1 반도체층(431)의 끝단과 동일 평면에 배치되는 것으로 도시하였으나, 제1 반도체층(431)의 끝단보다 외측으로 돌출될 수도 있다.
이때, 3개의 보조 개구부(517a-2) 각각은 삼각형 형상의 메인 개구부(417a-1)의 3개의 변에 각각 대응하도록 배치될 수 있다.
따라서, 제7 및 제8 실시예에 따른 디스플레이 장치(500A, 500B)에서는 제1 개구부(517a)가 메인 개구부(417a-1) 및 복수의 보조 개구부(517a-2)를 포함하므로 제1 전극(434)이 조립 과정에서 원하는 위치에서 일부 회전되어 배치되더라도 제2 평탄화층(117)과 제1 전극(434) 사이의 공간을 확보할 수 있다.
발광 소자(LED)가 삼각형 형상이고, 메인 개구부(417a-1) 또한 삼각형 형상이므로, 발광 소자(LED)가 메인 개구부에 조립되어 배치될 때 제1 전극(434)이 회전되어 배치될 수 있는 경우는 총 3가지이다. 즉, 제1 전극(434)이 꼭지점에 대응하여 배치되는 경우와 변에 대응하여 배치되는 경우 모두 각각 3가지의 경우로 발광 소자(LED)가 배치될 수 있다.
이에, 제7 및 제8 실시예에 따른 디스플레이 장치(500A, 500B)에서는 복수의 보조 개구부(517a-2)가 모두 꼭지점에 대응하여 배치되거나 변에 대응하여 배치됨에 따라, 조립 과정에서 제1 전극(434)이 원하는 위치에서 회전되어 조립되더라도 제2 평탄화층(117)과 제1 전극(434) 사이의 공간을 확보할 수 있는 기술적 효과가 있다.
또한, 복수의 보조 개구부(517a-2)는 메인 개구부(417a-1)보다 크기가 작아 발광 소자(LED)가 삽입되지는 않으나, 복수의 보조 개구부(517a-2)가 배치되는 영역에서 발광 소자(LED)와 제2 평탄화층(117) 사이의 공간을 더욱 충분히 확보할 수 있다. 이에, 발광 소자(LED)의 조립 과정에서 발광 소자(LED)가 원하는 위치에 삽입은 되지만 제1 전극(434)이 원하는 위치에서 회전되어 배치되더라도, 보조 개구부(517a-2)가 복수로 배치되고 메인 개구부(417a-1)의 모든 꼭지점에 대응하도록 배치되거나 모든 변에 대응하도록 배치됨에 의해 제1 전극(434)과 제2 평탄화층(117) 간의 간격이 확보될 수 있다.
이에 따라, 제7 및 제8 실시예에 따른 디스플레이 장치(500A, 500B)에서는 발광 소자(LED)와 제3 패시베이션층(216)간의 컨택 면적이 충분히 확보될 수 있고, 조립 불량이 개선될 수 있는 기술적 효과가 있다.
다음으로, 도 11a 및 도 11b는 제9 및 제10 실시예에 따른 디스플레이 장치(600A, 600B)에 대한 확대 평면도이다. 도 11a 및 도 11b를 참조하면, 복수의 제1 개구부(617a) 각각은 메인 개구부(617a-1) 및 복수의 보조 개구부(617a-2)를 포함할 수 있다. 메인 개구부(617a-1)는 복수의 발광 소자(LED)가 삽입되는 개구부로, 메인 개구부(617a-1) 및 복수의 발광 소자(LED)는 평면 상에서 동일하게 다각형의 형상을 가질 수 있다. 도 11a 및 도 11b를 참조하면, 메인 개구부(617a-1) 및 적색 발광 소자(630)은 평면 상에서 사각형의 형상을 가질 수 있으나, 이에 제한되지 않는다.
적색 발광 소자(630)는 제1 반도체층(631), 제2 반도체층(633), 제1 반도체층(631)과 제2 반도체층(633) 사이에 배치된 발광층(632), 제1 반도체층(631) 하면에 배치된 제1 전극(634) 및 제2 반도체층(633) 상면에 배치된 제2 전극(635)을 포함할 수 있다.
제9 및 제10 실시예에 따른 디스플레이 장치(600A, 600B)의 적색 발광 소자(630)는 제2 실시예에 따른 도 6 및 도 7의 적색 발광 소자(130)과 비교하여 제1 반도체층(631), 제2 반도체층(633), 발광층(632) 및 제2 전극(635)은 평면 상 형상이 사각형인 것이 상이하며, 이를 중점으로 설명하도록 한다.
적색 발광소자(630)에서 제1 전극(635)은 제1 반도체층(631)보다 평면 상 작은 면적을 가진다. 즉, 제1 전극(635)의 상면보다 제1 반도체층(631)의 하면의 면적이 더 넓을 수 있다. 또한, 제1 전극(635)은 도 11a에 도시된 바와 같이 평면 상에서 사각형 형상의 적색 발광 소자(630)의 하나의 변에 인접하도록 배치될 수도 있고, 도 11b에 도시된 바와 같이 평면 상에서 사각형 형상의 적색 발광 소자(630)의 하나의 꼭지점에 인접하도록 배치될 수도 있다. 도 11a 및 도 11b에서는 제1 전극(634)의 끝단은 제1 반도체층(631)의 끝단과 동일 평면에 배치되는 것으로 도시하였으나, 제1 반도체층(631)의 끝단보다 외측으로 돌출될 수도 있다.
한편, 녹색 발광 소자 및 청색 발광 소자에 대해서는 도면에 도시하지 않았으며, 녹색 발광 소자 및 청색 발광 소자와 녹색 발광 소자 및 청색 발광 소자가 배치되는 제1 개구부 또한 동일하게 적용될 수 있다.
보조 개구부(617a-2)는 메인 개구부(617a-1)와 연결될 수 있다. 이때, 하나의 메인 개구부(617a-1)에 연결되는 보조 개구부(617a-2)는 복수일 수 있다.
메인 개구부(617a-1)은 복수의 발광 소자(LED)가 삽입되는 개구부이다. 이때 메인 개구부(617a-1) 및 복수의 발광 소자(LED)는 평면 상에서 사각형 형상을 가질 수 있다.
보조 개구부(617a-2)는 메인 개구부(617a-1)와 연결될 수 있다. 이때, 하나의 메인 개구부(617a-1)에 연결되는 보조 개구부(617a-2)는 복수일 수 있다.
먼저, 도 11a를 참조하면, 제1 개구부(617a)는 메인 개구부(617a-1)와 4개의 보조 개구부(617a-2)를 포함할 수 있다. 4개의 보조 개구부(617a-2) 각각은 사각형 형상의 메인 개구부(617a-1)의 4개의 변에 각각 대응하도록 배치될 수 있다.
다음으로, 도 11b를 참조하면, 4개의 보조 개구부(617a-2) 각각은 사각형 형상의 메인 개구부(617a-1)의 4개의 꼭지점에 각각 대응하도록 배치될 수 있다.
따라서, 제9 및 제10 실시예에 따른 디스플레이 장치(600A, 600B)에서는 제1 개구부(617a)가 메인 개구부(617a-1) 및 복수의 보조 개구부(617a-2)를 포함하므로 제1 전극(634)이 조립 과정에서 원하는 위치에서 일부 회전되어 배치되더라도 제2 평탄화층(117)과 제1 전극(634) 사이의 공간을 확보할 수 있다. 발광 소자(LED)가 사각형 형상이고, 메인 개구부(617a-1) 또한 사각형 형상이므로, 발광 소자(LED)가 메인 개구부(617a-1)에 조립되어 배치될 때 제1 전극(634)이 회전되어 배치될 수 있는 경우는 총 4가지이다. 즉, 제1 전극(634)이 꼭지점에 대응하여 배치되는 경우와 변에 대응하여 배치되는 경우 모두 각각 4가지의 경우로 발광 소자(LED)가 배치될 수 있다. 이에, 제9 및 제10 실시예에 따른 디스플레이 장치(600A, 600B)에서는 복수의 보조 개구부(617a-2)가 모두 꼭지점에 대응하여 배치되거나 변에 대응하여 배치됨에 따라, 조립 과정에서 제1 전극(634)이 원하는 위치에서 회전되어 조립되더라도 제2 평탄화층(117)과 제1 전극(634) 사이의 공간을 확보할 수 있다.
또한, 복수의 보조 개구부(617a-2)는 메인 개구부(617a-1)보다 크기가 작아 발광 소자(LED)가 삽입되지는 않으나, 복수의 보조 개구부(617a-2)가 배치되는 영역에서 발광 소자(LED)와 제2 평탄화층(117) 사이의 공간을 더욱 충분히 확보할 수 있다. 이에, 발광 소자(LED)의 조립 과정에서 발광 소자(LED)가 원하는 위치에 삽입은 되지만 제1 전극(634)이 원하는 위치에서 회전되어 배치되더라도, 보조 개구부(617a-2)가 복수로 배치되고 메인 개구부(617a-1)의 모든 꼭지점에 대응하도록 배치되거나 모든 변에 대응하도록 배치됨에 의해 제1 전극(634)과 제2 평탄화층(117) 간의 간격이 확보될 수 있다. 이에 따라, 제9 및 제10 실시예에 따른 디스플레이 장치(600A, 600B)에서는 발광 소자(LED)와 제3 패시베이션층(216)간의 컨택 면적이 충분히 확보될 수 있고, 조립 불량이 개선될 수 있다.
다음으로, 도 12는 제11 실시예에 따른 디스플레이 장치(700)의 단면도이다. 제11 실시예에 따른 디스플레이 장치(700)는 도 6 및 도 7의 특징을 채용할 수 있다. 예를 들어, 메인 개구부(117a-1) 및 메인 개구부(117a-1)로부터 연장되는 보조 개구부(117a-2)를 포함할 수 있다. 이하 디스플레이 장치가 측면 배선을 포함하는 형태를 중심으로 설명하도록 한다.
한편, 내부적으로 진행되는 연구에서, 발광 소자에 측면 배선을 형성할 때, 발광 소자가 조립되는 제1 개구부(117a)의 영역이 충분히 확보되지 못하는 경우, 측면 배선 형성 시 균일하게 형성되지 않는 문제점이 있었다.
도 12를 참조하면, 제11 실시예에 따른 디스플레이 장치(700)는 메인 개구부(117a-1) 및 메인 개구부(117a-1)로부터 연장되는 보조 개구부(117a-2)를 포함하고 있다. 제2 패시베이션층(115) 상에는 발광 소자(130)가 조립되는 개구부 영역과 중첩되도록 제1 조립 배선(121) 및 제2 조립 배선(122)가 배치될 수 있다. 제2 절연층(116-2)은 제1 조립 배선(121)의 제1 클래드층(121b) 상에 배치될 수 있다.
그리고 측면 배선(125)이 개구부(117a-1) 내에 배치되어 발광 소자(130)의 제1 전극(134)과 전기적으로 연결될 수 있으며, 상기 개구부(117a-1)의 측벽에 접할 수 있다.
제11 실시예는 보조 개구부(117a-2)를 포함하며, 조립홀에서 발광 소자(130)가 조립되고 남은 영역이 충분히 확보가 되기 때문에 발광 소자(130)의 제1 전극(134)과 전기적으로 연결되는 측면 배선을 균일하게 형성할 수 있는 기술적 효과가 있으며, 조립홀 측면의 격벽을 에싱(ashing)하는 공정을 수행하지 않아도 되어 공정 단계가 줄어드는 기술적 효과가 있다.
도 13은 제12 실시예에 따른 디스플레이 장치(800)의 단면도이다. 제12 실시예에 따른 디스플레이 장치(800)는 도 6 및 도 7의 특징을 채용할 수 있다. 예를 들어, 메인 개구부(117a-1) 및 메인 개구부(117a-1)로부터 연장되는 보조 개구부(117a-2)를 포함할 수 있다. 이하 조립 배선(1020)의 형태의 차이점을 중심으로 설명하도록 한다.
도 13을 참조하면, 제1 조립 배선(1021)의 제1 클래드층(1021b)은 제1 도전층(1021a)으로부터 제2 조립 배선(1022) 방향으로 연장될 수 있다. 또한, 제2 조립 배선의 제2 클래드층(1022b)은 제2 도전층(1022a)으로부터 제1 조립배선(1021) 방향으로 연장될 수 있다.
제12 실시예에서 제1 클래드층(1021b)과 제2 클래드층(1022b)는 제3 패시베이션층(116)을 사이에 두고 배치되어, 상하간에 중첩될 수 있다.
한편, 제1 클래드층(1021b)은 발광 소자(130) 및 제2 클래드층(1022b)과 중첩되는 영역에 소정의 전극 홀(1023)을 구비할 수 있다. 전극 홀(1023)의 폭은 발광소자(130)의 폭보다 작을 수 있다.
또한, 제1 클래드층(1021b)과 제2 클래드층(1022b)에는 교류전압이 인가되어 전기장이 형성될 수 있다. 이러한 전기장에 의한 DEP force는 제2 클래드층(1022b) 내에 구비된 전극 홀(1023)에서 집중될 수 있다. 집중된 유전영동 힘(DEP force)에 의해 발광 소자(130)는 제1 개구부(117a) 내에 자가 조립될 수 있다.
조립 배선(1021, 1022)이 수직으로 중첩됨으로 인해 발광 소자(130)에 대한 조립력이 강화되는 기술적 효과가 있다. 뿐만 아니라, 제1 개구부(117a)는 제1 도전층(1021a) 및 제2 도전층(1022a)과 수직으로 중첩하지 않아서 패널의 두께가 감소될 수 있는 기술적 효과가 있다.
한편, 제2 클래드층(1022b)은 발광 소자(130)의 아래에 배치될 수 있다. 또한, 제1 클래드층(1021b)은 발광 소자(130)의 제1 전극(134)과 접할 수 있다.
따라서, 제2 클래드층(1022b)이 발광 소자(130)의 제1 전극(134)의 하면에 배치됨에 따라, 발광소자(130)가 균일하게 지지됨과 아울러 상호간에 전기적 접촉면적을 넓게 확보하여 캐리어 주입효율이 향상되어 발광효율이 향상되고 휘도가 향상되는 복합적인 기술적 효과가 있다.
도 14는 제12 실시예에 따른 디스플레이 장치(800)에서 조립 배선(1020)을 상세히 나타낸 도면이다.
도 14를 참조하면, 제12 실시예에서, 제1 클래드층(1021b)의 일부와 제2 클래드층(1022b)의 일부는 상하간에 중첩될 수 있다. 예를 들어, 제1 클래드층(1021b)은 제1-1 클래드층(1021b1)과 제1-2 클래드층(1021b2) 및 제1-3 클래드층(1021b3)을 포함할 수 있다. 제1-2 클래드층(1021b2)은 제1-1 클래드층(1021b1)에서 제2 클래드층(1022b) 방향으로 연장되는 돌출전극일 수 있다.
또한, 제2 클래드층(1022b)은 제2-1 클래드층(1022b1)과 제2-2 클래드층(1022b2) 및 제2-3 클래드층(1022b3)을 포함할 수 있다. 제2-2 클래드층(1022b2)은 제2-1 클래드층(1022b1)에서 제1 클래드층(1021b) 방향으로 연장되는 돌출전극일 수 있다.
이 때, 제1-2 클래드층(1021b2)과 제2-2 클래드층(1022b2)은 수직으로 중첩될 수 있다.
또한, 제1-2 클래드층(1021b2)은 전극 홀(1023)을 구비할 수 있다. 이에 따라, 제1 클래드층(1021b)의 전극 홀(1023)에 DEP force가 집중되어 형성될 수 있으며, 조립 홀(1023)에서 균일한 Dep force가 분포하여 조립력이 향상되는 기술적 효과가 있다.
또한, 제1-1 클래드층(1022b1)과 제1-2 클래드층(1021b2)을 이어주는 제1-3 클래드층(1021b3)은 경사면을 갖도록 배치될 수 있다. 이를 통해 제1 도전층(1021a)은 제1 개구부(117a) 외의 영역에 배치되어 패널의 두께를 감소시킬 수 있는 기술적 효과가 있다.
이상 기술한 실시예에 따른 반도체 발광 소자를 포함하는 디스플레이 장치는 발광 소자의 자가 조립을 위한 배선을 발광 소자의 구동을 위한 배선으로도 활용할 수 있는 기술적 효과가 있다.
또한, 실시예는 복수의 조립 배선의 구조를 다양하게 형성하여 발광 소자의 자가 조립이나 본딩 시 불량이 발생하는 것을 최소화할 수 있는 기술적 효과가 있다.
또한, 실시예는 복수의 조립 배선의 부식 및 쇼트 불량을 최소화할 수 있는 기술적 효과가 있다.
또한, 실시예는 복수의 조립 배선 간의 단차를 저감하여 복수의 발광 소자를 안정적으로 본딩할 수 있는 기술적 효과가 있다.
또한, 실시예는 발광 소자의 제1 전극의 면적을 축소시켜 전기장 구배를 넓게 확보하여 전기장을 대칭으로 형성할 수 있는 기술적 효과가 있다.
또한, 실시예는 발광 소자의 제1 전극 및 개구부의 형상 변경을 통해 개구부 측면 격벽부에 전기장이 쏠리는 현상을 방지하여 발광 소자의 조립 불량을 저감할 수 있는 기술적 효과가 있다.
또한, 실시예는 개구부의 형상 변경을 통하여, 균일한 측면 배선을 형성할 수 있는 기술적 효과가 있다.
또한, 실시예는 복수의 조립 배선을 수직으로 중첩되도록 배치하여 발광 소자에 대한 조립력을 향상시킬 수 있는 기술적 효과가 있다.
상기의 상세한 설명은 모든 면에서 제한적으로 해석되어서는 아니되고 예시적인 것으로 고려되어야 한다. 실시예의 범위는 첨부된 청구항의 합리적 해석에 의해 결정되어야 하고, 실시예의 등가적 범위 내에서의 모든 변경은 실시예의 범위에 포함된다.
[부호의 설명]
10: 원장 기판 AA: 표시 영역
NA: 비표시 영역 SP: 서브 화소
SPR: 적색 서브 화소 SPG: 녹색 서브 화소
SPB: 청색 서브 화소
100, 200, 300A, 300B, 300C 400, 500A, 500B, 600A, 600B, 700, 800: 디스플레이 장치
110: 기판 111: 버퍼층
112: 게이트 절연층 113: 제1 패시베이션층
114: 제1 평탄화층 115: 제2 패시베이션층
116, 216: 제3 패시베이션층 116-2: 제2 절연층
117: 제2 평탄화층 117a, 317a, 417a, 517a, 617a: 제1 개구부
117b: 제2 개구부
117a-1, 417a-1, 617a-1: 메인 개구부
117a-2, 317a-2, 417a-2, 517a-2, 617a-2: 보조 개구부
118: 제3 평탄화층 119: 보호층
120, 220, 1020: 조립 배선 121, 221, 1021: 제1 조립 배선
121a, 221a, 1021a: 제1 도전층 121b, 221b, 1021b: 제1 클래드층
122, 1022: 제2 조립 배선 122a, 1022a: 제2 도전층
122b, 1022b: 제2 클래드층 1021b1: 제1-1 클래드층
1021b2: 제1-2 클래드층 1021b3: 제1-3 클래드층
1022b1: 제2-1 클래드층 1022b2: 제2-2 클래드층
1022b3: 제2-3 클래드층 1023: 전극 홀
123: 연결 전극 123a: 제1 연결층
123b: 제2 연결층 125: 측면 배선
LED: 발광 소자 130, 230, 430, 630: 적색 발광소자
131, 431, 631: 제1 반도체층 132, 432, 632: 발광층
133, 433, 632: 제2 반도체층 134, 234, 434, 634: 제1 전극
135, 435, 635: 제2 전극 140: 녹색 발광 소자
150: 청색 발광 소자 LS: 차광층
SL: 스캔 배선 DL: 데이터 배선
RL: 기준 배선 VDD: 고전위 전원 배선
VDD1: 제1 층 VDD2: 제2 층
VDD3: 제3 층 TR1: 제1 트랜지스터
ACT1: 제1 액티브층 GE1: 제1 게이트 전극
SE1: 제1 소스 전극 DE1: 제1 드레인 전극
TR2: 제2 트랜지스터 ACT2: 제2 액티브층
GE2: 제2 게이트 전극 SE2: 제2 소스 전극
DE2: 제2 드레인 전극 TR3: 제3 트랜지스터
ACT3: 제3 액티브층 GE3: 제3 게이트 전극
SE3: 제3 소스 전극 DE3: 제3 드레인 전극
ST: 스토리지 커패시터 ST1: 제1 커패시터 전극
ST2: 제2 커패시터 전극 CE: 컨택 전극
PE: 화소 전극 BM: 블랙 매트릭스
CB: 챔버 WT: 유체
MG: 자석 PD: 조립 패드
PD1: 제1 조립 패드 PD2: 제2 조립 패드
PD3: 제3 조립 패드 PD4: 제4 조립 패드
PD5: 제5 조립 패드 PD6: 제6 조립 패드
PL: 조립 배선 연결부 PL1: 제1 연결부
PL2: 제2 연결부 PL3: 제3 연결부
PL4: 제4 연결부 PL5: 제5 연결부
PL6: 제6 연결부 LL: 링크 배선
SCL: 스크라이빙 라인 IL: 복수의 절연층
실시예는 영상이나 정보를 디스플레이하는 디스플레이 분야에 채택될 수 있다.
실시예는 반도체 발광소자를 이용하여 영상이나 정보를 디스플레이하는 디스플레이 분야에 채택될 수 있다.
실시예는 마이크로급이나 나노급 반도체 발광소자를 이용하여 영상이나 정보를 디스플레이하는 디스플레이 분야에 채택될 수 있다.

Claims (20)

  1. 기판;
    상기 기판 상에서 서로 이격되어 배치된 제1 조립 배선 및 제2 조립배선;
    상기 제1 조립 배선 및 상기 제2 조립 배선 상에 배치되고, 상기 제1 조립 배선 및 상기 제2 조립 배선과 중첩하는 개구부를 갖는 평탄화층; 및
    상기 개구부 내측에 배치되고, 상기 제1 조립 배선에 전기적으로 연결된 제1 전극을 포함하는 발광 소자를 포함하고,
    상기 개구부는 메인 개구부 및 상기 메인 개구부와 연결되고 상기 메인 개구부보다 작은 하나 이상의 보조 개구부를 포함하는, 반도체 발광 소자를 포함하는 디스플레이 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 조립 배선은 상기 제2 조립 배선보다 상부에 위치하고,
    상기 제1 전극은 상기 제1 조립 배선과 접하고,
    상기 보조 개구부는 상기 제1 조립 배선과 중첩하는, 반도체 발광 소자를 포함하는 디스플레이 장치.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 제1 조립 배선과 상기 개구부가 중첩하는 영역은 상기 제2 조립 배선과 상기 개구부가 중첩하는 영역보다 넓은, 반도체 발광 소자를 포함하는 디스플레이 장치.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 조립 배선과 상기 제2 조립 배선은 동일 층에 배치되고,
    상기 발광 소자는 상기 제1 전극 상에 배치되고, 상기 제1 전극의 상면보다 면적이 넓은 하면을 갖는 제1 반도체층을 더 포함하고,
    상기 제1 전극은 상기 제1 반도체층의 중심을 기준으로 비대칭적으로 배치되는, 반도체 발광 소자를 포함하는 디스플레이 장치.
  5. 제4 항에 있어서,
    상기 제1 전극의 끝단은 상기 제1 반도체층의 끝단과 동일 평면에 배치되거나, 상기 제1 반도체층의 끝단보다 외측으로 돌출되는, 반도체 발광 소자를 포함하는 디스플레이 장치.
  6. 제5 항에 있어서,
    상기 보조 개구부는 상기 제1 전극의 끝단과 인접하도록 배치되는, 반도체 발광 소자를 포함하는 디스플레이 장치.
  7. 제4 항에 있어서,
    상기 제1 조립 배선 및 상기 제2 조립 배선과 상기 발광 소자 사이에 배치되고, 상기 발광 소자와 상기 평탄화층 사이에 배치된 상기 제1 조립 배선을 노출시키기 위한 컨택홀을 포함하는 패시베이션층; 및
    상기 컨택홀을 통해 상기 제1 전극과 상기 제1 조립 배선을 연결하는 컨택 전극을 더 포함하는, 반도체 발광 소자를 포함하는 디스플레이 장치.
  8. 제4 항에 있어서,
    상기 메인 개구부 및 상기 발광 소자는 평면 상에서 원형 또는 타원형의 형상을 가지는, 반도체 발광 소자를 포함하는 디스플레이 장치.
  9. 제8 항에 있어서,
    상기 보조 개구부는 상기 메인 개구부의 둘레를 둘러싸도록 복수로 배치되는, 반도체 발광 소자를 포함하는 디스플레이 장치.
  10. 제4 항에 있어서,
    상기 메인 개구부 및 상기 발광 소자는 평면 상에서 동일한 다각형의 형상을 가지는, 반도체 발광 소자를 포함하는 디스플레이 장치.
  11. 제10 항에 있어서,
    상기 보조 개구부는 상기 메인 개구부의 복수의 꼭지점 또는 복수의 변에 연결되도록 배치되는, 반도체 발광 소자를 포함하는 디스플레이 장치.
  12. 복수의 서브 화소가 정의된 기판;
    상기 복수의 서브 화소 중 동일 라인에 배치된 복수의 서브 화소를 따라 배치된 복수의 제1 조립 배선;
    상기 복수의 서브 화소 중 동일 라인에 배치된 복수의 서브 화소를 따라 배치되고, 상기 제1 조립 배선 각각과 이웃하게 배치된 복수의 제2 조립 배선;
    상기 복수의 제1 조립 배선 및 상기 복수의 제2 조립 배선과 중첩하는 복수의 포켓을 포함하는 평탄화층; 및
    상기 복수의 서브 화소 각각에서 상기 복수의 포켓에 배치되고, 디스플레이 장치에 접합되는 하부 전극을 포함하는 복수의 발광 소자를 포함하고,
    상기 복수의 포켓 각각은 제1 크기를 갖고 상기 복수의 발광 소자가 배치되는 제1 포켓 및 상기 제1 크기보다 작은 제2 크기를 갖고, 상기 제1 포켓으로부터 연장되는 제2 포켓을 포함하는, 반도체 발광 소자를 포함하는 디스플레이 장치.
  13. 제12 항에 있어서,
    상기 복수의 제1 조립 배선은 상기 복수의 제2 조립 배선보다 상부에 위치하고,
    상기 하부 전극은 상기 복수의 제1 조립 배선과 접하고,
    상기 제2 포켓은 상기 복수의 제1 조립 배선과 중첩하는, 반도체 발광 소자를 포함하는 디스플레이 장치.
  14. 제12 항에 있어서,
    상기 복수의 제1 조립 배선과 상기 복수의 제2 조립 배선은 동일 평면상에 배치되는, 반도체 발광 소자를 포함하는 디스플레이 장치.
  15. 제14 항에 있어서,
    상기 발광 소자는 상기 하부 전극 상에 배치되는 제1 반도체층을 포함하고,
    상기 하부 전극은 상기 제1 반도체층보다 평면상 작은 면적을 가지고,
    상기 하부 전극은 상기 제1 반도체층의 중심을 기준으로 비대칭적으로 배치되는, 반도체 발광 소자를 포함하는 디스플레이 장치.
  16. 제15 항에 있어서,
    상기 하부 전극의 끝단은 상기 발광 소자의 측면과 일치하거나, 상기 발광 소자의 측면보다 외측으로 돌출되는, 반도체 발광 소자를 포함하는 디스플레이 장치.
  17. 제16 항에 있어서,
    상기 제2 포켓은 상기 하부 전극의 끝단과 인접하도록 배치되는, 반도체 발광 소자를 포함하는 디스플레이 장치.
  18. 제14 항에 있어서,
    상기 제2 포켓은 상기 제1 포켓의 외곽을 둘러싸도록 복수로 배치되는, 반도체 발광 소자를 포함하는 디스플레이 장치.
  19. 제1항에 있어서,
    상기 제1 조립 배선과 상기 제2 조립 배선은 수직으로 중첩하며, 상기 제1 조립 배선은 상기 제2 조립 배선 및 상기 발광 소자와 수직으로 중첩되는 영역에 전극 홀을 포함하는, 반도체 발광 소자를 포함하는 디스플레이 장치.
  20. 기판;
    상기 기판 상에서 서로 이격되어 배치된 제1 조립 배선 및 제2 조립배선;
    상기 제1 조립 배선 및 상기 제2 조립 배선 상에 배치되고, 상기 제1 조립 배선 및 상기 제2 조립 배선과 중첩하는 개구부를 갖는 평탄화층;
    상기 개구부 내에 배치되며 제1 전극을 포함하는 발광 소자;
    상기 개구부 내에 배치되어 상기 제1 전극과 전기적으로 연결되는 측면 배선;
    상기 개구부는 메인 개구부 및 상기 메인 개구부와 연결되고 상기 메인 개구부보다 작은 하나 이상의 보조 개구부를 포함하며,
    상기 측면 배선은 상기 보조 개구부 내에 배치되고, 상기 개구부의 측벽에 접하는, 반도체 발광 소자를 포함하는 디스플레이 장치.
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