WO2023042491A1 - 伸縮性回路基板の製造方法、金属張積層板、樹脂付き金属箔、伸縮性回路基板及び伸縮性回路実装品 - Google Patents

伸縮性回路基板の製造方法、金属張積層板、樹脂付き金属箔、伸縮性回路基板及び伸縮性回路実装品 Download PDF

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metal
stretchable
elastic
layer
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朋寛 深尾
知昭 澤田
恭佑 道上
倩瑩 李
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パナソニックＩｐマネジメント株式会社
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Definitions

  • the present disclosure relates to a method for manufacturing an elastic circuit board, a metal-clad laminate, a metal foil with resin, an elastic circuit board, and an elastic circuit-mounted product.
  • a substrate having a hole penetrating in a plate thickness direction, a first conductor layer closing one side of the hole, and the hole and the first conductor layer are formed.
  • a circuit board having a liquid metal placed in a recess and a sealing film covering the surface of the liquid metal is described.
  • a stretchable circuit can be obtained by using a method of sealing a liquid metal in a substrate with a sealing film.
  • liquid metal is filled in the elastic insulating layer of the substrate, the expansion and contraction of the elastic insulating circuit board causes breakage between the elastic insulating layer and the sealing film, and the liquid metal leaks from the broken portion. I had a problem.
  • grooves are formed in the elastic insulating layer by laser or the like, and after filling the grooves with a fluid such as liquid metal or a heat medium, the fluid is enclosed inside the elastic insulating layer by laminating a metal foil. Even when the elastic circuit board is formed by the method of There is a problem that the fluid leaks from the broken portion.
  • the subject of the present disclosure is a method for manufacturing a stretchable circuit board, a metal-clad laminate, a resin-coated metal foil, a stretchable circuit board, and stretchable circuit mounting, in which the leakage of the fluid enclosed inside the stretchable insulating layer is suppressed. It is about providing goods.
  • a metal-clad laminate includes a metal layer, an elastic insulating layer in contact with the metal layer, and a fluid, the elastic insulating layer includes vias therein, and the elastic The surface of the elastic insulating layer in contact with the metal layer is provided with an opening leading to the via, the via is filled with a fluid, the elastic insulating layer contains a thermosetting resin, and the elastic insulating layer contains a thermosetting resin. and a peeling strength with respect to the elastic insulating layer is 0.5 N/mm or more and 3.0 N/mm or less.
  • a resin-coated metal foil includes a metal layer, an elastic insulating layer in contact with the metal layer, and a fluid, the elastic insulating layer includes vias therein, and the elastic The surface of the elastic insulating layer in contact with the metal layer is provided with an opening leading to the via, the via is filled with a fluid, and the elastic insulating layer contains an uncured or semi-cured thermosetting resin.
  • the peeling strength between the metal layer and the elastic insulating layer is 0.5 N/mm or more and 3.0 N/mm or less. is.
  • a stretchable circuit board is a circuit in which the metal layer in the metal-clad laminate is patterned.
  • a stretchable circuit-mounted product has an electronic component mounted on the metal layer of the stretchable circuit board.
  • FIG. 1 is a schematic diagram showing the manufacturing process of a stretchable circuit board according to one embodiment of the present disclosure.
  • FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing a metal-clad laminate according to one embodiment of the present disclosure.
  • FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing a stretchable circuit board according to one embodiment of the present disclosure;
  • FIG. 4 is a schematic cross-sectional view showing a stretchable circuit package according to one embodiment of the present disclosure;
  • FIG. 5 is an enlarged view of a portion where a circuit is formed in a schematic cross-sectional view of an elastic circuit board according to an embodiment of the present disclosure.
  • the stretchable insulating layers (the first stretchable insulating layer and the second stretchable insulating layer) according to this embodiment each have stretchability.
  • “having stretchability” means being elastically deformable, and the stretchable insulating layer of the present embodiment preferably satisfies the following tensile modulus and/or breaking elongation.
  • the stretchable insulating layer preferably has a tensile modulus of 0.1 MPa or more.
  • the upper limit is not particularly limited, it is preferably 100 MPa or less. More preferably, the tensile modulus is 1.0 MPa or more and 50 MPa or less, and still more preferably 1.5 MPa or more and 30 MPa or less.
  • the stretchable insulating layer according to the present embodiment has a breaking elongation rate of 50% or more.
  • the elongation at break refers to the elongation until breakage, and is an index showing the flexibility of the insulating layer together with the above-mentioned tensile elastic modulus.
  • a more preferable elongation at break is 100% or more and 500% or less.
  • the upper limit of the elongation at break in the present embodiment the higher the better, but 1000% is sufficient.
  • a circuit board provided with a stretchable insulating layer having a tensile modulus and/or elongation at break within the range described above is excellent for clothes, for example, because it has high followability when deformed into an arbitrary shape. It is thought that it is possible to obtain a circuit board that has excellent followability, is not easily broken, and has excellent stretchability.
  • the tensile modulus and elongation at break in this embodiment are values measured by the following methods: First, the tensile modulus of elasticity is determined by cutting the cured resin constituting the stretchable insulating layer into a size of 90 mm ⁇ 5.5 mm and mounting it on a universal testing machine (AGS-X manufactured by Shimadzu Corporation). Then, at room temperature (25 ° C.), the test was performed at a tensile speed of 500 mm / min, and from all stress ( ⁇ ) data corresponding to strain (r) with an elongation rate of 1.0% to 5.0%, a minimum of two It was calculated by obtaining the slope of r ⁇ (initial tensile modulus) using multiplication.
  • the breaking elongation rate the elongation rate when each cured resin film breaks is measured by the tester.
  • the elastic insulating layer according to the present embodiment has a tensile stress of 0.1 MPa or more and 20 MPa or less when stretched by 50%.
  • "Tensile stress at 50% elongation” refers to the tensile stress when the elongation rate reaches 50% in the tensile test described above, and is an index showing the flexibility of the stretchable insulating layer together with the tensile elastic modulus described above.
  • a more preferable range of the tensile stress is 0.5 MPa or more and 15 MPa or less.
  • the method for manufacturing the stretchable circuit board 1 includes the laminate 31 in which the metal layer 11 and the first stretchable insulating layer 21 are in contact, the second stretchable insulating layer 22, and the fluid 41. , and a via 51 leading from the first surface (a1) in contact with the metal layer 11 of the first elastic insulating layer 21 to the second surface (a2) facing the first surface (a1) a step (2) of forming the via 51, a step (3) of filling the via 51 with the fluid 41, and a step of laminating the second elastic insulating layer 22 on the second surface (a2) to seal the via 51 ( 4) and a step (5) of patterning the metal layer 11 .
  • each reference sign indicates the following: 1 elastic circuit board, 10 metal clad laminate, 11 metal layer, 20 elastic insulating layer, 21 first elastic resin layer, 22 second Second elastic resin layer, 31 laminated body, 41 fluid, 51 via, 90 electronic component, 100 elastic circuit mounted product.
  • step (1) as shown in FIG. 1A, a laminate 31 in which a metal layer 11 and a first stretchable insulating layer 21 are in contact with each other, a second stretchable insulating layer 22, a fluid 41 (not shown).
  • the laminate 31 is formed by laminating and integrating the first stretchable insulating layer 21 on the metal layer 11 .
  • the method of laminating and integrating the metal layer 11 and the first stretchable insulating layer 21 is not particularly limited, and a resin layer to be the first stretchable insulating layer 21 is formed on the metal layer 11 by applying resin varnish or the like.
  • first stretchable insulating layer 21 which is a sheet-like resin film
  • metal layer 11 by molding such as thermocompression bonding.
  • the first stretchable insulating layer 21 and the metal layer 11 may be bonded using an adhesive, or a metal layer may be formed on the surface of the stretchable insulating layer by electroless plating, electrolytic plating, vapor deposition, or the like.
  • the peel strength between the metal layer 11 and the first stretchable insulating layer 21 is 0.5 N/mm or more and 3.0 N/mm or less.
  • the upper limit of the peeling strength between the metal layer 11 and the first stretchable insulating layer 21 is preferably as high as possible, but 3.0 N/mm is sufficient.
  • the peeling strength is more preferably 1.0 N/mm or more, further preferably 1.5 N/mm or more.
  • the metal layer 11 used in this embodiment examples include metal foil, more specifically copper foil, aluminum foil, nickel foil, and the like.
  • the thickness of the first stretchable insulating layer 21 is preferably 10 ⁇ m or more and 500 ⁇ m or less.
  • step (2) as shown in FIG. 1B, in the laminate 31, the first stretchable insulating layer 21 of the first stretchable insulating layer 21 faces the first surface (a1) from the first surface (a1) in contact with the metal layer 11
  • the via 51 extends from a first opening (c1) formed in the first surface (a1) to a second opening (c2) formed in the second surface (a2).
  • the shape may be a shape extending straight from the first surface (a1) toward the second surface (a2) like the via 51 on the left side in FIG. 1(b). It may have a curved shape like the via 51 on the right side in .
  • the first opening (c1) is preferably formed so that the first stretchable insulating layer 21 is removed and the metal layer 11 is exposed.
  • the width of via 51 is preferably 0.1 ⁇ m or more, more preferably 1 ⁇ m or more, and even more preferably 10 ⁇ m or more.
  • the width of the via 51 is preferably 5 mm or less, more preferably 3 mm or less, and even more preferably 1 mm or less.
  • Examples of the method for forming the vias 51 include a method of forming grooves in the first stretchable insulating layer by cutting processing such as laser processing, and a method of forming by etching processing.
  • Step (3) is a step of filling the via 51 with the fluid 41 as shown in FIG. 1(c). By filling various fluids 41 from the second opening (c2), the fluid 41 can be filled from the first opening (c1) to the second opening (c2).
  • the fluid 41 includes a liquid metal or a heat medium.
  • liquid metals that can be used in this embodiment include gallium alone, gallium/indium alloys, gallium/indium/tin alloys, gallium/indium/tin/zinc alloys, and the like.
  • heat medium that can be used in this embodiment include liquid paraffin, silicone heat medium, synthetic heat medium oil, liquid nitrogen, and the like.
  • the fluid 41 may contain incompatible fine particles in an amount that does not impair its fluidity. Examples of the fine particles include silica, alumina, titanium oxide, aluminum nitride, and boron nitride.
  • the second elastic insulating layer 22 is formed on the second surface (a2) of the first elastic insulating layer 21 after the step (3). are stacked and integrated to seal the vias 51 and enclose the fluid 41 in the vias 51 .
  • the metal layer 11 and the elastic insulating layer 20 formed from the first elastic insulating layer 21 and the second elastic insulating layer 22 and having the vias 51 filled with the fluid 41 are laminated.
  • a metal clad laminate 10 is formed.
  • the second stretchable insulating layer 22 it is preferable to use a sheet-shaped resin film.
  • the thickness of the second stretchable insulating layer 22 is preferably 10 ⁇ m or more. Although the upper limit of the thickness of the second stretchable insulating layer 22 is not particularly limited, it is preferably 1 mm or less, more preferably 500 ⁇ m or less.
  • the metal layer 11 of the metal-clad laminate 10 is subjected to an etching process or the like to form a circuit (wiring), thereby forming a circuit 12 patterned on the surface.
  • This is the step of obtaining the laid stretchable circuit board 1 .
  • a circuit pattern conductor wiring
  • the metal layer 11 that seals the first opening (c1) it is possible to obtain the stretchable circuit board 1 in which the fluid 41 is enclosed in the stretchable insulating layer. can.
  • circuit formation by a semi-additive process SAP: Semi-Additive Process
  • MSAP Modified Semi-Additive Process
  • the metal-clad laminate 10 according to the present embodiment is obtained at the completion of step (4) in the method for manufacturing an elastic circuit board.
  • the elastic insulating layer 20 is provided with vias 51 therein, and the surface (a1) of the elastic insulating layer 20 in contact with the metal layer 11 has an opening. (c1), a via 51 leading to the opening (c1), and a fluid 41 enclosed in the via 51;
  • the metal-clad laminate 10 according to this embodiment has a peeling strength between the metal layer 11 and the elastic insulating layer 20 of 0.5 N/mm or more and 3.0 N/mm or less.
  • the peeling strength between the metal layer 11 and the stretchable insulating layer 20 is 0.5 N/mm or more, even when the stretchable insulating layer 20 is stretched, it breaks at the interface between the metal layer 11 and the stretchable insulating layer 20. This makes it possible to prevent leakage of the fluid 41 enclosed in the vias 51 formed in the metal-clad laminate 10 . Also, in the elastic circuit board 1 formed using the metal-clad laminate 10, it is possible to prevent the fluid 41 enclosed in the vias 51 from leaking.
  • the peeling strength is more preferably 1.0 N/mm or more, further preferably 1.5 N/mm or more.
  • the upper limit of the peeling strength between the metal layer 11 and the first stretchable insulating layer 21 is preferably as high as possible, but 3.0 N/mm is sufficient.
  • the elastic insulating layer 20 of this embodiment is preferably composed of a curable resin composition or a thermoplastic resin composition.
  • the curable resin composition to be used preferably contains a thermosetting resin, and has sufficient heat resistance even at the temperature at which an electronic component and a circuit board are joined using a reflow oven or a soldering iron with solder or the like. It is more preferable if it has.
  • the thermoplastic resin should preferably have a softening point or melting point of 140° C. or higher, preferably 160° C. or higher, and more preferably 180° C. or higher. As a result, it is considered possible to reliably withstand the heating temperature in solder mounting.
  • thermoplastic resins examples include urethane resins, various rubbers, acrylic resins, olefin resins, ethylene propylene diene rubbers, isoprene rubbers, butadiene rubbers, and chloroprene rubbers.
  • a curable resin composition containing a thermosetting resin is used from the viewpoint of being able to impart functions such as excellent adhesiveness and heat resistance, low thermal expansion, elastic modulus control, thermal conductivity, and light reflectivity.
  • the thermosetting resin is preferably at least one selected from epoxy resins, urethane resins, silicone resins, polyrotaxane resins, isocyanate resins, polyol resins, hydrogenated styrene elastomer resins, and acrylic acid ester copolymer resins.
  • epoxy resins urethane resins, silicone resins, polyrotaxane resins, isocyanate resins, polyol resins, hydrogenated styrene elastomer resins, and acrylic acid ester copolymer resins.
  • an epoxy resin it is more preferable to use an epoxy resin, and it is more preferable to use an alkylene oxide-modified epoxy resin or an epoxy resin containing a divalent organic group having 2 to 5,000 carbon atoms.
  • the resin composition may contain various additives such as curing agents, curing accelerators, fillers, etc., to the extent that the effects of the present invention are not impaired.
  • a resin composition that can be used for the elastic insulating layer 20 for example, a resin composition containing polyrotaxane, a thermosetting resin and a curing agent (for example, the resin composition described in International Publication WO2015/052853 pamphlet etc. ) and the like.
  • the metal-clad laminate 10 according to the present embodiment may be a metal-clad laminate in which the elastic insulating layer 20 is composed of one layer as shown in FIG. It may be a metal-clad laminate formed by laminating insulating layers.
  • the elastic insulating layer 20 is a metal-clad laminate formed by laminating a plurality of elastic insulating layers.
  • the metal-clad laminate 10 in which a plurality of elastic insulating layers are laminated has, for example, as shown in FIG. and a stretchable insulating layer 22, comprising a metal layer 11, a first stretchable insulating layer 21, and a second stretchable insulating layer 22 in this order, the first stretchable insulating layer 21 comprising: It has a first surface (a1) in contact with the metal layer 11 and a second surface (a2) in contact with the second stretchable insulating layer 22, the first surface (a1) having a first opening (c1).
  • the second surface (a2) has a second opening (c2), and the via 51 is the metal-clad laminate 10 leading from the first opening (c1) to the second opening (c2). There may be.
  • the peel strength between the first stretchable insulating layer 21 and the second stretchable insulating layer 22 is preferably 0.5 N/mm or more, more preferably 1.0 N/mm or more. More preferably, it is 0.5 N/mm or more.
  • the upper limit of the peeling strength between the first stretchable insulating layer 21 and the second stretchable insulating layer 22 is preferably as high as possible, but 3.0 N/mm is sufficient.
  • the thickness of the stretchable insulating layer 20 is preferably 20 ⁇ m or more. Although the upper limit of the thickness of the elastic insulating layer 20 is not particularly limited, it is preferably 1 mm or less, more preferably 500 ⁇ m or less.
  • each stretchable insulating layer may be made of the same resin, or may be made of different resins. That is, in the case of the laminate 10 as shown in FIG. 2B, the first stretchable insulating layer 21 and the second stretchable insulating layer 22 may be made of the same resin composition, It may be composed of different resin compositions. Preferably, from the viewpoint of adhesion between the elastic insulating layers, they are preferably made of the same resin composition.
  • the stretchable insulating layer contains an uncured or semi-cured thermosetting resin
  • the uncured or semi-cured thermosetting resin It is preferable to include a step (6) of curing the adhesive resin.
  • the metal layer 11 and the stretchable insulating layer 20 are laminated and integrated by heating the laminate including the stretchable insulating layer containing the uncured or semi-cured thermosetting resin. Accelerate and obtain the respective desired peel strength.
  • the stretchable insulating layer includes the first stretchable insulating layer 21 and the second stretchable insulating layer 22
  • the first stretchable insulating layer 21 and the second stretchable insulating layer 21 are formed by the step (6).
  • Lamination integration with the insulating layer 22 is also promoted, and a desired peel strength can be obtained.
  • the heating may be accompanied by pressurization, or the pressurization may be performed before or after the heating. Moreover, the heating may be performed under vacuum degassing.
  • the heating and pressurizing conditions can be appropriately set within a preferable range depending on the type and content of the resin that is the main component.
  • the metal-clad laminate 10 shown in FIG. 2(c) has the second elastic insulating layer 22 and the metal layer 13 laminated on a part of the surface in the embodiment including the second elastic insulating layer 22. Since the opening (c2) is sealed by the metal layer 13, for example, when the fluid 41 is a liquid metal, the metal The layer 11 and the metal layer 13 can be electrically connected.
  • the elastic circuit board 1 according to the present embodiment can be manufactured by processing a circuit on the metal layer 11 in the metal-clad laminate 10, and the metal-clad laminate 10 shown in FIGS. By processing a circuit on the metal layer 11, the flexible circuit board 1 shown in FIGS. 3(a) to 3(c) can be manufactured.
  • the stretchable circuit board 1 shown in FIGS. 3(a) and 3(b) has vias 51 leading from one first opening (c1) to another first opening (c1) in the stretchable insulating layer 20. is formed through the inside of the elastic insulating layer 20, and when the via 51 is filled with liquid metal, for example, as the fluid 41, the separated openings (c1) are sealed. Circuits 12 can be electrically connected to each other.
  • the elastic circuit board 1 shown in FIG. 3(c) is configured such that the opening (c2) is sealed by the metal layer 13, for example, when the fluid 41 is liquid metal, at least one of the circuits 12 The portion and the metal layer 13 can be electrically connected.
  • the via 51 may be connected to an external channel of the elastic insulating layer 20 (not shown).
  • a circulatory via may be formed to and from the heat exchanger.
  • the elastic circuit-mounted product according to the present embodiment can be manufactured by mounting the electronic component (90) on the circuit 12 of the elastic circuit board 1.
  • a place with an opening (c1) sealed by the circuit 12 (right above the opening (c1) in FIG. 4) is less stable than a place without the opening (c1), so electronic components ( 90) and the circuit 12 is preferably located at a location different from the location where the opening (c1) to be sealed by the circuit 12 is located.
  • FIG. 5 is an enlarged cross-sectional view of a portion of the elastic circuit board 1 where the opening (c1) of the via 51 is sealed.
  • the circuit 12 and the elastic insulating layer 20 are laminated and integrated from the edge of the opening (c1) with respect to the maximum distance L1 of the opening (c1).
  • the ratio of the shortest distance L2 to the edge of the circuit 12 (L2/L1) is 0.5 or more.
  • L2/L1 is more preferably 1 or more, more preferably 2 or more.
  • the upper limit of L2/L1 is not particularly limited, it is preferably 50 or less, more preferably 25 or less, and preferably 5 or less. As a result, sufficient adhesion between the circuits 12 and the elastic insulating layer 20 in the elastic circuit board 1 can be ensured, so that the leakage of the fluid 41 sealed in the vias 51 in the elastic circuit board 1 can be prevented. can be effectively prevented.
  • L1 is preferably 0.1 ⁇ m or more, more preferably 1 ⁇ m or more, and even more preferably 10 ⁇ m or more. L1 is preferably 5 mm or less, more preferably 3 mm or less, and even more preferably 1 mm or less.
  • the metal foil with resin in this embodiment includes a metal layer, an elastic insulating layer in contact with the metal layer, and a fluid, the elastic insulating layer includes vias therein, and the elastic insulating layer has an opening leading to the via, and the via is filled with a fluid. Further, the stretchable insulating layer contains an uncured or semi-cured thermosetting resin. Then, when the elastic insulating layer containing the thermosetting resin is cured, the peeling strength between the metal layer and the elastic insulating layer is 0.5 N/mm or more and 3.0 N/mm or less. be.
  • the metal layer, the elastic insulating layer and the fluid in the resin-coated metal foil of the present embodiment the same metal layer, elastic insulating layer and fluid as in the metal-clad laminate described above are used.
  • the peeling strength between the metal layer and the stretchable insulating layer is 0.5 N/mm or more, even when the stretchable insulating layer after curing is stretched, breakage occurs at the interface between the metal layer and the stretchable insulating layer. This makes it possible to prevent leakage of the fluid enclosed in the via.
  • the peeling strength is more preferably 1.0 N/mm or more, further preferably 1.5 N/mm or more.
  • the upper limit of the peeling strength between the metal layer 11 and the first stretchable insulating layer 21 is preferably as high as possible, but 3.0 N/mm is sufficient.
  • a metal-clad laminate as described above can also be produced using the resin-coated metal foil of the present embodiment.
  • the elastic insulation layer includes a first elastic insulation layer and a second elastic insulation layer
  • the metal layer, the first elastic insulation layer, and the second elastic insulation A stretchable circuit board can be obtained by heating and pressurizing the resin-coated metal foil having the layers in this order.

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Abstract

本発明の一局面は、金属層と第一の伸縮性絶縁層とが接し、前記金属層と、前記第一の伸縮性絶縁層との引きはがし強度が０．５Ｎ／ｍｍ以上３．０Ｎ／ｍｍ以下である積層体と、第二の伸縮性絶縁層と、流体と、を準備する工程（１）と、前記第一の伸縮性絶縁層の、前記金属層に接する第一面（ａ１）から第一面（ａ１）に対向する第二面（ａ２）に通じるビアを形成する工程（２）と、前記ビアに流体を充填する工程（３）と、第二面（ａ２）に、前記第二の伸縮性絶縁層を積層し、前記ビアを封止する工程（４）と、前記金属層をパターニングする工程（５）とを備える、伸縮性回路基板の製造方法に関する。

Description

伸縮性回路基板の製造方法、金属張積層板、樹脂付き金属箔、伸縮性回路基板及び伸縮性回路実装品
　本開示は、伸縮性回路基板の製造方法、金属張積層板、樹脂付き金属箔、伸縮性回路基板及び伸縮性回路実装品に関する。
　エレクトロニクス分野の発展に伴い、電子機器等の、小型化、薄型化、軽量化、及び高密度化に関する要求がさらに高まっている。さらに、用途に応じて、曲面及び凹凸面等に配置するために、自由に変形させることや折り曲げることを可能とする柔軟なデバイスが要求されることもある。近年、これに対応して、伸縮性を有する回路基板が提案されているが、回路基板の伸長による配線の断線や抵抗値上昇の抑制が求められており、特許文献１に記載された伸縮性回路基板のように、伸縮性配線として液体金属を用いることが提案されている。
　また、液体金属を用いた回路基板として、板厚方向に貫通する穴部を有する基板と、前記穴部の一方を塞ぐ第１導体層と、前記穴部及び前記第１導体層により形成される凹部に配置される液体金属と、前記液体金属の表面を被覆する封止膜とを有する回路基板が記載されている。（特許文献２）
　しかしながら、発明者らが研究開発を進めた結果得られた知見によると、特許文献２に開示されているように、封止膜によって液体金属を基板内に封止する方法を用いて伸縮性回路基板における伸縮性絶縁層内に液体金属を充填した場合、伸縮性絶縁回路基板の伸縮によって伸縮性絶縁層と封止膜との間に破断が生じ、その破断部位から液体金属が漏洩する等の問題があった。
　さらに、伸縮性絶縁層にレーザー等で溝を形成し、当該溝に液体金属や熱媒のような流体を充填した後で、金属箔をラミネートすることによって流体を伸縮性絶縁層の内部に封入する方法で伸縮性回路基板を形成した場合にも、伸縮性絶縁層と金属箔との密着性が不十分なため、伸縮性絶縁層の伸縮によって伸縮性絶縁層と金属箔との間に破断が生じ、その破断部から流体が漏洩する等の問題があった。
　本開示の課題は、伸縮性絶縁層の内部に封入された流体の漏洩が抑制された伸縮性回路基板の製造方法、金属張積層板、樹脂付き金属箔、伸縮性回路基板及び伸縮性回路実装品を提供することにある。
国際公開第２０２０／１９６７４５号 特開２０１８―６４０６３号公報
　本開示の一態様に係る伸縮性回路基板の製造方法は、金属層と第一の伸縮性絶縁層とが接し、前記金属層と、前記第一の伸縮性絶縁層との引きはがし強度が０．５Ｎ／ｍｍ以上３．０Ｎ／ｍｍ以下である積層体と、第二の伸縮性絶縁層と、流体と、を準備する工程（１）と、前記第一の伸縮性絶縁層の、前記金属層に接する第一面（ａ１）から第一面（ａ１）に対向する第二面（ａ２）に通じるビアを形成する工程（２）と、前記ビアに流体を充填する工程（３）と、第二面（ａ２）に、前記第二の伸縮性絶縁層を積層し、前記ビアを封止する工程（４）と、前記金属層をパターニングする工程（５）とを備える。
　本開示の一態様に係る金属張積層板は、金属層と、前記金属層に接する伸縮性絶縁層と、流体とを備え、前記伸縮性絶縁層は、その内部にビアを備え、且つ前記伸縮性絶縁層の前記金属層と接する面に前記ビアに通じる開口部を備え、前記ビアには流体が封入されており、前記伸縮性絶縁層は、熱硬化性樹脂を含有し、前記金属層と、前記伸縮性絶縁層との引きはがし強度が０．５Ｎ／ｍｍ以上３．０Ｎ／ｍｍ以下である。
　本開示の一態様に係る樹脂付き金属箔は、金属層と、前記金属層に接する伸縮性絶縁層と、流体とを備え、前記伸縮性絶縁層は、その内部にビアを備え、且つ前記伸縮性絶縁層の前記金属層と接する面に前記ビアに通じる開口部を備え、前記ビアには流体が封入されており、前記伸縮性絶縁層は熱硬化性樹脂の未硬化物又は半硬化物を含有し、前記熱硬化性樹脂を含む前記伸縮性絶縁層を硬化させた場合に、前記金属層と、前記伸縮性絶縁層との引きはがし強度が０．５Ｎ／ｍｍ以上３．０Ｎ／ｍｍ以下である。
　本開示の一態様に係る伸縮性回路基板は、前記金属張積層板における、前記金属層が、パターニングされた回路である。
　本開示の一態様に係る伸縮性回路実装品は、前記伸縮性回路基板における、前記金属層に電子部品が実装されている。
図１は、本開示の一実施形態に係る伸縮性回路基板の製造工程を示す概略図である。 図２は、本開示の一実施形態に係る金属張積層板を示す概略の断面図である。 図３は、本開示の一実施形態に係る伸縮性回路基板を示す概略の断面図である。 図４は、本開示の一実施形態に係る伸縮性回路実装品を示す概略の断面図である。 図５は、本開示の一実施形態に係る伸縮性回路基板における概略の断面図における回路が形成されている部位の拡大図である。
　以下、本発明の一実施形態について説明する。なお、以下に説明する実施形態は、本開示の様々な実施形態の一つに過ぎない。以下の実施形態は、本発明の目的を達成できれば設計に応じて種々の変更が可能である。
　本実施形態に係る伸縮性絶縁層（第一の伸縮性絶縁層および第二の伸縮性絶縁層）は、それぞれ伸縮性を有する。ここで「伸縮性を有する」とは弾性変形可能であることをさし、本実施形態の伸縮性絶縁層は、以下に示す引張弾性率および／または破断伸び率を満たすことが好ましい。
　より具体的には、伸縮性絶縁層は、引張弾性率が０．１ＭＰａ以上であることが好ましい。上限は特に限定はされないが、１００ＭＰａ以下であることが好ましい。より好ましくは、引張弾性率が１．０ＭＰａ以上５０ＭＰａ以下、さらに好ましくは１．５ＭＰａ以上３０ＭＰａ以下である。
　また、本実施形態に係る伸縮性絶縁層の破断伸び率は、５０％以上であることが好ましい。本実施形態において、破断伸び率は破断するまでの伸長率をさし、上述の引張弾性率と共に絶縁層の柔軟性を示す指標である。より好ましい破断伸び率は、１００％以上、５００％以下である。本実施形態における破断伸び率の上限は、大きければ大きいほど良いが、１０００％もあれば十分である。
　上述したような範囲の引張弾性率および／または破断伸び率を有する伸縮性絶縁層を備えた回路基板であれば、任意の形へ変形時の追従性が高いために、例えば、衣服などに優れた追従性を有し、かつ破壊されにくく、伸縮性に優れた回路基板を得ることが出来ると考えられる。
　本実施形態の引張弾性率と破断伸び率は、以下の方法によって測定した値である：
まず、引張弾性率は、伸縮性絶縁層を構成する樹脂の硬化物を９０ｍｍ×５．５ｍｍの大きさにカットし、万能試験機（株式会社島津製作所社製ＡＧＳ－Ｘ）に取り付ける。そして、室温（２５℃）にて、引張速度：５００ｍｍ／ｍｉｎで試験を行い、伸び率１．０％から５．０％の歪（ｒ）に対応するすべての応力（σ）データから最小二乗法を用いてｒ－σの傾き（初期引張弾性率）を求めることで算出した。
歪（ｒ）＝ｘ／ｘ０（ｘはつかみ具の移動距離、ｘ０は初期つかみ具間距離）
応力（σ）＝Ｆ／（ｄ・ｌ）（Ｆは試験力、ｄはフィルム膜厚、ｌは試験片の幅）
　また、破断伸び率については、各硬化樹脂フィルムが破断した際の伸び率を前記試験器で計測する。
　また、本実施形態に係る伸縮性絶縁層の５０％伸長時の引張応力は、０．１ＭＰａ以上２０ＭＰａ以下であることが好ましい。「５０％伸長時の引張応力」は前述した引張試験において、伸び率が５０％になった際の引張応力を指し、上述の引張弾性率と共に伸縮性絶縁層の柔軟性を示す指標であり、それが前記範囲内であることにより、（上述した引張弾性率と同様に）任意の形へ変形時の追従性が高いために、配線および部品実装部が破壊されにくいという利点がある。前記引張応力のより好ましい範囲は、０．５ＭＰａ以上１５ＭＰａ以下である。
　本実施形態に係る伸縮性回路基板１の製造方法は、金属層１１と第一の伸縮性絶縁層２１とが接している積層体３１と、第二の伸縮性絶縁層２２と、流体４１と、を準備する工程（１）と、第一の伸縮性絶縁層２１の金属層１１に接する第一面（ａ１）から第一面（ａ１）に対向する第二面（ａ２）に通じるビア５１を形成する工程（２）と、ビア５１に流体４１を充填する工程（３）と、第二面（ａ２）に第二の伸縮性絶縁層２２を積層し、ビア５１を封止する工程（４）と、金属層１１をパターニングする工程（５）とを備える。
　このような製造方法によれば、伸縮性絶縁層の内部に封入された流体の漏洩が抑制された伸縮性回路基板を製造することができる。
　なお、各図面や以下の説明において、各符号は以下を示す：１　伸縮性回路基板、１０　金属張積層板、１１　金属層、２０　伸縮性絶縁層、２１　第一の伸縮性樹脂層、２２　第二の伸縮性樹脂層、３１　積層体、４１　流体、５１　ビア、９０　電子部品、１００　伸縮性回路実装品。
　工程（１）は、図１(ａ)で示すように、金属層１１と、第一の伸縮性絶縁層２１とが接している積層体３１と、第二の伸縮性絶縁層２２と、流体４１（図示無）を準備する工程である。積層体３１は、金属層１１に、第一の伸縮性絶縁層２１が積層一体化されて形成されている。金属層１１と第一の伸縮性絶縁層２１を積層一体化する方法は特に限定されず、金属層１１に第一の伸縮性絶縁層２１となる樹脂層を、樹脂ワニス塗布などにより形成して、加熱・乾燥させる方法、またはシートの状の樹脂フィルムである第一の伸縮性絶縁層２１と金属層１１を加熱圧着などの成形により貼り合わせるなどの方法が挙げられる。あるいは、第一の伸縮性絶縁層２１と金属層１１とを接着剤を用いて貼り合わせてもよいし、伸縮性絶縁層の表面に無電解メッキ、電解メッキ、蒸着等によって金属層を形成してもよい。
　本実施形態において、金属層１１と、第一の伸縮性絶縁層２１との引きはがし強度は０．５Ｎ／ｍｍ以上３．０Ｎ／ｍｍ以下である。引きはがし強度が０．５Ｎ／ｍｍ以上であることによって、伸縮性回路基板１の伸長や電子部品を実装する際における加熱等を起因とする金属層１１と第一の伸縮性絶縁層２１との剥離が抑制され、第一の伸縮性絶縁層２１に封入された流体４１の漏洩を防止することが可能となる。金属層１１と、第一の伸縮性絶縁層２１との引きはがし強度の上限は、大きければ大きいほど良いが、３．０Ｎ／ｍｍもあれば十分である。前記引きはがし強度は、１．０Ｎ／ｍｍ以上であることがより好ましく、１．５Ｎ／ｍｍ以上であることがさらに好ましい。
　本実施形態で使用する金属層１１としては、例えば、金属箔が挙げられ、より具体的には銅箔、アルミ箔、ニッケル箔等が挙げられる。第一の伸縮性絶縁層２１の厚みは１０μｍ以上５００μｍ以下であることが好ましい。
　工程（２）は、図１（ｂ）で示すように、積層体３１における、第一の伸縮性絶縁層２１の金属層１１に接する第一面（ａ１）から第一面（ａ１）に対向する第二面（ａ２）に通じるビア（流路）５１を形成する工程である。ビア５１は、第一面（ａ１）に形成された第一の開口部（ｃ１）から、第二面（ａ２）に形成された第二の開口部（ｃ２）まで通じている。その形状は、図１（ｂ）における左側のビア５１のように、第一面（ａ１）から第二面（ａ２）に向かって真っすぐに伸びる形状であっても良いし、図１（ｂ）における右側のビア５１のように、屈曲する形状であってもよい。第一の開口部（ｃ１）は、第一の伸縮性絶縁層２１が除去し、金属層１１が露出するように形成することが好ましい。ビア５１の幅は、０．１μｍ以上であることが好ましく、１μｍ以上であることがより好ましく、１０μｍ以上であることがさらに好ましい。ビア５１の幅は５ｍｍ以下であることが好ましく、３ｍｍ以下であることがより好ましく、１ｍｍ以下であることがさらに好ましい。
　ビア５１の形成方法は、レーザー加工等による切削処理によって第一の伸縮性絶縁層に溝を形成する方法や、エッチング処理によって形成する方法等が挙げられる。
　工程（３）は、図１（ｃ）で示すように、ビア５１に、流体４１を充填する工程である。第二の開口部（ｃ２）から各種の流体４１を充填することによって、第一の開口部（ｃ１）から第二の開口部（ｃ２）までを流体４１で満たすことができる。
　流体４１としては、液体金属または熱媒が挙げられる。本実施形態で使用できる液体金属としては、例えば、ガリウム単体もしくはガリウム／インジウム合金、ガリウム／インジウム／スズ合金、ガリウム／インジウム／スズ／亜鉛合金等が挙げられる。本実施形態で使用できる熱媒としては流動パラフィンやシリコーン系の熱媒体や合成系熱媒体油、その他液体窒素等のようなものが挙げられる。流体４１にはその流動性を損なわない量の範囲で非相溶の微粒子が含まれていてもよい。前記微粒子としては、例えばシリカ、アルミナ、酸化チタン、窒化アルミ、窒化ホウ素等が挙げられる。
　工程（４）は、図１（ｄ）で示すように、上記工程（３）の後で、第一の伸縮性絶縁層２１の第二面（ａ２）に、第二の伸縮性絶縁層２２を積層一体化することで、ビア５１を封止し、ビア５１内に流体４１を封入する工程である。これらによって、金属層１１と、第一の伸縮性絶縁層２１及び第二の伸縮性絶縁層２２から形成され、内部に流体４１を封入されたビア５１を備える伸縮性絶縁層２０とが積層している金属張積層板１０が形成される。第二の伸縮性絶縁層２２としては、シートの状の樹脂フィルムを用いることが好ましい。第ニの伸縮性絶縁層２２の厚みは１０μｍ以上であることが好ましい。第ニの伸縮性絶縁層２２の厚みの上限は特に限定されないが１ｍｍ以下であることが好ましく、５００μｍ以下であることがより好ましい。
　工程（５）は、図１（ｅ）で示すように、金属張積層板１０における金属層１１にエッチング加工等を施して回路（配線）形成をすることによって、表面にパターニングされた回路１２が敷設された伸縮性回路基板１を得る工程である。第一の開口部（ｃ１）を封止する金属層１１を残して回路パターン（導体配線）を形成することにより、伸縮性絶縁層内に流体４１を封入した伸縮性回路基板１を得ることができる。回路形成する方法としては、上記記載の方法以外に、例えば、セミアディティブ法（ＳＡＰ：Ｓｅｍｉ　Ａｄｄｉｔｉｖｅ　Ｐｒｏｃｅｓｓ）やモディファイドセミアディティブ法（ＭＳＡＰ：Ｍｏｄｉｆｉｅｄ　Ｓｅｍｉ　Ａｄｄｉｔｉｖｅ　Ｐｒｏｃｅｓｓ）による回路形成等が挙げられる。
　本実施形態に係る金属張積層板１０は、上記伸縮性回路基板の製造方法における、工程（４）の完了時点で得られるものであり、図２で示すように、金属層１１と、金属層１１に接する伸縮性絶縁層２０と、流体４１とを備え、伸縮性絶縁層２０は、その内部にビア５１を備え、且つ伸縮性絶縁層２０の金属層１１と接する面（ａ１）に開口部（ｃ１）を備え、ビア５１は開口部（ｃ１）に通じており、ビア５１には流体４１が封入されている。本実施形態に係る金属張積層板１０は、金属層１１と、伸縮性絶縁層２０との引きはがし強度が０．５Ｎ／ｍｍ以上３．０Ｎ／ｍｍ以下である。金属層１１と伸縮性絶縁層２０との引きはがし強度が０．５Ｎ／ｍｍ以上であることにより、伸縮性絶縁層２０が伸長した場合でも金属層１１と伸縮性絶縁層２０との界面で破断が起きにくく、金属張積層板１０に形成されたビア５１に封入されている流体４１が漏洩することを防止可能となる。また、金属張積層板１０を用いて形成される伸縮性回路基板１においても、ビア５１に封入された流体４１が漏洩することが防止可能となる。本実施形態に係る金属張積層板において、前記引きはがし強度は、１．０Ｎ／ｍｍ以上であることがより好ましく、１．５Ｎ／ｍｍ以上であることがさらに好ましい。金属層１１と、第一の伸縮性絶縁層２１との引きはがし強度の上限は、大きければ大きいほど良いが、３．０Ｎ／ｍｍもあれば十分である。
　本実施形態の伸縮性絶縁層２０は、硬化性樹脂組成物または熱可塑性樹脂組成物で構成されることが好ましい。使用する硬化性樹脂組成物は、熱硬化性樹脂を含有することが好ましく、ハンダ等で、リフロー炉やハンダゴテを用いて電子部品と回路基板とを接合する場合の温度にも十分な耐熱性を有するものであればより好ましい。また上記熱可塑性樹脂としては、その軟化点または融点が１４０℃以上、好ましくは１６０℃以上、より好ましくは１８０℃以上であることが望ましい。それにより、ハンダ実装における加熱温度に対して、確実に耐えることができると考えられる。
　本実施形態の伸縮性絶縁層２０に使用し得る、硬化性樹脂組成物に含有する樹脂としては、熱可塑性樹脂及び熱硬化性樹脂が挙げられる。熱可塑性樹脂としては、例えばウレタン樹脂、各種ゴム、アクリル樹脂、オレフィン系樹脂、エチレンプロピレンジエンゴム、イソプレンゴム、ブタジエンゴム、クロロプレンゴムが挙げられる。特に、接着性や耐熱性に優れる点、低熱膨張、弾性率制御、熱導電性、光反射性などの機能を付与できるという観点から、熱硬化性樹脂を含有する硬化性樹脂組成物を用いることが好ましく、熱硬化性樹脂としては、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、シリコーン樹脂、ポリロタキサン樹脂、イソシアネート樹脂、ポリオール樹脂、水添スチレン系エラストマー樹脂、アクリル酸エステル共重合樹脂から選ばれる少なくとも１種を用いることが好ましく、その中でもエポキシ樹脂を用いることがより好ましく、アルキレンオキサイド変性エポキシ樹脂または炭素数が２～５０００の２価の有機基を含むエポキシ樹脂を用いることがさらに好ましい。
　さらに、前記樹脂組成物には、本発明の効果を阻害しない範囲で、硬化剤、硬化促進剤、充填材等の各種添加剤を含まれていてもよい。
　伸縮性絶縁層２０に使用できる具体的な樹脂組成物としては、例えば、ポリロタキサン、熱硬化性樹脂及び硬化剤を含む樹脂組成物（例えば、国際公開ＷＯ２０１５／０５２８５３号パンフレット等に記載の樹脂組成物）等が挙げられる。
　本実施形態に係る金属張積層板１０は、図２（ａ）で示すように、伸縮性絶縁層２０が１層で構成されている金属張積層板であってもよいし、複数の伸縮性絶縁層が積層されて構成されている金属張積層板であってもよい。
　上述の製造方法によって製造しやすいという観点から、伸縮性絶縁層２０が複数の伸縮性絶縁層が積層されて構成されている金属張積層板であることが好ましい。
　複数の伸縮性絶縁層が積層されている金属張積層板１０は、例えば、図２（ｂ）で示すように、伸縮性絶縁層２０は、第一の伸縮性絶縁層２１と、第二の伸縮性絶縁層２２とを含み、金属層１１と、第一の伸縮性絶縁層２１と、第二の伸縮性絶縁層２２とを、この順で備え、第一の伸縮性絶縁層２１は、金属層１１と接する第一面（ａ１）と、第二の伸縮性絶縁層２２に接する第二面（ａ２）とを備え、第一面（ａ１）は第一の開口部（ｃ１）を有し、第二面（ａ２）は第二の開口部（ｃ２）を有し、ビア５１は、第一の開口部（ｃ１）から第二の開口部（ｃ２）に通じる金属張積層板１０であってもよい。第一の伸縮性絶縁層２１と、第二の伸縮性絶縁層２２との引きはがし強度が０．５Ｎ／ｍｍ以上であることが好ましく、１．０Ｎ／ｍｍ以上であることがより好ましく、１．５Ｎ／ｍｍ以上であることがさらに好ましい。第一の伸縮性絶縁層２１と、第二の伸縮性絶縁層２２との引きはがし強度の上限は、大きければ大きいほど良いが、３．０Ｎ／ｍｍもあれば十分である。伸縮性絶縁層２０の厚みは２０μｍ以上であることが好ましい。伸縮性絶縁層２０の厚みの上限は特に限定されないが１ｍｍ以下であることが好ましく、５００μｍ以下であることがより好ましい。
　前記伸縮性絶縁層２０が複数の伸縮性絶縁層を含む場合、それぞれの伸縮性絶縁層は同じ樹脂で構成されていてもよいし、異なる樹脂で構成されていてもよい。つまり、図２（ｂ）で示すような積層板１０の場合、第一の伸縮性絶縁層２１と第二の伸縮性絶縁層２２は、同一の樹脂組成物で構成されていてもよいし、異なる樹脂組成物で構成されていてもよい。好ましくは、伸縮性絶縁層同士の密着性という観点から同一の樹脂組成物で構成されている方が望ましい。
　本実施形態に係る伸縮性回路基板１の製造方法において、前記伸縮性絶縁層（伸縮性絶縁層が第一の伸縮性絶縁層２１及び前記第二の伸縮性絶縁層２２を含む場合、そのうちの少なくともいずれか一方）が、未硬化又は半硬化の熱硬化性樹脂を含有する場合には、前記工程（４）と、前記工程（５）との間に、前記未硬化又は半硬化の熱硬化性樹脂を硬化させる工程（６）を備えることが好ましい。工程（６）は、熱硬化性樹脂の未硬化物又は半硬化物を含有する伸縮性絶縁層を含む積層体を加熱することによって、金属層１１と伸縮絶性縁層２０の積層一体化を促進し、それぞれ所望の引きはがし強度を得る工程である。さらに、伸縮性絶縁層が第一の伸縮性絶縁層２１及び前記第二の伸縮性絶縁層２２を含む場合、前記工程（６）により、第一の伸縮性絶縁層２１と第二の伸縮性絶縁層２２との積層一体化も促進し、所望の引きはがし強度を得ることができる。前記加熱は、加圧を伴ってもよく、また、前記加熱の前後に加圧を行ってもよい。また、前記加熱は真空脱気下で行ってもよい。加熱及び加圧の条件は、主成分となる樹脂の種類および含有量等によって適宜好ましい範囲を設定することができる。
　図２（ｃ）で示す金属張積層板１０は、第二の伸縮性絶縁層２２を含む実施形態において、当該第二の伸縮性絶縁層２２を、金属層１３を表面の一部に積層された第三の伸縮性絶縁層（２３）に置き換えたものであり、開口部（ｃ２）を金属層１３が封止する構成となっているため、例えば流体４１が液体金属の場合には、金属層１１と金属層１３とが導通可能である。
　本実施形態に係る伸縮性回路基板１は、金属張積層板１０における金属層１１に回路を加工することで製造可能であり、図２（ａ）～（ｃ）で示す金属張積層板１０における金属層１１に回路を加工することで、それぞれ図３（ａ）～（ｃ）で示す伸縮性回路基板１を製造可能である。
　図３（ａ）及び（ｂ）で示す伸縮性回路基板１は、伸縮性絶縁層２０における、一つの第一の開口部（ｃ１）から別の第一の開口部（ｃ１）に通じるビア５１が、伸縮性絶縁層２０の内部を通って形成されており、ビア５１に、例えば流体４１として液体金属が封入されている場合には、それぞれの開口部（ｃ１）を封止する分離された回路１２同士が導通可能である。
　図３（ｃ）で示す伸縮性回路基板１は、開口部（ｃ２）を金属層１３が封止する構成となっているため、例えば流体４１が液体金属の場合には、回路１２の少なくとも一部と金属層１３とが導通可能である。
　ビア５１は、伸縮性絶縁層２０の外部流路に接続されていてもよく（図示無）、例えば流体４１が熱媒の場合に、当該熱媒が伸縮性絶縁層２０の内部と、外部の熱交換機との間で循環可能なビアを形成してもよい。
　本実施形態に係る伸縮性回路実装品は、伸縮性回路基板１における回路１２に電子部品（９０）を実装することで製造可能である。回路１２が封止する開口部（ｃ１）が有る場所（図４における、開口部（ｃ１）の真上）は、開口部（ｃ１）が無い場所に比べて安定性に劣るため、電子部品（９０）と回路１２との接続部位は、回路１２が封止する開口部（ｃ１）が有る場所とは異なる位置であることが好ましい。
　図５は、伸縮性回路基板１におけるビア５１の開口部（ｃ１）を封止する部位における断面の拡大図である。回路１２が開口部（ｃ１）を封止する部位において、開口部（ｃ１）の最大距離Ｌ１に対する、開口部（ｃ１）の縁部から回路１２と伸縮性絶縁層２０とが積層一体化されている回路１２の縁部までの最短距離Ｌ２の割合（Ｌ２／Ｌ１）が、０．５以上であることが好ましい。Ｌ２／Ｌ１は１以上であることがさらに好ましく、２以上であることがさらに好ましい。Ｌ２／Ｌ１の上限は特に限定されないが、５０以下であることが好ましく、２５以下であることがより好ましく、５以下であることが好ましい。これによって、伸縮性回路基板１における回路１２と伸縮性絶縁層２０との密着力を十分に確保することができるため、伸縮性回路基板１において、ビア５１に封入された流体４１の漏洩をより効果的に防止可能となる。
　Ｌ１は、０．１μｍ以上であることが好ましく、１μｍ以上であることがより好ましく、１０μｍ以上であることがさらに好ましい。Ｌ１は、５ｍｍ以下であることが好ましく、３ｍｍ以下であることがより好ましく、１ｍｍ以下であることがさらに好ましい。
　本実施形態における樹脂付き金属箔は、金属層と、前記金属層に接する伸縮性絶縁層と、流体とを備え、前記伸縮性絶縁層は、その内部にビアを備え、且つ前記伸縮性絶縁層の前記金属層と接する面に前記ビアに通じる開口部を備え、前記ビアには流体が封入されている。また、前記伸縮性絶縁層は熱硬化性樹脂の未硬化物又は半硬化物を含有する。そして、前記熱硬化性樹脂を含む前記伸縮性絶縁層を硬化させた場合における、前記金属層と、前記伸縮性絶縁層との引きはがし強度が０．５Ｎ／ｍｍ以上３．０Ｎ／ｍｍ以下である。本実施形態の樹脂付き金属箔における、金属層および伸縮性絶縁層及び流体としては、上述した金属張積層板と同様の金属層および伸縮性絶縁層及び流体が用いられる。
　金属層と伸縮性絶縁層との引きはがし強度が０．５Ｎ／ｍｍ以上であることにより、硬化後の伸縮性絶縁層が伸長した場合でも金属層と伸縮性絶縁層との界面で破断が起きにくく、ビアに封入されている流体が漏洩することを防止可能となる。前記引きはがし強度は、１．０Ｎ／ｍｍ以上であることがより好ましく、１．５Ｎ／ｍｍ以上であることがさらに好ましい。金属層１１と、第一の伸縮性絶縁層２１との引きはがし強度の上限は、大きければ大きいほど良いが、３．０Ｎ／ｍｍもあれば十分である。
　本実施形態の樹脂付き金属箔を用いて、上述したような金属張積層板を製造することもできる。例えば、前記伸縮性絶縁層が、第一の伸縮性絶縁層と第二の伸縮性絶縁層を含む場合、前記金属層と、前記第一の伸縮性絶縁層と、前記第二の伸縮性絶縁層とをこの順で備える樹脂付き金属箔を加熱・加圧することによって、伸縮性回路基板を得ることができる。
　この出願は、２０２１年９月１６日に出願された日本国特許出願特願２０２１－１５０９１２を基礎とするものであり、その内容は、本願に含まれるものである。
　本発明を表現するために、前述において具体例や図面等を参照しながら実施形態を通して本発明を適切かつ十分に説明したが、当業者であれば前述の実施形態を変更及び／又は改良することは容易になし得ることであると認識すべきである。したがって、当業者が実施する変更形態又は改良形態が、請求の範囲に記載された請求項の権利範囲を離脱するレベルのものでない限り、当該変更形態又は当該改良形態は、当該請求項の権利範囲に包括されると解釈される。
　本開示は、各種電子材料や電子デバイスに関する技術分野において、広範な産業上の利用可能性を有する。
 

 

Claims (10)

  1. 　金属層と第一の伸縮性絶縁層とが接し、前記金属層と、前記第一の伸縮性絶縁層との引きはがし強度が０．５Ｎ／ｍｍ以上３．０Ｎ／ｍｍ以下である積層体と、
    　第二の伸縮性絶縁層と、
    　流体とを準備する工程（１）と、
    　前記第一の伸縮性絶縁層の、前記金属層に接する第一面（ａ１）から第一面（ａ１）に対向する第二面（ａ２）に通じるビアを形成する工程（２）と、
    　前記ビアに流体を充填する工程（３）と、
    　第二面（ａ２）に、前記第二の伸縮性絶縁層を積層し、前記ビアを封止する工程（４）と、
    　前記金属層をパターニングする工程（５）とを備える、
    　伸縮性回路基板の製造方法。
  2. 　前記第一の伸縮性絶縁層及び前記第二の伸縮性絶縁層の少なくともいずれか一方は、未硬化又は半硬化の熱硬化性樹脂を含有し、
    　前記工程（４）と、前記工程（５）との間に、前記未硬化又は半硬化の熱硬化性樹脂を硬化させる工程（６）を備える、
    　請求項１に記載の伸縮性回路基板の製造方法。
  3. 　金属層と、前記金属層に接する伸縮性絶縁層と、流体とを備え、
    　前記伸縮性絶縁層は、その内部にビアを備え、且つ前記伸縮性絶縁層の前記金属層と接する面に前記ビアに通じる開口部を備え、
    　前記ビアには流体が封入されており、
    　前記伸縮性絶縁層は熱硬化性樹脂を含有し、
    　前記金属層と、前記伸縮性絶縁層との引きはがし強度が０．５Ｎ／ｍｍ以上３．０Ｎ／ｍｍ以下である、金属張積層板。
  4. 　前記伸縮性絶縁層は、引張弾性率が０．１ＭＰａ以上１００ＭＰａ以下である、請求項３に記載の金属張積層板。
  5. 　前記熱硬化性樹脂はエポキシ樹脂を含有する、請求項３に記載の金属張積層板。
  6. 　前記流体が、液体金属及び熱媒から選ばれる少なくともいずれか一方である、請求項３に記載の金属張積層板。
  7. 　前記伸縮性絶縁層は、第一の伸縮性絶縁層と第二の伸縮性絶縁層とを含み、
    　前記金属層と、前記第一の伸縮性絶縁層と、前記第二の伸縮性絶縁層とを、この順で備え、
    　前記第一の伸縮性絶縁層は、前記金属層と接する第一面（ａ１）と、前記第二の伸縮性絶縁層に接する第二面（ａ２）と、を備え、
    　第一面（ａ１）は第一の開口部（ｃ１）を有し、第二面（ａ２）は第二の開口部（ｃ２）を有し、
    　前記ビアは、第一の開口部（ｃ１）から第二の開口部（ｃ２）に通じる、
    　請求項３に記載の金属張積層板。
  8. 　金属層と、前記金属層に接する伸縮性絶縁層と、流体とを備え、
    　前記伸縮性絶縁層は、その内部にビアを備え、且つ前記伸縮性絶縁層の前記金属層と接する面に前記ビアに通じる開口部を備え、
    　前記ビアには流体が封入されており、
    　前記伸縮性絶縁層は熱硬化性樹脂の未硬化物又は半硬化物を含有し、
    　前記熱硬化性樹脂を含む前記伸縮性絶縁層を硬化させた場合に、前記金属層と、前記伸縮性絶縁層との引きはがし強度が０．５Ｎ／ｍｍ以上３．０Ｎ／ｍｍ以下である、
    　樹脂付き金属箔。
  9. 　請求項４から請求項７のいずれかに記載の金属張積層板における、前記金属層が、パターニングされた回路である、伸縮性回路基板。
  10. 　請求項９に記載の伸縮性回路基板における、前記金属層に電子部品が実装されている、伸縮性回路実装品。
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