JP2007027305A - 半導体装置、およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 耐熱性を有する絶縁基板20の表面に、加熱により軟化して接着性を発現する熱可塑性樹脂21を設け、その熱可塑性樹脂の表面に導体パターン25を形成するとともに、その導体パターンのチップ接続端子25aを熱可塑性樹脂21中に埋没して絶縁基板20に押し当て、そのチップ接続端子25aに金属バンプ33を介してチップ電極を接続して下部を熱可塑性樹脂21中に埋没した状態で半導体チップ32を絶縁基板20上に搭載し、フレキシブルプリント配線板27に実装する。
【選択図】 図1
Description
その熱可塑性樹脂の表面に導体パターンを形成するとともに、その導体パターンのチップ接続端子を熱可塑性樹脂中に埋没して絶縁基板に押し当て、
そのチップ接続端子に、金めっき等の金属バンプを介してチップ電極を接続して下部を熱可塑性樹脂中に埋没した状態で半導体チップを絶縁基板上に搭載することを特徴とする、半導体装置である。
その熱可塑性樹脂の表面に導電体を設けてその導電体をエッチングすることにより導体パターンを形成し、
その導電パターンのチップ接続端子に、半導体チップのチップ電極に設ける、金めっき等の金属バンプを位置合わせし、
その半導体チップに熱と圧力とを加えて熱可塑性樹脂を軟化し、チップ接続端子とともに半導体チップを熱可塑性樹脂中に埋没してチップ接続端子を絶縁基板に押し当て、チップ接続端子に金属バンプを接合して半導体チップを絶縁基板上に搭載する、
ことを特徴とする、半導体装置の製造方法である。
図1(A)ないし(F)には、半導体装置の製造工程を示す。
21 熱可塑性樹脂
22 導電体
23 基材
25 導体パターン
25a チップ接続端子
27 フレキシブルプリント配線板
28 加熱ステージ
30 ボンディングツール
32 半導体チップ
33 金属バンプ
35 ステップカット
Claims (6)
- 耐熱性を有する絶縁基板の表面に、加熱により軟化して接着性を発現する熱可塑性樹脂を設け、
その熱可塑性樹脂の表面に導体パターンを形成するとともに、その導体パターンのチップ接続端子を前記熱可塑性樹脂中に埋没して前記絶縁基板に押し当て、
そのチップ接続端子に金属バンプを介してチップ電極を接続して下部を前記熱可塑性樹脂中に埋没した状態で半導体チップを前記絶縁基板上に搭載する、
ことを特徴とする、半導体装置。 - 前記半導体チップの、前記熱可塑性樹脂中に埋没するエッジ部分にステップカットを設けることを特徴とする、請求項1に記載の半導体装置。
- 耐熱性を有する絶縁基板の表面に、加熱により軟化して接着性を発現する熱可塑性樹脂を設け、
その熱可塑性樹脂の表面に導電体を設けてその導電体をエッチングすることにより導体パターンを形成し、
その導電パターンのチップ接続端子に、半導体チップのチップ電極に設ける金属バンプを位置合わせし、
その半導体チップに熱と圧力とを加えて前記熱可塑性樹脂を軟化し、前記チップ接続端子とともに前記半導体チップを熱可塑性樹脂中に埋没して前記チップ接続端子を前記絶縁基板に押し当て、前記チップ接続端子に前記金属バンプを接合して前記半導体チップを前記絶縁基板上に搭載する、
ことを特徴とする、半導体装置の製造方法。 - 前記熱可塑性樹脂の表面にスパッタ層を形成して後、電解めっきを行って前記導電体を設けることを特徴とする、請求項3に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記熱可塑性樹脂を介してラミネートして前記導電体を設けることを特徴とする、請求項3に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記導体パターンを形成して後、少なくとも前記チップ接続端子の表面にすずめっき、金めっき、ニッケル下地の金めっき、インジュウムめっきのいずれか1つのめっきを行うことを特徴とする、請求項3ないし5のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
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