WO2023021739A1 - 脱脂用加熱炉 - Google Patents

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優 田中
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株式会社島津製作所
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    • C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/626—Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B
    • C04B35/63—Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B using additives specially adapted for forming the products, e.g.. binder binders
    • C04B35/638—Removal thereof
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    • F16J15/10—Sealings between relatively-stationary surfaces with solid packing compressed between sealing surfaces with non-metallic packing
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    • F27B—FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
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    • F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
    • F27D21/00—Arrangements of monitoring devices; Arrangements of safety devices
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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    • F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
    • F27D7/00—Forming, maintaining, or circulating atmospheres in heating chambers
    • F27D7/06—Forming or maintaining special atmospheres or vacuum within heating chambers
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N25/00—Investigating or analyzing materials by the use of thermal means

Definitions

  • the present invention relates to a degreasing heating furnace for degreasing an object to be treated such as a ceramic material.
  • heating furnace This type of degreasing heating furnace (hereinafter also simply referred to as “heating furnace”) accommodates an object to be treated, heats it, and degreases it, as shown in Patent Document 1.
  • This heating furnace is provided with an opening for taking in and out objects to be processed and a lid for sealing this opening.
  • This lid can be opened and closed and functions as a door.
  • a sealing member such as a heat-resistant packing or an O-ring is interposed between the periphery of the opening and the lid, and the lid is attached to the furnace main body.
  • a plurality of fastening members such as a clamping mechanism and a cylinder, the sealing member is pinched to ensure airtightness.
  • the present invention has been made to find such a problem and solve it, and is intended to reliably maintain airtightness in this type of degreasing heating furnace with a simple configuration.
  • a degreasing heating furnace comprises a furnace body having an opening for taking in and out an object to be treated, a lid attached to the opening, and a lid for hermetically sealing the opening. It has a seal structure and The seal structure is formed by being surrounded by the outer annular packing member and the inner annular packing member interposed between the opposing surfaces provided on the peripheral edges of the lid and the opening, respectively, and by the opposing surfaces and the annular packing members. and a decompression mechanism for reducing the pressure in the space.
  • each opposing surface is attracted by the negative pressure generated by the decompression mechanism, the atmospheric pressure, and the differential pressure, and each annular packing member is evenly crushed. can be reliably sealed by
  • FIG. 1 is an overall schematic diagram of a degreasing device according to an embodiment of the present invention
  • FIG. It is a schematic perspective view of the heating furnace in the same embodiment. It is a schematic rear view of the heating furnace in the same embodiment. It is a schematic front view of the heating furnace in the same embodiment. It is the schematic which looked the 2nd cover body and annular groove in the same embodiment from the inner surface. It is a schematic diagram which shows connection, such as sectional drawing which shows the sealing structure of the heating furnace in the same embodiment, and a decompression mechanism.
  • FIG. 8 is a cross-sectional view showing an annular packing member and a circumferential groove in another embodiment of the invention; It is a perspective sectional view which shows the annular packing member and the circumferential groove in the same embodiment.
  • a degreasing apparatus 100 includes a heating furnace 1 in which an object W to be processed is accommodated, a heater 2 for heating the heating furnace 1, and a degreasing gas supplied to the heating furnace 1. a gas supply pipe 3 for discharging, a gas discharge pipe 4 for discharging volatile decomposition gas and the like separated from the object W to be treated together with the degreasing gas to the outside of the heating furnace 1, and a fan 5 for circulating the degreasing gas within the heating furnace 1. It has The heating furnace 1, which is a feature of the degreasing apparatus 100, will be described in detail below.
  • This heating furnace 1 is made of metal and has a substantially rectangular parallelepiped shape with lids 71 and 72 to be fastened.
  • 1 and 2 denotes a front plate of a housing provided further outside the heating furnace 1. As shown in FIG. Next, each part of the heating furnace 1 will be explained.
  • the opening 61 on the front side (hereinafter also referred to as the first opening 61 ) is, for example, a rectangular shape for taking in and out the object W to be processed with respect to the furnace main body 6 .
  • a lid body 71 (hereinafter also referred to as a first lid body 71) for sealing the first opening 61 has a rectangular shape slightly larger than the first opening 61, and is shown in FIGS. As shown, it is rotatably supported between the closed position and the open position about one side edge by a hinge member P1 attached to the furnace body 6. As shown in FIG. For example, handle-rotating first fasteners Q1 are provided at the four corners of the first lid 71 to press and fasten the first lid 71 against the furnace body 6 in the closed position.
  • the opening 62 on the rear side (hereinafter also referred to as the second opening 62) has, for example, a rectangular shape.
  • a lid body 72 (hereinafter also referred to as a second lid body 72) that seals the second opening 62 has a rectangular shape slightly larger than the second opening 62, and is shown in FIGS. 2, it is attached to the furnace body 6 by a toggle clamp type second fastener Q2.
  • This second opening 62 is normally closed by a second lid 72, and functions as a safety valve that opens when the second fastener Q2 comes off only when the pressure inside the heating furnace 1 rises abnormally. do.
  • the second fastener Q2 is set to have a weaker holding force than the first fastener Q1, and when the pressure inside the heating furnace rises, the second fastener Q2 is more likely than the first fastener Q1.
  • the second cover body 72 is forced to open before the first cover body 71. As shown in FIG.
  • openings 61 and 62 are airtightly sealed by the lids 71 and 72, respectively. Since the seal structure between the second opening 62 and the second lid 72 has a common structure, the seal structure between the second opening 62 and the second lid 72 will be described below with reference to FIGS. while explaining.
  • a flange portion 621 having a rectangular ring shape and a predetermined thickness is provided on the peripheral edge portion of the second opening 62 and the peripheral edge portion of the second cover 72 in the furnace body 6.
  • 721 are provided, respectively, and these flange portions 621, 721 are configured to face each other in the closed position.
  • An inner annular packing member 81 and an outer annular packing member 82 made of elastic resin are sandwiched between the facing surfaces 62a, 72a of the flange portions 621, 721, thereby closing the second opening 62 as a second lid.
  • the body 72 is adapted to be hermetically sealed.
  • inner and outer double circumferential grooves 81a and 82a are formed in the facing surface 72a on the side of the lid 72, and the inner annular packing member 81 and the outer annular packing member are formed in these circumferential grooves 81a and 82a. 82 are fitted in each.
  • this seal structure includes a decompression mechanism 83 for reducing pressure in a space S1 defined by the outer annular packing member 82, the inner annular packing member 81, and the opposing surfaces 62a and 72a. I have.
  • the decompression mechanism 83 has a suction pump 831 connected to the space S1. More specifically, a communication hole 83a is provided through the flange portion 621 of the furnace body 6 in the thickness direction to communicate the space S1 with the outside. 831 is connected.
  • a pressure sensor 91 directly or indirectly measures the pressure in the space S1, and the pressure measured by the pressure sensor 91 is monitored, and a predetermined A monitoring device 92 is further provided for notifying when the range is exceeded.
  • the pressure sensor 91 is attached to the flow path system from the space S1 to the suction pump 831, for example, the piping member 83b, and measures the internal pressure.
  • the pressure in the communication hole 83a may be measured, or the pressure in the space S1 may be directly measured.
  • the monitoring device 92 is, for example, a computer equipped with a CPU, a memory, an AD converter, etc., receives a measurement signal from the pressure sensor 91, and sequentially records the measured pressure, which is the value thereof, in the memory.
  • the variation of the measured pressure exceeds a predetermined range, the fact is reported on the screen, by voice, or the like.
  • Specific examples of the variation mode of the measured pressure exceeding a predetermined range include, for example, that the measured pressure rises above a predetermined value, or that the range of variation in the measured pressure exceeds a predetermined range.
  • This seal structure is also provided with a cooling mechanism for cooling the inner annular packing member 81 .
  • the inner annular packing member 81 is closer to the internal space of the heating furnace 1 than the outer annular packing member 82 and may exceed the heat-resistant temperature due to the heat thereof, so this is to prevent this.
  • the cooling mechanism here is, as shown in FIG. A cooling medium such as water is allowed to flow through.
  • a flange portion 611 is also provided on the peripheral edge portion of the first opening 61 in the furnace body 6, and a flange portion 711 is also provided on the peripheral edge portion of the first lid body 62 that closes it. be.
  • a similar seal structure, a pressure sensor and a monitoring device associated therewith are also provided between these flange portions 611 and 711 .
  • the distance between the inner annular packing member 81 and the outer annular packing member 82 on the second opening 62 side is greater than the distance between the inner annular packing member and the outer annular packing member in the seal structure on the first opening 61 side. is configured to be smaller.
  • the opposing surfaces 62a and 72a are attracted by the negative pressure (vacuum) generated by the decompression mechanism 83, the atmospheric pressure, and the differential pressure, and the annular packing members 81 and 82 are evenly crushed. Therefore, the openings 61 and 62 provided in the furnace body 6 can be reliably sealed by the lids 71 and 72 .
  • the space S1 on the front side is set smaller than that on the front side, in other words, the space S1 on the front side when viewed from the front-rear direction. is set to be larger than that of the rear surface side, so that the holding force for the second lid member 72 is smaller than the holding force for the first lid member 71 .
  • the second lid 72 is opened first, the pressure in the furnace decreases, and the first lid 71 on the side where the operator works can be prevented from coming off unexpectedly. Since it can be prevented, safety can be improved.
  • the present invention is not limited to the above embodiments.
  • the fastener Q1 even if the pressure in the space S1 is reduced to a vacuum, if the force for holding the lids 71 and 72 is insufficient or the force for crushing the annular packing members 81 and 82 is insufficient, the fastener Q1, A pressing force from Q2 may also be applied.
  • the circumferential grooves 81 a and 82 a may be provided in the flange portions of the furnace body 6 , and communication holes communicating the space S 1 with the suction pump 92 may be provided in the flange portions of the lids 71 and 72 .
  • the flange portion forming the facing surface is not necessarily required.
  • the shapes of the heating furnace 1, the openings 61 and 62, and the lids 71 and 72 can also be changed in various ways.
  • the annular packing members 81 and 82 may not only be solid ones having a circular or elliptical cross section, but may also be hollow inside. An example thereof will be described with reference to FIGS. 7 and 8. FIG. In addition, the same code
  • the circumferential grooves 81a and 82a in this embodiment are dovetail grooves having an isosceles trapezoidal shape in which the bottom width is larger than the opening width in cross section.
  • the annular packing members 81 and 82 in this example are composed of fitting portions 812 and 822 that are fitted into the circumferential grooves 81a and 82a with substantially no clearance, projecting portions 811 that project integrally from the openings of the circumferential grooves 81a and 82a, 821 and made of elastic resin (here, silicone rubber).
  • the fitting portions 812, 822 have a cross-sectional profile substantially equal to the cross-sectional shape of the circumferential grooves 81a, 82a in a natural state where no external force is substantially applied. It has an isosceles trapezoidal shape. Cavities 812a, 822a extending in the circumferential direction are formed in the fitting portions 812, 822, respectively.
  • the cavities 812a, 822a have a cross-sectional shape that is substantially similar to the contour shape of the fitting portions 812, 822, and the thickness between the cavities 812a, 822a and the outer peripheral surfaces of the fitting portions 812, 822 is It is configured to be approximately equal.
  • grooves 812b, 822b extending in the circumferential direction and having a semicircular cross section are formed in the bottom surfaces of the fitting portions 812, 822, respectively.
  • the protruding portions 811 and 821 have a tunnel shape in which the profile shape in cross section is a combination of a rectangle and a semi-ellipse or a semi-circle. Cavities 811a and 821a extending in the circumferential direction are also formed in the protruding portions 811 and 821 and have a shape substantially similar to the contour shape of the protruding portions 811 and 821 in cross section.
  • the protruding height dimensions of the protruding portions 811 and 821 are substantially equal to the depth dimensions of the circumferential grooves 81a and 82a.
  • the furnace main body 6 and the lids 71 and 72 can be Sufficient airtightness can be ensured even if the structure including the structure is deformed due to heat or the like.
  • grooves 812b and 822b are formed in the bottom surfaces of the fitting portions 812 and 822 so that the thickness of the fitting portions 812 and 822 at these portions is made smaller than at other locations so as to facilitate deformation. Therefore, by bending and bending the bottom portions of the annular packing members 81 and 82 around the grooves 812b and 822b, they can be easily fitted into the circumferential grooves 81a and 82a.
  • the annular packing member is not limited to the shape described above.
  • the shape of the fitting portion can be changed according to the cross-sectional shape of the circumferential groove, and the protruding portion can also have other shapes such as a semicircular shape or a semielliptical shape.
  • the cross-sectional shape of the cavity can also be varied in various ways, and the cavity may be formed across the protruding portion and the fitting portion.
  • a groove may be provided in the bottom surface of the cavity of the fitting portion, or the shapes of the outer annular packing member and the inner annular packing member may be different.
  • the main heating furnace 1 includes a furnace body 6 having openings 61 and 62, lids 71 and 72 attached to the openings 61 and 62, and the openings 61 and 62 with the lids 71 and 72. and a seal structure for airtight sealing, wherein the seal structure is an outer annular packing interposed between facing surfaces 62a, 72a provided on the peripheral edges of the lids 71, 72 and the openings 61, 62, respectively. It is provided with a member 82, an inner annular packing member 81, and a decompression mechanism 83 for reducing pressure in a space S1 defined by the opposing surfaces 62a and 72a and the annular packing members 81 and 82.
  • the apparatus further comprises a monitoring device 92 that monitors the pressure measured by the pressure sensor 91 and notifies when the measured pressure exceeds a predetermined range. preferable.
  • the two openings 61 and 62 are provided, one of which is the first opening 61 for taking the degreasing object W into and out of the heating furnace 1, and the other is the second opening. If the opening 62 is opened when the pressure in the heating furnace 1 exceeds a predetermined value, the lid 71 on the front side operated by the user will not open unexpectedly, improving safety. can be done.
  • the seal structures are respectively provided between the openings 61 and 62 and the lids 71 and 72 attached to the openings 61 and 62, respectively, and the first
  • the gap between the outer annular packing member and the inner annular packing member in the seal structure on the opening 61 side is set larger than the gap between the outer annular packing member and the inner annular packing member in the seal structure on the second opening 62 side. You should keep it.
  • the decompression mechanism includes a suction pump connected to the space, and has a communication hole that penetrates the flange portion of the furnace body in the thickness direction and communicates the space with the outside. is connected to the suction pump.
  • Circumferential grooves 81a and 82a into which the annular packing members 81 and 82 are fitted are formed in one of the facing surfaces 72a (62a),
  • the annular packing members 81 and 82 have fitting portions 812 and 822 that are fitted into the circumferential grooves 81a and 82a substantially without gaps in a natural state where no force is applied from the other facing surface 62a (72a), the circumferential groove 81a, Projecting portions 811, 821 projecting from the openings of 82a, and said fitting portions 812, 822 and projecting portions 811, 821 are respectively provided with cavities 812a, 822a and cavities 811a, 821a extending in the circumferential direction. ing.
  • the annular packing members 81 and 82 can be crushed with a large margin, and the flexibility at the time of crushing can be maintained, so that the fastening force can be reduced. Sealability can be ensured even by deformation of .
  • the negative pressure, atmospheric pressure, and differential pressure generated by the decompression mechanism pull the opposing surfaces together and evenly crush the annular packing members, so that the opening provided in the furnace body can be reliably sealed by the lid. can.

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Abstract

開口６１、６２を有した炉本体６と、前記開口６１、６２に取り付けられた蓋体７１、７２と、前記開口６１、６２を前記蓋体７１、７２で気密にシールするためのシール構造とを備えており、前記シール構造が、前記蓋体７１、７２及び開口６１、６２の周縁部にそれぞれ設けられた対向面６２ａ、７２ａ間に介在する外側環状パッキン部材８２及び内側環状パッキン部材８１と、前記各対向面６２ａ、７２ａ及び各環状パッキン部材８１、８２に囲まれて形成された空間Ｓ１の圧力を減じる減圧機構８３とを備えるようにした。このことにより、脱脂用加熱炉１における気密性を簡単な構成で確実に維持できる。

Description

脱脂用加熱炉
　本発明は、セラミック材料等の処理対象物に対し脱脂処理を施す脱脂用加熱炉に関するものである。
　この種の脱脂用加熱炉（以下、単に「加熱炉」ともいう。）は、特許文献１に示すように、処理対象物を収容して加熱し、脱脂するものである。
　この加熱炉には、処理対象物を出し入れするための開口とこの開口を封止する蓋体が設けられている。この蓋体は扉として機能する開閉可能なものであり、従来は、前記開口の周縁部と前記蓋体と間に耐熱パッキンやОリング等のシール部材を介在させるとともに、前記蓋体を炉本体に対し、クランプ機構やシリンダ等の締結部材を複数用いて押圧することにより、このシール部材を挟圧して気密性を確保している。
特開平１１－４３７０４号公報
　しかしながら、前記各締結部材の締結力のばらつきや締結順序の相違などにより、シール部材に均一な荷重が作用せず、所定の気密性を維持できない場合も生じうる。
　本発明はかかる課題を見出し、それを解決すべくなされたものであって、この種の脱脂用加熱炉における気密性を簡単な構成で確実に維持できるようにすべく図ったものである。
　すなわち、本発明に係る脱脂用加熱炉は、処理対象物を出し入れするための開口を有した炉本体と、前記開口に取り付けられる蓋体と、前記開口を前記蓋体で気密にシールするためのシール構造とを備えており、
　前記シール構造が、前記蓋体及び開口の周縁部にそれぞれ設けられた対向面間に介在する外側環状パッキン部材及び内側環状パッキン部材と、前記各対向面及び各環状パッキン部材に囲まれて形成された空間の圧力を減じる減圧機構とを備えていることを特徴とする。
　以上の構成によれば、減圧機構により生成された負圧と大気圧と差圧によって各対向面が引き寄せられて各環状パッキン部材が均等に押しつぶされるので、炉本体に設けられた開口を蓋体によって確実にシールすることができる。
本発明の一実施形態における脱脂装置の全体模式図である。 同実施形態における加熱炉の概略斜視図である。 同実施形態における加熱炉の概略背面図である。 同実施形態における加熱炉の概略正面図である。 同実施形態における第２蓋体と環状溝を内面から視た概略図である。 同実施形態における加熱炉のシール構造を示す断面図及び減圧機構等の接続を示す模式図である。 本発明の他の実施形態における環状パッキン部材と周回溝を示す横断面図である。 同実施形態における環状パッキン部材と周回溝を示す斜視断面図である。
　以下、本発明の一実施形態を、図面を参照して説明する。
　本実施形態にかかる脱脂装置１００は、図１に示すように、処理対象物Ｗが収容される加熱炉１と、該加熱炉１を加熱するヒータ２と、加熱炉１内に脱脂ガスを供給するガス供給管３と、処理対象物Ｗから離脱した揮発性の分解ガス等を脱脂ガスとともに加熱炉１外に排出するガス排出管４と、加熱炉１内で脱脂ガスを循環させるファン５とを備えている。
　以下では、本脱脂装置１００の特徴部分である加熱炉１について詳述する。
　この加熱炉１は、図１、図２等に示すように、例えば、正面とその逆側の背面にそれぞれ開口６１、６２が形成された炉本体６と、前記各開口６１、６２をそれぞれ封止する蓋体７１、７２とを備えた概略直方体状をなす金属製のものである。なお、図１、図２に示す符号Tは、この加熱炉１のさらに外側に設けられた筐体の正面板である。
　次に該加熱炉１の各部について説明する。
　前記正面側の開口６１（以下、第１開口６１ともいう。）は、処理対象物Ｗを炉本体６に対して出し入れするための例えば矩形状をなすものである。
　該第１開口６１を封止する蓋体７１（以下、第１蓋体７１ともいう。）は、前記第１開口６１よりもやや大きい矩形状をなすものであり、図２、図３に示すように、炉本体６に取り付けられたヒンジ部材Ｐ１によって一方の側縁部を中心に閉位置と開位置との間で回動可能に支持されている。また、閉位置において第１蓋体７１を炉本体６に押し付けて留める、例えばハンドル回転式の第１留め具Ｑ１が、該第１蓋体７１の四隅に設けられている。
　前記背面側の開口６２（以下、第２開口６２ともいう。）は、例えば矩形状をなすものである。
　該第２開口６２を封止する蓋体７２（以下、第２蓋体７２ともいう。）は、前記第２開口６２よりもやや大きい矩形状をなすものであり、ここでは図２、図４に示すように、トグルクランプ式の第２留め具Ｑ２によって炉本体６に取り付けられている。この第２開口６２は、通常は第２蓋体７２によって閉じられており、加熱炉１内の圧力が異常に上昇した場合等にのみ、第２留め具Ｑ２が外れて開放される安全弁として機能する。なお、この第２留め具Ｑ２は、前記第１留め具Ｑ１よりも保持力が弱く設定されており、加熱炉内の圧力が上昇した場合に、第２留め具Ｑ２が第１留め具Ｑ１よりも先にはずれ、第２蓋体７２が第１蓋体７１よりも先に強制開放されるようにしてある。
　しかして、これら各開口６１、６２は、前記蓋体７１、７２によりそれぞれ気密にシールされるものであるが、この実施形態での第１開口６１及び第１蓋体７１間のシール構造と、第２開口６２及び第２蓋体７２間のシール構造は、構造が共通するため、以下では、第２開口６２及び第２蓋体７２間のシール構造について、図５、図６等を参照しながら説明する。
　炉本体６における第２開口６２の周縁部と第２蓋体７２の周縁部とには、図１、図２、図５、図６に示すように、矩形環状をなす所定厚みのフランジ部６２１、７２１がそれぞれ設けてあり、閉位置においてこれらフランジ部６２１、７２１は、互いに対向するように構成されている。
　そして、これらフランジ部６２１、７２１における対向面６２ａ、７２ａ間に、無端環状をなす弾性樹脂製の内側環状パッキン部材８１及び外側環状パッキン部材８２が挟み込まれることにより、第２開口６２を第２蓋体７２で気密にシールできるようにしてある。
　なお、この実施形態では、蓋体７２側の対向面７２ａに、内外２重の周回溝８１ａ、８２ａが形成してあり、これら周回溝８１ａ、８２ａに前記内側環状パッキン部材８１及び外側環状パッキン部材８２がそれぞれ嵌め込まれている。
　さらにこのシール構造は、図６に示すように、前記外側環状パッキン部材８２、内側環状パッキン部材８１及び前記各対向面６２ａ、７２ａに囲まれて形成された空間Ｓ１の圧力を減じる減圧機構８３を備えている。
　この減圧機構８３は、前記空間Ｓ１に接続された吸引ポンプ８３１を備えている。より具体的には、炉本体６のフランジ部６２１を厚み方向に貫通して前記空間Ｓ１と外部とを連通する連通孔８３ａが設けてあり、この連通孔８３ａに配管部材８３ｂを介して吸引ポンプ８３１が接続されている。
　また、この実施形態では、前記空間Ｓ１内の圧力を直接的または間接的に測定する圧力センサ９１と、該圧力センサ９１によって測定された圧力を監視し、当該圧力の変動態様が予め定めた所定範囲を超えた場合にその旨を報知する監視装置９２とがさらに設けられている。
　前記圧力センサ９１は、ここでは、前記空間Ｓ１から吸引ポンプ８３１に至る間の流路系、例えば、前記配管部材８３ｂに取り付けられて、その内部の圧力を測定するものである。その他、前記連通孔８３ａの圧力を測定してもよいし、前記空間Ｓ１内の圧力を直接測定してもよい。
　前記監視装置９２は、例えばＣＰＵ、メモリ、ＡＤコンバータ等を備えたコンピュータであり、前記圧力センサ９１からの測定信号を受け付けてその値である測定圧力をメモリに逐次記録するとともに、前述したように、該測定圧力の変動態様が予め定めた所定範囲を超えた場合に画面や音声等でその旨を報知するものである。測定圧力の変動態様が予め定めた所定範囲を超えるとは、例えば、測定圧力が所定値よりも上昇するとか、測定圧力の変動幅が所定の幅を超えるなどという具体例を挙げることができる。
　このシール構造には、内側環状パッキン部材８１を冷却する冷却機構も設けられている。内側環状パッキン部材８１は、外側環状パッキン部材８２に比べて加熱炉１の内部空間に近く、その熱によって耐熱温度を超える場合があるので、これを防止するためである。ここでの冷却機構は、図６に示すように、内側環状パッキン部材８１の近傍、より具体的には、フランジ部６２内であって内側環状パッキン部材８１の直下に設けられた周回流路Rに水等の冷却媒体を流すようにしたものである。
　また、図１に示すように、炉本体６における第１開口６１の周縁部にはやはりフランジ部６１１が設けてあり、これを閉じる第１蓋体６２の周縁部にもフランジ部７１１が設けてある。そして、前述したように、これらフランジ部６１１、７１１の間にも同様のシール構造やそれに付帯する圧力センサ、監視装置が設けられている。
　なお、この実施形態では、第１開口６１側のシール構造における内側環状パッキン部材と外側環状パッキン部材との間隔よりも、第２開口６２側の内側環状パッキン部材８１及び外側環状パッキン部材８２の間隔の方が小さくなるように構成されている。
　次に、開口６１、６２を蓋体７１、７２で閉じる手順についてその一例を説明する。
　第２開口６２を閉じる場合は、まず前記各第２留め具Ｑ２を用いて、第２蓋体７２を取り付ける。この状態では、環状パッキン部材８１、８２がある程度まで潰れて前記空間Ｓ１が密閉される（図６（ａ））。その後、吸引ポンプ８３１を作動させて、前記空間Ｓ１を減圧し真空にする。このことにより、大気圧が作用して対向面６２ａ、７２ａが互いに引き寄せられ、前記環状パッキン部材８１、８２が所定量まで押しつぶされて第２開口６２が第２蓋体７２よって気密にシールされる。この状態を図６（ｂ）に示す。
　第１開口６１についても、第１蓋体７２が前記第１留め具Ｑ１によって取り付けられることを除けば同様である。
　しかして、上述した構成によれば、減圧機構８３により生成された負圧（真空）と大気圧と差圧によって各対向面６２ａ、７２ａが引き寄せられて各環状パッキン部材８１、８２が均等に押しつぶされるので、炉本体６に設けられた開口６１、６２を蓋体７１、７２によって確実にシールすることができる。
　また、吸引ポンプ８３１を作動させればシールされるので、全ての留め具を仕様通りに締めこむ必要がある従来構造に比べ、作業が容易になるうえ、より確実なリーク防止を図れる。
　さらに、経年劣化や損傷等によって、シール性が悪化した場合には、空間Ｓ１内の圧力上昇や圧力振動等が生じるところ、前記監視装置９２がこの圧力変動を監視しているので、事前のリーク予測やリーク直後の検知が可能となり、メンテナンス性や安全性の向上を図れる。
　また、背面側の外側環状パッキン部材８２と内側環状パッキン部材８１との間隔が、正面側のそれよりも小さく設定してある、言い換えれば、前後方向から視たときの、正面側の前記空間Ｓ１の面積が背面側のそれよりも大きく設定されていて、第１蓋体７１に対する保持力よりも第２蓋体７２に対する保持力の方が小さくなるようにしてある。このことにより、例えば炉内圧力が異常に上昇した場合に、先に第２蓋体７２が開放されて炉内圧力が下がり、オペレータが作業する側の第１蓋体７１が不測に外れることを防止できるので、安全性の向上を図れる。
　なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。
　前記空間Ｓ１内の圧力は、真空に近いほど蓋体７１、７２を保持する力が強くなりシール性も高まるので好ましい。もっとも、前記空間Ｓ１内の圧力を真空にしても、蓋体７１、７２を保持する力が足りないとか、環状パッキン部材８１、８２の押しつぶし力が不足するなどの場合は、前記留め具Ｑ１、Ｑ２による押しつけ力も加わるようにしてもよい。
　周回溝８１ａ、８２ａを炉本体６のフランジ部に設けてもよいし、空間Ｓ１を吸引ポンプ９２に連通する連通孔を蓋体７１、７２のフランジ部に設けてもよい。
　対向面を形成するフランジ部は必ずしも必要ではない。
　加熱炉１、開口６１、６２、蓋体７１、７２の形状も種々変更可能である。
　環状パッキン部材８１、８２は、横断面が円形や楕円形の中実なもののみならず、内部に空洞が形成されたものなどでもかまわない。
　その一例を、図７、図８を参照して説明する。なお、以下において前記実施形態に対応する構成要素には同じ符号を付している。
　本例において周回溝８１ａ、８２ａは、図７、図８に示すように、横断面形状において、開口幅よりも底幅の方が大きい等脚台形形状をなすアリ溝型のものである。
　しかして、この例での環状パッキン部材８１、８２は、周回溝８１ａ、８２ａに略隙間なく嵌り込む嵌入部分８１２、８２２と、前記周回溝８１ａ、８２ａの開口から一体に突出する突出部分８１１、８２１とからなる弾性樹脂（ここではシリコーンゴム）製のものである。
　嵌入部分８１２、８２２は、図７に示すように、外力が実質的に作用していない自然状態において、横断面での輪郭形状が、前記周回溝８１ａ、８２ａの横断面形状と実質的に等しい等脚台形状をなすものである。
　この嵌入部分８１２、８２２には、周方向に延伸する空洞８１２ａ、８２２ａが形成されている。この空洞８１２ａ、８２２ａは、横断面において、嵌入部分８１２、８２２の輪郭形状と概略相似する形状をなすものであり、空洞８１２ａ、８２２ａと嵌入部分８１２、８２２の外周面との間の肉厚が概略等しくなるように構成されている。
　さらに、嵌入部分８１２、８２２の底面には、周方向に延伸する横断面半円形状の溝８１２ｂ、８２２ｂが形成してある。
　突出部分８１１、８２１は、横断面での輪郭形状が、矩形と半楕円または半円とを組み合わせたトンネル形状をなすものである。
　この突出部分８１１、８２１にも、周方向に延伸し、横断面において突出部分８１１、８２１の輪郭形状と概略相似する形状をなす空洞８１１ａ、８２１ａが周方向に延伸するように形成されている。
　この突出部分８１１、８２１の突出高さ寸法は、周回溝８１ａ、８２ａの深さ寸法とほぼ等しい。
　このような環状パッキン部材８１、８２によれば、嵌入部分８１２、８２２および突出部分８１１、８２１のそれぞれに空洞８１２ａ、８２２ａおよび空洞８１１ａ、８２１ａがあるため、潰し代を大きくとることができる。
　しかも、炉本体６と蓋体７２（７１）とを締結し、対向面６２ａ、７２ａを接近・密接させた際に、周回溝８１ａ、８２ａの内面に嵌入部分８１２、８２２が、対向面６２ａに突出部分８１１、８２１が、それぞれ広く面状に密着する。
　したがって、前記実施形態で述べた横断面が円形ないし楕円形状の中実なパッキン部材と比べて、クランプ機構やシリンダによる締結力を小さくしても、また、炉本体６や蓋体７１、７２をはじめとする構造体の熱などによる変形があっても、十分な気密性を担保できる。
　また、この例では、嵌入部分８１２、８２２の底面に溝８１２ｂ、８２２ｂを形成してこの部分での嵌入部分８１２、８２２の肉厚を他箇所に比べて小さくし、変形しやすいように構成しているので、環状パッキン部材８１、８２の底部を、溝８１２ｂ、８２２ｂを中心に湾曲・屈曲させることで、これを容易に周回溝８１ａ、８２ａに嵌め込むことができる。
　さらに、アリ溝形状をなす周回溝８１ａ、８２ａに嵌入部分８１２、８２２がほぼ隙間なく嵌り込んでいるので、蓋体７１、７２を開閉しても環状パッキン部材８１、８２が外れにくいという効果もある。
　この環状パッキン部材は、前記形状に限られるものではない。嵌入部分の形状は周回溝の横断面形状に合わせて変えることはできるし、突出部分も半円形状や半楕円形状など、他の形状としてもかまわない。空洞の横断面形状も種々変形可能であるし、突出部分と嵌入部分にまたがって空洞が形成されていてもかまわない。溝を嵌入部分の空洞の底面に設けるなどしてもよいし、外側環状パッキン部材と内側環状パッキン部材との形状を異ならせてもよい。
　その他、本発明は上述した各変形例の一部を組み合わせるなど、その趣旨を逸脱しない範囲で変形可能してもよい。
　以上に述べた本実施形態の特徴は以下のようにまとめることができる。
（１）本加熱炉１は、開口６１、６２を有した炉本体６と、前記開口６１、６２に取り付けられた蓋体７１、７２と、前記開口６１、６２を前記蓋体７１、７２で気密にシールするためのシール構造とを備えており、前記シール構造が、前記蓋体７１、７２及び開口６１、６２の周縁部にそれぞれ設けられた対向面６２ａ、７２ａ間に介在する外側環状パッキン部材８２及び内側環状パッキン部材８１と、前記各対向面６２ａ、７２ａ及び各環状パッキン部材８１、８２に囲まれて形成された空間Ｓ１の圧力を減じる減圧機構８３とを備えている。
（２）前記空間Ｓ１の圧力を測定する圧力センサ９１をさらに備えていれば、経年変化や損傷によるシール性の劣化とそれに伴う加熱炉１から外部へのガスリークを、前記空間Ｓ１の圧力変動をモニターすることによって検知することができる。
（３）より具体的には、前記圧力センサ９１によって測定された圧力を監視し、該測定された圧力が所定範囲を超えた場合にその旨を報知する監視装置９２をさらに備えているものが好ましい。
（４）２つの前記開口６１、６２が設けられており、その一方である第１開口６１が、脱脂処理対象物Ｗを加熱炉１に出し入れするためのものであり、その他方である第２開口６２が、加熱炉１内の圧力が所定値を超えた場合に開放されるものであれば、ユーザが操作する正面側の蓋体７１が不測に開くことはなく、安全性を向上することができる。
（５）そのためには、例えば、前記各開口６１、６２と、それら開口６１、６２にそれぞれ取り付けられた蓋体７１、７２との間に、前記シール構造がそれぞれ設けられており、前記第１開口６１側のシール構造における外側環状パッキン部材及び内側環状パッキン部材との間隔が、前記第２開口６２側のシール構造における外側環状パッキン部材及び内側環状パッキン部材との間隔よりも大きく設定されているものにしておけばよい。
（６）内側環状パッキン部材を冷却する冷却機構をさらに備える。内側環状パッキン部材８１は、加熱炉１の内部空間に近く、その熱によって耐熱温度を超える場合があるので、冷却機構を備えることで、内側環状パッキン部材の劣化を抑制できる。
（７）前記減圧機構は、前記空間に接続された吸引ポンプを備え、前記炉本体のフランジ部を厚み方向に貫通して前記空間と外部とを連通する連通孔が設けてあり、前記連通孔に前記吸引ポンプが接続されている。
（８）前記対向面７２ａ（６２ａ）のいずれか一方に、前記環状パッキン部材８１、８２が嵌り込む周回溝８１ａ、８２ａが形成してあり、
　前記環状パッキン部材８１、８２が、他方の対向面６２ａ（７２ａ）から力の加わらない自然状態において、前記周回溝８１ａ、８２ａに略隙間なく嵌り込む嵌入部分８１２、８２２と、前記周回溝８１ａ、８２ａの開口から突出する突出部分８１１、８２１とからなるものであり、前記嵌入部分８１２、８２２および突出部分８１１、８２１のそれぞれに周方向に延伸する空洞８１２ａ、８２２ａおよび空洞８１１ａ、８２１ａが設けられている。
　このようなものであれば、環状パッキン部材８１、８２の潰し代を大きくとることができ、潰し時の柔軟性を保つことが出来るので、締結力を小さくすることができ、熱などによる構造体の変形によってもシール性を担保することができる。
（９）前記環状パッキン部材８１、８２の嵌入部分８１２、８２２における底面に、周方向に延伸する溝８１２ｂ、８２２ｂが形成されている。
　このようなものであれば、環状パッキン部材８１、８２を周回溝８１ａ、８２ａに嵌めやすくなる。
　減圧機構により生成された負圧と大気圧と差圧によって各対向面が引き寄せられて各環状パッキン部材が均等に押しつぶされるので、炉本体に設けられた開口を蓋体によって確実にシールすることができる。
１００・・・脱脂装置
Ｗ・・・処理対象物
１・・・加熱炉
６・・・炉本体
６１・・・第１開口
６２・・・第２開口
７１・・・第１蓋体
７２・・・第２蓋体
６２ａ、７２ａ・・・対向面
８２・・・外側環状パッキン部材
８１・・・内側環状パッキン部材
８３・・・減圧機構
９１・・・圧力センサ
９２・・・監視装置
Ｓ１・・・空間
８１２、８２２・・・嵌入部分
８１１、８２１・・・突出部分
８１２ａ、８２２ａ、８１１ａ、８２１ａ・・・空洞
８１２ｂ、８２２ｂ・・・溝

 

Claims (9)

  1. 　開口を有した炉本体と、
    　前記開口に取り付けられた蓋体と、
    　前記開口を前記蓋体で気密にシールするためのシール構造とを備えており、
    　前記シール構造が、
    　前記蓋体及び開口の周縁部にそれぞれ設けられた対向面間に介在する外側環状パッキン部材及び内側環状パッキン部材と、
    　前記各対向面及び各環状パッキン部材に囲まれて形成された空間の圧力を減じる減圧機構とを備えていることを特徴とする脱脂用加熱炉。
  2. 　前記空間の圧力を測定する圧力センサをさらに備えている請求項１記載の脱脂用加熱炉。
  3. 　前記圧力センサによって測定された圧力を監視し、該測定された圧力が所定範囲を超えた場合にその旨を報知する監視装置をさらに備えている請求項２記載の脱脂用加熱炉。
  4. 　前記開口が２つ設けられており、その一方である第１開口が、脱脂処理対象物を加熱炉に出し入れするためのものであり、その他方である第２開口が、加熱炉内の圧力が所定値を超えた場合に開放されるものである請求項１から３のいずれかに記載の脱脂用加熱炉。
  5. 　前記各開口と、それら開口にそれぞれ取り付けられた蓋体との間に、前記シール構造がそれぞれ設けられており、
    　前記第１開口側のシール構造における外側環状パッキン部材及び内側環状パッキン部材との間隔が、前記第２開口側のシール構造における外側環状パッキン部材及び内側環状パッキン部材との間隔よりも大きく設定されている請求項４記載の脱脂用加熱炉。
  6. 　内側環状パッキン部材を冷却する冷却機構をさらに備える、請求項１から５のいずれかに記載の脱脂用加熱炉。
  7. 　前記減圧機構は、前記空間に接続された吸引ポンプを備え、
    　前記炉本体の開口の周縁部に設けられたフランジ部または蓋体の周縁部に設けられたフランジ部を厚み方向に貫通して前記空間と外部とを連通する連通孔が設けてあり、前記連通孔に前記吸引ポンプが接続されている、請求項１から６のいずれかに記載の脱脂用加熱炉。
  8. 　前記対向面のいずれか一方に、前記環状パッキン部材が嵌り込む周回溝が形成してあり、
    　前記環状パッキン部材が、前記周回溝に略隙間なく嵌り込む嵌入部分と、前記周回溝の開口から突出する突出部分とからなるものであり、前記嵌入部分および突出部分のそれぞれに周方向に延伸する空洞が設けられている請求項１から６いずれかに記載の脱脂用加熱炉。
  9. 　前記環状パッキン部材の嵌入部分における底面に、周方向に延伸する溝が形成されている請求項８記載の脱脂用加熱炉。

     
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