WO2022059418A1

WO2022059418A1 - 感光性転写材料、樹脂パターンの製造方法、回路配線の製造方法、及び、タッチパネルの製造方法

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Publication number: WO2022059418A1
Application number: PCT/JP2021/030438
Authority: WO
Inventors: 進二藤本; 守正佐藤; 大介平木; 隆志有冨; 一真両角
Original assignee: 富士フイルム株式会社
Priority date: 2020-09-17
Filing date: 2021-08-19
Publication date: 2022-03-24
Also published as: CN116194839A; JPWO2022059418A1

Abstract

保護フィルムと、感光性樹脂層と、第１樹脂層と、第２樹脂層と、仮支持体とをこの順に有し、上記第１樹脂層が、粒子を含み、上記第１樹脂層と上記第２樹脂層とが接触しており、上記第１樹脂層と上記第２樹脂層とが剥離可能であり、上記第２樹脂層が、ポリエチレン構造を有する樹脂を含有する感光性転写材料、並びに、上記感光性転写材料を用いた樹脂パターンの製造方法、回路配線の製造方法、及び、タッチパネルの製造方法。

Description

感光性転写材料、樹脂パターンの製造方法、回路配線の製造方法、及び、タッチパネルの製造方法

　本開示は、感光性転写材料、樹脂パターンの製造方法、回路配線の製造方法、及び、タッチパネルの製造方法に関する。

　静電容量型入力装置などのタッチパネルを備えた表示装置（有機エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）表示装置及び液晶表示装置など）では、視認部のセンサーに相当する電極パターン、周辺配線部分及び取り出し配線部分の配線などの導電層パターンがタッチパネル内部に設けられている。
　一般的にパターン化した層の形成には、必要とするパターン形状を得るための工程数が少ないといったことから、感光性転写材料を用いて任意の基板上に設けた感光性樹脂組成物の層に対して、所望のパターンを有するマスクを介して露光した後に現像する方法が広く使用されている。

　また、従来の感光性転写材料としては、特許文献１に記載されたものが知られている。
　特許文献１には、カバーフィルム上に、感光層と、中間層と、粘着性層と、仮支持体と、をこの順に有し、上記中間層が粒子を含み、上記中間層と上記粘着性層とが接触しており、上記中間層と上記粘着性層とが剥離可能であり、上記中間層と上記粘着性層とを剥離した後の上記中間層の表面が上記粒子により形成された凹凸を有する感光性転写材料が記載されている。

　　特許文献１：国際公開第２０１９／１４６３８０号

　本発明の一実施形態が解決しようとする課題は、保護フィルムを剥離して感光性転写材料を貼り付けた後における第１樹脂層と第２樹脂層との間の剥離性に優れる感光性転写材料を提供することである。
　また、本発明の他の実施形態が解決しようとする課題は、上記感光性転写材料を用いた樹脂パターンの製造方法、回路配線の製造方法、及び、タッチパネルの製造方法を提供することである。

　上記課題を解決するための手段には、以下の態様が含まれる。
＜１＞　保護フィルムと、感光性樹脂層と、第１樹脂層と、第２樹脂層と、仮支持体とをこの順に有し、上記第１樹脂層が、粒子を含み、上記第１樹脂層と上記第２樹脂層とが接触しており、上記第１樹脂層と上記第２樹脂層とが剥離可能であり、上記第２樹脂層が、ポリエチレン構造を有する樹脂を含有する感光性転写材料。
＜２＞　上記ポリエチレン構造を有する樹脂が、エチレン－（メタ）アクリル酸共重合構造を有する樹脂である＜１＞に記載の感光性転写材料。
＜３＞　上記ポリエチレン構造を有する樹脂が、エチレン－（メタ）アクリル酸金属塩共重合構造を有するアイオノマー樹脂である＜１＞又は＜２＞に記載の感光性転写材料。
＜４＞　上記第１樹脂層と上記第２樹脂層との間の剥離力が、１．０ｇｆ／ｃｍ以上である＜１＞～＜３＞のいずれか１つに記載の感光性転写材料。
＜５＞　上記第１樹脂層と上記第２樹脂層との間の剥離力が、上記感光性樹脂層と上記保護フィルムとの間の剥離力より大きい値である＜１＞～＜４＞のいずれか１つに記載の感光性転写材料。
＜６＞　上記第２樹脂層の上記第１樹脂層側の表面における水接触角が、９０度以下である＜１＞～＜５＞のいずれか１つに記載の感光性転写材料。
＜７＞　上記第１樹脂層と上記第２樹脂層とを剥離した後の上記第１樹脂層の表面が、上記粒子により形成された凹凸を有する＜１＞～＜６＞のいずれか１つに記載の感光性転写材料。
＜８＞　＜１＞～＜７＞のいずれか１つに記載の感光性転写材料から上記保護フィルムを剥離する工程、上記保護フィルムが剥離された上記感光性転写材料における上記感光性樹脂層側の最外層を、基材に接触させて貼り合わせる工程、上記基材に貼り合わせた感光性転写材料から上記仮支持体及び上記第２樹脂層を剥離する工程、上記第１樹脂層に露光マスクを接触させ、上記露光マスクを介して上記感光性樹脂層を露光する工程、上記感光性樹脂層を現像して樹脂パターンを形成する工程、をこの順で含む樹脂パターンの製造方法。
＜９＞　＜８＞に記載の樹脂パターンの製造方法により形成された樹脂パターンをマスクとして導電層をエッチング処理する工程を含む回路配線の製造方法。
＜１０＞　＜８＞に記載の樹脂パターンの製造方法により形成された樹脂パターンをマスクとして導電層をエッチング処理して、タッチパネル用配線を形成する工程を含むタッチパネルの製造方法。

　本発明の一実施形態によれば、保護フィルムを剥離して感光性転写材料を貼り付けた後における第１樹脂層と第２樹脂層との間の剥離性に優れる感光性転写材料を提供することができる。
　また、本発明の他の実施形態によれば、上記感光性転写材料を用いた樹脂パターンの製造方法、回路配線の製造方法、及び、タッチパネルの製造方法を提供することができる。

本開示に用いられる感光性転写材料の層構成の一例を示す概略断面図である。パターンＡを示す概略平面図である。パターンＢを示す概略平面図である。

　以下、本開示の内容について説明する。なお、添付の図面を参照しながら説明するが、符号は省略する場合がある。
　また、本明細書において「～」を用いて表される数値範囲は、「～」の前後に記載される数値を下限値及び上限値として含む範囲を意味する。
　また、本明細書において、「（メタ）アクリル」はアクリル及びメタクリルの双方、又は、いずれかを表し、「（メタ）アクリレート」はアクリレート及びメタクリレートの双方、又は、いずれかを表し、「（メタ）アクリロイル」はアクリロイル及びメタクリロイルの双方、又は、いずれかを表す。
　更に、本明細書において組成物中の各成分の量は、組成物中に各成分に該当する物質が複数存在する場合、特に断らない限り、組成物中に存在する該当する複数の物質の合計量を意味する。
　本明細書において「工程」との語は、独立した工程だけでなく、他の工程と明確に区別できない場合であっても工程の所期の目的が達成されれば、本用語に含まれる。
　本明細書における基（原子団）の表記において、置換及び無置換を記していない表記は、置換基を有さないものと共に置換基を有するものをも包含するものである。例えば「アルキル基」とは、置換基を有さないアルキル基（無置換アルキル基）のみならず、置換基を有するアルキル基（置換アルキル基）をも包含するものである。
　本明細書において「露光」とは、特に断らない限り、光を用いた露光のみならず、電子線、イオンビーム等の粒子線を用いた描画も含む。また、露光に用いられる光としては、一般的に、水銀灯の輝線スペクトル、エキシマレーザに代表される遠紫外線、極紫外線（ＥＵＶ光）、Ｘ線、電子線等の活性光線（活性エネルギー線）が挙げられる。
　また、本明細書における化学構造式は、水素原子を省略した簡略構造式で記載する場合もある。
　本開示において、「質量％」と「重量％」とは同義であり、「質量部」と「重量部」とは同義である。
　また、本開示において、２以上の好ましい態様の組み合わせは、より好ましい態様である。
　また、本開示における重量平均分子量（Ｍｗ）及び数平均分子量（Ｍｎ）は、特に断りのない限り、ＴＳＫｇｅｌ　ＧＭＨｘＬ、ＴＳＫｇｅｌ　Ｇ４０００ＨｘＬ、ＴＳＫｇｅｌ　Ｇ２０００ＨｘＬ（何れも東ソー（株）製の商品名）のカラムを使用したゲルパーミエーションクロマトグラフィ（ＧＰＣ）分析装置により、溶剤ＴＨＦ（テトラヒドロフラン）、示差屈折計により検出し、標準物質としてポリスチレンを用いて換算した分子量である。

（感光性転写材料）
　本開示に係る感光性転写材料は、保護フィルムと、感光性樹脂層と、第１樹脂層と、第２樹脂層と、仮支持体とをこの順に有し、上記第１樹脂層が、粒子を含み、上記第１樹脂層と上記第２樹脂層とが接触しており、上記第１樹脂層と上記第２樹脂層とが剥離可能であり、上記第２樹脂層が、ポリエチレン構造を有する樹脂を含有する。

　本発明者らが詳細に検討した結果、保護フィルムと、感光性樹脂層と、第１樹脂層と、第２樹脂層と、仮支持体とをこの順に有する従来の感光性転写材料では、カバーフィルムを剥離して感光性転写材料を貼り付けた後において、第１樹脂層と第２樹脂層との間の剥離性が十分でなく、上記間での剥離が難しいという問題があることを本発明者らは見出した。
　本開示に係る感光性転写材料では、上記第１樹脂層が、粒子を含み、かつ、上記第２樹脂層が、ポリエチレン構造を有する樹脂を含有することにより、保護フィルムを剥離して感光性転写材料を貼り付けた後における第１樹脂層と第２樹脂層との間の剥離性に優れることを見出した。
　上記構成による優れた効果の作用機構は明確ではないが、以下のように推定している。
　ポリエチレン構造を有する樹脂は、エチレンのホモポリマーのガラス転移温度（Ｔｇ）が－１２５℃と低いことから、柔軟性に優れ、適度な粘着性を有しており、更に、ポリエチレン構造は疎水的であるため、水素結合による相互作用が小さい。また、第１樹脂層が粒子を有しており、上記粒子がアンカーとして第１樹脂層と第２樹脂層との剥離力を高めるとともに、マット剤のようにも作用し、適度な剥離性が得られる。これらが協奏的に作用することにより、保護フィルムを剥離して感光性転写材料を貼り付けた後における第１樹脂層と第２樹脂層との間の剥離性に優れると推定している。

　本開示に係る感光性転写材料は、保護フィルムと、感光性樹脂層と、第１樹脂層と、第２樹脂層と、仮支持体とをこの順に有する。
　また、本開示に係る感光性転写材料は、感光性樹脂層と第１樹脂層との間、保護フィルムと感光性樹脂層との間等に他の層を有していてもよい。

　本開示に係る感光性転写材料は、保護フィルムを剥離して感光性転写材料を貼り付けた後における第１樹脂層と第２樹脂層との間の剥離性（「第１樹脂層／第２樹脂層剥離性」ともいう。）の観点から、上記第１樹脂層と上記第２樹脂層との間の剥離力が、上記感光性樹脂層と上記保護フィルムとの間の剥離力よりも大きいことが好ましい。
　また、本開示に係る感光性転写材料は、第１樹脂層／第２樹脂層剥離性、及び、感光性樹脂層と保護フィルムとの間の剥離性（「感光性樹脂層／保護フィルム剥離性」ともいう。）の観点から、（上記第１樹脂層と上記第２樹脂層との間の剥離力）－（上記感光性樹脂層と上記保護フィルムとの間の剥離力）の値が、－０．２ｇｆ／ｃｍ以上であることが好ましく、－０．１ｇｆ／ｃｍ以上であることがより好ましく、０ｇｆ／ｃｍ以上であることが更に好ましく、０．５ｇｆ／ｃｍ以上であることが特に好ましい。また、上限値は、１０ｇｆ／ｃｍ以下であることが好ましく、８ｇｆ／ｃｍ以下であることがより好ましく、５ｇｆ／ｃｍ以下であることが特に好ましい。

　本開示に係る感光性転写材料は、第１樹脂層／第２樹脂層剥離性、及び、感光性樹脂層／保護フィルム剥離性の観点から、上記第１樹脂層と上記第２樹脂層との間の剥離力が、０．８ｇｆ／ｃｍ以上であることが好ましく、１．０ｇｆ／ｃｍ以上であることがより好ましく、１．５ｇｆ／ｃｍ～１０ｇｆ／ｃｍであることが更に好ましく、１．５ｇｆ／ｃｍ～５ｇｆ／ｃｍであることが特に好ましい。

　本開示に係る感光性転写材料は、第１樹脂層／第２樹脂層剥離性、及び、感光性樹脂層／保護フィルム剥離性の観点から、上記感光性樹脂層と上記保護フィルムとの間の剥離力が、０．１ｇｆ／ｃｍ～２ｇｆ／ｃｍであることが好ましく、０．２ｇｆ／ｃｍ～１．５ｇｆ／ｃｍであることがより好ましく、０．３ｇｆ／ｃｍ～１．０ｇｆ／ｃｍであることが特に好ましい。

　第１樹脂層／第２樹脂層間の剥離力の測定は、以下の方法により行うものとする。
　厚さ１００μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム上に、スパッタ法にて厚さ２００ｎｍの銅層を作製し、銅層付きＰＥＴ基板を作製する。
　感光性転写材料から保護フィルムを剥離した後ロール温度１００℃、線圧１．０ＭＰａ、線速度４ｍ／ｍｉｎのラミネート条件で、上記銅層付きＰＥＴ基板にラミネートする。
　得られた銅層付きＰＥＴ基板にラミネートした感光性転写材料を４．５ｃｍ幅にカットし、両面テープを貼り付けた１ｍｍ厚のポリカーボネート板に銅層付きＰＥＴ基板側を貼り付け、試験用サンプルを作製する。
　得られた試験用サンプルを、テンシロンを用いて感光性転写材料の仮支持体を１８０度曲げる方向に引っ張り、第１樹脂層／第２樹脂層間の剥離力を測定する。剥離力の測定は、剥離速度３００ｍｍ／ｍｉｎで行うものとする。

　また、感光性樹脂層／保護フィルム間の剥離力の測定は、以下の方法により行うものとする。
　厚さ１００μｍのＰＥＴフィルム上に、スパッタ法にて厚さ２００ｎｍの銅層を作製し、銅層付きＰＥＴ基板を作製する。
　感光性転写材料を４．５ｃｍ幅にカットし、両面テープを貼り付けた１ｍｍ厚のポリカーボネート板に仮支持体側を貼り付け、試験用サンプルを作製する。
　得られた試験用サンプルを、テンシロンを用いて感光性転写材料の保護フィルムを１８０度曲げる方向に引っ張り、感光性樹脂層／保護フィルム間の剥離力を測定する。剥離力の測定は、剥離速度３００ｍｍ／ｍｉｎで行うものとする。

〔保護フィルム〕
　感光性転写材料は、保護フィルムを有する。
　感光性樹脂層と保護フィルムとは、直接接していることが好ましい。

　保護フィルムを構成する材料としては、樹脂フィルム及び紙が挙げられ、強度及び可撓性の観点から、樹脂フィルムが好ましい。
　樹脂フィルムとしては、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、トリ酢酸セルロースフィルム、ポリスチレンフィルム、及び、ポリカーボネートフィルムが挙げられる。中でも、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、又は、ポリエチレンテレフタレートフィルムが好ましい。
　また、保護フィルムの感光性樹脂層に接する面には離型処理を施すことが好ましい。離型処理としては、シリコーン系樹脂、フッ素系樹脂、ポリオレフィン樹脂などを施したフィルムを挙げることができる。離型処理を施したフィルムとしては、例えば東レ（株）製のセラピールＷＺ、セラピールＭＤＡ、セラピールＭＦＡ、セラピールＴＫ０７、セラピールＢＫＥ、セラピールＢＸ８Ａ、セラピールＳＹ、セラピールＰＪ２７１、セラピールＰＪ１１１、セラピールＨＰ２、セラピールＰＪ１０１を挙げることができる。

　保護フィルムの厚さ（層厚）は、特に制限されないが、５μｍ～１００μｍが好ましく、１０μｍ～５０μｍがより好ましい。
　また、保護フィルムの感光性樹脂層に接する面（以下単に「保護フィルムの表面」ともいう）の算術平均粗さＲａ値は、解像性により優れる点から、０．３μｍ以下が好ましく、０．１μｍ以下がより好ましく、０．０５μｍ以下が更に好ましい。保護フィルムの表面のＲａ値が上記範囲であることにより、感光性樹脂層及び形成される樹脂パターンの層厚の均一性が向上するためと考えられる。
　保護フィルムの表面のＲａ値の下限は特に制限されないが、０．００１μｍ以上が好ましい。

　保護フィルムの表面のＲａ値は、以下の方法で測定される。
　３次元光学プロファイラー（Ｎｅｗ　Ｖｉｅｗ７３００、Ｚｙｇｏ社製）を用いて、以下の条件にて保護フィルムの表面を測定し、光学フィルムの表面プロファイルを得る。
　測定・解析ソフトとしては、ＭｅｔｒｏＰｒｏ　ｖｅｒ８．３．２のＭｉｃｒｏｓｃｏｐｅ　Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎを用いる。次に、上記解析ソフトにてＳｕｒｆａｃｅ　Ｍａｐ画面を表示し、Ｓｕｒｆａｃｅ　Ｍａｐ画面中でヒストグラムデータを得る。得られたヒストグラムデータから、算術平均粗さを算出し、保護フィルムの表面のＲａ値を得る。
　保護フィルムが感光性転写材料に貼り合わされている場合は、感光性転写材料から保護フィルムを剥離して、剥離した側の表面のＲａ値を測定すればよい。

〔感光性樹脂層〕
　本開示に用いられる感光性転写材料は、感光性樹脂層を有する。
　感光性樹脂層は、ネガ型感光性樹脂層であっても、ポジ型感光性樹脂層であってもよいが、露光により露光部の現像液に対する溶解性が低下し、非露光部が現像により除去されるネガ型感光性樹脂層であることが好ましい。
　感光性樹脂層は、アルカリ可溶性樹脂、エチレン性不飽和化合物及び光重合開始剤を含むことが好ましく、上記感光性樹脂層の全質量基準で、アルカリ可溶性樹脂：１０質量％～９０質量％；エチレン性不飽和化合物：５質量％～７０質量％；及び光重合開始剤：０．０１質量％～２０質量％を含むことがより好ましい。
　以下、各成分を順に説明する。

＜アルカリ可溶性樹脂＞
　感光性樹脂層は、アルカリ可溶性樹脂を含むことが好ましい。
　なお、本明細書において、「アルカリ可溶性」とは、２２℃において炭酸ナトリウムの１質量％水溶液１００ｇへの溶解度が０．１ｇ以上であることを意味する。
　アルカリ可溶性樹脂としては、特に制限はなく、例えば、エッチングレジストに用いられる公知のアルカリ可溶性樹脂が好適に挙げられる。
　また、アルカリ可溶性樹脂は、バインダーポリマーであることが好ましい。
　アルカリ可溶性樹脂としては、酸基を有するアルカリ可溶性樹脂であることが好ましい。
　中でも、アルカリ可溶性樹脂としては、後述する重合体Ａが好ましい。

－重合体Ａ－
　アルカリ可溶性樹脂としては、重合体Ａを含むことが好ましい。
　重合体Ａの酸価は、現像液による感光性樹脂層の膨潤を抑制することにより、解像性がより優れる点から、２２０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下が好ましく、２００ｍｇＫＯＨ／ｇ未満がより好ましく、１９０ｍｇＫＯＨ／ｇ未満が更に好ましい。
　重合体Ａの酸価の下限は特に制限されないが、現像性がより優れる点から、６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上が好ましく、１２０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上がより好ましく、１５０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上が更に好ましく、１７０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上が特に好ましい。

　なお、酸価は、試料１ｇを中和するのに必要な水酸化カリウムの質量［ｍｇ］であり、
本明細書においては、単位をｍｇＫＯＨ／ｇと記載する。酸価は、例えば、化合物中における酸基の平均含有量から算出できる。
　重合体Ａの酸価は、重合体Ａを構成する構成単位の種類及び酸基を含有する構成単位の含有量により調整すればよい。

　重合体Ａの重量平均分子量は、５，０００～５００，０００であることが好ましい。重量平均分子量を５００，０００以下にすることは、解像性及び現像性を向上させる観点から好ましい。重量平均分子量を１００，０００以下にすることがより好ましく、６０，０００以下にすることが更に好ましく、５０，０００以下にすることが特に好ましい。一方で、重量平均分子量を５，０００以上にすることは、現像凝集物の性状、並びに感光性樹脂積層体とした場合のエッジフューズ性及びカットチップ性等の未露光膜の性状を制御する観点から好ましい。重量平均分子量を１０，０００以上にすることがより好ましく、２０，０００以上にすることが更に好ましく、３０，０００以上にすることが特に好ましい。エッジフューズ性とは、感光性転写材料をロール状に巻き取った場合に、ロールの端面からの、感光性樹脂層のはみ出し易さの程度をいう。カットチップ性とは、未露光膜をカッターで切断した場合に、チップの飛び易さの程度をいう。このチップが感光性樹脂積層体の上面等に付着すると、後の露光工程等でマスクに転写して、不良品の原因となる。重合体Ａの分散度は、１．０～６．０であることが好ましく、１．０～５．０であることがより好ましく、１．０～４．０であることが更に好ましく、１．０～３．０であることが特に好ましい。本開示で、分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィーを用いて測定される値である。また分散度は、数平均分子量に対する重量平均分子量の比（重量平均分子量／数平均分子量）である。

　感光性樹脂層は、露光時の焦点位置がずれたときの線幅太りや解像度の悪化を抑制する観点から、重合体Ａとして、芳香族炭化水素基を有する単量体成分を含むものであることが好ましい。なお、このような芳香族炭化水素基としては、例えば、置換又は非置換のフェニル基や、置換又は非置換のアラルキル基が挙げられる。重合体Ａにおける芳香族炭化水素基を有する単量体成分の含有割合は、全単量体成分の合計質量を基準として、２０質量％以上であることが好ましく、３０質量％以上であることがより好ましく、４０質量％以上であることが更に好ましく、４５質量％以上であることが特に好ましく、５０質量％以上であることが最も好ましい。上限としては特に限定されないが、好ましくは９５質量％以下、より好ましくは８５質量％以下である。なお、重合体Ａを複数種類含有する場合における、芳香族炭化水素基を有する単量体成分の含有割合は、重量平均値として求めた。

　上記芳香族炭化水素基を有する単量体としては、例えば、アラルキル基を有するモノマー、スチレン、及び重合可能なスチレン誘導体（例えば、メチルスチレン、ビニルトルエン、ｔｅｒｔ－ブトキシスチレン、アセトキシスチレン、４－ビニル安息香酸、スチレンダイマー、スチレントリマー等）が挙げられる。中でも、アラルキル基を有するモノマー、又はスチレンが好ましい。一態様において、重合体Ａにおける芳香族炭化水素基を有する単量体成分がスチレンである場合、スチレン単量体成分の含有割合は、全単量体成分の合計質量を基準として、２０質量％～５０質量％であることが好ましく、２５質量％～４５質量％であることがより好ましく、３０質量％～４０質量％であることが更に好ましく、３０質量％～３５質量％であることが特に好ましい。

　アラルキル基としては、置換又は非置換のフェニルアルキル基（ベンジル基を除く）や、置換又は非置換のベンジル基等が挙げられ、置換又は非置換のベンジル基が好ましい。

　フェニルアルキル基を有する単量体としては、フェニルエチル（メタ）アクリレート等が挙げられる。

　ベンジル基を有する単量体としては、ベンジル基を有する（メタ）アクリレート、例えば、ベンジル（メタ）アクリレート、クロロベンジル（メタ）アクリレート等；ベンジル基を有するビニルモノマー、例えば、ビニルベンジルクロライド、ビニルベンジルアルコール等が挙げられる。中でもベンジル（メタ）アクリレートが好ましい。一態様において、重合体Ａにおける芳香族炭化水素基を有する単量体成分がベンジル（メタ）アクリレートである場合、ベンジル（メタ）アクリレート単量体成分の含有割合は、全単量体成分の合計質量を基準として、５０質量％～９５質量％であることが好ましく、６０質量％～９０質量％であることがより好ましく、７０質量％～９０質量％であることが更に好ましく、７５質量％～９０質量％であることが特に好ましい。

　芳香族炭化水素基を有する単量体成分を含有する重合体Ａは、芳香族炭化水素基を有する単量体と、後述する第一の単量体の少なくとも１種及び／又は後述する第二の単量体の少なくとも１種とを重合することにより得られることが好ましい。

　芳香族炭化水素基を有する単量体成分を含有しない重合体Ａは、後述する第一の単量体の少なくとも１種を重合することにより得られることが好ましく、第一の単量体の少なくとも１種と後述する第二の単量体の少なくとも１種とを共重合することにより得られることがより好ましい。

　第一の単量体は、分子中にカルボキシ基を有する単量体である。第一の単量体としては、例えば、（メタ）アクリル酸、フマル酸、ケイ皮酸、クロトン酸、イタコン酸、４－ビニル安息香酸、マレイン酸無水物、マレイン酸半エステル等が挙げられる。これらの中でも、（メタ）アクリル酸が好ましい。
　重合体Ａにおける第一の単量体の含有割合は、全単量体成分の合計質量を基準として、５質量％～５０質量％であることが好ましく、１０質量％～４０質量％であることがより好ましく、１５質量％～３０質量％であることが更に好ましい。

　第一の単量体の共重合割合は、全単量体成分の合計質量を基準として、１０質量％～５０質量％であることが好ましい。上記共重合割合を１０質量％以上にすることは、良好な現像性を発現させる観点、エッジフューズ性を制御するなどの観点から好ましく、１５質量％以上がより好ましく、２０質量％以上が更に好ましい。上記共重合割合を５０質量％以下にすることは、レジストパターンの高解像性及びスソ形状の観点から、更にはレジストパターンの耐薬品性の観点から好ましく、これらの観点においては、３５質量％以下がより好ましく、３０質量％以下が更に好ましく、２７質量％以下が特に好ましい。

　第二の単量体は、非酸性であり、かつ分子中に重合性不飽和基を少なくとも１個有する単量体である。第二の単量体としては、例えば、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ｎ－プロピル（メタ）アクリレート、イソプロピル（メタ）アクリレート、ｎ－ブチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、ｔｅｒｔ－ブチル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、２－エチルヘキシル（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリレート類；酢酸ビニル等のビニルアルコールのエステル類；並びに（メタ）アクリロニトリル等が挙げられる。中でも、メチル（メタ）アクリレート、２－エチルヘキシル（メタ）アクリレート、及びｎ－ブチル（メタ）アクリレートが好ましく、メチル（メタ）アクリレートが特に好ましい。
　重合体Ａにおける第二の単量体の含有割合は、全単量体成分の合計質量を基準として、５質量％～６０質量％であることが好ましく、１５質量％～５０質量％であることがより好ましく、２０質量％～４５質量％であることが更に好ましい。

　アラルキル基を有する単量体、及び／又はスチレンを単量体として含有することが、露光時の焦点位置がずれたときの線幅太りや解像度の悪化を抑制する観点から好ましい。例えば、メタクリル酸とベンジルメタクリレートとスチレンを含む共重合体、メタクリル酸とメチルメタクリレートとベンジルメタクリレートとスチレンを含む共重合体等が好ましい。
　一態様において、重合体Ａは、芳香族炭化水素基を有する単量体成分を２５質量％～４０質量％、第一の単量体成分を２０質量％～３５質量％、第二の単量体成分を３０質量％～４５質量％含む重合体であることが好ましい。また、別の態様において、芳香族炭化水素基を有する単量体成分を７０質量％～９０質量％、第一の単量体成分を１０質量％～２５質量％含む重合体であることが好ましい。

　重合体Ａは、側鎖に分岐構造又は脂環構造を有してもよい。また、重合体Ａは、側鎖に直鎖構造を有してもよい。側鎖に分岐構造を有する基を含有するモノマー、又は側鎖に脂環構造を有する基を含有するモノマーを使用することによって、重合体Ａの側鎖に分岐構造や脂環構造を導入することができる。脂環構造を有する基は単環又は多環であってもよい。
　側鎖に分岐構造を有する基を含有するモノマーの具体例としては、例えば（メタ）アクリル酸ｉ－プロピル、（メタ）アクリル酸ｉ－ブチル、（メタ）アクリル酸ｓ－ブチル、（メタ）アクリル酸ｔ－ブチル、（メタ）アクリル酸ｉ－アミル、（メタ）アクリル酸ｔ－アミル、（メタ）アクリル酸ｓｅｃ－ｉｓｏ－アミル、（メタ）アクリル酸２－オクチル、（メタ）アクリル酸３－オクチル、（メタ）アクリル酸ｔ－オクチル等が挙げられる。これらの中でも、（メタ）アクリル酸ｉ－プロピル、（メタ）アクリル酸ｉ－ブチル、又は、メタクリル酸ｔ－ブチルが好ましく、メタクリル酸ｉ－プロピル、又は、メタクリル酸ｔ－ブチルがより好ましい。
　側鎖に脂環構造を有する基を含有するモノマーの具体例としては、単環の脂肪族炭化水素基を有するモノマー、多環の脂肪族炭化水素基を有するモノマーが挙げられる。また、炭素数（「炭素原子数」ともいう。）５～２０個の脂環式炭化水素基を有する（メタ）アクリレートが挙げられる。より具体的な例としては、例えば（メタ）アクリル酸（ビシクロ［２．２．１］ヘプチル－２）、（メタ）アクリル酸－１－アダマンチル、（メタ）アクリル酸－２－アダマンチル、（メタ）アクリル酸－３－メチル－１－アダマンチル、（メタ）アクリル酸－３，５－ジメチル－１－アダマンチル、（メタ）アクリル酸－３－エチルアダマンチル、（メタ）アクリル酸－３－メチル－５－エチル－１－アダマンチル、（メタ）アクリル酸－３，５，８－トリエチル－１－アダマンチル、（メタ）アクリル酸－３，５－ジメチル－８－エチル－１－アダマンチル、（メタ）アクリル酸２－メチル－２－アダマンチル、（メタ）アクリル酸２－エチル－２－アダマンチル、（メタ）アクリル酸３－ヒドロキシ－１－アダマンチル、（メタ）アクリル酸オクタヒドロ－４，７－メンタノインデン－５－イル、（メタ）アクリル酸オクタヒドロ－４，７－メンタノインデン－１－イルメチル、（メタ）アクリル酸－１－メンチル、（メタ）アクリル酸トリシクロデカン、（メタ）アクリル酸－３－ヒドロキシ－２，６，６－トリメチル－ビシクロ［３．１．１］ヘプチル、（メタ）アクリル酸－３，７，７－トリメチル－４－ヒドロキシビシクロ［４．１．０］ヘプチル、（メタ）アクリル酸（ノル）ボルニル、（メタ）アクリル酸イソボルニル、（メタ）アクリル酸フェンチル、（メタ）アクリル酸－２，２，５－トリメチルシクロヘキシル、（メタ）アクリル酸シクロヘキシル等が挙げられる。これら（メタ）アクリル酸エステルの中でも、（メタ）アクリル酸シクロヘキシル、（メタ）アクリル酸（ノル）ボルニル、（メタ）アクリル酸イソボルニル、（メタ）アクリル酸－１－アダマンチル、（メタ）アクリル酸－２－アダマンチル、（メタ）アクリル酸フェンチル、（メタ）アクリル酸１－メンチル、又は、（メタ）アクリル酸トリシクロデカンが好ましく、（メタ）アクリル酸シクロヘキシル、（メタ）アクリル酸（ノル）ボルニル、（メタ）アクリル酸イソボルニル、（メタ）アクリル酸－２－アダマンチル、又は、（メタ）アクリル酸トリシクロデカンが特に好ましい。

　重合体Ａは、１種単独で使用することができ、或いは２種以上を混合して使用してもよい。２種以上を混合して使用する場合には、芳香族炭化水素基を有する単量体成分を含む重合体Ａを２種類混合使用すること、又は芳香族炭化水素基を有する単量体成分を含む重合体Ａと、芳香族炭化水素基を有する単量体成分を含まない重合体Ａと、を混合使用することが好ましい。後者の場合、芳香族炭化水素基を有する単量体成分を含む重合体Ａの使用割合は、重合体Ａの全部に対して、５０質量％以上であることが好ましく、７０質量％以上であることがより好ましく、８０質量％以上であることが好ましく、９０質量％以上であることがより好ましい。

　重合体Ａの合成は、上記で説明された単数又は複数の単量体を、アセトン、メチルエチルケトン、イソプロパノール等の溶剤で希釈した溶液に、過酸化ベンゾイル、アゾイソブチロニトリル等のラジカル重合開始剤を適量添加し、加熱撹拌することにより行われることが好ましい。混合物の一部を反応液に滴下しながら合成を行う場合もある。反応終了後、さらに溶剤を加えて、所望の濃度に調整する場合もある。合成手段としては、溶液重合以外に、塊状重合、懸濁重合、又は乳化重合を用いてもよい。

　重合体Ａのガラス転移温度Ｔｇは、３０℃以上１３５℃以下であることが好ましい。感光性樹脂層において、１３５℃以下のＴｇを有する重合体Ａを使用することによって、露光時の焦点位置がずれたときの線幅太りや解像度の悪化を抑制することができる。この観点から、重合体ＡのＴｇは、１３０℃以下であることがより好ましく、１２０℃以下であることが更に好ましく、１１０℃以下であることが特に好ましい。また、３０℃以上のＴｇを有する重合体Ａを使用することは、耐エッジフューズ性を向上させる観点から好ましい。この観点から、重合体ＡのＴｇは、４０℃以上であることがより好ましく、５０℃以上であることが更に好ましく、６０℃以上であることが特に好ましく、７０℃以上であることが最も好ましい。

　感光性樹脂層は、アルカリ可溶性樹脂以外の樹脂を含有してもよい。
　アルカリ可溶性樹脂以外の樹脂としては、アクリル樹脂、スチレン－アクリル共重合体（但し、スチレン含有率が４０質量％以下であるもの）、ポリウレタン樹脂、ポリビニルアルコール、ポリビニルホルマール、ポリアミド樹脂、ポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂、エポキシ樹脂、ポリアセタール樹脂、ポリヒドロキシスチレン樹脂、ポリイミド樹脂、ポリベンゾオキサゾール樹脂、ポリシロキサン樹脂、ポリエチレンイミン、ポリアリルアミン、及び、ポリアルキレングリコールが挙げられる。

　アルカリ可溶性樹脂は、１種単独で使用することができ、或いは２種以上を混合して使用してもよい。
　アルカリ可溶性樹脂の、感光性樹脂層の全質量に対する割合は、好ましくは１０質量％～９０質量％の範囲であり、より好ましくは３０質量％～７０質量％であり、更に好ましくは４０質量％～６０質量％である。感光性樹脂層に対するアルカリ可溶性樹脂の割合を９０質量％以下にすることは、現像時間を制御する観点から好ましい。一方で、感光性樹脂層に対するアルカリ可溶性樹脂の割合を１０質量％以上にすることは、耐エッジフューズ性を向上させる観点から好ましい。

（エチレン性不飽和化合物）
　感光性樹脂層は、エチレン性不飽和化合物を含有することが好ましい。
　本明細書において「エチレン性不飽和化合物」とは、後述する光重合開始剤の作用を受けて重合する化合物であって、上述したアルカリ可溶性樹脂とは異なる化合物を意味する。

　エチレン性不飽和化合物は、ネガ型感光性樹脂層の感光性（すなわち、光硬化性）及び硬化膜の強度に寄与する成分である。
　また、エチレン性不飽和化合物は、１つ以上のエチレン性不飽和基を有する化合物である。
　感光性樹脂層は、エチレン性不飽和化合物として、２官能以上のエチレン性不飽和化合物を含むことが好ましい。
　ここで、２官能以上のエチレン性不飽和化合物とは、一分子中にエチレン性不飽和基を２つ以上有する化合物を意味する。
　エチレン性不飽和基としては、（メタ）アクリロイル基がより好ましい。
　エチレン性不飽和化合物としては、（メタ）アクリレート化合物が好ましい。

　感光性樹脂層は、重合性基を有するエチレン性不飽和化合物を含有することが好ましい。
　エチレン性不飽和化合物が有する重合性基としては、重合反応に関与する基であれば特に制限されず、例えば、ビニル基、アクリロイル基、メタクリロイル基、スチリル基、マレイミド基等のエチレン性不飽和基を有する基；並びに、エポキシ基及びオキセタン基等のカチオン性重合性基を有する基が挙げられる。
　重合性基としては、エチレン性不飽和基を有する基が好ましく、アクリロイル基又はメタクリロイル基がより好ましい。

　エチレン性不飽和化合物としては、感光性樹脂層の感光性がより優れる点で、一分子中に２つ以上のエチレン性不飽和基を有する化合物（多官能エチレン性不飽和化合物）を含むことが好ましい。
　また、解像性及び剥離性により優れる点で、エチレン性不飽和化合物が一分子中に有するエチレン性不飽和基の数は、６つ以下が好ましく、３つ以下がより好ましく、２つ以下が更に好ましい。

　感光性樹脂層は、感光性樹脂層の感光性と解像性及び剥離性とのバランスがより優れる点で、一分子中に２つ又は３つのエチレン性不飽和基を有する２官能又は３官能エチレン性不飽和化合物を含有することが好ましく、一分子中に２つのエチレン性不飽和基を有する２官能エチレン性不飽和化合物を含有することがより好ましい。
　感光性樹脂層における、エチレン性不飽和化合物の含有量に対する２官能エチレン性不飽和化合物の含有量は、剥離性に優れる点から、６０質量％以上が好ましく、７０質量％超がより好ましく、９０質量％以上が更に好ましい。上限は特に制限されず、１００質量％であってもよい。即ち、感光性樹脂層に含まれるエチレン性不飽和化合物が全て２官能エチレン性不飽和化合物であってもよい。
　また、エチレン性不飽和化合物としては、重合性基として（メタ）アクリロイル基を有する（メタ）アクリレート化合物が好ましい。

－エチレン性不飽和化合物Ｂ１－
　感光性樹脂層は、芳香環及び２つのエチレン性不飽和基を有するエチレン性不飽和化合物Ｂ１を含有することが好ましい。エチレン性不飽和化合物Ｂ１は、上述したエチレン性不飽和化合物のうち、一分子中に１つ以上の芳香環を有する２官能エチレン性不飽和化合物である。

　感光性樹脂層中、エチレン性不飽和化合物の含有量に対するエチレン性不飽和化合物Ｂ１の含有量の質量比は、解像性がより優れる点から、４０質量％以上であることが好ましく、５０質量％以上であることがより好ましく、５５質量％以上であることが更に好ましく、６０質量％以上であることが特に好ましい。上限は特に制限されないが、剥離性の点から、９９質量％以下が好ましく、９５質量％以下がより好ましく、９０質量％以下が更に好ましく、８５質量％以下が特に好ましい。

　エチレン性不飽和化合物Ｂ１が有する芳香環としては、例えば、ベンゼン環、ナフタレン環及びアントラセン環等の芳香族炭化水素環、チオフェン環、フラン環、ピロール環、イミダゾール環、トリアゾール環及びピリジン環等の芳香族複素環、並びに、それらの縮合環が挙げられ、芳香族炭化水素環が好ましく、ベンゼン環がより好ましい。なお、上記芳香環は、置換基を有してもよい。
　エチレン性不飽和化合物Ｂ１は、芳香環を１つのみ有してもよく、２つ以上の芳香環を有してもよい。

　エチレン性不飽和化合物Ｂ１は、現像液による感光性樹脂層の膨潤を抑制することにより、解像性が向上する点から、ビスフェノール構造を有することが好ましい。
　ビスフェノール構造としては、例えば、ビスフェノールＡ（２，２－ビス（４－ヒドロキシフェニル）プロパン）に由来するビスフェノールＡ構造、ビスフェノールＦ（２，２－ビス（４－ヒドロキシフェニル）メタン）に由来するビスフェノールＦ構造、及び、ビスフェノールＢ（２，２－ビス（４－ヒドロキシフェニル）ブタン）に由来するビスフェノールＢ構造が挙げられ、ビスフェノールＡ構造が好ましい。

　ビスフェノール構造を有するエチレン性不飽和化合物Ｂ１としては、例えば、ビスフェノール構造と、そのビスフェノール構造の両端に結合した２つの重合性基（好ましくは（メタ）アクリロイル基）とを有する化合物が挙げられる。
　ビスフェノール構造の両端と２つの重合性基とは、直接結合してもよく、１つ以上のアルキレンオキシ基を介して結合してもよい。ビスフェノール構造の両端に付加するアルキレンオキシ基としては、エチレンオキシ基又はプロピレンオキシ基が好ましく、エチレンオキシ基がより好ましい。ビスフェノール構造に付加するアルキレンオキシ基の付加数は特に制限されないが、１分子あたり４～１６個が好ましく、６～１４個がより好ましい。
　ビスフェノール構造を有するエチレン性不飽和化合物Ｂ１については、特開２０１６－２２４１６２号公報の段落００７２～００８０に記載されており、この公報に記載の内容は本明細書に組み込まれる。

　エチレン性不飽和化合物Ｂ１としては、ビスフェノールＡ構造を有する２官能エチレン性不飽和化合物が好ましく、２，２－ビス（４－（（メタ）アクリロキシポリアルコキシ）フェニル）プロパンがより好ましい。
　２，２－ビス（４－（（メタ）アクリロキシポリアルコキシ）フェニル）プロパンとしては、例えば、２，２－ビス（４－（メタクリロキシジエトキシ）フェニル）プロパン（ＦＡ－３２４Ｍ、日立化成（株）製）、２，２－ビス（４－（メタクリロキシエトキシプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２－ビス（４－（メタクリロキシペンタエトキシ）フェニル）プロパン（ＢＰＥ－５００、新中村化学工業（株）製）、２，２－ビス（４－（メタクリロキシドデカエトキシテトラプロポキシ）フェニル）プロパン（ＦＡ－３２００ＭＹ、日立化成（株）製）、２，２－ビス（４－（メタクリロキシペンタデカエトキシ）フェニル）プロパン（ＢＰＥ－１３００、新中村化学工業（株）製）、２，２－ビス（４－（メタクリロキシジエトキシ）フェニル）プロパン（ＢＰＥ－２００、新中村化学工業（株）製）、及び、エトキシ化（１０）ビスフェノールＡジアクリレート（ＮＫエステルＡ－ＢＰＥ－１０、新中村化学工業（株）製）が挙げられる。

　エチレン性不飽和化合物Ｂ１としては、下記式（Ｂｉｓ）で表される化合物を使用することができる。

　式（Ｂｉｓ）中、Ｒ_１及びＲ_２はそれぞれ独立に、水素原子又はメチル基を表し、ＡはＣ_２Ｈ_４であり、ＢはＣ_３Ｈ_６であり、ｎ_１及びｎ_３はそれぞれ独立に、１～３９の整数であり、かつｎ_１＋ｎ_３は２～４０の整数であり、ｎ_２及びｎ_４はそれぞれ独立に、０～２９の整数であり、かつｎ_２＋ｎ_４は０～３０の整数であり、－（Ａ－Ｏ）－及び－（Ｂ－Ｏ）－の繰り返し単位の配列は、ランダムであってもブロックであってもよい。そして、ブロックの場合、－（Ａ－Ｏ）－と－（Ｂ－Ｏ）－とのいずれがビスフェノール構造側でもよい。
　一態様において、ｎ_１＋ｎ_２＋ｎ_３＋ｎ_４は、２～２０の整数が好ましく、２～１６の整数がより好ましく、４～１２の整数が更に好ましい。また、ｎ_２＋ｎ_４は、０～１０の整数が好ましく、０～４の整数がより好ましく、０～２の整数が更に好ましく、０が特に好ましい。

　エチレン性不飽和化合物Ｂ１は、１種単独で使用しても、２種以上を併用してもよい。
　感光性樹脂層における、エチレン性不飽和化合物Ｂ１の含有量は、解像性がより優れる点から、感光性樹脂層の全質量に対して、１０質量％以上が好ましく、２０質量％以上がより好ましい。上限は特に制限されないが、転写性及びエッジフュージョン（感光性転写材料の端部から感光性樹脂層中の成分が滲み出す現象）の点から、７０質量％以下が好ましく、６０質量％以下がより好ましい。

　感光性樹脂層は、上述したエチレン性不飽和化合物Ｂ１以外のエチレン性不飽和化合物を含有してもよい。
　エチレン性不飽和化合物Ｂ１以外のエチレン性不飽和化合物は、特に制限されず、公知の化合物の中から適宜選択できる。例えば、一分子中に１つのエチレン性不飽和基を有する化合物（単官能エチレン性不飽和化合物）、芳香環を有さない２官能エチレン性不飽和化合物、及び、３官能以上のエチレン性不飽和化合物が挙げられる。

　単官能エチレン性不飽和化合物としては、例えば、エチル（メタ）アクリレート、エチルヘキシル（メタ）アクリレート、２－（メタ）アクリロイルオキシエチルサクシネート、ポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート、及び、フェノキシエチル（メタ）アクリレートが挙げられる。

　芳香環を有さない２官能エチレン性不飽和化合物としては、例えば、アルキレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリアルキレングリコールジ（メタ）アクリレート、ウレタンジ（メタ）アクリレート、及び、トリメチロールプロパンジアクリレートが挙げられる。
　アルキレングリコールジ（メタ）アクリレートとしては、例えば、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート（Ａ－ＤＣＰ、新中村化学工業（株）製）、トリシクロデカンジメタノールジメタクリレート（ＤＣＰ、新中村化学工業（株）製）、１，９－ノナンジオールジアクリレート（Ａ－ＮＯＤ－Ｎ、新中村化学工業（株）製）、１，６－ヘキサンジオールジアクリレート（Ａ－ＨＤ－Ｎ、新中村化学工業（株）製）、エチレングリコールジメタクリレート、１，１０－デカンジオールジアクリレート、及び、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレートが挙げられる。
　ポリアルキレングリコールジ（メタ）アクリレートとしては、例えば、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジプロピレングリコールジアクリレート、トリプロピレングリコールジアクリレート、及び、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレートが挙げられる。
　ウレタンジ（メタ）アクリレートとしては、例えば、プロピレンオキサイド変性ウレタンジ（メタ）アクリレート、並びに、エチレンオキサイド及びプロピレンオキサイド変性ウレタンジ（メタ）アクリレートが挙げられる。の市販品としては、例えば、８ＵＸ－０１５Ａ（大成ファインケミカル（株）製）、ＵＡ－３２Ｐ（新中村化学工業（株）製）、及び、ＵＡ－１１００Ｈ（新中村化学工業（株）製）が挙げられる。

　３官能以上のエチレン性不飽和化合物としては、例えば、ジペンタエリスリトール（トリ／テトラ／ペンタ／ヘキサ）（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトール（トリ／テトラ）（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、トリメチロールエタントリ（メタ）アクリレート、イソシアヌル酸トリ（メタ）アクリレート、グリセリントリ（メタ）アクリレート、並びに、これらのアルキレンオキサイド変性物が挙げられる。
　ここで、「（トリ／テトラ／ペンタ／ヘキサ）（メタ）アクリレート」は、トリ（メタ）アクリレート、テトラ（メタ）アクリレート、ペンタ（メタ）アクリレート、及びヘキサ（メタ）アクリレートを包含する概念であり、「（トリ／テトラ）（メタ）アクリレート」は、トリ（メタ）アクリレート及びテトラ（メタ）アクリレートを包含する概念である。一態様において、感光性樹脂層は、上述したエチレン性不飽和化合物Ｂ１及び３官能以上のエチレン性不飽和化合物を含むことが好ましく、上述したエチレン性不飽和化合物Ｂ１及び２種以上の３官能以上のエチレン性不飽和化合物を含むことがより好ましい。この場合、エチレン性不飽和化合物Ｂ１と３官能以上のエチレン性不飽和化合物の質量比は、（エチレン性不飽和化合物Ｂ１の合計質量）：（３官能以上のエチレン性不飽和化合物の合計質量）＝１：１～５：１が好ましく、１．２：１～４：１がより好ましく、１．５：１～３：１が更に好ましい。
　また、一態様において、感光性樹脂層は、上述したエチレン性不飽和化合物Ｂ１及び２種以上の３官能のエチレン性不飽和化合物を含むことが好ましい。

　３官能以上のエチレン性不飽和化合物のアルキレンオキサイド変性物としては、カプロラクトン変性（メタ）アクリレート化合物（日本化薬（株）製ＫＡＹＡＲＡＤ（登録商標）ＤＰＣＡ－２０、新中村化学工業（株）製Ａ－９３００－１ＣＬ等）、アルキレンオキサイド変性（メタ）アクリレート化合物（日本化薬（株）製ＫＡＹＡＲＡＤ　ＲＰ－１０４０、新中村化学工業（株）製ＡＴＭ－３５Ｅ及びＡ－９３００、ダイセル・オルネクス社製ＥＢＥＣＲＹＬ（登録商標）　１３５等）、エトキシル化グリセリントリアクリレート（新中村化学工業（株）製Ａ－ＧＬＹ－９Ｅ等）、アロニックス（登録商標）ＴＯ－２３４９（東亞合成（株）製）、アロニックスＭ－５２０（東亞合成（株）製）、並びに、アロニックスＭ－５１０（東亞合成（株）製）が挙げられる。

　また、エチレン性不飽和化合物Ｂ１以外のエチレン性不飽和化合物としては、特開２００４－２３９９４２号公報の段落００２５～００３０に記載の酸基を有するエチレン性不飽和化合物を用いてもよい。

　感光性樹脂層におけるエチレン性不飽和化合物の含有量Ｍｍとアルカリ可溶性樹脂の含有量Ｍｂとの比Ｍｍ／Ｍｂの値は、解像性及び直線性の観点から、１．０以下であることが好ましく、０．９以下であることがより好ましく、０．５以上０．９以下であることが特に好ましい。
　また、感光性樹脂層におけるエチレン性不飽和化合物は、硬化性、及び、解像性の観点から、（メタ）アクリル化合物を含むことが好ましい。
　更に、感光性樹脂層におけるエチレン性不飽和化合物は、硬化性、解像性及び直線性の観点から、（メタ）アクリル化合物を含み、かつ感光性樹脂層に含まれる上記（メタ）アクリル化合物の全質量に対するアクリル化合物の含有量が、６０質量％以下であることがより好ましい。

　エチレン性不飽和化合物Ｂ１を含むエチレン性不飽和化合物の分子量（分布を有する場合は、重量平均分子量（Ｍｗ））としては、２００～３，０００が好ましく、２８０～２，２００がより好ましく、３００～２，２００が更に好ましい。

　エチレン性不飽和化合物は、１種単独で使用しても、２種以上を併用してもよい。
　感光性樹脂層におけるエチレン性不飽和化合物の含有量は、感光性樹脂層の全質量に対し、１０質量％～７０質量％が好ましく、２０質量％～６０質量％がより好ましく、２０質量％～５０質量％が更に好ましい。

＜光重合開始剤＞
　感光性樹脂層は、光重合開始剤を含有することが好ましい。
　光重合開始剤は、紫外線、可視光線及びＸ線等の活性光線を受けて、エチレン性不飽和化合物の重合を開始する化合物である。光重合開始剤としては、特に制限されず、公知の光重合開始剤を用いることができる。
　光重合開始剤としては、例えば、光ラジカル重合開始剤及び光カチオン重合開始剤が挙げられ、光ラジカル重合開始剤が好ましい。

　光ラジカル重合開始剤としては、例えば、オキシムエステル構造を有する光重合開始剤、α－アミノアルキルフェノン構造を有する光重合開始剤、α－ヒドロキシアルキルフェノン構造を有する光重合開始剤、アシルフォスフィンオキサイド構造を有する光重合開始剤、Ｎ－フェニルグリシン構造を有する光重合開始剤、及び、ビイミダゾール化合物が挙げられる。

　光ラジカル重合開始剤としては、例えば、特開２０１１－９５７１６号公報の段落００３１～００４２、特開２０１５－１４７８３号公報の段落００６４～００８１に記載された重合開始剤を用いてもよい。

　光ラジカル重合開始剤としては、例えば、ジメチルアミノ安息香酸エチル（ＤＢＥ、ＣＡＳ　Ｎｏ．１０２８７－５３－３）、ベンゾインメチルエーテル、アニシル（ｐ，ｐ’－ジメトキシベンジル）、ＴＡＺ－１１０（商品名：みどり化学（株）製）、ベンゾフェノン、ＴＡＺ－１１１（商品名：みどり化学（株）製）、ＩｒｇａｃｕｒｅＯＸＥ０１、ＯＸＥ０２、ＯＸＥ０３、ＯＸＥ０４（ＢＡＳＦ社製）、Ｏｍｎｉｒａｄ６５１及び３６９（商品名：ＩＧＭ　Ｒｅｓｉｎｓ　Ｂ．Ｖ．社製）、及び、２，２’－ビス（２－クロロフェニル）－４，４’，５，５’－テトラフェニル－１，２’－ビイミダゾール（東京化成工業（株）製）が挙げられる。

　光ラジカル重合開始剤の市販品としては、例えば、１－［４－（フェニルチオ）フェニル］－１，２－オクタンジオン－２－（Ｏ－ベンゾイルオキシム）（商品名：ＩＲＧＡＣＵＲＥ（登録商標）　ＯＸＥ－０１、ＢＡＳＦ社製）、１－［９－エチル－６－（２－メチルベンゾイル）－９Ｈ－カルバゾール－３－イル］エタノン－１－（Ｏ－アセチルオキシム）（商品名：ＩＲＧＡＣＵＲＥ　ＯＸＥ－０２、ＢＡＳＦ社製）、ＩＲＧＡＣＵＲＥ　ＯＸＥ－０３（ＢＡＳＦ社製）、２－（ジメチルアミノ）－２－［（４－メチルフェニル）メチル］－１－［４－（４－モルフォリニル）フェニル］－１－ブタノン（商品名：Ｏｍｎｉｒａｄ　３７９ＥＧ、ＩＧＭ　Ｒｅｓｉｎｓ　Ｂ．Ｖ．製）、２－メチル－１－（４－メチルチオフェニル）－２－モルフォリノプロパン－１－オン（商品名：Ｏｍｎｉｒａｄ　９０７、ＩＧＭ　Ｒｅｓｉｎｓ　Ｂ．Ｖ．製）、２－ヒドロキシ－１－｛４－［４－（２－ヒドロキシ－２－メチルプロピオニル）ベンジル］フェニル｝－２－メチルプロパン－１－オン（商品名：Ｏｍｎｉｒａｄ　１２７、ＩＧＭ　Ｒｅｓｉｎｓ　Ｂ．Ｖ．製）、２－ベンジル－２－ジメチルアミノ－１－（４－モルフォリノフェニル）ブタノン－１（商品名：Ｏｍｎｉｒａｄ　３６９、ＩＧＭ　Ｒｅｓｉｎｓ　Ｂ．Ｖ．製）、２－ヒドロキシ－２－メチル－１－フェニルプロパン－１－オン（商品名：Ｏｍｎｉｒａｄ　１１７３、ＩＧＭ　Ｒｅｓｉｎｓ　Ｂ．Ｖ．製）、１－ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン（商品名：Ｏｍｎｉｒａｄ　１８４、ＩＧＭ　Ｒｅｓｉｎｓ　Ｂ．Ｖ．製）、２，２－ジメトキシ－１，２－ジフェニルエタン－１－オン（商品名：Ｏｍｎｉｒａｄ　６５１、ＩＧＭ　Ｒｅｓｉｎｓ　Ｂ．Ｖ．製）、２，４，６－トリメチルベンゾリル－ジフェニルフォスフィンオキサイド（商品名：Ｏｍｎｉｒａｄ　ＴＰＯ　Ｈ、ＩＧＭ　Ｒｅｓｉｎｓ　Ｂ．Ｖ．製）、ビス（２，４，６－トリメチルベンゾリル）フェニルフォスフィンオキサイド（商品名：Ｏｍｎｉｒａｄ　８１９、ＩＧＭ　Ｒｅｓｉｎｓ　Ｂ．Ｖ．製）、オキシムエステル系の光重合開始剤（商品名：Ｌｕｎａｒ　６、ＤＫＳＨジャパン（株）製）、２，２’－ビス（２－クロロフェニル）－４，４’，５，５’－テトラフェニルビスイミダゾール（２－（２－クロロフェニル）－４，５－ジフェニルイミダゾール二量体）（商品名：Ｂ－ＣＩＭ、Ｈａｍｐｆｏｒｄ社製）、及び、２－（ｏ－クロロフェニル）－４，５－ジフェニルイミダゾール二量体（商品名：ＢＣＴＢ、東京化成工業（株）製）が挙げられる。

　光カチオン重合開始剤（光酸発生剤）は、活性光線を受けて酸を発生する化合物である。光カチオン重合開始剤としては、波長３００ｎｍ以上、好ましくは波長３００～４５０ｎｍの活性光線に感応し、酸を発生する化合物が好ましいが、その化学構造は制限されない。また、波長３００ｎｍ以上の活性光線に直接感応しない光カチオン重合開始剤についても、増感剤と併用することによって波長３００ｎｍ以上の活性光線に感応し、酸を発生する化合物であれば、増感剤と組み合わせて好ましく用いることができる。
　光カチオン重合開始剤としては、ｐＫａが４以下の酸を発生する光カチオン重合開始剤が好ましく、ｐＫａが３以下の酸を発生する光カチオン重合開始剤がより好ましく、ｐＫａが２以下の酸を発生する光カチオン重合開始剤が特に好ましい。ｐＫａの下限値は特に定めないが、例えば、－１０．０以上が好ましい。

　光カチオン重合開始剤としては、イオン性光カチオン重合開始剤及び非イオン性光カチオン重合開始剤が挙げられる。
　イオン性光カチオン重合開始剤として、例えば、ジアリールヨードニウム塩類及びトリアリールスルホニウム塩類等のオニウム塩化合物、並びに、第４級アンモニウム塩類が挙げられる。
　イオン性光カチオン重合開始剤としては、特開２０１４－８５６４３号公報の段落０１１４～０１３３に記載のイオン性光カチオン重合開始剤を用いてもよい。

　非イオン性光カチオン重合開始剤としては、例えば、トリクロロメチル－ｓ－トリアジン類、ジアゾメタン化合物、イミドスルホネート化合物、及び、オキシムスルホネート化合物が挙げられる。トリクロロメチル－ｓ－トリアジン類、ジアゾメタン化合物及びイミドスルホネート化合物としては、特開２０１１－２２１４９４号公報の段落００８３～００８８に記載の化合物を用いてもよい。また、オキシムスルホネート化合物としては、国際公開第２０１８／１７９６４０号の段落００８４～００８８に記載された化合物を用いてもよい。

　感光性樹脂層は、光重合開始剤を、１種単独で含有してもよいし、２種以上を含有してもよい。
　感光性樹脂層における光重合開始剤の含有量は、特に制限されないが、感光性樹脂層の全質量に対し、０．１質量％以上が好ましく、０．５質量％以上がより好ましく、１．０質量％以上が更に好ましい。上限は特に制限されないが、感光性樹脂層の全質量に対し、１０質量％以下が好ましく、５質量％以下がより好ましい。

＜色素＞
　感光性樹脂層は、露光部及び非露光部の視認性、現像後のパターン視認性、及び、解像性の観点から、色素を含有することが好ましく、発色時の波長範囲４００ｎｍ～７８０ｎｍにおける最大吸収波長が４５０ｎｍ以上であり、かつ、酸、塩基、又はラジカルにより最大吸収波長が変化する色素（単に「色素Ｎ」ともいう。）を含有することがより好ましい。色素Ｎを含有すると、詳細なメカニズムは不明であるが、隣接する層（例えば仮支持体及び第１樹脂層）との密着性が向上し、解像性により優れる。

　本明細書において、色素が「酸、塩基又はラジカルにより極大吸収波長が変化する」とは、発色状態にある色素が酸、塩基又はラジカルにより消色する態様、消色状態にある色素が酸、塩基又はラジカルにより発色する態様、及び、発色状態にある色素が他の色相の発色状態に変化する態様のいずれの態様を意味してもよい。
　具体的には、色素Ｎは、露光により消色状態から変化して発色する化合物であってもよいし、露光により発色状態から変化して消色する化合物であってもよい。この場合、露光により酸、塩基又はラジカルが感光性樹脂層内において発生し作用することにより、発色又は消色の状態が変化する色素でもよく、酸、塩基又はラジカルにより感光性樹脂層内の状態（例えばｐＨ）が変化することで発色又は消色の状態が変化する色素でもよい。また、露光を介さずに、酸、塩基又はラジカルを刺激として直接受けて発色又は消色の状態が変化する色素でもよい。

　中でも、露光部及び非露光部の視認性並びに解像性の観点から、色素Ｎは、酸又はラジカルにより最大吸収波長が変化する色素が好ましく、ラジカルにより最大吸収波長が変化する色素がより好ましい。
　感光性樹脂層は、露光部及び非露光部の視認性並びに解像性の観点から、色素Ｎとしてラジカルにより最大吸収波長が変化する色素、及び、光ラジカル重合開始剤の両者を含有することが好ましい。
　また、露光部及び非露光部の視認性の観点から、色素Ｎは、酸、塩基、又はラジカルにより発色する色素であることが好ましい。

　本開示における色素Ｎの発色機構の例としては、感光性樹脂層に光ラジカル重合開始剤、光カチオン重合開始剤（光酸発生剤）又は光塩基発生剤を添加して、露光後に光ラジカル重合開始剤、光カチオン重合開始剤又は光塩基発生剤から発生するラジカル、酸又は塩基によって、ラジカル反応性色素、酸反応性色素又は塩基反応性色素（例えばロイコ色素）が発色する態様が挙げられる。

　色素Ｎは、露光部及び非露光部の視認性の観点から、発色時の波長範囲４００ｎｍ～７８０ｎｍにおける極大吸収波長が、５５０ｎｍ以上であることが好ましく、５５０ｎｍ～７００ｎｍであることがより好ましく、５５０ｎｍ～６５０ｎｍであることが更に好ましい。
　また、色素Ｎは、発色時の波長範囲４００ｎｍ～７８０ｎｍにおける極大吸収波長を１つのみ有していてもよく、２つ以上有していてもよい。色素Ｎが発色時の波長範囲４００ｎｍ～７８０ｎｍにおける極大吸収波長を２つ以上有する場合は、２つ以上の極大吸収波長のうち吸光度が最も高い極大吸収波長が４５０ｎｍ以上であればよい。

　色素Ｎの極大吸収波長は、大気雰囲気下で、分光光度計：ＵＶ３１００（（株）島津製作所製）を用いて、４００ｎｍ～７８０ｎｍの範囲で色素Ｎを含有する溶液（液温２５℃）の透過スペクトルを測定し、光の強度が極小となる波長（極大吸収波長）を検出することにより、得られる。

　露光により発色又は消色する色素としては、例えば、ロイコ化合物が挙げられる。
　露光により消色する色素としては、例えば、ロイコ化合物、ジアリールメタン系色素、オキザジン系色素、キサンテン系色素、イミノナフトキノン系色素、アゾメチン系色素及びアントラキノン系色素が挙げられる。
　色素Ｎとしては、露光部及び非露光部の視認性の観点から、ロイコ化合物が好ましい。

　ロイコ化合物としては、例えば、トリアリールメタン骨格を有するロイコ化合物（トリアリールメタン系色素）、スピロピラン骨格を有するロイコ化合物（スピロピラン系色素）、フルオラン骨格を有するロイコ化合物（フルオラン系色素）、ジアリールメタン骨格を有するロイコ化合物（ジアリールメタン系色素）、ローダミンラクタム骨格を有するロイコ化合物（ローダミンラクタム系色素）、インドリルフタリド骨格を有するロイコ化合物（インドリルフタリド系色素）、及び、ロイコオーラミン骨格を有するロイコ化合物（ロイコオーラミン系色素）が挙げられる。
　中でも、トリアリールメタン系色素又はフルオラン系色素が好ましく、トリフェニルメタン骨格を有するロイコ化合物（トリフェニルメタン系色素）又はフルオラン系色素がより好ましい。

　ロイコ化合物としては、露光部及び非露光部の視認性の観点から、ラクトン環、スルチン環又はスルトン環を有することが好ましい。これにより、ロイコ化合物が有するラクトン環、スルチン環又はスルトン環を、光ラジカル重合開始剤から発生するラジカル又は光カチオン重合開始剤から発生する酸と反応させて、ロイコ化合物を閉環状態に変化させて消色させるか、又は、ロイコ化合物を開環状態に変化させて発色させることができる。ロイコ化合物としては、ラクトン環、スルチン環又はスルトン環を有し、ラジカル又は酸によりラクトン環、スルチン環又はスルトン環が開環して発色する化合物が好ましく、ラクトン環を有し、ラジカル又は酸によりラクトン環が開環して発色する化合物がより好ましい。

　色素Ｎとしては、例えば、以下の染料及びロイコ化合物が挙げられる。
　色素Ｎのうち染料の具体例としては、ブリリアントグリーン、エチルバイオレット、メチルグリーン、クリスタルバイオレット、ベイシックフクシン、メチルバイオレット２Ｂ、キナルジンレッド、ローズベンガル、メタニルイエロー、チモールスルホフタレイン、キシレノールブルー、メチルオレンジ、パラメチルレッド、コンゴーフレッド、ベンゾプルプリン４Ｂ、α－ナフチルレッド、ナイルブルー２Ｂ、ナイルブルーＡ、メチルバイオレット、マラカイトグリーン、パラフクシン、ビクトリアピュアブルー－ナフタレンスルホン酸塩、ビクトリアピュアブルーＢＯＨ（保土谷化学工業（株）製）、オイルブルー＃６０３（オリヱント化学工業（株）製）、オイルピンク＃３１２（オリヱント化学工業（株）製）、オイルレッド５Ｂ（オリヱント化学工業（株）製）、オイルスカーレット＃３０８（オリヱント化学工業（株）製）、オイルレッドＯＧ（オリヱント化学工業（株）製）、オイルレッドＲＲ（オリヱント化学工業（株）製）、オイルグリーン＃５０２（オリヱント化学工業（株）製）、スピロンレッドＢＥＨスペシャル（保土谷化学工業（株）製）、ｍ－クレゾールパープル、クレゾールレッド、ローダミンＢ、ローダミン６Ｇ、スルホローダミンＢ、オーラミン、４－ｐ－ジエチルアミノフェニルイミノナフトキノン、２－カルボキシアニリノ－４－ｐ－ジエチルアミノフェニルイミノナフトキノン、２－カルボキシステアリルアミノ－４－ｐ－Ｎ，Ｎ－ビス（ヒドロキシエチル）アミノ－フェニルイミノナフトキノン、１－フェニル－３－メチル－４－ｐ－ジエチルアミノフェニルイミノ－５－ピラゾロン、及び、１－β－ナフチル－４－ｐ－ジエチルアミノフェニルイミノ－５－ピラゾロンが挙げられる。

　色素Ｎのうちロイコ化合物の具体例としては、ｐ，ｐ’，ｐ”－ヘキサメチルトリアミノトリフェニルメタン（ロイコクリスタルバイオレット）、Ｐｅｒｇａｓｃｒｉｐｔ　Ｂｌｕｅ　ＳＲＢ（チバガイギー社製）、クリスタルバイオレットラクトン、マラカイトグリーンラクトン、ベンゾイルロイコメチレンブルー、２－（Ｎ－フェニル－Ｎ－メチルアミノ）－６－（Ｎ－ｐ－トリル－Ｎ－エチル）アミノフルオラン、２－アニリノ－３－メチル－６－（Ｎ－エチル－ｐ－トルイジノ）フルオラン、３，６－ジメトキシフルオラン、３－（Ｎ，Ｎ－ジエチルアミノ）－５－メチル－７－（Ｎ，Ｎ－ジベンジルアミノ）フルオラン、３－（Ｎ－シクロヘキシル－Ｎ－メチルアミノ）－６－メチル－７－アニリノフルオラン、３－（Ｎ，Ｎ－ジエチルアミノ）－６－メチル－７－アニリノフルオラン、３－（Ｎ，Ｎ－ジエチルアミノ）－６－メチル－７－キシリジノフルオラン、３－（Ｎ，Ｎ－ジエチルアミノ）－６－メチル－７－クロロフルオラン、３－（Ｎ，Ｎ－ジエチルアミノ）－６－メトキシ－７－アミノフルオラン、３－（Ｎ，Ｎ－ジエチルアミノ）－７－（４－クロロアニリノ）フルオラン、３－（Ｎ，Ｎ－ジエチルアミノ）－７－クロロフルオラン、３－（Ｎ，Ｎ－ジエチルアミノ）－７－ベンジルアミノフルオラン、３－（Ｎ，Ｎ－ジエチルアミノ）－７，８－ベンゾフロオラン、３－（Ｎ，Ｎ－ジブチルアミノ）－６－メチル－７－アニリノフルオラン、３－（Ｎ，Ｎ－ジブチルアミノ）－６－メチル－７－キシリジノフルオラン、３－ピペリジノ－６－メチル－７－アニリノフルオラン、３－ピロリジノ－６－メチル－７－アニリノフルオラン、３，３－ビス（１－エチル－２－メチルインドール－３－イル）フタリド、３，３－ビス（１－ｎ－ブチル－２－メチルインドール－３－イル）フタリド、３，３－ビス（ｐ－ジメチルアミノフェニル）－６－ジメチルアミノフタリド、３－（４－ジエチルアミノ－２－エトキシフェニル）－３－（１－エチル－２－メチルインドール－３－イル）－４－ザフタリド、３－（４－ジエチルアミノフェニル）－３－（１－エチル－２－メチルインドール－３－イル）フタリド、及び、３’，６’－ビス（ジフェニルアミノ）スピロイソベンゾフラン－１（３Ｈ），９’－［９Ｈ］キサンテン－３－オンが挙げられる。

　色素Ｎは、露光部及び非露光部の視認性、現像後のパターン視認性、及び、解像性の観点から、ラジカルにより最大吸収波長が変化する色素であることが好ましく、ラジカルにより発色する色素であることがより好ましい。
　色素Ｎとしては、ロイコクリスタルバイオレット、クリスタルバイオレットラクトン、ブリリアントグリーン、又は、ビクトリアピュアブルー－ナフタレンスルホン酸塩が好ましい。

　色素は、１種単独で使用しても、２種以上を使用してもよい。
　色素の含有量は、露光部及び非露光部の視認性、現像後のパターン視認性、及び、解像性の観点から、感光性樹脂層の全質量に対し、０．１質量％以上が好ましく、０．１質量％～１０質量％がより好ましく、０．１質量％～５質量％が更に好ましく、０．１質量％～１質量％が特に好ましい。
　また、色素Ｎの含有量は、露光部及び非露光部の視認性、現像後のパターン視認性、及び、解像性の観点から、感光性樹脂層の全質量に対し、０．１質量％以上が好ましく、０．１質量％～１０質量％がより好ましく、０．１質量％～５質量％が更に好ましく、０．１質量％～１質量％が特に好ましい。

　色素Ｎの含有量は、感光性樹脂層に含まれる色素Ｎの全てを発色状態にした場合の色素の含有量を意味する。以下に、ラジカルにより発色する色素を例に、色素Ｎの含有量の定量方法を説明する。
　メチルエチルケトン１００ｍＬに、色素０．００１ｇ又は０．０１ｇを溶かした２種類の溶液を調製する。得られた各溶液に、光ラジカル重合開始剤Ｉｒｇａｃｕｒｅ　ＯＸＥ０１（商品名、ＢＡＳＦジャパン株式会社）を加え、３６５ｎｍの光を照射することによりラジカルを発生させ、全ての色素を発色状態にする。その後、大気雰囲気下で、分光光度計（ＵＶ３１００、（株）島津製作所製）を用いて、液温が２５℃である各溶液の吸光度を測定し、検量線を作成する。
　次に、色素に代えて感光性樹脂層３ｇをメチルエチルケトンに溶かすこと以外は上記と同様の方法で、色素を全て発色させた溶液の吸光度を測定する。得られた感光性樹脂層を含有する溶液の吸光度から、検量線に基づいて感光性樹脂層に含まれる色素の含有量を算出する。

＜その他の成分＞
　感光性樹脂層は、上述したアルカリ可溶性樹脂、エチレン性不飽和化合物、光重合開始剤、及び、色素以外の成分を含有してもよい。

－界面活性剤－
　感光性樹脂層は、厚さ均一性の観点から、界面活性剤を含有することが好ましい。
　界面活性剤としては、例えば、アニオン性界面活性剤、カチオン性界面活性剤、ノニオン性（非イオン性）界面活性剤、及び、両性界面活性剤が挙げられ、ノニオン性界面活性剤が好ましい。

　界面活性剤としては、フッ素系界面活性剤又はシリコーン系界面活性剤が好ましい。
　フッ素系界面活性剤の市販品としては、例えば、メガファック（商品名）Ｆ－１７１、Ｆ－１７２、Ｆ－１７３、Ｆ－１７６、Ｆ－１７７、Ｆ－１４１、Ｆ－１４２、Ｆ－１４３、Ｆ－１４４、Ｆ－４３７、Ｆ－４４４、Ｆ－４７５、Ｆ－４７７、Ｆ－４７９、Ｆ－４８２、Ｆ－５５１－Ａ、Ｆ－５５２、Ｆ－５５４、Ｆ－５５５－Ａ、Ｆ－５５６、Ｆ－５５７、Ｆ－５５８、Ｆ－５５９、Ｆ－５６０、Ｆ－５６１、Ｆ－５６５、Ｆ－５６３、Ｆ－５６８、Ｆ－５７５、Ｆ－７８０、ＥＸＰ、ＭＦＳ－３３０、ＥＸＰ．ＭＦＳ－５７８、ＥＸＰ．ＭＦＳ－５７８－２、ＥＸＰ．ＭＦＳ－５７９、ＥＸＰ．ＭＦＳ－５８６、ＥＸＰ．ＭＦＳ－５８７、ＥＸＰ．ＭＦＳ－６２８、ＥＸＰ．ＭＦＳ－６３１、ＥＸＰ．ＭＦＳ－６０３、Ｒ－４１、Ｒ－４１－ＬＭ、Ｒ－０１、Ｒ－４０、Ｒ－４０－ＬＭ、ＲＳ－４３、ＴＦ－１９５６、ＲＳ－９０、Ｒ－９４、ＲＳ－７２－Ｋ、ＤＳ－２１（以上、ＤＩＣ（株）製）、フロラード（商品名）ＦＣ４３０、ＦＣ４３１、ＦＣ１７１（以上、住友スリーエム（株）製）、サーフロン（商品名）Ｓ－３８２、ＳＣ－１０１、ＳＣ－１０３、ＳＣ－１０４、ＳＣ－１０５、ＳＣ－１０６８、ＳＣ－３８１、ＳＣ－３８３、Ｓ－３９３、ＫＨ－４０（以上、ＡＧＣ（株）製）、ＰｏｌｙＦｏｘ（商品名）ＰＦ６３６、ＰＦ６５６、ＰＦ６３２０、ＰＦ６５２０、ＰＦ７００２（以上、ＯＭＮＯＶＡ社製）、フタージェント（商品名）７１０ＦＭ、６１０ＦＭ、６０１ＡＤ、６０１ＡＤＨ２、６０２Ａ、２１５Ｍ、２４５Ｆ（以上、（株）ＮＥＯＳ製）、Ｕ－１２０Ｅ（ユニケム（株）製）等が挙げられる。
　また、フッ素系界面活性剤は、フッ素原子を含有する官能基を持つ分子構造を有し、熱を加えるとフッ素原子を含有する官能基の部分が切断されてフッ素原子が揮発するアクリル系化合物も好適に使用できる。このようなフッ素系界面活性剤としては、ＤＩＣ（株）製のメガファック（商品名）ＤＳシリーズ（化学工業日報（２０１６年２月２２日）、日経産業新聞（２０１６年２月２３日））、例えばメガファック（商品名）ＤＳ－２１が挙げられる。

　また、フッ素系界面活性剤は、フッ素化アルキル基又はフッ素化アルキレンエーテル基を有するフッ素原子含有ビニルエーテル化合物と、親水性のビニルエーテル化合物との重合体を用いることも好ましい。
　フッ素系界面活性剤は、ブロックポリマーを用いることもできる。フッ素系界面活性剤は、フッ素原子を有する（メタ）アクリレート化合物に由来する構成単位と、アルキレンオキシ基（好ましくはエチレンオキシ基、プロピレンオキシ基）を２以上（好ましくは５以上）有する（メタ）アクリレート化合物に由来する構成単位と、を含む含フッ素高分子化合物も好ましく用いることができる。
　フッ素系界面活性剤は、エチレン性不飽和基を側鎖に有する含フッ素重合体を用いることもできる。メガファック（商品名）ＲＳ－１０１、ＲＳ－１０２、ＲＳ－７１８Ｋ、ＲＳ－７２－Ｋ（以上、ＤＩＣ（株）製）等が挙げられる。

　フッ素系界面活性剤としては、環境適性向上の観点から、パーフルオロオクタン酸（ＰＦＯＡ）及びパーフルオロオクタンスルホン酸（ＰＦＯＳ）等の炭素数が７以上の直鎖状パーフルオロアルキル基を有する化合物の代替材料に由来する界面活性剤であることが好ましい。

　ノニオン系界面活性剤としては、グリセロール、トリメチロールプロパン、トリメチロールエタン並びにそれらのエトキシレート及びプロポキシレート（例えば、グリセロールプロポキシレート、グリセロールエトキシレート等）、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ソルビタン脂肪酸エステル、プルロニック（商品名）Ｌ１０、Ｌ３１、Ｌ６１、Ｌ６２、１０Ｒ５、１７Ｒ２、２５Ｒ２（以上、ＢＡＳＦ社製）、テトロニック（商品名）３０４、７０１、７０４、９０１、９０４、１５０Ｒ１、ＨＹＤＲＯＰＡＬＡＴ　ＷＥ　３３２３（（以上、ＢＡＳＦ社製）、ソルスパース（商品名）２００００（以上、日本ルーブリゾール（株）製）、ＮＣＷ－１０１、ＮＣＷ－１００１、ＮＣＷ－１００２（以上、富士フイルム和光純薬（株）製）、パイオニン（商品名）Ｄ－１１０５、Ｄ－６１１２、Ｄ－６１１２－Ｗ、Ｄ－６３１５（以上、竹本油脂（株）製）、オルフィンＥ１０１０、サーフィノール１０４、４００、４４０（以上、日信化学工業（株）製）などが挙げられる。

　シリコーン系界面活性剤としては、シロキサン結合からなる直鎖状ポリマー、及び、側鎖や末端に有機基を導入した変性シロキサンポリマーが挙げられる。
　シリコーン系界面活性剤の具体例としては、ＥＸＰ．Ｓ－３０９－２、ＥＸＰ．Ｓ－３１５、ＥＸＰ．Ｓ－５０３－２、ＥＸＰ．Ｓ－５０５－２（以上、ＤＩＣ（株）製）、ＤＯＷＳＩＬ（商品名）８０３２　ＡＤＤＩＴＩＶＥ、トーレシリコーンＤＣ３ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ７ＰＡ、トーレシリコーンＤＣ１１ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ２１ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ２８ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ２９ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ３０ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ８４００（以上、東レ・ダウコーニング（株）製）並びに、Ｘ－２２－４９５２、Ｘ－２２－４２７２、Ｘ－２２－６２６６、ＫＦ－３５１Ａ、Ｋ３５４Ｌ、ＫＦ－３５５Ａ、ＫＦ－９４５、ＫＦ－６４０、ＫＦ－６４２、ＫＦ－６４３、Ｘ－２２－６１９１、Ｘ－２２－４５１５、ＫＦ－６００４、ＫＰ－３４１、ＫＦ－６００１、ＫＦ－６００２、ＫＰ－１０１ＫＰ－１０３、ＫＰ－１０４、ＫＰ－１０５、ＫＰ－１０６、ＫＰ－１０９、ＫＰ－１０９、ＫＰ－１１２、ＫＰ－１２０、ＫＰ－１２１、ＫＰ－１２４、ＫＰ－１２５、ＫＰ－３０１、ＫＰ－３０６、ＫＰ－３１０、ＫＰ－３２２、ＫＰ－３２３、ＫＰ－３２７、ＫＰ－３４１、ＫＰ－３６８、ＫＰ－３６９、ＫＰ－６１１、ＫＰ－６２０、ＫＰ－６２１、ＫＰ－６２６、ＫＰ－６５２（以上、信越化学工業（株）製）、Ｆ－４４４０、ＴＳＦ－４３００、ＴＳＦ－４４４５、ＴＳＦ－４４６０、ＴＳＦ－４４５２（以上、モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ社製、ＢＹＫ３００、ＢＹＫ３０６、ＢＹＫ３０７、ＢＹＫ３１０、ＢＹＫ３２０、ＢＹＫ３２３、ＢＹＫ３２５、ＢＹＫ３３０、ＢＹＫ３１３、ＢＹＫ３１５Ｎ、ＢＹＫ３３１、ＢＹＫ３３３、ＢＹＫ３４５、ＢＹＫ３４７、ＢＹＫ３４８、ＢＹＫ３４９、ＢＹＫ３７０、ＢＹＫ３７７、ＢＹＫ３７８、ＢＹＫ３２３（以上、ビックケミー社製）等が挙げられる。

　感光性樹脂層は、界面活性剤を、１種単独で含有してもよいし、２種以上を含有してもよい。
　界面活性剤の含有量は、感光性樹脂層の全質量に対し、０．００１質量％～１０質量％が好ましく、０．０１質量％～３質量％がより好ましい。

－添加剤－
　感光性樹脂層は、上記成分以外に、必要に応じて公知の添加剤を含有してもよい。
　添加剤としては、例えば、重合禁止剤、増感剤、可塑剤、ヘテロ環状化合物、ベンゾトリアゾール類、カルボキシベンゾトリアゾール類、及び、溶剤が挙げられる。感光性樹脂層は、各添加剤を１種単独で含有してもよいし、２種以上を含有してもよい。

　感光性樹脂層は、重合禁止剤を含有してもよい。重合禁止剤としては、ラジカル重合禁止剤が好ましい。
　重合禁止剤としては、例えば、特許第４５０２７８４号公報の段落００１８に記載された熱重合防止剤が挙げられる。中でも、フェノチアジン、フェノキサジン又は４－メトキシフェノールが好ましい。その他の重合禁止剤としては、ナフチルアミン、塩化第一銅、ニトロソフェニルヒドロキシアミンアルミニウム塩、ジフェニルニトロソアミン等が挙げられる。感光性樹脂組成物の感度を損なわないために、ニトロソフェニルヒドロキシアミンアルミニウム塩を重合禁止剤として使用することが好ましい。

　ベンゾトリアゾール類としては、例えば、１，２，３－ベンゾトリアゾール、１－クロロ－１，２，３－ベンゾトリアゾール、ビス（Ｎ－２－エチルヘキシル）アミノメチレン－１，２，３－ベンゾトリアゾール、ビス（Ｎ－２－エチルヘキシル）アミノメチレン－１，２，３－トリルトリアゾール、ビス（Ｎ－２－ヒドロキシエチル）アミノメチレン－１，２，３－ベンゾトリアゾール等が挙げられる。

　カルボキシベンゾトリアゾール類としては、例えば、４－カルボキシ－１，２，３－ベンゾトリアゾール、５－カルボキシ－１，２，３－ベンゾトリアゾール、Ｎ－（Ｎ，Ｎ－ジ－２－エチルヘキシル）アミノメチレンカルボキシベンゾトリアゾール、Ｎ－（Ｎ，Ｎ－ジ－２－ヒドロキシエチル）アミノメチレンカルボキシベンゾトリアゾール、Ｎ－（Ｎ，Ｎ－ジ－２－エチルヘキシル）アミノエチレンカルボキシベンゾトリアゾール等が挙げられる。カルボキシベンゾトリアゾール類としては、例えば、ＣＢＴ－１（城北化学工業（株）製、商品名）などの市販品を用いることができる。

　重合禁止剤、ベンゾトリアゾ－ル類、及びカルボキシベンゾトリアゾ－ル類の合計含有量は、感光性樹脂層の全質量に対し、０．０１質量％～３質量％であることが好ましく、０．０５質量％～１質量％であることがより好ましい。上記含有量を０．０１質量％以上にすることは、感光性樹脂組成物に保存安定性を付与するという観点から好ましい。一方で、上記含有量を３質量％以下にすることは、感度を維持し、染料の脱色を抑える観点から好ましい。

　感光性樹脂層は、増感剤を含有してもよい。
　増感剤は、特に制限されず、公知の増感剤、染料及び顔料を用いることができる。増感剤としては、例えば、ジアルキルアミノベンゾフェノン化合物、ピラゾリン化合物、アントラセン化合物、クマリン化合物、キサントン化合物、チオキサントン化合物、アクリドン化合物、オキサゾール化合物、ベンゾオキサゾール化合物、チアゾール化合物、ベンゾチアゾール化合物、トリアゾール化合物（例えば、１，２，４－トリアゾール）、スチルベン化合物、トリアジン化合物、チオフェン化合物、ナフタルイミド化合物、トリアリールアミン化合物、及び、アミノアクリジン化合物が挙げられる。

　感光性樹脂層は、増感剤を１種単独で含有してもよいし、２種以上を含有してもよい。
　感光性樹脂層が増感剤を含有する場合、増感剤の含有量は、目的により適宜選択できるが、光源に対する感度の向上、及び、重合速度と連鎖移動のバランスによる硬化速度の向上の観点から、感光性樹脂層の全質量に対して、０．０１質量％～５質量％が好ましく、０．０５質量％～１質量％がより好ましい。

　感光性樹脂層は、可塑剤及びヘテロ環状化合物よりなる群から選択される少なくとも１種を含有してもよい。
　可塑剤及びヘテロ環状化合物としては、国際公開第２０１８／１７９６４０号の段落００９７～０１０３及び０１１１～０１１８に記載された化合物が挙げられる。

　感光性樹脂層は、溶剤を含有してもよい。溶剤を含む感光性樹脂組成物により感光性樹脂層を形成した場合、感光性樹脂層に溶剤が残留することがある。

　また、感光性樹脂層は、金属酸化物粒子、酸化防止剤、分散剤、酸増殖剤、現像促進剤、導電性繊維、熱ラジカル重合開始剤、熱酸発生剤、紫外線吸収剤、増粘剤、架橋剤、及び、有機又は無機の沈殿防止剤等の公知の添加剤を更に含有してもよい。
　感光性樹脂層に含有される添加剤については特開２０１４－８５６４３号公報の段落０１６５～０１８４に記載されており、この公報の内容は本明細書に組み込まれる。

＜物性等＞
　感光性樹脂層の層厚は、０．１μｍ～３００μｍが好ましく、０．２μｍ～１００μｍがより好ましく、０．５μｍ～５０μｍが更に好ましく、０．５μｍ～１５μｍがより更に好ましく、０．５μｍ～１０μｍが特に好ましく、０．５μｍ～８μｍが最も好ましい。これにより、感光性樹脂層の現像性が向上し、解像性を向上させることができる。
　また、一態様において、０．５μｍ～５μｍが好ましく、０．５μｍ～４μｍがより好ましく、０．５μｍ～３μｍが更に好ましい。
　感光性転写材料が備える各層の層厚は、感光性転写材料の主面に対し垂直な方向の断面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ：Scanning Electron Microscope）により観察し、得られた観察画像に基づいて各層の厚さを１０点以上計測し、その平均値を算出することにより、測定される。

　また、密着性により優れる点から、感光性樹脂層の波長３６５ｎｍの光の透過率は、１０％以上が好ましく、３０％以上が好ましく、５０％以上がより好ましい。上限は特に制限されないが、９９．９％以下が好ましい。

＜形成方法＞
　感光性樹脂層の形成方法は、上記の成分を含有する層を形成可能な方法であれば特に制限されない。
　感光性樹脂層の形成方法としては、例えば、アルカリ可溶性樹脂、エチレン性不飽和化合物、光重合開始剤及び溶剤等を含有する感光性樹脂組成物を調製し、仮支持体等の表面に感光性樹脂組成物を塗布し、感光性樹脂組成物の塗膜を乾燥することにより形成する方法が挙げられる。

　感光性樹脂層の形成に使用される感光性樹脂組成物としては、例えば、アルカリ可溶性樹脂、エチレン性不飽和化合物、光重合開始剤、上記の任意成分及び溶剤を含有する組成物が挙げられる。
　感光性樹脂組成物は、感光性樹脂組成物の粘度を調節し、感光性樹脂層の形成を容易にするため、溶剤を含有することが好ましい。

－溶剤－
　感光性樹脂組成物に含有される溶剤としては、アルカリ可溶性樹脂、エチレン性不飽和化合物、光重合開始剤及び上記の任意成分を溶解又は分散可能であれば特に制限されず、公知の溶剤を使用できる。
　溶剤としては、例えば、アルキレングリコールエーテル溶剤、アルキレングリコールエーテルアセテート溶剤、アルコール溶剤（メタノール及びエタノール等）、ケトン溶剤（アセトン及びメチルエチルケトン等）、芳香族炭化水素溶剤（トルエン等）、非プロトン性極性溶剤（Ｎ，Ｎ－ジメチルホルムアミド等）、環状エーテル溶剤（テトラヒドロフラン等）、エステル溶剤、アミド溶剤、ラクトン溶剤、並びにこれらの２種以上を含む混合溶剤が挙げられる。
　仮支持体、第２樹脂層、第１樹脂層、感光性樹脂層及び保護フィルムを備える感光性転写材料を作製する場合、感光性樹脂組成物は、アルキレングリコールエーテル溶剤及びアルキレングリコールエーテルアセテート溶剤よりなる群から選択される少なくとも１種を含有することが好ましい。中でも、アルキレングリコールエーテル溶剤及びアルキレングリコールエーテルアセテート溶剤よりなる群から選択される少なくとも１種と、ケトン溶剤及び環状エーテル溶剤よりなる群から選択される少なくとも１種とを含む混合溶剤がより好ましく、アルキレングリコールエーテル溶剤及びアルキレングリコールエーテルアセテート溶剤よりなる群から選択される少なくとも１種、ケトン溶剤、並びに環状エーテル溶剤の３種を少なくとも含む混合溶剤が更に好ましい。

　アルキレングリコールエーテル溶剤としては、例えば、エチレングリコールモノアルキルエーテル、エチレングリコールジアルキルエーテル、プロピレングリコールモノアルキルエーテル、プロピレングリコールジアルキルエーテル、ジエチレングリコールジアルキルエーテル、ジプロピレングリコールモノアルキルエーテル及びジプロピレングリコールジアルキルエーテルが挙げられる。
　アルキレングリコールエーテルアセテート溶剤としては、例えば、エチレングリコールモノアルキルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノアルキルエーテルアセテート及びジプロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテートが挙げられる。
　溶剤としては、国際公開第２０１８／１７９６４０号の段落００９２～００９４に記載された溶剤、及び、特開２０１８－１７７８８９公報の段落００１４に記載された溶剤を用いてもよく、これらの内容は本明細書に組み込まれる。

　感光性樹脂組成物は、溶剤を１種単独で含有してもよく、２種以上を含有してもよい。
　感光性樹脂組成物を塗布する際における溶剤の含有量は、感光性樹脂組成物中の全固形分１００質量部に対し、５０質量部～１，９００質量部が好ましく、１００質量部～９００質量部がより好ましい。

　感光性樹脂組成物の調製方法は特に制限されず、例えば、各成分を上記溶剤に溶解させた溶液を予め調製し、得られた溶液を所定の割合で混合することにより、感光性樹脂組成物を調製する方法が挙げられる。
　感光性樹脂組成物は、感光性樹脂層を形成する前に、孔径０．２μｍ～３０μｍのフィルターを用いてろ過することが好ましい。

　感光性樹脂組成物の塗布方法は特に制限されず、公知の方法で塗布すればよい。塗布方法としては、例えば、スリット塗布、スピン塗布、カーテン塗布及びインクジェット塗布が挙げられる。
　また、感光性樹脂層は、感光性樹脂組成物を後述する保護フィルム上に塗布し、乾燥することにより形成してもよい。

〔第１樹脂層〕
　本開示に係る感光性転写材料における第１樹脂層は、粒子を含む。
　また、本開示に係る感光性転写材料は、上記第１樹脂層と上記第２樹脂層とが接触しており、上記第１樹脂層と上記第２樹脂層とが剥離可能であり、上記第１樹脂層と上記第２樹脂層とを剥離した後の上記第１樹脂層の表面が上記粒子により形成された凹凸を有することが好ましい。
　第１樹脂層と第２樹脂層とが接触しているとは、第１樹脂層と第２樹脂層の少なくとも一部が接触していることを意味し、第１樹脂層と第２樹脂層の全体が接触していてもよく、少なくともコンタクト露光においてマスクと第１樹脂層が接触する部分において、第１樹脂層と第２樹脂層とが接触していることが好ましい。

＜凹凸＞
　第１樹脂層と第２樹脂層とを剥離した後の第１樹脂層の表面が粒子により形成された凹凸を有するとは、上記剥離後の第１樹脂層の表面に、粒子の形状に由来する凹凸が形成されていることを意味する。
　第１樹脂層が後述する第１樹脂層用バインダーポリマーを含有する場合、上記凹凸は、第１樹脂層用バインダーポリマーによる層から粒子が露出することにより形成されていてもよいし、第１樹脂層用バインダーポリマーにより粒子の一部又は全部が被覆されることにより形成されていてもよい。
　また、本開示において、上記剥離後の第１樹脂層の表面が粒子により形成された凹凸を有することは、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）を用いて上記剥離後の第１樹脂層の表面を観察することにより確認可能である。

＜粒子＞
　第１樹脂層に含まれる粒子としては、第１樹脂層／第２樹脂層剥離性の観点から、金属酸化物粒子、又は、有機ポリマー粒子であることが好ましく、シリカ粒子、アルミナ粒子及び有機ポリマー粒子よりなる群から選ばれた少なくとも１種の粒子を含むことがより好ましい。
　シリカ粒子（屈折率：１．４～１．５）、アルミナ粒子（屈折率：１．６～１．６５）及び有機ポリマー粒子（屈折率：１．４～１．７）は、その屈折率が、第１樹脂層に含まれる樹脂等の有機物（屈折率：１．４～１．６）の屈折率と近いため、光の散乱が抑制され樹脂パターンの直線性が良好となることから好ましい。

－金属酸化物粒子－
　本開示における金属酸化物粒子の金属には、Ｂ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ａｓ、Ｓｂ、Ｔｅ等の半金属も含まれるものとする。
　金属酸化物粒子としては、Ｂｅ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｓｃ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｙｂ、Ｌｕ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｗ、Ｚｎ、Ｂ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｓｎ、Ｐｂ、Ｓｂ、Ｂｉ、Ｔｅ等の原子を含む酸化物粒子が好ましく、シリカ、アルミナ、酸化チタン、チタン複合酸化物、酸化亜鉛、酸化ジルコニウム、インジウム／スズ酸化物、又は、アンチモン／スズ酸化物がより好ましく、シリカ、アルミナ、酸化チタン、チタン複合酸化物、又は、酸化ジルコニウムが更に好ましく、シリカ、又は、アルミナが特に好ましい。

－有機ポリマー粒子－
　有機ポリマー粒子としては例えば、アクリル酸、メタクリル酸、アクリル酸エステル、メタクリル酸エステル等のアクリル酸系モノマーの単独重合体及び共重合体；ニトロセルロース、メチルセルロース、エチルセルロース、セルロースアセテートのようなセルロース系ポリマー；ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレン、塩化ビニル系共重合体、塩化ビニル－酢酸ビニル共重合体、ポリビニルピロリドン、ポリビニルブチラール、ポリビニルアルコールのようなビニル系ポリマー及びビニル化合物の共重合体；ポリエステル、ポリウレタン、ポリアミドのような縮合系ポリマー、ブタジエン－スチレン共重合体のようなゴム系熱可塑性ポリマー；エポキシ化合物のような光重合性若しくは熱重合性化合物を重合、架橋させたポリマー；メラミン化合物等を挙げることができる。
　これらの中でも、有機ポリマー粒子としては、アクリル樹脂粒子が好ましく挙げられ、ポリメチルメタクリレート粒子がより好ましく挙げられる。

－表面処理－
　本開示において用いられる粒子は、分散安定性付与のために表面を有機材料又は無機材料で処理することもできる。上記粒子は、表面が親水性の粒子であることが好ましい。例えば、表面が疎水性の粒子の表面を親水化処理した粒子を用いる等が挙げられる。

－粒子径－
　上記粒子の平均粒子径は、第１樹脂層／第２樹脂層剥離性の観点から、１０ｎｍ～１，０００ｎｍであることが好ましく、２０ｎｍ～３００ｎｍであることがより好ましく、３０ｎｍ～１００ｎｍであることが更に好ましく、５０ｎｍ～８０ｎｍであることが特に好ましい。
　粒子の平均粒子径は、第１樹脂層の切片を透過型電子顕微鏡を用いて観察される粒子の直径を２０個測定し、算術平均値として求めることができる。

　上記第１樹脂層は、粒子を１種単独で含有してもよいし、２種以上を併用してもよい。
　上記第１樹脂層の全質量に対する上記粒子の含有量は、第１樹脂層／第２樹脂層剥離性の観点から、１質量％～８０質量％であることが好ましく、２質量％～３０質量％であることがより好ましく、５質量％～１０質量％であることが更に好ましい。

＜第１樹脂層用バインダーポリマー＞
　本開示において用いられる第１樹脂層は、第１樹脂層用バインダーポリマーを更に含むことが好ましい。
　第１樹脂層用バインダーポリマーは、水溶性又はアルカリ可溶性のポリマーであることが好ましい。
　なお、本開示において、「水溶性」とは、２５℃においてｐＨ７．０の水への溶解度が０．１質量％以上であることを意味し、「アルカリ可溶性」とは、２５℃においてｐＨ８．５以上のアルカリ水溶液水への溶解度が０．１質量％以上であることを意味する。
　また、上記「水溶性又はアルカリ可溶性であり」とは、水溶性か、アルカリ可溶性のいずれかであっても、水溶性かつアルカリ可溶性であってもよい。

　第１樹脂層用バインダーポリマーとしては、例えば、フェノールホルムアルデヒド樹脂、ｍ－クレゾールホルムアルデヒド樹脂、ｐ－クレゾールホルムアルデヒド樹脂、ｍ－／ｐ－混合クレゾールホルムアルデヒド樹脂、フェノール／クレゾール（ｍ－，ｐ－，又はｍ－／ｐ－混合のいずれでもよい）混合ホルムアルデヒド樹脂等のノボラック樹脂、ピロガロールアセトン樹脂、ポリヒドロキシスチレン樹脂、変性セルロース樹脂、ヒドロキシ基を有するアクリル樹脂（例えば、ヒドロキシアルキル（メタ）アクリレートの単独重合体又は共重合体）、デンプン類、グリコーゲン類、キチン類、アガロース類、カラギーナン類、プルラン類、アラビアガム、ソヤガム、ポリアミド樹脂、エポキシ樹脂、ポリアセタール樹脂、アクリル樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリビニルアルコール、ポリビニルホルマール、ポリビニルピロリドン、ポリアミド樹脂、ポリエステル樹脂、ポリエチレンイミン、ポリアリルアミン、ポリアルキレングリコール等が挙げられる。

　これらの中でも、バインダーポリマーとしては、粒子の分散性及びパターン形成性の観点から、変性セルロース樹脂、及び、ポリビニルアルコールよりなる群から選ばれる少なくとも１種の樹脂であることが好ましく、感光性樹脂層がポジ型感光性樹脂層の場合、変性セルロース樹脂であることがより好ましい。変性セルロース樹脂であることにより、パターンの変形及び劣化を防止できるためより好ましい。
　また、変性セルロース樹脂としては、粒子の分散性及びパターン形成性の観点から、ヒドロキシアルキル化セルロース又はカルボキシアルキルセルロースが好ましい。
　ヒドロキシアルキル化セルロースとしては、ヒドロキシメチルセルロース、ヒドロキシエチルセルロース、ポリヒドロキシエチル化セルロース、ヒドロキシプロピルセルロース、ヒドロキシプロピルメチルセルロース、グリオキザール化ヒドロキシプロピルメチルセルロース、ヒドロキシプロピルメチルセルロースフタレート等が好ましく挙げられる。
　カルボキシアルキルセルロースとしては、カルボキシメチルセルロース、および、カルボキシエチルセルロース等が好ましく挙げられる。
　中でも、粒子の分散性及びパターン形成性の観点から、ヒドロキシプロピルセルロース及びヒドロキシプロピルメチルセルロースよりなる群から選ばれる少なくとも１種の樹脂であることが好ましく、ヒドロキシプロピルメチルセルロースであることがより好ましい。
　また、感光性樹脂層がネガ型感光性樹脂層の場合、第１樹脂層用バインダーポリマーとしては、粒子の分散性、パターン形成性の観点から、ポリビニルアルコールを含むことが好ましい。ポリビニルアルコールを含むことで、感度が向上し、パターンの品質が向上するため、より好ましい。
　更に、感光性樹脂層がネガ型感光性樹脂層である場合、感光性樹脂層と第１樹脂層との密着性の観点からは、第１樹脂層用バインダーポリマーとして、ポリビニルピロリドンを含むことが好ましい。

　第１樹脂層用バインダーポリマーの重量平均分子量は、粒子の分散性、パターン形成性、露光後の現像液への溶解性及び転写性の観点から、１，０００以上であることが好ましく、２，０００～１００，０００であることがより好ましく、１０，０００～５０，０００であることが更に好ましい。

　上記第１樹脂層は、第１樹脂層用バインダーポリマーを１種単独で含有していても、２種以上を含有していてもよい。
　第１樹脂層中の第１樹脂層用バインダーポリマーの含有量は、第１樹脂層と感光性樹脂層との密着性、パターン形成性、露光後の現像液への溶解性及び転写性の観点から、第１樹脂層の全質量に対し、１０質量％以上９８質量％以下であることが好ましく、２０質量％以上９５質量％以下であることがより好ましく、４０質量％以上９０質量％以下であることが更に好ましく、６５質量％以上８５質量％以下であることが特に好ましい。

　上記第１樹脂層は、粒子の分散性、パターン形成性、感光性樹脂層と第１樹脂層との密着性、及び、第１樹脂層／第２樹脂層剥離性の観点から、ポリビニルアルコール、及び、シリカ粒子を含むことが好ましく、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、及び、シリカ粒子を含むことがより好ましい。

＜その他の添加剤＞
　本開示における上記第１樹脂層は、上記粒子及び上記第１樹脂層用バインダーポリマーに加え、必要に応じて公知の添加剤を含むことができる。
　その他の添加剤としては、上述した感光性樹脂層に用いられるその他の添加剤が好適に挙げられる。

＜第１樹脂層の層厚＞
　上記第１樹脂層の層厚は、パターン形成性の観点から、０．３μｍ～１０μｍが好ましく、０．３μｍ～５μｍがより好ましく、０．３μｍ～２μｍが更に好ましい。
　また、上記第１樹脂層の層厚は、上述した感光性樹脂層の層厚より薄いことが好ましい。

＜第１樹脂層の形成方法＞
　第１樹脂層の形成方法は、特に制限はないが、各成分、及び、溶剤（好ましくは、水系溶剤）を所定の割合でかつ任意の方法で混合し、撹拌溶解して調製した第１樹脂層を形成するための第１樹脂層形成用組成物を、上述した感光性樹脂層上に塗布することにより形成することができる。例えば、各成分を、それぞれ予め溶剤に溶解させた溶液とした後、得られた溶液を所定の割合で混合して組成物を調製することもできる。以上の如くして調製した組成物は、孔径５μｍのフィルター等を用いてろ過した後に、使用に供することもできる。
　水系溶剤としては、水、アルコール類等の水溶性溶剤が挙げられる。

　第１樹脂層形成用組成物の塗布方法は特に限定されず、スリット塗布、スピン塗布、カーテン塗布、インクジェット塗布などの公知の方法で塗布することができる。
　なお、感光性樹脂層上に後述のその他の層を形成した上に、第１樹脂層を塗布することもできる。

〔第２樹脂層〕
　第２樹脂層は、ポリエチレン構造を有する樹脂を含有する。
　第２樹脂層は、仮支持体の剥離時に仮支持体と共に剥離される。

　ポリエチレン構造を有する樹脂としては、ポリエチレン、エチレン共重合体等が挙げられる。
　中でも、第１樹脂層／第２樹脂層剥離性の観点から、エチレン－（メタ）アクリル化合物共重合構造を有する樹脂が好ましく、エチレン－（メタ）アクリル酸共重合構造を有する樹脂がより好ましい。
　また、ポリエチレン構造を有する樹脂としては、第１樹脂層と第２樹脂層との間の剥離力を向上させる観点から、アイオノマー樹脂であることが好ましく、エチレン－（メタ）アクリル酸金属塩共重合構造を有するアイオノマー樹脂であることがより好ましい。

　ポリエチレン構造を有する樹脂は、第１樹脂層／第２樹脂層剥離性の観点から、エチレン由来の構成単位（－ＣＨ_２ＣＨ_２－）を、樹脂の全質量に対し、５０質量％以上有することが好ましく、６５質量％以上有することがより好ましく、８０質量％以上有することが更に好ましく、９０質量％以上９９質量％以下有することが特に好ましい。

　また、ポリエチレン構造を有する樹脂は、第１樹脂層／第２樹脂層剥離性の観点から、酸基又はその塩構造を有する樹脂であることが好ましく、カルボキシ基又はその塩構造を有する樹脂であることがより好ましく、カルボキシ基の塩構造を有する樹脂であることが特に好ましい。
　また、上記塩構造における対カチオンとしては、特に制限はないが、アルカリ金属カチオン、第四級アンモニウムカチオン、アルカリ土類金属カチオン、亜鉛カチオン、鉄カチオン、クロムカチオン、コバルトカチオン、ニッケルカチオン、銅カチオン、銀カチオン等が挙げられる。
　中でも、第１樹脂層／第２樹脂層剥離性の観点から、アルカリ金属カチオン又は亜鉛カチオンが好ましく、ナトリウムカチオン又は亜鉛カチオンがより好ましく、亜鉛カチオンが特に好ましい。

　また、ポリエチレン構造を有する樹脂は、第１樹脂層／第２樹脂層剥離性の観点から、酸基又はその塩構造を有する構成単位を有することが好ましく、下記式（Ａｃ）又は式（Ｉｏ）で表される構成単位を有することがより好ましく、式（Ｉｏ）で表される構成単位を有することが特に好ましい。

　式（Ａｃ）及び式（Ｉｏ）中、Ｒ^Ａはそれぞれ独立に、水素原子又はメチル基を表し、式（Ｉｏ）における対カチオンは、任意の一価又は多価のカチオンを表す。

　ポリエチレン構造を有する樹脂が酸基又はその塩構造を有する構成単位を有する場合、酸基又はその塩構造を有する構成単位の含有量は、第１樹脂層／第２樹脂層剥離性の観点から、樹脂の全質量に対し、０．１質量％～２０質量％であることが好ましく、１質量％～１５質量％であることがより好ましく、２質量％～１０質量％であることが更に好ましく、３質量％～８質量％であることが特に好ましい。

　ポリエチレン構造を有する樹脂は、１種単独で使用しても、２種以上を併用してもよい。
　第２樹脂層中のポリエチレン構造を有する樹脂の含有量は、第１樹脂層／第２樹脂層剥離性の観点から、第２樹脂層の全質量に対し、５０質量％以上１００質量％以下であることが好ましく、８０質量％以上１００質量％以下であることがより好ましく、９０質量％以上１００質量％以下であることが特に好ましい。

　また、第２樹脂層は、重合禁止剤を含有してもよい。
　第２樹脂層に含まれる重合禁止剤としては、感光性樹脂層において上述した重合禁止剤が好適に挙げられる。

　第２樹脂層の他の材料としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。例えば、公知の粘着剤又は接着剤が挙げられる。

　粘着剤の例としては、アクリル系粘着剤、ウレタン系粘着剤、ゴム系粘着剤、シリコーン系粘着剤などが挙げられる。また、粘着剤の例として、「剥離紙・剥離フィルムおよび粘着テープの特性評価とその制御技術」、情報機構、２００４年、第２章に記載のアクリル系粘着剤、紫外線（ＵＶ）硬化型粘着剤、シリコーン粘着剤等が挙げられる。なお、アクリル系粘着剤とは、（メタ）アクリルモノマーの重合体（すなわち、（メタ）アクリルポリマー）を含む粘着剤をいう。
　粘着剤を含む場合には、更に、粘着付与剤が含まれていてもよい。

　接着剤としては、例えば、ウレタン樹脂接着剤、ポリエステル接着剤、アクリル樹脂接着剤、エチレン酢酸ビニル樹脂接着剤、ポリビニルアルコール接着剤、ポリアミド接着剤、シリコーン接着剤等が挙げられる。接着強度が比較的高く、また、熱架橋又は光架橋構造を導入することで接着強度のコントロールが容易である、という観点から、ウレタン樹脂接着剤又はアクリル樹脂接着剤が好ましい。

＜第２樹脂層の形成方法＞
　第２樹脂層の形成方法としては、特に限定されず、第２樹脂層が形成された仮支持体を、第２樹脂層と第１樹脂層とが接するようにラミネートする方法、第２樹脂層を単独で第１樹脂層に接するようにラミネートする方法、上記ポリエチレン構造を有する樹脂を含む組成物を第１樹脂層上に塗布する方法等が挙げられる。
　中でも、生産性の観点から、第２樹脂層が形成された仮支持体を、第２樹脂層と第１樹脂層とが接するようにラミネートする方法が好ましい。
　第２樹脂層が形成された仮支持体を作成する方法としては、特に限定されず、ＰＥＴ等のフィルムに第２樹脂層を押し出しラミネートする方法、ＰＥＴ等のフィルムに溶剤に溶解させた第２樹脂層組成物を塗布乾燥する方法、ＰＥＴ等のフィルムに水等に分散させた第２樹脂層組成物を塗布乾燥する方法を挙げることができる。この中で、生産性の観点から、ＰＥＴ等のフィルムに第２樹脂層を押し出しラミネートする方法が好ましい。

＜第２樹脂層の特性＞
　本開示に係る感光性転写材料における第２樹脂層の層厚としては、粘着力とハンドリング性との両立の点で、５μｍ～１００μｍが好ましい。
　第２樹脂層の層厚は、第１樹脂層／第２樹脂層剥離性の観点から、０．０１μｍ以上５０μｍ以下が好ましく、０．１μｍ以上２０μｍ以下がより好ましく、０．２μｍ以上１０μｍ以下が特に好ましい。

　また、上記第２樹脂層の上記第１樹脂層側の表面における水接触角は、第１樹脂層／第２樹脂層剥離性の観点から、１００度以下であることが好ましく、９５度以下であることがより好ましく、９０度以下であることが更に好ましく、７５度以上９０度以下であることが特に好ましい。第１樹脂層側の表面における水接触角が１００度以下であると、保護フィルムを剥離する際に第１樹脂層／第２樹脂層が剥離する不良が生じることを抑制することができる。

　本開示において、上記第２樹脂層の上記第１樹脂層側の表面における水接触角の測定方法は、以下の方法により行うものとする。
　厚さ１００μｍのＰＥＴフィルム上に、スパッタ法にて厚さ２００ｎｍの銅層を作製し、銅層付きＰＥＴ基板を作製する。
　保護フィルムを剥離した感光性転写材料をロール温度１００℃、線圧１．０ＭＰａ、線速度４ｍ／ｍｉｎのラミネート条件で、上記銅層付きＰＥＴ基板にラミネートする。
　得られた銅層付きＰＥＴ基板にラミネートした感光性転写材料を第１樹脂層／第２樹脂層間で剥離し、以下の方法により、第２樹脂層の表面の水接触角を測定する。
　接触角計（協和界面科学（株）製、ＤＲＯＰＭＡＳＴＥＲ－５０１）を用い、２５℃の温度条件下で、測定面に精製水２μＬを着滴してから７秒後の接触角を液滴法にて測定する。

〔仮支持体〕
　本開示に係る感光性転写材料は、仮支持体を有する。
　仮支持体は、感光性樹脂層又は感光性樹脂層を含む積層体を支持し、且つ、剥離可能な支持体である。

　仮支持体は、感光性樹脂層をパターン露光する際に、仮支持体を介した感光性樹脂層の露光が可能になる観点から、光透過性を有することが好ましい。なお、本明細書において「光透過性を有する」とは、パターン露光に使用する波長の光の透過率が５０％以上であることを意味する。
　仮支持体は、感光性樹脂層の露光感度向上の観点から、パターン露光に使用する波長（より好ましくは波長３６５ｎｍ）の光の透過率が６０％以上であることが好ましく、７０％以上であることがより好ましい。
　なお、感光性転写材料が備える層の透過率とは、層の主面に垂直な方向（厚さ方向）に光を入射させたときの、入射光の強度に対する層を通過して出射した出射光の強度の比率であり、大塚電子（株）製ＭＣＰＤ　Ｓｅｒｉｅｓを用いて測定される。
　また、本開示に係る光性転写材料を、感光性転写材料から上記保護フィルムを剥離する工程、上記保護フィルムが剥離された上記感光性転写材料における上記感光性樹脂層側の最外層を、基材に接触させて貼り合わせる工程、上記基材に貼り合わせた感光性転写材料から上記仮支持体及び上記第２樹脂層を剥離する工程、上記第１樹脂層に露光マスクを接触させ、上記露光マスクを介して上記感光性樹脂層を露光する工程、上記感光性樹脂層を現像して樹脂パターンを形成する工程、をこの順で含む樹脂パターンの製造方法に使用する場合、仮支持体を介した感光性樹脂層の露光でなくなるため、光透過率が６０％以下の仮支持体、又は、光散乱性の仮支持体を用いることもできる。

　仮支持体を構成する材料としては、例えば、ガラス基板、樹脂フィルム及び紙が挙げられ、強度、可撓性及び光透過性の観点から、樹脂フィルムが好ましい。
　樹脂フィルムとしては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ：ｐｏｌｙｅｔｈｙｌｅｎｅ　ｔｅｒｅｐｈｔｈａｌａｔｅ）フィルム、トリ酢酸セルロースフィルム、ポリスチレンフィルム及びポリカーボネートフィルムが挙げられる。中でも、ＰＥＴフィルムが好ましく、２軸延伸ＰＥＴフィルムがより好ましい。

　仮支持体の厚さ（層厚）は、特に制限されず、支持体としての強度、回路配線形成用基板との貼り合わせに求められる可撓性、及び、最初の露光工程で要求される光透過性の観点から、材質に応じて選択すればよい。
　仮支持体の厚さは、５μｍ～１００μｍの範囲が好ましく、取扱い易さ及び汎用性の点から、１０μｍ～５０μｍの範囲がより好ましく、１０μｍ～２０μｍの範囲が更に好ましく、１０μｍ～１６μｍの範囲が特に好ましい。
　また、仮支持体の厚さは、仮支持体を介して露光する場合における解像度及び直線性の観点から、５０μｍ以下であることが好ましく、２５μｍ以下であることがより好ましい。

　また、仮支持体として使用するフィルムには、シワ等の変形、傷、欠陥などがないことが好ましい。
　仮支持体を介するパターン露光時のパターン形成性、及び、仮支持体の透明性の観点から、仮支持体に含まれる微粒子、異物、欠陥、析出物などの数は少ない方が好ましい。直径１μｍ以上の微粒子や異物や欠陥の数は、５０個／１０ｍｍ^２以下であることが好ましく、１０個／１０ｍｍ^２以下であることがより好ましく、３個／１０ｍｍ^２以下であることが更に好ましく、０個／１０ｍｍ^２であることが特に好ましい。

　仮支持体の好ましい態様としては、例えば、特開２０１４－８５６４３号公報の段落００１７～段落００１８、特開２０１６－２７３６３号公報の段落００１９～００２６、国際公開第２０１２／０８１６８０号の段落００４１～００５７、国際公開第２０１８／１７９３７０号の段落００２９～００４０、特開２０１９－１０１４０５号公報の段落００１２～段落００３２に記載があり、これらの公報の内容は本明細書に組み込まれる。

　感光性転写材料は、上述した層以外の層（以下「その他の層」ともいう。）を備えてもよい。その他の層としては、例えば、コントラストエンハンスメント層が挙げられる。
　コントラストエンハンスメント層については、国際公開第２０１８／１７９６４０号の段落０１３４に記載されている。また、その他の層については特開２０１４－８５６４３号公報の段落０１９４～０１９６に記載されている。これらの公報の内容は本明細書に組み込まれる。

　感光性転写材料における仮支持体及び保護フィルムを除く各層の総厚さは、本開示における効果をより発揮する観点から、２０μｍ以下であることが好ましく、１０μｍ以下であることがより好ましく、８μｍ以下であることが更に好ましく、２μｍ以上８μｍ以下であることが特に好ましい。
　また、感光性転写材料における感光性樹脂層及び第１樹脂層の総厚さは、本開示における効果をより発揮する観点から、２０μｍ以下であることが好ましく、１０μｍ以下であることがより好ましく、８μｍ以下であることが更に好ましく、２μｍ以上８μｍ以下であることが特に好ましい。

〔感光性転写材料の製造方法〕
　本開示に係る感光性転写材料の製造方法は、特に制限されず、公知の製造方法、例えば、公知の各層の形成方法を用いることができる。
　以下、図１を参照しながら、本開示に用いられる感光性転写材料の製造方法について説明する。但し、本開示に用いられる感光性転写材料は、図１に示す構成を有するものに制限されない。
　図１は、本開示に用いられる感光性転写材料の構成の一例を示す概略断面図である。図１に示す感光性転写材料１００は、仮支持体１０と、第２樹脂層１２と、第１樹脂層１４と、感光性樹脂層１６と、保護フィルム１８とがこの順に積層された構成を有する。

　上記の感光性転写材料１００の製造方法としては、例えば、仮支持体１０の表面に第２樹脂層用樹脂ペレットを溶融し、押し出しラミネート法により成膜し、第２樹脂層１２を形成する工程、又は、仮支持体１０の表面に第２樹脂層形成用組成物を塗布した後、第２樹脂層形成用組成物の塗膜を乾燥させることにより、第２樹脂層１２を形成する工程により第２樹脂層１２を形成した仮支持体１０を作製する工程、
　一方で、保護フィルム１８上に、例えば、アルカリ可溶性樹脂、エチレン性不飽和化合物及び光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物を塗布した後、感光性樹脂組成物の塗膜を乾燥させて感光性樹脂層１６を形成する工程と、感光性樹脂層１６の表面に第１樹脂層形成用組成物を塗布した後、第１樹脂層組成物の塗膜を乾燥させて第１樹脂層１４を形成する工程により、保護フィルム１８上に感光性樹脂層１６と第１樹脂層１４とが形成された積層体を作製する工程、並びに、
　上記により製造された積層体の第１樹脂層１４に、第２樹脂層１２を形成した仮支持体１０を、第１樹脂層１４の表面に第２樹脂層１２が直接接するように圧着させる工程を含む方法により、感光性転写材料１００が好適に製造される。

　また、他の製造方法としては、保護フィルム１８上に、例えば、アルカリ可溶性樹脂、エチレン性不飽和化合物及び光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物を塗布した後、感光性樹脂組成物の塗膜を乾燥させて感光性樹脂層１６を形成する工程と、感光性樹脂層１６の表面に第１樹脂層形成用組成物を塗布した後、第１樹脂層組成物の塗膜を乾燥させて第１樹脂層１４を形成する工程と、第１樹脂層１４の表面に、第２樹脂層形成用組成物を塗布した後、第２樹脂層形成用組成物の塗膜を乾燥させることにより、第２樹脂層１２を形成する工程とを含む方法が好適に挙げられる。
　上記の製造方法により製造された積層体の第２樹脂層１２に、仮支持体１０を圧着させることにより、感光性転写材料１００が製造される。

　上記の製造方法において、アルキレングリコールエーテル溶剤及びアルキレングリコールエーテルアセテート溶剤よりなる群から選択される少なくとも１種を含有する第２樹脂層用組成物と、水及び水混和性の有機溶剤よりなる群から選択される少なくとも１種を含有する第１樹脂層組成物と、アルカリ可溶性樹脂、エチレン性不飽和化合物、光重合開始剤、並びに、アルキレングリコールエーテル溶剤及びアルキレングリコールエーテルアセテート溶剤よりなる群から選択される少なくとも１種を含有する感光性樹脂組成物とを使用することが好ましい。これにより、第１樹脂層１４の表面への第２樹脂層形成用組成物の塗布、及び／又は、感光性樹脂組成物の塗膜を有する積層体の保存期間における、感光性樹脂層１６に含有される成分と第１樹脂層１４に含有される成分との混合を抑制でき、なお且つ、第１樹脂層１４の表面への第２樹脂層形成用組成物の塗布、及び／又は、第２樹脂層形成用組成物の塗膜を有する積層体の保存期間における、第１樹脂層１４に含有される成分と第２樹脂層１２に含有される成分との混合を抑制できる。

　本開示に係る感光性転写材料の製造方法としては、保護フィルム１８に感光性樹脂層１６、第１樹脂層１４の順に設けて得られた積層体の第１樹脂層１４に、第２樹脂層１２を形成した仮支持体１０を、第１樹脂層１４の表面に第２樹脂層１２が直接接するように圧着させる工程を含むことにより、保護フィルム１８、感光性樹脂層１６、第１樹脂層１４、第２樹脂層１２及び仮支持体１０を備える感光性転写材料１００を製造することが好ましい。
　上記の製造方法により感光性転写材料１００を製造した後、感光性転写材料１００を巻き取ることにより、ロール形態の感光性転写材料を作製及び保管してもよい。ロール形態の感光性転写材料は、後述するロールツーロール方式での基板との貼り合わせ工程にそのままの形態で提供できる。

　本開示に係る感光性転写材料は、フォトリソグラフィによる精密微細加工が必要な各種用途に好適に用いることができる。感光性樹脂層をパターニング後に、感光性樹脂層を被膜としてエッチングをしてもよいし、電気めっきを主体とするエレクトロフォーミングを行ってもよい。また、パターニングによって得られた硬化膜は、永久膜として使用してもよく、例えば、層間絶縁膜、配線保護膜、インデックスマッチング層を有する配線保護膜などとして用いてもよい。また、本開示に係る感光性転写材料は、半導体パッケージ、プリント基板、センサー基板の各種配線形成用途、タッチパネル、電磁波シールド材、フィルムヒーターのような導電性フィルム、液晶シール材、マイクロマシン又はマイクロエレクトロニクス分野における構造物の形成等の用途に好適に使用し得る。

（樹脂パターンの製造方法、及び、回路配線の製造方法）
　本開示に係る樹脂パターンの製造方法は、本開示に係る感光性転写材料を用いて基板上に樹脂パターンを形成する樹脂パターンの製造方法である。
　樹脂パターンの製造方法としては、本開示に係る感光性転写材料から上記保護フィルムを剥離する工程（以下「保護フィルム剥離工程」ともいう。）、上記保護フィルムが剥離された上記感光性転写材料における上記感光性樹脂層側の最外層を、基材に接触させて貼り合わせる工程（以下「貼り合わせ工程」ともいう。）、上記基材に貼り合わせた感光性転写材料から上記仮支持体及び上記第２樹脂層を剥離する工程、上記第１樹脂層に露光マスクを接触させ、上記露光マスクを介して上記感光性樹脂層を露光する工程（以下「露光工程」ともいう。）、並びに、上記感光性樹脂層を現像して樹脂パターンを形成する工程（以下「現像工程」ともいう。）、をこの順で含む方法が好ましい。

　本開示に係る回路配線の製造方法は、本開示に係る感光性転写材料を用いる方法であれば、特に制限されない。
　本開示に係る回路配線の製造方法としては、本開示に係る樹脂パターンの製造方法により形成された樹脂パターンをマスクとして導電層をエッチング処理する工程（以下「エッチング工程」ともいう。）を含む方法であることが好ましく、本開示に係る感光性転写材料から上記保護フィルムを剥離する工程、上記保護フィルムが剥離された上記感光性転写材料における上記感光性樹脂層側の最外層を、導電層を有する基材に接触させて貼り合わせる工程（、上記基材に貼り合わせた感光性転写材料から上記仮支持体及び上記第２樹脂層を剥離する工程、第１樹脂層に露光マスクを接触させ、上記露光マスクを介して上記感光性樹脂層を露光する工程、上記感光性樹脂層を現像して樹脂パターンを形成する工程、並びに、形成された樹脂パターンをマスクとして上記導電層をエッチング処理する工程をこの順で含む方法がより好ましい。
　以下、樹脂パターンの製造方法及び回路配線の製造方法が含む各工程について説明するが、特に言及した場合を除き、樹脂パターンの製造方法に含まれる各工程について説明した内容は、回路配線の製造方法に含まれる各工程についても適用されるものとする。

＜保護フィルム剥離工程＞
　樹脂パターンの製造方法は、本開示に係る感光性転写材料から上記保護フィルムを剥離する工程を含むことが好ましい。保護フィルムを剥離する方法は、制限されず、公知の方法を適用することができる。

＜貼り合わせ工程＞
　樹脂パターンの製造方法は、貼り合わせ工程を含むことが好ましい。
　貼り合わせ工程においては、感光性転写材料における上記仮支持体に対して感光性樹脂層を有する側の最外層に基板（基板の表面に導電層が設けられている場合は導電層）を接触させ、感光性転写材料と基板とを圧着させることが好ましい。上記態様であると、感光性転写材料における上記仮支持体に対して感光性樹脂層を有する側の最外層と基板との密着性が向上するため、露光及び現像後のパターン形成された感光性樹脂層は、導電層をエッチングする際のエッチングレジストとして好適に用いることができる。

　また、貼り合わせ工程は、感光性転写材料が感光性樹脂層の仮支持体と対向していない側の表面に保護フィルム以外の層（例えば高屈折率層及び／又は低屈折率層）を更に備える場合、感光性樹脂層の仮支持体を有していない側の表面と基板とがその層を介して貼り合わされる態様となる。

　基板と感光性転写材料とを圧着する方法としては、特に制限されず、公知の転写方法、及び、ラミネート方法を用いることができる。
　感光性転写材料の基板への貼り合わせは、感光性転写材料における上記仮支持体に対して感光性樹脂層を有する側の最外層と基板と重ね、ロール等の手段を用いて加圧及び加熱を施すことにより、行われることが好ましい。貼り合わせには、ラミネーター、真空ラミネーター、及び、より生産性を高めることができるオートカットラミネーター等の公知のラミネーターが使用できる。

　貼り合わせ工程を含む樹脂パターンの製造方法及び回路配線の製造方法は、ロールツーロール方式により行われることが好ましい。
　以下、ロールツーロール方式について説明する。
　ロールツーロール方式とは、基板として、巻き取り及び巻き出しが可能な基板を用い、樹脂パターンの製造方法又は回路配線の製造方法に含まれるいずれかの工程の前に、基板又は基板を含む構造体を巻き出す工程（「巻き出し工程」ともいう。）と、いずれかの工程の後に、基板又は基板を含む構造体を巻き取る工程（「巻き取り工程」ともいう。）と、を含み、少なくともいずれかの工程（好ましくは、全ての工程、又は加熱工程以外の全ての工程）を、基板又は基板を含む構造体を搬送しながら行う方式をいう。
　巻き出し工程における巻き出し方法、及び巻き取り工程における巻取り方法としては、特に制限されず、ロールツーロール方式を適用する製造方法において、公知の方法を用いればよい。

＜基板＞
　本開示に係る樹脂パターンの製造方法に用いられる基板としては、公知の基板を用いればよいが、導電層を有する基板が好ましく、基板の表面に導電層を有することがより好ましい。
　基板は、必要に応じて導電層以外の任意の層を有してもよい。

　基板を構成する基材としては、例えば、ガラス、シリコン及びフィルムが挙げられる。
　基板を構成する基材は、透明であることが好ましい。本明細書において「透明である」とは、波長４００ｎｍ～７００ｎｍの光の透過率が８０％以上であることを意味する。
　また、基板を構成する基板の屈折率は、１．５０～１．５２であることが好ましい。

　透明なガラス基板としては、コーニング社のゴリラガラスに代表される強化ガラスが挙げられる。また、透明なガラス基板としては、特開２０１０－８６６８４号公報、特開２０１０－１５２８０９号公報及び特開２０１０－２５７４９２号公報に用いられている材料を用いることができる。

　基板としてフィルム基板を用いる場合は、光学的に歪みが小さく、かつ／又は、透明度が高いフィルム基板を用いることが好ましい。そのようなフィルム基板としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート、ポリカーボネート、トリアセチルセルロース及びシクロオレフィンポリマーが挙げられる。

　基板としては、ロールツーロール方式で製造する場合、フィルム基板が好ましい。また、ロールツーロール方式によりタッチパネル用の回路配線を製造する場合、基板がシート状樹脂組成物であることが好ましい。

　基板が有する導電層としては、一般的な回路配線又はタッチパネル配線に用いられる導電層が挙げられる。
　導電層としては、導電性及び細線形成性の観点から、金属層、導電性金属酸化物層、グラフェン層、カーボンナノチューブ層及び導電ポリマー層よりなる群から選ばれた少なくとも１種の層が好ましく、金属層がより好ましく、銅層又は銀層が更に好ましい。
　基板は、導電層を１層単独で有してよく、２層以上有してもよい。２層以上の導電層を有する場合は、異なる材質の導電層を有することが好ましい。

　導電層の材料としては、金属及び導電性金属酸化物が挙げられる。
　金属としては、Ａｌ、Ｚｎ、Ｃｕ、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ａｇ及びＡｕが挙げられる。
　導電性金属酸化物としては、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ　Ｔｉｎ　Ｏｘｉｄｅ）、ＩＺＯ（Ｉｎｄｉｕｍ　Ｚｉｎｃ　Ｏｘｉｄｅ）及びＳｉＯ_２が挙げられる。
　なお、本明細書において「導電性」とは、体積抵抗率が１×１０^６Ωｃｍ未満であることをいう。導電性金属酸化物の体積抵抗率は、１×１０^４Ωｃｍ未満が好ましい。

　複数の導電層を有する基板を用いて樹脂パターンを製造する場合、複数の導電層のうち少なくとも一つの導電層は導電性金属酸化物を含有することが好ましい。
　導電層としては、静電容量型タッチパネルに用いられる視認部のセンサーに相当する電極パターン又は周辺取り出し部の配線が好ましい。

＜露光工程＞
　樹脂パターンの製造方法は、上記貼り合わせ工程の後、感光性樹脂層をパターン露光する工程（露光工程）を含むことが好ましい。

　パターン露光におけるパターンの詳細な配置及び具体的サイズは特に制限されない。回路配線の製造方法により製造される回路配線を有する入力装置を備えた表示装置（例えばタッチパネル）の表示品質を高め、また、取り出し配線の占める面積が小さくなるように、パターンの少なくとも一部（好ましくはタッチパネルの電極パターン及び／又は取り出し配線の部分）は幅が２０μｍ以下である細線を含むことが好ましく、幅が１０μｍ以下の細線を含むことがより好ましい。

　露光に使用する光源は、感光性樹脂層を露光可能な波長の光（例えば、３６５ｎｍ又は４０５ｎｍ）を照射する光源であれば、適宜選定して用いることができる。具体的には、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、メタルハライドランプ及びＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ　Ｅｍｉｔｔｉｎｇ　Ｄｉｏｄｅ）が挙げられる。

　露光量としては、５ｍＪ／ｃｍ^２～２００ｍＪ／ｃｍ^２が好ましく、１０ｍＪ／ｃｍ^２～１００ｍＪ／ｃｍ^２がより好ましい。

　露光工程においては、感光性樹脂層から仮支持体を剥離した後にパターン露光してもよく、仮支持体を剥離する前に、仮支持体を介してパターン露光し、その後、仮支持体を剥離してもよい。マスクは、露光前に仮支持体を剥離した場合には、感光性樹脂層と接触させて露光してもよいし、接触せずに近接させて露光してもよい。仮支持体を剥離せずに露光する場合には、マスクは、仮支持体と接触させて露光してもよいし、接触せずに近接させて露光してもよい。感光性樹脂層とマスクとの接触によるマスク汚染の防止、及びマスクに付着した異物による露光への影響を避けるためには、仮支持体を剥離せずにパターン露光することが好ましい。なお、露光方式は、接触露光の場合は、コンタクト露光方式、非接触露光方式の場合は、プロキシミティ露光方式、レンズ系又はミラー系のプロジェクション露光方式、露光レーザー等を用いたダイレクト露光方式を適宜選択して用いることができる。レンズ系又はミラー系のプロジェクション露光の場合、必要な解像力、焦点深度に応じて、適当なレンズの開口数（ＮＡ）を有する露光機を用いることができる。ダイレクト露光方式の場合は、直接感光性樹脂層に描画を行ってもよいし、レンズを介して感光性樹脂層に縮小投影露光をしてもよい。また、露光は大気下で行うだけでなく、減圧、真空下で行ってもよく、また、光源と感光性樹脂層の間に水等の液体を介在させて露光してもよい。

＜現像工程＞
　樹脂パターンの製造方法は、上記露光工程の後、露光された感光性樹脂層を現像して樹脂パターンを形成する工程（現像工程）を含むことが好ましい。
現像工程において、非画像部の第１樹脂層も、非画像部の感光性樹脂層とともに除去される。また、現像工程において、露光部の第１樹脂層も現像液に溶解あるいは分散する形で除去されてもよい。

　現像工程における露光された感光性樹脂層の現像は、現像液を用いて行うことができる。
　現像液としては、感光性樹脂層の非画像部を除去することができれば特に制限されず、例えば、特開平５－７２７２４号公報に記載の現像液等の公知の現像液が使用できる。
　現像液としては、ｐＫａ＝７～１３の化合物を０．０５ｍｏｌ／Ｌ～５ｍｏｌ／Ｌ（リットル）の濃度で含むアルカリ水溶液系の現像液が好ましい。現像液は、水溶性の有機溶剤及び／又は界面活性剤を含有してもよい。現像液としては、国際公開第２０１５／０９３２７１号の段落０１９４に記載の現像液も好ましい。

　現像方式としては、特に制限されず、パドル現像、シャワー現像、シャワー及びスピン現像、並びに、ディップ現像のいずれであってもよい。シャワー現像とは、露光後の感光性樹脂層に現像液をシャワーにより吹き付けることにより、非露光部を除去する現像処理である。
　現像工程の後に、洗浄剤をシャワーにより吹き付け、ブラシで擦りながら、現像残渣を除去することが好ましい。
　現像液の液温は特に制限されないが、２０℃～４０℃が好ましい。

＜エッチング工程＞
　回路配線の製造方法は、上記樹脂パターンが配置されていない領域における上記基板をエッチング処理する工程（エッチング工程）を含むことが好ましい。

　エッチング工程では、感光性樹脂層から形成された樹脂パターンを、エッチングレジストとして使用し、導電層のエッチング処理を行う。
　エッチング処理の方法としては、公知の方法を適用でき、例えば、特開２０１７－１２０４３５号公報の段落０２０９～段落０２１０に記載の方法、特開２０１０－１５２１５５号公報の段落００４８～段落００５４に記載の方法、エッチング液に浸漬するウェットエッチング法、及び、プラズマエッチング等のドライエッチングによる方法が挙げられる。

　ウェットエッチングに用いられるエッチング液は、エッチングの対象に合わせて酸性又はアルカリ性のエッチング液を適宜選択すればよい。
　酸性のエッチング液としては、例えば、塩酸、硫酸、硝酸、酢酸、フッ酸、シュウ酸及びリン酸から選択される酸性成分単独の水溶液、並びに、酸性成分と、塩化第２鉄、フッ化アンモニウム及び過マンガン酸カリウムから選択される塩との混合水溶液が挙げられる。酸性成分は、複数の酸性成分を組み合わせた成分であってもよい。
　アルカリ性のエッチング液としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、アンモニア、有機アミン、及び、有機アミンの塩（テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド等）から選択されるアルカリ成分単独の水溶液、並びに、アルカリ成分と塩（過マンガン酸カリウム等）との混合水溶液が挙げられる。アルカリ成分は、複数のアルカリ成分を組み合わせた成分であってもよい。

＜除去工程＞
　回路配線の製造方法においては、残存する樹脂パターンを除去する工程（除去工程）を行うことが好ましい。
　除去工程は、特に制限されず、必要に応じて行うことができるが、エッチング工程の後に行うことが好ましい。
　残存する樹脂パターンを除去する方法としては特に制限されないが、薬品処理により除去する方法が挙げられ、除去液を用いて除去する方法が好ましい。
　感光性樹脂層の除去方法としては、液温が好ましくは３０℃～８０℃、より好ましくは５０℃～８０℃である撹拌中の除去液に、残存する樹脂パターンを有する基板を、１分間～３０分間浸漬する方法が挙げられる。

　除去液としては、例えば、無機アルカリ成分又は有機アルカリ成分を、水、ジメチルスルホキシド、Ｎ－メチルピロリドン又はこれらの混合溶液に溶解させた除去液が挙げられる。無機アルカリ成分としては、例えば、水酸化ナトリウム及び水酸化カリウムが挙げられる。有機アルカリ成分としては、第一級アミン化合物、第二級アミン化合物、第三級アミン化合物及び第四級アンモニウム塩化合物が挙げられる。
　また、除去液を使用し、スプレー法、シャワー法及びパドル法等の公知の方法により除去してもよい。

＜その他の工程＞
　樹脂パターンの製造方法及び回路配線の製造方法は、上述した工程以外の任意の工程（その他の工程）を含んでもよい。例えば、以下の工程が挙げられるが、これらの工程に制限されない。
　また、回路配線の製造方法に適用可能な露光工程、現像工程、及びその他の工程としては、特開２００６－２３６９６号公報の段落００３５～００５１に記載の工程が挙げられる。

－可視光線反射率を低下させる工程－
　回路配線の製造方法は、基板が有する複数の導電層の一部又は全ての可視光線反射率を低下させる処理を行う工程を含んでいてもよい。
　可視光線反射率を低下させる処理としては、酸化処理が挙げられる。基板が銅を含有する導電層を有する場合、銅を酸化処理して酸化銅とし、導電層を黒化することにより、導電層の可視光線反射率を低下させることができる。
　可視光線反射率を低下させる処理については、特開２０１４－１５０１１８号公報の段落００１７～００２５、並びに、特開２０１３－２０６３１５号公報の段落００４１、段落００４２、段落００４８及び段落００５８に記載されており、これらの公報に記載の内容は本明細書に組み込まれる。

－絶縁膜を形成する工程、絶縁膜の表面に新たな導電層を形成する工程－
　回路配線の製造方法は、回路配線の表面に絶縁膜を形成する工程と、絶縁膜の表面に新たな導電層を形成する工程と、を含むことも好ましい。
　上記の工程により、第一の電極パターンと絶縁した第二の電極パターンを形成することができる。
　絶縁膜を形成する工程としては、特に制限されず、公知の永久膜を形成する方法が挙げられる。また、絶縁性を有する感光性材料を用いて、フォトリソグラフィにより所望のパターンの絶縁膜を形成してもよい。
　絶縁膜上に新たな導電層を形成する工程は、特に制限されず、例えば、導電性を有する感光性材料を用いて、フォトリソグラフィにより所望のパターンの新たな導電層を形成してもよい。

　回路配線の製造方法は、基板の両方の表面にそれぞれ複数の導電層を有する基板を用い、基板の両方の表面に形成された導電層に対して逐次又は同時に回路形成することも好ましい。このような構成により、基板の一方の表面に第一の導電パターン、もう一方の表面に第二の導電パターンを形成したタッチパネル用回路配線を形成できる。また、このような構成のタッチパネル用回路配線を、ロールツーロールで基板の両面から形成することも好ましい。

＜回路配線の用途＞
　回路配線の製造方法により製造される回路配線は、種々の装置に適用することができる。上記の製造方法により製造される回路配線を備えた装置としては、例えば、入力装置が挙げられ、タッチパネルが好ましく、静電容量型タッチパネルがより好ましい。また、上記入力装置は、有機ＥＬ表示装置及び液晶表示装置等の表示装置に適用できる。

（タッチパネルの製造方法）
　本開示に係るタッチパネルの製造方法は、本開示に係る感光性転写材料を用いる方法であれば、特に制限されない。
　本開示に係るタッチパネルの製造方法としては、本開示に係る樹脂パターンの製造方法により形成された樹脂パターンをマスクとして導電層をエッチング処理して、タッチパネル用配線を形成する工程を含む方法であることが好ましく、本開示に係る感光性転写材料から上記保護フィルムを剥離する工程、上記保護フィルムが剥離された上記感光性転写材料における上記感光性樹脂層側の最外層を、導電層を有する基材に接触させて貼り合わせる工程（、上記基材に貼り合わせた感光性転写材料から上記仮支持体及び上記第２樹脂層を剥離する工程、第１樹脂層に露光マスクを接触させ、上記露光マスクを介して上記感光性樹脂層を露光する工程、上記感光性樹脂層を現像して樹脂パターンを形成する工程、並びに、形成された樹脂パターンをマスクとして上記導電層をエッチング処理して、タッチパネル用配線を形成する工程をこの順で含む方法がより好ましい。

　タッチパネルの製造方法における、各工程の具体的な態様、及び、各工程を行う順序等の実施態様については、上述の「樹脂パターンの製造方法」及び「回路配線の製造方法」の項において説明した通りであり、好ましい態様も同様である。
　タッチパネルの製造方法は、上記の方法によりタッチパネル用配線を形成すること以外は、公知のタッチパネルの製造方法を参照すればよい。
　また、タッチパネルの製造方法は、上述した以外の任意の工程（その他の工程）を含んでもよい。

　タッチパネルの製造に用いられるマスクのパターンの一例を、図２及び図３に示す。
　図２に示されるパターンＡ、及び、図３に示されるパターンＢにおいて、ＧＲは非画像部（遮光部）であり、ＥＸは画像部（露光部）であり、ＤＬはアライメント合わせの枠を仮想的に示したものである。タッチパネルの製造方法において、例えば、図２に示されるパターンＡを有するマスクを介して上記感光性樹脂層を露光することで、ＥＸに対応するパターンＡを有する回路配線が形成されたタッチパネルを製造できる。具体的には、国際公開第２０１６／１９０４０５号の図１に記載の方法で作製できる。製造されたタッチパネルの一例においては、露光部ＥＸの中央部（資格が連結したパターン部分）は透明電極（タッチパネル用電極）が形成される部分であり、露光部ＥＸの周縁部（細線部分）は周辺取出し部の配線が形成される部分である。

　上記のタッチパネルの製造方法により、タッチパネル用配線を少なくとも有するタッチパネルが製造される。タッチパネルは、透明基板と、電極と、絶縁層又は保護層とを有することが好ましい。
　タッチパネルにおける検出方法としては、抵抗膜方式、静電容量方式、超音波方式、電磁誘導方式、及び、光学方式等の公知の方式が挙げられる。中でも、静電容量方式が好ましい。

　タッチパネル型としては、いわゆるインセル型（例えば、特表２０１２－５１７０５１号公報の図５、図６、図７及び図８に記載のもの）、いわゆるオンセル型（例えば、特開２０１３－１６８１２５号公報の図１９に記載のもの、並びに、特開２０１２－８９１０２号公報の図１及び図５に記載のもの）、ＯＧＳ（Ｏｎｅ　Ｇｌａｓｓ　Ｓｏｌｕｔｉｏｎ）型、ＴＯＬ（Ｔｏｕｃｈ－ｏｎ－Ｌｅｎｓ）型（例えば、特開２０１３－５４７２７号公報の図２に記載のもの）、各種アウトセル型（いわゆる、ＧＧ、Ｇ１・Ｇ２、ＧＦＦ、ＧＦ２、ＧＦ１及びＧ１Ｆ等）並びにその他の構成（例えば、特開２０１３－１６４８７１号公報の図６に記載のもの）が挙げられる。
　タッチパネルとしては、例えば、特開２０１７－１２０４３５号公報の段落０２２９に記載のものが挙げられる。

　以下に実施例を挙げて本発明の実施形態を更に具体的に説明する。以下の実施例に示す材料、使用量、割合、処理内容、及び、処理手順等は、本発明の実施形態の趣旨を逸脱しない限り、適宜、変更することができる。したがって、本発明の実施形態の範囲は以下に示す具体例に限定されない。なお、特に断りのない限り、「部」、「％」は質量基準である。

（実施例１～１４、及び、比較例１～３）
＜感光性樹脂組成物１の調製＞
　感光性樹脂組成物１を調製するために用いた各成分は以下のとおりである。

〔重合体Ａ〕
　以下の方法に従い、重合体Ａを合成した。重合体Ａの合成方法において、以下の略語は以下の化合物をそれぞれ表す。
　Ｓｔ：スチレン（富士フイルム和光純薬（株）製）
　ＭＡＡ：メタクリル酸（富士フイルム和光純薬（株）製）
　ＭＭＡ：メタクリル酸メチル（富士フイルム和光純薬（株）製）
　Ｖ－６０１：２，２’－アゾビス（イソ酪酸）ジメチル（富士フイルム和光純薬（株）製、重合開始剤）
　ＰＧＭＥＡ：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート

　３つ口フラスコにＰＧＭＥＡ（１１６．５部）を入れ、窒素雰囲気下において９０℃に昇温した。３つ口フラスコ内の液温を９０℃±２℃に維持しながら、Ｓｔ（５２．０部）、ＭＭＡ（１９．０部）、ＭＡＡ（２９．０部）、Ｖ－６０１（４．０部）及びＰＧＭＥＡ（１１６．５部）の混合液を、２時間かけて３つ口フラスコ内に滴下した。滴下終了後、液温を９０℃±２℃に維持しながら混合液を２時間撹拌することで、重合体Ａを３０．０質量％含有する組成物を得た。重合体Ａの酸価は１８９ｍｇＫＯＨ／ｇ、重量平均分子量は６０，０００、ガラス転移温度は１３１℃であった。

〔エチレン性不飽和化合物Ｂ〕
・Ｂ－１：ＮＫエステルＢＰＥ－５００（２，２－ビス（４－（メタクリロキシペンタエトキシ）フェニル）プロパン、新中村化学工業（株）製）
・Ｂ－２：アロニックスＭ－２７０（ポリプロピレングリコールジアクリレート、東亞合成（株）製）

〔光重合開始剤〕
・Ｂ－ＣＩＭ（光ラジカル重合開始剤、２－（２－クロロフェニル）－４，５－ジフェニルイミダゾール二量体、Ｈａｍｐｆｏｒｄ社製）

〔増感剤〕
・ＳＢ－ＰＩ　７０１（４，４’－ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、三洋貿易（株）販売）

〔発色剤〕
・Ｎ－１：ＬＣＶ（ロイコクリスタルバイオレット、東京化成工業（株）製、ラジカルにより発色する色素）

〔連鎖移動剤〕
・Ｎ－フェニルグリシン（東京化成工業（株）製）

〔防錆剤〕
・ＣＢＴ－１（カルボキシベンゾトリアゾール、城北化学工業（株）製）

〔重合禁止剤〕
・ＴＤＰ－Ｇ（フェノチアジン、川口化学工業（株）製）

〔酸化防止剤〕
　フェニドン（東京化成工業（株）製）

〔界面活性剤〕
　メガファックＦ－５５２（フッ素系界面活性剤、ＤＩＣ（株）製）

　以下の成分を混合して感光性樹脂組成物１を調製した。
・重合体Ａ（固形分濃度３０．０％）：５０．００部
・Ｂ－１：３６．２０部
・Ｂ－２：５．００部
・光重合開始剤：７．００部
・増感剤：０．５０部
・Ｎ－１：０．４０部
・連鎖移動剤：０．２０部
・防錆剤：０．１０部
・重合禁止剤：０．３０部
・酸化防止剤：０．０１部
・界面活性剤：０．２９部
・メチルエチルケトン（三協化学（株）製）：３９６．００部
・ＰＧＭＥＡ（昭和電工（株）製）：１７０．００部

＜第１樹脂層形成用組成物１の調製＞
　以下の組成で調合し、孔径５．０μｍのポリテトラフルオロエチレン製フィルターで濾過することで、第１樹脂層形成用組成物１を得た。
　水：９１５．０質量部
　メタノール：９１５．０質量部
　クラレポバール　ＰＶＡ－２０５（ポリビニルアルコール、（株）クラレ製）：４６．７質量部
　ポリビニルピロリドン　Ｋ－３０（（株）日本触媒製）：２３．３質量部
　スノーテックスＯＹＬ（シリカ粒子、粒子径５０ｎｍ～８０ｎｍ、日産化学（株）製）：１５０質量部
　メガファックＦ－４４４（フッ素系界面活性剤、ＤＩＣ（株）製）：０．０５質量部

＜感光性転写材料の作製＞
　表１に記載の保護フィルムの上に感光性樹脂組成物１を、スリット状ノズルを用いて乾燥膜厚が３．０μｍとなるように塗布した。上記塗布後、１００℃のコンベクションオーブンで２分間乾燥させ、感光性樹脂層を形成した。上記感光性樹脂層の形成後、上記感光性樹脂層上に第１樹脂層形成用組成物１を乾燥膜厚が１．０μｍとなるように塗布した。その後、１００℃のコンベクションオーブンで２分間乾燥させ、感光性樹脂層上に第１樹脂層を有するフィルムＡを作製した。
　表１に記載の仮支持体上（コロナ処理ＰＥＴの場合はコロナ処理面側）に、表１に記載の第２樹脂層用樹脂ペレットをダイ下樹脂温度が２９０℃になるように溶融し、押し出しラミネート法を用いて８０ｍ／ｍｉｎの速度で、乾燥膜厚が５μｍになるように第２樹脂層を形成したフィルムＢを作製した。
　上記フィルムＡの第１樹脂層と上記フィルムＢの第２樹脂層とが接触するように、６０℃、１０ｍ／ｍｉｎの速度で熱ラミネートして、感光性転写材料を作製した。
　比較例１は、表１に記載の樹脂の固形分２０質量％溶液、溶剤は、メチルエチルケトン：ＰＧＭＥＡ＝４：１（質量比）を使用した。）を乾燥膜厚が５μｍとなるように塗布した。その後、１００℃のコンベクションオーブンで２分間乾燥させ、第２樹脂層を形成したフィルムＢを作製した。実施例１及び比較例１以外は、実施例１と同様にして、感光性転写材料を作製した。
　なお、比較例２及び３では、フィルムＢとして、第２樹脂層（第２樹脂層）付き仮支持体であるパナプロテクトＧＳ－３８（仮支持体の厚さ３８μｍ、ポリエチレン構造を有しない粘着剤からなる第２樹脂層、パナック（株）製）、又は、Ｎｉｔｔｏ粘着テープ　Ｎｏ．３１Ｂ（仮支持体の厚さ２５μｍ、ポリエチレン構造を有しないアクリル系粘着剤からなる第２樹脂層、日東電工（株）製）を使用した。

＜銅層付きＰＥＴ基板の作製＞
　厚さ１００μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム上に、スパッタ法にて厚さ２００ｎｍの銅層を作製し、銅層付きＰＥＴ基板を作製した。

＜樹脂パターンの作製＞
　作製した感光性転写材料を、保護フィルムを剥離した後、線圧０．６ＭＰａ、線速度（ラミネート速度）３．６ｍ／ｍｉｎのラミネート条件で上記銅層付きＰＥＴ基板にラミネートした。
　その後、第２樹脂層のついた仮支持体を剥離し、感光性転写材料の感光性樹脂層とガラス製の線幅３μｍ～２０μｍのラインアンドスペースのパターン（Ｄｕｔｙ比　１：１）を有するマスクを、露光位置（アライメント）を調整しながらコンタクトさせ、上記マスクを介して超高圧水銀灯で露光後、３０分静置した後に現像し、樹脂パターンを形成した。現像は２８℃の１．０質量％炭酸ナトリウム水溶液を用い、シャワー現像で４０秒行った。

＜回路配線パターンの作製＞
　パターン形成した試料を銅エッチング液（Ｃｕ－０２：関東化学（株）製）により２３℃で３０秒エッチングし、４質量％水酸化ナトリウム溶液を用いてレジスト剥離を行うことで回路配線パターンを作製した。
　実施例１～１４において得られた回路配線基板を、顕微鏡で観察したところ、剥がれや欠けなどは無く、きれいなパターンであった。

〔評価〕
＜第２樹脂層の平面性評価＞
　仮支持体上に形成した第２樹脂層の表面の平面性を、光学顕微鏡で反射、５倍の対物レンズ、微分干渉法で観察評価した。
　　３：凹凸による陰影が観察されない。
　　２：凹凸がわずかに観察される。
　　１：強い陰影が観察される。
　２以上が許容範囲である。

＜第１樹脂層／第２樹脂層間の剥離力の測定＞
　作製した感光性転写材料から保護フィルムを剥離した後ロール温度１００℃、線圧１．０ＭＰａ、線速度４ｍ／ｍｉｎのラミネート条件で、上記銅層付きＰＥＴ基板にラミネートした。
　得られた銅層付きＰＥＴ基板にラミネートした感光性転写材料を４．５ｃｍ幅にカットし、両面テープを貼り付けた１ｍｍ厚のポリカーボネート板に銅層付きＰＥＴ基板側を貼り付け、試験用サンプルを作製した。
　得られた試験用サンプルを、テンシロンを用いて感光性転写材料の仮支持体を１８０度曲げる方向に引っ張り、第１樹脂層／第２樹脂層間の剥離力を測定した。剥離力の測定は、剥離速度３００ｍｍ／ｍｉｎで行った。

＜感光性樹脂層／保護フィルム間の剥離力の測定＞
　作製した感光性転写材料を４．５ｃｍ幅にカットし、両面テープを貼り付けた１ｍｍ厚のポリカーボネート板に仮支持体側を貼り付け、試験用サンプルを作製した。
　得られた試験用サンプルを、テンシロンを用いて感光性転写材料の保護フィルムを１８０度曲げる方向に引っ張り、感光性樹脂層／保護フィルム間の剥離力を測定した。測定は剥離速度３００ｍｍ／ｍｉｎで行った。

＜第２樹脂層の水接触角の測定＞
　作製した感光性転写材料をロール温度１００℃、線圧１．０ＭＰａ、線速度４ｍ／ｍｉｎのラミネート条件で、上記銅層付きＰＥＴ基板にラミネートした。
　得られた銅層付きＰＥＴ基板にラミネートした感光性転写材料を第１樹脂層／第２樹脂層間で剥離し、以下の方法により、第２樹脂層の表面の水接触角を測定した。
　接触角計（協和界面科学（株）製、ＤＲＯＰＭＡＳＴＥＲ－５０１）を用い、２５℃の温度条件下で、測定面に精製水２μＬを着滴してから７秒後の接触角を液滴法にて測定した。

＜ラミネート性評価＞
　保護フィルムに感光性樹脂層と、第１樹脂層を塗布乾燥して形成したフィルムＡに、仮支持体上に第２樹脂層を形成したフィルムＢを、第１樹脂層と第２樹脂層とが接触するように１０ｍ／ｍｉｎの速度で貼り合わせた後、第１樹脂層と第２樹脂層との接着状況を確認した。
　　３：ラミネート温度２５℃で貼り合わせ可能であった。
　　２：ラミネート温度２５℃では貼り合わせできないが、ラミネート温度を６０℃で貼り合わせ可能であった。
　　１：ラミネート温度を６０℃としても貼り合わせできなかった。

＜保護フィルム剥離性評価＞
　作製した感光性転写材料を４．５ｃｍ×９ｃｍにカットし、保護フィルムを剥離して剥離界面を確認することを１０回繰り返した。
　　３：１０回とも全て、保護フィルムと感光性樹脂層との界面で剥離した。
　　２：１回以上９回以下の回数において、保護フィルムと感光性樹脂層との界面で剥離した。
　　１：１０回とも全て、保護フィルムと感光性樹脂層との界面以外の界面で剥離した。

＜第１樹脂層／第２樹脂層間の剥離性評価＞
　作製した感光性転写材料を４．５ｃｍ×９ｃｍにカットし、保護フィルムを剥離した後、ロール温度１００℃、線圧１．０ＭＰａ、線速度４ｍ／ｍｉｎのラミネート条件で、上記銅層付きＰＥＴ基板にラミネートした。
　得られた銅層付きＰＥＴ基板にラミネートした感光性転写材料の仮支持体を剥離して剥離界面を確認することを１０回繰り返した。
　　３：１０回とも全て、第１樹脂層と第２樹脂層との界面で剥離した。
　　２：１回以上９回以下の回数において、第１樹脂層と第２樹脂層との界面で剥離した。
　　１．１０回とも全て、第１樹脂層と第２樹脂層との界面以外の界面で剥離した。

　評価結果をまとめて表２に示す。

　表２に記載の注釈の詳細は、以下の通りである。
　＊１）：第２樹脂層と仮支持体の間で剥離するため剥離力の測定ができなかった。
　＊２）：感光性樹脂層が凝集破壊するため剥離力の測定ができなかった。
　＊３）：第２樹脂層と仮支持体の間で剥離するため凹凸の測定ができなかった。
　＊４）：感光性樹脂層が凝集破壊するため凹凸の測定ができなかった。

　上述した以外の、表１に記載の略称の詳細は、以下の通りである。
＜保護フィルム＞
　ＰＥＴ：厚さ２５μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム
　セラピールＢＸ８Ａ：厚さ２５μｍの離型ＰＥＴフィルム（東レ（株）製）

＜第２樹脂層＞
　エボリューＳＰ１０７１Ｃ：直鎖状低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）、（株）プライムポリマー製
　ＥＶＡ　ＥＶ５５０：エチレン－酢酸ビニル共重合体（Ｅ／ＶＡ）、酢酸ビニル由来の構成単位の含有量１４質量％、メルトマスフローレート（１９０℃／２．１６ｋｇ荷重）１５ｇ／１０ｍｉｎ、三井・ダウポリケミカル（株）製エバフレックスＥＶ５５０
　ＥＶＡ　Ｐ１００７：エチレン－酢酸ビニル共重合体（Ｅ／ＶＡ）、酢酸ビニル由来の構成単位の含有量１０質量％、メルトマスフローレート（１９０℃／２．１６ｋｇ荷重）９ｇ／１０ｍｉｎ、三井・ダウポリケミカル（株）製エバフレックスＰ１００７
　ニュクレルＡＮ４２１４Ｃ：エチレン－メタクリル酸共重合体（Ｅ／ＭＡ）、メタクリル酸由来の構成単位の含有量４質量％、メルトマスフローレート（１９０℃／２．１６ｋｇ荷重）７ｇ／１０ｍｉｎ、三井・ダウポリケミカル（株）製
　ニュクレルＡＮ４２２８Ｃ：エチレン－メタクリル酸共重合体（Ｅ／ＭＡ）、メタクリル酸由来の構成単位の含有量４質量％、メルトマスフローレート（１９０℃／２．１６ｋｇ荷重）１４ｇ／１０ｍｉｎ、三井・ダウポリケミカル（株）製
　ハイミランＡＭ７３２６：エチレン－メタクリル酸共重合体の一部Ｚｎ塩（Ｅ／ＭＡ　Ｚｎ）、メルトマスフローレート（１９０℃／２．１６ｋｇ荷重）１．１ｇ／１０ｍｉｎ、三井・ダウポリケミカル（株）製
　ハイミラン１６５２：エチレン－メタクリル酸共重合体の一部Ｚｎ塩（Ｅ／ＭＡ　Ｚｎ）、メルトマスフローレート（１９０℃／２．１６ｋｇ荷重）５．５ｇ／１０ｍｉｎ、三井・ダウポリケミカル（株）製
　合成品　Ｍｗ＝１８，０００：エチルアクリレート（ＥＡ）／メチルメタクリレート（ＭＭＡ）＝４０／６０（質量比）で共重合して得られた樹脂

＜仮支持体＞
　コロナ処理ＰＥＴ：東レ（株）製片面コロナ処理ＰＥＴ仮支持体であるルミラー＃２５Ｅ－Ｓ１０５　２５μｍ厚を使用し、コロナ処理面側に第２樹脂層等を形成した。

　上記表１及び表２に示すように、実施例１～１４の感光性転写材料は、比較例１～３の感光性転写材料と比べ、露光後の引き置き時間の経過に伴う樹脂パターンの線幅変化が小さい。
　また、実施例１～１４の感光性転写材料は、第２樹脂層の平面性、ラミネート性、及び、保護フィルム剥離性にも優れる。

　２０２０年９月１７日に出願された日本国特許出願第２０２０－１５６７３３号の開示は、その全体が参照により本明細書に取り込まれる。
　本明細書に記載された全ての文献、特許出願、及び、技術規格は、個々の文献、特許出願、及び、技術規格が参照により取り込まれることが具体的かつ個々に記された場合と同程度に、本明細書中に参照により取り込まれる。

　１０：仮支持体、１２：第２樹脂層、１４：第１樹脂層、１６：感光性樹脂層、１８：保護フィルム、１００：感光性転写材料、ＧＲ：遮光部（非画像部）、ＥＸ：露光部（画像部）、ＤＬ：アライメント合せの枠

Claims

　保護フィルムと、感光性樹脂層と、第１樹脂層と、第２樹脂層と、仮支持体とをこの順に有し、
　前記第１樹脂層が、粒子を含み、
　前記第１樹脂層と前記第２樹脂層とが接触しており、
　前記第１樹脂層と前記第２樹脂層とが剥離可能であり、
　前記第２樹脂層が、ポリエチレン構造を有する樹脂を含有する
　感光性転写材料。
　前記ポリエチレン構造を有する樹脂が、エチレン－（メタ）アクリル酸共重合構造を有する樹脂である請求項１に記載の感光性転写材料。
　前記ポリエチレン構造を有する樹脂が、エチレン－（メタ）アクリル酸金属塩共重合構造を有するアイオノマー樹脂である請求項１又は請求項２に記載の感光性転写材料。
　前記第１樹脂層と前記第２樹脂層との間の剥離力が、１．０ｇｆ／ｃｍ以上である請求項１～請求項３のいずれか１項に記載の感光性転写材料。
　前記第１樹脂層と前記第２樹脂層との間の剥離力が、前記感光性樹脂層と前記保護フィルムとの間の剥離力より大きい値である請求項１～請求項４のいずれか１項に記載の感光性転写材料。
　前記第２樹脂層の前記第１樹脂層側の表面における水接触角が、９０度以下である請求項１～請求項５のいずれか１項に記載の感光性転写材料。
　前記第１樹脂層と前記第２樹脂層とを剥離した後の前記第１樹脂層の表面が、前記粒子により形成された凹凸を有する請求項１～請求項６のいずれか１項に記載の感光性転写材料。
　請求項１～請求項７のいずれか１項に記載の感光性転写材料から前記保護フィルムを剥離する工程、
　前記保護フィルムが剥離された前記感光性転写材料における前記感光性樹脂層側の最外層を、基材に接触させて貼り合わせる工程、
　前記基材に貼り合わせた感光性転写材料から前記仮支持体及び前記第２樹脂層を剥離する工程、
　前記第１樹脂層に露光マスクを接触させ、前記露光マスクを介して前記感光性樹脂層を露光する工程、
　前記感光性樹脂層を現像して樹脂パターンを形成する工程、をこの順で含む
　樹脂パターンの製造方法。
　請求項８に記載の樹脂パターンの製造方法により形成された樹脂パターンをマスクとして導電層をエッチング処理する工程を含む
　回路配線の製造方法。
　請求項８に記載の樹脂パターンの製造方法により形成された樹脂パターンをマスクとして導電層をエッチング処理して、タッチパネル用配線を形成する工程を含む
　タッチパネルの製造方法。