WO2022014532A1

WO2022014532A1 - 光反射装置、センサ装置、および照明装置

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Publication number: WO2022014532A1
Application number: PCT/JP2021/026145
Authority: WO
Inventors: 宙井上
Original assignee: 株式会社小糸製作所
Priority date: 2020-07-15
Filing date: 2021-07-12
Publication date: 2022-01-20
Also published as: US20230273426A1; CN116157625A; JPWO2022014532A1; EP4184230A4; EP4184230A1

Abstract

光反射部材（１１）は、入射する光（ＩＬ）を反射可能な鏡面（１１１）を有している。第一腕部材（１２１）と第二腕部材（１２２）は、光反射部材（１１）に接合されている。第一アクチュエータ（１３１）と第二アクチュエータ（１３２）は、それぞれ第一腕部材（１２１）と第二腕部材（１２２）を鏡面（１１１）と交差する方向へ変位させることにより、光（ＩＬ）に対する鏡面（１１１）の角度を変更する。光反射部材（１１）を形成するための材料の熱膨張係数は、第一腕部材（１２１）と第二腕部材（１２２）の各々を形成するための材料の熱膨張係数よりも小さい。

Description

光反射装置、センサ装置、および照明装置

　本開示は、光源から出射された光を所望の方向へ反射する光反射装置に関連する。本開示は、当該光反射装置を備えたセンサ装置および照明装置の各々にも関連する。

　特許文献１は、照明装置の一例である車両用灯具に搭載される光反射装置の一例として、ＭＥＭＳミラーを開示している。ＭＥＭＳミラーは、レーザ光源から出射された光の反射方向を変更可能に構成されている。ＭＥＭＳミラーによる反射方向に応じてレーザ光源の点消灯を制御することにより、所望の配光パターンが車両の外部に形成される。

特開２０２０－０５７５１１号公報

　熱的な環境変化に起因して反射光の進行方向が所望の方向からずれる事態の発生を抑制することが求められている。

　上記の要求に応えるために提供されうる本開示の第一態様は、光反射装置であって、
　光を反射可能な鏡面を有している光反射部材と、
　前記光反射部材に接合されている腕部材と、
　前記腕部材を前記鏡面と交差する方向へ変位させることにより前記光に対する前記鏡面の角度を変更するアクチュエータと、
を備えており、
　前記光反射部材を形成するための材料の熱膨張係数は、前記腕部材を形成するための材料の熱膨張係数よりも小さい。

　第一態様に係る光反射装置が置かれている環境の熱的変化は、光反射部材と腕部材の各々に変形をもたらしうる。しかしながら、鏡面に近づくほど熱膨張係数が小さくなるように光反射装置が構成されることにより、環境の熱的変化に起因する鏡面における歪みの発生を抑制しやすい。したがって、鏡面に反射された光の進行方向が環境の熱的変化に起因して所望の方向からずれる事態の発生を抑制できる。

　上記の要求に応えるために提供されうる本開示の第二態様は、光反射装置であって、
　光を反射可能な鏡面を有している光反射部材と、
　前記光反射部材に接合されている支持部材と、
　前記支持部材に接合されている腕部材と、
　前記腕部材を前記鏡面と交差する方向へ変位させることにより前記光に対する前記鏡面の角度を変更するアクチュエータと、
を備えており、
　前記光反射部材を形成するための材料の熱膨張係数は、前記支持部材を形成するための材料の熱膨張係数と前記腕部材を形成するための材料の熱膨張係数の少なくとも一方よりも小さい。

　第二態様に係る光反射装置が置かれている環境の熱的変化は、光反射部材、支持部材、および腕部材の各々に変形をもたらしうる。しかしながら、鏡面に近づくほど熱膨張係数が小さくなるように光反射装置が構成されることにより、環境の熱的変化に起因する鏡面における歪みの発生を抑制しやすい。したがって、鏡面に反射された光の進行方向が環境の熱的変化に起因して所望の方向からずれる事態の発生を抑制できる。

　上記の要求に応えるために提供されうる本開示の第三態様は、光反射装置であって、
　光を反射可能な鏡面を有している光反射部材と、
　前記光反射部材に接合されている腕部材と、
　前記腕部材を前記鏡面と交差する方向へ変位させることにより前記光に対する前記鏡面の角度を変更するアクチュエータと、
を備えており、
　前記光反射部材は、前記鏡面からの距離が長くなる肉厚部を有しており、
　前記腕部材は、前記肉厚部に接合されている。

　第三態様に係る光反射装置が置かれている環境の熱的変化は、光反射部材と腕部材の各々に変形をもたらしうる。変形に伴って生じうる歪み応力は、腕部材が光反射部材に接合されている箇所に集中しやすい。しかしながら、このような箇所において鏡面からの距離が長くなるように肉厚部が形成されることにより、歪み応力を鏡面に到達しにくくできる。すなわち、環境の熱的変化に起因する鏡面における歪みの発生を抑制しやすいので、鏡面に反射された光の進行方向が環境の熱的変化に起因して所望の方向からずれる事態の発生を抑制できる。

　上記の要求に応えるために提供されうる本開示の第四態様は、光反射装置であって、
　光を反射可能な鏡面を有している光反射部材と、
　前記光反射部材に接合されている支持部材と、
　前記支持部材に接合されている腕部材と、
　前記腕部材を前記鏡面と交差する方向へ変位させることにより前記光に対する前記鏡面の角度を変更するアクチュエータと、
を備えており、
　前記光反射部材と前記支持部材の少なくとも一方には、前記鏡面と交差する方向の寸法が大きくなる凸部が形成されており、
　前記光反射部材と前記支持部材の接合は、前記凸部においてなされている。

　第四態様に係る光反射装置が置かれている環境の熱的変化は、光反射部材、支持部材、および腕部材の各々に変形をもたらしうる。変形に伴って生じうる歪み応力は、狭い領域に限定された光反射部材と支持部材の接合部に集中しやすい。しかしながら、このような箇所において鏡面までの距離が長くなるように凸部が形成されることにより、歪み応力を鏡面に到達しにくくできる。すなわち、環境の熱的変化に起因する鏡面における歪みの発生を抑制しやすいので、鏡面に反射された光の進行方向が環境の熱的変化に起因して所望の方向からずれる事態の発生を抑制できる。

　上記の要求に応えるために提供されうる本開示の第五態様は、センサ装置であって、
　第一態様から第四態様のいずれかに係る光反射装置と、
　非可視光を出射する発光素子と、
　入射した非可視光の強度に対応する信号を出力する受光素子と、
を備えており、
　前記光反射装置の前記鏡面は、前記発光素子から出射された非可視光を検出領域へ向けて反射するとともに、当該検出領域内に位置する物体に反射された非可視光を前記受光素子へ向けて反射する。

　前述の通り、環境の熱的変化に起因する光反射部材の鏡面における歪みの発生が抑制されているので、鏡面を利用するセンサ装置による物体の検出精度の低下もまた抑制されうる。

　上記の要求に応えるために提供されうる本開示の第六態様は、照明装置であって、
　第一態様から第四態様のいずれかに係る光反射装置と、
　可視光を出射する光源と、
を備えており、
　前記光反射装置の前記鏡面は、前記可視光を照明領域へ向けて反射する。

　前述の通り、環境の熱的変化に起因する光反射部材の鏡面における歪みの発生が抑制されているので、鏡面を利用して照明装置により形成される配光パターンの配置や形状に係る精度の低下もまた抑制されうる。

　上記の要求に応えるために提供されうる本開示の第七態様は、光反射装置であって、
　光を反射可能な鏡面を有している光反射部材と、
　前記光反射部材に接合されている腕部材と、
　前記腕部材を前記鏡面と交差する方向へ変位させることにより前記光に対する前記鏡面の角度を変更するアクチュエータと、
　前記光反射部材と前記腕部材の少なくとも一方に生じた歪みに対応する歪み検出信号を出力する歪みセンサと、
を備えている。

　第七態様に係る光反射装置が置かれている環境の熱的変化は、光反射部材と腕部材の各々に変形をもたらしうる。そのような変形は、光反射部材の鏡面に歪みを生じさせ、鏡面に反射された光の進行方向が所望の方向からずれる事態が発生しうる。しかしながら、歪みセンサから出力される歪み検出信号を通じて光反射部材と腕部材の少なくとも一方に生じた変形を検出することにより、鏡面に生じた歪みに起因する反射光の進行方向のずれを解消するような反射角度の変更を光反射部材に行なわせる制御が可能になる。したがって、鏡面に反射された光の進行方向が環境の熱的変化に起因して所望の方向からずれる事態の発生を抑制できる。

　上記の要求に応えるために提供されうる本開示の第八態様は、光反射装置であって、
　光を反射可能な鏡面を有している光反射部材と、
　前記光反射部材に接合されている支持部材と、
　前記支持部材に接合されている腕部材と、
　前記腕部材を前記鏡面と交差する方向へ変位させることにより前記光に対する前記鏡面の角度を変更するアクチュエータと、
　前記光反射部材、前記支持部材、および前記腕部材の少なくとも一つに生じた歪みに対応する信号を出力する歪みセンサと、
を備えている。

　第八態様に係る光反射装置が置かれている環境の熱的変化は、光反射部材、支持部材、および腕部材の各々に変形をもたらしうる。そのような変形は、光反射部材の鏡面に歪みを生じさせ、鏡面に反射された光の進行方向が所望の方向からずれる事態が発生しうる。しかしながら、歪みセンサから出力される歪み検出信号を通じて光反射部材、支持部材、および腕部材の少なくとも一つに生じた変形を検出することにより、鏡面に生じた歪みに起因する反射光の進行方向のずれを解消するような反射角度の変更を光反射部材に行なわせる制御が可能になる。したがって、鏡面に反射された光の進行方向が環境の熱的変化に起因して所望の方向からずれる事態の発生を抑制できる。

　上記の要求に応えるために提供されうる本開示の第九態様は、センサ装置であって、
　第七態様と第八態様のいずれかに係る光反射装置と、
　非可視光を出射する発光素子と、
　入射した非可視光の強度に対応する信号を出力する受光素子と、
　前記歪み検出信号に基づいて、前記光反射装置における前記鏡面の角度を制御する制御部と、
を備えており、
　前記光反射装置の前記鏡面は、前記発光素子から出射された非可視光を検出領域へ向けて反射するとともに、当該検出領域内に位置する物体に反射された非可視光を前記受光素子へ向けて反射する。

　このような構成によれば、鏡面に反射された光の進行方向が環境の熱的変化に起因して所望の方向からずれる事態の発生が抑制されるので、鏡面を利用するセンサ装置による物体の検出精度の低下もまた抑制されうる。

　上記の要求に応えるために提供されうる本開示の第十態様は、照明装置であって、
　第七態様と第八態様のいずれかに係る光反射装置と、
　可視光を出射する光源と、
　前記歪み検出信号に基づいて、前記光反射装置における前記鏡面の角度を制御する制御部と、
を備えており、
　前記光反射装置の前記鏡面は、前記可視光を照明領域へ向けて反射する。

　このような構成によれば、鏡面に反射された光の進行方向が環境の熱的変化に起因して所望の方向からずれる事態の発生が抑制されるので、鏡面を利用して照明装置により形成される配光パターンの配置や形状に係る精度の低下もまた抑制されうる。

第一実施形態に係る光反射装置の構成を例示している。第一実施形態に係る光反射装置の構成を例示している。第一実施形態に係る光反射装置の動作を例示している。第二実施形態に係る光反射装置の構成を例示している。第三実施形態に係る光反射装置の構成の一例を示している。第三実施形態に係る光反射装置の構成の別例を示している。第三実施形態に係る光反射装置の構成の別例を示している。第三実施形態に係る光反射装置の構成の別例を示している。第三実施形態に係る光反射装置の構成の別例を示している。第四実施形態に係る光反射装置の構成の一例を示している。第四実施形態に係る光反射装置の構成の別例を示している。第四実施形態に係る光反射装置の構成の別例を示している。第一実施形態から第四実施形態の各々に係る光反射装置が備えうる筐体を例示している。図１３における断面XIVを矢印方向から見た構成を例示している。図１３における断面XVを矢印方向から見た構成を例示している。第一実施形態から第四実施形態の各々に係る光反射装置が搭載されうるセンサ装置の構成を例示している。第一実施形態から第四実施形態の各々に係る光反射装置が搭載されうる照明装置の構成を例示している。図１６のセンサ装置と図１７の照明装置が搭載されうる車両を例示している。第五実施形態に係る光反射装置の構成を例示している。第五実施形態に係る光反射装置の構成を例示している。第五実施形態に係る光反射装置の動作を例示している。第六実施形態に係る光反射装置の構成を例示している。第七実施形態に係る光反射装置の構成の一例を示している。第七実施形態に係る光反射装置の構成の別例を示している。第七実施形態に係る光反射装置の構成の別例を示している。第七実施形態に係る光反射装置の構成の別例を示している。第七実施形態に係る光反射装置の構成の別例を示している。第八実施形態に係る光反射装置の構成の一例を示している。第八実施形態に係る光反射装置の構成の別例を示している。第八実施形態に係る光反射装置の構成の別例を示している。第五実施形態から第八実施形態の各々に係る光反射装置が搭載されうるセンサ装置の構成を例示している。第五実施形態から第八実施形態の各々に係る光反射装置が搭載されうる照明装置の構成を例示している。

　添付の図面を参照しつつ、実施形態の例について以下詳細に説明する。以下の説明に用いられる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするために縮尺を適宜変更している。

　添付の図面において、矢印Ｆは、図示された構造の前方向を表している。矢印Ｂは、図示された構造の後方向を表している。矢印Ｌは、図示された構造の左方向を表している。矢印Ｒは、図示された構造の右方向を表している。矢印Ｕは、図示された構造の上方向を表している。矢印Ｄは、図示された構造の下方向を表している。これらの方向に係る表現は、説明の便宜のために用いられており、図示された構造の実使用時における方向や姿勢を限定する意図はない。

　ＡおよびＢという二つの主体について本明細書で用いられる「ＡとＢの少なくとも一方」という表現は、Ａのみが特定される場合、Ｂのみが特定される場合、およびＡとＢの双方が特定される場合を含む意味である。ＡとＢの各主体は、特に断りのない限り単数であってもよいし、複数であってもよい。

　Ａ、Ｂ、およびＣという三つの主体について本明細書で用いられる「Ａ、Ｂ、およびＣの少なくとも一つ」という表現は、Ａのみが特定される場合、Ｂのみが特定される場合、Ｃのみが特定される場合、ＡとＢが特定される場合、ＢとＣが特定される場合、ＡとＣが特定される場合、およびＡ、Ｂ、Ｃの全てが特定される場合を含む意味である。Ａ、Ｂ、およびＣの各主体は、特に断りのない限り単数であってもよいし、複数であってもよい。記述の対象となる主体が四つ以上の場合についても同様である。

　図１は、第一実施形態に係る光反射装置１０Ａの構成を模式的に例示している。図２は、前方から見た光反射装置１０Ａを例示している。

　光反射装置１０Ａは、光反射部材１１を備えている。光反射部材１１は、入射する光ＩＬを反射可能な鏡面１１１を有している。鏡面１１１は、研磨などによる鏡面加工を光反射部材１１の基材に施すことによって形成されてもよいし、当該基材にアルミニウムや金などの金属層が蒸着や接着されることによって形成されてもよい。本例においては、鏡面１１１は、その法線方向から見たとき円形を呈している。鏡面の直径は、例えば１０ｍｍである。鏡面１１１の形状と寸法は、光反射装置１０Ａに求められる仕様に応じて適宜に定められうる。

　光反射装置１０Ａは、第一腕部材１２１を備えている。第一腕部材１２１は、光反射部材１１の鏡面１１１と交差する方向を長手方向とするように延びている。第一腕部材１２１の長手方向における一端部は、光反射部材１１の背面１１２に接合されている。背面１１２は、鏡面１１１と異なる面である。換言すると、背面１１２は、鏡面として構成されていない面である。

　光反射装置１０Ａは、第二腕部材１２２を備えている。第二腕部材１２２は、光反射部材１１の鏡面１１１と交差する方向を長手方向とするように延びている。第二腕部材１２２の長手方向における一端部は、光反射部材１１の背面１１２に接合されている。

　本明細書で用いられる「接合」という語は、二つの部材の界面同士が、他の部材や材料の介在なしに一体不可分とされる処理を意味する。当該処理の例としては、ウェハ直接接合、陽極接合、溶融接合などが挙げられる。すなわち、当該処理は、機械的接合、接着、はんだ付け、蝋付けなどとは区別される。

　光反射装置１０Ａは、第一アクチュエータ１３１を備えている。第一アクチュエータ１３１は、第一腕部材１２１を支持している。第一アクチュエータ１３１は、第一腕部材１２１を光反射部材１１の鏡面１１１と交差する方向に変位させる。例えば、第一アクチュエータ１３１は、印加される電圧に応じて当該方向に沿って伸縮する圧電素子を含むように構成されうる。

　光反射装置１０Ａは、第二アクチュエータ１３２を備えている。第二アクチュエータ１３２は、第二腕部材１２２を支持している。第二アクチュエータ１３２は、第二腕部材１２２を光反射部材１１の鏡面１１１と交差する方向に変位させる。例えば、第二アクチュエータ１３２は、印加される電圧に応じて当該方向に沿って伸縮する圧電素子を含むように構成されうる。

　図３は、第一アクチュエータ１３１により第一腕部材１２１が後方へ引かれ、かつ第二アクチュエータ１３２により第二腕部材１２２の初期状態が維持されている状態が例示されている。入射する光ＩＬに対する光反射部材１１の鏡面１１１の角度が図１に例示された初期状態から変化することにより、反射された光ＲＬの進行方向が変更される。すなわち、第一アクチュエータ１３１による第一腕部材１２１の変位量と第二アクチュエータ１３２による第二腕部材１２２の変位量の各々が適宜に設定されることにより、光反射部材１１により反射された光ＲＬの進行方向を調節できる。

　本実施形態においては、光反射部材１１を形成するための材料と第一腕部材１２１および第二腕部材１２２の各々を形成するための材料は、光反射部材１１の熱膨張係数が第一腕部材１２１および第二腕部材１２２の各々の熱膨張係数よりも小さくなるように選択されている。

　例えば、光反射部材１１、第一腕部材１２１、および第二腕部材１２２の各々を形成しうる材料として、シリコン、ガラス、低融点ガラス、金属などが挙げられる。シリコンの熱膨張係数は、ガラスの熱膨張係数よりも小さい。ガラスの熱膨張係数は、低融点ガラスの熱膨張係数よりも小さい。低融点ガラスの熱膨張係数は、金属の熱膨張係数よりも小さい。したがって、一例として第一腕部材１２１と第二腕部材１２２の各々が金属により形成される場合、光反射部材１１は、シリコン、ガラス、および低融点ガラスのいずれかにより形成されうる。別例として光反射部材１１がガラスにより形成される場合、第一腕部材１２１と第二腕部材１２２の各々は、低融点ガラスまたは金属により形成されうる。

　光反射装置１０Ａが置かれている環境の熱的変化は、光反射部材１１、第一腕部材１２１、および第二腕部材１２２の各々に変形をもたらしうる。しかしながら、鏡面１１１に近づくほど熱膨張係数が小さくなるように光反射装置１０Ａが構成されることにより、環境の熱的変化に起因する鏡面１１１における歪みの発生を抑制しやすい。したがって、鏡面１１１に反射された光ＲＬの進行方向が環境の熱的変化に起因して所望の方向からずれる事態の発生を抑制できる。

　図４は、第二実施形態に係る光反射装置１０Ｂの構成を模式的に例示している。第一実施形態に係る光反射装置１０Ａの構成要素と実質的に同一の構成要素には同一の参照符号を付与し、繰り返しとなる説明を省略する。

　光反射装置１０Ｂは、支持部材１４を備えている。支持部材１４は、支持面１４１と背面１４２を備えている。支持面１４１は、光反射部材１１の背面１１２に接合されている。第一腕部材１２１の長手方向における一端部と第二腕部材１２２の長手方向に一端部は、背面１４２に接合されている。

　本実施形態においては、光反射部材１１を形成するための材料、第一腕部材１２１および第二腕部材１２２の各々を形成するための材料、ならびに支持部材１４を形成するための材料は、光反射部材１１の熱膨張係数が第一腕部材１２１および第二腕部材１２２の各々の熱膨張係数と支持部材１４の熱膨張係数の少なくとも一方よりも小さくなるように選択されている。

　一例として、光反射部材１１の熱膨張係数が支持部材１４の熱膨張係数よりも小さくなるように構成され、支持部材１４の熱膨張係数が第一腕部材１２１および第二腕部材１２２の各々の熱膨張係数よりも小さくなるように構成されうる。すなわち、鏡面１１１に近づくに連れて徐々に熱膨張係数が小さくなるように構成されうる。

　光反射部材１１と支持部材１４は、同じ材料により形成されてもよい。この場合、当該材料の熱膨張係数は、第一腕部材１２１と第二腕部材１２２の各々を形成する材料の熱膨張係数よりも小さくなるように選択される。

　支持部材１４、第一腕部材１２１、および第二腕部材１２２は、同じ材料により形成されてもよい。この場合、当該材料の熱膨張係数は、光反射部材１１を形成する材料の熱膨張係数よりも大きくなるように選択される。

　光反射部材１１、支持部材１４、第一腕部材１２１、および第二腕部材１２２の各々を形成する材料は、先に例示されたシリコン、ガラス、低融点ガラス、および金属から上記の条件を満足するように選択されうる。

　光反射装置１０Ｂが置かれている環境の熱的変化は、光反射部材１１、支持部材１４、第一腕部材１２１、および第二腕部材１２２の各々に変形をもたらしうる。しかしながら、鏡面１１１に近づくほど熱膨張係数が小さくなるように光反射装置１０Ｂが構成されることにより、環境の熱的変化に起因する鏡面１１１における歪みの発生を抑制しやすい。したがって、鏡面１１１に反射された光ＲＬの進行方向が環境の熱的変化に起因して所望の方向からずれる事態の発生を抑制できる。

　図５は、第三実施形態に係る光反射装置１０Ｃの一部を例示している。第一実施形態に係る光反射装置１０Ａの構成要素と実質的に同一の構成要素には同一の参照符号を付与し、繰り返しとなる説明を省略する。

　本実施形態においては、光反射部材１１の背面１１２は、鏡面１１１からの距離が長くなる肉厚部１１２ａを含んでいる。例えば、鏡面１１１の直径が１０ｍｍである場合、肉厚部１１２ａにおける鏡面１１１からの距離は、肉厚部１１２ａとして形成されていない部分における鏡面１１１からの距離よりも０．５ｍｍ～１ｍｍ程度長い。第一腕部材１２１と第二腕部材１２２の各々は、肉厚部１１２ａに接合されている。

　光反射装置１０Ｃが置かれている環境の熱的変化は、光反射部材１１、第一腕部材１２１、および第二腕部材１２２の各々に変形をもたらしうる。変形に伴って生じうる歪み応力は、第一腕部材１２１および第二腕部材１２２の各々が光反射部材１１に接合されている箇所に集中しやすい。しかしながら、このような箇所において鏡面１１１からの距離が長くなるように肉厚部１１２ａが形成されることにより、歪み応力を鏡面１１１に到達しにくくできる。すなわち、環境の熱的変化に起因する鏡面１１１における歪みの発生を抑制しやすいので、鏡面１１１に反射された光ＲＬの進行方向が環境の熱的変化に起因して所望の方向からずれる事態の発生を抑制できる。

　第一腕部材１２１と第二腕部材１２２の各々を形成するための材料と、光反射部材１１を形成するための材料とは、同じであってもよいし相違していてもよい。両材料が相違する場合、光反射部材１１の熱膨張係数が第一腕部材１２１および第二腕部材１２２の各々の熱膨張係数よりも小さくなるように材料の選択がなされうる。すなわち、鏡面１１１に近づくほど熱膨張係数が小さくなるように光反射装置１０Ｃが構成されることにより、環境の熱的変化に起因する鏡面１１１における歪みの発生の抑制をさらに容易にできる。

　図５に示される例においては、複数の肉厚部１１２ａが光反射部材１１に形成されており、第一腕部材１２１と第二腕部材１２２の各々が、複数の肉厚部１１２ａの一つに接合されている。しかしながら、図６に例示されるように、第一腕部材１２１と第二腕部材１２２が単一の肉厚部１１２ａに接合されてもよい。

　図５と図６に示される例においては、第一腕部材１２１の長手方向における一端面と第二腕部材１２２の長手方向における一端面が、光反射部材１１の肉厚部１１２ａに接合されている。しかしながら、図７に例示されるように、第一腕部材１２１の長手方向における一端面に交差する側面が、肉厚部１１２ａの側部に接合されてもよい。同様に、第二腕部材１２２の長手方向における一端面に交差する側面が、肉厚部１１２ａの側部に接合されてもよい。

　図８に例示されるように、光反射部材１１の肉厚部１１２ａは、凹部１１２ｂを区画するように形成されうる。この場合、第一腕部材１２１と第二腕部材１２２は、凹部１１２ｂ内において光反射部材１１と接合されうる。具体的には、第一腕部材１２１の長手方向における一端面に交差する側面が、凹部１１２ｂの一部を区画している肉厚部１１２ａの側部に接合される。同様に、第二腕部材１２２の長手方向における一端面に交差する側面が、凹部１１２ｂの別の一部を区画している肉厚部１１２ａの側部に接合される。

　図９に例示されるように、光反射部材１１の肉厚部１１２ａは、複数の凹部１１２ｂを区画するように形成されうる。この場合、第一腕部材１２１と第二腕部材１２２は、複数の凹部１１２ｂの一つにおいて光反射部材１１と接合されうる。具体的には、第一腕部材１２１の長手方向における一端面に交差する側面が、複数の凹部１１２ｂの一つを区画している肉厚部１１２ａの側部に接合される。同様に、第二腕部材１２２の長手方向における一端面に交差する側面が、複数の凹部１１２ｂの別の一つを区画している肉厚部１１２ａの側部に接合される。

　図１０は、第四実施形態に係る光反射装置１０Ｄの構成を模式的に例示している。第二実施形態に係る光反射装置１０Ｂの構成要素と実質的に同一の構成要素には同一の参照符号を付与し、繰り返しとなる説明を省略する。

　本実施形態においては、光反射部材１１の背面１１２は、鏡面１１１と交差する方向に突出する凸部１１２ｃを含んでいる。すなわち、凸部１１２ｃにおいては、鏡面１１１と交差する方向における光反射部材１１の寸法が大きくなっている。鏡面１１１の直径が１０ｍｍである場合、鏡面１１１と交差する方向における凸部１１２ｃの高さｈと鏡面１１１と平行な方向における凸部１１２ｃの幅ｗは、例えば０．５ｍｍ～１ｍｍとされうる。高さｈと幅ｗは、同一であってもよいし、相違していてもよい。

　支持部材１４の支持面１４１は、光反射部材１１の背面１１２と対向している。支持面１４１は、凸部１１２ｃにおいて光反射部材１１と接合されている。

　光反射装置１０Ｄが置かれている環境の熱的変化は、光反射部材１１、支持部材１４、第一腕部材１２１、および第二腕部材１２２の各々に変形をもたらしうる。変形に伴って生じうる歪み応力は、狭い領域に限定された光反射部材１１と支持部材１４の接合部に集中しやすい。しかしながら、このような箇所において鏡面１１１までの距離が長くなるように凸部１１２ｃが形成されることにより、歪み応力を鏡面１１１に到達しにくくできる。すなわち、環境の熱的変化に起因する鏡面１１１における歪みの発生を抑制しやすいので、鏡面１１１に反射された光ＲＬの進行方向が環境の熱的変化に起因して所望の方向からずれる事態の発生を抑制できる。

　光反射部材１１の凸部１１２ｃに代えて、図１１に例示されるように、支持部材１４の支持面１４１は、鏡面１１１と交差する方向に突出する凸部１４１ａを含みうる。すなわち、凸部１４１ａにおいては、鏡面１１１と交差する方向における支持部材１４の寸法が大きくなっている。鏡面１１１の直径が１０ｍｍである場合、鏡面１１１と交差する方向における凸部１４１ａの高さｈと鏡面１１１と平行な方向における凸部１４１ａの幅ｗは、例えば０．５ｍｍ～１ｍｍとされうる。高さｈと幅ｗは、同一であってもよいし、相違していてもよい。このような構成によっても、前述の効果が得られる。

　少なくとも一つの凸部１１２ｃが形成された光反射部材１１と、少なくとも一つの凸部１４１ａが形成された支持部材１４が接合されてもよい。

　図１０または図１１に例示された構成に加えてあるいは代えて、図１２に例示されるように、支持部材１４の背面１４２は、鏡面１１１からの距離が長くなる肉厚部１４２ａを含みうる。例えば、鏡面１１１の直径が１０ｍｍである場合、肉厚部１４２ａにおける鏡面１１１からの距離は、肉厚部１４２ａとして形成されていない部分における鏡面１１１からの距離よりも０．５ｍｍ～１ｍｍ程度長い。第一腕部材１２１と第二腕部材１２２の各々は、肉厚部１４２ａに接合される。

　光反射装置１０Ｄが置かれている環境の熱的変化は、光反射部材１１、第一腕部材１２１、および第二腕部材１２２の各々に変形をもたらしうる。変形に伴って生じうる歪み応力は、第一腕部材１２１および第二腕部材１２２の各々が支持部材１４に接合されている箇所に集中しやすい。しかしながら、このような箇所において鏡面１１１からの距離が長くなるように肉厚部１４２ａが形成されることにより、歪み応力を鏡面１１１に到達しにくくできる。すなわち、環境の熱的変化に起因する鏡面１１１における歪みの発生を抑制しやすいので、鏡面１１１に反射された光ＲＬの進行方向が環境の熱的変化に起因して所望の方向からずれる事態の発生を抑制できる。

　本実施形態においては、光反射部材１１を形成するための材料、第一腕部材１２１および第二腕部材１２２の各々を形成するための材料、ならびに支持部材１４を形成するための材料は、光反射部材１１の熱膨張係数が第一腕部材１２１および第二腕部材１２２の各々の熱膨張係数と支持部材１４の熱膨張係数の少なくとも一方よりも小さくなるように選択されている。これにより、環境の熱的変化に起因する鏡面１１１における歪みの発生の抑制をさらに容易にできる。

　これまで説明した各実施形態においては、第一アクチュエータ１３１が第一腕部材１２１を変位させる圧電素子を備えている。同様に、第二アクチュエータ１３２が第二腕部材１２２を変位させる圧電素子を備えている。圧電素子は、変位量を精細かつ応答性高く制御するのに適している。

　しかしながら、第一腕部材１２１と第二腕部材１２２の各々が圧電素子を含むように構成してもよい。この場合、印加される電圧に応じて、第一腕部材１２１と第二腕部材１２２の各々が光反射部材１１の鏡面１１１と交差する方向に変位（伸縮）する。すなわち、第一腕部材１２１と第二腕部材１２２の各々は、アクチュエータの一部でありうる。

　図１３に例示されるように、第一実施形態に係る光反射装置１０Ａは、筐体１５と窓１６を備えうる。図１４は、図１３における断面XIVを矢印方向から見た構成を例示している。図１５は、図１３における断面XVを矢印方向から見た構成を例示している。

　筐体１５と窓１６は、光反射部材１１、第一腕部材１２１、および第二腕部材１２２の変位を許容しつつ気密的に封止された空間Ｓを区画している。具体的には、筐体１５は、樹脂モールドにより成形されている。本例においては、第一アクチュエータ１３１と第二アクチュエータ１３２の各々において変位を伴う部分が空間Ｓ内に露出している。他方、第一アクチュエータ１３１と第二アクチュエータ１３２の各々において変位を伴う部分は、樹脂モールド部分に覆われている。

　光源から到来する光ＩＬは、窓１６を通過して空間Ｓ内に配置された光反射部材１１の鏡面１１１に入射する。鏡面１１１により反射された光ＲＬは、窓１６を通過して筐体１５の外へ出る。

　鏡面１１１が気密的に封止された空間Ｓ内に配置されているので、外部環境の熱的変化の影響を鏡面１１１に及びにくくできる。これにより、環境の熱的変化に起因する鏡面１１１における歪みの発生の抑制をさらに容易にできる。

　空間Ｓ内には不活性ガスが充填されうる。この場合、外部環境の熱的変化の鏡面１１１への影響をさらに抑制できる。不活性ガスに代えて、乾燥空気が空間Ｓに充填されてもよい。

　第二実施形態に係る光反射装置１０Ｂ、第三実施形態に係る光反射装置１０Ｃ、および第四実施形態に係る光反射装置１０Ｄの各々もまた、図１３から図１５を参照して説明した構成を備えうる。

　以降の説明においては、第一実施形態に係る光反射装置１０Ａ、第二実施形態に係る光反射装置１０Ｂ、第三実施形態に係る光反射装置１０Ｃ、および第四実施形態に係る光反射装置１０Ｄを、必要に応じて「光反射装置１０」と総称する。

　第一実施形態から第四実施形態の各々において、光反射部材１１に入射する光ＩＬがレーザ光である場合、光反射装置１０が置かれている環境に熱的変化が生じやすい。したがって、これまで説明した各種の効果がより顕著となる。

　第一実施形態から第四実施形態の各々に係る光反射装置１０は、図１６に例示されるセンサ装置２０に搭載されうる。センサ装置２０は、所定の検出領域ＳＡ内に位置する物体ＯＢを検出するための装置である。

　センサ装置２０は、発光素子２１を備えている。発光素子２１は、非可視光ＩＶを出射するように構成されている。発光素子２１は、発光ダイオード、レーザダイオードなどにより実現されうる。

　センサ装置２０は、受光素子２２を備えている。受光素子２２は、発光素子２１により出射される非可視光ＩＶの波長に感度を有しており、入射した光の強度に対応する光検出信号ＬＳを出力するように構成されている。受光素子２２は、フォトダイオード、フォトトランジスタ、フォトレジスタなどにより実現されうる。

　センサ装置２０は、制御部２３を備えている。制御部２３は、発光素子２１に非可視光ＩＶを出射させる出射制御信号Ｃ１と、光反射装置１０に光反射部材１１の姿勢を調節させる反射制御信号Ｃ２を出力するように構成されている。制御部２３は、受光素子２２から出力された光検出信号ＬＳを受け付けるように構成されている。

　制御部２３は、出射制御信号Ｃ１を出力することにより、発光素子２１にパルス状の非可視光ＩＶを出射させる。発光素子２１から出射された非可視光ＩＶは、光反射部材１１に入射する。発光素子２１と光反射部材１１の間には、適宜の光学系が配置されうる。光反射部材１１の鏡面１１１に反射された非可視光ＩＶは、検出領域ＳＡに向かって進行する。

　非可視光ＩＶの進路上に物体ＯＢが位置している場合、非可視光ＩＶは、物体ＯＢにより反射され、光反射部材１１に向かって戻る。制御部２３は、反射制御信号Ｃ２を出力することにより、光反射装置１０の第一アクチュエータ１３１と第二アクチュエータ１３２の少なくとも一方に第一腕部材１２１と第二腕部材１２２の少なくとも一方を変位させる。これにより、光反射部材１１の鏡面１１１による反射角が変更される。具体的には、物体ＯＢからの戻り光が受光素子２２へ向かって反射されるように光反射部材１１の姿勢が調節される。光反射部材１１と受光素子２２の間には、適宜の光学系が配置されうる。

　鏡面１１１によって反射された物体ＯＢからの戻り光は、受光素子２２に入射する。受光素子２２においては、パルス状の受光強度変化が検出される。受光素子２２は、当該変化に対応する光検出信号ＬＳを出力する。制御部２３は、パルス状の受光強度変化に対応する光検出信号ＬＳを受け付けることにより、発光素子２１から出射され光反射部材１１により反射された非可視光ＩＶの進路上に物体ＯＢが位置していることを検出できる。また、制御部２３は、発光素子２１によって非可視光ＩＶが出射されてから受光素子２２によって戻り光が検出されるまでの時間に基づいて、物体ＯＢまでの距離を検出できる。

　制御部２３は、発光素子２１に非可視光ＩＶを出射させる時点での光反射部材１１の姿勢を反射制御信号Ｃ２で変更しながら、上述の処理を繰り返す。これにより、図１６に一点鎖線で示される範囲内において非可視光ＩＶの進行方向が変更される。当該範囲は、検出領域ＳＡに対応している。したがって、単一の発光素子２１から出射された非可視光ＩＶで検出領域ＳＡを走査することにより物体ＯＢを検出する構成が実現されうる。

　前述の通り、環境の熱的変化に起因する光反射部材１１の鏡面１１１における歪みの発生が抑制されているので、鏡面１１１を利用するセンサ装置２０による物体ＯＢの検出精度の低下もまた抑制されうる。

　上記のような機能を有する制御部２３は、出射制御信号Ｃ１と反射制御信号Ｃ２を出力する出力インターフェース、光検出信号ＬＳを受け付ける入力インターフェース、および出射制御信号Ｃ１、反射制御信号Ｃ２、および光検出信号ＬＳに係る処理を実行するプロセッサにより実現されうる。当該プロセッサは、マイクロコントローラ、ＡＳＩＣ、ＦＰＧＡなどの専用集積回路によって実現されうる。当該プロセッサは、汎用メモリと協働して動作する汎用プロセッサにより実現されてもよい。

　これまで説明した各実施形態に係る光反射装置１０は、図１７に例示される照明装置３０に搭載されうる。照明装置３０は、所定の照明領域ＬＡを可視光Ｖで照明する装置である。

　照明装置３０は、光源３１を備えている。光源３１は、可視光Ｖを出射するように構成されている。光源３１は、発光ダイオード、レーザダイオード、ＥＬ素子などの半導体発光素子により実現されうる。

　照明装置３０は、制御部３２を備えている。制御部３２は、光源３１に可視光Ｖを出射させる出射制御信号Ｃ３と、光反射装置１０に光反射部材１１の姿勢を調節させる反射制御信号Ｃ４を出力するように構成されている。

　制御部３２は、出射制御信号Ｃ３を出力することにより、光源３１に可視光Ｖを出射させる。光源３１から出射された可視光Ｖは、光反射部材１１に入射する。光源３１と光反射部材１１の間には、適宜の光学系が配置されうる。光反射部材１１の鏡面１１１に反射された可視光Ｖは、照明領域ＬＡに向かって進行する。可視光Ｖは、照明領域ＬＡにおいて所定の配光パターンＰの一部を形成する。

　制御部３２は、光源３１に可視光Ｖを出射させる時点での光反射部材１１の姿勢を反射制御信号Ｃ４で変更しながら、上述の処理を繰り返す。これにより、図１７に一点鎖線で示される範囲内において可視光Ｖの進行方向が変更される。当該範囲は、照明領域ＬＡに対応している。単一の光源３１から出射された可視光Ｖによる照明領域ＬＡの走査を、人間の目が認識不能な周波数で繰り返すことにより、単一の光源３１から出射された可視光Ｖで照明可能な面積よりも広い面積を有する配光パターンＰが連続的に形成されているように見える。

　制御部３２は、光反射部材１１が照明領域ＬＡ内の特定の方向へ向けて可視光Ｖを反射可能な姿勢にあるときに光源３１による可視光Ｖの出射を停止させるように、出射制御信号Ｃ３と反射制御信号Ｃ４の組合せを変更しうる。この場合、図１７に例示されるように、照明領域ＬＡ内に部分的な非照明領域ＵＡを含む配光パターンＰを形成できる。

　前述の通り、環境の熱的変化に起因する光反射部材１１の鏡面１１１における歪みの発生が抑制されているので、鏡面１１１を利用して照明装置３０により形成される配光パターンＰの配置や形状に係る精度の低下もまた抑制されうる。

　上記のような機能を有する制御部３２は、出射制御信号Ｃ３と反射制御信号Ｃ４を出力する出力インターフェース、および出射制御信号Ｃ３と反射制御信号Ｃ４に係る処理を実行するプロセッサにより実現されうる。当該プロセッサは、マイクロコントローラ、ＡＳＩＣ、ＦＰＧＡなどの専用集積回路によって実現されうる。当該プロセッサは、汎用メモリと協働して動作する汎用プロセッサにより実現されてもよい。

　図１８に例示されるように、上記のセンサ装置２０と照明装置３０の少なくとも一方は、車両４０に搭載されうる。車両４０は、移動体の一例である。本例においては、センサ装置２０と照明装置３０の少なくとも一方は、車両４０の左前部に搭載されている。車両４０の左前部は、車両４０の左右方向における中央よりも左側かつ車両４０の前後方向における中央よりも前側に位置する部分である。センサ装置２０の検出領域ＳＡと照明装置３０の照明領域ＬＡは、車両４０の外側に設定されている。前述した非照明領域ＵＡは、照明領域ＬＡ内に位置する別車両の乗員や歩行者に与えうるグレアを抑制するために形成される。

　センサ装置２０と照明装置３０の双方が車両４０に搭載される場合、単一の光反射装置１０の光反射部材１１が、センサ装置２０の発光素子２１および受光素子２２、ならびに照明装置３０の光源３１によって共有されてもよい。

　車両４０のような移動体においては、光反射装置１０が置かれている環境に熱的変化が生じやすい。したがって、これまで説明した各種の効果がより顕著となる。

　図１９は、第五実施形態に係る光反射装置１０Ｅの構成を模式的に例示している。図２０は、前方から見た光反射装置１０Ｅを例示している。第一実施形態に係る光反射装置１０Ａの構成要素と実質的に同一の構成要素には同一の参照符号を付与し、繰り返しとなる説明を省略する。

　図２１は、第一アクチュエータ１３１により第一腕部材１２１が後方へ引かれ、かつ第二アクチュエータ１３２により第二腕部材１２２の初期状態が維持されている状態が例示されている。入射する光ＩＬに対する光反射部材１１の鏡面１１１の角度が図１９に例示された初期状態から変化することにより、反射された光ＲＬの進行方向が変更される。すなわち、第一アクチュエータ１３１による第一腕部材１２１の変位量と第二アクチュエータ１３２による第二腕部材１２２の変位量の各々が適宜に設定されることにより、光反射部材１１により反射された光ＲＬの進行方向を調節できる。

　光反射装置１０Ｅは、複数の歪みゲージ１７を備えている。本例においては、光反射部材１１、第一腕部材１２１、および第二腕部材１２２の各々に歪みゲージ１７が配置されている。歪みゲージ１７は、配置された箇所に生じた歪みを検出する装置である。歪みゲージ１７は、検出された歪みに対応する歪み検出信号ＤＳを出力するように構成されている。歪みゲージ１７は、歪みセンサの一例である。

　光反射装置１０Ｅが置かれている環境の熱的変化は、光反射部材１１、第一腕部材１２１、および第二腕部材１２２の各々に変形をもたらしうる。そのような変形は、光反射部材１１の鏡面１１１に歪みを生じさせ、鏡面１１１に反射された光ＲＬの進行方向が所望の方向からずれる事態が発生しうる。しかしながら、歪みゲージ１７から出力される歪み検出信号ＤＳを通じて光反射部材１１、第一腕部材１２１、および第二腕部材１２２の各々に生じた変形を検出することにより、鏡面１１１に生じた歪みに起因する反射光ＲＬの進行方向のずれを解消するような反射角度の変更を光反射部材１１に行なわせる制御が可能になる。したがって、鏡面１１１に反射された光ＲＬの進行方向が環境の熱的変化に起因して所望の方向からずれる事態の発生を抑制できる。

　光反射部材１１、第一腕部材１２１、および第二腕部材１２２の少なくとも一つに配置される歪みゲージ１７の数は二つ以上であってもよい。歪みゲージ１７は、光反射部材１１、第一腕部材１２１、および第二腕部材１２２の少なくとも一つに配置されてもよい。歪みゲージ１７が光反射部材１１に配置される場合、図２０に例示されるように、鏡面１１１における光反射に支障のない位置に歪みゲージ１７を配置し、より直接的に鏡面１１１に生じた歪みを検出してもよい。

　図１９に例示されるように、光反射装置１０Ｅは、温度センサ１９を備えうる。温度センサ１９は、光反射部材１１の温度を検出し、当該温度に対応する温度検出信号ＴＳを出力するように構成される。これに加えてあるいは代えて、光反射装置１０Ｅは、第一腕部材１２１と第二腕部材１２２の少なくとも一方の温度に対応する温度検出信号ＴＳを出力する温度センサ１９を備えうる。

　このような構成によれば、歪み検出信号ＤＳを通じて取得される光反射部材１１、第一腕部材１２１、および第二腕部材１２２の少なくとも一つの歪みに係る情報に、温度検出信号ＴＳを通じて取得される光反射部材１１、第一腕部材１２１、および第二腕部材１２２の少なくとも一つの温度に係る情報を加味することが可能になる。これにより、鏡面１１１に生じた歪みに起因する反射光ＲＬの進行方向のずれを解消するような反射角度の変更を光反射部材１１に行なわせる制御が、より多くの情報に基づいて遂行されうる。

　図２２は、第六実施形態に係る光反射装置１０Ｆの構成を模式的に例示している。第五実施形態に係る光反射装置１０Ｅの構成要素と実質的に同一の構成要素には同一の参照符号を付与し、繰り返しとなる説明を省略する。

　光反射装置１０Ｆは、支持部材１８を備えている。支持部材１８は、支持面１８１と背面１８２を備えている。支持面１８１は、光反射部材１１の背面１１２に接合されている。第一腕部材１２１の長手方向における一端部と第二腕部材１２２の長手方向に一端部は、背面１８２に接合されている。本例においては、支持部材１８にも歪みゲージ１７が配置されている。

　光反射装置１０Ｆが置かれている環境の熱的変化は、光反射部材１１、支持部材１８、第一腕部材１２１、および第二腕部材１２２の各々に変形をもたらしうる。そのような変形は、光反射部材１１の鏡面１１１に歪みを生じさせ、鏡面１１１に反射された光ＲＬの進行方向が所望の方向からずれる事態が発生しうる。しかしながら、歪みゲージ１７から出力される歪み検出信号ＤＳを通じて光反射部材１１、支持部材１８、第一腕部材１２１、および第二腕部材１２２の各々に生じた変形を検出することにより、鏡面１１１に生じた歪みに起因する反射光ＲＬの進行方向のずれを解消するような反射角度の変更を光反射部材１１に行なわせる制御が可能になる。したがって、鏡面１１１に反射された光ＲＬの進行方向が環境の熱的変化に起因して所望の方向からずれる事態の発生を抑制できる。

　光反射部材１１、支持部材１８、第一腕部材１２１、および第二腕部材１２２の少なくとも一つに配置される歪みゲージ１７の数は二つ以上であってもよい。歪みゲージ１７は、光反射部材１１、支持部材１８、第一腕部材１２１、および第二腕部材１２２の少なくとも一つに配置されてもよい。

　図１９を参照して説明した温度センサ１９は、光反射部材１１、支持部材１８、第一腕部材１２１、および第二腕部材１２２の少なくとも一つに配置されうる。すなわち、光反射部材１１、支持部材１８、第一腕部材１２１、および第二腕部材１２２の少なくとも一つの温度に対応する温度検出信号ＴＳにも基づいて、鏡面１１１に生じた歪みに起因する反射光ＲＬの進行方向のずれを解消するような反射角度の変更を光反射部材１１に行なわせる制御が遂行されうる。

　図２３は、第七実施形態に係る光反射装置１０Ｇの一部を例示している。第五実施形態に係る光反射装置１０Ｅの構成要素と実質的に同一の構成要素には同一の参照符号を付与し、繰り返しとなる説明を省略する。

　本実施形態においては、光反射部材１１の背面１１２は、鏡面１１１と交差する方向の寸法が大きくなる肉厚部１１２ａを含んでいる。第一腕部材１２１と第二腕部材１２２の各々は、肉厚部１１２ａに接合されている。歪みゲージ１７は、肉厚部１１２ａに配置されている。

　光反射装置１０Ｇが置かれている環境の熱的変化は、光反射部材１１、第一腕部材１２１、および第二腕部材１２２の各々に変形をもたらしうる。変形に伴って生じうる歪み応力は、肉厚部１１２ａのように表面形状が変化している箇所に集中しやすい。このような箇所に歪みゲージ１７が配置されることにより、歪みの検出を効率よく遂行できる。

　図２３に示される例においては、複数の肉厚部１１２ａが光反射部材１１に形成されており、第一腕部材１２１と第二腕部材１２２の各々が、複数の肉厚部１１２ａの一つに接合されている。しかしながら、図２４に例示されるように、第一腕部材１２１と第二腕部材１２２が単一の肉厚部１１２ａに接合されてもよい。

　図２３と図２４に示される例においては、第一腕部材１２１の長手方向における一端面と第二腕部材１２２の長手方向における一端面が、光反射部材１１の肉厚部１１２ａに接合されている。しかしながら、図２５に例示されるように、第一腕部材１２１の長手方向における一端面に交差する側面が、肉厚部１１２ａの側部に接合されてもよい。同様に、第二腕部材１２２の長手方向における一端面に交差する側面が、肉厚部１１２ａの側部に接合されてもよい。

　図２６に例示されるように、光反射部材１１の肉厚部１１２ａは、凹部１１２ｂを区画するように形成されうる。この場合、第一腕部材１２１と第二腕部材１２２は、凹部１１２ｂ内において光反射部材１１と接合されうる。具体的には、第一腕部材１２１の長手方向における一端面に交差する側面が、凹部１１２ｂの一部を区画している肉厚部１１２ａの側部に接合される。同様に、第二腕部材１２２の長手方向における一端面に交差する側面が、凹部１１２ｂの別の一部を区画している肉厚部１１２ａの側部に接合される。

　図２７に例示されるように、光反射部材１１の肉厚部１１２ａは、複数の凹部１１２ｂを区画するように形成されうる。この場合、第一腕部材１２１と第二腕部材１２２は、複数の凹部１１２ｂの一つにおいて光反射部材１１と接合されうる。具体的には、第一腕部材１２１の長手方向における一端面に交差する側面が、複数の凹部１１２ｂの一つを区画している肉厚部１１２ａの側部に接合される。同様に、第二腕部材１２２の長手方向における一端面に交差する側面が、複数の凹部１１２ｂの別の一つを区画している肉厚部１１２ａの側部に接合される。

　図２８は、第八実施形態に係る光反射装置１０Ｈの構成を模式的に例示している。第六実施形態に係る光反射装置１０Ｆの構成要素と実質的に同一の構成要素には同一の参照符号を付与し、繰り返しとなる説明を省略する。

　本実施形態においては、光反射部材１１の背面１１２は、鏡面１１１と交差する方向の寸法が大きくなる肉厚部１１２ａを含んでいる。支持部材１８の支持面１８１は、光反射部材１１の背面１１２と対向している。支持面１８１は、肉厚部１１２ａにおいて光反射部材１１と接合されている。歪みゲージ１７は、肉厚部１１２ａに配置されている。

　光反射装置１０Ｈが置かれている環境の熱的変化は、光反射部材１１、支持部材１８、第一腕部材１２１、および第二腕部材１２２の各々に変形をもたらしうる。変形に伴って生じうる歪み応力は、狭い領域に限定された光反射部材１１と支持部材１８の接合部に集中しやすい。このような箇所に歪みゲージ１７が配置されることにより、歪みの検出を効率よく遂行できる。

　光反射部材１１の肉厚部１１２ａに代えて、図２９に例示されるように、支持部材１８の支持面１８１は、鏡面１１１と交差する方向の寸法が大きくなる肉厚部１８１ａを含みうる。この場合、歪みゲージ１７は、肉厚部１８１ａに配置される。このような構成によっても、前述の効果が得られる。

　少なくとも一つの肉厚部１１２ａが形成された光反射部材１１と、少なくとも一つの肉厚部１８１ａが形成された支持部材１８が接合されてもよい。

　図２８または図２９に例示された構成に加えてあるいは代えて、図３０に例示されるように、支持部材１８の背面１８２は、鏡面１１１と交差する方向の寸法が大きくなる肉厚部１８２ａを含みうる。この場合、歪みゲージ１７は、肉厚部１８２ａに配置される。

　以降の説明においては、第五実施形態に係る光反射装置１０Ｅ、第六実施形態に係る光反射装置１０Ｆ、第七実施形態に係る光反射装置１０Ｇ、および第八実施形態に係る光反射装置１０Ｈを、必要に応じて「光反射装置１０」と総称する。

　第五実施形態から第八実施形態の各々において、光反射部材１１に入射する光ＩＬがレーザ光である場合、光反射装置１０が置かれている環境に熱的変化が生じやすい。したがって、これまで説明した各種の効果がより顕著となる。

　第五実施形態から第八実施形態の各々に係る光反射装置１０は、図３１に例示されるセンサ装置２０に搭載されうる。センサ装置２０は、所定の検出領域ＳＡ内に位置する物体ＯＢを検出するための装置である。図１６に例示されたセンサ装置２０と実質的に同一の構成要素には同一の参照符号を付与し、繰り返しとなる説明を省略する。

　制御部２３は、歪みゲージ１７から歪み検出信号ＤＳを受け付けるように構成されている。制御部２３は、環境の熱的変化に起因して光反射装置１０に生じた歪みを歪み検出信号ＤＳに基づいて検出し、鏡面１１１に生じた歪みに起因する反射光ＲＬの進行方向のずれを解消するように光反射部材１１の姿勢を変更する反射制御信号Ｃ２を出力するように構成されている。

　これにより、鏡面１１１に反射された光ＲＬの進行方向が環境の熱的変化に起因して所望の方向からずれる事態の発生が抑制されるので、鏡面１１１を利用するセンサ装置２０による物体ＯＢの検出精度の低下もまた抑制されうる。

　上記のような機能を有する制御部２３は、出射制御信号Ｃ１と反射制御信号Ｃ２を出力する出力インターフェース、光検出信号ＬＳと歪み検出信号ＤＳを受け付ける入力インターフェース、ならびに出射制御信号Ｃ１、反射制御信号Ｃ２、光検出信号ＬＳ、および歪み検出信号ＤＳに係る処理を実行するプロセッサにより実現されうる。当該プロセッサは、マイクロコントローラ、ＡＳＩＣ、ＦＰＧＡなどの専用集積回路によって実現されうる。当該プロセッサは、汎用メモリと協働して動作する汎用プロセッサにより実現されてもよい。

　これまで説明した各実施形態に係る光反射装置１０は、図３２に例示される照明装置３０に搭載されうる。照明装置３０は、所定の照明領域ＬＡを可視光Ｖで照明する装置である。図１７に例示された照明装置３０と実質的に同一の構成要素には同一の参照符号を付与し、繰り返しとなる説明を省略する。

　制御部３２は、歪みゲージ１７から歪み検出信号ＤＳを受け付けるように構成されている。制御部３２は、環境の熱的変化に起因して光反射装置１０に生じた歪みを歪み検出信号ＤＳに基づいて検出し、鏡面１１１に生じた歪みに起因する反射光ＲＬの進行方向のずれを解消するように光反射部材１１の姿勢を変更する反射制御信号Ｃ４を出力するように構成されている。

　これにより、鏡面１１１に反射された光ＲＬの進行方向が環境の熱的変化に起因して所望の方向からずれる事態の発生が抑制されるので、鏡面１１１を利用して照明装置３０により形成される配光パターンＰの配置や形状に係る精度の低下もまた抑制されうる。

　上記のような機能を有する制御部３２は、歪み検出信号ＤＳを受け付ける入力インターフェース、出射制御信号Ｃ３と反射制御信号Ｃ４を出力する出力インターフェース、ならびに歪み検出信号ＤＳ、出射制御信号Ｃ３、および反射制御信号Ｃ４に係る処理を実行するプロセッサにより実現されうる。当該プロセッサは、マイクロコントローラ、ＡＳＩＣ、ＦＰＧＡなどの専用集積回路によって実現されうる。当該プロセッサは、汎用メモリと協働して動作する汎用プロセッサにより実現されてもよい。

　図３１に例示されるセンサ装置２０と図３２に例示される照明装置３０もまた、図１８に例示される車両４０に搭載されうる。車両４０は、移動体の一例である。本例においては、センサ装置２０と照明装置３０の少なくとも一方は、車両４０の左前部に搭載されている。車両４０の左前部は、車両４０の左右方向における中央よりも左側かつ車両４０の前後方向における中央よりも前側に位置する部分である。センサ装置２０の検出領域ＳＡと照明装置３０の照明領域ＬＡは、車両４０の外側に設定されている。前述した非照明領域ＵＡは、照明領域ＬＡ内に位置する別車両の乗員や歩行者に与えうるグレアを抑制するために形成される。

　上記の各実施形態は、本開示の理解を容易にするための例示にすぎない。上記の各実施形態に係る構成は、本開示の趣旨を逸脱しなければ、適宜に変更や改良がなされうる。

　第五実施形態から第八実施形態の各々においては、簡易な構成で歪み検出信号ＤＳを取得できる歪みゲージ１７に代えて、歪みセンサの一例として光ファイバセンサが用いられうる。光ファイバセンサは、光ファイバ内に形成されたＦＢＧ（Fiber Bragg Grating）による反射光を検出する方式、光ファイバを形成しているガラス粒子により生じるレイリー散乱光あるいはブリルアン散乱光を検出する方式などが採用されうる。各方式に係る光ファイバセンサの構成自体は周知であるので、詳細な説明を省略する。

　歪み検出信号ＤＳを取得するための発光素子と受光素子を個別に用意する必要があるものの、光ファイバは軽量かつ柔軟であるので、光反射装置１０に対する配置自由度が高い。また、光ファイバは非常に細いので、光反射装置１０の表面に配置しても外観や意匠に与える影響が小さい。

　上記の各実施形態においては、左右方向に並ぶように配置された第一腕部材１２１と第二腕部材１２２の少なくとも一方の変位によって、前後方向と左右方向を含む平面内で光反射方向の変更が可能とされている。加えて、上下方向に並ぶように配置された一対の腕部材が設けられうる。当該一対の腕部材の少なくとも一方が光反射部材１１の鏡面１１１と交差する方向へ変位されることにより、前後方向と上下方向を含む平面内での光反射方向の変更も可能とされうる。あるいは、適宜の支点を光反射部材１１に設けることにより、単一の腕部材の変位によっても光反射方向の変更が可能とされうる。

　センサ装置２０と照明装置３０の少なくとも一方が配置される車両４０の位置は、図１８に示された例に加えてあるいは代えて、予め設定される検出領域ＳＡと照明領域ＬＡの少なくとも一方に応じて適宜に定められうる。

　センサ装置２０と照明装置３０の少なくとも一方が搭載される移動体は、車両４０に限られない。その他の移動体の例としては、鉄道、飛行体、航空機、船舶などが挙げられる。センサ装置２０と照明装置３０の少なくとも一方が搭載される移動体は、運転者を必要としなくてもよい。

　センサ装置２０と照明装置３０の少なくとも一方は、移動体に搭載されることを要しない。例えば、センサ装置２０は、住宅や施設などに設置されて検出領域内に進入した物体を検出する防犯システムにも適用可能である。照明装置３０は、特定の路面や壁面に所定の図形、文字、標識などを一時的に表示させる装置にも適用可能である。

　本出願の記載の一部を構成するものとして、２０２０年７月１５日に提出された日本国特許出願２０２０－１２１５０４号、および２０２０年７月１５日に提出された日本国特許出願２０２０－１２１５０５号の内容が援用される。

Claims

　光を反射可能な鏡面を有している光反射部材と、
　前記光反射部材に接合されている腕部材と、
　前記腕部材を前記鏡面と交差する方向へ変位させることにより前記光に対する前記鏡面の角度を変更するアクチュエータと、
を備えており、
　前記光反射部材を形成するための材料の熱膨張係数は、前記腕部材を形成するための材料の熱膨張係数よりも小さい、
光反射装置。
　光を反射可能な鏡面を有している光反射部材と、
　前記光反射部材に接合されている支持部材と、
　前記支持部材に接合されている腕部材と、
　前記腕部材を前記鏡面と交差する方向へ変位させることにより前記光に対する前記鏡面の角度を変更するアクチュエータと、
を備えており、
　前記光反射部材を形成するための材料の熱膨張係数は、前記支持部材を形成するための材料の熱膨張係数と前記腕部材を形成するための材料の熱膨張係数の少なくとも一方よりも小さい、
光反射装置。
　光を反射可能な鏡面を有している光反射部材と、
　前記光反射部材に接合されている腕部材と、
　前記腕部材を前記鏡面と交差する方向へ変位させることにより前記光に対する前記鏡面の角度を変更するアクチュエータと、
を備えており、
　前記光反射部材は、前記鏡面からの距離が長くなる肉厚部を有しており、
　前記腕部材は、前記肉厚部に接合されている、
光反射装置。
　前記光反射部材を形成するための材料の熱膨張係数は、前記腕部材を形成するための材料の熱膨張係数よりも小さい、
請求項３に記載の光反射装置。
　光を反射可能な鏡面を有している光反射部材と、
　前記光反射部材に接合されている支持部材と、
　前記支持部材に接合されている腕部材と、
　前記腕部材を前記鏡面と交差する方向へ変位させることにより前記光に対する前記鏡面の角度を変更するアクチュエータと、
を備えており、
　前記光反射部材と前記支持部材の少なくとも一方には、前記鏡面と交差する方向の寸法が大きくなる凸部が形成されており、
　前記光反射部材と前記支持部材の接合は、前記凸部においてなされている、
光反射装置。
　前記支持部材には、前記鏡面からの距離が長くなる肉厚部が形成されており、
　前記支持部材と前記腕部材の接合は、前記肉厚部においてなされている、
請求項５に記載の光反射装置。
　前記光反射部材を形成するための材料の熱膨張係数は、前記支持部材を形成するための材料の熱膨張係数と前記腕部材を形成するための材料の熱膨張係数の少なくとも一方よりも小さい、
請求項５または６に記載の光反射装置。
　前記アクチュエータは、圧電素子を含んでいる、
請求項１から７のいずれか一項に記載の光反射装置。
　前記腕部材は、前記圧電素子を含んでいる、
請求項８に記載の光反射装置。
　前記光反射部材と前記腕部材の変位を許容しつつ気密的に封止された空間を区画する樹脂モールド部を備えている、
請求項１から９のいずれか一項に記載の光反射装置。
　前記空間には不活性ガスが充填されている、
請求項１０に記載の光反射装置。
　前記鏡面は、レーザ光を反射可能に構成されている、
請求項１から１１のいずれか一項に記載の光反射装置。
　請求項１から１２のいずれか一項に記載の光反射装置と、
　非可視光を出射する発光素子と、
　入射した非可視光の強度に対応する光検出信号を出力する受光素子と、
を備えており、
　前記光反射装置の前記鏡面は、前記発光素子から出射された非可視光を検出領域へ向けて反射するとともに、当該検出領域内に位置する物体に反射された非可視光を前記受光素子へ向けて反射する、
センサ装置。
　移動体に搭載されるように構成されている、
請求項１３に記載のセンサ装置。
　請求項１から１２のいずれか一項に記載の光反射装置と、
　可視光を出射する光源と、
を備えており、
　前記光反射装置の前記鏡面は、前記可視光を照明領域へ向けて反射する、
照明装置。
　非可視光を出射する発光素子と、
　入射した非可視光の強度に対応する光検出信号を出力する受光素子と、
を備えており、
　前記鏡面は、前記発光素子から出射された非可視光を検出領域へ向けて反射するとともに、当該検出領域内に位置する物体に反射された非可視光を前記受光素子へ向けて反射する、
請求項１５に記載の照明装置。
　移動体に搭載されるように構成されている、
請求項１５または１６に記載の照明装置。
　光を反射可能な鏡面を有している光反射部材と、
　前記光反射部材に接合されている腕部材と、
　前記腕部材を前記鏡面と交差する方向へ変位させることにより前記光に対する前記鏡面の角度を変更するアクチュエータと、
　前記光反射部材と前記腕部材の少なくとも一方に生じた歪みに対応する歪み検出信号を出力する歪みセンサと、
を備えている、
光反射装置。
　前記光反射部材は、前記鏡面と交差する方向の寸法が大きくなる肉厚部を有しており、
　前記歪みセンサは、前記肉厚部に配置されている、
請求項１８に記載の光反射装置。
　前記光反射部材と前記腕部材の少なくとも一方の温度に対応する温度検出信号を出力する温度センサを備えている、
請求項１８または１９に記載の光反射装置。
　光を反射可能な鏡面を有している光反射部材と、
　前記光反射部材に接合されている支持部材と、
　前記支持部材に接合されている腕部材と、
　前記腕部材を前記鏡面と交差する方向へ変位させることにより前記光に対する前記鏡面の角度を変更するアクチュエータと、
　前記光反射部材、前記支持部材、および前記腕部材の少なくとも一つに生じた歪みに対応する信号を出力する歪みセンサと、
を備えている、
光反射装置。
　前記光反射部材と前記支持部材の少なくとも一方には、前記鏡面と交差する方向の寸法が大きくなる肉厚部が形成されており、
　前記歪みセンサは、前記肉厚部に配置されている、
請求項２１に記載の光反射装置。
　前記光反射部材、前記支持部材、および前記腕部材の少なくとも一つの温度に対応する温度検出信号を出力する温度センサを備えている、
請求項２１または２２に記載の光反射装置。
　前記歪みセンサは、歪みゲージである、
請求項１８から２３のいずれか一項に記載の光反射装置。
　前記アクチュエータは、圧電素子を含んでいる、
請求項１８から２４のいずれか一項に記載の光反射装置。
　前記腕部材は、前記圧電素子を含んでいる、
請求項２５に記載の光反射装置。
　前記鏡面は、レーザ光を反射可能に構成されている、
請求項１８から２６のいずれか一項に記載の光反射装置。
　請求項１８から２７のいずれか一項に記載の光反射装置と、
　非可視光を出射する発光素子と、
　入射した非可視光の強度に対応する光検出信号を出力する受光素子と、
　前記歪み検出信号に基づいて、前記光反射装置における前記鏡面の角度を制御する制御部と、
を備えており、
　前記光反射装置の前記鏡面は、前記発光素子から出射された非可視光を検出領域へ向けて反射するとともに、当該検出領域内に位置する物体に反射された非可視光を前記受光素子へ向けて反射する、
センサ装置。
　移動体に搭載されるように構成されている、
請求項２８に記載のセンサ装置。
　請求項１８から２７のいずれか一項に記載の光反射装置と、
　可視光を出射する光源と、
　前記歪み検出信号に基づいて、前記光反射装置における前記鏡面の角度を制御する制御部と、
を備えており、
　前記光反射装置の前記鏡面は、前記可視光を照明領域へ向けて反射する、
照明装置。
　非可視光を出射する発光素子と、
　入射した非可視光の強度に対応する光検出信号を出力する受光素子と、
を備えており、
　前記鏡面は、前記発光素子から出射された非可視光を検出領域へ向けて反射するとともに、当該検出領域内に位置する物体に反射された非可視光を前記受光素子へ向けて反射する、
請求項３０に記載の照明装置。
　移動体に搭載されるように構成されている、
請求項３０または３１に記載の照明装置。