CN116157625A - 光反射装置、传感器装置以及照明装置 - Google Patents

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Abstract

光反射部件(11)具有能够反射所入射的光(IL)的镜面(111)。第一臂部件(121)和第二臂部件(122)接合于光反射部件11。第一促动器(131)和第二促动器(132)分别使第一臂部件(121)和第二臂部件(122)向与镜面(111)交叉的方向位移，由此变更镜面(111)相对于光(IL)的角度。用于形成光反射部件(11)的材料的热膨胀系数比用于分别形成第一臂部件(121)和第二臂部件(122)各自的材料的热膨胀系数小。

Description

光反射装置、传感器装置以及照明装置
技术领域
本公开涉及用于将从光源射出的光向期望的方向反射的光反射装置。本公开还涉及具备该光反射装置的传感器装置以及照明装置的每一个。
背景技术
专利文献1作为搭载于作为照明装置的一例的车辆用灯具的光反射装置的一例，公开了MEMS反射镜。MEMS反射镜构成为能够变更从激光光源射出的光的反射方向。通过根据MEMS反射镜的反射方向来控制激光光源的点亮/熄灭，在车辆的外部形成期望的配光图案。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本国特开2020-057511号公报
发明内容
发明要解决的课题
要求抑制因热的环境变化引起的反射光的行进方向偏离期望的方向的事态的发生。
用于解决课题的方案
为了满足上述要求可提供的本公开的第一方式是一种光反射装置，其具备：
光反射部件，其具有能够反射光的镜面；
臂部件，其与所述光反射部件接合；
促动器，其通过使所述臂部件向与所述镜面交叉的方向位移来变更所述镜面相对于所述光的角度；
用于形成所述光反射部件的材料的热膨胀系数比用于形成所述臂部件的材料的热膨胀系数小。
第一方式的光反射装置所处的环境的热变化能够导致光反射部件和臂部件的每一个变形。但是，通过以越接近镜面则热膨胀系数越小的方式构成光反射装置，容易抑制因环境的热变化引起的镜面中的应变的发生。因此，能够抑制被镜面反射的光的行进方向因环境的热变化引起的偏离期望的方向的事态的发生。
为了满足上述要求可提供的本公开的第二方式是一种光反射装置，其具备：
光反射部件，其具有能够反射光的镜面；
支承部件，其与所述光反射部件接合；
臂部件，其与所述支承部件接合；
促动器，其通过使所述臂部件向与所述镜面交叉的方向位移来变更所述镜面相对于所述光的角度；
用于形成所述光反射部件的材料的热膨胀系数比用于形成所述支承部件的材料的热膨胀系数和用于形成所述臂部件的材料的热膨胀系数中的至少一方小。
第二方式的光反射装置所处的环境的热变化能够导致光反射部件、支承部件以及臂部件的每一个变形。但是，通过以越接近镜面则热膨胀系数越小的方式构成光反射装置，容易抑制因环境的热变化引起的镜面中的应变的发生。因此，能够抑制被镜面反射的光的行进方向因环境的热变化引起的偏离期望的方向的事态的发生。
为了满足上述要求可提供的本公开的第三方式是一种光反射装置，其具备：
光反射部件，其具有能够反射光的镜面；
臂部件，其与所述光反射部件接合；
促动器，其通过使所述臂部件向与所述镜面交叉的方向位移来变更所述镜面相对于所述光的角度；
所述光反射部件具有距所述镜面的距离变长的厚壁部，
所述臂部件与所述厚壁部接合。
第三方式的光反射装置所处的环境的热变化能够导致光反射部件和臂部件的每一个变形。可伴随变形而产生的应变应力容易集中在臂部件与光反射部件接合的部位。但是，通过在这样的部位以距镜面的距离变长的方式形成厚壁部，能够使应变应力难以到达镜面。即，由于容易抑制因环境的热变化引起的镜面中的应变的发生，因此能够抑制被镜面反射的光的行进方向因环境的热变化引起的偏离期望的方向的事态的发生。
为了满足上述要求可提供的本公开的第四方式是一种光反射装置，其具备：
光反射部件，其具有能够反射光的镜面；
支承部件，其与所述光反射部件接合；
臂部件，其与所述支承部件接合；
促动器，其通过使所述臂部件向与所述镜面交叉的方向位移来变更所述镜面相对于所述光的角度；
在所述光反射部件和所述支承部件中的至少一方，形成有与所述镜面交叉的方向的尺寸变大的凸部，
所述光反射部件与所述支承部件的接合在所述凸部处进行。
第四方式的光反射装置所处的环境的热变化能够导致光反射部件、支承部件以及臂部件的每一个变形。可伴随变形而产生的应变应力容易集中在限定于狭窄的区域的光反射部件与支承部件的接合部。但是，通过在这样的部位以到镜面的距离变长的方式形成凸部，能够使应变应力难以到达镜面。即，由于容易抑制因环境的热变化引起的镜面中的应变的发生，因此能够抑制被镜面反射的光的行进方向因环境的热变化引起的偏离期望的方向的事态的发生。
为了满足上述要求可提供的本公开的第五方式是一种传感器装置，其具备：
第一方式至第四方式中的任一个的光反射装置；
发光元件，其射出不可见光；
受光元件，其输出与入射的不可见光的强度对应的信号；
所述光反射装置的所述镜面将从所述发光元件射出的不可见光朝向检测区域反射，并且将被位于该检测区域内的物体反射的不可见光朝向所述受光元件反射。
如前所述，由于抑制了因环境的热变化引起的光反射部件的镜面中的应变的发生，因此还能够抑制由利用镜面的传感器装置进行的物体的检测精度的降低。
为了满足上述要求可提供的本公开的第六方式是一种照明装置，其具备：
第一方式至第四方式中的任一个的光反射装置；
光源，其射出可见光；
所述光反射装置的所述镜面将所述可见光朝向照明区域反射。
如前所述，由于抑制了因环境的热变化引起的光反射部件的镜面中的应变的发生，因此还能够抑制与利用镜面由照明装置形成的配光图案的配置和形状有关的精度的降低。
为了满足上述要求可提供的本公开的第七方式是一种光反射装置，其具备：
光反射部件，其具有能够反射光的镜面；
臂部件，其与所述光反射部件接合；
促动器，其通过使所述臂部件向与所述镜面交叉的方向位移来变更所述镜面相对于所述光的角度；
应变传感器，其输出与在所述光反射部件和所述臂部件中的至少一方上产生的应变对应的应变检测信号。
第七方式的光反射装置所处的环境的热变化能够导致光反射部件和臂部件的每一个变形。这样的变形使光反射部件的镜面产生应变，会发生被镜面反射的光的行进方向偏离期望的方向的事态。但是，通过从应变传感器输出的应变检测信号来检测在光反射部件和臂部件中的至少一方上产生的变形，由此，能够进行使光反射部件变更反射角度的控制，以消除因在镜面上产生的应变引起的反射光的行进方向的偏离。因此，能够抑制被镜面反射的光的行进方向因环境的热变化引起的偏离期望的方向的事态的发生。
为了满足上述要求可提供的本公开的第八方式是一种光反射装置，其具备：
光反射部件，其具有能够反射光的镜面；
支承部件，其与所述光反射部件接合；
臂部件，其与所述支承部件接合；
促动器，其通过使所述臂部件向与所述镜面交叉的方向位移来变更所述镜面相对于所述光的角度；
应变传感器，其输出与在所述光反射部件、所述支承部件以及所述臂部件中的至少一个上产生的应变对应的信号。
第八方式的光反射装置所处的环境的热变化能够导致光反射部件、支承部件以及臂部件的每一个变形。这样的变形使光反射部件的镜面产生应变，会发生被镜面反射的光的行进方向偏离期望的方向的事态。但是，通过从应变传感器输出的应变检测信号来检测在光反射部件、支承部件以及臂部件中的至少一个上产生的变形，由此，能够进行使光反射部件变更反射角度的控制，以消除因在镜面上产生的应变引起的反射光的行进方向的偏离。因此，能够抑制被镜面反射的光的行进方向因环境的热变化引起的偏离期望的方向的事态的发生。
为了满足上述要求可提供的本公开的第九方式是一种传感器装置，其具备：
第七方式和第八方式中的任一个的光反射装置；
发光元件，其射出不可见光；
受光元件，其输出与入射的不可见光的强度对应的信号
控制部，其基于所述应变检测信号，控制所述光反射装置中的所述镜面的角度；
所述光反射装置的所述镜面将从所述发光元件射出的不可见光朝向检测区域反射，并且将被位于该检测区域内的物体反射的不可见光朝向所述受光元件反射。
根据这样的结构，由于抑制了被镜面反射的光的行进方向因环境的热变化引起的偏离期望的方向的事态的发生，因此还能够抑制由利用镜面的传感器装置进行的物体的检测精度的降低。
为了满足上述要求可提供的本公开的第十方式是一种照明装置，其具备：
第七方式和第八方式中的任一个的光反射装置；
光源，其射出可见光；
控制部，其基于所述应变检测信号，控制所述光反射装置中的所述镜面的角度；
所述光反射装置的所述镜面将所述可见光朝向照明区域反射。
根据这样的结构，由于抑制了被镜面反射的光的行进方向因环境的热变化引起的偏离期望的方向的事态的发生，因此还能够抑制与利用镜面由照明装置形成的配光图案的配置和形状有关的精度的降低。
附图说明
图1例示了第一实施方式的光反射装置的结构。
图2例示了第一实施方式的光反射装置的结构。
图3例示了第一实施方式的光反射装置的动作。
图4例示了第二实施方式的光反射装置的结构。
图5示出了第三实施方式的光反射装置的结构的一例。
图6示出了第三实施方式的光反射装置的结构的另一例。
图7示出了第三实施方式的光反射装置的结构的另一例。
图8示出了第三实施方式的光反射装置的结构的另一例。
图9示出了第三实施方式的光反射装置的结构的另一例。
图10示出了第四实施方式的光反射装置的结构的一例。
图11示出了第四实施方式的光反射装置的结构的另一例。
图12示出了第四实施方式的光反射装置的结构的另一例。
图13例示了第一实施方式至第四实施方式的每一个的光反射装置可具备的壳体。
图14例示了从箭头方向观察图13中的剖面XIV的结构。
图15例示了从箭头方向观察图13中的剖面XV的结构。
图16例示了供第一实施方式至第四实施方式的每一个的光反射装置可搭载的传感器装置的结构。
图17例示了供第一实施方式至第四实施方式的每一个的光反射装置可搭载的照明装置的结构。
图18例示了供图16的传感器装置和图17的照明装置可搭载的车辆。
图19例示了第五实施方式的光反射装置的结构。
图20例示了第五实施方式的光反射装置的结构。
图21例示了第五实施方式的光反射装置的动作。
图22例示了第六实施方式的光反射装置的结构。
图23示出了第七实施方式的光反射装置的结构的一例。
图24示出了第七实施方式的光反射装置的结构的另一例。
图25示出了第七实施方式的光反射装置的结构的另一例。
图26示出了第七实施方式的光反射装置的结构的另一例。
图27示出了第七实施方式的光反射装置的结构的另一例。
图28示出了第八实施方式的光反射装置的结构的一例。
图29示出了第八实施方式的光反射装置的结构的另一例。
图30示出了第八实施方式的光反射装置的结构的另一例。
图31例示了供第五实施方式至第八实施方式的每一个的光反射装置可搭载的传感器装置的结构。
图32例示了供第五实施方式至第八实施方式的每一个的光反射装置可搭载的照明装置的结构。
具体实施方式
以下参照附图，对实施方式的例子进行详细说明。在以下的说明中使用的各附图中，为了使各部件成为可识别的大小而适当变更比例尺。
在附图中，箭头F表示图示的构造的前方向。箭头B表示图示的构造的后方向。箭头L表示图示的构造的左方向。箭头R表示图示的构造的右方向。箭头U表示图示的构造的上方向。箭头D表示图示的构造的下方向。与这些方向相关的表述是为了便于说明而使用的，并没有限定图示的构造在实际使用时的方向或姿态的意图。
关于A以及B这两个主体，在本说明书中使用的“A和B中的至少一方”的表达是包括仅特定A的情况、仅特定B的情况、以及特定A和B双方的情况的意思。A和B的各主体只要没有特别说明，可以是单数，也可以是多个。
关于A、B以及C这三个主体，在本说明书中使用的“A、B以及C中的至少一个”的表达是包括仅特定A的情况、仅特定B的情况、仅特定C的情况、特定A和B的情况、特定B和C的情况、特定A和C的情况、以及特定A、B、C全部的情况的意思。A.B以及C的各主体只要没有特别说明，可以是单数，也可以是多个。对于成为记述的对象的主体为四个以上的情况也同样。
图1示意性地例示了第一实施方式的光反射装置10A的结构。图2例示了从前方观察的光反射装置10A。
光反射装置10A具备光反射部件11。光反射部件11具有能够反射所入射的光IL的镜面111。镜面111可以通过对光反射部件11的基材实施基于研磨等的镜面加工来形成，也可以通过在该基材上蒸镀或粘接铝或金等金属层来形成。在本例中，镜面111从其法线方向观察时呈圆形。镜面的直径例如为10mm。镜面111的形状和尺寸可以根据光反射装置10A所要求的规格适当地确定。
光反射装置10A具备第一臂部件121。第一臂部件121以与光反射部件11的镜面111交叉的方向为长度方向的方式延伸。第一臂部件121的长度方向上的一端部与光反射部件11的背面112接合。背面112是与镜面111不同的面。换言之，背面112是没有构成为镜面的面。
光反射装置10A具备第二臂部件122。第二臂部件122以与光反射部件11的镜面111交叉的方向为长度方向的方式延伸。第二臂部件122的长度方向上的一端部与光反射部件11的背面112接合。
在本说明书中所使用的“接合”的术语的意思是，两个部件的界面彼此在没有其它部件或材料的介入而一体不可分的处理。作为该处理的例子，可以举出晶片直接接合、阳极接合、熔融接合等。即，该处理与机械接合、粘接、锡焊(soldering)、铜焊(brazing)等相区别。
光反射装置10A具备第一促动器131。第一促动器131支承第一臂部件121。第一促动器131使第一臂部件121在与光反射部件11的镜面111交叉的方向上位移。例如，第一促动器131可以构成为包括压电元件，该压电元件根据所施加的电压沿着该方向伸缩。
光反射装置10A具备第二促动器132。第二促动器132支承第二臂部件122。第二促动器132使第二臂部件122在与光反射部件11的镜面111交叉的方向上位移。例如，第二促动器132可以构成为包括压电元件，该压电元件根据所施加的电压沿着该方向伸缩。
图3例示了第一臂部件121被第一促动器131向后方拉动，且第二臂部件122的初始状态被第二促动器132维持的状态。通过使光反射部件11的镜面111相对于入射的光IL的角度从图1所例示的初始状态变化，来变更被反射的光RL的行进方向。即，通过适当地设定由第一促动器131引起的第一臂部件121的位移量和由第二促动器132引起的第二臂部件122的位移量的每一个，能够调节由光反射部件11反射的光RL的行进方向。
在本实施方式中，用于形成光反射部件11的材料以及用于形成第一臂部件121和第二臂部件122的每一个的材料以使得光反射部件11的热膨胀系数比第一臂部件121以及第二臂部件122的每一个的热膨胀系数小的方式进行选择。
例如，作为能够形成光反射部件11、第一臂部件121以及第二臂部件122的每一个的材料可以举出硅、玻璃、低熔点玻璃、金属等。硅的热膨胀系数比玻璃的热膨胀系数小。玻璃的热膨胀系数比低熔点玻璃的热膨胀系数小。低熔点玻璃的热膨胀系数比金属的热膨胀系数小。因此，在作为一例由金属形成第一臂部件121和第二臂部件122的每一个的情况下，光反射部件11可以由硅、玻璃以及低熔点玻璃中的任一种形成。在作为另一例由玻璃形成光反射部件11的情况下，第一臂部件121和第二臂部件122的每一个可以由低熔点玻璃或金属形成。
光反射装置10A所处的环境的热变化能够导致光反射部件11、第一臂部件121以及第二臂部件122的每一个变形。但是，通过以越接近镜面111则热膨胀系数越小的方式构成光反射装置10A，容易抑制因环境的热变化引起的镜面111的应变的发生。因此，能够抑制被镜面111反射的光RL的行进方向因环境的热变化引起的偏离期望的方向的事态的发生。
图4示意性地例示了第二实施方式的光反射装置10B的结构。对与第一实施方式的光反射装置10A的构成要素实质上相同的构成要素赋予相同的参照附图标记，省略重复的说明。
光反射装置10B具备支承部件14。支承部件14具备支承面141和背面142。支承面141与光反射部件11的背面112接合。第一臂部件121的长度方向上的一端部和第二臂部件122的长度方向上的一端部接合于背面142。
在本实施方式中，用于形成光反射部件11的材料、用于形成第一臂部件121以及第二臂部件122的每一个的材料、以及用于形成支承部件14的材料以使得光反射部件11的热膨胀系数比第一臂部件121以及第二臂部件122的每一个的热膨胀系数和支承部件14的热膨胀系数的至少一方小的方式进行选择。
作为一例，光反射部件11的热膨胀系数构成为比支承部件14的热膨胀系数小，支承部件14的热膨胀系数可以构成为比第一臂部件121以及第二臂部件122的每一个的热膨胀系数小。即，可以构成为热膨胀系数随着接近镜面111而逐渐变小。
光反射部件11和支承部件14也可以由相同的材料形成。在这种情况下，该材料的热膨胀系数被选择为比形成第一臂部件121和第二臂部件122的每一个的材料的热膨胀系数小。
支承部件14、第一臂部件121以及第二臂部件122也可以由相同的材料形成。在这种情况下，该材料的热膨胀系数被选择为比形成光反射部件11的材料的热膨胀系数大。
形成光反射部件11、支承部件14、第一臂部件121以及第二臂部件122的每一个的材料可以从前面例示的硅、玻璃、低熔点玻璃以及金属中选择，以满足上述条件。
光反射装置10B所处的环境的热变化能够导致光反射部件11、支承部件14、第一臂部件121以及第二臂部件122的每一个变形。但是，通过以越接近镜面111则热膨胀系数越小的方式构成光反射装置10B，容易抑制因环境的热变化引起的镜面111的应变的发生。因此，能够抑制被镜面111反射的光RL的行进方向因环境的热变化引起的偏离期望的方向的事态的发生。
图5例示了第三实施方式的光反射装置10C的一部分。对与第一实施方式的光反射装置10A的构成要素实质上相同的构成要素赋予相同的参照附图标记，省略重复的说明。
在本实施方式中，光反射部件11的背面112包括距镜面111的距离变长的厚壁部112a。例如，在镜面111的直径为10mm的情况下，厚壁部112a的距镜面111的距离比未形成为厚壁部112a的部分的距镜面111的距离长约0.5mm～1mm左右。第一臂部件121和第二臂部件122的每一个与厚壁部112a接合。
光反射装置10C所处的环境的热变化能够导致光反射部件11、第一臂部件121以及第二臂部件122的每一个变形。可伴随变形而产生的应变应力容易集中在第一臂部件121以及第二臂部件122的每一个与光反射部件11接合的部位。但是，通过在这样的部位以距镜面111的距离变长的方式形成厚壁部112a，能够使应变应力难以到达镜面111。即，由于容易抑制因环境的热变化引起的镜面111的应变的发生，因此能够抑制被镜面111反射的光RL的行进方向因环境的热变化引起的偏离期望的方向的事态的发生。
用于形成第一臂部件121和第二臂部件122的每一个的材料与用于形成光反射部件11的材料可以相同也可以不同。在两种材料不同的情况下，可以选择材料，使得光反射部件11的热膨胀系数比第一臂部件121以及第二臂部件122的每一个的热膨胀系数小。即，通过以越接近镜面111则热膨胀系数越小的方式构成光反射装置10C，能够进一步容易抑制因环境的热变化引起的镜面111的应变的发生。
在图5所示的例子中，多个厚壁部112a形成在光反射部件11，第一臂部件121和第二臂部件122分别与多个厚壁部112a中的一个接合。但是，如图6所例示的那样，第一臂部件121和第二臂部件122也可以与单个厚壁部112a接合。
在图5和图6所示的例子中，第一臂部件121的长度方向上的一端面和第二臂部件122的长度方向上的一个端面接合于光反射部件11的厚壁部112a。但是，如图7所例示的那样，也可以是第一臂部件121的与长度方向上的一端面交叉的侧面与厚壁部112a的侧部接合。同样地，也可以是第二臂部件122的与长度方向上的一端面交叉的侧面与厚壁部112a的侧部接合。
如图8所例示的那样，光反射部件11的厚壁部112a可以以划分凹部112b的方式形成。在这种情况下，第一臂部件121和第二臂部件122能够在凹部112b内与光反射部件11接合。具体而言，第一臂部件121的与长度方向上的一端面交叉的侧面与划分凹部112b的一部分的厚壁部112a的侧部接合。同样地，第二臂部件122的与长度方向上的一端面交叉的侧面与划分凹部112b的另一部分的厚壁部112a的侧部接合。
如图9所例示的那样，光反射部件11的厚壁部112a可以以划分多个凹部112b的方式形成。在这种情况下，第一臂部件121和第二臂部件122能够在多个凹部112b的一个中与光反射部件11接合。具体而言，第一臂部件121的与长度方向上的一端面交叉的侧面与划分多个凹部112b的一个厚壁部112a的侧部接合。同样地，第二臂部件122的与长度方向上的一端面交叉的侧面与划分多个凹部112b的另一个厚壁部112a的侧部接合。
图10示意性地例示了第四实施方式的光反射装置10D的结构。对与第二实施方式的光反射装置10B的构成要素实质上相同的构成要素赋予相同的参照附图标记，省略重复的说明。
在本实施方式中，光反射部件11的背面112包括向与镜面111交叉的方向突出的凸部112c。即，在凸部112c处，与镜面111交叉的方向上的光反射部件11的尺寸变大。在镜面111的直径为10mm的情况下，与镜面111交叉的方向上的凸部112c的高度h和与镜面111平行的方向上的凸部112c的宽度w例如可以为0.5mm～1mm。高度h与宽度w可以相同也可以不同。
支承部件14的支承面141与光反射部件11的背面112对置。支承面141在凸部112c处与光反射部件11接合。
光反射装置10D所处的环境的热变化能够导致光反射部件11、支承部件14、第一臂部件121以及第二臂部件122的每一个变形。可伴随变形而产生的应变应力容易集中在限定于狭窄的区域的光反射部件11与支承部件14的接合部。但是，通过在这样的部位以到镜面111的距离变长的方式形成凸部112c，能够使应变应力难以到达镜面111。即，由于容易抑制因环境的热变化引起的镜面111中的应变的发生，因此能够抑制被镜面111反射的光RL的行进方向因环境的热变化引起的偏离期望的方向的事态的发生。
可以代替光反射部件11的凸部112c，如图11所例示的那样，支承部件14的支承面141包括向与镜面111交叉的方向突出的凸部141a。即，在凸部141a处，与镜面111交叉的方向上的支承部件14的尺寸变大。在镜面111的直径为10mm的情况下，与镜面111交叉的方向上的凸部141a的高度h和与镜面111平行的方向上的凸部141a的宽度w例如可以为0.5mm～1mm。高度h与宽度w可以相同也可以不同。根据这样的结构，也能够得到上述的效果。
也可以接合形成有至少一个凸部112c的光反射部件11和形成有至少一个凸部141a的支承部件14。
可以除了或代替图10或11所例示的结构，如图12所例示的那样，支承部件14的背面142包括距镜面111距离变长的厚壁部142a。例如，在镜面111的直径为10mm的情况下，厚壁部112a的距镜面111的距离比未形成为厚壁部112a的部分的距镜面111的距离长约0.5mm～1mm左右。第一臂部件121和第二臂部件122的每一个与厚壁部142a接合。
光反射装置10D所处的环境的热变化能够导致光反射部件11、第一臂部件121以及第二臂部件122的每一个变形。可伴随变形而产生的应变应力容易集中在第一臂部件121以及第二臂部件122的每一个与支承部件14接合的部位。但是，通过在这样的部位以距镜面111的距离变长的方式形成厚壁部142a，能够使应变应力难以到达镜面111。即，由于容易抑制因环境的热变化引起的镜面111的应变的发生，因此能够抑制被镜面111反射的光RL的行进方向因环境的热变化引起的偏离期望的方向的事态的发生。
在本实施方式中，用于形成光反射部件11的材料、用于形成第一臂部件121以及第二臂部件122的每一个的材料、以及用于形成支承部件14的材料以使得光反射部件11的热膨胀系数比第一臂部件121以及第二臂部件122的每一个的热膨胀系数和支承部件14的热膨胀系数的至少一方小的方式进行选择。由此，能够进一步容易地抑制由环境的热变化引起的镜面111的应变的发生。
作为一例，可以是光反射部件11的热膨胀系数构成为比支承部件14的热膨胀系数小，支承部件14的热膨胀系数构成为比第一臂部件121以及第二臂部件122的每一个的热膨胀系数小。即，可以构成为热膨胀系数随着接近镜面111而逐渐变小。
光反射部件11和支承部件14也可以由相同的材料形成。在这种情况下，该材料的热膨胀系数被选择为比形成第一臂部件121和第二臂部件122的每一个的材料的热膨胀系数小。
支承部件14、第一臂部件121以及第二臂部件122也可以由相同的材料形成。在这种情况下，该材料的热膨胀系数被选择为比形成光反射部件11的材料的热膨胀系数大。
在以上说明的各实施方式中，第一促动器131具备使第一臂部件121位移的压电元件。同样地，第二促动器132具备使第二臂部件122位移的压电元件。压电元件适于精细且响应性高地控制位移量。
但是，也可以构成为第一臂部件121和第二臂部件122各自包含压电元件。在这种情况下，根据所施加的电压，第一臂部件121和第二臂部件122各自向与光反射部件11的镜面111交叉的方向位移(伸缩)。即，第一臂部件121和第二臂部件122的每一个可以是促动器的一部分。
如图13所例示的那样，第一实施方式的光反射装置10A可以具备壳体15和窗16。图14例示了从箭头方向观察图13中的剖面XIV的结构。图15例示了从箭头方向观察图13中的剖面XV的结构。
壳体15和窗16划分出空间S，该空间S允许光反射部件11、第一臂部件121以及第二臂部件122的位移并且被气密地密封。具体而言，壳体15通过树脂模制而成型。在本例中，在第一促动器131和第二促动器132的每一个中伴随位移的部分在空间S内露出。另一方面，在第一促动器131和第二促动器132的每一个中伴随位移的部分被树脂模制部分覆盖。
从光源到来的光IL通过窗16入射到配置在空间S内的光反射部件11的镜面111。被镜面111反射的光RL通过窗16而向壳体15外射出。
由于镜面111配置在气密地密封的空间S内，因此外部环境的热变化的影响难以波及到镜面111。由此，能够进一步容易地抑制由环境的热变化引起的镜面111的应变的发生。
在空间S内可以填充有惰性气体。在这种情况下，能够进一步抑制外部环境的热变化对镜面111的影响。也可以代替惰性气体，在空间S填充干燥空气。
第二实施方式的光反射装置10B、第三实施方式的光反射装置10C以及第四实施方式的光反射装置10D各自也可以具备参照图13至图15所说明的结构。
在以下的说明中，根据需要将第一实施方式的光反射装置10A、第二实施方式的光反射装置10B、第三实施方式的光反射装置10C以及第四实施方式的光反射装置10D总称为“光反射装置10”。
在第一实施方式至第四实施方式的每一个中，在入射到光反射部件11的光IL为激光的情况下，光反射装置10所处的环境容易产生热变化。因此，至此说明的各种效果变得更显著。
第一实施方式至第四实施方式的每一个的光反射装置10可以搭载在图16所例示的传感器装置20上。传感器装置20是用于检测位于规定的检测区域SA内的物体OB的装置。
传感器装置20具备发光元件21。发光元件21构成为射出不可见光IV。发光元件21可以通过发光二极管、激光二极管等来实现。
传感器装置20具备受光元件22。受光元件22对由发光元件21射出的不可见光IV的波长具有灵敏度，构成为输出与入射的光的强度对应的光检测信号LS。受光元件22可以通过光电二极管、光电晶体管、光敏电阻等来实现。
传感器装置20具备控制部23。控制部23构成为，输出使发光元件21射出不可见光IV的射出控制信号C1和使光反射装置10调节光反射部件11的姿态的反射控制信号C2。控制部23构成为接受从受光元件22输出的光检测信号LS。
控制部23通过输出射出控制信号C1，使发光元件21射出脉冲状的不可见光IV。从发光元件21射出的不可见光IV入射到光反射部件11。在发光元件21和光反射部件11之间，可以设置适当的光学系统。被光反射部件11的镜面111反射的不可见光IV朝向检测区域SA行进。
在物体OB位于不可见光IV的行进路径上的情况下，不可见光IV被物体OB反射，并返回到光反射部件11。控制部23通过输出反射控制信号C2，光反射装置10的第一促动器131和第二促动器132中的至少一方使第一臂部件121和第二臂部件122中的至少一方位移。由此，变更由光反射部件11的镜面111反射的反射角。具体而言，调节光反射部件11的姿态，以使来自物体OB的返回光朝向受光元件22反射。在光反射部件11和受光元件22之间，可以配置适当的光学系统。
来自被镜面111反射的物体OB的返回光入射到受光元件22。在受光元件22中，检测脉冲状的受光强度变化。受光元件22输出与该变化对应的光检测信号LS。控制部23通过接受与脉冲状的受光强度变化对应的光检测信号LS，能够检测物体OB位于从发光元件21射出并被光反射部件11反射的不可见光IV的行进路径上。另外，控制部23能够基于从通过发光元件21射出不可见光IV到通过受光元件22检测到返回光为止的时间，检测到物体OB的距离。
控制部23一边通过反射控制信号C2变更使发光元件21射出不可见光IV的时刻下的光反射部件11的姿态，一边重复上述处理。由此，在图16中用单点划线表示的范围内变更不可见光IV的行进方向。该范围与检测区域SA对应。因此，能够实现通过用从单个的发光元件21射出的不可见光IV扫描检测区域SA来检测物体OB的结构。
如前所述，由于抑制了因环境的热变化引起的光反射部件11的镜面111中的应变的发生，因此还能够抑制利用镜面111的传感器装置20进行的物体OB的检测精度的降低。
具有上述这样的功能的控制部23可以通过输出射出控制信号C1和反射控制信号C2的输出接口、接受光检测信号LS的输入接口、以及执行与射出控制信号C1、反射控制信号C2以及光检测信号LS相关的处理的处理器来实现。该处理器可通过微控制器、ASIC(应用专用集成电路)、FPGA(现场可编程门阵列)等专用集成电路来实现。该处理器也可以通过与通用存储器协作地动作的通用处理器来实现。
以上说明的各实施方式的光反射装置10可以搭载在图17所例示的照明装置30。照明装置30是用可见光V对规定的照明区域LA进行照明的装置。
照明装置30具备光源31。光源31构成为射出可见光V。光源31可以通过发光二极管、激光二极管、EL元件等的半导体发光元件来实现。
照明装置30具备控制部32。控制部32构成为，输出使光源31射出可见光V的射出控制信号C3和使光反射装置10调节光反射部件11的姿态的反射控制信号C4。
控制部32通过输出射出控制信号C3，使光源31射出可见光V。从光源31射出的可见光V入射到光反射部件11。在光源31和光反射部件11之间，可以设置适当的光学系统。被光反射部件11的镜面111反射的可见光V朝向照明区域LA行进。可见光V在照明区域LA中形成规定的配光图案P的一部分。
控制部32一边通过反射控制信号C4变更使光源31射出可见光V的时刻下的光反射部件11的姿态，一边重复上述处理。由此，在图17中用单点划线表示的范围内变更可见光V的行进方向。该范围与照明区域LA对应。通过以人眼不能识别的频率重复从单一光源31射出的可见光V进行的照明区域LA的扫描，看起来连续地形成具有比从单个的光源31射出的可见光V能够照明的面积大的面积的配光图案P。
控制部32可以变更射出控制信号C3和反射控制信号C4的组合，使得在光反射部件11位于能够朝向照明区域LA内的特定方向反射可见光V的姿态时，停止由光源31进行的可见光V的射出。在这种情况下，如图17所例示的那样，能够在照明区域LA内形成包含部分非照明区域UA的配光图案P。
如前所述，由于抑制了因环境的热变化引起的光反射部件11的镜面111中的应变的发生，因此还能够抑制与利用镜面111由照明装置30形成的配光图案P的配置和形状有关的精度的降低。
具有上述这样的功能的控制部32可以通过输出射出控制信号C3和反射控制信号C4的输出接口、以及执行与射出控制信号C3和反射控制信号C4相关的处理的处理器来实现。该处理器可通过微控制器、ASIC、FPGA等专用集成电路来实现。该处理器也可以通过与通用存储器协作地动作的通用处理器来实现。
如图18所例示的那样，上述传感器装置20和照明装置30中的至少一方可以搭载于车辆40。车辆40是移动体的一例。在本例中，传感器装置20和照明装置30中的至少一方搭载在车辆40的左前部。车辆40的左前部是位于比车辆40的左右方向上的中央更靠左侧、且比车辆40的前后方向上的中央更靠前侧的部分。传感器装置20的检测区域SA和照明装置30的照明区域LA设定在车辆40的外侧。上述非照明区域UA是为了抑制可对位于照明区域LA内的其他车辆的乘员或行人造成的眩光而形成的。
在传感器装置20和照明装置30双方都搭载于车辆40的情况下，单个光反射装置10的光反射部件11也可以由传感器装置20的发光元件21以及受光元件22、还有照明装置30的光源31共享。
在车辆40这样的移动体中，光反射装置10所处的环境容易产生热变化。因此，至此说明的各种效果变得更显著。
图19示意性地例示了第五实施方式的光反射装置10E的结构。图20例示了从前方观察的光反射装置10E。对与第一实施方式的光反射装置10A的构成要素实质上相同的构成要素赋予相同的参照附图标记，省略重复的说明。
图21例示了第一臂部件121被第一促动器131向后方拉动，且第二臂部件122的初始状态被第二促动器132维持的状态。通过使光反射部件11的镜面111相对于入射的光IL的角度从图19所例示的初始状态变化，来变更被反射的光RL的行进方向。即，通过适当地设定由第一促动器131引起的第一臂部件121的位移量和由第二促动器132引起的第二臂部件122的位移量的每一个，能够调节由光反射部件11反射的光RL的行进方向。
光反射装置10E具备多个应变仪17。在本例中，在光反射部件11、第一臂部件121以及第二臂部件122各自配置有应变仪17。应变仪17是检测在所配置的部位产生的应变的装置。应变仪17构成为输出与检测出的应变对应的应变检测信号DS。应变仪17是应变传感器一例。
光反射装置10E所处的环境的热变化能够导致光反射部件11、第一臂部件121以及第二臂部件122的每一个变形。这样的变形使光反射部件11的镜面111产生应变，会发生被镜面111反射的光RL的行进方向偏离期望的方向的事态。但是，通过从应变传感器17输出的应变检测信号DS来检测在光反射部件11、第一臂部件121、以及第二臂部件122的每一个上产生的变形，由此，能够进行使光反射部件11进行反射角度的变更的控制，以消除因在镜面111上产生的应变引起的反射光RL的行进方向的偏离。因此，能够抑制被镜面111反射的光RL的行进方向因环境的热变化引起的偏离期望的方向的事态的发生。
在光反射部件11、第一臂部件121以及第二臂部件122中的至少一个上配置的应变仪17的数量也可以为两个以上。应变仪17也可以配置在光反射部件11、第一臂部件121及第二臂部件122中的至少一个上。在应变仪17配置在光反射部件11的情况下，如图20所例示的那样，也可以将应变仪17配置在镜面111上的不妨碍光反射的位置，更直接地检测在镜面111上产生的应变。
如图19所例示的那样，光反射装置10E可以具备温度传感器19。温度传感器19可以构成为检测光反射部件11的温度，输出与该温度对应的温度检测信号TS。除此之外或者取而代之，光反射装置10E可以具备温度传感器19，该温度传感器19输出与第一臂部件121和第二臂部件122中的至少一方的温度对应的温度检测信号TS。
根据这样的结构，能够将与通过温度检测信号TS取得的光反射部件11、第一臂部件121以及第二臂部件122中的至少一个的温度相关的信息加入到通过应变检测信号DS取得的光反射部件11、第一臂部件121以及第二臂部件122中的至少一个的应变相关的信息中。由此，能够基于更多的信息进行控制，该控制使由光反射部件11进行反射角度的变更，以消除由在镜面111上产生的应变引起的反射光RL的行进方向的偏离。
图22示意性地例示了第六实施方式的光反射装置10F的结构。对与第五实施方式的光反射装置10E的构成要素实质上相同的构成要素赋予相同的参照附图标记，省略重复的说明。
光反射装置10F具备支承部件18。支承部件18具备支承面181和背面182。支承面181与光反射部件11的背面112接合。第一臂部件121的长度方向上的一端部和第二臂部件122的长度方向上的一端部接合于背面182。在本例中，在支承部件18上也配置有应变仪17。
光反射装置10F所处的环境的热变化能够导致光反射部件11、支承部件18、第一臂部件121以及第二臂部件122的每一个变形。这样的变形使光反射部件11的镜面111产生应变，会发生被镜面111反射的光RL的行进方向偏离期望的方向的事态。但是，通过从应变传感器17输出的应变检测信号DS来检测在光反射部件11、支承部件18、第一臂部件121、以及第二臂部件122的每一个上产生的变形，由此，能够进行使光反射部件11变更反射角度的控制，以消除因在镜面111上产生的应变引起的反射光RL的行进方向的偏离。因此，能够抑制被镜面111反射的光RL的行进方向因环境的热变化引起的偏离期望的方向的事态的发生。
在光反射部件11、支承部件18、第一臂部件121以及第二臂部件122中的至少一个上配置的应变仪17的数量也可以为两个以上。应变仪17也可以配置在光反射部件11、支承部件18、第一臂部件121及第二臂部件122中的至少一个上。
参照图19说明的温度传感器19可以配置在光反射部件11、支承部件18、第一臂部件121及第二臂部件122中的至少一个上。即，可以基于与光反射部件11、支承部件18、第一臂部件121以及第二臂部件122中的至少一个的温度对应的温度检测信号TS，进行使光反射部件11变更反射角度的控制，以消除由在镜面111上产生的应变引起的反射光RL的行进方向的偏离。
图23例示了第七实施方式的光反射装置10G的一部分。对与第五实施方式的光反射装置10E的构成要素实质上相同的构成要素赋予相同的参照附图标记，省略重复的说明。
在本实施方式中，光反射部件11的背面112包括与镜面111交叉的方向的尺寸变大的厚壁部112a。第一臂部件121和第二臂部件122的每一个与厚壁部112a接合。应变仪17配置在厚壁部112a。
光反射装置10G所处的环境的热变化能够导致光反射部件11、第一臂部件121以及第二臂部件122的每一个变形。可伴随变形而产生的应变应力容易集中在如厚壁部112a那样的表面形状发生变化的部位。通过将应变仪17配置在这样的部位，能够高效地进行应变的检测。
在图23所示的例子中，多个厚壁部112a形成在光反射部件11，第一臂部件121和第二臂部件122分别与多个厚壁部112a中的一个接合。但是，如图24所例示的那样，第一臂部件121和第二臂部件122也可以与单个厚壁部112a接合。
在图23和图24所示的例子中，第一臂部件121的长度方向上的一端面和第二臂部件122的长度方向上的一个端面接合于光反射部件11的厚壁部112a。但是，如图25所例示的那样，也可以是第一臂部件121的与长度方向上的一端面交叉的侧面与厚壁部112a的侧部接合。同样地，也可以是第二臂部件122的与长度方向上的一端面交叉的侧面与厚壁部112a的侧部接合。
如图26所例示的那样，光反射部件11的厚壁部112a可以以划分凹部112b的方式形成。在这种情况下，第一臂部件121和第二臂部件122能够在凹部112b内与光反射部件11接合。具体而言，第一臂部件121的与长度方向上的一端面交叉的侧面与划分凹部112b的一部分的厚壁部112a的侧部接合。同样地，第二臂部件122的与长度方向上的一端面交叉的侧面与划分凹部112b的另一部分的厚壁部112a的侧部接合。
如图27所例示的那样，光反射部件11的厚壁部112a可以形成为划分多个凹部112b。在这种情况下，第一臂部件121和第二臂部件122能够在多个凹部112b的一个中与光反射部件11接合。具体而言，第一臂部件121的与长度方向上的一端面交叉的侧面与划分多个凹部112b的一个的厚壁部112a的侧部接合。同样地，第二臂部件122的与长度方向上的一端面交叉的侧面与划分多个凹部112b的另一个的厚壁部112a的侧部接合。
图28示意性地例示了第八实施方式的光反射装置10H的结构。对与第六实施方式的光反射装置10F的构成要素实质上相同的构成要素赋予相同的参照附图标记，省略重复的说明。
在本实施方式中，光反射部件11的背面112包括与镜面111交叉的方向的尺寸变大的厚壁部112a。支承部件18的支承面181与光反射部件11的背面112对置。支承面181在厚壁部112a处与光反射部件11接合。应变仪17配置在厚壁部112a。
光反射装置10H所处的环境的热变化能够导致光反射部件11、支承部件18、第一臂部件121以及第二臂部件122的每一个变形。可伴随变形而产生的应变应力容易集中在限定于狭窄的区域的光反射部件11与支承部件18的接合部。通过将应变仪17配置在这样的部位，能够高效地进行应变的检测。
可以代替光反射部件11的厚壁部112a，如图29所例示的那样，支承部件18的支承面181包括与镜面111交叉的方向的尺寸变大的厚壁部181a。在这种情况下，应变仪17配置在厚壁部181a。根据这样的结构，也能够得到上述的效果。
也可以接合形成有至少一个厚壁部112a的光反射部件11和形成有至少一个厚壁部181a的支承部件18。
可以除了或代替图28或29所例示的结构，如图30所例示的那样，支承部件18的背面182包括与镜面111交叉的方向的尺寸变大的厚壁部182a。在这种情况下，应变仪17配置在厚壁部182a。
在以上说明的各实施方式中，第一促动器131具备使第一臂部件121位移的压电元件。同样地，第二促动器132具备使第二臂部件122位移的压电元件。压电元件适于精细且响应性高地控制位移量。
]但是，也可以构成为第一臂部件121和第二臂部件122各自包含压电元件。在这种情况下，根据所施加的电压，第一臂部件121和第二臂部件122各自向与光反射部件11的镜面111交叉的方向位移(伸缩)。即，第一臂部件121和第二臂部件122的每一个可以是促动器的一部分。
在以下的说明中，根据需要将第五实施方式的光反射装置10E、第六实施方式的光反射装置10F、第七实施方式的光反射装置10G以及第八实施方式的光反射装置10H总称为“光反射装置10”。
在第五实施方式至第八实施方式的每一个中，在入射到光反射部件11的光IL为激光的情况下，光反射装置10所处的环境容易产生热变化。因此，至此说明的各种效果变得更显著。
第五实施方式至第八实施方式的每一个的光反射装置10可以搭载在图31所例示的传感器装置20。传感器装置20是用于检测位于规定的检测区域SA内的物体OB的装置。对与图16所例示的传感器装置20实质上相同的构成要素赋予相同的参照附图标记，省略重复的说明。
控制部23构成为从应变仪17接受应变检测信号DS。控制部23基于应变检测信号DS检测因环境的热变化引起的在光反射装置10上产生的应变，输出变更光反射部件11的姿态的反射控制信号C2，以消除因在镜面111上产生的应变引起的反射光RL的行进方向的偏离。
由此，由于抑制了被镜面111反射的光RL的行进方向因环境的热变化引起的偏离期望的方向的事态的发生，因此还能够抑制利用镜面111的传感器装置20进行的物体OB的检测精度的降低。
具有上述这样的功能的控制部23可以通过输出射出控制信号C1和反射控制信号C2的输出接口、接受光检测信号LS和应变检测信号DS的输入接口、以及执行与射出控制信号C1、反射控制信号C2、光检测信号LS以及应变检测信号DS相关的处理的处理器来实现。该处理器可通过微控制器、ASIC、FPGA等专用集成电路来实现。该处理器也可以通过与通用存储器协作地动作的通用处理器来实现。
以上说明的各实施方式的光反射装置10可以搭载在图32所例示的照明装置30。照明装置30是用可见光V对规定的照明区域LA进行照明的装置。对与图17所例示的照明装置30实质上相同的构成要素赋予相同的参照附图标记，省略重复的说明。
控制部32构成为从应变仪17接受应变检测信号DS。控制部32基于应变检测信号DS来检测因环境的热变化引起的在光反射装置10上产生的应变，输出变更光反射部件11的姿态的反射控制信号C4，以消除因在镜面111上产生的应变引起的反射光RL的行进方向的偏离。
由此，由于抑制了被镜面111反射的光RL的行进方向因环境的热变化引起的偏离期望的方向的事态的发生，因此还能够抑制与利用镜面111由照明装置30形成的配光图案P的配置和形状有关的精度的降低。
具有上述这样的功能的控制部32可以通过接受应变检测信号DS的输入接口、输出射出控制信号C3和反射控制信号C4的输出接口、以及执行与应变检测信号DS、射出控制信号C3以及反射控制信号C4相关的处理的处理器来实现。该处理器可通过微控制器、ASIC、FPGA等专用集成电路来实现。该处理器也可以通过与通用存储器协作地动作的通用处理器来实现。
图31所例示的传感器装置20和图32所例示的照明装置30也可以搭载于图18所例示的车辆40。车辆40是移动体的一例。在本例中，传感器装置20和照明装置30中的至少一方搭载在车辆40的左前部。车辆40的左前部是位于比车辆40的左右方向的中央更靠左侧、且比车辆40的前后方向的中央更靠前侧的部分。传感器装置20的检测区域SA和照明装置30的照明区域LA设定在车辆40的外侧。上述非照明区域UA是为了抑制可对位于照明区域LA内的其他车辆的乘员或行人造成的眩光而形成的。
在传感器装置20和照明装置30双方都搭载于车辆40的情况下，单个的光反射装置10的光反射部件11也可以由传感器装置20的发光元件21以及受光元件22、还有照明装置30的光源31共享。
在车辆40这样的移动体中，光反射装置10所处的环境容易产生热变化。因此，至此说明的各种效果变得更显著。
上述各实施方式只不过是为了使本公开容易理解的例示。在不脱离本公开的主旨的情况下，可以适当地变更或改良上述各实施方式的结构。
在第五实施方式至第八实施方式的每一个中，可以代替能够以简单的结构取得应变检测信号DS的应变仪17，使用光纤传感器作为应变传感器的一例。光纤传感器可以采用检测形成在光纤内的FBG(Fiber Bragg Grating:光纤布拉格光栅)的反射光的方式、检测由形成光纤的玻璃粒子产生的瑞利散射光或布里渊散射光的方式等。由于各方式的光纤传感器的结构本身是公知的，因此省略详细的说明。
虽然需要单独准备用于取得应变检测信号DS的发光元件和受光元件，但由于光纤轻量且柔软，因此相对于光反射装置10的配置自由度高。另外，由于光纤非常细，因此即使配置在光反射装置10的表面，对外观和设计的影响也小。
在上述各实施方式中，通过以在左右方向上排列的方式配置的第一臂部件121和第二臂部件122中的至少一方的位移，能够在包含前后方向和左右方向的平面内变更光反射方向。此外，可以设置以在上下方向上排列的方式配置的一对臂部件。通过使该一对臂部件中的至少一方向与光反射部件11的镜面111交叉的方向位移，也能够变更在包括前后方向和上下方向的平面内的光反射方向。或者，通过在光反射部件11设置适当的支点，通过单个的臂部件的位移也能够变更光反射方向。
供传感器装置20和照明装置30中的至少一方配置的车辆40的位置除了图18所示的例子之外或取而代之，可以根据预先设定的检测区域SA和照明区域LA中的至少一方适当地确定。
供传感器装置20和照明装置30中的至少一方搭载的移动体不限定于车辆40。作为其他移动体的例子，可以举出铁路、飞行体、飞机、船舶等。供传感器装置20和照明装置30中的至少一方搭载的移动体也可以不需要驾驶员。
传感器装置20和照明装置30中的至少一方不需要搭载于移动体。例如，传感器装置20也可以应用于设置在住宅或设施等中并检测进入到检测区域内的物体的防犯罪系统。照明装置30也可以应用于在特定的路面或壁面上暂时显示规定的图形、文字、标识等的装置。
作为构成本申请的记载的一部分，援用2020年7月15日提交的日本国专利申请2020-121504号以及2020年7月15日提交的日本国专利申请2020-121505号的内容。

Claims (32)

1.一种光反射装置，其特征在于，具备：
光反射部件，其具有能够反射光的镜面；
臂部件，其与所述光反射部件接合；
促动器，其通过使所述臂部件向与所述镜面交叉的方向位移来变更所述镜面相对于所述光的角度；
用于形成所述光反射部件的材料的热膨胀系数比用于形成所述臂部件的材料的热膨胀系数小。
2.一种光反射装置，其特征在于，具备：
光反射部件，其具有能够反射光的镜面；
支承部件，其与所述光反射部件接合；
臂部件，其与所述支承部件接合；
促动器，其通过使所述臂部件向与所述镜面交叉的方向位移来变更所述镜面相对于所述光的角度；
用于形成所述光反射部件的材料的热膨胀系数比用于形成所述支承部件的材料的热膨胀系数和用于形成所述臂部件的材料的热膨胀系数中的至少一方小。
3.一种光反射装置，其特征在于，具备：
光反射部件，其具有能够反射光的镜面；
臂部件，其与所述光反射部件接合；
促动器，其通过使所述臂部件向与所述镜面交叉的方向位移来变更所述镜面相对于所述光的角度；
所述光反射部件具有距所述镜面的距离变长的厚壁部，
所述臂部件与所述厚壁部接合。
4.如权利要求3所述的光反射装置，其特征在于，
用于形成所述光反射部件的材料的热膨胀系数比用于形成所述臂部件的材料的热膨胀系数小。
5.一种光反射装置，其特征在于，具备：
光反射部件，其具有能够反射光的镜面；
支承部件，其与所述光反射部件接合；
臂部件，其与所述支承部件接合；
促动器，其通过使所述臂部件向与所述镜面交叉的方向位移来变更所述镜面相对于所述光的角度；
在所述光反射部件和所述支承部件中的至少一方，形成有与所述镜面交叉的方向的尺寸变大的凸部，
所述光反射部件与所述支承部件的接合在所述凸部处进行。
6.如权利要求5所述的光反射装置，其特征在于，
在所述支承部件，形成有距所述镜面的距离变长的厚壁部，
所述支承部件与所述臂部件的接合在所述厚壁部处进行。
7.如权利要求5或6所述的光反射装置，其特征在于，
用于形成所述光反射部件的材料的热膨胀系数比用于形成所述支承部件的材料的热膨胀系数和用于形成所述臂部件的材料的热膨胀系数中的至少一方小。
8.如权利要求1至7中任一项所述的光反射装置，其特征在于，
所述促动器包括压电元件。
9.如权利要求8所述的光反射装置，其特征在于，
所述臂部件包括所述压电元件。
10.如权利要求1至9中任一项所述的光反射装置，其特征在于，
具备树脂模制部，所述树脂模制部划分出空间，所述空间允许所述光反射部件和所述臂部件的位移，并且被气密地密封。
11.如权利要求10所述的光反射装置，其特征在于，
在所述空间填充有惰性气体。
12.如权利要求1至11中任一项所述的光反射装置，其特征在于，
所述镜面构成为能够反射激光。
13.一种传感器装置，其特征在于，具备：
如权利要求1至12中任一项所述的光反射装置；
发光元件，其射出不可见光；
受光元件，其输出与入射的不可见光的强度对应的光检测信号；
所述光反射装置的所述镜面将从所述发光元件射出的不可见光朝向检测区域反射，并且将被位于该检测区域内的物体反射的不可见光朝向所述受光元件反射。
14.如权利要求13所述的传感器装置，其特征在于，
构成为搭载于移动体。
15.一种照明装置，其特征在于，具备：
如权利要求1至12中任一项所述的光反射装置；
光源，其射出可见光；
所述光反射装置的所述镜面将所述可见光朝向照明区域反射。
16.如权利要求15所述的照明装置，其特征在于，具备：
发光元件，其射出不可见光；
受光元件，其输出与入射的不可见光的强度对应的光检测信号；
所述镜面将从所述发光元件射出的不可见光朝向检测区域反射，并且将被位于该检测区域内的物体反射的不可见光朝向所述受光元件反射。
17.如权利要求15或16所述的照明装置，其特征在于，
构成为搭载于移动体。
18.一种光反射装置，其特征在于，具备：
光反射部件，其具有能够反射光的镜面；
臂部件，其与所述光反射部件接合；
促动器，其通过使所述臂部件向与所述镜面交叉的方向位移来变更所述镜面相对于所述光的角度；
应变传感器，其输出与在所述光反射部件和所述臂部件中的至少一方上产生的应变对应的应变检测信号。
19.如权利要求18所述的光反射装置，其特征在于，
所述光反射部件具有与所述镜面交叉的方向的尺寸变大的厚壁部，
所述应变传感器配置在所述厚壁部。
20.如权利要求18或19所述的光反射装置，其特征在于，
具备温度传感器，其输出与所述光反射部件和所述臂部件中的至少一方的温度对应的温度检测信号。
21.一种光反射装置，其特征在于，具备：
光反射部件，其具有能够反射光的镜面；
支承部件，其与所述光反射部件接合；
臂部件，其与所述支承部件接合；
促动器，其通过使所述臂部件向与所述镜面交叉的方向位移来变更所述镜面相对于所述光的角度；
应变传感器，其输出与在所述光反射部件、所述支承部件以及所述臂部件中的至少一个上产生的应变对应的信号。
22.如权利要求21所述的光反射装置，其特征在于，
在所述光反射部件和所述支承部件中的至少一方，形成有与所述镜面交叉的方向的尺寸变大的厚壁部，
所述应变传感器配置在所述厚壁部。
23.如权利要求21或22所述的光反射装置，其特征在于，
具备温度传感器，其输出与所述光反射部件、所述支承部件以及所述臂部件中的至少一个的温度对应的温度检测信号。
24.如权利要求18至23中任一项所述的光反射装置，其特征在于，
所述应变传感器是应变仪。
25.如权利要求18至24中任一项所述的光反射装置，其特征在于，
所述促动器包括压电元件。
26.如权利要求25所述的光反射装置，其特征在于，
所述臂部件包括所述压电元件。
27.如权利要求18至26中任一项所述的光反射装置，其特征在于，
所述镜面构成为能够反射激光。
28.一种传感器装置，其特征在于，具备：
如权利要求18至27中任一项所述的光反射装置；
发光元件，其射出不可见光；
受光元件，其输出与入射的不可见光的强度对应的光检测信号；
控制部，其基于所述应变检测信号，控制所述光反射装置中的所述镜面的角度；
所述光反射装置的所述镜面将从所述发光元件射出的不可见光朝向检测区域反射，并且将被位于该检测区域内的物体反射的不可见光朝向所述受光元件反射。
29.如权利要求28所述的传感器装置，其特征在于，
构成为搭载于移动体。
30.一种照明装置，其特征在于，具备：
如权利要求18至27中任一项所述的光反射装置；
光源，其射出可见光；
控制部，其基于所述应变检测信号，控制所述光反射装置中的所述镜面的角度；
所述光反射装置的所述镜面将所述可见光朝向照明区域反射。
31.如权利要求30所述的照明装置，其特征在于，具备：
发光元件，其射出不可见光；
受光元件，其输出与入射的不可见光的强度对应的光检测信号；
所述镜面将从所述发光元件射出的不可见光朝向检测区域反射，并且将被位于该检测区域内的物体反射的不可见光朝向所述受光元件反射。
32.如权利要求30或31所述的照明装置，其特征在于，
构成为搭载于移动体。
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