WO2022004304A1 - ブレーズド回折光学素子、及びブレーズド回折光学素子の製造方法 - Google Patents

ブレーズド回折光学素子、及びブレーズド回折光学素子の製造方法 Download PDF

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Definitions

  • the technique of the present disclosure relates to a blazed diffractive optical element and a method for manufacturing a blazed diffractive optical element.
  • Japanese Unexamined Patent Publication No. 2011-107586 discloses a diffractive optical element in which a plurality of diffraction gratings made of at least three types of materials are laminated.
  • a plurality of diffraction gratings are made of materials M1A and M1B different from each other, and the lattice side edges of the grating portion are contacted or arranged close to each other in the lattice pitch direction.
  • a first combination portion made of, and a second combination part made of two diffraction gratings made of materials M2A and M2B different from each other, in which at least one material is different from the material of the two diffraction gratings of the first combination part.
  • the values of the refractive indexes N2Ad and N2Bd, and the Abbe numbers ⁇ 2A and ⁇ 2B are appropriately set.
  • One embodiment according to the technique of the present disclosure is a blazed diffraction grating capable of suppressing ghosts caused by incident light as compared with the case where the first blazed member and the second blazed member are directly laminated.
  • a method for manufacturing an element and a blazed diffraction optical element is provided.
  • a first aspect according to the technique of the present disclosure is a blazed grating, which has a first blazed member and a second blazed member, and the first blazed member and the second blazed member function as a blazed diffraction grating.
  • a lattice pair and an intermediate layer located between the first blazed member and the second blazed member are provided, the refractive index of the first blazed member is Na, the refractive index of the intermediate layer is N, and the second blazed member.
  • This is a blazed grating optical element in which the magnitude relationship of Na> N> Nb is established when the refractive index of is Nb.
  • the thickness of the intermediate layer is t
  • ⁇ c is a critical angle, h ⁇ t.
  • the first blazed member has a first sawtooth surface
  • the second blazed member has a second sawtooth surface
  • the first sawtooth surface and the second are complementary to the first aspect or the second aspect, in which the serrated surface is complementarily engaged with the intermediate layer.
  • the first blazed member has a first sawtooth surface
  • the second blazed member has a second sawtooth surface
  • the first sawtooth surface has a first sawtooth surface.
  • the 1st steep slope and the 1st gentle slope having a gentler slope than the 1st steep slope are formed
  • the 2nd serrated surface is formed by the 2nd steep slope and the 2nd gentle slope having a gentler slope than the 2nd steep slope.
  • a fifth aspect of the technique of the present disclosure is that the first serrated surface is formed by a first steep slope and a first gentle slope having a gentler slope than the first steep slope, and the second serrated surface is a second. It is composed of two steep slopes and a second gentle slope with a gentler slope than the second steep slope, and an intermediate layer is formed between the first serrated surface and the second serrated surface with the first steep slope and the second steep slope.
  • the blazed diffraction optical element according to the third aspect is arranged between the two.
  • a sixth aspect according to the technique of the present disclosure is that the first blazed member has a first serrated surface, the second blazed member has a second serrated surface, and the first serrated surface has a first sawtooth surface.
  • the 1 steep slope and the 1st gentle slope having a gentler slope than the 1st steep slope are formed, and the 2nd serrated surface is formed by the 2nd steep slope and the 2nd gentle slope having a gentler slope than the 2nd steep slope.
  • the thickness of the intermediate layer between the first serrated surface and the second serrated surface between the first steep slope and the second steep slope is t, and the lattice heights of the first blazed member and the second blazed member are defined as t.
  • This is a blazed diffraction grating according to the first aspect in which the inequality of h ⁇ t ⁇ tan ⁇ c and the equation of ⁇ c asin (Nb / Na) are established when h is defined as h and ⁇ c is defined as a critical angle.
  • a seventh aspect according to the technique of the present disclosure is that the first blazed member has a first reference plane, the second blazed member has a second reference plane, and the first steep slope and the first gentle slope have a first reference plane.
  • the surface rising from the first reference plane, the second steep slope and the second gentle slope are the planes rising from the second reference plane, the first steep slope is perpendicular to the first reference plane, and the second The blazed diffraction grating according to any one of the fourth to sixth aspects, wherein the steep slope is perpendicular to the second reference plane.
  • An eighth aspect according to the technique of the present disclosure is any one of the third to seventh aspects in which the first sawtooth surface and the second sawtooth surface are engaged with each other by the thickness of the intermediate layer. It is a blazed diffraction optical element which concerns on one aspect.
  • a ninth aspect according to the technique of the present disclosure is any of the first to eighth aspects, wherein the intermediate layer is composed of a plurality of layers having a refractive index that becomes smaller from the first blazed member side to the second blazed member side. It is a blazed diffraction grating according to one aspect.
  • a tenth aspect according to the technique of the present disclosure is a blazed diffraction optical element according to any one of the first to ninth aspects in which the intermediate layer is formed in a film shape.
  • the eleventh aspect according to the technique of the present disclosure is the blazed diffraction according to any one of the first to tenth aspects in which the blaze angle of the first blaze member and the blaze angle of the second blaze member are the same. It is an optical element.
  • a twelfth aspect according to the technique of the present disclosure is a blazed according to any one of the first to eleventh aspects in which the lattice height of the first blazed member and the lattice height of the second blazed member are the same. It is a diffraction optical element.
  • a thirteenth aspect according to the technique of the present disclosure is a blazed diffraction grating, comprising a blazed member and a layer provided on the blazed member, and the refractive index of the layer is the refractive index of the blazed member.
  • a fourteenth aspect according to the technique of the present disclosure is that the surrounding environment is anterior chamber water in the eye, and the refractive index of the layer is between the refractive index of the blazed member and the refractive index of the anterior chamber water.
  • a blazed diffraction grating according to a thirteenth aspect is that the surrounding environment is anterior chamber water in the eye, and the refractive index of the layer is between the refractive index of the blazed member and the refractive index of the anterior chamber water.
  • the refractive index of the anterior chamber water is A
  • the refractive index of the surface layer is B
  • the refractive index of the blazed member is C
  • the magnitude relationship of A ⁇ B ⁇ C is established. It is a blazed diffraction optical element which concerns on the 14th aspect which holds.
  • a seventeenth aspect according to the technique of the present disclosure is the fifteenth aspect or the fifteenth aspect in which the blazed member has a serrated surface and the layer is formed on the serrated surface in a shape corresponding to the serrated surface.
  • the blazed diffraction grating according to the sixteenth aspect is the fifteenth aspect or the fifteenth aspect in which the blazed member has a serrated surface and the layer is formed on the serrated surface in a shape corresponding to the serrated surface.
  • the eighteenth aspect according to the technique of the present disclosure is the blazed diffraction optical element according to the seventeenth aspect, wherein the serrated surface is formed of a steep slope and a gentle slope having a gentler slope than the steep slope.
  • a nineteenth aspect according to the technique of the present disclosure is that the blazed member has a reference plane, the steep slope and the gentle slope are planes rising from the reference plane, and the steep slope is perpendicular to the reference plane.
  • the blazed diffraction grating according to the eighteenth aspect is that the blazed member has a reference plane, the steep slope and the gentle slope are planes rising from the reference plane, and the steep slope is perpendicular to the reference plane.
  • a twentieth aspect according to the technique of the present disclosure is a blazed diffraction according to any one of the 17th to 19th aspects in which the serrated surface and the anterior chamber water are in contact with each other with a difference in the thickness of the layer. It is an optical element.
  • a twenty-first aspect according to the technique of the present disclosure is any one of the fourteenth to twenty-seventh aspects, wherein the surface layer is composed of a plurality of layers having a refractive index that increases from the anterior chamber water side to the blazed member side.
  • the 22nd aspect according to the technique of the present disclosure is a blazed diffraction optical element according to any one of the 13th to 21st aspects in which the surface layer is formed in a film shape.
  • a 23rd aspect according to the technique of the present disclosure is a method for manufacturing a blazed grating, which is intermediate between a step of forming a first blazed member and a step of forming an intermediate layer in a blazed portion of the first blazed member.
  • a step of forming a second blazed member paired with the first blazed member on the side opposite to the first blazed member side of the layer is provided, the refractive index of the first blazed member is Na, and the refractive index of the intermediate layer is N.
  • This is a method for manufacturing a blazed diffraction grating in which the magnitude relationship of Na> N> Nb is established when the refractive index of the second blazed member is Nb.
  • the 24th aspect according to the technique of the present disclosure is the method for manufacturing a blazed diffraction optical element according to the 23rd aspect, in which the step of forming the intermediate layer is the step of forming the intermediate layer by using a spin coat.
  • the thickness of the intermediate layer is t
  • a 26th aspect according to the technique of the present disclosure is a step in which the first blazed member has a first sawtooth surface, the second blazed member has a second sawtooth surface, and the second blazed member is formed.
  • the method for manufacturing a blazed diffraction grating according to any one of the 23rd to 25th embodiments wherein the first serrated surface and the second serrated surface are engaged with each other by shifting the thickness of the intermediate layer. be.
  • vertical is an error generally allowed in the technical field to which the technology of the present disclosure belongs, in addition to the perfect verticality, which is contrary to the purpose of the technology of the present disclosure. It refers to the vertical in the sense that it includes an error that does not occur.
  • orthogonality is an error generally allowed in the technical field to which the technique of the present disclosure belongs, in addition to the perfect orthogonality, which is contrary to the purpose of the technique of the present disclosure. It refers to orthogonality in the sense that it includes an error that does not occur.
  • parallel is an error generally allowed in the technical field to which the technology of the present disclosure belongs, in addition to the perfect parallelism, which is contrary to the purpose of the technology of the present disclosure. It refers to parallelism in the sense that it includes an error that does not occur.
  • identical is an error generally allowed in the technical field to which the technology of the present disclosure belongs, in addition to being completely the same, which is contrary to the purpose of the technology of the present disclosure. It refers to the same in the sense that it includes an error to the extent that it does not occur.
  • the junction optical element 10 includes a pair of lenses and a laminated blazed diffraction optical element 12.
  • the junction optical element 10 is used, for example, as a lens of an optical device (for example, a digital camera, a projector, a microscope, etc.) and a lens of a vision correction tool (for example, eyeglasses and contact lenses).
  • the pair of lenses included in the junction optical element 10 is a glass lens and transmits ultraviolet UV rays (see FIGS. 8, 10 and 13).
  • a plano-convex lens 14 see also FIG. 2
  • a biconcave lens 16 see also FIG. 3
  • a combination of a plano-convex lens 14 and a biconcave lens 16 is illustrated as a pair of lenses, but this is only an example, and the pair of lenses is a combination of other types of lenses (for example, a biconvex lens). It may be a combination with a plano-concave lens).
  • the pair of lenses does not have to be made of glass, and may be made of resin.
  • the thickness direction of the plano-convex lens 14 and the biconcave lens 16 is the Z direction
  • the width direction of the plano-convex lens 14 and the biconcave lens 16 is the X direction
  • the depth of the plano-convex lens 14 and the biconcave lens 16 in the figure The direction, that is, the direction orthogonal to the Z direction and the X direction will be described as the Y direction.
  • the laminated blazed diffraction optical element 12 is an example of the "blazeed diffraction optical element" according to the technique of the present disclosure, and includes a blazed diffraction grating pair 18.
  • the blazed diffraction grating pair 18 has a first blazed member 20 and a second blazed member 22, and functions as a diffraction grating by the first blazed member 20 and the second blazed member 22.
  • the first blazed member 20 has a front surface and a back surface in the Z direction, and the back surface is joined to the convex surface 14A of the plano-convex lens 14 (see also FIG. 2).
  • the surface of the first blazed member 20 is the first serrated surface 20A.
  • the first sawtooth surface 20A is formed in a cross-sectional view sawtooth shape.
  • the wedge-shaped grooves 26 are concentrically formed on the first sawtooth surface 20A.
  • the second blazed member 22 has a front surface and a back surface in the Z direction, and the back surface is joined to one concave surface 16A (see also FIG. 3) of the biconcave lens 16.
  • the surface of the second blazed member 22 is the second serrated surface 22A.
  • the second sawtooth surface 22A is formed in a cross-sectional view sawtooth shape.
  • the wedge-shaped grooves 28 are concentrically formed on the second serrated surface 22A.
  • the laminated blazed diffraction optical element 12 includes an intermediate layer 24.
  • the intermediate layer 24 is located between the first blazed member 20 and the second blazed member 22.
  • the refractive index of the first blazed member 20 is Na
  • the refractive index of the intermediate layer 24 is N
  • the refractive index of the second blazed member 22 is Nb
  • the magnitude relationship of "Na> N> Nb" is established.
  • “1.58” is shown as an example of the refractive index Na
  • "1.57” is shown as an example of the refractive index N
  • “1.57” is shown as an example of the refractive index Nb.
  • “1.56" is shown.
  • FIG. 5 shows an example of a method for manufacturing the laminated blazed diffraction optical element 12.
  • the manufacturing method shown in FIG. 5 includes a first blazed member forming step of step ST100, an intermediate layer forming step of step ST102, and a second blazed member forming step of step ST104.
  • step ST100 the first blazed member 20 is formed.
  • step ST102 the intermediate layer 24 is formed on the first serrated surface 20A of the first blazed member 20.
  • the first serrated surface 20A is an example of a "blazed portion" according to the technique of the present disclosure.
  • step ST104 a second blazed member 22 paired with the first blazed member 20 is formed on the side opposite to the first blazed member 20 side of the intermediate layer 24.
  • the first blazed member forming step, the intermediate layer forming step, and the second blazed member forming step will be described in more detail.
  • the cavity 34 is used as an example, as shown in FIG.
  • the cavity 34 is a mold for molding the first serrated surface 20A.
  • a recess 36 is formed in the central portion of the cavity 34.
  • the recess 36 is formed in a bowl shape.
  • the surface of the recess 36 is a concentric surface 36A.
  • the concentric surface 36A is a surface on which a wedge-shaped groove (for example, a groove corresponding to the wedge-shaped groove shown in FIG. 4) is formed concentrically around the center of the bottom of the recess 36.
  • the size and shape of the concentric surface 36A corresponds to the second serrated surface 22A. That is, the concentric surface 36A is formed to have the same size and shape as the second serrated surface 22A.
  • the liquid ultraviolet curable resin 38 for the first blazed member 20 is poured into the recess 36 so that air bubbles do not enter.
  • the size and shape of the concentric surface 36A take into consideration the shrinkage rate of the ultraviolet curable resin 38 when the ultraviolet UV (see FIG. 8) is irradiated to the ultraviolet curable resin 38 in the recess 36 in a later step. It is designed to be.
  • a plano-convex lens 14 is inserted into the recess 36 so that the convex surface 14A covers the recess 36. That is, the plano-convex lens 14 is submerged in the ultraviolet curable resin 38 in the recess 36 from the convex surface 14A in a state where the convex surface 14A faces the concentric surface 36A.
  • the ultraviolet curable resin 38 overflowing from the recess 36 is wiped off.
  • the ultraviolet irradiation device 40 receives ultraviolet UV rays from the plane 14B (the surface opposite to the convex surface 14A) side of the plano-convex lens 14. Irradiate.
  • the ultraviolet UV is transmitted through the plano-convex lens 14 and irradiated to the ultraviolet curable resin 38 in the recess 36.
  • the ultraviolet curable resin 38 is cured, and the first blazed member 20 is formed on the convex surface 14A (see FIGS. 1, 4, and 9).
  • the plano-convex lens 14 is taken out from the cavity 34. Then, as shown in FIG. 9, the plano-convex lens 14 is installed on the upper surface 42A1 of the disk base 42A of the spin coater 42 with the first sawtooth surface 20A facing upward. The center of the plane 14B (see FIG. 8) of the plano-convex lens 14 is aligned with the center of the top surface 42A1, and the plano-convex lens 14 is attached to the top surface 42A1.
  • Examples of the method of attaching the plano-convex lens 14 to the upper surface 42A1 include a method of attaching by suction and / or a method of attaching by a pressing member.
  • the liquid ultraviolet curable resin 44 for the intermediate layer 24 is dropped toward the center of the first serrated surface 20A.
  • the ultraviolet curable resin 44 is preferably an acrylic or epoxy-based ultraviolet curable resin.
  • a thermosetting resin may be applied instead of the ultraviolet curable resin. It is also possible to adjust the refractive index of the intermediate layer 24 by changing the substituent R of the methacrylate-based polymer. Further, the refractive index of the intermediate layer 24 may be adjusted by adjusting the mixing ratio of a plurality of types of materials.
  • the disk base 42A is rotated at high speed in a state where the ultraviolet curable resin 44 is dropped toward the center of the first serrated surface 20A. Centrifugal force is applied to the ultraviolet curable resin 44 by the rotation of the disk base 42A, and the ultraviolet curable resin 44 is diffusely coated on the entire first serrated surface 20A.
  • the ultraviolet irradiation device 40 irradiates the entire ultraviolet curable resin 44 diffusely coated on the entire first serrated surface 20A with ultraviolet UV.
  • the ultraviolet curable resin 44 is cured on the first sawtooth surface 20A, and the intermediate layer 24 is formed into a film on the first sawtooth surface 20A.
  • the intermediate layer 24 is a single layer, one film forming step is sufficient, but when the intermediate layer 24 is made into multiple layers, the same film forming step is repeated for the number of layers. ..
  • the plano-convex lens 14 is inserted into the concave surface 16A side of both concave lenses 16 so that the intermediate layer 24 covers the concave surface 16A. That is, the plano-convex lens 14 is submerged from the intermediate layer 24 in the ultraviolet curable resin 48 on the concave surface 16A side of both concave lenses 16 in a state where the intermediate layer 24 faces the concave surface 16A. The ultraviolet curable resin 48 overflowing from the concave surface 16A is wiped off.
  • the ultraviolet irradiation device 50 reverses the other concave surface 16B (concave surface 16A) of the biconcave lens 16.
  • (Side surface) Irradiate ultraviolet UV from the side.
  • the ultraviolet UV is transmitted through the biconcave lens 16 and irradiated to the ultraviolet curable resin 48.
  • the ultraviolet curable resin 48 is cured, and the second blazed member 22 is formed on the concave surface 16A.
  • ⁇ Conventional laminated blazed diffraction optical element> 14 and 15 show, as an example of the conventional diffractive optical element, a laminated blazed diffraction optical element that does not include an intermediate layer, that is, a laminated blazed diffraction optical element 100 in which a pair of blazed members are directly engaged. It is shown.
  • the pair of blazed members are a first blazed member 102 corresponding to the first blazed member 20 and a second blazed member corresponding to the second blazed member 22. It is formed by a member 104.
  • the first blazed member 102 has a first sawtooth surface 106 corresponding to the first sawtooth surface 20A.
  • the first blazed member 102 has a first reference plane 102A.
  • the first reference plane 102A is a virtually set plane, and is, for example, a plane parallel to the plane corresponding to the convex plane 14A (see FIG. 1).
  • the first serrated surface 106 is formed by the first steep slope 106A and the second gentle slope 106B.
  • the first gentle slope 106B is a surface having a gentler slope with respect to the first reference surface 102A than the first steep slope 106A.
  • the first steep slope 106A is a plane perpendicular to the first reference plane 102A, and the height of the first steep slope 106A from the first reference plane 102A is the lattice height of the first blazed member 102.
  • the first steep slope 106A does not have to be perpendicular to the first reference surface 102A. This is because, in the optical system used, the angle of the first steep slope 106A is appropriately determined so as to have the highest diffraction efficiency with respect to the direction of the main incident light beam.
  • the second blazed member 104 has a second sawtooth surface 108 corresponding to the second sawtooth surface 22A.
  • the second blazed member 102 has a second reference plane 104A.
  • the second reference plane 104A is a virtually set plane, and is, for example, a plane parallel to the plane corresponding to the concave surface 16A (see FIG. 1).
  • the second serrated surface 22A is formed by the second steep slope 108A and the second gentle slope 108B.
  • the second gentle slope 108B is a surface having a gentler slope with respect to the second reference surface 104A than the second steep slope 108A.
  • the second steep slope 108A is a plane perpendicular to the second reference plane 104A, and the height of the second steep slope 108A from the second reference plane 104A is the lattice height of the second blazed member 104.
  • the first serrated surface 106 of the first blazed member 102 is directly engaged with the second serrated surface 108 of the second blazed member 104.
  • the first steep slope 106A is in direct contact with the second steep slope 108A
  • the first gentle slope 106B is in direct contact with the second gentle slope 108B.
  • FIG. 14 and FIG. 15 for convenience of explanation, when it is not necessary to distinguish between the first steep slope 106A and the second steep slope 108A, it is referred to as a “steep slope” without a reference numeral and is referred to as a first gentle slope.
  • a “gentle slope” without a reference numeral.
  • the refractive index of the first blazed member 102 is higher than the refractive index of the second blazed member 104, and in the example shown in FIG. 14, "1.58" is shown as the refractive index of the first blazed member 102. 2 “1.56” is shown as the refractive index of the blazed member 104.
  • the subject light is incident on the second blazed member 104 (layer having a refractive index of "1.56") from the first blazed member 102 (layer having a refractive index of "1.58”) via a gentle slope. Again, it is incident on the first blazed member 102 via the steep slope and then incident on the second blazed member 104 via the gentle slope.
  • the subject light is refracted on the steep slope depending on the angle ⁇ 1 at which the subject light is incident on the steep slope. In the example shown in FIG. 14, the angle ⁇ 1 at which the subject light is incident on the steep slope is 5 degrees, and the angle ⁇ 2 at which the subject light is refracted on the steep slope is 7 degrees. As a result, a ghost due to the refraction of the subject light is reflected in the captured image obtained by being captured by the image sensor.
  • the subject light transmitted from the first blazed member 102 through the gentle slope is incident on the steep slope, but in the example shown in FIG. 15, the subject light incident on the first blazed member 102 is incident on the gentle slope.
  • the steep slope is directly irradiated without going through.
  • the angle ⁇ 1 the subject light is totally reflected on the steep slope.
  • the angle ⁇ 1 is in the range of 0 degrees or more and 11 degrees or less, the subject light is totally reflected on a steep slope.
  • a ghost due to total reflection of the subject light is reflected in the captured image obtained by being captured by the image sensor.
  • the laminated blazed diffraction optical element 12 includes a blazed diffraction grating pair 18 and an intermediate layer 24.
  • the intermediate layer 24 having a refractive index N is located between the first blazed member 20 having a refractive index Na and the second blazed member 22 having a refractive index Nb.
  • a magnitude relationship of "Na>N>Nb" is established between the first blazed member 20 having a refractive index Na, the second blazed member 22 having a refractive index Nb, and the intermediate layer 24 having a refractive index N.
  • first serrated surface 20A is formed by a first steep slope 20A1 and a first gentle slope 20A2 having a gentler slope than the first steep slope 20A1.
  • the second serrated surface 22A is formed by a second steep slope 22A1 and a second gentle slope 22A2 having a gentler slope than the second steep slope 22A1.
  • the intermediate layer 24 is arranged between the first serrated surface 20A and the second serrated surface 22A, and between the first steep slope 20A1 and the second steep slope 22A1.
  • first serrated surface 20A and the second serrated surface 22A are complementarily engaged with each other via the intermediate layer 24. That is, the first sawtooth surface 20A and the second sawtooth surface 22A are engaged with each other via the intermediate layer 24 so that the first steep slope 20A1 and the second steep slope 22A1 are alternately arranged along the X direction. There is.
  • first blazed member 20 has a first reference surface 52
  • second blazed member 22 has a second reference surface 54
  • the first reference plane 52 and the second reference plane 54 are virtually set planes.
  • the first reference surface 52 is a surface parallel to the convex surface 14A (see FIG. 1)
  • the second reference surface 54 is a surface parallel to the concave surface 16A (see FIG. 1).
  • the first steep slope 20A1 and the first gentle slope 20A2 are surfaces rising from the first reference surface 52
  • the second steep slope 22A1 and the second gentle slope 22A2 are surfaces rising from the second reference surface 54.
  • the first steep slope 20A1 is perpendicular to the first reference plane 52
  • the second steep slope 22A1 is perpendicular to the second reference plane 54.
  • first serrated surface 20A and the second serrated surface 22A are engaged with each other with a deviation of the thickness of the intermediate layer 24. That is, the first serrated surface 20A and the second serrated surface 22A are engaged with each other via the intermediate layer 24.
  • the blaze angle of the first blazed member 20 and the blaze angle of the second blazed member 22 are the same.
  • the lattice height of the first blazed member 20 and the lattice height of the second blazed member are the same.
  • the first blazed member 20 and the subject light are transmitted.
  • the lattice height of the second blazed member 22 is h
  • the thickness of the intermediate layer 24 is t
  • the critical angle is ⁇ c
  • the inequality of h ⁇ t ⁇ tan ⁇ , ⁇ c asin (Nb / Na), etc.
  • the lattice height h and the thickness t of the intermediate layer 24 are determined so that the equation holds.
  • the thickness t of the intermediate layer 24 represents the thickness between the first gentle slope 20A2 and the second gentle slope 22A2, and the thickness between the first steep slope 20A1 and the second steep slope 22A1.
  • the critical angle is the minimum incident angle at which the subject light cannot be transmitted from the second blazed member 22 when the subject light is irradiated from the first blazed member 20 side of the laminated blazed diffraction optical element 12.
  • the fact that the subject light cannot be transmitted means, for example, that the subject light is totally reflected between layers (mediums) having different refractive indexes and the subject light does not pass through the layers.
  • the angle of incidence is a subject that is incident on the joint surface of adjacent layers (for example, the joint surface between the first blazed member 20 and the intermediate layer 24, and the joint surface between the intermediate layer 24 and the second blazed member 20). Refers to the angle of the optical path of light. In the example shown in FIG. 17, the angle of the optical path of the subject light incident on the joint surface of the adjacent layer is the angle with respect to the normal of the joint surface.
  • the subject light is transmitted from the second medium side to the first medium.
  • the critical angle ⁇ c between the first blazed member 20 and the intermediate layer 24 is larger than the critical angle ⁇ c between the first blazed member 20 and the second blazed member 22. Therefore, even if the angle of the optical path of the subject light incident on the intermediate layer 24 from the first blazed member 20 is equal to or more than the critical angle ⁇ c between the first blazed member 20 and the second blazed member 22, the first The subject light incident on the intermediate layer 24 from the blazed member 20 is refracted by the intermediate layer 24 without being totally reflected. The refracted subject light reaches the lower surface 56 (the joint surface (boundary surface) between the intermediate layer 24 and the second blazed member 22) in FIG. 17 of the intermediate layer 24 before reaching the second blazed member 22. Then, it is incident on the second blazed member 22 adjacent to the lower surface 56.
  • the critical angle ⁇ c1 between the first blazed member 20 and the intermediate layer 24 is 83.6 degrees. Therefore, even if the subject light has an incident angle exceeding 79 degrees, which is the critical angle ⁇ c when the intermediate layer 24 does not exist, if the incident angle is smaller than 83.6 degrees, it is intermediate with the first blazed member 20. No total reflection with layer 24. That is, the subject light incident on the joint surface between the first blazed member 20 and the intermediate layer 24 is such that the first blazed member 20 and the intermediate layer 24 are in the range of 79 degrees ⁇ angle ⁇ ⁇ 83.6 degrees. It is incident on the intermediate layer 24 without total internal reflection at the joint surface. Then, the subject light incident on the intermediate layer 24 is incident on the second blazed member 22 from the lower surface 56 in the drawing of the intermediate layer 24.
  • the laminated blazed diffraction grating 12 includes a blazed diffraction grating pair 18 that functions as a diffraction grating by the first blazed member 20 and the second blazed member 22, and the first blazed member 20 and the second blazed member 22. It is provided with an intermediate layer 24 located between the and. Then, a magnitude relationship of "Na> N> Nb" is established between the first blazed member 20 having a refractive index Na, the second blazed member 22 having a refractive index Nb, and the intermediate layer 24 having a refractive index N.
  • the thickness of the intermediate layer 24 is t, and the critical angle is ⁇ c.
  • the optimum lattice height and the optimum thickness of the intermediate layer 24 can be easily determined.
  • the first serrated surface 20A and the second serrated surface 22A are complementarily engaged with each other via the intermediate layer 24. Therefore, according to this configuration, it is caused by the incident light as compared with the case where the first sawtooth surface 20A and the second sawtooth surface 22A are not complementarily engaged with each other via the intermediate layer 24. ghosts can be suppressed.
  • the intermediate layer 24 is arranged between the first serrated surface 20A and the second serrated surface 22A and between the first steep slope 20A1 and the second steep slope 22A1. There is. Therefore, according to this configuration, it is caused by the light incident on the first steep slope 20A1 and the second steep slope 22A1 as compared with the case where the intermediate layer 24 is not arranged between the first steep slope 20A1 and the second steep slope 22A1. The ghost that occurs can be suppressed.
  • the thickness of the intermediate layer 24 is set between the first steep slope 20A1 and the second steep slope 22A1 between the first serrated surface 20A and the second serrated surface 22A.
  • a grid height at which ghosts are less likely to occur and as a thickness of the intermediate layer 24 between the first steep slope 20A1 and the second steep slope 22A1 where ghosts are less likely to occur as compared with the case where the thickness of the intermediate layer 24 between the two is determined.
  • the optimum grid height and the optimum thickness of the intermediate layer 24 can be easily determined.
  • the first steep slope 20A1 is perpendicular to the first reference surface 52
  • the second steep slope 22A1 is perpendicular to the second reference surface 54. Therefore, according to this configuration, the first steep slope 20A1 is not perpendicular to the first reference surface 52 and the second steep slope 22A1 is not perpendicular to the second reference surface 52. And the ghost caused by the light incident on the second steep slope 22A1 can be suppressed.
  • the first serrated surface 20A and the second serrated surface 22A are engaged with each other with a deviation of the thickness of the intermediate layer 24. Therefore, according to this configuration, the ghost caused by the incident light is compared with the case where the first sawtooth surface 20A and the second sawtooth surface 22A are not engaged with each other by the thickness of the intermediate layer 24. Can be suppressed.
  • the intermediate layer 24 is formed in a film shape. Therefore, according to this configuration, it is possible to contribute to the thinning of the laminated blazed diffraction optical element 12.
  • the blaze angle of the first blaze member 20 and the blaze angle of the second blazed member 22 are the same. Therefore, according to this configuration, ghosts caused by incident light can be suppressed as compared with the case where the blaze angle of the first blazed member 20 and the blaze angle of the second blazed member 22 are not uniform.
  • the lattice height of the first blazed member 20 and the lattice height of the second blazed member are the same. Therefore, according to this configuration, ghosts caused by incident light can be suppressed as compared with the case where the lattice height of the first blazed member 20 and the lattice height of the second blazed member are not uniform.
  • the intermediate layer forming step included in the manufacturing method of the laminated blazed diffraction optical element 12 includes a step of forming the intermediate layer 24 by using a spin coat. Therefore, according to this configuration, the intermediate layer 24 can be easily formed into a film having a uniform thickness as compared with the case where the intermediate layer 24 is vapor-deposited.
  • the intermediate layer 24 is interposed between the entire surface of the first gentle slope 20A2 and the entire surface of the second gentle slope 22A2
  • the technique of the present disclosure is not limited thereto. ..
  • the intermediate layer 24 is interposed between at least the first steep slope 20A1 of the first sawtooth surface 20A and at least the second steep slope 22A1 of the second sawtooth surface 22A.
  • ghosts caused by light incident on the first steep slope 20A1 and the second steep slope 22A1 are suppressed as compared with the case where the intermediate layer 24 is not arranged between the first steep slope 20A1 and the second steep slope 22A1. can do.
  • the intermediate layer 24 is a single layer, but the technique of the present disclosure is not limited to this, and the intermediate layer 24 may have a multi-layered structure.
  • the intermediate layer 24 is formed by the first layer 30 and the second layer 32.
  • the first layer 30 and the second layer 32 are laminated.
  • the first layer 30 is joined to the first sawtooth surface 20A
  • the second layer 32 is joined to the second sawtooth surface 22A. That is, the first blazed member 20, the first layer 30, the second layer 32, and the second blazed member 22 are laminated in this order from the convex surface 14A (see FIG. 1) to the concave surface 16A (see FIG. 1).
  • the refractive index of the first layer 30 is N1 and the refractive index of the second layer 32 is N2, the refractive index Na of the first blaze member 20, the refractive index N1 of the first layer 30, and the second layer 32.
  • the magnitude relationship of "Na> N1> N2> Nb" is established between the refractive index N2 of the above and the refractive index Nb of the second blaze member.
  • the refraction of the light incident on the intermediate layer 24 can be finely controlled stepwise as compared with the case where the intermediate layer 24 is composed of one layer.
  • the first layer 30 and the second layer 32 are merely examples, and if there are a plurality of layers having a small refractive index from the first blazed member 20 side to the second blazed member 22 side, three or more layers are used. There may be. Further, the intermediate layer 24 does not need to be divided into a plurality of layers, and the refractive index may change continuously.
  • the second blazed member 22 and the biconcave lens 16 are integrally bonded to the intermediate layer 24 by immersing the intermediate layer 24 in the biconcave lens 16 and irradiating the intermediate layer 24 with ultraviolet rays.
  • the technique of the present disclosure is not limited to this. For example, using the molding cavity of the second blazed member 22, the second blazed member 22 is first joined to the intermediate layer 24, and then the concave surface 16A of both concave lenses 16 is attached to the second blazed member 22. It may be joined.
  • ultraviolet UV may be irradiated from the plane 14B side of the plano-convex lens 14.
  • ultraviolet UV having a wavelength that can be transmitted through the first blazed member 20 and the intermediate layer 24 may be irradiated.
  • the ultraviolet curable resins 38, 44, 46 and 48 have been exemplified, but the technique of the present disclosure is not limited thereto.
  • it may be a photocurable resin that cures in response to light having a wavelength different from that of ultraviolet rays, or it may be a thermosetting resin.
  • a pair of lenses is applied to the junction optical element 10, but the technique of the present disclosure is not limited to this, and any optical element that transmits light is an optical element other than the lens. You may.
  • the film forming method by spin coating is exemplified, but the technique of the present disclosure is not limited to this, and a film forming method by spray coating, inkjet or the like may be used.
  • the intermediate layer 24 may be formed by using an inorganic material such as SiO2, TiO2, or MgF2. When coating an inorganic material, it is preferable to use thin film deposition or the like.
  • the refractive index of the plurality of layers (mediums) formed from the first blazed member 20 to the second blazed member 22 on the side on which the subject light is incident is the second from the first blazed member 20 side.
  • the technique of the present disclosure is not limited to this, and the technique is not limited to this, and extends from the second blazed member 22 side to the first blazed member 20 side regardless of the incident direction of the subject light. Even if the refractive index of the plurality of layers is reduced, the same effect as that of the above embodiment can be obtained.
  • the junction optical element 10 has been described, but the technique of the present disclosure is not limited to this, and the technique of the present disclosure can be applied to a diffraction type multifocal intraocular lens.
  • the diffractive multifocal intraocular lens 58 which is an example of the “blazeed diffraction optical element” according to the technique of the present disclosure, is located in the eyeball 60 (hereinafter, also referred to as “intraocular”). It is incorporated and used. For example, it is implanted in the eye instead of the crystalline lens, which is clouded by cataracts. In the example shown in FIG.
  • a diffractive multifocal intraocular lens 58 is arranged instead of the crystalline lens.
  • the surface of the diffractive multifocal intraocular lens 58 (the surface on the side in contact with the anterior chamber water) is covered with a blaze diffractive lattice.
  • the surface of the diffractive multifocal intraocular lens 58 is in direct contact with the anterior chamber water (hereinafter, also referred to as “anterior chamber water”) 64 filled in the anterior chamber 62.
  • the diffraction-type multifocal intraocular lens 58 includes a blazed member 66 and a surface layer 68.
  • the blazed member 66 is a member corresponding to the second blazed member 22 described in the above embodiment
  • the surface layer 68 is a member corresponding to the intermediate layer 24 described in the above embodiment.
  • the surface layer 68 is an example of the “layer” according to the technique of the present disclosure.
  • the blazed member 66 is formed with a sawtooth surface 66A corresponding to the second sawtooth surface 22A described in the above embodiment.
  • the serrated surface 66A is formed by a steep slope 66A1 and a gentle slope 66A2.
  • the steep slope 66A1 is a slope corresponding to the second steep slope 22A1 described in the above embodiment
  • the gentle slope 66A2 is a slope corresponding to the second gentle slope 22A2 described in the above embodiment.
  • the back surface 68A of the surface layer 68 is joined to the serrated surface 66A, and the surface 68B of the surface layer 68 is in contact with the anterior aqueous humor 64.
  • the surface layer 68 is formed in a shape corresponding to the serrated surface 66A. That is, the surface 68B exists at a position offset from the sawtooth surface 66A to the anterior chamber water 64 side by the thickness t described in the above embodiment, and has the same shape (sawtooth shape) as the sawtooth surface 66A. It is formed. Therefore, the portion of the anterior aqueous humor 64 that comes into contact with the surface 68B has the same shape as the first serrated surface 20A described in the above embodiment.
  • the refractive index of the anterior chamber water 64 is A (for example, about 1.34)
  • the refractive index of the surface layer 68 is B
  • the refractive index of the blaze member 66 is C
  • the refractive index A of the anterior chamber water 64 and the surface layer 68 The refractive index B and the refractive index C are determined so that the magnitude relationship of "A ⁇ B ⁇ C" is established between the refractive index B of the above and the refractive index C of the blaze member 66. That is, the anterior chamber water 64 corresponds to the second blazed member 22 described in the first embodiment, the blazed member 66 corresponds to the first blazed member 20 described in the above embodiment, and the surface layer 68 corresponds to the above embodiment.
  • the surface layer 68 may also have a multi-layered structure like the intermediate layer 24. Further, the surface layer 68 does not need to be divided into a plurality of layers, and the refractive index may change continuously. For example, in the surface layer 68, the refractive index is closer to the refractive index A of the anterior chamber water 64 toward the anterior chamber water side so that the refractive index from the anterior chamber water 64 to the blaze member 66 changes continuously, and the blaze member 66 side. The refractive index may be closer to the refractive index C of the surface layer 68 and may have a continuously changing refractive index distribution.
  • a diffractive multifocal intraocular lens 58 may be applied to the eye model 70.
  • the pseudo-anterior chamber 72 of the eyeball model 70 may be filled with a liquid 74 having the same refractive index as the anterior chamber water 64.
  • the eyeball model 70 is an eyeball model used in an experimental stage for manufacturing a device (for example, an ophthalmic observation device or an ophthalmic laser treatment device) used for diagnosis or treatment of diabetic retinopathy or retinal detachment. It may be an eyeball model used for skill training for medical students or doctors to perform various ophthalmic operations or various examinations.
  • a device for example, an ophthalmic observation device or an ophthalmic laser treatment device
  • It may be an eyeball model used for skill training for medical students or doctors to perform various ophthalmic operations or various examinations.
  • a and / or B is synonymous with "at least one of A and B". That is, “A and / or B” means that it may be only A, it may be only B, or it may be a combination of A and B. Further, in the present specification, when three or more matters are connected and expressed by "and / or", the same concept as “A and / or B" is applied.

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Abstract

ブレーズド回折光学素子は、第１ブレーズド部材及び第２ブレーズド部材を有し、第１ブレーズド部材及び第２ブレーズド部材によって回折格子として機能するブレーズド回折格子対と、第１ブレーズド部材と第２ブレーズド部材との間に位置する中間層と、を備え、第１ブレーズド部材の屈折率をＮａとし、中間層の屈折率をＮとし、第２ブレーズド部材の屈折率をＮｂとしたとき、Ｎａ＞Ｎ＞Ｎｂの大小関係が成立する。

Description

ブレーズド回折光学素子、及びブレーズド回折光学素子の製造方法
　本開示の技術は、ブレーズド回折光学素子、及びブレーズド回折光学素子の製造方法に関する。
　特開２０１１－１０７５８６号公報には、少なくとも３種類の材料からなる複数の回折格子を積層した回折光学素子が開示されている。特許文献１に記載の回折光学素子において、複数の回折格子は、互いに異なった材料Ｍ１Ａ、Ｍ１Ｂより成り、格子部の格子側縁が、格子ピッチ方向に接触又は近接配置された２つの回折格子より成る第１の組合せ部と、少なくとも１つの材料が第１の組合せ部の２つの回折格子の材料と異なり、互いに異なった材料Ｍ２Ａ、Ｍ２Ｂより成る２つの回折格子より成る第２の組合せ部とを有する。そして、第１の組合せ部を成す材料Ｍ１Ａ、Ｍ１Ｂの、ある波長ｗ（ｎｍ）における屈折率Ｎ１Ａｗ、Ｎ１Ｂｗ、アッベ数ν１Ａ、ν１Ｂ、第２の組合せ部を成す材料Ｍ２Ａ、Ｍ２Ｂの、ｄ線のおける屈折率Ｎ２Ａｄ、Ｎ２Ｂｄ、アッベ数ν２Ａ、ν２Ｂの値が適切に設定される。
　本開示の技術に係る一つの実施形態は、第１ブレーズド部材と第２ブレーズド部材とを直接積層させた場合に比べ、入射された光に起因して生じるゴーストを抑制することができるブレーズド回折光学素子、及びブレーズド回折光学素子の製造方法を提供する。
　本開示の技術に係る第１の態様は、ブレーズド回折光学素子であって、第１ブレーズド部材及び第２ブレーズド部材を有し、第１ブレーズド部材及び第２ブレーズド部材によって回折格子として機能するブレーズド回折格子対と、第１ブレーズド部材と第２ブレーズド部材との間に位置する中間層と、を備え、第１ブレーズド部材の屈折率をＮａとし、中間層の屈折率をＮとし、第２ブレーズド部材の屈折率をＮｂとしたとき、Ｎａ＞Ｎ＞Ｎｂの大小関係が成立するブレーズド回折光学素子である。
　本開示の技術に係る第２の態様は、第１ブレーズド部材及び第２ブレーズド部材の格子高さをｈとし、中間層の厚さをｔとし、θｃを臨界角としたとき、ｈ＜ｔ・ｔａｎθｃの不等式、及びθｃ＝ａｓｉｎ（Ｎｂ／Ｎａ）の等式が成立する第１の態様に係るブレーズド回折光学素子である。
　本開示の技術に係る第３の態様は、第１ブレーズド部材が、第１鋸歯状面を有し、第２ブレーズド部材は、第２鋸歯状面を有し、第１鋸歯状面及び第２鋸歯状面が、中間層を介して相補的に係合されている第１の態様又は第２の態様に係るブレーズド回折光学素子である。
　本開示の技術に係る第４の態様は、第１ブレーズド部材が、第１鋸歯状面を有し、第２ブレーズド部材が、第２鋸歯状面を有し、第１鋸歯状面が、第１急斜面と第１急斜面よりも勾配が緩い第１緩斜面とで形成されており、第２鋸歯状面が、第２急斜面と第２急斜面よりも勾配が緩い第２緩斜面とで形成されており、中間層が、第１鋸歯状面と第２鋸歯状面との間において、第１急斜面と第２急斜面との間に配置されている第１の態様又は第２の態様に係るブレーズド回折光学素子である。
　本開示の技術に係る第５の態様は、第１鋸歯状面が、第１急斜面と第１急斜面よりも勾配が緩い第１緩斜面とで形成されており、第２鋸歯状面が、第２急斜面と第２急斜面よりも勾配が緩い第２緩斜面とで形成されており、中間層が、第１鋸歯状面と第２鋸歯状面との間において、第１急斜面と第２急斜面との間に配置されている第３の態様に係るブレーズド回折光学素子である。
　本開示の技術に係る第６の態様は、第１ブレーズド部材が、第１鋸歯状面を有し、第２ブレーズド部材が、第２鋸歯状面を有し、第１鋸歯状面が、第１急斜面と第１急斜面よりも勾配が緩い第１緩斜面とで形成されており、第２鋸歯状面が、第２急斜面と第２急斜面よりも勾配が緩い第２緩斜面とで形成されており、第１鋸歯状面と第２鋸歯状面との間において、第１急斜面と第２急斜面との間における中間層の厚さをｔとし、第１ブレーズド部材及び第２ブレーズド部材の格子高さをｈとし、θｃを臨界角としたとき、ｈ＜ｔ・ｔａｎθｃの不等式、及びθｃ＝ａｓｉｎ（Ｎｂ／Ｎａ）の等式が成立する第１の態様に係るブレーズド回折光学素子である。
　本開示の技術に係る第７の態様は、第１ブレーズド部材が、第１基準面を有し、第２ブレーズド部材が、第２基準面を有し、第１急斜面及び第１緩斜面が、第１基準面から立ち上がった面であり、第２急斜面及び第２緩斜面が、第２基準面から立ち上がった面であり、第１急斜面が、第１基準面に対して垂直であり、第２急斜面が、第２基準面に対して垂直である第４の態様から第６の態様の何れか１つの態様に係るブレーズド回折光学素子である。
　本開示の技術に係る第８の態様は、第１鋸歯状面及び第２鋸歯状面が、中間層の厚み分ずれて係合されている第３の態様から第７の態様の何れか１つの態様に係るブレーズド回折光学素子である。
　本開示の技術に係る第９の態様は、中間層が、第１ブレーズド部材側から第２ブレーズド部材側にかけて小さくなる屈折率を有する複数の層からなる第１の態様から第８の態様の何れか１つの態様に係るブレーズド回折光学素子である。
　本開示の技術に係る第１０の態様は、中間層が、膜状に形成されている第１の態様から第９の態様の何れか１つの態様に係るブレーズド回折光学素子である。
　本開示の技術に係る第１１の態様は、第１ブレーズド部材のブレーズ角及び第２ブレーズド部材のブレーズ角が同一である第１の態様から第１０の態様の何れか１つの態様に係るブレーズド回折光学素子である。
　本開示の技術に係る第１２の態様は、第１ブレーズド部材の格子高さと第２ブレーズド部材の格子高さが同一である第１の態様から第１１の態様の何れか１つの態様に係るブレーズド回折光学素子である。
　本開示の技術に係る第１３の態様は、ブレーズド回折光学素子であって、ブレーズド部材と、ブレーズド部材上に設けられた層と、を備え、層の屈折率が、ブレーズド部材の屈折率と、ブレーズド部材の周囲の環境の屈折率との間である、ブレーズド回折光学素子である。
　本開示の技術に係る第１４の態様は、周囲の環境が、眼内にある前房水であり、層の屈折率は、ブレーズド部材の屈折率と、前房水の屈折率との間にある、第１３の態様に係るブレーズド回折光学素子である。
　本開示の技術に係る第１５の態様は、前房水の屈折率をＡとし、表層の屈折率をＢとし、ブレーズド部材の屈折率をＣとしたとき、Ａ＜Ｂ＜Ｃの大小関係が成立する第１４の態様に係るブレーズド回折光学素子である。
　本開示の技術に係る第１６の態様は、ブレーズド部材の格子高さをｈとし、層の厚さをｔとし、θｃを臨界角としたとき、ｈ＜ｔ・ｔａｎθｃの不等式、及びθｃ＝ａｓｉｎ（Ａ／Ｃ）の等式が成立する第１５の態様に係るブレーズド回折光学素子である。
　本開示の技術に係る第１７の態様は、ブレーズド部材が、鋸歯状面を有し、層が、鋸歯状面上に、鋸歯状面に相当する形状に形成されている第１５の態様又は第１６の態様に係るブレーズド回折光学素子である。
　本開示の技術に係る第１８の態様は、鋸歯状面が、急斜面と急斜面よりも勾配が緩い緩斜面とで形成されている第１７の態様に係るブレーズド回折光学素子である。
　本開示の技術に係る第１９の態様は、ブレーズド部材が、基準面を有し、急斜面及び緩斜面が、基準面から立ち上がった面であり、急斜面が、基準面に対して垂直である、第１８の態様に係るブレーズド回折光学素子である。
　本開示の技術に係る第２０の態様は、鋸歯状面及び前房水が、層の厚み分ずれて接触している第１７の態様から第１９の態様の何れか１つの態様に係るブレーズド回折光学素子である。
　本開示の技術に係る第２１の態様は、表層が、前房水側からブレーズド部材側にかけて大きくなる屈折率を有する複数の層からなる第１４の態様から第２０の態様の何れか１つの態様に係るブレーズド回折光学素子である。
　本開示の技術に係る第２２の態様は、表層が、膜状に形成されている第１３の態様から第２１の態様の何れか１つの態様に係るブレーズド回折光学素子である。
　本開示の技術に係る第２３の態様は、ブレーズド回折光学素子の製造方法であって、第１ブレーズド部材を形成する工程と、第１ブレーズド部材のブレーズド部に中間層を形成する工程と、中間層の第１ブレーズド部材側と反対側に第１ブレーズド部材と対を成す第２ブレーズド部材を形成する工程と、を備え、第１ブレーズド部材の屈折率をＮａとし、中間層の屈折率をＮとし、第２ブレーズド部材の屈折率をＮｂとしたとき、Ｎａ＞Ｎ＞Ｎｂの大小関係が成立するブレーズド回折光学素子の製造方法である。
　本開示の技術に係る第２４の態様は、中間層を形成する工程が、中間層をスピンコートを用いて形成する工程である第２３の態様に係るブレーズド回折光学素子の製造方法である。
　本開示の技術に係る第２５の態様は、第１ブレーズド部材及び第２ブレーズド部材の格子高さをｈとし、中間層の厚さをｔとし、θｃを臨界角としたとき、ｈ＜ｔ・ｔａｎθｃの不等式、及びθｃ＝ａｓｉｎ（Ｎｂ／Ｎａ）の等式が成立する厚さの中間層を形成する第２３の態様又は第２４の態様に係るブレーズド回折光学素子の製造方法である。
　本開示の技術に係る第２６の態様は、第１ブレーズド部材が、第１鋸歯状面を有し、第２ブレーズド部材が、第２鋸歯状面を有し、第２ブレーズド部材を形成する工程において、第１鋸歯状面と第２鋸歯状面とを中間層の厚み分ずらして係合させる第２３の態様から第２５の態様の何れか１つの態様に係るブレーズド回折光学素子の製造方法である。
接合光学素子の断面構造の一例を示す概略断面図である。 接合光学素子に用いられる平凸レンズの外観の一例を示す概略斜視図である。 接合光学素子に用いられる両凹レンズの外観の一例を示す概略斜視図である。 第１鋸歯状面及び第２鋸歯状面の外観の一例を示す概念図である。 積層型ブレーズド回折光学素子の製造方法の一例を示すフローチャートである。 第１ブレーズド部材形成工程において、キャビティ内に紫外線硬化樹脂を流し込む態様の一例を示す概略斜視図である。 第１ブレーズド部材形成工程において、紫外線硬化樹脂が入っているキャビティ内に平凸レンズの凸面を入れ込む態様の一例を示す概略斜視図である。 第１ブレーズド部材形成工程において、平凸レンズの平面側から紫外線が照射される態様の一例を示す概略斜視図である。 中間層形成工程において、スピンコートが行われている態様の一例を示す概略斜視図である。 中間層形成工程において、第１ブレーズド部材の全面に塗布された紫外線硬化樹脂に紫外線が照射される態様の一例を示す概略斜視図である。 第２ブレーズド部材形成工程において、両凹レンズの一方の凹面に紫外線硬化樹脂を流し込む態様の一例を示す概略斜視図である。 第２ブレーズド部材形成工程において、紫外線硬化樹脂が入っている凹面に、第１ブレーズド部材上に中間層が形成された平凸レンズを中間層側から入れ込む態様の一例を示す概略斜視図である。 第２ブレーズド部材形成工程において、両凹レンズの他方の凹面側から紫外線が照射される態様の一例を示す概念図である。 従来の積層型ブレーズド回折光学素子の構成の一例を示す概念図である。 従来の積層型ブレーズド回折光学素子の構成の一例を示す概念図である。 積層型ブレーズド回折光学素子の構成の一例を示す概略部分断面図である。 積層型ブレーズド回折光学素子に被写体光が入射された場合の積層型ブレーズド回折光学素子内の態様の一例を示す概略部分断面図である。 積層型ブレーズド回折光学素子の構成の第１変形例を示す概略部分断面図である。 積層型ブレーズド回折光学素子の構成の第２変形例を示す概略部分断面図である。 ブレーズド回折光学素子の構成の一例を示す概略断面図である。
　以下、添付図面に従って本開示の技術に係る積層型ブレーズド回折光学素子、及び積層型ブレーズド回折光学素子の製造方法の実施形態の一例について説明する。
　なお、本明細書の説明において、「垂直」とは、完全な垂直の他に、本開示の技術が属する技術分野で一般的に許容される誤差であって、本開示の技術の趣旨に反しない程度の誤差を含めた意味合いでの垂直を指す。また、本明細書の説明において、「直交」とは、完全な直交の他に、本開示の技術が属する技術分野で一般的に許容される誤差であって、本開示の技術の趣旨に反しない程度の誤差を含めた意味合いでの直交を指す。また、本明細書の説明において、「平行」とは、完全な平行の他に、本開示の技術が属する技術分野で一般的に許容される誤差であって、本開示の技術の趣旨に反しない程度の誤差を含めた意味合いでの平行を指す。また、本明細書の説明において、「同一」とは、完全な同一の他に、本開示の技術が属する技術分野で一般的に許容される誤差であって、本開示の技術の趣旨に反しない程度の誤差を含めた意味合いでの同一を指す。
　＜接合光学素子の全体構成＞
　一例として図１に示すように、接合光学素子１０は、一対のレンズ及び積層型ブレーズド回折光学素子１２を備えている。接合光学素子１０は、例えば、光学装置（例えば、デジタルカメラ、プロジェクタ、及び顕微鏡等）のレンズ、及び視力矯正具（例えば、眼鏡及びコンタクトレンズ）のレンズとして利用される。
　接合光学素子１０に含まれる一対のレンズはガラス製のレンズであり、紫外線ＵＶ（図８、図１０及び図１３参照）を透過する。図１に示す例では、一対のレンズとして、平凸レンズ１４（図２も参照）及び両凹レンズ１６（図３も参照）が示されている。ここでは、一対のレンズとして、平凸レンズ１４と両凹レンズ１６との組み合わせを例示しているが、これはあくまでも一例に過ぎず、一対のレンズは、他種類のレンズの組み合わせ（例えば、両凸レンズと平凹レンズとの組み合わせ）であってもよい。また、一対のレンズはガラス製である必要はなく、樹脂製であってもよい。
　なお、以下では、説明の便宜上、平凸レンズ１４及び両凹レンズ１６の厚み方向をＺ方向とし、平凸レンズ１４及び両凹レンズ１６の幅方向をＸ方向とし、平凸レンズ１４及び両凹レンズ１６の図中奥行方向、すなわち、Ｚ方向及びＸ方向に直交する方向をＹ方向として説明する。
　積層型ブレーズド回折光学素子１２は、本開示の技術に係る「ブレーズド回折光学素子」の一例であり、ブレーズド回折格子対１８を備えている。ブレーズド回折格子対１８は、第１ブレーズド部材２０及び第２ブレーズド部材２２を有しており、第１ブレーズド部材２０及び第２ブレーズド部材２２によって回折格子として機能する。
　一例として図１に示すように、第１ブレーズド部材２０は、Ｚ方向に表面と裏面を有しており、裏面が平凸レンズ１４の凸面１４Ａ（図２も参照）に接合されている。第１ブレーズド部材２０の表面は第１鋸歯状面２０Ａである。第１鋸歯状面２０Ａは、断面視鋸歯状に形成されている。一例として図４に示すように、第１ブレーズド部材２０をＺ方向下側から観察した場合、第１鋸歯状面２０Ａには同心円状に楔状溝２６が形成されている。
　一例として図１に示すように、第２ブレーズド部材２２は、Ｚ方向に表面と裏面を有しており、裏面が両凹レンズ１６の一方の凹面１６Ａ（図３も参照）に接合されている。第２ブレーズド部材２２の表面は第２鋸歯状面２２Ａである。第２鋸歯状面２２Ａは、断面視鋸歯状に形成されている。一例として図４に示すように、第２ブレーズド部材２２をＺ方向上側から観察した場合、第２鋸歯状面２２Ａには同心円状に楔状溝２８が形成されている。
　一例として図１に示すように、積層型ブレーズド回折光学素子１２は、中間層２４を備えている。中間層２４は、第１ブレーズド部材２０と第２ブレーズド部材２２との間に位置している。
　ここで、第１ブレーズド部材２０の屈折率をＮａとし、中間層２４の屈折率をＮとし、第２ブレーズド部材２２の屈折率をＮｂとしたとき、“Ｎａ＞Ｎ＞Ｎｂ”の大小関係が成立する。図１に示す例では、屈折率Ｎａの一例として、“１．５８”が示されており、屈折率Ｎの一例として、“１．５７”が示されており、屈折率Ｎｂの一例として、“１．５６”が示されている。
　＜積層型ブレーズド回折光学素子の製造方法＞
　図５には、積層型ブレーズド回折光学素子１２の製造方法の一例が示されている。図５に示す製造方法は、ステップＳＴ１００の第１ブレーズド部材形成工程と、ステップＳＴ１０２の中間層形成工程と、ステップＳＴ１０４の第２ブレーズド部材形成工程と、を含む。
　ステップＳＴ１００では、第１ブレーズド部材２０が形成される。ステップＳＴ１０２では、第１ブレーズド部材２０の第１鋸歯状面２０Ａに中間層２４が形成される。なお、第１鋸歯状面２０Ａは、本開示の技術に係る「ブレーズド部」の一例である。ステップＳＴ１０４では、中間層２４の第１ブレーズド部材２０側と反対側に第１ブレーズド部材２０と対をなす第２ブレーズド部材２２が形成される。以下、第１ブレーズド部材形成工程、中間層形成工程、及び第２ブレーズド部材形成工程について、より詳しく説明する。
　＜第１ブレーズド部材形成工程＞
　第１ブレーズド部材２０を作る場合、一例として図６に示すように、キャビティ３４を用いる。キャビティ３４は、第１鋸歯状面２０Ａの成型用の金型である。キャビティ３４の中央部には、窪み３６が形成されている。窪み３６は、ボウル状に形成されている。窪み３６の表面は、同心円状面３６Ａである。同心円状面３６Ａは、窪み３６の底の中央を中心として同心円状に楔状溝（例えば、図４に示す楔状溝に対応する溝）が形成された面である。同心円状面３６Ａの大きさ及び形状は、第２鋸歯状面２２Ａに対応している。すなわち、同心円状面３６Ａは、第２鋸歯状面２２Ａと同一の大きさ及び形状で形成されている。
　窪み３６には、気泡が入り込まないように第１ブレーズド部材２０用の液状の紫外線硬化樹脂３８が流し込まれる。なお、同心円状面３６Ａの大きさ及び形状は、後の工程で窪み３６内の紫外線硬化樹脂３８に対して紫外線ＵＶ（図８参照）が照射された場合の紫外線硬化樹脂３８の収縮率を考慮して設計されている。
　窪み３６に紫外線硬化樹脂３８が流し込まれると、次に、一例として図７に示すように、凸面１４Ａを窪み３６に被せるように平凸レンズ１４を窪み３６に入れ込む。すなわち、凸面１４Ａを同心円状面３６Ａに正対させた状態で凸面１４Ａから窪み３６内の紫外線硬化樹脂３８に平凸レンズ１４を沈める。窪み３６から溢れた紫外線硬化樹脂３８は拭き取られる。
　次に、一例として図８に示すように、窪み３６に平凸レンズ１４が入れられた状態で、紫外線照射装置４０が、平凸レンズ１４の平面１４Ｂ（凸面１４Ａと反対側の面）側から紫外線ＵＶを照射する。紫外線ＵＶは、平凸レンズ１４を透過して窪み３６内の紫外線硬化樹脂３８に照射される。これにより、紫外線硬化樹脂３８が硬化して、凸面１４Ａに第１ブレーズド部材２０が形成される（図１、図４及び図９参照）。
　＜中間層形成工程＞
　中間層２４を作る場合、先ず、平凸レンズ１４がキャビティ３４から取り出される。そして、一例として図９に示すように、平凸レンズ１４は、第１鋸歯状面２０Ａを上方に向けた状態でスピンコータ４２の円盤台４２Ａの上面４２Ａ１に設置される。平凸レンズ１４の平面１４Ｂ（図８参照）の中心は、上面４２Ａ１の中心に位置合わせされ、平凸レンズ１４が上面４２Ａ１に取り付けられる。
　上面４２Ａ１に対する平凸レンズ１４の取り付け方法としては、例えば、吸着による取り付け方法及び／又は押さえ付け部材による取り付け方法等が挙げられる。
　次に、円盤台４２Ａの上面４２Ａ１に平凸レンズ１４が取り付けられた状態で、中間層２４用の液状の紫外線硬化樹脂４４が第１鋸歯状面２０Ａの中心に向けて落とされる。紫外線硬化樹脂４４は、アクリル系又はエポキシ系の紫外線硬化樹脂であることが好ましい。また、紫外線硬化樹脂に代えて熱硬化樹脂を適用してもよい。また、メタクリレート系高分子の置換基Ｒを変化させることにより中間層２４の屈折率を調整することも可能である。また、複数種類の材料の混合比を調整することで中間層２４の屈折率を調整するようにしてもよい。
　次に、紫外線硬化樹脂４４が第１鋸歯状面２０Ａの中心に向けて落とされた状態、円盤台４２Ａを高速回転させる。円盤台４２Ａの回転により紫外線硬化樹脂４４に遠心力が加わり、紫外線硬化樹脂４４が第１鋸歯状面２０Ａの全体に拡散塗布される。
　次に、一例として図１０に示すように、紫外線照射装置４０が、第１鋸歯状面２０Ａの全体に拡散塗布された紫外線硬化樹脂４４の全体に対して紫外線ＵＶを照射する。これにより、第１鋸歯状面２０Ａ上で紫外線硬化樹脂４４が硬化され、第１鋸歯状面２０Ａに中間層２４が膜状に形成される。なお、ここでは、中間層２４が単層であるため、１回の成膜工程で足りるが、中間層２４を複層化させる場合には、同様の成膜工程が層数分だけ繰り返し行われる。
　＜第２ブレーズド部材形成工程＞
　第２ブレーズド部材２２を作る場合、一例として図１１に示すように、両凹レンズ１６の凹面１６Ａには、気泡が入り込まないように第２ブレーズド部材２２用の液状の紫外線硬化樹脂４８が流し込まれる。
　次に、一例として図１２に示すように、中間層２４を凹面１６Ａに被せるように平凸レンズ１４を両凹レンズ１６の凹面１６Ａ側に入れ込む。すなわち、中間層２４を凹面１６Ａに正対させた状態で中間層２４から両凹レンズ１６の凹面１６Ａ側の紫外線硬化樹脂４８に平凸レンズ１４を沈める。凹面１６Ａから溢れた紫外線硬化樹脂４８は拭き取られる。
　次に、一例として図１３に示すように、両凹レンズ１６の凹面１６Ａ側に平凸レンズ１４が入れられた状態で、紫外線照射装置５０が、両凹レンズ１６の他方の凹面１６Ｂ（凹面１６Ａとは反対側の面）側から紫外線ＵＶを照射する。紫外線ＵＶは、両凹レンズ１６を透過して紫外線硬化樹脂４８に照射される。これにより、紫外線硬化樹脂４８が硬化して、凹面１６Ａ上に第２ブレーズド部材２２が形成される。
　＜従来の積層型ブレーズド回折光学素子＞
　図１４及び図１５には、従来の回折光学素子の一例として、中間層を含まない積層型ブレーズド回折光学素子、すなわち、一対のブレーズド部材が直接係合している積層型ブレーズド回折光学素子１００が示されている。
　一例として図１４に示すように、積層型ブレーズド回折光学素子１００において、一対のブレーズド部材は、第１ブレーズド部材２０に相当する第１ブレーズド部材１０２と、第２ブレーズド部材２２に相当する第２ブレーズド部材１０４によって形成されている。
　第１ブレーズド部材１０２は、第１鋸歯状面２０Ａに相当する第１鋸歯状面１０６を有する。第１ブレーズド部材１０２は、第１基準面１０２Ａを有する。第１基準面１０２Ａは、仮想的に設定された面であり、例えば、凸面１４Ａ（図１参照）に相当する面に対して平行な面である。
　第１鋸歯状面１０６は、第１急斜面１０６Ａ及び第２緩斜面１０６Ｂによって形成されている。第１緩斜面１０６Ｂは、第１急斜面１０６Ａよりも第１基準面１０２Ａに対して勾配が緩い面である。第１急斜面１０６Ａは、第１基準面１０２Ａに対して垂直な面であり、第１基準面１０２Ａからの第１急斜面１０６Ａの高さが、第１ブレーズド部材１０２の格子高さである。なお、第１急斜面１０６Ａは、第１基準面１０２Ａに対して垂直でなくてもよい。なぜならば、使用される光学系において、主たる入射光線の方向に対し、最も回折効率が高くなるように第１急斜面１０６Ａの角度が適切に決定されるからである。
　第２ブレーズド部材１０４は、第２鋸歯状面２２Ａに相当する第２鋸歯状面１０８を有する。第２ブレーズド部材１０２は、第２基準面１０４Ａを有する。第２基準面１０４Ａは、仮想的に設定された面であり、例えば、凹面１６Ａ（図１参照）に相当する面に対して平行な面である。
　第２鋸歯状面２２Ａは、第２急斜面１０８Ａ及び第２緩斜面１０８Ｂによって形成されている。第２緩斜面１０８Ｂは、第２急斜面１０８Ａよりも第２基準面１０４Ａに対して勾配が緩い面である。第２急斜面１０８Ａは、第２基準面１０４Ａに対して垂直な面であり、第２基準面１０４Ａからの第２急斜面１０８Ａの高さが、第２ブレーズド部材１０４の格子高さである。
　第１ブレーズド部材１０２の第１鋸歯状面１０６は、第２ブレーズド部材１０４の第２鋸歯状面１０８に直接係合している。この場合、第１急斜面１０６Ａは、第２急斜面１０８Ａに直接接触しており、第１緩斜面１０６Ｂは、第２緩斜面１０８Ｂに直接接触している。なお、図１４及び図１５に示すでは、説明の便宜上、第１急斜面１０６Ａと第２急斜面１０８Ａとを区別して説明する必要がない場合、符号を付さずに「急斜面」と称し、第１緩斜面１０６Ｂと第２緩斜面１０８Ｂとを区別して説明する必要がない場合、符号を付さずに「緩斜面」と称する。
　第１ブレーズド部材１０２の屈折率は、第２ブレーズド部材１０４の屈折率よりも高く、図１４に示す例では、第１ブレーズド部材１０２の屈折率として“１．５８”が示されており、第２ブレーズド部材１０４の屈折率として“１．５６”が示されている。
　この場合、被写体光が第１ブレーズド部材１０２（屈折率が“１．５８”の層）から緩斜面を介して第２ブレーズド部材１０４（屈折率が“１．５６”の層）に入射され、再び、急斜面を介して第１ブレーズド部材１０２に入射されてから、緩斜面を介して第２ブレーズド部材１０４に入射される。ここで、被写体光が急斜面に入射される角度θ１次第で、急斜面で被写体光が屈折する。図１４に示す例では、被写体光が急斜面に入射される角度θ１は５度であり、急斜面で被写体光が屈折する角度θ２は７度である。この結果、イメージセンサによって撮像されることで得られる撮像画像には、被写体光の屈折によるゴーストが写り込んでしまう。
　図１４に示す例では、第１ブレーズド部材１０２から緩斜面を透過した被写体光が急斜面に入射されているが、図１５に示す例では、第１ブレーズド部材１０２に入射された被写体光が緩斜面を介さずに急斜面に直接照射されている。この場合、角度θ１次第で、急斜面で被写体光が全反射する。例えば、角度θ１が０度以上１１度以下の範囲の場合、被写体光は急斜面で全反射される。この結果、イメージセンサによって撮像されることで得られる撮像画像には、被写体光の全反射によるゴーストが写り込んでしまう。
　＜積層型ブレーズド回折光学素子の詳細＞
　このような事情に鑑み、一例として図１８に示すように、積層型ブレーズド回折光学素子１２は、ブレーズド回折格子対１８及び中間層２４を備えている。屈折率Ｎの中間層２４は、屈折率Ｎａの第１ブレーズド部材２０と屈折率Ｎｂの第２ブレーズド部材２２との間に位置している。また、屈折率Ｎａの第１ブレーズド部材２０、屈折率Ｎｂの第２ブレーズド部材２２、及び屈折率Ｎの中間層２４の間において、“Ｎａ＞Ｎ＞Ｎｂ”の大小関係が成立している。
　また、第１鋸歯状面２０Ａは、第１急斜面２０Ａ１と第１急斜面２０Ａ１よりも勾配が緩い第１緩斜面２０Ａ２とで形成されている。第２鋸歯状面２２Ａは、第２急斜面２２Ａ１と第２急斜面２２Ａ１よりも勾配が緩い第２緩斜面２２Ａ２とで形成されている。そして、中間層２４は、第１鋸歯状面２０Ａと第２鋸歯状面２２Ａとの間において、第１急斜面２０Ａ１と第２急斜面２２Ａ１との間に配置されている。
　また、第１鋸歯状面２０Ａ及び第２鋸歯状面２２Ａは、中間層２４を介して相補的に係合されている。すなわち、第１急斜面２０Ａ１と第２急斜面２２Ａ１とがＸ方向に沿って交互に配置されるように第１鋸歯状面２０Ａと第２鋸歯状面２２Ａとが中間層２４を介して係合している。
　また、第１ブレーズド部材２０は、第１基準面５２を有し、第２ブレーズド部材２２は、第２基準面５４を有する。第１基準面５２及び第２基準面５４は仮想的に設定された面である。第１基準面５２は、凸面１４Ａ（図１参照）に対して平行な面であり、第２基準面５４は、凹面１６Ａ（図１参照）に対して平行な面である。
　第１急斜面２０Ａ１及び第１緩斜面２０Ａ２は、第１基準面５２から立ち上がった面であり、第２急斜面２２Ａ１及び第２緩斜面２２Ａ２は、第２基準面５４から立ち上がった面である。第１急斜面２０Ａ１は、第１基準面５２に対して垂直であり、第２急斜面２２Ａ１は、第２基準面５４に対して垂直である。
　また、第１鋸歯状面２０Ａ及び第２鋸歯状面２２Ａは、中間層２４の厚み分ずれて係合されている。すなわち、第１鋸歯状面２０Ａ及び第２鋸歯状面２２Ａは、中間層２４を介して係合している。
　また、第１ブレーズド部材２０のブレーズ角及び第２ブレーズド部材２２のブレーズ角は同一である。また、第１ブレーズド部材２０の格子高さと第２ブレーズド部材の格子高さは同一である。
　一例として図１７に示すように、積層型ブレーズド回折光学素子１２では、被写体光を第１ブレーズド部材２０から中間層２４を介して第２ブレーズド部材２２を透過させるために、第１ブレーズド部材２０と第２ブレーズド部材２２の格子高さをｈとし、中間層２４の厚さをｔとし、臨界角をθｃとしたとき、ｈ＜ｔ・ｔａｎθの不等式、及びθｃ＝ａｓｉｎ（Ｎｂ／Ｎａ）の等式が成立するように、格子高さｈ及び中間層２４の厚さｔが定められている。
　なお、中間層２４の厚さｔは、第１緩斜面２０Ａ２と第２緩斜面２２Ａ２との間の厚さ、及び第１急斜面２０Ａ１と第２急斜面２２Ａ１との間の厚さを表している。
　また、ここで、臨界角とは、積層型ブレーズド回折光学素子１２の第１ブレーズド部材２０側から被写体光を照射した場合に被写体光を第２ブレーズド部材２２から透過させることができない入射角の最小値を指す。ここで、被写体光を透過させることができないとは、例えば、屈折率が異なる層（媒体）間で、被写体光が全反射してしまって被写体光が層間を透過しないことを意味する。入射角とは、隣接する層の接合面（例えば、第１ブレーズド部材２０と中間層２４との接合面、及び中間層２４と第２ブレーズド部材２０との接合面）に対して入射される被写体光の光路の角度を指す。図１７に示す例において、隣接する層の接合面に対して入射される被写体光の光路の角度は、接合面の法線に対する角度である。
　＜積層型ブレーズド回折光学素子の作用及び効果＞
　次に、積層型ブレーズド回折光学素子１２の作用について説明する。
　“第１の媒体の屈折率＜第２の媒体の屈折率”という大小関係が成立している第１の媒体及び第２の媒体間において、被写体光が第２の媒体側から第１の媒体側に向けて照射された場合、臨界角θｃ＝ａｓｉｎ｛（第１の媒体の屈折率）／（第２の媒体の屈折率）｝以上の角度で被写体光は全反射する。
　図１７に示す例において、第１ブレーズド部材２０及び中間層２４間の臨界角θｃは、第１ブレーズド部材２０及び第２ブレーズド部材２２間の臨界角θｃよりも大きい。そのため、第１ブレーズド部材２０から中間層２４に対して入射される被写体光の光路の角度が、第１ブレーズド部材２０及び第２ブレーズド部材２２間での臨界角θｃ以上であっても、第１ブレーズド部材２０から中間層２４に対して入射される被写体光は中間層２４で全反射せずに屈折する。屈折した被写体光は、第２ブレーズド部材２２に到達する前に、中間層２４のうちの図１７中の下面５６（中間層２４と第２ブレーズド部材２２との接合面（境界面））に到達し、下面５６に隣接する第２ブレーズド部材２２に入射する。
　なぜならば、ｈ＜ｔ・ｔａｎθの不等式、及びθｃ＝ａｓｉｎ（Ｎｂ／Ｎａ）の等式が成立するように、格子高さｈ及び中間層２４の厚さｔが定められているので、被写体光が、全反射する前に中間層２４の図中下面５６に到達するからである。
　ここで、図１７に示す例では第１ブレーズド部材２０と中間層２４との臨界角θｃ１は８３．６度となる。このため、中間層２４が存在しない場合の臨界角θｃである７９度を超える入射角を有する被写体光であっても、入射角が８３．６度よりも小さい場合は第１ブレーズド部材２０と中間層２４との間で全反射しない。すなわち、第１ブレーズド部材２０と中間層２４との接合面に対して入射される被写体光は、７９度＜角度θ＜８３．６度の範囲では、第１ブレーズド部材２０と中間層２４との接合面で全反射することなく中間層２４に入射する。そして、中間層２４に入射された被写体光は、中間層２４の図中下面５６から第２ブレーズド部材２２に入射する。
　以上説明したように、積層型ブレーズド回折光学素子１２は、第１ブレーズド部材２０及び第２ブレーズド部材２２によって回折格子として機能するブレーズド回折格子対１８と、第１ブレーズド部材２０と第２ブレーズド部材２２との間に位置する中間層２４と、を備えている。そして、屈折率Ｎａの第１ブレーズド部材２０、屈折率Ｎｂの第２ブレーズド部材２２、及び屈折率Ｎの中間層２４の間において、“Ｎａ＞Ｎ＞Ｎｂ”の大小関係が成立している。従って、本構成によれば、第１ブレーズド部材２０と第２ブレーズド部材２２とを直接積層させた場合に比べ、入射された光の全反射に起因して生じるゴーストを抑制することができる。また、本構成によれば、中間層２４が存在することに起因して、光が完全に屈折するまでに要する距離が長くなるため、完全に屈折する前に下面５６（図１７参照）に到達するため、入射された光の屈折に起因して生じるゴーストも抑制することができる。
　また、積層型ブレーズド回折光学素子１２では、第１ブレーズド部材２０と第２ブレーズド部材２２の格子高さをｈとし、中間層２４の厚さをｔとし、臨界角をθｃとしたとき、ｈ＜ｔ・ｔａｎθの不等式、及びθｃ＝ａｓｉｎ（Ｎｂ／Ｎａ）の等式が成立する。従って、本構成によれば、ｈ＜ｔ・ｔａｎθｃの不等式、及びθｃ＝ａｓｉｎ（Ｎｂ／Ｎａ）の等式が成立しない条件を用いて格子高さ及び中間層２４の厚さを定める場合に比べ、ゴーストが発生し難い格子高さ及び中間層２４の厚さとして、最適な格子高さ及び最適な中間層２４の厚さを容易に定めることができる。
　また、積層型ブレーズド回折光学素子１２では、第１鋸歯状面２０Ａ及び第２鋸歯状面２２Ａが、中間層２４を介して相補的に係合されている。従って、本構成によれば、第１鋸歯状面２０Ａと第２鋸歯状面２２Ａとが中間層２４を介して相補的に係合していない場合に比べ、入射された光に起因して生じるゴーストを抑制することができる。
　また、積層型ブレーズド回折光学素子１２では、中間層２４が、第１鋸歯状面２０Ａと第２鋸歯状面２２Ａとの間において、第１急斜面２０Ａ１と第２急斜面２２Ａ１との間に配置されている。従って、本構成によれば、第１急斜面２０Ａ１と第２急斜面２２Ａ１との間に中間層２４が配置されていない場合に比べ、第１急斜面２０Ａ１及び第２急斜面２２Ａ１に入射された光に起因して生じるゴーストを抑制することができる。
　また、積層型ブレーズド回折光学素子１２では、第１鋸歯状面２０Ａと第２鋸歯状面２２Ａとの間において、第１急斜面２０Ａ１と第２急斜面２２Ａ１との間に中間層２４の厚さをｔとし、第１ブレーズド部材２０と第２ブレーズド部材２２の格子高さをｈとし、臨界角をθｃとしたとき、ｈ＜ｔ・ｔａｎθの不等式、及びθｃ＝ａｓｉｎ（Ｎｂ／Ｎａ）の等式が成立する。従って、本構成によれば、ｈ＜ｔ・ｔａｎθｃの不等式、及びθｃ＝ａｓｉｎ（Ｎｂ／Ｎａ）の等式が成立しない条件を用いて、格子高さと、第１急斜面２０Ａ１と第２急斜面２２Ａ１との間の中間層２４の厚さを定める場合に比べ、ゴーストが発生し難い格子高さ、及びゴーストが発生し難い第１急斜面２０Ａ１と第２急斜面２２Ａ１との間の中間層２４の厚さとして、最適な格子高さ及び最適な中間層２４の厚さを容易に定めることができる。
　また、積層型ブレーズド回折光学素子１２では、第１急斜面２０Ａ１が第１基準面５２に対して垂直であり、第２急斜面２２Ａ１が第２基準面５４に対して垂直である。従って、本構成によれば、第１急斜面２０Ａ１が第１基準面５２に対して垂直ではなく、かつ、第２急斜面２２Ａ１が第２基準面５２に対して垂直でない場合に比べ、第１急斜面２０Ａ１及び第２急斜面２２Ａ１に入射された光に起因して生じるゴーストを抑制することができる。
　また、積層型ブレーズド回折光学素子１２では、第１鋸歯状面２０Ａと第２鋸歯状面２２Ａは、中間層２４の厚み分ずれて係合されている。従って、本構成によれば、第１鋸歯状面２０Ａと第２鋸歯状面２２Ａとが中間層２４の厚み分ずれて係合されていない場合に比べ、入射された光に起因して生じるゴーストを抑制することができる。
　また、積層型ブレーズド回折光学素子１２では、中間層２４が膜状に形成されている。従って、本構成によれば、積層型ブレーズド回折光学素子１２の薄型化に寄与することができる。
　また、積層型ブレーズド回折光学素子１２では、第１ブレーズド部材２０のブレーズ角及び第２ブレーズド部材２２のブレーズ角が同一である。従って、本構成によれば、第１ブレーズド部材２０のブレーズ角と第２ブレーズド部材２２のブレーズ角とが不揃いの場合に比べ、入射された光に起因して生じるゴーストを抑制することができる。
　また、積層型ブレーズド回折光学素子１２では、第１ブレーズド部材２０の格子高さと第２ブレーズド部材の格子高さが同一である。従って、本構成によれば、第１ブレーズド部材２０の格子高さと第２ブレーズド部材の格子高さとが不揃いの場合に比べ、入射された光に起因して生じるゴーストを抑制することができる。
　また、積層型ブレーズド回折光学素子１２の製造方法に含まれる中間層形成工程には、中間層２４をスピンコートを用いて形成する工程が含まれる。従って、本構成によれば、中間層２４を蒸着する場合に比べ、中間層２４を厚さが均一な膜状に容易に形成することができる。
　なお、上記実施形態では、第１緩斜面２０Ａ２の全面と第２緩斜面２２Ａ２の全面との間に中間層２４を介在させる形態例を挙げて説明したが、本開示の技術はこれに限定されない。例えば、図１８に示すように、第１鋸歯状面２０Ａのうちの少なくとも第１急斜面２０Ａ１と第２鋸歯状面２２Ａのうちの少なくとも第２急斜面２２Ａ１との間に中間層２４を介在させるようにしてもよい。これにより、第１急斜面２０Ａ１と第２急斜面２２Ａ１との間に中間層２４が配置されていない場合に比べ、第１急斜面２０Ａ１及び第２急斜面２２Ａ１に入射された光に起因して生じるゴーストを抑制することができる。
　また、上記実施形態では、中間層２４が単層である形態例について説明したが、本開示の技術はこれに限定されず、中間層２４が複層化構造であってもよい。図１９に示す例では、中間層２４は、第１層３０及び第２層３２によって形成されている。第１層３０及び第２層３２は積層している。第１層３０は第１鋸歯状面２０Ａに接合されており、第２層３２は第２鋸歯状面２２Ａに接合されている。すなわち、凸面１４Ａ（図１参照）から凹面１６Ａ（図１参照）にかけて、第１ブレーズド部材２０、第１層３０、第２層３２、及び第２ブレーズド部材２２が順に積層されている。
　ここで、第１層３０の屈折率をＮ１とし、第２層３２の屈折率をＮ２としたとき、第１ブレーズド部材２０の屈折率Ｎａ、第１層３０の屈折率Ｎ１、第２層３２の屈折率Ｎ２、及び第２ブレーズド部材の屈折率Ｎｂ間において、“Ｎａ＞Ｎ１＞Ｎ２＞Ｎｂ”の大小関係が成立している。このように、中間層２４において、細かく屈折率を変化させると、各界面での全反射角度が大きくなるので、全反射しない角度範囲が広がり好適である。従って、本構成によれば、中間層２４が１層からなる場合に比べ、中間層２４に入射される光の屈折を段階的に細かく制御することができる。なお、第１層３０及び第２層３２は、あくまでも一例に過ぎず、第１ブレーズド部材２０側から第２ブレーズド部材２２側にかけて小さくなる屈折率を有する複数の層であれば、３層以上であってもよい。また、中間層２４は、複数の層に区切られる必要はなく、屈折率が連続的に変化してもよい。
　また、上記実施形態では、両凹レンズ１６に中間層２４を浸して紫外線ＵＶを照射することで中間層２４に対して第２ブレーズド部材２２及び両凹レンズ１６が一体的に接合される形態例を挙げて説明したが、本開示の技術はこれに限定されない。例えば、第２ブレーズド部材２２の成型用のキャビティを用いて、先ず、中間層２４に対して第２ブレーズド部材２２を接合させ、その次に、第２ブレーズド部材２２に両凹レンズ１６の凹面１６Ａが接合させてもよい。
　また、上記実施形態では、凹面１６Ｂ側から紫外線ＵＶが照射される形態例（図１３参照）を挙げて説明したが、本開示の技術はこれに限定されない。例えば、平凸レンズ１４の平面１４Ｂ側から紫外線ＵＶが照射されるようにしてもよい。この場合、第１ブレーズド部材２０及び中間層２４を透過可能な波長の紫外線ＵＶが照射されるようにすればよい。
　また、上記実施形態では、紫外線硬化樹脂３８、４４、４６及び４８を例示したが、本開示の技術はこれに限定されない。例えば、紫外線とは異なる波長光に反応して硬化する光硬化樹脂であってもよいし、熱硬化樹脂であってもよい。
　また、上記実施形態では、接合光学素子１０に対して一対のレンズを適用したが、本開示の技術はこれに限定されず、光を透過する光学素子であれば、レンズ以外の光学素子であってもよい。
　また、上記実施形態では、スピンコートによる成膜方法を例示したが、本開示の技術はこれに限定されず、スプレーコート又はインクジェット等による成膜方法であってもよい。また、ＳｉＯ２、ＴｉＯ２、又はＭｇＦ２等の無機材料を用いて中間層２４を作ってもよい。無機材料をコートする場合は蒸着等を利用することが好ましい。
　また、上記実施形態では、被写体光が入射される側の第１ブレーズド部材２０から第２ブレーズド部材２２にかけて形成されている複数の層（媒体）の屈折率が第１ブレーズド部材２０側から第２ブレーズド部材２２側にかけて小さくなる形態例を挙げて説明したが、本開示の技術はこれに限定されず、被写体光の入射方向に関わらず、第２ブレーズド部材２２側から第１ブレーズド部材２０側にかけて複数の層の屈折率が小さくなるようにしても上記実施形態と同様の効果が得られる。
　また、上記実施形態では、接合光学素子１０について説明したが、本開示の技術はこれに限定されず、本開示の技術を、回折型多焦点眼内レンズに適用することも可能である。一例として図２０に示すように、本開示の技術に係る「ブレーズド回折光学素子」の一例である回折型多焦点眼内レンズ５８は、眼球６０内（以下、「「眼内」とも称する）に組み込まれて用いられる。例えば、白内障によって濁った水晶体に代えて、眼内に埋め込まれる。図２０に示す例では、水晶体に代えて回折型多焦点眼内レンズ５８が配置されている。このように、回折型多焦点眼内レンズ５８は、水晶体に代えて用いられるので、回折型多焦点眼内レンズ５８の表面（前房水に接触する側の面）には、ブレーズドの回折格子が刻まれており、回折型多焦点眼内レンズ５８の表面は、前房６２内に満たされている房水（以下、「前房水」とも称する）６４に直接接触する。
　回折型多焦点眼内レンズ５８は、ブレーズド部材６６及び表層６８を備えている。ブレーズド部材６６は、上記実施形態で説明した第２ブレーズド部材２２に相当する部材であり、表層６８は、上記実施形態で説明した中間層２４に相当する部材である。なお、表層６８は、本開示の技術に係る「層」の一例である。
　ブレーズド部材６６には、上記実施形態で説明した第２鋸歯状面２２Ａに相当する鋸歯状面６６Ａが形成されている。鋸歯状面６６Ａは、急斜面６６Ａ１及び緩斜面６６Ａ２によって形成されている。急斜面６６Ａ１は、上記実施形態で説明した第２急斜面２２Ａ１に相当する斜面であり、緩斜面６６Ａ２は、上記実施形態で説明した第２緩斜面２２Ａ２に相当する斜面である。
　図２０に示す例では、鋸歯状面６６Ａに表層６８の裏面６８Ａが接合されており、表層６８の表面６８Ｂが前房水６４に接触している。表層６８は、鋸歯状面６６Ａに相当する形状に形成さされている。すなわち、表面６８Ｂは、鋸歯状面６６Ａから前房水６４側に上記実施形態で説明した厚さｔだけオフセットされた位置に存在しており、鋸歯状面６６Ａと同様の形状（鋸歯状）に形成されている。従って、前房水６４のうち、表面６８Ｂに接触する部分は、上記実施形態で説明した第１鋸歯状面２０Ａと同様の形状になる。
　前房水６４の屈折率をＡ（例えば、１．３４程度）とし、表層６８の屈折率をＢとし、ブレーズド部材６６の屈折率をＣとすると、前房水６４の屈折率Ａ、表層６８の屈折率Ｂ、及びブレーズド部材６６の屈折率Ｃ間で“Ａ＜Ｂ＜Ｃ”の大小関係が成立するように屈折率Ｂ及び屈折率Ｃが定められている。つまり、前房水６４が上記第１実施形態で説明した第２ブレーズド部材２２に対応し、ブレーズド部材６６が上記実施形態で説明した第１ブレーズド部材２０に対応し、表層６８が上記実施形態で説明した中間層２４に対応している。従って、上記実施形態と同様の効果が得られる。なお、この表層６８も中間層２４と同様に複層化構造であってもよい。また、表層６８は、複数の層に区切られる必要はなく、屈折率が連続的に変化してもよい。例えば、表層６８は、前房水６４からブレーズド部材６６までの屈折率が連続的に変化するように、前房水側ほど屈折率が前房水６４の屈折率Ａに近く、ブレーズド部材６６側ほど屈折率が表層６８の屈折率Ｃに近く、連続的に変化する屈折率分布を有していてもよい。
　なお、ここでは、回折型多焦点眼内レンズ５８が眼内に埋め込まれて使用される形態例を挙げて説明したが、本開示の技術はこれに限定されない。例えば、眼球模型７０に対して回折型多焦点眼内レンズ５８が適用されてもよい。この場合、眼球模型７０の疑似前房７２に前房水６４と同一の屈折率を有する液体７４を封入するようにすればよい。
　眼球模型７０は、例えば、糖尿病網膜症又は網膜剥離等の診察又は治療に用いられる装置（例えば、眼科用観察装置又は眼科用レーザ治療器）を製造する場合の実験段階で用いられる眼球模型であってもよいし、医学生又は医師等が眼科の各種手術又は各種診察を行うための技能訓練に用いられる眼球模型であってもよい。
　なお、本開示の技術は、上述の実施形態と種々の変形例を適宜組み合わせることも可能である。また、上記実施形態に限らず、要旨を逸脱しない限り種々の構成を採用し得ることはもちろんである。
　以上に示した記載内容及び図示内容は、本開示の技術に係る部分についての詳細な説明であり、本開示の技術の一例に過ぎない。例えば、上記の構成、機能、作用、及び効果に関する説明は、本開示の技術に係る部分の構成、機能、作用、及び効果の一例に関する説明である。よって、本開示の技術の主旨を逸脱しない範囲内において、以上に示した記載内容及び図示内容に対して、不要な部分を削除したり、新たな要素を追加したり、置き換えたりしてもよいことはいうまでもない。また、錯綜を回避し、本開示の技術に係る部分の理解を容易にするために、以上に示した記載内容及び図示内容では、本開示の技術の実施を可能にする上で特に説明を要しない技術常識等に関する説明は省略されている。
　本明細書において、「Ａ及び／又はＢ」は、「Ａ及びＢのうちの少なくとも１つ」と同義である。つまり、「Ａ及び／又はＢ」は、Ａだけであってもよいし、Ｂだけであってもよいし、Ａ及びＢの組み合わせであってもよい、という意味である。また、本明細書において、３つ以上の事柄を「及び／又は」で結び付けて表現する場合も、「Ａ及び／又はＢ」と同様の考え方が適用される。
　本明細書に記載された全ての文献、特許出願及び技術規格は、個々の文献、特許出願及び技術規格が参照により取り込まれることが具体的かつ個々に記された場合と同程度に、本明細書中に参照により取り込まれる。

Claims (26)

  1. 　ブレーズド回折光学素子であって、
    　第１ブレーズド部材及び第２ブレーズド部材を有し、前記第１ブレーズド部材及び前記第２ブレーズド部材によって回折格子として機能するブレーズド回折格子対と、
    　前記第１ブレーズド部材と前記第２ブレーズド部材との間に位置する中間層と、を備え、
    　前記第１ブレーズド部材の屈折率をＮａとし、前記中間層の屈折率をＮとし、前記第２ブレーズド部材の屈折率をＮｂとしたとき、Ｎａ＞Ｎ＞Ｎｂの大小関係が成立する
    　ブレーズド回折光学素子。
  2. 　前記第１ブレーズド部材及び前記第２ブレーズド部材の格子高さをｈとし、前記中間層の厚さをｔとし、θｃを臨界角としたとき、ｈ＜ｔ・ｔａｎθｃの不等式、及びθｃ＝ａｓｉｎ（Ｎｂ／Ｎａ）の等式が成立する請求項１に記載のブレーズド回折光学素子。
  3. 　前記第１ブレーズド部材は、第１鋸歯状面を有し、
    　前記第２ブレーズド部材は、第２鋸歯状面を有し、
    　前記第１鋸歯状面及び前記第２鋸歯状面は、前記中間層を介して相補的に係合されている請求項１又は請求項２に記載のブレーズド回折光学素子。
  4. 　前記第１ブレーズド部材は、第１鋸歯状面を有し、
    　前記第２ブレーズド部材は、第２鋸歯状面を有し、
    　前記第１鋸歯状面は、第１急斜面と前記第１急斜面よりも勾配が緩い第１緩斜面とで形成されており、
    　前記第２鋸歯状面は、第２急斜面と前記第２急斜面よりも勾配が緩い第２緩斜面とで形成されており、
    　前記中間層は、前記第１鋸歯状面と前記第２鋸歯状面との間において、前記第１急斜面と前記第２急斜面との間に配置されている請求項１又は請求項２に記載のブレーズド回折光学素子。
  5. 　前記第１鋸歯状面は、第１急斜面と前記第１急斜面よりも勾配が緩い第１緩斜面とで形成されており、
    　前記第２鋸歯状面は、第２急斜面と前記第２急斜面よりも勾配が緩い第２緩斜面とで形成されており、
    　前記中間層は、前記第１鋸歯状面と前記第２鋸歯状面との間において、前記第１急斜面と前記第２急斜面との間に配置されている請求項３に記載のブレーズド回折光学素子。
  6. 　前記第１ブレーズド部材は、第１鋸歯状面を有し、
    　前記第２ブレーズド部材は、第２鋸歯状面を有し、
    　前記第１鋸歯状面は、第１急斜面と前記第１急斜面よりも勾配が緩い第１緩斜面とで形成されており、
    　前記第２鋸歯状面は、第２急斜面と前記第２急斜面よりも勾配が緩い第２緩斜面とで形成されており、
    　前記第１鋸歯状面と前記第２鋸歯状面との間において、前記第１急斜面と前記第２急斜面との間における前記中間層の厚さをｔとし、前記第１ブレーズド部材及び前記第２ブレーズド部材の格子高さをｈとし、θｃを臨界角としたとき、ｈ＜ｔ・ｔａｎθｃの不等式、及びθｃ＝ａｓｉｎ（Ｎｂ／Ｎａ）の等式が成立する請求項１に記載のブレーズド回折光学素子。
  7. 　前記第１ブレーズド部材は、第１基準面を有し、
    　前記第２ブレーズド部材は、第２基準面を有し、
    　前記第１急斜面及び前記第１緩斜面は、前記第１基準面から立ち上がった面であり、
    　前記第２急斜面及び前記第２緩斜面は、前記第２基準面から立ち上がった面であり、
    　前記第１急斜面は、前記第１基準面に対して垂直であり、
    　前記第２急斜面は、前記第２基準面に対して垂直である請求項４から請求項６の何れか一項に記載のブレーズド回折光学素子。
  8. 　前記第１鋸歯状面及び前記第２鋸歯状面は、前記中間層の厚み分ずれて係合されている請求項３から請求項７の何れか一項に記載のブレーズド回折光学素子。
  9. 　前記中間層は、前記第１ブレーズド部材側から前記第２ブレーズド部材側にかけて小さくなる屈折率を有する複数の層からなる請求項１から請求項８の何れか一項に記載のブレーズド回折光学素子。
  10. 　前記中間層は、膜状に形成されている請求項１から請求項９の何れか一項に記載のブレーズド回折光学素子。
  11. 　前記第１ブレーズド部材のブレーズ角及び前記第２ブレーズド部材のブレーズ角は同一である請求項１から請求項１０の何れか一項に記載のブレーズド回折光学素子。
  12. 　前記第１ブレーズド部材の格子高さと前記第２ブレーズド部材の格子高さは同一である請求項１から請求項１１の何れか一項に記載のブレーズド回折光学素子。
  13. 　ブレーズド回折光学素子であって、
    　ブレーズド部材と、
    　前記ブレーズド部材上に設けられた層と、を備え、
    　前記層の屈折率は、前記ブレーズド部材の屈折率と、前記ブレーズド部材の周囲の環境の屈折率との間である
    　ブレーズド回折光学素子。
  14. 　前記周囲の環境は、眼内にある前房水であり、
    　前記層の屈折率は、前記ブレーズド部材の屈折率と、前記前房水の屈折率との間にある請求項１３に記載のブレーズド回折光学素子。
  15. 　前記前房水の屈折率をＡとし、前記層の屈折率をＢとし、前記ブレーズド部材の屈折率をＣとしたとき、Ａ＜Ｂ＜Ｃの大小関係が成立する請求項１４に記載のブレーズド回折光学素子。
  16. 　前記ブレーズド部材の格子高さをｈとし、前記層の厚さをｔとし、θｃを臨界角としたとき、ｈ＜ｔ・ｔａｎθｃの不等式、及びθｃ＝ａｓｉｎ（Ａ／Ｃ）の等式が成立する請求項１５に記載のブレーズド回折光学素子。
  17. 　前記ブレーズド部材は、鋸歯状面を有し、
    　前記層は、前記鋸歯状面上に、前記鋸歯状面に相当する形状に形成されている請求項１５又は請求項１６に記載のブレーズド回折光学素子。
  18. 　前記鋸歯状面は、急斜面と前記急斜面よりも勾配が緩い緩斜面とで形成されている請求項１７に記載のブレーズド回折光学素子。
  19. 　前記ブレーズド部材は、基準面を有し、
    　前記急斜面及び前記緩斜面は、前記基準面から立ち上がった面であり、
    　前記急斜面は、前記基準面に対して垂直である請求項１８に記載のブレーズド回折光学素子。
  20. 　前記鋸歯状面及び前記前房水は、前記層の厚み分ずれて接触している請求項１７から請求項１９の何れか一項に記載のブレーズド回折光学素子。
  21. 　前記層は、前記前房水側から前記ブレーズド部材側にかけて大きくなる屈折率を有する複数の層からなる請求項１４から請求項２０の何れか一項に記載のブレーズド回折光学素子。
  22. 　前記層は、膜状に形成されている請求項１３から請求項２１の何れか一項に記載のブレーズド回折光学素子。
  23. 　ブレーズド回折光学素子の製造方法であって、
    　第１ブレーズド部材を形成する工程と、
    　前記第１ブレーズド部材のブレーズド部に中間層を形成する工程と、
    　前記中間層の前記第１ブレーズド部材側と反対側に前記第１ブレーズド部材と対を成す第２ブレーズド部材を形成する工程と、を備え、
    　前記第１ブレーズド部材の屈折率をＮａとし、前記中間層の屈折率をＮとし、前記第２ブレーズド部材の屈折率をＮｂとしたとき、Ｎａ＞Ｎ＞Ｎｂの大小関係が成立する
    　ブレーズド回折光学素子の製造方法。
  24. 　前記中間層を形成する工程は、前記中間層をスピンコートを用いて形成する工程である請求項２３に記載のブレーズド回折光学素子の製造方法。
  25. 　前記第１ブレーズド部材及び前記第２ブレーズド部材の格子高さをｈとし、前記中間層の厚さをｔとし、θｃを臨界角としたとき、ｈ＞ｔ・ｔａｎθｃの不等式、及びθｃ＝ａｓｉｎ（Ｎｂ／Ｎａ）の等式が成立する厚さの前記中間層を形成する請求項２３又は請求項２４に記載のブレーズド回折光学素子の製造方法。
  26. 　前記第１ブレーズド部材は、第１鋸歯状面を有し、
    　前記第２ブレーズド部材は、第２鋸歯状面を有し、
    　前記第２ブレーズド部材を形成する工程において、前記第１鋸歯状面と前記第２鋸歯状面とを前記中間層の厚み分ずらして係合させる請求項２３から請求項２５の何れか一項に記載のブレーズド回折光学素子の製造方法。
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