WO2021261345A1 - Laser machining system and method for applying liquid to machining pallet - Google Patents

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WO2021261345A1
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liquid
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laser processing
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智也 市川
純 廣野
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株式会社アマダ
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/36Removing material
    • B23K26/38Removing material by boring or cutting
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/16Removal of by-products, e.g. particles or vapours produced during treatment of a workpiece

Definitions

  • Patent Document 2 describes a cleaning device for an operator to manually clean the skid of a pallet that supports a member to be cut in laser cutting. Further, Patent Document 2 describes that cleaning can be easily performed by applying a spatter adhesion inhibitor to the skid after cleaning.
  • FIG. 7 is a side view showing a mode in which the mist is sprayed onto the skid by the lower nozzle.
  • FIG. 8 is a schematic front view showing a mist spraying operation on a processing pallet of the liquid coating apparatus in the laser processing system of FIG. 1.
  • FIG. 9 is a perspective view showing a schematic configuration of a modified example of the laser processing system of FIG.
  • FIG. 10 is a piping system diagram of the liquid coating device included in the laser processing system of FIG.
  • FIG. 11 is a schematic view showing the mist spraying operation on the processing pallet of the upper nozzle portion included in the liquid coating apparatus of FIG.
  • the skid 23 has a strip-shaped base 233 and a support 234 formed on the upper edge of the base 233.
  • the support portion 234 has a plurality of groove portions 232 repeatedly formed at a predetermined pitch.
  • Each groove portion 232 is formed by being cut in an inverted isosceles triangle shape having the apex below the upper end portion of the support portion 234. That is, the support portion 234 has a substantially saw blade shape in which a plurality of narrow isosceles triangular support pieces 236 having an upper apex as the apex in the side view are juxtaposed and formed so as to project.
  • the first machining pallet 2 on which the material Wa is placed moves from the transport main body 912 to the laser machining device 92. Further, an empty second processing pallet 2 on which nothing is placed goes in and out between the switch rack 4 and the lifter tray 5.
  • the reference position Px in the X-axis direction is set to a position close to the left end of the processing pallet 2 as shown in FIG.
  • the reference position Py in the Y-axis direction is set to a position close to the front end of the machining pallet 2 as shown in FIG.
  • the main types of standard-sized plates mounted on the skid group 23G of the processing pallet 2 are the following three types. That is, they are commonly known as 3 ⁇ 6 plates (size: 914 mm ⁇ 1829 mm), commonly known as 4 ⁇ 8 plates (size: 1219 mm ⁇ 2438 mm), and commonly known as 5 ⁇ 10 plates (size: 1524 mm ⁇ 3048 mm).
  • the pallet transfer device 91 can spray and apply the liquid M to the range from the position Py to the position Py3 corresponding to the 5 ⁇ 10 plate by opening the electromagnetic on-off valves 761 to 763 of the liquid coating device 6. Further, when the 5 ⁇ 10 plate is placed at a predetermined position in the skid group 23G, the liquid M can be sprayed and applied to the entire width range of the upper surface of the 5 ⁇ 10 plate.
  • the liquid M sprayed onto the skid group 23G and the material Wa is not limited to the spatter adhesion inhibitor.

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Abstract

This laser machining system (ST) comprises: a laser machining device (92) that performs laser machining on a material (Wa); a pallet transfer device (91) that transfers, to the laser machining device (92), a machining pallet (2) including a skid group (23G) having a plurality of skids (23); and a liquid application device (6) including a lower nozzle group (8) that sprays a liquid (M) as mist (ML) from below onto the machining pallet (2) transferred from the pallet transfer device (91) to the laser machining device (92).

Description

レーザ加工システム及び加工パレットへの液体塗布方法Liquid application method to laser processing system and processing pallet
 本発明は、レーザ加工システム及び加工パレットへの液体塗布方法に関する。 The present invention relates to a laser processing system and a method for applying a liquid to a processing pallet.
 特許文献1には、レーザ切断加工において、レーザビーム照射前の被切断部材の移動時に、その被切断部材の上面の全範囲にオイルを散布することが記載されている。これにより、加工時に飛散するスパッタ又は溶融物が被切断部材に固着することを、加工のタクトタイムを増加させずに防止できる、と特許文献1に記載されている。 Patent Document 1 describes that in laser cutting processing, when the member to be cut is moved before irradiation with a laser beam, oil is sprayed over the entire upper surface of the member to be cut. It is described in Patent Document 1 that this makes it possible to prevent spatter or melts scattered during processing from sticking to the member to be cut without increasing the tact time of processing.
 特許文献2には、レーザ切断加工において被切断部材を支持するパレットのスキッドを、作業者が手作業で清掃するための清掃装置が記載されている。また、特許文献2には、清掃後のスキッドにスパッタ付着防止剤を塗布しておくことで、清掃を容易に行うことができることが記載されている。 Patent Document 2 describes a cleaning device for an operator to manually clean the skid of a pallet that supports a member to be cut in laser cutting. Further, Patent Document 2 describes that cleaning can be easily performed by applying a spatter adhesion inhibitor to the skid after cleaning.
特許第4562995号公報Japanese Patent No. 4562995 特開2012-086248号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2012-08624
 従来、パレットのスキッドにスパッタ付着防止剤などの液体を塗布する作業は、被切断部材をレーザ切断加工する前に、作業者が噴霧器などを用いて手作業で行っているのが一般的である。この塗布作業は、レーザ切断加工の工程の途中で独立して行われるので、タクトタイムが増加し生産性が低下する。また、手作業による液体の塗布は、スキッドに塗布される液体の量にむらを生じさせ、量が少ない部分には、スパッタ又はドロスが容易かつ早期に固着する虞がある。スキッドにドロスなどが固着すると、固着の程度によっては、被切断加工部材に傷が付いたり、被切断加工部材が水平に保持されず製品として必要な寸法精度が得られない、といったレーザ切断加工の品質低下が生じる。 Conventionally, the work of applying a liquid such as a spatter adhesion inhibitor to the skid of a pallet is generally performed manually by an operator using a sprayer or the like before laser cutting the member to be cut. .. Since this coating operation is performed independently in the middle of the laser cutting process, the tact time increases and the productivity decreases. Further, the manual application of the liquid causes unevenness in the amount of the liquid applied to the skid, and there is a risk that spatter or dross will easily and early adhere to the portion where the amount is small. If dross or the like sticks to the skid, depending on the degree of sticking, the member to be cut may be scratched, or the member to be cut may not be held horizontally and the dimensional accuracy required for the product may not be obtained. Quality degradation occurs.
 本発明の一態様に係るレーザ加工システムは、素材にレーザ加工を行うレーザ加工装置と、複数のスキッドを有するスキッド群を含む加工パレットを前記レーザ加工装置へ搬送するパレット搬送装置と、前記パレット搬送装置から前記レーザ加工装置に搬送される前記加工パレットに対し、下方から液体をミストとして噴き付ける下ノズル群を含む液体塗布装置とを備える。 The laser processing system according to one aspect of the present invention includes a laser processing device that performs laser processing on a material, a pallet transfer device that transfers a processing pallet including a skid group having a plurality of skids to the laser processing device, and the pallet transfer device. It is provided with a liquid coating device including a lower nozzle group that sprays liquid as a mist from below on the machining pallet that is conveyed from the device to the laser machining device.
 本発明の一態様によれば、レーザ切断加工の生産性及び品質が低下しにくい。 According to one aspect of the present invention, the productivity and quality of the laser cutting process are unlikely to deteriorate.
図1は、本発明の一実施形態に係るレーザ加工システムの概略構成を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing a schematic configuration of a laser processing system according to an embodiment of the present invention. 図2は、図1のレーザ加工システムが備えるパレット搬送装置が有する加工パレットを示す平面図である。FIG. 2 is a plan view showing a processing pallet included in the pallet transfer device included in the laser processing system of FIG. 図3は、図2の加工パレットの部分側面図である。FIG. 3 is a partial side view of the processing pallet of FIG. 図4は、図2の加工パレットに対する上ノズル群及び下ノズル群の配置位置を示す模式的側面図である。FIG. 4 is a schematic side view showing the arrangement positions of the upper nozzle group and the lower nozzle group with respect to the processing pallet of FIG. 図5は、図1のレーザ加工システムが備えるパレット搬送装置に含まれる液体塗布装置における液体塗布範囲を説明するための模式的前面図である。FIG. 5 is a schematic front view for explaining a liquid coating range in the liquid coating device included in the pallet transfer device included in the laser processing system of FIG. 1. 図6は、上ノズル群及び下ノズル群を有する図5の液体塗布装置の配管系統図である。FIG. 6 is a piping system diagram of the liquid coating device of FIG. 5 having an upper nozzle group and a lower nozzle group. 図7は、下ノズルによるスキッドへのミストの噴霧態様を示す側面図である。FIG. 7 is a side view showing a mode in which the mist is sprayed onto the skid by the lower nozzle. 図8は、図1のレーザ加工システムにおける液体塗布装置の、加工パレットに対するミストの噴霧動作を示す模式的前面図である。FIG. 8 is a schematic front view showing a mist spraying operation on a processing pallet of the liquid coating apparatus in the laser processing system of FIG. 1. 図9は、図1のレーザ加工システムの変形例の概略構成を示す斜視図である。FIG. 9 is a perspective view showing a schematic configuration of a modified example of the laser processing system of FIG. 図10は、図9のレーザ加工システムが有する液体塗布装置の配管系統図である。FIG. 10 is a piping system diagram of the liquid coating device included in the laser processing system of FIG. 図11は、図10の液体塗布装置に含まれる上ノズル部の、加工パレットに対するミストの噴霧動作を示す模式図である。FIG. 11 is a schematic view showing the mist spraying operation on the processing pallet of the upper nozzle portion included in the liquid coating apparatus of FIG.
 図1は、本発明の実施形態に係るレーザ加工システムSTの概略構成を示す斜視図である。説明の便宜のため、上下左右前後の各方向を図1の矢印で示された方向に規定する。また、左右をX軸、前後をY軸、上下をZ軸とする。図1、4、5、7、及び後述の変形例を示す図9において、右方向、左方向、上方向、下方向、前方向、後方向をそれぞれRT、LT、UP、DN、FR、RRで示す。 FIG. 1 is a perspective view showing a schematic configuration of a laser processing system ST according to an embodiment of the present invention. For convenience of explanation, each direction of up, down, left, right, front and back is defined as the direction indicated by the arrow in FIG. Further, the left and right are the X-axis, the front and back are the Y-axis, and the top and bottom are the Z-axis. In FIGS. 1, 4, 5, 7, and FIG. 9, which shows a modification described later, RT, LT, UP, DN, FR, and RR are shown in the right, left, up, down, front, and rear directions, respectively. Indicated by.
 図1に示されるように、レーザ加工システムSTは、パレット搬送装置91,レーザ加工装置92,及び制御装置93を備える。パレット搬送装置91は、レーザ加工装置92に隣接して配置されている。本実施形態では、パレット搬送装置91は、レーザ加工装置92の右側に配置されている。レーザ加工装置92は、被加工部材である素材Waに対しレーザ加工を施す。パレット搬送装置91は、素材Waを載せた加工パレット2をレーザ加工装置92に対し搬出入する。制御装置93は、パレット搬送装置91及びレーザ加工装置92の動作を制御する。制御装置93は、図1に示されるような別体であることに限定されず、パレット搬送装置91及びレーザ加工装置92のいずれかと同体であってもよい。 As shown in FIG. 1, the laser processing system ST includes a pallet transfer device 91, a laser processing device 92, and a control device 93. The pallet transfer device 91 is arranged adjacent to the laser processing device 92. In this embodiment, the pallet transfer device 91 is arranged on the right side of the laser processing device 92. The laser processing apparatus 92 performs laser processing on the material Wa which is a member to be machined. The pallet transfer device 91 carries in and out the processing pallet 2 on which the material Wa is placed to and from the laser processing device 92. The control device 93 controls the operation of the pallet transfer device 91 and the laser processing device 92. The control device 93 is not limited to a separate body as shown in FIG. 1, and may be the same body as any of the pallet transfer device 91 and the laser processing device 92.
 パレット搬送装置91及びレーザ加工装置92の概略の構造及び動作を説明する。パレット搬送装置91及びレーザ加工装置92の動作は、それぞれが有する不図示の駆動部の動作を、制御装置93が制御することで実行される。 The schematic structure and operation of the pallet transfer device 91 and the laser processing device 92 will be described. The operation of the pallet transfer device 91 and the laser processing device 92 is executed by the control device 93 controlling the operation of the drive unit (not shown) of each.
 パレット搬送装置91は、格納部911,搬送本体部912,及びリフタ部913を備える。パレット搬送装置91は、素材パレット1,加工パレット2,及び一枚取ユニット3を含む。本実施形態において、パレット搬送装置91は、加工パレット2を二個含む。以下、必要に応じて、二個の加工パレット2を加工パレット2A,2Bとして区別する。 The pallet transfer device 91 includes a storage unit 911, a transfer main body unit 912, and a lifter unit 913. The pallet transfer device 91 includes a material pallet 1, a processing pallet 2, and a single-sheet taking unit 3. In the present embodiment, the pallet transfer device 91 includes two processing pallets 2. Hereinafter, the two processing pallets 2 are distinguished as processing pallets 2A and 2B, if necessary.
 パレット搬送装置91の搬送本体部912は、レーザ加工装置92の右端部に連結して配置されている。格納部911は、搬送本体部912の後端部に連結して配置されている。リフタ部913は、搬送本体部912の前部に設置されている。リフタ部913は、下部位置及び下部位置よりも上方の中央位置との間を、矢印D1に示されるように昇降するリフタトレイ5を有する。図1において下部位置にあるリフタトレイ5は実線で示され、中央位置にあるリフタトレイ5は一点鎖線で示されている。リフタトレイ5は、加工パレット2を載せて昇降可能である。 The transport main body portion 912 of the pallet transport device 91 is arranged so as to be connected to the right end portion of the laser processing device 92. The storage portion 911 is arranged so as to be connected to the rear end portion of the transport main body portion 912. The lifter portion 913 is installed in the front portion of the transport main body portion 912. The lifter portion 913 has a lifter tray 5 that moves up and down between the lower position and the central position above the lower position as shown by the arrow D1. In FIG. 1, the lifter tray 5 at the lower position is shown by a solid line, and the lifter tray 5 at the center position is shown by a alternate long and short dash line. The lifter tray 5 can be moved up and down on which the processing pallet 2 is placed.
 パレット搬送装置91は、液体塗布装置6を備える。液体塗布装置6は、加工パレット2及び加工パレット2に載せた素材Waに対し、液体Mを噴霧して塗布する装置である。液体塗布装置6は、液体Mを収容したタンク61aを有する本体部61,上ノズル部62,及び下ノズル部63を有する。上ノズル部62は、上ノズル群7を含む。下ノズル部63は、下ノズル群8を含む。液体塗布装置6の詳細は後述する。 The pallet transfer device 91 includes a liquid coating device 6. The liquid coating device 6 is a device for spraying and coating the liquid M on the processing pallet 2 and the material Wa placed on the processing pallet 2. The liquid coating device 6 has a main body portion 61 having a tank 61a containing the liquid M, an upper nozzle portion 62, and a lower nozzle portion 63. The upper nozzle portion 62 includes the upper nozzle group 7. The lower nozzle portion 63 includes the lower nozzle group 8. Details of the liquid coating device 6 will be described later.
 搬送本体部912は、格納部911から素材パレット1に載せられて供給された素材Waを、レーザ加工装置92に出入りする加工パレット2に乗せ換える。搬送本体部912は、レーザ加工装置92と対向する部分に、加工パレット2が出入りする出入口914を有する。搬送本体部912は、加工パレット2を、出入口914を通してレーザ加工装置92との間で搬送する。リフタ部913は、二つの加工パレット2A,2Bを搬送本体部912とレーザ加工装置92との間で同時に運用するために、二つの加工パレット2A,2Bを搬送本体部912の外側に一時退避させることを可能とし、また、搬送本体部912における上下2段の二つの加工パレット2A,2Bの位置替えを可能とする。 The transport main body unit 912 transfers the material Wa, which is placed on the material pallet 1 from the storage unit 911 and supplied, to the processing pallet 2 that goes in and out of the laser processing device 92. The transport main body portion 912 has an entrance / exit 914 through which the processing pallet 2 enters and exits at a portion facing the laser processing device 92. The transport main body 912 transports the machining pallet 2 to and from the laser machining device 92 through the entrance / exit 914. The lifter section 913 temporarily retracts the two machining pallets 2A and 2B to the outside of the transport body section 912 in order to simultaneously operate the two machining pallets 2A and 2B between the transport body section 912 and the laser machining device 92. In addition, it is possible to change the positions of the two processing pallets 2A and 2B in the upper and lower two stages in the transport main body 912.
 レーザ加工装置92は、レーザ加工ヘッド921を有する。レーザ加工ヘッド921は、X軸,Y軸,及びZ軸の各方向にそれぞれに独立移動し、加工パレット2に載せた素材Waに対しレーザビームLsを照射して切断又は孔開けなどの加工を施す。レーザ加工ヘッド921は、レーザ加工の際にアシストガスを加工部位に向け噴出する。 The laser processing device 92 has a laser processing head 921. The laser machining head 921 moves independently in each of the X-axis, Y-axis, and Z-axis directions, and irradiates the material Wa placed on the machining pallet 2 with the laser beam Ls to perform machining such as cutting or drilling. Apply. The laser machining head 921 ejects the assist gas toward the machining site during laser machining.
 加工パレット2は、素材Waを載せた状態で、パレット搬送装置91の搬送本体部912から出入口914を通って左方に移動し、レーザ加工装置92に搬入される。加工パレット2に載せられてレーザ加工装置92に供給された素材Waは、レーザ加工ヘッド921によってレーザ加工されて加工済材Wbとなる。レーザ加工後、加工パレット2は、加工済材Wbを載せた状態で右方に移動し、出入口914を通ってパレット搬送装置91の搬送本体部912に移動する。 The processing pallet 2 moves to the left from the transfer main body 912 of the pallet transfer device 91 through the doorway 914 with the material Wa mounted on it, and is carried into the laser processing device 92. The material Wa mounted on the processing pallet 2 and supplied to the laser processing apparatus 92 is laser-processed by the laser processing head 921 to become a processed material Wb. After laser machining, the machining pallet 2 moves to the right with the machined material Wb placed on it, and moves to the transport main body 912 of the pallet transport device 91 through the entrance / exit 914.
 これらの概略構成により、レーザ加工システムSTは、一つの加工パレット2Aに載せた一つの素材Waをレーザ加工装置92で加工している間に、次に加工する素材Waを素材パレット1から別の加工パレット2Bに乗せ換えておくことができる。そのため、レーザ加工システムSTは、加工パレット2Aの素材Waの加工が終了し、加工パレット2Aを出入口914を通して搬送本体部912に戻したら、加工パレット2Aと加工パレット2Bとの位置替えを行って直ちに次の素材Waを載せた加工パレット2Bをレーザ加工装置92に投入可能である。これにより、レーザ加工システムSTは、高い生産性を有する。 With these schematic configurations, the laser processing system ST separates the material Wa to be processed next from the material pallet 1 while processing one material Wa placed on one processing pallet 2A by the laser processing apparatus 92. It can be transferred to the processing pallet 2B. Therefore, in the laser machining system ST, when the machining of the material Wa of the machining pallet 2A is completed and the machining pallet 2A is returned to the transport main body 912 through the entrance / exit 914, the position of the machining pallet 2A and the machining pallet 2B is changed immediately. The processing pallet 2B on which the following material Wa is placed can be put into the laser processing apparatus 92. As a result, the laser processing system ST has high productivity.
 次に、各部材及び装置について具体的に説明する。搬送本体部912は、六面体の枠状体である。搬送本体部912は、レーザ加工装置92に連結して配置されている。格納部911は、搬送本体部912の後部に連結して配置されている。格納部911及び搬送本体部912は、搬送本体部912の上下方向の中央よりも上方の位置P1において、素材パレット1を格納部911と搬送本体部912との間で矢印D2のように往復移動可能に支持する。素材パレット1は、レーザ加工装置92で加工する例えば板材である素材Waを載せることが可能な大きさを有する。素材パレット1は、格納部911と搬送本体部912との間を往復移動する。格納部911において、素材パレット1には、格納部911に連接された自動倉庫などから、ロボットなどにより複数枚の素材Waが積層される。積層された複数枚の素材Waを積層体Wtとする。 Next, each member and device will be specifically described. The transport main body portion 912 is a hexahedron frame-shaped body. The transport main body portion 912 is arranged so as to be connected to the laser processing device 92. The storage portion 911 is arranged so as to be connected to the rear portion of the transport main body portion 912. The storage unit 911 and the transport body unit 912 reciprocate the material pallet 1 between the storage unit 911 and the transport body unit 912 at a position P1 above the center in the vertical direction of the transport body unit 912 as shown by an arrow D2. Support as much as possible. The material pallet 1 has a size capable of mounting a material Wa, which is, for example, a plate material to be processed by the laser processing apparatus 92. The material pallet 1 reciprocates between the storage unit 911 and the transport main body unit 912. In the storage unit 911, a plurality of material Wa are laminated on the material pallet 1 by a robot or the like from an automated warehouse connected to the storage unit 911. A plurality of laminated material Wa is referred to as a laminated body Wt.
 搬送本体部912の内部の上部には、一枚取ユニット3が備えられている。一枚取ユニット3は、水平姿勢の板材を上方から吸着して保持する複数の吸着部3aを有する。複数の吸着部3aは、矢印D3に示されるように、吸着位置P2に対して上方の上方位置P3と、搬送本体部912の下部に位置する下方位置P4との間を吸着した板材と一体的に移動する。 The single-sheet taking unit 3 is provided in the upper part of the inside of the transport main body 912. The single-sheet taking unit 3 has a plurality of suction portions 3a that suck and hold the plate material in a horizontal posture from above. As shown by the arrow D3, the plurality of suction portions 3a are integrated with the plate material sucked between the upper position P3 above the suction position P2 and the lower position P4 located at the lower part of the transport main body portion 912. Move to.
 これにより、一枚取ユニット3は、格納部911から搬送本体部912に移動した素材パレット1に載せた積層体Wtから、最上の一枚の素材Waを吸着部3aによって吸着保持し、吸着保持した素材Waを上方位置P3と下方位置P4との間で移動させることができる。 As a result, the single-sheet taking unit 3 sucks and holds the highest single material Wa from the laminated body Wt placed on the material pallet 1 moved from the storage unit 911 to the transport main body 912 by the suction unit 3a, and holds the suction. The material Wa can be moved between the upper position P3 and the lower position P4.
 搬送本体部912の内部の下部には、スイッチラック4が設置されている。スイッチラック4は、概ね箱状であり、上下2段の上保持部4c及び下保持部4dを有する。上保持部4c及び下保持部4dは、それぞれ加工パレット2を載せて保持できる。スイッチラック4は、左方に開放してレーザ加工装置92に繋がる左開口部4aと、前方に開放されリフタトレイ5に繋がる前開口部4bとを有する。 A switch rack 4 is installed at the lower part of the inside of the transport main body 912. The switch rack 4 is substantially box-shaped and has two upper and lower upper holding portions 4c and a lower holding portion 4d. The upper holding portion 4c and the lower holding portion 4d can each hold the processing pallet 2 on which they are placed. The switch rack 4 has a left opening 4a that opens to the left and connects to the laser processing apparatus 92, and a front opening 4b that opens to the front and connects to the lifter tray 5.
 スイッチラック4は、図1において実線で示された下位置と、一点鎖線で示された上位置との間で矢印D6で示されるように上下動する。下位置において、上保持部4cは、上保持部4c上下方向における位置P5にある。上位置において、上保持部4cは、位置P5よりも上方の位置P6にある。 The switch rack 4 moves up and down as shown by arrow D6 between the lower position shown by the solid line in FIG. 1 and the upper position shown by the alternate long and short dash line. In the lower position, the upper holding portion 4c is located at the position P5 in the vertical direction of the upper holding portion 4c. In the upper position, the upper holding portion 4c is located at the position P6 above the position P5.
 スイッチラック4が下位置にあるときに、上保持部4cとレーザ加工装置92とは連結され、上保持部4cに載せられた加工パレット2は、レーザ加工装置92との間で、矢印D4に示されるように移動可能である。スイッチラック4が上位置にあるときに、下保持部4dとレーザ加工装置92とは連結され、下保持部4dに載せられた加工パレット2は、左開口部4aを通してレーザ加工装置92との間を矢印D4に示されるように移動可能である。 When the switch rack 4 is in the lower position, the upper holding portion 4c and the laser processing device 92 are connected, and the processing pallet 2 mounted on the upper holding portion 4c is indicated by an arrow D4 between the upper holding portion 4c and the laser processing device 92. Movable as shown. When the switch rack 4 is in the upper position, the lower holding portion 4d and the laser processing device 92 are connected, and the processing pallet 2 mounted on the lower holding portion 4d is between the lower holding portion 4a and the laser processing device 92. Is movable as shown by arrow D4.
 スイッチラック4が下位置にあるときに、下保持部4dに載せられた加工パレット2は、前開口部4bを通して、下部位置にあるリフタトレイ5に対し矢印D5に示されるように出入り可能である。加工パレット2がスイッチラック4から下部位置にあるリフタトレイ5に移動し、リフタトレイ5が加工パレット2を載せて中央位置に上昇すると、リフタトレイ5は下位置にあるスイッチラック4の上保持部4cと連結して、加工パレット2がリフタトレイ5と上保持部4cとの間で移動可能となる。このように、加工パレット2は、リフタトレイ5を介してスイッチラック4の上保持部4cと下保持部4dとの間で移動可能となっている。 When the switch rack 4 is in the lower position, the processing pallet 2 mounted on the lower holding portion 4d can enter and exit the lifter tray 5 in the lower position through the front opening 4b as shown by the arrow D5. When the processing pallet 2 moves from the switch rack 4 to the lifter tray 5 at the lower position and the lifter tray 5 mounts the processing pallet 2 and rises to the center position, the lifter tray 5 is connected to the upper holding portion 4c of the switch rack 4 at the lower position. Then, the processing pallet 2 can be moved between the lifter tray 5 and the upper holding portion 4c. In this way, the processing pallet 2 can be moved between the upper holding portion 4c and the lower holding portion 4d of the switch rack 4 via the lifter tray 5.
 スイッチラック4が上位置にあるときに、上保持部4cにある加工パレット2には、一枚取ユニット3が下方位置P4に下降してアクセス可能となっている。すなわち、一枚取ユニット3は、吸着している素材Waを加工パレット2に載せることができる。また、加工パレット2に載せた加工済材Wbを吸着し、加工パレット2から離れた上方位置P3まで持ち上げることができる。 When the switch rack 4 is in the upper position, the processing pallet 2 in the upper holding portion 4c can be accessed by the single-sheet taking unit 3 descending to the lower position P4. That is, the single-sheet taking unit 3 can put the adsorbed material Wa on the processing pallet 2. Further, the processed material Wb placed on the processing pallet 2 can be adsorbed and lifted up to the upper position P3 away from the processing pallet 2.
 格納部911と搬送本体部912との間には、不図示の製品パレットが素材パレット1と同様に往復移動可能となっている。これにより、一枚取ユニット3は、加工パレット2から吸着した加工済材Wbを上方位置P3まで持ち上げた後、格納部911から搬送本体部912に移動してきた製品パレット上に、加工済材Wbを載せることができる。その後、加工済材Wbを載せた製品パレットは格納部911に移動し、加工済材Wbは、ロボットなどによって所定の場所に搬出される。 A product pallet (not shown) can be reciprocated between the storage unit 911 and the transport main body unit 912 in the same manner as the material pallet 1. As a result, the single-sheet taking unit 3 lifts the processed material Wb adsorbed from the processing pallet 2 to the upper position P3, and then moves the processed material Wb from the storage unit 911 to the transport main body unit 912 on the processed material Wb. Can be placed. After that, the product pallet on which the processed material Wb is placed moves to the storage unit 911, and the processed material Wb is carried out to a predetermined place by a robot or the like.
 図2に示されるように、加工パレット2は、枠状のベース部21及び複数の薄板のスキッド23を有する。複数のスキッド23をスキッド群23Gと称する。ベース部21は、平面視で長方形の枠体である。スキッド23は、ベース部21の短手方向であるY軸方向に延びる姿勢で、長手方向であるX軸方向に所定の間隔で複数枚が並設されている。スキッド23は、例えば厚さ12mmの一般構造用圧延鋼板で形成されている。ベース部21は、短手方向の中央に支持フレーム22を有する。支持フレーム22は、長手方向に延び、スキッド23を、その中央部位に係合して支持している。 As shown in FIG. 2, the processing pallet 2 has a frame-shaped base portion 21 and a plurality of thin plate skids 23. The plurality of skids 23 are referred to as skid group 23G. The base portion 21 is a rectangular frame in a plan view. A plurality of skids 23 are arranged side by side at predetermined intervals in the X-axis direction, which is the longitudinal direction, in a posture extending in the Y-axis direction, which is the lateral direction of the base portion 21. The skid 23 is formed of, for example, a rolled steel plate for general structure having a thickness of 12 mm. The base portion 21 has a support frame 22 at the center in the lateral direction. The support frame 22 extends in the longitudinal direction and engages and supports the skid 23 at its central portion.
 図2及び図3に示されるように、スキッド23は、短冊板状の基部233と、基部233の上縁部に形成された支持部234とを有する。支持部234は、所定ピッチで繰り返し形成された複数の溝部232を有する。各溝部232は、支持部234の上端部から下方を頂点とする逆二等辺三角形状で切り込まれて形成されている。すなわち、支持部234は、側面視において上方を頂点とする幅の狭い二等辺三角形状の支持片236が複数並設して突出形成された略鋸刃状を有する。 As shown in FIGS. 2 and 3, the skid 23 has a strip-shaped base 233 and a support 234 formed on the upper edge of the base 233. The support portion 234 has a plurality of groove portions 232 repeatedly formed at a predetermined pitch. Each groove portion 232 is formed by being cut in an inverted isosceles triangle shape having the apex below the upper end portion of the support portion 234. That is, the support portion 234 has a substantially saw blade shape in which a plurality of narrow isosceles triangular support pieces 236 having an upper apex as the apex in the side view are juxtaposed and formed so as to project.
 支持部234における複数の支持片236のそれぞれの頂部231は、高さ位置が一定であり、これにより、スキッド群23Gは、載せられた板材を歪みなく支持する。図3に示されるように、加工パレット2において、複数のスキッド23は、側面視において、隣接するスキッド23の頂部231のY方向の位置が半ピッチずれるように取り付けられている。すなわち、スキッド23として、ベース部21に取り付けた状態で頂部231の位置がずれる2種類のスキッド23a及びスキッド23bが交互に設置され、全体として複数のスキッド23の群であるスキッド群23Gが構成されている。 The height position of each of the top portions 231 of the plurality of support pieces 236 in the support portion 234 is constant, whereby the skid group 23G supports the mounted plate material without distortion. As shown in FIG. 3, in the processing pallet 2, the plurality of skids 23 are attached so that the positions of the top portions 231 of the adjacent skids 23 in the Y direction are offset by a half pitch in the side view. That is, as the skid 23, two types of skids 23a and skids 23b whose tops 231 are displaced from each other when attached to the base portion 21 are alternately installed to form a skid group 23G which is a group of a plurality of skids 23 as a whole. ing.
 以上の構成により、レーザ加工装置92で加工される素材Waは、格納部911において素材パレット1に載せられ、その後、素材パレット1と共に搬送本体部912に移動する。搬送本体部912に移動した素材Waは、一枚取ユニット3によって持ち上げられ、上位置にあるスイッチラック4の上保持部4cで待機している加工パレット2Aに乗せ換えられる。その後、スイッチラック4は、上位置から下位置に下降し、上保持部4cの加工パレット2Aは、素材Waを載せた状態でレーザ加工装置92に投入される。 With the above configuration, the material Wa processed by the laser processing device 92 is placed on the material pallet 1 in the storage unit 911, and then moves to the transport main body unit 912 together with the material pallet 1. The material Wa that has moved to the transport main body portion 912 is lifted by the single sheet taking unit 3 and transferred to the processing pallet 2A that is waiting in the upper holding portion 4c of the switch rack 4 at the upper position. After that, the switch rack 4 descends from the upper position to the lower position, and the processing pallet 2A of the upper holding portion 4c is put into the laser processing apparatus 92 with the material Wa mounted on it.
 レーザ加工装置92が加工パレット2Aに載せられた素材Waを加工している間に、スイッチラック4の下保持部4dに保持されていた加工パレット2Bは、スイッチラック4の前開口部4bを通って下部位置にあるリフタトレイ5に移動する。リフタトレイ5は、加工パレット2Bが移動してきたら、加工パレット2Bと共に中央位置に上昇する。リフタトレイ5が中央位置に達したら、加工パレット2Bは、スイッチラック4の空いている上保持部4cに移動し、一枚取ユニット3から次の素材Waが載せられるのを待つ。 While the laser machining apparatus 92 is machining the material Wa mounted on the machining pallet 2A, the machining pallet 2B held by the lower holding portion 4d of the switch rack 4 passes through the front opening 4b of the switch rack 4. Move to the lifter tray 5 at the lower position. When the processing pallet 2B moves, the lifter tray 5 rises to the center position together with the processing pallet 2B. When the lifter tray 5 reaches the center position, the processing pallet 2B moves to the empty upper holding portion 4c of the switch rack 4 and waits for the next material Wa to be loaded from the single sheet taking unit 3.
 上述のように、レーザ加工システムSTでは、レーザ加工装置92による加工の開始直前に、素材Waを載せた第1の加工パレット2が搬送本体部912からレーザ加工装置92に移動する。また、スイッチラック4とリフタトレイ5との間で、何も載せられていない空の第2の加工パレット2が出入りする。 As described above, in the laser machining system ST, immediately before the start of machining by the laser machining device 92, the first machining pallet 2 on which the material Wa is placed moves from the transport main body 912 to the laser machining device 92. Further, an empty second processing pallet 2 on which nothing is placed goes in and out between the switch rack 4 and the lifter tray 5.
 次に、液体塗布装置6について、図1及び図4~図6を参照して説明する。図4は、加工パレット2に対する上ノズル群7及び下ノズル群8の配置位置を示す模式的側面図である。図5は、液体塗布装置6における液体塗布範囲を説明するための模式的前面図である。図6は、液体塗布装置6の配管系統図である。 Next, the liquid coating device 6 will be described with reference to FIGS. 1 and 4 to 6. FIG. 4 is a schematic side view showing the arrangement positions of the upper nozzle group 7 and the lower nozzle group 8 with respect to the processing pallet 2. FIG. 5 is a schematic front view for explaining a liquid coating range in the liquid coating device 6. FIG. 6 is a piping system diagram of the liquid coating device 6.
 図1に示されるように、液体塗布装置6の上ノズル群7及び下ノズル群8は、パレット搬送装置91の搬送本体部912の出入口914のそれぞれ上部及び下部に前後方向に配設されている。図4及び図5に示されるように、液体塗布装置6は、素材Waを載せた加工パレット2が搬送本体部912からレーザ加工装置92に移動する際に、出入口914を通過する加工パレット2のスキッド群23G及び素材Waに対して液体MのミストMLを噴霧して塗布する。 As shown in FIG. 1, the upper nozzle group 7 and the lower nozzle group 8 of the liquid coating device 6 are arranged in the front-rear direction at the upper part and the lower part of the entrance / exit 914 of the transfer main body portion 912 of the pallet transfer device 91, respectively. .. As shown in FIGS. 4 and 5, the liquid coating device 6 is a processing pallet 2 that passes through the entrance / exit 914 when the processing pallet 2 on which the material Wa is placed moves from the transport main body portion 912 to the laser processing device 92. The mist ML of the liquid M is sprayed and applied to the skid group 23G and the material Wa.
 図1及び図6に示されるように、液体塗布装置6は、タンク61aを含む本体部61,上供給路64,上ノズル群7,下供給路65,及び下ノズル群8を有する。タンク61aは、素材Wa及びスキッド群23Gなどに塗布する液体Mを収容し、高圧のエアー源ARと接続されている。液体Mは、例えば、スパッタ又はドロスのスキッド23への付着を防止するスパッタ付着防止剤である。 As shown in FIGS. 1 and 6, the liquid coating device 6 has a main body portion 61 including a tank 61a, an upper supply path 64, an upper nozzle group 7, a lower supply path 65, and a lower nozzle group 8. The tank 61a houses the material Wa and the liquid M to be applied to the skid group 23G and the like, and is connected to the high-pressure air source AR. The liquid M is, for example, a spatter adhesion inhibitor that prevents spatter or dross from adhering to the skid 23.
 図6に示されるように、上ノズル群7は、5個の上ノズル71~75を含む。上供給路64は、第1端側がタンク61aに接続され、第1端の反対側となる第2端側が減圧器764を経て三系統の分路641~643に分岐している。 As shown in FIG. 6, the upper nozzle group 7 includes five upper nozzles 71 to 75. The first end side of the upper supply path 64 is connected to the tank 61a, and the second end side opposite to the first end is branched into three branch lines 641 to 643 via the decompressor 764.
 分路641は、電磁開閉弁761を経て3経路に分岐し、それぞれ上ノズル71~73に接続されている。分路642は、電磁開閉弁762を経て上ノズル74に接続されている。分路643は、電磁開閉弁763を経て上ノズル75に接続されている。 The branch path 641 branches into three paths via the electromagnetic on-off valve 761 and is connected to the upper nozzles 71 to 73, respectively. The shunt 642 is connected to the upper nozzle 74 via an electromagnetic on-off valve 762. The shunt 643 is connected to the upper nozzle 75 via an electromagnetic on-off valve 763.
 下ノズル群8は、ノズル組81~88を有する。ノズル組81~88は、それぞれ符号の末尾がa,bで区別される一対の下ノズルで構成されている。例えば、ノズル組81は、下ノズル81aと下ノズル81bとを含む組である。図5に示されるように、下ノズル群8の各ノズル組において、一対の下ノズルは、前面視において、真上方向に対して加工パレット2の搬送方向に傾いた、左上方向又は右上方向にミストMLを噴射する。図5では、複数のノズル組を代表してノズル組81の下ノズル81aと下ノズル81bが真上方向に対してそれぞれ角度θだけ傾いた、左上方向又は右上方向にミストMLを噴射している状態を示している。角度θは15°以下とされ、例えば5°である。より詳しくは、前面視において、ノズル組81の一方の下ノズル81aが左上方向にミストMLを噴出し、ノズル組81の他方の下ノズル81bが右上方向にミストMLを噴出する。他のノズル組82~88についても同様である。ここで、左方向は、矢印D4で示されるように、加工パレット2がレーザ加工装置92に向け搬送される進行方向である。右方向は、加工パレット2がレーザ加工装置92に向け搬送される進行方向の反対方向である。 The lower nozzle group 8 has nozzle sets 81 to 88. The nozzle sets 81 to 88 are composed of a pair of lower nozzles whose symbols are distinguished by a and b, respectively. For example, the nozzle set 81 is a set including the lower nozzle 81a and the lower nozzle 81b. As shown in FIG. 5, in each nozzle set of the lower nozzle group 8, the pair of lower nozzles are tilted in the transport direction of the processing pallet 2 with respect to the straight upward direction in the front view, in the upper left direction or the upper right direction. Inject mist ML. In FIG. 5, on behalf of a plurality of nozzle sets, the lower nozzle 81a and the lower nozzle 81b of the nozzle set 81 inject mist ML in the upper left direction or the upper right direction in which the lower nozzle 81a and the lower nozzle 81b are tilted by an angle θ with respect to the direction directly above. It shows the state. The angle θ is 15 ° or less, for example, 5 °. More specifically, in front view, one lower nozzle 81a of the nozzle set 81 ejects mist ML in the upper left direction, and the other lower nozzle 81b of the nozzle set 81 ejects mist ML in the upper right direction. The same applies to the other nozzle sets 82 to 88. Here, the left direction is the traveling direction in which the machining pallet 2 is conveyed toward the laser machining apparatus 92, as indicated by the arrow D4. The right direction is the direction opposite to the traveling direction in which the machining pallet 2 is conveyed toward the laser machining device 92.
 下供給路65は、供給路65a及び供給路65bの二系統の供給路を含む。供給路65aは、第1端側がタンク61aに接続され、第1端の反対側となる第2端側が、電磁開閉弁891を経てノズル組81~84の合計8個の下ノズル81a~84a,81b~84bに、並列接続されている。 The lower supply path 65 includes two supply paths, a supply path 65a and a supply path 65b. In the supply path 65a, the first end side is connected to the tank 61a, and the second end side opposite to the first end is a total of eight lower nozzles 81a to 84a of the nozzle set 81 to 84 via the electromagnetic on-off valve 891. It is connected in parallel to 81b to 84b.
 供給路65bは、第1端側がタンク61aに接続され、第1端の反対側となる第2端側が、二系統の分路65b1,65b2に分岐している。分路65b1における第1端とは反対側となる第2端側は、電磁開閉弁892を経てノズル組85,86の4個の下ノズル85a,85b,86a,86bに並列接続されている。分路65b2における第1端とは反対側となる第2端側は、電磁開閉弁893を経てノズル組87,88の4個の下ノズル87a,87b,88a,88bに並列接続されている。 The first end side of the supply path 65b is connected to the tank 61a, and the second end side opposite to the first end is branched into two branch lines 65b1 and 65b2. The second end side of the shunt 65b1 opposite to the first end is connected in parallel to the four lower nozzles 85a, 85b, 86a, 86b of the nozzle sets 85, 86 via the electromagnetic on-off valve 892. The second end side of the shunt 65b2, which is opposite to the first end, is connected in parallel to the four lower nozzles 87a, 87b, 88a, 88b of the nozzle sets 87, 88 via the electromagnetic on-off valve 893.
 上ノズル群7に対応した電磁開閉弁761~763及び下ノズル群8に対応した電磁開閉弁891~893の開閉動作は、制御装置93によって制御される。これにより、制御装置93によって開状態とされた電磁開閉弁に接続したノズルから、液体MがミストMLとして噴出する。例えば、制御装置93によって電磁開閉弁892が開状態とされたら、タンク61aに収容された液体Mが分路65b1を通り、下ノズル85a,85b,86a,86bからミストMLとして噴出する。 The opening / closing operation of the electromagnetic on-off valves 761 to 763 corresponding to the upper nozzle group 7 and the electromagnetic on-off valves 891 to 893 corresponding to the lower nozzle group 8 is controlled by the control device 93. As a result, the liquid M is ejected as mist ML from the nozzle connected to the electromagnetic on-off valve opened by the control device 93. For example, when the electromagnetic on-off valve 892 is opened by the control device 93, the liquid M contained in the tank 61a passes through the shunt 65b1 and is ejected as mist ML from the lower nozzles 85a, 85b, 86a, 86b.
 上ノズル群7の上ノズル71~75、及び下ノズル群8の下ノズル81a~88a,81b~88bは、扇形ノズルである。扇形ノズルは、ミストMLを、一方向を長手とする細長い形状の範囲に噴出するノズルである。細長い形状は、例えば、細長い長方形、細長い楕円形、などである。この細長い形状の幅は一定でなくてもよく、長手方向の中央が最大幅でなくてもよい。上ノズル71~75及び下ノズル81a~88a,81b~88bは、噴出範囲の長手方向がY軸方向となる姿勢で配置されている。 The upper nozzles 71 to 75 of the upper nozzle group 7 and the lower nozzles 81a to 88a and 81b to 88b of the lower nozzle group 8 are fan-shaped nozzles. The fan-shaped nozzle is a nozzle that ejects mist ML into a range of an elongated shape having a length in one direction. The elongated shape is, for example, an elongated rectangle, an elongated ellipse, and the like. The width of this elongated shape does not have to be constant, and the center in the longitudinal direction does not have to be the maximum width. The upper nozzles 71 to 75 and the lower nozzles 81a to 88a and 81b to 88b are arranged in such a posture that the longitudinal direction of the ejection range is the Y-axis direction.
 上ノズル群7及び下ノズル群8における各ノズルのY軸方向の配置位置は、加工パレット2のスキッド群23Gに載せられる素材Waが板材の場合の定尺板のサイズに対応している。制御装置93は、加工パレット2のスキッド群23Gに対し、X軸及びY軸を基準軸とするXY座標系を設定している。XY座標系には、加工パレット2に載せる素材Waなどの基準位置として、座標(Px0,Py0)が設定されている。すなわち、定尺板の素材Waをスキッド群23Gに載せる場合は、素材Waの一つの角部を座標(Px0,Py0)に位置決めし、一対の長辺及び短辺を、それぞれX軸及びY軸に対し平行にする。 The arrangement position of each nozzle in the upper nozzle group 7 and the lower nozzle group 8 in the Y-axis direction corresponds to the size of the standard plate when the material Wa mounted on the skid group 23G of the processing pallet 2 is a plate material. The control device 93 sets an XY coordinate system with the X-axis and the Y-axis as reference axes for the skid group 23G of the machining pallet 2. In the XY coordinate system, coordinates (Px0, Py0) are set as reference positions of the material Wa or the like to be placed on the processing pallet 2. That is, when the material Wa of the standard plate is placed on the skid group 23G, one corner of the material Wa is positioned at the coordinates (Px0, Py0), and the pair of long sides and short sides are X-axis and Y-axis, respectively. Make it parallel to.
 X軸方向についての基準位置Pxは、図5に示されるように加工パレット2の左端に近い位置に設定されている。Y軸方向の基準位置Pyについては、図4に示されるように加工パレット2の前端に近い位置に設定されている。加工パレット2のスキッド群23Gに載せられる定尺板の主な種類は、次の3種である。すなわち、通称3×6板(サイズ:914mm×1829mm)と、通称4×8板(サイズ:1219mm×2438mm)、及び通称5×10板(サイズ:1524mm×3048mm)である。 The reference position Px in the X-axis direction is set to a position close to the left end of the processing pallet 2 as shown in FIG. The reference position Py in the Y-axis direction is set to a position close to the front end of the machining pallet 2 as shown in FIG. The main types of standard-sized plates mounted on the skid group 23G of the processing pallet 2 are the following three types. That is, they are commonly known as 3 × 6 plates (size: 914 mm × 1829 mm), commonly known as 4 × 8 plates (size: 1219 mm × 2438 mm), and commonly known as 5 × 10 plates (size: 1524 mm × 3048 mm).
 加工パレット2に対し、各定尺板の一つの角部を座標(Px0,Py0)の基準位置Px、Pyに位置させると共に、各定尺板の直交2辺をそれぞれX軸,Y軸に平行となる姿勢にして載せる。この場合、図4において、3×6板、4×8板、及び5×10板のY軸方向の幅は、スキッド群23GにおけるY座標がPy0の位置Pyからそれぞれ、位置Py1,位置Py2,及び位置Py3までの幅で示される。同様に、図5において、3×6板、4×8板、及び5×10板のX軸方向の長さは、X座標がPx0の位置Pxからそれぞれ位置Px1,位置Px2,及び位置Px3までの長さで示される。 One corner of each standard plate is positioned at the reference positions Px and Py of the coordinates (Px0, Py0) with respect to the processing pallet 2, and the two orthogonal sides of each standard plate are parallel to the X and Y axes, respectively. Put it in the posture that becomes. In this case, in FIG. 4, the widths of the 3 × 6 plate, the 4 × 8 plate, and the 5 × 10 plate in the Y-axis direction are the positions Py1 and the position Py2, respectively, from the position Py where the Y coordinate in the skid group 23G is Py0. And the width up to the position Py3. Similarly, in FIG. 5, the lengths of the 3 × 6 plate, the 4 × 8 plate, and the 5 × 10 plate in the X-axis direction are from the position Px whose X coordinate is Px0 to the position Px1, the position Px2, and the position Px3, respectively. Indicated by the length of.
 図4に示されるように、3×6板の幅に対応した範囲である位置Py~位置Py1の範囲の上方には、前方側から後方側にかけて上ノズル71~73が概ね等間隔で配置されている。上ノズル71~73それぞれから噴出したミストMLであるミストML71~ML73は、一部重複して少なくとも加工パレット2のスキッド群23Gの位置Py~位置Py1の範囲に満遍なく噴き付けられる。 As shown in FIG. 4, the upper nozzles 71 to 73 are arranged at approximately equal intervals from the front side to the rear side above the range from the position Py to the position Py1, which is the range corresponding to the width of the 3 × 6 plate. ing. The mist MLs 71 to ML73, which are mist MLs ejected from each of the upper nozzles 71 to 73, are partially overlapped and are evenly sprayed into the range of position Py to position Py1 of the skid group 23G of the processing pallet 2.
 図4に示されるように、4×8板の幅の、3×6板よりも大きい部分に対応した範囲である位置Py1~位置Py2の範囲の上方には、上ノズル74が配置されている。上ノズル74から噴出したミストML74は、加工パレット2のスキッド群23Gの位置Py1~位置Py2の範囲に満遍なく噴き付けられる。 As shown in FIG. 4, the upper nozzle 74 is arranged above the range from the position Py1 to the position Py2, which is the range corresponding to the portion of the width of the 4 × 8 plate larger than the 3 × 6 plate. .. The mist ML74 ejected from the upper nozzle 74 is evenly sprayed into the range from the position Py1 to the position Py2 of the skid group 23G of the processing pallet 2.
 図4に示されるように、5×10板の幅の、4×8板よりも大きい部分に対応した範囲である位置Py2~位置Py3の範囲の上方には、上ノズル75が配置されている。上ノズル75から噴出したミストML75は、加工パレット2のスキッド群23Gの位置Py2~位置Py3の範囲に満遍なく噴き付けられる。 As shown in FIG. 4, the upper nozzle 75 is arranged above the range from the position Py2 to the position Py3, which is the range corresponding to the portion of the width of the 5 × 10 plate larger than the 4 × 8 plate. .. The mist ML75 ejected from the upper nozzle 75 is evenly sprayed into the range from the position Py2 to the position Py3 of the skid group 23G of the processing pallet 2.
 このように、パレット搬送装置91は、液体塗布装置6の電磁開閉弁761を開状態にすることで、加工パレット2におけるスキッド23の、3×6板に対応した位置Py~位置Py1の範囲に液体Mを噴霧して塗布できる。また、スキッド群23Gの所定の位置に3×6板を載せた場合にはその3×6板の上面の全幅範囲に、液体を噴霧して塗布できる。 In this way, the pallet transfer device 91 opens the electromagnetic on-off valve 761 of the liquid coating device 6 so that the skid 23 in the processing pallet 2 is in the range of position Py to position Py1 corresponding to the 3 × 6 plate. Liquid M can be sprayed and applied. Further, when the 3 × 6 plate is placed at a predetermined position of the skid group 23G, the liquid can be sprayed and applied to the entire width range of the upper surface of the 3 × 6 plate.
 パレット搬送装置91は、液体塗布装置6の電磁開閉弁761及び電磁開閉弁762を開状態にすることで、4×8板に対応した位置Py~位置Py2の範囲に液体Mを噴霧して塗布できる。また、スキッド群23Gの所定の位置に4×8板を載せた場合にはその4×8板の上面の全幅範囲に、液体を噴霧して塗布できる。 The pallet transfer device 91 sprays and coats the liquid M in the range from the position Py to the position Py2 corresponding to the 4 × 8 plate by opening the electromagnetic on-off valve 761 and the electromagnetic on-off valve 762 of the liquid coating device 6. can. Further, when the 4 × 8 plate is placed at a predetermined position of the skid group 23G, the liquid can be sprayed and applied to the entire width range of the upper surface of the 4 × 8 plate.
 パレット搬送装置91は、液体塗布装置6の電磁開閉弁761~763を開状態にすることで、5×10板に対応した位置Py~位置Py3の範囲に液体Mを噴霧して塗布できる。また、スキッド群23Gの所定の位置に5×10板を載せた場合にはその5×10板の上面の全幅範囲に、液体Mを噴霧して塗布できる。 The pallet transfer device 91 can spray and apply the liquid M to the range from the position Py to the position Py3 corresponding to the 5 × 10 plate by opening the electromagnetic on-off valves 761 to 763 of the liquid coating device 6. Further, when the 5 × 10 plate is placed at a predetermined position in the skid group 23G, the liquid M can be sprayed and applied to the entire width range of the upper surface of the 5 × 10 plate.
 図4に示されるように、スキッド群23Gにおける、3×6板の幅に対応した範囲である位置Py~位置Py1の範囲の下方には、前方側から後方側にかけてノズル組81~84がこの順で配置されている。ノズル組81~84それぞれから上方に向け噴出したミストML81~ML84は、加工パレット2のスキッド群23Gの少なくとも位置Py~位置Py1の範囲に噴き付けられる。すなわち、ノズル組81~84から噴出したミストML81~ML86によって、スキッド群23Gの所定位置に載せた3×6板の下面の全幅範囲に満遍なく噴き付けられる。 As shown in FIG. 4, in the skid group 23G, below the range of the position Py to the position Py1, which is the range corresponding to the width of the 3 × 6 plate, the nozzle sets 81 to 84 are located from the front side to the rear side. They are arranged in order. The mist ML81 to ML84 ejected upward from each of the nozzle sets 81 to 84 is sprayed onto at least the range from the position Py to the position Py1 of the skid group 23G of the processing pallet 2. That is, the mists ML81 to ML86 ejected from the nozzle sets 81 to 84 are evenly sprayed onto the entire width range of the lower surface of the 3 × 6 plate placed at the predetermined position of the skid group 23G.
 図4に示されるように、スキッド群23Gにおける、4×8板の幅の、3×6板よりも大きい部分に対応した範囲である位置Py1~位置Py2の範囲の下方には、ノズル組85,86が配置されている。ノズル組85,86それぞれから上方に向け噴出したミストML85,ML86は、加工パレット2のスキッド群23Gの少なくとも位置Py1~位置Py2の範囲に噴き付けられる。すなわち、ノズル組81~86から噴出したミストML81~ML86によって、スキッド群23Gの所定位置に載せた4×8板の下面の全幅範囲に液体Mが満遍なく塗布される。 As shown in FIG. 4, below the range of the position Py1 to the position Py2, which is the range corresponding to the portion of the skid group 23G having a width larger than the 3 × 6 plate, the nozzle set 85. , 86 are arranged. The mist ML85 and ML86 ejected upward from the nozzle sets 85 and 86 are sprayed onto at least the range from the position Py1 to the position Py2 of the skid group 23G of the processing pallet 2. That is, the liquid M is evenly applied to the entire width range of the lower surface of the 4 × 8 plate placed at the predetermined position of the skid group 23G by the mist ML81 to ML86 ejected from the nozzle sets 81 to 86.
 図4に示されるように、スキッド群23Gにおける、5×10板の幅の、4×8板よりも大きい部分に対応した範囲である位置Py2~位置Py3の範囲の下方には、ノズル組87,88が配置されている。ノズル組87,88それぞれから上方に向け噴出したミストML87,ML88は、加工パレット2のスキッド群23Gの少なくとも位置Py2~位置Py3の範囲に噴き付けられる。すなわち、ノズル組81~88から噴出したミストML81~ML88によって、スキッド群23Gの所定位置に載せた5×10板の下面の全幅範囲に液体Mが満遍なく噴き付けられる。 As shown in FIG. 4, the nozzle set 87 is below the range from position Py2 to position Py3, which is a range corresponding to a portion of the skid group 23G having a width of 5 × 10 plates larger than that of 4 × 8 plates. , 88 are arranged. The mist ML87 and ML88 ejected upward from the nozzle sets 87 and 88 are sprayed onto at least the range from the position Py2 to the position Py3 of the skid group 23G of the processing pallet 2. That is, the mist ML81 to ML88 ejected from the nozzle sets 81 to 88 sprays the liquid M evenly over the entire width range of the lower surface of the 5 × 10 plate placed at the predetermined position of the skid group 23G.
 各スキッド23に対し、スパッタ又はドロスなどの付着物が固着するのを防止するために、液体Mとしてスパッタ付着防止剤を塗布する場合は、スキッド23における基部233の表面及び溝部232の端面235に、満遍なくスパッタ付着防止剤を塗布する必要がある。溝部232の端面235は、支持片236の端面235と同じ部位である。溝部232の端面235は上方を向いているため、スキッド23の上方に位置する上ノズル部62からスパッタ付着防止剤をミストMLとして噴き付けることで、端面235にスパッタ付着防止剤を塗布することができる。 When a spatter adhesion inhibitor is applied as the liquid M in order to prevent deposits such as spatter or dross from adhering to each skid 23, the surface of the base 233 and the end face 235 of the groove 232 in the skid 23 are coated. , It is necessary to apply the spatter adhesion inhibitor evenly. The end surface 235 of the groove portion 232 is the same portion as the end surface 235 of the support piece 236. Since the end face 235 of the groove portion 232 faces upward, the spatter adhesion preventive agent can be applied to the end face 235 by spraying the spatter adhesion preventive agent as mist ML from the upper nozzle portion 62 located above the skid 23. can.
 これに対し、パレット搬送装置91では、上ノズル部62は加工パレット2に載せた素材Waの上面Wa1へのスパッタ付着防止剤の塗布を担い、下ノズル部63は溝部232の端面235へのスパッタ付着防止剤の塗布を担っている。 On the other hand, in the pallet transfer device 91, the upper nozzle portion 62 is responsible for applying the spatter adhesion preventive agent to the upper surface Wa 1 of the material Wa placed on the processing pallet 2, and the lower nozzle portion 63 is responsible for spattering the end surface 235 of the groove portion 232. It is responsible for applying the anti-adhesion agent.
 図7は、下ノズル部63のうちの、下ノズル83aによる溝部232へのスパッタ付着防止剤の塗布態様を示した側面図である。素材Waは、複数のスキッド23の頂部231によって支持されている。図7に示されるように、下ノズル83aは、上述のように扇形ノズルである。下ノズル83aから上方に噴出したスパッタ付着防止剤のミストMLは、Y軸方向に長い、長手方向の長さPR1の長方形範囲で、素材Waの下面Wa2に噴き付けられる。 FIG. 7 is a side view showing a mode in which the spatter adhesion inhibitor is applied to the groove portion 232 by the lower nozzle 83a in the lower nozzle portion 63. The material Wa is supported by a plurality of skid 23 tops 231. As shown in FIG. 7, the lower nozzle 83a is a fan-shaped nozzle as described above. The mist ML of the spatter adhesion inhibitor ejected upward from the lower nozzle 83a is sprayed onto the lower surface Wa2 of the material Wa in a rectangular range having a length PR1 in the longitudinal direction, which is long in the Y-axis direction.
 加工パレット2は、スキッド群23Gを支える枠体のベース部21と、ベース部21の短手方向中央に配置された長手方向に延びる支持フレーム22以外、スキッド群23Gの下方は開放されている。従って、加工パレット2の下方から上方に向け噴出したミストMLは、ほぼ全量がスキッド群23Gに載せられた素材Waの下面Wa2に到達する。 The processing pallet 2 is open below the skid group 23G except for the base portion 21 of the frame body that supports the skid group 23G and the support frame 22 extending in the longitudinal direction arranged in the center of the base portion 21 in the lateral direction. Therefore, almost all of the mist ML ejected from the lower side to the upper side of the processing pallet 2 reaches the lower surface Wa 2 of the material Wa mounted on the skid group 23G.
 下面Wa2に噴き付けられたスパッタ付着防止剤は、下面Wa2当たってランダムに跳ね返り、跳ね返った一部がスキッド23の溝部232の端面235に達する。そのため、端面235には、下面Wa2でランダムに跳ね返ったスパッタ付着防止剤が様々な角度から到達する。同様に、溝部232及び基部233の側面にも、スパッタ付着防止剤が様々な角度から到達する。これにより、スパッタ付着防止剤は、スキッド23の基部233及び溝部232の側面と溝部232の端面235とに満遍なく、かつむらなく塗布される。また、下ノズル群8の複数のノズル組81~88は、それぞれ一対の下ノズルを有する。そして、代表としてノズル組81を説明すると、既述のように、ノズル組81は、一対の下ノズル81a,81bを有し、下ノズル81aと下ノズル81bのミストMLの上方への噴出方向が、真上ではなく、レーザ加工装置92に搬入される加工パレット2の移動方向(X軸方向)の前方側と後方側とに傾いている。これは他のノズル組82~88についても同様である。そのため、スキッド23の基部233及び溝部232の側面には、X軸方向の左側と右側との両側からミストMLが噴き付けられ、ミストMLが素材Waの下面Wa2で跳ねってより広い範囲に拡散する。これにより、スパッタ付着防止剤は、スキッド23の基部233及び溝部232の側面と溝部232の端面235とに、より満遍なく、かつ、よりむらなく塗布される。 The spatter adhesion inhibitor sprayed on the lower surface Wa2 hits the lower surface Wa2 and rebounds randomly, and a part of the rebound reaches the end surface 235 of the groove 232 of the skid 23. Therefore, the spatter adhesion inhibitor that randomly bounces off the lower surface Wa2 reaches the end surface 235 from various angles. Similarly, the spatter adhesion inhibitor reaches the side surfaces of the groove portion 232 and the base portion 233 from various angles. As a result, the spatter adhesion inhibitor is evenly and evenly applied to the side surface of the base portion 233 and the groove portion 232 of the skid 23 and the end surface 235 of the groove portion 232. Further, each of the plurality of nozzle sets 81 to 88 of the lower nozzle group 8 has a pair of lower nozzles. Then, to explain the nozzle set 81 as a representative, as described above, the nozzle set 81 has a pair of lower nozzles 81a and 81b, and the direction of ejection of the lower nozzle 81a and the lower nozzle 81b upward from the mist ML is The processing pallet 2 carried into the laser processing apparatus 92 is tilted toward the front side and the rear side in the moving direction (X-axis direction), not directly above. This also applies to the other nozzle sets 82 to 88. Therefore, mist ML is sprayed from both the left side and the right side in the X-axis direction on the side surfaces of the base portion 233 and the groove portion 232 of the skid 23, and the mist ML bounces on the lower surface Wa 2 of the material Wa and diffuses over a wider range. do. As a result, the spatter adhesion inhibitor is applied more evenly and more evenly to the base portion 233 and the side surface of the groove portion 232 of the skid 23 and the end surface 235 of the groove portion 232.
 制御装置93は、上ノズル群7及び下ノズル群8からのミストMLの噴射時期を制御する。具体的には、加工パレット2に載せた素材Waの大きさに応じて噴射時期を制御する。より詳しくは、制御装置93は、加工パレット2の素材Waが上ノズル群7の直下を通過中に、上ノズル群7からミストMLを素材Waに向け噴出させ、加工パレット2の素材Waが下ノズル群8の直上を通過中に、下ノズル群8からミストMLを素材Waに向け噴出させる。 The control device 93 controls the injection timing of the mist ML from the upper nozzle group 7 and the lower nozzle group 8. Specifically, the injection timing is controlled according to the size of the material Wa placed on the processing pallet 2. More specifically, the control device 93 ejects the mist ML from the upper nozzle group 7 toward the material Wa while the material Wa of the processing pallet 2 is passing directly under the upper nozzle group 7, and the material Wa of the processing pallet 2 is lower. While passing directly above the nozzle group 8, the mist ML is ejected from the lower nozzle group 8 toward the material Wa.
 図5に示されるように、上ノズル群7と下ノズル群8とは、X軸方向における同じ位置P78において対向するよう配置されている。加工パレット2が、搬送本体部912からレーザ加工装置92に向け、図1にも示される矢印D4の左方向に移動しているときに上ノズル群7と下ノズル群8からミストMLが噴出する。制御装置93は、加工パレット2の移動を制御すると共に、加工パレット2のスキッド群23Gに載せた素材Waが、3×6板、4×8板、及び5×10板の場合、それぞれに応じてミストMLの噴出動作を制御する。 As shown in FIG. 5, the upper nozzle group 7 and the lower nozzle group 8 are arranged so as to face each other at the same position P78 in the X-axis direction. Mist ML is ejected from the upper nozzle group 7 and the lower nozzle group 8 while the processing pallet 2 is moving from the transport main body 912 toward the laser processing device 92 toward the left of the arrow D4 also shown in FIG. .. The control device 93 controls the movement of the processing pallet 2, and when the material Wa mounted on the skid group 23G of the processing pallet 2 is a 3 × 6 plate, a 4 × 8 plate, and a 5 × 10 plate, it corresponds to each. It controls the ejection operation of the mist ML.
 制御装置93は、スキッド群23Gに素材Waが載せられているか否か、及び載せられている素材Waの大きさを、それらの情報を含んで予め外部から供給される加工情報を参照して把握する。素材Waが載せられているか否か及び素材Waの大きさは、パレット搬送装置91に、加工パレット2のスキッド群23Gに金属部材が載せられているか否か及び載せられている場合の大きさを検出する複数のセンサを設け、制御装置93がこのセンサの検出情報に基づいて取得するよう構成してもよい。 The control device 93 grasps whether or not the material Wa is mounted on the skid group 23G and the size of the loaded material Wa by referring to the processing information supplied from the outside in advance including such information. do. Whether or not the material Wa is mounted and the size of the material Wa are determined by determining whether or not the metal member is mounted on the skid group 23G of the processing pallet 2 on the pallet transfer device 91 and the size when the material Wa is mounted. A plurality of sensors to be detected may be provided, and the control device 93 may be configured to acquire the sensors based on the detection information of the sensors.
 スキッド群23Gに載せた素材Waが3×6板の場合、制御装置93は、上ノズル群7及び下ノズル群8が設置されている位置P78を、少なくとも加工パレット2における位置Pxから位置Px1が通過している間にミストMLを噴出させる。4×8板の場合、制御装置93は、上ノズル群7及び下ノズル群8が設置されている位置P78を、少なくとも位置Pxから位置Px2が通過している間にミストMLを噴出させる。5×10板の場合、制御装置93は、上ノズル群7及び下ノズル群8が設置されている位置P78を、少なくとも位置Pxから位置Px3が通過している間にミストMLを噴出させる。 When the material Wa mounted on the skid group 23G is a 3 × 6 plate, the control device 93 sets the position P78 where the upper nozzle group 7 and the lower nozzle group 8 are installed at least from the position Px on the processing pallet 2 to the position Px1. Mist ML is ejected while passing. In the case of the 4 × 8 plate, the control device 93 ejects the mist ML from the position P78 where the upper nozzle group 7 and the lower nozzle group 8 are installed, at least while the position Px2 passes from the position Px. In the case of the 5 × 10 plate, the control device 93 ejects the mist ML from the position P78 where the upper nozzle group 7 and the lower nozzle group 8 are installed, at least while the position Px3 passes from the position Px.
 上述の液体塗布方法により、パレット搬送装置91では、スキッド群23Gのうち、少なくとも加工に供される部分にスパッタ付着防止剤が塗布される、そのため、スパッタ付着防止剤の無駄な消費を抑制できる。 By the above-mentioned liquid coating method, in the pallet transfer device 91, the spatter adhesion inhibitor is applied to at least the portion of the skid group 23G to be processed, so that wasteful consumption of the spatter adhesion inhibitor can be suppressed.
 上述の液体塗布装置6を備えていることにより、パレット搬送装置91は、加工パレット2の各スキッド23の溝部232の端面235を含む表面全体に、満遍なく自動的にスパッタ付着防止剤を塗布できる。具体的には、図8に示されるように、パレット搬送装置91は、加工パレット2がレーザ加工装置92に対して出入りする出入口914の近傍に、上下方向に離隔配置された上ノズル群7及び下ノズル群8を含むノズル部66を有する。 By providing the above-mentioned liquid coating device 6, the pallet transfer device 91 can automatically and evenly apply the spatter adhesion inhibitor to the entire surface including the end surface 235 of the groove portion 232 of each skid 23 of the processing pallet 2. Specifically, as shown in FIG. 8, the pallet transfer device 91 includes the upper nozzle group 7 and the upper nozzle group 7 which are vertically separated from each other in the vicinity of the entrance / exit 914 where the processing pallet 2 enters and exits the laser processing device 92. It has a nozzle portion 66 including a lower nozzle group 8.
 制御装置93は、上ノズル群7と下ノズル群8との間を、パレット搬送装置91からレーザ加工装置92に向けて素材Waを載せた加工パレット2を通過させ、その際に、上ノズル群7及び下ノズル群8から素材Waに向け液体MのミストMLを噴出させる。これにより、加工パレット2のスキッド群23Gに載せた素材Waの上面Wa1には、上ノズル群7から噴き付けられたスパッタ付着防止剤の塗膜MT7が付着する。それと共に、素材Waの下面Wa2及び素材Waに対応した範囲の各スキッド23の溝部232の端面235を含む全表面には、下ノズル群8から噴き付けられたスパッタ付着防止剤の塗膜MT8が付着する。 The control device 93 passes the processing pallet 2 on which the material Wa is placed from the pallet transport device 91 toward the laser processing device 92 between the upper nozzle group 7 and the lower nozzle group 8, and at that time, the upper nozzle group The mist ML of the liquid M is ejected from the 7 and the lower nozzle group 8 toward the material Wa. As a result, the coating film MT7 of the spatter adhesion inhibitor sprayed from the upper nozzle group 7 adheres to the upper surface Wa1 of the material Wa placed on the skid group 23G of the processing pallet 2. At the same time, the coating film MT8 of the spatter adhesion inhibitor sprayed from the lower nozzle group 8 is applied to the entire surface including the lower surface Wa 2 of the material Wa and the end surface 235 of the groove 232 of each skid 23 in the range corresponding to the material Wa. adhere to.
 上述のように、下ノズル群8から上方に噴出したスパッタ付着防止剤のミストMLは、加工パレット2に載せた素材Waの下面Wa2及びスキッド23の素材Waに対応した範囲の、溝部232の端面235を含む全表面に液膜として付着する。これにより、各スキッド23にスパッタ又はドロスが付着しにくく、スキッド23の清掃頻度を少なくできる。また、各スキッド23にスパッタ又はドロスが固着しにくいので、スキッド群23Gに載せた素材Waに傷が付きにくく、素材Waが安定して水平に保持され、レーザ切断加工の品質が高度に維持される。 As described above, the mist ML of the spatter adhesion preventive agent ejected upward from the lower nozzle group 8 is the end face of the groove portion 232 in the range corresponding to the lower surface Wa 2 of the material Wa and the material Wa of the skid 23 placed on the processing pallet 2. It adheres as a liquid film to the entire surface including 235. As a result, spatter or dross is less likely to adhere to each skid 23, and the cleaning frequency of the skid 23 can be reduced. In addition, since spatter or dross is less likely to adhere to each skid 23, the material Wa placed on the skid group 23G is less likely to be scratched, the material Wa is stably and horizontally held, and the quality of laser cutting is highly maintained. To.
 一方、上ノズル群7から下方に噴出したスパッタ付着防止剤のミストMLは、加工パレット2に載せた素材Waの上面Wa1に噴き付けられて塗布される。これにより、素材Waがレーザ加工される際に生じる溶融物は、加工部位に対し噴き付けられるアシストガスによって容易に素材Waから分離して下方に排出され、ドロスが切断部位又はスキッド23などに付着しにくくなる。 On the other hand, the mist ML of the spatter adhesion preventive agent ejected downward from the upper nozzle group 7 is sprayed onto the upper surface Wa 1 of the material Wa placed on the processing pallet 2 and applied. As a result, the melt generated when the material Wa is laser machined is easily separated from the material Wa by the assist gas sprayed on the machined part and discharged downward, and the dross adheres to the cut part or the skid 23. It becomes difficult to do.
 スパッタ付着防止剤の、スキッド群23G及び素材Waの上面Wa1への塗布は、加工パレット2の搬送本体部912からレーザ加工装置92への投入動作に伴い実行される。そのため、工程及びタクトタイムは増加せず、生産性は低下することなく高度に維持される。 The application of the spatter adhesion inhibitor to the skid group 23G and the upper surface Wa 1 of the material Wa is executed in accordance with the charging operation from the transport main body 912 of the processing pallet 2 to the laser processing apparatus 92. Therefore, the process and takt time do not increase, and the productivity is maintained at a high level without deterioration.
 図9~図11は、上記実施形態に係るレーザ加工システムSTの変形例であるレーザ加工システムSTAを示す図である。レーザ加工システムSTAは、レーザ加工システムSTのパレット搬送装置91を、パレット搬送装置91Aに置き換えたものである。パレット搬送装置91Aは、パレット搬送装置91の液体塗布装置6に対し、上ノズル群7Aを含む上ノズル部62Aを追加した液体塗布装置6Aを有する。図9は、レーザ加工システムSTAの概略構成を示す斜視図である。図10は、液体塗布装置6Aの配管系統図である。図11は、液体塗布装置6Aの加工パレット2に対するミストMLの噴霧動作を示す模式的側面図である。 9 to 11 are diagrams showing a laser processing system STA which is a modification of the laser processing system ST according to the above embodiment. The laser processing system STA replaces the pallet transfer device 91 of the laser processing system ST with the pallet transfer device 91A. The pallet transfer device 91A has a liquid application device 6A in which an upper nozzle portion 62A including an upper nozzle group 7A is added to the liquid application device 6 of the pallet transfer device 91. FIG. 9 is a perspective view showing a schematic configuration of the laser processing system STA. FIG. 10 is a piping system diagram of the liquid coating device 6A. FIG. 11 is a schematic side view showing the spraying operation of the mist ML on the processing pallet 2 of the liquid coating device 6A.
 図9に示されるように、液体塗布装置6Aの上ノズル部62Aは、スイッチラック4の上保持部4cと中央位置のリフタトレイ5との間を移動する加工パレット2のスキッド群23Gに対し、上方からミストMLを噴き付け可能な位置に配置されている。図10に示されるように、液体塗布装置6Aは、液体塗布装置6の構成に対し、上供給路64の途中に配置された二方向電磁切換弁67と、二方向電磁切換弁67から分岐し上ノズル群7Aに繋がる上供給分路64Aとを有している。 As shown in FIG. 9, the upper nozzle portion 62A of the liquid coating device 6A is upward with respect to the skid group 23G of the processing pallet 2 that moves between the upper holding portion 4c of the switch rack 4 and the lifter tray 5 at the center position. It is arranged at a position where mist ML can be sprayed from. As shown in FIG. 10, the liquid coating device 6A branches from the two-way electromagnetic switching valve 67 arranged in the middle of the upper supply path 64 and the two-way electromagnetic switching valve 67 with respect to the configuration of the liquid coating device 6. It has an upper supply shunt 64A connected to the upper nozzle group 7A.
 上ノズル群7Aは、例えば同様の構成とされ、上ノズル71A~75Aと、上ノズル71A~75Aを三つの系統で開閉制御するそれぞれ電磁開閉弁761A~763Aとを有している。二方向電磁切換弁67及び電磁開閉弁761A~763Aの動作は、制御装置93によって制御される。 The upper nozzle group 7A has, for example, the same configuration, and has an upper nozzle 71A to 75A and an electromagnetic on-off valve 761A to 763A for controlling the opening and closing of the upper nozzles 71A to 75A by three systems, respectively. The operations of the two-way electromagnetic switching valve 67 and the electromagnetic on-off valves 761A to 763A are controlled by the control device 93.
 図11に示されるように、パレット搬送装置91Aは、何も載せていない加工パレット2を、スイッチラック4の上保持部4cとリフタトレイ5との間で移動させる際に、上ノズル群7Aによってスキッド群23Gに対し上方からスパッタ付着防止剤のミストMLを噴き付けることができる。パレット搬送装置の動作態様によっては、加工パレット2の搬送工程において、スイッチラック4とリフタトレイ5との間を往復させて不図示のブラシによりスキッド群23Gの清掃工程を含む場合がある。制御装置93は、ブラシによる清掃を実行後の加工パレット2の移動時に、二方向電磁切換弁67によって上供給分路64Aのみを開状態として液体塗布装置6Aを動作させ、スキッド群23Gに対しスパッタ付着防止剤を塗布するよう動作制御する。これにより、スキッド群23Gへのスパッタ付着防止剤の塗布を自動化し、生産性の低下を防止できる。 As shown in FIG. 11, the pallet transfer device 91A skids by the upper nozzle group 7A when the machined pallet 2 on which nothing is placed is moved between the upper holding portion 4c of the switch rack 4 and the lifter tray 5. The mist ML of the spatter adhesion inhibitor can be sprayed onto the group 23G from above. Depending on the operation mode of the pallet transfer device, the transfer step of the processing pallet 2 may include a cleaning step of the skid group 23G by reciprocating between the switch rack 4 and the lifter tray 5 and using a brush (not shown). When the machining pallet 2 is moved after cleaning with the brush, the control device 93 operates the liquid coating device 6A with only the upper supply shunt 64A open by the two-way electromagnetic switching valve 67, and spatters the skid group 23G. The operation is controlled so that the anti-adhesion agent is applied. As a result, it is possible to automate the application of the spatter adhesion inhibitor to the skid group 23G and prevent a decrease in productivity.
 レーザ加工システムST,STAは、スキッド群23Gの各スキッド23への液体Mの塗布を、スキッド群23Gに素材Waを載せた状態で下方からミストMLを上方に向け噴き付けて行うことができる。これにより、スキッド23の端面235を含む表面全体に十分に液膜が形成される。これは、下面Wa2でさまざまな方向に跳ね返ったミストML及び下面Wa2から垂れ落ちた液滴がスキッド23の表面に付着することによる。レーザ加工システムST,STAは、液体Mの塗布で形成される液膜は、スキッド群23Gに何も載せずに上方からミストMLを噴き付けた場合よりもむらがなく厚い。また、レーザ加工システムST,STAは、下ノズル群8の一対の下ノズル81a~88a,81b~88bの一部(例えば半数)が、レーザ加工装置92へ搬入される加工パレット2の進行方向前側の前斜め上方にミストMLを噴出し、残りが進行方向後側の後斜め上方にミストMLを噴出する。これにより、スキッド23の端面235を含む全表面に、よりむらなく均一な液膜を形成できる。 The laser processing systems ST and STA can apply the liquid M to each skid 23 of the skid group 23G by spraying the mist ML upward from below with the material Wa mounted on the skid group 23G. As a result, a liquid film is sufficiently formed on the entire surface including the end face 235 of the skid 23. This is because the mist ML bounced off the lower surface Wa2 in various directions and the droplets dripping from the lower surface Wa2 adhere to the surface of the skid 23. In the laser processing systems ST and STA, the liquid film formed by applying the liquid M is evenly thicker than the case where the mist ML is sprayed from above without placing anything on the skid group 23G. Further, in the laser machining systems ST and STA, a part (for example, half) of the pair of lower nozzles 81a to 88a and 81b to 88b of the lower nozzle group 8 is carried into the laser machining apparatus 92 on the front side in the traveling direction of the machining pallet 2. The mist ML is ejected diagonally upward in front of the laser, and the rest ejects mist ML diagonally upward in the rear side in the traveling direction. As a result, a more even and uniform liquid film can be formed on the entire surface including the end face 235 of the skid 23.
 パレット搬送装置91,91Aにおいて同時に搬送する加工パレット2の数及び素材パレット1からの転載手順などは、上述の内容に限定されない。少なくとも、パレット搬送装置91,91Aは、パレット搬送装置91,91Aからレーザ加工装置92へ加工前の素材Waを載せた加工パレット2を移動させる際に液体塗布動作を実行可能であればよい。また、パレット搬送装置91Aは、さらに、加工パレット2を搬送本体部912からリフタトレイ5に一時的に退避させる出入り動作において、液体塗布動作が実行可能であればよい。 The number of processing pallets 2 simultaneously transported by the pallet transport devices 91 and 91A, the reprinting procedure from the material pallet 1, and the like are not limited to the above-mentioned contents. At least, the pallet transfer device 91, 91A may be capable of executing the liquid coating operation when moving the processing pallet 2 on which the material Wa before processing is placed from the pallet transfer device 91, 91A to the laser processing device 92. Further, the pallet transport device 91A may be capable of executing the liquid coating operation in the in / out operation of temporarily retracting the processing pallet 2 from the transport main body 912 to the lifter tray 5.
 スキッド群23G及び素材Waに向け噴き付ける液体Mは、スパッタ付着防止剤に限定されない。 The liquid M sprayed onto the skid group 23G and the material Wa is not limited to the spatter adhesion inhibitor.
 以上、本発明の実施形態について説明したが、上述した実施形態は本発明を限定するものではない。当業者にあっては、具体的な実施態様において本発明の技術思想および技術範囲から逸脱せずに種々の変形・変更を加えることが可能である。 Although the embodiments of the present invention have been described above, the above-described embodiments do not limit the present invention. Those skilled in the art can make various modifications and changes in specific embodiments without departing from the technical idea and scope of the present invention.
 2020年6月23日に出願された特願2020-107678の全内容は、ここに援用される。 The entire contents of Japanese Patent Application No. 2020-107678 filed on June 23, 2020 are incorporated herein by reference.

Claims (8)

  1.  素材にレーザ加工を行うレーザ加工装置と、
     複数のスキッドを有するスキッド群を含む加工パレットを前記レーザ加工装置へ搬送するパレット搬送装置と、
     前記パレット搬送装置から前記レーザ加工装置に搬送される前記加工パレットに対し、下方から液体をミストとして噴き付ける下ノズル群を含む液体塗布装置と、
    を備えたレーザ加工システム。
    A laser processing device that performs laser processing on materials and
    A pallet transfer device that transfers a processing pallet containing a skid group having a plurality of skids to the laser processing device, and a pallet transfer device.
    A liquid coating device including a lower nozzle group that sprays liquid as a mist from below on the processing pallet transferred from the pallet transfer device to the laser processing device.
    Laser processing system equipped with.
  2.  前記下ノズル群は、複数の下ノズルを有し、
     前記複数の下ノズルは、扇形ノズルである
    請求項1記載のレーザ加工システム。
    The lower nozzle group has a plurality of lower nozzles and has a plurality of lower nozzles.
    The laser processing system according to claim 1, wherein the plurality of lower nozzles are fan-shaped nozzles.
  3.  前記複数の下ノズルは、前記加工パレットの前記レーザ加工装置への搬送方向に傾いた状態で前記ミストを噴出する
    請求項2記載のレーザ加工システム。
    The laser processing system according to claim 2, wherein the plurality of lower nozzles eject the mist in a state of being tilted in a state in which the processing pallet is tilted in a transport direction to the laser processing apparatus.
  4.  前記複数の下ノズルは、一対の組の複数組として構成され、
     前記一対の組の一方の下ノズルは、前記搬送方向の進行方向前側に前記ミストを噴出し、
     前記一対の組の他方の下ノズルは、前記搬送方向の進行方向後側に前記ミストを噴出する
    請求項3記載のレーザ加工システム。
    The plurality of lower nozzles are configured as a pair of pairs of lower nozzles.
    One of the lower nozzles of the pair of sets ejects the mist to the front side in the traveling direction in the transport direction.
    The laser processing system according to claim 3, wherein the other lower nozzle of the pair of sets ejects the mist to the rear side in the traveling direction in the transport direction.
  5.  前記複数のスキッドのそれぞれは、
      短冊板状の基部と、
      前記基部の上縁部に位置して前記素材を支持する支持部であって、上方を頂点とする三角形状を有して並列する複数の支持片を含む支持部と、
    を備え、
     前記レーザ加工システムは、前記下ノズル群は、前記液体を下方からミストとして噴き付けて前記加工パレットの前記スキッド群に載せた前記素材の下面に当て、前記下面に当たって跳ね返った前記液体のミストによって前記液体を前記複数の支持片の端面に塗布する
    請求項1~4のいずれか1項に記載のレーザ加工システム。
    Each of the plurality of skids
    A strip-shaped base and
    A support portion that is located at the upper edge of the base portion and supports the material, and has a triangular shape with an upper apex and includes a plurality of parallel support pieces.
    Equipped with
    In the laser machining system, the lower nozzle group sprays the liquid as a mist from below and hits the lower surface of the material placed on the skid group of the machining pallet, and the mist of the liquid that hits the lower surface and bounces off the liquid. The laser processing system according to any one of claims 1 to 4, wherein a liquid is applied to the end faces of the plurality of support pieces.
  6.  前記液体は、スパッタ付着防止剤である
    請求項1~5のいずれか1項に記載のレーザ加工システム。
    The laser processing system according to any one of claims 1 to 5, wherein the liquid is a spatter adhesion inhibitor.
  7.  前記液体塗布装置は、前記加工パレット及び前記加工パレットに載せた前記素材に対し、上方から前記液体をミストとして噴き付ける上ノズル群を備えた
    請求項1~6のいずれか1項に記載のレーザ加工システム。
    The laser according to any one of claims 1 to 6, wherein the liquid coating apparatus includes an upper nozzle group that sprays the liquid as a mist from above on the processing pallet and the material placed on the processing pallet. Processing system.
  8.  複数のスキッドを有するスキッド群を含む加工パレットを、前記スキッド群に載せた素材と共にレーザ加工装置に搬入することと、
     前記搬入した加工パレットに対し、液体を下方からミストとして噴き付けて前記素材の下面に当て、前記下面に当たって跳ね返った前記液体のミストによって前記液体を前記スキッドの上方を向く端面に塗布することと、
    を備えた加工パレットへの液体塗布方法。
    A processing pallet containing a skid group having a plurality of skids is carried into a laser processing device together with a material placed on the skid group.
    A liquid is sprayed from below as a mist onto the carried-in processing pallet to hit the lower surface of the material, and the liquid is applied to the upward end face of the skid by the mist of the liquid that hits the lower surface and bounces off.
    A method of applying liquid to a processing pallet equipped with.
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