DE112021003354T5 - Laser processing system and method for applying liquid to a processing pallet - Google Patents

Laser processing system and method for applying liquid to a processing pallet Download PDF

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Tomoya Ichikawa
Jun Hirono
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Amada Co Ltd
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Amada Co Ltd
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Abstract

Ein Laserbearbeitungssystem (ST) umfasst eine Laserbearbeitungsvorrichtung (92), die so konfiguriert ist, dass sie eine Laserbearbeitung an einem Material (Wa) durchführt, eine Paletten-Transportvorrichtung (91), die so konfiguriert ist, dass sie eine Bearbeitungspalette (2), die eine Werkstückträgerelementgruppe (23G) mit einer Vielzahl von Werkstückträgerelementen (23) aufweist, zu der Laserbearbeitungsvorrichtung (92) transportiert, und eine Flüssigkeitsaufbringungsvorrichtung (6), die eine untere Düsengruppe (8) zum Sprühen einer Flüssigkeit (M) als Nebel (ML) von unten auf die von der Paletten-Transportvorrichtung (91) zu der Laserbearbeitungsvorrichtung (92) transportierte Bearbeitungspalette (2) aufweist.A laser processing system (ST) comprises a laser processing device (92) configured to perform laser processing on a material (Wa), a pallet transport device (91) configured to carry a processing pallet (2), having a workpiece-carrying member group (23G) having a plurality of workpiece-carrying members (23) transported to the laser processing device (92), and a liquid application device (6) having a lower nozzle group (8) for spraying a liquid (M) as a mist (ML) from below onto the processing pallet (2) transported by the pallet transport device (91) to the laser processing device (92).

Description

Technisches Gebiettechnical field

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Laserbearbeitungssystem und ein Verfahren zum Auftragen einer Flüssigkeit auf eine Bearbeitungspalette.The present invention relates to a laser processing system and a method for applying a liquid to a processing pallet.

Stand der TechnikState of the art

In der Patentliteratur 1 wird ein Laserschneideverfahren beschrieben, bei dem Öl über den gesamten Bereich der Oberseite eines zu schneidenden Elements gesprüht wird, wenn das zu schneidende Element bewegt wird, bevor es mit einem Laserstrahl bestrahlt wird. In der Patentliteratur 1 wird beschrieben, dass es dadurch möglich ist, das Anhaften von Spritzern oder Schmelzresten, die sich während der Bearbeitung verteilen, an dem zu schneidenden Element zu verhindern, ohne die Taktzeit für die Bearbeitung zu erhöhen.In Patent Literature 1, a laser cutting method is described in which oil is sprayed over the entire area of the top surface of a member to be cut when the member to be cut is moved before being irradiated with a laser beam. In Patent Literature 1, it is described that by doing so, it is possible to prevent spatter or melt residue scattered during processing from adhering to the member to be cut without increasing the tact time for processing.

In der Patentliteratur 2 wird eine Reinigungsvorrichtung beschrieben, mit der ein Bediener manuell einen Schlitten bzw. Rahmen einer Palette reinigen kann, die/der ein beim Laserschneiden zu schneidendes Element hält. In der Patentliteratur 2 wird ferner beschrieben, dass das Auftragen eines Spritzfleck-Antihaftmittels auf den Schlitten nach der Reinigung die Reinigung erleichtern kann.In Patent Literature 2, there is described a cleaning device that allows an operator to manually clean a carriage of a pallet holding a member to be cut in laser cutting. Further, in Patent Literature 2, it is described that applying an anti-spatter agent to the slider after cleaning can facilitate cleaning.

Zitationslistecitation list

Patentliteraturpatent literature

  • Patentliteratur 1: Japanisches Patent Nr. JP 4 562 995 B2 Patent Literature 1: Japanese Patent No. JP 4 562 995 B2
  • Patentliteratur 2: Japanische Offenlegungsschrift Nr. JP 2012- 086 248 A Patent Literature 2: Japanese Patent Application Laid-Open No. JP 2012- 086 248 A

ZusammenfassungSummary

Herkömmlich wurde die Arbeit des Auftragens einer Flüssigkeit wie eines Spritzfleck-Antihaftmittels auf ein Werkstückträgerelement einer Palette im Allgemeinen durch einen manuellen Vorgang eines Bedieners unter Verwendung eines Sprühers oder dergleichen vor dem Schneiden des zu schneidenden Elements mit einem Laser durchgeführt. Da dieses Auftragen während des Laserschneidens erfolgt, erhöht sich die Taktzeit und sinkt die Produktivität. Außerdem führt das Auftragen der Flüssigkeit durch den manuellen Vorgang zu einer ungleichmäßigen Menge der auf das Werkstückträgerelement aufgetragenen Flüssigkeit, was dazu führen kann, dass Spritzer oder Schlacke leicht und schnell an einem Abschnitt haften bleiben, an dem die Menge gering ist. Wenn die Schlacke oder ähnliches am Werkstückträgerelement anhaftet, verschlechtert sich die Qualität des Laserschneidens in Abhängigkeit vom Grad der Anhaftung, z. B. wird das zu schneidende Element zerkratzt oder das zu schneidende Element wird nicht horizontal gehalten und die für ein Produkt erforderliche Maßgenauigkeit wird nicht erreicht.Conventionally, the work of applying a liquid such as a spatter-proofing agent to a work-carrying member of a pallet has been generally performed by a manual operation of an operator using a sprayer or the like before cutting the member to be cut with a laser. Since this application takes place during the laser cutting, the cycle time increases and productivity decreases. In addition, the application of the liquid by the manual operation results in an uneven amount of the liquid applied to the work support member, which may cause spatter or slag to easily and quickly adhere to a portion where the amount is small. When the slag or the like adheres to the work support member, the quality of laser cutting deteriorates depending on the degree of adhesion, e.g. B. the member to be cut is scratched or the member to be cut is not held horizontally and the dimensional accuracy required for a product is not achieved.

Ein Laserbearbeitungssystem gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung umfasst eine Laserbearbeitungsvorrichtung, die so konfiguriert ist, dass sie eine Laserbearbeitung an einem Material durchführt, eine Paletten-Transportvorrichtung, die so konfiguriert ist, dass sie eine Bearbeitungspalette, die eine Werkstückträgerelementgruppe mit einer Vielzahl von Werkstückträgern aufweist, zu der Laserbearbeitungsvorrichtung transportiert, und eine Flüssigkeitsaufbringungsvorrichtung, die eine untere Düsengruppe zum Sprühen einer Flüssigkeit als Nebel von unten auf die von der Paletten-Transportvorrichtung zu der Laserbearbeitungsvorrichtung transportierte Bearbeitungspalette aufweist.A laser processing system according to an aspect of the present invention includes a laser processing device configured to perform laser processing on a material, a pallet transport device configured to have a processing pallet having a workpiece support element group with a plurality of workpiece supports , transported to the laser processing device, and a liquid application device having a lower nozzle group for spraying a liquid as a mist from below onto the processing pallet transported by the pallet transport device to the laser processing device.

Gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung ist eine Verschlechterung der Produktivität und der Qualität des Laserschneidens unwahrscheinlich.According to an aspect of the present invention, productivity and quality of laser cutting are unlikely to be deteriorated.

Figurenlistecharacter list

  • [1] 1 ist eine perspektivische Ansicht, die einen schematischen Aufbau eines Laserbearbeitungssystems gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.[ 1 ] 1 14 is a perspective view showing a schematic configuration of a laser processing system according to an embodiment of the present invention.
  • [2] 2 ist eine Draufsicht auf eine Bearbeitungspalette, die in einer Paletten-Transportvorrichtung enthalten ist, die in dem Laserbearbeitungssystem von 1 vorgesehen ist.[ 2 ] 2 FIG. 12 is a plan view of a processing pallet included in a pallet transfer device employed in the laser processing system of FIG 1 is provided.
  • [3] 3 ist eine Teilseitenansicht der Bearbeitungspalette aus 2.[ 3 ] 3 is a partial side view of the editing palette 2 .
  • [4] 4 ist eine schematische Seitenansicht, die die Anordnungspositionen einer oberen Düsengruppe und einer unteren Düsengruppe in Bezug auf die Bearbeitungspalette von 2 zeigt.[ 4 ] 4 FIG. 12 is a schematic side view showing the arrangement positions of an upper nozzle group and a lower nozzle group with respect to the processing pallet of FIG 2 shows.
  • [5] 5 ist eine schematische Vorderansicht zur Beschreibung der Flüssigkeitsaufbringungsbereiche der Flüssigkeitsaufbringungsvorrichtung, die in der Paletten-Transportvorrichtung des Laserbearbeitungssystems von 1 enthalten ist.[ 5 ] 5 FIG. 12 is a schematic front view for describing the liquid application portions of the liquid application device installed in the pallet transfer device of the laser processing system of FIG 1 is included.
  • [6] 6 ist ein Diagramm des Leitungssystems der Flüssigkeitsaufbringungsvorrichtung von 5, einschließlich der oberen Düsengruppe und der unteren Düsengruppe.[ 6 ] 6 12 is a piping system diagram of the liquid applicator of FIG 5 , including the top nozzle group and the bottom nozzle group.
  • [7] 7 ist eine Seitenansicht, die einen Betriebsmodus zeigt, in dem ein Nebel durch die untere Düse auf Werkstückträgerelemente gesprüht wird.[ 7 ] 7 Fig. 14 is a side view showing an operation mode in which a mist is sprayed onto workpiece support members through the lower nozzle.
  • [8] 8 ist eine schematische Vorderansicht, die das Sprühen eines Nebels auf die Bearbeitungspalette durch die Flüssigkeitsaufbringungsvorrichtung im Laserbearbeitungssystem von 1 zeigt.[ 8th ] 8th FIG. 12 is a schematic front view showing spraying of a mist onto the processing pallet by the liquid application device in the laser processing system of FIG 1 shows.
  • [9] 9 ist eine perspektivische Ansicht, die eine schematische Konfiguration eines modifizierten Beispiels des Laserbearbeitungssystems von 1 zeigt.[ 9 ] 9 FIG. 14 is a perspective view showing a schematic configuration of a modified example of the laser processing system of FIG 1 shows.
  • [10] 10 ist ein Leitungssystemdiagramm einer Flüssigkeitsaufbringungsvorrichtung, die in dem Laserbearbeitungssystem von 9 enthalten ist.[ 10 ] 10 FIG. 14 is a piping system diagram of a liquid application device used in the laser processing system of FIG 9 is included.
  • [11] 11 ist eine schematische Ansicht, die das Sprühen eines Nebels auf die Bearbeitungspalette durch eine obere Düseneinheit zeigt, die in der Flüssigkeitsaufbringungsvorrichtung von 10 enthalten ist.[ 11 ] 11 FIG. 12 is a schematic view showing spraying of a mist onto the processing pallet by an upper nozzle unit used in the liquid application apparatus of FIG 10 is included.

Beschreibung der AusführungsformenDescription of the embodiments

1 ist eine perspektivische Ansicht, die eine schematische Konfiguration eines Laserbearbeitungssystems ST gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt. Zur Vereinfachung der Beschreibung sind die jeweiligen Richtungen oben, unten, links, rechts, vorne und hinten durch die in 1 durch Pfeile angegebenen Richtungen definiert. Ferner werden die Links-/Rechtsrichtung als X-Achse, die Vorwärts-/Rückwärtsrichtung als Y-Achse und die Aufwärts-/Abwärtsrichtung als Z-Achse bezeichnet. In den 1, 4, 5, 7 und 9, die ein später beschriebenes modifiziertes Beispiel zeigt, werden die rechte Richtung, die linke Richtung, die Aufwärtsrichtung, die Abwärtsrichtung, die Vorwärtsrichtung und die Rückwärtsrichtung jeweils mit RT, LT, UP, DN, FR und RR gekennzeichnet. 1 12 is a perspective view showing a schematic configuration of a laser processing system ST according to an embodiment of the present invention. For convenience of description, the respective directions up, down, left, right, front, and back are indicated by the in 1 in the directions indicated by arrows. Also, the left/right direction is referred to as the X axis, the front/back direction as the Y axis, and the up/down direction as the Z axis. In the 1 , 4 , 5 , 7 and 9 , which shows a modified example described later, the right direction, the left direction, the up direction, the down direction, the forward direction, and the backward direction are denoted by RT, LT, UP, DN, FR, and RR, respectively.

Wie in 1 gezeigt, umfasst das Laserbearbeitungssystem ST eine Paletten-Transportvorrichtung 91, eine Laserbearbeitungsvorrichtung 92 und eine Steuereinheit 93. Die Paletten-Transportvorrichtung 91 ist neben der Laserbearbeitungsvorrichtung 92 angeordnet. In der vorliegenden Ausführungsform ist die Paletten-Transportvorrichtung 91 auf der rechten Seite der Laserbearbeitungsvorrichtung 92 angeordnet. Die Laserbearbeitungsvorrichtung 92 führt eine Laserbearbeitung an einem Material Wa durch, das ein Werkstück ist. Die Paletten-Transportvorrichtung 91 transportiert die Bearbeitungspalette 2, auf der das Material Wa montiert ist, zur Laserbearbeitungsvorrichtung 92 und wieder zurück. Die Steuereinheit 93 steuert den Betrieb der Paletten-Transportvorrichtung 91 und der Laserbearbeitungsvorrichtung 92. Die Steuereinheit 93 ist nicht auf ein separates Gehäuse, wie in 1 gezeigt, beschränkt, sondern kann in demselben Gehäuse wie die Paletten-Transportvorrichtung 91 und die Laserbearbeitungsvorrichtung 92 untergebracht sein.As in 1 1, the laser processing system ST includes a pallet transport device 91, a laser processing device 92, and a control unit 93. The pallet transport device 91 is arranged next to the laser processing device 92. FIG. In the present embodiment, the pallet transfer device 91 is arranged on the right side of the laser processing device 92 . The laser processing device 92 performs laser processing on a material Wa that is a workpiece. The pallet transport device 91 transports the processing pallet 2 on which the material Wa is mounted to the laser processing device 92 and back. The control unit 93 controls the operation of the pallet transport device 91 and the laser processing device 92. The control unit 93 is not on a separate housing, as in 1 shown, is limited, but may be housed in the same body as the pallet transfer device 91 and the laser processing device 92.

Im Folgenden werden der schematische Aufbau und die Funktionsweise der Paletten-Transportvorrichtung 91 und der Laserbearbeitungsvorrichtung 92 beschrieben. Der Betrieb der Paletten-Transportvorrichtung 91 und der Laserbearbeitungsvorrichtung 92 wird ausgeführt, wenn die Steuereinheit 93 den Betrieb der nicht dargestellten Antriebseinheiten steuert, die jeweils in der Paletten-Transportvorrichtung 91 und der Laserbearbeitungsvorrichtung 92 enthalten sind.The schematic structure and mode of operation of the pallet transport device 91 and the laser processing device 92 are described below. The operation of the pallet transport device 91 and the laser processing device 92 is performed when the control unit 93 controls the operation of the unillustrated driving units included in the pallet transport device 91 and the laser processing device 92, respectively.

Die Paletten-Transportvorrichtung 91 umfasst eine Aufbewahrungseinheit 911, eine Transporthauptkörpereinheit 912 und eine Hebeeinheit 913. Die Paletten-Transportvorrichtung 91 umfasst eine Materialpalette 1, eine Bearbeitungspalette 2 und eine Einzelplattenaufnahmeeinheit 3. In der vorliegenden Ausführungsform umfasst die Paletten-Transportvorrichtung 91 zwei Bearbeitungspaletten 2. Nachfolgend werden die beiden Bearbeitungspaletten 2 gegebenenfalls als Bearbeitungspaletten 2A und 2B bezeichnet.The pallet transfer device 91 includes a storage unit 911, a transfer main body unit 912, and a lift unit 913. The pallet transfer device 91 includes a material pallet 1, a processing pallet 2, and a single plate receiving unit 3. In the present embodiment, the pallet transfer device 91 includes two processing pallets 2. In the following, the two processing pallets 2 are referred to as processing pallets 2A and 2B, if necessary.

Die Transporthauptkörpereinheit 912 der Paletten-Transportvorrichtung 91 ist so angeordnet, dass sie mit dem rechten Stirnabschnitt der Laserbearbeitungsvorrichtung 92 verbunden ist. Die Aufbewahrungseinheit 911 ist so angeordnet, dass sie mit dem hinteren Stirnabschnitt der Transporthauptkörpereinheit 912 verbunden ist. Die Hebeeinheit 913 ist am vorderen Teil der Transporthauptkörpereinheit 912 montiert. Die Hebeeinheit 913 umfasst eine Hebeplatte 5, die sich zwischen der unteren Position und der mittleren Position, die oberhalb der unteren Position liegt, auf und ab bewegt, wie durch einen Pfeil D1 angezeigt. In 1 ist die Hebeplatte 5 in der unteren Position durch eine durchgezogene Linie dargestellt, und die Hebeplatte 5 in der mittleren Position ist durch eine abwechselnd lange und kurze gestrichelte Linie dargestellt. Die Hebeplatte 5 kann sich auf und ab bewegen, wenn die Bearbeitungspalette 2 darauf montiert ist.The transport main body unit 912 of the pallet transport device 91 is arranged to be connected to the right end portion of the laser processing device 92 . The storage unit 911 is arranged to be connected to the rear end portion of the transport main body unit 912 . The elevator unit 913 is mounted on the front part of the transport main body unit 912 . The elevating unit 913 includes an elevating plate 5 that moves up and down between the lower position and the middle position, which is above the lower position, as indicated by an arrow D1. In 1 the lifting plate 5 in the lower position is shown by a solid line, and the lifting plate 5 in the middle position is shown by an alternate long and short dashed line. The elevating plate 5 can move up and down when the machining pallet 2 is mounted thereon.

Die Paletten-Transportvorrichtung 91 umfasst eine Flüssigkeitsaufbringungsvorrichtung 6. Die Flüssigkeitsaufbringungsvorrichtung 6 ist eine Vorrichtung, die eine Flüssigkeit M auf die Bearbeitungspalette 2 und das Material Wa, das auf der Bearbeitungspalette 2 montiert ist, sprüht und aufträgt. Die Flüssigkeitsaufbringungsvorrichtung 6 umfasst eine Hauptkörpereinheit 61 mit einem Behälter 61 a, der die Flüssigkeit M enthält, eine obere Düseneinheit 62 und eine untere Düseneinheit 63. Die obere Düseneinheit 62 umfasst eine obere Düsengruppe 7. Die untere Düseneinheit 63 umfasst eine untere Düsengruppe 8. Einzelheiten der Flüssigkeitsaufbringungsvorrichtung 6 werden später beschrieben.The pallet transfer device 91 includes a liquid application device 6. The liquid application device 6 is a device that sprays and applies a liquid M onto the processing pallet 2 and the material Wa mounted on the processing pallet 2. FIG. The liquid application device 6 comprises a main body unit 61 having a tank 61a containing the liquid M, an upper nozzle unit 62 and a lower nozzle unit 63. The upper nozzle unit 62 comprises an upper nozzle group 7. The lower nozzle unit 63 comprises a lower nozzle group 8. Details the river fluid applying device 6 will be described later.

Die Transporthauptkörpereinheit 912 übergibt das auf der Materialpalette 1 montierte und von der Aufbewahrungseinheit 911 zugeführte Material Wa an die Bearbeitungspalette 2, die in die Laserbearbeitungsvorrichtung 92 hinein- und herausbewegt wird. Die Transporthauptkörpereinheit 912 weist an einem der Laserbearbeitungsvorrichtung 92 zugewandten Teil einen Ein-/Ausgang 914 auf, durch den die Bearbeitungspalette 2 ein- und ausgefahren wird. Die Transporthauptkörpereinheit 912 transportiert die Bearbeitungspalette 2 durch den Eingang/Ausgang 914 zur und von der Laserbearbeitungsvorrichtung 92. Um die beiden Bearbeitungspaletten 2A und 2B gleichzeitig zwischen der Transporthauptkörpereinheit 912 und der Laserbearbeitungsvorrichtung 92 zu betreiben, kann die Hebeeinheit 913 die beiden Bearbeitungspaletten 2A und 2B vorübergehend zur Außenseite der Transporthauptkörpereinheit 912 zurückziehen und auch die Positionen der beiden Bearbeitungspaletten 2A und 2B in den oberen und unteren zwei Stufen der Transporthauptkörpereinheit 912 wechseln.The transport main body unit 912 transfers the material Wa mounted on the material pallet 1 and supplied from the storage unit 911 to the processing pallet 2, which is moved in and out of the laser processing apparatus 92. The transport main body unit 912 has, at a portion facing the laser processing apparatus 92, an entrance/exit 914 through which the processing pallet 2 is moved in and out. The transport main body unit 912 transports the processing pallet 2 to and from the laser processing device 92 through the entrance/exit 914. In order to operate the two processing pallets 2A and 2B simultaneously between the transport main body unit 912 and the laser processing device 92, the lifting unit 913 can move the two processing pallets 2A and 2B temporarily retreat to the outside of the transport main body unit 912 and also switch the positions of the two processing pallets 2A and 2B in the upper and lower two stages of the transport main body unit 912.

Die Laserbearbeitungsvorrichtung 92 umfasst einen Laserbearbeitungskopf 921. Der Laserbearbeitungskopf 921 bewegt sich unabhängig in die X-Achsenrichtung, der Y-Achsenrichtung und der Z-Achsenrichtung und bestrahlt das auf der Bearbeitungspalette 2 montierte Material Wa mit einem Laserstrahl Ls, um eine Bearbeitung wie Schneiden oder Bohren durchzuführen. Der Laserbearbeitungskopf 921 bläst zum Zeitpunkt der Laserbearbeitung ein Hilfsgas in Richtung eines zu bearbeitenden Abschnitts.The laser processing device 92 includes a laser processing head 921. The laser processing head 921 moves independently in the X-axis direction, the Y-axis direction, and the Z-axis direction, and irradiates the material Wa mounted on the processing pallet 2 with a laser beam Ls to perform processing such as cutting or to perform drilling. The laser processing head 921 blows an assist gas toward a portion to be processed at the time of laser processing.

Die Bearbeitungspalette 2 wird mit dem darauf montierten Material Wa von der Transporthauptkörpereinheit 912 der Paletten-Transportvorrichtung 91 durch den Eingang/Ausgang 914 nach links bewegt und in die Laserbearbeitungsvorrichtung 92 befördert. Das auf der Bearbeitungspalette 2 montierte und der Laserbearbeitungsvorrichtung 92 zugeführte Material Wa wird nach der Laserbearbeitung durch den Laserbearbeitungskopf 921 in ein bearbeitetes Material Wb umgewandelt. Nach der Laserbearbeitung wird die Bearbeitungspalette 2 mit dem darauf befindlichen bearbeiteten Material Wb durch den Eingang/Ausgang 914 nach rechts zu der Transporthauptkörpereinheit 912 der Paletten-Transportvorrichtung 91 bewegt.The processing pallet 2 with the material Wa mounted thereon is moved to the left by the transport main body unit 912 of the pallet transport device 91 through the entrance/exit 914 and carried into the laser processing device 92 . The material Wa mounted on the processing pallet 2 and supplied to the laser processing apparatus 92 is converted into a processed material Wb by the laser processing head 921 after laser processing. After the laser processing, the processing pallet 2 with the processed material Wb placed thereon is moved to the transport main body unit 912 of the pallet transport device 91 through the entrance/exit 914 to the right.

Mit diesen schematischen Konfigurationen kann in dem Laserbearbeitungssystem ST, während ein auf einer Bearbeitungspalette 2A montiertes Material Wa durch die Laserbearbeitungsvorrichtung 92 bearbeitet wird, das als nächstes zu bearbeitende Material Wa von der Materialpalette 1 auf eine andere Bearbeitungspalette 2B übertragen werden. Daher kann in dem Laserbearbeitungssystem ST, wenn die Bearbeitung des Materials Wa auf der Bearbeitungspalette 2A abgeschlossen ist und die Bearbeitungspalette 2A durch den Eingang/Ausgang 914 zu der Transporthauptkörpereinheit 912 zurückgeführt wird, die Bearbeitungspalette 2B, auf der das nächste Material Wa montiert ist, unmittelbar nach dem Umschalten der Positionen der Bearbeitungspalette 2A und der Bearbeitungspalette 2B in die Laserbearbeitungsvorrichtung 92 eingeführt werden. Dadurch ist das Laserbearbeitungssystem ST hochproduktiv.With these schematic configurations, in the laser processing system ST, while a material Wa mounted on a processing pallet 2A is processed by the laser processing device 92, the material Wa to be processed next can be transferred from the material pallet 1 to another processing pallet 2B. Therefore, in the laser processing system ST, when the processing of the material Wa on the processing pallet 2A is completed and the processing pallet 2A is returned to the transport main body unit 912 through the entrance/exit 914, the processing pallet 2B on which the next material Wa is mounted can immediately into the laser processing apparatus 92 after switching the positions of the processing pallet 2A and the processing pallet 2B. This makes the ST laser processing system highly productive.

Im Folgenden werden die jeweiligen Elemente und Vorrichtungen näher beschrieben. Die Transporthauptkörpereinheit 912 ist ein rahmenförmiger Körper in Form eines Hexaeders. Die Transporthauptkörpereinheit 912 ist so angeordnet, dass sie mit der Laserbearbeitungsvorrichtung 92 verbunden werden kann. Die Aufbewahrungseinheit 911 ist so angeordnet, dass sie mit dem hinteren Teil der Transporthaupteinheit 912 verbunden ist. Die Aufbewahrungseinheit 911 und die Transporthauptkörpereinheit 912 stützen die Materialpalette 1 an einer Position P1, die sich in vertikaler Richtung oberhalb der Mitte der Transporthauptkörpereinheit 912 befindet, so dass die Materialpalette 1 zwischen der Aufbewahrungseinheit 911 und der Transporthauptkörpereinheit 912 hin und her bewegt werden kann, wie durch einen Pfeil D2 angezeigt. Die Materialpalette 1 ist groß genug, um das von der Laserbearbeitungsvorrichtung 92 zu bearbeitende Material Wa aufzunehmen, wobei es sich bei dem Material beispielsweise um ein Plattenmaterial handelt. Die Materialpalette 1 wird zwischen der Lagereinheit 911 und der Transporthauptkörpereinheit 912 hin- und herbewegt. In der Lagereinheit 911 wird eine Vielzahl von Blechen des Materials Wa von einem Roboter oder dergleichen aus einem mit der Lagereinheit 911 verbundenen automatischen Lager auf die Materialpalette 1 gestapelt. Die Vielzahl der gestapelten Materialplatten Wa wird als Stapelkörper Wt bezeichnet.The respective elements and devices are described in more detail below. The transport main body unit 912 is a frame-shaped body in the shape of a hexahedron. The transport main body unit 912 is arranged so that it can be connected to the laser processing device 92 . The storage unit 911 is arranged to be connected to the rear part of the transport main unit 912 . The storage unit 911 and the transport main body unit 912 support the material pallet 1 at a position P1 which is vertically above the center of the transport main body unit 912, so that the material pallet 1 can be reciprocated between the storage unit 911 and the transport main body unit 912, such as indicated by an arrow D2. The material pallet 1 is large enough to accommodate the material Wa to be processed by the laser processing device 92, the material being a plate material, for example. The material pallet 1 is reciprocated between the storage unit 911 and the transport main body unit 912 . In the storage unit 911, a plurality of sheets of the material Wa are stacked on the material pallet 1 from an automatic warehouse connected to the storage unit 911 by a robot or the like. The plurality of stacked material sheets Wa are referred to as a stacked body Wt.

Die Ein-Blatt-Entnahmeeinheit 3 ist am oberen Teil der Innenseite der Transporthauptkörpereinheit 912 vorgesehen. Die Einzelplattenaufnahmeeinheit 3 umfasst eine Vielzahl von Saugelementen 3a, die ein Plattenmaterial, das sich in einer horizontalen Lage befindet, von oben ansaugen und halten. Wie durch einen Pfeil D3 angedeutet, bewegt sich die Vielzahl der Saugelemente 3a zusammen mit dem angesaugten Plattenmaterial zwischen einer oberen Position P3 oberhalb der Saugposition P2 und einer unteren Position P4, die sich im unteren Teil der Transporthauptkörpereinheit 912 befindet.The one-sheet take-out unit 3 is provided at the upper part of the inside of the transport main body unit 912 . The single plate receiving unit 3 includes a plurality of suction members 3a which suck and hold a plate material which is in a horizontal position from above. As indicated by an arrow D3, the plurality of sucking members 3a move between an upper position P3 above the sucking position P2 and a lower position P4 located at the lower part of the transport main body unit 912 together with the sucked plate material.

Infolgedessen kann die Einzelplattenaufnahmeeinheit 3 mit den Saugelementen 3a das höchste einzelne Material Wa von dem Stapelkörper Wt, der auf der Materialpalette 1 vorgesehen ist, die von der Aufbewahrungseinheit 911 zur Transporthauptkörpereinheit 912 bewegt wird, ansaugen und halten und das angesaugte und gehaltene Material Wa zwischen der oberen Position P3 und der unteren Position P4 bewegen.As a result, the single-disk pickup unit 3 with the suction members 3a can achieve the highest suck and hold individual material Wa from the stacked body Wt provided on the material pallet 1 moved from the storage unit 911 to the transport main body unit 912, and move the sucked and held material Wa between the upper position P3 and the lower position P4.

Ein Wechselrahmen 4 ist im unteren Teil der Innenseite der Transporthauptkörpereinheit 912 montiert. Der Wechselrahmen 4 ist im Wesentlichen kastenförmig und weist zwei obere und untere Ebenen für ein oberes Halteteil 4c und ein unteres Halteteil 4d auf. Das obere Halteteil 4c und das untere Halteteil 4d können die Bearbeitungspalette 2 halten, wobei die Bearbeitungspalette 2 jeweils darauf montiert ist. Der Wechselrahmen 4 umfasst einen linken Öffnungsteil 4a, der sich nach links öffnet und mit der Laserbearbeitungsvorrichtung 92 verbunden ist, und einen vorderen Öffnungsteil 4b, der sich nach vorne öffnet und mit der Hebeplatte 5 verbunden ist.A swap frame 4 is mounted in the lower part of the inside of the transport main body unit 912 . The removable frame 4 is essentially box-shaped and has two upper and lower levels for an upper holding part 4c and a lower holding part 4d. The upper holding part 4c and the lower holding part 4d can hold the processing pallet 2 with the processing pallet 2 mounted thereon, respectively. The change frame 4 includes a left opening part 4a which opens to the left and is connected to the laser processing device 92, and a front opening part 4b which opens to the front and is connected to the elevating plate 5. As shown in FIG.

Der Wechselrahmen 4 bewegt sich zwischen der unteren Position, die durch die durchgezogene Linie angezeigt wird, und der oberen Position, die durch die abwechselnd lange und kurze gestrichelte Linie in 1 angezeigt wird, auf und ab, wie durch einen Pfeil D6 angedeutet. In der unteren Position befindet sich das obere Halteteil 4c an einer Position P5 in der vertikalen Richtung des oberen Halteteils 4c. In der oberen Position befindet sich das obere Halteteil 4c in einer Position P6, die oberhalb der Position P5 liegt.The removable frame 4 moves between the lower position indicated by the solid line and the upper position indicated by the alternate long and short dashed line in FIG 1 is displayed, up and down as indicated by an arrow D6. In the lower position, the upper holder 4c is located at a position P5 in the vertical direction of the upper holder 4c. In the up position, the upper holding part 4c is in a position P6 which is above the position P5.

Wenn sich der Wechselrahmen 4 in der unteren Position befindet, sind das obere Halteteil 4c und die Laserbearbeitungsvorrichtung 92 verbunden, und die auf dem oberen Halteteil 4c montierte Bearbeitungspalette 2 kann zwischen dem oberen Halteteil 4c und der Laserbearbeitungsvorrichtung 92 bewegt werden, wie durch einen Pfeil D4 angezeigt. Wenn sich der Wechselrahmen 4 in der oberen Position befindet, sind das untere Halteteil 4d und die Laserbearbeitungsvorrichtung 92 verbunden, und die auf dem unteren Halteteil 4d montierte Bearbeitungspalette 2 kann zwischen dem unteren Halteteil 4d und der Laserbearbeitungsvorrichtung 92 durch den linken Öffnungsteil 4a bewegt werden, wie durch den Pfeil D4 angezeigt.When the removable frame 4 is in the lower position, the upper holding part 4c and the laser processing device 92 are connected, and the processing pallet 2 mounted on the upper holding part 4c can be moved between the upper holding part 4c and the laser processing device 92 as shown by an arrow D4 displayed. When the removable frame 4 is in the upper position, the lower holding part 4d and the laser processing device 92 are connected, and the processing pallet 2 mounted on the lower holding part 4d can be moved between the lower holding part 4d and the laser processing device 92 through the left opening part 4a. as indicated by arrow D4.

Wenn sich der Wechselrahmen 4 in der unteren Position befindet, kann die auf dem unteren Halteteil 4d montierte Bearbeitungspalette 2 durch den vorderen Öffnungsteil 4b in die und aus der Hebeplatte 5, die sich in der unteren Position befindet, bewegt werden, wie durch einen Pfeil D5 angezeigt. Wenn die Bearbeitungspalette 2 von dem Wechselrahmen 4 zu der Hebeplatte 5 bewegt wird, die sich in der unteren Position befindet, und die Hebeplatte 5, auf dem die Bearbeitungspalette 2 montiert ist, sich in die mittlere Position bewegt, wird die Hebeplatte 5 mit dem oberen Halteteil 4c des Wechselrahmens 4 verbunden, der sich in der unteren Position befindet. Dadurch ist die Bearbeitungspalette 2 zwischen der Hebeplatte 5 und dem oberen Halteteil 4c bewegbar. Auf diese Weise kann die Bearbeitungspalette 2 zwischen dem oberen Halteteil 4c und dem unteren Halteteil 4d des Wechselrahmens 4 durch die Hebeplatte 5 bewegt werden.When the change frame 4 is in the lower position, the processing pallet 2 mounted on the lower holding part 4d can be moved in and out of the lifting plate 5, which is in the lower position, through the front opening part 4b, as shown by an arrow D5 displayed. When the processing pallet 2 is moved from the change frame 4 to the lifting plate 5, which is in the lower position, and the lifting plate 5 on which the processing pallet 2 is mounted moves to the middle position, the lifting plate 5 with the upper Connected holding part 4c of the removable frame 4, which is located in the lower position. Thereby, the processing pallet 2 is movable between the lifting plate 5 and the upper holding part 4c. In this way, the processing pallet 2 can be moved between the upper holding part 4c and the lower holding part 4d of the changing frame 4 by the lifting plate 5. FIG.

Wenn sich der Wechselrahmen 4 in der oberen Position befindet, kann die Bearbeitungspalette 2, die sich im oberen Halteteil 4c befindet, von der Einzelplattenaufnahmeeinheit 3 erreicht werden, die sich in die untere Position P4 bewegt hat. Mit anderen Worten, die Einzelplattenaufnahmeeinheit 3 kann das Material Wa, das gerade angesaugt wird, auf der Bearbeitungspalette 2 anbringen. Ferner kann die Einzelplattenaufnahmeeinheit 3 das bearbeitete Material Wb, das auf der Bearbeitungspalette 2 angebracht wurde, ansaugen und das bearbeitete Material Wb in die obere Position P3 von der Bearbeitungspalette 2 anheben.When the swap frame 4 is in the upper position, the processing pallet 2, which is in the upper holding part 4c, can be reached by the single plate receiving unit 3, which has moved to the lower position P4. In other words, the single sheet pickup unit 3 can mount the material Wa that is being sucked onto the processing pallet 2 . Further, the single sheet pickup unit 3 can suck the processed material Wb mounted on the processing pallet 2 and lift the processed material Wb to the upper position P3 of the processing pallet 2 .

Eine nicht abgebildete Produktpalette ist zwischen der Aufbewahrungseinheit 911 und der Transporthauptkörpereinheit 912 auf die gleiche Weise wie die Materialpalette 1 hin und her bewegbar. Infolgedessen hebt die Einzelplattenaufnahmeeinheit 3 das bearbeitete Material Wb, das von der Bearbeitungspalette 2 angesaugt wird, in die obere Position P3 an und montiert dann das bearbeitete Material Wb auf der Produktpalette, die von der Aufbewahrungseinheit 911 zur Transporthauptkörpereinheit 912 bewegt wurde. Danach wird die Produktpalette, auf der das bearbeitete Material Wb montiert ist, zu der Aufbewahrungseinheit 911 bewegt, und das bearbeitete Material Wb wird durch einen Roboter oder dergleichen zu einem vorbestimmten Ort transportiert.A product pallet, not shown, is reciprocally movable between the storage unit 911 and the transport main body unit 912 in the same manner as the material pallet 1 . As a result, the single sheet pick-up unit 3 lifts the processed material Wb sucked from the processing pallet 2 to the upper position P3 and then mounts the processed material Wb on the product pallet moved from the storage unit 911 to the transport main body unit 912. Thereafter, the product pallet on which the processed material Wb is mounted is moved to the storage unit 911, and the processed material Wb is transported to a predetermined location by a robot or the like.

Wie in 2 gezeigt, umfasst die Bearbeitungspalette 2 einen rahmenförmiges Basisabschnitt 21 und eine Vielzahl von dünnen plattenförmigen Werkstückträgerelementen 23. Die Vielzahl von Werkstückträgerelementen 23 wird als Werkstückträgerelementgruppe 23G bezeichnet. Der Basisabschnitt 21 ist in der Draufsicht ein rechteckiger Rahmen. Eine Vielzahl von Werkstückträgerelementen 23 ist in vorbestimmten Abständen in der X-Achsenrichtung, der Längsrichtung des Basisabschnitts 21, nebeneinander angeordnet, und zwar in einer Haltung, die sich in der Y-Achsenrichtung, der Querrichtung des Basisabschnitts 21, erstreckt. Das Werkstückträgerelement 23 besteht z. B. aus einem gewalzten Stahlblech für eine allgemeine Struktur mit einer Dicke von 12 mm. Der Basisabschnitt 21 enthält in der Mitte in Querrichtung einen Stützrahmen 22. Der Stützrahmen 22 erstreckt sich in Längsrichtung und greift in die Werkstückträgerelemente 23 ein und stützt sie in ihrem mittleren Bereich.As in 2 1, the machining pallet 2 includes a frame-shaped base portion 21 and a plurality of thin-plate-shaped workpiece-carrying members 23. The plurality of workpiece-carrying members 23 are referred to as a workpiece-carrying member group 23G. The base portion 21 is a rectangular frame in plan view. A plurality of workpiece support members 23 are juxtaposed at predetermined intervals in the X-axis direction, the longitudinal direction of the base portion 21, in a posture extending in the Y-axis direction, the transverse direction of the base portion 21. The workpiece carrier element 23 consists z. B. from a rolled steel sheet for a general structure with a thickness of 12 mm. The base portion 21 includes a support frame 22 at its transverse center. The support frame 22 extends longitudinally and engages the workpiece support members 23 and supports them at their central portion.

Wie in den 2 und 3 gezeigt, umfasst das Werkstückträgerelement 23 einen Basisabschnitt 233, der eine Streifenform aufweist, und einen Stützabschnitt 234, der an dem oberen Kantenabschnitt des Basisabschnitts 233 ausgebildet ist. Der Stützabschnitt 234 umfasst eine Vielzahl von Nutabschnitten 232, die wiederholt in einem vorbestimmten Abstand ausgebildet sind. Jeder der Nutabschnitte 232 wird durch Schneiden in die Form eines umgedrehten gleichschenkligen Dreiecks mit einer Spitze unterhalb des oberen Endabschnitts des Stützabschnitts 234 gebildet. Mit anderen Worten hat der Stützabschnitt 234 im Wesentlichen die Form eines Sägeblattes, in dem, in einer Seitenansicht, mehrere Stützelemente 236, jedes in der Form eines gleichschenkligen Dreiecks, das eine Spitze an der Oberseite aufweist und schmal in der Breite ist, nebeneinander angeordnet und so geformt sind, dass sie vorstehen.As in the 2 and 3 As shown, the workpiece support member 23 includes a base portion 233 having a strip shape and a support portion 234 formed at the upper edge portion of the base portion 233. As shown in FIG. The support portion 234 includes a plurality of groove portions 232 repeatedly formed at a predetermined pitch. Each of the groove portions 232 is formed by cutting into an inverted isosceles triangle shape having an apex below the upper end portion of the support portion 234 . In other words, the support portion 234 is substantially in the shape of a saw blade in which, in a side view, a plurality of support members 236, each in the shape of an isosceles triangle having a vertex at the top and narrow in width, are arranged side by side and are shaped to protrude.

Die Höhenposition eines oberen Abschnitts 231 jedes der mehreren Stützelemente 236 im Stützabschnitt 234 ist konstant. Dadurch hält die Werkstückträgerelementgruppe 23G das montierte Plattenmaterial ohne sich zu verformen. Wie in 3 gezeigt, ist in der Bearbeitungspalette 2 die Vielzahl von Werkstückträgerelementen 23 so angebracht, dass die Positionen der oberen Abschnitte 231 der Werkstückträgerelemente 23, die in Y-Richtung nebeneinanderliegen, in der Seitenansicht um einen halben Abstand versetzt sind. Mit anderen Worten werden zwei Arten von Werkstückträgerelementen 23, nämlich Werkstückträger 23a und Werkstückträger 23b, deren obere Abschnitte 231 gegeneinander versetzt sind, wenn sie am Basisabschnitt 21 befestigt sind, abwechselnd montiert, um die Werkstückträgerelementgruppe 23G zu bilden, die insgesamt eine Gruppe der Vielzahl von Werkstückträgerelementen 23 bildet.The height position of an upper portion 231 of each of the plurality of support members 236 in the support portion 234 is constant. Thereby, the work-carrying member group 23G holds the mounted plate material without deforming. As in 3 1, in the machining pallet 2, the plurality of work-carrying members 23 are mounted so that the positions of the top portions 231 of the work-carrying members 23, which are adjacent to each other in the Y direction, are offset by a half pitch in the side view. In other words, two kinds of work-carrying members 23, namely work-carrier 23a and work-carrier 23b, whose top portions 231 are offset from each other when fixed to the base portion 21, are alternately mounted to form the work-carrying member group 23G, which as a whole is a group of the plurality of Workpiece carrier elements 23 forms.

Bei der obigen Konfiguration wird das von der Laserbearbeitungsvorrichtung 92 zu bearbeitende Material Wa auf der Materialpalette 1 in der Aufbewahrungseinheit 911 montiert und dann zusammen mit der Materialpalette 1 zur Transporthauptkörpereinheit 912 bewegt. Das Material Wa, das zur Transporthauptkörpereinheit 912 bewegt wurde, wird von der Einzelplattenaufnahmeeinheit 3 angehoben und auf die Bearbeitungspalette 2A übertragen, die in dem oberen Halteteil 4c des Wechselrahmens 4 wartet, der sich in der oberen Position befindet. Danach wird der Wechselrahmen 4 von der oberen Position in die untere Position bewegt, und die Bearbeitungspalette 2A des oberen Halteteils 4c wird der Laserbearbeitungsvorrichtung 92 mit dem darauf montierten Material Wa zugeführt.With the above configuration, the material Wa to be processed by the laser processing apparatus 92 is mounted on the material pallet 1 in the storage unit 911 and then moved to the transport main body unit 912 together with the material pallet 1 . The material Wa moved to the transport main body unit 912 is lifted by the single sheet receiving unit 3 and transferred to the processing pallet 2A waiting in the upper holding part 4c of the swap frame 4 located at the upper position. Thereafter, the change frame 4 is moved from the upper position to the lower position, and the processing pallet 2A of the upper holding part 4c is fed to the laser processing device 92 with the material Wa mounted thereon.

Während die Laserbearbeitungsvorrichtung 92 das auf der Bearbeitungspalette 2A montierte Material Wa bearbeitet, wird die Bearbeitungspalette 2B, die von dem unteren Halteteil 4d des Wechselrahmens 4 gehalten wird, durch den vorderen Öffnungsteil 4b des Wechselrahmens 4 hindurchgeführt und zur Hebeplatte 5 bewegt, die sich in der unteren Position befindet. Nach Abschluss der Bewegung der Bearbeitungspalette 2B bewegt sich die Hebeplatte 5 zusammen mit der Bearbeitungspalette 2B nach oben in die mittlere Position. Wenn die Hebeplatte 5 die mittlere Position erreicht, wird die Bearbeitungspalette 2B zum leeren oberen Halteteil 4c des Wechselrahmens 4 bewegt und wartet bis das nächste Material Wa von der Einzelplattenaufnahmeeinheit 3 montiert wird.While the laser processing device 92 processes the material Wa mounted on the processing pallet 2A, the processing pallet 2B held by the lower holding part 4d of the change frame 4 is passed through the front opening part 4b of the change frame 4 and moved to the lifting plate 5 moving in the lower position. After the completion of the movement of the processing pallet 2B, the elevating plate 5 moves up to the middle position together with the processing pallet 2B. When the lifting plate 5 reaches the middle position, the processing pallet 2B is moved to the empty upper holding part 4c of the change frame 4 and waits until the next material Wa from the single plate receiving unit 3 is mounted.

Wie oben beschrieben, wird im Laserbearbeitungssystem ST unmittelbar vor Beginn der Bearbeitung durch die Laserbearbeitungsvorrichtung 92 die erste Bearbeitungspalette 2, auf der das Material Wa montiert ist, von der Transporthauptkörpereinheit 912 zur Laserbearbeitungsvorrichtung 92 bewegt. Außerdem wird die leere zweite Bearbeitungspalette 2, auf der sich nichts befindet, zwischen dem Wechselrahmen 4 und der Hebeplatte 5 hin- und herbewegt.As described above, in the laser processing system ST, immediately before processing by the laser processing device 92 starts, the first processing pallet 2 on which the material Wa is mounted is moved to the laser processing device 92 by the transport main body unit 912 . In addition, the empty second processing pallet 2 with nothing on it is reciprocated between the change frame 4 and the lifting plate 5 .

Nachfolgend wird die Flüssigkeitsaufbringungsvorrichtung 6 unter Bezugnahme auf die 1 und 4 bis 6 beschrieben. 4 ist eine schematische Seitenansicht, die die Anordnungspositionen der oberen Düsengruppe 7 und der unteren Düsengruppe 8 in Bezug auf die Bearbeitungspalette 2 zeigt. 5 ist eine schematische Vorderansicht zur Beschreibung der Flüssigkeitsaufbringungsbereiche der Flüssigkeitsaufbringungsvorrichtung 6. 6 ist eine schematische Darstellung des Leitungssystems der Flüssigkeitsaufbringungsvorrichtung 6.Next, the liquid application device 6 is described with reference to FIG 1 and 4 until 6 described. 4 12 is a schematic side view showing the arrangement positions of the upper nozzle group 7 and the lower nozzle group 8 with respect to the processing pallet 2. FIG. 5 12 is a schematic front view for describing liquid application portions of the liquid application device 6. 6 is a schematic representation of the piping system of the liquid application device 6.

Wie in 1 gezeigt, sind die obere Düsengruppe 7 und die untere Düsengruppe 8 der Flüssigkeitsaufbringungsvorrichtung 6 in Vorwärts-/Rückwärtsrichtung am oberen Teil bzw. am unteren Teil des Eingangs/Ausgangs 914 der Transporthauptkörpereinheit 912 der Paletten-Transportvorrichtung 91 angeordnet. Wie in den 4 und 5 gezeigt, sprüht die Flüssigkeitsaufbringungsvorrichtung 6 einen Nebel ML der Flüssigkeit M auf die Werkstückträgerelementgruppe 23G der Bearbeitungspalette 2 und das Material Wa, das den Eingang/Ausgang 914 passiert, wenn die Bearbeitungspalette 2, auf der das Material Wa montiert ist, von der Transporthauptkörpereinheit 912 zur Laserbearbeitungsvorrichtung 92 bewegt wird.As in 1 As shown, the upper nozzle group 7 and the lower nozzle group 8 of the liquid application device 6 are arranged in the front/rear direction at the upper part and the lower part of the entrance/exit 914 of the transport main body unit 912 of the pallet transport device 91, respectively. As in the 4 and 5 As shown, the liquid application device 6 sprays a mist ML of the liquid M onto the workpiece support member group 23G of the processing pallet 2 and the material Wa passing through the entrance/exit 914 when the processing pallet 2 on which the material Wa is mounted is transferred from the transport main body unit 912 to Laser processing device 92 is moved.

Wie in den 1 und 6 gezeigt, umfasst die Flüssigkeitsaufbringungsvorrichtung 6 die Hauptkörpereinheit 61 mit dem Behälter 61a, einem oberen Versorgungspfad 64, der oberen Düsengruppe 7, einem unteren Versorgungspfad 65 und der unteren Düsengruppe 8. Der Behälter 61 a enthält die auf das Material Wa aufzutragende Flüssigkeit M, die Werkstückträgerelementgruppe 23G und dergleichen und ist mit einer Hochdruckluftquelle AR verbunden. As in the 1 and 6 As shown, the liquid application device 6 comprises the main body unit 61 with the tank 61a, an upper supply path 64, the upper nozzle group 7, a lower supply path 65 and the lower nozzle group 8. The tank 61a contains the liquid M to be applied material Wa, the work-carrying member group 23G and the like, and is connected to a high-pressure air source AR.

Bei der Flüssigkeit M handelt es sich beispielsweise um ein Spritzfleck-Antihaftmittel, das verhindert, dass Spritzer oder Schlacke an dem Werkstückträgerelement 23 haften bleiben.The liquid M is, for example, a spatter anti-adhesive agent that prevents spatter or slag from adhering to the workpiece carrier element 23 .

Wie in 6 dargestellt, umfasst die obere Düsengruppe 7 fünf obere Düsen 71 bis 75. Die erste Stirnseite des oberen Versorgungspfades 64 ist mit dem Behälter 61a verbunden, und die zweite Stirnseite, die sich auf der dem ersten Ende gegenüberliegenden Seite befindet, verzweigt sich über einen Dekompressor 764 in drei Verzweigungspfade 641 bis 643.As in 6 shown, the upper nozzle group 7 comprises five upper nozzles 71 to 75. The first end of the upper supply path 64 is connected to the tank 61a, and the second end, which is on the side opposite the first end, branches via a decompressor 764 into three branching paths 641 to 643.

Der Verzweigungspfad 641 wird über ein elektromagnetisches Ein-Aus-Ventil 761 in die drei Pfade verzweigt, die jeweils mit den oberen Düsen 71 bis 73 verbunden sind. Der Verzweigungspfad 642 ist über ein elektromagnetisches Ein-Aus-Ventil 762 mit der oberen Düse 74 verbunden. Der Verzweigungspfad 643 ist über ein elektromagnetisches Ein-Aus-Ventil 763 mit der oberen Düse 75 verbunden.The branching path 641 is branched into the three paths connected to the upper nozzles 71 to 73 via an on-off electromagnetic valve 761, respectively. The branch path 642 is connected to the upper nozzle 74 via an electromagnetic on-off valve 762 . The branch path 643 is connected to the upper nozzle 75 via an electromagnetic on-off valve 763 .

Die untere Düsengruppe 8 umfasst die Düsensätze 81 bis 88. Jeder der Düsensätze 81 bis 88 besteht aus einem Paar unterer Düsen, die jeweils durch a oder b am Ende der Bezugszeichen gekennzeichnet sind. Der Düsensatz 81 ist beispielsweise ein Satz mit einer unteren Düse 81a und einer unteren Düse 81b. Wie in 5 gezeigt, spritzt in jedem der Düsensätze der unteren Düsengruppe 8 das Paar unterer Düsen den Nebel ML in die obere linke Richtung oder die obere rechte Richtung ein, die in der Transportrichtung der Bearbeitungspalette 2 in Bezug auf die Richtung direkt darüber in einer Ansicht der Vorderfläche geneigt sind. In 5 ist ein Zustand dargestellt, in dem die untere Düse 81a und die untere Düse 81 b des Düsensatzes 81, stellvertretend für die Vielzahl der Düsensätze, den Nebel ML in die obere linke Richtung bzw. die obere rechte Richtung einspritzen, die um einen Winkel θ gegenüber der direkt darüber liegenden Richtung geneigt sind. Der Winkel θ ist so eingestellt, dass er 15° oder weniger beträgt, und ist zum Beispiel 5°. Genauer gesagt, in einer Ansicht auf die Vorderfläche stößt eine untere Düse des Düsensatzes 81, die untere Düse 81a, den Nebel ML in die obere linke Richtung aus, und die andere untere Düse des Düsensatzes 81, die untere Düse 81b, stößt den Nebel ML in die obere rechte Richtung aus. Das Gleiche gilt für die anderen Düsensätze 82 bis 88. Die linke Richtung ist hier die Bewegungsrichtung, in der die Bearbeitungspalette 2 zur Laserbearbeitungsvorrichtung 92 transportiert wird, wie durch den Pfeil D4 angedeutet. Die rechte Richtung ist eine zur Bewegungsrichtung entgegengesetzte Richtung, in der die Bearbeitungspalette 2 zur Laserbearbeitungsvorrichtung 92 transportiert wird.The lower nozzle group 8 comprises the nozzle sets 81 to 88. Each of the nozzle sets 81 to 88 consists of a pair of lower nozzles, each of which is denoted by a or b at the end of the reference numerals. The nozzle set 81 is, for example, a set including a lower nozzle 81a and a lower nozzle 81b. As in 5 1, in each of the nozzle sets of the lower nozzle group 8, the pair of lower nozzles injects the mist ML in the upper left direction or the upper right direction inclined in the conveying direction of the processing pallet 2 with respect to the direction directly above in a front face view are. In 5 Illustrated is a state in which the lower nozzle 81a and the lower nozzle 81b of the nozzle set 81, representative of the plurality of nozzle sets, inject the mist ML in the upper left direction and the upper right direction, respectively, which are opposed by an angle θ inclined to the direction directly above. The angle θ is set to be 15° or less, and is 5°, for example. More specifically, in a front surface view, one lower nozzle of the nozzle set 81, the lower nozzle 81a, ejects the mist ML in the upper left direction, and the other lower nozzle of the nozzle set 81, the lower nozzle 81b, ejects the mist ML in the upper right direction. The same applies to the other nozzle sets 82 to 88. Here, the left direction is the moving direction in which the processing pallet 2 is transported to the laser processing device 92, as indicated by the arrow D4. The right direction is a direction opposite to the moving direction in which the processing pallet 2 is transported to the laser processing device 92 .

Der untere Versorgungspfad 65 umfasst zwei Versorgungspfade, nämlich einen Versorgungspfad 65a und einen Versorgungspfad 65b. Eine erste Stirnseite des Versorgungspfades 65a ist mit dem Behälter 61a verbunden, und eine zweite Stirnseite davon, die sich auf der dem ersten Ende gegenüberliegenden Seite befindet, ist über ein elektromagnetisches Ein-Aus-Ventil 891 parallel mit insgesamt acht unteren Düsen 81 a bis 84a und 81b bis 84b des Düsensatzes 81 bis 84 verbunden.The lower supply path 65 comprises two supply paths, namely a supply path 65a and a supply path 65b. A first end of the supply path 65a is connected to the tank 61a, and a second end thereof, which is on the side opposite to the first end, is in parallel with a total of eight lower nozzles 81a to 84a via an electromagnetic on-off valve 891 and 81b to 84b of the nozzle set 81 to 84 are connected.

Eine erste Stirnseite des Versorgungspfads 65b ist mit dem Behälter 61a verbunden, und die zweite Stirnseite davon, die sich auf der dem ersten Ende gegenüberliegenden Seite befindet, ist in zwei Verzweigungspfade 65b1 und 65b2 verzweigt. Die zweite Stirnseite im Verzweigungspfad 65b1, die sich auf der dem ersten Ende gegenüberliegenden Seite befindet, ist über ein elektromagnetisches Ein-Aus-Ventil 892 parallel mit vier unteren Düsen 85a, 85b, 86a und 86b der Düsensätze 85 und 86 verbunden. Die zweite Stirnseite im Verzweigungspfad 65b2, die sich auf der dem ersten Ende gegenüberliegenden Seite befindet, ist über ein elektromagnetisches Ein-Aus-Ventil 893 mit vier unteren Düsen 87a, 87b, 88a und 88b der Düsensätze 87 und 88 parallel verbunden.A first end of the supply path 65b is connected to the tank 61a, and the second end thereof, which is on the side opposite to the first end, is branched into two branch paths 65b1 and 65b2. The second end in the branch path 65b1, which is on the side opposite to the first end, is connected in parallel to four lower nozzles 85a, 85b, 86a and 86b of the nozzle sets 85 and 86 via an electromagnetic on-off valve 892. The second end in the branch path 65b2, which is on the side opposite to the first end, is connected to four lower nozzles 87a, 87b, 88a and 88b of the nozzle sets 87 and 88 in parallel via an electromagnetic on-off valve 893.

Die Öffnungs-/Schließvorgänge der elektromagnetischen Ein-Aus-Ventile 761 bis 763, die der oberen Düsengruppe 7 entsprechen, und der elektromagnetischen Ein-Aus-Ventile 891 bis 893, die der unteren Düsengruppe 8 entsprechen, werden von der Steuereinheit 93 gesteuert. Infolgedessen wird die Flüssigkeit M als Nebel ML aus der Düse ausgestoßen, die mit dem elektromagnetischen Ein-Aus-Ventil verbunden ist, das durch die Steuereinheit 93 in einen Ein-Zustand gebracht wird. Wenn beispielsweise das elektromagnetische Ein-Aus-Ventil 892 durch die Steuereinheit 93 in einen Ein-Zustand gebracht wird, fließt die im Behälter 61a enthaltene Flüssigkeit M durch den Verzweigungspfad 65b1 und wird als der Nebel ML aus den unteren Düsen 85a, 85b, 86a und 86b ausgestoßen.The opening/closing operations of the electromagnetic on-off valves 761 to 763 corresponding to the upper nozzle group 7 and the electromagnetic on-off valves 891 to 893 corresponding to the lower nozzle group 8 are controlled by the control unit 93. As a result, the liquid M is ejected as a mist ML from the nozzle connected to the electromagnetic on-off valve brought into an on-state by the control unit 93 . For example, when the electromagnetic on-off valve 892 is brought into an on state by the control unit 93, the liquid M contained in the tank 61a flows through the branch path 65b1 and is discharged as the mist ML from the lower nozzles 85a, 85b, 86a and 86b ejected.

Die oberen Düsen 71 bis 75 der oberen Düsengruppe 7 und die unteren Düsen 81 a bis 88a und 81b bis 88b der unteren Düsengruppe 8 sind fächerförmige Düsen. Die fächerförmige Düse ist eine Düse, die den Nebel ML in einem Bereich länglicher Form mit einer Längsrichtung in einer Richtung ausstößt. Die längliche Form ist z. B. ein längliches Rechteck, eine längliche Ellipse oder ähnliches. Die Breite der länglichen Form muss nicht konstant sein, und die Mitte in der Längsrichtung muss nicht die maximale Breite sein. Die oberen Düsen 71 bis 75 und die unteren Düsen 81 a bis 88a und 81b bis 88b sind so angeordnet, dass die Längsrichtung des Ausstoßbereichs die Y-Achsenrichtung ist.The upper nozzles 71 to 75 of the upper nozzle group 7 and the lower nozzles 81a to 88a and 81b to 88b of the lower nozzle group 8 are fan-shaped nozzles. The fan-shaped nozzle is a nozzle that ejects the mist ML in a region of an elongated shape having a longitudinal direction in one direction. The elongated shape is z. B. an elongated rectangle, an elongated ellipse or the like. The width of the oblong shape does not have to be constant, and the center in the longitudinal direction does not have to be the maximum width. The upper nozzles 71 to 75 and the lower nozzles 81a to 88a and 81b to 88b are arranged so that the longitudinal direction of the ejection portion is the Y-axis direction.

Die Anordnungsposition jeder der Düsen in der oberen Düsengruppe 7 und der unteren Düsengruppe 8 in Y-Achsenrichtung entspricht der Größe eines Standardplattenformats, wenn es sich bei dem auf der Werkstückträgerelementgruppe 23G der Bearbeitungspalette 2 zu montierenden Material Wa um ein Plattenmaterial handelt. Die Steuereinheit 93 legt für die Werkstückträgerelementgruppe 23G der Bearbeitungspalette 2 ein XY-Koordinatensystem fest, das die X-Achse und die Y-Achse als Bezugsachsen verwendet. Im XY-Koordinatensystem wird eine Koordinate (Px0, Py0) als Bezugsposition des auf der Bearbeitungspalette 2 zu montierenden Materials Wa o.ä. festgelegt. Mit anderen Worten, wenn das Material Wa der Standardplatte auf der Werkstückträgerelementgruppe 23G montiert wird, wird ein Eckabschnitt des Materials Wa an den Koordinaten (Px0, Py0) so positioniert, dass eine lange Seite und eine kurze Seite des Paares parallel zur X-Achse bzw. zur Y-Achse verlaufen.The arrangement position of each of the nozzles in the upper nozzle group 7 and the lower nozzle group 8 in the Y-axis direction corresponds to the size of a standard plate format when the material Wa to be mounted on the workpiece support member group 23G of the processing pallet 2 is a plate material. The control unit 93 sets an XY coordinate system for the workpiece support member group 23G of the machining pallet 2 using the X-axis and the Y-axis as reference axes. A coordinate (Px0, Py0) as a reference position of the material Wa or the like to be mounted on the machining pallet 2 is set in the XY coordinate system. In other words, when the material Wa of the standard plate is mounted on the workpiece support member group 23G, a corner portion of the material Wa is positioned at the coordinates (Px0, Py0) so that a long side and a short side of the pair are parallel to the X-axis and .to the Y-axis.

Eine Bezugsposition Px in Bezug auf die X-Achsenrichtung wird auf eine Position nahe dem linken Ende der Bearbeitungspalette 2 festgelegt, wie in 5 gezeigt. Eine Bezugsposition Py in y-Achsenrichtung wird auf eine Position in der Nähe des vorderen Endes der Bearbeitungspalette 2 festgelegt, wie in 4 gezeigt. Die Werkstückträgerelementgruppe 23G der Bearbeitungspalette 2 besteht hauptsächlich aus den folgenden drei Typen von Standardplatten. Mit anderen Worten sind diese allgemein bekannt als 3 × 6-Platten (Größe: 914 mm × 1829 mm), allgemein bekannt als 4 × 8-Platten (Größe: 1219 mm × 2438 mm) und allgemein bekannt als 5 × 10-Platten (Größe: 1524 mm × 3048 mm).A reference position Px with respect to the X-axis direction is set to a position near the left end of the machining pallet 2 as shown in FIG 5 shown. A reference position Py in the y-axis direction is set to a position near the front end of the machining pallet 2 as shown in FIG 4 shown. The workpiece support member group 23G of the machining pallet 2 is mainly composed of the following three types of standard plates. In other words, these are commonly known as 3 × 6 panels (size: 914 mm × 1829 mm), commonly known as 4 × 8 panels (size: 1219 mm × 2438 mm), and commonly known as 5 × 10 panels ( Size: 1524mm × 3048mm).

Eine Ecke jeder der Standardplatten wird an der Bezugsposition Px und Py der Koordinaten (Px0, Py0) in Bezug auf die Bearbeitungspalette 2 positioniert, und zwei orthogonale Seiten jeder der Standardplatten werden so montiert, dass sie parallel zur X-Achse bzw. zur Y-Achse liegen. In diesem Fall sind in 4 die Breiten der 3 × 6-Platte, der 4 × 8-Platte und der 5 × 10-Platte in y-Achsenrichtung durch die Breiten von der Position Py, deren y-Koordinate in der Werkstückträgerelementgruppe 23G Py0 ist, zur Position Py1, zur Position Py2 bzw. zur Position Py3 angegeben. In gleicher Weise werden in 5 die Längen der 3 × 6-Platte, der 4 × 8-Platte und der 5 × 10-Platte in X-Achsenrichtung durch die Längen von der Position Px, deren X-Koordinate Px0 ist, zu der Position Px1, der Position Px2 bzw. der Position Px3 angegeben.A corner of each of the standard plates is positioned at the reference position Px and Py of coordinates (Px0, Py0) with respect to the machining pallet 2, and two orthogonal sides of each of the standard plates are mounted so as to be parallel to the X-axis and the Y-axis, respectively. axis. In this case are in 4 the widths of the 3 × 6 plate, the 4 × 8 plate and the 5 × 10 plate in the y-axis direction by the widths from the position Py whose y-coordinate is Py0 in the workpiece support member group 23G to the position Py1, to the Position Py2 or position Py3 specified. In the same way, in 5 the lengths of the 3 × 6 plate, the 4 × 8 plate and the 5 × 10 plate in the X-axis direction by the lengths from the position Px whose X-coordinate is Px0 to the position Px1, the position Px2 and .of the position Px3 indicated.

Wie in 4 dargestellt, sind die oberen Düsen 71 bis 73 in etwa gleichen Abständen von der Vorderseite zur Rückseite über den Bereich von der Position Py bis zur Position Py1 angeordnet, der einem Bereich entspricht, der der Breite der 3 × 6 Platte entspricht. Die aus den oberen Düsen 71 bis 73 jeweils ausgestoßenen Nebel ML sind teilweise überlappend angeordnet und werden zumindest über den Bereich von der Position Py bis zur Position Py1 der Werkstückträgerelementgruppe 23G der Bearbeitungspalette 2 gleichmäßig gesprüht.As in 4 As shown, the upper nozzles 71 to 73 are arranged at approximately equal intervals from the front to the back over the range from the position Py to the position Py1, which corresponds to a range corresponding to the width of the 3×6 board. The mists ML ejected from the upper nozzles 71 to 73, respectively, are partially overlapped and sprayed uniformly at least over the range from the position Py to the position Py1 of the workpiece-carrying member group 23G of the processing pallet 2.

Wie in 4 gezeigt, ist die obere Düse 74 oberhalb des Bereichs von der Position Py1 bis zur Position Py2 angeordnet, der einem Bereich entspricht, der größer ist als die Breite der 3 × 6 Platte in der Breite der 4 × 8 Platte. Ein aus der oberen Düse 74 ausgestoßener Nebel ML74 wird gleichmäßig über den Bereich von der Position Py1 bis zur Position Py2 der Werkstückträgerelementgruppe 23G der Bearbeitungspalette 2 gesprüht.As in 4 As shown, the upper nozzle 74 is located above the range from the position Py1 to the position Py2, which corresponds to a range larger than the width of the 3×6 board in the width of the 4×8 board. A mist ML74 ejected from the upper nozzle 74 is uniformly sprayed over the area from the position Py1 to the position Py2 of the workpiece-carrying member group 23G of the machining pallet 2.

Wie in 4 gezeigt, ist die obere Düse 75 oberhalb des Bereichs von der Position Py2 bis zur Position Py3 angeordnet, der einem Bereich entspricht, der größer ist als die Breite der 4 × 8 Platte in der Breite der 5 × 10 Platte. Ein aus der oberen Düse 75 ausgestoßener Nebel ML75 wird gleichmäßig über den Bereich von der Position Py2 bis zur Position Py3 der Werkstückträgerelementgruppe 23G der Bearbeitungspalette 2 gesprüht.As in 4 As shown, the upper nozzle 75 is located above the range from the position Py2 to the position Py3, which corresponds to a range larger than the width of the 4×8 board in the width of the 5×10 board. A mist ML75 ejected from the upper nozzle 75 is uniformly sprayed over the area from the position Py2 to the position Py3 of the workpiece-carrying member group 23G of the machining pallet 2.

Auf diese Weise kann die Paletten-Transportvorrichtung 91 die Flüssigkeit M im Bereich von der Position Py bis zur Position Py1, die der 3 × 6-Platte entspricht, der Werkstückträgerelemente 23 auf der Bearbeitungspalette 2 aufsprühen und auftragen, indem das elektromagnetische Ein-Aus-Ventil 761 der Flüssigkeitsaufbringungsvorrichtung 6 in einen Ein-Zustand gebracht wird. Wenn die 3 × 6-Platte auf der vorbestimmten Position der Werkstückträgerelementgruppe 23G montiert ist, kann die Flüssigkeit über den gesamten Breitenbereich der oberen Fläche der 3 × 6-Platte gesprüht und aufgetragen werden.In this way, the pallet transporting device 91 can spray and apply the liquid M in the range from the position Py to the position Py1 corresponding to the 3 × 6 plate of the workpiece supporting members 23 on the processing pallet 2 by the electromagnetic on-off valve 761 of the liquid applicator 6 is brought into an on-state. When the 3×6 plate is mounted on the predetermined position of the workpiece-carrying member group 23G, the liquid can be sprayed and applied over the entire width area of the upper surface of the 3×6 plate.

Die Paletten-Transportvorrichtung 91 kann die Flüssigkeit M im Bereich von der Position Py bis zur Position Py2, die der 4 × 8-Platte entspricht, aufsprühen und auftragen, indem jedes der elektromagnetischen Ein-Aus-Ventile 761 und das elektromagnetische Ein-Aus-Ventil 762 der Flüssigkeitsaufbringungsvorrichtung 6 in einen Ein-Zustand gebracht wird. Wenn die 4 × 8-Platte an der vorbestimmten Position der Werkstückträgerelementgruppe 23G angebracht ist, kann die Flüssigkeit über den gesamten Breitenbereich der oberen Fläche der 4 × 8-Platte gesprüht und aufgetragen werden.The pallet transport device 91 can spray and apply the liquid M in the range from the position Py to the position Py2 corresponding to the 4 × 8 plate by controlling each of the electromagnetic on-off valve 761 and the electromagnetic on-off valve 762 of the liquid applicator 6 is placed in an on-state. When the 4×8 plate is attached to the predetermined position of the workpiece support member group 23G, the liquid can be sprayed and applied over the entire width area of the upper surface of the 4×8 plate.

Die Paletten-Transportvorrichtung 91 kann die Flüssigkeit M im Bereich von der Position Py bis zur Position Py3, die der 5 × 10-Platte entspricht, aufsprühen und auftragen, indem jedes der elektromagnetischen Ein-Aus-Ventile 761 bis 763 der Flüssigkeitsaufbringungsvorrichtung 6 in einen Ein-Zustand gebracht wird. Wenn die 5 × 10-Platte an der vorbestimmten Position der Werkstückträgerelementgruppe 23G angebracht ist, kann die Flüssigkeit M über den gesamten Breitenbereich der oberen Fläche der 5 × 10-Platte gesprüht und aufgetragen werden.The pallet transport device 91 can transport the liquid M in the range from the position Py to spray and apply to the position Py3 corresponding to the 5 × 10 plate by bringing each of the electromagnetic on-off valves 761 to 763 of the liquid application device 6 into an on-state. When the 5×10 plate is attached to the predetermined position of the work-carrying member group 23G, the liquid M can be sprayed and applied over the entire width area of the upper surface of the 5×10 plate.

Wie in 4 dargestellt, sind die Düsensätze 81 bis 84 in dieser Reihenfolge von der Vorderseite zur Rückseite unterhalb des Bereichs von der Position Py bis zur Position Py1 angeordnet, der einem Bereich entspricht, der der Breite der 3 × 6-Platte in der Werkstückträgerelementgruppe 23G entspricht. Die aus den Düsensätzen 81 bis 84 jeweils nach oben ausgestoßenen Nebel ML81 bis ML84 werden zumindest in den Bereich von der Position Py bis zur Position Py1 der Werkstückträgerelementgruppe 23G der Bearbeitungspalette 2 gesprüht. Mit anderen Worten wird die Flüssigkeit M mittels der aus den Düsensätzen 81 bis 84 ausgestoßenen Nebel ML81 bis ML86 gleichmäßig über den gesamten Breitenbereich der Bodenfläche der an der vorbestimmten Position der Werkstückträgerelementgruppe 23G angebrachten 3 × 6-Platte aufgesprüht.As in 4 1, the nozzle sets 81 to 84 are arranged in this order from the front to the rear below the range from the position Py to the position Py1, which corresponds to a range corresponding to the width of the 3×6 plate in the work-carrying member group 23G. The mists ML81 to ML84 ejected upward from the nozzle sets 81 to 84, respectively, are sprayed at least in the area from the position Py to the position Py1 of the workpiece-carrying member group 23G of the processing pallet 2. In other words, the liquid M is sprayed uniformly over the entire width area of the bottom surface of the 3×6 plate attached to the predetermined position of the workpiece-carrying member group 23G by the mists ML81 to ML86 ejected from the nozzle sets 81 to 84.

Wie in 4 gezeigt, sind die Düsensätze 85 und 86 unterhalb des Bereichs von der Position Py1 bis zur Position Py2 angeordnet, der einem Bereich entspricht, der größer ist als die Breite der 3 × 6-Platte in der Breite der 4 × 8-Platte in der Werkstückträgerelementgruppe 23G. Die aus den Düsensätzen 85 bzw. 86 nach oben ausgestoßenen Nebel ML85 und ML86 werden zumindest in den Bereich von der Position Py1 bis zur Position Py2 der Werkstückträgerelementgruppe 23G der Bearbeitungspalette 2 gesprüht. Mit anderen Worten wird die Flüssigkeit M mittels der aus den Düsensätzen 81 bis 86 ausgestoßenen Nebel ML81 bis ML86 gleichmäßig über den gesamten Breitenbereich der Bodenfläche der an der vorbestimmten Position der Werkstückträgerelementgruppe 23G angebrachten 4 × 8 Platte aufgetragen.As in 4 1, the nozzle sets 85 and 86 are arranged below the range from the position Py1 to the position Py2, which corresponds to a range larger than the width of the 3×6 board in the width of the 4×8 board in the work-carrying member group 23G. The mists ML85 and ML86 ejected upward from the nozzle sets 85 and 86, respectively, are sprayed at least in the area from the position Py1 to the position Py2 of the work-carrying member group 23G of the processing pallet 2. In other words, the liquid M is applied uniformly over the entire width area of the bottom surface of the 4 × 8 plate mounted at the predetermined position of the workpiece-carrying member group 23G by means of the mists ML81 to ML86 ejected from the nozzle sets 81 to 86 .

Wie in 4 gezeigt, sind die Düsensätze 87 und 88 unterhalb des Bereichs von der Position Py2 bis zur Position Py3 angeordnet, der einem Bereich entspricht, der größer ist als die Breite der 4 × 8 Platte in der Breite der 5 × 10 Platte in der Werkstückträgerelementgruppe 23G. Die aus den Düsensätzen 87 bzw. 88 nach oben ausgestoßenen Nebel ML87 und ML88 werden zumindest auf den Bereich von der Position Py2 bis zur Position Py3 der Werkstückträgerelementgruppe 23G der Bearbeitungspalette 2 gesprüht. Mit anderen Worten wird die Flüssigkeit M durch die aus den Düsensätzen 81 bis 88 ausgestoßenen Nebel ML81 bis ML88 gleichmäßig über den gesamten Breitenbereich der Bodenfläche der an der vorbestimmten Position der Werkstückträgerelementgruppe 23G angebrachten 5 × 10 Platte aufgesprüht.As in 4 As shown, the nozzle sets 87 and 88 are arranged below the range from the position Py2 to the position Py3, which corresponds to a range larger than the width of the 4×8 board in the width of the 5×10 board in the work-carrying member group 23G. The mists ML87 and ML88 ejected upward from the nozzle sets 87 and 88, respectively, are sprayed on at least the area from the position Py2 to the position Py3 of the work-carrying member group 23G of the processing pallet 2. In other words, the liquid M is sprayed uniformly over the entire width area of the bottom surface of the 5 × 10 plate attached to the predetermined position of the work-carrying member group 23G by the mists ML81 to ML88 ejected from the nozzle sets 81 to 88 .

Wenn das Spritzfleck-Antihaftmittel in Form der Flüssigkeit M aufgetragen wird, um zu verhindern, dass Ablagerungen wie Spritzer oder Schlacke an jedem der Werkstückträgerelemente 23 haften bleiben, ist es notwendig, das Spritzfleck-Antihaftmittel gleichmäßig auf die Fläche des Basisabschnitts 233 und eine Randfläche 235 des Nutabschnitts 232 im Werkstückträgerelement 23 aufzutragen. Die Randfläche 235 des Nutabschnitts 232 ist der gleiche Teil wie die Randfläche 235 des Stützelements 236. Da die Randfläche 235 des Nutabschnitts 232 nach oben weist, kann das Spritzfleck-Antihaftmittel auf die Randfläche 235 aufgebracht werden, indem das Spritzfleck-Antihaftmittel als Nebel ML aus der oberen Düseneinheit 62, die sich oberhalb des Werkstückträgerelements 23 befindet, aufgesprüht wird.When the anti-spatter agent is applied in the form of the liquid M, in order to prevent deposits such as spatter or slag from adhering to each of the workpiece support members 23, it is necessary to apply the anti-spatter agent evenly to the surface of the base portion 233 and an edge surface 235 of the groove section 232 in the workpiece carrier element 23 . The edge surface 235 of the groove portion 232 is the same part as the edge surface 235 of the support member 236. Since the edge surface 235 of the groove portion 232 faces upward, the anti-spatter agent can be applied to the edge surface 235 by spraying the anti-spatter agent as mist ML the upper nozzle unit 62, which is located above the workpiece carrier element 23, is sprayed on.

Andererseits spielt in der Paletten-Transportvorrichtung 91 die obere Düseneinheit 62 eine Rolle beim Aufbringen des Spritzfleck-Antihaftmittels auf eine obere Fläche Wa1 des auf der Bearbeitungspalette 2 montierten Materials Wa, und die untere Düseneinheit 63 spielt eine Rolle beim Aufbringen des Spritzfleck-Antihaftmittels auf die Randfläche 235 des Nutabschnitts 232.On the other hand, in the pallet transport device 91, the upper nozzle unit 62 plays a role in applying the spatter-proofing agent to an upper surface Wa1 of the material Wa mounted on the processing pallet 2, and the lower nozzle unit 63 plays a role in applying the spatter-proofing agent to the Edge surface 235 of the groove section 232.

7 ist eine Seitenansicht, die einen Betriebsmodus zeigt, in dem das Spritzfleck-Antihaftmittel durch die untere Düse 83a der unteren Düseneinheit 63 auf die Nutabschnitte 232 aufgebracht wird. Das Material Wa wird von einer Vielzahl von oberen Abschnitten 231 der Werkstückträgerelemente getragen. Wie in 7 dargestellt, handelt es sich bei der unteren Düse 83a um die oben beschriebene fächerförmige Düse. Der Nebel ML des Spritzfleck-Antihaftmittels, der aus der unteren Düse 83a nach oben ausgestoßen wird, wird auf eine untere Fläche Wa2 des Materials Wa in einem rechteckigen Bereich mit einer Länge PR1 in der Längsrichtung gesprüht, die sich in der y-Achsenrichtung erstreckt. 7 14 is a side view showing an operation mode in which the spatter release agent is applied to the groove portions 232 through the lower nozzle 83a of the lower nozzle unit 63. FIG. The material Wa is supported on a plurality of upper portions 231 of the work support members. As in 7 As shown, the lower nozzle 83a is the fan-shaped nozzle described above. The spray stain antiseize agent mist ML ejected upward from the lower nozzle 83a is sprayed onto a lower surface Wa2 of the material Wa in a rectangular area having a longitudinal length PR1 extending in the y-axis direction.

Die Bearbeitungspalette 2 ist unterhalb der Werkstückträgerelementgruppe 23G bis auf den Basisabschnitt 21 des Rahmenkörpers, der die Werkstückträgerelementgruppe 23G trägt, und den mittig in Querrichtung des Basisabschnitts 21 angeordneten und sich in Längsrichtung erstreckenden Stützrahmen 22 offen. Daher erreicht fast die gesamte Menge des von der Unterseite zur Oberseite der Bearbeitungspalette 2 ausgestoßenen Nebels ML die Unterseite Wa2 des auf der Werkstückträgerelementgruppe 23G befestigten Materials Wa.The machining pallet 2 is open below the work-carrying member group 23G except for the base portion 21 of the frame body which supports the work-carrying member group 23G and the support frame 22 positioned transversely centrally of the base portion 21 and extending longitudinally. Therefore, almost the entire amount of the mist ML ejected from the bottom to the top of the processing pallet 2 reaches the bottom Wa2 of the material Wa mounted on the work-carrying member group 23G.

Das auf die Bodenfläche Wa2 aufgesprühte Spritzfleck-Antihaftmittel trifft auf die Bodenfläche Wa2 und wird zufällig abgeprallt, und ein Teil des abgeprallten Spritzfleck-Antihaftmittels erreicht die Randflächen 235 der Nutabschnitte 232 der Werkstückträgerelemente 23. Daher erreicht das Spritzfleck-Antihaftmittel, das zufällig gegen die Bodenfläche Wa2 prallt, die Randflächen 235 aus verschiedenen Winkeln. In ähnlicher Weise erreicht das Spritzfleck-Antihaftmittel die Seitenflächen der Nutabschnitte 232 und den Basisabschnitt 233 aus verschiedenen Winkeln. Dadurch wird das Spritzfleck-Antihaftmittel gleichmäßig auf die Seitenflächen des Basisabschnitts 233 und der Werkstückträgerelemente 232 sowie auf die Randflächen 235 der Werkstückträgerelemente 232 aufgebracht. Ferner umfasst jeder der mehreren Düsensätze 81 bis 88 der unteren Düsengruppe 8 ein Paar unterer Düsen. Um den Düsensatz 81 stellvertretend zu beschreiben, enthält der Düsensatz 81, wie oben beschrieben, das Paar unterer Düsen 81a und 81b, und die Richtungen, in denen die untere Düse 81a und die untere Düse 81b den Nebel ML nach oben ausstoßen, liegen nicht direkt darüber, sondern sind zur Vorderseite bzw. zur Rückseite in der Bewegungsrichtung (der X-Achsenrichtung) der Bearbeitungspalette 2, die in der Laserbearbeitungsvorrichtung 92 gehalten wird, geneigt. Dies gilt auch für die anderen Düsensätze 82 bis 88. Der Nebel ML wird also sowohl von der linken als auch von der rechten Seite in X-Achsenrichtung auf die Seitenflächen des Basisabschnitts 233 und der Nutabschnitte 232 der Werkstückträgerelemente 23 gesprüht. Dadurch prallt der Nebei ML an der Unterseite Wa2 des Materials Wa ab und verteilt sich über einen größeren Bereich. Dadurch wird das Spritzfleck-Antihaftmittel einheitlicher und gleichmäßiger auf die Seitenflächen des Basisabschnitts 233 und der Werkstückträgerelemente 232 sowie auf die Randflächen 235 der Werkstückträgerelemente 232 aufgetragen.The spatter-proofing agent sprayed on the bottom surface Wa2 hits the bottom surface Wa2 and is randomly rebounded, and part of the rebounded spatter-proofing agent reaches the edge surfaces 235 of the groove portions 232 of the workpiece support members 23. Therefore, the spatter-proofing agent accidentally hits the bottom surface Wa2 bounces, the edge surfaces 235 from different angles. Similarly, the anti-spatter agent reaches the side surfaces of the groove portions 232 and the base portion 233 from different angles. As a result, the spatter-proofing agent is uniformly applied to the side surfaces of the base portion 233 and the workpiece-carrying members 232 and to the edge surfaces 235 of the workpiece-carrying members 232 . Further, each of the plurality of nozzle sets 81 to 88 of the lower nozzle group 8 includes a pair of lower nozzles. To describe the nozzle set 81 representatively, as described above, the nozzle set 81 includes the pair of lower nozzles 81a and 81b, and the directions in which the lower nozzle 81a and the lower nozzle 81b eject the mist ML upward are not direct above, but are inclined toward the front and rear, respectively, in the moving direction (the X-axis direction) of the processing pallet 2 held in the laser processing apparatus 92. This also applies to the other nozzle sets 82 to 88. That is, the mist ML is sprayed onto the side surfaces of the base portion 233 and the groove portions 232 of the work support members 23 from both the left and right sides in the X-axis direction. As a result, the Nebei ML bounces off the underside Wa2 of the material Wa and spreads over a larger area. As a result, the anti-spatter agent is applied more uniformly and evenly to the side surfaces of the base portion 233 and the workpiece-carrying members 232 and to the edge surfaces 235 of the workpiece-carrying members 232 .

Die Steuereinheit 93 steuert die Einspritzzeitpunkte des Nebels ML aus der oberen Düsengruppe 7 und der unteren Düsengruppe 8. Insbesondere wird der Einspritzzeitpunkt gemäß der Größe des auf der Bearbeitungspalette 2 montierten Materials Wa gesteuert. Genauer gesagt bewirkt die Steuereinheit 93, dass der Nebel ML aus der oberen Düsengruppe 7 in Richtung des Materials Wa ausgestoßen wird, während das Material Wa auf der Bearbeitungspalette 2 direkt unterhalb der oberen Düsengruppe 7 vorbeifährt, und bewirkt, dass der Nebel ML aus der unteren Düsengruppe 8 in Richtung des Materials Wa ausgestoßen wird, während das Material Wa auf der Bearbeitungspalette 2 direkt oberhalb der unteren Düsengruppe 8 vorbeifährt.The control unit 93 controls the injection timings of the mist ML from the upper nozzle group 7 and the lower nozzle group 8. Specifically, the injection timing is controlled according to the size of the material Wa mounted on the processing pallet 2. More specifically, the control unit 93 causes the mist ML to be ejected from the upper nozzle group 7 toward the material Wa as the material Wa on the processing pallet 2 passes just below the upper nozzle group 7, and causes the mist ML to be ejected from the lower Nozzle group 8 is ejected toward the material Wa while the material Wa on the processing pallet 2 passes directly above the lower nozzle group 8.

Wie in 5 gezeigt, sind die obere Düsengruppe 7 und die untere Düsengruppe 8 so angeordnet, dass sie sich an derselben Position P78 in der X-Achsenrichtung gegenüberstehen. Der Nebel ML wird aus der oberen Düsengruppe 7 und der unteren Düsengruppe 8 ausgestoßen, während die Bearbeitungspalette 2 von der Transporthauptkörpereinheit 912 in Richtung der Laserbearbeitungsvorrichtung 92 in der ebenfalls in 1 dargestellten linken Pfeilrichtung D4 bewegt wird. Die Steuereinheit 93 steuert nicht nur die Bewegung der Bearbeitungspalette 2, sondern auch den Ausstoßvorgang des Nebels ML gemäß den Fällen, in denen das auf der Werkstückträgerelementgruppe 23G der Bearbeitungspalette 2 montierte Material Wa die 3 × 6 Platte, die 4 × 8 Platte und die 5 × 10 Platte ist.As in 5 As shown, the upper nozzle group 7 and the lower nozzle group 8 are arranged to face each other at the same position P78 in the X-axis direction. The mist ML is ejected from the upper nozzle group 7 and the lower nozzle group 8 while the processing pallet 2 moves from the transport main body unit 912 toward the laser processing device 92 in FIG 1 shown left arrow direction D4 is moved. The control unit 93 controls not only the movement of the processing pallet 2 but also the ejection operation of the mist ML according to the cases where the material Wa mounted on the work-carrying member group 23G of the processing pallet 2 is the 3 × 6 plate, the 4 × 8 plate and the 5th × 10 disk is.

Die Steuereinheit 93 erfasst, ob das Material Wa auf der Werkstückträgerelementgruppe 23G montiert ist oder nicht, und die Größe des montierten Materials Wa, indem sie auf Bearbeitungsinformationen einschließlich solcher Informationen zurückgreift, die vorab von außen eingegeben werden. Die Steuereinheit 93 kann so konfiguriert sein, dass sie auf der Grundlage von Erfassungsinformationen einer Vielzahl von Sensoren erfasst, ob das Material Wa montiert ist oder nicht, und die Größe des Materials Wa erfasst, indem sie der Paletten-Transportvorrichtung 91 die Erfassungsinformationen der Sensoren, ob ein Metallelement auf der Werkstückträgerelementgruppe 23G der Bearbeitungspalette 2 montiert ist oder nicht, und die Größe, wenn das Material Wa montiert ist, bereitstellt.The control unit 93 detects whether or not the material Wa is mounted on the work-carrying member group 23G and the size of the mounted material Wa by referring to processing information including such information input from the outside in advance. The control unit 93 may be configured to detect whether or not the material Wa is mounted based on detection information from a variety of sensors, and detect the size of the material Wa by providing the pallet transport device 91 with the detection information of the sensors, whether or not a metal member is mounted on the workpiece support member group 23G of the machining pallet 2 and the size when the material Wa is mounted.

Wenn es sich bei dem auf der Werkstückträgerelementgruppe 23G montierten Material Wa um die 3 × 6-Platte handelt, veranlasst die Steuereinheit 93 den Ausstoß des Nebels ML, während zumindest die Position Px bis zur Position Px1 in der Bearbeitungspalette 2 die Position P78 passieren, an der die obere Düsengruppe 7 und die untere Düsengruppe 8 montiert sind. Bei der 4 × 8-Platte veranlasst die Steuereinheit 93 den Ausstoß des Nebels ML, während zumindest die Positionen Px bis Px2 die Position P78 passieren, an der die obere Düsengruppe 7 und die untere Düsengruppe 8 montiert sind. Bei der 5 × 10-Platte veranlasst die Steuereinheit 93, dass der Nebel ML ausgestoßen wird, während mindestens die Position Px bis zur Position Px3 die Position P78 passieren, an der die obere Düsengruppe 7 und die untere Düsengruppe 8 montiert sind.When the material Wa mounted on the workpiece-carrying member group 23G is the 3 × 6 plate, the control unit 93 causes the mist ML to be ejected while at least the position Px to the position Px1 in the processing pallet 2 pass the position P78 which the upper nozzle group 7 and the lower nozzle group 8 are mounted. In the 4×8 panel, the control unit 93 causes the mist ML to be ejected while at least the positions Px to Px2 pass the position P78 where the upper nozzle group 7 and the lower nozzle group 8 are mounted. In the 5×10 plate, the control unit 93 causes the mist ML to be ejected while at least the position Px to the position Px3 passes the position P78 where the upper nozzle group 7 and the lower nozzle group 8 are mounted.

Durch den oben beschriebenen Flüssigkeitsaufbringungsvorgang wird in der Paletten-Transportvorrichtung 91 das Spritzfleck-Antihaftmittel zumindest auf den zu bearbeitenden Abschnitt der Werkstückträgerelementgruppe 23G aufgetragen. Hierdurch kann ein verschwenderischer Verbrauch des Spritzfleck-Antihaftmittels verhindert werden.By the liquid application process described above, in the pallet transfer device 91, the spatter release agent is applied at least to the portion to be processed of the work-carrying member group 23G. This can prevent wasteful consumption of the spatter release agent.

Da die Paletten-Transportvorrichtung 91 die oben beschriebene Flüssigkeitsaufbringungsvorrichtung 6 umfasst, kann die Paletten-Transportvorrichtung 91 das Spritzfleck-Antihaftmittel gleichmäßig und automatisch auf die gesamte Fläche einschließlich der Randfläche 235 des Nutabschnitts 232 jedes Werkstückträgerelements 23 der Bearbeitungspalette 2 auftragen. Insbesondere umfasst die Paletten-Transportvorrichtung 91, wie in 8 gezeigt, eine Düseneinheit 66, die die obere Düsengruppe 7 und die untere Düsengruppe 8 umfasst, die getrennt voneinander in der seitlichen Richtung in der Nähe des Eingangs/Ausgangs 914 angeordnet sind, durch den die Bearbeitungspalette 2 in die Laserbearbeitungsvorrichtung 92 hinein- und herausbewegt wird.Since the pallet transport device 91 is the liquid application device described above 6 includes, the pallet transport device 91 can apply the anti-spatter agent evenly and automatically to the entire surface including the edge surface 235 of the groove portion 232 of each workpiece support member 23 of the processing pallet 2. In particular, the pallet transport device 91, as in 8th 1, a nozzle unit 66 comprising the upper nozzle group 7 and the lower nozzle group 8, which are arranged separately from each other in the lateral direction in the vicinity of the entrance/exit 914 through which the processing pallet 2 is moved in and out of the laser processing device 92 .

Die Steuereinheit 93 bewirkt, dass die Bearbeitungspalette 2, auf der sich das Material Wa befindet, von der Paletten-Transportvorrichtung 91 zwischen der oberen Düsengruppe 7 und der unteren Düsengruppe 8 in Richtung der Laserbearbeitungsvorrichtung 92 bewegt wird, und bewirkt dabei, dass der Nebel ML der Flüssigkeit M von der oberen Düsengruppe 7 und der unteren Düsengruppe 8 in Richtung des Materials Wa ausgestoßen wird. Infolgedessen haftet ein aus der oberen Düsengruppe 7 aufgesprühter Applikationsfilm MT7 des Spritzfleck-Antihaftmittels an der Oberseite Wa1 des auf der Werkstückträgerelementgruppe 23G der Bearbeitungspalette 2 angebrachten Materials Wa. Gleichzeitig haftet ein aus der unteren Düsengruppe 8 aufgesprühter Applikationsfilm MT8 des Spritzfleck-Antihaftmittels nicht nur an der Unterseite Wa2 des Materials Wa, sondern auch an der gesamten Fläche einschließlich der Randfläche 235 des Werkstückträgerelements 232 jedes der Werkstückträgerelemente 23 in dem Bereich, der dem Material Wa entspricht.The control unit 93 causes the processing pallet 2 on which the material Wa is placed to be moved toward the laser processing device 92 by the pallet transport device 91 between the upper nozzle group 7 and the lower nozzle group 8, thereby causing the mist ML of the liquid M is ejected from the upper nozzle group 7 and the lower nozzle group 8 toward the material Wa. As a result, an anti-spatter application film MT7 sprayed from the upper nozzle group 7 adheres to the upper surface Wa1 of the material Wa mounted on the work-carrying member group 23G of the processing pallet 2. At the same time, an anti-spatter application film MT8 sprayed from the lower nozzle group 8 adheres not only to the surface Bottom side Wa2 of the material Wa, but also on the entire surface including the edge surface 235 of the work-supporting member 232 of each of the work-supporting members 23 in the area corresponding to the material Wa.

Wie oben beschrieben, haftet der aus der unteren Werkstückträgerelementgruppe 8 nach oben ausgestoßene Nebel ML des Spritzfleck-Antihaftmittels als Flüssigkeitsfilm nicht nur an der Bodenfläche Wa2 des auf der Bearbeitungspalette 2 angebrachten Materials Wa, sondern auch an der gesamten Fläche einschließlich der Randflächen 235 der Nutabschnitte 232 in dem dem Material Wa entsprechenden Bereich der Werkstückträgerelemente 23. Infolgedessen ist es weniger wahrscheinlich, dass Spritzer oder Schlacke an den einzelnen Werkstückträgerelementen 23 haften bleiben, wodurch die Häufigkeit des Reinigens der Werkstückträgerelemente 23 verringert werden kann. Da es weniger wahrscheinlich ist, dass Spritzer oder Schlacke an den einzelnen Werkstückträgerelementen 23 haften, wird das Material Wa stabil und horizontal gehalten und die Qualität des Laserschneidens auf einem hohen Niveau gehalten, und außerdem ist es weniger wahrscheinlich, dass das auf der Werkstückträgerelementgruppe 23G montierte Material Wa zerkratzt wird.As described above, the mist ML of the spatter release agent ejected upward from the lower work-carrying member group 8 adheres as a liquid film not only to the bottom surface Wa2 of the material Wa mounted on the processing pallet 2 but also to the entire surface including the edge surfaces 235 of the groove portions 232 in the area of the work-carrying members 23 corresponding to the material Wa. As a result, spatter or slag is less likely to adhere to the individual work-carrying members 23, whereby the frequency of cleaning the work-carrying members 23 can be reduced. Since spatter or slag is less likely to adhere to each workpiece-carrying member 23, the material Wa is kept stable and horizontal and the quality of laser cutting is maintained at a high level, and moreover, the one mounted on the work-carrying member group 23G is less likely to be damaged Material Wa is scratched.

Andererseits wird der Nebel ML des Spritzfleck-Antihaftmittels, der aus der oberen Düsengruppe 7 nach unten ausgestoßen wird, versprüht und auf die obere Fläche Wa1 des auf der Bearbeitungspalette 2 montierten Materials Wa aufgetragen. Dadurch werden die Schmelzrückstände, die bei der Laserbearbeitung des Materials Wa entstehen, durch das auf das zu bearbeitende Teil geblasene Hilfsgas leicht vom Material Wa getrennt und nach unten abgeleitet. Dadurch ist es weniger wahrscheinlich, dass die Schlacke an dem geschnittenen Teil, dem Werkstückträgerelement 23 oder dergleichen anhaftet.On the other hand, the spray stain antiseize agent mist ML ejected downward from the upper nozzle group 7 is sprayed and applied to the upper surface Wa1 of the material Wa mounted on the processing pallet 2 . As a result, the melt residues produced by the laser processing of the material Wa are easily separated from the material Wa by the auxiliary gas blown onto the part to be processed and discharged downward. As a result, the slag is less likely to adhere to the cut portion, the work support member 23 or the like.

Das Spritzfleck-Antihaftmittel wird gemäß dem Vorgang, bei dem die Bearbeitungspalette 2 von der Transporthauptkörpereinheit 912 der Laserbearbeitungsvorrichtung 92 zugeführt wird, auf die Werkstückträgerelementgruppe 23G und die Oberseite Wa1 des Materials Wa aufgebracht. Daher erhöhen sich weder die Arbeitsschritte noch die Taktzeit, und die Produktivität wird ohne Verschlechterung auf einem hohen Niveau gehalten.The anti-spatter agent is applied to the work-carrying member group 23G and the top surface Wa1 of the material Wa according to the process in which the processing pallet 2 is fed from the transport main body unit 912 to the laser processing apparatus 92 . Therefore, the work steps and the tact time do not increase, and the productivity is maintained at a high level without deterioration.

9 bis 11 sind Diagramme, die ein Laserbearbeitungssystem STA zeigen, das ein modifiziertes Beispiel des Laserbearbeitungssystems ST gemäß der oben beschriebenen Ausführungsform ist. In dem Laserbearbeitungssystem STA wurde die Paletten-Transportvorrichtung 91 des Laserbearbeitungssystems ST durch eine Paletten-Transportvorrichtung 91A ersetzt. Die Paletten-Transportvorrichtung 91A umfasst eine Flüssigkeitsaufbringungsvorrichtung 6A, in der der Flüssigkeitsaufbringungsvorrichtung 6 der Paletten-Transportvorrichtung 91 eine obere Düseneinheit 62A mit einer oberen Düsengruppe 7A hinzugefügt ist. 9 ist eine perspektivische Ansicht, die eine schematische Konfiguration des Laserbearbeitungssystems STA zeigt. 10 ist eine schematische Darstellung des Leitungssystems der Flüssigkeitsaufbringungsvorrichtung 6A. 11 ist eine schematische Seitenansicht, die einen Sprühvorgang des Nebels ML auf die Bearbeitungspalette 2 durch die Flüssigkeitsaufbringungsvorrichtung 6A zeigt. 9 until 11 12 are diagrams showing a laser processing system STA that is a modified example of the laser processing system ST according to the embodiment described above. In the laser processing system STA, the pallet transport device 91 of the laser processing system ST has been replaced with a pallet transport device 91A. The pallet transport device 91A includes a liquid application device 6A in which the liquid application device 6 of the pallet transport device 91 is added with an upper nozzle unit 62A having an upper nozzle group 7A. 9 14 is a perspective view showing a schematic configuration of the laser processing system STA. 10 Fig. 12 is a schematic representation of the piping of the liquid application device 6A. 11 12 is a schematic side view showing a spraying operation of the mist ML onto the processing pallet 2 by the liquid application device 6A.

Wie in 9 gezeigt, ist die obere Düseneinheit 62A der Flüssigkeitsaufbringungsvorrichtung 6A an einer Position angeordnet, an der der Nebel ML von oben auf die Werkstückträgerelementgruppe 23G der Bearbeitungspalette 2 gesprüht werden kann, die zwischen dem oberen Halteteil 4c des Wechselrahmens 4 und der Hebeplatte 5 in der Mittelposition bewegt wird. Wie in 10 gezeigt, umfasst in Bezug auf die Konfiguration der Flüssigkeitsaufbringungsvorrichtung 6 die Flüssigkeitsaufbringungsvorrichtung 6A ein elektromagnetisches Zweiwege-Schaltventil 67, das in der Mitte des oberen Versorgungspfades 64 angeordnet ist, und einen oberen Versorgungszweigpfad 64A, der von dem elektromagnetischen Zweiwege-Schaltventil 67 abzweigt und mit der oberen Düsengruppe 7A von dem elektromagnetischen Zweiwege-Schaltventil 67 verbunden ist.As in 9 As shown, the upper nozzle unit 62A of the liquid application device 6A is arranged at a position where the mist ML can be sprayed from above onto the workpiece support member group 23G of the processing pallet 2 moving between the upper holding part 4c of the change frame 4 and the lifting plate 5 in the middle position becomes. As in 10 1, with respect to the configuration of the liquid application device 6, the liquid application device 6A comprises a two-way electromagnetic switching valve 67 arranged in the middle of the upper supply path 64, and an upper branch supply path 64A branched from the two-way electromagnetic switching valve 67 and connected to the upper nozzle group 7A from the two-way electromagnetic switching valve 67.

Die obere Düsengruppe 7A umfasst obere Düsen 71A bis 75A und elektromagnetische Ein-Aus-Ventile 761A bis 763A, die jeweils das Öffnen und Schließen der oberen Düsen 71A bis 75A durch drei Systeme steuern, die beispielsweise gleich ausgebildet sind. Der Betrieb des elektromagnetischen Zweiwege-Schaltventils 67 und der elektromagnetischen Ein-Aus-Ventile 761A bis 763A wird von der Steuereinheit 93 gesteuert.The upper nozzle group 7A includes upper nozzles 71A to 75A and electromagnetic on-off valves 761A to 763A which respectively control the opening and closing of the upper nozzles 71A to 75A by three systems which are, for example, the same. The operation of the two-way electromagnetic switching valve 67 and the on-off electromagnetic valves 761A to 763A is controlled by the control unit 93 .

Wie in 11 dargestellt, kann in der Paletten-Transportvorrichtung 91A der Nebel ML des Spritzfleck-Antihaftmittels von oben durch die obere Düsengruppe 7A auf die Werkstückträgerelementgruppe 23G aufgesprüht werden, wenn die Bearbeitungspalette 2, auf der nichts montiert ist, zwischen dem oberen Halteteil 4c des Wechselrahmens 4 und der Hebeplatte 5 bewegt wird. Je nach Betriebsart der Paletten-Transportvorrichtung kann der Transportschritt der Bearbeitungspalette 2 einen Schritt der Reinigung der Werkstückträgerelementgruppe 23G mit einer nicht abgebildeten Bürste durch Hin- und Herbewegen der Bearbeitungspalette 2 zwischen dem Wechselrahmen 4 und der Hebeplatte 5 umfassen. Wenn die Bearbeitungspalette 2 nach der Ausführung der Reinigung mit der Bürste bewegt wird, bewirkt die Steuereinheit 93, dass nur der obere Versorgungszweigpfad 64A durch das elektromagnetische Zweiwege-Schaltventil 67 in einen Einschaltzustand gebracht wird, so dass die Flüssigkeitsaufbringungsvorrichtung 6A betrieben wird, und steuert den Betrieb so, dass das Spritzfleck-Antihaftmittel auf die Werkstückträgerelementgruppe 23G aufgebracht wird. Dadurch ist es möglich, das Auftragen des Spritzfleck-Antihaftmittels auf die Werkstückträgerelementgruppe 23G zu automatisieren und zu verhindern, dass die Produktivität beeinträchtigt wird.As in 11 1, in the pallet transporting device 91A, the mist ML of the anti-spatter spray can be sprayed from above onto the workpiece support member group 23G through the upper nozzle group 7A when the machining pallet 2, on which nothing is mounted, is between the upper holding part 4c of the change frame 4 and of the lifting plate 5 is moved. Depending on the mode of operation of the pallet transfer device, the step of transporting the processing pallet 2 may include a step of cleaning the work-carrying member group 23G with an unillustrated brush by moving the processing pallet 2 back and forth between the change frame 4 and the lifting plate 5. When the processing pallet 2 is moved after the cleaning with the brush has been carried out, the control unit 93 causes only the upper supply branch path 64A to be brought into an ON state by the electromagnetic two-way switching valve 67 so that the liquid application device 6A is operated, and controls the Operation so that the spatter release agent is applied to the work-carrying member group 23G. Thereby, it is possible to automate the application of the anti-spatter agent to the work-carrying member group 23G and prevent the productivity from being impaired.

Die Laserbearbeitungssysteme ST und STA können die Flüssigkeit M auf jedes der Werkstückträgerelemente 23 der Werkstückträgerelementgruppe 23G auftragen, indem sie den Nebel ML mit dem auf der Werkstückträgerelementgruppe 23G befindlichen Material Wa von unten nach oben sprühen. Dadurch wird der Flüssigkeitsfilm auf der gesamten Fläche einschließlich der Randflächen 235 der Werkstückträgerelemente 23 ausreichend gebildet. Dies wird dadurch bewirkt, dass der Nebel ML in verschiedenen Richtungen gegen die Unterseite Wa2 prallt und von der Unterseite Wa2 Tropfen abtropfen, die an der Fläche des Werkstückträgerelements 23 haften bleiben. Bei den Laserbearbeitungssystemen ST und STA ist der Flüssigkeitsfilm, der sich durch das Auftragen der Flüssigkeit M bildet, gleichmäßiger und dicker als in dem Fall, in dem der Nebel ML von oben auf die Werkstückträgerelementgruppe 23G gesprüht wird, auf der nichts montiert ist. Ferner stößt bei den Laserbearbeitungssystemen ST und STA ein Teil (z.B. die Hälfte) der Paare der unteren Düsen 81a bis 88a und 81b bis 88b der unteren Düsengruppe 8 den Nebel ML schräg nach vorne und nach oben auf der Vorderseite in Fahrtrichtung der Bearbeitungspalette 2 aus, die in der Laserbearbeitungsvorrichtung 92 getragen wird, und der Rest davon stößt den Nebel ML schräg nach hinten und nach oben auf der Rückseite in deren Fahrtrichtung aus. Dadurch kann auf der gesamten Fläche einschließlich der Randflächen 235 der Werkstückträgerelemente 23 ein gleichmäßigerer Flüssigkeitsfilm gebildet werden.The laser processing systems ST and STA can apply the liquid M to each of the workpiece-carrying members 23 of the workpiece-carrying member group 23G by spraying the mist ML with the material Wa on the workpiece-carrying member group 23G from bottom to top. As a result, the liquid film is sufficiently formed on the entire surface including the edge surfaces 235 of the workpiece carrier elements 23 . This is caused by the mist ML hitting the underside Wa2 in different directions and droplets dripping from the underside Wa2, which stick to the surface of the workpiece carrier element 23. In the laser processing systems ST and STA, the liquid film formed by the application of the liquid M is smoother and thicker than the case where the mist ML is sprayed from above onto the work-carrying member group 23G on which nothing is mounted. Furthermore, in the laser processing systems ST and STA, a part (e.g. half) of the pairs of lower nozzles 81a to 88a and 81b to 88b of the lower nozzle group 8 ejects the mist ML obliquely forward and upward on the front in the direction of travel of the processing pallet 2, carried in the laser processing apparatus 92, and the rest of which ejects the mist ML obliquely rearward and upward at the rear in its traveling direction. As a result, a more uniform liquid film can be formed on the entire surface including the edge surfaces 235 of the workpiece carrier elements 23 .

Bei den Paletten-Transportvorrichtungen 91 und 91A sind die Anzahl der gleichzeitig transportierten Bearbeitungspaletten 2, die Übergabevorgänge von der Materialpalette 1 und dergleichen nicht auf die oben genannten Beschreibungen beschränkt. Es können beliebige Paletten-Transportvorrichtungen 91 und 91A verwendet werden, solange sie zumindest in der Lage sind, den Flüssigkeitsaufbringungsschritt auszuführen, wenn die Bearbeitungspalette 2, auf der das Material Wa vor der Bearbeitung angebracht wurde, von der Paletten-Transportvorrichtung 91 und 91A zur Laserbearbeitungsvorrichtung 92 bewegt wird. Darüber hinaus kann jede Paletten-Transportvorrichtung 91A verwendet werden, solange sie ferner in der Lage ist, den Flüssigkeitsaufbringungsschritt während des Ein-/Ausfahrvorgangs auszuführen, bei dem die Bearbeitungspalette 2 vorübergehend von der Transporthauptkörpereinheit 912 zur Hebeplatte 5 zurückgezogen wird.In the pallet transport devices 91 and 91A, the number of processing pallets 2 transported at a time, transfer operations from the material pallet 1, and the like are not limited to the above descriptions. Any pallet transport devices 91 and 91A can be used as long as they are at least capable of performing the liquid application step when the processing pallet 2 on which the material Wa has been mounted before processing is transferred from the pallet transport devices 91 and 91A to the laser processing device 92 is moved. In addition, any pallet transfer device 91A can be used as long as it is further capable of performing the liquid application step during the in/out operation in which the processing pallet 2 is temporarily retracted from the transfer main body unit 912 to the elevating plate 5 .

Die Flüssigkeit M, die auf die Werkstückträgerelementgruppe 23G und das Material Wa gesprüht wird, ist nicht auf das Spritzfleck-Antihaftmittel beschränkt.The liquid M sprayed onto the work-carrying member group 23G and the material Wa is not limited to the spatter-proofing agent.

Obwohl die Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung zuvor beschrieben wurden, schränken die zuvor beschriebenen Ausführungsformen die vorliegende Erfindung nicht ein. Der Fachmann kann verschiedene Modifikationen und Änderungen an den bestimmten Ausführungsformen vornehmen, ohne von der technischen Idee und dem technischen Umfang der vorliegenden Erfindung abzuweichen.Although the embodiments of the present invention have been described above, the embodiments described above do not limit the present invention. Those skilled in the art can make various modifications and changes to the specific embodiments without departing from the technical idea and scope of the present invention.

Der gesamte Inhalt der am 23. Juni 2020 eingereichten japanischen Patentanmeldung Nr. JP 2020 - 107 678 A ist hierin durch Bezugnahme aufgenommen.The entire contents of Japanese Patent Application No. JP 2020 - 107 678 A is incorporated herein by reference.

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Zitierte PatentliteraturPatent Literature Cited

  • JP 4562995 B2 [0003]JP 4562995 B2 [0003]
  • JP 2012086248 A [0003]JP 2012086248 A [0003]
  • JP 2020 [0078]JP 2020 [0078]
  • JP 107678 A [0078]JP 107678 A [0078]

Claims (8)

Laserbearbeitungssystem, umfassend: eine Laserbearbeitungsvorrichtung, die so konfiguriert ist, dass sie eine Laserbearbeitung an einem Material durchführt; eine Paletten-Transportvorrichtung, die so konfiguriert ist, dass sie eine Bearbeitungspalette mit einer Werkstückträgerelementgruppe, die eine Vielzahl von Werkstückträgerelementen enthält, zu der Laserbearbeitungsvorrichtung transportiert; und eine Flüssigkeitsaufbringungsvorrichtung mit einer unteren Düsengruppe zum Sprühen einer Flüssigkeit als Nebel von unten auf die von der Paletten-Transportvorrichtung zur Laserbearbeitungsvorrichtung transportierte Bearbeitungspalette.Laser processing system, comprising: a laser processing apparatus configured to perform laser processing on a material; a pallet transport device configured to transport a processing pallet having a work-support member group including a plurality of work-support members to the laser processing device; and a liquid application device having a lower nozzle group for spraying a liquid as a mist from below onto the processing pallet transported from the pallet transport device to the laser processing device. Laserbearbeitungssystem gemäß Anspruch 1, wobei die untere Düsengruppe eine Vielzahl von unteren Düsen umfasst, und die Vielzahl der unteren Düsen fächerförmige Düsen sind.Laser processing system according to claim 1 wherein the lower nozzle group includes a plurality of lower nozzles, and the plurality of lower nozzles are fan-shaped nozzles. Laserbearbeitungssystem gemäß Anspruch 2, wobei die mehreren unteren Düsen so konfiguriert sind, dass sie den Nebel in einem Zustand ausstoßen, in dem sie in einer Transportrichtung der Bearbeitungspalette zu der Laserbearbeitungsvorrichtung geneigt sind.Laser processing system according to claim 2 , wherein the plurality of lower nozzles are configured to eject the mist in a state of being inclined in a transporting direction of the processing pallet to the laser processing apparatus. Laserbearbeitungssystem gemäß Anspruch 3, wobei die mehreren unteren Düsen so konfiguriert sind, dass sie mehrere Sätze bilden, wobei die Sätze jeweils aus einem Paar von unteren Düsen bestehen, eine untere Düse des Paares den Nebel auf einer Vorderseite in einer Bewegungsrichtung der Transportrichtung ausstößt, und eine andere untere Düse des Paares den Nebel auf einer Rückseite in der Bewegungsrichtung der Transportrichtung ausstößt.Laser processing system according to claim 3 wherein the multiple lower nozzles are configured to form multiple sets, the sets each consisting of a pair of lower nozzles, one lower nozzle of the pair ejects the mist on a front side in a moving direction of the transporting direction, and another lower nozzle of the pair ejects the mist on a rear side in the moving direction of the transporting direction. Laserbearbeitungssystem gemäß einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei jedes der Vielzahl von Werkstückträgerelementen aufweist: einen Basisabschnitt, der eine Streifenform aufweist; und einen Stützabschnitt, der sich an einem oberen Kantenabschnitt des Basisabschnitts befindet, um das Material zu stützen, wobei der Stützabschnitt eine Vielzahl von nebeneinander angeordneten Stützelementen enthält, die jeweils die Form eines Dreiecks mit einer Spitze an einer Oberseite haben, und das Laserbearbeitungssystem die untere Düsengruppe veranlasst, die Flüssigkeit von unten als Nebel zu sprühen, so dass dieser auf eine Bodenfläche des auf der Werkstückträgerelementgruppe der Bearbeitungspalette montierten Materials auftrifft, und die Flüssigkeit mittels des Nebels der Flüssigkeit, der abprallt, wenn dieser auf die Bodenfläche trifft, auf Kantenflächen der Vielzahl der Stützelemente aufzubringen.Laser processing system according to one of Claims 1 until 4 wherein each of the plurality of workpiece support members includes: a base portion having a strip shape; and a support section located at an upper edge portion of the base section to support the material, the support section including a plurality of support members arranged side by side, each having the shape of a triangle with a vertex at an upper side, and the laser processing system the lower The nozzle group causes the liquid to be sprayed from below as a mist to hit a bottom surface of the material mounted on the workpiece support member group of the processing pallet, and the liquid to be sprayed on edge faces of the by the mist of the liquid bouncing when it hits the bottom face Apply variety of support elements. Laserbearbeitungssystem gemäß einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei die Flüssigkeit ein Spritzfleck-Antihaftmittel ist.Laser processing system according to one of Claims 1 until 5 , wherein the liquid is a splatter release agent. Laserbearbeitungssystem gemäß einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei die Flüssigkeitsaufbringungsvorrichtung eine obere Düsengruppe zum Sprühen der Flüssigkeit von oben als Nebel auf die Bearbeitungspalette und das auf der Bearbeitungspalette montierte Material aufweist.Laser processing system according to one of Claims 1 until 6 wherein the liquid application device has an upper nozzle group for spraying the liquid from above as a mist onto the processing pallet and the material mounted on the processing pallet. Verfahren zum Auftragen einer Flüssigkeit auf eine Bearbeitungspalette, umfassend: Transportieren einer Bearbeitungspalette mit einer Werkstückträgerelementgruppe mit einer Vielzahl von Werkstückträgerelementen in eine Laserbearbeitungsvorrichtung zusammen mit einem auf der Werkstückträgerelementgruppe montierten Material; und Sprühen einer Flüssigkeit von unten als Nebel auf die transportierte Bearbeitungspalette, so dass dieser auf eine Bodenfläche des Materials trifft, und Auftragen der Flüssigkeit auf nach oben weisende Kantenflächen der Werkstückträgerelemente mittels des Nebels der Flüssigkeit, der abprallt, wenn dieser auf die Bodenfläche trifft.A method of applying a liquid to a machining pallet, comprising: transporting a machining pallet having a work-carrying member group having a plurality of work-carrying members into a laser processing apparatus together with a material mounted on the work-carrying member group; and spraying a liquid from below as a mist onto the transported processing pallet to hit a bottom surface of the material, and Applying the liquid to the upward facing edge surfaces of the workpiece support members by means of the mist of the liquid rebounding as it hits the floor surface.
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