WO2021245918A1 - アライメント調整装置、及び電子デバイスの製造方法 - Google Patents

アライメント調整装置、及び電子デバイスの製造方法 Download PDF

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WO2021245918A1
WO2021245918A1 PCT/JP2020/022347 JP2020022347W WO2021245918A1 WO 2021245918 A1 WO2021245918 A1 WO 2021245918A1 JP 2020022347 W JP2020022347 W JP 2020022347W WO 2021245918 A1 WO2021245918 A1 WO 2021245918A1
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adjusting device
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expansion
alignment
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仁 大賀
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ギガフォトン株式会社
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    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
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    • G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
    • G02B7/182—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
    • G02B7/1821—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors for rotating or oscillating mirrors
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    • B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
    • B23K26/064—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms
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    • B23K26/08—Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
    • B23K26/10—Devices involving relative movement between laser beam and workpiece using a fixed support, i.e. involving moving the laser beam
    • G—PHYSICS
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    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
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    • B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/04—Automatically aligning, aiming or focusing the laser beam, e.g. using the back-scattered light
    • B23K26/042—Automatically aligning the laser beam
    • B23K26/043—Automatically aligning the laser beam along the beam path, i.e. alignment of laser beam axis relative to laser beam apparatus

Definitions

  • This disclosure relates to an alignment adjusting device and a method for manufacturing an electronic device.
  • a KrF excimer laser apparatus that outputs a laser beam having a wavelength of about 248 nm and an ArF excimer laser apparatus that outputs a laser beam having a wavelength of about 193 nm are used.
  • the spectral line width of the naturally oscillated light of the KrF excimer laser device and the ArF excimer laser device is as wide as 350 to 400 pm. Therefore, if the projection lens is made of a material that transmits ultraviolet rays such as KrF and ArF laser light, chromatic aberration may occur. As a result, the resolving power may decrease. Therefore, it is necessary to narrow the spectral line width of the laser beam output from the gas laser apparatus to a extent that chromatic aberration can be ignored.
  • the laser resonator of the gas laser apparatus is provided with a narrow band module (Line Narrow Module: LNM) including a narrow band element (etalon, grating, etc.) in order to narrow the spectral line width.
  • LNM Line Narrow Module
  • the gas laser device in which the spectral line width is narrowed is referred to as a narrow band gas laser device.
  • the alignment adjusting device includes a first holder of a first material for supporting an optical element and a first expansion / contraction part of a second material different from the first material.
  • a first adjusting device that rotates the first holder and the optical element around the first axis by bringing the telescopic portion of the first holder into contact with the first holder and adjusting the length of the first telescopic portion.
  • a first support member of a second material that supports the first adjustment device, and the first adjustment device includes a first end portion of the first support member and a first shaft. The position where the first telescopic portion and the first holder come into contact with each other can be adjusted on the plane of 1.
  • An alignment adjusting device includes a first holder of a first material that supports an optical element and a first stretchable portion of a second material that is different from the first material.
  • a first adjusting device that rotates the first holder and the optical element around the first axis by bringing the first telescopic portion into contact with the first holder and adjusting the length of the first telescopic portion.
  • the first support member of the second material that supports the first adjusting device, the first holder is supported by the first shaft, and the first support member is the first of the first support member.
  • the length of the second stretchable portion includes a second holder of the first material supported at the end and a second stretchable portion of the second material, and the second stretchable portion is brought into contact with the second holder.
  • the length By adjusting the length, it supports a second adjusting device that rotates the second holder, the first holder, and the optical element around the second axis that intersects the first axis, and the second adjusting device.
  • the first end is located on a fifth plane comprising a second support member of the second material and including the first shaft and the second shaft.
  • a method of manufacturing an electronic device includes a first holder of a first material that supports an optical element and a first stretchable portion of a second material that is different from the first material.
  • a first adjusting device that rotates the first holder and the optical element around the first axis by bringing the first telescopic portion into contact with the first holder and adjusting the length of the first telescopic portion.
  • a first support member of a second material that supports the first adjustment device, and the first adjustment device has a first end portion and a first shaft of the first support member.
  • a pulsed laser beam is generated by a laser device including an alignment adjusting device configured to be able to adjust the position where the first telescopic portion and the first holder come into contact with each other on the first plane including the pulsed laser beam, and the pulsed laser beam is exposed.
  • a laser device including an alignment adjusting device configured to be able to adjust the position where the first telescopic portion and the first holder come into contact with each other on the first plane including the pulsed laser beam, and the pulsed laser beam is exposed.
  • FIG. 1 schematically shows the configuration of a laser device according to a comparative example.
  • FIG. 2A schematically shows an alignment adjusting device according to a comparative example.
  • FIG. 2B is a cross-sectional view taken along the line IIB-IIB of FIG. 2A.
  • FIG. 2C is a cross-sectional view taken along the line IIC-IIC of FIG. 2A.
  • FIG. 2D is a cross-sectional view taken along the IID-IID line of FIG. 2A.
  • FIG. 2E is a cross-sectional view showing a portion corresponding to FIG. 2B when the second holder is rotated in the comparative example.
  • FIG. 1 schematically shows the configuration of a laser device according to a comparative example.
  • FIG. 2A schematically shows an alignment adjusting device according to a comparative example.
  • FIG. 2B is a cross-sectional view taken along the line IIB-IIB of FIG. 2A.
  • FIG. 2C is a
  • FIG. 2F is a cross-sectional view showing a portion corresponding to FIG. 2D when the first holder is rotated in the comparative example.
  • FIG. 3A schematically shows an alignment adjusting device according to the first embodiment.
  • FIG. 3B is a cross-sectional view taken along the line IIIB-IIIB of FIG. 3A.
  • FIG. 3C is a cross-sectional view taken along the line IIIC-IIIC of FIG. 3A.
  • FIG. 3D is a cross-sectional view taken along the line IIID-IIID of FIG. 3A.
  • FIG. 4A schematically shows an alignment adjusting device according to a second embodiment.
  • FIG. 4B is a cross-sectional view taken along the line IVB-IVB of FIG. 4A.
  • FIG. 4C is a cross-sectional view taken along the line IVC-IVC of FIG. 4A.
  • FIG. 4D is a cross-sectional view taken along the line IVD-IVD of FIG. 4A.
  • FIG. 4E is a diagram showing the positional relationship between the second telescopic portion and the second axis in the adjusted state in the first embodiment.
  • FIG. 4F is a diagram showing the positional relationship between the second telescopic portion and the second axis in the adjusted state in the second embodiment.
  • FIG. 5 schematically shows the configuration of an exposure apparatus connected to a laser apparatus.
  • Alignment adjustment device including a support member made of the same material as the telescopic part 2.1 Configuration and operation 2.1.1 Second holder 22a and first support member 21a 2.1.2 Third holder 33a and second support member 32a 2.2 Other configuration examples 2.3 Action 3. Alignment adjustment device in which the second plane P2 is perpendicular to the first plane P1 3.1 Configuration and operation 3.1.1 Second holder 22b and first support member 21b 3.1.2 Third holder 33b and second support member 32b 3.2 Other configuration examples 3.3 Action 4. others
  • FIG. 1 schematically shows the configuration of the laser device 1 according to the comparative example.
  • the laser device 1 according to the comparative example includes a master oscillator MO, a first beam steering unit 76, an amplifier PO, a second beam steering unit 86, and an optical pulse stretcher 89.
  • the master oscillator MO includes a laser chamber 70, a narrow band module 74, and an output coupling mirror 75.
  • the laser chamber 70 is arranged in the optical path of the laser resonator composed of the narrow band module 74 and the output coupling mirror 75.
  • the laser chamber 70 is provided with two windows 701 and 702.
  • the laser chamber 70 houses the discharge electrodes 711 and 712.
  • the discharge electrodes 711 and 712 are connected to a pulse power supply (not shown).
  • the laser chamber 70 accommodates a laser gas as a laser medium.
  • the laser gas includes, for example, argon gas, fluorine gas, and neon gas.
  • the laser gas includes, for example, krypton gas, fluorine gas, and neon gas.
  • the narrow band module 74 includes a wavelength selection element such as a prism 741 and a grating 742.
  • the output coupling mirror 75 is composed of a partial reflection mirror.
  • the first beam steering unit 76 includes high reflection mirrors 761 and 762.
  • the high reflection mirrors 761 and 762 are supported by the alignment adjusters 766 and 767, respectively.
  • the amplifier PO includes a laser chamber 80, a rear mirror 84, and an output coupling mirror 85.
  • the laser chamber 80, the output coupling mirror 85, and the windows 801 and 802 associated with the laser chamber 80, the discharge electrodes 811 and 812, are the same as the corresponding components in the master oscillator MO.
  • the rear mirror 84 is arranged in the optical path of the pulsed laser beam that has passed through the first beam steering unit 76.
  • the rear mirror 84 is composed of a partially reflective mirror.
  • a laser cavity is configured by the rear mirror 84 and the output coupling mirror 85.
  • the second beam steering unit 86 includes high reflection mirrors 861 and 862.
  • the high reflection mirrors 861 and 862 are supported by the alignment adjusters 866 and 867, respectively.
  • the optical pulse stretcher 89 is arranged in the optical path of the pulsed laser beam that has passed through the second beam steering unit 86.
  • the optical pulse stretcher 89 includes a beam splitter 895 and first to fourth concave mirrors 891 to 894.
  • the first to fourth concave mirrors 891 to 894 are supported by the alignment adjusting devices 896 to 899, respectively.
  • a pulse power supply (not shown) generates a pulsed high voltage, and this high voltage is applied between the discharge electrodes 711 and 712. do.
  • a discharge occurs between the discharge electrodes 711 and 712. The energy of this discharge excites the laser gas in the laser chamber 70 and shifts to a high energy level.
  • the excited laser gas subsequently shifts to a low energy level, it emits light having a wavelength corresponding to the energy level difference.
  • the light generated in the laser chamber 70 is emitted to the outside of the laser chamber 70 through the windows 701 and 702.
  • the light emitted from the window 701 has a beam width expanded by the prism 741 and is incident on the grating 742.
  • the light incident on the grating 742 from the prism 741 is reflected by the plurality of grooves of the grating 742 and diffracted in a direction corresponding to the wavelength of the light.
  • the grating 742 is arranged in a retrow so that the incident angle of the light incident on the grating 742 from the prism 741 and the diffraction angle of the diffracted light having a desired wavelength match. As a result, light near the desired wavelength is returned to the laser chamber 70 via the prism 741.
  • the output coupling mirror 75 transmits a part of the light emitted from the window 702 and outputs the light, reflects the other part, and returns the light to the laser chamber 70.
  • the light emitted from the laser chamber 70 reciprocates between the narrow band module 74 and the output coupling mirror 75.
  • This light is amplified each time it passes through the discharge space between the discharge electrodes 711 and 712. Further, the light is narrowed each time it is folded back by the narrow band module 74.
  • the light oscillated by the laser in this way and the band is narrowed is output as pulse laser light from the output coupling mirror 75.
  • the pulsed laser light output from the output coupling mirror 75 is incident on the laser chamber 80 via the first beam steering unit 76 and the rear mirror 84.
  • a pulsed power supply (not shown) produces a pulsed high voltage, which is applied between the discharge electrodes 811 and 812.
  • a discharge occurs between the discharge electrodes 811 and 812. The energy of this discharge amplifies the pulsed laser light incident on the laser chamber 80.
  • the light amplified in the laser chamber 80 reciprocates between the rear mirror 84 and the output coupling mirror 85. This light is amplified each time it passes through the discharge space between the discharge electrodes 811 and 812. The light amplified in this way is output as pulsed laser light from the output coupling mirror 85.
  • the pulsed laser beam output from the output coupling mirror 85 is directed to the right in FIG. 1 to the beam splitter 895 of the optical pulse stretcher 89 via the second beam steering unit 86.
  • the beam splitter 895 transmits a part of the pulsed laser light incident on the right side in FIG. 1 and emits it as the pulsed laser light B1, and reflects the other part downward in FIG. 1.
  • the reflected pulse laser light is sequentially reflected by the first to fourth concave mirrors 891 to 894, and is incident on the beam splitter 895 downward in FIG. 1.
  • the beam cross section of the pulse laser beam incident from the second beam steering unit 86 in the beam splitter 895 is imaged on the beam splitter 895 with a size of 1: 1 by the first to fourth concave mirrors 891 to 894.
  • the beam splitter 895 reflects a part of the pulse laser light incident downward in FIG. 1 from the fourth concave mirror 894 to the right in FIG. 1 and emits it as the pulse laser light B2.
  • the pulse laser beam B1 and the pulse laser beam B2 are substantially coaxial with each other.
  • FIG. 2A schematically shows an alignment adjusting device according to a comparative example.
  • the horizontal axis is the H axis
  • the vertical axis is the V axis
  • the axis perpendicular to the paper surface is the Z axis.
  • the H-axis, V-axis, and Z-axis are orthogonal to each other.
  • 2B is a sectional view taken along line IIB-IIB of FIG. 2A
  • FIG. 2C is a sectional view taken along line IIC-IIC of FIG. 2A
  • FIG. 2D is a sectional view taken along line IID-IID of FIG. 2A. ..
  • the alignment adjusting device is a device that supports the optical element and adjusts the posture of the optical element.
  • the mirror 10 is used as an example of the optical element.
  • Examples of the mirror 10 include high reflection mirrors 761, 762, 861, 862, and first to fourth concave mirrors 891 to 894 described with reference to FIG. 1.
  • the alignment adjusting device includes a first holder 11, a second holder 22, a third holder 33, a first adjusting device 41, and a second adjusting device 52.
  • the first holder 11 surrounds the mirror 10 and contacts the mirror 10 to support the mirror 10. However, the first holder 11 does not cover the reflective surface 101, which is the surface on the + Z side of the mirror 10.
  • the second holder 22 surrounds the first holder 11 and supports the first holder 11 at a distance from the first holder 11.
  • the second holder 22 supports the first holder 11 by pins 16 and 17, and the first holder 11 is rotatable around the first axis AX1 defined by pins 16 and 17. ing.
  • the first axis AX1 is a straight line connecting the centers of pins 16 and 17, respectively.
  • the second holder 22 does not cover the reflective surface 101 of the mirror 10. Further, the second holder 22 has an opening 25.
  • the reason why the second holder 22 has the opening 25 is as follows. Most of the light incident on the reflection surface 101 of the mirror 10 is reflected by the mirror 10, but some of the light is transmitted through the mirror 10. When the light transmitted through the mirror 10 is incident on the second holder 22, the temperature of the second holder 22 rises, and the second holder 22 thermally expands, so that the posture of the mirror 10 may change unintentionally. be. By providing the opening 25 so that the light transmitted through the mirror 10 can pass through, the thermal expansion of the second holder 22 can be suppressed.
  • the heat of the mirror 10 can be dissipated to the back surface side opposite to the reflection surface 101 of the mirror 10 through the opening 25.
  • the second holder 22 but also the first holder 11 may be provided with an opening (not shown) smaller than the diameter of the mirror 10 at a position on the back surface side of the mirror 10.
  • the third holder 33 surrounds the second holder 22 and supports the second holder 22 at a distance from the second holder 22.
  • the third holder 33 supports the second holder 22 by pins 26 and 27, and the second holder 22 is rotatable around the second axis AX2 defined by pins 26 and 27. ing.
  • the second axis AX2 is a straight line connecting the centers of pins 26 and 27, and the second axis AX2 is parallel to the H axis.
  • the first axis AX1 and the second axis AX2 are orthogonal to each other at a position substantially at the center of the reflection surface 101 of the mirror 10.
  • the plane including the first axis AX1 and the second axis AX2 is referred to as a fifth plane P5.
  • the third holder 33 does not cover the reflective surface 101 of the mirror 10. Further, the third holder 33 has an opening 35. The reason why the third holder 33 has the opening 35 is the same as described with respect to the opening 25.
  • the first, second, and third holders 11, 22, and 33 are made of, for example, aluminum. Aluminum corresponds to the first material in the present disclosure.
  • the first adjusting device 41 is supported by the second holder 22.
  • the first adjusting device 41 includes a driving unit 410 and a first expanding / contracting unit 411.
  • the drive unit 410 is fixed to the surface 228 on the ⁇ Z side of the second holder 22.
  • the first telescopic portion 411 is a rod-shaped member and penetrates the second holder 22.
  • the end 419 of the first telescopic portion 411 is located outside the drive unit 410, and the opposite end of the first telescopic portion 411 (not shown) is housed in the drive unit 410.
  • the length of the portion of the first telescopic portion 411 located outside the drive portion 410 is expanded and contracted.
  • the expansion / contraction of the length of the portion of the first expansion / contraction portion 411 located outside the drive portion 410 may be referred to as “the first expansion / contraction portion 411 expands / contracts”.
  • Expansion and contraction includes expansion and contraction.
  • the X direction in which the first expansion / contraction portion 411 extends is perpendicular to the fifth plane P5.
  • the end portion 419 of the first expansion / contraction portion 411 is in contact with the first holder 11 at a position on the + H side of the first shaft AX1.
  • the spring 45 is arranged in an extended state in the vicinity of the first expansion / contraction portion 411.
  • a spring (not shown) may be arranged in a compressed state between the first holder 11 and the second holder 22 at a position on the ⁇ H side of the first shaft AX1.
  • a spring (not shown) may be arranged on the + Z side surface of the first holder 11.
  • the second adjusting device 52 is supported by the third holder 33.
  • the second adjusting device 52 includes a driving unit 520 and a second telescopic unit 522.
  • the drive unit 520 is fixed to the surface 338 on the ⁇ Z side of the third holder 33.
  • the second telescopic portion 522 is a rod-shaped member and penetrates the third holder 33.
  • the end portion 529 of the second telescopic portion 522 is located outside the drive portion 520, and the opposite end portion of the second telescopic portion 522 (not shown) is housed in the drive portion 520.
  • the length of the portion of the second expansion / contraction portion 522 located outside the drive unit 520 expands and contracts.
  • the expansion / contraction of the length of the portion of the second expansion / contraction portion 522 located outside the drive portion 520 may be referred to as “the second expansion / contraction portion 522 expands / contracts”.
  • the direction in which the second expansion / contraction portion 522 extends is the + Z direction.
  • the end portion 529 of the second telescopic portion 522 is in contact with the second holder 22 at a position on the + V side of the second shaft AX2.
  • the end portion 529 of the second telescopic portion 522 is located on the fifth plane P5.
  • the spring 55 is arranged in an extended state in the vicinity of the second expansion / contraction portion 522.
  • a spring (not shown) may be arranged in a compressed state between the second holder 22 and the third holder 33 at a position on the ⁇ V side of the second shaft AX2.
  • a spring (not shown) may be arranged on the + Z side surface of the second holder 22.
  • Each of the first adjusting device 41 and the second adjusting device 52 is composed of, for example, a micrometer.
  • the first telescopic portion 411 and the second telescopic portion 522 are made of, for example, stainless steel (SUS).
  • Stainless steel corresponds to the second material in the present disclosure.
  • the second material, such as stainless steel has a smaller coefficient of thermal expansion than the first material, such as aluminum.
  • the first material, such as aluminum has a lower specific density than the second material, such as stainless steel.
  • FIG. 2E is a cross-sectional view showing a portion corresponding to FIG. 2B when the second holder 22 is rotated in the comparative example.
  • FIG. 2F is a cross-sectional view showing a portion corresponding to FIG. 2D when the first holder 11 is rotated in the comparative example.
  • 1.4.1 Rotation of the first holder 11 When the first expansion / contraction portion 411 is extended by the driving unit 410, a part of the first holder 11 is pushed by the first expansion / contraction portion 411, so that the first expansion / contraction portion 411 is first. The holder 11 rotates about the first axis AX1 with respect to the second holder 22.
  • the first holder 11 and the mirror 10 are attached to the first axis AX1. Rotate around.
  • the state in which the end portion 419 of the first expansion / contraction portion 411 is located on the fifth plane P5 may be referred to as an “unadjusted state” in the following description.
  • the state in which the end portion 419 of the first expansion / contraction portion 411 is located other than the fifth plane P5 due to the expansion / contraction of the first expansion / contraction portion 411 is described as “adjustment state” in the following description. ".
  • the state in which the fifth plane P5 is perpendicular to the + Z direction in which the second expansion / contraction portion 522 extends is referred to as an “unadjusted state” in the following description.
  • the first axis AX1 when the second expansion / contraction portion 522 is in the unadjusted state is parallel to the V axis.
  • the state in which the fifth plane P5 is tilted with respect to the + Z direction in which the second expansion / contraction portion 522 extends due to the expansion / contraction of the second expansion / contraction portion 522 is "adjusted" in the following description. Sometimes called "state".
  • the first holder 11 rotates around the first axis AX1 with respect to the second holder 22, and the second holder 22 is second with respect to the third holder 33. It can rotate around the axis AX2 of.
  • the mirror 10 can be rotated around two axes orthogonal to each other to adjust its posture, and the rotation angle around those axes can be adjusted independently.
  • the first telescopic portion 411 and the second telescopic portion 522 not only come into contact with the first holder 11 and the second holder 22, respectively, but are also hooked on the first holder 11 and the second holder 22, respectively. It may be configured in. In that case, when the first expansion / contraction portion 411 and the second expansion / contraction portion 522 contract, the first holder 11 and the second holder 22 may rotate by being pulled by each of the springs 45 and 55. May not be provided.
  • the distance in the Z direction from the ⁇ Z side surface 228 of the second holder 22 to which the drive unit 410 is fixed to the fifth plane P5 depends on the coefficient of thermal expansion and the temperature of the second holder 22.
  • the Z-direction distance from the surface 228 to the end 419 of the first stretch 411 depends on the coefficient of thermal expansion and temperature of the first stretch 411.
  • the second holder 22 and the third holder 33 are made of the same second material as the first expansion / contraction portion 411 and the second expansion / contraction portion 522, among these members. Since the coefficient of thermal expansion, thermal conductivity, and specific heat are the same, the above problem is alleviated. However, when the specific gravity of the second material is large, the second holder 22 or the like becomes heavy, which may make high-speed attitude control difficult.
  • the first support member 21a or 21b that supports the first adjuster 41 is placed in the second holder 22a or 22b and with the first support member 21a or 21b.
  • the first expansion / contraction portion 411 is made of the same material.
  • a second support member 32a or 32b that supports the second adjusting device 52 is arranged in the third holder 33a or 33b, and the second support member 32a or 32b and the second telescopic portion 522 are made of the same material. It is composed of.
  • FIG. 3A schematically shows an alignment adjusting device according to the first embodiment.
  • 3B is a sectional view taken along line IIIB-IIIB of FIG. 3A
  • FIG. 3C is a sectional view taken along line IIIC-IIIC of FIG. 3A
  • FIG. 3D is a sectional view taken along line IIID-IIID of FIG. 3A. ..
  • the alignment adjusting device according to the first embodiment includes a second holder 22a and a first support member 21a instead of the second holder 22 in the comparative example.
  • the shape of the combination of the second holder 22a and the first support member 21a substantially corresponds to the shape of the second holder 22 in the comparative example.
  • the second holder 22a supports the first holder 11 on the first shaft AX1 and also supports the first support member 21a on the + Z side first end portion 211 of the first support member 21a. ing.
  • the second holder 22a is made of a first material such as aluminum.
  • the first support member 21a is fixed to the second holder 22a by a bolt (not shown) penetrating the first end 211.
  • the first support member 21a supports the first adjusting device 41.
  • the drive unit 410 included in the first adjusting device 41 is fixed to the surface 218 on the ⁇ Z side of the first support member 21a.
  • the first end 211 of the first support member 21a is located on the fifth plane P5.
  • the first plane P1 including the first end portion 211 and the first axis AX1 coincides with the fifth plane P5.
  • the first plane P1 is perpendicular to the X direction in which the first expansion / contraction portion 411 extends.
  • the end portion 419 of the first expansion / contraction portion 411 in the unadjusted state is located not only on the fifth plane P5 but also on the first plane P1. Therefore, the distance in the Z direction from the ⁇ Z side surface 218 of the first support member 21a to which the drive unit 410 is fixed to the end 419 of the first expansion / contraction portion 411 in the unadjusted state, and the distance from the surface 218 to the first surface 218.
  • the distance in the Z direction to the first end portion 211 of the support member 21a of the above is substantially equal.
  • the first support member 21a is made of the same second material as the first expansion / contraction portion 411, and is made of, for example, stainless steel. According to this, even if the temperature of the first support member 21a and the first expansion / contraction portion 411 changes, the length of the first support member 21a in the Z direction and the length of the first expansion / contraction portion 411 in the Z direction Changes by about the same amount. Therefore, the positional relationship between the end portion 419 of the first expansion / contraction portion 411 and the fifth plane P5 in the unadjusted state can be stabilized.
  • the position of the end portion 419 where the first expansion / contraction portion 411 and the first holder 11 come into contact with each other in the unadjusted state coincides with the first plane P1 has been described, but the present disclosure is limited to this. Not done. It suffices if the position of the end portion 419 where the first expansion / contraction portion 411 and the first holder 11 come into contact can be adjusted to the first plane P1. Adjustable means that a part of the first plane P1 is included in the movable range of the position of the end portion 419 where the first telescopic portion 411 and the first holder 11 come into contact with each other. ..
  • the alignment adjusting device according to the first embodiment includes a third holder 33a and a second support member 32a instead of the third holder 33 in the comparative example.
  • the shape of the combination of the third holder 33a and the second support member 32a substantially corresponds to the shape of the third holder 33 in the comparative example.
  • the third holder 33a supports the second holder 22a on the second shaft AX2, and also supports the second support member 32a on the + Z side third end portion 323 of the second support member 32a (FIG. 3C). See).
  • the third holder 33a is made of a first material such as aluminum.
  • the second support member 32a is fixed to the third holder 33a by a bolt 326 penetrating the third end 323.
  • the second support member 32a supports the second adjusting device 52.
  • the drive unit 520 included in the second adjusting device 52 is fixed to the surface 328 on the ⁇ Z side of the second support member 32a.
  • the third plane P3 including the third end portion 323 of the second support member 32a and the second axis AX2 is perpendicular to the + Z direction in which the second telescopic portion 522 extends.
  • the third end 323 is located on the fifth plane P5 in the unadjusted state. That is, the third plane P3 coincides with the fifth plane P5 in the unadjusted state.
  • the end portion 529 of the second telescopic portion 522 is located on the fifth plane P5. That is, the second expansion / contraction portion 522 comes into contact with the second holder 22a on the fifth plane P5. Further, the position where the end portion 529 of the second expansion / contraction portion 522 and the second holder 22a come into contact with each other in the unadjusted state coincides with the third plane P3. Therefore, the distance in the Z direction from the ⁇ Z side surface 328 of the second support member 32a to which the drive unit 520 is fixed to the end portion 529 of the second expansion / contraction portion 522 in the unadjusted state, and the distance from the surface 328 to the second surface 328. The distance in the Z direction to the third end 323 of the support member 32a is almost equal.
  • the second support member 32a is made of the same second material as the second expansion / contraction portion 522, and is made of, for example, stainless steel. According to this, even if the temperature of the second expansion / contraction portion 522 and the second support member 32a changes, the length of the second expansion / contraction portion 522 in the Z direction and the length of the second support member 32a in the Z direction Changes by about the same amount. Therefore, the inclination of the fifth plane P5 with respect to the + Z direction in which the second expansion / contraction portion 522 extends can be stabilized.
  • the posture of the mirror 10 is adjusted by two axes orthogonal to each other, but the present disclosure is not limited to this.
  • the rotating shaft may be only the first shaft AX1, and the third holder 33a, the second support member 32a, and the second adjusting device 52 may not be provided.
  • the alignment adjusting device includes a first holder 11, a first adjusting device 41, and a first support member 21a.
  • the first holder 11 is made of a first material such as aluminum and supports the mirror 10.
  • the first adjusting device 41 includes a first telescopic portion 411 made of a second material such as stainless steel different from the first material.
  • the first adjusting device 41 brings the first holder 11 and the mirror 10 into the first position by bringing the first telescopic portion 411 into contact with the first holder 11 and adjusting the length of the first telescopic portion 411. Rotate around the axis AX1 of.
  • the first support member 21a is made of a second material and supports the first adjusting device 41.
  • the first adjusting device 41 has a first telescopic portion 411 and a first holder 11 on a first plane P1 including a first end portion 211 and a first shaft AX1 of the first support member 21a. Is configured to be adjustable in the contact position.
  • the distance in the Z direction from the surface 218 on the ⁇ Z side of the first support member 21a to the first end portion 211, and the distance from the surface 218 to the first expansion / contraction portion 411 and the first holder 11 can be adjusted to be equal. Since the first support member 21a and the first expansion / contraction portion 411 are both made of the second material and have the same coefficient of thermal expansion, the temperature of the first support member 21a and the first expansion / contraction portion 411 is high. Even if it changes, the length of the first support member 21a in the Z direction and the length of the first expansion / contraction portion 411 in the Z direction change by almost the same amount.
  • the positional relationship between the end portion 419 of the first expansion / contraction portion 411 and the fifth plane P5 changes separately from the adjustment by the drive portion 410. Further, since the first support member 21a and the first expansion / contraction portion 411 have the same thermal conductivity and specific heat, the temperature difference between the first support member 21a and the first expansion / contraction portion 411 is suppressed. Therefore, the change in the positional relationship between the end portion 419 of the first expansion / contraction portion 411 and the fifth plane P5 is suppressed.
  • the alignment adjusting device is made of a first material that supports the first holder 11 on the first shaft AX1 and the first support member 21a on the first end portion 211.
  • a second holder 22a is further included. According to this, the first holder 11 is supported by the first shaft AX1, and the first support member 21a that supports the first adjusting device 41 is supported by the first end portion 211. , Made by a common second holder 22a. Therefore, the posture of the mirror 10 can be more stabilized.
  • the second material has a smaller coefficient of thermal expansion than the first material.
  • the first expansion / contraction portion 411 and the first support member 21a are made of a material having a small coefficient of thermal expansion, and the posture of the first holder 11 can be more stabilized.
  • the first material has a lower specific density than the second material.
  • the first holder 11 or both the first holder 11 and the second holder 22a are made of a material having a small specific gravity, which may enable high-speed attitude control.
  • the alignment adjusting device further includes a second adjusting device 52 and a second support member 32a.
  • the second adjusting device 52 includes a second expansion / contraction portion 522 made of a second material, and brings the second expansion / contraction portion 522 into contact with the second holder 22a to adjust the length of the second expansion / contraction portion 522.
  • This causes the second holder 22a, the first holder 11 and the mirror 10 to rotate around a second axis AX2 that is different from the first axis AX1.
  • the second support member 32a is made of a second material and supports the second adjusting device 52. According to this, the posture of the mirror 10 can be adjusted not only on the first axis AX1 but also on the second axis AX2.
  • the second adjusting device 52 has a second expansion and contraction on a third plane P3 including a third end portion 323 of the second support member 32a and a second axis AX2.
  • the position where the portion 522 and the second holder 22a come into contact with each other can be adjusted.
  • the distance in the Z direction from the surface 328 on the ⁇ Z side of the second support member 32a to the third end 323, and the distance from the surface 328 to the second telescopic portion 522 and the second holder 22a The distance in the Z direction to the contacting end 529 can be adjusted to be equal.
  • the second support member 32a and the second expansion / contraction portion 522 are both made of the second material and have the same coefficient of thermal expansion, the temperature of the second support member 32a and the second expansion / contraction portion 522 is high. Even if it changes, the length of the second support member 32a in the Z direction and the length of the second telescopic portion 522 in the Z direction change by almost the same amount. Therefore, it is suppressed that the inclination of the fifth plane P5 with respect to the + Z direction in which the second expansion / contraction portion 522 extends is changed separately from the adjustment by the drive portion 520.
  • the second support member 32a and the second expansion / contraction portion 522 have the same thermal conductivity and specific heat, the temperature difference between the second support member 32a and the second expansion / contraction portion 522 is suppressed. Therefore, the change in the inclination of the fifth plane P5 with respect to the + Z direction in which the second expansion / contraction portion 522 extends is suppressed.
  • the alignment adjusting device is made of a first material that supports the second holder 22a on the second shaft AX2 and the second support member 32a on the third end portion 323.
  • a third holder 33a is further included.
  • the second holder 22a is supported by the second shaft AX2, and the second support member 32a that supports the second adjusting device 52 is supported by the third end portion 323.
  • the first axis AX1 and the second axis AX2 intersect with each other, and the first is formed on a fifth plane P5 including the first axis AX1 and the second axis AX2.
  • the first end 211 of the support member 21a of the above is located. According to this, since the first support member 21a is arranged with reference to the fifth plane P5 defined by the first and second axes AX1 and AX2, the posture of the mirror 10 can be stabilized.
  • the first plane P1 including the first end portion 211 and the first axis AX1 is perpendicular to the X direction in which the first telescopic portion 411 extends. According to this, when the end portion 419 in which the first expansion / contraction portion 411 and the first holder 11 come into contact with each other is located on the first plane P1, the force for rotating the first holder 11 is efficiently applied. Can be made to.
  • the second telescopic portion 522 comes into contact with the second holder 22a on the fifth plane P5. According to this, since the posture of the second holder 22a is adjusted with reference to the fifth plane P5 defined by the first and second axes AX1 and AX2, the posture of the mirror 10 can be stabilized.
  • the third plane P3 including the third end portion 323 of the second support member 32a and the second axis AX2 is in the + Z direction in which the second expansion / contraction portion 522 extends. It is vertical. According to this, when the end portion 529 where the second telescopic portion 522 and the second holder 22a come into contact with each other is located on the third plane P3, the force for rotating the second holder 22a is efficiently applied. Can be made to. In other respects, the first embodiment is the same as the comparative example.
  • FIG. 4A schematically shows the alignment adjusting device according to the second embodiment.
  • 4B is a cross-sectional view taken along the IVB-IVB line of FIG. 4A
  • FIG. 4C is a cross-sectional view taken along the IVC-IVC line of FIG. 4A
  • FIG. 4D is a cross-sectional view taken along the IVD-IVD line of FIG. 4A. ..
  • the alignment adjusting device includes a second holder 22b and a first support member 21b in place of the second holder 22a and the first support member 21a in the first embodiment.
  • the shape in which the second holder 22b and the first support member 21b are combined substantially corresponds to the shape in which the second holder 22a and the first support member 21a are combined in the first embodiment.
  • the second holder 22b supports the first holder 11 on the first shaft AX1, and also supports the first support member 21b with the first end portion 211 and the first end portion 211 on the + Z side of the first support member 21b. It is supported by the second end portion 212 on the ⁇ H side of the support member 21b of the above.
  • the first support member 21b is fixed to the second holder 22b by a bolt (not shown) penetrating the first end 211 and a bolt (not shown) penetrating the second end 212.
  • the second plane P2 including the second end 212 and the first axis AX1 becomes a first plane P1 containing the first end 211 and the first axis AX1 of the first support member 21b. It is vertical.
  • the second plane P2 is also perpendicular to the fifth plane P5 including the first axis AX1 and the second axis AX2.
  • the alignment adjusting device according to the second embodiment includes a third holder 33b and a second support member 32b instead of the third holder 33a and the second support member 32a in the first embodiment.
  • the shape in which the third holder 33b and the second support member 32b are combined substantially corresponds to the shape in which the third holder 33a and the second support member 32a are combined in the first embodiment.
  • the third holder 33b supports the second holder 22b on the second shaft AX2, and also supports the second support member 32b with the third end portion 323 and the second end portion 323 on the + Z side of the second support member 32b. It is supported by the fourth end portion 324 on the ⁇ V side of the support member 32b of the above.
  • the second support member 32b is fixed to the third holder 33b by a bolt 326 penetrating the third end 323 and a bolt 327 penetrating the fourth end 324.
  • the fourth plane P4 including the fourth end 324 and the second axis AX2 becomes a third plane P3 containing the third end 323 and the second axis AX2 of the second support member 32b. It is vertical.
  • the posture of the mirror 10 is adjusted by two axes orthogonal to each other, but the present disclosure is not limited to this.
  • the rotating shaft may be only the first shaft AX1, and the third holder 33b, the second support member 32b, and the second adjusting device 52 may not be provided.
  • FIG. 4E is a diagram showing the positional relationship between the second telescopic portion 522 and the second axis AX2 in the adjusted state in the first embodiment.
  • the inclination of the mirror 10 in the adjusted state in which the end portion 529 deviates from the third plane P3 by a distance Z1 is set to ⁇ 1 with respect to the unadjusted state in which the end portion 529 of the second telescopic portion 522 is located in the third plane P3.
  • L1 be the distance in the V direction from the second axis AX2 to the second expansion / contraction portion 522.
  • the temperature of the alignment adjusting device including the third holder 33a, the second support member 32a, and the second telescopic portion 522 has risen while the adjusted state of the second telescopic portion 522 by the driving unit 520 remains unchanged.
  • the distance L2 in the V direction from the second axis AX2 to the second expansion / contraction portion 522 is a value that increases with respect to the distance L1 according to the coefficient of thermal expansion ⁇ h of the first material constituting the third holder 33a.
  • the distance Z2 between the end portion 529 and the third plane P3 increases with respect to the distance Z1 according to the coefficient of thermal expansion ⁇ m of the second material constituting the second support member 32a and the second expansion / contraction portion 522. It becomes the value.
  • the inclination of the mirror 10 is ⁇ 2, which is slightly smaller than ⁇ 1.
  • the end portion 529 is located on the third plane P3, and both ⁇ 1 and ⁇ 2 are 0, so that the temperature of the alignment adjusting device changes in the first embodiment.
  • the inclination of the mirror 10 hardly changes.
  • the inclination of the mirror 10 may change.
  • FIG. 4F is a diagram showing the positional relationship between the second telescopic portion 522 and the second axis AX2 in the adjusted state in the second embodiment.
  • the distance L3 in the V direction from the second axis AX2 to the second telescopic portion 522 is the coefficient of thermal expansion of the second material constituting the second support member 32b with respect to the distance L1. The value increases according to ⁇ m.
  • the distance Z2 between the end portion 529 and the third plane P3 increases with respect to the distance Z1 according to the coefficient of thermal expansion ⁇ m of the second material constituting the second support member 32b and the second expansion / contraction portion 522. It becomes the value. In this case, even if the temperature of the alignment adjusting device rises, the inclination of the mirror 10 remains substantially ⁇ 1.
  • the second plane P2 including the second end 212 of the first support member 21b and the first axis AX1 is the first end of the first support member 21b. It is perpendicular to the first plane P1 including the 211 and the first axis AX1. According to this, in the adjustment state where the end portion 419 of the first expansion / contraction portion 411 is located other than the fifth plane P5, the temperature of the alignment adjusting device including the first support member 21b and the first expansion / contraction portion 411. The change in the posture of the mirror 10 can be suppressed even if the temperature changes.
  • the alignment adjusting device supports the first holder 11 on the first axis AX1 and supports the first support member 21b on the first end portion 211 and the second end portion 212. It further includes a second holder 22b of the first material that supports both. According to this, the first holder 11 is supported by the first shaft AX1, and the first support member 21b that supports the first adjusting device 41 is supported by the first end portion 211 and the second end portion. Supporting in both of the 212 is done by a common second holder 22b. Therefore, the posture of the mirror 10 can be more stabilized.
  • the fourth plane P4 including the fourth end 324 of the second support member 32b and the second axis AX2 is the third end of the second support member 32b. It is perpendicular to the third plane P3 including the 323 and the second axis AX2. According to this, the temperature of the alignment adjusting device including the second support member 32b and the second expanding / contracting portion 522 in the adjusting state in which the end portion 529 of the second expanding / contracting portion 522 is located other than the third plane P3. The change in the posture of the mirror 10 can be suppressed even if the temperature changes.
  • the alignment adjusting device supports the second holder 22b on the second axis AX2 and supports the second support member 32b on the third end portion 323 and the fourth end portion 324. It further includes a third holder 33b of the first material that supports both. According to this, the second holder 22b is supported by the second shaft AX2, and the second support member 32b that supports the second adjusting device 52 is supported by the third end portion 323 and the fourth end portion. Supporting in both of the 324s is done by a common third holder 33b. Therefore, the posture of the mirror 10 can be more stabilized.
  • the second plane P2 including the second end 212 of the first support member 21b and the first axis AX1 is the first axis AX1 and the second axis AX2. Is perpendicular to the fifth plane P5 including. According to this, in the adjustment state where the end portion 419 of the first expansion / contraction portion 411 is located other than the fifth plane P5, the temperature of the alignment adjusting device including the first support member 21b and the first expansion / contraction portion 411. The change in the posture of the mirror 10 can be suppressed even if the temperature changes. In other respects, the second embodiment is the same as the first embodiment.
  • FIG. 5 schematically shows the configuration of the exposure apparatus 600 connected to the laser apparatus 1.
  • the laser device 1 generates a pulsed laser beam and outputs it to the exposure device 600.
  • the exposure apparatus 600 includes an illumination optical system 601 and a projection optical system 602.
  • the illumination optical system 601 illuminates a reticle pattern of a reticle (not shown) arranged on the reticle stage RT by a pulsed laser beam incident from the laser device 1.
  • the projection optical system 602 reduces-projects the pulsed laser beam transmitted through the reticle and forms an image on a workpiece (not shown) arranged on the workpiece table WT.
  • the workpiece is a photosensitive substrate such as a semiconductor wafer coated with a photoresist.
  • the exposure apparatus 600 exposes the workpiece to pulsed laser light reflecting the reticle pattern by moving the reticle stage RT and the workpiece table WT in parallel in synchronization with each other. After transferring the reticle pattern to the semiconductor wafer by the exposure process as described above, the electronic device can be manufactured by going through a plurality of steps.

Landscapes

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Abstract

アライメント調整装置は、光学素子（１０）を支持する第１の材質の第１のホルダ（１１）と、第１の材質と異なる第２の材質の第１の伸縮部（４１１）を含み、第１の伸縮部（４１１）を第１のホルダ（１１）に接触させて第１の伸縮部（４１１）の長さを調整することで、第１のホルダ（１１）及び光学素子（１０）を第１の軸（ＡＸ１）の周りに回転させる第１の調整装置（４１）と、第１の調整装置（４１）を支持する第２の材質の第１の支持部材（２１ａ）と、を備え、第１の調整装置（４１）は、第１の支持部材（２１ａ）の第１の端部（４１１）と第１の軸（ＡＸ１）とを含む第１の平面（Ｐ１）に、第１の伸縮部（４１１）と第１のホルダ（１１）とが接触する位置を調整可能に構成される。

Description

アライメント調整装置、及び電子デバイスの製造方法
　本開示は、アライメント調整装置、及び電子デバイスの製造方法に関する。
　近年、半導体露光装置においては、半導体集積回路の微細化及び高集積化につれて、解像力の向上が要請されている。このため、露光用光源から放出される光の短波長化が進められている。たとえば、露光用のガスレーザ装置としては、波長約２４８ｎｍのレーザ光を出力するＫｒＦエキシマレーザ装置、ならびに波長約１９３ｎｍのレーザ光を出力するＡｒＦエキシマレーザ装置が用いられる。
　ＫｒＦエキシマレーザ装置及びＡｒＦエキシマレーザ装置の自然発振光のスペクトル線幅は、３５０～４００ｐｍと広い。そのため、ＫｒＦ及びＡｒＦレーザ光のような紫外線を透過する材料で投影レンズを構成すると、色収差が発生してしまう場合がある。その結果、解像力が低下し得る。そこで、ガスレーザ装置から出力されるレーザ光のスペクトル線幅を、色収差が無視できる程度となるまで狭帯域化する必要がある。そのため、ガスレーザ装置のレーザ共振器内には、スペクトル線幅を狭帯域化するために、狭帯域化素子（エタロンやグレーティング等）を含む狭帯域化モジュール（Line Narrow Module：ＬＮＭ）が備えられる場合がある。以下では、スペクトル線幅が狭帯域化されるガスレーザ装置を狭帯域化ガスレーザ装置という。
米国特許第６９７３１１１号明細書 米国特許出願公開第２００５／０１５７９０号明細書
概要
　本開示の１つの観点に係るアライメント調整装置は、光学素子を支持する第１の材質の第１のホルダと、第１の材質と異なる第２の材質の第１の伸縮部を含み、第１の伸縮部を第１のホルダに接触させて第１の伸縮部の長さを調整することで、第１のホルダ及び光学素子を第１の軸の周りに回転させる第１の調整装置と、第１の調整装置を支持する第２の材質の第１の支持部材と、を備え、第１の調整装置は、第１の支持部材の第１の端部と第１の軸とを含む第１の平面に、第１の伸縮部と第１のホルダとが接触する位置を調整可能に構成される。
　本開示の他の１つの観点に係るアライメント調整装置は、光学素子を支持する第１の材質の第１のホルダと、第１の材質と異なる第２の材質の第１の伸縮部を含み、第１の伸縮部を第１のホルダに接触させて第１の伸縮部の長さを調整することで、第１のホルダ及び光学素子を第１の軸の周りに回転させる第１の調整装置と、第１の調整装置を支持する第２の材質の第１の支持部材と、第１のホルダを第１の軸において支持するとともに第１の支持部材を第１の支持部材の第１の端部において支持する第１の材質の第２のホルダと、第２の材質の第２の伸縮部を含み、第２の伸縮部を第２のホルダに接触させて第２の伸縮部の長さを調整することで、第２のホルダ、第１のホルダ及び光学素子を第１の軸と交差する第２の軸の周りに回転させる第２の調整装置と、第２の調整装置を支持する第２の材質の第２の支持部材と、を備え、第１の軸と第２の軸とを含む第５の平面に、第１の端部が位置する。
　本開示の１つの観点に係る電子デバイスの製造方法は、光学素子を支持する第１の材質の第１のホルダと、第１の材質と異なる第２の材質の第１の伸縮部を含み、第１の伸縮部を第１のホルダに接触させて第１の伸縮部の長さを調整することで、第１のホルダ及び光学素子を第１の軸の周りに回転させる第１の調整装置と、第１の調整装置を支持する第２の材質の第１の支持部材と、を備え、第１の調整装置は、第１の支持部材の第１の端部と第１の軸とを含む第１の平面に、第１の伸縮部と第１のホルダとが接触する位置を調整可能に構成されたアライメント調整装置を備えるレーザ装置によってパルスレーザ光を生成し、パルスレーザ光を露光装置に出力し、電子デバイスを製造するために、露光装置内で感光基板上にパルスレーザ光を露光することを含む。
　本開示のいくつかの実施形態を、単なる例として、添付の図面を参照して以下に説明する。
図１は、比較例に係るレーザ装置の構成を模式的に示す。 図２Ａは、比較例に係るアライメント調整装置を模式的に示す。 図２Ｂは、図２ＡのＩＩＢ－ＩＩＢ線における断面図である。 図２Ｃは、図２ＡのＩＩＣ－ＩＩＣ線における断面図である。 図２Ｄは、図２ＡのＩＩＤ－ＩＩＤ線における断面図である。 図２Ｅは、比較例において第２のホルダを回転させた場合の図２Ｂに相当する部分を示す断面図である。 図２Ｆは、比較例において第１のホルダを回転させた場合の図２Ｄに相当する部分を示す断面図である。 図３Ａは、第１の実施形態に係るアライメント調整装置を模式的に示す。 図３Ｂは、図３ＡのＩＩＩＢ－ＩＩＩＢ線における断面図である。 図３Ｃは、図３ＡのＩＩＩＣ－ＩＩＩＣ線における断面図である。 図３Ｄは、図３ＡのＩＩＩＤ－ＩＩＩＤ線における断面図である。 図４Ａは、第２の実施形態に係るアライメント調整装置を模式的に示す。 図４Ｂは、図４ＡのＩＶＢ－ＩＶＢ線における断面図である。 図４Ｃは、図４ＡのＩＶＣ－ＩＶＣ線における断面図である。 図４Ｄは、図４ＡのＩＶＤ－ＩＶＤ線における断面図である。 図４Ｅは、第１の実施形態において調整状態であるときの第２の伸縮部と第２の軸との位置関係を示す図である。 図４Ｆは、第２の実施形態において調整状態であるときの第２の伸縮部と第２の軸との位置関係を示す図である。 図５は、レーザ装置に接続された露光装置の構成を概略的に示す。
実施形態
＜内容＞
１．比較例
　１．１　レーザ装置１の構成
　　１．１．１　マスターオシレータＭＯ
　　１．１．２　第１のビームステアリングユニット７６
　　１．１．３　増幅器ＰＯ
　　１．１．４　第２のビームステアリングユニット８６
　　１．１．５　光学パルスストレッチャー８９
　１．２　レーザ装置１の動作
　　１．２．１　マスターオシレータＭＯの動作
　　１．２．２　増幅器ＰＯの動作
　　１．２．３　光学パルスストレッチャー８９の動作
　１．３　アライメント調整装置の構成
　　１．３．１　第１のホルダ１１
　　１．３．２　第２のホルダ２２
　　１．３．３　第３のホルダ３３
　　１．３．４　第１の調整装置４１及び第２の調整装置５２
　１．４　アライメント調整装置の動作
　　１．４．１　第１のホルダ１１の回転
　　１．４．２　第２のホルダ２２の回転
　１．５　作用
　１．６　比較例の課題
　　１．６．１　第１の伸縮部４１１と第２のホルダ２２との関係
　　１．６．２　第２の伸縮部５２２と第３のホルダ３３との関係
　　１．６．３　解決方法の検討
２．伸縮部と同じ材質の支持部材を含むアライメント調整装置
　２．１　構成及び動作
　　２．１．１　第２のホルダ２２ａ及び第１の支持部材２１ａ
　　２．１．２　第３のホルダ３３ａ及び第２の支持部材３２ａ
　２．２　他の構成例
　２．３　作用
３．第２の平面Ｐ２が第１の平面Ｐ１に垂直であるアライメント調整装置
　３．１　構成及び動作
　　３．１．１　第２のホルダ２２ｂ及び第１の支持部材２１ｂ
　　３．１．２　第３のホルダ３３ｂ及び第２の支持部材３２ｂ
　３．２　他の構成例
　３．３　作用
４．その他
　以下、本開示の実施形態について、図面を参照しながら詳しく説明する。以下に説明される実施形態は、本開示のいくつかの例を示すものであって、本開示の内容を限定するものではない。また、各実施形態で説明される構成及び動作の全てが本開示の構成及び動作として必須であるとは限らない。なお、同一の構成要素には同一の参照符号を付して、重複する説明を省略する。
１．比較例
　１．１　レーザ装置１の構成
　図１は、比較例に係るレーザ装置１の構成を模式的に示す。比較例に係るレーザ装置１は、マスターオシレータＭＯと、第１のビームステアリングユニット７６と、増幅器ＰＯと、第２のビームステアリングユニット８６と、光学パルスストレッチャー８９と、を含む。
　　１．１．１　マスターオシレータＭＯ
　マスターオシレータＭＯは、レーザチャンバ７０と、狭帯域化モジュール７４と、出力結合ミラー７５と、を含む。
　レーザチャンバ７０は、狭帯域化モジュール７４と出力結合ミラー７５とで構成されたレーザ共振器の光路に配置されている。レーザチャンバ７０には、２つのウインドウ７０１及び７０２が設けられている。レーザチャンバ７０は、放電電極７１１及び７１２を収容している。放電電極７１１及び７１２は図示しないパルス電源に接続されている。レーザチャンバ７０は、レーザ媒質としてのレーザガスを収容する。レーザガスは、例えば、アルゴンガスと、フッ素ガスと、ネオンガスとを含む。あるいは、レーザガスは、例えば、クリプトンガスと、フッ素ガスと、ネオンガスとを含む。
　狭帯域化モジュール７４は、プリズム７４１及びグレーティング７４２などの波長選択素子を含む。出力結合ミラー７５は、部分反射ミラーで構成されている。
　　１．１．２　第１のビームステアリングユニット７６
　第１のビームステアリングユニット７６は、高反射ミラー７６１及び７６２を含む。高反射ミラー７６１及び７６２はそれぞれアライメント調整装置７６６及び７６７に支持されている。
　　１．１．３　増幅器ＰＯ
　増幅器ＰＯは、レーザチャンバ８０と、リアミラー８４と、出力結合ミラー８５と、を含む。レーザチャンバ８０、出力結合ミラー８５、及びレーザチャンバ８０に付随するウインドウ８０１及び８０２、放電電極８１１及び８１２については、マスターオシレータＭＯにおいて対応する構成要素と同様である。
　リアミラー８４は、第１のビームステアリングユニット７６を通過したパルスレーザ光の光路に配置されている。リアミラー８４は、部分反射ミラーで構成されている。リアミラー８４と出力結合ミラー８５とでレーザ共振器が構成される。
　　１．１．４　第２のビームステアリングユニット８６
　第２のビームステアリングユニット８６は、高反射ミラー８６１及び８６２を含む。高反射ミラー８６１及び８６２はそれぞれアライメント調整装置８６６及び８６７に支持されている。
　　１．１．５　光学パルスストレッチャー８９
　光学パルスストレッチャー８９は、第２のビームステアリングユニット８６を通過したパルスレーザ光の光路に配置されている。光学パルスストレッチャー８９は、ビームスプリッタ８９５及び第１～第４の凹面ミラー８９１～８９４を含む。第１～第４の凹面ミラー８９１～８９４はそれぞれアライメント調整装置８９６～８９９に支持されている。
　１．２　レーザ装置１の動作
　　１．２．１　マスターオシレータＭＯの動作
　マスターオシレータＭＯにおいて、図示しないパルス電源がパルス状の高電圧を生成し、この高電圧を放電電極７１１及び７１２の間に印加する。
　放電電極７１１及び７１２の間に高電圧が印加されると、放電電極７１１及び７１２の間に放電が起こる。この放電のエネルギーにより、レーザチャンバ７０内のレーザガスが励起されて高エネルギー準位に移行する。励起されたレーザガスが、その後、低エネルギー準位に移行するとき、そのエネルギー準位差に応じた波長の光を放出する。
　レーザチャンバ７０内で発生した光は、ウインドウ７０１及び７０２を介してレーザチャンバ７０の外部に出射する。ウインドウ７０１から出射した光は、プリズム７４１によってビーム幅を拡大させられて、グレーティング７４２に入射する。プリズム７４１からグレーティング７４２に入射した光は、グレーティング７４２の複数の溝によって反射されるとともに、光の波長に応じた方向に回折させられる。グレーティング７４２は、プリズム７４１からグレーティング７４２に入射する光の入射角と、所望波長の回折光の回折角とが一致するようにリトロー配置とされている。これにより、所望波長付近の光がプリズム７４１を介してレーザチャンバ７０に戻される。
　出力結合ミラー７５は、ウインドウ７０２から出射した光のうちの一部を透過させて出力し、他の一部を反射してレーザチャンバ７０に戻す。
　このようにして、レーザチャンバ７０から出射した光は、狭帯域化モジュール７４と出力結合ミラー７５との間で往復する。この光は、放電電極７１１及び７１２の間の放電空間を通過する度に増幅される。また、この光は、狭帯域化モジュール７４で折り返される度に狭帯域化される。こうしてレーザ発振し狭帯域化された光が、出力結合ミラー７５からパルスレーザ光として出力される。
　　１．２．２　増幅器ＰＯの動作
　出力結合ミラー７５から出力されたパルスレーザ光は、第１のビームステアリングユニット７６及びリアミラー８４を介してレーザチャンバ８０に入射する。
　パルスレーザ光がレーザチャンバ８０に入射するのと同期して、増幅器ＰＯにおいて、図示しないパルス電源がパルス状の高電圧を生成し、この高電圧が放電電極８１１及び８１２の間に印加される。
　放電電極８１１及び８１２の間に高電圧が印加されると、放電電極８１１及び８１２の間に放電が起こる。この放電のエネルギーにより、レーザチャンバ８０に入射したパルスレーザ光が増幅される。
　レーザチャンバ８０内で増幅された光は、リアミラー８４と出力結合ミラー８５との間で往復する。この光は、放電電極８１１及び８１２の間の放電空間を通過する度に増幅される。こうして増幅された光が、出力結合ミラー８５からパルスレーザ光として出力される。
　　１．２．３　光学パルスストレッチャー８９の動作
　出力結合ミラー８５から出力されたパルスレーザ光は、第２のビームステアリングユニット８６を介して光学パルスストレッチャー８９のビームスプリッタ８９５に図１における右方向に入射する。ビームスプリッタ８９５は、図１における右方向に入射したパルスレーザ光の一部を透過させてパルスレーザ光Ｂ１として出射し、他の一部を図１における下方向に反射する。反射されたパルスレーザ光は、第１～第４の凹面ミラー８９１～８９４によって順次反射され、ビームスプリッタ８９５に図１における下方向に入射する。
　第２のビームステアリングユニット８６から入射したパルスレーザ光のビームスプリッタ８９５におけるビーム断面は、第１～第４の凹面ミラー８９１～８９４により、１：１の大きさでビームスプリッタ８９５に結像する。ビームスプリッタ８９５は、第４の凹面ミラー８９４から図１における下方向に入射したパルスレーザ光の一部を図１における右方向に反射してパルスレーザ光Ｂ２として出射する。パルスレーザ光Ｂ１とパルスレーザ光Ｂ２とはほぼ同軸である。
　パルスレーザ光Ｂ１とパルスレーザ光Ｂ２との間には、第１～第４の凹面ミラー８９１～８９４によって構成される遅延光路の光路長に応じた時間差が存在する。パルスレーザ光Ｂ１とパルスレーザ光Ｂ２とを空間的に重ねることにより、パルス幅が伸長されたパルスレーザ光を出射することができる。
　１．３　アライメント調整装置の構成
　図２Ａは、比較例に係るアライメント調整装置を模式的に示す。図２Ａにおいて、横方向の軸をＨ軸とし、縦方向の軸をＶ軸とし、紙面に垂直な軸をＺ軸とする。Ｈ軸、Ｖ軸、及びＺ軸は互いに直交している。
　図２Ｂは、図２ＡのＩＩＢ－ＩＩＢ線における断面図であり、図２Ｃは、図２ＡのＩＩＣ－ＩＩＣ線における断面図であり、図２Ｄは、図２ＡのＩＩＤ－ＩＩＤ線における断面図である。
　アライメント調整装置は、光学素子を支持し、光学素子の姿勢を調整する装置である。以下の説明においては、光学素子の例としてミラー１０を用いる。ミラー１０の例として、図１を参照しながら説明した高反射ミラー７６１、７６２、８６１、及び８６２、第１～第４の凹面ミラー８９１～８９４などが挙げられる。
　アライメント調整装置は、第１のホルダ１１と、第２のホルダ２２と、第３のホルダ３３と、第１の調整装置４１と、第２の調整装置５２と、を含む。
　　１．３．１　第１のホルダ１１
　第１のホルダ１１は、ミラー１０を取り囲んで、ミラー１０に接触してミラー１０を支持している。但し、第１のホルダ１１は、ミラー１０の＋Ｚ側の面である反射表面１０１を覆わないようになっている。
　　１．３．２　第２のホルダ２２
　第２のホルダ２２は、第１のホルダ１１を取り囲んで、第１のホルダ１１と間隔をあけて第１のホルダ１１を支持している。第２のホルダ２２は、ピン１６及び１７によって第１のホルダ１１を支持しており、第１のホルダ１１は、ピン１６及び１７によって規定される第１の軸ＡＸ１の周りに回転可能となっている。第１の軸ＡＸ１は、ピン１６及び１７のそれぞれの中心を結ぶ直線である。
　第２のホルダ２２は、ミラー１０の反射表面１０１を覆わないようになっている。また、第２のホルダ２２は開口２５を有している。第２のホルダ２２が開口２５を有する理由は以下の通りである。ミラー１０の反射表面１０１に入射する光のうちのほとんどの光はミラー１０によって反射されるが、一部の光はミラー１０を透過する。ミラー１０を透過した光が第２のホルダ２２に入射すると第２のホルダ２２の温度が上昇し、第２のホルダ２２が熱膨張することによりミラー１０の姿勢が意図せずに変動することがある。ミラー１０を透過した光を通過させるように開口２５を設けることにより、第２のホルダ２２の熱膨張を抑制し得る。また開口２５を介して、ミラー１０の反射表面１０１と反対側である裏面側にミラー１０の熱を放熱させることもできる。第２のホルダ２２だけでなく第１のホルダ１１においても、ミラー１０の裏面側の位置に、ミラー１０の直径より小さい図示しない開口が設けられてもよい。
　　１．３．３　第３のホルダ３３
　第３のホルダ３３は、第２のホルダ２２を取り囲んで、第２のホルダ２２と間隔をあけて第２のホルダ２２を支持している。第３のホルダ３３は、ピン２６及び２７によって第２のホルダ２２を支持しており、第２のホルダ２２は、ピン２６及び２７によって規定される第２の軸ＡＸ２の周りに回転可能となっている。第２の軸ＡＸ２は、ピン２６及び２７のそれぞれの中心を結ぶ直線であり、第２の軸ＡＸ２はＨ軸と平行である。第１の軸ＡＸ１と第２の軸ＡＸ２とは、ミラー１０の反射表面１０１のほぼ中心の位置で直交している。以下の説明において、第１の軸ＡＸ１と第２の軸ＡＸ２とを含む平面を第５の平面Ｐ５という。
　第３のホルダ３３は、ミラー１０の反射表面１０１を覆わないようになっている。また、第３のホルダ３３は開口３５を有している。第３のホルダ３３が開口３５を有する理由は開口２５に関して説明したのと同様である。第１、第２、及び第３のホルダ１１、２２、及び３３は、例えば、アルミニウムで構成される。アルミニウムは、本開示における第１の材質に相当する。
　　１．３．４　第１の調整装置４１及び第２の調整装置５２
　第１の調整装置４１は、第２のホルダ２２に支持されている。第１の調整装置４１は、駆動部４１０と第１の伸縮部４１１とを含む。駆動部４１０は第２のホルダ２２の－Ｚ側の面２２８に固定されている。第１の伸縮部４１１は棒状の部材であり、第２のホルダ２２を貫通している。第１の伸縮部４１１の端部４１９は駆動部４１０の外に位置し、第１の伸縮部４１１の図示しない反対側の端部は駆動部４１０に収容されている。駆動部４１０が第１の伸縮部４１１の一部を出し入れすることにより、第１の伸縮部４１１のうちの駆動部４１０の外に位置する部分の長さが伸縮するようになっている。以下の説明において、第１の伸縮部４１１のうちの駆動部４１０の外に位置する部分の長さが伸縮することを、「第１の伸縮部４１１が伸縮する」ということがある。伸縮とは伸長及び収縮を含む。第１の伸縮部４１１が伸長するＸ方向は、第５の平面Ｐ５に垂直である。
　第１の伸縮部４１１の端部４１９は、第１の軸ＡＸ１よりも＋Ｈ側の位置で、第１のホルダ１１に接触している。
　第１のホルダ１１と第２のホルダ２２との間において、第１の伸縮部４１１の近傍に、バネ４５が伸長された状態で配置されている。あるいは、第１のホルダ１１と第２のホルダ２２との間において、第１の軸ＡＸ１よりも－Ｈ側の位置に、図示しないバネが圧縮された状態で配置されていてもよい。あるいは、第１のホルダ１１の＋Ｚ側の面に、図示しないバネが配置されていてもよい。
　第２の調整装置５２は、第３のホルダ３３に支持されている。第２の調整装置５２は、駆動部５２０と第２の伸縮部５２２とを含む。駆動部５２０は第３のホルダ３３の－Ｚ側の面３３８に固定されている。第２の伸縮部５２２は棒状の部材であり、第３のホルダ３３を貫通している。第２の伸縮部５２２の端部５２９は駆動部５２０の外に位置し、第２の伸縮部５２２の図示しない反対側の端部は駆動部５２０に収容されている。駆動部５２０が第２の伸縮部５２２の一部を出し入れすることにより、第２の伸縮部５２２のうちの駆動部５２０の外に位置する部分の長さが伸縮するようになっている。以下の説明において、第２の伸縮部５２２のうちの駆動部５２０の外に位置する部分の長さが伸縮することを、「第２の伸縮部５２２が伸縮する」ということがある。第２の伸縮部５２２が伸長する方向は＋Ｚ方向である。
　第２の伸縮部５２２の端部５２９は、第２の軸ＡＸ２よりも＋Ｖ側の位置で、第２のホルダ２２に接触している。第２の伸縮部５２２の端部５２９は、第５の平面Ｐ５に位置している。
　第２のホルダ２２と第３のホルダ３３との間において、第２の伸縮部５２２の近傍に、バネ５５が伸長された状態で配置されている。あるいは、第２のホルダ２２と第３のホルダ３３との間において、第２の軸ＡＸ２よりも－Ｖ側の位置に、図示しないバネが圧縮された状態で配置されていてもよい。あるいは、第２のホルダ２２の＋Ｚ側の面に、図示しないバネが配置されていてもよい。
　第１の調整装置４１及び第２の調整装置５２の各々は、例えばマイクロメータで構成される。
　第１の伸縮部４１１及び第２の伸縮部５２２は、例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ）で構成される。ステンレス鋼は、本開示における第２の材質に相当する。ステンレス鋼などの第２の材質は、アルミニウムなどの第１の材質よりも熱膨張係数が小さい。アルミニウムなどの第１の材質は、ステンレス鋼などの第２の材質よりも比重が小さい。
　１．４　アライメント調整装置の動作
　図２Ｅは、比較例において第２のホルダ２２を回転させた場合の図２Ｂに相当する部分を示す断面図である。図２Ｆは、比較例において第１のホルダ１１を回転させた場合の図２Ｄに相当する部分を示す断面図である。
　　１．４．１　第１のホルダ１１の回転
　駆動部４１０によって第１の伸縮部４１１が伸長すると、第１のホルダ１１の一部が第１の伸縮部４１１によって押されることにより、第１のホルダ１１が第２のホルダ２２に対して第１の軸ＡＸ１の周りに回転する。
　駆動部４１０によって第１の伸縮部４１１が収縮すると、第１のホルダ１１の一部がバネ４５によって引っ張られることにより、第１のホルダ１１が第２のホルダ２２に対して第１の軸ＡＸ１の周りに回転する（図２Ｆ参照）。第１のホルダ１１の回転は、第１の伸縮部４１１が伸長したときと収縮したときとで逆の回転となる。
　このように、第１の伸縮部４１１を第１のホルダ１１に接触させて第１の伸縮部４１１の長さを調整することで、第１のホルダ１１及びミラー１０が第１の軸ＡＸ１の周りに回転する。
　図２Ｄに示されるように、第１の伸縮部４１１の端部４１９が第５の平面Ｐ５に位置している状態を、以下の説明において「未調整状態」ということがある。
　図２Ｆに示されるように、第１の伸縮部４１１の伸縮によって、第１の伸縮部４１１の端部４１９が第５の平面Ｐ５以外に位置している状態を、以下の説明において「調整状態」ということがある。
　　１．４．２　第２のホルダ２２の回転
　駆動部５２０によって第２の伸縮部５２２が伸長すると、第２のホルダ２２の一部が第２の伸縮部５２２によって押されることにより、第２のホルダ２２が第３のホルダ３３に対して第２の軸ＡＸ２の周りに回転する。
　駆動部５２０によって第２の伸縮部５２２が収縮すると、第２のホルダ２２の一部がバネ５５によって引っ張られることにより、第２のホルダ２２が第３のホルダ３３に対して第２の軸ＡＸ２の周りに回転する（図２Ｅ参照）。第２のホルダ２２の回転は、第２の伸縮部５２２が伸長したときと収縮したときとで逆の回転となる。第２のホルダ２２が第２の軸ＡＸ２の周りに回転すると、第１の軸ＡＸ１も第２の軸ＡＸ２の周りに回転し、第５の平面Ｐ５も傾く。
　このように、第２の伸縮部５２２を第２のホルダ２２に接触させて第２の伸縮部５２２の長さを調整することで、第２のホルダ２２、第１の調整装置４１、第１のホルダ１１、及びミラー１０が第２の軸ＡＸ２の周りに回転する。
　図２Ｃに示されるように、第２の伸縮部５２２が伸長する＋Ｚ方向に対して第５の平面Ｐ５が垂直である状態を、以下の説明において「未調整状態」ということがある。第２の伸縮部５２２が未調整状態であるときの第１の軸ＡＸ１は、Ｖ軸と平行である。
　図２Ｅに示されるように、第２の伸縮部５２２の伸縮によって、第２の伸縮部５２２が伸長する＋Ｚ方向に対して第５の平面Ｐ５が傾いている状態を、以下の説明において「調整状態」ということがある。
　１．５　作用
　以上のようにして第１のホルダ１１が第２のホルダ２２に対して第１の軸ＡＸ１の周りに回転し、第２のホルダ２２が第３のホルダ３３に対して第２の軸ＡＸ２の周りに回転できるようになっている。これにより、互いに直交する２つの軸の周りにミラー１０を回転させてその姿勢を調整することができ、それらの軸の周りの回転角度を独立に調整することができる。
　第１の伸縮部４１１及び第２の伸縮部５２２は、それぞれ第１のホルダ１１及び第２のホルダ２２に接触するだけでなく、それぞれ第１のホルダ１１及び第２のホルダ２２に引っ掛けられるように構成されてもよい。その場合、第１の伸縮部４１１及び第２の伸縮部５２２が収縮するときに、それぞれに引っ張られることによって第１のホルダ１１及び第２のホルダ２２が回転してもよく、バネ４５及び５５は設けられなくてもよい。
　１．６　比較例の課題
　　１．６．１　第１の伸縮部４１１と第２のホルダ２２との関係
　上述のように、第１の調整装置４１の駆動部４１０は第２のホルダ２２に固定され、未調整状態において第１の伸縮部４１１の端部４１９と第１のホルダ１１とが接触する位置は、第５の平面Ｐ５に一致している。
　ここで、第２のホルダ２２及び第１の伸縮部４１１の熱膨張係数が異なる場合、以下の問題がある。駆動部４１０が固定された第２のホルダ２２の－Ｚ側の面２２８から第５の平面Ｐ５までのＺ方向の距離は、第２のホルダ２２の熱膨張係数及び温度に依存する。面２２８から第１の伸縮部４１１の端部４１９までのＺ方向の距離は、第１の伸縮部４１１の熱膨張係数及び温度に依存する。第２のホルダ２２と第１の伸縮部４１１とを含むアライメント調整装置の温度がパルスレーザ光のエネルギーにより変化すると、第５の平面Ｐ５と第１の伸縮部４１１の端部４１９との位置関係が、駆動部４１０による調節とは別に変化してしまう。従って、ミラー１０の姿勢が変化してしまう。
　また、第２のホルダ２２及び第１の伸縮部４１１の熱伝導率の違い、又は比熱の違いなどの要因で第２のホルダ２２と第１の伸縮部４１１とに温度差が生じた場合も、第５の平面Ｐ５と第１の伸縮部４１１の端部４１９との位置関係が変化してしまう。
　　１．６．２　第２の伸縮部５２２と第３のホルダ３３との関係
　上述のように、第２の調整装置５２の駆動部５２０は第３のホルダ３３に固定され、第２の伸縮部５２２の端部５２９は第５の平面Ｐ５において第２のホルダ２２に接触している。未調整状態における第５の平面Ｐ５は、第２の伸縮部５２２が伸長する＋Ｚ方向に対して垂直となっている。
　ここで、第３のホルダ３３及び第２の伸縮部５２２の熱膨張係数が異なる場合、上述と同様の問題がある。すなわち、アライメント調整装置の温度がパルスレーザ光のエネルギーにより変化すると、第２の伸縮部５２２が伸長する＋Ｚ方向に対する第５の平面Ｐ５の傾きが、駆動部５２０による調節とは別に変化してしまう。従って、ミラー１０の姿勢が変化してしまう。
　また、第３のホルダ３３と第２の伸縮部５２２の熱伝導率の違い、比熱の違いなどの要因で第３のホルダ３３と第２の伸縮部５２２とに温度差が生じた場合も、第２の伸縮部５２２が伸長する＋Ｚ方向に対する第５の平面Ｐ５の傾きが変化してしまう。
　　１．６．３　解決方法の検討
　第２のホルダ２２及び第３のホルダ３３を第１の伸縮部４１１及び第２の伸縮部５２２と同じ第２の材質で構成すれば、これらの部材間で熱膨張係数、熱伝導率、及び比熱が同じになるので上記の問題は軽減される。しかし、第２の材質の比重が大きい場合には第２のホルダ２２などが重くなり、高速な姿勢制御が困難になり得る。
　以下に説明する幾つかの実施形態においては、第１の調整装置４１を支持する第１の支持部材２１ａ又は２１ｂを第２のホルダ２２ａ又は２２ｂに配置し、第１の支持部材２１ａ又は２１ｂと第１の伸縮部４１１とを同じ材質で構成している。さらに、第２の調整装置５２を支持する第２の支持部材３２ａ又は３２ｂを第３のホルダ３３ａ又は３３ｂに配置し、第２の支持部材３２ａ又は３２ｂと第２の伸縮部５２２とを同じ材質で構成している。
２．伸縮部と同じ材質の支持部材を含むアライメント調整装置
　２．１　構成及び動作
　図３Ａは、第１の実施形態に係るアライメント調整装置を模式的に示す。図３Ｂは、図３ＡのＩＩＩＢ－ＩＩＩＢ線における断面図であり、図３Ｃは、図３ＡのＩＩＩＣ－ＩＩＩＣ線における断面図であり、図３Ｄは、図３ＡのＩＩＩＤ－ＩＩＩＤ線における断面図である。
　　２．１．１　第２のホルダ２２ａ及び第１の支持部材２１ａ
　第１の実施形態に係るアライメント調整装置は、比較例における第２のホルダ２２の代わりに、第２のホルダ２２ａ及び第１の支持部材２１ａを含む。第２のホルダ２２ａと第１の支持部材２１ａとを組み合わせた形状が、比較例における第２のホルダ２２の形状にほぼ相当する。
　第２のホルダ２２ａは、第１のホルダ１１を第１の軸ＡＸ１において支持するほかに、第１の支持部材２１ａを第１の支持部材２１ａの＋Ｚ側の第１の端部２１１において支持している。第２のホルダ２２ａは、例えばアルミニウムなどの第１の材質で構成されている。第１の支持部材２１ａは、第１の端部２１１を貫通する図示しないボルトによって第２のホルダ２２ａに固定される。
　第１の支持部材２１ａは、第１の調整装置４１を支持している。第１の調整装置４１に含まれる駆動部４１０は、第１の支持部材２１ａの－Ｚ側の面２１８に固定されている。
　第１の支持部材２１ａの第１の端部２１１は、第５の平面Ｐ５に位置する。これにより、第１の端部２１１と第１の軸ＡＸ１とを含む第１の平面Ｐ１は、第５の平面Ｐ５と一致する。第１の平面Ｐ１は、第１の伸縮部４１１が伸長するＸ方向に垂直である。
　未調整状態における第１の伸縮部４１１の端部４１９は、第５の平面Ｐ５に位置するだけでなく、第１の平面Ｐ１にも位置する。従って、駆動部４１０が固定された第１の支持部材２１ａの－Ｚ側の面２１８から未調整状態における第１の伸縮部４１１の端部４１９までのＺ方向の距離と、面２１８から第１の支持部材２１ａの第１の端部２１１までのＺ方向の距離とが、ほぼ等しくなっている。
　第１の支持部材２１ａは、第１の伸縮部４１１と同じ第２の材質で構成されており、例えばステンレス鋼で構成されている。これによれば、第１の支持部材２１ａと第１の伸縮部４１１とが温度変化しても、第１の支持部材２１ａのＺ方向の長さと第１の伸縮部４１１のＺ方向の長さとがほぼ同じだけ変化する。従って、未調整状態における第１の伸縮部４１１の端部４１９と、第５の平面Ｐ５との位置関係が安定化し得る。
　ここでは、未調整状態において第１の伸縮部４１１と第１のホルダ１１とが接触する端部４１９の位置が、第１の平面Ｐ１に一致する場合について説明したが、本開示はこれに限定されない。第１の伸縮部４１１と第１のホルダ１１とが接触する端部４１９の位置が第１の平面Ｐ１に調整可能であればよい。調整可能であるとは、第１の伸縮部４１１と第１のホルダ１１とが接触する端部４１９の位置の可動範囲内に、第１の平面Ｐ１の一部が含まれていることをいう。
　　２．１．２　第３のホルダ３３ａ及び第２の支持部材３２ａ
　第１の実施形態に係るアライメント調整装置は、比較例における第３のホルダ３３の代わりに、第３のホルダ３３ａ及び第２の支持部材３２ａを含む。第３のホルダ３３ａと第２の支持部材３２ａとを組み合わせた形状が、比較例における第３のホルダ３３の形状にほぼ相当する。
　第３のホルダ３３ａは、第２のホルダ２２ａを第２の軸ＡＸ２において支持するほかに、第２の支持部材３２ａを第２の支持部材３２ａの＋Ｚ側の第３の端部３２３（図３Ｃ参照）において支持している。第３のホルダ３３ａは、例えばアルミニウムなどの第１の材質で構成されている。第２の支持部材３２ａは、第３の端部３２３を貫通するボルト３２６によって第３のホルダ３３ａに固定される。
　第２の支持部材３２ａは、第２の調整装置５２を支持している。第２の調整装置５２に含まれる駆動部５２０は、第２の支持部材３２ａの－Ｚ側の面３２８に固定されている。第２の支持部材３２ａの第３の端部３２３と第２の軸ＡＸ２とを含む第３の平面Ｐ３は、第２の伸縮部５２２が伸長する＋Ｚ方向に垂直である。
　第３の端部３２３は、未調整状態における第５の平面Ｐ５に位置する。すなわち、第３の平面Ｐ３は未調整状態における第５の平面Ｐ５と一致する。
　上述のように、第２の伸縮部５２２の端部５２９は、第５の平面Ｐ５に位置する。すなわち、第２の伸縮部５２２は、第５の平面Ｐ５において第２のホルダ２２ａに接触する。
　また、未調整状態において第２の伸縮部５２２の端部５２９と第２のホルダ２２ａとが接触する位置は、第３の平面Ｐ３に一致している。従って、駆動部５２０を固定した第２の支持部材３２ａの－Ｚ側の面３２８から未調整状態における第２の伸縮部５２２の端部５２９までのＺ方向の距離と、面３２８から第２の支持部材３２ａの第３の端部３２３までのＺ方向の距離とが、ほぼ等しくなっている。
　第２の支持部材３２ａは、第２の伸縮部５２２と同じ第２の材質で構成されており、例えばステンレス鋼で構成されている。これによれば、第２の伸縮部５２２と第２の支持部材３２ａとが温度変化しても、第２の伸縮部５２２のＺ方向の長さと第２の支持部材３２ａのＺ方向の長さとがほぼ同じだけ変化する。従って、第２の伸縮部５２２が伸長する＋Ｚ方向に対する第５の平面Ｐ５の傾きが安定化し得る。
　ここでは、未調整状態において第２の伸縮部５２２と第２のホルダ２２ａとが接触する端部５２９の位置が、第３の平面Ｐ３に一致する場合について説明したが、本開示はこれに限定されない。第２の伸縮部５２２と第２のホルダ２２ａとが接触する端部５２９の位置が第３の平面Ｐ３に調整可能であればよい。調整可能であるとは、第２の伸縮部５２２と第２のホルダ２２ａとが接触する端部５２９の位置の可動範囲内に、第３の平面Ｐ３の一部が含まれていることをいう。
　２．２　他の構成例
　第１の実施形態においては、互いに直交する２軸でミラー１０の姿勢を調節しているが、本開示はこれに限定されない。回転軸は第１の軸ＡＸ１だけでもよく、第３のホルダ３３ａ、第２の支持部材３２ａ、及び第２の調整装置５２は設けられなくてもよい。
　２．３　作用
　第１の実施形態によれば、アライメント調整装置は、第１のホルダ１１と、第１の調整装置４１と、第１の支持部材２１ａと、を含む。第１のホルダ１１は、アルミニウムなどの第１の材質で構成されており、ミラー１０を支持する。第１の調整装置４１は、第１の材質と異なるステンレス鋼などの第２の材質で構成された第１の伸縮部４１１を含む。第１の調整装置４１は、第１の伸縮部４１１を第１のホルダ１１に接触させて第１の伸縮部４１１の長さを調整することで、第１のホルダ１１及びミラー１０を第１の軸ＡＸ１の周りに回転させる。第１の支持部材２１ａは、第２の材質で構成されており、第１の調整装置４１を支持する。
　第１の調整装置４１は、第１の支持部材２１ａの第１の端部２１１と第１の軸ＡＸ１とを含む第１の平面Ｐ１に、第１の伸縮部４１１と第１のホルダ１１とが接触する位置を調整可能に構成されている。
　これによれば、第１の支持部材２１ａの－Ｚ側の面２１８から第１の端部２１１までのＺ方向の距離と、面２１８から第１の伸縮部４１１と第１のホルダ１１とが接触する端部４１９までのＺ方向の距離とが、等しくなるように調整することができる。第１の支持部材２１ａと第１の伸縮部４１１とはいずれも第２の材質で構成され、熱膨張係数が同じであるため、第１の支持部材２１ａと第１の伸縮部４１１とが温度変化しても、第１の支持部材２１ａのＺ方向の長さと第１の伸縮部４１１のＺ方向の長さとがほぼ同じだけ変化する。従って、第１の伸縮部４１１の端部４１９と第５の平面Ｐ５との位置関係が駆動部４１０による調節とは別に変化してしまうことが抑制される。また、第１の支持部材２１ａと第１の伸縮部４１１とは熱伝導率及び比熱が同じであるため、第１の支持部材２１ａと第１の伸縮部４１１との温度差が抑制される。従って、第１の伸縮部４１１の端部４１９と第５の平面Ｐ５との位置関係の変化が抑制される。
　第１の実施形態によれば、アライメント調整装置は、第１のホルダ１１を第１の軸ＡＸ１において支持するとともに第１の支持部材２１ａを第１の端部２１１において支持する第１の材質の第２のホルダ２２ａをさらに含む。
　これによれば、第１のホルダ１１を第１の軸ＡＸ１において支持することと、第１の調整装置４１を支持する第１の支持部材２１ａを第１の端部２１１において支持することとが、共通の第２のホルダ２２ａによってなされる。従って、ミラー１０の姿勢がより安定化し得る。
　第１の実施形態によれば、第２の材質は、第１の材質よりも熱膨張係数が小さい。
　これによれば、第１の伸縮部４１１及び第１の支持部材２１ａは、熱膨張係数が小さい材質で構成され、第１のホルダ１１の姿勢がより安定化し得る。
　第１の実施形態によれば、第１の材質は、第２の材質よりも比重が小さい。
　これによれば、第１のホルダ１１が、あるいは第１のホルダ１１及び第２のホルダ２２ａの両方が、比重が小さい材質で構成され、高速な姿勢制御が可能になり得る。
　第１の実施形態によれば、アライメント調整装置は、第２の調整装置５２と、第２の支持部材３２ａと、をさらに含む。第２の調整装置５２は、第２の材質の第２の伸縮部５２２を含み、第２の伸縮部５２２を第２のホルダ２２ａに接触させて第２の伸縮部５２２の長さを調整することで、第２のホルダ２２ａ、第１のホルダ１１及びミラー１０を第１の軸ＡＸ１と異なる第２の軸ＡＸ２の周りに回転させる。第２の支持部材３２ａは、第２の材質で構成されており、第２の調整装置５２を支持する。
　これによれば、第１の軸ＡＸ１に加えて第２の軸ＡＸ２においてもミラー１０の姿勢を調整可能となる。
　第１の実施形態によれば、第２の調整装置５２は、第２の支持部材３２ａの第３の端部３２３と第２の軸ＡＸ２とを含む第３の平面Ｐ３に、第２の伸縮部５２２と第２のホルダ２２ａとが接触する位置を調整可能に構成されている。
　これによれば、第２の支持部材３２ａの－Ｚ側の面３２８から第３の端部３２３までのＺ方向の距離と、面３２８から第２の伸縮部５２２と第２のホルダ２２ａとが接触する端部５２９までのＺ方向の距離とが、等しくなるように調整することができる。第２の支持部材３２ａと第２の伸縮部５２２とはいずれも第２の材質で構成され、熱膨張係数が同じであるため、第２の支持部材３２ａと第２の伸縮部５２２とが温度変化しても、第２の支持部材３２ａのＺ方向の長さと第２の伸縮部５２２のＺ方向の長さとがほぼ同じだけ変化する。従って、第２の伸縮部５２２が伸長する＋Ｚ方向に対する第５の平面Ｐ５の傾きが駆動部５２０による調節とは別に変化してしまうことが抑制される。また、第２の支持部材３２ａと第２の伸縮部５２２とは熱伝導率及び比熱が同じであるため、第２の支持部材３２ａと第２の伸縮部５２２との温度差が抑制される。従って、第２の伸縮部５２２が伸長する＋Ｚ方向に対する第５の平面Ｐ５の傾きの変化が抑制される。
　第１の実施形態によれば、アライメント調整装置は、第２のホルダ２２ａを第２の軸ＡＸ２において支持するとともに第２の支持部材３２ａを第３の端部３２３において支持する第１の材質の第３のホルダ３３ａをさらに含む。
　これによれば、第２のホルダ２２ａを第２の軸ＡＸ２において支持することと、第２の調整装置５２を支持する第２の支持部材３２ａを第３の端部３２３において支持することとが、共通の第３のホルダ３３ａによってなされる。従って、ミラー１０の姿勢がより安定化し得る。
　第１の実施形態によれば、第１の軸ＡＸ１と第２の軸ＡＸ２とは交差しており、第１の軸ＡＸ１と第２の軸ＡＸ２とを含む第５の平面Ｐ５に、第１の支持部材２１ａの第１の端部２１１が位置する。
　これによれば、第１及び第２の軸ＡＸ１及びＡＸ２で規定される第５の平面Ｐ５を基準として第１の支持部材２１ａを配置するので、ミラー１０の姿勢が安定化し得る。
　第１の実施形態によれば、第１の端部２１１と第１の軸ＡＸ１とを含む第１の平面Ｐ１が、第１の伸縮部４１１が伸長するＸ方向に垂直である。
　これによれば、第１の伸縮部４１１と第１のホルダ１１とが接触する端部４１９が第１の平面Ｐ１に位置するときに、第１のホルダ１１を回転させる力を効率的に作用させることができる。
　第１の実施形態によれば、第２の伸縮部５２２は、第５の平面Ｐ５において第２のホルダ２２ａに接触する。
　これによれば、第１及び第２の軸ＡＸ１及びＡＸ２で規定される第５の平面Ｐ５を基準として第２のホルダ２２ａの姿勢を調整するので、ミラー１０の姿勢が安定化し得る。
　第１の実施形態によれば、第２の支持部材３２ａの第３の端部３２３と第２の軸ＡＸ２とを含む第３の平面Ｐ３が、第２の伸縮部５２２が伸長する＋Ｚ方向に垂直である。
　これによれば、第２の伸縮部５２２と第２のホルダ２２ａとが接触する端部５２９が第３の平面Ｐ３に位置するときに、第２のホルダ２２ａを回転させる力を効率的に作用させることができる。
　その他の点については、第１の実施形態は比較例と同様である。
３．第２の平面Ｐ２が第１の平面Ｐ１に垂直であるアライメント調整装置
　３．１　構成及び動作
　図４Ａは、第２の実施形態に係るアライメント調整装置を模式的に示す。図４Ｂは、図４ＡのＩＶＢ－ＩＶＢ線における断面図であり、図４Ｃは、図４ＡのＩＶＣ－ＩＶＣ線における断面図であり、図４Ｄは、図４ＡのＩＶＤ－ＩＶＤ線における断面図である。
　　３．１．１　第２のホルダ２２ｂ及び第１の支持部材２１ｂ
　第２の実施形態に係るアライメント調整装置は、第１の実施形態における第２のホルダ２２ａ及び第１の支持部材２１ａの代わりに、第２のホルダ２２ｂ及び第１の支持部材２１ｂを含む。第２のホルダ２２ｂと第１の支持部材２１ｂとを組み合わせた形状が、第１の実施形態における第２のホルダ２２ａ及び第１の支持部材２１ａを組み合わせた形状にほぼ相当する。
　第２のホルダ２２ｂは、第１のホルダ１１を第１の軸ＡＸ１において支持するほかに、第１の支持部材２１ｂを第１の支持部材２１ｂの＋Ｚ側の第１の端部２１１と第１の支持部材２１ｂの－Ｈ側の第２の端部２１２とにおいて支持している。第１の支持部材２１ｂは、第１の端部２１１を貫通する図示しないボルト及び第２の端部２１２を貫通する図示しないボルトによって第２のホルダ２２ｂに固定される。
　第２の端部２１２と第１の軸ＡＸ１とを含む第２の平面Ｐ２は、第１の支持部材２１ｂの第１の端部２１１と第１の軸ＡＸ１とを含む第１の平面Ｐ１に垂直である。第２の平面Ｐ２は、第１の軸ＡＸ１と第２の軸ＡＸ２とを含む第５の平面Ｐ５にも垂直である。
　　３．１．２　第３のホルダ３３ｂ及び第２の支持部材３２ｂ
　第２の実施形態に係るアライメント調整装置は、第１の実施形態における第３のホルダ３３ａ及び第２の支持部材３２ａの代わりに、第３のホルダ３３ｂ及び第２の支持部材３２ｂを含む。第３のホルダ３３ｂと第２の支持部材３２ｂとを組み合わせた形状が、第１の実施形態における第３のホルダ３３ａ及び第２の支持部材３２ａを組み合わせた形状にほぼ相当する。
　第３のホルダ３３ｂは、第２のホルダ２２ｂを第２の軸ＡＸ２において支持するほかに、第２の支持部材３２ｂを第２の支持部材３２ｂの＋Ｚ側の第３の端部３２３と第２の支持部材３２ｂの－Ｖ側の第４の端部３２４とにおいて支持している。第２の支持部材３２ｂは、第３の端部３２３を貫通するボルト３２６及び第４の端部３２４を貫通するボルト３２７によって第３のホルダ３３ｂに固定される。
　第４の端部３２４と第２の軸ＡＸ２とを含む第４の平面Ｐ４は、第２の支持部材３２ｂの第３の端部３２３と第２の軸ＡＸ２とを含む第３の平面Ｐ３に垂直である。
　３．２　他の構成例
　第２の実施形態においては、互いに直交する２軸でミラー１０の姿勢を調節しているが、本開示はこれに限定されない。回転軸は第１の軸ＡＸ１だけでもよく、第３のホルダ３３ｂ、第２の支持部材３２ｂ、及び第２の調整装置５２は設けられなくてもよい。
　３．３　作用
　図４Ｅは、第１の実施形態において調整状態であるときの第２の伸縮部５２２と第２の軸ＡＸ２との位置関係を示す図である。
　第２の伸縮部５２２の端部５２９が第３の平面Ｐ３に位置する未調整状態に対して、端部５２９が第３の平面Ｐ３から距離Ｚ１ずれた調整状態におけるミラー１０の傾斜をθ１とする。第２の軸ＡＸ２から第２の伸縮部５２２までのＶ方向の距離をＬ１とする。
　ここで、駆動部５２０による第２の伸縮部５２２の調整状態はそのままで、第３のホルダ３３ａと第２の支持部材３２ａと第２の伸縮部５２２とを含むアライメント調整装置の温度が上昇した場合を考える。第２の軸ＡＸ２から第２の伸縮部５２２までのＶ方向の距離Ｌ２は、距離Ｌ１に対し、第３のホルダ３３ａを構成する第１の材質の熱膨張係数αｈに従って増加した値となる。一方、端部５２９と第３の平面Ｐ３との距離Ｚ２は、距離Ｚ１に対し、第２の支持部材３２ａと第２の伸縮部５２２とを構成する第２の材質の熱膨張係数αｍに従って増加した値となる。第２の材質が第１の材質よりも熱膨張係数が小さい場合、ミラー１０の傾斜はθ１よりもわずかに小さいθ２となる。
　第２の伸縮部５２２が未調整状態であれば、端部５２９が第３の平面Ｐ３に位置し、θ１もθ２も０であるので、第１の実施形態においてアライメント調整装置の温度が変化してもミラー１０の傾斜はほとんど変化しない。しかし、図４Ｅに示される調整状態で温度が変化するとミラー１０の傾斜が変化し得る。
　図４Ｆは、第２の実施形態において調整状態であるときの第２の伸縮部５２２と第２の軸ＡＸ２との位置関係を示す図である。
　図４Ｅの場合と同様に、駆動部５２０による第２の伸縮部５２２の調整状態はそのままでアライメント調整装置の温度が上昇した場合を考える。第２の実施形態において、第２の軸ＡＸ２から第２の伸縮部５２２までのＶ方向の距離Ｌ３は、距離Ｌ１に対し、第２の支持部材３２ｂを構成する第２の材質の熱膨張係数αｍに従って増加した値となる。一方、端部５２９と第３の平面Ｐ３との距離Ｚ２は、距離Ｚ１に対し、第２の支持部材３２ｂと第２の伸縮部５２２とを構成する第２の材質の熱膨張係数αｍに従って増加した値となる。この場合、アライメント調整装置の温度が上昇しても、ミラー１０の傾斜はほぼθ１のままとなる。
　ここでは第２の軸ＡＸ２及び第２の伸縮部５２２の位置関係について説明したが、第１の軸ＡＸ１及び第１の伸縮部４１１の位置関係についても同様である。
　第２の実施形態によれば、第１の支持部材２１ｂの第２の端部２１２と第１の軸ＡＸ１とを含む第２の平面Ｐ２が、第１の支持部材２１ｂの第１の端部２１１と第１の軸ＡＸ１とを含む第１の平面Ｐ１に垂直である。
　これによれば、第１の伸縮部４１１の端部４１９が第５の平面Ｐ５以外に位置する調整状態において、第１の支持部材２１ｂと第１の伸縮部４１１とを含むアライメント調整装置の温度が変化してもミラー１０の姿勢の変化が抑制され得る。
　第２の実施形態によれば、アライメント調整装置は、第１のホルダ１１を第１の軸ＡＸ１において支持するとともに第１の支持部材２１ｂを第１の端部２１１及び第２の端部２１２の両方において支持する第１の材質の第２のホルダ２２ｂをさらに含む。
　これによれば、第１のホルダ１１を第１の軸ＡＸ１において支持することと、第１の調整装置４１を支持する第１の支持部材２１ｂを第１の端部２１１及び第２の端部２１２の両方において支持することとが、共通の第２のホルダ２２ｂによってなされる。従って、ミラー１０の姿勢がより安定化し得る。
　第２の実施形態によれば、第２の支持部材３２ｂの第４の端部３２４と第２の軸ＡＸ２とを含む第４の平面Ｐ４が、第２の支持部材３２ｂの第３の端部３２３と第２の軸ＡＸ２とを含む第３の平面Ｐ３に垂直である。
　これによれば、第２の伸縮部５２２の端部５２９が第３の平面Ｐ３以外に位置する調整状態において、第２の支持部材３２ｂと第２の伸縮部５２２とを含むアライメント調整装置の温度が変化してもミラー１０の姿勢の変化が抑制され得る。
　第２の実施形態によれば、アライメント調整装置は、第２のホルダ２２ｂを第２の軸ＡＸ２において支持するとともに第２の支持部材３２ｂを第３の端部３２３及び第４の端部３２４の両方において支持する第１の材質の第３のホルダ３３ｂをさらに含む。
　これによれば、第２のホルダ２２ｂを第２の軸ＡＸ２において支持することと、第２の調整装置５２を支持する第２の支持部材３２ｂを第３の端部３２３及び第４の端部３２４の両方において支持することとが、共通の第３のホルダ３３ｂによってなされる。従って、ミラー１０の姿勢がより安定化し得る。
　第２の実施形態によれば、第１の支持部材２１ｂの第２の端部２１２と第１の軸ＡＸ１とを含む第２の平面Ｐ２が、第１の軸ＡＸ１と第２の軸ＡＸ２とを含む第５の平面Ｐ５に垂直である。
　これによれば、第１の伸縮部４１１の端部４１９が第５の平面Ｐ５以外に位置する調整状態において、第１の支持部材２１ｂと第１の伸縮部４１１とを含むアライメント調整装置の温度が変化してもミラー１０の姿勢の変化が抑制され得る。
　その他の点については、第２の実施形態は第１の実施形態と同様である。
４．その他
　図５は、レーザ装置１に接続された露光装置６００の構成を概略的に示す。レーザ装置１はパルスレーザ光を生成して露光装置６００に出力する。
　図５において、露光装置６００は、照明光学系６０１と投影光学系６０２とを含む。照明光学系６０１は、レーザ装置１から入射したパルスレーザ光によって、レチクルステージＲＴ上に配置された図示しないレチクルのレチクルパターンを照明する。投影光学系６０２は、レチクルを透過したパルスレーザ光を、縮小投影してワークピーステーブルＷＴ上に配置された図示しないワークピースに結像させる。ワークピースはフォトレジストが塗布された半導体ウエハ等の感光基板である。露光装置６００は、レチクルステージＲＴとワークピーステーブルＷＴとを同期して平行移動させることにより、レチクルパターンを反映したパルスレーザ光をワークピースに露光する。以上のような露光工程によって半導体ウエハにレチクルパターンを転写後、複数の工程を経ることで電子デバイスを製造することができる。
　上記の説明は、制限ではなく単なる例示を意図している。従って、特許請求の範囲を逸脱することなく本開示の実施形態に変更を加えることができることは、当業者には明らかである。また、本開示の実施形態を組み合わせて使用することも当業者には明らかである。
　本明細書及び特許請求の範囲全体で使用される用語は、明記が無い限り「限定的でない」用語と解釈されるべきである。たとえば、「含む」、「有する」、「備える」、「具備する」などの用語は、「記載されたもの以外の構成要素の存在を除外しない」と解釈されるべきである。また、修飾語「１つの」は、「少なくとも１つ」又は「１又はそれ以上」を意味すると解釈されるべきである。また、「Ａ、Ｂ及びＣの少なくとも１つ」という用語は、「Ａ」「Ｂ」「Ｃ」「Ａ＋Ｂ」「Ａ＋Ｃ」「Ｂ＋Ｃ」又は「Ａ＋Ｂ＋Ｃ」と解釈されるべきである。さらに、それらと「Ａ」「Ｂ」「Ｃ」以外のものとの組み合わせも含むと解釈されるべきである。

Claims (20)

  1. 　光学素子を支持する第１の材質の第１のホルダと、
    　前記第１の材質と異なる第２の材質の第１の伸縮部を含み、前記第１の伸縮部を前記第１のホルダに接触させて前記第１の伸縮部の長さを調整することで、前記第１のホルダ及び前記光学素子を第１の軸の周りに回転させる第１の調整装置と、
    　前記第１の調整装置を支持する前記第２の材質の第１の支持部材と、
    を備え、
    　前記第１の調整装置は、前記第１の支持部材の第１の端部と前記第１の軸とを含む第１の平面に、前記第１の伸縮部と前記第１のホルダとが接触する位置を調整可能に構成された
    アライメント調整装置。
  2. 　請求項１に記載のアライメント調整装置であって、
    　前記第１のホルダを前記第１の軸において支持するとともに前記第１の支持部材を前記第１の端部において支持する前記第１の材質の第２のホルダをさらに含む
    アライメント調整装置。
  3. 　請求項１に記載のアライメント調整装置であって、
    　前記第１の支持部材の第２の端部と前記第１の軸とを含む第２の平面が、前記第１の平面に垂直である
    アライメント調整装置。
  4. 　請求項３に記載のアライメント調整装置であって、
    　前記第１のホルダを前記第１の軸において支持するとともに前記第１の支持部材を前記第１の端部及び前記第２の端部の両方において支持する前記第１の材質の第２のホルダをさらに含む
    アライメント調整装置。
  5. 　請求項１に記載のアライメント調整装置であって、
    　前記第２の材質は、前記第１の材質よりも熱膨張係数が小さい、
    アライメント調整装置。
  6. 　請求項１に記載のアライメント調整装置であって、
    　前記第１の材質は、前記第２の材質よりも比重が小さい、
    アライメント調整装置。
  7. 　請求項１に記載のアライメント調整装置であって、
    　前記第１のホルダを前記第１の軸において支持するとともに前記第１の支持部材を前記第１の端部において支持する前記第１の材質の第２のホルダと、
    　前記第２の材質の第２の伸縮部を含み、前記第２の伸縮部を前記第２のホルダに接触させて前記第２の伸縮部の長さを調整することで、前記第２のホルダ、前記第１のホルダ及び前記光学素子を前記第１の軸と異なる第２の軸の周りに回転させる第２の調整装置と、
    　前記第２の調整装置を支持する前記第２の材質の第２の支持部材と、
    をさらに備える、
    アライメント調整装置。
  8. 　請求項７に記載のアライメント調整装置であって、
    　前記第２の調整装置は、前記第２の支持部材の第３の端部と前記第２の軸とを含む第３の平面に、前記第２の伸縮部と前記第２のホルダとが接触する位置を調整可能に構成された
    アライメント調整装置。
  9. 　請求項８に記載のアライメント調整装置であって、
    　前記第２のホルダを前記第２の軸において支持するとともに前記第２の支持部材を前記第３の端部において支持する前記第１の材質の第３のホルダをさらに含む
    アライメント調整装置。
  10. 　請求項８に記載のアライメント調整装置であって、
    　前記第２の支持部材の第４の端部と前記第２の軸とを含む第４の平面が、前記第３の平面に垂直である
    アライメント調整装置。
  11. 　請求項１０に記載のアライメント調整装置であって、
    　前記第２のホルダを前記第２の軸において支持するとともに前記第２の支持部材を前記第３の端部及び前記第４の端部の両方において支持する前記第１の材質の第３のホルダをさらに含む
    アライメント調整装置。
  12. 　請求項７に記載のアライメント調整装置であって、
    　前記第２の支持部材の第２の端部と前記第１の軸とを含む第２の平面が、前記第１の軸と前記第２の軸とを含む第５の平面に垂直である
    アライメント調整装置。
  13. 　光学素子を支持する第１の材質の第１のホルダと、
    　前記第１の材質と異なる第２の材質の第１の伸縮部を含み、前記第１の伸縮部を前記第１のホルダに接触させて前記第１の伸縮部の長さを調整することで、前記第１のホルダ及び前記光学素子を第１の軸の周りに回転させる第１の調整装置と、
    　前記第１の調整装置を支持する前記第２の材質の第１の支持部材と、
    　前記第１のホルダを前記第１の軸において支持するとともに前記第１の支持部材を前記第１の支持部材の第１の端部において支持する前記第１の材質の第２のホルダと、
    　前記第２の材質の第２の伸縮部を含み、前記第２の伸縮部を前記第２のホルダに接触させて前記第２の伸縮部の長さを調整することで、前記第２のホルダ、前記第１のホルダ及び前記光学素子を前記第１の軸と交差する第２の軸の周りに回転させる第２の調整装置と、
    　前記第２の調整装置を支持する前記第２の材質の第２の支持部材と、
    を備え、
    　前記第１の軸と前記第２の軸とを含む第５の平面に、前記第１の端部が位置する
    アライメント調整装置。
  14. 　請求項１３に記載のアライメント調整装置であって、
    　前記第１の端部と前記第１の軸とを含む第１の平面が、前記第１の伸縮部が伸長する方向に垂直である
    アライメント調整装置。
  15. 　請求項１３に記載のアライメント調整装置であって、
    　前記第２のホルダを前記第２の軸において支持するとともに前記第２の支持部材を前記第２の支持部材の第３の端部において支持する前記第１の材質の第３のホルダをさらに含む
    アライメント調整装置。
  16. 　請求項１５に記載のアライメント調整装置であって、
    　前記第２の伸縮部は、前記第５の平面において前記第２のホルダに接触する
    アライメント調整装置。
  17. 　請求項１６に記載のアライメント調整装置であって、
    　前記第３の端部と前記第２の軸とを含む第３の平面が、前記第２の伸縮部が伸長する方向に垂直である
    アライメント調整装置。
  18. 　請求項１３に記載のアライメント調整装置であって、
    　前記第１の支持部材の第２の端部と前記第１の軸とを含む第２の平面が、前記第１の支持部材の第１の端部と前記第１の軸とを含む第１の平面に垂直である
    アライメント調整装置。
  19. 　請求項１３に記載のアライメント調整装置であって、
    　前記第２の支持部材の第４の端部と前記第２の軸とを含む第４の平面が、前記第２の支持部材の第３の端部と前記第２の軸とを含む第３の平面に垂直である
    アライメント調整装置。
  20. 　電子デバイスの製造方法であって、
    　光学素子を支持する第１の材質の第１のホルダと、
    　前記第１の材質と異なる第２の材質の第１の伸縮部を含み、前記第１の伸縮部を前記第１のホルダに接触させて前記第１の伸縮部の長さを調整することで、前記第１のホルダ及び前記光学素子を第１の軸の周りに回転させる第１の調整装置と、
    　前記第１の調整装置を支持する前記第２の材質の第１の支持部材と、
    を備え、
    　前記第１の調整装置は、前記第１の支持部材の第１の端部と前記第１の軸とを含む第１の平面に、前記第１の伸縮部と前記第１のホルダとが接触する位置を調整可能に構成された
    アライメント調整装置
    を備えるレーザ装置によってパルスレーザ光を生成し、
    　前記パルスレーザ光を露光装置に出力し、
    　電子デバイスを製造するために、前記露光装置内で感光基板上に前記パルスレーザ光を露光する
    ことを含む電子デバイスの製造方法。
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